JP2002236928A - 輪郭検出による検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＡＣＦテープのようにコントラスト変動や表
面の輝度むらがある場合や、貼付け形状に自由度を有す
るような外観検査においても、誤検査や検査不可となら
ない安定した検査を行うことができる検査方法を提供す
ることを目的としている。 【解決手段】 ステップＳ１において、線またはエッジ
検出テンプレートを用いたテンプレートマッチングによ
り輪郭の一部を検出する。次にステップＳ２において、
検査対象の幾何学的特徴をもとに次探索方向の決定、次
探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプレート選
定を逐次行い任意検査形状の輪郭を追跡する。そしてス
テップＳ３において、検査形状どおりに輪郭追従したか
により検査の合否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像を用いた任意
形状の検査に関するものであり、特にＡＣＦテープなど
の貼り付け形状検査に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、製品の外観検査などさまざまな分
野で、画像認識による検査が行われている。例えば、は
んだの濡れ形状の検査や、液晶ディスプレイの実装など
に使用されるＡＣＦ（異方性導電シート）テープの貼り
付け形状検査においても、画像による検査が行われてい
る。

【０００３】以下、基板２０に貼り付けられたＡＣＦテ
ープ２１の貼り付け形状検査を例としながら、従来の方
法について説明する。図１２は従来のＡＣＦテープの貼
り付け形状検査を示す。

【０００４】１１はエッジ検出によりｘ方向にＡＣＦテ
ープ２１の縁辺を検出させたときの検出点、１２はエッ
ジ検出によりｙ方向にテープの縁辺を検出させたときの
検出点、１３は検出点１１，１２の検出点から算出され
たＡＣＦテープ２１のコーナー点である。

【０００５】このように構成されたＡＣＦテープの貼り
付け検査形状方式について、以下、その動作について説
明する。ＡＣＦテープの形状検査において、まずｘ方向
のＡＣＦ縁辺を検出するために一般的なエッジ検出手法
を用いてエッジ検出を行い、ｘ方向のＡＣＦ縁辺の検出
点１１を得る。また、同様にして、ｙ方向のＡＣＦ縁辺
の検出点１２を得るを得る。これら、ｘ，ｙ方向のＡＣ
Ｆ縁辺の検出点１１，１２から、貼付けされているＡＣ
Ｆテープのコーナー点１３を算出し、ＡＣＦテープ２１
の貼付け有無判定、貼付けコーナー位置の検査を行う。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＡＣＦ
テープ２１の表面に輝度むらが発生する場合や、傷など
のＡＣＦ縁辺以外のエッジまたは線が画面内に存在する
場合に、ＡＣＦ縁辺の位置を誤認識する場合がある。

【０００７】また、ＡＣＦテープ縁辺のコントラストが
大きく変動するために、エッジ検出を失敗し、ＡＣＦテ
ープ２１の縁辺を検出できない場合がある。さらに、そ
れらを解決するために、パターンマッチング法により理
想的なＡＣＦ検査形状を直接検査する方法もあるが、Ａ
ＣＦテープは貼り付けの形状も一定でなく、コーナー形
状もいびつになる場合があり、一意の理想パターンとの
相関を吟味するパターンマッチング法では限界がある。

【０００８】本発明は上記の問題点を解決し、ＡＣＦテ
ープのようにコントラスト変動や表面の輝度むらがある
場合や、貼付け形状に自由度を有するような外観検査で
も、安定した検査を行うことができる検査方法を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の検査方法は、線またはエッジ検出テンプレ
ートを用いたテンプレートマッチングにより検査対象の
輪郭の一部を検出し、検査対象の幾何学的特徴をもと
に、恣意的に次探索方向の決定、次探索範囲の決定、次
輪郭線検出のためのテンプレート選定を逐次行うことで
任意検査形状の輪郭を追跡し、任意形状の検査を行うこ
とを特徴とする。

【００１０】これにより、線またはエッジをテンプレー
トマッチングで検出させることにより、例えばマッチン
グ方式に正規化相互相関を用いればコントラスト変動に
影響されず輪郭検出を行うことができ、また、検査する
形状に合わせて適用するテンプレートを選択させること
から、形状いびつを考慮して輪郭検出方向の違う複数の
テンプレートで検出を行うことにより、いびつに形状の
変化する検査対象を検出しなければならない場合でも、
安定して検査することができる。また、テンプレート自
体が検出方向の情報を含んでいるため、輪郭追跡と同時
に形状検査も行うことができるという特徴を有する。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の検査方
法は、線またはエッジ検出テンプレートを用いたテンプ
レートマッチングにより検査対象の輪郭の一部を検出
し、検査対象の幾何学的特徴をもとに恣意的に次探索方
向の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテ
ンプレート選定を逐次行うことで任意検査形状の輪郭を
追跡して前記検査対象の形状の検査を行うことを特徴と
する。

【００１２】この構成によると、コントラスト変動に強
く、いびつに形状の変化する検査対象も検出を行うこと
ができ、さらに形状検査も同時に行うことができる。本
発明の請求項２に記載の検査装置は、線またはエッジ検
出テンプレートを用いたテンプレートマッチングにより
検査対象の輪郭の一部を検出する検出手段と、検査対象
の幾何学的特徴をもとに恣意的に次探索方向の決定、次
探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプレート選
定を逐次行うことで検査対象の輪郭を追跡する決定選定
手段とを有し、前記検出手段が検出した検査対象の幾何
学的特徴に基づいて前記決定選定手段が検査対象の輪郭
を抽出するように構成したことを特徴とする。

【００１３】この構成によると、コントラスト変動に強
く、いびつに形状の変化する検査対象も検出を行うこと
ができ、さらに形状検査も同時に行うことができる。本
発明の請求項３に記載の検査方法は、請求項１におい
て、線またはエッジ検出テンプレートを用いたテンプレ
ートマッチングにより検査対象の輪郭の一部を検出する
に際して、画像の濃淡情報と濃淡の分布があらわす空間
的情報の計測により線またはエッジ検出テンプレートの
間引きを決定することを特徴とする。

【００１４】この構成によると、画像の濃淡情報と、濃
淡の分布があらわす空間的情報の計測により、線または
エッジ検出テンプレートの間引きを決定する検査方法の
ために、輝度むらや画像ボケにも対応できるように、線
またはエッジ検出テンプレートの間引きの最適化を行う
ことができる。

【００１５】本発明の請求項４に記載の検査装置は、請
求項２において、画像の濃淡情報と濃淡の分布があらわ
す空間的情報の計測により線またはエッジ検出テンプレ
ートの間引きを決定するテンプレート間引き決定手段を
設け、このテンプレート間引き決定手段が線またはエッ
ジ検出テンプレートの間引きし、前記検出手段が検出し
た検査対象の幾何学的特徴に基づいて前記決定選定手段
が検査対象の輪郭を抽出するように構成したことを特徴
とする。

【００１６】この構成によると、輝度むらや画像ボケに
も対応できるように、線またはエッジ検出テンプレート
の最適化を行うことができる。本発明の請求項５に記載
の検査方法は、請求項１または請求項３において、検出
点での検査画像の濃淡情報を線またはエッジ検出テンプ
レートの濃度とすることを特徴とする。

【００１７】この構成によると、検査画像ごとに検査対
象の見え方が大きく異なる場合においても、検査対象の
濃淡変化を線またはエッジ検出テンプレートに反映させ
ることができ、検査対象の見え方のばらつきにも強い。

【００１８】本発明の請求項６に記載の検査装置は、請
求項２または請求項４において、検出点での検査画像の
濃淡情報を線またはエッジ検出テンプレートの濃度とす
るテンプレート濃度設定手段を有することを特徴とす
る。

【００１９】この構成によると、検査画像ごとに検査対
象の見え方が大きく異なる場合においても、検査対象の
濃淡変化を線またはエッジ検出テンプレートに反映させ
ることができ、検査対象の見え方のばらつきにも強い。

【００２０】本発明の請求項７に記載の検査方法は、請
求項１または請求項３または請求項５において、検査対
象の幾何学的特徴をもとに恣意的に次探索方向の決定、
次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプレート
選定は、検出テンプレートを切り換えて検査対象の輪郭
がのびる方向を判定して探索方向を決定することで逐次
行うことを特徴とする。

【００２１】本発明の請求項８に記載の検査方法は、基
板に貼り付けられた検査対象のＡＣＦテープの形状の形
状検査の合否を判定するに際して、請求項１または請求
項３または請求項５を実行することを特徴とする。

【００２２】この構成によると、ＡＣＦテープのコント
ラスト変動や輝度むら、形状がいびつに変化してしまう
ＡＣＦの貼り付け形状検査においても、安定した検査を
行うことができる。

【００２３】以下、本発明のパターンマッチングを用い
た輪郭検出による検査方法を、具体的な各実施の形態を
示す図１〜図１１に基づいて説明する。（実施の形態
１）図１と図２および図３は本発明の検査方法を実行す
る検査装置を示す。

【００２４】検査装置は輪郭追跡手段１と合否判定手段
６とで構成されている。輪郭追跡手段１は、探索範囲決
定手段２と、探索方向決定手段３と、テンプレート検出
方向選定手段４と、線またはエッジ検出手段５とで構成
されており、輪郭追跡手段１に検査対象を計測した画像
データＶが供給され、輪郭追跡手段１によって検出され
た検査対象の輪郭は合否判定手段６で正常かどうかが判
定される。

【００２５】このように構成された検査装置について、
以下、その動作を説明する。マイクロコンピュータを主
要部として構成されている輪郭追跡手段１は、図２のス
テップＳ１で、まず線またはエッジ検出手段５により線
またはエッジ検出テンプレートを用いたテンプレートマ
ッチングにより検査対象（画像データＶで与えられた画
像）の輪郭の一部を検出する。

【００２６】次にステップＳ２では、検査対象の幾何学
的特徴をもとに、探索範囲決定手段２、探索方向決定手
段３、テンプレート検出方向選定手段４により次探索方
向の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテ
ンプレート選定を逐次行うことで任意検査形状の輪郭を
追跡する。

【００２７】ステップＳ３では、合否判定手段６により
検査したい形状どおりに輪郭を追従したかにより形状検
査の合否を判定する。具体的には、次のように処理する
よう構成されている。

【００２８】図３は、線またはエッジ検出テンプレート
を用いたテンプレートマッチングにより検査対象である
ＡＦＣテープ２１の画像の輪郭を追跡する様子を示した
ものである。２０はＡＦＣテープ２１が貼り付けられた
基板である。

【００２９】図３（ａ）〜（ｈ）は線またはエッジ検出
テンプレートである。線またはエッジ検出の方向を８方
向としているのは説明をわかりやすくするためであり、
検出方向をもっと細かくしても粗くしてもよい。また、
テンプレートの濃淡は１６個の要素を黒白の２色で均等
に配置しているが、これも説明をわかりやすくするため
であり、検出させたい線またはエッジに合わせてテンプ
レートの濃淡および大きさは自由に設定してかまわな
い。

【００３０】図３において、まず（ａ）のテンプレート
を用いて検査対象であるＡＦＣテープ２１を検出する。
図３の第１工程（Ｉ）では検査画面上部の縁辺を検出さ
せている。この検出点を起点にして、次に第２工程（I
I）（III）では輪郭がのびる下方へと探索方向をとり、
検査対象の輪郭を考慮して（ａ）と（ｄ）のテンプレー
トを選択することによって恣意的に輪郭の追従を行って
いく。

【００３１】このように、（ａ）または（ｄ）のテンプ
レートにより線またはエッジが検出できた場合には、図
３に示すように順次、同輪郭検出処理を繰り返し検査対
象の輪郭を追跡していくことで形状検査を行うことがで
きる。

【００３２】この検査対象の輪郭を追跡の途中で、線ま
たはエッジが検出できない場合があった場合は、合否判
定は否となる。なお、この説明では、検出テンプレート
として（ａ）と（ｄ）を用いたが、例えば（ｂ）と
（ｃ）のテンプレートも同時に用いれば、縁辺の検出方
向にも幅を持たせることができ、検査対象のある程度の
形状変化にも対応できることがわかる。

【００３３】このように本実施の形態によれば、線また
はエッジをテンプレートマッチングで検出させることに
より、例えばマッチング方式に正規化相互相関を用いれ
ばコントラスト変動に影響されず輪郭検出を行うことが
でき、また、検査する形状に合わせて適用するテンプレ
ートを選択させることから、形状いびつを考慮して輪郭
検出方向の違う複数のテンプレートで検出を行うことに
より、いびつに形状の変化する検査対象を検出しなけれ
ばならない場合でも、安定して検査することが可能とな
る。

【００３４】（実施の形態２）図４と図５および図６は
本発明の検査方法を実行する検査装置を示す。検査装置
は輪郭追跡手段１と合否判定手段６、および濃淡情報計
測手段７と空間的情報計測手段８とテンプレート間引き
決定手段９とで構成されている。輪郭追跡手段１は、探
索範囲決定手段２と、探索方向決定手段３と、テンプレ
ート選定手段４と、線またはエッジ検出手段５とで構成
されており、輪郭追跡手段１によって検出されたＡＦＣ
テープ２１の輪郭は合否判定手段６で正常かどうかが判
定される。

【００３５】このように構成された検査装置について、
以下、その動作を説明する。マイクロコンピュータを主
要部として構成されている検査装置は、図５のステップ
Ｓ０では、濃淡情報計測手段７と空間的情報計測手段８
により画像の濃淡情報と、濃淡の分布があらわす空間的
情報の計測を行い、テンプレート間引き決定手段９によ
り線またはエッジ検出テンプレートの間引きを決定す
る。

【００３６】次にステップＳ１では、線またはエッジ検
出手段５により検査対象の輪郭の一部を検出する。次に
ステップＳ２では、検査対象の幾何学的特徴をもとに、
探索範囲決定手段２、探索方向決定手段３、テンプレー
ト選定手段４により次探索方向の決定、次探索範囲の決
定、次輪郭線検出のためのテンプレート選定を逐次行う
ことで任意検査形状の輪郭を追跡する。

【００３７】そして、ステップＳ３で合否判定手段６に
より検査したい形状どおりに輪郭を追従したかにより形
状検査の合否を判定する。具体的には、次のように処理
するよう構成されている。

【００３８】画像の濃淡情報の計測手法としては、例え
ば、エッジの像の斜度を計測して先鋭度を計測すること
や、フーリエ変換等を用いて空間周波数成分を計測する
ことが考えられる。これにより、画像のボケや輝度むら
の割合が数値化され、それをもとに線またはエッジ検出
テンプレートの間引きの最適化を行う。

【００３９】図６は、間引かれた線またはエッジ検出テ
ンプレートの様子を示したものである。図６（ａ）は間
引きの少ない線またはエッジ検出テンプレート、（ｂ）
は間引きの多い線またはエッジ検出テンプレートを示し
ている。（ａ）のテンプレートは線またはエッジを精度
よく検出できるが、ボケや輝度むらに弱い。また、
（ｂ）のテンプレートは精度が落ちることと、誤検出の
危険性は増加するが、ボケや輝度むらに強い。このよう
に、テンプレートの間引きを調整することにより、輝度
むらや画像ボケにも対応することが可能となる。

【００４０】なお、上記の説明では、画像の濃淡情報
と、濃淡の分布があらわす空間的情報の計測方法とし
て、エッジの像の斜度を計測する方法と、フーリエ変換
による方法を挙げたが、輝度むらや画像ボケが数値化で
きるものであれば、これ以外の方法を用いてもかまわな
い。

【００４１】上記のように本実施の形態によれば、画像
の濃淡情報と、濃淡の分布があらわす空間的情報の計測
により、線またはエッジ検出テンプレートの間引きを決
定する検査方法のために、輝度むらや画像ボケにも対応
できるように、線またはエッジ検出テンプレートの間引
きの最適化を行うことが可能となる。

【００４２】（実施の形態３）図７と図８および図９は
本発明の検査方法を実行する検査装置を示す。検査装置
は輪郭追跡手段１と合否判定手段６、および濃淡情報計
測手段７とテンプレート濃度設定手段１０とで構成され
ている。輪郭追跡手段１は、探索範囲決定手段２と、探
索方向決定手段３と、テンプレート選定手段４と、線ま
たはエッジ検出手段５とで構成されており、輪郭追跡手
段１によって検出されたＡＦＣテープ２１の輪郭は合否
判定手段６で正常かどうかが判定される。

【００４３】このように構成された検査装置について、
以下、その動作を説明する。マイクロコンピュータを主
要部として構成されている検査装置は、図８のステップ
Ｓ１では、まず線またはエッジ検出手段５により線また
はエッジ検出テンプレートを用いたテンプレートマッチ
ングにより検査対象の輪郭の一部を検出する。

【００４４】次にステップＳ２では、濃淡情報計測手段
７により画像の濃淡情報の計測を行い、テンプレート濃
度設定手段１０により検出点での検査画像の濃淡情報を
線またはエッジ検出テンプレートの濃度とする。

【００４５】次にステップＳ３では、検査対象の幾何学
的特徴をもとに、探索範囲決定手段２、探索方向決定手
段３、テンプレート選定手段４により次探索方向の決
定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプレ
ート選定を逐次行うことで任意検査形状の輪郭を追跡す
る。

【００４６】そして、ステップＳ４で合否判定手段６に
より検査したい形状どおりに輪郭を追従したかにより形
状検査の合否を判定する。具体的には、次のように処理
するよう構成されている。

【００４７】図９は、検出点での検査画像の濃淡情報を
線またはエッジ検出テンプレートの濃度とする様子を示
したものである。図９において、基板２０検査対象のＡ
ＣＦテープ２１が貼り付けられている。図９（ａ）〜
（ｈ）は線またはエッジ検出テンプレートである。線ま
たはエッジ検出の方向を８方向としているのは説明をわ
かりやすくするためであり、検出方向をもっと細かくし
ても粗くしてもよい。

【００４８】図９において、四角で囲まれた部分Ｐを最
初の線またはエッジ検出点とすると、その位置での濃淡
変化をテンプレートに反映させて（ａ）〜（ｈ）の線ま
たはエッジ検出テンプレートを得る。図９の検査対象を
検査する場合には、図３（ａ）〜（ｈ）に示すテンプレ
ートよりも、この図９（ａ）〜（ｈ）のテンプレートを
用いたほうが検査対象をよく検査できる。

【００４９】このように本実施の形態によれば、最初の
検出点での濃淡情報をテンプレートに反映させることに
より、検査画像ごとに検査対象の見え方が大きく異なる
場合においても、検査対象の濃淡変化を線またはエッジ
検出テンプレートに反映させることができ、検査対象の
見え方のばらつきにも強くすることが可能となる。

【００５０】（実施の形態４）図１０と図１１は本発明
の検査方法を実行する検査装置を示す。検査装置は輪郭
追跡手段１と合否判定手段６、および濃淡情報計測手段
７と空間的情報計測手段８とテンプレート間引き決定手
段９とテンプレート濃度設定手段１０とで構成されてい
る。輪郭追跡手段１は、探索範囲決定手段２と、探索方
向決定手段３と、テンプレート選定手段４と、線または
エッジ検出手段５とで構成されており、輪郭追跡手段１
によって検出されたＡＦＣテープ２１の輪郭は合否判定
手段６で正常かどうかが判定される。

【００５１】このように構成された検査装置について、
以下、その動作を説明する。マイクロコンピュータを主
要部として構成されている検査装置は、図１１のステッ
プＳ１では、まず、画像の濃淡情報と、濃淡の分布があ
らわす空間的情報の計測を行い、ＡＣＦテープ縁辺検出
テンプレートの間引きを決定する。

【００５２】次にステップＳ２では、線またはエッジ検
出手段５によりＡＣＦテープ縁辺検出テンプレートを用
いたテンプレートマッチングによりＡＣＦテープ２１の
輪郭の一部を検出する。

【００５３】次にステップＳ３では、濃淡情報計測手段
７により画像の濃淡情報の計測を行い、テンプレート濃
度設定手段１０により検出点での検査画像の濃淡情報を
ＡＣＦテープ縁辺検出テンプレートの濃度とする。

【００５４】次にステップＳ４では、ＡＣＦテープの貼
付け形状情報をもとに、探索範囲決定手段２、探索方向
決定手段３、テンプレート選定手段４により次探索方向
の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテン
プレート選定を逐次行うことでＡＣＦテープ２１の輪郭
を追跡する。

【００５５】そしてステップＳ５では、合否判定手段６
により規定ＡＣＦ貼付け形状どおりに輪郭を追従したか
により形状検査の合否を判定する。これによっても上記
の各実施の形態と同様に形状検査の合否を判定すること
ができるとともに、ＡＣＦテープのコントラスト変動や
輝度むら、形状がいびつに変化してしまうＡＣＦの貼り
付け形状検査においても、より安定した検査を行うこと
ができるという特徴を有する。

【００５６】

【発明の効果】以上のように本発明の検査方法および検
査装置によれば、線またはエッジ検出テンプレートを用
いたテンプレートマッチングにより検査対象の輪郭の一
部を検出し、検査対象の幾何学的特徴をもとに、恣意的
に次探索方向の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出
のためのテンプレート選定を逐次行うことで任意検査形
状の輪郭を追跡し、任意形状の検査を行う検査方法のた
めに、コントラスト変動に強く、いびつに形状の変化す
る検査対象も検出を行うことができ、さらに形状検査も
同時に行うことができるという作用を有する。また、画
像の濃淡情報と、濃淡の分布があらわす空間的情報の計
測により、線またはエッジ検出テンプレートの間引きを
決定する検査方法のために、輝度むらや画像ボケにも対
応できるように、線またはエッジ検出テンプレートの間
引きの最適化を行うことができるという作用を有する。
また、最初の検出点での検査画像の濃淡情報を線または
エッジ検出テンプレートの濃度とするために、検査画像
ごとに検査対象の見え方が大きく異なる場合において
も、検査対象の濃淡変化を線またはエッジ検出テンプレ
ートに反映させることができ、検査対象の見え方のばら
つきにも強いという作用を有する。さらに、ＡＣＦテー
プ縁辺検出テンプレートを用いたテンプレートマッチン
グによりＡＣＦテープの輪郭の一部を検出し、ＡＣＦテ
ープの貼付け形状情報をもとに、恣意的に次探索方向の
決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプ
レート選定を逐次行うことでＡＣＦテープの輪郭を追跡
し、ＡＣＦテープの貼り付け形状検査を行う検査方法の
ために、ＡＣＦテープのコントラスト変動や輝度むら、
形状がいびつに変化してしまうＡＣＦの貼り付け形状検
査においても、安定した検査を行うことができるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１による検査装置の構成図

【図２】同実施の形態における検査方法を示すフローチ
ャート図

【図３】同実施の形態において線またはエッジ検出テン
プレートを用いて輪郭検査を行う様子を説明する図

【図４】本発明の実施の形態２による検査装置の構成図

【図５】同実施の形態における検査方法を示すフローチ
ャート図

【図６】同実施の形態において線またはエッジ検出テン
プレートの間引きを説明する図

【図７】本発明の実施の形態３による検査装置の構成図

【図８】同実施の形態における検査方法を示すフローチ
ャート図

【図９】同実施の形態による検査画像の濃淡情報を線ま
たはエッジ検出テンプレートの濃度とする様子を示した
図

【図１０】本発明の実施の形態４による検査装置の構成
図

【図１１】同実施の形態における検査方法を示すフロー
チャート図

【図１２】従来の検査方法の説明図

【符号の説明】

１ 輪郭追跡手段 ２ 探索範囲決定手段 ３ 探索方向決定手段 ４ テンプレート選定手段 ５ 線またはエッジ検出手段 ６ 合否判定手段 ７ 濃淡情報計測手段 ８ 空間的情報計測手段 ９ テンプレート間引き決定手段 １０ テンプレート濃度設定手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大井戸 良久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 佐藤 健一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB13 AB20 AC21 EA12 ED22 5B057 AA01 AA19 BA02 CA12 CA16 DA03 DB02 DC09 DC17 DC33 DC36 5L096 BA03 CA02 FA06 HA08 JA09 JA11

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】線またはエッジ検出テンプレートを用いた
   テンプレートマッチングにより検査対象の輪郭の一部を
   検出し、検査対象の幾何学的特徴をもとに恣意的に次探
   索方向の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のため
   のテンプレート選定を逐次行うことで任意検査形状の輪
   郭を追跡して前記検査対象の形状の検査を行う検査方
   法。
2. 【請求項２】線またはエッジ検出テンプレートを用いた
   テンプレートマッチングにより検査対象の輪郭の一部を
   検出する検出手段と、 検査対象の幾何学的特徴をもとに恣意的に次探索方向の
   決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出のためのテンプ
   レート選定を逐次行うことで検査対象の輪郭を追跡する
   決定選定手段とを有し、前記検出手段が検出した検査対
   象の幾何学的特徴に基づいて前記決定選定手段が検査対
   象の輪郭を抽出するように構成した検査装置。
3. 【請求項３】線またはエッジ検出テンプレートを用いた
   テンプレートマッチングにより検査対象の輪郭の一部を
   検出するに際して、画像の濃淡情報と濃淡の分布があら
   わす空間的情報の計測により線またはエッジ検出テンプ
   レートの間引きを決定する請求項１記載の検査方法。
4. 【請求項４】画像の濃淡情報と濃淡の分布があらわす空
   間的情報の計測により線またはエッジ検出テンプレート
   の間引きを決定するテンプレート間引き決定手段を設
   け、このテンプレート間引き決定手段が線またはエッジ
   検出テンプレートの間引きし、前記検出手段が検出した
   検査対象の幾何学的特徴に基づいて前記決定選定手段が
   検査対象の輪郭を抽出するように構成した請求項２記載
   の検査装置。
5. 【請求項５】検出点での検査画像の濃淡情報を線または
   エッジ検出テンプレートの濃度とする請求項１または請
   求項３記載の検査方法。
6. 【請求項６】検出点での検査画像の濃淡情報を線または
   エッジ検出テンプレートの濃度とするテンプレート濃度
   設定手段を有する請求項２または請求項４記載の検査装
   置。
7. 【請求項７】検査対象の幾何学的特徴をもとに恣意的に
   次探索方向の決定、次探索範囲の決定、次輪郭線検出の
   ためのテンプレート選定は、検出テンプレートを切り換
   えて検査対象の輪郭がのびる方向を判定して探索方向を
   決定することで逐次行う請求項１または請求項３または
   請求項５記載の検査方法。
8. 【請求項８】基板に貼り付けられた検査対象のＡＣＦテ
   ープの形状の形状検査の合否を判定するに際して、請求
   項１または請求項３または請求項５を実行する検査方
   法。