JP2002256479A - めっき処理方法及びめっき処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波を使ってめっきムラの発生を避けなが
ら、高電流密度による高速めっき成膜を実現するめっき
処理方法及びめっき処理装置を得る。 【解決手段】 めっき液５ａを満たしためっき処理部５
にめっき用電極７，７を設け、被めっき処理材料である
帯状金属材料２をめっき用電極７，７と対向して移動さ
せ、めっき処理部５に帯状金属材料２を挟んで複数の超
音波振動板８，８を設け、複数の超音波振動板８，８の
内少なくとも一つの振動板８の振動面８ｃが、帯状金属
材料２と非平行であるように配置して超音波を送るよう
にしたので、被めっき処理材料である帯状金属材料２に
めっきムラのないめっき膜を高速で成膜することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、めっき処理部内に
超音波源を設け、被めっき処理材料をめっき処理部内で
めっき電極に対向して移動させて、めっき液を撹拌しな
がらめっき処理を行うめっき処理方法、及びめっき処理
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術のめっき処理方法、めっき処理
装置を図１１を用いて説明する。図１１は従来技術のめ
っき処理装置の平面図である。長尺の部材に連続的にめ
っき処理を行う場合には、撹拌された液中に部材を通し
ながら通電してめっき処理を行っていたが、電流密度を
高くしてめっき速度を上げるためには、めっき液の流速
を大きくする必要があり、装置の大型化によって高コス
ト化を招くことになる。

【０００３】一方、めっき処理中に超音波を付与するこ
とにより、キャビテーションによって生じる超高速流
（マイクロジェット）による撹拌効果により電流密度を
上げることができることは知られていた。そこで、上記
問題点を解決するために、従来技術のめっき処理方法及
びめっき処理装置５１では、超音波振動板５８，５８を
用いてめっき液５５ａを撹拌し装置を大型化せずに電流
密度を高くしてめっき速度を上げるようにしていた。

【０００４】従来技術のめっき装置５１は、被めっき処
理材料である帯状金属材料（フープ材）５２を駆動部５
３，５３により、前処理部５４、めっき処理部５５、後
処理部５６の中を順次移動させる。駆動部５３，５３
は、帯状金属材料５２を移動させるための駆動装置であ
る。前処理部５４は、帯状金属材料５２をめっき処理す
る前に、準備のための洗浄、下地めっき等を施す部分で
ある。後処理部５６は、めっき処理後、洗浄や乾燥など
を行う部分である。めっき処理部５５は、めっき液５５
ａが満たされ、めっき処理部５５の中に、２個の平板状
のめっき用電極５７，５７が被めっき処理材料である帯
状金属材料５２を挟むように、かつ帯状金属材料５２の
被めっき処理面５２ａと平行になるように対向させて配
置されている。また、めっき用電極５７、５７の外側に
２個の超音波振動板５８，５８が、めっき用電極５７，
５７を囲み、かつ、その振動面５８ａ、５８ａは帯状金
属材料５２の被めっき処理面５２ａと平行になるように
配置されている。従って、超音波振動板５８，５８の振
動面５８ａ，５８ａは帯状金属材料５２に対して平行に
対向している。帯状金属材料５２は、めっき処理部５５
内でめっき液５５ａに浸漬され、２個のめっき電極５
７，５７の間を通過し、めっき処理が行われる。この
時、帯状金属材料５２のめっき処理面５２ａ近傍は、め
っき液５５ａが超音波振動により撹拌され、めっき処理
面近くのめっき液が常にリフレッシュされるので高電流
密度の電流を流すことができ、高速のめっき処理が可能
になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術では、超音波がめっき液５５ａを撹拌する
が、２つの超音波振動板５８，５８の振動面５８ａ，５
８ａ同士の間には定在波が発生する。振動面５８ａ，５
８ａは互いに被めっき処理材料５２に対して平行である
ため、音圧の高い部分と低い部分が振動面５８ａ，５８
ａに対して平行であるような定在波が発生する。被めっ
き処理材料である帯状金属材料５２は、この定在波に対
して垂直になっているため、帯状金属材料５２の被めっ
き処理面５２ａ，５２ａは定在波によって生じた、表面
と裏面とで異なる値でほぼ一定の音圧を示す位相の部分
を通ることになる。このことにより、帯状金属材料５２
の被めっき処理面５２ａ，５２ａの表面と裏面とではめ
っき速度が異なってしまう。また、帯状金属材料５２の
厚みによってもめっき速度が変わり、また、振動などの
原因で振動面５８ａ，５８ａ同士の距離がずれると音圧
が変化し、めっき速度のばらつきとなってめっきムラが
生じていた。また、超音波振動板５８が１個だけの場合
でも、超音波振動子５８の振動面５８ａが対向するめっ
き処理部５５の壁面５５ｂに平行であるため、１個の超
音波振動板５８からの超音波が壁５５ｂで反射し折り返
し戻ってくる波と干渉して、定在波を発生し、この定在
波の粗密の程度が同じになる線に対して被めっき処理材
料５２が平行であると、即ち、超音波振動板５８の振動
面５８ａと被めっき処理材料５２が平行であると、同じ
問題を発生させていた。この結果、被めっき処理材料で
ある帯状金属材料５２のめっき膜圧にムラが生じてしま
うという不具合が発生する。

【０００６】本発明の目的は、超音波を使ってめっきム
ラの発生を避けながら高電流密度による高速めっきを実
現するめっき処理方法及びめっき処理装置を得ることに
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のめっき処理方法
は、めっき液を満たしためっき処理部にめっき用電極を
設け、被めっき処理材料を前記めっき用電極と対向して
移動させ、前記めっき処理部に設けられた１個の超音波
振動板の振動面が、前記被めっき処理材料と非平行に配
置されて超音波を送るようにした。この構成によれば、
被めっき処理材料にめっきムラのないめっき膜を高速で
成膜することができる。また、超音波振動板が１個だけ
で済むので、構造が簡単になり、装置全体が安価に作成
できる。

【０００８】また、本発明のめっき処理方法は、めっき
液を満たしためっき処理部にめっき用電極を設け、被め
っき処理材料を前記めっき用電極と対向して移動させ、
前記めっき処理部に前記被めっき処理材料を挟んで複数
の超音波振動板を設け、前記複数の超音波振動板の内少
なくとも一つの前記振動板の振動面が、前記被めっき処
理材料と非平行であるように配置して超音波を送るよう
にした。この構成によれば、被めっき処理材料の両面に
めっきムラのないめっき膜を高速で成膜することができ
る。

【０００９】また、本発明のめっき処理方法は、前記被
めっき処理材料は帯状金属材料であるようにした。この
構成によれば、被めっき処理材料をリールから送出し、
めっき処理後リールに巻き取る生産形態をとれるので、
生産効率が高い

【００１０】また、本発明のめっき処理方法は、前記被
めっき処理材料のめっき処理面と前記超音波振動板との
間に前記めっき用電極が配置されているようにした。こ
の構成によれば、めっき処理面と電極とを近接させて距
離を一定に保ち、電位分布を均一にしながらめっき液の
抵抗を小さくし、更に超音波を与えることが可能にな
り、高電流密度でのめっきが可能になり、めっきムラを
少なくすることができる。

【００１１】また、本発明のめっき処理方法は、前記め
っき用電極の厚みは前記超音波の波長の５％以下である
ようにした。この構成によれば、被めっき処理材料と超
音波振動板との間にあるめっき用電極を超音波が透過し
易くなり、超音波のエネルギーのロスが小さくなる。

【００１２】また、本発明のめっき処理方法は、前記め
っき用電極はメッシュ状であるようにした。この構成に
よれば、メッシュの空隙部は超音波が透過するので超音
波のエネルギーのロスが小さくなる。

【００１３】また、本発明のめっき処理方法は、前記め
っき用電極の厚みは超音波の波長のｎ／２倍（ｎは自然
数）であるようにした。この構成によれば、めっき電極
に対する超音波の透過がほぼ完全に行われるために、超
音波のエネルギーのロスがほとんど無くなる。

【００１４】また、本発明のめっき処理方法は、前記超
音波振動板がめっき用電極と一体に形成されるようにし
た。この構成によれば、省スペースが図れて、装置全体
が小型化できる。

【００１５】また、本発明のめっき処理方法は、前記超
音波の波長は３０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚであるようにし
た。この構成によれば、電流密度を上げてもめっきムラ
がないので、高速のめっき膜形成ができる。

【００１６】また、本発明のめっき処理装置は、めっき
液を満たしためっき処理部にめっき用電極を設け、被め
っき処理材料を前記めっき用電極と対向して移動させ、
前記めっき処理部に設けられた１個の超音波振動板の振
動面が、前記めっき処理部の対向する壁と非平行に配置
して超音波を送るようにした。この構成によれば、被め
っき処理材料にめっきムラのないめっき膜を高速で成膜
することができると共に、超音波振動板が１個だけで済
むので、構造が簡単になり、装置全体が安価に作成でき
る。

【００１７】また、めっき液を満たしためっき処理部に
めっき用電極を設け、被めっき処理材料を前記めっき用
電極と対向して移動させ、前記めっき処理部に前記被め
っき処理材料を挟んで複数の超音波振動板を設け、前記
複数の超音波振動板の内少なくとも一つの前記振動板の
振動面が、前記被めっき処理材料と非平行であるように
配置して超音波を送るようにした。この構成によれば、
被めっき処理材料にめっきムラのないめっき膜を高速で
成膜することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態のめっき処
理方法及びめっき処理装置を図１〜図６に基づいて説明
する。図１は本発明の第１実施形態のめっき装置の平面
図、図２は図１のＡ矢示図、図３は図１のＢ矢示図、図
４は超音波の周波数とめっき電流の電流密度を示すグラ
フ、図５は同一めっき電流を流す時の超音波周波数と印
加電圧の関係を示すグラフ、図６は実施形態１の変形例
のを平面図をそれぞれ示している。

【００１９】本発明の第１実施形態のめっき処理装置１
は、被めっき処理材料である帯状金属材料（フープ材
料）２を移動させる駆動部３，３と、帯状金属材料２を
それぞれ処理する前処理部４、めっき処理部５、後処理
部６と、めっき処理部５内に設けられためっき用電極
７，７と超音波振動板８，８と帯状金属材料２、及びめ
っき用電極７，７に通電する通電部（図示せず）により
構成されている。

【００２０】帯状金属材料（フープ材料）２は、前処理
部４の手前で、通常、リール（図示せず）に巻かれてお
り、めっき処理部５内でめっき処理が終わると、後処理
部６の後部に設置されている別なリールに巻き取られ
る。駆動部３，３は、リールを２個使用して、めっき処
理前の帯状材料２を巻いた一方のリールから帯状材料２
を引き出し、前処理部４、めっき処理部５、後処理部６
を通して他方のリールを回転駆動し、この他方のリール
に巻き付け、帯状材料２を進行方向（ｄ方向）に移動さ
せる機構である。前処理部４は、被めっき処理材料であ
る帯状金属材料２が通されて、めっき処理の前処理とし
て、脱脂工程や酸洗い、及び洗浄剤による洗浄、または
下地メッキなどの表面処理を行う部分である。めっき処
理部５は、めっき液５ａが満たされ、このめっき液５ａ
内に帯状金属材料２が通されて、めっき処理が施される
部分である。後処理部６は、めっき処理が終わった帯状
金属材料２が通されて純水を用いた流水洗浄、乾燥、変
色防止処理が施される部分である。めっき用電極７，７
は、図３で示す図１のＢ矢示図のように、めっき処理部
４内に概ね帯状金属材料２と平行で、かつ、帯状金属２
を挟むように設けられている。めっき用電極７，７は図
２で示す図１のＡ矢示図のように、メッシュ状に形成さ
れ、厚みは超音波の波長の５％以下であり、好ましく
は、超音波の波長の１％である。即ち、めっき用電極
７，７の厚みは超音波の波長の５％以下、薄ければ薄い
程超音波のロスは少なくなる。しかし、厚みが薄くなり
過ぎるとめっき用電極電極７，７の電気抵抗が大きくな
り、めっき用電極７，７の電極表面の位置による電位が
一定でなくなり、電極としての強度も弱くなるので、め
っき用電極７，７の厚みは１％程度が最適である。超音
波振動板８，８は、めっき処理部５内に設けられ、形状
は長方形の板状であり、その振動面８ａ，８ａが超音波
の音源となっている。超音波振動板８，８は内部に超音
波源（図示せず）を有しているが、この超音波源は点状
超音波源（図示せず）を並べたものでもよいし、板状超
音波源（図示せず）を並べたものでもよい。一対の超音
波振動板８，８は、その振動面が帯状金属材料２に対し
て非平行になるように設けられている。

【００２１】次に、上記構成による本発明のめっき処理
装置１によるめっき処理方法について説明する。本発明
のめっき処理装置１は、一方の駆動部３によって、被め
っき処理材料である帯状金属材料（フープ材料）２を送
り出し、前処理部４、めっき処理部５、後処理部６の中
を順次移動させ、帯状金属材料２を他方の駆動部３で巻
き取るようになっている。めっき処理部５にはめっき液
５ａが満たされ、めっき処理部５の中に、２個の平板状
かつメッシュ状のめっき用電極７，７を被めっき処理材
料である帯状金属材料２を挟むように、かつ帯状金属材
料２の被めっき処理面２ａと平行になるように対向させ
て配置し、めっき用電極７，７の外側に２個の超音波振
動板８，８が、めっき用電極７，７を囲むように配置さ
れている。帯状金属材料２は、めっき処理部５内でめっ
き液５ａに浸漬され、２個のめっき用電極７，７の間を
通過し、めっき処理が行われる。この時、帯状金属材料
２のめっき処理面２ａ近傍は、めっき液５ａが超音波振
動により撹拌され、２個の超音波振動板８，８の振動面
８ａ，８ａが互いに非平行になるように傾けて配置され
るので、超音波の波による定在波が発生せず、帯状金属
材料２のめっき処理面２ａには帯状金属材料２が移動す
るにつれて超音波の波の粗密がランダムに当たるので、
めっき処理面２ａ近くのめっき液５ａが均一に撹拌され
てめっきムラがなくなる。

【００２２】また、めっき用電極７，７がメッシュ状な
ので、超音波がめっき用電極７，７によって遮られる割
合が少なく、超音波が被めっき処理面２ａに到達しやす
い。更に、めっき用電極７，７が帯状金属材料２と超音
波振動板８，８との間に、金属材料２と平行に近接して
あるために、めっきムラが少なく、高電流密度の電流を
流すことができ、高速のめっき処理が可能になってい
る。図４には超音波振動板８，８から発振される超音波
の周波数とめっき時のめっきムラが大きくなって光沢が
なくなるめっき電流の電流密度を示すグラフが示されて
いる。１００Ｗで超音波振動板を振動させ、横軸には超
音波の周波数、縦軸にはめっき電流の電流密度がとられ
ている。グラフでは、超音波の周波数を０ｋＨｚ（超音
波なし），２８ｋＨｚ，４５ｋＨｚ，１００ｋＨｚで、
めっき電流の電流密度を上げていくとめっき膜に光沢が
なくなる電流密度をプロットしてある。このグラフによ
れば、超音波の周波数が２８ｋＨｚ以下と１００ｋＨｚ
以上では、めっき膜に光沢がなくなる電流密度が小さな
値になっている。この理由は、周波数が２８ｋＨｚ以下
では超音波の波長が長くなって、めっき液全体を均一に
撹拌できず、低い電流密度でもめっき液の供給が不足す
る部分ができ、めっきムラが大きくなって光沢がなくな
る。周波数が１００ｋＨｚ以上では、超音波によるキャ
ビテーションによって生じるマイクロジェットの作用が
小さくなって、帯状金属材料２へのめっき液５ａの供給
効果が小さくなり、めっきムラが大きくなり、光沢がな
くなる。超音波振動板８，８の振動の周波数は３０ｋＨ
ｚ〜１００ｋＨｚを外れるとめっき電流の電流密度が上
げられないので、めっき膜形成速度を高速にすることが
できない。従って、めっき膜形成速度を高速にして、か
つ光沢のあるめっきをするのには超音波振動板８，８の
振動の周波数は３０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚが好ましく、
５０ｋＨｚが特に好ましいので、本実施形態の場合は５
０ｋＨｚを採用している。図５には、１００Ｗ（ワッ
ト）で超音波振動板８，８を振動させ、同一めっき電流
（２Ａ（アンペア））を流す時の超音波周波数と印加電
圧の関係を示すグラフが示されている。横軸には、超音
波の周波数、縦軸にはめっき時の電圧がとられている。
このグラフによれば、超音波振動板８，８の超音波の周
波数の範囲が３０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚでは、２Ａの定
電流を流すと、めっき時の電圧が低くなっている。この
理由は、めっき液５ａの超音波による十分な撹拌により
帯状金属材料２の表面に十分めっき液５ａが供給され
て、同一電流を流すめっき処理ではめっき時の電圧値は
低く保持されることが分かる。よって、超音波振動板
８，８の超音波の周波数の範囲が３０ｋＨｚ〜１００ｋ
Ｈｚでは、電力効率のよいめっき成膜が行われているこ
とが分かる。

【００２３】尚、上記第１実施形態のめっき処理方法及
びめっき処理装置１では二つの超音波振動板８，８が帯
状金属材料２を挟むように設けられているが、本発明の
めっき処理方法及びめっき処理装置はこれに限定される
ことはなく、一つの超音波振動板８だけでもよい。この
場合、一つの超音波振動板８の振動面８ｃが対向するめ
っき処理部５の壁５ｂと被めっき処理材料である帯状金
属材料２のめっき処理面２ａが非平行であれば、超音波
振動板８から出る超音波がめっき処理部の壁５ｂで反射
してくる超音波と共同して定在波を作ったとしても、め
っき処理面２ａには超音波の粗密がランダムに当たり、
めっき液５ａが均一に撹拌されてめっきムラが発生しな
い。

【００２４】図６には本発明の第１実施形態の変形例を
示している。第１実施形態と同じ部分は同じ番号を付し
て引用し、その説明は省略するものとする。帯状金属材
料２の移動方向に長いめっき用電極７ａ，７ｂを用いる
場合、帯状金属材料２の駆動による移動方向の手前側に
一対の超音波振動板８ａ，８ｂをその振動面８ａ’，８
ｂ’が帯状金属材料２の移動方向に進むにつれて互いの
距離が広がるように互いに非平行になるように傾けて配
置し、もう一対の超音波振動板９ａ，９ｂは帯状金属板
２の移動方向に、一対の超音波振動板８ａ，８ｂに隣接
して設けられ帯状金属板２の移動方向に進むにつれて超
音波振動板９ａ，９ｂの振動面９ａ’，９ｂ’の距離が
近づくように互いに非平行になるように傾けて配置され
ている。この構造によりめっき液５ａ中の帯状金属材料
２を超音波振動板８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂが包み込むよ
うに配置されているため、より広い範囲で帯状金属材料
２に垂直な定在波ができない状態を保つと共に、超音波
のエネルギーが帯状金属材料２に集中し、より大きい撹
拌効果を与える。

【００２５】次に、本発明の第２実施形態のめっき処理
方法及びめっき処理装置を図７、図８に基づいて説明す
る。図７は本発明の第２実施形態のめっき装置の平面図
で、図８は本発明の第２実施形態の変形例のめっき装置
の平面図である。第２実施形態において、第１実施形態
と同じ部分には同じ番号を付して引用し、その説明は省
略するものとする。

【００２６】めっき用電極付き超音波振動板１０，１０
は長方形の板状の形状を有し、超音波振動板がめっき用
電極を兼ねたものである。具体的には、超音波振動板の
振動面にあたる部材をめっき電極とするか、または、超
音波振動板の帯状金属材料２の側に、めっき電極を貼付
したものとしてもよい。一対のめっき用電極付き超音波
振動板１０，１０は、駆動部３によりｄ方向に移動する
帯状金属材料２から離れて、帯状金属材料２を挟持する
ように配置され、帯状金属材料２の進行方向に進むにつ
れその振動面１ａ，１０ａの距離が近づくように、帯状
金属材料２に対して非平行に設けられている。また、一
対のめっき用電極付き超音波振動板１０，１０はめっき
処理部５内の帯状金属材料２に関して対称な位置に設け
られている。上記したように、超音波振動板がめっき用
電極を兼ねているので、めっき処理装置に組み込むのが
容易になる。

【００２７】第２実施形態のめっき処理装置によるめっ
き処理方法を説明する。帯状金属材料２は前処理部４、
めっき処理部５、後処理部６を挿通し、駆動部３により
ｄ方向に移動する。めっき処理部５にはめっき液５ａが
満たされており、このめっき液５ａは互いに非平行な一
対のめっき用電極付き超音波振動板１０，１０の振動面
１０ａ，１０ａからの超音波により撹拌されている。帯
状金属材料２はこのめっき液５ａの中をめっきされなが
ら進行し、進行方向にある一方の駆動部３のリールに巻
き取られる。

【００２８】図８は、第２実施形態の変形例であり、め
っき用電極付き超音波振動板１０，１０がめっき処理部
５’の壁面を兼ねている。めっき用電極付き超音波振動
板１０，１０のめっき用電極はめっき処理部５’内部に
露出していて、めっき液５ａに触れている。一対のめっ
き用電極付き超音波振動板１０，１０の振動面１０ａ，
１０ａを互いに非平行になるように傾けて配置するた
め、めっき処理部５’の壁は帯状金属材料２の進行方向
（ｄ方向）へ進むにつれて、より幅狭に形成されてい
る。めっき処理部５’は内部に帯状金属材料２を通すだ
けなので、全体として幅狭に形成することができる。

【００２９】次に、本発明の第３実施形態のめっき処理
装置を図９、図１０に基づいて説明する。図９は本発明
の第３実施形態のめっき装置の平面図、図１０は音波の
エネルギーのシミュレーションのグラフである。本発明
の第３実施形態において、第１，２実施形態と同じ部分
には同じ番号を付して引用し、その説明は省略するもの
とする。めっき処理方法については、実施形態１、２と
同様なので、省略する。

【００３０】本発明の第３実施形態のめっき処理装置
は、一対のめっき用電極１１、１１の振動面１１ａ，１
１ａが互いに非平行になるように傾けて配置され、帯状
金属材料２を挟み、一対のめっき用電極１１、１１がめ
っき処理部５’の壁面を兼ねてめっき処理部の両面に設
けられている。従って、めっき処理部５’の幅方向両側
から一対のめっき用電極１１、１１が取り付けられ、め
っき処理部５’の内部に、めっき用電極１１，１１が露
出し、めっき液５ａに触れている。超音波振動板１２，
１２はめっき用電極１１，１１のめっき処理部５’とは
反対側に取り付けられている。また、めっき用電極１
１，１１の厚さは、超音波振動板１２，１２の発する超
音波の波長λの半分の自然数倍である。図１０に示すシ
ミュレーションのグラフによれば、平面平行板に垂直に
入射する音波のエネルギーは平面平行板の板厚ｔが波長
λの半分の自然数倍の時に入射する音波のエネルギーに
対する音波の反射するエネルギーの比Ｒが０になるの
で、音波は平面平行板を通過するときエネルギーロスが
なく完全に透過することとなる。めっき用電極７，７の
厚さとこれに向かう超音波の波長との関係が、上記シミ
ュレーションのグラフの関係を満たせば、超音波は完全
にめっき電極用７，７を透過できることとなる。従っ
て、めっき用電極１１，１１の介在により超音波のエネ
ルギーが減少することがない。

【００３１】

【発明の効果】上記したように、本発明のめっき処理方
法及びめっき処理装置では、めっき液を満たしためっき
処理部にめっき用電極を設け、被めっき処理材料をめっ
き用電極と対向して移動させ、めっき処理部に設けられ
た１個の超音波振動板の振動面が、めっき処理部の対向
する壁と非平行に配置して超音波を送るようにしたの
で、被めっき処理材料にめっきムラのないめっき膜を高
速で成膜することができると共に、超音波振動板が１個
だけで済むので、装置の構造が簡単になるめっき処理方
法及びめっき処理装置を提供することができる。めっき
液を満たしためっき処理部にめっき用電極を設け、被め
っき処理材料をめっき用電極と対向して移動させ、めっ
き処理部に被めっき処理材料を挟んで複数の超音波振動
板を設け、複数の超音波振動板の内少なくとも一つの振
動板の振動面が、被めっき処理材料と非平行であるよう
に配置して超音波を送るようにしたので、被めっき処理
材料にめっきムラのないめっき膜を高速で成膜すること
ができるめっき処理方法及びめっき処理装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態のめっき処理装置の平面
図である。

【図２】図１のＡ矢示図

【図３】図１のＢ矢示図

【図４】本発明の第１実施形態のめっき処理装置におい
て、超音波の周波数とめっき電流の電流密度を示すグラ
フ

【図５】本発明の第１実施形態のめっき処理装置におい
て、同一めっき電流を流す時の超音波の周波数と印加電
圧の関係を示すグラフ

【図６】本発明の第１実施形態のめっき処理装置の変形
例の平面図である。

【図７】本発明の第２実施形態のめっき処理装置の平面
図である。

【図８】本発明の第２実施形態のめっき処理装置の変形
例の平面図である。

【図９】本発明の第３実施形態のめっき処理装置の平面
図である。

【図１０】音波のエネルギーと音波が入射、反射する平
面平行板の板厚のシミュレーションのグラフである。

【図１１】従来技術のめっき処理装置の平面図

【符号の説明】

１ 本発明の第１実施形態のめっき処理装置 ２ 帯状金属材料 ３ 駆動部 ４ 前処理部 ５ めっき処理部 ６ 後処理部 ７ めっき用電極 ８ 超音波振動板 ８ｃ 振動面 １０ めっき用電極付き超音波振動板

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 めっき液を満たしためっき処理部にめっ
   き用電極を設け、被めっき処理材料を前記めっき用電極
   と対向して移動させ、前記めっき処理部に設けられた１
   個の超音波振動板の振動面が、前記被めっき処理材料に
   対して非平行に配置されて超音波を送ることを特徴とす
   るめっき処理方法。
2. 【請求項２】 めっき液を満たしためっき処理部にめっ
   き用電極を設け、被めっき処理材料を前記めっき用電極
   と対向して移動させ、前記めっき処理部に前記被めっき
   処理材料を挟んで複数の超音波振動板を設け、前記複数
   の超音波振動板の内少なくとも一つの前記振動板の振動
   面が、前記被めっき処理材料と非平行であるように配置
   して超音波を送ることを特徴とするめっき処理方法。
3. 【請求項３】 前記被めっき処理材料は帯状金属材料で
   あることを特徴とする請求項１または２記載のめっき処
   理方法。
4. 【請求項４】 前記被めっき処理材料のめっき処理面と
   前記超音波振動板との間に前記めっき用電極が配置され
   ていることを特徴とする請求項１、２または３記載のめ
   っき処理方法。
5. 【請求項５】 前記めっき用電極の厚みは前記超音波の
   波長の５％以下であることを特徴とする請求項４記載の
   めっき処理方法。
6. 【請求項６】 前記めっき用電極はメッシュ状であるこ
   とを特徴とする請求項４記載のめっき処理方法。
7. 【請求項７】 前記めっき用電極の厚みは超音波の波長
   のｎ／２倍（ｎは自然数）であることを特徴とする請求
   項４記載のめっき処理方法。
8. 【請求項８】 前記超音波振動板がめっき用電極と一体
   に形成されていることを特徴とする請求項１〜７記載の
   めっき処理方法。
9. 【請求項９】 前記超音波の波長は３０ｋＨｚ〜１００
   ｋＨｚであることを特徴とする請求項１〜８記載のめっ
   き処理方法。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９に記載しためっき処理方
    法を実施することを特徴とするめっき処理装置。