JP2002237159A - Base plate of suspension for disk drive and method of manufacturing for the same - Google Patents

Base plate of suspension for disk drive and method of manufacturing for the same

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JP2002237159A
JP2002237159A JP2001031355A JP2001031355A JP2002237159A JP 2002237159 A JP2002237159 A JP 2002237159A JP 2001031355 A JP2001031355 A JP 2001031355A JP 2001031355 A JP2001031355 A JP 2001031355A JP 2002237159 A JP2002237159 A JP 2002237159A
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JP
Japan
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base plate
boss
boss portion
laser beam
suspension
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Application number
JP2001031355A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyuki Hirose
良幸 広瀬
Kazuto Ikemoto
一人 池本
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NHK Spring Co Ltd
Original Assignee
NHK Spring Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a base plate which is capable of caulking a boss portion to an actuator arm without any problems and can suppress the deformation at points other than the boss portion. SOLUTION: The base plate 20 to be fixed to a load beam has a plate body section 30 to be superposed on the load beam and the boss portion 31 formed by plastic working, such as pressing. The boss portion 31 is provided with a caulking coupling portion 36 to be inserted into the mounting hole of the actuator arm. The base plate 20 is fixed to the actuator arm by caulking the caulking coupling portion 36. The caulking coupling portion 36 is partially annealed by irradiating the boss portion 31 with a laser beam in such a manner that the hardness is made lower than the hardness of work hardening induced when the boss portion 31 is molded.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばパーソナ
ルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスク
ドライブ用サスペンションのベースプレートと、その製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a base plate for a disk drive suspension incorporated in an information processing apparatus such as a personal computer, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】回転する磁気ディスクあるいは光磁気デ
ィスク等に情報を記録し再生するためのハードディスク
ドライブ(HDD)は、軸を中心に旋回可能なキャリッ
ジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用
モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される。キャ
リッジは、アクチュエータアーム(スタックアームとも
呼ばれるアーム部材)と、このアーム部材の先端部に設
けたサスペンションと、サスペンションの先端部に取付
けたスライダを含むヘッド部などを備えている。
2. Description of the Related Art A hard disk drive (HDD) for recording and reproducing information on a rotating magnetic disk or a magneto-optical disk or the like has a carriage that can turn about an axis. The carriage is driven to rotate about the axis by a positioning motor. The carriage includes an actuator arm (an arm member also called a stack arm), a suspension provided at a distal end of the arm member, a head unit including a slider attached to the distal end of the suspension, and the like.

【0003】ディスクが回転すると、ヘッド部のスライ
ダがディスク表面から僅かに浮上するとともに、ディス
クとスライダとの間にエアベアリングが形成される。こ
のサスペンションは、ベースプレートを含むベース部
と、精密な薄板ばねからなるロードビームと、このロー
ドビームにレーザ溶接等によって固定されるフレキシャ
(flexure)などを含んでいる。
When the disk rotates, the slider of the head part slightly floats from the disk surface, and an air bearing is formed between the disk and the slider. This suspension includes a base portion including a base plate, a load beam formed of a precision thin leaf spring, and a flexure fixed to the load beam by laser welding or the like.

【0004】ステンレス鋼などの金属からなるベースプ
レートは、ロードビームの基部にレーザ溶接等によって
固定されるプレート本体部を有している。また、ベース
プレートにプレス等の塑性加工によって短円筒状のボス
部が形成されることがある。このボス部は、前記アーム
部材の孔に挿入されるかしめ結合部を有し、このかしめ
結合部を治具等によって径方向に塑性変形させることに
よって、アーム部材に固定される。
A base plate made of a metal such as stainless steel has a plate body fixed to the base of the load beam by laser welding or the like. Further, a short cylindrical boss may be formed on the base plate by plastic working such as pressing. The boss has a caulking joint inserted into the hole of the arm member, and is fixed to the arm member by plastically deforming the caulking joint radially with a jig or the like.

【0005】前記ベースプレートは、ボス部をプレスに
よって成形したときに、ボス部を含む塑性変形した部位
に加工硬化が生じる。加工硬化によって硬度が上昇した
ボス部をそのままアーム部材にかしめると、かしめ結合
部の硬度が高すぎて塑性変形しにくいために満足なかし
めを行うことができない。このため従来は、ボス部を成
形したのちベースプレート全体を炉に入れて加熱し、焼
鈍等の熱処理によってベースプレートの硬度を下げるこ
とが行われている。
In the base plate, when the boss is formed by pressing, work hardening occurs in the plastically deformed portion including the boss. If the boss portion whose hardness has been increased by work hardening is directly caulked to the arm member, the caulking joint portion is too hard to be plastically deformed, so that satisfactory caulking cannot be performed. Therefore, conventionally, after forming the boss, the entire base plate is placed in a furnace and heated, and the hardness of the base plate is reduced by heat treatment such as annealing.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】前記のようにボス部を
成形したのちベースプレート全体を炉に入れて焼鈍温度
まで加熱した場合、ボス部を成形した時に生じていた残
留応力が解放されることにより、ベースプレートが変形
することがある。また、ベースプレート全体が焼鈍によ
って軟化するため、ボス部以外の箇所が外力によって変
形しやすくなってしまう。
When the entire base plate is heated to an annealing temperature after the boss is formed as described above, the residual stress generated when the boss is formed is released. The base plate may be deformed. Further, since the entire base plate is softened by annealing, portions other than the boss portion are easily deformed by external force.

【0007】ベースプレート全体が軟化しているサスペ
ンションをアーム部材に組付ける場合、ベースプレート
の取扱いを誤ると、何らかの外力によってボス部以外の
箇所が塑性変形することがある。ベースプレートが変形
すると、サスペンションをアーム部材に組付けた状態に
おいて、アーム部材とロードビームとの位置関係が狂う
ことがある。その場合、ディスクの記録面とサスペンシ
ョンのヘッド部との相対位置を正確に制御することが困
難になったり、ディスクに対するスライダのフライング
ハイト(flying height)に悪影響が生じるなど、ディ
スクドライブが所定の性能を発揮することができなくな
る。
When a suspension whose entire base plate is softened is attached to an arm member, if the base plate is mishandled, parts other than the boss may be plastically deformed by some external force. When the base plate is deformed, the positional relationship between the arm member and the load beam may be disturbed in a state where the suspension is assembled to the arm member. In such a case, it is difficult to accurately control the relative position between the recording surface of the disk and the head portion of the suspension, or the flying height of the slider with respect to the disk is adversely affected. Cannot be exhibited.

【0008】従ってこの発明の目的は、ボス部をアーム
部材に問題なくかしめることができるとともに、ボス部
以外の箇所を変形しにくくすることができるベースプレ
ートと、その製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a base plate which can caulk a boss portion to an arm member without any problem and make it difficult to deform portions other than the boss portion, and a method of manufacturing the same. .

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記目的を果たすための
本発明のベースプレートは、ステンレス鋼などの金属材
料からなり、ロードビームに重ねるプレート本体部と、
アクチュエータアーム等のアーム部材に固定されるかし
め結合部を備えたボス部とを有し、前記かしめ結合部
は、前記プレート本体部の硬度以下の硬さに熱処理して
なることを特徴とする。
A base plate according to the present invention for achieving the above object is made of a metal material such as stainless steel, and has a plate main body superposed on a load beam;
A boss portion provided with a caulking connection portion fixed to an arm member such as an actuator arm, wherein the caulking connection portion is heat-treated to a hardness equal to or less than the hardness of the plate body portion.

【0010】また本発明のベースプレートの製造方法
は、金属製のベースプレートの一部を塑性加工すること
によってボス部を成形する工程と、前記塑性加工によっ
て加工硬化した前記ボス部を加熱手段によって局部的に
加熱することにより、該ボス部を前記加工硬化時の硬さ
よりも軟化させる熱処理工程とを具備している。
Further, in the method of manufacturing a base plate according to the present invention, there is provided a step of forming a boss by plastically processing a part of a metal base plate, and locally heating and hardening the boss by the plastic working by heating means. And a heat treatment step of softening the boss portion from the hardness at the time of work hardening by heating the boss portion.

【0011】本発明の製造方法において、望ましくは前
記加熱手段にレーザビームを用い、該レーザビームを前
記ボス部を中心とする範囲(例えば円形あるいは四角形
の領域)に照射することにより、前記ボス部を焼鈍温度
まで加熱するとよい。本発明においてさらに望ましく
は、前記レーザビームを伝送するための光学系として光
ファイバー束を用い、レーザ発振器が出射したレーザビ
ームを前記光ファイバー束を介してレーザビームの出射
端側に伝送するようにしてもよい。
In the manufacturing method of the present invention, preferably, a laser beam is used for the heating means, and the laser beam is applied to a region (for example, a circular or square region) centered on the boss portion, thereby obtaining the boss portion. Is heated to the annealing temperature. More preferably, in the present invention, an optical fiber bundle is used as an optical system for transmitting the laser beam, and the laser beam emitted by the laser oscillator is transmitted to the laser beam emitting end side via the optical fiber bundle. Good.

【0012】前記ベースプレートは、前記ボス部が突出
する側の第1の面と、前記ボス部が突出しない第2の面
(ベースプレートの裏側の面)とを有し、望ましくは前
記レーザビームを前記第2の面側から前記ボス部に照射
するとよい。
The base plate has a first surface on which the boss protrudes and a second surface on which the boss does not protrude (a surface on the back side of the base plate). The boss may be irradiated from the second surface side.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て、図1から図7を参照して説明する。図1に示すハー
ドディスクドライブ10は、記録媒体としてのディスク
11の記録面に情報を記録し再生するためのサスペンシ
ョン12と、これらサスペンション12を取付けるアー
ム部材の一例としてのアクチュエータアーム13と、サ
スペンション12の先端部に設けるヘッド部14などを
備えている。アクチュエータアーム13は、スタックア
ームとも呼ばれるアーム部材の一例である。アクチュエ
ータアーム13は、図示しないポジショニング用モータ
によって、軸(図示せず)を中心に旋回駆動される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. A hard disk drive 10 shown in FIG. 1 includes a suspension 12 for recording and reproducing information on a recording surface of a disk 11 as a recording medium, an actuator arm 13 as an example of an arm member to which the suspension 12 is attached, and a suspension 12. A head section 14 and the like provided at the distal end are provided. The actuator arm 13 is an example of an arm member also called a stack arm. The actuator arm 13 is turned around an axis (not shown) by a positioning motor (not shown).

【0014】ディスクドライブ用サスペンション12
は、図3に一例を示すように、ベースプレート20を含
むベース部21と、ベース部21からサスペンション1
2のヘッド部14の方向に延びるロードビーム22と、
ロードビーム22に取付けるフレキシャ23などを備え
ている。ロードビーム22は、ばね性を有する材料(例
えば厚さが60μm前後のステンレス鋼、あるいはアル
ミニウムとステンレス鋼のクラッド材)からなる。フレ
キシャ23は、ロードビーム22よりもさらに薄い板ば
ねからなり、その厚さは例えば20μm前後である。フ
レキシャ22の先端部に、ヘッド部14を構成するスラ
イダ24が取付けられている。
Disk drive suspension 12
As shown in an example in FIG. 3, a suspension 21 including a base plate 21 including a base plate 20 is provided.
A load beam 22 extending in the direction of the second head portion 14;
A flexure 23 attached to the load beam 22 is provided. The load beam 22 is made of a material having a spring property (for example, stainless steel having a thickness of about 60 μm, or a clad material of aluminum and stainless steel). The flexure 23 is made of a leaf spring that is thinner than the load beam 22, and has a thickness of, for example, about 20 μm. A slider 24 constituting the head unit 14 is attached to the tip of the flexure 22.

【0015】ベースプレート20は例えば200μm前
後の厚さのステンレス鋼からなり、ロードビーム22の
基部22aに重ねた状態で、レーザ溶接によってロード
ビーム22の基部22aに固定されている。このベース
プレート20は、ロードビーム22に重ねるプレート本
体部30と、プレス等の塑性加工によって形成された短
円筒形のボス部31とを有している。
The base plate 20 is made of, for example, stainless steel having a thickness of about 200 μm. The base plate 20 is fixed to the base 22 a of the load beam 22 by laser welding while being superposed on the base 22 a of the load beam 22. The base plate 20 has a plate main body 30 to be superimposed on the load beam 22 and a short cylindrical boss 31 formed by plastic working such as pressing.

【0016】ボス部31は、アクチュエータアーム13
の取付孔35(図2に示す)に挿入されるかしめ結合部
36と、かしめ結合部36をボス部31の軸線方向に貫
通する貫通孔37とを有している。図1に示すように複
数のサスペンション12をアクチュエータアーム13に
互いに隣り合わせて取付ける場合、それぞれのサスペン
ション12のベースプレート20間に、孔40のあいた
スペーサ41を設けるようにしている。
The boss portion 31 is connected to the actuator arm 13.
2 and a through-hole 37 that penetrates the caulking connection portion 36 in the axial direction of the boss 31. When a plurality of suspensions 12 are mounted adjacent to each other on the actuator arm 13 as shown in FIG. 1, a spacer 41 having a hole 40 is provided between the base plates 20 of each suspension 12.

【0017】このベースプレート20は、かしめ結合部
36が突出する側の第1の面20aと、かしめ結合部3
6が突出しない側(ボス部31の裏側)の第2の面20
bとを有している。図2に示すようにかしめ結合部36
は、第1の面20aからプレート本体部30の外側に高
さHだけ突出している。
The base plate 20 has a first surface 20a on the side from which the caulking joint 36 protrudes, and a caulking joint 3
The second surface 20 on the side from which the protrusion 6 does not project (the back side of the boss portion 31)
b. As shown in FIG.
Protrudes from the first surface 20a to the outside of the plate body 30 by a height H.

【0018】図2に示すように、かしめ結合部36をア
クチュエータアーム13の取付孔35に挿入し、かしめ
結合部36をかしめることによって、ベースプレート2
0がアクチュエータアーム13に固定される。例えばボ
ス部31の貫通孔37の内径Dよりも僅かに大きな外径
をもつ治具あるいは鋼球を貫通孔37に通し、かしめ結
合部36が径方向に広がるように塑性変形させることに
よって、かしめ結合部36が取付孔35の内周面に固定
される。
As shown in FIG. 2, the caulking connection portion 36 is inserted into the mounting hole 35 of the actuator arm 13 and the caulking connection portion 36 is caulked, so that the base plate 2
0 is fixed to the actuator arm 13. For example, a jig or a steel ball having an outer diameter slightly larger than the inner diameter D of the through hole 37 of the boss portion 31 is passed through the through hole 37, and the caulking portion 36 is plastically deformed so as to expand in the radial direction. The connecting portion 36 is fixed to the inner peripheral surface of the mounting hole 35.

【0019】ベースプレート20は、ボス部31がプレ
ス等によって塑性加工されたときにボス部31とその周
辺の領域が加工硬化する。ボス部31は、ベースプレー
ト20をアクチュエータアーム13に取付ける際にかし
め結合部36を塑性変形させる必要があるから、以下に
説明する熱処理装置50によって部分焼鈍することによ
り、加工硬化したときの硬度よりも軟化させている。
When the boss portion 31 of the base plate 20 is plastically worked by a press or the like, the boss portion 31 and an area around the boss portion 31 are hardened. Since the boss portion 31 needs to plastically deform the caulking joint portion 36 when attaching the base plate 20 to the actuator arm 13, the boss portion 31 is partially annealed by the heat treatment device 50 described below to have a hardness higher than the hardness at the time of work hardening. Softened.

【0020】なお、ボス部31を成形する際にプレート
本体部30が厚み方向にプレスされると、プレート本体
部30もある程度加工硬化することになる。ただしプレ
ート本体部30は硬く変形しにくいことが望まれるた
め、プレート本体部30については加工硬化が維持され
た方がよい。ボス部31を成形する前のベースプレート
20の硬さの一例は、ビッカース硬さで表すとHV18
0〜190である。ボス部31が成形されて加工硬化し
たときのボス部31の硬さは例えばHV300以上であ
る。
If the plate body 30 is pressed in the thickness direction when the boss 31 is formed, the plate body 30 will also be hardened to some extent. However, since it is desired that the plate main body 30 is hard and hardly deformed, it is better that the work hardening of the plate main body 30 is maintained. An example of the hardness of the base plate 20 before forming the boss portion 31 is HV18 in Vickers hardness.
0 to 190. The hardness of the boss 31 when the boss 31 is formed and hardened is, for example, HV300 or more.

【0021】図4に示す熱処理装置50によってボス部
31が部分焼鈍されると、かしめ結合部36が例えばH
V180以下に軟化する。このように焼鈍後のかしめ結
合部36の硬度は、プレート本体部30の最も硬い箇所
の硬度よりも硬度が小さくなっている。すなわち、かし
め結合部36は、プレート本体部30の硬度と同等もし
くはそれ以下の硬さに焼鈍される。
When the boss 31 is partially annealed by the heat treatment apparatus 50 shown in FIG.
Softens to V180 or less. As described above, the hardness of the caulked joint portion 36 after the annealing is smaller than the hardness of the hardest portion of the plate body 30. That is, the caulked joint 36 is annealed to a hardness equal to or less than the hardness of the plate body 30.

【0022】図4に示した熱処理装置50は、レーザビ
ームを発射するYAGレーザ発振機51と、電源52
と、冷却機53と、ベースプレート20を保持するホル
ダ54を有した可動テーブル55と、テーブルコントロ
ーラ56と、レーザ出射口57と、CCD等を用いたモ
ニタカメラ58と、レーザ発振機51からレーザ出射口
57にレーザビームを伝送するための光学系59と、モ
ニタ用表示装置60などを備えている。
The heat treatment apparatus 50 shown in FIG. 4 includes a YAG laser oscillator 51 for emitting a laser beam, and a power supply 52
A cooling table 53, a movable table 55 having a holder 54 for holding the base plate 20, a table controller 56, a laser emission port 57, a monitor camera 58 using a CCD or the like, and laser emission from the laser oscillator 51. An optical system 59 for transmitting a laser beam to the opening 57 and a monitor display device 60 are provided.

【0023】図5に一例を示す光学系59は、YAGロ
ッド61の出射端に対向する入射側レンズ62と、多数
の光ファイバーの集合体である光ファイバー束63と、
光ファイバー束63の出射端に対向するレンズ64と、
ビーム反射ミラー65と、出射側レンズ66などを備え
ている。ベースプレート20は出射側レンズ66の焦点
距離fよりも遠い位置に設けられており、出射側レンズ
66からボス部31に向かって出射されたレーザビーム
Bが焦点fを通過し、ベースプレート20上においてボ
ス部31と同心の円形の輪郭B′(図6に示す)を描く
ようにボス部31に照射されるようになっている。
An optical system 59 whose one example is shown in FIG. 5 includes an incident side lens 62 facing the exit end of a YAG rod 61, an optical fiber bundle 63 which is an aggregate of many optical fibers, and
A lens 64 facing the exit end of the optical fiber bundle 63;
A beam reflection mirror 65, an exit lens 66, and the like are provided. The base plate 20 is provided at a position farther than the focal length f of the emission side lens 66, and the laser beam B emitted from the emission side lens 66 toward the boss portion 31 passes through the focal point f, and The boss portion 31 is irradiated so as to draw a circular outline B ′ (shown in FIG. 6) concentric with the portion 31.

【0024】図4と図5に示す光学系59の場合には、
出射側レンズ66と光軸が一致するモニタカメラ58に
よって可動テーブル55上のベースプレート20を撮像
し、その映像をモニタ用表示装置60に表示する。こう
することにより、ベースプレート20のボス部31の中
心C(図6に示す)がレーザビームBの中心と一致する
ように、テーブルコントローラ56によって可動テーブ
ル55の位置を調整することが可能である。
In the case of the optical system 59 shown in FIGS. 4 and 5,
The base plate 20 on the movable table 55 is imaged by the monitor camera 58 whose optical axis coincides with the emission side lens 66, and the image is displayed on the monitor display device 60. In this way, the position of the movable table 55 can be adjusted by the table controller 56 so that the center C (shown in FIG. 6) of the boss portion 31 of the base plate 20 matches the center of the laser beam B.

【0025】ベースプレート20は、かしめ結合部36
が突出する側の第1の面20aと、ボス部31の裏側の
第2の面20bとを有し、第2の面20b側からレーザ
ビームBをボス部31に照射するようになっている。こ
のように第2の面20b側からレーザビームBを照射し
た場合、理由は明らかでないが、第1の面20a側から
レーザビームBを照射した場合と比較して、加熱による
変形が小さいことが本発明者の実験により判っている。
The base plate 20 includes a caulking connection 36
Has a first surface 20a protruding from the boss portion 31 and a second surface 20b behind the boss portion 31. The boss portion 31 is irradiated with the laser beam B from the second surface 20b side. . Although the reason is not clear when the laser beam B is irradiated from the second surface 20b side as described above, the deformation due to heating is smaller than when the laser beam B is irradiated from the first surface 20a side. It is known from experiments by the present inventors.

【0026】なお、レーザビームBをボス部31に照射
したときの加熱による変色を抑制するために、ベースプ
レート20を収容するチャンバ70内に窒素ガス等の不
活性ガスを供給し、不活性ガス雰囲気中でレーザビーム
Bによる焼鈍加熱を行うようにしてもよい。
In order to suppress discoloration due to heating when the boss 31 is irradiated with the laser beam B, an inert gas such as a nitrogen gas is supplied into the chamber 70 accommodating the base plate 20, and an inert gas atmosphere is supplied. The annealing heating by the laser beam B may be performed in the inside.

【0027】図6に示すように、レーザビームBの輪郭
B′がボス部31を中心とする同心円となるようにレー
ザビームBをボス部31に照射することにより、ボス部
31を焼鈍可能な温度、例えばステンレス鋼の場合には
オーステナイト状態となる変態点(940度〜950度
前後)以上、溶融温度以下まで加熱したのち、徐冷する
ことにより、少なくともかしめ結合部36を加工硬化時
の硬度よりも軟化させる。
As shown in FIG. 6, the boss 31 can be annealed by irradiating the boss 31 with the laser beam B such that the contour B 'of the laser beam B is concentric with the boss 31 as a center. The temperature, for example, in the case of stainless steel, is heated to a transformation point (about 940 to 950 degrees) which becomes an austenite state and a melting temperature or less, and then gradually cooled, so that at least the caulking joint portion 36 has a hardness at the time of work hardening. Than soften.

【0028】光学系59に光ファイバー束63を用いた
理由は、レーザビームBのエネルギー分布をある程度均
一化させるためである。すなわち、YAGレーザ等のレ
ーザビームBは、光ファイバー束63を通すことによ
り、図7にL1で示すように、レーザビームBの中心か
ら一定の範囲Sにおいてはレーザビームの中心からの距
離にかかわらずエネルギー分布がある程度平坦になると
いう特性がある。
The reason why the optical fiber bundle 63 is used for the optical system 59 is to make the energy distribution of the laser beam B uniform to some extent. That is, the laser beam B such as a YAG laser passes through the optical fiber bundle 63, so as to be within a certain range S from the center of the laser beam B, regardless of the distance from the center of the laser beam B, as indicated by L1 in FIG. There is a characteristic that the energy distribution becomes flat to some extent.

【0029】このようにエネルギー分布が平均化すれ
ば、ボス部31に対するレーザ照射位置の精度が多少悪
くても、レーザビームBがボス部31に与えるエネルギ
ーに大きな差は生じない。すなわちレーザビームBの伝
送経路に光ファイバー束63を用いることによって、加
熱をばらつかせる要因の一つである照射位置の精度が緩
和されるため、レーザビームBによる加熱の制御を行な
いやすくなる。なお、光ファイバー束の断面を円形から
ほぼ正方形に変更することにより、エネルギー分布をさ
らに均一化することが可能となり、レーザ照射位置の制
御をさらに容易にすることが可能である。
If the energy distribution is averaged in this way, even if the accuracy of the laser irradiation position on the boss portion 31 is somewhat poor, there is no large difference in the energy applied by the laser beam B to the boss portion 31. That is, by using the optical fiber bundle 63 in the transmission path of the laser beam B, the accuracy of the irradiation position, which is one of the factors that cause the heating to vary, is reduced, so that the heating by the laser beam B can be easily controlled. By changing the cross section of the optical fiber bundle from a circular shape to a substantially square shape, the energy distribution can be made more uniform, and the control of the laser irradiation position can be further facilitated.

【0030】なお、光ファイバー束63を用いない固定
光学系(反射面やレンズのみによってレーザビームを伝
送する場合)では、図7に2点鎖線L2で示すような近
似正規分布に近いエネルギー分布となる。すなわち、光
ファイバー束63を用いない場合には、レーザビームの
中心部分に高いエネルギーが集中し、レーザビームの中
心から離れるにつれてエネルギーが急速に減少するエネ
ルギー分布となる。
In a fixed optical system that does not use the optical fiber bundle 63 (when a laser beam is transmitted only by a reflecting surface or a lens), the energy distribution becomes close to an approximate normal distribution as shown by a two-dot chain line L2 in FIG. . That is, when the optical fiber bundle 63 is not used, high energy is concentrated at the center portion of the laser beam, and the energy distribution is such that the energy decreases rapidly as the distance from the center of the laser beam increases.

【0031】このため光ファイバー束63を用いない固
定光学系によってボス部31を加熱する場合には、レー
ザビームのエネルギーが低い箇所を利用することにな
り、レーザ照射位置を高精度に管理しないと、ボス部3
1が受けるエネルギーのばらつきが大きくなるという問
題が生じる。
Therefore, when the boss 31 is heated by a fixed optical system that does not use the optical fiber bundle 63, a portion where the energy of the laser beam is low is used, and unless the laser irradiation position is managed with high precision, Boss part 3
There is a problem that the variation in the energy received by 1 increases.

【0032】これに対し前記実施形態の熱処理装置50
の場合には、レーザビームBの伝送経路に光ファイバー
束63を用いたことにより、加熱をばらつかせる要因の
一つである照射位置の精度が緩和され、レーザビームB
による加熱の制御が行ないやすくなるのである。
On the other hand, the heat treatment apparatus 50 of the above embodiment
In the case of (1), by using the optical fiber bundle 63 in the transmission path of the laser beam B, the accuracy of the irradiation position, which is one of the factors that cause the heating to vary, is reduced.
This makes it easier to control heating.

【0033】前記ベースプレート20は、プレス等の塑
性加工によってベースプレート20にボス部31を形成
する工程と、加工硬化したボス部31を前記熱処理装置
50によって部分焼鈍する熱処理工程とを経て製造され
る。熱処理装置50によってボス部31を部分焼鈍する
ため、ベースプレート全体を焼鈍する場合に比べて、ベ
ースプレート20の成形時に生じた残留応力が解放され
ることによる変形を抑制することができる。また、ボス
部31を除く箇所は軟化しないため、例えばプレート本
体部30が何らかの外力によって変形してしまうことも
回避することができる。
The base plate 20 is manufactured through a step of forming the boss 31 on the base plate 20 by plastic working such as pressing, and a heat treatment step of partially annealing the boss 31 that has been hardened by the heat treatment apparatus 50. Since the boss portion 31 is partially annealed by the heat treatment device 50, deformation due to release of residual stress generated during the formation of the base plate 20 can be suppressed as compared with the case where the entire base plate is annealed. Further, since the portion other than the boss portion 31 is not softened, it is possible to avoid, for example, the plate body portion 30 being deformed by some external force.

【0034】以上説明した実施形態をはじめとして、こ
の発明を実施するに当たり、ベースプレートやプレート
本体部およびボス部の形状、加熱手段や光学系の形態な
ど、この発明の構成要素をこの発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもな
い。例えば加熱手段は、レーザビーム以外に通電加熱や
輻射熱、高周波加熱、その他の手段によってボス部を局
部的に加熱し、部分焼鈍を行うようにしてもよい。
In practicing the present invention, including the embodiments described above, the constituent elements of the present invention, such as the shapes of the base plate, the plate main body and the boss, the shape of the heating means and the optical system, are described in the gist of the present invention. It goes without saying that various changes can be made without departing from the scope of the present invention. For example, the heating means may locally heat the boss by heating, radiant heat, high frequency heating, or other means other than the laser beam to perform partial annealing.

【0035】[0035]

【発明の効果】請求項1に記載した本発明のベースプレ
ートによれば、ボス部のかしめ結合部をアーム部材に問
題なくかしめることができ、しかもボス部以外の箇所を
変形しにくくすることができる。また本発明によれば、
ベースプレート全体を焼鈍する場合と比較して、ボス部
成形時の残留応力が解放されることによるベースプレー
トの変形を抑制することができる。
According to the base plate of the present invention, the swaged joint of the boss can be swaged to the arm member without any problem, and the portions other than the boss can be hardly deformed. it can. According to the present invention,
Compared with the case where the entire base plate is annealed, the deformation of the base plate due to the release of the residual stress at the time of forming the boss portion can be suppressed.

【0036】請求項2に記載した製造方法によれば、プ
レス等の塑性加工によって加工硬化したボス部の硬度を
部分焼鈍によって下げることにより、ボス部をアクチュ
エータアームに問題なくかしめることができ、しかもベ
ースプレート全体を焼鈍しないためボス部以外の箇所が
軟化してしまうことを回避できる。請求項3に記載した
製造方法によれば、ボス部に照射するレーザビームによ
って、ボス部の所望範囲を焼鈍温度まで加熱することが
できる。
According to the manufacturing method of the present invention, the hardness of the boss portion hardened by plastic working such as pressing is reduced by partial annealing, so that the boss portion can be caulked to the actuator arm without any problem. In addition, since the entire base plate is not annealed, it is possible to prevent the portions other than the boss portion from being softened. According to the manufacturing method of the third aspect, the desired range of the boss can be heated to the annealing temperature by the laser beam applied to the boss.

【0037】請求項4に記載した製造方法によれば、レ
ーザビームを伝送する光学系に光ファイバー束を用いる
ことにより、ボス部に照射されるレーザビームのエネル
ギー分布を、ビームの中心から一定範囲内であれば、あ
る程度平均化することができる。このためレーザビーム
のエネルギー損失が少なく、かつ、レーザ照射位置に関
して要求される精度を緩和することができる。請求項5
に記載した製造方法によれば、レーザビームをボス部に
照射する際の加熱によって生じるベースプレートの変形
を最小限に抑えることができる。
According to the manufacturing method of the fourth aspect, by using the optical fiber bundle for the optical system for transmitting the laser beam, the energy distribution of the laser beam applied to the boss can be kept within a certain range from the center of the beam. If so, it can be averaged to some extent. Therefore, the energy loss of the laser beam is small, and the accuracy required for the laser irradiation position can be reduced. Claim 5
According to the manufacturing method described in (1), deformation of the base plate caused by heating when the boss is irradiated with the laser beam can be minimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施形態を示すベースプレートを
備えたサスペンションを含むディスクドライブの一部の
断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a part of a disk drive including a suspension having a base plate according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示されたディスクドライブの一部を拡
大して示す断面図。
FIG. 2 is an exemplary sectional view showing a part of the disk drive shown in FIG. 1 in an enlarged manner;

【図3】 図1に示されたサスペンションの平面図。FIG. 3 is a plan view of the suspension shown in FIG. 1;

【図4】 ベースプレートのボス部を部分焼鈍する熱処
理装置を一部断面で示す側面図。
FIG. 4 is a side view partially showing a heat treatment apparatus for partially annealing a boss portion of a base plate.

【図5】 図4に示された熱処理装置の光学系の側面
図。
FIG. 5 is a side view of an optical system of the heat treatment apparatus shown in FIG.

【図6】 図1に示されたサスペンションのベースプレ
ートの底面図。
FIG. 6 is a bottom view of the base plate of the suspension shown in FIG. 1;

【図7】 光ファイバー束によって伝送されたレーザビ
ームのエネルギー分布を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing an energy distribution of a laser beam transmitted by an optical fiber bundle.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12…ディスクドライブ用サスペンション 13…アクチュエータアーム(アーム部材) 20…ベースプレート 22…ロードビーム 30…プレート本体部 31…ボス部 35…取付孔 36…かしめ結合部 37…貫通孔 50…熱処理装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... Suspension for disk drive 13 ... Actuator arm (arm member) 20 ... Base plate 22 ... Load beam 30 ... Plate body 31 ... Boss 35 ... Mounting hole 36 ... Crimping joint 37 ... Through hole 50 ... Heat treatment device

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ディスクドライブ用サスペンションのロー
ドビームに固定される金属製のベースプレートであっ
て、 前記ロードビームに重ねるプレート本体部と、 前記サスペンションを取付けるアーム部材の孔に挿入さ
れ、かしめによって前記アーム部材に固定されるかしめ
結合部を備えたボス部とを有し、 前記かしめ結合部は、前記プレート本体部の硬度以下の
硬さに熱処理してなることを特徴とするディスクドライ
ブ用サスペンションのベースプレート。
1. A metal base plate fixed to a load beam of a disk drive suspension, wherein the plate main body is overlapped with the load beam, and the arm is inserted into a hole of an arm member for mounting the suspension, and the arm is swaged. A boss portion having a caulking connection portion fixed to a member, wherein the caulking connection portion is heat-treated to a hardness equal to or less than the hardness of the plate body portion, wherein the base plate for a disk drive suspension is characterized in that .
【請求項2】金属製のベースプレートの一部を塑性加工
することによってボス部を成形する工程と、 前記塑性加工によって加工硬化した前記ボス部を加熱手
段によって局部的に加熱することにより、該ボス部を前
記加工硬化時の硬さよりも軟化させる熱処理工程と、 を具備したことを特徴とするディスクドライブ用サスペ
ンションのベースプレートの製造方法。
2. A step of forming a boss portion by plastically processing a part of a metal base plate; and locally heating the boss portion hardened by the plastic working by a heating means to form the boss portion. A heat treatment step of softening the part from the hardness at the time of the work hardening, and a method of manufacturing a base plate for a disk drive suspension.
【請求項3】前記加熱手段にレーザビームを用い、該レ
ーザビームを前記ボス部を中心とする範囲に照射するこ
とにより、前記ボス部を加熱することを特徴とする請求
項2記載のベースプレートの製造方法。
3. The base plate according to claim 2, wherein the boss is heated by using a laser beam for the heating means and irradiating the laser beam to a range centered on the boss. Production method.
【請求項4】レーザ発振器が出射した前記レーザビーム
を出射端側に伝送するための光学系として光ファイバー
束を用いることを特徴とする請求項3記載のベースプレ
ートの製造方法。
4. The method according to claim 3, wherein an optical fiber bundle is used as an optical system for transmitting the laser beam emitted from the laser oscillator to an emission end side.
【請求項5】前記ベースプレートは、前記ボス部が突出
する側の第1の面と、前記ボス部が突出しない側の第2
の面とを有し、前記レーザビームを前記第2の面側から
前記ボス部に照射することを特徴とする請求項3または
4記載のベースプレートの製造方法。
5. The base plate has a first surface on which the boss protrudes and a second surface on which the boss does not protrude.
The method for manufacturing a base plate according to claim 3, wherein the laser beam is applied to the boss portion from the second surface side.
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