JP2002232231A - アンテナ装置 - Google Patents

アンテナ装置

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JP2002232231A
JP2002232231A JP2001021249A JP2001021249A JP2002232231A JP 2002232231 A JP2002232231 A JP 2002232231A JP 2001021249 A JP2001021249 A JP 2001021249A JP 2001021249 A JP2001021249 A JP 2001021249A JP 2002232231 A JP2002232231 A JP 2002232231A
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Japan
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reflecting mirror
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Jun Azuma
洵 東
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SHINKO MEX CO Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイクロ波の送受信を阻害する粉塵の堆積を
確実に防止し、長期間にわたり安定的に転炉内の溶銑レ
ベル等を測定することを可能ならしめる安価なアンテナ
装置を提供する。 【解決手段】 一次放射器12aから放射されるマイク
ロ波を主反射鏡13の凹曲面方向に反射させる副反射鏡
14に、マイクロ波の波長の1/4〜1/7の寸法であ
って、かつ総開口面積が、副反射鏡14の総面積の0.
5〜0.8を占める複数の穴14aを明ければ、副反射
鏡14により一次放射器12aから放射されたマイクロ
波をほぼ完全に反射させることができ、しかも副反射鏡
14の上表面に粉塵が堆積するようなことがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アンテナ装置の改
善に関し、より詳しくは、製鉄所における転炉、溶銑予
備処理炉、溶銑トーピードカー内の溶銑レベルや高炉内
の装入物レベル等の計測に使用するアンテナ装置の技術
分野に属するものである。
【0002】
【従来の技術】製鉄所における転炉、溶銑予備処理炉、
溶銑トーピードカー内の溶銑レベルや高炉内の装入物レ
ベル等の測定には、高濃度の粉塵でも容易に透過し、し
かも減衰が少ないマイクロ波を利用したアンテナ装置が
用いられている。このようなアンテナ装置によって転
炉、溶銑予備処理炉、溶銑トーピードカー内の溶銑レベ
ルや高炉内の装入物レベル等を測定する場合には、アン
テナから測定対象物に向かってパルス状または連続した
マイクロ波(速度c)を照射すると共に、測定対象物か
ら反射してきた反射波を受信し、照射から受信するまで
の時間tを測定してアンテナから測定対象物までの距離
Lを、L=(c×t)/2の式によって求めるものであ
る。
【0003】このようなアンテナ装置は、狭隘な場所
で、しかも高温の測定対象物からの高温の輻射熱を回避
するために、一般に測定対象物から遠く離れた位置に配
設されるから、可能な限り前方でマイクロ波を絞る必要
がある。そのため、指向性が優れた、後述するような構
成になるパラボラ型の反射鏡を備えたアンテナ装置が使
用されている。
【0004】上記従来例1に係るパラボラ型の反射鏡を
備えたアンテナ装置は、その斜視図の図5に示すよう
に、マイクロ波を送受信する送受信装置1aと、分波装
置1bと、方形導波管1cとからなる電子回路装置1を
備えている。そして、この電子回路装置1の前記方形導
波管1cに一端側が接続されてなる管状の導波管2がパ
ラボラ型の反射鏡3の径方向の中心であって、かつ凸部
側から貫通すると共に、前記導波管2の貫通側の他端側
が前記反射鏡3の凹曲面側においてほぼ半円状に曲げ形
成され、先端部に設けられた一次放射器2aから、前記
反射鏡3の凹曲面に向かってマイクロ波を照射するよう
に構成されている。
【0005】ところで、前記アンテナ装置により転炉、
溶銑予備処理炉、溶銑トーピードカー内の溶銑レベルや
高炉内の装入物レベル等を測定する場合には、反射鏡3
の開口側を下方に向ける必要があるが、下方からは高濃
度の粉塵を含むガス流が上昇するため、上向きに開口す
る一次放射器2aに粉塵が侵入し、侵入した粉塵が導波
管2内に堆積する。この導波管2内における粉塵の堆積
量が多くなると、堆積した粉塵によりマイクロ波が減衰
されてしまうので、遂にはマイクロ波の照射は勿論のこ
と、受信も不可能になるという問題が生じる。
【0006】このような不具合を防止するために、この
従来例1に係るパラボラ型の反射鏡を備えたアンテナ装
置の場合には、前記導波管2の方形導波管1cと反射鏡
3との間にパージ用圧縮空気供給管(図示省略)を連通
させる。そして、空気供給源からこのパージ用圧縮空気
供給管を介して導波管2内に圧縮空気を供給して、一次
放射器2aから圧縮空気を吹き出すことによって、前記
一次放射器2aからの粉塵の堆積を防止するようにして
いる。なお、前記導波管2のパージ用圧縮空気供給管の
連通部位の方形導波管1c側に、電子回路装置1内への
圧縮空気の流入を阻止するシールが設けられている。
【0007】また、パラボラ型の反射鏡を有するカセグ
レンアンテナと呼ばれるアンテナ装置も使用されてい
る。この従来例2に係るアンテナ装置は、その模式的構
成説明図の図6に示すように、電子回路装置11からパ
ラボラ型の主反射鏡13の径方向の中心であって、かつ
その凸部側に連通する管状の導波管12と、前記主反射
鏡13の凹曲面側に開口し、この主反射鏡13の開口側
方向にマイクロ波を照射する一次放射器12aと、平板
状または若干曲面状に形成され、前記一次放射器12a
から照射されたマイクロ波を前記主反射鏡13の凹曲面
側に反射させる副反射鏡(リフレクタと呼ばれてい
る。)14とから構成されている。この従来例2に係る
アンテナ装置の場合には、一次放射器12aの開口部が
下向きであるため、導波管12内に粉塵が堆積するよう
な恐れがない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例1に係るパ
ラボラ型の反射鏡を備えたアンテナ装置または上記従来
例2に係るカセグレンアンテナと呼ばれるアンテナ装置
は何れも有用であって、短期的な観点からすれば何らの
問題がないと考えられる。しかしながら、付帯設備コス
トや長期的な観点からすると、それぞれ下記に説明する
ような解決すべき課題がある。
【0009】先ず、上記従来例1に係るアンテナ装置の
場合は、2前後の比重の粉塵を、僅か0.0013程度
の比重の空気で吹き飛ばさなければならないのであるか
ら、高圧、かつ大量の圧縮空気を供給する必要がある。
そのためには、例え十分な高圧空気供給源があったとし
ても配管工事が必要になるし、殊に、ない場合には新た
に高圧空気供給源を用意しなければならないから、付帯
設備コストやランニングコストに関して経済的に不利に
なる。
【0010】さらに、上記のとおり、導波管のパージ用
圧縮空気供給管の連通部位の方形導波管側に、電子回路
装置側への圧縮空気の流入を防止するシールを設けなけ
ればならないから、導波管の構造が複雑となり、アンテ
ナ装置自体のコストに関しても経済的に不利になるとい
う解決すべき課題がある。勿論、一次放射器の開口部
に、マイクロ波が透過する材質からなるキャップを被せ
るという手段も考えられる。しかしながら、粉塵がキャ
ップの外表面に次第に堆積して、マイクロ波の透過を阻
害することになるので、安価ではあるものの、この手段
では抜本的な解決策とはなり得ない。
【0011】また、上記従来例2に係るアンテナ装置の
場合は、導波管内に粉塵が堆積しないものの、副反射鏡
の上表面に粉塵が次第に堆積してしまうから、マイクロ
波の反射が阻害され、上記従来例1に係るアンテナ装置
の場合と同様に、遂にはマイクロ波の照射、受信が不可
能になるという解決すべき課題が生じる。つまり、この
従来例2に係るアンテナ装置の場合にあっても、副反射
鏡の上表面から粉塵を吹き飛ばすために圧縮空気を吹き
つけなければならない。
【0012】従って、本発明の目的は、マイクロ波の送
受信を阻害する粉塵の堆積を確実に防止し、長期間にわ
たり安定的に転炉、溶銑予備処理炉、溶銑トーピードカ
ー内の溶銑レベルや高炉内の装入物レベル等を測定する
ことを可能ならしめる安価なアンテナ装置を提供するこ
とである。
【0013】
【課題を解決するための手段】発明者らは、導波管内に
粉塵が堆積することのない上記従来例2に係るカセグレ
ンアンテナと呼ばれるアンテナ装置を用い、そして副反
射鏡の上表面に粉塵が堆積しない構成にすると共に、マ
イクロ波の反射に悪影響を及ぼさない構成にしてやれ
ば、従来例に係るアンテナ装置が持つ上記課題を解決す
ることができると考えて、本発明をなしたものである。
【0014】従って、上記課題を解決するために、本発
明の請求項1に係るアンテナ装置が採用した手段の特徴
とするところは、パラボラ型の主反射鏡を備え、この主
反射鏡の径方向の中心位置で凹曲面側に開口する一次放
射器から放射されるマイクロ波を、前記主反射鏡の凹曲
面方向に反射させる副反射鏡を備えてなるアンテナ装置
において、前記副反射鏡に、前記マイクロ波の波長の1
/4〜1/7の寸法であって、かつ総開口面積が、この
副反射鏡の総面積の0.5〜0.8を占める複数の開口
が設けられてなるところにある。
【0015】また、本発明の請求項2に係るアンテナ装
置が採用した手段の特徴とするところは、パラボラ型の
主反射鏡を備え、この主反射鏡の径方向の中心位置で凹
曲面側に開口する一次放射器から放射されるマイクロ波
を、前記主反射鏡の凹曲面方向に反射させる副反射鏡を
備えてなるアンテナ装置において、前記副反射鏡の径方
向の中心を中心とする複数の同心円線上に、幅が前記マ
イクロ波の波長の1/4〜1/7の寸法であって、かつ
総開口面積が、この副反射鏡の総面積の0.5〜0.8
を占める複数の円弧状スリットが設けられてなるところ
にある。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態1に係
るカセグレンアンテナと呼ばれるアンテナ装置を、その
主要部斜視図の図1と、その副反射鏡部の拡大図の図2
(a)と、副反射鏡の他の例を示す図の図2(b)とを
参照しながら説明する。但し、本実施の形態1が上記従
来例2と相違するところは副反射鏡の構成にあり、それ
以外は同構成であるから、同一のもの並びに同一機能を
有するものに同一符号を付して、主としてその相違する
点について説明する。
【0017】図1、図2(a)に示す符号13は、パラ
ボラ型の主反射鏡であって、この主反射鏡13の径方向
の中心位置に、図示しない電子回路装置からマイクロ波
を案内する導波管12が連通すると共に、この導波管1
2の前記主反射鏡13からの突出端に一次放射器12a
が形成されている。そして、前記一次放射器12aの前
記導波管12の外周にアーム15aを備えた一対のバン
ド金具15が機械的手段(ボルトおよびナット)により
固着されており、これら一対のバンド金具15のアーム
15aの先端に、前記一次放射器12aから放射された
マイクロ波を前記主反射鏡13の凹曲面方向に反射させ
る、後述する構成になる副反射鏡14が支持されてい
る。
【0018】前記副反射鏡14には、図1および図2
(a)に示すように、複数の円形の開口である穴14a
が明けられている。これら穴14aそれぞれの直径は、
一次放射器12aから照射されるマイクロ波の波長の1
/4以下の寸法に設定されている。また、これらの穴1
4aの数は、これらの穴14aの総開口面積Sが、副反
射鏡14の総面積S0 の0.5〜0.8(S/S0 )に
なるように設定されている。なお、穴14aの直径の下
限は、直径が小さ過ぎると副反射鏡14の上表面に粉塵
が堆積する恐れがあるので、マイクロ波の波長の1/7
程度以上に設定するのが好ましい。
【0019】ところで、本実施の形態1に係るアンテナ
装置の副反射鏡14の場合には、上記のとおり、各穴1
4aの形状は何れも円形に形成されている。しかしなが
ら、特に円形である必要がなく、例えば図2(b)に示
すように、副反射鏡の外径側が大寸で、中心側が小寸の
複数の扇状に形成されてなる穴であっても同等の効果を
期待することができる。また、各穴14aの直径は、何
れも同寸法に設定されているが、必ずしも同寸法でなけ
ればならない訳ではなく、マイクロ波の波長の1/4〜
1/7の範囲内であれば、直径が相違していても実用上
何らの支障もないものである。
【0020】前記穴14aそれぞれの直径をマイクロ波
の波長の1/4以下の寸法に設定したのは、下記の理由
による。即ち、マイクロ波は、理論上、半波長以下の寸
法の開口を通過しない。しかしながら、波長の1/2程
度の寸法の開口では、回折現象によりマイクロ波が副反
射鏡の後方に漏れる場合があった。そこで、穴の直径寸
法を変えて、マイクロ波の漏れの有無を調べた結果、穴
の直径をマイクロ波の波長の1/4以下にすれば、マイ
クロ波をほぼ完全に反射させることができるということ
を確認することができたからである。
【0021】また、複数の穴14aの総開口面積Sが、
副反射鏡14の総面積S0 の0.5〜0.8になるよう
に設定したのは、面積比S/S0 を変えて調べた結果に
よるものである。即ち、面積比S/S0 が0.8よりも
大きくなると、副反射鏡14の後方にマイクロ波が漏れ
ることがあり、逆に面積比S/S0 が0.5よりも小さ
くなると、副反射鏡14の上表面に粉塵が堆積し始める
が、面積比S/S0 が0.5〜0.8である場合に、副
反射鏡14の後方にマイクロ波を漏らすことなく反射さ
せることができ、しかもこの副反射鏡14の上表面に粉
塵が堆積するようなことがないということが判明したか
らである。
【0022】このことは、副反射鏡に穴が設けられてい
ない場合には、粉塵を含む上昇ガス流が副反射鏡の上面
側に渦流となって巻き込まれるのに対して、副反射鏡に
穴が設けられている場合には、粉塵を含む上昇ガス流が
穴を通過してそのまま上昇してしまうからであると理解
することができる。
【0023】以上に述べたように、本実施の形態1に係
るアンテナ装置によれば、副反射鏡14に複数の穴14
aが明けられていても、この副反射鏡14の後方にマイ
クロ波を漏らすことなくほぼ完全に反射させることがで
き、しかもこの副反射鏡14の上表面に粉塵が堆積して
しまうようなことがないから、長期間にわたり安定的に
転炉、溶銑予備処理炉、溶銑トーピードカー内の溶銑レ
ベルや高炉内の装入物レベル等を測定することができ
る。
【0024】従って、本実施の形態1に係るアンテナ装
置によれば、粉塵を除去するために導波管に圧縮空気を
供給する必要がなく、また導波管に電子回路装置側への
圧縮空気の流入を防止するシールを設ける必要がないか
ら、導波管の構造が簡単であり、ランニングコストやア
ンテナ装置自体のコストに関して、従来例1よりも有利
になる。また、上記のとおり、副反射鏡14の上表面に
粉塵が堆積してしまうようなことがないから、従来例2
に係るアンテナ装置のように、副反射鏡の上表面への粉
塵の堆積による反射不能により、マイクロ波の照射、受
信が不可能になるようなことがない。
【0025】
【実施例】次に、本実施の形態1に係るアンテナ装置に
より、転炉、溶銑予備処理炉、溶銑トーピードカー内の
溶銑レベルを測定した場合の例を、溶銑レベルの測定状
態説明図の図3を参照しながら説明する。このアンテナ
装置の場合、使用するマイクロ波は10GHzであっ
て、その波長が30mmであるので、副反射鏡14には
直径6mmφ(波長の1/5)の複数の穴があけられて
おり、そして副反射鏡14の総面積S0 に対する穴の総
開口面積Sの面積比S/S0 が0.7になるように設定
されている。
【0026】このような副反射鏡14を有するアンテナ
装置の下方位置に測定対象物である溶銑を合わせると共
に、導波管12の先端の一次放射器12aから10GH
zのマイクロ波を照射する。さすれば、一次放射器12
aから照射されたマイクロ波は、副反射鏡14により反
射され、さらに主反射鏡13によって反射される。そし
て、主反射鏡13により反射されたマイクロ波は溶銑に
より反射され、主反射鏡13により反射され、さらに副
反射鏡14により反射され、導波管12を介して反射波
として電子回路装置11の送受信装置に取り込まれる
が、この取り込まれた反射波と、照射中のマイクロ波と
から得られるビート波を周波数解析したスペクトルか
ら、P1 ,P2 ,P3 の後述する三つのピークが観測さ
れた。
【0027】先ず、前記ピークP1 は副反射鏡14から
の反射波によるものであり、前記ピークP2 はアンテナ
装置と溶銑の間に介在する粉塵に散乱されて戻ってきた
弱い反射波によるものであり、また前記ピークP3 は溶
銑からの反射波によるものである。このピークP3 の溶
銑からの反射波により、アンテナ装置と溶銑との間の距
離を知ることができた。
【0028】因みに、本実施の形態1に係るアンテナ装
置の有用性を実証するために、穴が明けられていない通
常の副反射鏡を有するアンテナ装置により同様の測定を
行ったが、両者のピークP1 同志の間、およびピークP
3 同志の間に殆ど差異を認めることができなかった。ま
た、当初の狙いどおり、副反射鏡14の上表面に粉塵は
堆積していなかった。
【0029】次に、本発明の実施の形態2に係るアンテ
ナ装置を、その副反射鏡の構成説明図の図4を参照しな
がら説明する。但し、本実施の形態2が上記実施の形態
1と相違するところは副反射鏡の穴の形状にあり、それ
以外は同構成であるから、同一のもの並びに同一機能を
有するものに同一符号を付して、主としてその相違する
点について説明する。
【0030】即ち、副反射鏡14の径方向の中心を中心
とする複数の同心円線上に、幅がマイクロ波の波長の1
/4以下の寸法であって、かつ総開口面積Sが、この副
反射鏡14の総面積S0 の0.5〜0.8になる複数の
円弧状スリット14aが設けられている。勿論、副反射
鏡14の中心側になるほど、円弧状スリット14aの長
さが短くなるように配慮されている。但し、この副反射
鏡14の中心部ではスペースが狭いので、扇型の穴にな
っている。
【0031】従って、上記実施の形態2に係るアンテナ
装置によれば、上記のとおり、円弧状スリット14aの
幅がマイクロ波の波長の1/4以下で、副反射鏡14の
総面積S0 に対する穴の総開口面積Sの面積比S/S0
が0.5〜0.8であるから、副反射鏡14に円弧状ス
リット14aが設けられていても、この副反射鏡14の
後方にマイクロ波を漏らすことなくほぼ完全に反射させ
ることができ、しかもこの副反射鏡14の上表面に粉塵
が堆積してしまうようなことがないから、本実施の形態
2に係るアンテナ装置は、上記実施の形態1に係るアン
テナ装置と同効である。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項1に
係るアンテナ装置によれば、副反射鏡に、マイクロ波の
波長の1/4〜1/7の寸法であって、かつ総開口面積
が、この副反射鏡の総面積の0.5〜0.8を占める複
数の開口が設けられ、また本発明の請求項2に係るアン
テナ装置によれば、副反射鏡の径方向の中心を中心とす
る複数の同心円線上に、幅がマイクロ波の波長の1/4
〜1/7の寸法であって、かつ総開口面積が、この副反
射鏡の総面積の0.5〜0.8を占める複数の円弧状ス
リットが設けられているが、副反射鏡の後方にマイクロ
波を漏らすことなくほぼ完全に反射させることができ、
しかもこの副反射鏡の上表面に粉塵が堆積するようなこ
とがない。
【0033】従って、本発明の請求項1または2に係る
アンテナ装置によれば、粉塵を除去するために導波管に
圧縮空気を供給する必要がなく、また導波管に電子回路
装置側への圧縮空気の流入を防止するシールを設ける必
要がないから、導波管の構造が簡単であり、ランニング
コストやアンテナ装置自体のコストに関して、従来例1
よりも有利になる。また、上記のとおり、副反射鏡の上
表面に粉塵が堆積してしまうようなことがないから、従
来例2に係るアンテナ装置のように、粉塵の堆積により
マイクロ波の照射、受信が不可能になるようなことがな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係るアンテナ装置の主
要部斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係り、図2(a)はア
ンテナ装置の副反射鏡部の拡大図、図2(b)は副反射
鏡の他の例を示す図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係り、溶銑レベルの測
定状態説明図である。
【図4】本発明の実施の形態2に係るアンテナ装置の副
反射器の構成説明図である。
【図5】従来例1に係るアンテナ装置の斜視図である。
【図6】従来例2に係るアンテナ装置の模式的構成説明
図である。
【符号の説明】
11…電子回路装置 12…導波管,12a…一次放射器 13…主反射鏡 14…副反射鏡,14a…穴または円弧状スリット(開
口) 15…バンド金具,15a…アーム S…穴または円弧状スリットの総開口面積 S0 …副反射鏡の総面積

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パラボラ型の主反射鏡を備え、この主反
    射鏡の径方向の中心位置で凹曲面側に開口する一次放射
    器から放射されるマイクロ波を、前記主反射鏡の凹曲面
    方向に反射させる副反射鏡を備えてなるアンテナ装置に
    おいて、前記副反射鏡に、前記マイクロ波の波長の1/
    4〜1/7の寸法であって、かつ総開口面積が、この副
    反射鏡の総面積の0.5〜0.8を占める複数の開口が
    設けられてなることを特徴とするアンテナ装置。
  2. 【請求項2】 パラボラ型の主反射鏡を備え、この主反
    射鏡の径方向の中心位置で凹曲面側に開口する一次放射
    器から放射されるマイクロ波を、前記主反射鏡の凹曲面
    方向に反射させる副反射鏡を備えてなるアンテナ装置に
    おいて、前記副反射鏡の径方向の中心を中心とする複数
    の同心円線上に、幅が前記マイクロ波の波長の1/4〜
    1/7の寸法であって、かつ総開口面積が、この副反射
    鏡の総面積の0.5〜0.8を占める複数の円弧状スリ
    ットが設けられてなることを特徴とするアンテナ装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006208096A (ja) * 2005-01-26 2006-08-10 Isao Ota マイクロ波送受信器及び距離計
JP2009004933A (ja) * 2007-06-20 2009-01-08 Japan Radio Co Ltd 複反射鏡アンテナ
JP2009133682A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Ueda Japan Radio Co Ltd ミリ波レーダ用リフレクタ
JP2016213444A (ja) * 2015-04-10 2016-12-15 東京エレクトロン株式会社 イメージ反転、誘導自己組織化、および選択的堆積を補助するための、サブ解像度開口部の使用

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006208096A (ja) * 2005-01-26 2006-08-10 Isao Ota マイクロ波送受信器及び距離計
JP2009004933A (ja) * 2007-06-20 2009-01-08 Japan Radio Co Ltd 複反射鏡アンテナ
JP2009133682A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Ueda Japan Radio Co Ltd ミリ波レーダ用リフレクタ
JP2016213444A (ja) * 2015-04-10 2016-12-15 東京エレクトロン株式会社 イメージ反転、誘導自己組織化、および選択的堆積を補助するための、サブ解像度開口部の使用
JP2020092274A (ja) * 2015-04-10 2020-06-11 東京エレクトロン株式会社 イメージ反転、誘導自己組織化、および選択的堆積を補助するための、サブ解像度開口部の使用

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