JP2006260698A - Method and device for manufacturing head suspension assembly - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はヘッド・サスペンション・アセンブリの把持に関し、特にヘッド・サスペンション・アセンブリの製造におけるスライダの固定に関する。 The present invention relates to gripping a head suspension assembly, and more particularly to fixing a slider in manufacturing a head suspension assembly.
光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用するデータ記憶装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ(以下、HDD)は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、HDDの用途は、その優れた特性により益々拡大している。 Data storage devices using various types of media such as optical disks and magnetic tapes are known. Among them, hard disk drives (hereinafter referred to as HDDs) are widely used as computer storage devices, and are one of the storage devices indispensable in current computer systems. Furthermore, the use of HDDs such as a removable memory used in a moving image recording / reproducing apparatus, a car navigation system, a mobile phone, a digital camera, and the like is expanding more and more due to its excellent characteristics.
HDDで使用される磁気ディスクは同心円状に形成された複数のトラックを有しており、各トラックは複数のセクタに区分されている。各セクタにはサーボ・データと、ユーザ・データが記憶される。スピンドル・モータが磁気ディスクを回転し、薄膜素子であるヘッド素子部がセクタのサーボ・データに従って所望のアドレス位置にアクセスすることによって、磁気ディスクへのデータ書き込み、あるいはデータ読み出しを行うことができる。 A magnetic disk used in the HDD has a plurality of tracks formed concentrically, and each track is divided into a plurality of sectors. Servo data and user data are stored in each sector. The spindle motor rotates the magnetic disk, and the head element unit, which is a thin film element, accesses a desired address position according to the servo data of the sector, whereby data can be written to or read from the magnetic disk.
ヘッド素子部はスライダに固定されており、これらがヘッド・スライダを構成する。ヘッド・スライダが、回転している磁気ディスク上を浮上することによって、ヘッド・スライダもしくはヘッド素子部を磁気ディスク上の所望の位置にポジショニングすることができる。データ読み出し処理において、ヘッド素子部が磁気ディスクから読み出した信号は、信号処理回路によって波形整形や復号処理などの所定の信号処理が施され、ホストに送信される。ホストからの転送データは、信号処理回路によって所定処理された後に、磁気ディスクに書き込まれる。 The head element portion is fixed to a slider, and these constitute a head slider. When the head slider floats on the rotating magnetic disk, the head slider or the head element unit can be positioned at a desired position on the magnetic disk. In the data reading process, a signal read from the magnetic disk by the head element unit is subjected to predetermined signal processing such as waveform shaping and decoding processing by a signal processing circuit and transmitted to the host. The transfer data from the host is written on the magnetic disk after predetermined processing by the signal processing circuit.
ヘッド・スライダはサスペンションに固定されており、磁気ディスクに対向するヘッド・スライダのABS(Air Bearing Surface)面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダは磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上する。 The head slider is fixed to the suspension, and the pressure due to the viscosity of the air between the ABS (Air Bearing Surface) surface of the head slider facing the magnetic disk and the rotating magnetic disk causes the suspension to move toward the magnetic disk. The head slider floats over the magnetic disk with a certain gap by balancing with the pressure applied to the magnetic disk.
従来、スライダとサスペンションとの接着は、例えばヘッド・スライダのABS面を下に向けて固定用治具上に載置し、ABS面が治具と接触した状態で固定して位置合わせする。その後、ABS面とは反対側の接着面に熱硬化型接着剤を用いてサスペンションを接着していた。このようなヘッド・スライダとサスペンションとの接着方法は例えば特許文献1に記載されている。
HDDにおいては、内部のコンタミネーションによって様々な欠陥が生じ得る。上記のような、従来技術に係るヘッド・スライダとサスペンションとの組立方法においては、固定用治具とABS面とが接触するので、ABS面への塵埃の付着を防止するため、固定用治具におけるABS面との接触面を清浄に保つ必要がある。そのため、当該固定用治具はヘッド・スライダとサスペンションとの組立を1回行なうごとにクリーンドライエアーにて洗浄し、更に定期的に分解清掃も行う等のメンテナンスが必要である。しかしながら、それだけではヘッド・スライダから治具に付着するコンタミネーションや位置決め用治具の材料のコンタミネーションを完全に排除することは不可能である。また、組立1回ごとに洗浄を行なう必要があるため、生産性の低下も招いていた。 In the HDD, various defects may occur due to internal contamination. In the method of assembling the head slider and the suspension according to the prior art as described above, the fixing jig and the ABS surface come into contact with each other. Therefore, in order to prevent dust from adhering to the ABS surface, the fixing jig is used. It is necessary to keep the contact surface with the ABS surface clean. For this reason, the fixing jig requires maintenance such as cleaning with clean dry air every time the head / slider and suspension are assembled once, and further periodically disassembling and cleaning. However, it is impossible to completely eliminate the contamination adhering to the jig from the head slider and the positioning jig material. In addition, since it is necessary to perform cleaning every assembly, productivity is also reduced.
このような課題を解決するため、本発明者はABS面を固定治具に接触させずにヘッド・スライダを固定する方法を発明した。当該方法においては、ヘッド・スライダの側面を挟持することによりヘッド・スライダの位置固定及び位置決めを行う。しかしながら、従来技術においては固定治具にヘッド・スライダを載置することによりヘッド・スライダを固定する高さを規定し、ヘッド・スライダを水平に保持していたため、ヘッド・スライダの側面を挟持するのみではヘッド・スライダを固定する高さを高精度に規定することや、ヘッド・スライダを水平に保持することあるいは、側面のみの固定で十分なヘッド・スライダ固定強度を得ることが難しい。 In order to solve such a problem, the present inventor invented a method for fixing the head slider without bringing the ABS surface into contact with the fixing jig. In this method, the position of the head slider is fixed and positioned by sandwiching the side surface of the head slider. However, in the prior art, the height of the head slider is fixed by placing the head slider on the fixing jig, and the head slider is held horizontally. However, it is difficult to define the height for fixing the head slider with high accuracy, to hold the head slider horizontally, or to obtain sufficient head slider fixing strength only by fixing the side surfaces.
本発明は上記事情を背景としてなされたものであって、ヘッド・スライダのABS面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic disk drive with improved cleanliness of the ABS surface of the head slider.
本発明に係るヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記スライダの位置を規定するストッパとが接触することにより前記スライダの移動を停止し、前記スライダの側面を挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ABS面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのABS面が他の部材に接触することがないため、スライダのABS面の清浄度が向上したHDDを提供することができる。 A method of manufacturing a head suspension assembly according to the present invention includes: moving a slider parallel to and approaching the fixed portion from a position facing a fixed portion that holds the slider and fixes the slider; When the ABS surface is in a non-contact state, a member holding the slider or a part of a member connected to the member holding the slider comes into contact with a stopper that defines the position of the slider. The movement of the slider is stopped, the side surface of the slider is clamped to fix the slider to the fixing portion, and a suspension is bonded to the surface of the fixed slider opposite to the ABS surface. Thereby, since the ABS surface of the slider does not come into contact with other members in the manufacturing process, it is possible to provide an HDD with improved cleanliness of the ABS surface of the slider.
ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、前記固定部に設けられた三点の凸部によって挟持されることが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Here, it is preferable that the slider is sandwiched between the two opposing faces of the side by the fixed part and is sandwiched by three convex parts provided on the fixed part. As a result, the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surfaces are clamped.
詳細には、前記スライダが挟持される向かい合う二面のうち一方の面に対向する第1の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。 Specifically, two convex portions are provided on the first clamping surface that faces one of the two opposing surfaces on which the slider is clamped, and the second clamping surface that faces the other surface. A one-point convex portion is provided, and the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.
より好適には、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。 More preferably, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.
また、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結している部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダの上面は前記固定部の上面よりも高く、前記スライダの下面は前記固定部の上面よりも低い位置にあることが好ましい。これにより、サスペンションとスライダとの接着において好適な位置でスライダを固定することができる。 In addition, in a state where the movement of the slider is stopped when the stopper is in contact with a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider, the slider Preferably, the upper surface of the slider is higher than the upper surface of the fixed portion, and the lower surface of the slider is lower than the upper surface of the fixed portion. Thereby, the slider can be fixed at a suitable position in the adhesion between the suspension and the slider.
更に、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダと前記固定部との間には隙間が存在し、前記接着固定機が載置されているステージを移動させることにより、前記固定部と前記スライダとが当接することが好ましい。これにより、スライダを固定部に移動する際に、スライダと固定部とが接触することを回避できる。 Further, in a state where the movement of the slider is stopped by contact of the stopper and a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider, the slider It is preferable that there is a gap between the fixing unit and the fixing unit, and the fixing unit and the slider come into contact with each other by moving the stage on which the adhesive fixing machine is mounted. Thereby, when moving a slider to a fixed part, it can avoid that a slider and a fixed part contact.
更にまた、前記スライダの保持は吸着力を有するバキューム・ヘッドにより、前記スライダのABS面とは反対側の面を吸着することにより行われ、前記スライダは凹部を有するスライダ・トレイに収納されており、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。 Furthermore, the slider is held by sucking the surface opposite to the ABS surface of the slider with a vacuum head having a suction force, and the slider is housed in a slider tray having a recess. Preferably, the width of the recess and the width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the recess. As a result, the portion where the vacuum head attracts the slider includes at least the center of the slider, and the slider can be suitably held.
他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダの側面を前記固定部に設けられた三点の凸部で挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ABS面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのABS面が他の部材に接触することがないため、スライダのABS面の清浄度が向上したHDDを提供することができる。 On the other hand, in the method of manufacturing the head slider assembly according to the present invention, the slider is held in parallel, and the slider is moved parallel to the fixing portion from a position facing the fixing portion to fix the slider. When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, the slider is fixed to the fixing portion by sandwiching the side surface of the slider with three convex portions provided on the fixing portion, and the ABS of the fixed slider is fixed. Glue the suspension to the opposite side. Thereby, since the ABS surface of the slider does not come into contact with other members in the manufacturing process, it is possible to provide an HDD with improved cleanliness of the ABS surface of the slider.
ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、当該向かい合う二面のうち一方の面に対向する第1の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Here, two opposite surfaces of the slider are sandwiched between the fixed portions, the first sandwiching surface facing one surface of the two facing surfaces is provided with two convex portions, and the other The second clamping surface opposite to the first surface is provided with a single convex portion, so that the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surface is clamped.
詳細には、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。 Specifically, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.
より好適には、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。 More preferably, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.
また、前記スライダを前記第1、第2の挟持面で挟持する際、前記第1の挟持面が先に前記スライダに当接することが好ましい。これにより、先に二点がスライダに当接するため、スライダの向きが固定され、より好適にスライダを挟持することができる。 In addition, when the slider is clamped by the first and second clamping surfaces, it is preferable that the first clamping surface comes into contact with the slider first. Thereby, since two points contact | abut to a slider previously, the direction of a slider is fixed and it can clamp a slider more suitably.
更に、前記凸部の前記スライダとの当接面は凸型のRを有することが好ましい。これにより、凸部からスライダへより確実に力を加えることができ、より好適にスライダを挟持することができる。 Furthermore, it is preferable that the contact surface of the convex portion with the slider has a convex R. Thereby, a force can be more reliably applied from the convex portion to the slider, and the slider can be clamped more suitably.
他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリ製造装置は、磁気ディスク装置に使用されるスライダを複数収納するスライダ・トレイと、前記スライダ・トレイが載置されるトレイ・ステージと、前記スライダ・トレイに収納されているスライダを吸着により水平に保持するバキューム・ヘッドと、前記バキューム・ヘッドを保持するバキューム・パッドと、前記バキューム・パッド及び前記バキューム・ヘッドを移動させるアームと、前記スライダを固定する接着固定機が載置される接着固定機ステージとを有するスライダ組立装置であって、前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダが前記接着固定機の固定部に設けられた三点の凸部で自身の側面を挟持されることにより固定されるものである。 On the other hand, a head slider assembly manufacturing apparatus according to the present invention includes a slider tray for storing a plurality of sliders used in a magnetic disk device, a tray stage on which the slider tray is placed, and the slider tray. A vacuum head for holding the slider housed horizontally by suction, a vacuum pad for holding the vacuum head, an arm for moving the vacuum pad and the vacuum head, and fixing the slider A slider assembling apparatus having an adhesive fixing machine stage on which the adhesive fixing machine is mounted, wherein the slider is provided in a fixed portion of the adhesive fixing machine when the ABS surface of the slider is in a non-contact state. It is fixed by sandwiching its side surface with the convex portion.
ここで、前記スライダ・トレイは前記スライダを収納する凹部を有し、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。 Here, the slider tray has a recess for accommodating the slider, the width of the recess in one direction is substantially the same as the width of the vacuum head, and the vacuum head is in the recess. It is preferably insertable. As a result, the portion where the vacuum head attracts the slider includes at least the center of the slider, and the slider can be suitably held.
また、前記固定部は前記スライダの側面のうち向かい合う二面を挟持することにより前記スライダを固定し、前記向かい合う二面のうち一方の面に対向する第1の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Further, the fixing portion fixes the slider by sandwiching two opposing surfaces of the side surfaces of the slider, and the first clamping surface facing one surface of the two facing surfaces has two convex portions. The second holding surface opposite to the other surface is provided with a single convex portion, and the single convex portion provided on the second holding surface is provided on the opposing first holding surface. It is preferable to be located between the two convex portions provided. As a result, the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surfaces are clamped.
より好適には、前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。 More preferably, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.
更に、前記アームに当該アームの強度を補強するサポートプレートを設けることが好ましい。これにより、アームの自重やアームに接続されたバキューム・ヘッド等の重さによりアームが変形することを防ぐことができる。 Furthermore, it is preferable to provide a support plate for reinforcing the strength of the arm. Thereby, it is possible to prevent the arm from being deformed by the weight of the arm or the weight of a vacuum head or the like connected to the arm.
本発明により、ヘッド・スライダのABS面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a magnetic disk drive in which the cleanliness of the ABS surface of the head slider is improved.
以下に、本発明を適用可能な実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため必要に応じて重複説明は省略されている。 Hereinafter, embodiments to which the present invention can be applied will be described. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description.
本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本形態はハードディスク・ドライブ(HDD)の製造方法であって、特にヘッド素子が固定されるスライダと、サスペンションとの組立工程に関する。本発明の理解の容易のため、最初に、HDDの全体構成を説明する。図1は、本実施の形態に係るHDD100の構成を模式的に示す平面図である。図1において、101はデータを保存する記録媒体(メディア)であって、磁性層が磁化されることによってデータを記憶する不揮発性の記録ディスクである磁気ディスクである。102はHDD100の各構成要素を収容するベースである。ベース102は、ベース102の上部開口を塞ぐトップ・カバー(不図示)とガスケット(不図示)を介して固定されることによってディスク・エンクロージャを構成し、HDD100の各構成要素を密閉状態で収容することができる。
Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. The present embodiment is a method of manufacturing a hard disk drive (HDD), and particularly relates to an assembly process of a slider to which a head element is fixed and a suspension. For easy understanding of the present invention, the overall configuration of the HDD will be described first. FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of
磁気ディスク101はスピンドル・モータ103に固定されている。スピンドル・モータ103は、所定速度で磁気ディスク101を回転する。ヘッド・スライダ105は、スライダと、スライダ表面に固定された変換素子としてのヘッド素子部を備える。ヘッド素子部は、ホスト(不図示)との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク101への書き込み及び/又は読み出しを行う。ヘッド素子部は、磁気ディスク101への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び/又は磁気ディスク101からの磁界を電気信号に変換する再生素子を有している。
The
アクチュエータ106は、回動軸107に回動自在に保持されており、VCM(ボイス・コイル・モータ)109によって駆動される。アクチュエータ106はヘッド・スライダ105を保持し、回動することによって、磁気ディスク101上の所望の位置にヘッド・スライダ105をポジショニングする。アクチュエータ106とヘッド・スライダ105とによって、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリを構成する。アクチュエータ106は、ヘッド・スライダ105が配置されたその先端部から、サスペンション110、アーム部111、回動軸107が嵌合する軸受部108、コイル・サポート部112、フラットコイル113の順で結合された各構成部材を備えている。
The
114はベース102に固定された上側ステータ・マグネット保持板である。尚、上側ステータ・マグネット保持板114は、主要部が便宜上切り欠いて図示され、外形が破線で示されている。図示されていないが、フラットコイル113の下側には、ステータ・マグネットと、下側ステータ・マグネット保持板が配置される。VCM109は、フラットコイル113、上側ステータ・マグネット保持板114及び下側ステータ・マグネット保持板に固定されたステータ・マグネット(不図示)を備えている。
115は、磁気ディスク101の回転が停止するとき、ヘッド・スライダ105を磁気ディスク101から退避させるためのランプである。116はサスペンション110の先端部に形成されたタブである。尚、ヘッド・スライダ105がデータ書き込み/読み出し処理を行なわない場合に、磁気ディスク101の内周に配置されているゾーンに退避するCSS(Contact Start and Stop)方式であっても良い。
HDD100は1枚もしくは積層配置された複数の磁気ディスク101を備えることができる。複数枚の磁気ディスク101を備える場合、スピンドル・モータ103は、その回転軸方向に所定の間隔で、複数の磁気ディスク101を一体的に保持する。また、典型的には、磁気ディスク101の両面にデータが記憶されるが、磁気ディスク101一方のみにデータを記録することも可能である。
The
磁気ディスク101からのデータの読み取り、書き込みのため、アクチュエータ106は回転している磁気ディスク101表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ105を移動する。アクチュエータ106が回動することによって、ヘッド・スライダ105が磁気ディスク101の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、ヘッド・スライダ105(ヘッド素子部)が所望のトラックにアクセスすることができる。磁気ディスク101に対向するスライダのABS(Air Bearing Surface)面と回転している磁気ディスク101との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション110によって磁気ディスク101方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ105は磁気ディスク101上を一定のギャップを置いて浮上する。
In order to read and write data from the
本形態のサスペンション110及びヘッド・サスペンション・アセンブリについて詳細を説明する。図2は本実施の形態におけるサスペンション110を含むヘッド・サスペンション・アセンブリの概略構成を示す斜視図である。図2においては、磁気ディスク101の記録面側から見たヘッド・サスペンション・アセンブリの構成を示す。ヘッド・サスペンション・アセンブリは複数の構成部材によって構成されており、ヘッド・スライダ105、トレース117、及び、サスペンション110を備えている。
Details of the
サスペンション110は複数の構成部材によって構成されており、ロード・ビーム119と、ロード・ビーム119の前部に例えばレーザ・スポット溶接によって溶着されるジンバル120と、ロード・ビーム119のヘッド・スライダ105を保持する側の背面側であって後部に溶着され固定されるマウント・プレート118とを有する。
The
マウント・プレート118、ジンバル120は、ステンレス系金属で形成することができ、また、ジンバル120は、所望の弾性を有し変形可能である。更に、ジンバル120においてヘッド・スライダ105が例えば低弾性エポキシ樹脂などによって固着される。ヘッド・スライダ105はトレース117によって図示しないFPCと電気的に接続される。
The
図1に示すようなHDDは、図2に示したヘッド・サスペンション・アセンブリにアーム111、フラットコイル113等を取り付けたヘッド・アクチュエータ・アセンブリや、ランプ115、VCM109及びスピンドル・モータ103等をベース102に取り付け、磁気ディスク101をスピンドル・モータ103に取り付け、ベース102を図示しないベースカバーで覆うことにより完成する。
An HDD as shown in FIG. 1 has a head actuator assembly in which an
次に、本発明が課題とするヘッド・サスペンション・アセンブリの製造工程について説明する。本実施形態においては、接着固定機400にヘッド・スライダ105を固定した状態で、当該ヘッド・スライダ105にサスペンション110のジンバル120を接着する。図3はヘッド・スライダ105を接着固定機400に固定するスライダ組み付け補助機200を模式的に示す斜視図である。スライダ組み付け補助機200は、スライダ・トレイ300の凹部に収納されているヘッド・スライダ105を接着固定機400に組み付ける工程を行う。ここで、図3においては図示の容易化のため、スライダ・トレイ300が有する凹部は3行3列で示してあるが、これに限定されるものではない。スライダ組み付け補助機200はバキューム・ヘッド201、バキューム・パッド202、アーム203、ガイドレール204、側壁205、ベース206、トレイ・ステージ207、トレイ・クランプ・センサー208、接着固定機ステージ209及び照明210を有する。
Next, the manufacturing process of the head suspension assembly which is the subject of the present invention will be described. In the present embodiment, the
バキューム・ヘッド201は吸引力を有する円筒形のノズルであり、スライダ・トレイ300に収納されているヘッド・スライダ105を吸着し、水平に保持する。バキューム・ヘッド201はバキューム・パッド202に連結され、吸入口が下向きに設けられる。バキューム・パッド202はバキューム・ヘッド201を保持し、接着固定機400にヘッド・スライダ105を固定する際にバキューム・ヘッド201の垂直方向の位置を規定するための突き当て部221を有する。突き当て部221の詳細については後述する。
The
アーム203はバキューム・パッド202を保持し、バキューム・パッド202及びバキューム・ヘッド201を移動させるための移動体である。アーム203はガイドレール204と接続されており、ガイドレール204上を垂直方向及びガイドレール204の長手方向(水平方向)に移動可能である。但し、本実施形態においては、アーム203が垂直方向に移動可能となるのは、バキューム・ヘッド201がトレイ・ステージ207上の1点に位置する位置、若しくは接着固定機ステージ209上の1点に位置する位置の2点のみである。
The
また、図4に示されるように、アーム203の強度を補強するために、サポートプレート231を設けることが好ましい。図4はアーム203周辺を模式的に示す斜視図である。図4に示すように、アーム203はハンドル232、プレート233、カメラ234、接続部235、236を有する。当該アーム203の下部にバキューム・パッド202及びバキューム・ヘッド201が固定されている。
Further, as shown in FIG. 4, it is preferable to provide a
ハンドル232は人が把持し、アーム203を動かすためのハンドルである。プレート233はアーム203とガイドレール204との接続部であり、プレート233がガイドレール204に沿って上下左右に移動することによって、アーム203が移動する。カメラ234は主にバキューム・ヘッド201先端部を観察するためのカメラである。接続部235、236はハンドル232とプレート233とを上下で接続する。また、下側の接続部236にバキューム・パッド202が設けられる。カメラ234はハンドル232若しくは接続部236に固定されて設けられる。
The
接続部235、236を補強するようにサポートプレート231が設けられる。サポートプレート231は剛性の高い板状の部材であり、図4に示すように接続部235と接続部236とをつなぐように設けられる。サポートプレート231を取り付けることにより、アーム203の強度が補強される。こうすることにより、アーム203の自重やバキューム・パッド202及びバキューム・ヘッド201等の重みによるアーム203の歪みを低減することができ、バキューム・ヘッド201に吸着されたヘッド・スライダ105の傾き及び位置ずれを防止することができる。図4に示されるように、接続部235と接続部236との両側にサポートプレート231を設けることにより、より強度を補強する効果を向上することができる。また、サポートプレート231は接続部235、236だけでなく、プレート233とも接続されても良い。
A
ガイドレール204はアーム203を移動させるための移動体である。ガイドレール204は上記のようにアーム203の駆動軸となる他、自身は側壁205と接続されており、水平方向であってガイドレール204の長手方向と垂直な方向に移動可能である。アーム203、ガイドレール204の移動によりバキューム・ヘッド201及びバキューム・パッド202が3次元方向に移動可能となる。アーム203、ガイドレール204の移動は例えばモータ駆動やレバー等による人力駆動で行われる。尚、バキューム・ヘッド201及びバキューム・パッド202の移動方法は上記したアーム203、ガイドレール204及び側壁205から構成される態様に限定されるものではなく、少なくともバキューム・ヘッド201の先端がトレイ・ステージ207上と接着固定機ステージ209上との間を移動可能であり、更にトレイ・ステージ207上及び接着固定機ステージ209上においては垂直方向に移動可能であれば良い。
The
ベース206はスライダ組み付け補助機200の基盤である。ベース206上に少なくともトレイ・ステージ207及び接着固定機ステージ209が設けられる。トレイ・ステージ207はスライダ・トレイ300が載置されるステージである。トレイ・ステージ207はベース206上を所定範囲において移動可能である。トレイ・ステージ207上にはトレイ・クランプ・センサー208が設けられている。トレイ・クランプ・センサー208は、アーム203がトレイ・ステージ207上で垂直方向に移動可能な状態においてバキューム・ヘッド201が位置する点と、スライダ・トレイ300との位置関係を検出及び計算する機能を有する。また、トレイ・クランプ・センサー208の一部は、スライダ・トレイ300をトレイ・ステージ207上に固定する機能を有する。
The
接着固定機ステージ209は接着固定機400が載置されるステージである。接着固定機ステージ209はベース206上の所定範囲を水平方向に移動可能である。接着固定機ステージ209には、接着固定機400にスライダを固定する際にバキューム・ヘッド201の垂直方向の位置を規定するためのストッパ291が設けられる。ストッパ291の機能については後述する。また、接着固定機ステージ209は自身の上に載置された接着固定機400のクランプを開閉するためのクランプオープンレバー292を有する。照明210はスライダ組み付け補助機200若しくはスライダ組み付け補助機200に含まれる各部の採光のために設けられる。
The adhesive
ヘッド・スライダ105を接着固定機400に固定する際は、スライダ・トレイ300に収納されているヘッド・スライダ105をバキューム・ヘッド201が吸着し、アーム203を動かすことによりバキューム・ヘッド201を接着固定機400の直上に移動し、アーム203を垂直方向に移動することによってバキューム・ヘッド201に吸着されているヘッド・スライダ105を接着固定機400に近付け、固定する。
When the
次に、図5を用いてバキューム・ヘッド201がスライダ・トレイ300に収納されているスライダを吸着する工程を説明する。図5は、バキューム・ヘッド201が、スライダ・トレイ300の凹部301に収納されているヘッド・スライダ105を吸着する工程を示す断面図である。ここで、ヘッド・スライダ105はそのABS面が下側になるように凹部301に収納されている。
Next, a process in which the
まず、図5(a)に示すようにアーム203、ガイドレール204を駆動することにより、トレイ・ステージ207上であって、アーム203が垂直方向に移動可能である位置にバキューム・ヘッド201を移動させる。そして、アーム203を垂直下方に駆動することによりバキューム・ヘッド201を当該凹部301内に収納されているヘッド・スライダ105に近づける。この時、バキューム・ヘッド201がスライダ・トレイ300上の所望の凹部301の直上に位置するようにトレイ・ステージ207を位置合わせする。当該位置合わせはトレイ・クランプ・センサー208がバキューム・ヘッド201とスライダ・トレイ300との位置関係を検知し、トレイ・ステージ207が移動することにより行われる。
First, as shown in FIG. 5A, by driving the
ここで、バキューム・ヘッド201の口径が凹部301の平面形状よりも小さすぎる場合、ヘッド・スライダ105の平面の中央部を外れて吸着することが考えられる。そのような場合、吸着力が片方に偏るために、ヘッド・スライダ105が傾くことがある。ヘッド・スライダ105はバキューム・ヘッド201に吸着された状態で接着固定機400に固定されるため、ヘッド・スライダ105がバキューム・ヘッド201に傾いた状態で吸着されていると、接着固定機400に傾いたまま固定され、サスペンション110との接着時に不具合を生じる。また、吸着力の偏りにより、ヘッド・スライダ105がバキューム・ヘッド201からはがれてしまうことも考えられる。
Here, when the aperture of the
そのため、バキューム・ヘッド201の口径は、凹部301の平面形状の1辺の長さ(凹部301の平面形状が長方形の場合は、その縦若しくは横の長さのうち短い方の長さ)よりもわずかに小さい。言い換えると、バキューム・ヘッド201の口径は凹部301に挿入可能な大きさであるが、少なくとも一つの方向における凹部301の幅とバキューム・ヘッド201の口径とは実質的に同一である。
Therefore, the diameter of the
これにより、図5(b)に示すようにバキューム・ヘッド201はヘッド・スライダ105を全体に亘って吸着する。従って、図5(c)に示されるように、バキューム・ヘッド201に吸着されたヘッド・スライダ105は、傾くことなく水平に保持される。尚、バキューム・ヘッド201が円筒状ではなく柱状の場合においても、バキューム・ヘッド201の平面寸法が凹部301に挿入可能な大きさであり、少なくとも一つの方向における凹部301の幅とバキューム・ヘッド201の平面寸法とが実質的に同一であれば同様の効果を得ることができる。ここで言う平面寸法とは、水平方向の面、即ちスライダ・トレイ300が載置される面やベース206の上面に平行な面における寸法である。
As a result, as shown in FIG. 5B, the
他の凹部301に収納されているヘッド・スライダ105を吸着する際は、バキューム・ヘッド201をトレイ・ステージ207側に戻し、トレイ・ステージ207を水平方向に移動させ、所望の凹部301をバキューム・ヘッド201の直下に移動させる。
When adsorbing the
上述したように、アーム203が垂直方向に移動可能な点は、トレイ・ステージ207上の点において決まっている。従って、当該アーム203が垂直移動可能な点におけるバキューム・ヘッド201の位置と、スライダ・トレイ300の現在位置とがわかれば、スライダ・トレイ300に複数含まれる凹部301のうち、どの凹部301がバキューム・ヘッド201の直下に位置しているか計算可能である。トレイ・クランプ・センサー208はこの計算を行う。
As described above, the point on which the
スライダ・トレイ300の現在位置は、例えばトレイ・ステージ207を駆動するモータの回転数により知ることができる。トレイ・ステージ207上にスライダ・トレイ300を載置し、スライダ・トレイ300の角部のうち少なくとも3点にバキューム・ヘッド201を位置合わせし、夫々の角部におけるモータの回転数を記憶することによって、バキューム・ヘッド201とスライダ・トレイ300との位置関係を計算することができる。
The current position of the
次に図6を用いて接着固定機400の詳細を説明する。図6は接着固定機400を示す斜視図である。接着固定機400は固定部410を有し、ヘッド・スライダ105は固定部410に固定された状態でサスペンション110と接着される。図7に固定部410の詳細を示す。固定部410はプレート411、クランプ412及びネスト413を有する。また、図に示すようにクランプ412は1つの凸部414aを有し、ネスト413は2つの凸部414b及び414cを有する。プレート411及びネスト413は接着固定機400に対して固定されており、クランプ412はネスト413に対して少なくとも前後に移動可能である。また、固定部410において、ヘッド・スライダ105は底面であるABS面が何にも当接しない非接触状態で固定される。即ちヘッド・スライダ105はネスト413とクランプ412とによって側面のみで挟持される。
Next, details of the adhesive fixing
固定部410にヘッド・スライダ105を固定する際には、クランプ412とネスト413との間にヘッド・スライダ105の平面寸法よりも十分大きなスペースが開いた状態で、ABS面を下向きにしてヘッド・スライダ105の側面をプレート411及びネスト413に当接させ、その状態からクランプ412をネスト413に近付けることによって、ヘッド・スライダ105を挟持する。即ち、プレート411、クランプ412及びネスト413に囲まれるようにヘッド・スライダ105が挟持される。ここで、クランプ412とネスト413との間においては、ヘッド・スライダ105は凸部414a〜cによって三点支持される。固定部410にヘッド・スライダ105が固定された状態の上面図を図8(a)、(b)に側面図を図8(c)に示す。
When the
図8(a)に示されるように、ヘッド・スライダ105はその側面がプレート411に当接し、クランプ412側及びネスト413側が有する凸部414a〜cによって三点支持されている。ヘッド・スライダ105がプレート411に当接することによって、サスペンション110との接着時における位置決め精度が向上する。上記のように、ヘッド・スライダ105は底面を固定されず側面のみで挟持されているため、より強い力で挟持されることが望ましい。面で支持する場合は当接面の平坦度により力の伝達に強弱が生じてしまうが、凸部414a〜cを設け三点で支持することによって、面で支持するよりも当接面に確実に力を伝えることができる。
As shown in FIG. 8A, the side surface of the
更に好適には、図8(b)に示されるように、凸部414a〜cの当接面は凸型のR部414rを有している方が良い。これにより、R部414rの頂点を中心に更に確実に力を伝えることができる。ここで、凸部414a〜cは上記のようにクランプ412に414aが一点、ネスト413側に414b及び414cの二点設けられているが、これに限定されるものではない。但し、本実施形態においては、ヘッド・スライダ105を先にネスト413に当接させ、後からクランプ412で挟持するため図8に示される態様が好ましい。先にネスト413に設けられた凸部414b、414cの二点と当接させることにより、ヘッド・スライダ105の回転が抑制され、後からクランプ412で挟持する際に都合がよいからである。また、図8(b)においては凸部414a〜cについて水平方向にR部が設けられているが、垂直方向に設けられていても良い。また、図8(c)に示すように、片面のみのRでも良い。
More preferably, as shown in FIG. 8B, the contact surfaces of the
より好適なヘッド・スライダ105の挟持のため、凸部414b、414cはネスト413におけるヘッド・スライダ105との当接面において、図8に示すように真ん中よりも両端寄りに夫々設けられ、凸部414は凸部414bと凸部414cとの間に対向するように設けられる。更に好適には、凸部414aは凸部414bと凸部414cとの中間に設けられる。これにより、ヘッド・スライダ105は凸部a〜cによって好適に三点支持される。
In order to more favorably hold the
次に図9を用いてバキューム・ヘッド201に吸着されたヘッド・スライダ105を接着固定機400の固定部410に固定する工程を説明する。図5における説明でヘッド・スライダ105を吸着したバキューム・ヘッド201を、アーム203及びガイドレール204を駆動することにより、接着固定機ステージ209の直上であってアーム203が垂直移動可能な点に移動する。この場合のバキューム・ヘッド201の位置は、固定部410の直上である。更に詳細には、プレート411、クランプ412及びネスト413に囲まれる領域である。
Next, a process of fixing the
上記のようなアーム203が垂直移動可能な位置において、図9(a)に示すようにバキューム・ヘッド201を垂直下方へ移動し、バキューム・ヘッド201に吸着されたヘッド・スライダ105を固定部410へ近づける。バキューム・ヘッド201を垂直下方へ移動していくと、バキューム・パッド202に設けられた突き当て部221と接着固定機ステージ209に設けられたストッパ291とが当接し、バキューム・ヘッド201の下降が停止する。バキューム・ヘッド201の下降停止の詳細については後述する。
At the position where the
図9(b)に示すように、ヘッド・スライダ105がバキューム・ヘッド201に吸着された状態で停止する位置は、プレート411及びネスト413に設けられた凸部414b、414cとの間に夫々0.25mm程度の隙間g1、g2が空く位置である。図9(b)を正面から見た状態を図10に示す。図10に示すように、凸部414bとヘッド・スライダ105との間には隙間g1が空いている。また、図10に示されるように、バキューム・ヘッド201が停止した際のヘッド・スライダ105の上面(ABS面とは反対側の面)の高さは、プレート411及びネスト413の上面の高さよりもギャップg3だけ高く位置する。こうすることにより、接着固定機400にヘッド・スライダ105を固定した状態でヘッド・スライダ105とサスペンション110とを接着することができる。ここで、図9(b)から図9(d)においては、バキューム・ヘッド201は省略するが、ヘッド・スライダ105が固定部410に挟持されるまで、ヘッド・スライダ105はバキューム・ヘッド201に吸着されている。
As shown in FIG. 9B, the position where the
次に、図9(c)に示されるように、接着固定機ステージ209を動かすことにより、プレート411及びネスト413に設けられた凸部414と、ヘッド・スライダ105の側面とを当接させる。この時の接着固定機ステージ209の移動はレバー等により手動で行なっても良いし、モータ等により行なっても良い。また、プレート411及び凸部414b、414cとヘッド・スライダ105との当接を検出して自動で停止しても良いし、手動で停止しても良い。プレート411及びネスト413とヘッド・スライダ105の側面とを当接させた後、図9(d)に示すようにクランプ412をネスト413に近付けることにより、クランプ412に設けられた凸部414b、414cとヘッド・スライダ105とを当接させ、図8に示したようにヘッド・スライダ105が固定部410に挟持される。
Next, as shown in FIG. 9C, by moving the adhesive fixing
固定部410にヘッド・スライダ105が固定された後、バキューム・ヘッド201による吸着を解除し、ヘッド・スライダ105の上面にサスペンション110を接着する。図9(d)に示すように、ヘッド・スライダ105の底面、即ちABS面が他の構成に接触せず、ヘッド・スライダ105は側面のみで保持されるため、製造工程におけるABS面の清浄土を向上することができる。
After the
図11を用いて、突き当て部221及びストッパ291による、バキューム・ヘッド201の下降停止位置を規定する方法について説明する。図11は、組み付け補助機200の一部を模式的に示す断面図である。図11に示されるように、バキューム・パッド202は、自身の底面においてL字型に突き出した突き当て部221を有する。突き当て部221はバキューム・ヘッド201と重ならない位置に突出している。また、接着固定機ステージ209には、接着固定機400、詳細には固定部410の近傍において、上方に突出したストッパ291が設けられる。
A method of defining the lowering stop position of the
アーム203の下降時においては、突き当て部221とストッパ291とが当接することによってアーム203の下降が不可能となり、アーム203の下降が停止する。従って、ストッパ291の高さ、突き当て部221及びバキューム・ヘッド201の寸法を調整することにより、ヘッド・スライダ105を固定部410に挟持する際の高さを規定することが可能となる。また、ストッパ291を固定部410の近傍に設けることにより、突き当て部221とストッパ291とが当接した際の、突き当て部221の歪みを低減することができる。これにより、ヘッド・スライダ105の位置のずれ及び傾きを抑えることができる。尚、ストッパ291は突き当て部221との当接面において様々な態様が考えられる。例えば、突き当て部221との当接面に接触時の衝撃吸収用の弾性部材を設けても良いし、突き当て部221との当接状態における安定性向上のために、当接面を水平方向に拡大しても良い。
When the
このような方法を用いて接着固定機400の固定部410にヘッド・スライダ105を固定することにより、ヘッド・スライダ105のABS面が接着固定機400と接触することなく、ヘッド・スライダ105とサスペンション110との接着を行うことができる。従って、ヘッド・スライダ105のABS面を清浄に保つことができ、HDDの製造工程におけるコンタミネーションを低減することが可能となる。
By fixing the
以上説明したように、本発明により、スライダのABS面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。また、接着固定機400の洗浄工程が不要となり、生産性の向上を図ることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic disk drive with improved cleanliness of the ABS surface of the slider. Further, the cleaning process of the adhesive fixing
尚、上記においては、接着固定機ステージ209に設けられたストッパ291とバキューム・パッド202に設けられた突き当て部221とを当接させることにより、ヘッド・スライダ105の位置を規定したが、例えばストッパ291を突き当て部221に設け、ストッパ291と接着固定機ステージ209とが当接することによりヘッド・スライダ105の位置を規定しても良い。更には、ストッパ291をバキューム・パッド202又はアーム203に設けても良い。また、接着固定機ステージ209とアーム203とが当接することにより、ヘッド・スライダ105の位置を規定しても良い。
In the above, the position of the
また、本実施形態においては、固定部410に対してヘッド・スライダ105を直上から近付け、突き当て部221とストッパ291とを上下で当接させることによりヘッド・スライダ105の位置を規定したが、これに限定されるものではない。例えば、固定部410が下面に位置するように接着固定機400を配置し、ヘッド・スライダ105を真下から近づけても良い。同様に、固定部410が側面に位置するように接着固定機400を配置し、ヘッド・スライダ105を真横から近づけ、突き当て部221とストッパ291とを左右で当接させても同様の効果を奏することができる。
In this embodiment, the position of the
100 HDD、101 磁気ディスク、102 ベース、
103 スピンドル・モータ、105 ヘッド・スライダ、106 アクチュエータ、
107 回動軸、108 軸受部、109 VCM、110 サスペンション、
111 アーム部、112 コイル・サポート部、113 フラットコイル、
114 上側ステータ・マグネット保持板、115 ランプ、116 タブ、
117 トレース、118 マウント・プレート、119 ジンバル、
120 ロード・ビーム、200 スライダ組み付け補助機、
201 バキューム・ヘッド、202 バキューム・パッド、203 アーム、
204 ガイドレール、205 側壁、206 ベース、207 トレイ・ステージ、
208 トレイ・クランプ・センサー、209 接着固定機ステージ、210 照明、
221 突き当て部、231 サポートプレート、232 ハンドル、
233 プレート、234 カメラ、235、236 接続部、291 ストッパ、
292 クランプオープンレバー、300 スライダ・トレイ、301 凹部、
400 接着固定機、410 固定部、411 プレート、412 クランプ、
413 ネスト、414r R部、414a、414b、414c 凸部、
g1、g2 隙間、g3 ギャップ
100 HDD, 101 magnetic disk, 102 base,
103 spindle motor, 105 head slider, 106 actuator,
107 rotating shaft, 108 bearing, 109 VCM, 110 suspension,
111 arm part, 112 coil support part, 113 flat coil,
114 Upper stator magnet holding plate, 115 lamp, 116 tab,
117 trace, 118 mount plate, 119 gimbal,
120 load beam, 200 slider assembly auxiliary machine,
201 vacuum head, 202 vacuum pad, 203 arm,
204 guide rail, 205 side wall, 206 base, 207 tray stage,
208 Tray clamp sensor, 209 Bonding machine stage, 210 Illumination,
221 abutting part, 231 support plate, 232 handle,
233 plate, 234 camera, 235, 236 connection part, 291 stopper,
292 Clamp open lever, 300 Slider tray, 301 Recess,
400 adhesive fixing machine, 410 fixing part, 411 plate, 412 clamp,
413 nest, 414r R portion, 414a, 414b, 414c convex portion,
g1, g2 gap, g3 gap
Claims (17)
前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記スライダの位置を規定するストッパとが接触することにより前記スライダの移動を停止し、
前記スライダの側面を挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、
前記固定されたスライダの前記ABS面とは反対の面にサスペンションを接着するヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。 From the position facing the fixed part that holds the slider and fixes the slider, the slider is moved parallel to the fixed part,
When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider is in contact with a stopper that defines the position of the slider To stop the movement of the slider,
Fixing the slider to the fixed portion by sandwiching the side surface of the slider;
A method of manufacturing a head suspension assembly, wherein a suspension is bonded to a surface of the fixed slider opposite to the ABS surface.
他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項2に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。 Two convex portions are provided on the first clamping surface facing one of the two opposing surfaces across which the slider is clamped,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
3. The head according to claim 2, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposed first clamping surface. -Manufacturing method of suspension assembly.
前記スライダは凹部を有するスライダ・トレイに収納されており、
一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることを特徴とする請求項1に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。 The holding of the slider is performed by adsorbing the surface opposite to the ABS surface of the slider with a vacuum head having an adsorbing force,
The slider is housed in a slider tray having a recess;
2. The head suspension according to claim 1, wherein a width of the concave portion and a width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the concave portion. -Manufacturing method of assembly.
前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダの側面を前記固定部に設けられた三点の凸部で挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、
前記固定されたスライダの前記ABS面とは反対の面にサスペンションを接着するヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。 From the position facing the fixed part that holds the slider and fixes the slider, the slider is moved parallel to the fixed part,
When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, the slider is fixed to the fixing portion by sandwiching the side surface of the slider with three convex portions provided on the fixing portion.
A method of manufacturing a head suspension assembly, wherein a suspension is bonded to a surface of the fixed slider opposite to the ABS surface.
当該向かい合う二面のうち一方の面に対向する第1の挟持面には二点の凸部がもうけられ、
他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項8に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。 The slider is sandwiched between the two opposing surfaces of the side surface by the fixed portion,
Two convex portions are provided on the first sandwiching surface facing one of the two facing surfaces,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
9. The head according to claim 8, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned between the two convex portions provided on the opposed first clamping surface. -Manufacturing method of suspension assembly.
前記スライダ・トレイが載置されるトレイ・ステージと、
前記スライダ・トレイに収納されているスライダを吸着により水平に保持するバキューム・ヘッドと、
前記バキューム・ヘッドを保持するバキューム・パッドと、
前記バキューム・パッド及び前記バキューム・ヘッドを移動させるアームと、
前記スライダを固定する接着固定機が載置される接着固定機ステージとを有するスライダ組立装置であって、
前記スライダのABS面が非接触状態において、前記スライダが前記接着固定機の固定部に設けられた三点の凸部で自身の側面を挟持されることにより固定されるヘッド・サスペンション・アセンブリ製造装置。 A slider tray for storing a plurality of sliders used in the magnetic disk device;
A tray stage on which the slider tray is placed;
A vacuum head that holds the slider stored in the slider tray horizontally by suction;
A vacuum pad for holding the vacuum head;
An arm for moving the vacuum pad and the vacuum head;
A slider assembling apparatus having an adhesive fixing machine stage on which an adhesive fixing machine for fixing the slider is mounted,
Head suspension assembly manufacturing apparatus in which the slider is fixed by sandwiching its side surface with three convex portions provided on the fixing portion of the adhesive fixing machine when the ABS surface of the slider is in a non-contact state .
一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることを特徴とする請求項13に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。 The slider tray has a recess for receiving the slider;
14. The head suspension according to claim 13, wherein the width of the recess and the width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the recess. -Assembly manufacturing equipment.
前記向かい合う二面のうち一方の面に対向する第1の挟持面には二点の凸部がもうけられ、
他方の面に対向する第2の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第2の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第1の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項13に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。 The fixing portion fixes the slider by sandwiching two opposite surfaces of the side surface of the slider,
Two convex portions are provided on the first clamping surface facing one of the two opposing surfaces,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
14. The head according to claim 13, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.・ Suspension assembly manufacturing equipment.
14. The apparatus for manufacturing a head suspension assembly according to claim 13, wherein the arm is provided with a support plate for reinforcing the strength of the arm.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8250737B2 (en) | 2010-10-14 | 2012-08-28 | Tdk Corporation | Method for manufacturing head including light source unit for thermal assist |
US8957692B2 (en) | 2010-12-02 | 2015-02-17 | Tdk Corporation | Method for performing burn-in test |
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2005
- 2005-03-18 JP JP2005078512A patent/JP2006260698A/en active Pending
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