JP2006260698A

JP2006260698A - Method and device for manufacturing head suspension assembly

Info

Publication number: JP2006260698A
Application number: JP2005078512A
Authority: JP
Inventors: Takao Kidachi; 高雄木立; Tatsushi Yoshida; 達仕吉田
Original assignee: Hitachi Global Storage Technologies Netherlands BV
Current assignee: HGST Netherlands BV
Priority date: 2005-03-18
Filing date: 2005-03-18
Publication date: 2006-09-28

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic disk device in which a cleanliness factor of an ABS surface of a slider is improved regarding fixation of the slider in manufacturing of a head suspension assembly. <P>SOLUTION: In this method for manufacturing the head suspension assembly, a head slider 105 is held, approximated from a position opposite to a fixing part 410 for fixing the head slider 105 to the fixing part 410, transfer of the head slider 105 is stopped by contact between a part of a member holding the head slider 105 or a member coupled to the member holding the slider and a stopper 291 for specifying a position of the head slider 105, the head slider 105 is fixed to the fixing part by holding the side of the head slider 105 and suspension 410 is adhered to a surface opposite to the ABS surface of the fixed head slider 105 in the case of a non-contact state of the ABS surface of the head slider 105. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明はヘッド・サスペンション・アセンブリの把持に関し、特にヘッド・サスペンション・アセンブリの製造におけるスライダの固定に関する。 The present invention relates to gripping a head suspension assembly, and more particularly to fixing a slider in manufacturing a head suspension assembly.

光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用するデータ記憶装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ（以下、ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途は、その優れた特性により益々拡大している。 Data storage devices using various types of media such as optical disks and magnetic tapes are known. Among them, hard disk drives (hereinafter referred to as HDDs) are widely used as computer storage devices, and are one of the storage devices indispensable in current computer systems. Furthermore, the use of HDDs such as a removable memory used in a moving image recording / reproducing apparatus, a car navigation system, a mobile phone, a digital camera, and the like is expanding more and more due to its excellent characteristics.

ＨＤＤで使用される磁気ディスクは同心円状に形成された複数のトラックを有しており、各トラックは複数のセクタに区分されている。各セクタにはサーボ・データと、ユーザ・データが記憶される。スピンドル・モータが磁気ディスクを回転し、薄膜素子であるヘッド素子部がセクタのサーボ・データに従って所望のアドレス位置にアクセスすることによって、磁気ディスクへのデータ書き込み、あるいはデータ読み出しを行うことができる。 A magnetic disk used in the HDD has a plurality of tracks formed concentrically, and each track is divided into a plurality of sectors. Servo data and user data are stored in each sector. The spindle motor rotates the magnetic disk, and the head element unit, which is a thin film element, accesses a desired address position according to the servo data of the sector, whereby data can be written to or read from the magnetic disk.

ヘッド素子部はスライダに固定されており、これらがヘッド・スライダを構成する。ヘッド・スライダが、回転している磁気ディスク上を浮上することによって、ヘッド・スライダもしくはヘッド素子部を磁気ディスク上の所望の位置にポジショニングすることができる。データ読み出し処理において、ヘッド素子部が磁気ディスクから読み出した信号は、信号処理回路によって波形整形や復号処理などの所定の信号処理が施され、ホストに送信される。ホストからの転送データは、信号処理回路によって所定処理された後に、磁気ディスクに書き込まれる。 The head element portion is fixed to a slider, and these constitute a head slider. When the head slider floats on the rotating magnetic disk, the head slider or the head element unit can be positioned at a desired position on the magnetic disk. In the data reading process, a signal read from the magnetic disk by the head element unit is subjected to predetermined signal processing such as waveform shaping and decoding processing by a signal processing circuit and transmitted to the host. The transfer data from the host is written on the magnetic disk after predetermined processing by the signal processing circuit.

ヘッド・スライダはサスペンションに固定されており、磁気ディスクに対向するヘッド・スライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダは磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上する。 The head slider is fixed to the suspension, and the pressure due to the viscosity of the air between the ABS (Air Bearing Surface) surface of the head slider facing the magnetic disk and the rotating magnetic disk causes the suspension to move toward the magnetic disk. The head slider floats over the magnetic disk with a certain gap by balancing with the pressure applied to the magnetic disk.

従来、スライダとサスペンションとの接着は、例えばヘッド・スライダのＡＢＳ面を下に向けて固定用治具上に載置し、ＡＢＳ面が治具と接触した状態で固定して位置合わせする。その後、ＡＢＳ面とは反対側の接着面に熱硬化型接着剤を用いてサスペンションを接着していた。このようなヘッド・スライダとサスペンションとの接着方法は例えば特許文献１に記載されている。
特開平８−２５５４５１号公報 Conventionally, the slider and the suspension are bonded by, for example, placing the head slider on the fixing jig with the ABS surface facing downward, and fixing and aligning the ABS surface in contact with the jig. Thereafter, the suspension was bonded to the bonding surface opposite to the ABS surface using a thermosetting adhesive. Such a bonding method between the head slider and the suspension is described in Patent Document 1, for example.
JP-A-8-255451

ＨＤＤにおいては、内部のコンタミネーションによって様々な欠陥が生じ得る。上記のような、従来技術に係るヘッド・スライダとサスペンションとの組立方法においては、固定用治具とＡＢＳ面とが接触するので、ＡＢＳ面への塵埃の付着を防止するため、固定用治具におけるＡＢＳ面との接触面を清浄に保つ必要がある。そのため、当該固定用治具はヘッド・スライダとサスペンションとの組立を１回行なうごとにクリーンドライエアーにて洗浄し、更に定期的に分解清掃も行う等のメンテナンスが必要である。しかしながら、それだけではヘッド・スライダから治具に付着するコンタミネーションや位置決め用治具の材料のコンタミネーションを完全に排除することは不可能である。また、組立１回ごとに洗浄を行なう必要があるため、生産性の低下も招いていた。 In the HDD, various defects may occur due to internal contamination. In the method of assembling the head slider and the suspension according to the prior art as described above, the fixing jig and the ABS surface come into contact with each other. Therefore, in order to prevent dust from adhering to the ABS surface, the fixing jig is used. It is necessary to keep the contact surface with the ABS surface clean. For this reason, the fixing jig requires maintenance such as cleaning with clean dry air every time the head / slider and suspension are assembled once, and further periodically disassembling and cleaning. However, it is impossible to completely eliminate the contamination adhering to the jig from the head slider and the positioning jig material. In addition, since it is necessary to perform cleaning every assembly, productivity is also reduced.

このような課題を解決するため、本発明者はＡＢＳ面を固定治具に接触させずにヘッド・スライダを固定する方法を発明した。当該方法においては、ヘッド・スライダの側面を挟持することによりヘッド・スライダの位置固定及び位置決めを行う。しかしながら、従来技術においては固定治具にヘッド・スライダを載置することによりヘッド・スライダを固定する高さを規定し、ヘッド・スライダを水平に保持していたため、ヘッド・スライダの側面を挟持するのみではヘッド・スライダを固定する高さを高精度に規定することや、ヘッド・スライダを水平に保持することあるいは、側面のみの固定で十分なヘッド・スライダ固定強度を得ることが難しい。 In order to solve such a problem, the present inventor invented a method for fixing the head slider without bringing the ABS surface into contact with the fixing jig. In this method, the position of the head slider is fixed and positioned by sandwiching the side surface of the head slider. However, in the prior art, the height of the head slider is fixed by placing the head slider on the fixing jig, and the head slider is held horizontally. However, it is difficult to define the height for fixing the head slider with high accuracy, to hold the head slider horizontally, or to obtain sufficient head slider fixing strength only by fixing the side surfaces.

本発明は上記事情を背景としてなされたものであって、ヘッド・スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic disk drive with improved cleanliness of the ABS surface of the head slider.

本発明に係るヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記スライダの位置を規定するストッパとが接触することにより前記スライダの移動を停止し、前記スライダの側面を挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのＡＢＳ面が他の部材に接触することがないため、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上したＨＤＤを提供することができる。 A method of manufacturing a head suspension assembly according to the present invention includes: moving a slider parallel to and approaching the fixed portion from a position facing a fixed portion that holds the slider and fixes the slider; When the ABS surface is in a non-contact state, a member holding the slider or a part of a member connected to the member holding the slider comes into contact with a stopper that defines the position of the slider. The movement of the slider is stopped, the side surface of the slider is clamped to fix the slider to the fixing portion, and a suspension is bonded to the surface of the fixed slider opposite to the ABS surface. Thereby, since the ABS surface of the slider does not come into contact with other members in the manufacturing process, it is possible to provide an HDD with improved cleanliness of the ABS surface of the slider.

ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、前記固定部に設けられた三点の凸部によって挟持されることが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Here, it is preferable that the slider is sandwiched between the two opposing faces of the side by the fixed part and is sandwiched by three convex parts provided on the fixed part. As a result, the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surfaces are clamped.

詳細には、前記スライダが挟持される向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。 Specifically, two convex portions are provided on the first clamping surface that faces one of the two opposing surfaces on which the slider is clamped, and the second clamping surface that faces the other surface. A one-point convex portion is provided, and the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.

より好適には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。 More preferably, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.

また、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結している部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダの上面は前記固定部の上面よりも高く、前記スライダの下面は前記固定部の上面よりも低い位置にあることが好ましい。これにより、サスペンションとスライダとの接着において好適な位置でスライダを固定することができる。 In addition, in a state where the movement of the slider is stopped when the stopper is in contact with a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider, the slider Preferably, the upper surface of the slider is higher than the upper surface of the fixed portion, and the lower surface of the slider is lower than the upper surface of the fixed portion. Thereby, the slider can be fixed at a suitable position in the adhesion between the suspension and the slider.

更に、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダと前記固定部との間には隙間が存在し、前記接着固定機が載置されているステージを移動させることにより、前記固定部と前記スライダとが当接することが好ましい。これにより、スライダを固定部に移動する際に、スライダと固定部とが接触することを回避できる。 Further, in a state where the movement of the slider is stopped by contact of the stopper and a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider, the slider It is preferable that there is a gap between the fixing unit and the fixing unit, and the fixing unit and the slider come into contact with each other by moving the stage on which the adhesive fixing machine is mounted. Thereby, when moving a slider to a fixed part, it can avoid that a slider and a fixed part contact.

更にまた、前記スライダの保持は吸着力を有するバキューム・ヘッドにより、前記スライダのＡＢＳ面とは反対側の面を吸着することにより行われ、前記スライダは凹部を有するスライダ・トレイに収納されており、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。 Furthermore, the slider is held by sucking the surface opposite to the ABS surface of the slider with a vacuum head having a suction force, and the slider is housed in a slider tray having a recess. Preferably, the width of the recess and the width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the recess. As a result, the portion where the vacuum head attracts the slider includes at least the center of the slider, and the slider can be suitably held.

他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダの側面を前記固定部に設けられた三点の凸部で挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのＡＢＳ面が他の部材に接触することがないため、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上したＨＤＤを提供することができる。 On the other hand, in the method of manufacturing the head slider assembly according to the present invention, the slider is held in parallel, and the slider is moved parallel to the fixing portion from a position facing the fixing portion to fix the slider. When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, the slider is fixed to the fixing portion by sandwiching the side surface of the slider with three convex portions provided on the fixing portion, and the ABS of the fixed slider is fixed. Glue the suspension to the opposite side. Thereby, since the ABS surface of the slider does not come into contact with other members in the manufacturing process, it is possible to provide an HDD with improved cleanliness of the ABS surface of the slider.

ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、当該向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Here, two opposite surfaces of the slider are sandwiched between the fixed portions, the first sandwiching surface facing one surface of the two facing surfaces is provided with two convex portions, and the other The second clamping surface opposite to the first surface is provided with a single convex portion, so that the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surface is clamped.

詳細には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。 Specifically, the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.

また、前記スライダを前記第１、第２の挟持面で挟持する際、前記第１の挟持面が先に前記スライダに当接することが好ましい。これにより、先に二点がスライダに当接するため、スライダの向きが固定され、より好適にスライダを挟持することができる。 In addition, when the slider is clamped by the first and second clamping surfaces, it is preferable that the first clamping surface comes into contact with the slider first. Thereby, since two points contact | abut to a slider previously, the direction of a slider is fixed and it can clamp a slider more suitably.

更に、前記凸部の前記スライダとの当接面は凸型のＲを有することが好ましい。これにより、凸部からスライダへより確実に力を加えることができ、より好適にスライダを挟持することができる。 Furthermore, it is preferable that the contact surface of the convex portion with the slider has a convex R. Thereby, a force can be more reliably applied from the convex portion to the slider, and the slider can be clamped more suitably.

他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリ製造装置は、磁気ディスク装置に使用されるスライダを複数収納するスライダ・トレイと、前記スライダ・トレイが載置されるトレイ・ステージと、前記スライダ・トレイに収納されているスライダを吸着により水平に保持するバキューム・ヘッドと、前記バキューム・ヘッドを保持するバキューム・パッドと、前記バキューム・パッド及び前記バキューム・ヘッドを移動させるアームと、前記スライダを固定する接着固定機が載置される接着固定機ステージとを有するスライダ組立装置であって、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダが前記接着固定機の固定部に設けられた三点の凸部で自身の側面を挟持されることにより固定されるものである。 On the other hand, a head slider assembly manufacturing apparatus according to the present invention includes a slider tray for storing a plurality of sliders used in a magnetic disk device, a tray stage on which the slider tray is placed, and the slider tray. A vacuum head for holding the slider housed horizontally by suction, a vacuum pad for holding the vacuum head, an arm for moving the vacuum pad and the vacuum head, and fixing the slider A slider assembling apparatus having an adhesive fixing machine stage on which the adhesive fixing machine is mounted, wherein the slider is provided in a fixed portion of the adhesive fixing machine when the ABS surface of the slider is in a non-contact state. It is fixed by sandwiching its side surface with the convex portion.

ここで、前記スライダ・トレイは前記スライダを収納する凹部を有し、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。 Here, the slider tray has a recess for accommodating the slider, the width of the recess in one direction is substantially the same as the width of the vacuum head, and the vacuum head is in the recess. It is preferably insertable. As a result, the portion where the vacuum head attracts the slider includes at least the center of the slider, and the slider can be suitably held.

また、前記固定部は前記スライダの側面のうち向かい合う二面を挟持することにより前記スライダを固定し、前記向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。 Further, the fixing portion fixes the slider by sandwiching two opposing surfaces of the side surfaces of the slider, and the first clamping surface facing one surface of the two facing surfaces has two convex portions. The second holding surface opposite to the other surface is provided with a single convex portion, and the single convex portion provided on the second holding surface is provided on the opposing first holding surface. It is preferable to be located between the two convex portions provided. As a result, the slider can be supported with sufficient strength even when only the side surfaces are clamped.

更に、前記アームに当該アームの強度を補強するサポートプレートを設けることが好ましい。これにより、アームの自重やアームに接続されたバキューム・ヘッド等の重さによりアームが変形することを防ぐことができる。 Furthermore, it is preferable to provide a support plate for reinforcing the strength of the arm. Thereby, it is possible to prevent the arm from being deformed by the weight of the arm or the weight of a vacuum head or the like connected to the arm.

本発明により、ヘッド・スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a magnetic disk drive in which the cleanliness of the ABS surface of the head slider is improved.

以下に、本発明を適用可能な実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため必要に応じて重複説明は省略されている。 Hereinafter, embodiments to which the present invention can be applied will be described. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description.

本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本形態はハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）の製造方法であって、特にヘッド素子が固定されるスライダと、サスペンションとの組立工程に関する。本発明の理解の容易のため、最初に、ＨＤＤの全体構成を説明する。図１は、本実施の形態に係るＨＤＤ１００の構成を模式的に示す平面図である。図１において、１０１はデータを保存する記録媒体（メディア）であって、磁性層が磁化されることによってデータを記憶する不揮発性の記録ディスクである磁気ディスクである。１０２はＨＤＤ１００の各構成要素を収容するベースである。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐトップ・カバー（不図示）とガスケット（不図示）を介して固定されることによってディスク・エンクロージャを構成し、ＨＤＤ１００の各構成要素を密閉状態で収容することができる。 Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. The present embodiment is a method of manufacturing a hard disk drive (HDD), and particularly relates to an assembly process of a slider to which a head element is fixed and a suspension. For easy understanding of the present invention, the overall configuration of the HDD will be described first. FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of HDD 100 according to the present embodiment. In FIG. 1, reference numeral 101 denotes a recording medium (media) for storing data, which is a magnetic disk that is a nonvolatile recording disk that stores data by magnetizing a magnetic layer. Reference numeral 102 denotes a base that accommodates each component of the HDD 100. The base 102 constitutes a disk enclosure by being fixed via a top cover (not shown) and a gasket (not shown) that block the upper opening of the base 102, and each component of the HDD 100 is accommodated in a sealed state. be able to.

磁気ディスク１０１はスピンドル・モータ１０３に固定されている。スピンドル・モータ１０３は、所定速度で磁気ディスク１０１を回転する。ヘッド・スライダ１０５は、スライダと、スライダ表面に固定された変換素子としてのヘッド素子部を備える。ヘッド素子部は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行う。ヘッド素子部は、磁気ディスク１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスク１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子を有している。 The magnetic disk 101 is fixed to the spindle motor 103. The spindle motor 103 rotates the magnetic disk 101 at a predetermined speed. The head slider 105 includes a slider and a head element unit as a conversion element fixed to the slider surface. The head element unit writes and / or reads data to / from the magnetic disk 101 with respect to data input / output with a host (not shown). The head element unit has a recording element that converts an electric signal into a magnetic field according to data stored in the magnetic disk 101 and / or a reproducing element that converts a magnetic field from the magnetic disk 101 into an electric signal.

アクチュエータ１０６は、回動軸１０７に回動自在に保持されており、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９によって駆動される。アクチュエータ１０６はヘッド・スライダ１０５を保持し、回動することによって、磁気ディスク１０１上の所望の位置にヘッド・スライダ１０５をポジショニングする。アクチュエータ１０６とヘッド・スライダ１０５とによって、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリを構成する。アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置されたその先端部から、サスペンション１１０、アーム部１１１、回動軸１０７が嵌合する軸受部１０８、コイル・サポート部１１２、フラットコイル１１３の順で結合された各構成部材を備えている。 The actuator 106 is rotatably held on a rotary shaft 107 and is driven by a VCM (voice coil motor) 109. The actuator 106 holds the head slider 105 and rotates to position the head slider 105 at a desired position on the magnetic disk 101. The actuator 106 and the head slider 105 constitute a head actuator assembly. The actuator 106 is coupled in the order of the suspension 110, the arm portion 111, the bearing portion 108 to which the rotating shaft 107 is fitted, the coil support portion 112, and the flat coil 113 from the tip portion where the head slider 105 is disposed. Each component is provided.

１１４はベース１０２に固定された上側ステータ・マグネット保持板である。尚、上側ステータ・マグネット保持板１１４は、主要部が便宜上切り欠いて図示され、外形が破線で示されている。図示されていないが、フラットコイル１１３の下側には、ステータ・マグネットと、下側ステータ・マグネット保持板が配置される。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４及び下側ステータ・マグネット保持板に固定されたステータ・マグネット（不図示）を備えている。 Reference numeral 114 denotes an upper stator magnet holding plate fixed to the base 102. The upper stator / magnet holding plate 114 is shown with the main part cut out for convenience and the outer shape is shown by a broken line. Although not shown, a stator magnet and a lower stator magnet holding plate are disposed below the flat coil 113. The VCM 109 includes a flat coil 113, an upper stator magnet holding plate 114, and a stator magnet (not shown) fixed to the lower stator magnet holding plate.

１１５は、磁気ディスク１０１の回転が停止するとき、ヘッド・スライダ１０５を磁気ディスク１０１から退避させるためのランプである。１１６はサスペンション１１０の先端部に形成されたタブである。尚、ヘッド・スライダ１０５がデータ書き込み／読み出し処理を行なわない場合に、磁気ディスク１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式であっても良い。 Reference numeral 115 denotes a ramp for retracting the head slider 105 from the magnetic disk 101 when the rotation of the magnetic disk 101 stops. Reference numeral 116 denotes a tab formed at the tip of the suspension 110. Note that when the head slider 105 does not perform data writing / reading processing, a CSS (Contact Start and Stop) method in which the head slider 105 is retracted to a zone arranged on the inner periphery of the magnetic disk 101 may be used.

ＨＤＤ１００は１枚もしくは積層配置された複数の磁気ディスク１０１を備えることができる。複数枚の磁気ディスク１０１を備える場合、スピンドル・モータ１０３は、その回転軸方向に所定の間隔で、複数の磁気ディスク１０１を一体的に保持する。また、典型的には、磁気ディスク１０１の両面にデータが記憶されるが、磁気ディスク１０１一方のみにデータを記録することも可能である。 The HDD 100 can include one or a plurality of magnetic disks 101 arranged in a stacked manner. When a plurality of magnetic disks 101 are provided, the spindle motor 103 integrally holds the plurality of magnetic disks 101 at a predetermined interval in the rotation axis direction. Typically, data is stored on both sides of the magnetic disk 101, but it is also possible to record data on only one of the magnetic disks 101.

磁気ディスク１０１からのデータの読み取り、書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転している磁気ディスク１０１表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ１０５を移動する。アクチュエータ１０６が回動することによって、ヘッド・スライダ１０５が磁気ディスク１０１の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、ヘッド・スライダ１０５（ヘッド素子部）が所望のトラックにアクセスすることができる。磁気ディスク１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。 In order to read and write data from the magnetic disk 101, the actuator 106 moves the head slider 105 over the data area on the surface of the rotating magnetic disk 101. As the actuator 106 rotates, the head slider 105 moves along the radial direction of the surface of the magnetic disk 101. As a result, the head slider 105 (head element unit) can access a desired track. The pressure due to the viscosity of air between the ABS (Air Bearing Surface) surface of the slider facing the magnetic disk 101 and the rotating magnetic disk 101 balances with the pressure applied to the magnetic disk 101 by the suspension 110. The head slider 105 floats on the magnetic disk 101 with a certain gap.

本形態のサスペンション１１０及びヘッド・サスペンション・アセンブリについて詳細を説明する。図２は本実施の形態におけるサスペンション１１０を含むヘッド・サスペンション・アセンブリの概略構成を示す斜視図である。図２においては、磁気ディスク１０１の記録面側から見たヘッド・サスペンション・アセンブリの構成を示す。ヘッド・サスペンション・アセンブリは複数の構成部材によって構成されており、ヘッド・スライダ１０５、トレース１１７、及び、サスペンション１１０を備えている。 Details of the suspension 110 and the head suspension assembly of this embodiment will be described. FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a head suspension assembly including the suspension 110 in the present embodiment. FIG. 2 shows the configuration of the head suspension assembly as viewed from the recording surface side of the magnetic disk 101. The head suspension assembly is composed of a plurality of components, and includes a head slider 105, a trace 117, and a suspension 110.

サスペンション１１０は複数の構成部材によって構成されており、ロード・ビーム１１９と、ロード・ビーム１１９の前部に例えばレーザ・スポット溶接によって溶着されるジンバル１２０と、ロード・ビーム１１９のヘッド・スライダ１０５を保持する側の背面側であって後部に溶着され固定されるマウント・プレート１１８とを有する。 The suspension 110 is composed of a plurality of components. A load beam 119, a gimbal 120 welded to the front portion of the load beam 119, for example, by laser spot welding, and a head slider 105 of the load beam 119 are provided. And a mounting plate 118 which is welded and fixed to the rear side of the holding side.

マウント・プレート１１８、ジンバル１２０は、ステンレス系金属で形成することができ、また、ジンバル１２０は、所望の弾性を有し変形可能である。更に、ジンバル１２０においてヘッド・スライダ１０５が例えば低弾性エポキシ樹脂などによって固着される。ヘッド・スライダ１０５はトレース１１７によって図示しないＦＰＣと電気的に接続される。 The mount plate 118 and the gimbal 120 can be formed of a stainless steel metal, and the gimbal 120 has a desired elasticity and can be deformed. Further, the head slider 105 is fixed to the gimbal 120 by, for example, a low elastic epoxy resin. The head slider 105 is electrically connected to an FPC (not shown) by a trace 117.

図１に示すようなＨＤＤは、図２に示したヘッド・サスペンション・アセンブリにアーム１１１、フラットコイル１１３等を取り付けたヘッド・アクチュエータ・アセンブリや、ランプ１１５、ＶＣＭ１０９及びスピンドル・モータ１０３等をベース１０２に取り付け、磁気ディスク１０１をスピンドル・モータ１０３に取り付け、ベース１０２を図示しないベースカバーで覆うことにより完成する。 An HDD as shown in FIG. 1 has a head actuator assembly in which an arm 111, a flat coil 113 and the like are attached to the head suspension assembly shown in FIG. 2, a ramp 115, a VCM 109, a spindle motor 103 and the like as a base 102. The magnetic disk 101 is attached to the spindle motor 103, and the base 102 is covered with a base cover (not shown).

次に、本発明が課題とするヘッド・サスペンション・アセンブリの製造工程について説明する。本実施形態においては、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定した状態で、当該ヘッド・スライダ１０５にサスペンション１１０のジンバル１２０を接着する。図３はヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に固定するスライダ組み付け補助機２００を模式的に示す斜視図である。スライダ組み付け補助機２００は、スライダ・トレイ３００の凹部に収納されているヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に組み付ける工程を行う。ここで、図３においては図示の容易化のため、スライダ・トレイ３００が有する凹部は３行３列で示してあるが、これに限定されるものではない。スライダ組み付け補助機２００はバキューム・ヘッド２０１、バキューム・パッド２０２、アーム２０３、ガイドレール２０４、側壁２０５、ベース２０６、トレイ・ステージ２０７、トレイ・クランプ・センサー２０８、接着固定機ステージ２０９及び照明２１０を有する。 Next, the manufacturing process of the head suspension assembly which is the subject of the present invention will be described. In the present embodiment, the gimbal 120 of the suspension 110 is bonded to the head slider 105 in a state where the head slider 105 is fixed to the adhesive fixing machine 400. FIG. 3 is a perspective view schematically showing a slider assembly auxiliary machine 200 for fixing the head slider 105 to the adhesive fixing machine 400. The slider assembly auxiliary machine 200 performs a process of assembling the head slider 105 housed in the recess of the slider tray 300 to the adhesive fixing machine 400. Here, in FIG. 3, for the sake of easy illustration, the concave portion of the slider tray 300 is shown in 3 rows and 3 columns, but is not limited thereto. The slider assembly auxiliary machine 200 includes a vacuum head 201, a vacuum pad 202, an arm 203, a guide rail 204, a side wall 205, a base 206, a tray stage 207, a tray clamp sensor 208, an adhesive fixing machine stage 209, and an illumination 210. Have.

バキューム・ヘッド２０１は吸引力を有する円筒形のノズルであり、スライダ・トレイ３００に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着し、水平に保持する。バキューム・ヘッド２０１はバキューム・パッド２０２に連結され、吸入口が下向きに設けられる。バキューム・パッド２０２はバキューム・ヘッド２０１を保持し、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定する際にバキューム・ヘッド２０１の垂直方向の位置を規定するための突き当て部２２１を有する。突き当て部２２１の詳細については後述する。 The vacuum head 201 is a cylindrical nozzle having a suction force, and sucks the head slider 105 accommodated in the slider tray 300 and holds it horizontally. The vacuum head 201 is connected to the vacuum pad 202, and the suction port is provided downward. The vacuum pad 202 holds the vacuum head 201 and has an abutting portion 221 for defining the vertical position of the vacuum head 201 when the head slider 105 is fixed to the adhesive fixing machine 400. Details of the abutting portion 221 will be described later.

アーム２０３はバキューム・パッド２０２を保持し、バキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１を移動させるための移動体である。アーム２０３はガイドレール２０４と接続されており、ガイドレール２０４上を垂直方向及びガイドレール２０４の長手方向（水平方向）に移動可能である。但し、本実施形態においては、アーム２０３が垂直方向に移動可能となるのは、バキューム・ヘッド２０１がトレイ・ステージ２０７上の１点に位置する位置、若しくは接着固定機ステージ２０９上の１点に位置する位置の２点のみである。 The arm 203 is a moving body that holds the vacuum pad 202 and moves the vacuum pad 202 and the vacuum head 201. The arm 203 is connected to the guide rail 204 and can move on the guide rail 204 in the vertical direction and in the longitudinal direction (horizontal direction) of the guide rail 204. However, in this embodiment, the arm 203 can move in the vertical direction at a position where the vacuum head 201 is positioned at one point on the tray stage 207 or at one point on the adhesive fixing machine stage 209. There are only two points in the position.

また、図４に示されるように、アーム２０３の強度を補強するために、サポートプレート２３１を設けることが好ましい。図４はアーム２０３周辺を模式的に示す斜視図である。図４に示すように、アーム２０３はハンドル２３２、プレート２３３、カメラ２３４、接続部２３５、２３６を有する。当該アーム２０３の下部にバキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１が固定されている。 Further, as shown in FIG. 4, it is preferable to provide a support plate 231 in order to reinforce the strength of the arm 203. FIG. 4 is a perspective view schematically showing the periphery of the arm 203. As shown in FIG. 4, the arm 203 includes a handle 232, a plate 233, a camera 234, and connection portions 235 and 236. A vacuum pad 202 and a vacuum head 201 are fixed to the lower portion of the arm 203.

ハンドル２３２は人が把持し、アーム２０３を動かすためのハンドルである。プレート２３３はアーム２０３とガイドレール２０４との接続部であり、プレート２３３がガイドレール２０４に沿って上下左右に移動することによって、アーム２０３が移動する。カメラ２３４は主にバキューム・ヘッド２０１先端部を観察するためのカメラである。接続部２３５、２３６はハンドル２３２とプレート２３３とを上下で接続する。また、下側の接続部２３６にバキューム・パッド２０２が設けられる。カメラ２３４はハンドル２３２若しくは接続部２３６に固定されて設けられる。 The handle 232 is a handle for a person to hold and move the arm 203. The plate 233 is a connecting portion between the arm 203 and the guide rail 204, and the arm 203 moves as the plate 233 moves up and down and left and right along the guide rail 204. The camera 234 is a camera for mainly observing the tip of the vacuum head 201. The connection parts 235 and 236 connect the handle 232 and the plate 233 up and down. Further, a vacuum pad 202 is provided at the lower connection portion 236. The camera 234 is provided fixed to the handle 232 or the connection portion 236.

接続部２３５、２３６を補強するようにサポートプレート２３１が設けられる。サポートプレート２３１は剛性の高い板状の部材であり、図４に示すように接続部２３５と接続部２３６とをつなぐように設けられる。サポートプレート２３１を取り付けることにより、アーム２０３の強度が補強される。こうすることにより、アーム２０３の自重やバキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１等の重みによるアーム２０３の歪みを低減することができ、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５の傾き及び位置ずれを防止することができる。図４に示されるように、接続部２３５と接続部２３６との両側にサポートプレート２３１を設けることにより、より強度を補強する効果を向上することができる。また、サポートプレート２３１は接続部２３５、２３６だけでなく、プレート２３３とも接続されても良い。 A support plate 231 is provided so as to reinforce the connecting portions 235 and 236. The support plate 231 is a highly rigid plate-like member, and is provided so as to connect the connecting portion 235 and the connecting portion 236 as shown in FIG. By attaching the support plate 231, the strength of the arm 203 is reinforced. By doing so, it is possible to reduce the distortion of the arm 203 due to the weight of the arm 203 or the weight of the vacuum pad 202, the vacuum head 201, etc., and the inclination and position of the head slider 105 adsorbed to the vacuum head 201. Deviation can be prevented. As shown in FIG. 4, by providing the support plates 231 on both sides of the connection portion 235 and the connection portion 236, the effect of reinforcing the strength can be improved. Further, the support plate 231 may be connected not only to the connection portions 235 and 236 but also to the plate 233.

ガイドレール２０４はアーム２０３を移動させるための移動体である。ガイドレール２０４は上記のようにアーム２０３の駆動軸となる他、自身は側壁２０５と接続されており、水平方向であってガイドレール２０４の長手方向と垂直な方向に移動可能である。アーム２０３、ガイドレール２０４の移動によりバキューム・ヘッド２０１及びバキューム・パッド２０２が３次元方向に移動可能となる。アーム２０３、ガイドレール２０４の移動は例えばモータ駆動やレバー等による人力駆動で行われる。尚、バキューム・ヘッド２０１及びバキューム・パッド２０２の移動方法は上記したアーム２０３、ガイドレール２０４及び側壁２０５から構成される態様に限定されるものではなく、少なくともバキューム・ヘッド２０１の先端がトレイ・ステージ２０７上と接着固定機ステージ２０９上との間を移動可能であり、更にトレイ・ステージ２０７上及び接着固定機ステージ２０９上においては垂直方向に移動可能であれば良い。 The guide rail 204 is a moving body for moving the arm 203. The guide rail 204 serves as the drive shaft of the arm 203 as described above, and is itself connected to the side wall 205 and is movable in the horizontal direction and perpendicular to the longitudinal direction of the guide rail 204. By moving the arm 203 and the guide rail 204, the vacuum head 201 and the vacuum pad 202 can be moved in a three-dimensional direction. The movement of the arm 203 and the guide rail 204 is performed by, for example, motor driving or manual driving by a lever or the like. Note that the moving method of the vacuum head 201 and the vacuum pad 202 is not limited to the above-described mode including the arm 203, the guide rail 204, and the side wall 205, and at least the tip of the vacuum head 201 is the tray stage. It is only necessary to be able to move between 207 and the adhesive fixing machine stage 209 and to move vertically on the tray stage 207 and the adhesive fixing machine stage 209.

ベース２０６はスライダ組み付け補助機２００の基盤である。ベース２０６上に少なくともトレイ・ステージ２０７及び接着固定機ステージ２０９が設けられる。トレイ・ステージ２０７はスライダ・トレイ３００が載置されるステージである。トレイ・ステージ２０７はベース２０６上を所定範囲において移動可能である。トレイ・ステージ２０７上にはトレイ・クランプ・センサー２０８が設けられている。トレイ・クランプ・センサー２０８は、アーム２０３がトレイ・ステージ２０７上で垂直方向に移動可能な状態においてバキューム・ヘッド２０１が位置する点と、スライダ・トレイ３００との位置関係を検出及び計算する機能を有する。また、トレイ・クランプ・センサー２０８の一部は、スライダ・トレイ３００をトレイ・ステージ２０７上に固定する機能を有する。 The base 206 is a base of the slider assembly auxiliary machine 200. At least a tray stage 207 and an adhesive fixing machine stage 209 are provided on the base 206. The tray stage 207 is a stage on which the slider tray 300 is placed. The tray stage 207 can move on the base 206 within a predetermined range. A tray clamp sensor 208 is provided on the tray stage 207. The tray clamp sensor 208 has a function of detecting and calculating the positional relationship between the point where the vacuum head 201 is positioned and the slider tray 300 in a state where the arm 203 can move vertically on the tray stage 207. Have. Further, a part of the tray clamp sensor 208 has a function of fixing the slider tray 300 on the tray stage 207.

接着固定機ステージ２０９は接着固定機４００が載置されるステージである。接着固定機ステージ２０９はベース２０６上の所定範囲を水平方向に移動可能である。接着固定機ステージ２０９には、接着固定機４００にスライダを固定する際にバキューム・ヘッド２０１の垂直方向の位置を規定するためのストッパ２９１が設けられる。ストッパ２９１の機能については後述する。また、接着固定機ステージ２０９は自身の上に載置された接着固定機４００のクランプを開閉するためのクランプオープンレバー２９２を有する。照明２１０はスライダ組み付け補助機２００若しくはスライダ組み付け補助機２００に含まれる各部の採光のために設けられる。 The adhesive fixing machine stage 209 is a stage on which the adhesive fixing machine 400 is placed. The adhesive fixing machine stage 209 is movable in a horizontal direction within a predetermined range on the base 206. The adhesive fixing machine stage 209 is provided with a stopper 291 for defining the vertical position of the vacuum head 201 when the slider is fixed to the adhesive fixing machine 400. The function of the stopper 291 will be described later. The adhesive fixing machine stage 209 has a clamp open lever 292 for opening and closing the clamp of the adhesive fixing machine 400 placed on the adhesive fixing machine stage 209. The illumination 210 is provided for lighting of each part included in the slider assembly auxiliary machine 200 or the slider assembly auxiliary machine 200.

ヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に固定する際は、スライダ・トレイ３００に収納されているヘッド・スライダ１０５をバキューム・ヘッド２０１が吸着し、アーム２０３を動かすことによりバキューム・ヘッド２０１を接着固定機４００の直上に移動し、アーム２０３を垂直方向に移動することによってバキューム・ヘッド２０１に吸着されているヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に近付け、固定する。 When the head slider 105 is fixed to the adhesive fixing machine 400, the vacuum head 201 adsorbs the head slider 105 accommodated in the slider tray 300 and moves the arm 203 to bond and fix the vacuum head 201. The head slider 105 that is attracted to the vacuum head 201 is moved close to the adhesive fixing device 400 and fixed by moving the arm 203 in the vertical direction.

次に、図５を用いてバキューム・ヘッド２０１がスライダ・トレイ３００に収納されているスライダを吸着する工程を説明する。図５は、バキューム・ヘッド２０１が、スライダ・トレイ３００の凹部３０１に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着する工程を示す断面図である。ここで、ヘッド・スライダ１０５はそのＡＢＳ面が下側になるように凹部３０１に収納されている。 Next, a process in which the vacuum head 201 sucks the slider stored in the slider tray 300 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a process in which the vacuum head 201 sucks the head slider 105 housed in the recess 301 of the slider tray 300. Here, the head slider 105 is housed in the recess 301 so that its ABS surface is on the lower side.

まず、図５（ａ）に示すようにアーム２０３、ガイドレール２０４を駆動することにより、トレイ・ステージ２０７上であって、アーム２０３が垂直方向に移動可能である位置にバキューム・ヘッド２０１を移動させる。そして、アーム２０３を垂直下方に駆動することによりバキューム・ヘッド２０１を当該凹部３０１内に収納されているヘッド・スライダ１０５に近づける。この時、バキューム・ヘッド２０１がスライダ・トレイ３００上の所望の凹部３０１の直上に位置するようにトレイ・ステージ２０７を位置合わせする。当該位置合わせはトレイ・クランプ・センサー２０８がバキューム・ヘッド２０１とスライダ・トレイ３００との位置関係を検知し、トレイ・ステージ２０７が移動することにより行われる。 First, as shown in FIG. 5A, by driving the arm 203 and the guide rail 204, the vacuum head 201 is moved to a position on the tray stage 207 where the arm 203 can move vertically. Let Then, by driving the arm 203 vertically downward, the vacuum head 201 is brought close to the head slider 105 accommodated in the recess 301. At this time, the tray stage 207 is aligned so that the vacuum head 201 is positioned directly above the desired recess 301 on the slider tray 300. The alignment is performed when the tray clamp sensor 208 detects the positional relationship between the vacuum head 201 and the slider tray 300 and the tray stage 207 moves.

ここで、バキューム・ヘッド２０１の口径が凹部３０１の平面形状よりも小さすぎる場合、ヘッド・スライダ１０５の平面の中央部を外れて吸着することが考えられる。そのような場合、吸着力が片方に偏るために、ヘッド・スライダ１０５が傾くことがある。ヘッド・スライダ１０５はバキューム・ヘッド２０１に吸着された状態で接着固定機４００に固定されるため、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１に傾いた状態で吸着されていると、接着固定機４００に傾いたまま固定され、サスペンション１１０との接着時に不具合を生じる。また、吸着力の偏りにより、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１からはがれてしまうことも考えられる。 Here, when the aperture of the vacuum head 201 is too small than the planar shape of the recess 301, it is conceivable that the suction is performed by removing the central portion of the plane of the head slider 105. In such a case, the head slider 105 may be inclined because the suction force is biased to one side. Since the head slider 105 is fixed to the adhesive fixing device 400 while being attracted to the vacuum head 201, if the head slider 105 is attracted to the vacuum head 201 in an inclined state, the head slider 105 is attached to the adhesive fixing device 400. It is fixed while tilted, causing a problem when bonded to the suspension 110. Further, it is also conceivable that the head slider 105 is peeled off from the vacuum head 201 due to the bias of the attracting force.

そのため、バキューム・ヘッド２０１の口径は、凹部３０１の平面形状の１辺の長さ（凹部３０１の平面形状が長方形の場合は、その縦若しくは横の長さのうち短い方の長さ）よりもわずかに小さい。言い換えると、バキューム・ヘッド２０１の口径は凹部３０１に挿入可能な大きさであるが、少なくとも一つの方向における凹部３０１の幅とバキューム・ヘッド２０１の口径とは実質的に同一である。 Therefore, the diameter of the vacuum head 201 is longer than the length of one side of the planar shape of the recess 301 (if the planar shape of the recess 301 is rectangular, the shorter one of the vertical or horizontal length). Slightly small. In other words, the diameter of the vacuum head 201 is large enough to be inserted into the recess 301, but the width of the recess 301 and the diameter of the vacuum head 201 in at least one direction are substantially the same.

これにより、図５（ｂ）に示すようにバキューム・ヘッド２０１はヘッド・スライダ１０５を全体に亘って吸着する。従って、図５（ｃ）に示されるように、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５は、傾くことなく水平に保持される。尚、バキューム・ヘッド２０１が円筒状ではなく柱状の場合においても、バキューム・ヘッド２０１の平面寸法が凹部３０１に挿入可能な大きさであり、少なくとも一つの方向における凹部３０１の幅とバキューム・ヘッド２０１の平面寸法とが実質的に同一であれば同様の効果を得ることができる。ここで言う平面寸法とは、水平方向の面、即ちスライダ・トレイ３００が載置される面やベース２０６の上面に平行な面における寸法である。 As a result, as shown in FIG. 5B, the vacuum head 201 adsorbs the head slider 105 throughout. Therefore, as shown in FIG. 5C, the head slider 105 adsorbed by the vacuum head 201 is held horizontally without tilting. Even when the vacuum head 201 has a columnar shape instead of a cylindrical shape, the planar dimension of the vacuum head 201 is large enough to be inserted into the concave portion 301, and the width of the concave portion 301 and the vacuum head 201 in at least one direction. The same effect can be obtained if the planar dimensions are substantially the same. The planar dimension referred to here is a dimension on a horizontal surface, that is, a surface parallel to the surface on which the slider tray 300 is placed or the upper surface of the base 206.

他の凹部３０１に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着する際は、バキューム・ヘッド２０１をトレイ・ステージ２０７側に戻し、トレイ・ステージ２０７を水平方向に移動させ、所望の凹部３０１をバキューム・ヘッド２０１の直下に移動させる。 When adsorbing the head slider 105 accommodated in another recess 301, the vacuum head 201 is returned to the tray stage 207 side, the tray stage 207 is moved in the horizontal direction, and the desired recess 301 is It is moved directly below the head 201.

上述したように、アーム２０３が垂直方向に移動可能な点は、トレイ・ステージ２０７上の点において決まっている。従って、当該アーム２０３が垂直移動可能な点におけるバキューム・ヘッド２０１の位置と、スライダ・トレイ３００の現在位置とがわかれば、スライダ・トレイ３００に複数含まれる凹部３０１のうち、どの凹部３０１がバキューム・ヘッド２０１の直下に位置しているか計算可能である。トレイ・クランプ・センサー２０８はこの計算を行う。 As described above, the point on which the arm 203 can move in the vertical direction is determined at a point on the tray stage 207. Therefore, if the position of the vacuum head 201 at the point at which the arm 203 is vertically movable and the current position of the slider tray 300 are known, which of the plurality of recesses 301 included in the slider tray 300 is the vacuum 301. It can be calculated whether the head 201 is located immediately below. The tray clamp sensor 208 performs this calculation.

スライダ・トレイ３００の現在位置は、例えばトレイ・ステージ２０７を駆動するモータの回転数により知ることができる。トレイ・ステージ２０７上にスライダ・トレイ３００を載置し、スライダ・トレイ３００の角部のうち少なくとも３点にバキューム・ヘッド２０１を位置合わせし、夫々の角部におけるモータの回転数を記憶することによって、バキューム・ヘッド２０１とスライダ・トレイ３００との位置関係を計算することができる。 The current position of the slider tray 300 can be known from the number of rotations of a motor that drives the tray stage 207, for example. The slider tray 300 is placed on the tray stage 207, the vacuum head 201 is aligned with at least three of the corners of the slider tray 300, and the motor rotation speed at each corner is stored. Thus, the positional relationship between the vacuum head 201 and the slider tray 300 can be calculated.

次に図６を用いて接着固定機４００の詳細を説明する。図６は接着固定機４００を示す斜視図である。接着固定機４００は固定部４１０を有し、ヘッド・スライダ１０５は固定部４１０に固定された状態でサスペンション１１０と接着される。図７に固定部４１０の詳細を示す。固定部４１０はプレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３を有する。また、図に示すようにクランプ４１２は１つの凸部４１４ａを有し、ネスト４１３は２つの凸部４１４ｂ及び４１４ｃを有する。プレート４１１及びネスト４１３は接着固定機４００に対して固定されており、クランプ４１２はネスト４１３に対して少なくとも前後に移動可能である。また、固定部４１０において、ヘッド・スライダ１０５は底面であるＡＢＳ面が何にも当接しない非接触状態で固定される。即ちヘッド・スライダ１０５はネスト４１３とクランプ４１２とによって側面のみで挟持される。 Next, details of the adhesive fixing machine 400 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view showing the adhesive fixing machine 400. The adhesive fixing machine 400 has a fixing portion 410, and the head slider 105 is bonded to the suspension 110 while being fixed to the fixing portion 410. FIG. 7 shows details of the fixing unit 410. The fixing unit 410 includes a plate 411, a clamp 412, and a nest 413. As shown in the figure, the clamp 412 has one convex portion 414a, and the nest 413 has two convex portions 414b and 414c. The plate 411 and the nest 413 are fixed to the adhesive fixing machine 400, and the clamp 412 is movable at least back and forth with respect to the nest 413. Further, in the fixing portion 410, the head slider 105 is fixed in a non-contact state in which the ABS surface as the bottom surface does not contact anything. That is, the head slider 105 is clamped only on the side surface by the nest 413 and the clamp 412.

固定部４１０にヘッド・スライダ１０５を固定する際には、クランプ４１２とネスト４１３との間にヘッド・スライダ１０５の平面寸法よりも十分大きなスペースが開いた状態で、ＡＢＳ面を下向きにしてヘッド・スライダ１０５の側面をプレート４１１及びネスト４１３に当接させ、その状態からクランプ４１２をネスト４１３に近付けることによって、ヘッド・スライダ１０５を挟持する。即ち、プレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３に囲まれるようにヘッド・スライダ１０５が挟持される。ここで、クランプ４１２とネスト４１３との間においては、ヘッド・スライダ１０５は凸部４１４ａ〜ｃによって三点支持される。固定部４１０にヘッド・スライダ１０５が固定された状態の上面図を図８（ａ）、（ｂ）に側面図を図８（ｃ）に示す。 When the head slider 105 is fixed to the fixing portion 410, with the space sufficiently larger than the plane dimension of the head slider 105 opened between the clamp 412 and the nest 413, the head surface is faced downward. The side surface of the slider 105 is brought into contact with the plate 411 and the nest 413, and the clamp 412 is brought close to the nest 413 from the state to sandwich the head slider 105. That is, the head slider 105 is sandwiched between the plate 411, the clamp 412, and the nest 413. Here, between the clamp 412 and the nest 413, the head slider 105 is supported at three points by the convex portions 414a to 414c. 8A and 8B are a top view and a side view, respectively, of the state in which the head slider 105 is fixed to the fixing portion 410. FIG.

図８（ａ）に示されるように、ヘッド・スライダ１０５はその側面がプレート４１１に当接し、クランプ４１２側及びネスト４１３側が有する凸部４１４ａ〜ｃによって三点支持されている。ヘッド・スライダ１０５がプレート４１１に当接することによって、サスペンション１１０との接着時における位置決め精度が向上する。上記のように、ヘッド・スライダ１０５は底面を固定されず側面のみで挟持されているため、より強い力で挟持されることが望ましい。面で支持する場合は当接面の平坦度により力の伝達に強弱が生じてしまうが、凸部４１４ａ〜ｃを設け三点で支持することによって、面で支持するよりも当接面に確実に力を伝えることができる。 As shown in FIG. 8A, the side surface of the head slider 105 abuts on the plate 411 and is supported at three points by convex portions 414a to 414c on the clamp 412 side and the nest 413 side. When the head slider 105 abuts on the plate 411, positioning accuracy at the time of bonding to the suspension 110 is improved. As described above, the head slider 105 is sandwiched with a stronger force because the bottom surface is not fixed and is sandwiched only on the side surface. In the case of supporting by a surface, the strength of force transmission may be increased or decreased depending on the flatness of the abutting surface. Can convey power to

更に好適には、図８（ｂ）に示されるように、凸部４１４ａ〜ｃの当接面は凸型のＲ部４１４ｒを有している方が良い。これにより、Ｒ部４１４ｒの頂点を中心に更に確実に力を伝えることができる。ここで、凸部４１４ａ〜ｃは上記のようにクランプ４１２に４１４ａが一点、ネスト４１３側に４１４ｂ及び４１４ｃの二点設けられているが、これに限定されるものではない。但し、本実施形態においては、ヘッド・スライダ１０５を先にネスト４１３に当接させ、後からクランプ４１２で挟持するため図８に示される態様が好ましい。先にネスト４１３に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃの二点と当接させることにより、ヘッド・スライダ１０５の回転が抑制され、後からクランプ４１２で挟持する際に都合がよいからである。また、図８（ｂ）においては凸部４１４ａ〜ｃについて水平方向にＲ部が設けられているが、垂直方向に設けられていても良い。また、図８（ｃ）に示すように、片面のみのＲでも良い。 More preferably, as shown in FIG. 8B, the contact surfaces of the convex portions 414a to 414c should have a convex R portion 414r. Thereby, force can be more reliably transmitted centering | focusing on the vertex of R part 414r. Here, as described above, the protrusions 414a to 414c are provided with one point 414a on the clamp 412 and two points 414b and 414c on the nest 413 side, but the present invention is not limited to this. However, in the present embodiment, since the head slider 105 is first brought into contact with the nest 413 and is clamped by the clamp 412 later, the mode shown in FIG. 8 is preferable. This is because the rotation of the head slider 105 is suppressed by making contact with the two points of the convex portions 414 b and 414 c provided on the nest 413 earlier, and it is convenient when the clamp 412 is held later. Moreover, in FIG.8 (b), although the R part is provided in the horizontal direction about convex part 414a-c, you may provide in the vertical direction. Moreover, as shown in FIG.8 (c), R of only one side may be sufficient.

より好適なヘッド・スライダ１０５の挟持のため、凸部４１４ｂ、４１４ｃはネスト４１３におけるヘッド・スライダ１０５との当接面において、図８に示すように真ん中よりも両端寄りに夫々設けられ、凸部４１４は凸部４１４ｂと凸部４１４ｃとの間に対向するように設けられる。更に好適には、凸部４１４ａは凸部４１４ｂと凸部４１４ｃとの中間に設けられる。これにより、ヘッド・スライダ１０５は凸部ａ〜ｃによって好適に三点支持される。 In order to more favorably hold the head slider 105, the convex portions 414b and 414c are provided on the contact surface of the nest 413 with the head slider 105, as shown in FIG. 414 is provided so as to face between the convex portion 414b and the convex portion 414c. More preferably, the convex portion 414a is provided between the convex portion 414b and the convex portion 414c. Accordingly, the head slider 105 is suitably supported at three points by the convex portions a to c.

次に図９を用いてバキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００の固定部４１０に固定する工程を説明する。図５における説明でヘッド・スライダ１０５を吸着したバキューム・ヘッド２０１を、アーム２０３及びガイドレール２０４を駆動することにより、接着固定機ステージ２０９の直上であってアーム２０３が垂直移動可能な点に移動する。この場合のバキューム・ヘッド２０１の位置は、固定部４１０の直上である。更に詳細には、プレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３に囲まれる領域である。 Next, a process of fixing the head slider 105 attracted by the vacuum head 201 to the fixing unit 410 of the adhesive fixing machine 400 will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the vacuum head 201 that has attracted the head slider 105 is moved to a point where the arm 203 can be vertically moved by driving the arm 203 and the guide rail 204, directly above the adhesive fixing machine stage 209. To do. In this case, the position of the vacuum head 201 is directly above the fixed portion 410. More specifically, the region is surrounded by the plate 411, the clamp 412, and the nest 413.

上記のようなアーム２０３が垂直移動可能な位置において、図９（ａ）に示すようにバキューム・ヘッド２０１を垂直下方へ移動し、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５を固定部４１０へ近づける。バキューム・ヘッド２０１を垂直下方へ移動していくと、バキューム・パッド２０２に設けられた突き当て部２２１と接着固定機ステージ２０９に設けられたストッパ２９１とが当接し、バキューム・ヘッド２０１の下降が停止する。バキューム・ヘッド２０１の下降停止の詳細については後述する。 At the position where the arm 203 can move vertically, the vacuum head 201 is moved vertically downward as shown in FIG. 9A, and the head slider 105 adsorbed by the vacuum head 201 is fixed to the fixed portion 410. Move closer. When the vacuum head 201 is moved vertically downward, the abutting portion 221 provided on the vacuum pad 202 and the stopper 291 provided on the adhesive fixing machine stage 209 come into contact with each other, and the vacuum head 201 is lowered. Stop. Details of the descent stop of the vacuum head 201 will be described later.

図９（ｂ）に示すように、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１に吸着された状態で停止する位置は、プレート４１１及びネスト４１３に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃとの間に夫々０．２５ｍｍ程度の隙間ｇ１、ｇ２が空く位置である。図９（ｂ）を正面から見た状態を図１０に示す。図１０に示すように、凸部４１４ｂとヘッド・スライダ１０５との間には隙間ｇ１が空いている。また、図１０に示されるように、バキューム・ヘッド２０１が停止した際のヘッド・スライダ１０５の上面（ＡＢＳ面とは反対側の面）の高さは、プレート４１１及びネスト４１３の上面の高さよりもギャップｇ３だけ高く位置する。こうすることにより、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定した状態でヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０とを接着することができる。ここで、図９（ｂ）から図９（ｄ）においては、バキューム・ヘッド２０１は省略するが、ヘッド・スライダ１０５が固定部４１０に挟持されるまで、ヘッド・スライダ１０５はバキューム・ヘッド２０１に吸着されている。 As shown in FIG. 9B, the position where the head slider 105 stops while being attracted to the vacuum head 201 is 0 between the convex portions 414b and 414c provided on the plate 411 and the nest 413, respectively. The gaps g1 and g2 of about 25 mm are vacant. The state which looked at FIG.9 (b) from the front is shown in FIG. As shown in FIG. 10, there is a gap g1 between the convex portion 414b and the head slider 105. Further, as shown in FIG. 10, the height of the upper surface (the surface opposite to the ABS surface) of the head slider 105 when the vacuum head 201 is stopped is higher than the height of the upper surfaces of the plate 411 and the nest 413. Is also positioned higher by the gap g3. By doing so, it is possible to bond the head slider 105 and the suspension 110 in a state where the head slider 105 is fixed to the adhesive fixing machine 400. Here, in FIGS. 9B to 9D, the vacuum head 201 is omitted, but the head slider 105 is attached to the vacuum head 201 until the head slider 105 is clamped by the fixing portion 410. Adsorbed.

次に、図９（ｃ）に示されるように、接着固定機ステージ２０９を動かすことにより、プレート４１１及びネスト４１３に設けられた凸部４１４と、ヘッド・スライダ１０５の側面とを当接させる。この時の接着固定機ステージ２０９の移動はレバー等により手動で行なっても良いし、モータ等により行なっても良い。また、プレート４１１及び凸部４１４ｂ、４１４ｃとヘッド・スライダ１０５との当接を検出して自動で停止しても良いし、手動で停止しても良い。プレート４１１及びネスト４１３とヘッド・スライダ１０５の側面とを当接させた後、図９（ｄ）に示すようにクランプ４１２をネスト４１３に近付けることにより、クランプ４１２に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃとヘッド・スライダ１０５とを当接させ、図８に示したようにヘッド・スライダ１０５が固定部４１０に挟持される。 Next, as shown in FIG. 9C, by moving the adhesive fixing machine stage 209, the convex portions 414 provided on the plate 411 and the nest 413 are brought into contact with the side surfaces of the head slider 105. The movement of the adhesive fixing machine stage 209 at this time may be manually performed by a lever or the like, or may be performed by a motor or the like. Further, the contact between the plate 411 and the convex portions 414b and 414c and the head slider 105 may be detected and automatically stopped or manually stopped. After bringing the plate 411 and nest 413 and the side surface of the head slider 105 into contact with each other, the clamp 412 is moved closer to the nest 413 as shown in FIG. 9D to thereby provide convex portions 414b and 414c provided on the clamp 412. And the head slider 105 are brought into contact with each other, and the head slider 105 is sandwiched between the fixing portions 410 as shown in FIG.

固定部４１０にヘッド・スライダ１０５が固定された後、バキューム・ヘッド２０１による吸着を解除し、ヘッド・スライダ１０５の上面にサスペンション１１０を接着する。図９（ｄ）に示すように、ヘッド・スライダ１０５の底面、即ちＡＢＳ面が他の構成に接触せず、ヘッド・スライダ１０５は側面のみで保持されるため、製造工程におけるＡＢＳ面の清浄土を向上することができる。 After the head slider 105 is fixed to the fixing portion 410, the suction by the vacuum head 201 is released, and the suspension 110 is bonded to the upper surface of the head slider 105. As shown in FIG. 9 (d), the bottom surface of the head slider 105, that is, the ABS surface does not come into contact with other components, and the head slider 105 is held only by the side surface. Can be improved.

図１１を用いて、突き当て部２２１及びストッパ２９１による、バキューム・ヘッド２０１の下降停止位置を規定する方法について説明する。図１１は、組み付け補助機２００の一部を模式的に示す断面図である。図１１に示されるように、バキューム・パッド２０２は、自身の底面においてＬ字型に突き出した突き当て部２２１を有する。突き当て部２２１はバキューム・ヘッド２０１と重ならない位置に突出している。また、接着固定機ステージ２０９には、接着固定機４００、詳細には固定部４１０の近傍において、上方に突出したストッパ２９１が設けられる。 A method of defining the lowering stop position of the vacuum head 201 by the abutting portion 221 and the stopper 291 will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing a part of the assembly assisting machine 200. As shown in FIG. 11, the vacuum pad 202 has an abutting portion 221 that projects in an L shape on the bottom surface thereof. The abutting portion 221 protrudes at a position where it does not overlap the vacuum head 201. The adhesive fixing machine stage 209 is provided with a stopper 291 that protrudes upward in the vicinity of the adhesive fixing machine 400, specifically, the fixing portion 410.

アーム２０３の下降時においては、突き当て部２２１とストッパ２９１とが当接することによってアーム２０３の下降が不可能となり、アーム２０３の下降が停止する。従って、ストッパ２９１の高さ、突き当て部２２１及びバキューム・ヘッド２０１の寸法を調整することにより、ヘッド・スライダ１０５を固定部４１０に挟持する際の高さを規定することが可能となる。また、ストッパ２９１を固定部４１０の近傍に設けることにより、突き当て部２２１とストッパ２９１とが当接した際の、突き当て部２２１の歪みを低減することができる。これにより、ヘッド・スライダ１０５の位置のずれ及び傾きを抑えることができる。尚、ストッパ２９１は突き当て部２２１との当接面において様々な態様が考えられる。例えば、突き当て部２２１との当接面に接触時の衝撃吸収用の弾性部材を設けても良いし、突き当て部２２１との当接状態における安定性向上のために、当接面を水平方向に拡大しても良い。 When the arm 203 is lowered, the abutting portion 221 and the stopper 291 come into contact with each other, so that the arm 203 cannot be lowered, and the arm 203 stops being lowered. Therefore, by adjusting the height of the stopper 291 and the dimensions of the abutting portion 221 and the vacuum head 201, it is possible to define the height when the head slider 105 is sandwiched between the fixed portions 410. Further, by providing the stopper 291 in the vicinity of the fixed portion 410, it is possible to reduce distortion of the abutting portion 221 when the abutting portion 221 and the stopper 291 come into contact with each other. As a result, the displacement and inclination of the position of the head slider 105 can be suppressed. The stopper 291 can have various modes on the contact surface with the abutting portion 221. For example, an elastic member for absorbing shock at the time of contact may be provided on the contact surface with the abutting portion 221, or the contact surface is horizontal for improving stability in the contact state with the abutting portion 221. You may enlarge in the direction.

このような方法を用いて接着固定機４００の固定部４１０にヘッド・スライダ１０５を固定することにより、ヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面が接着固定機４００と接触することなく、ヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０との接着を行うことができる。従って、ヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面を清浄に保つことができ、ＨＤＤの製造工程におけるコンタミネーションを低減することが可能となる。 By fixing the head slider 105 to the fixing portion 410 of the adhesive fixing machine 400 using such a method, the ABS of the head slider 105 and the suspension are not brought into contact with the adhesive fixing machine 400. Adhesion with 110 can be performed. Therefore, the ABS surface of the head slider 105 can be kept clean, and contamination in the HDD manufacturing process can be reduced.

以上説明したように、本発明により、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。また、接着固定機４００の洗浄工程が不要となり、生産性の向上を図ることができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic disk drive with improved cleanliness of the ABS surface of the slider. Further, the cleaning process of the adhesive fixing machine 400 is not required, and the productivity can be improved.

尚、上記においては、接着固定機ステージ２０９に設けられたストッパ２９１とバキューム・パッド２０２に設けられた突き当て部２２１とを当接させることにより、ヘッド・スライダ１０５の位置を規定したが、例えばストッパ２９１を突き当て部２２１に設け、ストッパ２９１と接着固定機ステージ２０９とが当接することによりヘッド・スライダ１０５の位置を規定しても良い。更には、ストッパ２９１をバキューム・パッド２０２又はアーム２０３に設けても良い。また、接着固定機ステージ２０９とアーム２０３とが当接することにより、ヘッド・スライダ１０５の位置を規定しても良い。 In the above, the position of the head slider 105 is defined by bringing the stopper 291 provided on the adhesive fixing machine stage 209 into contact with the abutting portion 221 provided on the vacuum pad 202. A position of the head slider 105 may be defined by providing a stopper 291 in the abutting portion 221 and contacting the stopper 291 and the adhesive fixing machine stage 209. Further, the stopper 291 may be provided on the vacuum pad 202 or the arm 203. Further, the position of the head slider 105 may be defined by the contact between the adhesive fixing machine stage 209 and the arm 203.

また、本実施形態においては、固定部４１０に対してヘッド・スライダ１０５を直上から近付け、突き当て部２２１とストッパ２９１とを上下で当接させることによりヘッド・スライダ１０５の位置を規定したが、これに限定されるものではない。例えば、固定部４１０が下面に位置するように接着固定機４００を配置し、ヘッド・スライダ１０５を真下から近づけても良い。同様に、固定部４１０が側面に位置するように接着固定機４００を配置し、ヘッド・スライダ１０５を真横から近づけ、突き当て部２２１とストッパ２９１とを左右で当接させても同様の効果を奏することができる。 In this embodiment, the position of the head slider 105 is defined by bringing the head slider 105 close to the fixed portion 410 from directly above and bringing the abutting portion 221 and the stopper 291 into contact with each other vertically. It is not limited to this. For example, the adhesive fixing machine 400 may be arranged so that the fixing portion 410 is located on the lower surface, and the head slider 105 may be brought closer from directly below. Similarly, the same effect can be obtained by arranging the adhesive fixing machine 400 so that the fixing portion 410 is located on the side surface, bringing the head slider 105 close to the side, and bringing the abutting portion 221 and the stopper 291 into contact with each other on the left and right. Can play.

本発明の実施の形態におけるＨＤＤを示す上面図である。It is a top view which shows HDD in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるアクチュエータを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the actuator in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるスライダ組み付け補助機を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the slider assembly auxiliary machine in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるアーム周辺を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the arm periphery in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるバキューム・ヘッドがスライダを吸着する工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the process in which the vacuum head in embodiment of this invention adsorb | sucks a slider. 本発明の実施の形態における接着固定機を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the adhesive fixing machine in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における接着固定機に含まれる固定部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the fixing | fixed part contained in the adhesive fixing machine in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における固定部にスライダが挟持された状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which the slider was clamped by the fixing | fixed part in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるスライダが固定部に挟持される工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process in which the slider in embodiment of this invention is clamped by the fixing | fixed part. 本発明の実施の形態におけるスライダと固定部の位置関係を示す正面図である。It is a front view which shows the positional relationship of the slider and fixing | fixed part in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態におけるスライダ組み付け補助機の一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of slider assembly auxiliary machine in embodiment of this invention.

Explanation of symbols

１００ＨＤＤ、１０１磁気ディスク、１０２ベース、
１０３スピンドル・モータ、１０５ヘッド・スライダ、１０６アクチュエータ、
１０７回動軸、１０８軸受部、１０９ＶＣＭ、１１０サスペンション、
１１１アーム部、１１２コイル・サポート部、１１３フラットコイル、
１１４上側ステータ・マグネット保持板、１１５ランプ、１１６タブ、
１１７トレース、１１８マウント・プレート、１１９ジンバル、
１２０ロード・ビーム、２００スライダ組み付け補助機、
２０１バキューム・ヘッド、２０２バキューム・パッド、２０３アーム、
２０４ガイドレール、２０５側壁、２０６ベース、２０７トレイ・ステージ、
２０８トレイ・クランプ・センサー、２０９接着固定機ステージ、２１０照明、
２２１突き当て部、２３１サポートプレート、２３２ハンドル、
２３３プレート、２３４カメラ、２３５、２３６接続部、２９１ストッパ、
２９２クランプオープンレバー、３００スライダ・トレイ、３０１凹部、
４００接着固定機、４１０固定部、４１１プレート、４１２クランプ、
４１３ネスト、４１４ｒＲ部、４１４ａ、４１４ｂ、４１４ｃ凸部、
ｇ１、ｇ２隙間、ｇ３ギャップ 100 HDD, 101 magnetic disk, 102 base,
103 spindle motor, 105 head slider, 106 actuator,
107 rotating shaft, 108 bearing, 109 VCM, 110 suspension,
111 arm part, 112 coil support part, 113 flat coil,
114 Upper stator magnet holding plate, 115 lamp, 116 tab,
117 trace, 118 mount plate, 119 gimbal,
120 load beam, 200 slider assembly auxiliary machine,
201 vacuum head, 202 vacuum pad, 203 arm,
204 guide rail, 205 side wall, 206 base, 207 tray stage,
208 Tray clamp sensor, 209 Bonding machine stage, 210 Illumination,
221 abutting part, 231 support plate, 232 handle,
233 plate, 234 camera, 235, 236 connection part, 291 stopper,
292 Clamp open lever, 300 Slider tray, 301 Recess,
400 adhesive fixing machine, 410 fixing part, 411 plate, 412 clamp,
413 nest, 414r R portion, 414a, 414b, 414c convex portion,
g1, g2 gap, g3 gap

Claims

From the position facing the fixed part that holds the slider and fixes the slider, the slider is moved parallel to the fixed part,
When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, a part of the member holding the slider or a member connected to the member holding the slider is in contact with a stopper that defines the position of the slider To stop the movement of the slider,
Fixing the slider to the fixed portion by sandwiching the side surface of the slider;
A method of manufacturing a head suspension assembly, wherein a suspension is bonded to a surface of the fixed slider opposite to the ABS surface.

2. The head suspension assembly according to claim 1, wherein two opposite surfaces of the slider are sandwiched by the fixed portion and are sandwiched by three convex portions provided on the fixed portion. Manufacturing method.

Two convex portions are provided on the first clamping surface facing one of the two opposing surfaces across which the slider is clamped,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
3. The head according to claim 2, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located between the two convex portions provided on the opposed first clamping surface. -Manufacturing method of suspension assembly.

4. The head according to claim 3, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface. 5. -Manufacturing method of suspension assembly.

The upper surface of the slider in a state where the movement of the slider is stopped by contact of the stopper and the member holding the slider or a part of the member connected to the member holding the slider. 2. The method of manufacturing a head suspension assembly according to claim 1, wherein is higher than an upper surface of the fixed portion, and a lower surface of the slider is lower than an upper surface of the fixed portion.

In a state where the movement of the slider is stopped by contact of the stopper and the member holding the slider or a part of the member connected to the member holding the slider, the slider and the The clearance between the fixed part and the fixed part, and the fixed part and the slider are in contact with each other by moving a stage on which the adhesive fixing machine is mounted. Suspension assembly method.

The holding of the slider is performed by adsorbing the surface opposite to the ABS surface of the slider with a vacuum head having an adsorbing force,
The slider is housed in a slider tray having a recess;
2. The head suspension according to claim 1, wherein a width of the concave portion and a width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the concave portion. -Manufacturing method of assembly.

From the position facing the fixed part that holds the slider and fixes the slider, the slider is moved parallel to the fixed part,
When the ABS surface of the slider is in a non-contact state, the slider is fixed to the fixing portion by sandwiching the side surface of the slider with three convex portions provided on the fixing portion.
A method of manufacturing a head suspension assembly, wherein a suspension is bonded to a surface of the fixed slider opposite to the ABS surface.

The slider is sandwiched between the two opposing surfaces of the side surface by the fixed portion,
Two convex portions are provided on the first sandwiching surface facing one of the two facing surfaces,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
9. The head according to claim 8, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned between the two convex portions provided on the opposed first clamping surface. -Manufacturing method of suspension assembly.

10. The head according to claim 9, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface. 10. -Manufacturing method of suspension assembly.

9. The method of manufacturing a head suspension assembly according to claim 8, wherein when the slider is clamped by the first and second clamping surfaces, the first clamping surface comes into contact with the slider first. .

9. The method of manufacturing a head suspension assembly according to claim 8, wherein a contact surface of the convex portion with the slider has a convex R shape.

A slider tray for storing a plurality of sliders used in the magnetic disk device;
A tray stage on which the slider tray is placed;
A vacuum head that holds the slider stored in the slider tray horizontally by suction;
A vacuum pad for holding the vacuum head;
An arm for moving the vacuum pad and the vacuum head;
A slider assembling apparatus having an adhesive fixing machine stage on which an adhesive fixing machine for fixing the slider is mounted,
Head suspension assembly manufacturing apparatus in which the slider is fixed by sandwiching its side surface with three convex portions provided on the fixing portion of the adhesive fixing machine when the ABS surface of the slider is in a non-contact state .

The slider tray has a recess for receiving the slider;
14. The head suspension according to claim 13, wherein the width of the recess and the width of the vacuum head in one direction are substantially the same, and the vacuum head can be inserted into the recess. -Assembly manufacturing equipment.

The fixing portion fixes the slider by sandwiching two opposite surfaces of the side surface of the slider,
Two convex portions are provided on the first clamping surface facing one of the two opposing surfaces,
The second clamping surface facing the other surface is provided with a single convex portion,
14. The head according to claim 13, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is positioned between the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.・ Suspension assembly manufacturing equipment.

16. The head according to claim 15, wherein the one-point convex portion provided on the second clamping surface is located at the center of the two convex portions provided on the opposing first clamping surface.・ Suspension assembly manufacturing equipment.

14. The apparatus for manufacturing a head suspension assembly according to claim 13, wherein the arm is provided with a support plate for reinforcing the strength of the arm.