JP2002250687A - 粒度分布測定システム用廃液処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】測定後の試料懸濁液をシステム内で自動的に処
理して媒体液の再利用を可能とする粒度分布測定システ
ム用廃液処理装置を提供する。 【解決手段】試料粒子を媒体液中に懸濁させた試料懸濁
液を測定対象として粒度分布測定装置によって試料粒子
の粒度分布を測定する粒度分布測定システム用廃液処理
装置であって、粒度分布測定装置から排出される測定後
の試料懸濁液を貯留する廃液タンク４１と、廃液タンク
内の試料懸濁液の量の上限値および下限値を検出するレ
ベルセンサ４６と、廃液タンク内の試料懸濁液を送出す
るポンプ４２と、ポンプによって送出された試料懸濁液
から試料粒子を分離除去する濾過フィルタ４３，４４
と、レベルセンサの出力により、廃液タンク内の試料懸
濁液の量が上限値と下限値との間に維持されるようにポ
ンプを駆動し、試料懸濁液から試料粒子を分離除去して
処理済み媒体液とする制御部４５とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、粉体試料の粒度
分布等の粒度に関する性状や特性値を測定するための粒
度分布測定システムにおける廃液処理装置に関し、詳し
くは、測定後の試料懸濁液をシステム内で自動的に処理
して媒体液の再利用を可能とする粒度分布測定システム
用廃液処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、粉体製品の開発時や製造時に
その品質を確認する手段としては、粒度分析計によって
粉体試料の粒度（粒度分布）を測定する方法が広く利用
されている。中でも、粉体試料（粒子群）を媒体液中に
懸濁させた試料懸濁液に平行光線（例えば、レーザ光）
を照射し、懸濁液中の粒子によって回折、散乱された光
のパターンを測定・解析することによって試料の粒度分
布を算出するレーザ回折・散乱方式の粒度分析が広く利
用されている。

【０００３】また、フローセル中を流れる試料懸濁液中
の試料粒子をＣＣＤカメラ等の撮像装置によって撮影し
画像解析を行い、粒度分布や粒子形状を測定する装置も
利用されている。これらの、試料懸濁液を利用して試料
の粒度分布を測定する、いわゆる湿式の粒度分布測定シ
ステムにおいては、測定後の試料懸濁液の処理は、シス
テム外で行われていた。すなわち、測定後の試料懸濁液
は、ポリタンク等の容器にいったん貯留され、別途、手
作業での濾過工程により試料懸濁液の処理を行う。また
は、外部の廃液処理業者に処理を委託する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の粒度分布測定シ
ステムにおいては、システム内に濾過装置等の試料懸濁
液から試料粒子を分離除去するための手段を備えておら
ず、システム内で測定後の試料懸濁液の処理を行うこと
はできなかった。そして、測定後の試料懸濁液を容器に
貯留したり、その後の濾過工程のために、必要な作業者
数や作業時間が増加して測定コストが上昇してしまうと
いう問題点があった。また、有機溶媒等の媒体液を使用
する場合には、試料懸濁液を作業者が取り扱う際に細心
の注意が必要である等、安全面に問題点がある。

【０００５】外部の廃液処理業者に処理を委託する場合
にも、廃液処理および廃棄のための処理コストがかかる
という問題点があった。さらに、この場合には、試料懸
濁液から試料粒子を分離除去した媒体液を再利用しよう
としても、運搬等の作業増加のために再利用が困難であ
るという問題点があった。このため、媒体液の消費量が
増え、測定コストが上昇してしまうという問題点があっ
た。

【０００６】そこで、本発明は、測定後の試料懸濁液を
システム内で自動的に処理して媒体液の再利用を可能と
する粒度分布測定システム用廃液処理装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の粒度分布測定システム用廃液処理装置は、
試料粒子を媒体液中に懸濁させた試料懸濁液を測定対象
として粒度分布測定装置によって試料粒子の粒度分布を
測定する粒度分布測定システム用廃液処理装置であっ
て、前記粒度分布測定装置から排出される測定後の試料
懸濁液を貯留する廃液タンクと、前記廃液タンク内の試
料懸濁液の量の上限値および下限値を検出するレベルセ
ンサと、前記廃液タンク内の試料懸濁液を送出するポン
プと、前記ポンプによって送出された試料懸濁液から試
料粒子を分離除去する濾過フィルタと、前記レベルセン
サの出力により、前記廃液タンク内の試料懸濁液の量が
前記上限値と前記下限値との間に維持されるように前記
ポンプを駆動し、試料懸濁液から試料粒子を分離除去し
て処理済み媒体液とする制御部とを有するものである。

【０００８】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記粒度分布測定装置は試料懸濁液
を循環させて試料粒子の粒度分布を測定するものである
ことが好ましい。

【０００９】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記粒度分布測定装置はフローセル
内を通過する試料懸濁液により試料粒子の粒度分布を測
定するものであることが好ましい。

【００１０】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記濾過フィルタは、複数の濾過フ
ィルタを含むものであることが好ましい。

【００１１】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記ポンプから複数の前記濾過フィ
ルタを通って試料懸濁液の濾過を行う経路として複数の
濾過経路が存在し、前記制御部からの切換信号によっ
て、前記濾過経路を切り換える濾過経路切換手段を有す
ることが好ましい。

【００１２】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記濾過フィルタは、大径側の粒子
から小径側の粒子までを順次段階的に濾過する複数段の
濾過フィルタを含むものであることが好ましい。

【００１３】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記制御部は、前記粒度分布測定装
置の粒度分布の測定結果によって、前記濾過経路切換手
段を制御して前記濾過経路を切り換えるものであること
が好ましい。

【００１４】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記制御部は、前記廃液タンク内の
試料懸濁液の量が前記上限値に達したときに前記ポンプ
を駆動して試料懸濁液を前記濾過フィルタに送出し、前
記廃液タンク内の試料懸濁液の量が前記下限値に達した
ときに前記ポンプを停止させるものであることが好まし
い。

【００１５】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記粒度分布測定装置は、試料粒子
を分離除去した処理済み媒体液を再利用するものである
ことが好ましい。

【００１６】また、上記の粒度分布測定システム用廃液
処理装置において、前記廃液タンクに流入する前の試料
懸濁液から異物や粗大粒子等を除去する異物除去フィル
タを有することが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。図１は、本発明の廃液処理装置４
を使用した粒度分布測定システム１を示す図である。こ
の粒度分布測定システム１は、粉体試料を媒体液中に懸
濁させた試料懸濁液を測定対象とする、いわゆる湿式の
粒度分布測定システムである。粒度分布測定装置２は、
レーザ回折・散乱方式により試料の粒度分布等を測定す
るものである。

【００１８】試料懸濁液循環装置３は、循環ポンプによ
り試料懸濁液を粒度分布測定装置２内に循環させるとと
もに、試料懸濁液中の試料粒子を均一に分散させる。な
お、粒度分布測定装置２と試料懸濁液循環装置３とは、
別体に構成してもよいが一体の装置として構成してもよ
い。測定が終了した試料懸濁液は、試料懸濁液循環装置
３から排出され廃液処理装置４に送られる。廃液処理装
置４は、試料懸濁液から試料粒子を分離除去して、再利
用可能な処理済み媒体液を得るためのものである。この
廃液処理装置４の構成は、後に詳しく説明する。

【００１９】廃液処理装置４によって処理がなされた処
理済み媒体液は、フィルタによって試料粒子が分離除去
されており、純粋な媒体液として再利用が可能である。
処理済み媒体液は、容器等に貯留され、試料懸濁液を作
るための媒体液として再利用される。

【００２０】図２は、本発明の廃液処理装置４を使用し
た他の粒度分布測定システム５を示す図である。この粒
度分布測定システム５は、湿式の粒度分布測定システム
ではあるが、図１のものと異なり、試料懸濁液を循環さ
せずに、フローセル７中を一方向に通過させて、試料の
粒度分布等の測定を行うものである。この場合の粒度分
布測定装置６は、フローセル７中を通過する試料懸濁液
中の試料粒子をＣＣＤカメラ等の撮像装置によって撮影
し、画像解析を行って試料の粒度分布等を求めるもので
ある。

【００２１】なお、粒度分布測定装置６とフローセル７
とは、別体に構成してもよいが一体の装置として構成し
てもよい。そして、フローセル７中を通過して測定を終
了した試料懸濁液は、そのまま廃液処理装置４に送られ
る。廃液処理装置４は、図１と同様のものであり、試料
懸濁液から試料粒子を分離除去して、再利用可能な処理
済み媒体液を得る。

【００２２】図３は、本発明の廃液処理装置４の構成を
示す図である。粒度分布測定装置２，６により測定を終
了した試料懸濁液は、この廃液処理装置４に送られ、異
物除去フィルタ４８を通過して廃液タンク４１に貯留さ
れる。異物除去フィルタ４８は、廃液タンク４１に流入
する前の試料懸濁液から髪の毛、ゴミ等の異物や粗大粒
子等を除去するためのものであり、目の粗い金属篩から
なるフィルタである。異物除去フィルタ４８により、廃
液タンク４１内への異物の蓄積、配管の詰まり、ポンプ
４２の故障等を防止し、濾過フィルタ４３，４４の目詰
まりを減少させることができる。廃液タンク４１には、
試料懸濁液の液量を検出するレベルセンサ４６が設けら
れており、液量が所定の上限値と下限値との間に維持さ
れるように制御部４５によって監視されている。

【００２３】ポンプ４２は、廃液タンク４１内の試料懸
濁液を濾過フィルタ４３，４４に送出して、濾過を行う
ためのものである。ポンプ４２は、制御部４５によって
駆動制御されている。また、ポンプ４２の送液能力は、
粒度分布測定装置２，６から排出される試料懸濁液の液
量以上とする。なお、ここではポンプ４２を濾過フィル
タ４３，４４の前段に配置しているが、ポンプを濾過フ
ィルタの後段側に配置するようにしてもよい。

【００２４】濾過フィルタ４３，４４は、試料懸濁液か
ら試料粒子を分離除去して、再利用可能な処理済み媒体
液を得るためのフィルタである。ここでは、２段階の濾
過フィルタ４３，４４が使用されており、濾過フィルタ
４３によって比較的大径の粒子を除去した後、濾過フィ
ルタ４４によって比較的小径の粒子を除去する。

【００２５】切替弁４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ
は、必要に応じて、試料懸濁液の濾過経路を切り換える
ためのものである。すなわち、大径粒子用の濾過フィル
タ４３をバイパスする経路Ａと濾過フィルタ４３を通る
経路Ｂがあり、小径粒子用の濾過フィルタ４４について
もバイパスする経路Ｃと濾過フィルタ４４を通る経路Ｄ
がある。制御部４５により切替弁４７ａ〜４７ｄを開閉
制御することにより、これらの濾過経路を最適なものに
切り換えることができる。

【００２６】制御部４５は、粒度分布測定装置２，６か
ら試料懸濁液に含まれる試料粒子の粒度分布に関する情
報を受け取り、その情報によって濾過経路を切り換える
ことができる。試料粒子が大径粒子用の濾過フィルタ４
３で捕捉できる径の粒子を含んでいなければ、濾過経路
を経路ＡＤとする。具体的には、切替弁４７ａ：開、切
替弁４７ｂ：閉、切替弁４７ｃ：閉、切替弁４７ｄ：開
とする。また、試料粒子が小径粒子用の濾過フィルタ４
４で捕捉できる径の粒子を含んでいなければ、濾過経路
を経路ＢＣとする。具体的には、切替弁４７ａ：閉、切
替弁４７ｂ：開、切替弁４７ｃ：開、切替弁４７ｄ：閉
とする。

【００２７】このように、不要な濾過フィルタをバイパ
スすることによって、ポンプ４２の出力を必要最小限に
低減させることができ、消費エネルギを低減させること
ができる。なお、試料粒子が両方の濾過フィルタ４３，
４４で捕捉できる径の粒子を含んでいる場合には、濾過
経路は経路ＢＤとする。具体的には、切替弁４７ａ：
閉、切替弁４７ｂ：開、切替弁４７ｃ：閉、切替弁４７
ｄ：開とする。

【００２８】この廃液処理装置４の動作について説明す
る。粒度分布測定装置２，６によって、測定を終了した
試料懸濁液は、この廃液処理装置４に送られ廃液タンク
４１に貯留される。同時に、制御部４５には試料懸濁液
に含まれる試料粒子の粒度分布に関する情報が送られて
くる。制御部４５は、その粒度分布に関する情報から、
前述のように最適な濾過経路となるように切替弁４７ａ
〜４７ｄを開閉制御する。そして、レベルセンサ４６に
よって検出した廃液タンク４１内の液量が所定の上限値
に達すると、ポンプ４２を駆動して試料懸濁液を濾過フ
ィルタ４３，４４に送出する。廃液タンク４１内の液量
が減少して、レベルセンサ４６によって検出した液量が
下限値に達すると、ポンプ４２を停止する。

【００２９】このようにして、廃液タンク４１内の液量
を所定範囲内に維持するように、自動的に試料懸濁液の
処理を行うことができる。試料粒子を分離除去された処
理済み媒体液は、純粋な媒体液として再利用が可能であ
る。処理済み媒体液は、容器等に貯留され、試料懸濁液
を作るための媒体液として再利用される。

【００３０】図４は、廃液処理装置４の制御部４５の構
成を示すブロック図である。制御部４５は、廃液タンク
４１内の液量に応じたポンプ４２の駆動制御、試料の粒
度分布に応じた濾過経路の切り換え制御等を行う。制御
部４５には、種々のデータ処理を行うためのＣＰＵ５０
が設けられており、ＣＰＵ５０にはバス５１を介してＲ
ＯＭやＲＡＭ等からなるメモリ５２が接続されている。
ＣＰＵ５０は、メモリ５２に記憶されているプログラム
およびデータに従って動作する。メモリ５２には、ＢＩ
ＯＳ等の基本プログラム、ポンプ駆動制御プログラム５
２１、通信制御プログラム５２２、濾過経路切換プログ
ラム５２３等のプログラムやデータが記憶されている。

【００３１】ここで、ポンプ駆動制御プログラム５２１
は、ポンプ４２を駆動して試料懸濁液を濾過フィルタ４
３，４４に送出するためのプログラムである。通信制御
プログラム５２２は、通信回路５３を介して粒度分布測
定装置２，６との間で情報を送受信するためのプログラ
ムである。濾過経路切換プログラム５２３は、粒度分布
測定装置２，６から受け取った試料の粒度分布情報に応
じて濾過経路の切り換え制御を行うためのプログラムで
ある。

【００３２】制御部４５には、通信回路５３が接続され
ており、通信回路５３を介して粒度分布測定装置２，６
との間で情報の送受信が可能となっている。また、制御
部４５には、ポンプ駆動制御回路５４が設けられてお
り、このポンプ駆動制御回路５４によってポンプ４２の
駆動制御を行う。制御部４５には、インターフェース回
路５５を介してレベルセンサ４６が接続されている。制
御部４５は、レベルセンサ４６によって検出された廃液
タンク４１内の液量が所定の上限値と下限値との間に維
持されるようにポンプ４２の駆動制御を行う。

【００３３】そして、制御部４５には、インターフェー
ス回路５６を介して切替弁４７ａ〜４７ｄが接続されて
おり、これらの開閉制御が行われる。前述のように、試
料懸濁液に含まれる試料の粒度分布に応じて、最適な濾
過経路に切り換えるべく、切替弁４７ａ〜４７ｄの開閉
制御を行う。

【００３４】図５は、本発明の廃液処理装置の他の構成
例を示す図である。この廃液処理装置４０は、濾過フィ
ルタの構成が図３の廃液処理装置４とは異なっている。
他の構成は図３の廃液処理装置４と同様であるため、共
通の符号を付している。すなわち、異物除去フィルタ４
８、廃液タンク４１、レベルセンサ４６、ポンプ４２等
の機能は図３の廃液処理装置４と同様である。

【００３５】廃液処理装置４０では、濾過フィルタ４３
ａと濾過フィルタ４３ｂが並列に設けられている。濾過
フィルタ４３ａ，４３ｂは、除去する粒径範囲が同一の
ものであり、障害時に互いにフィルタ機能のバックアッ
プを行うように二重化されている。すなわち、一方の濾
過フィルタにおいて目詰まり等の障害が発生した場合
に、他方の濾過フィルタを使用するように切り換え制御
を行うものである。

【００３６】ポンプ４２によって送出された試料懸濁液
は、濾過フィルタ４３ａを通る経路Ａと、濾過フィルタ
４３ｂを通る経路Ｂとにより濾過することが可能であ
る。経路Ａと経路Ｂは、切替弁４７ａ，４７ｂによって
切換可能となっている。切替弁４７ａ，４７ｂは、制御
部４５によって開閉制御され、経路Ａ，Ｂの切り換えが
行われる。すなわち、切替弁４７ａ：開、切替弁４７
ｂ：閉とすれば、経路Ａの濾過フィルタ４３ａが使用さ
れ、切替弁４７ａ：閉、切替弁４７ｂ：開とすれば、経
路Ｂの濾過フィルタ４３ｂが使用される。

【００３７】濾過フィルタ４３ａ，４３ｂには、各フィ
ルタの目詰まりを検出するセンサ４９ａ，４９ｂがそれ
ぞれ設けられている。センサ４９ａ，４９ｂの検出出力
は、制御部４５に入力されている。センサ４９ａ，４９
ｂとしては、例えば、濾過前の試料懸濁液の圧力を検出
するものが使用できる。制御部４５は、濾過前の試料懸
濁液の圧力が所定の設定値以上となった場合に目詰まり
が生じたものと判断する。

【００３８】まず最初に、経路Ａの濾過フィルタ４３ａ
が使用されているものとする。センサ４９ａにより、濾
過フィルタ４３ａの目詰まりが検出されると、制御部４
５は、切替弁４７ａ，４７ｂの開閉制御により、経路Ｂ
の濾過フィルタ４３ｂを使用するように切り換える。こ
のようにフィルタの切り換えを行った場合には、その旨
の信号を粒度分布測定装置２，６に送出し、粒度分布測
定装置側の表示装置に目詰まり発生を報知する表示を行
うことが好ましい。あるいは、目詰まり発生を報知する
警報ランプ等を点灯させるようにしてもよい。その表示
により、作業者が目詰まりを起こした濾過フィルタを交
換する等により、障害から復帰することができる。

【００３９】そして、次に、センサ４９ｂにより、濾過
フィルタ４３ｂの目詰まりが検出されると、制御部４５
は、切替弁４７ａ，４７ｂの開閉制御により、経路Ａの
濾過フィルタ４３ａを使用するように切り換える。この
ように、一方の濾過フィルタが目詰まりを起こしても、
自動的に他方の濾過フィルタを使用するように切り換え
ることができるため、長時間の自動運転を行うことがで
きる。ここでは、２つの濾過フィルタを並列にして二重
化しているが、３つ以上の濾過フィルタを並列に配置し
て多重化するようにしてもよい。

【００４０】以上のような、廃液処理装置４，４０によ
れば、粒度分布測定システム１，５等において、システ
ム内で自動的に測定後の試料懸濁液の処理を行うことが
でき、廃液処理のための作業者数や作業時間を減少させ
て測定コストを低減させることができる。また、廃液処
理を自動的に行うので、長時間の連続測定にも対応でき
る。また、有機溶媒等の媒体液を使用する場合にも、作
業者が試料懸濁液を取り扱うことが少なくなり、安全性
が向上する。さらに、処理済みの媒体液を再利用するこ
とができるので、資源の有効利用がはかれるとともに、
測定コストを低減させることができる。

【００４１】なお、以上の実施の形態においては、濾過
フィルタとして２段のフィルタを使用しているが、１段
のフィルタとしてもよく、または、３段以上のフィルタ
としてもよい。また、切替弁の開閉制御により濾過経路
を切り換えるようにしているが、このような濾過経路の
切り換えを行わずに濾過経路を固定しているものでもよ
い。

【００４２】

【発明の効果】本発明は、以上に説明したように構成さ
れているので、以下のような効果を奏する。

【００４３】粒度分布測定システムのシステム内で自動
的に測定後の試料懸濁液の処理を行うようにしたので、
廃液処理のための作業者数や作業時間を減少させて測定
コストを低減させることができる。また、廃液処理を自
動的に行うので、長時間の連続測定にも対応できる。ま
た、有機溶媒等の媒体液を使用する場合にも、作業者が
試料懸濁液を取り扱うことが少なくなり、安全性が向上
する。さらに、処理済みの媒体液を再利用することがで
きるので、資源の有効利用がはかれるとともに、測定コ
ストを低減させることができる。

【００４４】粒度分布測定装置としては、試料懸濁液を
循環させて測定を行うものや、試料懸濁液をフローセル
内を通過させて測定を行うものにも適用でき、適用範囲
が広く汎用性に優れている。

【００４５】濾過フィルタを複数のフィルタとしたの
で、試料粒子を効率よく分離除去したり、濾過フィルタ
を多重化して長時間の自動運転を行ったりすることがで
きるとともに、最適な濾過経路に切り換えることが可能
となる。

【００４６】複数の濾過経路を任意に切り換える濾過経
路切換手段を有しているので、最適な濾過経路に切り換
えたり、多重化した濾過フィルタを自動的に切り換える
ことが可能となる。

【００４７】濾過フィルタを複数段のフィルタとしたの
で、試料粒子を効率よく分離除去できるとともに、最適
な濾過経路に切り換えることが可能となる。

【００４８】制御部が粒度分布測定装置の粒度分布の測
定結果によって最適な濾過経路に切り換えるようにした
ので、最小限のポンプ出力により最大限の廃液処理能力
を発揮できる。また、ポンプによる消費エネルギを低減
させることができる。

【００４９】廃液タンク内の試料懸濁液の量が上限値ま
たは下限値に達したときにポンプを駆動または停止させ
るようにしたので、簡単な制御により試料懸濁液の量が
所定範囲に維持されるようになり、自動制御動作の簡素
化および信頼性の向上を実現できる。

【００５０】粒度分布測定装置が処理済み媒体液を再利
用するようにしたので、資源の有効利用がはかれるとと
もに、測定コストを低減させることができる。

【００５１】廃液タンクに流入する前の試料懸濁液から
異物や粗大粒子等を除去する異物除去フィルタを設けて
いるので、廃液タンク内への異物の蓄積、配管の詰ま
り、ポンプの故障等を防止し、濾過フィルタの目詰まり
を減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の廃液処理装置を使用した粒度
分布測定システムを示す図である。

【図２】図２は、本発明の廃液処理装置を使用した粒度
分布測定システムの他の例を示す図である。

【図３】図３は、廃液処理装置の構成を示す図である。

【図４】図４は、制御部の構成を示すブロック図であ
る。

【図５】図５は、廃液処理装置の他の構成例を示す図で
ある。

【符号の説明】

１，５…粒度分布測定システム ２，６…粒度分布測定装置 ３…試料懸濁液循環装置 ４，４０…廃液処理装置 ７…フローセル ４１…廃液タンク ４２…ポンプ ４３，４４…濾過フィルタ ４５…制御部 ４６…レベルセンサ ５０…ＣＰＵ ５１…バス ５２…メモリ ５３…通信回路 ５４…ポンプ駆動制御回路 ５５，５６…インターフェース回路 ４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄ…切替弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 忠裕 静岡県榛原郡榛原町静谷498−１ 日機装 株式会社静岡製作所内 (72)発明者 紅林 晋 静岡県榛原郡榛原町静谷498−１ 日機装 株式会社静岡製作所内 (72)発明者 水野 英樹 静岡県榛原郡榛原町静谷498−１ 日機装 株式会社静岡製作所内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料粒子を媒体液中に懸濁させた試料懸濁
   液を測定対象として粒度分布測定装置（２，６）によっ
   て試料粒子の粒度分布を測定する粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記粒度分布測定装置（２，６）から排出される測定後
   の試料懸濁液を貯留する廃液タンク（４１）と、 前記廃液タンク（４１）内の試料懸濁液の量の上限値お
   よび下限値を検出するレベルセンサ（４６）と、 前記廃液タンク（４１）内の試料懸濁液を送出するポン
   プ（４２）と、 前記ポンプ（４２）によって送出された試料懸濁液から
   試料粒子を分離除去する濾過フィルタ（４３，４４）
   と、 前記レベルセンサ（４６）の出力により、前記廃液タン
   ク（４１）内の試料懸濁液の量が前記上限値と前記下限
   値との間に維持されるように前記ポンプ（４２）を駆動
   し、試料懸濁液から試料粒子を分離除去して処理済み媒
   体液とする制御部（４５）とを有する粒度分布測定シス
   テム用廃液処理装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載した粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記粒度分布測定装置（２）は、試料懸濁液を循環させ
   て試料粒子の粒度分布を測定するものである粒度分布測
   定システム用廃液処理装置。
3. 【請求項３】請求項１に記載した粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記粒度分布測定装置（６）は、フローセル内を通過す
   る試料懸濁液により試料粒子の粒度分布を測定するもの
   である粒度分布測定システム用廃液処理装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれか１項に記載した粒
   度分布測定システム用廃液処理装置であって、 前記濾過フィルタは、複数の濾過フィルタ（４３，４
   ４，４３ａ，４３ｂ）を含むものである粒度分布測定シ
   ステム用廃液処理装置。
5. 【請求項５】請求項４に記載した粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記ポンプ（４２）から複数の前記濾過フィルタ（４
   ３，４４，４３ａ，４３ｂ）を通って試料懸濁液の濾過
   を行う経路として複数の濾過経路が存在し、 前記制御部（４５）からの切換信号によって、前記濾過
   経路を切り換える濾過経路切換手段（４７ａ〜４７ｄ）
   を有する粒度分布測定システム用廃液処理装置。
6. 【請求項６】請求項５に記載した粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記濾過フィルタは、大径側の粒子から小径側の粒子ま
   でを順次段階的に濾過する複数段の濾過フィルタ（４
   ３，４４）を含むものである粒度分布測定システム用廃
   液処理装置。
7. 【請求項７】請求項６に記載した粒度分布測定システム
   用廃液処理装置であって、 前記制御部（４５）は、前記粒度分布測定装置（２，
   ６）の粒度分布の測定結果によって、前記濾過経路切換
   手段（４７ａ〜４７ｄ）を制御して前記濾過経路を切り
   換えるものである粒度分布測定システム用廃液処理装
   置。
8. 【請求項８】請求項１〜７のいずれか１項に記載した粒
   度分布測定システム用廃液処理装置であって、 前記制御部（４５）は、前記廃液タンク（４１）内の試
   料懸濁液の量が前記上限値に達したときに前記ポンプ
   （４２）を駆動して試料懸濁液を前記濾過フィルタ（４
   ３，４４）に送出し、前記廃液タンク（４１）内の試料
   懸濁液の量が前記下限値に達したときに前記ポンプ（４
   ２）を停止させるものである粒度分布測定システム用廃
   液処理装置。
9. 【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載した粒
   度分布測定システム用廃液処理装置であって、 前記粒度分布測定装置（２，６）は、試料粒子を分離除
   去した処理済み媒体液を再利用するものである粒度分布
   測定システム用廃液処理装置。
10. 【請求項１０】請求項１〜９のいずれか１項に記載した
    粒度分布測定システム用廃液処理装置であって、 前記廃液タンク（４１）に流入する前の試料懸濁液から
    異物や粗大粒子等を除去する異物除去フィルタ（４８）
    を有する粒度分布測定システム用廃液処理装置。