JP2002189179A - 光アドドロップマルチプレクサ - Google Patents
光アドドロップマルチプレクサInfo
- Publication number
- JP2002189179A JP2002189179A JP2001302154A JP2001302154A JP2002189179A JP 2002189179 A JP2002189179 A JP 2002189179A JP 2001302154 A JP2001302154 A JP 2001302154A JP 2001302154 A JP2001302154 A JP 2001302154A JP 2002189179 A JP2002189179 A JP 2002189179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- mirror
- output
- optical
- fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12019—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the optical interconnection to or from the AWG devices, e.g. integration or coupling with lasers or photodiodes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
- G02B6/3546—NxM switch, i.e. a regular array of switches elements of matrix type constellation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
ムが不要な光学スイッチを提供する。 【解決手段】 第1入力ファイバを通じてOADMに入
る光ビームは、波長で分離されて複数の光ビームを生じ
る。一方の光ビームはミラーの1つあるいは2つ以上に
よって反射される。光ビームの到達するミラーの位置に
応じ、ビームは逆反射器の第1、第2領域に向かって反
射される。光ビームが逆反射器の第2領域で反射される
と、光ビームはミラーアレイに再び進行し、その後波長
複合器に向かって反射され、第2出力ファイバに出力さ
れる。第1波長光ビームがドロップ出力に向けて反射さ
れると、第1入力からの光の他の波長は、「アウト」光
ファイバに向けられる。ミラーの別の1群は、第1群と
協働して、「ドロップ」出力ファイバ宛ての光ビームを
「ドロップ」出力に関連づけられた波長複合器に向け
る。ミラーの他の群は、第2入力、「アド」ファイバか
らのさまざまな波長を第1出力「アウト」にスイッチす
るように動作する。
Description
野に関し、より詳細には、光ファイバ通信、特に稠密波
長分割多重方式を用いた分散型光通信システムに関す
る。
て、2点間に鮮明かつ高速な通信を可能にする。光通信
システムによって提供される帯域幅と効率は周知であ
る。1本のファイバで、途方もない長い距離に亘って大
量の情報を搬送可能である。実際の通信システムでは、
互いにネットワーク化された多数のファイバを利用し
て、ネットワーク上の各2点間に少なくとも1つの経路
を提供するような通信ウェブを形成する。各2点を接続
するようにネットワークを構成するには、多数のスイッ
チが必要である。
1つの方法では、入力ファイバによって搬送される光学
信号を電気信号に変換し、この電気信号を用いて第2フ
ァイバを通じて伝送される別の光ビームを変調する。こ
の方法は、単に光ビームをスイッチングする方法よりも
遙かに遅く、しかも、伝送された光学信号に雑音が入り
込む可能性がある。第1ファイバからの光ビームを有意
な損失なしに直接第2ファイバに結合するような純粋な
光学スイッチングは、遙かに高速で効率も良く、従って
望ましい。
ている。入力および出力ファイバを物理的に整列させる
機械式手段を用いるものがある。このような機械式スイ
ッチは、典型的には、遅く、大きく、非常に高価であ
る。必要なのは、構成するのに非常に迅速で、光ビーム
を電気に変換する必要のない、改良された光学スイッチ
である。
明白になり、しかも、以下にある程度示され、また、本
発明によって達成されるが、本発明は、光アドドロップ
マルチプレクサの方法と装置を提供する。請求項記載の
本発明の一実施例は、光アドドロップマルチプレクサと
して理想的に構成した光学スイッチを提供する。本光学
スイッチは、第1入力光学信号を提供するように動作可
能な第1入力と、第2入力光学信号を提供するように動
作可能な第2入力と、第1及び第2信号のどちらかを伝
送するように動作可能な第1出力と、第1信号を伝送す
るように動作可能な第2出力と、逆反射器と、第1、第
2、第3、および、第4偏光器とを有する。第1偏光器
は、第1入力からの第1入力光学信号を逆反射器上の第
1地点へ向ける第1状態で動作可能である。第1偏光器
はまた、第1入力光学信号を逆反射器上の第2地点へ向
ける第2状態でも動作可能である。第2偏光器は、逆反
射器上の第2地点からの第1入力光学信号を第2出力へ
向けるように動作可能である。第3偏光器は、第2入力
からの第2入力光学信号を逆反射器上の第3地点へ向け
るように動作可能である。第4偏光器は、逆反射器上の
第1地点からの第1入力光学信号を第1出力へ向ける第
1状態で動作可能である。第4偏光器はまた、逆反射器
上の第3地点からの第2入力光学信号を第1出力へ向け
る第2状態でも動作可能である。
ルチプレクサとして理想的に適した光学スイッチを提供
する。本光学スイッチは、第1入力光学信号を提供する
ように動作可能な第1入力と、第2入力光学信号を提供
するように動作可能な第2入力と、第1及び第2信号の
どちらかを伝送するように動作可能な第1出力と、第1
信号を伝送するように動作可能な第2出力と、逆反射器
と、第1入力光学信号を受信し、第1入力光学信号を少
なくとも2つの第1入力信号成分に分離するように動作
可能な信号分離器と、第1、第2、第3、および、第4
偏光器とを有する。第1偏光器は、第1入力からの少な
くとも1つの第1入力光学信号成分を逆反射器の第1領
域へ向ける第1状態で動作可能である。第1偏光器はま
た、第1入力からの少なくとも1つの第1入力光学信号
成分を逆反射器の第2領域へ向ける第2状態でも動作可
能である。第2偏光器は、逆反射器の第2領域からの少
なくとも1つの第1入力光学信号成分を第2出力へ向け
るように動作可能である。第3偏光器は、第2入力から
の第2入力光学信号の少なくとも1つの成分を逆反射器
の第3領域へ向けるように動作可能である。第4偏光器
は、逆反射器の第1領域からの少なくとも1つの第1入
力光学信号成分を第1出力へ向ける第1状態で動作可能
である。第4偏光器はまた、逆反射器の第3領域からの
第2入力光学信号を第1出力へ向ける第2状態でも動作
可能である。
ップマルチプレクサとして理想的に適した光学スイッチ
を提供する。本光学スイッチは、第1入力光学信号を提
供するように動作可能な第1入力と、第2入力光学信号
を提供するように動作可能な第2入力と、第1及び第2
信号のどちらかを伝送するように動作可能な第1出力
と、第1信号を伝送するように動作可能な第2出力と、
第1偏光器と、第2偏光器と、第3偏光器と、第4偏光
器とを有する。第1偏光器は、第1入力からの第1入力
光学信号を第4偏光器へ向ける第1状態で動作可能であ
る。第1偏光器はまた、第1入力光学信号を第2偏光器
へ向ける第2状態でも動作可能である。第2偏光器は、
第1偏光器からの第1入力光学信号を第2出力へ向ける
ように動作可能である。第3偏光器は、第2入力からの
第2入力光学信号を第4偏光器へ向けるように動作可能
である。第4偏光器は、第1偏光器からの第1入力光学
信号を第1出力へ向ける第1状態で動作可能である。第
4偏光器はまた、第3偏光器からの第2入力光学信号を
第1出力へ向ける第2状態でも動作可能である。
ップマルチプレクサとして理想的に適した更に別の光学
スイッチを提供する。本光学スイッチは、第1入力光学
信号を提供するように動作可能な第1入力と、第2入力
光学信号を提供するように動作可能な第2入力と、第1
及び第2信号のどちらかを伝送するように動作可能な第
1出力と、第1信号を伝送するように動作可能な第2出
力と、第1入力光学信号を受信し、第1入力光学信号を
少なくとも2つの第1入力信号成分に分離するように動
作可能な信号分離器と、第1、第2、第3、および、第
4偏光器とを有する。第1偏光器は、第1入力からの少
なくとも1つの第1入力光学信号成分を第2偏光器へ向
ける第1状態で動作可能である。第1偏光器はまた、第
1入力からの少なくとも1つの第1入力光学信号成分を
第4偏光器へ向ける第2状態でも動作可能である。第2
偏光器は、第1偏光器からの少なくとも1つの第1入力
光学信号成分を第2出力へ向けるように動作可能であ
る。第3偏光器は、第2入力からの第2入力光学信号の
少なくとも1つの成分を第4偏光器へ向けるように動作
可能である。第4偏光器は、第1偏光器からの少なくと
も1つの第1入力光学信号成分を第1出力へ向ける第1
状態で動作可能である。第4偏光器はまた、第3偏光器
からの第2入力光学信号を第1出力へ向ける第2状態で
も動作可能である。
学領域から電気領域へ変換する必要のない、低コスト
で、高信頼性で、光学的に効率的なスイッチを提供す
る。こうして、スイッチへ入力される光学信号は、不必
要な信号遅延や破壊なしにスイッチ出力として利用可能
である。
気信号に変換することなしに信号を選択的に光学信号路
から落としたり光学信号路に追加したりできる、新しい
光学スイッチ構造が開発されている。この新しい構造
は、マイクロミラーを用いて、入出力信号ストリーム間
で信号を効率的にスイッチする。
ングの応用に利用される光電光変換を示す概略図であ
る。従来技術スイッチは、第1伝送経路、典型的には光
ファイバ104から光学信号102を受信していた。受
容器106は光学信号102を被変調光から電気信号に
変換する。電気スイッチ108は第1入力信号110を
第1出力信号112または第2出力信号114のどちら
かに接続する。同時に、第2入力信号116が他方の出
力信号にスイッチされる。
くる信号は、出力ファイバを通じて長距離伝送される前
に、レーザー120によって光に変換される。スイッチ
108から第2出力114に出てくる信号は、局所的に
電気形式に処理される。スイッチが第1位置にあるとき
には、第1入力110の信号がスイッチを通過して第1
出力112に出力され再伝送される。スイッチが第1位
置にあるとき、典型的には、スイッチの第2入力には信
号が提供されない。第2位置では、第1入力110で受
信した光学信号が第2出力114にスイッチされて、局
所的に処理される一方、第2入力116に提供された信
号が光学形式に変換され、出力ファイバ122を通じて
伝送される。
してきた光信号102を局所的に使用するかどうかに関
わらず、電気形式に変換しなければならない。すなわ
ち、着信してきた光信号102を出力ファイバ122を
通じて伝送したいときには、まず、この着信してきた光
信号を電気信号110に変換しスイッチし、その上で光
学信号118に再変換して出力ファイバ122に提供す
る。この二重変換はそもそも不必要であり、信号の伝送
を遅らせる。さらにまた、受容器106、スイッチ10
8、レーザー120だけでなく、増幅器124などの他
の回路素子も、信号にノイズを加える可能性を持ってい
る。
信号をあらかじめ電気信号に変換せずにそのままスイッ
チングすることによってこれらの問題を回避する。図2
は、本発明の光学スイッチングに関する方法の全てを示
す概略図である。図2において、光ファイバ202は光
学入力信号を提供し、ファイバ204はその光学出力信
号を伝送する。第2光学入力206によって、レーザー
210からの光学信号208を出力ファイバ204に提
供することができる。レーザー210は電気信号212
によって変調される。第2出力214は、スイッチ20
0から出力される光学信号を受容器216に提供し、受
容器216はこの光学信号を電気信号218に変換す
る。
ロップマルチプレクサ(OADM)と称される。このス
イッチは、光学ネットワークにおいて、受信信号をネッ
トワークに渡し、新しい信号を伝送ストリームに追加
(アド)し、伝送ストリームから信号を落とす(ドロッ
プ)ために使用される。ネットワークにおける各ファイ
バは、典型的には、数個の信号を搬送する。波長分割多
重方式(WDM)あるいは稠密波長分割多重方式(DW
DM)を用いて、各信号に別個の波長を割り当てる。フ
ァイバ中の各信号は、異なる目的地を持って良い。信号
は波長によって分離され、それぞれの目的地に達した信
号は第2出力214を使用して「ドロップ」される。ま
だそれぞれの予定目的地に達していない信号は第1出力
204を通過させられ、ネットワークの別のノードまで
ファイバに留まる。別のノードに伝送されるべき現在ノ
ード発の信号は、第2入力206経由でスイッチに入力
され、スイッチによって、第1出力204を通じて伝送
される他の信号に追加される。本発明はOADMに関し
て説明されるが、スイッチの他の応用も考えられると理
解すべきである。
信号を少なくとも2つの経路の一方に選択的に向けるこ
とができる構成要素を必要とする。マイクロミラー装置
が好適である。OADMで使用されるマイクロミラー
は、電磁力、静電力、圧電力、または、他の力を用いて
動作する。マイクロミラーは、共通基板上に組み立てら
れたミラーアレイ、あるいは、OADMに別体に組み立
てられたミラーアレイである。ミラーは、シリコン、
金、アルミニウム、あるいは、スイッチによって伝送さ
れる複数波長の信号エネルギーを反射可能な他の金属ま
たは材料である。ミラーが十分に大きければ、1つのミ
ラーが全ての信号を反射するのに用いられる。あるい
は、複数の小ミラーが各信号を集合的に反射するのに用
いられる。
ラーの1つは、捻り軸を中心にどちらかの方向に回転可
能な静電アルミニウムマイクロミラーである。このよう
なマイクロミラーの1例は、テキサスインスツルメンツ
社製のデジタルマイクロミラーデバイスTM、すなわち、
DMDTMである。DMDは、それぞれ典型的には直径1
2ないし16μMの微小ミラーから構成される大きなア
レーである。DMDは、典型的には、各ミラーが時計回
り方向あるいは反時計回り方向のどちらかに選択的に回
転させられる双安定デジタルモードで動作される。
る典型的なマイクロミラー装置の一部の斜視図である。
図3に示すマイクロミラーは、捻りヒンジ320および
上部構造のほかの部分を入射光から保護隠蔽するように
ミラー302を捻りヒンジ320上に上昇させるので、
いわゆる被蓋ヒンジ型である。マイクロミラー300
は、しばしば1000を超えるマイクロミラー行列を有
するマイクロミラーセルあるいは素子の直交アレーであ
る。図3は、マイクロミラーアレイの下層機械構造を示
すために数個のミラー302を取り除いた、従来技術の
マイクロミラーアレイの小部分を示す。
には、シリコン基板304上に組み付けられる。電気制
御回路素子は、典型的には、標準的な集積回路プロセス
フローを用いて半導体基板304内あるいは半導体基板
304上に組み付けられる。この回路素子は、典型的に
は、各ミラー302に関連づけられた、典型的には下層
をなすメモリーセルと、下層メモリーセルへのデジタル
画像データ転送を制御するデジタル論理回路とを有する
が、しかしそれに制限されるわけではない。バイアスを
掛けてミラー上部構造への信号をリセットする電圧駆動
回路は、マイクロミラー基板上に組み付けてもよいし、
マイクロミラーの外側にしても良い。イメージ処理およ
び形式化ロジックも、何らかの設計を持つ基板304内
に形成される。本開示のために、アドレス指定回路素子
は、直流電圧結線と共用メモリーセルを有し、マイクロ
ミラーのミラーの回転方向を制御するために用いられる
回路素子を含むと考える。
は、絶縁層306によってマイクロミラー上部構造から
絶縁される。絶縁層306は、典型的には、マイクロミ
ラー上部構造が形成される蒸着二酸化シリコン層であ
る。マイクロミラー上部構造と、基板304に形成され
る電気回路素子との電気接続を可能にするために、穴あ
るいは通路が酸化層に開けられる。
には、第3金属皮膜層であり、それゆえ、しばしばM3
と呼ばれる。最初の2つの金属皮膜層は、典型的には、
基板上に組み付けられた回路素子と相互接続するのに必
要とされる。第3金属皮膜層は、絶縁層上に蒸着され、
アドレス電極310とミラーバイアス結線312を形成
するようにパターニングされる。マイクロミラー設計に
は、複数のランディング電極を持つものがあり、それら
の電極は、それぞれ独立した個別の構造をもつが、ミラ
ーバイアス結線312に電気的に接続される。ランディ
ング電極は、ミラー302の回転を制限し、回転された
ミラー302あるいはヒンジヨーク314が、ミラー3
02に対して電位差を持つアドレス電極310に接触す
るのを防止する。ミラー302がアドレス電極310と
接触すると、結果として生じる短絡が捻りヒンジ316
を溶融したりミラー302をアドレス電極310に溶着
することがあり、どちらの場合にしてもマイクロミラー
を破壊してしまう。
電圧が常に印可されるので、ミラーバイアス結線とラン
ディング電極は、可能ならば単一構造に結合されること
が好ましい。ランディング電極は、ミラーバイアス・リ
セット結線312上にランディングサイトと呼ばれる領
域を有することによって、ミラーバイアス結線312と
結合される。この領域は、ミラー302あるいは捻りヒ
ンジヨーク314のどちらかと接触することによって、
ミラー302の回転を機械的に制限する。これらのラン
ディングサイトは、しばしば、ミラー302と捻りヒン
ジヨーク314があるランディングサイトに付着する傾
向を減少するように選択された材料で被覆される。
バイアス・リセット金属皮膜312とミラーとを用いた
経路と隣接ミラー素子の捻りビームとの組み合わせを経
て各ミラー302へ伝わる。スプリットリセット設計に
は、それぞれが独立したミラーバイアス結線を有する多
数のサブアレイに細分化されるミラーアレイが必要であ
る。マイクロミラー素子は、単にサブアレイ間のミラー
バイアス・リセット層を絶縁することによって、電気的
に絶縁した行あるいは列に簡単に分離されるので、図3
に示すランディング電極・ミラーバイアス312の構成
は、スプリットリセットの応用に理想的に適している。
図3のミラーバイアス・リセット層は、絶縁した素子の
行に分割されたものを示してある。
持体の第1層が、アドレス電極310およびミラーバイ
アス結線312を形成する金属層上に形成される。ヒン
ジ支持体スペーサヴァイア316および上部アドレス電
極スペーサヴァイア318を含む、これらのスペーサヴ
ァイアは、典型的には、アドレス電極310およびミラ
ーバイアス結線312を覆って薄いスペーサ層を形成す
ることによって形成される。この薄いスペーサ層は、典
型的には、1μm厚の正フォトレジスト層である。この
薄いスペーサ層の厚さとランディングヨーク314とス
プリングティップ328の大きさによって、完成後のミ
ラーが回転する角度が決まる。フォトレジスト層を蒸着
させた後、露光、パターンニング、深く紫外線硬化し
て、スペーサヴァイアが形成される穴を形成する。この
スペーサ層と、後に組み付け工程で用いられるより厚い
スペーサ層は、組み付け工程中の形状としてのみ用いら
れ、装置動作前に装置から除去されるので、しばしば、
犠牲層と呼ばれる。
パッタリングされる。その後、酸化物がこの薄い金属層
を覆って蒸着され、後にヒンジ320を形成する領域に
エッチマスクを形成するようにパターン形成する。金
属、典型的にはアルミニウム合金のより厚い層がこの薄
い層と酸化物エッチマスク上にスパッタリングされる。
別の酸化物層が蒸着され、ヒンジヨーク314、ヒンジ
キャップ322、および、上部アドレス電極324を規
定するようにパターン形成される。この第2酸化物層を
パターン形成した後に、2つの金属層は同時にエッチン
グされ、厚い硬質のヒンジヨーク314、ヒンジキャッ
プ322、上部アドレス電極324、および、薄い軟質
の捻りビーム320を残して、酸化物エッチング止めが
除去される。
蒸着し、ミラー支持体スペーサヴァイア326の形成さ
れる穴を規定するようにパターンを形成する。厚いスペ
ーサ層は、典型的には、2μm厚の正フォトレジスト層
である。ミラー金属層、典型的にはアルミニウム合金層
が厚いスペーサ層の表面上と厚いスペーサ層の穴内にス
パッタリングされる。その後、ミラー302を形成する
ようにこの金属層をパターン形成して、プラズマエッチ
ングを用いて両スペーサ層を除去する。
と、ミラーは、捻りヒンジによって形成された軸を中心
に自由に回転できる。事実上空隙コンデンサの2つの板
を形成するアドレス電極310と偏光可能な剛性部材の
間の静電吸引力が、ミラー構造を回転するのに用いられ
る。マイクロミラー装置の設計によるが、偏光可能な剛
性部材は、捻りビームヨーク314や、ビームあるいは
ミラー302や、捻りヒンジに直接取り付けられるビー
ムや、あるいは、それらの組み合わせである。上部アド
レス電極324も偏光可能な剛性部材を静電気的に引き
つける。
離の逆数の関数である。剛性部材が静電トルクのために
回転すると、捻りビームヒンジは、捻りビームの角偏向
のほぼ線形関数である復原トルクに伴う変形に耐える。
この構造は、復原捻りビームトルクが静電トルクに等し
くなるまで、あるいは、回転する構造と固定部品との接
触によって回転が機械的に阻止されるまで回転する。後
述するように、多くのマイクロミラー装置は、マイクロ
ミラー上部構造の全偏向を確保するために十分に大きな
バイアス電圧が用いられるようなデジタルモードで動作
させる。
動作モードのうちの一方で動作させる。第1の動作モー
ドは、時にはビームステアリングと呼ばれるアナログモ
ードであり、アドレス電極は望ましいミラー偏向に応じ
た電圧に充電される。マイクロミラー装置に到達する光
は、ミラーの偏向によって決定される角度でミラーによ
って反射される。
る。デジタルに動作させると、各マイクロミラーは捻り
ビーム軸を中心に2つの方向のうちのどちらか一方に全
偏向される。デジタル動作は比較的大きな電圧を用いて
ミラーの全偏向を確保する。標準的な論理電圧レベルを
用いてアドレス電極を駆動する方が有利なので、典型的
には負の電圧であるバイアス電圧をミラー金属層に印加
してアドレス電極とミラーの間の電圧差を増加させる。
十分に大きなミラーバイアス電圧、即ち、装置の破壊電
圧と称される電圧を超える電圧の使用によって、アドレ
ス電圧の無いときでもミラーが最も近いランディング電
極に確実に偏向する。それゆえ、大きなミラーバイアス
電圧を使用することによって、アドレス電圧はミラーを
僅かに偏向させるほどの大きさであることだけが必要と
なる。
である。簡単にするため、OADMへの入力信号は単一
の信号、即ち、単一の波長からなるとする。WDMおよ
びDWDMネットワークで発見された多重信号をスイッ
チするように構成された更なる実施例を以下に説明す
る。
2つの出力を有する。第1入力ファイバ402はOAD
M400に1つの光学信号を提供する。この第1入力フ
ァイバ402、即ち、「イン」ファイバは、典型的に
は、光学ネットワークの遠隔部分からの信号を提供す
る。第2入力404、即ち、「アド」ファイバは、ロー
カル信号をネットワークに伝送可能にする。2つの出力
ファイバには、典型的にはネットワークの他所に接続し
た第1出力406と、典型的にはローカル装置に信号を
送るために用いられる第2出力408とが含まれる。
る光の分散を制御するように構成された焦点調節光学部
品、典型的には、屈折率分布レンズに連結される。焦点
調節光学部品は、典型的には、フェルール410に保持
される。フェルール410は、ファイバを光学部品と位
置合わせし、ファイバをホルダーブロック412に装着
する手段を提供する。さらに討議すれば、ホルダーブロ
ック412の底面は、典型的には、反射面である。
つの個別ミラー416を有する。ミラー422、42
6、428、430は、それぞれ、図4の平面に垂直な
軸を中心に時計回り方向あるいは反時計回り方向に傾斜
するように動作可能である。ミラーの支持構造は図示さ
れていないが、その代わり、各ミラーは、どちらかの方
向に傾斜するように動作可能なことを示す三角形の頂点
上に支持されているものとして図示されている。図4の
ミラーは、全て、単一の基板418上に組み付けられ
る。
クサを通過する信号を示す、マルチプレクサの側面図で
ある。図5において、第1入力ファイバ402からOA
DMに入る光420は、第1ミラー422に進行する。
ミラーが第1位置に、図5に図示する場合には反時計回
り方向に、傾斜されると、光ビーム420はホルダーブ
ロック412上の第1地点または領域424に向かって
反射される。ホルダーブロック412は光ビーム420
を第4ミラー426に向かって反射する。第4ミラー4
26が第1位置にあると、図5の場合、図示のように時
計回り方向に回転されると、ホルダーブロック412に
よって反射された光ビーム420は、ホルダーブロック
412の第1領域424からOADMからの第1出力フ
ァイバ406へ向けられる。こうして、第1入力ファイ
バ402上のOADMによって受信された信号は、OA
DMを通過して、第1出力ファイバ406上のOADM
を出る。
第2スイッチ位置を示す、図4のOADMの側面図であ
る。図6において、第1ミラー422は時計回り方向に
第2位置まで回転される。第2位置では、第1ミラー4
22が第1入力ファイバ402からの光ビーム420を
ホルダーブロック412上の第2地点あるいは領域43
2に向かって反射する。第2領域432から、光ビーム
420は、第2ミラー428に進行し、第2出力ファイ
バ408、即ち、「ドロップ」ファイバに向かって反射
される。
20がドロップされるのと同時に、別の光ビーム434
が第1出力ファイバ406に提供される。第2光ビーム
434は、第2入力ファイバ404、即ち、「アド」フ
ァイバを出て、第3ミラー430によってホルダーブロ
ック412上の第3地点あるいは領域436に向かって
反射される。第3領域436から、光は、第4ミラー4
26に進行する。第4ミラー426は、それが図6に示
す(反時計回り方向に回転された)第2位置にあれば、
第2光ビーム434を第1出力ファイバ406に導く。
の逆反射器438を示す、図4のOADMの側面図であ
る。逆反射器438は、光信号を反射するのに用いられ
るそれぞれの領域において、単一反射器、または、別個
の反射器である。逆反射器は、典型的には平坦である
が、光ビームを反射させながら焦点を合わせるために湾
曲、典型的には凹面に湾曲させても良い。
ムの直径より小さなミラーもOADMを形成するのに用
いられる。図8は、図4の各大ミラーに代えて小ミラー
群を使用し1アレーを構成する場合を示す、図4の光ア
ドドロップマルチプレクサの側面図である。図8におい
て、第1入力ファイバ402からの光は第1偏光器、典
型的には、マイクロミラー群804によって偏向され
る。偏光器804が第1位置にあるときには、入力光
は、第1経路812に沿って第4偏光器810に向けら
れ、その後第1出力ファイバ406に向けられる。偏光
器804が第2位置にあるときには、入力光は、第2経
路814に沿って第2偏光器806に向けられ、第2偏
光器806から第2出力408に向けられる。第2入力
404からの光は、偏光器808によって1つの経路に
沿って第4偏光器810に向けられ、そこから第1出力
406に向けられる。
さなミラーが用いられるときには、ミラーアレイのブレ
ーズ動作を確実にするようミラー回転角を選択すべきで
ある。通常のマイクロミラー装置におけるミラーは、各
側がそれぞれ16μmで、周囲のミラーから間隔が1μ
mあいている。米国特許出願番号第60/223,366に述べら
れているように、適切な偏向角の選択によって、効率的
なブレーズ状態におけるアレイの動作が保証される。上
述のように、中心間隔17μmのミラーに関しては、理
想的な偏向角は9.6°と13.8°になる。
けるために、本開示の大半は、各反射のために使用され
る単一ミラーに適用し、スイッチにおけるミラー全体を
ミラーアレイ414として集合的に言及する。文脈が特
に指摘しない限り、単一ミラーへの言及は、それぞれ、
単一ミラーかミラー群かどちらか一方への言及であると
理解されるべきである。
の主要な利点は、さまざまな信号成分をWDMまたはD
WDM光学信号にスイッチングして出入りさせて達成さ
れる。図9は、稠密波長分割多重方式OADMの概略図
である。図9において、第1入力ファイバ402からO
ADMに入る光ビームは、波長によって分離されて、2
つの光ビーム902、904を生じる。波長分離器90
6によって出力される分離光ビームの数は臨界ではな
く、波長を分離するスプリッタの能力と、異なる波長を
発生させる光学ネットワークのほかの部分の能力とによ
って決まる。
おけるミラー(図示せず)のうちの1つあるいは2つ以
上によって反射される。光ビーム902の到達するミラ
ーの位置によって、光ビーム902は逆反射器910の
第1領域に向かって反射するか、あるいは、第2領域9
12に向かって反射する。図7のように、逆反射器が、
単一素子であるか、あるいは、別個の反射器が各領域そ
れぞれのために使用される。図示のように、光ビーム9
02が逆反射器の第2領域912で反射されると、ミラ
ーアレイ908に再び進行し、波長複合器914に向か
って反射され、第2(「ドロップ」)出力ファイバ40
8に出力される。
08に向かって反射されると、第1入力402からの光
の他の波長、例えば、光ビーム904は、「アウト」光
ファイバ406に向けられる。光ビーム902と904
は、図9のOADMによってスイッチされる波長のスペ
クトルの両端を占めるものとして図示されている。アレ
イ908のミラー914の第1群は、このように、入力
光学信号のさまざまな波長を「アウト」光ファイバ40
6か「ドロップ」光ファイバ408のどちらかに選択的
にスイッチするために使用される。ミラー914の別の
1群は、第1群と協働して、「ドロップ」出力ファイバ
408宛ての光ビームを「ドロップ」出力に関連づけら
れた波長複合器に向ける。図9では示されていないが、
ミラーの他の群は、第2入力404、つまり、「アド」
ファイバからのさまざまな波長を第1出力「アウト」に
スイッチするように動作する。
9は、OADMにおける各光学素子を一々描写しようと
するものではない。さまざまな追加素子が光学設計者の
裁量で何らかの応用のために使用されることが考えられ
る。例えば、入力ファイバと波長分離器の間、波長複合
器914と出力ファイバの間、および、ミラーアレイ9
08と分離器906あるいは複合器914の間に焦点調
節光学部品が追加されても良い。さらにまた、分離器9
06および複合器914として別々に示されているが、
本開示は他の構成をも包含すると理解すべきである。例
えば、全ての分離器および複合器を単一の回折格子また
はプリズムに置き換えることも可能である。
いられるビーム分割装置の側面図である。図10におい
て、入力ファイバ1000からの光は、光学部品100
2によって平行化され、回折格子1004のようなビー
ム分離器に到達する。回折格子は、入力光ビームの成分
ビームを空間的に分離する。成分ビームは第2焦点調節
光学部品1006によってミラーアレイ1008に向け
られる。上述のように、ミラーアレイは、少なくとも2
つの出力ファイバのうち1つに選択的にビームを向け
る。
いられる第2ビーム分割装置の側面図である。図11に
おいて、入力ファイバ1000からの光は、焦点調節光
学部品1002によって回折格子1004などのビーム
分離器上に再び焦点を合わさせられる。分離されたビー
ムは、その後、1組の光ファイバ1010によって個別
に捕捉される。光ファイバ1010は、分離された光ビ
ームをミラーアレイ1008に再放出する。図10と図
11は共に分離光ビームをミラーアレイ1008の平面
に対して垂直に向けるように示しているが、この配向は
必須ではないと理解すべきである。しかしながら、図示
のように光ビームを再配向することによって、光ビーム
が光学分離器から発散し続けうることに比べて、幾つか
の点で設計が簡単になる。
いられる別のビーム分割装置の側面図である。図12に
おいて、入力ファイバ1000からの光は、PHASA
Rとしても知られるアレイ導波路格子に入る。アレイ導
波路格子ルータは、回折格子として機能する一連のアレ
イチャンネル導波路を含む。アレイ導波路格子は、40
以上のDWDMチャンネルの使用を可能にする。アレイ
導波路格子によって分離された光は、一連のファイバ1
202を通じてOADMのミラーアレイ1008に出力
される。
交互配置を示すOADMの側面図である。図13におい
て、光学信号は第1入力ファイバ1302と第2入力フ
ァイバ1304、つまり、「アド」ファイバとによって
OADMに提供される。第1入力ファイバ1302から
の入力は、第1ミラー1306によって、第1ミラーが
第1位置にあれば第3ミラー1308に、第1ミラー1
306が第2位置にあれば第2ミラー1310に反射さ
れる。図13では、第1ミラーは、光を第2ミラー13
10に向けて反射する第2位置に示されている。第2ミ
ラーは、第1入力ファイバ1302からの光を第2出力
ファイバ1318、つまり、「ドロップ」ファイバに向
けて反射する。第2入力ファイバ1304、つまり、
「アド」ファイバからの光は、第3ミラー1314によ
って第4ミラー1308に向けて反射される。第4ミラ
ーは第2入力ファイバ1304からの光を第1出力ファ
イバ1316、つまり、「アウト」ファイバに導く。
す、図13のOADMの概略図である。図14に示すよ
うに、第1ミラー1306が第1位置にあると、第1光
ファイバ入力1302からの光は第4ミラー1308に
伝送される。第4ミラーは第1位置に回転され、その結
果、第1光ファイバ入力1302からの光は第1出力フ
ァイバ1316、つまり、「アウト」ファイバに伝送さ
れる。図13および図14に示す光学スイッチの交互配
置を図4から図9の配置と比べると、図13および図1
4の交互配置は同様の機能を果たすが、少なくとも2つ
のミラーアレイを用い、逆反射器を用いないということ
が分かる。
は、第2ミラー1310と第3ミラー1314は動作す
る必要がないことが明白である。図5および図6に戻る
と、先行構成の第2偏向部材428と第3偏向部材43
0にも同じことが言えることは明白である。このよう
に、偏向部材は、4つの可動部材または可動部材のアレ
ー、あるいは、2つの固定偏向部材と組み合わせた2つ
の可動部材または可動部材のアレーからなっても良い。
さらにまた、固定偏向部材は、可動部材同様、平坦な光
学面は勿論、湾曲した光学面を有しても良い。例えば、
ある応用では、球面または非球面偏向曲面を用いること
は、光を1つのファイバあるいはミラーから次のファイ
バあるいはミラーに焦点調節するのに、あるいは、組立
中のOADMの配列を単純化するのに役立つ。
さまざまな入力信号成分の波長に基づいて複数の入力信
号に分割されるWDMおよびDWDMの応用においても
使用される。これらのさまざまな入力信号成分は、その
後、異なるミラーアレイあるいは共用ミラーアレイの異
なる部分によって互いに独立にスイッチされる。このこ
とによって、信号を電気領域に変換せずに伝送されてき
た光学信号に/からさまざまな成分をアドあるいはドロ
ップすることが可能になる。
サとその方法などに関する特定の実施例をここまで開示
してきたが、このような特定の言及は、以下の項におい
て述べる限りのものを除いて、本発明の範囲に対する限
定と意図的に見なすものではない。さらに、いくつかの
具体的な実施例に基づいて本発明を説明してきたが、当
業者には更なる変更が浮かぶことは理解されることであ
り、以下の項の範囲内にあるような変更も全て包含する
ことを意図するものである。
出願はこの出願の参照に引用される。 特許番号:5,061,049、出願日:1990年9
月13日、発効日:1991年10月29日、タイト
ル:空間光変調器、 特許番号:5,583,688、出願日:1993年1
2月21日、発効日:1996年12月10日、タイト
ル:マルチレベル・デジタル・マイクロミラー・デバイ
ス、 出願番号:60/223,366、出願日:2000年
8月7日、タイトル:2次元ブレーズ解析格子、 社内分類番号:TI−29766、タイトル:マイクロ
ミラー光学スイッチ、 社内分類番号:TI−29778、タイトル:マイクロ
ミラー光学スイッチ、
る。 (1) 第1入力光学信号を提供するように動作可能な
第1入力と、第2入力光学信号を提供するように動作可
能な第2入力と、前記第1及び第2信号のどちらかを伝
送するように動作可能な第1出力と、前記第1信号を伝
送するように動作可能な第2出力と、逆反射器と、前記
第1入力からの前記第1入力光学信号を前記逆反射器上
の第1地点へ向ける第1状態で動作可能であり、かつ前
記第1入力光学信号を前記逆反射器上の第2地点へ向け
る第2状態で動作可能な第1偏光器と、前記逆反射器上
の前記第2地点からの前記第1入力光学信号を前記第2
出力へ向けるように動作可能な第2偏光器と、前記第2
入力からの前記第2入力光学信号を前記逆反射器上の第
3地点へ向けるように動作可能な第3偏光器と、前記逆
反射器上の前記第1地点からの前記第1入力光学信号を
前記第1出力へ向ける第1状態で動作可能であり、かつ
前記逆反射器上の前記第3地点からの前記第2入力光学
信号を前記第1出力へ向ける第2状態で動作可能な第4
偏光器とを有する光学スイッチ。 (2) 前記逆反射器が少なくとも2つの別個の逆反射
器からなる、第1項記載の光学スイッチ。 (3) 前記逆反射器が湾曲反射面である、第1項記載
の光学スイッチ。 (4) 前記逆反射器が前記信号のうち少なくとも1つ
を焦点調節するように動作可能である、第1項記載の光
学スイッチ。 (5) 前記第1、第2、第3、第4偏光器のうち少な
くとも1つが湾曲反射面である、第1項記載の光学スイ
ッチ。 (6) 前記第1入力光学信号を受信し、前記第1入力
光学信号を少なくとも2つの第1入力信号成分に分離す
るように動作可能な信号分離器を有する、第1項記載の
光学スイッチ。 (7) 前記信号分離器がさらに格子を有する、第6項
記載の光学スイッチ。 (8) 前記信号分離器がさらにプリズムを有する、第
6項記載の光学スイッチ。 (9) 前記信号分離器がさらにホログラムを有する、
第6項記載の光学スイッチ。 (10) 前記信号分離器がさらにアレイ導波路格子を
有する、第6項記載の光学スイッチ。 (11) 第1入力光学信号を提供するように動作可能
な第1入力と、第2入力光学信号を提供するように動作
可能な第2入力と、前記第1及び第2信号のどちらかを
伝送するように動作可能な第1出力と、前記第1信号を
伝送するように動作可能な第2出力と、第1偏光器と、
第2偏光器と、第3偏光器と、第4偏光器とを有し、前
記第1偏光器は、前記第1入力からの前記第1入力光学
信号を前記第4偏光器へ向ける第1状態で動作可能であ
り、かつ前記第1入力光学信号を前記第2偏光器へ向け
る第2状態で動作可能であり、前記第2偏光器は、前記
第1偏光器からの前記第1入力光学信号を前記第2出力
へ向けるように動作可能であり、前記第3偏光器は、前
記第2入力からの前記第2入力光学信号を前記第4偏光
器へ向けるように動作可能であり、前記第4偏光器は、
前記第1偏光器からの前記第1入力光学信号を前記第1
出力へ向ける第1状態で動作可能であり、かつ前記第3
偏光器からの前記第2入力光学信号を前記第1出力へ向
ける第2状態で動作可能である、光学スイッチ。 (12) 前記第1、第2、第3、第4偏光器のうち少
なくとも1つが反射面のアレーからなる、第11項記載
の光学スイッチ。 (13) 前記第1、第2、第3、第4偏光器が反射面
の単一アレーからなる、第11項記載の光学スイッチ。 (14) 前記第1入力光学信号を受信し、前記第1入
力光学信号を少なくとも2つの第1入力信号成分に分離
するように動作可能な信号分離器を有する、第11項記
載の光学スイッチ。 (15) 前記信号分離器がさらに格子を有する、第1
4項記載の光学スイッチ。 (16) 前記信号分離器がさらにホログラムを有す
る、第14項記載の光学スイッチ。
M)として理想的に適した光学スイッチ。第1入力ファ
イバ(402)を通じてOADMに入る光ビームは、波
長によって分離されて複数の光ビーム(902、90
4)を生じる。一方の光ビーム(902)はミラーアレ
イ(908)におけるミラーの1つあるいは2つ以上に
よって反射される。光ビーム(902)の到達するミラ
ーの位置に応じて、ビームは逆反射器(910)の第1
領域、または、第2領域(912)に向かって反射され
る。光ビーム(902)が逆反射器の第2領域(91
2)によって反射されると、光ビーム(902)はミラ
ーアレイ(908)に再び進行し、その後波長複合器
(914)に向かって反射され、第2(「ドロップ」)
出力ファイバ(408)に出力される。第1波長光ビー
ム(902)がドロップ出力(408)に向けて反射さ
れるときには、第1入力(402)からの光の他の波
長、例えば、光ビーム904は、「アウト」光ファイバ
(406)に向けられる。アレイ(908)におけるミ
ラー(914)の第1群は、このように、入力光学信号
のさまざまな波長を「アウト」光ファイバ(406)ま
たは「ドロップ」光ファイバ(408)のどちらかに選
択的にスイッチするために用いられる。ミラー(91
4)の別の1群は、第1群と協働して、「ドロップ」出
力ファイバ(408)宛ての光ビームを「ドロップ」出
力に関連づけられた波長複合器に向ける。ミラーの他の
群は、第2入力(404)、つまり、「アド」ファイバ
からのさまざまな波長を第1出力「アウト」にスイッチ
するように動作する。
利用される光電光変換を示す概略図である。
である。
イクロミラー装置の一部の斜視図である。
光アドドロップマルチプレクサの側面図である。
る信号を示す、マルチプレクサの側面図である。
位置を示す、図4のOADMの側面図である。
示す、図4の光アドドロップマルチプレクサの側面図で
ある。
れるアレーを使用する場合を示す、図4の光アドドロッ
プマルチプレクサの側面図である。
レクサの概略図である。
マルチプレクサに用いられるビーム分割装置の側面図で
ある。
マルチプレクサに用いられるビーム分割装置の側面図で
ある。
マルチプレクサに用いられるビーム分割装置の側面図で
ある。
ドドロップマルチプレクサの概略図である。
ロップマルチプレクサの概略図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 第1入力光学信号を提供するように動作
可能な第1入力と、 第2入力光学信号を提供するように動作可能な第2入力
と、 前記第1及び第2信号のどちらかを伝送するように動作
可能な第1出力と、 前記第1信号を伝送するように動作可能な第2出力と、 逆反射器と、 前記第1入力からの前記第1入力光学信号を前記逆反射
器上の第1地点へ向ける第1状態で動作可能であり、か
つ前記第1入力光学信号を前記逆反射器上の第2地点へ
向ける第2状態で動作可能な第1偏光器と、 前記逆反射器上の前記第2地点からの前記第1入力光学
信号を前記第2出力へ向けるように動作可能な第2偏光
器と、 前記第2入力からの前記第2入力光学信号を前記逆反射
器上の第3地点へ向けるように動作可能な第3偏光器
と、 前記逆反射器上の前記第1地点からの前記第1入力光学
信号を前記第1出力へ向ける第1状態で動作可能であ
り、かつ前記逆反射器上の前記第3地点からの前記第2
入力光学信号を前記第1出力へ向ける第2状態で動作可
能な第4偏光器とを有する光学スイッチ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US23653200P | 2000-09-29 | 2000-09-29 | |
US236532 | 2000-09-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002189179A true JP2002189179A (ja) | 2002-07-05 |
JP4718740B2 JP4718740B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=22889910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001302154A Expired - Lifetime JP4718740B2 (ja) | 2000-09-29 | 2001-09-28 | 光アドドロップマルチプレクサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1205781B1 (ja) |
JP (1) | JP4718740B2 (ja) |
KR (1) | KR100805969B1 (ja) |
DE (1) | DE60132285T2 (ja) |
TW (1) | TW527493B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7349593B2 (en) | 2003-06-27 | 2008-03-25 | Fujitsu Limited | Optical wavelength switch having planar lightwave circuit structure |
JP2010534864A (ja) * | 2007-07-23 | 2010-11-11 | ニスティカ,インコーポレーテッド | 多機能デジタル光スイッチ |
JP2013125278A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Nistica Inc | デジタルマイクロミラーデバイス(dmd)を用い、波長依存損失が低減した光学処理デバイス |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6934069B2 (en) | 2001-04-03 | 2005-08-23 | Cidra Corporation | Chromatic dispersion compensation device having an array of micromirrors |
US7123833B2 (en) | 2001-08-09 | 2006-10-17 | Cidra Corporation | Dynamically reconfigurable optical smart node |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999066354A2 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-23 | Astarte Fiber Networks, Inc. | Planar array optical switch and method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5481631A (en) * | 1994-02-25 | 1996-01-02 | The Perkin-Elmer Corp. | Optical switching apparatus with retroreflector |
DE19644918C2 (de) * | 1996-10-29 | 1999-10-21 | Cms Mikrosysteme Gmbh Chemnitz | Mikromechanische optische Schalteinheit |
EP0936483A3 (en) * | 1998-02-10 | 1999-09-22 | Lucent Technologies Inc. | Optical router with coherent connecting paths |
DE19834212A1 (de) * | 1998-07-29 | 2000-02-10 | Siemens Ag | Steuergerät in einem Kraftfahrzeug und von diesem verwendeter Drucksensor |
EP1155592A2 (en) * | 1999-02-23 | 2001-11-21 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Hybrid wavelength selective optical router and switch |
KR20010051511A (ko) * | 1999-11-09 | 2001-06-25 | 윌리엄 비. 켐플러 | 마이크로미러 광 스위치 |
-
2001
- 2001-09-20 KR KR1020010058260A patent/KR100805969B1/ko active IP Right Grant
- 2001-09-27 DE DE60132285T patent/DE60132285T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-27 EP EP01000509A patent/EP1205781B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-28 JP JP2001302154A patent/JP4718740B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-28 TW TW090124125A patent/TW527493B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999066354A2 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-23 | Astarte Fiber Networks, Inc. | Planar array optical switch and method |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7349593B2 (en) | 2003-06-27 | 2008-03-25 | Fujitsu Limited | Optical wavelength switch having planar lightwave circuit structure |
JP2010534864A (ja) * | 2007-07-23 | 2010-11-11 | ニスティカ,インコーポレーテッド | 多機能デジタル光スイッチ |
JP2013125278A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Nistica Inc | デジタルマイクロミラーデバイス(dmd)を用い、波長依存損失が低減した光学処理デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4718740B2 (ja) | 2011-07-06 |
KR20020025710A (ko) | 2002-04-04 |
DE60132285D1 (de) | 2008-02-21 |
EP1205781B1 (en) | 2008-01-09 |
KR100805969B1 (ko) | 2008-02-25 |
EP1205781A1 (en) | 2002-05-15 |
TW527493B (en) | 2003-04-11 |
DE60132285T2 (de) | 2009-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6816640B2 (en) | Optical add drop multiplexer | |
US7126250B2 (en) | Apparatus comprising an array of tightly spaced rotatable optical elements with two axes of rotation | |
US6859580B2 (en) | Systems and methods for overcoming stiction using a lever | |
US6909530B2 (en) | Movable microstructure with contactless stops | |
Ford et al. | Wavelength add-drop switching using tilting micromirrors | |
US6483962B1 (en) | Optical cross connect switching array system with optical feedback | |
JP5699176B2 (ja) | 波長ルータ | |
US6600591B2 (en) | Micromirror array having adjustable mirror angles | |
US7030537B2 (en) | Movable MEMS-based noncontacting device | |
US6603894B1 (en) | MEMS mirror arrays and external lens system in an optical switch | |
US20070280589A1 (en) | Optical steering element and method | |
US6614581B2 (en) | Methods and apparatus for providing a multi-stop micromirror | |
US6535664B1 (en) | 1×2 optical wavelength router | |
JP2002196173A (ja) | マイクロミラー波長等化器 | |
US6618520B2 (en) | Micromirror optical switch | |
US6678436B2 (en) | Optical switch with moving lenses | |
JP4718740B2 (ja) | 光アドドロップマルチプレクサ | |
EP1099966A2 (en) | Micromirror optical switch | |
JP2004302317A (ja) | 波長選択スイッチ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100716 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101015 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110301 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110318 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |