JP2002214530A - 軸外し反射光学系 - Google Patents

軸外し反射光学系

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JP2002214530A
JP2002214530A JP2001011888A JP2001011888A JP2002214530A JP 2002214530 A JP2002214530 A JP 2002214530A JP 2001011888 A JP2001011888 A JP 2001011888A JP 2001011888 A JP2001011888 A JP 2001011888A JP 2002214530 A JP2002214530 A JP 2002214530A
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reflecting
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reflecting mirror
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Hironobu Sakuta
博伸 作田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】諸収差が良好に補正されたマルチバンド観測用
の軸外し反射光学系を提供すること。 【解決手段】中央部に光通過部AP1を有する凹面の第
1反射鏡101と、第1反射鏡101よりも物体側に配
置され、第1反射鏡101により反射された物体からの
光を反射して、第1反射鏡101の光通過部AP1を通
過させて物体の中間像を形成する凸面の第2反射鏡10
2と、第1反射鏡101と第2反射鏡102により結像さ
れた中間像を最終像面106に再結像させる凹面の第3
反射鏡104とを有する軸外し反射光学系において、中
間像と第3反射鏡104との間の光路中に折返し反射鏡
103をさらに有し、前記最終像面106には複数の1
次元センサLS1,LS2,LS3,LS4を並列に配
置し、前記複数のラインセンサの位置に対応して、折返
し反射鏡103の反射面には複数の帯状のバンドパス反
射膜BP1,BP2,BP3,BP4が形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射光学系、特
に、地表面等の2次元画像を、複数の観測波長域で取得
するために好適な軸外し反射光学系に関する。
【0002】
【従来の技術】人工衛星から地表面を観測する方式とし
て、光学系の像面に1次元ラインセンサを配置し、この
ラインセンサの長手方向と直交する方向に人工衛星を移
動することで地表面の2次元画像を得る、いわゆるプッ
シュブルーム方式がある。観測波長域が広帯域のパンク
ロマチックバンドの場合は、1つのラインセンサが設け
られる。これに対して、分光反射特性を観測するマルチ
バンドの場合には、複数の観測波長域に対応して複数の
ラインセンサが設けられている。
【0003】また、人工衛星に搭載されるカメラは、色
収差や温度条件等の利点から多くの場合は反射光学系が
採用されている。さらに、近年の地球観測用の光学系に
は広角かつ高分解能が要求されることが多い。このよう
な光学系は、例えば、米国特許第4,101,195号
公報に提案されている。
【0004】図6は、上記公報に開示されている3枚の
反射鏡からなる光学系の構成を示す図である。不図示の
物体からの略平行光は、凹面の1次鏡1に入射する。1
次鏡1で反射された光は凸面の2次鏡2に入射する。2
次鏡2で反射された光は、1次鏡の中央に形成されてい
る開口部APを通過して物体の中間像を形成する。次
に、折返し鏡3は、中間像からの光を3次鏡4の方向へ
偏向する。そして、3次鏡4は、物体の最終像を1次元
ラインセンサ5上に形成する。このように、1次鏡1と
2次鏡2とで構成されるテレフォト部に凹面の3次鏡4
を組合せた基本構成を有している。
【0005】また、この光学系では、球面収差,コマ収
差,非点収差などの諸収差を補正するために、3枚の反
射鏡は非球面を採用している。各非球面の形状は、1次
鏡1と3次鏡4とが回転楕円面、2次鏡2は回転双曲面
である。なお、光軸上の光束を考えた場合、3次鏡4で
折り返された像点は、3次鏡4に入射する光束と光軸上
で重なり合ってしまう。このため、光軸から僅かに傾い
た光束を利用し、光軸から離れた像面位置に1次元ライ
ンセンサ5を配置する、いわゆる軸外し系とすることで
光束がケラレないように構成される。
【0006】上記光学系では、ペッツヴァール和を小さ
くできるため、像面の平坦性に優れている。また、広画
角・高分解能を達成できる代表的な反射光学系である。
さらに、光学系の径方向のサイズは、1次鏡1の大きさ
で略決定される。また、折返し鏡3を配置することで光
学系の全長を短くすることができる。このため、他のタ
イプの3枚反射鏡光学系に比べて光学系全体がコンパク
トに構成できる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の反射光
学系は、物体(例えば、地表面)からの光を色分解する
ことを想定していない。このため、観測波長域が広帯域
の、いわゆるパンクロマチックバンドで採用されてい
る。これに対して、地表面の複数の観測波長域の分光反
射特性を観測する、いわゆるマルチバンドの観測を行う
場合がある。マルチバンドで観測する場合の光学系は、
一般にダイクロイックプリズムやバンドパスフィルタ等
の屈折光学素子を利用して色分解するため、そこで発生
する色収差を主に補正するレンズを有したカタジオプト
リック(反射屈折)系が採用されることが多い。従来技
術のような反射光学素子により構成された光学系による
マルチバンド観測は上述のような問題から容易ではなか
った。
【0008】また、上記従来技術の反射鏡光学系は、構
成要素が3枚の反射系であるためザイデルの5収差(球
面収差・コマ収差・非点収差・像面湾曲・歪曲収差)の
全てを補正することは原理的に不可能である。特に、歪
曲収差が大きく残留してしまう問題がある。このため、
地表のフットプリント、すなわち1次元ラインセンサの
地表面投影像に歪みが生じる。このため、画像の歪みに
対しては信号処理による補正を行っている。
【0009】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であり、諸収差が良好に補正され、全て反射光学素子に
より構成されたマルチバンド観測用の軸外し反射光学系
を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段を、実施の形態を示す添付図面に対応づけて説明
すると、本発明は、中央部に第1光通過部AP1を有す
る凹面の第1反射鏡101と、前記第1反射鏡101よ
りも物体側に配置され、前記第1反射鏡101により反
射された前記物体からの光を反射して、前記第1反射鏡
101の前記第1光通過部AP1を通過させて前記物体
の中間像を形成する凸面の第2反射鏡102と、前記第
1反射鏡101と前記第2反射鏡102により結像され
た中間像を最終像面106に再結像させる凹面の第3反
射鏡104とを有する軸外し反射光学系において、前記
中間像と前記第3反射鏡104との間の光路中に折返し
反射鏡103をさらに有し、前記最終像面106には複
数の1次元センサLS1,LS2,LS3,LS4を並
列に配置し、各1次元ラインセンサの位置に対応して、
前記折返し反射鏡103の反射面には複数の帯状のバン
ドパス反射膜BP1,BP2,BP3,BP4が形成さ
れていることを特徴とする軸外し反射光学系を提供す
る。
【0011】また、本発明の好ましい態様によれば、前
記最終像面106の近傍に非球面光学素子205をさら
に有することが望ましい。なお、本発明の構成を説明す
る上記課題を解決するための手段の項では、本発明を分
かり易くするために発明の実施の形態の図を用いたが、
これにより本発明が実施の形態に限定されるものではな
い。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の実施例を説明する。 (第1実施例)図1は、本発明の第1実施例にかかる軸
外し反射光学系の構成を示す図である。不図示の物体か
らの略平行光Lは、中央部に開口部AP1を有する凹面
の1次反射鏡101に入射する。1次反射鏡101で反
射された光は、該反射鏡101よりも物体側に配置され
ている凸面の2次反射鏡102に入射する。2次反射鏡
102で反射された光は、1次反射鏡101の中央に形
成されている開口部AP1を通過して物体の中間像を形
成する。次に、折返し反射鏡103は、中間像からの光
を3次反射鏡104の方向へ偏向する。折返し反射鏡1
03の構成については後述する。そして、3次反射鏡1
04は、平面反射鏡105を介して、物体の中間像をリ
レーして複数の1次元ラインセンサ部106上に最終像
を再結像する。
【0013】本実施例では、光軸上の光束を考えた場
合、3次反射鏡104で折り返された像点は、3次反射
鏡104に入射する光束と光軸上で重なり合ってしま
う。このため、光軸から僅かに傾いた光束を利用し、光
軸から離れた像面位置に1次元ラインセンサ部106を
配置する、いわゆる軸外し系とすることで光束がケラレ
ないように構成される。
【0014】図2(a)は、1次元ラインセンサ部10
6を光軸方向から見た構成を示す図である。また、図2
(b)は、折返し反射鏡103を反射面法線方向から見
た構成を示す図である。図2(a)から明らかなよう
に、1次元ラインセンサ部106は、4つのラインセン
サLS1,LS2,LS3,LS4を並列に並べて配置
することで構成されている。また、折返し反射鏡103
の反射面には、図2(b)に示すように、4つの1次元
センサLS1,LS2,LS3,LS4の位置に対応し
て、各ラインセンサに達する光束が通る位置に帯状に複
数の帯状のバンドパス反射膜BP1,BP2,BP3,
BP4がコーティングにより形成されている。ここで、
ラインセンサLS1〜LS4は同一の分光感度特性を有
するものでもよいし、観測波長域に適した別々の分光感
度特性を有するものでもよい。バンドパス反射膜BP1
〜BP4の分光反射特性は、所望の観測波長帯に対応し
た特性を有している。
【0015】また、システムのS/N等から、バンドパ
ス反射膜の観測波長帯の反射率を最適な反射率とするこ
とが望ましい。かかる構成により反射光学素子のみで構
成されたマルチバンド観測用光学系が実現される。本実
施例では、1次元ラインセンサが並列して配置されてお
り、分光画像データを重ね合わせることで、検出波長帯
と異なる波長帯の画像を得ることもできる。ただし、光
学系に歪曲収差が残存するため、信号処理による歪み補
正を行う必要がある。
【0016】以下の表1に本実施例にかかる軸外し反射
光学系の諸元値を掲げる。諸元値表において、非球面は
次式で表される。
【0017】
【数1】Z=(y2/r)/[1+{1−(1+κ)・y
2/r21/2]+A・y4+B・y6+C・y8+D・y10
【0018】但し、yは光軸に垂直な方向の高さ、Zは
非球面の頂点における接平面から高さyにおける非球面
上の位置までの光軸に沿った距離(サグ量)、rは中心
曲率半径、κは円錐係数、A〜Dはn次の非球面係数を
それぞれ示している。さらに、諸元表における非球面係
数の「E−n」は「×10-n」を示している。なお、以
下すべての実施例の諸元値において同様の符号、非球面
式を用いる。
【0019】また、諸元表の焦点距離、曲率半径、面間
隔その他の長さの単位は一般に「mm」が使われるが、
光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が
得られるので、これに限られるものではない。
【0020】
【表1】 (全体諸元) 焦点距離f=10000 入射瞳径φ=700 視野角 0.10度×1.2度 (レンズデータ) 面番号 曲率半径 面間隔 硝材 1 -2471.056 -1012.160 反射面 2 -554.180 1213.341 反射面 3 ∞(平面) -520.000 反射面 (偏心量:48.0度) 4 710.000 760.000 反射面 5 ∞(平面) -152.062 反射面 6 ∞(平面) 0.000 像面 (非球面データ) (第1面) κ=-0.978430 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0 (第2面) κ=-1.981892 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0 (第4面) κ=-0.571719 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0
【0021】(第2実施例)図3は、本発明の第2実施
例にかかる軸外し反射光学系の構成を示す図である。非
球面反射鏡205を用いている点が上記第1実施例と異
なる。その他の構成は上記第1実施例と同様であるので
同一部分には同一符号を付す。
【0022】不図示の物体からの略平行光Lは、中央部
に開口部AP1を有する凹面の1次反射鏡101に入射
する。1次反射鏡101で反射された光は、該反射鏡1
01よりも物体側に配置されている凸面の2次反射鏡1
02に入射する。2次反射鏡102で反射された光は、
1次反射鏡101の中央に形成されている開口部AP1
を通過して物体の中間像を形成する。次に、折返し反射
鏡103は、中間像からの光を3次反射鏡104の方向
へ偏向する。そして、3次反射鏡104は、非球面反射
鏡205を介して、物体の中間像をリレーして複数の1
次元ラインセンサ部106上に最終像を再結像する。
【0023】本実施例では、光軸上の光束を考えると、
3次反射鏡104で折り返された像点は、3次反射鏡1
04に入射する光束と光軸上で重なり合ってしまう。こ
のため、光軸から僅かに傾いた光束を利用し、光軸から
離れた像面位置に1次元ラインセンサ部106を配置す
る、いわゆる軸外し系とすることで光束がケラレないよ
うに構成される。
【0024】また、本実施例の折返し反射鏡103の構
成、及び1次元ラインセンサ部106の構成は上記第1
実施例と同様(図2(a),図2(b)参照)であるの
で重複する説明は省略する。本実施例の構成によれば、
反射光学素子のみで構成されたマルチバンド観測用光学
系が実現される。また、本実施例では、1次元ラインセ
ンサが並列して配置されており、分光画像データを重ね
合わせることで、検出波長帯と異なる波長帯の画像を得
ることもできる。ここで、本実施例では、光学系の歪曲
収差が非球面反射面205により良好に補正されている
ため、信号処理による歪み補正を行う必要がない。以下
の表2に本実施例の諸元値を掲げる。
【0025】
【表2】 (全体諸元) 焦点距離f=10000 入射瞳径φ=700 視野角 0.10度×1.2度 (レンズデータ) 面番号 曲率半径 面間隔 硝材 1 -2042.383 -812.492 反射面 2 -523.141 1076.771 反射面 3 ∞(平面) -490.100 反射面 (偏心量:45.0度) 4 710.000 823.896 反射面 5 ∞(平面) -233.765 反射面 6 ∞(平面) 0.000 像面 (非球面データ) (第1面) κ=-0.975060 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0 (第2面) κ=-2.045217 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0 (第4面) κ=-0.653403 A=0.0 B=0.0 C=0.0 D=0.0 (第5面) κ=0.000000 A=-0.714670E-9 B= 0.410496E-14 C=-0.214832E-18 D= 0.0
【0026】図4は、本実施例の縦収差を示す図であ
る。また、図5にスポットダイアグラムを示す。スポッ
トダイアグラムの横軸はデフォーカス量(単位:m
m)、縦軸は視野位置(単位:度)を示している。図
4,5から明らかなように、諸収差、特に歪曲収差が格
段に補正され、かつ視野全体にわたり良好な収差特性を
有していることがわかる。
【0027】なお、本発明は上述の実施の形態に限定さ
れることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の
構成を取り得ることはいうまでもない。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
諸収差が良好に補正された、全て反射光学素子により構
成されたマルチバンド観測用の軸外し反射光学系を提供
することができる。また、本発明の好ましい態様によれ
ば、更に非球面鏡を像面近傍に配置することにより特に
歪曲収差の補正された歪み補正信号処理の不要なマルチ
バンド観測用の軸外し反射光学系を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例にかかる軸外し反射光学系
の構成を示す図である。
【図2】(a)はラインセンサの構成、(b)は折返し
反射鏡の構成をそれぞれ示す図である。
【図3】本発明の第2実施例にかかる軸外し反射光学系
の構成を示す図である。
【図4】上記第2実施例にかかる軸外し反射光学系の諸
収差を示す図である。
【図5】上記第2実施例にかかる軸外し反射光学系のス
ポットダイアグラムを示す図である。
【図6】従来の軸外し反射光学系の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】
1,101 1次反射鏡 2,102 2次反射鏡 AP,AP1 開口部 3,103 折返し反射鏡 4,104 3次反射鏡 105 平面反射鏡 205 非球面反射鏡 5,106 1次元ラインセンサ部 LS1〜LS4 ラインセンサ BP1〜BP4 バンドパス反射膜

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中央部に光通過部を有する凹面の第1反
    射鏡と、 前記第1反射鏡よりも物体側に配置され、前記第1反射
    鏡により反射された前記物体からの光を反射して、前記
    第1反射鏡の前記光通過部を通過させて前記物体の中間
    像を形成する凸面の第2反射鏡と、 前記第1反射鏡と前記第2反射鏡により結像された中間
    像を最終像面に再結像させる凹面の第3反射鏡とを有す
    る軸外し反射光学系において、 前記中間像と前記第3反射鏡との間の光路中に折返し平
    面鏡をさらに有し、 前記最終像面には複数の1次元センサを並列に配置し、
    前記各1次元センサの位置に対応して、前記折返し平面
    鏡の反射面には複数の帯状のバンドパス反射膜が形成さ
    れていることを特徴とする軸外し反射光学系。
  2. 【請求項2】 前記最終像面の近傍に非球面光学素子を
    さらに有することを特徴とする請求項1に記載の軸外し
    反射光学系。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009290220A (ja) * 2004-12-27 2009-12-10 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびデバイス製造方法

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