JP2002230714A

JP2002230714A - 磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置

Info

Publication number: JP2002230714A
Application number: JP2001029687A
Authority: JP
Inventors: Shunichi Kudo; 俊一工藤
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-02-06
Filing date: 2001-02-06
Publication date: 2002-08-16

Abstract

(57)【要約】【課題】スライダに備えられた取出電極と、ヘッド支持
体に備えられた端部電極との間の電気的機械的接続の信
頼性の高い磁気ヘッド装置を提供する。【解決手段】接続部６、６０は、金属接続体６と、導電
接着材６０とを含んいる。金属接続体６は、ヘッド支持
体１の配線の端部電極３０と、磁気ヘッド４の側端面２
３とが作る隅部において、端部電極３０及び取出電極２
１に溶着されている。導電接着材６０は、金属接続体６
と、端部電極３０及び取出電極２１とに付着されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド装置及
び磁気記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】浮上型磁気ディスク装置において、磁気
ヘッド支持構造は、磁気ヘッドをジンバルに取り付けた
ヘッド．ジンバル組立体（Head Gimbal Assembly、以下
ＨＧＡと称する）、ＨＧＡをアームに取り付けたヘッ
ド．アーム組立体（Head Arm Assembly、以下ＨＡＡと
称する）、及び、複数のＨＡＡをスタックしたヘッド．
スタック組立体（Head Stack Assembly、以下ＨＳＡと
称する）の３つの態様に分けられる。

【０００３】上述したＨＧＡ、ＨＡＡ及びＨＳＡを得る
場合、従来は、ＨＧＡの部分に磁気ヘッドを取り付けた
後、磁気ヘッドの取出電極と、タブテープ等で構成され
た可撓性リード線の金属接続体との間を、金ボールボン
ディグ等によって接続していた。この後、ＨＧＡ、ＨＡ
Ａ及びＨＳＡの状態で、磁気ヘッドの特性、例えば書き
込み特性、及び、再生特性等の測定が行われる。

【０００４】金ボールのボンディングに当り、特開2000
ー57514号公報は、磁気ヘッドのスライダに備えられた
取出電極（バンプ）と、ヘッド支持体（サスペンショ
ン）に備えられた端部電極とが作る突き合わせ隅部に、
第１の金属ボールを溶着し、次いで、ヘッド支持体の端
部電極の上で、かつ、第１の金属ボールに接触するよう
に、第２の金属ボールを溶着する技術を開示している。

【０００５】しかし、ボンディングを行う取出電極（バ
ンプ）及び端部電極に、金めっき厚みの不足、または、
表面の汚れ等があると、ボンディグ強度が不足し、電気
的機械的接続の信頼性が低下するという問題点を生じ
る。

【０００６】また、この種の薄膜磁気ヘッドは、高密度
記録等の要請から、スライダ形状の小型化が図られてお
り、それに対応して、取出電極（バンプ）の面積、及
び、取出電極間ピッチも極めて小さくなるから、隣接す
る取出電極に溶着された金ボール同士が電気的短絡を生
じないように、ボール径を小さくせざるを得ない。この
ため、ボンディング強度が低下してしまい、結果とし
て、電気的機械的接続の信頼性が低下してしまう。

【０００７】しかも、第１及び第２の金属ボールをボン
ディングするため、ボール径を小さくした場合でも、隣
接する取出電極に溶着された金ボール同士の電気的短絡
を、完全に回避することが難しい。

【０００８】更に、第１の金属ボールをボンディングし
た後、更に、第２の金属ボールをボンディングする必要
があるため、スライダに対して、斜め方向から押圧力が
加わる回数が増え、スライダがヘッド支持体から浮き上
がり、ピッチ角及びロール角が変化してしまったり、あ
るいは、スライダのＡＢＳ面がクラウン状に変化する等
の問題点を生じ易い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、磁気
ヘッドのスライダに備えられた取出電極（バンプ）と、
ヘッド支持体（サスペンション）に備えられた端部電極
との間の電気的機械的接続の信頼性の高い磁気ヘッド装
置及び磁気記録再生装置を提供することである。

【００１０】本発明もう一つの課題は、磁気ヘッド装置
の組立工程において、静止姿勢角及び荷重の変動を回避
し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供する
ことである。

【００１１】本発明の更にもう一つの課題は、磁気ヘッ
ド装置の組立工程において、スライダ形状の変化を回避
し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供する
ことである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体
と、磁気ヘッドとを含む。

【００１３】前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部
と、絶縁された配線とを有し、前記配線の端部電極が前
記ヘッド取り付け部の付近に露出している。

【００１４】前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極
とを含む。前記スライダは、前記ヘッド支持体の前記ヘ
ッド取り付け部に固定されている。前記取出電極は、前
記スライダの側端面に備えられている。

【００１５】前記接続部は、金属接続体と、導電接着材
とを含む。前記金属接続体は、前記ヘッド支持体の前記
配線の端部電極と、前記磁気ヘッドの前記側端面とが作
る隅部において、前記端部電極及び前記取出電極に溶着
されている。前記導電接着材は、前記金属接続体と、前
記端部電極及び前記取出電極とに付着されている。

【００１６】上述したように、本発明に係る磁気ヘッド
装置は、ヘッド支持体と、磁気ヘッドとを含んでおり、
磁気ヘッドのスライダがヘッド支持体のヘッド取り付け
部に固定されているから、磁気ヘッドは、ヘッド支持体
によって支持されながら、ピッチ及びロールの動作を行
うことになる。

【００１７】ヘッド支持体は、絶縁された配線を有し、
配線の端部電極がヘッド取り付け部の付近に露出してお
り、磁気ヘッドは取出電極を含んでおり、取出電極はス
ライダの側端面に備えられているから、スライダに備え
られた取出電極と、ヘッド支持体に備えられた端部電極
とが作る突き合わせ隅部において、取出電極を端部電極
に接続し、取出電極を、端部電極と一体の配線を経由し
て、外部回路に電気的に接続することができる。

【００１８】本発明において、取出電極と、端部電極と
を接続する接続部は、金属接続体を含む。金属接続体
は、ヘッド支持体配線の端部電極と、磁気ヘッドの側端
面とが作る隅部において、端部電極及び取出電極に溶着
されている。この金属接続体は、金ボールによるボンデ
ィングによって構成することができる。従って、端部電
極及び取出電極は、金ボールによるボンディングによっ
て、電気的機械的に接続されることになる。この場合、
金属接続体として用いられる金ボールは、１個でよい。
このため、第１の金属ボールをボンディングした後、更
に、第２の金属ボールをボンディングする従来技術と異
なって、スライダに対して、斜め方向から押圧力が加わ
る回数が１回で済み、ヘッド支持体からのスライダの浮
き上がりが抑制され、ピッチ角及びロール角の変化、及
び、スライダのＡＢＳ面のクラウン状変化等を回避でき
るようになる。従って、ＡＢＳ面の変形に起因するヘッ
ドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破
壊を回避できる。

【００１９】しかも、金属接続体として用いられる金ボ
ールは１個でよいから、スライダ形状の小型化に対応し
て、取出電極間ピッチが小さくなった場合でも、隣接す
る取出電極に溶着された金ボール同士が電気的短絡を生
じない。

【００２０】更に、接続部は、金属接続体の他、導電接
着材を含んでおり、導電接着材は、金属接続体と、端部
電極及び取出電極とに付着されている。この構造によれ
ば、金属接続体を、１つの金ボールで構成したことによ
る電気的機械的接続の信頼性の低下を、導電接着材によ
って補い、全体として、磁気ヘッドのスライダに備えら
れた取出電極と、ヘッド支持体に備えられた端部電極と
の間の電気的機械的接続の信頼性を、向上させることが
できる。

【００２１】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、添付図面を参照して、更に具体的に説明する。図
は、単なる例示に過ぎない。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は第１の態様に係る磁気ヘッ
ド装置の斜視図、図２は図１に示した磁気ヘッド装置の
ヘッド取り付け部分における拡大部分断面図である。図
示された磁気ヘッド装置は、ＨＧＡであり、ヘッド支持
体１と、磁気ヘッド４と、接続部６、６０とを含む。

【００２３】ヘッド支持体１は、一面上にＦＰＣ３を接
着し、ＦＰＣ３を接着した側において、ヘッド支持体１
上に磁気ヘッド４を接着してある。ヘッド支持体１は、
ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。ロードビー
ム１１は、中央を通る長手方向軸線の自由端近傍に突起
部１１１（図２参照）を有する。図示されたロードビー
ム１１は、幅方向の両側に折り曲げ部１１８を有してお
り、この折り曲げ部１１８により、剛性を増加させてあ
る。また、ロードビーム１１は、突起部１１１（図２参
照）とは反対側の端部に位置決め用孔１１２を有する。
ロードビーム１１は、種々の構造、形状をとることがで
き、図示実施例には限定されない。例えば、ロードビー
ム１１には、記録媒体（図示しない）に対する磁気ヘッ
ド４の追従性を向上させるための孔、または、全体の弾
性を増すための孔等が設けられることがある。

【００２４】可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一
方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の
面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けて
いる。可撓体１２は、ロードビーム１１の突起部１１１
を有する側に、カシメ等の手段により貼り合わされてい
る。カシメの代わりに、スポット溶着等の手段を用いら
れることもある。

【００２５】更に、可撓体１２は、ヘッド取り付け部と
なる舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可
撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２
の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっ
ている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間に
は、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の一面に
は、ＦＰＣ３及び磁気ヘッド４が接着して取り付けられ
ている。舌状部１２０の他面には、突起部１１１の先端
が接触しており、これにより、ヘッド取り付け部となる
舌状部１２０は、直交２軸の周りの２自由度、即ち、ピ
ッチ及びロールの２つの自由度を有するようになる。

【００２６】図３は図１、２に図示された磁気ヘッド装
置に含まれる磁気ヘッドの斜視図である。図示された磁
気ヘッドは、スライダ２と、取出電極２１とを含む。ス
ライダ２の内部には、誘導型電磁変換素子９２、及び、
磁気抵抗効果を利用した素子９（以下ＭＲ素子と称す
る）が備えられている。

【００２７】スライダ２は、媒体対向面側に、溝２７７
によって隔てられた２つのレール２７３、２７４を有
し、レールの表面がＡＢＳ面２７１、２７２として利用
される。レール２７３、２７４は２本に限らない。１〜
３本のレールを有することがあり、レールを持たない平
面となることもある。また、浮上特性改善等のために、
媒体対向面に種々の幾何学的形状が付されることもあ
る。何れのタイプのスライダ２であっても、本発明の適
用が可能である。更に、スライダ２は、レールの表面
に、例えば８〜１０ｎｍ程度の膜厚を有するＤＬＣ等の
保護膜を備えることもあり、このような場合は保護膜の
表面がＡＢＳ面２７１、２７２となる。

【００２８】空気流出方向（磁気ディスク回転方向）Ｆ
１に関して、空気流出端側にある側端面２３には、誘導
型電磁変換素子９２及びＭＲ素子９３に接続された取出
電極２１が設けられている。実施例では、誘導型電磁変
換素子９２のための２つの取出電極２１と、ＭＲ素子９
３のための２つの取出電極２１とを備える。

【００２９】図４は図３に示した磁気ヘッドの拡大断面
図である。図において、寸法は誇張されている。図にお
いて、誘導型電磁変換素子９２は書き込み素子であり、
ＭＲ素子９３は読み取り素子である。誘導型電磁変換素
子９２及びＭＲ素子９３は、レール２７３、２７４の一
方または両者の空気流出端ＴＲの側に備えられている。
誘導型電磁変換素子９２及びＭＲ素子９３は、スライダ
２に備えられ、電磁変換のための端部がＡＢＳ面２７
１、２７２と近接した位置にある。スライダ２はAl₂O₃
ーTiC等でなる基体９１５の表面にAl₂O₃、SiO₂等の無機
絶縁膜９１６を設けたセラミック構造体である。

【００３０】誘導型電磁変換素子９２は、第１の磁性膜
９２１、第２の磁性膜９２２、コイル膜９２３、アルミ
ナ等でなるギャップ膜９２４、絶縁膜９２５及び保護膜
９２６などを有している。

【００３１】第１の磁性膜９２１及び第２の磁性膜９２
２の先端部は微小厚みのギャップ膜９２４を隔てて対向
するポール端となっており、ポール端において書き込み
を行なう。第１及び第２の磁性膜９２１、９２２は、単
膜であってもよいし、複膜膜構造であってもよい。第１
及び第２の磁性膜９２１、９２２の複膜膜化は、例え
ば、特性改善を目的として行われることがある。ポール
端の構造に関しても、トラック幅の狭小化、記録能力の
向上等の観点から、種々の改良、及び、提案がなされて
いる。本発明においては、これまで提案された何れのポ
ール構造も採用できる。ギャップ膜９２４は非磁性金属
膜またはアルミナ等の無機絶縁膜によって構成される。

【００３２】第２の磁性膜９２２は、更に、第１の磁性
膜９２１との間にインナーギャップを保って、ＡＢＳ面
２７１、２７２の後方に延び、後方結合部９４２におい
て第２の磁性膜９２２に結合されている。これにより、
第１の磁性膜９２１、第２の磁性膜９２２及びギャップ
膜９２４を巡る薄膜磁気回路が完結する。

【００３３】コイル膜９２３は、第１及び第２の磁性膜
９２１、９２２の間に挟まれ、後方結合部９４２の周り
を渦巻き状に回る。コイル膜９２３の両端は、取出電極
２１（図３参照）に導通されている。コイル膜９２３の
巻数および膜数は任意である。

【００３４】絶縁膜９２５は、有機絶縁樹脂膜またはセ
ラミック膜で構成する。セラミック膜の代表例は、Al₂O
₃膜またはSiO₂膜である。絶縁膜９２５の内部にはコイ
ル膜９２３が埋設されている。絶縁膜９２５は第１及び
第２の磁性膜９２１、９２２の間のインナーギャップの
内部に充填されている。絶縁膜９２５の表面には第２の
磁性膜９２２が備えられている。

【００３５】保護膜９２６は、誘導型電磁変換素子９２
の全体を覆っている。保護膜９２６はAl₂O₃またはSiO₂
等の無機絶縁材料で構成されている。

【００３６】ＭＲ素子９３は、これまで、種々の膜構造
のものが提案され、実用に供されている。例えばパーマ
ロイ等による異方性磁気抵抗効果素子を用いたもの、ス
ピンバルブ膜構造もしくはペロブスカイト型磁性体等の
巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）効果膜を用いたもの、強磁性ト
ンネル接合効果素子等がある。本発明において、何れの
タイプであってもよい。ＭＲ素子９３は、第１のシール
ド膜９３１と、第１の磁性膜９２１として兼用された第
２のシールド膜９２１との間において、絶縁膜７１の内
部に配置されている。絶縁膜７１はアルミナ等によって
構成されている。ＭＲ素子９３は取出電極２１（図３参
照）に接続されている。第２のシールド膜は第１の磁性
膜９２１とは別であってもよい。

【００３７】図５は図１、２に図示した磁気ヘッド装置
に含まれるＦＰＣ３の拡大斜視図である。ＦＰＣ３は、
極めて薄い絶縁フィルム３１の内部に、必要な配線３２
を埋設したものである。ＦＰＣ３は、ヘッド支持体１の
磁気ヘッド取り付け面側に接着されている。配線３２は
絶縁フィルム３１の長手方向の両端において、外部に露
出され、一端側では、外部接続用の端部電極３３を構成
し、他端側では、磁気ヘッド４の取出電極２１に接続さ
れる端部電極３０を構成する。図示されたＦＰＣ３は、
舌状部１２０に重なる枠部３５と、舌状部１２０の一部
を露出させる切欠部３４とを有している。

【００３８】ヘッド支持体１としては、図示されたＦＰ
Ｃ３を貼り付ける構造の外、例えば、フォトリソグラフ
ィ等の適用により、配線パターンを、ヘッド支持体１の
表面に直接に形成した配線一体型ヘッド支持体を用いる
こともできる。

【００３９】接続部６、６０は、金属接続体６と、導電
接着材６０とを含む。金属接続体６は、ヘッド支持体１
の配線３２の端部電極３０と、磁気ヘッド４の側端面２
３とが作る隅部において、端部電極３０及び取出電極２
１に溶着されている。金属接続体６は、一般には、ワイ
ヤボンディグ線材、具体的には、ＡｕまたはＡｌ等のワ
イヤボンディング線材でなる。

【００４０】導電接着材６０は、金属接続体６と、端部
電極３０及び取出電極２１とに付着されている。図２の
図示では、導電接着材６０は、ＦＰＣ３に備えられた端
部電極３０と金属接続体６との間、及び、金属接続体６
と取出電極２１との間に、それぞれ分けて付着させてあ
る。これとは異なって、図６に示すように、端部電極３
０、金属接続体６及び取出電極２１を、連続して覆うよ
うに付着させてもよい。導電接着材６０は、はんだ、ま
たは、導電性接着剤によって構成される。導電性接着剤
は、基本的には、有機樹脂接着成分と導電成分とを混合
したもので、各種のものが既に知られているので、その
中から適当なものを選択し、使用することができる。

【００４１】上述したように、本発明に係る磁気ヘッド
装置において、ヘッド支持体１と、磁気ヘッド４とを含
んでおり、磁気ヘッド４のスライダ２がヘッド支持体１
のヘッド取り付け部１２０に固定されているから、磁気
ヘッド４は、ヘッド支持体１によって支持されながら、
ピッチ及びロールの動作を行うことになる。

【００４２】ヘッド支持体１は、絶縁された配線３２を
有し、配線３２の端部電極３０がヘッド取り付け部１２
０の付近に露出しており、磁気ヘッド４は取出電極２１
を含んでおり、取出電極２１はスライダ２の側端面２３
に備えられているから、スライダ２に備えられた取出電
極２１と、ヘッド支持体１に備えられた端部電極３０と
が作る突き合わせ隅部において、取出電極２１を端部電
極３０に接続し、端部電極３０と一体の配線３２を経由
して、取出電極２１を外部回路に電気的に接続すること
ができる。

【００４３】金属接続体６は、ヘッド支持体１に備えら
れたＦＰＣ３の配線３２の端部電極３０と、磁気ヘッド
４の側端面とが作る隅部において、端部電極３０及び取
出電極２１に溶着されている。この金属接続体６は、金
ボールによるボンディングによって構成することができ
る。従って、端部電極３０及び取出電極２１は、金ボー
ルによるボンディングによって、電気的機械的に接続さ
れることになる。この場合、金属接続体６として用いら
れる金ボールは、１個でよい。このため、第１の金属ボ
ールをボンディングした後、更に、第２の金属ボールを
ボンディングする従来技術と異なって、スライダ２に対
して、斜め方向から押圧力が加わる回数が１回で済み、
ヘッド支持体１からのスライダ２の浮き上がりが抑制さ
れ、ピッチ角及びロール角の変化、及び、スライダ２の
ＡＢＳ面２７１、２７２のクラウン状変化等を回避でき
るようになる。従って、ＡＢＳ面２７１、２７２の変形
に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及
び、磁気記録破壊を回避できる。

【００４４】しかも、金属接続体６として用いられる金
ボールは１個でよいから、スライダ形状の小型化に対応
して、取出電極２１間ピッチが小さくなった場合でも、
隣接する取出電極２１に溶着された金ボール同士が電気
的短絡を生じることがない。

【００４５】更に、金属接続体６の他、導電接着材６０
を含んでおり、導電接着材６０は、金属接続体６と、端
部電極３０及び取出電極２１とに付着されている。この
構造によれば、金属接続体６を、１つの金ボールで構成
したことによる電気的機械的接続の信頼性の低下を、導
電接着材６０によって補い、全体として、スライダ２に
備えられた取出電極２１と、ヘッド支持体１に備えられ
た端部電極３０との間の電気的機械的接続の信頼性を、
向上させることができる。

【００４６】図７〜図１３は、金属接続体６を溶着する
ために用いられるワイヤボンディグ装置、及び、その操
作方法を示している。

【００４７】まず、図７を参照すると、ワイヤボンディ
ング装置は、スパークトーチ体８０とキャピラリツール
８３とを含む。スパークトーチ体８０は、基体８０１
と、絶縁被覆８０３とを含む。基体８０１は、例えば銅
等の電気抵抗の低い金属体でなり、一部にスパーク電極
部８０５を有している。絶縁被覆８０３は、電磁波吸収
性絶縁被覆でなり、スパーク電極部８０５を除く基体８
０１の表面を覆っている。ワイヤボンディング装置の下
方に、磁気ヘッド装置７１を搭載したワーク８８が配置
されている。

【００４８】キャピラリツール８３は、金属ワイヤ８２
を保持し、保持された金属ワイヤ８２の先端がスパーク
トーチ体８０のスパーク電極部８０５と対向する位置に
配置されている。金属ワイヤ８２は、ワイヤ供給部８１
１から供給される。金属ワイヤ８２は、Ａｕワイヤまた
はＡｌワイヤ等、従来より知られているものを用いるこ
とができる。

【００４９】更に、ワイヤボンディング装置は、高電圧
電源装置８５と、金属ワイヤ固定手段８７１、８７２
と、ケーブル線８９１〜８９３とを含む。高電圧電源装
置８５は金属ワイヤ８２の先端とスパークトーチ体８０
のスパーク電極部８０５との間にスパークを発生させる
のに十分な直流高電圧を発生する。高電圧電源装置８５
の高電位側（＋）には、電源投入スイッチ８４が挿入さ
れている。

【００５０】金属ワイヤ固定手段８７１、８７２は、金
属ワイヤ８２の中間部を固定し、または固定を解除する
ものであって、金属ワイヤ８２を固定したとき金属ワイ
ヤ８２に電気的に導通する。この金属ワイヤ固定手段８
７１、８７２は、キャピラリツール８３よりも前にあっ
て、金属ワイヤ８２をキャピラリツール８３に供給す
る。

【００５１】ケーブル線８９１〜８９３は、金属ワイヤ
固定手段８７１、８７２と、金属ワイヤ８２と、スパー
クトーチ体８０とを電気的に直列に接続する電気回路を
構成する。金属ワイヤ固定手段８７１、８７２は、ケー
ブル線８９２を介して高電圧電源装置８５の高電位側
（＋）に接続され、更に、ケーブル線８９３を介して接
地されている。スパークトーチ体８０は、ケーブル線８
９１を介して高電圧電源装置８５の低電位側（−）に接
続されている。

【００５２】図示されたワイヤボンディング装置は、更
に、超音波励振手段８６を含む。超音波励振手段８６は
キャピラリツール８３を励振する。

【００５３】スパークトーチ体８０の下方であって、キ
ャピラリツール８３と対向する位置には、予め、磁気ヘ
ッド４を搭載した支持体（ワーク）８８が配置されてい
る。スパークトーチ体８０が退避動作をした場合、ワー
ク８８に搭載された磁気ヘッド４が、キャピラリツール
８３と対向するようになる。

【００５４】図７のワイヤボンディング装置の操作に当
っては、キャピラリツール８３内を通って導かれた金属
ワイヤ８２の先端を、スパークトーチ体８０のスパーク
電極部８０５と、微小間隔を隔てて対向させる。

【００５５】そして、図８に示すように、金属ワイヤ固
定手段８７１、８７２によって金属ワイヤ８２の中間部
を挟持し、金属ワイヤ８２を固定するとともに、電気的
に導通させる。この状態で、図９に示すように、電源投
入スイッチ８４をオンにし、金属ワイヤ８２の先端とス
パークトーチ体８０のスパーク電極部８０５との間に高
電圧（直流電圧）を印加する。これによって、金属ワイ
ヤ８２の先端とスパークトーチ体８０のスパーク電極部
８０５との間にスパークが発生し、スパークの熱によっ
て、金属ワイヤ８２の先端部が溶融し、金属ボール８２
１が形成される。

【００５６】次に、図１０に示すように、電源投入スイ
ッチ８４をオフにし、スパークトーチ体８０を、キャピ
ラリツール８３との対向位置から、矢印ａ１で示す方向
に退避させる。

【００５７】次に、図１１、図１２に示すように、キャ
ピラリツール８３を矢印ｂ１で示す方向に下降させ、ワ
ーク８８に搭載された磁気ヘッド４の取出電極２１とＦ
ＰＣ３の端部電極３０との間に、金属ワイヤ８２の先端
に形成された金属ボール８２１を押し付ける。

【００５８】そして、超音波励振手段８６により、キャ
ピラリツール８３を超音波によって励振し、金属ワイヤ
８２の先端に形成された金属ボール８２１を、取出電極
２１及び端部電極３０に溶着する。

【００５９】次に、図１３に示すように、金属ワイヤ８
２を適当な長さを残して切断し、線状突出部６２を有す
る金属接続体６を形成する。これにより、図１〜図６に
示した磁気ヘッドが得られる。この後、キャピラリツー
ル８３を矢印ｂ２の方向に移動させ、図７のもとの位置
に戻る。

【００６０】本発明は、上述したＨＧＡへの適用の他、
ＨＡＡ及びＨＳＡについても適用可能である。図１４は
ＨＡＡの正面図、図１５は図１４に図示されたＨＡＡの
側面図である。図示されたＨＡＡは、ヘッド支持体１
と、磁気ヘッド４と、腕片５１とを含む。腕片５１は、
適当な非磁性金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて
一体成形されている。腕片５１には、取り付け孔５２が
備えられている。取り付け孔５２は、磁気ディスク装置
に含まれる位置決め装置に取り付けるために用いられ
る。ヘッド支持体１は、一端が腕片５１に、例えばボー
ル接続構造等によって固定されている。ヘッド支持体１
は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。磁気ヘ
ッド４及びＦＰＣ３は、先に説明した組み合わせ構造に
より、ヘッド支持体１に組み合わされている。

【００６１】図１６は本発明に係るＨＳＡの正面図、図
１７は図１６に図示されたＨＳＡの側面図である。図示
されたＨＳＡは、ヘッド支持体１と、磁気ヘッド４と、
ブロック５とを含む。ブロック５は、複数の腕片５１を
有する。複数の腕片５１は間隔Ｄ１を隔てて順次に配列
されている。腕片５１は、基体５０の外周面に突出して
設けられている。基体５０及び腕片５１は適当な非磁性
金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて一体成形され
ている。図示実施例では、腕片５１は２本であるが、そ
の個数は増加できる。

【００６２】基体５０には、腕片５１の配列方向に平行
な取り付け孔５２が設けられている。取り付け孔５２
は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付
けるために用いられる。更に、基体５０には、コイル支
持部５３及びボイスコイル５４が備えられている。

【００６３】ヘッド支持体１は、腕片５１のそれぞれ毎
に備えられ、一端が腕片５１に、例えばボール接続構造
等によって固定されている。ヘッド支持体１は、ロード
ビーム１１と、可撓体１２とを含む。図示実施例では、
ヘッド支持体１は、腕片５１の片面にのみ設けられてい
るが、腕片５１が３枚以上備えられている場合は、腕片
５１の両面に備えられることが多い。

【００６４】磁気ヘッド４及びＦＰＣ３は、ヘッド支持
体１のそれぞれ毎に、その他端側に取り付けられてい
る。磁気ヘッド４及びＦＰＣ３は、先に説明した組み合
わせ構造により、ヘッド支持体１のそれぞれに組み合わ
されている。

【００６５】図１８は本発明に係る磁気記録再生装置の
平面図である。図示された磁気記録再生装置は、磁気ヘ
ッド装置７１と、磁気ディスク７２とを含む。磁気ヘッ
ド装置７１は図１〜図６に示したもの、または、図１４
〜図１７に示したものである。磁気ヘッド装置７１は、
ヘッド支持体１の一端が位置決め装置７３によって支持
され、かつ、駆動される。磁気ヘッド装置７１の磁気ヘ
ッド４は、ヘッド支持体１によって支持され、磁気ディ
スク７２の磁気記録面と対向するように配置される。磁
気ヘッド装置７１としては、先に述べた各実施例のもの
が全て使用可能である。

【００６６】磁気ディスク７２が、図示しない駆動装置
により、矢印Ｆ１の方向に回転駆動されると、磁気ヘッ
ド４が、微小浮上量で、磁気ディスク７２の面から浮上
する。駆動方式としては、ロータリー．アクチュエータ
方式が一般的であるが、リニアアクチュエータ方式を採
用してもよい。図１８はロータリー．アクチュエータ方
式を示し、ヘッド支持体１の先端部に取り付けられた磁
気ヘッド４が、磁気ディスク７２の径方向Ｃ１、Ｃ２に
駆動される。そして、ヘッド支持体１を回転駆動する位
置決め装置７３により、磁気ヘッド４が、磁気ディスク
７２上の所定のトラック位置に位置決めされる。

【００６７】以上、好ましい実施例を参照して本発明の
内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及
び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を
採り得ることは自明である。

【００６８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。（ａ）磁気ヘッドのスライダに備えられた取出電極（バ
ンプ）と、ヘッド支持体（サスペンション）に備えられ
た端部電極との間の電気的機械的接続の信頼性の高い磁
気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供することがで
きる。（ｂ）磁気ヘッド装置の組立工程において、静止姿勢角
及び荷重の変動を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記
録再生装置を提供することができる。（ｃ）磁気ヘッド装置の組立工程において、スライダ形
状の変化を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッド装置の斜視図である。

【図２】図１に示した磁気ヘッド装置のヘッド取り付け
部分における拡大部分断面図である。

【図３】図１、２に図示された磁気ヘッド装置に含まれ
る磁気ヘッドの斜視図である。

【図４】図３に示した磁気ヘッドの拡大断面図である。

【図５】図１、２に図示した磁気ヘッド装置に含まれる
ＦＰＣの拡大斜視図である。

【図６】本発明に係る磁気ヘッド装置のヘッド取り付け
部分における拡大部分断面図である。

【図７】図１〜図６に図示した磁気ヘッド装置を得るた
めに供されるワイヤボンディグ装置を示している。

【図８】図７に示したワイヤボンディグ装置の操作を説
明する図である。

【図９】図８に示した操作の次の操作を説明する図であ
る。

【図１０】図９に示した操作の次の操作を説明する図で
ある。

【図１１】図１０に示した操作の次の操作を説明する図
である。

【図１２】図１１の操作を拡大して示す図である。

【図１３】図１１、図１２に示した操作の次の操作を説
明する図である。

【図１４】本発明に係るＨＡＡの正面図である。

【図１５】図１４に図示されたＨＡＡの側面図である。

【図１６】本発明に係るＨＳＡの正面図である。

【図１７】図１６に図示されたＨＳＡの側面図である。

【図１８】本発明に係る磁気記録再生装置の平面図であ
る。

【符号の説明】

１ヘッド支持体２スライダ３ＦＰＣ４磁気ヘッド６金属接続体６０導電接着材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ヘッド支持体と、磁気ヘッドと、接続部
とを含む磁気ヘッド装置であって、前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部と、絶縁された
配線とを有し、前記配線の端部電極が前記ヘッド取り付
け部の付近に露出しており、前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極とを含んでお
り、前記スライダは、前記ヘッド支持体の前記ヘッド取り付
け部に固定されており、前記取出電極は、前記スライダの側端面に備えられてお
り、前記接続部は、金属接続体と、導電接着材とを含んでお
り、前記金属接続体は、前記ヘッド支持体の前記配線の端部
電極と、前記磁気ヘッドの前記側端面とが作る隅部にお
いて、前記端部電極及び前記取出電極に溶着されてお
り、前記導電接着材は、前記金属接続体と、前記端部電極及
び前記取出電極とに付着されている磁気ヘッド装置。
【請求項２】請求項１に記載された磁気ヘッド装置で
あって、前記可撓性配線基板は、絶縁フィルムと、配線とを含
み、前記ヘッド支持体に付着されており、前記絶縁フィルムは、可撓性を有しており、前記配線は、前記絶縁フィルムの内部に埋設され、前記
端部電極が前記絶縁フィルムの一面から外部に露出して
ている磁気ヘッド装置。
【請求項３】請求項１または２の何れかに記載された
磁気ヘッド装置であって、前記金属接続体は、ワイヤボ
ンディグ材でなる磁気ヘッド装置。
【請求項４】請求項１乃至３の何れかに記載された磁
気ヘッド装置であって、前記金属接続体はＡｕまたはＡ
ｌでなる磁気ヘッド装置。
【請求項５】請求項１乃至４の何れかに記載された磁
気ヘッド装置であって、前記導電接着材は、はんだであ
る磁気ヘッド装置。
【請求項６】請求項１乃至４の何れかに記載された磁
気ヘッド装置であって、前記導電接着材は、有機系導電
接着剤である磁気ヘッド装置。
【請求項７】磁気ヘッド装置と、磁気ディスクとを含
む磁気記録再生装置であって、前記磁気ヘッド装置は、請求項１乃至６の何れかに記載
されたものでなり、前記磁気ディスクは、前記磁気ヘッド装置との間で磁気
記録及び再生を行う磁気記録再生装置。