JP2002251856A - Head loading mechanism of inspection device - Google Patents

Head loading mechanism of inspection device

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JP2002251856A
JP2002251856A JP2001044889A JP2001044889A JP2002251856A JP 2002251856 A JP2002251856 A JP 2002251856A JP 2001044889 A JP2001044889 A JP 2001044889A JP 2001044889 A JP2001044889 A JP 2001044889A JP 2002251856 A JP2002251856 A JP 2002251856A
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JP
Japan
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head
head assembly
magnetic disk
magnetic
gimbal bar
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Application number
JP2001044889A
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Japanese (ja)
Inventor
Sumio Tajima
澄雄 田島
Teruaki Tokutomi
照明 徳冨
Akiyoshi Shibuya
明義 渋谷
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head loading mechanism of an inspection device, which can efficiently load and unload a ramped loading system magnetic head. SOLUTION: The head loading mechanism is provided with a head assembly in which a projecting portion for ramped loading is formed at a tip part, a radial direction moving mechanism which moves the head assembly in the radial direction of a magnetic disk mounted on the inspection device, a vertical moving mechanism or rotating mechanism which moves a gimbals bar provided between the radial direction moving mechanism and a clamp part to clamp the base part of the gimbals bar in a vertical direction, and a stop plate which is fixed to the clamp part to stop the descent of the head assembly by bringing a tip part in contact with the rear surface of the projecting portion energized downward by elasticity at the ascending stage of the head assembly, The tip part of the stop plate is positioned between the rear surface of the projecting portion and the surface of the magnetic disk by floating from the surface of the magnetic disk of the magnetic head at the descending stage of the head assembly into which the magnetic head is loaded.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、検査装置のヘッ
ドローディング機構に関し、詳しくは磁気ディスクまた
は磁気ヘッドの検査装置において、ランプロード方式の
磁気ヘッドを効率よく、ロード・アンロード可能な検査
装置のヘッドローディング機構に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a head loading mechanism of an inspection apparatus, and more particularly, to an inspection apparatus for a magnetic disk or a magnetic head, which is capable of efficiently loading and unloading a ramp load type magnetic head. It relates to a head loading mechanism.

【0002】[0002]

【従来の技術】情報記録媒体として多用されている磁気
ディスクと、データの読み書きを行う磁気ヘッド、磁気
ディスクは製造段階で検査装置により精密な性能検査が
行われる。一方、実用機の磁気ディスク装置(HDD)
の磁気ヘッドのキャリッジ方法として、リニア方式とイ
ンライン方式(またはロータリー方式)の2つがあっ
て、それぞれに対応したヘッドアッセンブリとキャリッ
ジ機構が使用されている。そこで、磁気ディスクまたは
磁気ヘッドの検査装置にあっては、ヘッドアッセンブリ
の形式に従って半径方向移動機構または回転機構による
ドライバを検査装置に設けて、これに磁気ディスクを装
着してリニア方式とインライン方式それぞれに応じての
検査が行われている。
2. Description of the Related Art A magnetic disk, which is frequently used as an information recording medium, a magnetic head for reading and writing data, and a magnetic disk are subjected to precise performance inspection by an inspection apparatus at a manufacturing stage. On the other hand, magnetic disk drives (HDD)
There are two types of carriage methods for magnetic heads: a linear method and an in-line method (or a rotary method), and a head assembly and a carriage mechanism corresponding to each method are used. Therefore, in the inspection apparatus for the magnetic disk or the magnetic head, a driver by a radial moving mechanism or a rotation mechanism is provided in the inspection apparatus according to the type of the head assembly, and the magnetic disk is mounted on the inspection apparatus, and the linear system and the in-line system are respectively installed. Inspections are being conducted according to

【0003】ところで、近年、磁気ディスクの小型化、
高密度化が急速に実現され、また磁気ヘッドは小型軽量
のGMR薄膜ヘッド等が使用され、これに適するヘッド
アッセンブリが製作されている。この種の磁気ディスク
装置では、磁気ディスクの表面に対するジンバルバーの
基部の高さが極端に小さくなり、これに対応して、図5
(a) に示すように、検査装置では、例えば、ジンバルバ
ーの基部の高さが0.7mm程度の小さいヘッドアッセ
ンブリに対して、下側にストッププレート5を設けて、
アンロード時のヘッドアッセンブリ2を保持し、磁気ヘ
ッド21のロード時は、ΔZ’分ロード機構が降下し、
このときに、図5(b) に示すように、磁気ヘッドスライ
ダ21aが磁気ディスク1の表面にコンタクトした状態
において、ストッププレート5の先端とジンバルバー2
2の下面との間を微小間隙δzに保持するようにしたヘ
ッドローディング機構を使用している。これについて
は、特願平2−166081号(特許第2934288
号)としてこの出願人により出願されている。
In recent years, the size of magnetic disks has been reduced,
High density is rapidly realized, and a small and lightweight GMR thin film head or the like is used as a magnetic head, and a head assembly suitable for this is manufactured. In this type of magnetic disk drive, the height of the base of the gimbal bar with respect to the surface of the magnetic disk becomes extremely small.
As shown in (a), in the inspection device, for example, a stop plate 5 is provided on the lower side of a small head assembly in which the height of the base of the gimbal bar is about 0.7 mm,
Holds the head assembly 2 during unloading, and when loading the magnetic head 21, the loading mechanism descends by ΔZ ′,
At this time, when the magnetic head slider 21a is in contact with the surface of the magnetic disk 1 as shown in FIG.
A head loading mechanism is used in which a small gap δz is maintained between the head and the lower surface of the head 2. Regarding this, Japanese Patent Application No. Hei 2-166081 (Patent No. 2934288)
No.) has been filed by this applicant.

【0004】なお、22は、ジンバルバーであり、3
は、ジンバルバー22の基部をクランプするクランプ
部、4は、磁気ディスク1の半径Rの方向に直線移動し
てトラックをシークする半径方向移動機構(ヘッドキャ
リッジ)である。また、6は、半径方向移動機構4に取
り付けられている上下移動機構であり、クランプ部3
は、この上下移動機構6を介して半径方向移動機構4に
取り付けられている。
Reference numeral 22 denotes a gimbal bar.
Is a radial moving mechanism (head carriage) that linearly moves in the direction of the radius R of the magnetic disk 1 and seeks a track, and a clamp unit 4 that clamps the base of the gimbal bar 22. Reference numeral 6 denotes a vertical moving mechanism attached to the radial moving mechanism 4, and the clamp unit 3
Is attached to the radial moving mechanism 4 via the vertical moving mechanism 6.

【0005】さて、最近においては、高密度化が進み、
数十ギガオーダのHDDが主流となってきている。そし
て、ヘッドロード機構も改善され、コンタクト・スター
ト・ストップ(CSS)方式に代わって、図6(a) に示
すよに、HDD装置停止時、あるいは非アクセス時に、
磁気ヘッド51(ヘッドアッセンブリ54)を磁気ディ
スク52の外周の外側に設けたランプ(傾斜面出入りの
台)53に保持するランプロード方式のヘッドロード機
構50が主流となってきている。この種のヘッドアッセ
ンブリ54は、磁気ヘッド51がローディングされてい
るときには、磁気ディスク1の表面とスライダの距離が
さらに小さくなり、浮上状態でもディスク1とスライダ
面との間隔が0.2mm程度しかない。そして、ジンバ
ルバーもほぼ水平方向に張り出していて、これとディス
ク表面との間隔も0.5mm程度のものである。
[0005] Recently, the density has been increasing,
HDDs of the order of tens of gigabytes have become mainstream. The head loading mechanism has also been improved, and instead of the contact start / stop (CSS) method, as shown in FIG.
A head loading mechanism 50 of a ramp loading type, in which a magnetic head 51 (head assembly 54) is held by a ramp (table on an inclined surface) 53 provided outside the outer periphery of a magnetic disk 52, has become mainstream. In the head assembly 54 of this type, when the magnetic head 51 is loaded, the distance between the surface of the magnetic disk 1 and the slider is further reduced, and the distance between the disk 1 and the slider surface is only about 0.2 mm even in a floating state. . The gimbal bar also extends substantially horizontally, and the gap between the gimbal bar and the disk surface is about 0.5 mm.

【0006】このランプロード方式では、図6(b) に示
すように、ヘッドアッセンブリ54は、傾斜面に摺動接
触するロードビームランプ部と呼ばれる突出部55aが
ジンバルバー55の先端に形成されていて、ヘッドアッ
センブリ54が回動して突出部55aがランプ53の傾
斜面を駆け上がることで、アンロード状態となる。ジン
バルバー55の後端の基部には、マウント55bが設け
られ、このマウント55bを介してヘッドキャリッジ5
6のクランプ部56aに固定される。
In this lamp loading method, as shown in FIG. 6B, the head assembly 54 has a projecting portion 55a called a load beam ramp portion which is slidably in contact with the inclined surface, formed at the tip of the gimbal bar 55. When the head assembly 54 rotates and the protruding portion 55a runs up the inclined surface of the ramp 53, the unloaded state is established. At the base of the rear end of the gimbal bar 55, a mount 55b is provided.
6 is fixed to the clamp portion 56a.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスク検査装
置、磁気ヘッドの検査装置において、このランプロード
方式のヘッドアッセンブリがアンロード時に、ストップ
プレートをジンバルバーの下側に設ける先の特願平2−
166081号の技術を適用してヘッドアッセンブリを
保持することはできても、ロード時には、ジンバルバー
とディスク表面との間隔が0.5mm程度のものとなる
ので、この先願の技術を適用することはできなくなって
きている。もっとも、ランプ53を検査装置に設けるの
は簡単であるが、それでは、ヘッドロード、アンロード
の都度摺動接触をさせなければならず、これにより発塵
することになる。その上、ロード、アンロード時間が長
くなり、検査効率が落ちる。しかも、検査装置にランプ
を設けるとワークハンドリング機構などの動作上におい
て邪魔になる危険性が高い。この発明の目的は、このよ
うな従来技術の問題点を解決するものであって、ランプ
ロード方式の磁気ヘッドを効率よく、ロード・アンロー
ド可能な検査装置のヘッドローディング機構を提供する
ことにある。
In a magnetic disk inspection apparatus and a magnetic head inspection apparatus, a stop plate is provided below a gimbal bar when the ramp load type head assembly is unloaded.
Although the head assembly can be held by applying the technology of No. 166081, the distance between the gimbal bar and the disk surface is about 0.5 mm at the time of loading, so the technology of the earlier application cannot be applied. It's gone. Of course, it is easy to provide the lamp 53 in the inspection device, but in that case, sliding contact must be made every time the head is loaded or unloaded, thereby generating dust. In addition, the loading and unloading times are longer, and the inspection efficiency is reduced. In addition, if the inspection apparatus is provided with a lamp, there is a high risk that the inspection apparatus will obstruct the operation of the work handling mechanism and the like. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a problem of the prior art, and to provide a head loading mechanism of an inspection apparatus capable of efficiently loading and unloading a ramp load type magnetic head. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明の検査装置のヘッドローディング機構
の特徴は、先端にランプロードのための突起部分が形成
された弾性を有するランプロード用のジンバルバーおよ
びこのジンバルバーの先端側に固定された磁気ヘッドと
よりなるヘッドアッセンブリと、検査装置に装着された
磁気ディスクの半径方向にヘッドアッセンブリを移動す
る半径方向移動機構と、半径方向移動機構とジンバルバ
ーの基部をクランプするクランプ部との間に介在して設
けられたジンバルバーを上下方向に移動する上下移動機
構または回転機構と、上下移動機構または回転機構によ
る、ヘッドアッセンブリの上昇時に弾性により下方に付
勢された突起部分の裏面に先端部が接触してヘッドアッ
センブリの降下を阻止し、磁気ヘッドがロードされたヘ
ッドアッセンブリの降下時に磁気ヘッドの磁気ディスク
の面からの浮上により突起部分の裏面と磁気ディスクの
面との間に先端部が位置付けられ、クランプ部に固定さ
れたストッププレートとを備えるものである。
A feature of the head loading mechanism of the inspection apparatus according to the present invention for achieving the above object is that the head loading mechanism for an elastic lamp load having a protruding portion formed at its tip for the lamp load. A gimbal bar and a magnetic head fixed to the distal end of the gimbal bar, a radial moving mechanism for moving the head assembly in a radial direction of a magnetic disk mounted on the inspection device, a radial moving mechanism and a gimbal bar A vertical movement mechanism or a rotation mechanism that moves the gimbal bar vertically provided between the clamp part that clamps the base of the head assembly and a vertical movement mechanism or a rotation mechanism. The tip comes into contact with the back side of the urged projection, and the head assembly descends. When the head assembly on which the magnetic head was loaded was lowered, the tip of the magnetic head was positioned between the back surface of the protrusion and the surface of the magnetic disk by floating from the surface of the magnetic disk, and was fixed to the clamp portion. And a stop plate.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以上の構成による検査装置のヘッ
ドローディング機構にあっては、クランプ部に固定され
たストッププレートの先端部は、上下移動機構または回
転機構により、ヘッドアッセンブリが上昇しているアン
ロード状態のときは、弾性により下方に付勢されたジン
バルバーの突起部分の下面に接触してその降下が阻止さ
れるので、磁気ヘッドが一定の高さに維持される。ディ
スクが回転して、上下移動機構または回転機構を動作し
てヘッドアッセンブリを下降して磁気ヘッドがローディ
ングされると、磁気ヘッドがディスク面からわずか浮上
して、ジンバルバーは、弾性に抗して上方に屈曲してス
トッププレートの先端がジンバルバーの下面より離れ、
回転する磁気ディスクのエアの粘性による磁気ヘッドの
浮上力とジンバルバーの弾性力のバランスした位置にジ
ンバルバーの突起部分が位置付けられて、ストッププレ
ートの先端部が磁気ディスクの面と突起部分との間に維
持される。なお、以上のストッププレートは、0.1m
m〜0.2mm程度の薄い板により、十分な強度を有
し、製作することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the head loading mechanism of the inspection apparatus having the above-described configuration, the head assembly at the tip of the stop plate fixed to the clamp is raised by a vertical movement mechanism or a rotation mechanism. In the unloaded state, the magnetic head is maintained at a fixed height because the lower surface of the gimbal bar is pressed downward by elasticity and comes into contact with the lower surface of the protrusion to prevent the gimbal bar from descending. When the disk is rotated and the magnetic head is loaded by moving the up / down moving mechanism or rotating mechanism to lower the head assembly, the magnetic head slightly floats from the disk surface and the gimbal bar moves upward against the elasticity. And the tip of the stop plate separates from the lower surface of the gimbal bar,
The protrusion of the gimbal bar is positioned at a position where the floating force of the magnetic head due to the viscosity of the air of the rotating magnetic disk and the elastic force of the gimbal bar are balanced, and the tip of the stop plate is located between the surface of the magnetic disk and the protrusion. Will be maintained. The above stop plate is 0.1m
A thin plate of about m to 0.2 mm has sufficient strength and can be manufactured.

【0010】さらに具体的には、前記のストッププレー
トは、その先端部がセラミックスあるいはセラミックス
がコーティングされた部材とされ、クランク状に屈曲し
た支持プレート部分により先端部が支持され、この支持
プレートの後端部がクランプ部にクランプされ、リニア
方式のヘッドアッセンブリに対しては、ジンバルバーが
磁気ディスクの半径方向に一致する方向とされて、イン
ライン方式のヘッドアッセンブリに対しては、ジンバル
バーが適当な屈曲した接続プレートを介して接続され、
磁気ディスクの円周方向に一致する方向とされてクラン
プされるものである。なお、この場合、ヘッドローディ
ング機構の各部は、リニア方式、インライン方式におい
て、接続プレートを除いて両者は実質的に同一な構成と
なるので、接続プレートを付加することにより、リニア
方式をインライン方式に変更して共通使用できるもので
ある。
More specifically, the stop plate has a tip portion made of ceramics or a member coated with ceramics, and a tip portion is supported by a crank-shaped support plate portion. The end is clamped to the clamp portion, the gimbal bar is oriented in the direction corresponding to the radial direction of the magnetic disk for the linear type head assembly, and the gimbal bar is appropriately bent for the in-line type head assembly. Connected via a connection plate,
The magnetic disk is clamped in a direction coinciding with the circumferential direction of the magnetic disk. In this case, each part of the head loading mechanism is substantially the same in the linear system and in-line system except for the connection plate in the linear system and the in-line system. It can be changed and commonly used.

【0011】[0011]

【実施例】図1(a) 〜(d) は、この発明による検査装置
のヘッドローディング機構の実施例の構造を示す。な
お、図5,図6と同一の構成要素は同一の符号で示し、
それらの説明を割愛する。図(a) において、ランプロー
ド用のリニア方式のヘッドアッセンブリ54は、クラン
プ部3にクランプされ、クランプ部3は、上下移動機構
6を介して半径方向移動機構(ヘッドキャリッジ)4に
取り付けられる。クランプ部3の先端側にクランク状の
ストッププレート7が固定され、その先端部7aが弾性
により下方に付勢されているランプロード方式のジンバ
ルバー55の突起部分(角部分)55aの下面に接触し
てジンバルバー55の降下を阻止し、アンロード状態で
磁気ヘッド51の下面のスライダー面を磁気ディスク1
の表面よりΔZ(数mm程度)だけ高く維持する。
1A to 1D show the structure of an embodiment of a head loading mechanism of an inspection apparatus according to the present invention. The same components as those in FIGS. 5 and 6 are denoted by the same reference numerals,
I omit those explanations. In FIG. 1A, a linear head assembly 54 for ramp loading is clamped by a clamp unit 3, and the clamp unit 3 is attached to a radial moving mechanism (head carriage) 4 via a vertical moving mechanism 6. A crank-shaped stop plate 7 is fixed to the distal end side of the clamp portion 3, and the distal end portion 7a comes into contact with the lower surface of a projection portion (corner portion) 55a of a ramp-load type gimbal bar 55 that is urged downward by elasticity. The gimbal bar 55 is prevented from descending, and the slider surface on the lower surface of the magnetic head 51 is
Is maintained higher than the surface by ΔZ (about several mm).

【0012】この場合、ジンバルバー55は、クランプ
部3に固定さることで、アンロード状態では、クランプ
部3から磁気ディスク1の面に対して水平より数度の微
小な俯角で傾斜して支持される。そして、ストッププレ
ート7は、クランプ部3から磁気ディスク1の面にほぼ
平行に水平に支持され、ジンバルバー55の突起部分5
5aの先端部分を越えた位置で垂直方向にクランク状に
曲折して、その先端側が突起部分55aの下面に接触す
る位置まで延び、そこでさらに先端部7aが水平方向で
戻る方向に突起部分55aとほぼ平行になるように曲折
して延びている。このストッププレート7は、幅が0.
3mm〜0.8mm程度で、0.1mm〜0.2mm程
度の薄い板により、十分な強度を有し、製作することが
できる。なお、図1(a),(b)において、左上部に○枠で
示す部分は、ストッププレート7の先端部7aと突起部
分55aとの接触状態を示す先端側の部分拡大図であ
る。
In this case, the gimbal bar 55 is fixed to the clamp portion 3 so that, in the unloaded state, the gimbal bar 55 is supported by being inclined from the clamp portion 3 at a slight depression angle of a few degrees from the horizontal with respect to the surface of the magnetic disk 1. You. The stop plate 7 is horizontally supported from the clamp 3 in a direction substantially parallel to the surface of the magnetic disk 1, and the protrusion 5 of the gimbal bar 55 is provided.
5a, it is bent vertically in a crank shape at a position beyond the distal end portion, extends to a position where the distal end side contacts the lower surface of the projection portion 55a, and further the projection portion 55a moves in a direction in which the distal end portion 7a returns in the horizontal direction. It is bent and extended so as to be almost parallel. This stop plate 7 has a width of 0.
A thin plate having a thickness of about 3 mm to 0.8 mm and a thickness of about 0.1 mm to 0.2 mm has sufficient strength and can be manufactured. 1 (a) and 1 (b), the portion indicated by a circle at the upper left is a partially enlarged view of the tip side showing the contact state between the tip 7a of the stop plate 7 and the projection 55a.

【0013】半径方向移動機構4により磁気ヘッド51
が磁気ディスク1の半径Rの方向に移動し、磁気ディス
ク1が回転して磁気ヘッドがローディングされと、図
(b) のように、上下移動機構6がΔZ′(>ΔZ)分下
降する。このとき、磁気ヘッド51のスライダー面が磁
気ディスク1の表面よりΔh(≒0.2mm程度)浮上
して、その押圧によりジンバルバー55が上方に屈曲し
てストッププレート7の先端がジンバルバーの下面から
0.2mm程度離れ、ジンバルバー55(その突起部分
55a)は自身の弾性力と浮上力とのバランスした位置
となる(部分拡大図参照)。ストッププレート7として
強度が十分な薄板を使用すれば、非常に小さい場合であ
ってもストッププレート7がジンバルバー55の上側に
沿って配置されているので、取り付け固定可能であり、
磁気ディスク1などに接触するおそれはない。次に、図
(c) はヘッドアッセンブリを上下移動するために、クラ
ンプ部3と半径方向移動機構4の間に回転機構8を設け
た場合を示す。図(d) のように、回転機構8をΔθ回転
してストッパ81で停止すると磁気ヘッド51が下降し
て上記と同様の浮上動作が行われる。
The magnetic head 51 is moved by the radial moving mechanism 4.
Moves in the direction of the radius R of the magnetic disk 1 and the magnetic disk 1 rotates to load the magnetic head.
As shown in (b), the vertical movement mechanism 6 descends by ΔZ ′ (> ΔZ). At this time, the slider surface of the magnetic head 51 flies by Δh (≒ 0.2 mm) from the surface of the magnetic disk 1, and the gimbal bar 55 is bent upward by the pressing, and the tip of the stop plate 7 is moved from the lower surface of the gimbal bar by 0 °. The gimbal bar 55 (its protruding portion 55a) is located at a position where its own elastic force and levitation force are balanced (see a partially enlarged view). If a thin plate having sufficient strength is used as the stop plate 7, the stop plate 7 is arranged along the upper side of the gimbal bar 55 even in a very small case.
There is no possibility of contact with the magnetic disk 1 or the like. Then figure
(c) shows a case where a rotating mechanism 8 is provided between the clamp unit 3 and the radial moving mechanism 4 in order to move the head assembly up and down. As shown in FIG. 4D, when the rotation mechanism 8 is rotated by .DELTA..theta. And stopped by the stopper 81, the magnetic head 51 is lowered and the same floating operation as described above is performed.

【0014】図2は、ストッププレート7の他の支持機
構の部分拡大図である。図2においては、ストッププレ
ート7は、その基部が図1のジンバルバー55と同様に
クランプ部3の下面に取り付けられていて、横に張り出
して水平方向にクランクし、ジンバルバー55とほぼ平
行に延び、突起部分55aの下面に接触する先端部7a
は、セラミックス7bがコーティングされている支持板
7cで形成され、これが水平プレート部7dの先端に固
定されている。これにより接触摩耗による発塵を防止で
きる。なお、この場合、先端部7a全体をセラミックス
としてもよいことはもちろんである。
FIG. 2 is a partially enlarged view of another supporting mechanism of the stop plate 7. In FIG. 2, the base of the stop plate 7 is attached to the lower surface of the clamp part 3 similarly to the gimbal bar 55 of FIG. 1, extends laterally, cranks in the horizontal direction, and extends substantially parallel to the gimbal bar 55. Tip 7a that contacts the lower surface of projection 55a
Is formed of a support plate 7c coated with ceramics 7b, which is fixed to the tip of a horizontal plate portion 7d. Thereby, dust generation due to contact abrasion can be prevented. In this case, it is a matter of course that the entire tip portion 7a may be made of ceramics.

【0015】図3(a),(b)は、上記のヘッドローディン
グ機構をリニア方式とインライン方式のドライバに適用
した斜視外観図を示すもので、図(a) はジンバルバー5
5を磁気ディスクの半径Rの方向とするリニア方式の場
合で、ヘッドアッセンブリ54に対して上下移動機構6
を使用したものであり、その動作は図1(a),(b) によ
る。図(b) は回転機構8を示し、駆動アーム82を適当
な駆動機構によりΔθ回転すれば回転部8が回転して磁
気ヘッドが下降する。図4は、インライン方式のヘッド
アッセンブリ2′に対する場合で、この場合はヘッドア
ッセンブリ54aは磁気ディスクの円周方向に置かれ、
クランプ部3は図示の形状の接続プレート9により上下
移動機構6に固定され、半径方向移動機構4が半径Rの
方向に移動することにより、磁気ヘッド51はインライ
ンのシークを行う。なお、図示を省略するが、この場合
においても図1(c)の回転機構8を使用することができ
る。以上において、図3(a) のリニア方式に対して、接
続プレート9を付加すれば図4のインライン方式に変更
され、ドライバを両者に兼用することができる。
FIGS. 3 (a) and 3 (b) show perspective external views in which the above-described head loading mechanism is applied to a linear type and an in-line type driver. FIG.
5 is a direction of the radius R of the magnetic disk, and a vertical moving mechanism 6
The operation is shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b). FIG. 2B shows the rotation mechanism 8. When the drive arm 82 is rotated by .DELTA..theta. By an appropriate drive mechanism, the rotation unit 8 rotates and the magnetic head descends. FIG. 4 shows a case of an in-line type head assembly 2 '. In this case, the head assembly 54a is placed in the circumferential direction of the magnetic disk,
The clamp unit 3 is fixed to the vertical movement mechanism 6 by a connection plate 9 having the illustrated shape, and the magnetic head 51 performs inline seek by moving the radial movement mechanism 4 in the direction of the radius R. Although not shown, the rotation mechanism 8 of FIG. 1C can be used in this case as well. In the above, if the connection plate 9 is added to the linear system of FIG. 3A, the system is changed to the in-line system of FIG. 4, and the driver can be used for both.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上の説明により明らかなように、この
発明による検査装置のヘッドローディング機構にあって
は、クランプ部に固定されたストッププレートの先端部
は、上下移動機構または回転機構により、ヘッドアッセ
ンブリが上昇しているアンロード状態のときは、弾性に
より下方に付勢されたジンバルバーの突起部分の下面に
接触してその降下が阻止されるので、磁気ヘッドが一定
の高さに維持される。ディスクが回転して、上下移動機
構または回転機構を動作してヘッドアッセンブリを下降
して磁気ヘッドがローディングされると、磁気ヘッドが
ディスク面からわずか浮上して、ジンバルバーは、弾性
に抗して上方に屈曲してストッププレートの先端がジン
バルバーの下面より離れ、回転する磁気ディスクのエア
の粘性による磁気ヘッドの浮上力とジンバルバーの弾性
力のバランスした位置にジンバルバーの突起部分が位置
付けられて、ストッププレートの先端部が磁気ディスク
の面と突起部分との間に維持される。その結果、ランプ
ロード方式の磁気ヘッドをランプに摺動させなくても済
み、ロード・アンロードに時間がかからず、効率よく、
ロード・アンロードをすることができる。
As is apparent from the above description, in the head loading mechanism of the inspection apparatus according to the present invention, the tip of the stop plate fixed to the clamp portion is moved by the vertical movement mechanism or the rotation mechanism. When the assembly is in the unloading state, the magnetic head is maintained at a certain height because the lower part of the gimbal bar is urged downward by elasticity to contact the lower surface of the protrusion and prevent the lowering. . When the disk is rotated and the magnetic head is loaded by moving the up / down moving mechanism or rotating mechanism to lower the head assembly, the magnetic head slightly floats from the disk surface and the gimbal bar moves upward against the elasticity. And the tip of the stop plate is separated from the lower surface of the gimbal bar, and the protrusion of the gimbal bar is positioned at a position where the floating force of the magnetic head due to the viscosity of the air of the rotating magnetic disk and the elastic force of the gimbal bar are balanced. Is maintained between the surface of the magnetic disk and the projection. As a result, it is not necessary to slide the ramp-load type magnetic head on the ramp, so that loading / unloading does not take much time,
Can be loaded and unloaded.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、この発明による検査装置のヘッドロー
ディング機構の実施例における構造断面図であって、
(a)は、アンロード状体の説明図、(b)は、ロード状体の
説明図、そして(c) および(d)は、ヘッドアッセンブリ
を上下移動するための移動機構の説明図である。
FIG. 1 is a structural sectional view of an embodiment of a head loading mechanism of an inspection device according to the present invention,
(a) is an explanatory view of an unload-like body, (b) is an explanatory view of a load-like body, and (c) and (d) are explanatory views of a moving mechanism for vertically moving a head assembly. .

【図2】図2は、この発明による検査装置のヘッドロー
ディング機構の実施例におけるヘッドアッセンブリの他
の支持構造断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of another supporting structure of the head assembly in the embodiment of the head loading mechanism of the inspection apparatus according to the present invention.

【図3】図3は、この発明による検査装置のヘッドロー
ディング機構の実施例の斜視外観図であって、(a)は、
ヘッドロード・アンロードを行う上下移動機構の説明
図、(b)は、ヘッドロード・アンロードを行う回転機構
の説明図である。
FIG. 3 is a perspective external view of an embodiment of a head loading mechanism of the inspection device according to the present invention, wherein (a) is
FIG. 3B is an explanatory diagram of a vertical moving mechanism that performs head loading and unloading, and FIG. 4B is an explanatory diagram of a rotating mechanism that performs head loading and unloading.

【図4】図4は、 インライン方式におけるヘッドロー
ド・アンロードを行う上下移動機構の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a vertical moving mechanism that performs head loading / unloading in an in-line system.

【図5】図5は、磁気ディスクドライバのリニア方式と
インライン方式の説明図であって、(a)は、リニア方式
の説明図、(b) は、インライン方式の説明図である。
FIGS. 5A and 5B are explanatory diagrams of a linear system and an inline system of a magnetic disk driver. FIG. 5A is an explanatory diagram of a linear system, and FIG. 5B is an explanatory diagram of an inline system.

【図6】図6は、先行出願の検査装置のヘッドローディ
ング機構の説明図であって、(a)は、アンロード状体の
説明図、(b)は、ロード状体の説明図である。
FIGS. 6A and 6B are explanatory diagrams of a head loading mechanism of the inspection device of the prior application, wherein FIG. 6A is an explanatory diagram of an unloaded body, and FIG. 6B is an explanatory diagram of a loaded body. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、1a …トラック、2, 54,54a
…ヘッドアッセンブリ、21,51…磁気ヘッド、2
2,55…ジンバルバー、21a…スライダー、3…ク
ランプ部、4…半径方向移動機構(ヘッドキャリッ
ジ)、5,7…ストッププレート、6…上下移動機構、
8…回転機構、50…ランプロード方式のヘッドロード
機構、55a…突起部分。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 1a ... Track, 2, 54, 54a
... Head assembly, 21, 51 ... Magnetic head, 2
2, 55: gimbal bar, 21a: slider, 3: clamp part, 4: radial moving mechanism (head carriage), 5, 7: stop plate, 6: vertical moving mechanism,
8 ... Rotating mechanism, 50 ... Ramp loading type head loading mechanism, 55a ... Protrusion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渋谷 明義 東京都渋谷区東3丁目16番3号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 5D076 AA01 BB01 CC01 CC04 DD08 FF04 GG20  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Akiyoshi Shibuya 3-16-3 Higashi, Shibuya-ku, Tokyo F-term in Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. 5D076 AA01 BB01 CC01 CC04 DD08 FF04 GG20

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】先端にランプロードのための突起部分が形
成された弾性を有するランプロード用のジンバルバーお
よびこのジンバルバーの先端側に固定された磁気ヘッド
とよりなるヘッドアッセンブリと、検査装置に装着され
た磁気ディスクの半径方向に前記ヘッドアッセンブリを
移動する半径方向移動機構と、前記半径方向移動機構と
前記ジンバルバーの基部をクランプするクランプ部との
間に介在して設けられた前記ジンバルバーを上下方向に
移動する上下移動機構または回転機構と、前記上下移動
機構または前記回転機構による、前記ヘッドアッセンブ
リの上昇時に前記弾性により下方に付勢された前記突起
部分の裏面に先端部が接触して前記ヘッドアッセンブリ
の降下を阻止し、前記磁気ヘッドがロードされた前記ヘ
ッドアッセンブリの降下時に前記磁気ヘッドの前記磁気
ディスクの面からの浮上により前記突起部分の裏面と前
記磁気ディスクの面との間に前記先端部が位置付けら
れ、前記クランプ部に固定されたストッププレートとを
備えることを特徴とする検査装置のヘッドローディング
機構。
1. A head assembly comprising an elastic ramp-load gimbal bar having a protruding portion for a ramp load formed at a tip thereof, a magnetic head fixed to the tip side of the gimbal bar, and an inspection device. A radial moving mechanism for moving the head assembly in the radial direction of the magnetic disk, and a gimbal bar provided vertically between the radial moving mechanism and a clamp portion for clamping a base of the gimbal bar. An up-and-down moving mechanism or a rotating mechanism that moves, and the head assembly having a front end portion contacting the back surface of the protrusion that is urged downward by the elasticity when the head assembly is raised by the up-and-down moving mechanism or the rotating mechanism; The head assembly loaded with the magnetic head. A stop plate fixed to the clamp portion, wherein the tip portion is positioned between the back surface of the protrusion and the surface of the magnetic disk by floating of the magnetic head from the surface of the magnetic disk when descending; A head loading mechanism for an inspection apparatus.
【請求項2】前記ストッププレートは、前記先端部がセ
ラミックスあるいはセラミックスがコーティングされた
部材であって、クランク状に屈曲したプレート部分によ
り前記先端部が支持され、このプレート部分の後端部が
前記クランプ部にクランプされ、リニア方式の前記ヘッ
ドアッセンブリに対しては、前記ジンバルバーが前記磁
気ディスクの半径方向に一致する方向とされ、インライ
ン方式の前記ヘッドアッセンブリに対しては、前記ジン
バルバーが前記磁気ディスクの円周方向に一致する方向
とされる請求項1記載の検査装置のヘッドローディング
機構。
2. The stop plate according to claim 1, wherein the tip portion is a ceramic or a member coated with ceramics, and the tip portion is supported by a plate portion bent in a crank shape. The gimbal bar is clamped by a clamp portion and has a direction in which the gimbal bar coincides with the radial direction of the magnetic disk for the linear type head assembly, and the gimbal bar for the in-line type head assembly. 2. The head loading mechanism for an inspection device according to claim 1, wherein the direction corresponds to a circumferential direction of the head.
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