JP2002245937A - カラー受像管の蛍光面形成用露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラー受像管の蛍光面を形成するための感光
膜を露光する超高圧水銀ランプに、偏心や傾斜等の不具
合を持った超高圧水銀ランプを使用すると、超高圧水銀
ランプとスリット及び反射板との相対的な位置が変動す
るために、超高圧水銀ランプの交換時に照度特性が再現
されず、製造されたカラー受像管のホワイトユニフォー
ミティ等の特性にバラツキが発生し、品質の一定した安
定生産が難しかったが、これら不具合のある超高圧水銀
ランプを使用しても、照度分布特性が一定となるカラー
受像管の蛍光面形成用露光装置及び露光方法を提供す
る。 【解決手段】 超高圧水銀ランプ２３と対向して配置さ
れる反射板２５の反対側に配置される遮光板３０と超高
圧水銀ランプ２３間にロッドレンズ２８を配置し、超高
圧水銀ランプ２３の直接光と反射板２５からの反射光の
両者をロッドレンズ２８を介して遮光板３０に穿設した
スリット２９側に導光し、このスリット２９を介して供
給される露光光線によって感光膜１１を露光する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー受像管のフ
ェースパネル内面に設けられた感光層を露光するための
露光装置及び露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にカラー受像管は、図７に示すよう
に、略矩形状を呈するフェースパネル５１と、このフェ
ースパネル５１に接合されたファンネル５２からなる外
囲器を有し、そのフェースパネル５１の内面に、青、
緑、赤に発光する３色蛍光体層からなる蛍光面５３が形
成され、この蛍光面５３に対向してフェースパネル５１
内には、多数の電子ビーム通過孔が形成されたシャドウ
マスク５４が配置されている。

【０００３】一方、ファンネル５２のネック５５内に
は、３電子ビーム５６Ｂ，５６Ｇ，５６Ｒを放出する電
子銃５７が配設され、この電子銃５７から放出される３
電子ビーム５６Ｂ，５６Ｇ，５６Ｒをファンネル５２の
外側に装着された偏向ヨーク５８の発生する磁界により
偏向して、この電子ビーム５６Ｂ，５６Ｇ，５６Ｒによ
って蛍光面５３を水平、垂直方向に走査することによ
り、蛍光面５３上にカラー画像を再生表示するように形
成されている。

【０００４】この蛍光面５３としては、マトリクス状ま
たはストライプ状の光吸収層の間隙部に、３色蛍光体層
が埋め込まれたブラックマトリクス形またはブラックス
トライプ形の蛍光面５３が多用されている。このカラー
受像管の蛍光面５３は、従来から写真印刷法にて形成さ
れている。例えば、光吸収層を備えるブラックマトリク
ス形、またはブラックストライプ形の蛍光面５３につい
ては、次のようにして形成されている。

【０００５】まず、フェースパネル５１の内面を洗浄し
た後に、このフェースパネル５１の内面に、ポリビニル
アルコール（ＰＶＡ）及び重クロム酸アンモニウム（Ａ
ＤＣ）を主成分とする感光膜を塗布して乾燥させる。

【０００６】次いで、この感光膜をシャドウマスク５４
を介して露光し、シャドウマスク５４の電子ビーム通過
孔に対応するパターンを感光膜に焼付けた後に現像し
て、フェースパネル５１の内面に、シャドウマスク５４
の開孔パターンに対応するパターンからなるマトリクス
状、もしくはストライプ状の感光膜となるレジスト膜を
形成する。

【０００７】そして、このレジスト膜の形成されたフェ
ースパネル５１の内面に、例えば黒鉛からなる光吸収塗
料層を塗布し、レジスト膜と共にそのレジスト膜上の光
吸収塗料を剥離除去して、マトリクス状またはストライ
プ状の光吸収層を形成する。

【０００８】その後、光吸収層の形成されたフェースパ
ネル５１の内面に、蛍光体、ＰＶＡ、ＡＤＣ等を主成分
とする感光膜となる蛍光体スラリ層を塗布して乾燥さ
せ、この蛍光体スラリ層を、シャドウマスク５４を介し
て露光することによって、シャドウマスク５４の電子ビ
ーム通過孔に対応するパターンを焼付けた後に現像し
て、光吸収層の所定の間隙部に、青、緑、赤の３色のう
ちの１色に対応する蛍光体層を形成する。このような蛍
光体層の形成工程を、残りの２色の蛍光体についても繰
返すことによって、３色の蛍光面が形成される。

【０００９】また、光吸収層を持たない３色蛍光面につ
いては、蛍光体層の形成工程を、３色の蛍光体について
夫々繰返して実施することにより、形成することができ
る。

【００１０】このような光吸収層及び３色蛍光体層を得
るための、蛍光面形成用感光膜に対するシャドウマスク
５４の電子ビーム通過孔に対応するパターンの焼付けに
は、図８に示すような露光装置が使用されている。

【００１１】即ち、内面に感光膜６１が形成され、且つ
フォトマスクとしての機能を有するシャドウマスク５４
が装着されたフェースパネル５１を位置決め支持する支
持台６２が、筐体６３の上部に設けられる。この筐体６
３の下部には、超高圧水銀ランプを内蔵したランプハウ
ス６４が、フェースパネル５１に対して選択的に移動可
能に設置され、このランプハウス６４上には、このラン
プハウス６４から支持台６２方向に、順次ランプハウス
６４から放射される紫外線を電子ビーム５６Ｂ，５６
Ｇ，５６Ｒの軌道に近似させ、蛍光体の青、緑、赤の各
色毎に個別に対応するために配置される補正レンズ６５
や、各色共通に使用する共通レンズ６６、６７等の光学
レンズ系、及びフェースパネル５１内面に形成された蛍
光面形成用の感光層６１に対する光量分布を補正するガ
ラス透明基板６８に金属蒸着膜６９を付着した光量補正
フィルタ７０が設置されている。

【００１２】また、補正レンズ６５では、各蛍光体位置
が電子ビーム５６Ｂ，５６Ｇ，５６Ｒ軌道と一致するよ
うに、紫外線の軌道を補正しているもので、夫々のレン
ズ６５，６６，６７は、ランプハウス６４からの紫外線
を、実際の電子ビーム５６Ｂ，５６Ｇ，５６Ｒに近似す
るように、各レンズ６５，６６，６７面が微妙な凹凸を
有するように非球面状に加工されている。

【００１３】このランプハウス６４は、フェースパネル
５１に取付けられたシャドウマスク５４のスロット状開
孔を形成している電子ビーム通過孔の長手方向、即ち形
成される直線状のストライプの長手方向と一致するよう
に、後述するスリットを設けた遮光板が配置されてお
り、このスリットを介して紫外線が放出されている。

【００１４】このように構成された露光装置を使用し
て、カラー受像管の蛍光面５３を形成するための感光層
６１を露光させるには、ランプハウス６４から放射され
た紫外線を、補正レンズ６５，６６，６７群で紫外線軌
道の補正を行った後に、光量補正フィルタ７０で光量分
布を補正し、色選別機能を有するシャドウマスク５４を
フォトマスクとして、フェースパネル５１の内面に塗布
された感光膜６１を露光し、この露光の後に現像してス
トライプ状の蛍光面５３パターンを形成するものであ
る。

【００１５】このような露光装置のランプハウス６４の
詳細について、図９を参照して説明する。このランプハ
ウス６４は、光源用ランプとして超高圧水銀ランプ７１
を使用しており、この超高圧水銀ランプ７１は、図１０
及び図１１に示めすように、円筒状のガラス管７２の両
端部に外側電極７３，７４が配置され、この外部電極７
３に近接して保持部７５が設けられている。この保持部
７５には、ガラス管７２と連接するスペーサ７６が形成
され、ガラス管７２内部には、両端の外部電極７３，７
４と電気的に接続された内部電極７７，７８が配置され
ている。この内部電極７７，７８の外部電極７３，７４
側端部は水銀７９，８０で充填され、また内部電極７
７，７８先端は、ガス状の水銀によって満たされたアー
ク発生部８１として形成される構成となっている。

【００１６】このように構成された超高圧水銀ランプ７
１は、箱状の筐体８２に収容されている。即ち、この筐
体８２の対向する一側面には、一対の透孔（図示せず）
が設けられており、この一対の透孔を貫通して筐体８２
内部に超高圧水銀ランプ７１の管軸方向がフェースパネ
ル５１の水平方向となるように、筐体８２から外部電極
７４と保持部７５が突出するように超高圧水銀ランプ７
１が装着される。

【００１７】また超高圧水銀ランプ７１と対向して筐体
８２内部には、光量調整用のスリット８３を有する遮光
板８４が、このスリット８３の長手方向が超高圧水銀ラ
ンプ７１の管軸方向と直交するように設けられ、この遮
光板８４の上部には、透明なカバーガラス８５が筐体８
２の上側面に取着されており、更に、この筐体８２内に
は、超高圧水銀ランプ７１の放熱を容易にするために、
水等の冷却液８６が筐体８２内を循環するように充填さ
れている。これらランプハウス６４は、露光装置の筐体
６３に対して超高圧水銀ランプ７１の管軸方向に移動可
能に載置されている。

【００１８】上記の超高圧水銀ランプ７１は、ガラス管
７２が使用されているために精密加工が難しく、また保
持部７５との接合においても製造上のバラツキが発生し
易いという問題がある。このために、超高圧水銀ランプ
７１をまとめて大量に入手すると、図１０に示すよう
に、保持部７５に対してガラス管７２の管軸部分が偏
心、あるいは図１１に示すように、保持部７５に対して
ガラス管７２部分が傾斜して取付けられている超高圧水
銀ランプ７１が混在している場合がある。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】このように偏心や傾斜
が発生している超高圧水銀ランプ７１を露光装置に使用
すると、超高圧水銀ランプ７１は、保持部７５によって
ランプハウス６４の筐体８２内での位置決め支持が決定
されるために、超高圧水銀ランプ７１と遮光板８４のス
リット８３との相対的な位置が変化してしまうことにな
る。一般にカラー受像管のランディング特性は、超高圧
水銀ランプ７１とスリット８３との相対的な位置によっ
て決定されているために、ガラス管７２が偏心、あるい
は傾斜している超高圧水銀ランプ７１を使用すると、例
えば青、緑、赤用の蛍光体露光時に超高圧水銀ランプ７
１を交換して露光を行う際に、偏心あるいは傾斜してい
る超高圧水銀ランプ７１をいつも同じ位置に設定するこ
とは、実際上は困難であり、このためにランディング特
性の再現を行うことが困難となる。

【００２０】更に、露光時の露光光線（紫外線）の光量
の増大を図るために、超高圧水銀ランプ７１の遮光板８
４の配置側とは反対側に、超高圧水銀ランプ７１との対
向面が鏡面仕上げされたアルミニュウム、もしくはステ
ンレス製の反射板（図示せず）を設置する場合もある
が、この場合においても反射板と超高圧水銀ランプ７１
との相対的な位置が一定の位置になるように収めること
が難しく、充分な光量増大を図ることが難しいばかりで
なく、超高圧水銀ランプ７１の交換時には、照度特性が
再現されないという問題がある。

【００２１】その結果、ランディング特性や照度分布特
性に密接な関わりを有する超高圧水銀ランプ７１の精度
上のバラツキは、蛍光面形成にも影響を与えるので、カ
ラー受像管のホワイトユニフォーミティやブライトユニ
フォーミティ特性のバラツキとしてその弊害が発生して
しまい、同一特性を有するカラー受像管の安定生産を阻
害する要因となっていた。

【００２２】これらの問題を解決するためには、超高圧
水銀ランプ７１の入手時に、不良品選別を徹底して行う
手法が考えられるが、多くの人手や費用を必要とするば
かりでなく、迅速な製品の入荷ができなくなる等の問題
があった。

【００２３】本発明は、このような課題に対処してなさ
れたもので、超高圧水銀ランプと遮光板間にロッドレン
ズを配置することで、例え超高圧水銀ランプ中に偏心や
傾斜しているものが含まれていた場合でも、これらによ
る影響をなくして常に一定の光量及び照度分布特性を有
する露光光線を得ることが可能な露光装置及び露光方法
を提供することを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明は、カラー受像管
のフェースパネル内面に蛍光面を形成するためのカラー
受像管の蛍光面形成用露光装置において、内面に形成さ
れた感光膜に対向してシャドウマスクが装着されたフェ
ースパネルを支持位置決めする支持台と、この支持台に
対向して配置され、シャドウマスクを介して感光膜に露
光光線を照射する超高圧水銀ランプと、この超高圧水銀
ランプのシャドウマスク側に配置され露光光線を通過さ
せるスリットを有する遮光板と、この遮光板のスリット
を介して放出される露光光線を所定の軌道に補正するた
めの補正レンズと、超高圧水銀ランプの遮光板とは反対
側に配置され露光光線を反射させる反射板と、この反射
板からの反射光及び超高圧水銀ランプからの直接光を導
入して出射するロッドレンズを超高圧水銀ランプ及び遮
光板間に介在配置するように構成した。

【００２５】また、シャドウマスクを有するカラー受像
管のフェースパネル内面に形成した感光膜に対して、超
高圧水銀ランプからの露光光線を遮光板に形成したスリ
ット及び露光光線の軌道を補正する補正レンズを通して
照射することにより、感光膜を露光するカラー受像管の
蛍光面形成用露光方法において、超高圧水銀ランプの遮
光板と反対側に反射板を設けるとともに、超高圧水銀ラ
ンプと遮光板間にロッドレンズを配置することによっ
て、超高圧水銀ランプからの直接光及び反射板からの反
射光の両者を、ロッドレンズを介して遮光板側に導光し
て露光光線として利用するようにした。

【００２６】このように構成したカラー受像管の蛍光面
形成用露光装置及び露光方法によれば、超高圧水銀ラン
プと遮光板のスリット間にロッドレンズを配置すること
で、超高圧水銀ランプの組立精度に関わらずに、常に一
定の光量及び照度分布特性を有する露光光線を得ること
が可能となる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、カラー
受像管自体及び超高圧水銀ランプ自体の構成について
は、従来と同様な構成をとるので、その詳細な説明は省
略する。

【００２８】図１は、カラー受像管の蛍光面形成用補正
レンズを備えた露光装置を簡略化して示す断面図であ
る。

【００２９】即ち、内面に感光膜または蛍光体スラリ層
等の感光膜１１が形成され、且つフォトマスクとしての
機能を有するシャドウマスク１２が装着されたフェース
パネル１３を位置決め支持する支持台１４が、筐体１５
の上部に設けられる。この筐体１５の下部には、後述す
る超高圧水銀ランプを内蔵したランプハウス１６が、フ
ェースパネル１３に対して選択的に移動可能に設置さ
れ、このランプハウス１６上には、このランプハウス１
６から支持台１４方向に、順次ランプハウス１６から放
射される紫外線（露光光線）を電子ビームの軌道に近似
させ、蛍光体の青、緑、赤の各色毎に個別に対応するた
めに配置される補正レンズ１７や、各色共通に使用する
共通レンズ１８、１９等の光学レンズ系、及びフェース
パネル１３内面に形成された感光膜１１に対する光量分
布を補正するためのガラス透明基板２０に金属蒸着膜２
１を形成した光量補正フィルタ２２が設置されている。

【００３０】また、補正レンズ１７では、各蛍光体位置
が電子ビーム軌道と一致するように、露光光線の軌道を
補正しているもので、夫々のレンズ１７，１８，１９
は、ランプハウス１６からの露光光線を、実際の電子ビ
ームに近似するように、各レンズ１７，１８，１９面が
微妙な凹凸を有するように非球面状に加工されている。

【００３１】このランプハウス１６には、フェースパネ
ル１３に取付けられたシャドウマスク１２のスロット状
透孔を形成している電子ビーム通過孔の長手方向、即ち
形成される直線状のストライプの長手方向と一致するよ
うに、後述するスリットを設けた遮光板が配置されてお
り、このスリットを介して露光光線が放出されている。

【００３２】このように構成された露光装置を使用し
て、カラー受像管の蛍光面を形成するための感光膜１１
を露光させるには、ランプハウス１６から放射された露
光光線を、補正レンズ１７，１８，１９群で露光光線軌
道の補正を行った後に、光量補正フィルタ２２で光量分
布を補正して、色選択機能を有するシャドウマスク１２
をフォトマスクとして、フェースパネル１３の内面に塗
布された感光膜１１を露光し、この露光の後に現像して
ストライプ状の蛍光面パターンを形成するものである。

【００３３】このような露光装置のランプハウス１６に
ついて、図２を参照して詳細に説明する。このランプハ
ウス１６は、光源用ランプとして超高圧水銀ランプ２３
を収納する箱状の筐体２４を有し、この筐体２４の対向
する一側面には、夫々透孔（図示せず）が設けられてお
り、この一対の透孔を貫通して筐体２４内部に超高圧水
銀ランプ２３の管軸方向がフェースパネル１３の水平方
向と一致するように装着される。

【００３４】また、超高圧水銀ランプ２３と対向して筐
体２４底部には、対向面を鏡面仕上げされたアルミニュ
ウム、もしくはステンレス等から形成された反射板２５
が配置されている。この反射板２５は、超高圧水銀ラン
プ２３と密接もしくは離間して配置され、平板状もしく
は超高圧水銀ランプ２３と相似形の凹面状に形成されて
いる。

【００３５】この反射板２５の超高圧水銀ランプ２３の
反対側にはカバーガラス２６が装着されて筐体２４内を
密封し、この筐体２４内には、水等の冷却液２７が循環
するように充填されている。このカバーガラス２６の外
側には、超高圧水銀ランプ２３の光軸上に角柱状のロッ
ドレンズ２８が配置され、更にこのロッドレンズ２８の
出射側に光量調整用のスリット２９を有する遮光板３０
が、このスリット２９の長手方向が超高圧水銀ランプ２
３の管軸方向と直交するように設けられ、これらランプ
ハウス１６全体は、筐体１５に対して超高圧水銀ランプ
２３の管軸方向に移動可能に筐体１５に装着されてい
る。このロッドレンズ２８は、図３に示すように、内周
面が鏡面仕上げされているもので、入射側の露光光線全
てを出射側に導くもので、出射側端面が恰も超高圧水銀
ランプ２３等の光源として機能する作用を有している。

【００３６】このように構成された露光装置を使用して
露光を行う場合は、この露光装置の対象物となるカラー
受像管を構成するフェースパネル１３の内面にＰＶＡ及
びＡＤＣを主成分とする感光膜等の感光膜１１が塗布さ
れたフェースパネル１３を支持台１４上に載置固定し、
その感光膜１１を、露光装置を使用して、フェースパネ
ル１３に取着されたシャドウマスク１２をフォトマスク
として露光する。

【００３７】このシャドウマスク１２の電子ビーム通過
孔に対応するパターンを焼付けた後に現像して、フェー
スパネル１３の内面にシャドウマスク１２の開孔パター
ンに対応するパターンからなるレジスト膜を形成する。
このレジスト膜の形成されたフェースパネル１３の内面
に、更に光吸収塗料層を塗布した後にレジスト膜と共
に、そのレジスト膜上の光吸収塗料を剥離除去して、マ
トリクス状またはストライプ状の光吸収層を形成する。

【００３８】その後、光吸収層の形成されたフェースパ
ネル１３の内面に、蛍光体、ＰＶＡ、ＡＤＣ等を主成分
とする蛍光体スラリ層等の感光膜１１を塗布形成し、こ
の感光膜１１をシャドウマスク１２を介して露光し、シ
ャドウマスク１２の電子ビーム通過孔に対応するパター
ンを焼付けた後に現像して、光吸収層の所定の間隙部に
青、緑、赤のいずれか１色の蛍光体層を形成する。

【００３９】そして、この蛍光体層の形成工程を、残り
の２色の蛍光体について繰返すことにより、３色の蛍光
体を有する蛍光面が形成される。なお、この光吸収層を
持たない蛍光面については、蛍光体形成工程のみを、３
色蛍光体について繰返すことによって形成される。

【００４０】そこで、露光光線について考察してみる
と、超高圧水銀ランプ２３から発した直接光と、この直
接光を反射板２５によって反射された反射光とは、カバ
ーガラス２６を介してロッドレンズ２８の入射側から導
光され、入射側から入射された直接光及び反射光からな
る露光光線は、途中でロスることなく出射側に導かれて
出射される。この露光光線を遮光板３０に設けたスリッ
ト２９によって光量調整されて感光膜１１側に放射され
るものである。

【００４１】いま、超高圧水銀ランプ２３として、図１
０に示すような偏心不良の超高圧水銀ランプ２３が装着
された場合を想定すると、図４に示すようになる。この
場合には、超高圧水銀ランプ２３の保持部３１を持って
偏心方向と管軸方向とが一致するように回転させて概略
の位置合わせを行えば、超高圧水銀ランプ２３からの直
接光、及び反射板２５からの反射光は、ロッドレンズ２
８によって、その出射側で平均化されて、図３に示すよ
うに対称性の良い光源像として形成される。

【００４２】一方、図１１に示すような傾斜した超高圧
水銀ランプ２３の場合には、図５に示すようになるため
に、超高圧水銀ランプ２３の保持部３１を持って傾斜方
向が一致するように回転させることで、図４の場合と同
様にロッドレンズ２８の出射側に対称性の良い光源像が
得られるものである。

【００４３】このように、例え超高圧水銀ランプ２３に
偏心不良や傾斜不良の製品が混入されていたとしても、
反射板２５及びロッドレンズ２８とを組合わせて使用す
ることにより、ロッドレンズ２８の出射側では平均化さ
れた露光光線が得られるので、これら不良の影響を殆ど
除外した露光光線とすることができ、また反射板２５を
使用するので、露光光線も２倍近くの光量（照度）とす
ることができる。

【００４４】このようなランプハウス１６としては、カ
バーガラス２６の外側にロッドレンズ２８を配置してい
るが、このロッドレンズ２８をカバーガラス２６の内側
に配置することも可能である。即ち、図６に示すよう
に、筐体２４の反射板２５とは反対側に筒体３２を植設
し、この筒体３２の内側にロッドレンズ２８を超高圧水
銀ランプ２３の光軸上に配置し、更にこのロッドレンズ
２８の出射側にスリット２９を有する遮光板３０を筒体
３２端部に固定する。そしてこの遮光板３０の外側にカ
バーガラス２６を固定し、この筒体３２内を含めて冷却
液２７を充填するように構成する。

【００４５】このように筒体３２を備えた液密構造から
なる筐体２４内にロッドレンズ２８を収容しても、前述
の実施の形態と同様な効果を呈するのは勿論のこと、更
にこのロッドレンズ２８部分も冷却液２７によって冷却
されるので、超高圧水銀ランプ２３からの熱の影響を減
少させることが可能となると共に、遮光板３０も同時に
封止されるので、遮光板３０に穿設したスリット２９か
ら塵芥がロッドレンズ２８端面に付着することもなくな
るので、ロッドレンズ２８の光学精度の維持継続が可能
となる利点も併せ持つことができる。

【００４６】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れることなく、例えば図２に示す実施の形態において、
遮光板の外側に塵芥侵入防止用の透明な板を設置した
り、あるいは円柱状のロッドレンズを使用することも可
能で、その他にも種々の応用や変形が可能であることは
いうまでもない。

【００４７】

【発明の効果】本発明は、フェースパネル内面に形成さ
れた露光膜を露光する際に、超高圧水銀ランプに偏心や
傾斜があった場合でも、光量や照度分布特性の変動を平
均化することが可能となり、カラー受像管のランディン
グ特性やホワイトユニフォーミティ等の特性の変動を抑
制することが可能となるので、特性のバラツキの少ない
カラー受像管を得ることができる露光装置及び露光方法
を提供することが可能となるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るカラー受像管の蛍光面形成用露光
装置を説明するための断面図。

【図２】本発明に係る露光装置を構成するランプハウス
の構成を示す断面図。

【図３】同じくランプハウスを構成するロッドレンズを
示す斜視図。

【図４】同じくランプハウスを構成する偏心した超高圧
水銀ランプと反射板並びにロッドレンズの関係を示す説
明図。

【図５】同じくランプハウスを構成する傾斜した超高圧
水銀ランプと反射板並びにロッドレンズの関係を示す説
明図。

【図６】同じく他の形態のランプハウスの構成を示す断
面図。

【図７】従来のカラー受像管の構成を示す断面図。

【図８】従来のカラー受像管用蛍光面形成用露光装置を
示す断面図。

【図９】同じく露光装置を構成するランプハウスを示す
斜視図。

【図１０】同じくランプハウスを構成する超高圧水銀ラ
ンプの偏心した状態を示す一部切欠側面図。

【図１１】同じくランプハウスを構成する超高圧水銀ラ
ンプの傾斜した状態を示す一部切欠側面図。

【符号の説明】

１１：感光膜 １２：シャドウマスク １３：フェースパネル １４：支持台 １６：ランプハウス １７，１８，１９：補正レンズ ２３：超高圧水銀ランプ ２４：筐体 ２５：反射板 ２８：ロッドレンズ ２９：スリット ３０：遮光板

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カラー受像管のフェースパネル内面に蛍
   光面を形成するためのカラー受像管の蛍光面形成用露光
   装置において、 内面に形成された感光膜に対向してシャドウマスクが装
   着されたフェースパネルを支持位置決めする支持台と、 この支持台に対向して配置され、前記シャドウマスクを
   介して前記感光膜に露光光線を照射する超高圧水銀ラン
   プと、 この超高圧水銀ランプのシャドウマスク側に配置され、
   前記露光光線を通過させるスリットを有する遮光板と、 この遮光板の前記スリットを介して放出される露光光線
   を所定の軌道に補正するための補正レンズと、 前記超高圧水銀ランプの前記遮光板と反対側に配置さ
   れ、前記露光光線を反射させる反射板と、 この反射板からの反射光及び前記超高圧水銀ランプから
   の直接光を導入して出射する前記超高圧水銀ランプ及び
   遮光板間に介在されたロッドレンズとを具備することを
   特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
2. 【請求項２】 前記ロッドレンズは、前記超高圧水銀ラ
   ンプを収容する筐体のカバーガラス外部に配置されてい
   ることを特徴とする請求項１記載のカラー受像管の蛍光
   面形成用露光装置。
3. 【請求項３】 前記ロッドレンズは、前記超高圧水銀ラ
   ンプを収容する筐体内に配置され、且つ筐体内に冷却液
   が注入されていることを特徴とする請求項１記載のカラ
   ー受像管の蛍光面形成用露光装置。
4. 【請求項４】 シャドウマスクを有するカラー受像管の
   フェースパネル内面に形成した感光膜に対して、超高圧
   水銀ランプからの露光光線を遮光板に形成したスリット
   及び露光光線の軌道を補正する補正レンズを通して照射
   することにより、感光膜を露光するカラー受像管の蛍光
   面形成用露光方法において、 前記超高圧水銀ランプの前記遮光板と反対側に反射板を
   設けるとともに、前記超高圧水銀ランプと遮光板間にロ
   ッドレンズを配置することによって、超高圧水銀ランプ
   からの直接光及び反射板からの反射光の両者を、ロッド
   レンズを介して遮光板側に導光して露光光線として利用
   するようにしたことを特徴とするカラー受像管の蛍光面
   形成用露光方法。