JP2002237092A - Optical information recording medium and information recording method therefor, information erasing method therefor, and manufacturing method therefor - Google Patents

Optical information recording medium and information recording method therefor, information erasing method therefor, and manufacturing method therefor

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JP2002237092A
JP2002237092A JP2002040189A JP2002040189A JP2002237092A JP 2002237092 A JP2002237092 A JP 2002237092A JP 2002040189 A JP2002040189 A JP 2002040189A JP 2002040189 A JP2002040189 A JP 2002040189A JP 2002237092 A JP2002237092 A JP 2002237092A
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JP
Japan
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film
recording
phase change
phase
optical
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JP2002040189A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuya Okada
満哉 岡田
Shuichi Okubo
修一 大久保
Masaki Ito
雅樹 伊藤
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical information recording medium in which the transparency of a phase change recording film is made substantially uniform regardless of whether or not recording is performed and, preferably, information is excellently recorded with high density, reproduced and erased, and a information recording method therefor, information erasing method therefor, and manufacturing method therefor. SOLUTION: This optical information recording medium has a plurality of phase change type optical recording layers stacked to form a phase change recording film 22 where information is recorded and erased by a phase change by irradiation with laser beam. An upper transparent protection film 23 and a lower transparent protection film 21 which protect thermal deformation when the information is recorded and erased are formed on and beneath the phase change recording film 22, respectively. Further, a base interference film 25 which controls the transmissivity of the phase change recording film 22 to the laser beam is formed beneath the lower transparent protection film 21.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はレーザ光を使用して
の情報の記録、再生及び消去が行われる光学的情報記録
媒体、その情報記録方法及びその情報消去方法に関し、
特に、情報の高密度化に好適な光学的情報記録媒体、そ
の情報記録方法及びその情報消去方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording medium on which information is recorded, reproduced and erased using a laser beam, an information recording method thereof, and an information erasing method thereof.
In particular, the present invention relates to an optical information recording medium suitable for increasing the density of information, an information recording method thereof, and an information erasing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】レ−ザ光を使用した光ディスク記録は大
容量記録が可能であり、非接触で高速アクセスできるこ
とから、大容量メモリとして実用化が進められている。
光ディスクは、コンパクトディスク及びレ−ザディスク
等の再生専用型、ユ−ザ自身で記録が可能な追記型並び
にユ−ザ側で繰り返し記録消去が可能な書換型に分類さ
れる。追記型又は書換型の光ディスクはコンピュ−タの
外部メモリ又は文書及び画像ファイルの記録媒体として
使用されている。
2. Description of the Related Art Optical disk recording using laser light is capable of high-capacity recording and can be accessed in a non-contact manner at a high speed.
Optical disks are classified into a read-only type such as a compact disk and a laser disk, a write-once type that can be recorded by the user himself, and a rewritable type that can repeatedly record and erase on the user side. A write-once or rewritable optical disk is used as an external memory of a computer or a recording medium for documents and image files.

【0003】再生専用型の光ディスクにおいては、CD
−ROMに代表されるデータファイル用のものが急速に
普及し、パーソナル分野での高密度記録用媒体として使
用されている。また、このCD−ROMの大容量性に着
目して、MPEG2等の画像圧縮技術により画像データ
を含むマルチメディアファイル用ディスクとしての応用
が検討されている。この用途では、現行の1ディスク当
たり650MBの容量では不十分であり、現行の8倍容
量となるDVD−ROMが製品化され始めた。一方、レ
ーザディスクに代表される再生専用民生向け画像ファイ
ル用機器では、小型高品質映像を提供するDVDプレー
ヤが出荷され始めたが、ハイビジョン再生を目指した更
なる光ディスクの高密度化は引き続き重要な課題となっ
ている。
In a read-only optical disk, a CD
-Data files typified by ROM have rapidly spread, and are used as high-density recording media in the personal field. Focusing on the large capacity of this CD-ROM, application as a disk for multimedia files including image data by image compression technology such as MPEG2 is being studied. For this purpose, the current capacity of 650 MB per disk is not sufficient, and DVD-ROMs having a capacity eight times the current capacity have begun to be commercialized. On the other hand, DVD players that provide small, high-quality video have begun to be shipped as read-only consumer image file devices, such as laser disks, but further densification of optical disks for high-vision playback is still important. It has become a challenge.

【0004】一方、追記型光ディスクでは、記録した情
報が安定に保存できるというメリットを最大限に利用し
た応用分野において一定の市場が確保されている。この
用途においても、スケールメリットを活かすという意味
で、大容量化及び高密度化は重要な検討課題であること
はいうまでもない。
On the other hand, in the write-once optical disc, a certain market is secured in an application field in which the merit that recorded information can be stored stably is utilized to the utmost. Also in this application, it is needless to say that increasing the capacity and increasing the density are important issues to be considered in order to take advantage of economies of scale.

【0005】また、書換型光ディスクには、記録膜の相
変化を利用した相変化型光ディスク及び垂直磁化膜の磁
化方向の変化を利用した光磁気ディスクがある。このう
ち、光磁気ディスクでは、第一世代の4倍容量の製品が
出始め、8倍容量以上のものが検討されている。一方、
相変化光ディスクにおいては、外部磁場が不要であり、
上書きを容易に行うことができるため、今後、光磁気デ
ィスクと共に、書換型光ディスクの主流になることが期
待されている。相変化型光ディスクでも、2.6GB容
量のDVD−RAMに代表されるように、光磁気の8倍
容量相当の製品が販売され始めている。これらの書換型
光ディスクにおいても、大容量化及び高密度化は重要な
課題となっている。
[0005] As rewritable optical disks, there are a phase change optical disk utilizing a phase change of a recording film and a magneto-optical disk utilizing a change in the magnetization direction of a perpendicular magnetization film. Of these, magneto-optical disks have begun to appear as products having four times the capacity of the first generation, and those having eight times or more capacity are being studied. on the other hand,
No external magnetic field is required for phase change optical discs,
Since overwriting can be performed easily, it is expected that rewritable optical disks will become the mainstream along with magneto-optical disks in the future. As for a phase change optical disk, a product equivalent to eight times the capacity of magneto-optics, such as a DVD-RAM having a capacity of 2.6 GB, has begun to be sold. Also in these rewritable optical disks, increasing the capacity and increasing the density are important issues.

【0006】次に、これらの従来の光ディスクの構造に
ついて説明する。再生専用型光ディスクにおいては、基
板上にあらかじめ射出成形により作製された凹凸ピット
上にAl合金系の金属反射膜が成膜されており、再生に
使用されている。追記型光ディスクにおいては、Te、
Bi、Se若しくはSn等の低融点金属の合金材料又は
使用するレーザ波長において吸収特性を有する色素材料
が基板上に薄く塗布されて記録膜が形成されている。書
換型の光磁気ディスクにおいては、Tb、Gd、Dy及
びHo等の希土類金属とFe、Co及びNi等の遷移金
属との合金薄膜がSiN等の透明保護膜で挟み込まれた
構造が採用されており、書換型の相変化型光ディスクに
おいては、GeSbTe及びInSbTe等からなるカ
ルコゲナイド系薄膜が記録膜として使用されている。相
変化型光ディスクの記録膜には、InSe系薄膜、In
Te系薄膜、AsTeGe系薄膜、TeOx−GeSn
系薄膜、TeSeSn系薄膜、SbSeBi系薄膜及び
BiSeGe系薄膜等も使用されている。これらの薄膜
は、抵抗加熱真空蒸着法、電子ビ−ム真空蒸着法若しく
はスパッタリング法等の成膜法又はスピン塗布法で成膜
されている。
Next, the structure of these conventional optical disks will be described. In a read-only optical disk, an Al alloy-based metal reflection film is formed on a concave / convex pit previously formed by injection molding on a substrate, and is used for reproduction. In a write-once optical disc, Te,
An alloy material of a low melting point metal such as Bi, Se or Sn or a dye material having absorption characteristics at a used laser wavelength is thinly applied on a substrate to form a recording film. A rewritable magneto-optical disk employs a structure in which an alloy thin film of a rare earth metal such as Tb, Gd, Dy, and Ho and a transition metal such as Fe, Co, and Ni is sandwiched between transparent protective films such as SiN. In a rewritable phase-change optical disk, a chalcogenide-based thin film made of GeSbTe, InSbTe, or the like is used as a recording film. The recording film of the phase-change optical disk includes an InSe-based thin film, In
Te-based thin film, AsTeGe-based thin film, TeOx-GeSn
System-based thin films, TeSeSn-based thin films, SbSeBi-based thin films, BiSeGe-based thin films, and the like are also used. These thin films are formed by a film forming method such as a resistance heating vacuum evaporation method, an electron beam vacuum evaporation method or a sputtering method, or a spin coating method.

【0007】このように、大容量化及び高密度化が要求
されているが、前述のような従来の再生専用型、追記
型、書換型の各光ディスクでは、透過性及び剛性がある
基板上に凹凸ピット、追記型記録膜、光磁気記録膜又は
相変化記録膜が形成された所謂単層構成が採用されてい
る。
As described above, a large capacity and a high density are required. However, in the conventional read-only, write-once, and rewritable optical disks as described above, a transparent and rigid substrate is provided on a substrate having transparency and rigidity. A so-called single-layer configuration in which uneven pits, a write-once recording film, a magneto-optical recording film, or a phase change recording film are formed is employed.

【0008】また、同一基板上の内周及び外周に再生専
用部、追記部及び書換部が分割して形成されたパーシャ
ルROMディスクが提案及び作製されている(例えば、
「イレーザブル光ディスク技術」p249、(株)トリ
ケップス発行、平成3年)。
Further, a partial ROM disk in which a read-only portion, a write-on portion, and a rewrite portion are divided and formed on an inner periphery and an outer periphery on the same substrate has been proposed and manufactured (for example,
"Erasable Optical Disc Technology" p. 249, published by Trikeps Corporation, 1991).

【0009】しかし、前述の光ディスク及びハイブリッ
ド型ディスクでは、単層構成であるため、記録容量の飛
躍的な向上は困難である。また、記録容量の向上のため
に単一ディスクを貼り合わせた両面構成のディスクとし
た場合には、通常のディスクドライブを使用して両面同
時アクセスをするためには、ヘッド等の変更のためコス
トがかかり、実施しにくいという欠点がある。
However, since the above-mentioned optical disk and hybrid type disk have a single-layer structure, it is difficult to dramatically improve the recording capacity. In addition, in the case of a double-sided disk in which a single disk is bonded to improve the recording capacity, simultaneous access to both sides using a normal disk drive requires a change in the head and the like, resulting in cost. And it is difficult to implement.

【0010】そこで、再生専用型光ディスクにおいて
は、片面から2層又はそれ以上の多層膜をアクセスする
再生専用型多層ディスクが提案されている(例えば、K.
Rubin他による「Multilayer Volumetric Storage Topic
al Meeting Technical Digest」、WA3−1、Optical D
ata Storage Topical Meeting Technical Digest(19
94))。また、再生専用のDVDの規格にも、2層デ
ィスクが規定されており、片面から2層に記録された情
報を再生する方式が採用されている。
Therefore, as a read-only type optical disk, a read-only type multilayer disk in which two or more multilayer films are accessed from one side has been proposed (for example, K.K.
"Multilayer Volumetric Storage Topic" by Rubin et al.
al Meeting Technical Digest ”, WA3-1, Optical D
ata Storage Topical Meeting Technical Digest (19
94)). Further, the DVD standard for reproduction only specifies a two-layer disc, and employs a method of reproducing information recorded in two layers from one side.

【0011】光ディスクの記録密度の向上を考えた場
合、情報の書換が可能な書換型光ディスクは極めて有用
であることから、片面多層構成で実用性能を確保するこ
とが課題とされ検討されている。
When considering the improvement of the recording density of an optical disk, a rewritable optical disk on which information can be rewritten is extremely useful. Therefore, securing a practical performance with a single-sided multilayer structure has been considered as an issue.

【0012】そこで、相変化を利用した書換型光ディス
クとして記録膜を2層化した光学的情報記録媒体が提案
されている(特開平3−157830号公報)。
In view of this, an optical information recording medium having a two-layered recording film has been proposed as a rewritable optical disk utilizing a phase change (Japanese Patent Laid-Open No. 3-157830).

【0013】また、相変化光ディスクにおける2層記録
が報告されている(例えば、長田他による「書き換え可
能な2層−相変化光ディスク」(第59回応用物理学会
秋季学術講演会講演予稿集 15a−V−5、p100
8、(1998.9.15))。
[0013] Further, two-layer recording on a phase change optical disk has been reported (for example, Nagata et al., "A rewritable two-layer phase change optical disk" (Preliminary Proceedings of the 59th Autumn Meeting of the Japan Society of Applied Physics 15a-). V-5, p100
8, (1998. 9.15)).

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
3−157830号公報に記載された従来の光学的情報
記録媒体においては、2層の各記録層に記録が行われる
のではなく、単に再生信号に所望の位相差を付加する手
段として2層構成を採用しているに過ぎない。このた
め、記録容量の向上は不十分である。
However, in the conventional optical information recording medium described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-157830, recording is not performed on each of the two recording layers, but is simply performed by using a reproduction signal. Only a two-layer structure is employed as a means for adding a desired phase difference to the image data. For this reason, the improvement of the recording capacity is insufficient.

【0015】また、前記講演会により報告された光ディ
スクにおいては、通常、第1層目での記録膜の光学変化
により記録マーク部分と非記録部分とでの透過率変化が
大きいため、第1層目に記録が行われていない場合と、
第1層目に記録が行われている場合とで、第2層目への
透過光量が著しく相違してしまう。このため、第2層目
への記録再生時に照射するパワレベルを変更しなけれ
ば、良好な記録及び再生ができないという問題点があ
る。
In the optical disk reported by the above-mentioned lecture, the transmittance change between the recording mark portion and the non-recording portion is usually large due to the optical change of the recording film in the first layer. If there is no record in the eyes,
The amount of light transmitted to the second layer is significantly different from the case where recording is performed on the first layer. For this reason, there is a problem that good recording and reproduction cannot be performed unless the power level irradiated during recording and reproduction on the second layer is changed.

【0016】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、記録の有無に拘わらず相変化記録膜の透過
性を実質的に均一にすることができ、好ましくは高密度
で良好な情報の記録、再生及び消去を行うことができる
光学的情報記録媒体、その情報記録方法、その情報消去
方法、その製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such a problem, and it is possible to make the transmittance of a phase change recording film substantially uniform regardless of the presence or absence of recording, and it is preferable that the film has a high density and a good density. An object of the present invention is to provide an optical information recording medium capable of recording, reproducing, and erasing information, an information recording method thereof, an information erasing method, and a manufacturing method thereof.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明に係る光学的情報
記録媒体は、少なくとも透過性基板上に、複数層の第1
相変化型光記録層、第2相変化型光記録層がこの順に積
層され、前記第1相変化型光記録層間、及び第1及び第
2相変化型光記録層間には透過性スペーサが配置されて
おり、前記第1相変化型光記録層は、下地干渉膜、透明
下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜が少なくと
もこの順に配置され、前記第2相変化型光記録層は、透
明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜、金属反
射膜が少なくともこの順に配置され、前記下地干渉膜は
光の透過率を調整する膜であることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an optical information recording medium comprising a plurality of first layers on at least a transparent substrate.
A phase change optical recording layer and a second phase change optical recording layer are stacked in this order, and a transparent spacer is disposed between the first phase change optical recording layer and the first and second phase change optical recording layers. The first phase-change optical recording layer includes a base interference film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film, which are arranged at least in this order. A transparent lower protective film, a phase change recording film, a transparent upper protective film, and a metal reflective film are arranged at least in this order, and the base interference film is a film for adjusting light transmittance.

【0018】本発明においては、相変化型光記録層に相
変化記録膜におけるレーザ光の透過率を調節する下地干
渉膜が形成されているので、相変化記録膜の記録の有無
に拘わらず、ほぼ一定した透過率が得られる。従って、
このような相変化型光記録層を積層すれば、高密度で良
好な情報の記録、再生及び消去が可能である。
In the present invention, since the base interference film for adjusting the transmittance of the laser light in the phase change recording film is formed in the phase change type optical recording layer, regardless of the presence or absence of recording on the phase change recording film. An almost constant transmittance is obtained. Therefore,
By laminating such a phase change type optical recording layer, it is possible to record, reproduce and erase information at a high density and good.

【0019】特に本発明においては、前記相変化記録膜
の情報が記録された領域における透過率が情報が記録さ
れていない領域における透過率の0.95乃至1.05
倍となるよう前記下地干渉膜の膜厚が設定されているこ
とを特徴とする。
In particular, in the present invention, the transmittance of the phase change recording film in the area where information is recorded is 0.95 to 1.05 in the area where information is not recorded.
The thickness of the base interference film is set to be twice as large.

【0020】なお、上記構成では第1相変化型光記録層
を複数層設けた構成であるが、この第1相変化型光記録
層を1層と、前記第2相変化型光記録層1層とを積層し
た光学的情報記録媒体でも良い。この場合、高密度で良
好な記録、再生、消去が可能なうえ、構成も簡単である
という特徴を有する。
In the above configuration, a plurality of first phase change type optical recording layers are provided. However, one first phase change type optical recording layer and one second phase change type optical recording layer 1 are provided. An optical information recording medium in which layers are stacked may be used. In this case, high-density and good recording, reproduction, and erasing can be performed, and the configuration is simple.

【0021】更に、本発明では、上記構成の光学的情報
記録媒体を2枚、前記第2相変化型光記録層側が対向す
るように、接着層を介して貼り合わせた構成としてもよ
い。
Further, in the present invention, a configuration may be adopted in which two optical information recording media having the above configuration are bonded via an adhesive layer such that the second phase change type optical recording layer side faces each other.

【0022】更に、本発明の光学的情報記録媒体は、透
過性基板上に、下地干渉膜、透明下部保護膜、相変化記
録膜、透明上部保護膜がこの順に配置された第3の相変
化型光記録層と、基板上に金属反射膜、透明下部保護
膜、相変化記録膜、透明上部保護膜がこの順に配置され
た第4の相変化型光記録層とを有し、前記第3の相変化
型光記録層と第4の相変化型光記録層とが、両記録層の
最上部に位置する透明上部保護膜が対向するよう、透過
性スペーサを介して積層構成された構成としても良い。
Further, the optical information recording medium of the present invention has a third phase change film in which a base interference film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order on a transparent substrate. A third optical recording layer having a metal reflective film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film arranged in this order on a substrate; And the fourth phase-change optical recording layer are laminated with a transparent spacer interposed therebetween such that the upper transparent protective film located on the top of both recording layers faces each other. Is also good.

【0023】そして、この構成の光学的情報記録媒体の
製造方法として、本発明では、透過性基板上に、下地干
渉膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜
を順次積層形成する第1の工程と、基板上に、金属反射
膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜を
順次積層形成する第2の工程とを含み、前記第1の工程
で形成した相変化型光記録層と前記第2の工程で形成し
た相変化型光記録層とを、それぞれ最上部に位置する透
明上部保護膜が対向するように貼りあわせることで製造
することを特徴とする。
As a method of manufacturing an optical information recording medium having this structure, according to the present invention, a base interference film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film are sequentially formed on a transparent substrate. And a second step of sequentially forming a metal reflective film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film on a substrate, and forming the first step. The phase-change optical recording layer and the phase-change optical recording layer formed in the second step are bonded together so that the uppermost transparent upper protective film faces each other. .

【0024】更に、本発明での情報記録方法では、上記
構成の光学的情報記録媒体に前記透過性基板側からレー
ザ光をその集光位置を変化させながら照射することによ
り、少なくとも一つの前記相変化記録膜に相変化を生じ
させる工程により情報の記録を行うことを特徴とする。
Further, in the information recording method according to the present invention, the optical information recording medium having the above-described structure is irradiated with laser light from the transparent substrate side while changing the light condensing position, so that at least one of the phase information is irradiated. Information is recorded by a process of causing a phase change in the change recording film.

【0025】更に、本発明での情報消去方法では、上記
構成の光学的情報記録媒体に前記透過性基板側からレー
ザ光をその集光位置を変化させながら照射することによ
り、少なくとも一つの前記相変化記録膜に相変化を生じ
させる工程により情報の消去を行うことを特徴とする。
Further, in the information erasing method according to the present invention, the optical information recording medium having the above-described structure is irradiated with laser light from the transparent substrate side while changing the light condensing position, so that at least one of the phase information is irradiated. Information is erased by a process of causing a phase change in the change recording film.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例に係る光学
的情報記録媒体について、添付の図面を参照して具体的
に説明する。図1は本発明の第1の実施例に係る光学的
情報記録媒体の構造を示す模式的断面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an optical information recording medium according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of the optical information recording medium according to the first embodiment of the present invention.

【0027】第1の実施例においては、透過性剛性基板
1上に3層の相変化型光記録層2a乃至2cが透過性ス
ペーサ3a及び3bを介して積層されている。更に、第
3層目の相変化型光記録層2c上には透過性スペーサ3
cを介して相変化型光記録層2dが形成されている。相
変化型光記録層2a乃至2dにおいてレーザ光の照射に
より情報の記録、再生又は消去が行われる。
In the first embodiment, three phase-change optical recording layers 2a to 2c are laminated on a transparent rigid substrate 1 via transparent spacers 3a and 3b. Further, a transparent spacer 3 is formed on the third phase-change optical recording layer 2c.
The phase-change optical recording layer 2d is formed via the layer c. Recording, reproduction, or erasure of information is performed on the phase-change optical recording layers 2a to 2d by irradiating laser light.

【0028】透過性剛性基板1には、従来光ディスク用
として使用されている透明の樹脂基板及びガラス基板が
使用可能である。また、その厚さは、ディスクとしての
剛性が確保されていればよく、使用される光ディスク用
ヘッドの集光レンズの設計値に応じて、通常コンパクト
ディスク(CD)で使用されている1.2mm厚又はそ
れ以外の、例えば、0.4mm厚、0.6mm厚若しく
は0.8mm厚であってもよい。1.2mmより厚い基
板とすることも可能である。
As the transmissive rigid substrate 1, a transparent resin substrate and a glass substrate conventionally used for optical disks can be used. The thickness of the optical disc may be any thickness as long as the rigidity of the optical disc is ensured. Depending on the design value of the condenser lens of the optical disc head to be used, the thickness of 1.2 mm usually used for compact discs (CDs) is used. The thickness may be other than that, for example, 0.4 mm, 0.6 mm, or 0.8 mm. It is also possible to make the substrate thicker than 1.2 mm.

【0029】また、相変化型光記録層2a乃至2cは下
地干渉膜、透明下部保護膜、相変化記録膜及び透明上部
保護膜から構成されている。図2は第1層目の相変化型
光記録層2aの構造を示す断面図である。
Each of the phase-change optical recording layers 2a to 2c includes a base interference film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film. FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the first-layer phase-change optical recording layer 2a.

【0030】相変化型光記録層2aには、透過性剛性基
板1上に形成された下地干渉膜25が設けられている。
下地干渉膜25は、干渉効果を引き出すために高い屈折
率を有する材料から形成されておりSi膜又はGe膜が
使用可能である。また、Siを主成分とする酸化膜、S
iを主成分とする窒化膜、Geを主成分とする酸化膜又
はGeを主成分とする窒化膜も使用可能である。当然、
干渉効果が得られれば、これらの膜以外の高屈折率誘電
膜も使用できることはいうまでもない。この下地干渉膜
25により相変化記録膜22におけるレーザ光の透過率
が調節される。
The phase change type optical recording layer 2 a is provided with a base interference film 25 formed on the transparent rigid substrate 1.
The base interference film 25 is formed of a material having a high refractive index to extract an interference effect, and a Si film or a Ge film can be used. Also, an oxide film containing Si as a main component, S
A nitride film containing i as a main component, an oxide film containing Ge as a main component, or a nitride film containing Ge as a main component can also be used. Of course,
Needless to say, a high refractive index dielectric film other than these films can be used as long as the interference effect is obtained. The transmittance of laser light in the phase change recording film 22 is adjusted by the base interference film 25.

【0031】また、下地干渉膜25上には、相変化記録
膜22を主として情報の記録及び消去時の熱変形から保
護する透明下部保護膜21が形成されている。透明下部
保護膜21には、ZnS及びSiO2を主成分とする保
護膜が使用される。
Further, on the base interference film 25, a transparent lower protective film 21 for protecting the phase change recording film 22 mainly from thermal deformation at the time of recording and erasing information is formed. As the transparent lower protective film 21, a protective film containing ZnS and SiO 2 as main components is used.

【0032】更に、透明下部保護膜21上には、相変化
記録膜22が形成されている。相変化記録膜22には、
Ge、Sb及びTeを主成分とする薄膜が使用される。
具体的には、Ge2Sb2Te5膜、Ge1Sb2Te4膜、
Ge1Sb4Te7膜及びこれらにGe、Sb又はTeを
少量添加した膜並びに第4元素としてPd、Pt、A
u、Ag、Ti又はCu等を微量添加した膜が相変化記
録膜22として使用される。相変化記録膜22の厚さ
は、5乃至30nm程度であり、高い透過光が得られ
る。
Further, on the transparent lower protective film 21, a phase change recording film 22 is formed. The phase change recording film 22 includes
A thin film mainly composed of Ge, Sb and Te is used.
Specifically, a Ge 2 Sb 2 Te 5 film, a Ge 1 Sb 2 Te 4 film,
Ge 1 Sb 4 Te 7 film, a film to which Ge, Sb or Te is added in a small amount, and Pd, Pt, A as the fourth element
A film to which a small amount of u, Ag, Ti or Cu is added is used as the phase change recording film 22. The thickness of the phase change recording film 22 is about 5 to 30 nm, and high transmitted light can be obtained.

【0033】更にまた、相変化記録膜22上には、相変
化記録膜22を主として情報の記録及び消去時の熱変形
から保護する透明上部保護膜23が形成されている。透
明上部保護膜23には、透明下部保護膜21と同様に、
ZnS及びSiO2を主成分とする保護膜が使用され
る。
Further, on the phase change recording film 22, a transparent upper protective film 23 for protecting the phase change recording film 22 mainly from thermal deformation at the time of recording and erasing of information is formed. Like the transparent lower protective film 21, the transparent upper protective film 23
A protective film containing ZnS and SiO 2 as main components is used.

【0034】なお、相変化型光記録層2b及び2cの構
造は、透過性剛性基板1ではなく透過性スペーサ3a又
は3b上に下地干渉膜が形成されていることを除けば、
相変化型光記録層2aと同様のものである。
The structure of the phase-change optical recording layers 2b and 2c is the same as that of the first embodiment except that a base interference film is formed not on the transparent rigid substrate 1 but on the transparent spacer 3a or 3b.
This is the same as the phase change type optical recording layer 2a.

【0035】これらの相変化型光記録層2a乃至2cに
おいては、下地干渉膜の膜厚を適切なものとすることに
より、記録マークの有無による透過率の相違を著しく抑
制することが可能となる。図4(a)及び(b)は横軸
に下地干渉膜の膜厚をとり、縦軸に透過率又は反射率の
いずれかをとってこれらの関係を示すグラフ図である。
なお、図4において、実線は記録マークが存在する領
域、即ち、記録が行われている領域におけるもの、破線
は記録マークが存在しない領域、即ち、記録が行われて
いない領域におけるものを夫々示している。
In these phase-change optical recording layers 2a to 2c, by making the thickness of the base interference film appropriate, it is possible to remarkably suppress the difference in transmittance due to the presence or absence of recording marks. . FIGS. 4A and 4B are graphs showing the relationship between the thickness of the underlying interference film on the horizontal axis and either the transmittance or the reflectance on the vertical axis.
In FIG. 4, a solid line indicates an area where a recording mark exists, that is, an area where recording is performed, and a broken line indicates an area where no recording mark exists, that is, an area where recording is not performed. ing.

【0036】図4に示す光学特性は、次のような相変化
型光記録層のものである。下地干渉膜はSi膜であり、
その光学定数はSi(4.52、0.15i)である。
透明下部保護膜及び透明上部保護膜はZnS−SiO2
からなる膜であり、その光学定数はZnS−SiO
2(2.10、0.0i)、その膜厚は150nmであ
る。相変化記録膜はGeSbTeからなる膜であり、そ
の光学定数は、結晶状態においてGeSbTe(3.9
1、4.22i)、アモルファス状態においてGeSb
Te(4.13、1.89i)、その膜厚は16nmで
ある。また、レーザ光の波長は660nmとしている。
The optical characteristics shown in FIG. 4 are those of the following phase change type optical recording layer. The base interference film is a Si film,
Its optical constant is Si (4.52, 0.15i).
The transparent lower protective film and the transparent upper protective film are ZnS-SiO 2
And the optical constant is ZnS—SiO
2 (2.10, 0.0i), and its film thickness is 150 nm. The phase change recording film is a film made of GeSbTe, and its optical constant is GeSbTe (3.9) in a crystalline state.
1, 4.22i), GeSb in the amorphous state
Te (4.13, 1.89i), the thickness of which is 16 nm. The wavelength of the laser light is 660 nm.

【0037】図4(a)に示すように、下地干渉膜であ
るSi膜の膜厚を100nmとしたとき、記録マークに
対応するアモルファス状態のGeSbTeに対する透過
率が37.2%となり、未記録の消去状態に対応した結
晶状態のGeSbTeに対する透過率が36.4%とな
っている。このように、アモルファス状態の相変化記録
膜における透過率は結晶状態のそれの1.03倍であ
る。従って、これらの透過率差は極めて僅かであり、良
好な情報の記録、再生及び消去が可能となる。なお、相
変化記録膜の情報が記録された領域における透過率は、
情報が記録されていない領域における透過率の0.95
乃至1.05倍であることが望ましい。
As shown in FIG. 4A, when the thickness of the Si film as the base interference film is 100 nm, the transmittance for GeSbTe in the amorphous state corresponding to the recording mark becomes 37.2%, and the unrecorded state. Has a transmittance of 36.4% with respect to GeSbTe in the crystalline state corresponding to the erased state. Thus, the transmittance of the amorphous phase change recording film is 1.03 times that of the crystalline phase change recording film. Accordingly, the difference between these transmittances is extremely small, and it is possible to record, reproduce, and erase good information. The transmittance of the phase change recording film in the area where the information is recorded is:
0.95 of transmittance in an area where no information is recorded
Desirably, it is about 1.05 times.

【0038】このように、相変化型光記録層2a乃至2
cにおいては、30乃至50%の透過光が生じるように
設計することが可能である。
As described above, the phase change type optical recording layers 2a to 2a
In c, it is possible to design so that 30 to 50% of transmitted light is generated.

【0039】透過性スペーサ3は、厚さが5乃至30μ
mのフォトポリマ等の光硬化型樹脂から構成されてい
る。なお、透過性スペーサ3の厚さは使用される集光レ
ンズの特性及びレーザ波長から決まる焦点深度と比して
十分厚く設定される。ここで、入射する集光レーザ光の
集光位置を可変とすることにより、相変化型光記録層2
a乃至2dに対する記録、再生及び消去を行うことがで
きるようになる。
The transparent spacer 3 has a thickness of 5 to 30 μm.
It is composed of a photocurable resin such as a photopolymer of m. The thickness of the transmissive spacer 3 is set sufficiently thicker than the depth of focus determined by the characteristics of the condenser lens used and the laser wavelength. Here, by making the condensing position of the incident condensed laser light variable, the phase-change optical recording layer 2 is formed.
It becomes possible to perform recording, reproduction and erasure on a to 2d.

【0040】第4層目の相変化型光記録層2dは、透明
下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜及び金属反
射膜から構成されている。図3は第4層目の相変化型光
記録層2dを示す断面図である。
The fourth phase change type optical recording layer 2d is composed of a transparent lower protective film, a phase change recording film, a transparent upper protective film, and a metal reflection film. FIG. 3 is a sectional view showing a fourth phase-change optical recording layer 2d.

【0041】第4層目の相変化型光記録層2dにおいて
は、透過性スペーサ3c上に透明下部保護膜21a、相
変化記録膜22a及び透明上部保護膜23aが、第1乃
至3層目の相変化型光記録層と同様に、形成されてい
る。これらの材料も第1乃至3層目の相変化型光記録層
のものと同様である。
In the fourth phase change type optical recording layer 2d, a transparent lower protective film 21a, a phase change recording film 22a and a transparent upper protective film 23a are formed on the transparent spacer 3c. It is formed similarly to the phase change type optical recording layer. These materials are the same as those of the first to third phase-change optical recording layers.

【0042】第4層目の相変化型光記録層2dにおいて
は、更に、透明上部保護膜23a上に金属反射膜24a
形成されている。金属反射膜24aには、Al、Ag、
Au又はPt等を主成分とする金属膜が使用される。
In the fourth phase change type optical recording layer 2d, a metal reflective film 24a is further formed on the transparent upper protective film 23a.
Is formed. Al, Ag,
A metal film containing Au or Pt as a main component is used.

【0043】なお、金属反射膜24aは設けられていな
くてもよい。この場合、最上層の相変化型光記録層にお
いて光が透過することになる。但し、光を透過させる必
要がない場合には、効率よく反射光を信号再生に利用す
ることを可能とするために、最上層の相変化型光記録層
に金属反射層を設けることが望ましい。
The metal reflection film 24a may not be provided. In this case, light is transmitted through the uppermost phase-change optical recording layer. However, when it is not necessary to transmit light, it is desirable to provide a metal reflective layer on the uppermost phase-change optical recording layer in order to enable the reflected light to be efficiently used for signal reproduction.

【0044】このように構成された第1の実施例に係る
光学的情報記録媒体による情報の記録、再生又は消去に
おいては、図1に示すように、情報の記録、再生又は消
去に使用するレーザ光10が集光レンズ11によって集
光され、外部から透過性剛性基板1を通じて入射され
る。
In recording, reproducing or erasing information on the optical information recording medium according to the first embodiment configured as described above, as shown in FIG. 1, a laser used for recording, reproducing or erasing information is used. Light 10 is condensed by a condenser lens 11 and is incident from the outside through the transparent rigid substrate 1.

【0045】このため、上部に位置する相変化型光記録
層に記録再生する際に、下部に位置する相変化型光記録
層を透過したレーザ光が使用されるので、相変化型光記
録層の透過率が使用するレーザの波長において所定値以
上となるように各膜の厚さを設定する必要がある。
For this reason, when recording / reproducing on the upper phase change type optical recording layer, the laser light transmitted through the lower phase change type optical recording layer is used. It is necessary to set the thickness of each film so that the transmittance is not less than a predetermined value at the wavelength of the laser to be used.

【0046】また、第1乃至3層目の相変化型光記録層
2a乃至2cにおいて、記録マークがある場合とない場
合とで透過率が大きく異なる場合には、その領域におけ
る透過率が異なることになり、その層以降に到達する光
の光量及び反射光量にも差が生じる。このため、記録感
度のずれ及び再生特性変動が引き起こされてしまう。
In the first to third phase-change optical recording layers 2a to 2c, if the transmittance is significantly different between the case where the recording mark is present and the case where the recording mark is not present, the transmittance in that region is different. , And there is also a difference between the amount of light reaching the layer and the amount of reflected light and the amount of reflected light. For this reason, a shift in recording sensitivity and a change in reproduction characteristics are caused.

【0047】本実施例においては、前述のように下地干
渉膜の膜厚を調節することにより、相変化型光記録層2
a乃至2cにおける透過率を制御することができると共
に、記録マークの有無による透過率差を抑制することが
できるので、良好な情報の記録及び再生が可能である。
In this embodiment, by adjusting the thickness of the base interference film as described above, the phase change type optical recording layer 2 is formed.
Since the transmittance in a to 2c can be controlled and the transmittance difference due to the presence or absence of the recording mark can be suppressed, it is possible to record and reproduce good information.

【0048】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。第2の実施例は、第1の実施例に係る2枚の光学
的情報記録媒体が貼り合わされたものである。図5は本
発明の第2の実施例に係る光学的情報記録媒体の構造を
示す断面図である。なお、図5に示す第2の実施例にお
いて、図1に示す第1の実施例と同一の構成要素には、
同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, two optical information recording media according to the first embodiment are bonded. FIG. 5 is a sectional view showing the structure of the optical information recording medium according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment shown in FIG. 5, the same components as those in the first embodiment shown in FIG.
The same reference numerals are given and the detailed description is omitted.

【0049】第2の実施例においては、第1の実施例に
係る2枚の光学的情報記録媒体がそれらの第4層目の相
変化型光記録層2dを接着層4により貼り合わされてい
る。
In the second embodiment, the two optical information recording media according to the first embodiment have their fourth phase-change type optical recording layer 2d bonded together by an adhesive layer 4. .

【0050】このように構成された第2の実施例におい
ては、第1の実施例による効果だけでなく、その両面に
おいて情報の書換が可能となるため、記録容量が第1の
実施例におけるものの2倍となる。
In the second embodiment constructed as described above, not only the effect of the first embodiment but also the rewriting of information on both sides is possible, so that the recording capacity is the same as that of the first embodiment. Double.

【0051】[0051]

【実施例】以下、本発明の実施例について、その特許請
求の範囲から外れる比較例と比較して具体的に説明す
る。
EXAMPLES Examples of the present invention will be specifically described below in comparison with comparative examples that fall outside the scope of the claims.

【0052】先ず、直径が120mm、板厚が0.6m
m、トラックピッチが1.0μmのポリカーボネート基
板を透過性剛性基板として使用し、その上に下記表1に
示す下地干渉膜を形成した。その後、下地干渉膜上に膜
厚が150nmのZnS−SiO2からなる透明下部保
護膜をスパッタ法により形成した。更に、透明下部保護
膜上に膜厚が16nmのGe2Sb2Te5からなる相変
化記録膜をスパッタ法により形成した。そして、相変化
記録膜上に膜厚が150nmのZnS−SiO 2からな
る透明上部保護膜をスパッタ法により形成した。このよ
うにして、第1層目の相変化型光記録層を形成した。
First, the diameter is 120 mm and the thickness is 0.6 m.
m, polycarbonate base with track pitch of 1.0μm
The plate is used as a transparent rigid substrate, and
The underlying interference film shown was formed. Then, a film is formed on the base interference film.
ZnS-SiO with a thickness of 150 nmTwoTransparent lower cover made of
A protective film was formed by a sputtering method. In addition, transparent lower protection
16 nm thick Ge on the filmTwoSbTwoTeFivePhase change
A recording film was formed by a sputtering method. And phase change
ZnS-SiO with a thickness of 150 nm on the recording film TwoFrom
A transparent upper protective film was formed by a sputtering method. This
Thus, the first phase-change optical recording layer was formed.

【0053】次に、透明上部保護膜上に紫外線硬化樹脂
をスピンコート法により25μmの厚さに塗布した。次
に、その後、予めトラッキング溝が形成された透明スタ
ンパを紫外線硬化樹脂に密着させ、紫外線照射によって
紫外線硬化樹脂を硬化させ、スタンパを除去することに
より、トラックピッチが1.0μmの良好なトラッキン
グ溝を紫外線硬化樹脂に転写した。このようにして、透
過性スペーサを形成した。
Next, an ultraviolet curable resin was applied to a thickness of 25 μm on the transparent upper protective film by spin coating. Next, after that, the transparent stamper in which the tracking groove was previously formed was brought into close contact with the ultraviolet curable resin, the ultraviolet curable resin was cured by irradiating ultraviolet rays, and the stamper was removed, whereby a good tracking groove having a track pitch of 1.0 μm was obtained. Was transferred to an ultraviolet curable resin. Thus, a transparent spacer was formed.

【0054】次いで、透過性スペーサ上に膜厚が170
nmのZnS−SiO2からなる第2の透明下部保護膜
をスパッタ法により形成した。その後、第2の透明下部
保護膜上に膜厚が14nmのGe2Sb2Te5からなる
第2の相変化記録膜をスパッタ法により形成した。更
に、第2の相変化記録膜上に膜厚が18nmのZnS−
SiO2からなる第2の透明上部保護膜をスパッタ法に
より形成した。そして、第2の透明上部保護膜上に下記
表1に示す金属反射膜をスパッタ法により形成した。こ
のようにして、第2層目(最上層)の相変化型光記録層
を形成した。
Next, a film thickness of 170 is formed on the transparent spacer.
a second transparent lower passivation layer consisting nm of ZnS-SiO 2 was formed by sputtering. Thereafter, a second phase-change recording film made of Ge 2 Sb 2 Te 5 having a thickness of 14 nm was formed on the second transparent lower protective film by a sputtering method. Further, on the second phase change recording film, a ZnS-
A second transparent upper protective film made of SiO 2 was formed by a sputtering method. Then, a metal reflective film shown in Table 1 below was formed on the second transparent upper protective film by a sputtering method. Thus, the second (uppermost) phase-change optical recording layer was formed.

【0055】なお、実施例1、2及び8におけるSi下
地干渉膜はスパッタリングにより形成し、実施例3にお
けるGe下地干渉膜はGeターゲットを使用したArガ
スによるスパッタリングにより形成した。また、実施例
4におけるSiO膜はAr及びO2の混合ガス雰囲気中
でのSiターゲットを使用した反応性スパッタリングに
より形成し、実施例5におけるSiN下地干渉膜はAr
及びN2の混合ガス雰囲気中でのSiターゲットを使用
した反応性スパッタリングにより形成した。更に、実施
例6におけるGeO下地干渉膜はAr及びO2の混合ガ
ス雰囲気中でのGeターゲットを使用した反応性スパッ
タリングにより形成し、実施例7におけるGeN下地干
渉膜はAr及びN2の混合ガス雰囲気中でのGeターゲ
ットを使用した反応性スパッタリングにより形成した。
The Si underlayer interference films in Examples 1, 2 and 8 were formed by sputtering, and the Ge underlayer interference film in Example 3 was formed by Ar gas sputtering using a Ge target. The SiO film in Example 4 was formed by reactive sputtering using a Si target in a mixed gas atmosphere of Ar and O 2 , and the SiN underlayer interference film in Example 5 was Ar
And a reactive sputtering using a Si target in a mixed gas atmosphere of N 2 and N 2 . Further, the GeO base interference film in Example 6 was formed by reactive sputtering using a Ge target in a mixed gas atmosphere of Ar and O 2 , and the GeN base interference film in Example 7 was a mixed gas of Ar and N 2 . It was formed by reactive sputtering using a Ge target in an atmosphere.

【0056】また、実施例2は、第2の実施例に基づ
き、2枚の実施例1のディスクが金属反射膜で接着層に
より貼り合わされたものである。
In the second embodiment, based on the second embodiment, two disks of the first embodiment are bonded together with a metal reflective film by an adhesive layer.

【0057】更に、実施例8の製造においては、以下の
方法を採用した。図6は実施例8の構造を示す断面図で
ある。先ず、第1の透過性剛性基板56a上に、下地干
渉膜55、透明下部保護膜51、相変化記録膜52及び
透明上部電極53からなる第1層目の相変化型光記録層
を形成した。その後、第1の透過性剛性基板56aとは
逆向きのトラックピッチ1.0umのスパイラル状のト
ラッキング案内溝が形成された第2の透過性剛性基板5
6b上に、下層から金属反射膜54a、膜厚が18nm
の透明下部保護膜53a、膜厚が14nmの相変化記録
膜52a及び膜厚が170nmの透明上部保護膜51a
を形成した。即ち、第2の透過性剛性基板56b上に第
2層目の相変化型光記録層を上下逆さに形成した。
Further, in the production of Example 8, the following method was employed. FIG. 6 is a sectional view showing the structure of the eighth embodiment. First, a first phase-change optical recording layer including a base interference film 55, a transparent lower protective film 51, a phase-change recording film 52, and a transparent upper electrode 53 was formed on a first transparent rigid substrate 56a. . Thereafter, the second transparent rigid substrate 5 having a spiral tracking guide groove with a track pitch of 1.0 μm opposite to the first transparent rigid substrate 56a is formed.
6b, a metal reflective film 54a from the lower layer and a thickness of 18 nm
, A phase change recording film 52a having a thickness of 14 nm, and a transparent upper protection film 51a having a thickness of 170 nm.
Was formed. That is, the second phase-change optical recording layer was formed upside down on the second transparent rigid substrate 56b.

【0058】次に、これらの成膜が完了した2枚の基板
の成膜面間に紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により
40μmの厚さに展開及び塗布し、第1の透過性剛性基
板側から紫外線を照射することにより、紫外線硬化樹脂
を硬化させた。これにより、透過性スペーサ57を形成
すると共に、2枚の基板を貼り合わせた。このようにし
て製造された光ディスクは、第2の透過性剛性基板が形
成されていること及び透過性スペーサの厚さを除けば、
実施例1と同様の構造を有している。
Next, an ultraviolet curable resin was spread and applied to a thickness of 40 μm by a spin coating method between the film forming surfaces of the two substrates on which the film formation was completed, and the first transparent rigid substrate side was coated. UV light was applied to cure the UV-curable resin. Thus, the transparent spacer 57 was formed, and the two substrates were bonded together. The optical disk manufactured in this manner has the following features, except that the second permeable rigid substrate is formed and the thickness of the permeable spacer.
It has a structure similar to that of the first embodiment.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】また、比較例9として、直径が120m
m、板厚が0.6mm、トラックピッチが1.0μmの
ポリカーボネート基板を透過性剛性基板として使用し、
その上に膜厚が230nmのZnS−SiO2からなる
透明下部保護膜をスパッタ法により形成した。更に、透
明下部保護膜上に膜厚が10nmのGe2Sb2Te5
らなる相変化記録膜をスパッタ法により形成した。更に
また、相変化記録膜上に膜厚が18nmのZnS−Si
2からなる透明上部保護膜をスパッタ法により形成し
た。そして、透明上部保護膜上に膜厚が60nmのSi
透明反射膜を形成した。このようにして、第1層目の相
変化型光記録層を形成した。
As Comparative Example 9, the diameter was 120 m.
m, using a polycarbonate substrate having a plate thickness of 0.6 mm and a track pitch of 1.0 μm as a transparent rigid substrate,
A transparent lower passivation layer having a thickness thereon made of ZnS-SiO 2 of 230nm was formed by sputtering. Further, a phase change recording film made of Ge 2 Sb 2 Te 5 having a thickness of 10 nm was formed on the transparent lower protective film by a sputtering method. Furthermore, a ZnS-Si film having a thickness of 18 nm is formed on the phase change recording film.
A transparent upper protective film made of O 2 was formed by a sputtering method. Then, a Si film having a thickness of 60 nm is formed on the transparent upper protective film.
A transparent reflection film was formed. Thus, the first phase-change optical recording layer was formed.

【0061】次に、Si透明反射膜上に紫外線硬化樹脂
をスピンコート法により25μmの厚さに塗布した。次
に、その後、予めトラッキング溝が形成された透明スタ
ンパを紫外線硬化樹脂に密着させ、紫外線照射によって
紫外線硬化樹脂を硬化させ、スタンパを除去することに
より、トラックピッチが1.0μmの良好なトラッキン
グ溝を紫外線硬化樹脂に転写した。このようにして、透
過性スペーサを形成した。
Next, an ultraviolet curable resin was applied on the Si transparent reflective film to a thickness of 25 μm by spin coating. Next, after that, the transparent stamper in which the tracking groove was previously formed was brought into close contact with the ultraviolet curable resin, the ultraviolet curable resin was cured by irradiating ultraviolet rays, and the stamper was removed, whereby a good tracking groove having a track pitch of 1.0 μm was obtained. Was transferred to an ultraviolet curable resin. Thus, a transparent spacer was formed.

【0062】次いで、透過性スペーサ上に膜厚が230
nmのZnS−SiO2からなる第2の透明下部保護膜
をスパッタ法により形成した。その後、第2の透明下部
保護膜上に膜厚が10nmのGe2Sb2Te5からなる
第2の相変化記録膜をスパッタ法により形成した。更
に、第2の相変化記録膜上に膜厚が18nmのZnS−
SiO2からなる第2の透明上部保護膜をスパッタ法に
より形成した。そして、第2の透明上部保護膜上にAl
からなる金属反射膜をスパッタ法により形成した。この
ようにして、第2層目(最上層)の相変化型光記録層を
形成した。
Next, a thickness of 230 is formed on the transparent spacer.
a second transparent lower passivation layer consisting nm of ZnS-SiO 2 was formed by sputtering. Thereafter, a second phase change recording film made of Ge 2 Sb 2 Te 5 having a thickness of 10 nm was formed on the second transparent lower protective film by a sputtering method. Further, on the second phase change recording film, a ZnS-
A second transparent upper protective film made of SiO2 was formed by a sputtering method. Then, Al is formed on the second transparent upper protective film.
Was formed by a sputtering method. Thus, the second (uppermost) phase-change optical recording layer was formed.

【0063】そして、各実施例及び比較例について透過
率の測定及び記録、再生及び消去の特性の評価を行っ
た。
For each of the examples and comparative examples, the transmittance was measured and the characteristics of recording, reproduction and erasing were evaluated.

【0064】第1層目の相変化型光記録層の透過率は、
実施例1では、660nmのレーザ光波長において、記
録膜が結晶状態のときに40%、非晶質状態のときに3
8%であった。実施例4では、記録膜が結晶状態のとき
に43%、非晶質状態のときには41%であった。実施
例5では、記録膜が結晶状態のときに37%、非晶質状
態のときには39%であった。実施例7では、記録膜が
結晶状態のときに38%、非晶質状態のときには39%
であった。実施例8では、記録膜が結晶状態のときに4
0%、非晶質状態のときには38%であった。一方、比
較例9では、記録膜が結晶状態のときに40%、非晶質
状態のときには68%であり、その差が極めて大きかっ
た。
The transmittance of the first phase-change optical recording layer is
In Example 1, at a laser beam wavelength of 660 nm, 40% when the recording film is in a crystalline state, and 3% when the recording film is in an amorphous state.
8%. In Example 4, it was 43% when the recording film was in a crystalline state and 41% when the recording film was in an amorphous state. In Example 5, it was 37% when the recording film was in a crystalline state and 39% when the recording film was in an amorphous state. In Example 7, 38% when the recording film is in a crystalline state, and 39% when the recording film is in an amorphous state.
Met. In Example 8, when the recording film is in a crystalline state,
0% and 38% in the amorphous state. On the other hand, in Comparative Example 9, when the recording film was in a crystalline state, it was 40%, and when the recording film was in an amorphous state, it was 68%, and the difference was extremely large.

【0065】また、情報の記録、再生及び消去の特性の
評価は、以下のようにして行った。
The characteristics of recording, reproducing and erasing of information were evaluated as follows.

【0066】先ず、光ディスク内の第1及び2層目の相
変化型光記録層を初期化し、光ディスクを3600rp
mの回転数で回転させ、第1層目の相変化型光記録層の
半径30mmのトラックに8.4MHz(デューティ
比:50%)の信号を記録した。その後、同じトラック
に2.2MHz(デューティ比:50%)の信号を上書
き(オーバライト)した。なお、情報の記録、再生及び
消去には、波長が660nmの半導体レーザを搭載した
光ヘッドを使用し、集光レンズの開口率を0.6とし
た。
First, the first and second phase change type optical recording layers in the optical disk are initialized, and the optical disk is set at 3600 rpm.
After rotating at a rotation speed of m, a signal of 8.4 MHz (duty ratio: 50%) was recorded on a track having a radius of 30 mm of the first phase-change optical recording layer. Thereafter, a signal of 2.2 MHz (duty ratio: 50%) was overwritten (overwritten) on the same track. For recording, reproducing and erasing information, an optical head equipped with a semiconductor laser having a wavelength of 660 nm was used, and the aperture ratio of the condenser lens was set to 0.6.

【0067】実施例1においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8mW、4mWに設定し、このトラックを再生したとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
In the first embodiment, the recording power and the erasing power are set to 8 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduction signal is minimized, and when this track is reproduced, a good reproduction signal is obtained. Obtained.

【0068】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々14mW、7mWと
し、この光ディスクに記録及び再生を行ったところ、良
好な再生信号が得られた。
Next, an offset was applied to the focus servo circuit of the optical head, and the focus position of the laser light was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. When the optical disk was rotated at 3600 rpm, the recording power and the erasing power were set to 14 mW and 7 mW, respectively, and recording and reproduction were performed on the optical disk, a good reproduction signal was obtained.

【0069】実施例2においては、実施例1と同様に、
再生信号の2次高調波歪が最小となるように、記録パワ
及び消去パワを夫々8mW、4mWに設定し、このトラ
ックを再生したところ、良好な再生信号が得られた。
In the second embodiment, as in the first embodiment,
The recording power and the erasing power were set to 8 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduction signal was minimized, and when this track was reproduced, a good reproduction signal was obtained.

【0070】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、半径31mmのトラックに8.0MHz(デューテ
ィ比:50%)の信号を記録し、同じトラックに1.9
MHz(デューティ比:50%)の信号をオーバライト
した。なお、再生信号の2次高調波歪が最小となるよう
に、記録パワ及び消去パワを夫々14mW、7mWに設
定した。このトラックを再生したところ、良好な再生信
号が得られた。また、第1層目の相変化型光記録層にお
ける記録の有無に拘わらず、良好な記録再生が確認され
た。反対面について同様の記録及び再生を行ったとこ
ろ、良好に動作することが確認された。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, a signal of 8.0 MHz (duty ratio: 50%) is recorded on a track having a radius of 31 mm, and 1.9 is recorded on the same track.
MHz (duty ratio: 50%) signal was overwritten. The recording power and the erasing power were set to 14 mW and 7 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduced signal was minimized. When this track was reproduced, a good reproduced signal was obtained. In addition, good recording / reproduction was confirmed regardless of the presence / absence of recording in the first phase-change optical recording layer. When the same recording and reproduction were performed on the opposite surface, it was confirmed that the operation was good.

【0071】実施例3においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8.8mW、4.4mWに設定し、このトラックを再生
したところ、良好な再生信号が得られた。
In the third embodiment, the recording power and the erasing power are set to 8.8 mW and 4.4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduced signal is minimized. Reproduction signal was obtained.

【0072】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々14.2mW、7.6
mWとし、この光ディスクに記録及び再生を行ったとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are reduced to 14.2 mW and 7.6, respectively.
When recording and reproduction were performed on this optical disk at mW, a good reproduction signal was obtained.

【0073】実施例4においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
7.7mW、3.8mWに設定し、このトラックを再生
したところ、良好な再生信号が得られた。
In the fourth embodiment, the recording power and the erasing power were set to 7.7 mW and 3.8 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduced signal was minimized. Reproduction signal was obtained.

【0074】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々13.5mW、7mW
とし、この光ディスクに記録及び再生を行ったところ、
良好な再生信号が得られた。
Next, an offset was applied to the focus servo circuit of the optical head, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are reduced to 13.5 mW and 7 mW, respectively.
After recording and reproducing on this optical disc,
A good reproduction signal was obtained.

【0075】実施例5においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
7.8mW、4mWに設定し、このトラックを再生した
ところ、良好な再生信号が得られた。
In the fifth embodiment, the recording power and the erasing power are set to 7.8 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduced signal is minimized. A signal was obtained.

【0076】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々14.3mW、7.3
mWとし、この光ディスクに記録及び再生を行ったとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser light was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are respectively 14.3 mW and 7.3 mW.
When recording and reproduction were performed on this optical disk at mW, a good reproduction signal was obtained.

【0077】実施例6においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8.3mW、4mWに設定し、このトラックを再生した
ところ、良好な再生信号が得られた。
In the sixth embodiment, the recording power and the erasing power are set to 8.3 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduced signal is minimized. A signal was obtained.

【0078】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々14.6mW、8.0
mWとし、この光ディスクに記録及び再生を行ったとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are respectively 14.6 mW and 8.0.
When recording and reproduction were performed on this optical disk at mW, a good reproduction signal was obtained.

【0079】実施例7においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8.1mW、4mWに設定し、このトラックを再生した
ところ、良好な再生信号が得られた。
In the seventh embodiment, the recording power and the erasing power are set to 8.1 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduction signal is minimized. A signal was obtained.

【0080】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々13.9mW、7.3
mWとし、この光ディスクに記録及び再生を行ったとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are respectively 13.9 mW and 7.3 mW.
When recording and reproduction were performed on this optical disk at mW, a good reproduction signal was obtained.

【0081】実施例8においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8mW、4mWに設定し、このトラックを再生したとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
In the eighth embodiment, the recording power and the erasing power were set to 8 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduction signal was minimized, and when this track was reproduced, a good reproduction signal was obtained. Obtained.

【0082】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、記録パワ及び消去パワを夫々14mW、7mWと
し、この光ディスクに記録及び再生を行ったところ、良
好な再生信号が得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. When the optical disk was rotated at 3600 rpm, the recording power and the erasing power were set to 14 mW and 7 mW, respectively, and recording and reproduction were performed on the optical disk, a good reproduction signal was obtained.

【0083】また、実施例1及び3乃至8において、第
1層目の相変化型光記録層の記録が行われた領域及び記
録が行われていない領域に夫々整合する第1層目の相変
化型光記録層の領域に対して記録再生を試みたところ、
いずれも記録・消去パワ及び再生パワを変更することな
く、同等の信号品質が得られた。
In Examples 1 and 3 to 8, the first-layer phase-change optical recording layer has the first-layer phase-change optical recording layer that matches the recorded area and the non-recorded area, respectively. When trying to record / reproduce the area of the variable optical recording layer,
In each case, the same signal quality was obtained without changing the recording / erasing power and the reproducing power.

【0084】比較例9においては、再生信号の2次高調
波歪が最小となるように、記録パワ及び消去パワを夫々
8mW、4mWに設定し、このトラックを再生したとこ
ろ、良好な再生信号が得られた。
In Comparative Example 9, the recording power and the erasing power were set to 8 mW and 4 mW, respectively, so that the second harmonic distortion of the reproduction signal was minimized, and this track was reproduced. Obtained.

【0085】次に、光ヘッドのフォーカスサーボ回路に
オフセットをかけて、レーザ光の集光位置を光ディスク
の第2層目の相変化型光記録層の位置に移動させた。そ
して、光ディスクを3600rpmの回転数で回転さ
せ、第1層目の相変化型光記録層の記録が行われていな
い領域において記録パワ及び消去パワを夫々14mW、
7mWとし、この光ディスクの第2層目の相変化型光記
録層に記録及び再生を行ったところ、良好な再生信号が
得られた。
Next, the focus servo circuit of the optical head was offset, and the focus position of the laser beam was moved to the position of the second phase change type optical recording layer of the optical disk. Then, the optical disk is rotated at a rotation speed of 3600 rpm, and the recording power and the erasing power are each 14 mW in the area where the recording of the first phase-change optical recording layer is not performed.
Recording and reproduction were performed on the second phase-change optical recording layer of the optical disk at 7 mW, and a good reproduction signal was obtained.

【0086】しかしながら、第1層目の相変化型光記録
層の記録が行われた領域に整合する第2層目の相変化型
光記録層の領域に、記録パワ及び消去パワを夫々14m
W、7mWとして記録を行おうとしたところ記録を行う
ことはできなかった。また、最初に第2層目の相変化型
光記録層に記録を行い、その後、第1層目の相変化型光
記録層に記録を行い、引き続き第2層目の相変化型光記
録層の再生を行ったところ、再生パワを当初の0.8m
Wから1.5mWに増加させなければ、良好な再生を行
うことはできなかった。
However, the recording power and the erasing power are each 14 m in the area of the second phase change type optical recording layer which matches the area where the recording of the first phase change type optical recording layer is performed.
When recording was performed with W and 7 mW, recording could not be performed. Further, first, recording is performed on the second phase change type optical recording layer, and then recording is performed on the first phase change type optical recording layer, and subsequently, the second phase change type optical recording layer is recorded. Was regenerated, the regenerated power increased to the original 0.8m
Unless it was increased from W to 1.5 mW, good reproduction could not be performed.

【0087】[0087]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
相変化型光記録層に相変化記録膜におけるレーザ光の透
過率を調節する下地干渉膜を設けているので、相変化記
録膜の記録の有無に拘わらず、ほぼ一定した透過率を得
ることができる。このため、記録の有無によって記録条
件又は再生条件を変更する必要がないため、ドライブ上
での操作性を向上させることができる。また、このよう
な相変化型光記録層を積層して使用することにより、高
密度で良好な情報の記録、再生及び消去を行うことが可
能となる。
As described in detail above, according to the present invention,
Since the phase change type optical recording layer is provided with a base interference film for adjusting the transmittance of the laser light in the phase change recording film, it is possible to obtain a substantially constant transmittance regardless of the presence or absence of recording of the phase change recording film. it can. Therefore, it is not necessary to change the recording condition or the reproduction condition depending on the presence or absence of the recording, so that the operability on the drive can be improved. Further, by laminating and using such a phase-change type optical recording layer, it becomes possible to perform high-density and good information recording, reproduction and erasing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係る光学的情報記録媒
体の構造を示す模式的断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of an optical information recording medium according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第1層目の相変化型光記録層2aの構造を示す
断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a structure of a first-layer phase-change optical recording layer 2a.

【図3】第4層目の相変化型光記録層2dを示す断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a fourth-layer phase-change optical recording layer 2d.

【図4】(a)及び(b)は下地干渉膜の膜厚と透過率
又は反射率との関係を示すグラフ図である。
FIGS. 4A and 4B are graphs showing the relationship between the thickness of a base interference film and transmittance or reflectance.

【図5】本発明の第2の実施例に係る光学的情報記録媒
体の構造を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a structure of an optical information recording medium according to a second embodiment of the present invention.

【図6】実施例8の構造を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a structure of an eighth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、56a、56b;透過性剛性基板 2a、2b、2c、2d;相変化型光記録層 3a、3b、3c、57;透過性スペーサ 4;接着層 10;レーザ光 11;集光レンズ 21、21a、51、51a;透明下部保護膜 22、22a、52、52a;相変化記録膜 23、23a、53、53a;透明上部保護膜 24a、54a;金属反射膜 25、55;下地干渉膜 1, 56a, 56b; transmissive rigid substrates 2a, 2b, 2c, 2d; phase-change optical recording layers 3a, 3b, 3c, 57; transmissive spacers 4: adhesive layer 10; laser light 11; 21a, 51, 51a; transparent lower protective film 22, 22a, 52, 52a; phase change recording film 23, 23a, 53, 53a; transparent upper protective film 24a, 54a; metal reflective film 25, 55;

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも透過性基板上に、複数層の第
1相変化型光記録層、第2相変化型光記録層がこの順に
積層され、前記第1相変化型光記録層間、及び第1及び
第2相変化型光記録層間には透過性スペーサが配置され
ており、前記第1相変化型光記録層は、下地干渉膜、透
明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜が少なく
ともこの順に配置され、前記第2相変化型光記録層は、
透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜、金属
反射膜が少なくともこの順に配置されており、前記下地
干渉膜は前記相変化記録膜におけるレーザ光の透過率を
調節する膜であることを特徴とする光学的情報記録媒
体。
1. A plurality of first phase change type optical recording layers and a plurality of second phase change type optical recording layers are laminated in this order on at least a transmissive substrate, and said first phase change type optical recording layer and A transmissive spacer is disposed between the first and second phase change type optical recording layers, and the first phase change type optical recording layer comprises a base interference film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film. Are arranged at least in this order, and the second phase change type optical recording layer comprises:
A transparent lower protective film, a phase change recording film, a transparent upper protective film, and a metal reflective film are arranged at least in this order, and the base interference film is a film that adjusts the transmittance of laser light in the phase change recording film. An optical information recording medium characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 少なくとも透過性基板上に、下地干渉
膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜が
この順に配置された第1相変化型光記録層と、透明下部
保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜、金属反射膜が
この順に配置された第2相変化型光記録層とが透過性ス
ペーサを介して配置されており、前記下地干渉膜は前記
相変化記録膜におけるレーザ光の透過率を調節する膜で
あることを特徴とする光学的情報記録媒体。
2. A first phase-change optical recording layer in which a base interference film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order on at least a transparent substrate, and a transparent lower protective film. A phase change recording film, a transparent upper protective film, and a second phase change type optical recording layer in which a metal reflection film is arranged in this order, with a transparent spacer interposed therebetween, and the base interference film is formed of the phase change recording film. An optical information recording medium, wherein the optical information recording medium is a film that adjusts a transmittance of a laser beam in the film.
【請求項3】 前記相変化記録膜は、レーザ光の照射に
よる相変化により情報の記録及び消去が行われる相変化
記録膜であり、該相変化記録膜の情報が記録された領域
における透過率が情報が記録されていない領域における
透過率の0.95乃至1.05倍となるよう前記下地干
渉膜の膜厚が設定されていることを特徴とする請求項1
又は2に記載の光学的情報記録媒体。
3. The phase change recording film is a phase change recording film in which information is recorded and erased by a phase change by irradiation of a laser beam, and a transmittance of the phase change recording film in a region where the information is recorded. The thickness of the base interference film is set so that the thickness of the base interference film is 0.95 to 1.05 times the transmittance in an area where no information is recorded.
Or the optical information recording medium according to 2.
【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載の光学
的情報記録媒体を2枚、前記第2相変化型光記録層側が
対向するように、接着層を介して貼り合わせて構成され
ていることを特徴とする光学的情報記録媒体。
4. An optical information recording medium according to claim 1, wherein two optical information recording media are bonded together via an adhesive layer such that the second phase-change type optical recording layer side faces each other. An optical information recording medium, comprising:
【請求項5】 少なくとも透過性基板上に、下地干渉
膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜が
この順に配置された第3の相変化型光記録層が複数層配
置された構成と、基板上に金属反射膜、透明下部保護
膜、相変化記録膜、透明上部保護膜がこの順に配置され
た第4の相変化型光記録層とを有し、前記複数層配置さ
れた第3の相変化型光記録層の最上部に位置する透明上
部保護膜と、前記第4の相変化型光記録層の最上部に位
置する透明上部保護膜とが対向するよう、透過性スペー
サを介して積層配置されており、前記下地干渉膜は前記
相変化記録膜におけるレーザ光の透過率を調節する膜で
あることを特徴とする光学的情報記録媒体。
5. A plurality of third phase-change optical recording layers in which a base interference film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order on at least a transparent substrate. And a fourth phase-change optical recording layer in which a metal reflective film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order on the substrate. The transparent upper protective film located on the top of the third phase-change optical recording layer and the transparent upper protective film located on the top of the fourth phase-change optical recording layer face each other. An optical information recording medium which is laminated and arranged with a spacer interposed therebetween, and wherein the base interference film is a film for adjusting the transmittance of laser light in the phase change recording film.
【請求項6】 少なくとも透過性基板上に、下地干渉
膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜が
この順に配置された第3の相変化型光記録層と、基板上
に金属反射膜、透明下部保護膜、相変化記録膜、透明上
部保護膜がこの順に配置された第4の相変化型光記録層
とを有し、前記第3の相変化型光記録層と第4の相変化
型光記録層とが、両記録層の最上部に位置する透明上部
保護膜が対向するよう、透過性スペーサを介して積層配
置されており、前記下地干渉膜は前記相変化記録膜にお
けるレーザ光の透過率を調節する膜であることを特徴と
する光学的情報記録媒体。
6. A third phase-change optical recording layer in which a base interference film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order on at least a transparent substrate; A fourth phase-change optical recording layer in which a metal reflective film, a transparent lower protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film are arranged in this order; And a phase change type optical recording layer is disposed with a transparent spacer interposed therebetween such that a transparent upper protective film located at the uppermost part of both recording layers faces each other. An optical information recording medium, wherein the optical information recording medium is a film that adjusts a transmittance of a laser beam in the film.
【請求項7】 前記相変化記録膜は、レーザ光の照射に
よる相変化により情報の記録及び消去が行われる相変化
記録膜であり、前記相変化記録膜の情報が記録された領
域における透過率が情報が記録されていない領域におけ
る透過率の0.95乃至1.05倍となるよう前記下地
干渉膜の膜厚が設定されていることを特徴とする請求項
5又は6に記載の光学的情報記録媒体。
7. The phase change recording film is a phase change recording film in which information is recorded and erased by a phase change due to laser light irradiation, and a transmittance of the phase change recording film in a region where information is recorded. 7. The optical device according to claim 5, wherein the thickness of the base interference film is set to be 0.95 to 1.05 times the transmittance in an area where no information is recorded. Information recording medium.
【請求項8】 請求項1乃至7のいずれかに記載の光学
的情報記録媒体に前記透過性基板側からレーザ光をその
集光位置を変化させながら照射することにより、少なく
とも一つの前記相変化記録膜に相変化を生じさせる工程
を有することを特徴とする光学的情報記録媒体の情報記
録方法。
8. The at least one phase change by irradiating the optical information recording medium according to claim 1 with a laser beam from the transparent substrate side while changing a focusing position thereof. An information recording method for an optical information recording medium, comprising a step of causing a phase change in a recording film.
【請求項9】 請求項1乃至7のいずれかに記載の光学
的情報記録媒体に前記透過性基板側からレーザ光をその
集光位置を変化させながら照射することにより、少なく
とも一つの前記相変化記録膜に相変化を生じさせる工程
を有することを特徴とする光学的情報記録媒体の情報消
去方法。
9. The at least one phase change by irradiating the optical information recording medium according to claim 1 with laser light from the transparent substrate side while changing its focusing position. An information erasing method for an optical information recording medium, comprising a step of causing a phase change in a recording film.
【請求項10】 透過性基板上に、下地干渉膜、透明下
部保護膜、相変化記録膜、透明上部保護膜を順次積層形
成する第1の工程と、 基板上に、金属反射膜、透明下部保護膜、相変化記録
膜、透明上部保護膜を順次積層形成する第2の工程とを
含み、 前記第1の工程で形成した相変化型光記録層と前記第2
の工程で形成した相変化型光記録層とを、それぞれ最上
部に位置する透明上部保護膜が対向するように貼りあわ
せることで製造する光学的情報記録媒体の製造方法。
10. A first step of sequentially forming a base interference film, a transparent lower protective film, a phase change recording film, and a transparent upper protective film on a transparent substrate, and a metal reflective film, a transparent lower protective film on the substrate. A second step of sequentially forming a protective film, a phase-change recording film, and a transparent upper protective film, wherein the phase-change optical recording layer formed in the first step and the second
A method for producing an optical information recording medium, wherein the optical information recording medium is produced by bonding the phase-change optical recording layer formed in the step (1) to the transparent upper protective film located on the uppermost side.
JP2002040189A 2002-02-18 2002-02-18 Optical information recording medium and information recording method therefor, information erasing method therefor, and manufacturing method therefor Withdrawn JP2002237092A (en)

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