JP2002244859A - 試験システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】制御装置が測定装置の制御ソフトウェアのバー
ジョンを自動認識できるようにすると共に、制御装置に
インストールされたバージョンの異なる複数の制御ソフ
トウェアを、接続したい測定装置の制御ソフトウェアと
同一のバージョンに切替えて両者を接続することができ
るようにした試験システムを提供する。 【解決手段】測定装置とそれを制御する制御装置が通信
回線上に接続された試験システムにおいて、前記制御装
置は、バージョンが異なる複数の制御ソフトウェアを有
し、目的とする前記測定装置に一致するバージョンの制
御ソフトウェアを選択して、その測定装置との接続を確
立する機能を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の試験シ
ステムに関し、特にその試験システムの構成要素である
測定装置とそれを制御する制御装置との間でのソフトウ
ェアのバージョン合わせに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来よりこの種の試験システムはよく知
られている。以下、半導体の試験システムを例にとって
説明する。図３は半導体試験システムにおける測定装置
（以下半導体測定装置と呼ぶ）と制御装置（制御端末と
も言う）の接続関係を示す図である。複数の制御装置１
０ａ，１０ｂ（これを単に端末＃１，端末＃２とも呼
ぶ）と複数の測定装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ
（これを単に装置＃１〜装置＃４とも呼ぶ）は通信回線
３０上に接続されている。そして、一つの制御装置は複
数の半導体測定装置の内から一つを選んで接続するよう
になっている。

【０００３】図３の場合、制御装置１０ａは半導体測定
装置２０ａ，２０ｂのいずれか一方を制御し、他方の制
御装置１０ｂも半導体測定装置２０ｃ，２０ｄのいずれ
か一方を制御する。なお、制御装置は２個に限らず、ま
た各制御装置の対象となる半導体測定装置も２個には限
らない。必要に応じてそれぞれ複数個接続されることが
ある。

【０００４】各制御装置と半導体測定装置には連携する
ための制御ソフトウェアがそれぞれインストールされて
いるが、接続する制御装置と半導体測定装置のソフトウ
ェアは互いに同一バージョンである必要がある。

【０００５】なお、制御ソフトウェアのバージョンは、
この場合は制御装置１０ａがバージョン１．０、制御装
置１０ｂがバージョン２．０、半導体測定装置２０ａ，
２０ｂが共にバージョン１．０、半導体測定装置２０
ｃ，２０ｄが共にバージョン２．０である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のシステムでは次のような課題があった。 （１）制御装置は自身の制御ソフトウェアと同一バージ
ョンの制御ソフトウェアを持った半導体測定装置にしか
接続してはならないが、必ずしもすべての半導体測定装
置が同一バージョンであるとは限らないため、接続が許
される半導体測定装置を見分けるのは困難である。

【０００７】（２）制御装置にインストールされている
制御ソフトウェアは固定のバージョンであるため、それ
と同一のバージョンを持った半導体測定装置にしか接続
することができず、半導体測定装置のソフトウェアバー
ジョンが不揃いな場合はバージョンごとに同一バージョ
ンの制御ソフトウェアをインストールした制御装置を用
意する必要がある。

【０００８】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、制御装置が測定装置の制御ソフトウェアのバージ
ョンを自動認識できるようにすると共に、制御装置にイ
ンストールされたバージョンの異なる複数の制御ソフト
ウェアを、接続したい測定装置の制御ソフトウェアと同
一のバージョンに切替えて両者を接続することができる
ようにした試験システムを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明では、測定装置とそれを制御
する制御装置が通信回線上に接続された試験システムに
おいて、前記制御装置は、バージョンが異なる複数の制
御ソフトウェアを有し、目的とする前記測定装置に一致
するバージョンの制御ソフトウェアを選択して、その測
定装置との接続を確立する機能を有したことを特徴とす
る。

【００１０】このような構成により、制御装置側では、
目的とする測定装置の制御ソフトウェアのバージョンと
一致するバージョンの制御ソフトウェアを自動選択して
切替え、その測定装置との接続を確立することができ
る。

【００１１】この場合、請求項２のように、制御装置と
その対象である複数個の測定装置は、通信回線上で複数
組存在しても差し支えない。また、請求項３のように、
制御装置は、測定装置の制御ソフトウェアのバージョン
番号を自動取得するかまたは手動設定の一覧から目的と
する測定装置のバージョン番号を取得するかして、目的
の測定装置と制御装置の制御ソフトウェアのバージョン
番号の一覧を表示することができる。これによりユーザ
は容易に制御ソフトウェアのバージョン番号の関係を知
ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る試験システムの一実施例
を示す要部構成図である。なお、ここでは説明を簡明に
するため１個の制御装置とそれに対する４個の半導体測
定装置が通信回線上に接続されている場合を例にとって
説明する。

【００１３】図１において、制御装置（制御端末とも呼
ぶ）１１と半導体測定装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄは通信回線３０上に接続されている。制御装置１１
は、次のような機能を有する。通信回線３０上に接続の
各半導体測定装置に問いかけて装置の名称や制御ソフト
ウェアのバージョン番号などの各種情報を自動取得し、
その一覧を制御装置に設けられた画面上に表示する。そ
して、接続する半導体測定装置が選択されるとその半導
体測定装置のソフトウェアバージョンに一致するバージ
ョン番号の制御ソフトウェア（制御装置側の制御ソフト
ウェア）を自動的に選択し切替える。

【００１４】なお、各半導体測定装置の情報取得は必ず
しも自動でなくてもよい。例えば、接続対象の半導体測
定装置の名称とアドレスのリスト等の情報はあらかじめ
作成して記憶部（図示せず）に格納しておく。その後こ
のアドレスを参照して各半導体測定装置を呼び出して当
該半導体装置からバージョン番号を取得して、半導体測
定装置の名称とそのバージョン番号の一覧を画面上に表
示するようにしてもよい。

【００１５】このような構成における動作を図２のタイ
ムチャートを参照して次に説明する。なお、制御装置１
１は、バージョン１．０とバージョン２．０の２つのバ
ージョンの制御ソフトウェアを内蔵しており、半導体測
定装置２１ａ〜２１ｄはそれぞれバージョン１．０、バ
ージョン１．０、バージョン２．０、バージョン２．０
のソフトウェアバージョンがインストールされているも
のとする。

【００１６】ユーザからの起動命令に従い制御装置１１
はパージョン問い合わせメソッドを実行してそれぞれの
半導体測定装置２１ａ〜２１ｄに通信回線３０を介して
バージョン取得要求メッセージを順次送る。

【００１７】前記バージョン取得要求メッセージを受け
取った各半導体測定装置は応答として自分自身の名称や
ソフトウェアバージョン（バージョン番号）などの情報
を送信元の制御装置１１に送信する。制御装置１１は各
半導体測定装置の名称とバージョン番号の一覧を画面に
表示する。

【００１８】ユーザはこのリストから目的の半導体測定
装置を選択し指示する。制御装置１１はその指示に従
い、目的の半導体測定装置のソフトウェアバージョンに
一致する制御装置のソフトウェアバージョン（バージョ
ン１．０か２．０のいずれか）を自動的に選択して切替
え、続いて該当する半導体測定装置に対して接続要求を
送信する。

【００１９】この接続要求を受け取った半導体測定装置
は接続受け入れを制御装置に送り返す。これにより接続
は確立する。

【００２０】なお、他のグループの制御装置とそれに対
応する半導体測定装置についても上記と同様な動作によ
りバージョンの一致するソフトウェアが自動的に選択さ
れ、その制御装置と半導体測定装置とが接続される。

【００２１】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。 （１）通信回線上に存在するバージョンの異なる制御ソ
フトウェアを持った半導体測定装置に対して、制御装置
はそのバージョンと一致する自分自身の制御ソフトウェ
アを自動選択し、接続することが可能となる。

【００２３】（２）同一通信回線上に異なるバージョン
の制御ソフトウェアを持った半導体測定装置が存在する
場合、各バージョンに一致する制御装置を複数個用意す
る必要がなく、単一の制御装置でそれ自身に備えられた
異なるバージョンの制御ソフトウェアを切替えて接続す
るだけで済むようになる。

【００２４】（３）半導体測定装置とその制御装置に限
らず、測定装置とその制御端末が互いに通信回線やネッ
トワークを介して接続され、装置と制御端末とでソフト
ウェアのバージョンが一致する必要のあるようなシステ
ムでは、本発明を適用することによりバージョンの自動
一致を行うことができる。

【００２５】（４）通信回線やネットワーク上に異なる
装置とそれらに接続可能な制御端末があり、制御端末は
それぞれの装置によって異なる接続ソフトウェアを使う
必要のある場合、本発明を適用することによって、接続
したい装置に応じた接続ソフトウェアを自動的に選択し
て装置と接続ソフトウェアの組合わせを意識することな
く接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る試験システムの一実施例を示す要
部構成図である。

【図２】本発明の動作説明用のタイムチャートである。

【図３】従来の半導体試験システムの一例を示す要部構
成図である。

【符号の説明】

１１ 制御装置 ２１ａ〜２１ｄ 半導体測定装置 ３０ 通信回線

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定装置とそれを制御する制御装置が通信
   回線上に接続された試験システムにおいて、 前記制御装置は、バージョンが異なる複数の制御ソフト
   ウェアを有し、目的とする前記測定装置に一致するバー
   ジョンの制御ソフトウェアを選択して、その測定装置と
   の接続を確立する機能を有したことを特徴とする試験シ
   ステム。
2. 【請求項２】前記制御装置とその対象である複数個の測
   定装置が、通信回線上に複数組接続されたことを特徴と
   する請求項１記載の試験システム。
3. 【請求項３】前記制御装置は、通信回線上に接続された
   各測定装置に問いかけて装置の名称や制御ソフトウェア
   のバージョン番号などの情報を自動取得するか、または
   各測定装置の名称とアドレスの関係をあらかじめ記憶し
   ておきこれを参照して目的とする測定装置から制御ソフ
   トウェアのバージョン番号を取得するかして、目的とす
   る測定装置と制御装置の各制御ソフトウェアのバージョ
   ン番号との一覧を表示する機能を有することを特徴とす
   る請求項１または２記載の試験システム。