JP2002216617A

JP2002216617A - プラズマディスプレイ表示装置の製造方法

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Publication number: JP2002216617A
Application number: JP2001008479A
Authority: JP
Inventors: Katsuyoshi Yamashita; 勝義山下; Junichi Hibino; 純一日比野; Hiroyuki Yonehara; 浩幸米原; Hideki Ashida; 英樹芦田; Shigeo Suzuki; 茂夫鈴木; Hideaki Yasui; 秀明安井
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-01-17
Filing date: 2001-01-17
Publication date: 2002-08-02

Abstract

(57)【要約】【課題】ＰＤＰのアドレス電極の製造法としてはフォ
トリソグラフィー法で露光、現像、焼成して形成する工
法や、導電ペーストをスクリーン印刷法でパターン形
成、焼成する工法等が用いられている。しかし、これら
の工法では形成法が煩雑であったり、微細パターン形成
が困難といった課題があり、また断線、短絡の検査、修
正工程も必須となりＰＤＰのコスト高の一因となってい
る。【解決手段】表示領域内に電極材を全面に形成し、こ
の電極材上に隔壁を形成する。その後電極材、隔壁を焼
成することによって隔壁形成部の電極材の導電性を喪失
させて、放電を制御するアドレス電極を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスに用
いるプラズマディスプレイパネルなどのプラズマディス
プレイ表示装置の製造方法に関するものであって、特に
アドレス電極形成工程の改良技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からプラズマディスプレイ表示装置
の一例としては図２に示すようなＡＣ型のプラズマディ
スプレイ表示装置（以下ＰＤＰという）が知られてい
る。以下図面を参照しながら従来のＰＤＰのパネル構成
とその動作原理を説明する。

【０００３】同図において１１６は前面板であり１０６
は背面板である。

【０００４】ＰＤＰ１０１は前面板１１６と背面板１０
６とが対向に配置されその外周端縁部の間には、ガス放
電用空間を形成するために低融点ガラスからなる封止部
材１１５により封止されており、その密閉空間に４０ｋ
Ｐａ（３００Ｔｏｒｒ）〜６６．５ｋＰａ（５００Ｔｏ
ｒｒ）の希ガス（ヘリウム、キセノン、ネオン等の混合
ガス）が封入された構成である。

【０００５】背面板１０６は背面ガラス１０７と背面ガ
ラス１０７の表面にパターン形成されたアドレス電極１
０８とそれを覆うように成膜された背面板誘電体１０９
と複数の隔壁１１０と隔壁１１０同士の間に形成された
赤、青、緑の蛍光体１１１から構成されている。ここで
隔壁１１０は上記ガス放電用空間を仕切るための手段で
ある。このようにして仕切られた空間部１１２が発光領
域となるものであり、蛍光体１１１はこの発光領域ごと
に形成されている。

【０００６】一方、前面板１１６は前面ガラス１０２と
前面ガラス１０２の表面にパターン形成された透明電極
１１４とバス電極１０３とからなる表示電極とそれを覆
うように成膜された前面板誘電体１０４とその上に成膜
された酸化マグネシウムからなる保護膜１０５から構成
されている。

【０００７】又、隔壁１１０とアドレス電極１０８とは
同一方向に形成されており、バス電極１０３及び透明電
極１１４とからなる表示電極はアドレス電極１０８と直
交している。

【０００８】以上のように構成されたＰＤＰ１０１はア
ドレス電極１０８、透明電極１１４とバス電極１０３と
から成る表示電極に適当なタイミングで電圧を印加する
ことにより表示画素に相当する隔壁１１０で仕切られた
空間部１１２で放電が起こり、紫外線が発生し紫外線に
より励起された赤、緑、青の蛍光体１１１から可視光が
放出され、それが画像として表示されるのである。

【０００９】次にこのようなＰＤＰの製造方法について
図２を参照しながら述べる。

【００１０】同図における前面板１１６の表示電極は幅
の広い透明電極１１４と幅の狭い不透明のバス電極１０
３の２層構造を取るのが一般的である。まず前面ガラス
１０２に対して、ＩＴＯ（インジウム・スズ・オキサイ
ド）の透明電極１１４と、その上にバス電極として銀を
導電材料として混合した低融点ガラスフリット１０３を
フォトリソグラフィー法にて形成し、それを覆って前面
板誘電体１０４を成膜焼成し、その上に酸化マグネシウ
ムからなる保護膜１０５を成膜し作製する。

【００１１】又、背面板１０６については背面ガラス１
０７上にアドレス電極１０８を形成する。このアドレス
電極１０８も銀を導電材料として混合した低融点ガラス
フリットをフォトリソグラフィー法にて形成する。それ
を覆って背面板誘電体１０９を成膜後、焼成し、その上
一面に印刷によって隔壁材料を成膜した後サンドブラス
ト法によって隔壁１１０を形成しない部分を削り取り焼
成工程を経てライン状になった隔壁１１０を形成する。
その後隔壁１１０の間に印刷法によって蛍光体１１１を
赤、緑、青の各色ごとに充填し、乾燥、焼成して作製す
る。

【００１２】このようにして完成した前面板１１６と背
面板１０６を周囲に低融点ガラスの封止部材１１５を塗
布した後、焼成することで封止する。封止後のパネルは
チップ管１１３より真空引きした後希ガスを封入しチッ
プオフしてＰＤＰ１０１を完成させるものである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】従来ＰＤＰのアドレス
電極の製造法としては銀を導電材料として低融点ガラス
フリット、感光性樹脂、溶剤等を混合したペーストと
し、これをスクリーン印刷法にて表示領域全面に形成
し、フォトリソグラフィー法で露光、現像し最後にこれ
を焼成して形成する工法や、銀を導電材とした導電ペー
ストをスクリーン印刷法でパターン形成、焼成する工法
等が用いられている。

【００１４】しかし、これらの工法では形成法が煩雑で
あったり、微細パターン形成が困難といった課題があ
り、また断線、短絡の検査、修正工程も必須となりＰＤ
Ｐのコスト高の一因となっている。

【００１５】本発明の目的は、電極形成工程数が少な
く、しかも精度よく隔壁間にアドレス電極を形成できる
プラズマディスプレイ表示装置の製造方法の提供であ
る。これにより生産性を向上させ、低コストのプラズマ
ディスプレイ表示装置とすることができる。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する手段
として本発明のプラズマディスプレイ表示装置の製造方
法は、表示領域内に電極材を全面に形成する工程と、電
極材上に放電空間を規定する隔壁を形成する工程と、電
極材、隔壁を焼成する工程とを含み、焼成によって隔壁
形成部の電極材の導電性を喪失させて、放電を制御する
アドレス電極を形成することを特徴とするプラズマディ
スプレイ表示装置の製造方法である。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明のプラズマディスプレ
イ表示装置の製造方法に係る実施の形態を、図面に基づ
いて説明する。

【００１８】工程を実施するにあたってまず前面板を作
成するが、前面板は従来の仕様でよく、図２を参照しな
がら以下に説明する。

【００１９】前面板１１６には前面ガラス１０２上に透
明電極１１４、銀を導電材料とした低融点ガラスフリッ
トからなるバス電極１０３とをフォトリソグラフィー法
にて形成する。次に前面板誘電体１０４をスクリーン印
刷法で形成しこれを焼成する。この後、保護膜１０５を
蒸着法によって成膜し、前面板１１６を完成させる。

【００２０】背面板の作成法についは図１を用いて説明
する。

【００２１】まず、電極材１をスクリーン印刷法によっ
て背面ガラス１０７の全面に印刷、乾燥する（図１
（ａ））。この電極材１は下層電極材１ａと上層電極材
１ｂの２層構成となっており融点はいずれも５００〜５
２０℃であり、下層電極材１ａはガラス基板との密着力
を確保するために導電材である銀を含まないガラス材料
が主成分である。用いたスクリーン版は４００メッシュ
で膜厚は５μｍ以下が望ましい。

【００２２】次に導電材の銀を含んだ上層電極材１ｂを
同様に形成する。アドレス電極として機能する抵抗値は
導電材である銀の量、膜厚で調整する。ここでは膜厚７
μｍ、シート抵抗値２ｍΩ／□が得られる銀の量とし
た。また、ダスト等の影響を排除して断線、短絡を防止
するために４００メッシュのスクリーン版を用い、２回
に分けて印刷、乾燥を繰り返した。

【００２３】ここでは、ガラス基板との密着力を向上さ
せる目的で下層電極材１ａも形成したが、上層電極材１
ｂのみでガラス基板との密着力が確保できる場合には必
要ない。

【００２４】また、背面板として背面ガラス１０７を用
いたが、ガラス以外の材質であってもかまわない。電極
材形成法としてはスクリーン印刷法を用いたが、必要な
膜厚が得られる他の公知の形成方法を用いてもかまわな
い。

【００２５】隔壁材２はこの電極材１の上に形成する
（図１（ｂ））。隔壁材２も下層隔壁材２ａ、上層隔壁
材２ｂの２層構成となっている。まず隔壁形成部に開口
部（幅１００μｍ）を持つスクリーン版を用いて下層隔
壁材２ａを印刷、乾燥する。膜厚は１０μｍ程度でよ
く、３５０メッシュのスクリーン版を用いている。

【００２６】次いで、同じ隔壁材を用いて、引き出し電
極を形成しない部分に開口部を持つ４００メッシュのス
クリーン版にて、前工程で印刷形成した隔壁材２ａと位
置合わせを行い同様に隔壁材を形成する（図中省略）。
この隔壁材の膜厚は１０μｍ以下が望ましくここでは７
μｍの厚みに形成した。

【００２７】上層隔壁材２ｂは下層隔壁材２ａに重ね印
刷を行い隔壁材２を形成する。まず開口幅１００μｍ、
２５０メッシュのスクリーン版を用いて５回の印刷、乾
燥を繰り返す。１回の印刷で約１５μｍの膜厚を得るこ
とができる。

【００２８】同様に、開口幅９０μｍのスクリーン版で
４回、さらに開口幅８０μｍで４回の合計１３回の印刷
を繰り返し、約２００μｍ高さの隔壁材２を形成する。
用いるスクリーン版の開口幅を狭めて印刷することによ
り、隔壁形状を台形状とする。

【００２９】隔壁材２を形成した後は、電極材１と同時
に温度５５０℃にて焼成を行う（図１（ｃ））。隔壁材
２ａの融点は４５０〜４７０℃で電極材１の融点５００
〜５２０℃より低温である。従って、焼成温度５５０℃
では隔壁材２ａの粘度は電極材１より低粘度となってお
り、電極材１中の導電材である銀およびガラス材料はは
この隔壁材２ａ中に拡散していき、隔壁材２ａと一体化
する。このため隔壁材２ａを形成した部分の導電性は失
われていく。この効果を利用することにより隔壁材間に
アドレス電極１０８を形成することができる。

【００３０】また、引き出し電極等も同様の効果で形成
することができる。ここでは、隔壁材２ａを用いて引き
出し電極を形成したが、あらかじめ電極材１をＰＤＰの
表示領域内全面と引き出し電極とを同時または個別に、
スクリーン印刷法等にて形成してもかまわない。

【００３１】一方、隔壁材２ｂの融点は約５３０℃であ
り、隔壁材中に骨材等を含んでおりその形状を維持する
とともに、低融点材料である隔壁材２ａが接着層の役目
を果たしガラス基板の背面ガラス１０７と隔壁１１０と
の密着力を増すことができる。

【００３２】焼成後の隔壁１１０は３０％余り体積収縮
し、高さ約１４０μｍの隔壁となる。焼成後必要に応じ
て隔壁１１０の頂部を研磨してもかまわない。

【００３３】背面板誘電体は次のような方法で形成した
（図１（ｄ））。まず背面板誘電体材をシート化した背
面板誘電体シート３を準備し、このシートをラミネート
ロール４を用いてラミネートする。このとき、ラミネー
トロール４は１００℃、背面ガラス１０７は１２０℃の
温度にそれぞれ加熱し、背面ガラス１０７の送り速度は
０．１ｍ／分とした。

【００３４】形成した背面板誘電体１０９は５００℃で
焼成し、完成させる（図１（ｅ））。

【００３５】最後に赤、緑、青の各蛍光体をそれぞれス
クリーン印刷法で印刷、乾燥後４５０℃で焼成して背面
板１０６を完成させる。（図中省略）このようにして完
成した前面板１１６と背面板１０６を組立する（図
２）。

【００３６】まず周囲に低融点ガラスの封止部材１１５
を塗布した後、焼成することで封止しＰＤＰ１０１とす
る。最後にチップ管１１３より空間部を真空引きした
後、４０ｋＰａ（３００Ｔｏｒｒ）〜６６．５ｋＰａ
（５００Ｔｏｒｒ）の希ガス（ヘリウム、キセノン、ネ
オン等の混合ガス）を封入しＰＤＰ１０１を完成させ
る。

【００３７】

【発明の効果】これら本発明によって極めて簡便に隔壁
の開口部間にアドレス電極が形成可能で、安価で高生産
性のプラズマディスプレイ表示装置が製造でき、その効
果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施に係わるプラズマディスプレイ表
示装置の背面板形成工程の概略を示す断面図

【図２】プラズマディスプレイ表示装置の概略構成を示
す斜視図

【符号の説明】

１電極材１ａ下層電極材１ｂ上層電極材２隔壁材２ａ下層隔壁材２ｂ上層隔壁材３背面板誘電体シート４ラミネートロール１０１ＰＤＰ１０２前面ガラス１０３バス電極１０４前面板誘電体１０５保護膜１０６背面板１０７背面ガラス１０８アドレス電極１０９背面板誘電体１１０隔壁１１１蛍光体１１２空間部１１３チップ管１１４透明電極１１５封止部材１１６前面板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者米原浩幸大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者芦田英樹大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者鈴木茂夫大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者安井秀明大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA01 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GC18 GC19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示領域内に電極材を全面に形成する工
程と、電極材上に放電空間を規定する隔壁を形成する工
程と、電極材、隔壁を焼成する工程とを含み、焼成によ
って隔壁形成部の電極材の少なくとも一部の導電性を喪
失させて、放電を制御するアドレス電極を形成すること
を特徴とするプラズマディスプレイ表示装置の製造方
法。
【請求項２】前記電極材が導電材を含む層と含まない
層との二層構成であることを特徴とする請求項１に記載
のプラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
【請求項３】前記電極材はガラス材料と導電材とから
なることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズ
マディスプレイ表示装置の製造方法。
【請求項４】前記電極材に含まれる導電材が銀である
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
【請求項５】前記隔壁はガラス材料を主成分としてい
ることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の
プラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
【請求項６】前記隔壁の融点が前記電極材の融点より
低いことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載
のプラズマディスプレイ表示装置の製造方法。
【請求項７】前記隔壁のガラス材料が融点の異なる二
種類以上からなっていることを特徴とする請求項１から
６のいずれかに記載のプラズマディスプレイ表示装置の
製造方法。
【請求項８】前記隔壁を構成するガラス材料は最も低
融点のガラス材料が隔壁底部側であることを特徴とする
請求項７に記載のプラズマディスプレイ表示装置の製造
方法。
【請求項９】前記隔壁を構成するガラス材料のうち最
も低融点のガラス材料膜厚が他のガラス材料の膜厚より
薄いことを特徴とする請求項８に記載のプラズマディス
プレイ表示装置の製造方法。