JP2002252470A - Interlayer insulating material film for printed wiring board and multilayer printed wiring board using it - Google Patents

Interlayer insulating material film for printed wiring board and multilayer printed wiring board using it

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JP2002252470A
JP2002252470A JP2001049853A JP2001049853A JP2002252470A JP 2002252470 A JP2002252470 A JP 2002252470A JP 2001049853 A JP2001049853 A JP 2001049853A JP 2001049853 A JP2001049853 A JP 2001049853A JP 2002252470 A JP2002252470 A JP 2002252470A
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JP
Japan
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printed wiring
wiring board
resin
film
interlayer insulating
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JP2001049853A
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Japanese (ja)
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Mitsuteru Endo
充輝 遠藤
Kenji Kawamoto
憲治 河本
Masaaki Chino
正晃 地野
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interlayer insulating material film for a printed wiring film and a multilayer printed wiring board wherein both an embedding characteristic of a via hole and/or through hole and the peel strength of a conductive layer are provided. SOLUTION: The interlayer insulating material film for the printed wiring board comprises at least a support base film 3, an insulating resin layer 2 which is, being solid at a normal temperature, laminated on its surface, and a protecting film 1. At laminating, only the support base film is peeled so as to bond to an inner-layer circuit substrate by a resin surface to which the support base film is contacted.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導体回路層と絶縁
層とを交互に積み上げたビルドアップ方式の多層プリン
ト配線板において、内層回路パターンの被覆と表面ビア
ホール及び/またはスルーホール内の樹脂充填を同時に
一括して行うことのできるプリント配線板用層間絶縁材
フィルム及びこれを用いた多層プリント配線板の製造方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer printed wiring board of a build-up type in which conductive circuit layers and insulating layers are alternately stacked, and to cover an inner layer circuit pattern and to fill a surface via hole and / or a through hole with a resin. And a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、多層プリント配線板の製造方法と
しては、回路形成された内層回路基板に絶縁接着層とし
てガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸してBステージ化
したプリプレグシートを数枚挟んで積層プレスし、スル
ーホールによって層間導通をとる方法が知られている。
しかし、本方法では積層プレスにて加熱、加圧成型を行
うため大がかりな設備と長時間を必要とするためコスト
高となり、プリプレグシートに比較的誘電率の高いガラ
スクロスを用いるため層間を薄くするのに制限があるほ
か、CAF による絶縁性不安等の問題を抱えていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of manufacturing a multilayer printed wiring board, a plurality of B-staged prepreg sheets in which glass cloth is impregnated with epoxy resin as an insulating adhesive layer is laminated on an inner circuit board on which a circuit is formed and laminated. There is known a method of pressing and making interlayer conduction by through holes.
However, this method requires large-scale equipment and a long time to perform heating and pressure molding by a lamination press, so that the cost is high, and the thickness of the interlayer is reduced because a glass cloth having a relatively high dielectric constant is used for the prepreg sheet. In addition to the limitations, there were problems such as anxiety about insulation due to CAF.

【0003】このような問題を解決する手段として、内
層回路基板の導体層上に有機絶縁層を交互に積み上げて
いくビルドアップ方式の多層プリント配線板の製造技術
が注目されている。特開平7−202426号公報、特
開平8−157566号公報には、回路形成された内層
回路基板に下塗り接着剤を塗布、仮乾燥後、銅箔又は接
着剤付き銅箔を張り合わせて多層プリント配線板を製造
する方法が開示されている。また、特開平8−6496
0号公報には、下塗り接着剤を塗布、仮乾燥後フィルム
状アディティブ接着剤を張り合わせて加熱硬化させ、ア
ルカリ性酸化剤で粗化、導体層をめっきにより形成し多
層プリント配線板を製造する方法が知られている。しか
しながら、これらの方法ではインキ状態で下塗り接着層
を形成するため、工程中接着層にゴミの入る可能性が大
きく、断線、ショート等の回路不良を起こすという問題
があった。
As a means for solving such a problem, attention has been paid to a build-up type multilayer printed wiring board manufacturing technique in which organic insulating layers are alternately stacked on conductor layers of an inner circuit board. JP-A-7-202426 and JP-A-8-157566 disclose a multi-layer printed circuit by applying an undercoat adhesive to an inner circuit board on which a circuit is formed, temporarily drying the laminate, and bonding a copper foil or a copper foil with an adhesive. A method for making a board is disclosed. Also, JP-A-8-6496
No. 0 discloses a method of manufacturing a multilayer printed wiring board by applying an undercoat adhesive, temporarily drying, bonding a film-like additive adhesive, heating and curing, roughening with an alkaline oxidizing agent, and forming a conductive layer by plating. Are known. However, in these methods, since the undercoat adhesive layer is formed in an ink state, there is a high possibility that dust enters the adhesive layer during the process, and there is a problem that a circuit failure such as disconnection or short circuit occurs.

【0004】さらに、特開平11−87927号公報に
は、高分子量エポキシ樹脂、液状エポキシ樹脂、バイン
ダーポリマーからなる樹脂を支持ベースフィルム上に形
成し、パターン加工された内層回路基板上にラミネート
して多層プリント配線板を製造する方法が開示されてい
る。しかしながら、ラミネートによって形成される絶縁
樹脂層の表面は支持ベースフィルムと接していた面とな
るため塗布時と絶縁樹脂層の上下が逆転することにな
る。支持ベースフィルム上の絶縁樹脂はBステージ化さ
れているため、残存溶媒量は支持ベースフィルム側の方
が多く、接着面となる保護フィルム側は少なくなる。残
存溶媒量は樹脂の可とう性と密接な関係があるため、残
存溶媒量の少ない接着面の樹脂の可とう性が低くなり、
表面ビアホール及び/またはスルーホールの埋め込み性
が問題となっていた。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-87927 discloses that a resin comprising a high molecular weight epoxy resin, a liquid epoxy resin, and a binder polymer is formed on a supporting base film and laminated on a patterned inner layer circuit board. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board is disclosed. However, since the surface of the insulating resin layer formed by the lamination is the surface in contact with the supporting base film, the upper and lower sides of the insulating resin layer are reversed during application. Since the insulating resin on the supporting base film is B-staged, the amount of the remaining solvent is larger on the supporting base film side and smaller on the protective film side, which is an adhesive surface. Since the amount of residual solvent is closely related to the flexibility of the resin, the flexibility of the resin on the adhesive surface with a small amount of residual solvent is reduced,
Embedding of the surface via holes and / or through holes has been a problem.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記のように樹脂の可
とう性が低い場合、絶縁材フィルムのラミネート時に表
面ビアホール及び/またはスルーホールの埋め込み性が
不十分になる。そこで樹脂の可とう性を高くするために
残存溶媒量を増やすと、従来の保護フィルムを剥がして
ラミネートする絶縁材フィルムでは、粗化及びめっき処
理を施す支持ベースフィルム側の樹脂面の残存溶媒量が
多くなりすぎてしまい、樹脂の強度が不足して導体層の
ピール強度が低下する。このため、従来のラミネート方
式ではビアホール及び/またはスルーホールの埋め込み
性と導体層のピール強度を両立させることは難しかっ
た。
When the flexibility of the resin is low as described above, the embedding of surface via holes and / or through holes during lamination of the insulating film becomes insufficient. Therefore, when the amount of the residual solvent is increased to increase the flexibility of the resin, the amount of the residual solvent on the resin surface on the support base film side on which the roughening and plating treatment is performed in the insulating material film which is peeled off and laminated on the conventional protective film is conventionally performed. And the strength of the resin is insufficient, and the peel strength of the conductor layer is reduced. For this reason, it has been difficult for the conventional laminating method to achieve both the embedding property of the via hole and / or the through hole and the peel strength of the conductor layer.

【0006】そこで本発明では、絶縁材フィルムのラミ
ネート時に残存溶媒量が多く可とう性の高い支持ベース
フィルム側の樹脂面で接着を行い、表面ビアホール及び
/またはスルーホールの埋め込み性を改善し、同時によ
り残存溶媒量の少なく強固な保護フィルム側の樹脂面を
粗化及びめっき処理することにより導体層のピール強度
を向上させるプリント配線板用層間絶縁材フィルム、及
びこれを用いた信頼性の高い多層プリント配線板を開発
することを目的とする。
Therefore, in the present invention, when the insulating material film is laminated, the resin is adhered to the resin surface on the supporting base film side, which has a large amount of residual solvent and is highly flexible, to improve the embedding property of the surface via holes and / or through holes. Simultaneously, the resin surface on the strong protective film side with less residual solvent is roughened and plated to improve the peel strength of the conductor layer, and the interlayer insulating film for printed wiring boards, and the high reliability using this. The purpose is to develop a multilayer printed wiring board.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために為されたものであり、請求項1の発明は、少
なくとも支持ベースフィルムとその表面に積層された常
温固形の絶縁樹脂層及び保護フィルムからなるプリント
配線板用層間絶縁材フィルムであって、ラミネート時に
支持ベースフィルムを剥離可能に設けたことを特徴とす
るプリント配線板用層間絶縁材フィルムである。
Means for Solving the Problems The present invention has been made to achieve the above object, and the invention of claim 1 provides at least a supporting base film and a normal temperature solid insulating resin layer laminated on the surface thereof. And a protective film for a printed wiring board, wherein the supporting base film is provided so as to be peelable during lamination.

【0008】請求項2の発明は、前記常温固形の絶縁樹
脂層が熱硬化性樹脂、硬化剤、無機または有機フィラー
を含むことを特徴とする請求項1に記載のプリント配線
板用層間絶縁材フィルムである。
According to a second aspect of the present invention, the interlayer insulating material for a printed wiring board according to the first aspect of the present invention is characterized in that the room temperature solid insulating resin layer contains a thermosetting resin, a curing agent, and an inorganic or organic filler. Film.

【0009】請求項3の発明は、前記熱硬化性樹脂が多
官能エポキシ樹脂、前記硬化剤がエポキシ樹脂硬化剤で
あることを特徴とする請求項1または2記載のプリント
配線板用層間絶縁材フィルムである。
The invention according to claim 3 is characterized in that the thermosetting resin is a polyfunctional epoxy resin and the curing agent is an epoxy resin curing agent. Film.

【0010】請求項4の発明は、常温固形の絶縁樹脂層
にポリエーテルスルホン、フェノキシ樹脂、ポリイミド
等のうち少なくとも一種類の熱可塑性樹脂を含むことを
特徴とする請求項1〜3に記載のプリント配線板用層間
絶縁材フィルムである。
The invention according to claim 4 is characterized in that the insulating resin layer at room temperature solid contains at least one kind of thermoplastic resin such as polyether sulfone, phenoxy resin, polyimide and the like. This is an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0011】請求項5の発明は、前記プリント配線板用
層間絶縁材フィルムにおいて保護フィルム及び保護フィ
ルムを張り合わせる側の樹脂表面をコロナ処理、あるい
はプラズマ処理することを特徴とする請求項1〜4に記
載のプリント配線板用層間絶縁材フィルムである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the interlayer insulating film for a printed wiring board, the protective film and the resin surface on the side where the protective film is bonded are subjected to corona treatment or plasma treatment. 4. The interlayer insulating film for a printed wiring board according to item 1.

【0012】請求項6の発明は、請求項1〜5に記載の
プリント配線板用層間絶縁材フィルムのし自体ベースフ
ィルムを剥離面を内層回路基板に積層一体化したことを
特徴とする多層プリント配線板である。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a multilayer printed circuit comprising the interlayer insulating film for a printed wiring board according to any one of the first to fifth aspects, wherein the base film itself is laminated and integrated on an inner circuit board with a peeled surface. It is a wiring board.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明のプリント配線板用層間絶
縁材フィルムとこれを用いた多層プリント配線板の製造
方法について図面を用いて説明する。本発明のプリント
配線板用層間絶縁材フィルムはベースフィルム(図中の
3)を支持体として所定の有機溶剤に溶解した絶縁絶縁
樹脂ワニスを塗布後、加熱及び/または熱風吹き付けに
より溶剤を乾燥させて常温固形の絶縁樹脂層(図中の
2)を形成する。さらに絶縁樹脂層の支持ベースフィル
ムの無い面を保護フィルム(図中の1)で覆い、プリン
ト配線板用層間絶縁材フィルムを得る。この時、絶縁樹
脂層の残存溶媒量は乾燥時にフィルムが接していない保
護フィルム側が少なく、逆に支持ベースフィルム側は多
くなる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An interlayer insulating film for a printed wiring board according to the present invention and a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same will be described with reference to the drawings. The interlayer insulating material film for a printed wiring board of the present invention is obtained by applying an insulating insulating resin varnish dissolved in a predetermined organic solvent using a base film (3 in the figure) as a support, and then drying the solvent by heating and / or hot air blowing. To form an insulating resin layer (2 in the figure) solid at room temperature. Further, the surface of the insulating resin layer without the support base film is covered with a protective film (1 in the figure) to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board. At this time, the amount of the residual solvent in the insulating resin layer is smaller on the side of the protective film where the film is not in contact with the film at the time of drying, and is larger on the side of the supporting base film.

【0014】従来のプリント配線板用層間絶縁材フィル
ムは、保護フィルムを剥がし(図1のa)、内層回路基
板(図中の4)の両面にラミネートした後(図1の
b)、支持ベースフィルムを剥離して絶縁樹脂層を形成
する。この後、上下層回路の導通を得るためにドリル及
び/またはCO2 レーザーを用いて所定の位置にスルホ
ール及び/またはビアホールの形成を行う。さらに必要
に応じて該絶縁樹脂層表面を乾式及び/または湿式法に
より粗化し、ついで導体層を乾式及び/または湿式めっ
きにより形成する。以上の工程を複数回繰り返すことに
より多層プリント配線板を製造する。従来の製法では、
残存溶媒量が少なく可とう性の低い支持ベースフィルム
側の樹脂面で接着を行うために内層回路基板の被覆ある
いはスルホール及び/またはビアホールの埋め込み性が
悪い点、残存溶媒量が多く樹脂の強度が弱い保護フィル
ム側の樹脂上に導体層を形成するためピール強度が低い
点が問題とされていた。
In the conventional interlayer insulating film for printed wiring boards, the protective film is peeled off (FIG. 1A), laminated on both sides of the inner circuit board (4 in FIG. 1) (FIG. 1B), and the supporting base is removed. The film is peeled to form an insulating resin layer. Then, through holes and / or via holes are formed at predetermined positions using a drill and / or a CO 2 laser in order to obtain conduction of the upper and lower layer circuits. If necessary, the surface of the insulating resin layer is roughened by a dry and / or wet method, and then the conductor layer is formed by dry and / or wet plating. By repeating the above steps a plurality of times, a multilayer printed wiring board is manufactured. In the conventional manufacturing method,
Since the amount of residual solvent is small and the resin surface on the supporting base film side with low flexibility is bonded, the coating of the inner layer circuit board or the embedding of through holes and / or via holes is poor. Since the conductor layer is formed on the resin on the side of the weak protective film, the problem is that the peel strength is low.

【0015】本発明におけるプリント配線板用層間絶縁
材フィルムでは、支持ベースフィルムを剥離して(図2
のa)内層回路基板の両面にラミネートした後(図2の
b)、保護フィルムを剥離して絶縁樹脂層を形成する。
この後、従来と同様の方法によって多層プリント配線板
を得ることができる。本発明によると、可とう性の高い
支持ベースフィルム側の樹脂でラミネートすることによ
り内層回路基板の被覆あるいはスルホール及び/または
ビアホールの埋め込み性が向上し、さらに強固な保護フ
ィルム側の樹脂上に導体層を形成するためピール強度も
向上する。
In the interlayer insulating film for a printed wiring board according to the present invention, the supporting base film is peeled off (FIG. 2).
A) After laminating on both sides of the inner circuit board (FIG. 2B), the protective film is peeled off to form an insulating resin layer.
Thereafter, a multilayer printed wiring board can be obtained by the same method as in the related art. According to the present invention, by laminating with the resin on the support base film side having high flexibility, the covering property of the inner layer circuit board or the embedding property of the through holes and / or via holes is improved, and the conductor is formed on the resin on the stronger protective film side. Since the layer is formed, the peel strength is also improved.

【0016】本発明における常温固形の絶縁樹脂層とし
ては、熱硬化性樹脂を主成分としてなり、加熱により軟
化し、かつフィルム形成能のある樹脂であって、さらに
熱硬化により耐熱性、電気特性など層間絶縁材に要求さ
れる特性を満足するものであれば特に限定されるもので
はない。例えば、エポキシ樹脂系、アクリル樹脂系、ポ
リイミド樹脂系、ポリアミドイミド樹脂系、ポリシアネ
ート樹脂系、ポリエステル樹脂系、熱硬化型ポリフェニ
レンエーテル樹脂系等が挙げられ、これらを2種以上組
み合わせて使用したり、多層構造を有する絶縁材フィル
ムとすることも可能である。本発明におけるプリント配
線板用層間絶縁材フィルムを多層プリント配線板として
応用する場合には、機械的、電気的、化学的特性、及び
コストの問題からエポキシ樹脂を用いることが好まし
く、特に多官能エポキシ樹脂が好ましい。
The room-temperature solid insulating resin layer in the present invention is a resin mainly composed of a thermosetting resin, softened by heating and capable of forming a film. There is no particular limitation as long as the properties required for the interlayer insulating material are satisfied. For example, epoxy resin-based, acrylic resin-based, polyimide resin-based, polyamideimide resin-based, polycyanate resin-based, polyester resin-based, thermosetting polyphenylene ether resin-based, and the like, and these may be used in combination of two or more. Alternatively, an insulating film having a multilayer structure may be used. When the interlayer insulating film for a printed wiring board according to the present invention is applied as a multilayer printed wiring board, it is preferable to use an epoxy resin from the viewpoints of mechanical, electrical, chemical properties, and cost. Resins are preferred.

【0017】前記多官能エポキシ樹脂としては、ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラ
ック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナ
フタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポ
キシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する
芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、トリグリ
シジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂など公知
慣用のものを、単独あるいは2種以上組み合わせて使用
することができる。さらには難燃性を付与するために臭
素化した上記エポキシ樹脂が用いられる。
Examples of the polyfunctional epoxy resin include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, alkylphenol novolak epoxy resin, biphenol epoxy resin, and naphthalene epoxy resin. , Dicyclopentadiene type epoxy resins, epoxidized condensates of phenols and aromatic aldehydes having a phenolic hydroxyl group, triglycidyl isocyanurate, alicyclic epoxy resins, and the like, or any combination of two or more of them. Can be used. Further, the above-mentioned epoxy resin brominated for imparting flame retardancy is used.

【0018】本発明にて用いられる硬化剤は、特に限定
されるものではないが、熱硬化性樹脂の選択によってそ
れに対応する硬化剤を選ぶことができる。例えば熱硬化
性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合には、エポキシ
樹脂硬化剤を用いることができる。エポキシ樹脂硬化剤
には触媒型と重付加型があるが、共に公知のものを使用
することができる。例えば重付加型のエポキシ樹脂硬化
剤としては、フェノールノボラック等の多価フェノール
類、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、ジ
アミノジフェニルスルフォン等のアミン系硬化剤、無水
ピロメリット酸、無水トリメリット酸、ベンゾフェノン
テトラカルボン酸等の酸無水物硬化剤、またはこれらの
混合物等を用いることができる。中でも低吸水性、高耐
熱性の点からフェノールノボラック等の多価フェノール
類の使用が好ましい。これらの硬化剤の配合比は使用す
る硬化剤と熱硬化性樹脂の選択によって異なり、通常は
硬化物のガラス転移温度が高くなるように決定される。
例えばフェノールノボラックを用いる場合には、エポキ
シ当量と水酸基当量が1:1前後で配合するのが好まし
い。
The curing agent used in the present invention is not particularly limited, but a curing agent corresponding thereto can be selected by selecting a thermosetting resin. For example, when an epoxy resin is used as the thermosetting resin, an epoxy resin curing agent can be used. The epoxy resin curing agent includes a catalyst type and a polyaddition type, and both known types can be used. For example, polyaddition type epoxy resin curing agents include polyphenols such as phenol novolak, amine curing agents such as dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylsulfone, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and benzophenonetetracarboxylic acid. And the like, or a mixture thereof. Among them, polyhydric phenols such as phenol novolak are preferably used from the viewpoint of low water absorption and high heat resistance. The compounding ratio of these curing agents differs depending on the selection of the curing agent and the thermosetting resin to be used, and is usually determined so that the glass transition temperature of the cured product becomes high.
For example, when using phenol novolak, it is preferable to mix the epoxy equivalent and the hydroxyl equivalent at about 1: 1.

【0019】本発明における常温固形の絶縁樹脂層には
機械的、熱的、または電気的性質の改質を目的として公
知の無機または有機フィラーを加えることができる。ま
た、その配合比は熱硬化性樹脂の選択によって異なり、
添加する場合には絶縁樹脂層全体に対して5〜40wt
%の範囲内であることが好ましい。有機フィラーとして
は、エポキシ樹脂粉末、メラミン樹脂粉末、尿素樹脂粉
末、グアナミン樹脂粉末、ポリエステル樹脂粉末等を、
無機フィラーとしては、シリカ、アルミナ、酸化チタン
等を挙げることができる。シリカフィラーは誘電率が低
いこと、線膨張率が低いこと、アルカリ処理により絶縁
樹脂中から離脱しやすいといった理由からよく用いられ
ている。
In the present invention, a known inorganic or organic filler can be added to the room temperature solid insulating resin layer for the purpose of improving mechanical, thermal or electrical properties. In addition, the compounding ratio varies depending on the selection of the thermosetting resin,
When added, 5 to 40 wt.
% Is preferable. As the organic filler, epoxy resin powder, melamine resin powder, urea resin powder, guanamine resin powder, polyester resin powder, etc.
Examples of the inorganic filler include silica, alumina, and titanium oxide. Silica fillers are often used because they have a low dielectric constant, a low coefficient of linear expansion, and are easily separated from the insulating resin by alkali treatment.

【0020】本発明にて用いられる熱可塑性樹脂の添加
の目的は、特に樹脂の強靱性を向上させるためである。
通常エポキシ樹脂は銅とのめっき密着性や耐熱性に優れ
るが、固くて脆い特性を有しており、冷熱衝撃試験での
樹脂クラック等の不具合を生じることがある。本発明で
は熱可塑性樹脂を加えることにより、さらに優れたプリ
ント配線板用層間絶縁材フィルムとすることができる。
このような熱可塑性樹脂とは、耐熱性を有すること、上
述した熱硬化性樹脂、硬化剤と同一の溶媒に溶解して混
合できることが望ましい。
The purpose of adding the thermoplastic resin used in the present invention is particularly to improve the toughness of the resin.
Usually, an epoxy resin is excellent in plating adhesion to copper and heat resistance, but has a hard and brittle property, and may cause a defect such as a resin crack in a thermal shock test. In the present invention, by adding a thermoplastic resin, a more excellent interlayer insulating film for a printed wiring board can be obtained.
It is desirable that such a thermoplastic resin has heat resistance and can be dissolved and mixed in the same solvent as the above-mentioned thermosetting resin and curing agent.

【0021】このような熱可塑性樹脂として例えば、フ
ェノキシ樹脂、ポリイミド、ポリエーテルスルホンを用
いることができる。通常これらの熱可塑性樹脂を添加す
る場合、配合比は絶縁樹脂層全体に対して5〜50wt
%の割合で加えられる。この理由として、5wt%以下
では添加による靱性アップの効果が乏しく、50wt%
以上では熱硬化性樹脂のエポキシ樹脂の特性が生かされ
ず、めっき特性に劣ること、さらには200℃以上の高
温域での耐熱性の低下などの不具合を生じる恐れがあ
る。
As such a thermoplastic resin, for example, a phenoxy resin, polyimide, or polyether sulfone can be used. Usually, when these thermoplastic resins are added, the mixing ratio is 5 to 50 wt.
%. The reason for this is that if it is less than 5 wt%, the effect of increasing toughness by addition is poor, and 50 wt%
Above, the properties of the epoxy resin of the thermosetting resin cannot be utilized, and the plating properties may be inferior, and further, problems such as a decrease in heat resistance in a high temperature region of 200 ° C. or more may occur.

【0022】なお、本発明に用いられる絶縁樹脂には硬
化反応を促進させる目的から公知の硬化触媒を加えるこ
とができる。例えば、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂
を、硬化剤として重付加型のエポキシ樹脂硬化剤を用い
る場合には、トリフェニルホスフィン、トリ−4−メチ
ルフェニルホスフィン、トリ−4−メトキシフェニルホ
スフィン、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフ
ィン、トリ−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホス
フィン化合物及びこれらのテトラフェニルボレート塩;
トリブチルアミン、トリエチルアミン、トリアミルアミ
ン等の3級アミン;塩化ベンジルトリメチルアンモニウ
ム、水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム、トリエチ
ルアンモニウムテトラフェニルボレート等の4級アンモ
ニウム塩;2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−
メチルイミダゾール等のイミダゾール類等が挙げられる
が、これらに限定されない。また、これらの中でも本発
明の目的達成には有機ホスフィン化合物やイミダゾール
類の使用が特に好ましい。これら硬化触媒の配合割合
は、所望のゲルタイムが得られるように任意の割合で加
えることができる。通常、組成物のゲルタイムが80℃
〜250℃の各所定温度で1〜15分となるように配合
するのが好ましい。
A known curing catalyst can be added to the insulating resin used in the present invention for the purpose of accelerating the curing reaction. For example, when an epoxy resin is used as a thermosetting resin and a polyaddition type epoxy resin curing agent is used as a curing agent, triphenylphosphine, tri-4-methylphenylphosphine, tri-4-methoxyphenylphosphine, tributylphosphine is used. , Organic phosphine compounds such as trioctylphosphine and tri-2-cyanoethylphosphine, and tetraphenylborate salts thereof;
Tertiary amines such as tributylamine, triethylamine and triamylamine; quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride, benzyltrimethylammonium hydroxide and triethylammonium tetraphenylborate; 2-ethylimidazole and 2-ethyl-4-
Examples include, but are not limited to, imidazoles such as methyl imidazole. Of these, the use of organic phosphine compounds and imidazoles is particularly preferred for achieving the object of the present invention. The mixing ratio of these curing catalysts can be added at an arbitrary ratio so as to obtain a desired gel time. Usually, the gel time of the composition is 80 ° C.
It is preferable to mix them at each predetermined temperature of up to 250 ° C. for 1 to 15 minutes.

【0023】本発明で用いられる有機溶剤としては、例
えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン
等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブア
セテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル
類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、
カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール
類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素の他、ジメ
チルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチル
ピロリドン等を単独または2種以上組み合わせて使用す
ることができる。
Examples of the organic solvent used in the present invention include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate; Cellosolves such as butyl cellosolve,
In addition to carbitols such as carbitol and butyl carbitol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like can be used alone or in combination of two or more.

【0024】本発明で用いられる支持ベースフィルムと
しては、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフ
ィン、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリ
エステル、ポリカーボネート、さらには離型紙や銅箔、
アルミニウム箔の如き金属箔等が挙げられる。なかでも
価格、耐熱性、寸法安定性等の点においてポリエステル
系フィルムを使用することが特に好ましい。支持ベース
フィルムの厚みとしては10〜150μmが一般的であ
る。本発明では請求項1に記載した特徴を発揮させるた
めに、支持ベースフィルムに離型処理を施しておくこと
が有効である。
The support base film used in the present invention includes polyolefins such as polyethylene and polyvinyl chloride, polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, release paper and copper foil,
Examples include metal foils such as aluminum foil. Among them, it is particularly preferable to use a polyester film in terms of price, heat resistance, dimensional stability and the like. The thickness of the supporting base film is generally from 10 to 150 μm. In the present invention, it is effective to subject the support base film to a release treatment in order to exhibit the features described in claim 1.

【0025】本発明で用いられる保護フィルムとして
は、支持ベースフィルムと同じくポリエチレン、ポリ塩
化ビニル、ポリプロピレン等のポリオレフィン、PET
等のポリエステル、さらには離型紙等が挙げられる。保
護フィルムの厚みとしては10〜100μmが一般的で
ある。本発明では請求項5に記載のように保護フィルム
と接する樹脂表面をあらかじめコロナ処理あるいはプラ
ズマ処理しておくことが特に好ましい。これは、樹脂上
にめっき処理で形成される導体層の密着性が向上し、導
体層のピール強度が上がるためである。
As the protective film used in the present invention, the same as the supporting base film, polyolefins such as polyethylene, polyvinyl chloride and polypropylene, PET
And the like, and further, release paper and the like. The thickness of the protective film is generally from 10 to 100 μm. In the present invention, it is particularly preferable that the resin surface in contact with the protective film is previously subjected to corona treatment or plasma treatment as described in claim 5. This is because the adhesion of the conductor layer formed by plating on the resin is improved, and the peel strength of the conductor layer is increased.

【0026】本発明で使用する内層回路基板としては、
例えばプラスチック基板、セラミック基板、金属基板、
フィルム基板を使用することができる。具体的な例を挙
げるとガラスエポキシ基板、ビスマレイミドトリアジン
基板、アラミド繊維不織布基板、液晶ポリマー基板、ア
ルミニウム基板、鉄基板、ポリイミド基板等を使用する
ことができ、導体回路が単層又は多層積層された基板を
用いることができる。
The inner circuit board used in the present invention includes:
For example, plastic substrates, ceramic substrates, metal substrates,
A film substrate can be used. Specific examples include a glass epoxy substrate, a bismaleimide triazine substrate, an aramid fiber nonwoven substrate, a liquid crystal polymer substrate, an aluminum substrate, an iron substrate, a polyimide substrate, and the like. Substrate can be used.

【0027】本発明におけるプリント配線板用層間絶縁
材フィルムのラミネート方法について説明する。ラミネ
ートは加圧式や減圧式、それらを併用したタイプも用い
ることができ、バッチ式であってもロールでの連続式で
あってもよく、両面同時にラミネートするのが作業性の
点でより好ましい。ラミネート条件は、本発明の常温固
形の絶縁樹脂層の熱時溶融粘度、厚さと内層回路基板の
スルーホール径、深さ及び/または表面ビアホール径、
深さにより異なるが、一般的には圧着温度が70〜20
0℃、圧着圧力が1〜10kgf/cm2 であって、2
0mmHg以下の減圧下で積層する。スルーホール径が
大きく深い、つまり板厚が厚い場合には絶縁樹脂層が厚
く、高温及び/または高圧でのラミネート条件が必要に
なる。一般的に板厚は1.4mm程度、スルホール径は
1mm程度までが良好に樹脂充填できる。
The method for laminating an interlayer insulating film for a printed wiring board according to the present invention will be described. As the laminating, a pressurizing type, a depressurizing type, and a type using a combination thereof can also be used. A batch type or a continuous type using a roll may be used, and it is more preferable to simultaneously laminate both surfaces from the viewpoint of workability. The lamination conditions are as follows: the hot melt viscosity of the room temperature solid insulating resin layer of the present invention, the thickness and the through-hole diameter, depth and / or surface via-hole diameter of the inner circuit board,
Although it depends on the depth, in general, the pressing temperature is 70 to 20.
0 ° C., a pressure of 1 to 10 kgf / cm 2 ,
Laminate under reduced pressure of 0 mmHg or less. When the through hole diameter is large and deep, that is, when the plate thickness is large, the insulating resin layer is thick, and lamination conditions at high temperature and / or high pressure are required. Generally, a resin thickness of about 1.4 mm and a through-hole diameter of about 1 mm can be favorably filled with resin.

【0028】ラミネートにより形成された絶縁樹脂層に
上下の回路の電気的な導通を得るために、スルホール及
び/又はビアホールの形成行う。スルホール及び/また
はビアホールの形成は、所定の位置にレーザー及び/ま
たはドリルにより穴開けを行う。この後、必要に応じて
該絶縁樹脂層表面を乾式及び/または湿式法により粗化
する。ついで導体層を乾式及び/または湿式めっきによ
り形成して多層プリント配線板を製造することができ
る。絶縁樹脂層表面の乾式粗化法としては、バフ、サン
ドブラスト等の機械的研磨やプラズマエッチング等が挙
げられる。一方、湿式粗化法としては過マンガン酸塩、
重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等の酸
化剤など化学薬品処理が挙げられる。このように必要に
より絶縁樹脂層表面に凹凸のアンカーを形成した後、蒸
着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式め
っき及び/または無電解、電解めっき等の湿式めっきに
より導体層を形成する。
Through holes and / or via holes are formed in the insulating resin layer formed by lamination in order to obtain electrical continuity between upper and lower circuits. The formation of the through hole and / or the via hole is performed by drilling a predetermined position with a laser and / or a drill. Thereafter, if necessary, the surface of the insulating resin layer is roughened by a dry method and / or a wet method. Next, the conductor layer is formed by dry and / or wet plating to manufacture a multilayer printed wiring board. Examples of the dry roughening method for the insulating resin layer surface include mechanical polishing such as buffing and sandblasting, and plasma etching. On the other hand, permanganate,
Chemical treatment such as dichromate, ozone, oxidizing agents such as hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like can be mentioned. After forming an irregular anchor on the surface of the insulating resin layer as required, a conductor layer is formed by dry plating such as evaporation, sputtering, or ion plating and / or wet plating such as electroless or electrolytic plating.

【0029】[0029]

【実施例】以下本発明のプリント配線板用層間絶縁材フ
ィルムと多層プリント配線板を製造する実施例及び比較
例について説明する。
EXAMPLES Examples and comparative examples for producing an interlayer insulating film for a printed wiring board and a multilayer printed wiring board according to the present invention will be described below.

【0030】[実施例1] (a)エポキシ樹脂成分としてEPPN−502H(日
本化薬社製)100重量部、エポキシ樹脂硬化剤として
フェノールノボラック(日本化薬社製)62.7重量
部、熱可塑性樹脂としてフェノトート YP−50(東
都化成社製)65.1重量部をシクロヘキサノンとDM
Fの混合溶媒に溶解させた。この溶液にシリカフィラー
であるアドマファインSO−C1(アドマテックス社
製)45.6重量部、硬化触媒である2−エチル−4−
メチルイミダゾール(東京化成工業社製)0.22重量
部を練り込みロールで分散させた後に攪拌及び脱泡し、
プリント配線板用絶縁樹脂のワニスを作成した。このワ
ニスを厚さ30μmのPETの支持ベースフィルム上に
乾燥後の厚みが50μmとなるようにロールコーターで
塗布し、80℃で10分間乾燥させた。さらに、支持ベ
ースフィルムの無い樹脂面をコロナ処理した後、あらか
じめコロナ処理しておいたPETの保護フィルムを貼り
あわせてプリント配線板用層間絶縁材フィルムを得た。
Example 1 (a) 100 parts by weight of EPPN-502H (Nippon Kayaku) as an epoxy resin component, 62.7 parts by weight of phenol novolak (Nippon Kayaku) as a curing agent for epoxy resin, heat 65.1 parts by weight of phenotote YP-50 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) as cycloplastic and DM
F was dissolved in a mixed solvent. 45.6 parts by weight of Admafine SO-C1 (manufactured by Admatechs) as a silica filler and 2-ethyl-4- as a curing catalyst were added to this solution.
0.22 parts by weight of methyl imidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was kneaded and dispersed by a roll, followed by stirring and defoaming.
A varnish of insulating resin for printed wiring boards was prepared. The varnish was applied on a PET support base film having a thickness of 30 μm using a roll coater so that the thickness after drying was 50 μm, and dried at 80 ° C. for 10 minutes. Further, after a resin surface having no supporting base film was subjected to corona treatment, a PET protective film which had been subjected to corona treatment in advance was attached to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0031】(b)このようにして得られた絶縁材フィ
ルムの支持ベースフィルムを剥離して、ガラスエポキシ
内層回路基板に真空ラミネーターで両面同時にラミネー
トした。ラミネート条件は、連続式を用いて温度90
℃、圧力4kgf/cm2 、速度30cm/分で気圧2
0mmHg以下で行った。室温付近にまで放冷した後、
保護フィルムを剥離した。180℃で2時間加熱して樹
脂を硬化させ、所定のφ0.10mmビアホール部にC
2 レーザーにより穴開けを行った。ついで、過マンガ
ン酸塩のアルカリ性酸化剤で絶縁樹脂層表面を粗化処理
し、全面に無電解及び/または電解めっきにより導体層
を形成した後、サブトラクティブ法に従って回路パター
ンの形成を行った。以上(b)の工程を2回繰り返すこ
とによりビルドアップ2層プリント配線板を得た。
(B) The support base film of the insulating film thus obtained was peeled off, and both sides were simultaneously laminated on a glass epoxy inner layer circuit board by a vacuum laminator. The laminating conditions are as follows:
° C, pressure 4 kgf / cm 2 , pressure 30 cm / min, pressure 2
The test was performed at 0 mmHg or less. After cooling to around room temperature,
The protective film was peeled off. The resin is cured by heating at 180 ° C. for 2 hours, and C is added to a predetermined φ0.10 mm via hole.
Drilling was performed with an O 2 laser. Then, the surface of the insulating resin layer was roughened with an alkaline oxidizing agent of permanganate to form a conductor layer over the entire surface by electroless and / or electrolytic plating, and then a circuit pattern was formed according to a subtractive method. By repeating the above step (b) twice, a two-layer build-up printed wiring board was obtained.

【0032】[実施例2] (a)エポキシ樹脂としてEPPN−502H(日本化
薬社製)80重量部とエピコート828EL(油化シェ
ルエポキシ社製)20重量部、フェノールノボラック
(日本化薬社製)62.7重量部、熱可塑性樹脂として
フェノトート YP−50(東都化成社製)65.1重
量部をシクロヘキサノンとDMFの混合溶媒に溶解させ
た。この溶液に樹脂フィラーであるトスパール105
(東芝シリコーン社製)22.8重量部、硬化触媒であ
る2−エチル−4−メチルイミダゾール(東京化成工業
社製)0.22重量部を練り込みロールで分散させた後
に攪拌及び脱泡し、プリント配線板用絶縁樹脂のワニス
を作成した。このワニスを厚さ30μmのPETの支持
ベースフィルム上に乾燥後の厚みが50μmとなるよう
にロールコーターにて塗布、80〜100℃で10分間
乾燥させた。さらに、支持ベースフィルムの無い樹脂面
をコロナ処理した後、あらかじめコロナ処理しておいた
PETの保護フィルムを貼りあわせてプリント配線板用
層間絶縁材フィルムを得た。
Example 2 (a) As an epoxy resin, 80 parts by weight of EPPN-502H (manufactured by Nippon Kayaku), 20 parts by weight of Epicoat 828EL (manufactured by Yuka Shell Epoxy), and phenol novolak (manufactured by Nippon Kayaku) 62.7 parts by weight, and 65.1 parts by weight of phenotote YP-50 (produced by Toto Kasei Co., Ltd.) as a thermoplastic resin were dissolved in a mixed solvent of cyclohexanone and DMF. To this solution, Tospearl 105 as a resin filler was added.
22.8 parts by weight (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) and 0.22 parts by weight of a curing catalyst, 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), were dispersed by a kneading roll, and then stirred and defoamed. Then, a varnish of an insulating resin for a printed wiring board was prepared. The varnish was applied on a 30 μm-thick PET support base film using a roll coater so that the thickness after drying became 50 μm, and dried at 80 to 100 ° C. for 10 minutes. Further, after a resin surface having no supporting base film was subjected to corona treatment, a PET protective film which had been subjected to corona treatment in advance was attached to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0033】(b)実施例1の(b)と同様にしてラミ
ネート、導体層の形成を行った。ラミネートの条件は連
続式を用いて温度90℃、圧力3kgf/cm2 、速度
30cm/分で気圧20mmHg以下で行った。
(B) Lamination and formation of a conductor layer were performed in the same manner as in (b) of Example 1. The laminating conditions were as follows: using a continuous method, the temperature was 90 ° C., the pressure was 3 kgf / cm 2 , the speed was 30 cm / min, and the pressure was 20 mmHg or less.

【0034】[実施例3] (a)エポキシ樹脂成分としてVG3101M80(三
井化学社製)100重量部、エポキシ樹脂硬化剤として
カヤハードNHN(日本化薬社製)68.3重量部、熱
可塑性樹脂としてスミカエクセル 5003P(住友化
学工業社製)67.3重量部をMEK溶液に溶解させ
た。この溶液にシリカフィラーであるアドマファインS
O−C1(アドマテックス社製)47.1重量部、硬化
触媒である2−エチル−4−メチルイミダゾール(東京
化成工業社製)0.24重量部を練り込みロールで分散
させた後に攪拌及び脱泡し、プリント配線板用絶縁樹脂
のワニスを作成した。このワニスを厚さ30μmのPE
Tの支持ベースフィルム上に乾燥後の厚みが50μmと
なるようにロールコーターにて塗布、80〜100℃で
10分間乾燥させた。さらに、支持ベースフィルムの無
い樹脂面を酸素プラズマ処理した後、あらかじめ酸素プ
ラズマ処理されたPETの保護フィルムを貼り合わせて
プリント配線板用層間絶縁材フィルムを得た。
Example 3 (a) 100 parts by weight of VG3101M80 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) as an epoxy resin component, 68.3 parts by weight of Kayahard NHN (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as an epoxy resin curing agent, and thermoplastic resin 67.3 parts by weight of SUMIKAEXCEL 5003P (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was dissolved in the MEK solution. Admafine S, a silica filler, is added to this solution.
47.1 parts by weight of O-C1 (manufactured by Admatechs) and 0.24 parts by weight of a curing catalyst, 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), were dispersed by a kneading roll, and then stirred and dispersed. Defoaming was performed to prepare a varnish of an insulating resin for a printed wiring board. This varnish is coated with a 30 μm thick PE
It was applied on a T support base film by a roll coater so that the thickness after drying became 50 μm, and dried at 80 to 100 ° C. for 10 minutes. Further, after the resin surface having no supporting base film was subjected to oxygen plasma treatment, a PET protective film which had been subjected to oxygen plasma treatment in advance was bonded to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0035】(b)実施例1の(b)と同様にしてラミ
ネート、導体層の形成を行った。ラミネートの条件は連
続式を用いて温度100℃、圧力4kgf/cm2 、速
度30cm/分で気圧10mmHg以下で行った。
(B) Lamination and formation of a conductor layer were performed in the same manner as in (b) of Example 1. Laminating conditions were performed using a continuous method at a temperature of 100 ° C., a pressure of 4 kgf / cm 2 , a speed of 30 cm / min, and a pressure of 10 mmHg or less.

【0036】[実施例4] (a)エポキシ樹脂成分としてVG3101M80(三
井化学社製)100重量部、エポキシ樹脂硬化剤として
カヤハードNHN(日本化薬社製)68.3重量部、熱
可塑性樹脂としてスミカエクセル 5003P(住友化
学工業社製)67.3重量部をMEK溶液に溶解させ
た。この溶液に樹脂フィラーであるトスパール105
(東芝シリコーン社製)23.6重量部、硬化触媒であ
る2−エチル−4−メチルイミダゾール(東京化成工業
社製)0.24重量部を練り込みロールで分散させた後
に攪拌及び脱泡し、プリント配線板用絶縁樹脂のワニス
を作成した。このワニスを厚さ30μmのPETの支持
ベースフィルム上に乾燥後の厚みが50μmとなるよう
にロールコーターにて塗布、80〜100℃で10分間
乾燥させた。さらに、支持ベースフィルムの無い樹脂面
を酸素プラズマ処理した後、あらかじめ酸素プラズマ処
理したPETの保護フィルムを貼り合わせてプリント配
線板用層間絶縁材フィルムを得た。
Example 4 (a) 100 parts by weight of VG3101M80 (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) as an epoxy resin component, 68.3 parts by weight of Kayahard NHN (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) as an epoxy resin curing agent, and thermoplastic resin 67.3 parts by weight of SUMIKAEXCEL 5003P (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was dissolved in the MEK solution. To this solution, Tospearl 105 as a resin filler was added.
23.6 parts by weight (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) and 0.24 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) as a curing catalyst were dispersed by a kneading roll, followed by stirring and defoaming. Then, a varnish of an insulating resin for a printed wiring board was prepared. The varnish was applied on a 30 μm-thick PET support base film using a roll coater so that the thickness after drying became 50 μm, and dried at 80 to 100 ° C. for 10 minutes. Furthermore, after the resin surface without the supporting base film was subjected to oxygen plasma treatment, a PET protective film previously subjected to oxygen plasma treatment was bonded to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0037】(b)実施例1の(b)と同様にしてラミ
ネート、導体層の形成を行った。ラミネートの条件は連
続式を用いて温度100℃、圧力3kgf/cm2 、速
度30cm/分で気圧20mmHg以下で行った。
(B) Lamination and formation of a conductor layer were performed in the same manner as in (b) of Example 1. The laminating conditions were a continuous method using a temperature of 100 ° C., a pressure of 3 kgf / cm 2 , a speed of 30 cm / min, and a pressure of 20 mmHg or less.

【0038】[比較例1] (a)エポキシ樹脂成分としてEPPN−502H(日
本化薬社製)100重量部、エポキシ樹脂硬化剤として
フェノールノボラック(日本化薬社製)62.7重量
部、熱可塑性樹脂としてフェノトート YP−50(東
都化成社製)65.1重量部をシクロヘキサノンとDM
Fの混合溶媒に溶解させた。この溶液にシリカフィラー
であるアドマファインSO−C1(アドマテックス社
製)45.6重量部、硬化触媒である2−エチル−4−
メチルイミダゾール(東京化成工業社製)0.22重量
部を練り込みロールで分散させた後に攪拌及び脱泡し、
プリント配線板用絶縁樹脂のワニスを作成した。このワ
ニスを厚さ30μmのPETの支持ベースフィルム上に
乾燥後の厚みが50μmとなるようにロールコーターで
塗布し、80℃で10分間乾燥させた。さらに、支持ベ
ースフィルムの無い樹脂面にPETの保護フィルムを貼
りあわせてプリント配線板用層間絶縁材フィルムを得
た。
Comparative Example 1 (a) 100 parts by weight of EPPN-502H (Nippon Kayaku) as an epoxy resin component, 62.7 parts by weight of phenol novolak (Nippon Kayaku) as an epoxy resin curing agent, heat As a plastic resin, 65.1 parts by weight of phenotote YP-50 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) was added with cyclohexanone and DM.
F was dissolved in a mixed solvent. 45.6 parts by weight of Admafine SO-C1 (manufactured by Admatechs) as a silica filler and 2-ethyl-4- as a curing catalyst were added to this solution.
0.22 parts by weight of methyl imidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was kneaded and dispersed by a roll, followed by stirring and defoaming.
A varnish of insulating resin for printed wiring boards was prepared. The varnish was applied on a PET support base film having a thickness of 30 μm using a roll coater so that the thickness after drying became 50 μm, and dried at 80 ° C. for 10 minutes. Further, a PET protective film was bonded to the resin surface having no supporting base film to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0039】(b)このようにして得られた絶縁材フィ
ルムの保護フィルムを剥離して、ガラスエポキシ内層回
路基板に真空ラミネーターで両面同時にラミネートし
た。ラミネート条件は実施例1の(b)と同じ条件で行
った。室温付近にまで放冷した後支持ベースフィルムを
剥離した。180℃で2時間加熱して樹脂を硬化させ、
所定のφ0.10mmビアホール部にCO2 レーザーに
より穴開けを行った。ついで、過マンガン酸塩のアルカ
リ性酸化剤で絶縁樹脂層表面を粗化処理し、全面に無電
解及び/または電解めっきにより導体層を形成した後、
サブトラクティブ法に従って回路パターンの形成を行っ
た。以上の工程を2回繰り返すことによりビルドアップ
2層プリント配線板を得た。
(B) The protective film of the insulating film thus obtained was peeled off, and both surfaces were simultaneously laminated on a glass epoxy inner layer circuit board with a vacuum laminator. Laminating conditions were the same as those in Example 1 (b). After allowing to cool to around room temperature, the supporting base film was peeled off. Heat at 180 ° C for 2 hours to cure the resin,
A predetermined φ0.10 mm via hole was punched with a CO 2 laser. Then, the surface of the insulating resin layer is roughened with an alkaline oxidizing agent of permanganate to form a conductor layer by electroless and / or electrolytic plating over the entire surface.
A circuit pattern was formed according to a subtractive method. By repeating the above steps twice, a build-up two-layer printed wiring board was obtained.

【0040】[比較例2] (a)エポキシ樹脂としてEPPN−502H(日本化
薬社製)80重量部とエピコート828EL(油化シェ
ルエポキシ社製)20重量部、フェノールノボラック
(日本化薬社製)62.7重量部、熱可塑性樹脂として
フェノトート YP−50(東都化成社製)65.1重
量部をシクロヘキサノンとDMFの混合溶媒に溶解させ
た。この溶液に樹脂フィラーであるトスパール105
(東芝シリコーン社製)22.8重量部、硬化触媒であ
る2−エチル−4−メチルイミダゾール(東京化成工業
社製)0.22重量部を練り込みロールで分散させた後
に攪拌及び脱泡し、プリント配線板用絶縁樹脂のワニス
を作成した。このワニスを厚さ30μmのPETの支持
ベースフィルム上に乾燥後の厚みが50μmとなるよう
にロールコーターにて塗布、80〜100℃で10分間
乾燥させた。さらに支持ベースフィルムの無い樹脂面に
PETの保護フィルムを貼りあわせて、プリント配線板
用層間絶縁材フィルムを得た。
Comparative Example 2 (a) As an epoxy resin, 80 parts by weight of EPPN-502H (manufactured by Nippon Kayaku), 20 parts by weight of Epicoat 828EL (manufactured by Yuka Shell Epoxy), and phenol novolak (manufactured by Nippon Kayaku) 62.7 parts by weight, and 65.1 parts by weight of phenotote YP-50 (produced by Toto Kasei Co., Ltd.) as a thermoplastic resin were dissolved in a mixed solvent of cyclohexanone and DMF. To this solution, Tospearl 105 as a resin filler was added.
22.8 parts by weight (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) and 0.22 parts by weight of a curing catalyst, 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), were dispersed by a kneading roll, and then stirred and defoamed. Then, a varnish of an insulating resin for a printed wiring board was prepared. The varnish was applied on a 30 μm-thick PET support base film using a roll coater so that the thickness after drying became 50 μm, and dried at 80 to 100 ° C. for 10 minutes. Further, a PET protective film was bonded to the resin surface having no supporting base film to obtain an interlayer insulating film for a printed wiring board.

【0041】(b)このようにして得られた絶縁材フィ
ルムの保護フィルムを剥離して、ガラスエポキシ内層回
路基板に真空ラミネーターで両面同時にラミネートし
た。ラミネート条件は実施例2の(b)と同じ条件で行
った。室温付近にまで放冷した後支持ベースフィルムを
剥離した。180℃で2時間加熱して樹脂を硬化させ、
所定のφ0.10mmビアホール部にCO2 レーザーに
より穴開けを行った。ついで、過マンガン酸塩のアルカ
リ性酸化剤で絶縁樹脂層表面を粗化処理し、全面に無電
解及び/または電解めっきにより導体層を形成した後、
サブトラクティブ法に従って回路パターンの形成を行っ
た。以上の工程を2回繰り返すことによりビルドアップ
2層プリント配線板を得た。
(B) The protective film of the insulating film thus obtained was peeled off, and both surfaces were simultaneously laminated on a glass epoxy inner layer circuit board with a vacuum laminator. Lamination was performed under the same conditions as in Example 2 (b). After allowing to cool to around room temperature, the supporting base film was peeled off. Heat at 180 ° C for 2 hours to cure the resin,
A predetermined φ0.10 mm via hole was punched with a CO 2 laser. Then, the surface of the insulating resin layer is roughened with an alkaline oxidizing agent of permanganate to form a conductor layer by electroless and / or electrolytic plating over the entire surface.
A circuit pattern was formed according to a subtractive method. By repeating the above steps twice, a build-up two-layer printed wiring board was obtained.

【0042】上述のようにして製造されたプリント配線
板の銅めっき膜の密着強度、ラミネート時のビアホール
の埋め込み性、層間絶縁信頼性について評価した結果を
表に示す。銅めっき膜の密着強度はJIS−C6481
に基づき1cm幅のパターンの90度剥離試験によって
調べた。ビアホールの埋め込み性は断面の樹脂形状を観
察し、ホール内が樹脂で完全に埋め込まれている状態を
「良好」とし、それ以外を「不良」とした。層間絶縁信
頼性評価は、JIS−C5012規格に基づいて作成し
た試験片を、タバイエスペック株式会社製高度加速寿命
試験装置に121℃/85%の条件下で投入して5V・
100時間、続けて20V・100時間印加し、絶縁抵
抗の経時測定を行った。絶縁抵抗の測定及び解析は楠本
化成製絶縁劣化特性評価システムSIR11により行
い、抵抗値が106 Ω以下をマイグレーションとし、サ
ンプル8個全てがマイグレーションしなかった場合を
「良好」、一つでもマイグレーションした場合を「不
良」とした。
The results of evaluating the adhesion strength of the copper plating film of the printed wiring board manufactured as described above, the filling property of the via hole during lamination, and the reliability of interlayer insulation are shown in the table. The adhesion strength of the copper plating film is JIS-C6481
And a 90-degree peel test of a 1 cm wide pattern. Regarding the filling property of the via hole, the resin shape of the cross section was observed, and the state in which the inside of the hole was completely filled with the resin was defined as “good”, and the other state was defined as “bad”. Interlayer insulation reliability evaluation was performed by feeding a test piece prepared based on the JIS-C5012 standard to an advanced accelerated life tester manufactured by Tabai Espec Co., Ltd. under the conditions of 121 ° C./85% and 5 V ·
The voltage was applied for 100 hours and subsequently at 20 V for 100 hours, and the insulation resistance was measured over time. The measurement and analysis of the insulation resistance were performed by Kusumoto Kasei's insulation deterioration characteristic evaluation system SIR11. The migration was performed when the resistance value was 10 6 Ω or less. The case was regarded as "poor".

【0043】[0043]

【表1】 [Table 1]

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明によれば、プリント配線板用層間
絶縁材フィルムのラミネート時により可とう性の高い、
支持ベースフィルム側で接着を行うことで、優れたビア
ホールの埋め込み性を示し、絶縁信頼性に優れた多層プ
リント配線板を提供できる。また、強固な保護フィルム
側の絶縁樹脂層を粗化及びめっき処理することにより、
銅めっき膜のピール強度も向上する。
According to the present invention, according to the present invention, the lamination of an interlayer insulating film for a printed wiring board is more flexible.
By bonding on the supporting base film side, it is possible to provide a multilayer printed wiring board which exhibits excellent via hole filling properties and excellent insulation reliability. Also, by roughening and plating the insulating resin layer on the strong protective film side,
The peel strength of the copper plating film is also improved.

【0045】[0045]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来のプリント配線板用層間絶縁材フィルムを
内層回路基板へラミネートする方法を示している。まず
(a)で絶縁材フィルムの保護フィルムを剥がし、
(b)で内層回路基板に両面同時にラミネートしてい
る。
FIG. 1 shows a method of laminating a conventional interlayer insulating film for a printed wiring board to an inner circuit board. First, in (a), the protective film of the insulating film is peeled off,
In (b), both sides are simultaneously laminated on the inner circuit board.

【図2】本発明におけるプリント配線板用絶縁材フィル
ムを内層回路基板にラミネートする方法を示している。
まず(a)で絶縁材フィルムの支持ベースフィルムを剥
がし、(b)で内層回路基板に両面同時にラミネートし
ている。
FIG. 2 shows a method of laminating an insulating film for a printed wiring board on an inner circuit board according to the present invention.
First, the supporting base film of the insulating film is peeled off in (a), and both surfaces are simultaneously laminated on the inner circuit board in (b).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 保護フィルム 2 常温固形の絶縁樹脂層 3 支持ベースフィルム 4 内層回路基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Protective film 2 Room temperature solid insulating resin layer 3 Support base film 4 Inner circuit board

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 71/12 C08L 71/12 79/08 79/08 B 81/06 81/06 Fターム(参考) 4F073 AA01 BA22 BA24 BB01 CA01 CA21 4J002 AA021 CC042 CC164 CC184 CC194 CD004 CD021 CD041 CD051 CD061 CD071 CD141 CF004 CH083 CM043 CN033 DE137 DE147 DJ017 EL136 EN028 EN076 EN138 ET006 EU118 EW148 EY018 FA014 FD014 FD017 FD142 FD146 FD158 GQ01 5E346 AA12 AA43 CC04 CC09 CC31 DD23 DD24 DD25 DD32 EE02 EE07 EE14 EE18 FF04 FF13 FF14 FF15 GG15 GG17 GG27 GG28 HH11 HH40 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) C08L 71/12 C08L 71/12 79/08 79/08 B 81/06 81/06 F term (reference) 4F073 AA01 BA22 BA24 BB01 CA01 CA21 4J002 AA021 CC042 CC164 CC184 CC194 CD004 CD021 CD041 CD051 CD061 CD071 CD141 CF004 CH083 CM043 CN033 DE137 DE147 DJ017 EL136 EN028 EN076 EN138 ET006 EU118 EW148 EY018 FA014 FD014 FD017 FD142 AFD12 A12 CC04 DD12A12 DD04 A12 CC EE14 EE18 FF04 FF13 FF14 FF15 GG15 GG17 GG27 GG28 HH11 HH40

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも支持ベースフィルムとその表面
に積層された常温固形の絶縁樹脂層及び保護フィルムか
らなるプリント配線板用層間絶縁材フィルムであって、
ラミネート時に支持ベースフィルムを剥離可能に設けた
ことを特徴とするプリント配線板用層間絶縁材フィル
ム。
1. An interlayer insulating film for a printed wiring board, comprising at least a supporting base film and a room temperature solid insulating resin layer and a protective film laminated on the surface thereof,
An interlayer insulating film for a printed wiring board, wherein a supporting base film is provided so as to be peelable during lamination.
【請求項2】前記常温固形の絶縁樹脂層が熱硬化性樹
脂、硬化剤、無機または有機フィラーを含むことを特徴
とする請求項1に記載のプリント配線板用層間絶縁材フ
ィルム。
2. The interlayer insulating film for a printed wiring board according to claim 1, wherein the normal temperature solid insulating resin layer contains a thermosetting resin, a curing agent, and an inorganic or organic filler.
【請求項3】前記熱硬化性樹脂が多官能エポキシ樹脂、
前記硬化剤がエポキシ樹脂硬化剤であることを特徴とす
る請求項1及び2記載のプリント配線板用層間絶縁材フ
ィルム。
3. The thermosetting resin is a polyfunctional epoxy resin,
3. The interlayer insulating film for a printed wiring board according to claim 1, wherein the curing agent is an epoxy resin curing agent.
【請求項4】常温固形の絶縁樹脂層にポリエーテルスル
ホン、フェノキシ樹脂、ポリイミド等のうち少なくとも
一種類の熱可塑性樹脂を含むことを特徴とする請求項1
〜3に記載のプリント配線板用層間絶縁材フィルム。
4. The method according to claim 1, wherein the insulating resin layer which is solid at room temperature contains at least one kind of thermoplastic resin such as polyether sulfone, phenoxy resin and polyimide.
4. The interlayer insulating film for a printed wiring board according to any one of items 1 to 3.
【請求項5】前記プリント配線板用層間絶縁材フィルム
において保護フィルム及び保護フィルムを張り合わせる
側の樹脂表面をコロナ処理、あるいはプラズマ処理する
ことを特徴とする請求項1〜4に記載のプリント配線板
用層間絶縁材フィルム。
5. The printed wiring according to claim 1, wherein the protective film and the resin surface on the side where the protective film is bonded are subjected to corona treatment or plasma treatment in the interlayer insulating film for a printed wiring board. Interlayer insulating film for board.
【請求項6】請求項1〜5に記載のプリント配線板用層
間絶縁材フィルムのし自体ベースフィルムを剥離面を内
層回路基板に積層一体化したことを特徴とする多層プリ
ント配線板。
6. A multilayer printed wiring board, wherein the base film itself of the interlayer insulating film for a printed wiring board according to claim 1 is laminated and integrated with an inner circuit board.
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