JP2002196173A - マイクロミラー波長等化器 - Google Patents
マイクロミラー波長等化器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 入力導波管（３０２）、出力導波管（３２
２）、波長分離デバイス（３１０）およびマイクロミラ
ー・アレイ（３１４）を備える波長等化器および光入力
信号の複数の成分を等化する方法を提供する。 【解決手段】 波長分離デバイス（３１０）は、入力光
ビームをサブビームに分割する。マイクロミラー・アレ
イ（３１４）におけるマイクロミラーの第１のサブアレ
イは、第１および第２の位置間で動作可能である。第１
の位置は、サブビームを出力導波管（３２２）に向け、
また第２の位置は、出力導波管（３２２）からサブビー
ムを除外する。光入力信号の複数の成分を分離し、各成
分をマイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、第１
の位置で入射光を出力導波管に向け、かつ第２の位置で
はそうしないように、各サブアレイにおけるマイクロミ
ラーを位置決めし、そしてサブビームを結合して光の出
力ビームとする。
２）、波長分離デバイス（３１０）およびマイクロミラ
ー・アレイ（３１４）を備える波長等化器および光入力
信号の複数の成分を等化する方法を提供する。 【解決手段】 波長分離デバイス（３１０）は、入力光
ビームをサブビームに分割する。マイクロミラー・アレ
イ（３１４）におけるマイクロミラーの第１のサブアレ
イは、第１および第２の位置間で動作可能である。第１
の位置は、サブビームを出力導波管（３２２）に向け、
また第２の位置は、出力導波管（３２２）からサブビー
ムを除外する。光入力信号の複数の成分を分離し、各成
分をマイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、第１
の位置で入射光を出力導波管に向け、かつ第２の位置で
はそうしないように、各サブアレイにおけるマイクロミ
ラーを位置決めし、そしてサブビームを結合して光の出
力ビームとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光システムの分
野に関し、詳しくは、光ファイバ通信システムに関す
る。
野に関し、詳しくは、光ファイバ通信システムに関す
る。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】変調光ビームは、光フ
ァイバ通信システムで情報を運ぶ。単一のファイバが、
いくつかの光ビームを、そしてそれ故に、いくつかの分
離した情報ストリームを運ぶ。ファイバ中の各光ビーム
は、独自の波長を有する。必要ならば、光ビームは波長
によって分離されて、それらに特有の目的先へと経路付
けられる。ネットワークのコースを経て、種々の波長
が、異なる源からおよび異なる経路に沿って到来する。
これは典型的には、結果として、異なる振幅を有する、
異なる波長となる。
ァイバ通信システムで情報を運ぶ。単一のファイバが、
いくつかの光ビームを、そしてそれ故に、いくつかの分
離した情報ストリームを運ぶ。ファイバ中の各光ビーム
は、独自の波長を有する。必要ならば、光ビームは波長
によって分離されて、それらに特有の目的先へと経路付
けられる。ネットワークのコースを経て、種々の波長
が、異なる源からおよび異なる経路に沿って到来する。
これは典型的には、結果として、異なる振幅を有する、
異なる波長となる。
【０００３】種々の振幅が、異なる波長を有するとき、
光増幅は困難である。等化されていない信号は、光増幅
器を通過しても等化されないままである。種々の信号間
の不一致は、増幅でもってさらに悪化さえし得る。ＥＦ
ＤＡは、えり抜きの増幅器であり、というのも、直接関
係するスペクトル全体で利得があるからである。ＥＦＤ
Ａで増幅されるとき、等化されていない源における、よ
り強い信号が自発的に整合／増幅され、より弱い信号を
失わせる。
光増幅は困難である。等化されていない信号は、光増幅
器を通過しても等化されないままである。種々の信号間
の不一致は、増幅でもってさらに悪化さえし得る。ＥＦ
ＤＡは、えり抜きの増幅器であり、というのも、直接関
係するスペクトル全体で利得があるからである。ＥＦＤ
Ａで増幅されるとき、等化されていない源における、よ
り強い信号が自発的に整合／増幅され、より弱い信号を
失わせる。
【０００４】等化されていない信号が縦続増幅器を通過
するとき、等化の問題も同様に縦続接続される。最悪の
場合、より弱い信号がどんどん弱くなって、弱い信号の
情報が回復できなくなるまでになるという結果となる。
必要なのは、光ファイバにおける種々の波長間で、信号
強度を等化する方法である。
するとき、等化の問題も同様に縦続接続される。最悪の
場合、より弱い信号がどんどん弱くなって、弱い信号の
情報が回復できなくなるまでになるという結果となる。
必要なのは、光ファイバにおける種々の波長間で、信号
強度を等化する方法である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】目的および利点は明白で
あって、以降で部分的に記述されるが、波長を等化する
方法およびシステムを提供する本発明によって達成され
るものである。請求項に記載された発明の１つの実施例
は、波長等化器を提供する。その波長等化器は、入力導
波管、出力導波管、波長分離デバイスおよびマイクロミ
ラー・アレイを備える。波長分離デバイスは、光の入力
ビームをサブビームに分割する。マイクロミラー・アレ
イにおけるマイクロミラーの第１のサブアレイは、第１
および第２の位置の間で動作可能である。第１の位置
は、サブビームの光を出力導波管へと向け、また第２の
位置は、出力導波管からサブビームの光を除外してい
る。
あって、以降で部分的に記述されるが、波長を等化する
方法およびシステムを提供する本発明によって達成され
るものである。請求項に記載された発明の１つの実施例
は、波長等化器を提供する。その波長等化器は、入力導
波管、出力導波管、波長分離デバイスおよびマイクロミ
ラー・アレイを備える。波長分離デバイスは、光の入力
ビームをサブビームに分割する。マイクロミラー・アレ
イにおけるマイクロミラーの第１のサブアレイは、第１
および第２の位置の間で動作可能である。第１の位置
は、サブビームの光を出力導波管へと向け、また第２の
位置は、出力導波管からサブビームの光を除外してい
る。
【０００６】波長等化器の別の実施例によると、光入力
信号の複数の成分を等化する方法が提供される。その方
法は、その成分を分離し、マイクロミラー・アレイのサ
ブアレイに各成分を向け、第１の位置にあるマイクロミ
ラーが入射光を出力導波管に向け、かつ第２の位置にあ
るマイクロミラーがそうしないように、各サブアレイの
マイクロミラーを位置付け、また、サブビームを組み合
わせて光の出力ビームとすることを備える。
信号の複数の成分を等化する方法が提供される。その方
法は、その成分を分離し、マイクロミラー・アレイのサ
ブアレイに各成分を向け、第１の位置にあるマイクロミ
ラーが入射光を出力導波管に向け、かつ第２の位置にあ
るマイクロミラーがそうしないように、各サブアレイの
マイクロミラーを位置付け、また、サブビームを組み合
わせて光の出力ビームとすることを備える。
【０００７】
【発明の実施の形態】マイクロミラー波長等化器が開発
されており、それによって、ＤＷＤＭ光ファイバ通信シ
ステムにおける各信号を個別に減衰することが可能とな
っている。各成分信号の減衰を調整することによって、
合成信号が等化され、信号の単純な増幅が可能となって
いる。
されており、それによって、ＤＷＤＭ光ファイバ通信シ
ステムにおける各信号を個別に減衰することが可能とな
っている。各成分信号の減衰を調整することによって、
合成信号が等化され、信号の単純な増幅が可能となって
いる。
【０００８】以下に記述される等化器は、典型的にはマ
イクロミラー・デバイスを用いて、そのデバイスの一部
を減衰する。典型的なヒンジの隠されたマイクロミラー
１００は、実際には、マイクロミラー・セルまたは素子
の直交アレイである。このアレイには、しばしば１００
０を超える行および列のマイクロミラーが含まれてい
る。図１は、マイクロミラー・アレイの下部機械構造を
示すためにいくつかのミラー１０２を取り除いた、先行
技術のマイクロミラー・アレイの小さな部分を示してい
る。図２は、マイクロミラー構造間の関係を更に詳述す
る、従来技術の単一マイクロミラー素子の分解図であ
る。
イクロミラー・デバイスを用いて、そのデバイスの一部
を減衰する。典型的なヒンジの隠されたマイクロミラー
１００は、実際には、マイクロミラー・セルまたは素子
の直交アレイである。このアレイには、しばしば１００
０を超える行および列のマイクロミラーが含まれてい
る。図１は、マイクロミラー・アレイの下部機械構造を
示すためにいくつかのミラー１０２を取り除いた、先行
技術のマイクロミラー・アレイの小さな部分を示してい
る。図２は、マイクロミラー構造間の関係を更に詳述す
る、従来技術の単一マイクロミラー素子の分解図であ
る。
【０００９】マイクロミラーは、半導体の、典型的には
シリコンの、基板１０４上に作成される。標準的な集積
回路のプロセス・フローを用いて、半導体基板１０４の
表面に、電気制御回路が典型的に作成される。この回路
には、限定されるわけではないが、各ミラー１０２と関
連し、かつ典型的には下にあるメモリ・セル、および下
にあるメモリ・セルへのデジタル画像データの転送を制
御するデジタル論理回路が、典型的に含まれている。バ
イアスを駆動し、信号をミラー上部構造にリセットする
電圧駆動回路もまた、マイクロミラー基板上に、または
マイクロミラーの外部に作成される。画像処理およびフ
ォーマットを行う論理回路もまた、いくつかのデザイン
から基板１０４中に形成される。ここで開示を目的とし
て記述すると、アドレス指定回路には、直接電圧接続お
よび共有メモリ・セルも含めて、マイクロミラーの回転
方向を制御するのに用いられるいかなる回路も含まれて
いると考えられる。
シリコンの、基板１０４上に作成される。標準的な集積
回路のプロセス・フローを用いて、半導体基板１０４の
表面に、電気制御回路が典型的に作成される。この回路
には、限定されるわけではないが、各ミラー１０２と関
連し、かつ典型的には下にあるメモリ・セル、および下
にあるメモリ・セルへのデジタル画像データの転送を制
御するデジタル論理回路が、典型的に含まれている。バ
イアスを駆動し、信号をミラー上部構造にリセットする
電圧駆動回路もまた、マイクロミラー基板上に、または
マイクロミラーの外部に作成される。画像処理およびフ
ォーマットを行う論理回路もまた、いくつかのデザイン
から基板１０４中に形成される。ここで開示を目的とし
て記述すると、アドレス指定回路には、直接電圧接続お
よび共有メモリ・セルも含めて、マイクロミラーの回転
方向を制御するのに用いられるいかなる回路も含まれて
いると考えられる。
【００１０】マイクロミラーの構成の中には、いくつか
のマイクロミラー素子が、１つのメモリ・セルを共有す
ることを可能とする分割リセット構成を用いているもの
もあり、そうして非常に大きなアレイを操作するのに必
要なメモリ・セルの数を低減し、かつマイクロミラー集
積回路上に、電圧駆動器および画像処理回路に利用でき
るより大きな場所を割いている。分割リセットは、マイ
クロミラーの二安定動作によって可能とされ、それによ
って、下にあるメモリの内容が、ミラーがバイアス電圧
を印加されているとき、ミラー１０２の位置に影響する
ことなく変化することが可能となる。
のマイクロミラー素子が、１つのメモリ・セルを共有す
ることを可能とする分割リセット構成を用いているもの
もあり、そうして非常に大きなアレイを操作するのに必
要なメモリ・セルの数を低減し、かつマイクロミラー集
積回路上に、電圧駆動器および画像処理回路に利用でき
るより大きな場所を割いている。分割リセットは、マイ
クロミラーの二安定動作によって可能とされ、それによ
って、下にあるメモリの内容が、ミラーがバイアス電圧
を印加されているとき、ミラー１０２の位置に影響する
ことなく変化することが可能となる。
【００１１】マイクロミラーの上部構造が上に形成され
る、典型的には蒸着された二酸化シリコン層である絶縁
層１０６によって、シリコン基板１０４と必要な金属相
互接続層すべてが、マイクロミラーの上部構造から絶縁
されている。酸化層に穴またはビアが開けられて、マイ
クロミラーの上部構造の、基板１０４に形成された電子
回路との電気接続が可能となる。
る、典型的には蒸着された二酸化シリコン層である絶縁
層１０６によって、シリコン基板１０４と必要な金属相
互接続層すべてが、マイクロミラーの上部構造から絶縁
されている。酸化層に穴またはビアが開けられて、マイ
クロミラーの上部構造の、基板１０４に形成された電子
回路との電気接続が可能となる。
【００１２】上部構造の第１の層は、金属化層であり、
典型的には、第３の金属化層であって、それ故に、しば
しばＭ３と呼ばれている。最初の２つの金属化層は、典
型的には、基板上に作成される回路を相互接続するのに
必要である。第３の金属化層は、絶縁層上に蒸着され、
アドレス電極１１０およびミラー・バイアス接続１１２
を形成するようパターニングされる。マイクロミラーの
デザインによっては、分離した別個の構造であるが、電
気的にミラー・バイアス接続１１２に接続されるランデ
ィング電極を有している。ランディング電極は、ミラー
１０２の回転を制限し、回転されるミラー１０２または
ヒンジ・ヨーク１１４が、ミラー１０２に対して電圧ポ
テンシャルを有するアドレス電極１１０に接触するのを
防止している。ミラー１０２が、アドレス電極１１０に
接触するならば、その結果生じる短絡によって、ねじれ
ヒンジ１１６が溶かされかねず、またはミラー１０２が
アドレス電極１１０に溶接されかねず、いずれにしても
マイクロミラーが破損されてしまう。
典型的には、第３の金属化層であって、それ故に、しば
しばＭ３と呼ばれている。最初の２つの金属化層は、典
型的には、基板上に作成される回路を相互接続するのに
必要である。第３の金属化層は、絶縁層上に蒸着され、
アドレス電極１１０およびミラー・バイアス接続１１２
を形成するようパターニングされる。マイクロミラーの
デザインによっては、分離した別個の構造であるが、電
気的にミラー・バイアス接続１１２に接続されるランデ
ィング電極を有している。ランディング電極は、ミラー
１０２の回転を制限し、回転されるミラー１０２または
ヒンジ・ヨーク１１４が、ミラー１０２に対して電圧ポ
テンシャルを有するアドレス電極１１０に接触するのを
防止している。ミラー１０２が、アドレス電極１１０に
接触するならば、その結果生じる短絡によって、ねじれ
ヒンジ１１６が溶かされかねず、またはミラー１０２が
アドレス電極１１０に溶接されかねず、いずれにしても
マイクロミラーが破損されてしまう。
【００１３】ランディング電極およびミラー１０２の双
方には、常に同じ電圧が印加されるので、ミラー・バイ
アス接続およびランディング電極は、可能ならば、好ま
しくは単一の構造に組み合わされる。ミラー１０２かね
じれヒンジ・ヨーク１１４かのいずれかに接触すること
によって、ミラー１０２の回転を機械的に制限する、ラ
ンディング・サイトと呼ばれるミラー・バイアス／リセ
ット接続１１２上の領域を含むことによって、ランディ
ング電極は、ミラー・バイアス接続１１２と組み合わさ
れる。これらのランディング・サイトは、ミラー１０２
およびねじれヒンジ・ヨーク１１４のランディング・サ
イトに接着する傾向を低減するよう選択される材料でし
ばしば被覆される。
方には、常に同じ電圧が印加されるので、ミラー・バイ
アス接続およびランディング電極は、可能ならば、好ま
しくは単一の構造に組み合わされる。ミラー１０２かね
じれヒンジ・ヨーク１１４かのいずれかに接触すること
によって、ミラー１０２の回転を機械的に制限する、ラ
ンディング・サイトと呼ばれるミラー・バイアス／リセ
ット接続１１２上の領域を含むことによって、ランディ
ング電極は、ミラー・バイアス接続１１２と組み合わさ
れる。これらのランディング・サイトは、ミラー１０２
およびねじれヒンジ・ヨーク１１４のランディング・サ
イトに接着する傾向を低減するよう選択される材料でし
ばしば被覆される。
【００１４】ミラー・バイアス／リセット金属化１１２
および近隣のミラー素子のミラーおよびねじれビームの
双方を用いる経路の組み合わせを経て、ミラー・バイア
ス／リセット電圧は各ミラー１０２へと移動する。分割
リセット・デザインには、各々が独立したミラー・バイ
アス接続を有する多重サブアレイへとサブ分割されるミ
ラーのアレイが必要である。図１に示されているランデ
ィング電極／ミラー・バイアス１１２の構成は、理想的
には分割リセット・アプリケーションに適しており、と
言うのも、マイクロミラー素子は、単にサブアレイ間の
ミラー・バイアス／リセット層を絶縁することによっ
て、電気的に分離された行または列へと容易に分離され
るからである。図１のミラー・バイアス／リセット層
は、分離された素子の列に分割されている。
および近隣のミラー素子のミラーおよびねじれビームの
双方を用いる経路の組み合わせを経て、ミラー・バイア
ス／リセット電圧は各ミラー１０２へと移動する。分割
リセット・デザインには、各々が独立したミラー・バイ
アス接続を有する多重サブアレイへとサブ分割されるミ
ラーのアレイが必要である。図１に示されているランデ
ィング電極／ミラー・バイアス１１２の構成は、理想的
には分割リセット・アプリケーションに適しており、と
言うのも、マイクロミラー素子は、単にサブアレイ間の
ミラー・バイアス／リセット層を絶縁することによっ
て、電気的に分離された行または列へと容易に分離され
るからである。図１のミラー・バイアス／リセット層
は、分離された素子の列に分割されている。
【００１５】典型的には、スペーサビア（ｓｐａｃｅｒ
ｖｉａｓ）と呼ばれるサポートの第１層が、アドレス電
極１１０およびミラー・バイアス接続１１２を形成する
金属層上に作成される。これらのスペーサビアは、ヒン
ジ・サポート・スペーサビア１１６および上部アドレス
電極スペーサビア１１８の双方を含んでおり、典型的に
は、薄いスペーサ層をアドレス電極１１０およびミラー
・バイアス接続１１２の上でスピンさせることによって
形成される。この薄いスペーサ層は、典型的には、正フ
ォトレジストの１μｍ厚の層である。フォトレジスト層
が蒸着された後、それは露光され、パターニングされ、
深くＵＶで固化されて、スペーサビアが形成される穴を
形成する。このスペーサ層および後で作成プロセスにお
いて用いられるより厚いスペーサ層は、しばしば犠牲層
と呼ばれ、というのも、それらは作成プロセスの間の型
として用いられるに過ぎず、デバイスの動作に先立って
デバイスから取り除かれるからである。
ｖｉａｓ）と呼ばれるサポートの第１層が、アドレス電
極１１０およびミラー・バイアス接続１１２を形成する
金属層上に作成される。これらのスペーサビアは、ヒン
ジ・サポート・スペーサビア１１６および上部アドレス
電極スペーサビア１１８の双方を含んでおり、典型的に
は、薄いスペーサ層をアドレス電極１１０およびミラー
・バイアス接続１１２の上でスピンさせることによって
形成される。この薄いスペーサ層は、典型的には、正フ
ォトレジストの１μｍ厚の層である。フォトレジスト層
が蒸着された後、それは露光され、パターニングされ、
深くＵＶで固化されて、スペーサビアが形成される穴を
形成する。このスペーサ層および後で作成プロセスにお
いて用いられるより厚いスペーサ層は、しばしば犠牲層
と呼ばれ、というのも、それらは作成プロセスの間の型
として用いられるに過ぎず、デバイスの動作に先立って
デバイスから取り除かれるからである。
【００１６】金属の薄い層が、スペーサ層上および穴の
中にスパッタリングされる。そして、その薄い金属層上
に酸化物が蒸着され、パターニングされて、後にヒンジ
１２０を形成する領域上にエッチ・マスクを形成する。
金属のより厚い層が、典型的にはアルミ合金が、薄い層
および酸化物エッチ・マスク上にスパッタリングされ
る。酸化物の別の層が蒸着されて、ヒンジ・ヨーク１１
４、ヒンジ・キャップ１２２および上部アドレス電極１
２４の形を定めるようパターニングされる。この第２の
酸化物層がパターニングされた後、２つの金属層が同時
にエッチングされ、酸化物エッチ・ストップが取り除か
れて、厚くて硬いヒンジ・ヨーク１１４、ヒンジ・キャ
ップ１２２、上部アドレス電極１２４および薄くて柔軟
なねじれビーム１２０が残される。
中にスパッタリングされる。そして、その薄い金属層上
に酸化物が蒸着され、パターニングされて、後にヒンジ
１２０を形成する領域上にエッチ・マスクを形成する。
金属のより厚い層が、典型的にはアルミ合金が、薄い層
および酸化物エッチ・マスク上にスパッタリングされ
る。酸化物の別の層が蒸着されて、ヒンジ・ヨーク１１
４、ヒンジ・キャップ１２２および上部アドレス電極１
２４の形を定めるようパターニングされる。この第２の
酸化物層がパターニングされた後、２つの金属層が同時
にエッチングされ、酸化物エッチ・ストップが取り除か
れて、厚くて硬いヒンジ・ヨーク１１４、ヒンジ・キャ
ップ１２２、上部アドレス電極１２４および薄くて柔軟
なねじれビーム１２０が残される。
【００１７】そして、厚いスペーサ層が厚い金属層上に
蒸着されて、ミラー・サポート・スペーサビア１２６が
形成される穴の形を定めるようパターニングされる。厚
いスペーサ層は、典型的には正フォトレジストの２μｍ
厚の層である。ミラー金属の、典型的にはアルミニウム
合金の、層は、厚いスペーサ層の表面上および厚いスペ
ーサ層中の穴の中にスパッタリングされる。そして、こ
の金属層がパターニングされて、ミラー１０２を形成
し、双方のスペーサ層がプラズマ・エッチを用いて取り
除かれる。
蒸着されて、ミラー・サポート・スペーサビア１２６が
形成される穴の形を定めるようパターニングされる。厚
いスペーサ層は、典型的には正フォトレジストの２μｍ
厚の層である。ミラー金属の、典型的にはアルミニウム
合金の、層は、厚いスペーサ層の表面上および厚いスペ
ーサ層中の穴の中にスパッタリングされる。そして、こ
の金属層がパターニングされて、ミラー１０２を形成
し、双方のスペーサ層がプラズマ・エッチを用いて取り
除かれる。
【００１８】一旦２つのスペーサ層が取り除かれると、
ミラーは、ねじれヒンジによって形成される軸の周りを
自由に回転する。アドレス電極１１０と屈折可能な硬い
部材とが、事実上、空気ギャップ・キャパシタの２つの
極板を形成し、それらの間の静電引力が、ミラー構造を
回転させるのに用いられる。マイクロミラー・デバイス
のデザインによっては、屈折可能な硬い部材は、ねじれ
ビーム・ヨーク１１４であるか、ビームまたはミラー１
０２であるか、直接ねじれヒンジに固着されたビームで
あるか、それらの組み合わせであるかする。上部アドレ
ス電極１２４はまた、屈折可能な硬い部材を静電気的に
引き付ける。
ミラーは、ねじれヒンジによって形成される軸の周りを
自由に回転する。アドレス電極１１０と屈折可能な硬い
部材とが、事実上、空気ギャップ・キャパシタの２つの
極板を形成し、それらの間の静電引力が、ミラー構造を
回転させるのに用いられる。マイクロミラー・デバイス
のデザインによっては、屈折可能な硬い部材は、ねじれ
ビーム・ヨーク１１４であるか、ビームまたはミラー１
０２であるか、直接ねじれヒンジに固着されたビームで
あるか、それらの組み合わせであるかする。上部アドレ
ス電極１２４はまた、屈折可能な硬い部材を静電気的に
引き付ける。
【００１９】電圧ポテンシャルによって作り出される力
は、２つの極板間距離の、逆数の関数である。硬い部材
が静電トルクによって回転するとき、ねじれビーム・ヒ
ンジは、ねじれビームの屈折角のほぼ線形な関数である
復元トルクで変形に抵抗する。復元ねじれビーム・トル
クが静電トルクに等しくなるまで、または、回転する構
造体と固定構成要素との間の接触によって回転が機械的
に遮られるまで、その構造体は回転する。以下で記述さ
れるように、大抵のマイクロミラー・デバイスは、デジ
タル・モードで操作され、十分に大きなバイアス電圧が
用いられて、マイクロミラーの上部構造が、確実に十分
屈折するものとされる。
は、２つの極板間距離の、逆数の関数である。硬い部材
が静電トルクによって回転するとき、ねじれビーム・ヒ
ンジは、ねじれビームの屈折角のほぼ線形な関数である
復元トルクで変形に抵抗する。復元ねじれビーム・トル
クが静電トルクに等しくなるまで、または、回転する構
造体と固定構成要素との間の接触によって回転が機械的
に遮られるまで、その構造体は回転する。以下で記述さ
れるように、大抵のマイクロミラー・デバイスは、デジ
タル・モードで操作され、十分に大きなバイアス電圧が
用いられて、マイクロミラーの上部構造が、確実に十分
屈折するものとされる。
【００２０】マイクロミラー・デバイスは、一般には、
２つの動作モードの内１つで操作される。動作の第１モ
ードは、アナログ・モードであって、時折ビーム・ステ
アリングと呼ばれ、アドレス電極が、所望のミラーの屈
折に対応する電圧に充電される。マイクロミラー・デバ
イスに当たる光が、ミラーの屈折によって決定される角
度でミラーによって反射される。アドレス電極に印加さ
れる電圧によって、個々のミラーによって反射される光
の錐体が、光システムの開口外、部分的に開口内または
完全に開口内のものとなるよう向けられる。
２つの動作モードの内１つで操作される。動作の第１モ
ードは、アナログ・モードであって、時折ビーム・ステ
アリングと呼ばれ、アドレス電極が、所望のミラーの屈
折に対応する電圧に充電される。マイクロミラー・デバ
イスに当たる光が、ミラーの屈折によって決定される角
度でミラーによって反射される。アドレス電極に印加さ
れる電圧によって、個々のミラーによって反射される光
の錐体が、光システムの開口外、部分的に開口内または
完全に開口内のものとなるよう向けられる。
【００２１】動作の第２モードは、デジタル・モードで
ある。デジタル的に動作するとき、各ミラーは、ねじれ
ビーム軸について２つの方向のいずれかに完全に屈折す
る。デジタル動作は、比較的大きな電圧を用いてミラー
が完全に屈折するのを確実なものとする。標準ロジック
電圧レベルを用いて、アドレス電極を駆動すると利点が
あるので、バイアス電圧、典型的には負の電圧、が、ミ
ラー金属層に印加されて、アドレス電極とミラーとの間
の電圧の差を増大する。十分に大きなミラー・バイアス
電圧―デバイスの崩壊電圧と呼ばれるものを超える電圧
―を用いることで、アドレス電圧がないときでさえ、ミ
ラーが確実に、最も近いランディング電極へと屈折する
ようにする。したがって、大きなミラー・バイアス電圧
を用いることによって、ミラー・バイアス電圧がミラー
を正しいランディング電極へと駆動するように、アドレ
ス電圧は、ミラーをわずかに屈折させるのに十分な大き
さがありさえすればよい。
ある。デジタル的に動作するとき、各ミラーは、ねじれ
ビーム軸について２つの方向のいずれかに完全に屈折す
る。デジタル動作は、比較的大きな電圧を用いてミラー
が完全に屈折するのを確実なものとする。標準ロジック
電圧レベルを用いて、アドレス電極を駆動すると利点が
あるので、バイアス電圧、典型的には負の電圧、が、ミ
ラー金属層に印加されて、アドレス電極とミラーとの間
の電圧の差を増大する。十分に大きなミラー・バイアス
電圧―デバイスの崩壊電圧と呼ばれるものを超える電圧
―を用いることで、アドレス電圧がないときでさえ、ミ
ラーが確実に、最も近いランディング電極へと屈折する
ようにする。したがって、大きなミラー・バイアス電圧
を用いることによって、ミラー・バイアス電圧がミラー
を正しいランディング電極へと駆動するように、アドレ
ス電圧は、ミラーをわずかに屈折させるのに十分な大き
さがありさえすればよい。
【００２２】図３は、本発明による波長等化器の一実施
例の概略図である。図３において、光ファイバまたはそ
の他の導波管３０２からの光がサーキュレータ３０４を
通過して、レンズ３０６へと至る。サーキュレータ３０
４は、以下に説明されるとおり、光の極性に基づいてサ
ーキュレータ３０４を通る光ビームを分離するよう動作
可能である。図３に示されるサーキュレータ３０４の代
わりに、あらゆる光分離デバイスを用いることができ
る。サーキュレータ３０４を退出したのち、光はレンズ
３０６を通過する。図３に示されるレンズ３０６は、コ
リメータ・レンズであるが、レンズ３０６の選択はシス
テムに依存する。
例の概略図である。図３において、光ファイバまたはそ
の他の導波管３０２からの光がサーキュレータ３０４を
通過して、レンズ３０６へと至る。サーキュレータ３０
４は、以下に説明されるとおり、光の極性に基づいてサ
ーキュレータ３０４を通る光ビームを分離するよう動作
可能である。図３に示されるサーキュレータ３０４の代
わりに、あらゆる光分離デバイスを用いることができ
る。サーキュレータ３０４を退出したのち、光はレンズ
３０６を通過する。図３に示されるレンズ３０６は、コ
リメータ・レンズであるが、レンズ３０６の選択はシス
テムに依存する。
【００２３】波長分離デバイス３１０は、回折格子、プ
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には焦点レンズ、
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームが、一般的には単一波長と考えられている一方で、
サブビームが光ファイバ入力に用いられる種々のチャン
ネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の複数
の波長を有してもよいということが理解されるべきであ
る。
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には焦点レンズ、
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームが、一般的には単一波長と考えられている一方で、
サブビームが光ファイバ入力に用いられる種々のチャン
ネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の複数
の波長を有してもよいということが理解されるべきであ
る。
【００２４】マイクロミラー・アレイ３１４では、各サ
ブビームはいくつかのマイクロミラーに突き当たる。単
一のサブビームが突き当たるマイクロミラーのグループ
は、サブアレイと呼ばれる。サブビームから大量の光を
受けるマイクロミラーの数は、等化器によって用いられ
る光構成部品およびサブビームの強度に依存する。サブ
アレイのマイクロミラーは、それらに当たる光を屈折す
るのに用いられる。マイクロミラーが光を第１の方向に
屈折させるならば、光は、固定ミラー３１６へと進み、
固定ミラー３１６へと進んできたのと同じ経路をたどっ
てサーキュレータ３０４へと戻る。サブアレイのマイク
ロミラーが、光を第２の方向３１８へと屈折するなら
ば、光はその経路を後戻りすることはない。光トラップ
３２０が、第２の方向３１８に沿って進む光を制御する
のに頻繁に用いられる。
ブビームはいくつかのマイクロミラーに突き当たる。単
一のサブビームが突き当たるマイクロミラーのグループ
は、サブアレイと呼ばれる。サブビームから大量の光を
受けるマイクロミラーの数は、等化器によって用いられ
る光構成部品およびサブビームの強度に依存する。サブ
アレイのマイクロミラーは、それらに当たる光を屈折す
るのに用いられる。マイクロミラーが光を第１の方向に
屈折させるならば、光は、固定ミラー３１６へと進み、
固定ミラー３１６へと進んできたのと同じ経路をたどっ
てサーキュレータ３０４へと戻る。サブアレイのマイク
ロミラーが、光を第２の方向３１８へと屈折するなら
ば、光はその経路を後戻りすることはない。光トラップ
３２０が、第２の方向３１８に沿って進む光を制御する
のに頻繁に用いられる。
【００２５】その他の空間的な光モジュレータ―例え
ば、種々の格子光バルブまたは微小機械シャッター・デ
バイス―が、マイクロミラー・アレイ３１４の代わりに
用いられてもよい。その他の空間的な光モジュレータに
は、典型的には、第１の位置または状態および第２の位
置または状態において、反射の方向または素子の透過率
を含んで反射性を制御するよう動作可能な、個別に制御
可能な素子のアレイが含まれている。しかしながら、マ
イクロミラー・アレイ３１４は、最適なデバイスであ
り、というのも、それは、パワー・レベルの正確な調
節、信頼性ある動作および第１および第２のミラー位置
間の優れた分離を提供するからである。
ば、種々の格子光バルブまたは微小機械シャッター・デ
バイス―が、マイクロミラー・アレイ３１４の代わりに
用いられてもよい。その他の空間的な光モジュレータに
は、典型的には、第１の位置または状態および第２の位
置または状態において、反射の方向または素子の透過率
を含んで反射性を制御するよう動作可能な、個別に制御
可能な素子のアレイが含まれている。しかしながら、マ
イクロミラー・アレイ３１４は、最適なデバイスであ
り、というのも、それは、パワー・レベルの正確な調
節、信頼性ある動作および第１および第２のミラー位置
間の優れた分離を提供するからである。
【００２６】サーキュレータ３０４への経路を後戻りす
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバまたはその他の導波管３２２を通っ
て等化器を退出する。
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバまたはその他の導波管３２２を通っ
て等化器を退出する。
【００２７】図３において、サーキュレータへと戻り、
かつサーキュレータから退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられるミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合いおよ
びサブアレイ内での第１の方向に向けられるミラーの場
所によって決定される。所定のミラーが完全に第１の方
向に回転されるかまたは完全に第２の方向に回転される
デジタル・モードにおいて、典型的にミラーが操作され
る。アナログ・モードにおいてミラーが操作されると
き、ミラーが回転される度合いによって、ミラーに当た
る光が固定ミラーによって反射され、サーキュレータ３
０４に戻る度合いが決定される。サブアレイの中央近く
のミラーは、中央から遠いミラーと比較してサブビーム
をより多く受ける。
かつサーキュレータから退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられるミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合いおよ
びサブアレイ内での第１の方向に向けられるミラーの場
所によって決定される。所定のミラーが完全に第１の方
向に回転されるかまたは完全に第２の方向に回転される
デジタル・モードにおいて、典型的にミラーが操作され
る。アナログ・モードにおいてミラーが操作されると
き、ミラーが回転される度合いによって、ミラーに当た
る光が固定ミラーによって反射され、サーキュレータ３
０４に戻る度合いが決定される。サブアレイの中央近く
のミラーは、中央から遠いミラーと比較してサブビーム
をより多く受ける。
【００２８】所定のサブアレイにおいてミラーを制御す
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
【００２９】図４は、開示された発明の第２の実施例に
よる波長等化器の、第２の実施例の概略図である。図４
において、光ファイバ３０２からの光が、サーキュレー
タ３０４を通過してレンズ３０６に至る。図４に示され
ているサーキュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分
離デバイスを用いることができる。サーキュレータ３０
４を退出した後、光はレンズ３０６を通過する。図４に
示されているレンズ３０６は、コリメータ・レンズであ
るが、レンズ３０６の選択はシステムに依存する。そし
て光は、波長分離デバイス３１０に当たる。
よる波長等化器の、第２の実施例の概略図である。図４
において、光ファイバ３０２からの光が、サーキュレー
タ３０４を通過してレンズ３０６に至る。図４に示され
ているサーキュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分
離デバイスを用いることができる。サーキュレータ３０
４を退出した後、光はレンズ３０６を通過する。図４に
示されているレンズ３０６は、コリメータ・レンズであ
るが、レンズ３０６の選択はシステムに依存する。そし
て光は、波長分離デバイス３１０に当たる。
【００３０】波長分離デバイス３１０は、回折格子、プ
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。
【００３１】マイクロミラー・アレイ３１４では、各サ
ブビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。
サブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数
は、等化器によって用いられる光構成部品およびサブビ
ームの強度に依存する。サブアレイのマイクロミラー
は、それらに当たる光を屈折するのに用いられる。マイ
クロミラーが光を第１の方向に屈折させるならば、光
は、固定ミラー３１６へと進み、固定ミラー３１６へと
進んできたのと同じ経路をたどってサーキュレータ３０
４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光を第２
の方向３１８へと屈折するならば、光は検出器３２４に
向けられる。
ブビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。
サブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数
は、等化器によって用いられる光構成部品およびサブビ
ームの強度に依存する。サブアレイのマイクロミラー
は、それらに当たる光を屈折するのに用いられる。マイ
クロミラーが光を第１の方向に屈折させるならば、光
は、固定ミラー３１６へと進み、固定ミラー３１６へと
進んできたのと同じ経路をたどってサーキュレータ３０
４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光を第２
の方向３１８へと屈折するならば、光は検出器３２４に
向けられる。
【００３２】サーキュレータ３０４への経路を後戻りす
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
【００３３】図４において、サーキュレータへと戻り、
かつサーキュレータから退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられるミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合いおよ
びサブアレイ内での第１の方向に向けられるミラーの場
所によって決定される。所定のミラーが完全に第１の方
向に回転されるかまたは完全に第２の方向に回転される
デジタル・モードにおいて、典型的にミラーが操作され
る。アナログ・モードにおいてミラーが操作されると
き、ミラーが回転される度合いによって、ミラーに当た
る光が固定ミラーによって反射され、サーキュレータ３
０４に戻る度合いが決定される。サブアレイの中央近く
のミラーは、中央から遠いミラーと比較してサブビーム
をより多く受ける。
かつサーキュレータから退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられるミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合いおよ
びサブアレイ内での第１の方向に向けられるミラーの場
所によって決定される。所定のミラーが完全に第１の方
向に回転されるかまたは完全に第２の方向に回転される
デジタル・モードにおいて、典型的にミラーが操作され
る。アナログ・モードにおいてミラーが操作されると
き、ミラーが回転される度合いによって、ミラーに当た
る光が固定ミラーによって反射され、サーキュレータ３
０４に戻る度合いが決定される。サブアレイの中央近く
のミラーは、中央から遠いミラーと比較してサブビーム
をより多く受ける。
【００３４】所定のサブアレイにおいてミラーを制御す
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
【００３５】図４の検出器３２４によって、ミラー・ア
レイ３１４によって戻り経路から放出される光のモニタ
リングが可能となる。検出プロセッサ３２６は、検出器
からの信号を読み取り、信号を制御器３２８に提供す
る。第２の方向に回転された所定のサブアレイからミラ
ーの数および場所を、および検出器によって受信される
信号の強度を知ることによって、検出制御器３２８は、
そのサブアレイに対応する信号の入力および出力強度を
測定することができる。制御器３２８は、所定の信号が
出力で適当な信号強度を有するように、第１および第２
の方向にどのミラーが回転されるかを決定する。
レイ３１４によって戻り経路から放出される光のモニタ
リングが可能となる。検出プロセッサ３２６は、検出器
からの信号を読み取り、信号を制御器３２８に提供す
る。第２の方向に回転された所定のサブアレイからミラ
ーの数および場所を、および検出器によって受信される
信号の強度を知ることによって、検出制御器３２８は、
そのサブアレイに対応する信号の入力および出力強度を
測定することができる。制御器３２８は、所定の信号が
出力で適当な信号強度を有するように、第１および第２
の方向にどのミラーが回転されるかを決定する。
【００３６】制御器が、検出プロセッサ３２６からのみ
ならず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。
外部源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビ
ームの入力信号強度についての情報、および１つ以上の
サブビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む
種々の情報を提供する。このように、外部源は、所定の
サブビームがその予期される信号経路に適した特定の出
力信号強度を有するように指示することができる。
ならず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。
外部源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビ
ームの入力信号強度についての情報、および１つ以上の
サブビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む
種々の情報を提供する。このように、外部源は、所定の
サブビームがその予期される信号経路に適した特定の出
力信号強度を有するように指示することができる。
【００３７】図５は、開示された発明の別の実施例によ
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図５に示
される実施例は、固定ミラーを必要とせず、代わりに、
マイクロミラー・アレイ３１４を適当な角度に傾けて、
光を、戻り経路に沿った第１の位置においてミラーに当
たるように向ける。図５において、先の実施例のよう
に、光ファイバ３０２からの光は、サーキュレータ３０
４を通過し、レンズ３０６に至る。図５に示されるサー
キュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分離デバイス
を用いることができる。サーキュレータ３０４を退出し
た後、光はレンズ３０６を通過する。図５に示されるレ
ンズ３０６は、コリメータ・レンズであるが、レンズ３
０６の選択はシステムに依存する。そして光は、波長分
離デバイス３１０に当たる。
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図５に示
される実施例は、固定ミラーを必要とせず、代わりに、
マイクロミラー・アレイ３１４を適当な角度に傾けて、
光を、戻り経路に沿った第１の位置においてミラーに当
たるように向ける。図５において、先の実施例のよう
に、光ファイバ３０２からの光は、サーキュレータ３０
４を通過し、レンズ３０６に至る。図５に示されるサー
キュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分離デバイス
を用いることができる。サーキュレータ３０４を退出し
た後、光はレンズ３０６を通過する。図５に示されるレ
ンズ３０６は、コリメータ・レンズであるが、レンズ３
０６の選択はシステムに依存する。そして光は、波長分
離デバイス３１０に当たる。
【００３８】波長分離デバイス３１０は、回折格子、プ
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。
【００３９】マイクロミラー・アレイ３１４で、各サブ
ビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は反射してレンズ３１２に戻り、マイクロミラー・アレ
イ３１４へと進んだのと同じ経路に沿ってサーキュレー
タ３０４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光
を第２の方向３１８に屈折させるならば、光は光トラッ
プ３２０へと向けられる。
ビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は反射してレンズ３１２に戻り、マイクロミラー・アレ
イ３１４へと進んだのと同じ経路に沿ってサーキュレー
タ３０４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光
を第２の方向３１８に屈折させるならば、光は光トラッ
プ３２０へと向けられる。
【００４０】サーキュレータ３０４への経路を後戻りす
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
【００４１】図５において、先の実施例のように、サー
キュレータへと戻り、かつサーキュレータから退出する
各サブビームの強度は、サブビームの入力強度、第１の
方向に向けられるミラーの数、ミラーが第１の方向に向
けられる度合いおよびサブアレイ内での第１の方向に向
けられるミラーの場所によって決定される。所定のミラ
ーが完全に第１の方向に回転されるかまたは完全に第２
の方向に回転されるデジタル・モードにおいて、典型的
にミラーが操作される。アナログ・モードにおいてミラ
ーが操作されるとき、ミラーが回転される度合いによっ
て、ミラーに当たる光が固定ミラーによって反射され、
サーキュレータ３０４に戻る度合いが決定される。サブ
アレイの中央近くのミラーは、中央から遠いミラーと比
較してサブビームをより多く受ける。
キュレータへと戻り、かつサーキュレータから退出する
各サブビームの強度は、サブビームの入力強度、第１の
方向に向けられるミラーの数、ミラーが第１の方向に向
けられる度合いおよびサブアレイ内での第１の方向に向
けられるミラーの場所によって決定される。所定のミラ
ーが完全に第１の方向に回転されるかまたは完全に第２
の方向に回転されるデジタル・モードにおいて、典型的
にミラーが操作される。アナログ・モードにおいてミラ
ーが操作されるとき、ミラーが回転される度合いによっ
て、ミラーに当たる光が固定ミラーによって反射され、
サーキュレータ３０４に戻る度合いが決定される。サブ
アレイの中央近くのミラーは、中央から遠いミラーと比
較してサブビームをより多く受ける。
【００４２】所定のサブアレイにおいてミラーを制御す
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
【００４３】図６は、開示された発明の別の実施例によ
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図６に示
される実施例は、固定ミラーを必要とせず、代わりに、
マイクロミラー・アレイ３１４を適当な角度に傾けて、
光を、戻り経路に沿った第１の位置においてミラーに当
たるように向ける。図６において、先の実施例のよう
に、光ファイバ３０２からの光は、サーキュレータ３０
４を通過し、レンズ３０６に至る。図６に示されるサー
キュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分離デバイス
を用いることができる。サーキュレータ３０４を退出し
た後、光はレンズ３０６を通過する。図６に示されるレ
ンズ３０６は、コリメータ・レンズであるが、レンズ３
０６の選択はシステムに依存する。そして光は、波長分
離デバイス３１０に当たる。
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図６に示
される実施例は、固定ミラーを必要とせず、代わりに、
マイクロミラー・アレイ３１４を適当な角度に傾けて、
光を、戻り経路に沿った第１の位置においてミラーに当
たるように向ける。図６において、先の実施例のよう
に、光ファイバ３０２からの光は、サーキュレータ３０
４を通過し、レンズ３０６に至る。図６に示されるサー
キュレータ３０４の代わりに、あらゆる光分離デバイス
を用いることができる。サーキュレータ３０４を退出し
た後、光はレンズ３０６を通過する。図６に示されるレ
ンズ３０６は、コリメータ・レンズであるが、レンズ３
０６の選択はシステムに依存する。そして光は、波長分
離デバイス３１０に当たる。
【００４４】波長分離デバイス３１０は、回折格子、プ
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。図６において、各光ビーム及びサブビーム
は、単一の光線として示されている。この様に、図６
は、波長分離デバイスの後に３つの別個のサブビームを
示す。
リズムまたはその他の光構成部品のようないかなる種類
のデバイスとすることもできる。格子は、光ファイバ３
０２によって運ばれる各波長を空間的に分離する。そし
て光は、第２のレンズ３１２、典型的には、焦点レンズ
を通過する。第２のレンズ３１２は、光をマイクロミラ
ー・アレイ３１４に向ける。入力光ビームは、波長によ
って種々のサブビームへと空間的に分離される。サブビ
ームは一般的には単一波長と考えられている一方で、サ
ブビームが光ファイバ入力において用いられる種々のチ
ャンネルへと分離される限り、サブビームは狭い範囲の
複数の波長を有していてもよいということが理解される
べきである。図６において、各光ビーム及びサブビーム
は、単一の光線として示されている。この様に、図６
は、波長分離デバイスの後に３つの別個のサブビームを
示す。
【００４５】マイクロミラー・アレイ３１４で、各サブ
ビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は反射してレンズ３１２に戻り、マイクロミラー・アレ
イ３１４へと進んだのと同じ経路に沿ってサーキュレー
タ３０４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光
を第２の方向３１８に屈折させるならば、光は光トラッ
プ３２０へと向けられる。マイクロミラーが、典型的に
は、マイクロミラー・アレイ３１４の平面と平行な水平
な位置である、第３の位置にあるならば、光は、検出器
３２４へと向けられる。
ビームはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は反射してレンズ３１２に戻り、マイクロミラー・アレ
イ３１４へと進んだのと同じ経路に沿ってサーキュレー
タ３０４へと戻る。サブアレイのマイクロミラーが、光
を第２の方向３１８に屈折させるならば、光は光トラッ
プ３２０へと向けられる。マイクロミラーが、典型的に
は、マイクロミラー・アレイ３１４の平面と平行な水平
な位置である、第３の位置にあるならば、光は、検出器
３２４へと向けられる。
【００４６】サーキュレータ３０４への経路を後戻りす
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
るのに、サーキュレータ３０４によって分離される戻り
光は、出力ファイバ３２２を通って等化器を退出する。
【００４７】図６において、先の実施例のように、サー
キュレータへと戻り、かつサーキュレータから退出する
各サブビームの強度は、サブビームの入力強度、第１の
方向に向けられるミラーの数、ミラーが第１の方向に向
けられる度合いおよびサブアレイ内での第１の方向に向
けられるミラーの場所によって決定される。所定のミラ
ーが完全に第１の方向に回転されるかまたは完全に第２
の方向に回転されるデジタル・モードにおいて、典型的
にミラーが操作される。アナログ・モードにおいてミラ
ーが操作されるとき、ミラーが回転される度合いによっ
て、ミラーに当たる光が固定ミラーによって反射され、
サーキュレータ３０４に戻る度合いが決定される。サブ
アレイの中央近くのミラーは、中央から遠いミラーと比
較してサブビームをより多く受ける。
キュレータへと戻り、かつサーキュレータから退出する
各サブビームの強度は、サブビームの入力強度、第１の
方向に向けられるミラーの数、ミラーが第１の方向に向
けられる度合いおよびサブアレイ内での第１の方向に向
けられるミラーの場所によって決定される。所定のミラ
ーが完全に第１の方向に回転されるかまたは完全に第２
の方向に回転されるデジタル・モードにおいて、典型的
にミラーが操作される。アナログ・モードにおいてミラ
ーが操作されるとき、ミラーが回転される度合いによっ
て、ミラーに当たる光が固定ミラーによって反射され、
サーキュレータ３０４に戻る度合いが決定される。サブ
アレイの中央近くのミラーは、中央から遠いミラーと比
較してサブビームをより多く受ける。
【００４８】所定のサブアレイにおいてミラーを制御す
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
【００４９】図３、図４および図５に示される実施例に
おいて、デジタル・マイクロミラーを用いることは、サ
ーキュレータ３０４に戻らない光の全てが検出器３２４
に向けられていたことを意味する。弱い信号が受信され
るならば、事実上入力信号の全てを出力ファイバ３２２
へと送ることが望ましい。この結果、検出器３２４に向
けられる入力信号は、ほとんどなくなる。同様に、強い
信号が受信されるならば、信号を減衰して、強い信号が
より多く検出器３２４に向けられるようにすることが望
ましい。このように、デジタル・マイクロミラーを用い
るには、非常に大きなダイナミック・レンジを持つ検出
器が必要である。アナログ・マイクロミラーは、第２の
位置にあるミラーからの光のうち、どれだけが検出器３
２４に向けられるかを制御する能力がある。
おいて、デジタル・マイクロミラーを用いることは、サ
ーキュレータ３０４に戻らない光の全てが検出器３２４
に向けられていたことを意味する。弱い信号が受信され
るならば、事実上入力信号の全てを出力ファイバ３２２
へと送ることが望ましい。この結果、検出器３２４に向
けられる入力信号は、ほとんどなくなる。同様に、強い
信号が受信されるならば、信号を減衰して、強い信号が
より多く検出器３２４に向けられるようにすることが望
ましい。このように、デジタル・マイクロミラーを用い
るには、非常に大きなダイナミック・レンジを持つ検出
器が必要である。アナログ・マイクロミラーは、第２の
位置にあるミラーからの光のうち、どれだけが検出器３
２４に向けられるかを制御する能力がある。
【００５０】第３のマイクロミラー位置を用いることに
よって、検出器３２４と光トラップ３２０との双方を用
いることが可能となる。検出器と光トラップとの双方を
用いることで、どれだけの光が出力ファイバ３２２に戻
るかということと独立して、どれだけの光が光検出器に
到達するかを制御する能力が提供される。このように、
強い信号が受信されるとき、弱い信号が受信される場合
と比べて、信号から取り除かれる光のより多くが、光ト
ラップ３２０に向けられる。同様に、強い信号が受信さ
れるとき、弱い信号が受信される場合と比べて、信号か
ら取り除かれる光がより少ししか検出器３２４に向けら
れない。
よって、検出器３２４と光トラップ３２０との双方を用
いることが可能となる。検出器と光トラップとの双方を
用いることで、どれだけの光が出力ファイバ３２２に戻
るかということと独立して、どれだけの光が光検出器に
到達するかを制御する能力が提供される。このように、
強い信号が受信されるとき、弱い信号が受信される場合
と比べて、信号から取り除かれる光のより多くが、光ト
ラップ３２０に向けられる。同様に、強い信号が受信さ
れるとき、弱い信号が受信される場合と比べて、信号か
ら取り除かれる光がより少ししか検出器３２４に向けら
れない。
【００５１】図６の検出器３２４によって、ミラー・ア
レイ３１４によって戻り経路から放出される光をモニタ
ーするシステムが可能となる。検出プロセッサ３２６
は、検出器からの信号を読み取り、信号を制御器３２８
に提供する。平行な位置にある所定のサブアレイからミ
ラーの数および場所を、および検出器によって受信され
る信号の強度を知ることによって、検出制御器３２８
は、そのサブアレイに対応する信号の入力および出力強
度を測定することができる。制御器３２８は、所定の信
号が出力で適当な信号強度を有するように、第１、第２
のおよび平行な方向にどのミラーが回転されるかを決定
する。この構成によって、信号の混乱を最小として、Ｄ
ＷＤＭ信号の連続パワー・モニタリングが可能となる
が、先の実施例においては、ＤＷＤＭストリームを瞬間
的に中断してパワー・モニタリングを提供しなければな
らない。
レイ３１４によって戻り経路から放出される光をモニタ
ーするシステムが可能となる。検出プロセッサ３２６
は、検出器からの信号を読み取り、信号を制御器３２８
に提供する。平行な位置にある所定のサブアレイからミ
ラーの数および場所を、および検出器によって受信され
る信号の強度を知ることによって、検出制御器３２８
は、そのサブアレイに対応する信号の入力および出力強
度を測定することができる。制御器３２８は、所定の信
号が出力で適当な信号強度を有するように、第１、第２
のおよび平行な方向にどのミラーが回転されるかを決定
する。この構成によって、信号の混乱を最小として、Ｄ
ＷＤＭ信号の連続パワー・モニタリングが可能となる
が、先の実施例においては、ＤＷＤＭストリームを瞬間
的に中断してパワー・モニタリングを提供しなければな
らない。
【００５２】制御器が、検出プロセッサ３２６からのみ
ならず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。
外部源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビ
ームの入力信号強度についての情報、および１つ以上の
サブビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む
種々の情報を提供する。このように、外部源は、所定の
サブビームがその予期される信号経路に適した特定の出
力信号強度を有するように指示することができる。
ならず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。
外部源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビ
ームの入力信号強度についての情報、および１つ以上の
サブビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む
種々の情報を提供する。このように、外部源は、所定の
サブビームがその予期される信号経路に適した特定の出
力信号強度を有するように指示することができる。
【００５３】図６において示される実施例は、光が、光
トラップか検出器かの一方に送られるのを可能とする第
３の状態または平行な状態を用いる一例に過ぎない。一
般に、同じ概念を、この発明の実施例の全てに適用可能
である。
トラップか検出器かの一方に送られるのを可能とする第
３の状態または平行な状態を用いる一例に過ぎない。一
般に、同じ概念を、この発明の実施例の全てに適用可能
である。
【００５４】図７は、開示された発明の別の実施例によ
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図７に示
される実施例は、固定ミラーかサーキュレータかを必要
とせず、その代わりに第３のレンズ３２９を用いて、固
定ミラーに送られていたであろう光を集め、そしてそれ
を出力ファイバ３２２へと向ける。
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図７に示
される実施例は、固定ミラーかサーキュレータかを必要
とせず、その代わりに第３のレンズ３２９を用いて、固
定ミラーに送られていたであろう光を集め、そしてそれ
を出力ファイバ３２２へと向ける。
【００５５】先の図に示されるように、入力ファイバ３
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長にしたがって種々のサブ
ビームへと空間的に分離される。一般にサブビームは単
一波長であると考えられている一方で、サブビームが光
ファイバ入力で用いられる種々のチャンネルへと分離さ
れる限り、サブビームは狭い範囲の複数の波長を有して
いてもよいということが理解されるべきである。
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長にしたがって種々のサブ
ビームへと空間的に分離される。一般にサブビームは単
一波長であると考えられている一方で、サブビームが光
ファイバ入力で用いられる種々のチャンネルへと分離さ
れる限り、サブビームは狭い範囲の複数の波長を有して
いてもよいということが理解されるべきである。
【００５６】マイクロミラー・アレイ３１４で、各サブ
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、第３のレンズ３２９へと反射される。サブアレイの
マイクロミラーが、光を第２の方向に屈折させるなら
ば、光は光トラップ３２０へと向けられる。
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、第３のレンズ３２９へと反射される。サブアレイの
マイクロミラーが、光を第２の方向に屈折させるなら
ば、光は光トラップ３２０へと向けられる。
【００５７】第３のレンズ３２９は、第１の位置でミラ
ーから光を受け、そしてその光を、回折格子３３０のよ
うな第２の波長分離デバイスへと送る。単一波長分離デ
バイスが、時折第１および第２の波長分離デバイスの双
方として用いられる。そして光は、第４のレンズ３３２
へと進み、その第４のレンズ３３２によって、出力ファ
イバ３２２へと焦点を合わせられる。図７の実施例は、
配列するのがより困難ではあるが、高価な構成部品であ
るサーキュレータを使うのを避けることができる。
ーから光を受け、そしてその光を、回折格子３３０のよ
うな第２の波長分離デバイスへと送る。単一波長分離デ
バイスが、時折第１および第２の波長分離デバイスの双
方として用いられる。そして光は、第４のレンズ３３２
へと進み、その第４のレンズ３３２によって、出力ファ
イバ３２２へと焦点を合わせられる。図７の実施例は、
配列するのがより困難ではあるが、高価な構成部品であ
るサーキュレータを使うのを避けることができる。
【００５８】図７において、先の実施例におけるよう
に、出力導波管３２２から退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられたミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合い、お
よびサブアレイ内で第１の方向に向けられたミラーの場
所によって決定される。典型的には、ミラーはデジタル
・モードで操作され、所定のミラーは、完全に第１の方
向に回転されるか、または完全に第２の方向に回転され
る。ミラーがアナログ・モードで操作されるとき、ミラ
ーが回転される度合いによって、ミラーに当たる光が固
定ミラーによって出力導波管３２２へと反射される度合
いが決定される。サブアレイの中央部近くのミラーは、
中央から遠いミラーと比較して、サブビームをより多く
受ける。
に、出力導波管３２２から退出する各サブビームの強度
は、サブビームの入力強度、第１の方向に向けられたミ
ラーの数、ミラーが第１の方向に向けられる度合い、お
よびサブアレイ内で第１の方向に向けられたミラーの場
所によって決定される。典型的には、ミラーはデジタル
・モードで操作され、所定のミラーは、完全に第１の方
向に回転されるか、または完全に第２の方向に回転され
る。ミラーがアナログ・モードで操作されるとき、ミラ
ーが回転される度合いによって、ミラーに当たる光が固
定ミラーによって出力導波管３２２へと反射される度合
いが決定される。サブアレイの中央部近くのミラーは、
中央から遠いミラーと比較して、サブビームをより多く
受ける。
【００５９】所定のサブアレイにおいてミラーを制御す
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
ることによって、そのサブアレイに対応するサブビーム
の退出強度が変えられる。このように、各サブアレイの
ミラーの位置を個別に変えることによって、退出する各
サブビームの強度が変えられる。ミラーは、典型的に
は、入力および出力ファイバを通って進む各サブビーム
間のパワーを等化するよう位置付けられるが、種々のサ
ブビームは、他のパワー・レベルを有するように調節さ
れてもよい。
【００６０】図７に示される光レイアウトはまた、先の
実施例の検出器、検出プロセッサおよび制御器との組み
合わせにおいてもまた有用である。図７の光ダンプ３２
０の代わりに検出器を用いることで、システムがミラー
・アレイ３１４によって戻り経路から放出される光をモ
ニタすることが可能となる。検出プロセッサは、検出器
から信号を読み取り、信号を制御器へと提供する。平行
な位置における所定のサブアレイからミラーの数および
場所を、および検出器によって受信される信号の強度を
知ることによって、検出制御器は、そのサブアレイに対
応する信号の入力および出力強度を決定することができ
る。制御器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有
するように、どのミラーが第１および第２の方向に回転
されるのかを決定する。
実施例の検出器、検出プロセッサおよび制御器との組み
合わせにおいてもまた有用である。図７の光ダンプ３２
０の代わりに検出器を用いることで、システムがミラー
・アレイ３１４によって戻り経路から放出される光をモ
ニタすることが可能となる。検出プロセッサは、検出器
から信号を読み取り、信号を制御器へと提供する。平行
な位置における所定のサブアレイからミラーの数および
場所を、および検出器によって受信される信号の強度を
知ることによって、検出制御器は、そのサブアレイに対
応する信号の入力および出力強度を決定することができ
る。制御器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有
するように、どのミラーが第１および第２の方向に回転
されるのかを決定する。
【００６１】制御器が、検出プロセッサからのみなら
ず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。外部
源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビーム
の入力信号強度についての情報、および１つ以上のサブ
ビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む種々
の情報を提供する。このように、外部源は、所定のサブ
ビームがその予期される信号経路に適した特定の出力信
号強度を有するように指示することができる。
ず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。外部
源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビーム
の入力信号強度についての情報、および１つ以上のサブ
ビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む種々
の情報を提供する。このように、外部源は、所定のサブ
ビームがその予期される信号経路に適した特定の出力信
号強度を有するように指示することができる。
【００６２】図８は、開示された発明の別の実施例によ
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図７にお
けるように、図８の実施例は、第３のレンズ３２９を用
いて等化された出力光を集め、そしてそれを出力ファイ
バ３２２へと向ける。
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図７にお
けるように、図８の実施例は、第３のレンズ３２９を用
いて等化された出力光を集め、そしてそれを出力ファイ
バ３２２へと向ける。
【００６３】先の図に示されるように、入力ファイバ３
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長分離デバイス３１０によ
って、波長にしたがって種々のサブビームへと空間的に
分離される。一般にサブビームは単一波長であると考え
られている一方で、サブビームが光ファイバ入力で用い
られる種々のチャンネルへと分離される限り、サブビー
ムは狭い範囲の複数の波長を有していてもよいというこ
とが理解されるべきである。
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長分離デバイス３１０によ
って、波長にしたがって種々のサブビームへと空間的に
分離される。一般にサブビームは単一波長であると考え
られている一方で、サブビームが光ファイバ入力で用い
られる種々のチャンネルへと分離される限り、サブビー
ムは狭い範囲の複数の波長を有していてもよいというこ
とが理解されるべきである。
【００６４】マイクロミラー・アレイ３１４で、各サブ
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、再反射器３３４へと反射される。サブアレイのマイ
クロミラーが、光を第２の方向に屈折させるならば、光
は光トラップ３２０へと向けられる。
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、再反射器３３４へと反射される。サブアレイのマイ
クロミラーが、光を第２の方向に屈折させるならば、光
は光トラップ３２０へと向けられる。
【００６５】再反射器３３４は、マイクロミラー・パッ
ケージ・ウィンドウの内側表面上の反射部分であるか、
またはマイクロミラー・アレイ３１４の第１の領域３３
６からの光をマイクロミラー・アレイの第２の領域３３
８へと反射するよう位置付けられる別の反射器であり得
る。図８は、入力信号の単一サブビームのための波長等
化器の動作を示している。先の実施例のように、図８の
波長分離デバイス３１０は、入力光ビームをいくつかの
サブビームに分離する。その他の種々のサブビームは示
されていないが、一般には、図８の平面に平行な平面上
にある。したがって、再反射器およびマイクロミラー・
アレイの第１および第２の領域は、一般には、図８の平
面から延びている。
ケージ・ウィンドウの内側表面上の反射部分であるか、
またはマイクロミラー・アレイ３１４の第１の領域３３
６からの光をマイクロミラー・アレイの第２の領域３３
８へと反射するよう位置付けられる別の反射器であり得
る。図８は、入力信号の単一サブビームのための波長等
化器の動作を示している。先の実施例のように、図８の
波長分離デバイス３１０は、入力光ビームをいくつかの
サブビームに分離する。その他の種々のサブビームは示
されていないが、一般には、図８の平面に平行な平面上
にある。したがって、再反射器およびマイクロミラー・
アレイの第１および第２の領域は、一般には、図８の平
面から延びている。
【００６６】図８のマイクロミラー・アレイ３１４にお
けるマイクロミラーの第２の領域３３８に到達する光
は、第２の領域のミラー位置に依存する方向に反射され
る。光が第１の位置にあるミラーに到達するならば、そ
れは第３のレンズ３２９へと反射される。光が第２の位
置にあるミラーへと到達するならば、それは検出器３２
４へと反射される。各波長についての第１および第２の
領域におけるマイクロミラーは、信号の強度を決定する
ように共同して働くので、それらは典型的には、たとえ
お互いから空間的に分離されていても、単一のサブアレ
イとして考えることができる。
けるマイクロミラーの第２の領域３３８に到達する光
は、第２の領域のミラー位置に依存する方向に反射され
る。光が第１の位置にあるミラーに到達するならば、そ
れは第３のレンズ３２９へと反射される。光が第２の位
置にあるミラーへと到達するならば、それは検出器３２
４へと反射される。各波長についての第１および第２の
領域におけるマイクロミラーは、信号の強度を決定する
ように共同して働くので、それらは典型的には、たとえ
お互いから空間的に分離されていても、単一のサブアレ
イとして考えることができる。
【００６７】第３のレンズ３２９は、第１の位置でミラ
ーから光を受け、そしてその光を、回折格子３３０のよ
うな第２の波長分離デバイスへと送る。単一波長分離デ
バイスが、時折第１および第２の波長分離デバイスの双
方として用いられる。そして光は、第４のレンズ３３２
へと進み、その第４のレンズ３３２によって、出力ファ
イバ３２２へと焦点を合わせられる。
ーから光を受け、そしてその光を、回折格子３３０のよ
うな第２の波長分離デバイスへと送る。単一波長分離デ
バイスが、時折第１および第２の波長分離デバイスの双
方として用いられる。そして光は、第４のレンズ３３２
へと進み、その第４のレンズ３３２によって、出力ファ
イバ３２２へと焦点を合わせられる。
【００６８】図８において、先の実施例におけるよう
に、出力導波管３２２へと戻る各サブビームの強度は、
サブビームの入力強度、第１の方向に向けられた第１及
び第２の領域各々におけるミラーの数、ミラーが第１の
方向に向けられる度合い、およびサブアレイ内で第１の
方向に向けられたミラーの場所によって決定される。典
型的には、ミラーはデジタル・モードで操作され、所定
のミラーは、完全に第１の方向に回転されるか、または
完全に第２の方向に回転される。ミラーがアナログ・モ
ードで操作されるとき、ミラーが回転される度合いによ
って、ミラーに当たる光が固定ミラーによって出力導波
管３２２へと反射される度合いが決定される。サブアレ
イの中央部近くのミラーは、中央から遠いミラーと比較
して、サブビームをより多く受ける。
に、出力導波管３２２へと戻る各サブビームの強度は、
サブビームの入力強度、第１の方向に向けられた第１及
び第２の領域各々におけるミラーの数、ミラーが第１の
方向に向けられる度合い、およびサブアレイ内で第１の
方向に向けられたミラーの場所によって決定される。典
型的には、ミラーはデジタル・モードで操作され、所定
のミラーは、完全に第１の方向に回転されるか、または
完全に第２の方向に回転される。ミラーがアナログ・モ
ードで操作されるとき、ミラーが回転される度合いによ
って、ミラーに当たる光が固定ミラーによって出力導波
管３２２へと反射される度合いが決定される。サブアレ
イの中央部近くのミラーは、中央から遠いミラーと比較
して、サブビームをより多く受ける。
【００６９】マイクロミラー・アレイの第１及び第２の
領域においてミラーを制御することによって、そのサブ
アレイに対応するサブビームの退出強度が変えられる。
このように、各サブアレイのミラーの位置を個別に変え
ることによって、退出する各サブビームの強度が変えら
れる。ミラーは、典型的には、入力および出力ファイバ
を通って進む各サブビーム間のパワーを等化するよう位
置付けられるが、種々のサブビームは、他のパワー・レ
ベルを有するように調節されてもよい。
領域においてミラーを制御することによって、そのサブ
アレイに対応するサブビームの退出強度が変えられる。
このように、各サブアレイのミラーの位置を個別に変え
ることによって、退出する各サブビームの強度が変えら
れる。ミラーは、典型的には、入力および出力ファイバ
を通って進む各サブビーム間のパワーを等化するよう位
置付けられるが、種々のサブビームは、他のパワー・レ
ベルを有するように調節されてもよい。
【００７０】光トラップ３２０と検出器３２４の場所は
反転することができるけれども、図８に示されている光
レイアウトによって、信号の強度を検出器３２４により
測定するのに先立って等化することが可能となる。これ
によって、出力信号から取り去られた光の全てを検出器
へと向ける実施例と比較して、更にずっとダイナミック
・レンジを制限して検出器を用いることが可能となる。
図８において、信号はマイクロミラーの第１の領域によ
って等化されるが、それによって出力信号から取り去ら
れた光は光トラップ３２０へと送られる。そして、マイ
クロミラー・アレイの第２の領域は、残りの出力光のわ
ずかな一部を取り去って、そのわずかな一部を検出器３
２４へと向ける。検出プロセッサは、検出器からの信号
を読み取って、信号を制御器に提供する。第２の位置に
あるサブアレイの第２の領域からミラーの数および場所
を並びに検出器によって受信される信号の強度を知るこ
とによって、検出制御器は、そのサブアレイに対応する
信号の出力強度を決定することができる。そして、制御
器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有するよう
に、第１の領域にあるどのミラーが第１および第２の方
向に回転するのかを決定する。
反転することができるけれども、図８に示されている光
レイアウトによって、信号の強度を検出器３２４により
測定するのに先立って等化することが可能となる。これ
によって、出力信号から取り去られた光の全てを検出器
へと向ける実施例と比較して、更にずっとダイナミック
・レンジを制限して検出器を用いることが可能となる。
図８において、信号はマイクロミラーの第１の領域によ
って等化されるが、それによって出力信号から取り去ら
れた光は光トラップ３２０へと送られる。そして、マイ
クロミラー・アレイの第２の領域は、残りの出力光のわ
ずかな一部を取り去って、そのわずかな一部を検出器３
２４へと向ける。検出プロセッサは、検出器からの信号
を読み取って、信号を制御器に提供する。第２の位置に
あるサブアレイの第２の領域からミラーの数および場所
を並びに検出器によって受信される信号の強度を知るこ
とによって、検出制御器は、そのサブアレイに対応する
信号の出力強度を決定することができる。そして、制御
器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有するよう
に、第１の領域にあるどのミラーが第１および第２の方
向に回転するのかを決定する。
【００７１】制御器が、検出プロセッサからのみなら
ず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。外部
源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビーム
の入力信号強度についての情報、および１つ以上のサブ
ビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む種々
の情報を提供する。このように、外部源は、所定のサブ
ビームがその予期される信号経路に適した特定の出力信
号強度を有するように指示することができる。
ず、代わりに、外部源からの信号もまた受信する。外部
源は、例示のために記述すると、１つ以上のサブビーム
の入力信号強度についての情報、および１つ以上のサブ
ビームについて望まれる出力信号強度の情報を含む種々
の情報を提供する。このように、外部源は、所定のサブ
ビームがその予期される信号経路に適した特定の出力信
号強度を有するように指示することができる。
【００７２】図９は、開示された発明の別の実施例によ
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図９にお
いて、単一のレンズ３１２が、入力サブビーム９０４お
よび出力サブビーム９０６の双方の焦点を合わせるのに
用いられる。波長分離デバイス３１０がまた、変調され
た出力サブビームを結合するのに用いられる。
る波長等化器の、別の実施例の概略図である。図９にお
いて、単一のレンズ３１２が、入力サブビーム９０４お
よび出力サブビーム９０６の双方の焦点を合わせるのに
用いられる。波長分離デバイス３１０がまた、変調され
た出力サブビームを結合するのに用いられる。
【００７３】先の図に示されるように、入力ファイバ３
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長分離デバイス３１０によ
って、波長にしたがって種々のサブビームへと空間的に
分離される。一般にサブビームは単一波長であると考え
られている一方で、サブビームが光ファイバ入力で用い
られる種々のチャンネルへと分離される限り、サブビー
ムは狭い範囲の複数の波長を有していてもよいというこ
とが理解されるべきである。
０２からの光は、第１のレンズ３０６、典型的にはコリ
メータ、によって焦点が合わされ、そして第１の波長分
離デバイス３１０、典型的には回折格子、に向けられ
る。分離デバイスは、光ファイバ３０２によって運ばれ
る各波長を空間的に分離する。そして光は、第２のレン
ズ３１２、典型的には焦点レンズ、を通過する。第２の
レンズ３１２は、光をマイクロミラー・アレイ３１４に
向ける。入力光ビームは、波長分離デバイス３１０によ
って、波長にしたがって種々のサブビームへと空間的に
分離される。一般にサブビームは単一波長であると考え
られている一方で、サブビームが光ファイバ入力で用い
られる種々のチャンネルへと分離される限り、サブビー
ムは狭い範囲の複数の波長を有していてもよいというこ
とが理解されるべきである。
【００７４】マイクロミラー・アレイ３１４で、各サブ
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、再反射器３３４へと反射される。サブアレイのマイ
クロミラーが、光を第２の方向に屈折させるならば、光
は光トラップ３２０へと向けられる。
ミラーはマイクロミラーのサブアレイに突き当たる。サ
ブビームから大量の光を受けるマイクロミラーの数は、
等化器によって用いられる光構成部品およびサブビーム
の強度に依存する。所定のサブアレイのマイクロミラー
が第１の位置にあるならば、マイクロミラーに当たる光
は、再反射器３３４へと反射される。サブアレイのマイ
クロミラーが、光を第２の方向に屈折させるならば、光
は光トラップ３２０へと向けられる。
【００７５】再反射器３３４は、マイクロミラー・パッ
ケージ・ウィンドウの内側表面上の反射部分であるか、
またはマイクロミラー・アレイ３１４の第１の領域から
の光をマイクロミラー・アレイの第２の領域へと反射す
るよう位置付けられる別の反射器であり得る。先の実施
例のように、図８の波長分離デバイス３１０は、入力光
ビームをいくつかのサブビームに分離する。図９は、第
１の方向に分離されたある範囲のサブビームのための波
長等化器の動作を示している。出力サブビーム９０６は
分離され、領域９０８に沿ったマイクロミラー・アレイ
３１４の第２の領域に当たる。
ケージ・ウィンドウの内側表面上の反射部分であるか、
またはマイクロミラー・アレイ３１４の第１の領域から
の光をマイクロミラー・アレイの第２の領域へと反射す
るよう位置付けられる別の反射器であり得る。先の実施
例のように、図８の波長分離デバイス３１０は、入力光
ビームをいくつかのサブビームに分離する。図９は、第
１の方向に分離されたある範囲のサブビームのための波
長等化器の動作を示している。出力サブビーム９０６は
分離され、領域９０８に沿ったマイクロミラー・アレイ
３１４の第２の領域に当たる。
【００７６】図９のマイクロミラー・アレイ３１４にお
けるマイクロミラーの第２の領域９０８に到達する光
は、第２の領域のミラー位置に依存する方向に反射され
る。光が第１の位置にあるミラーに到達するならば、そ
れは第２のレンズ３１２へと反射される。光が第２の位
置にあるミラーへと到達するならば、それは検出器３２
４へと反射される。各波長についての第１および第２の
領域におけるマイクロミラーは、信号の強度を決定する
ように共同して働くので、それらは典型的には、たとえ
お互いから空間的に分離されていても、単一のサブアレ
イとして考えることができる。
けるマイクロミラーの第２の領域９０８に到達する光
は、第２の領域のミラー位置に依存する方向に反射され
る。光が第１の位置にあるミラーに到達するならば、そ
れは第２のレンズ３１２へと反射される。光が第２の位
置にあるミラーへと到達するならば、それは検出器３２
４へと反射される。各波長についての第１および第２の
領域におけるマイクロミラーは、信号の強度を決定する
ように共同して働くので、それらは典型的には、たとえ
お互いから空間的に分離されていても、単一のサブアレ
イとして考えることができる。
【００７７】第２のレンズ３１２は、第１の位置にある
ミラーから光を受け、そしてその光を波長分離デバイス
３１０、典型的には回折格子、へと渡す。そしてその光
は、第３のレンズ３３２へと進み、その第３のレンズ３
３２によって出力ファイバ３２２へと焦点を合わせられ
る。
ミラーから光を受け、そしてその光を波長分離デバイス
３１０、典型的には回折格子、へと渡す。そしてその光
は、第３のレンズ３３２へと進み、その第３のレンズ３
３２によって出力ファイバ３２２へと焦点を合わせられ
る。
【００７８】図９において、先の実施例におけるよう
に、出力導波管３２２へと戻る各サブビームの強度は、
サブビームの入力強度、第１の方向に向けられた第１及
び第２の領域各々におけるミラーの数、ミラーが第１の
方向に向けられる度合い、およびサブアレイ内で第１の
方向に向けられたミラーの場所によって決定される。典
型的には、ミラーはデジタル・モードで操作され、所定
のミラーは、完全に第１の方向に回転されるか、または
完全に第２の方向に回転される。ミラーがアナログ・モ
ードで操作されるとき、ミラーが回転される度合いによ
って、ミラーに当たる光が出力導波管３２２へと反射さ
れる度合いが決定される。サブアレイの中央部近くのミ
ラーは、中央から遠いミラーと比較して、サブビームを
より多く受ける。
に、出力導波管３２２へと戻る各サブビームの強度は、
サブビームの入力強度、第１の方向に向けられた第１及
び第２の領域各々におけるミラーの数、ミラーが第１の
方向に向けられる度合い、およびサブアレイ内で第１の
方向に向けられたミラーの場所によって決定される。典
型的には、ミラーはデジタル・モードで操作され、所定
のミラーは、完全に第１の方向に回転されるか、または
完全に第２の方向に回転される。ミラーがアナログ・モ
ードで操作されるとき、ミラーが回転される度合いによ
って、ミラーに当たる光が出力導波管３２２へと反射さ
れる度合いが決定される。サブアレイの中央部近くのミ
ラーは、中央から遠いミラーと比較して、サブビームを
より多く受ける。
【００７９】マイクロミラー・アレイの第１及び第２の
領域においてミラーを制御することによって、そのサブ
アレイに対応するサブビームの退出強度が変えられる。
このように、各サブアレイのミラーの位置を個別に変え
ることによって、退出する各サブビームの強度が変えら
れる。ミラーは、典型的には、入力および出力ファイバ
を通って進む各サブビーム間のパワーを等化するよう位
置付けられるが、種々のサブビームは、他のパワー・レ
ベルを有するように調節されてもよい。
領域においてミラーを制御することによって、そのサブ
アレイに対応するサブビームの退出強度が変えられる。
このように、各サブアレイのミラーの位置を個別に変え
ることによって、退出する各サブビームの強度が変えら
れる。ミラーは、典型的には、入力および出力ファイバ
を通って進む各サブビーム間のパワーを等化するよう位
置付けられるが、種々のサブビームは、他のパワー・レ
ベルを有するように調節されてもよい。
【００８０】光トラップ３２０と検出器３２４の場所は
反転することができるけれども、図９に示されている光
レイアウトによって、信号の強度を検出器３２４により
測定するのに先立って等化することが可能となる。これ
によって、出力信号から取り去られた光の全てを検出器
へと向ける実施例と比較して、更にずっとダイナミック
・レンジを制限して検出器を用いることが可能となる。
図９において、信号はマイクロミラーの第１の領域によ
って等化されるが、それによって出力信号から取り去ら
れた光は光トラップ３２０へと送られる。そして、マイ
クロミラー・アレイの第２の領域は、残りの出力光のわ
ずかな一部を取り去って、そのわずかな一部を検出器３
２４へと向ける。制御器９０２は、検出器からの信号を
読み取って、制御信号を変調器３１４に提供する。第２
の位置にあるサブアレイの第２の領域からミラーの数お
よび場所を並びに検出器によって受信される信号の強度
を知ることによって、制御器は、そのサブアレイに対応
する信号の出力強度を決定することができる。そして、
制御器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有する
ように、第１の領域にあるどのミラーが第１および第２
の方向に回転するのかを決定する。
反転することができるけれども、図９に示されている光
レイアウトによって、信号の強度を検出器３２４により
測定するのに先立って等化することが可能となる。これ
によって、出力信号から取り去られた光の全てを検出器
へと向ける実施例と比較して、更にずっとダイナミック
・レンジを制限して検出器を用いることが可能となる。
図９において、信号はマイクロミラーの第１の領域によ
って等化されるが、それによって出力信号から取り去ら
れた光は光トラップ３２０へと送られる。そして、マイ
クロミラー・アレイの第２の領域は、残りの出力光のわ
ずかな一部を取り去って、そのわずかな一部を検出器３
２４へと向ける。制御器９０２は、検出器からの信号を
読み取って、制御信号を変調器３１４に提供する。第２
の位置にあるサブアレイの第２の領域からミラーの数お
よび場所を並びに検出器によって受信される信号の強度
を知ることによって、制御器は、そのサブアレイに対応
する信号の出力強度を決定することができる。そして、
制御器は、所定の信号が出力で適切な信号強度を有する
ように、第１の領域にあるどのミラーが第１および第２
の方向に回転するのかを決定する。
【００８１】制御器が、検出器からのみならず、代わり
に、ネットワークのような外部源からの信号もまた受信
する。外部源は、例示のために記述すると、１つ以上の
サブビームの入力信号強度についての情報、および１つ
以上のサブビームについて望まれる出力信号強度の情報
を含む種々の情報を提供する。このように、外部源は、
所定のサブビームがその予期される信号経路に適した特
定の出力信号強度を有するように指示することができ
る。制御器はまた、信号を外部ネットワークに提供し
て、種々のサブビームの信号強度についての情報を通信
する。
に、ネットワークのような外部源からの信号もまた受信
する。外部源は、例示のために記述すると、１つ以上の
サブビームの入力信号強度についての情報、および１つ
以上のサブビームについて望まれる出力信号強度の情報
を含む種々の情報を提供する。このように、外部源は、
所定のサブビームがその予期される信号経路に適した特
定の出力信号強度を有するように指示することができ
る。制御器はまた、信号を外部ネットワークに提供し
て、種々のサブビームの信号強度についての情報を通信
する。
【００８２】このように、こういった点まで、波長等化
器およびその方法についての特定の実施例が開示されて
いるけれども、特許請求の範囲での記述を除く限りにお
いて、そのように特定して言及することで、この発明の
範囲を限定して考えることにならないよう意図されてい
る。更には、発明を、そのある特定の実施例と関連して
記述しているが、ここで、更なる変更が当業者に対して
示唆されるものとなっていることが理解されるべきであ
り、添付した特許請求の範囲には、その範囲内のものと
なるような全ての変更が含まれることを意図している。
器およびその方法についての特定の実施例が開示されて
いるけれども、特許請求の範囲での記述を除く限りにお
いて、そのように特定して言及することで、この発明の
範囲を限定して考えることにならないよう意図されてい
る。更には、発明を、そのある特定の実施例と関連して
記述しているが、ここで、更なる変更が当業者に対して
示唆されるものとなっていることが理解されるべきであ
り、添付した特許請求の範囲には、その範囲内のものと
なるような全ての変更が含まれることを意図している。
【００８３】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 （１）第１の光経路に沿って光のビームを提供する入力
導波管と、出力導波管と、前記光のビームをサブビーム
へと分割する波長分離デバイスと、前記サブビームの経
路における空間光変調器であって、前記空間光変調器の
素子のサブアレイは、第１および第２の位置の間で動作
可能であり、前記第１の位置は、前記サブビームの光を
前記出力導波管に向け、かつ前記第２の位置は、前記サ
ブビームの前記光を前記出力導波管から除外する空間光
変調器とを備える波長等化器。 （２）前記第１の位置にある前記空間光変調器素子から
の光を受け、そしてそのような光を前記第１の位置にあ
る前記素子へと反射する固定ミラーと、前記出力導波管
へと進む光から第１の方向に進む入力光を分離する光分
離デバイスとを更に備える第１項記載の波長等化器。 （３）前記波長分離デバイスの前で前記光のビームの焦
点を合わせるか、またはそれを平行にする第１のレンズ
を更に備える第１項記載の波長等化器。 （４）前記出力導波管に向けられた前記サブビームが、
前記空間光変調器によって方向付けられた後、前記第１
のレンズを通過する第３項記載の波長等化器。 （５）前記第２の位置にある前記素子からの光を測定す
る検出器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （６）前記波長分離デバイスからの光を前記空間光変調
器に向ける第２のレンズを更に備える第１項記載の波長
等化器。 （７）前記サブビームを再結合して出力ビームとする波
長結合器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （８）前記波長結合器が、前記波長分離デバイスである
第７項記載の波長等化器。 （９）前記第１のサブアレイの前記素子は、少なくとも
２つの領域に分割されていて、前記サブアレイの第１の
領域における素子によって反射される光を受けて、入射
光を、前記サブアレイの第２の領域における素子に向け
る再反射器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （１０）第２の位置で屈折された、前記第２の領域にお
ける素子からの光を検出する検出器を更に備える第９項
記載の波長等化器。
る。 （１）第１の光経路に沿って光のビームを提供する入力
導波管と、出力導波管と、前記光のビームをサブビーム
へと分割する波長分離デバイスと、前記サブビームの経
路における空間光変調器であって、前記空間光変調器の
素子のサブアレイは、第１および第２の位置の間で動作
可能であり、前記第１の位置は、前記サブビームの光を
前記出力導波管に向け、かつ前記第２の位置は、前記サ
ブビームの前記光を前記出力導波管から除外する空間光
変調器とを備える波長等化器。 （２）前記第１の位置にある前記空間光変調器素子から
の光を受け、そしてそのような光を前記第１の位置にあ
る前記素子へと反射する固定ミラーと、前記出力導波管
へと進む光から第１の方向に進む入力光を分離する光分
離デバイスとを更に備える第１項記載の波長等化器。 （３）前記波長分離デバイスの前で前記光のビームの焦
点を合わせるか、またはそれを平行にする第１のレンズ
を更に備える第１項記載の波長等化器。 （４）前記出力導波管に向けられた前記サブビームが、
前記空間光変調器によって方向付けられた後、前記第１
のレンズを通過する第３項記載の波長等化器。 （５）前記第２の位置にある前記素子からの光を測定す
る検出器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （６）前記波長分離デバイスからの光を前記空間光変調
器に向ける第２のレンズを更に備える第１項記載の波長
等化器。 （７）前記サブビームを再結合して出力ビームとする波
長結合器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （８）前記波長結合器が、前記波長分離デバイスである
第７項記載の波長等化器。 （９）前記第１のサブアレイの前記素子は、少なくとも
２つの領域に分割されていて、前記サブアレイの第１の
領域における素子によって反射される光を受けて、入射
光を、前記サブアレイの第２の領域における素子に向け
る再反射器を更に備える第１項記載の波長等化器。 （１０）第２の位置で屈折された、前記第２の領域にお
ける素子からの光を検出する検出器を更に備える第９項
記載の波長等化器。
【００８４】（１１）光入力信号の複数の成分を等化す
る方法であって、前記成分を分離し、前記成分の各々を
マイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、第１の位
置にあるマイクロミラーが入射光を出力ファイバに向
け、第２の位置にあるマイクロミラーがそうしないよう
に、前記サブアレイの各々のマイクロミラーを位置決め
し、前記サブビームを結合して光の出力ビームとする前
記方法。 （１２）更に、光分離デバイスを用いて前記入力ビーム
と前記出力ビームとを分離する第１１項記載の方法。 （１３）更に、光サーキュレータを用いて前記入力ビー
ムと前記出力ビームとを分離する第１１項記載の方法。 （１４）更に、前記第２の位置にある前記ミラーからの
前記光の少なくとも一部を検出する第１１項記載の方
法。 （１５）前記マイクロミラーの前記位置決めは、前記第
２の位置にある前記ミラーから検出される光の量によっ
て決定される第１４項記載の方法。
る方法であって、前記成分を分離し、前記成分の各々を
マイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、第１の位
置にあるマイクロミラーが入射光を出力ファイバに向
け、第２の位置にあるマイクロミラーがそうしないよう
に、前記サブアレイの各々のマイクロミラーを位置決め
し、前記サブビームを結合して光の出力ビームとする前
記方法。 （１２）更に、光分離デバイスを用いて前記入力ビーム
と前記出力ビームとを分離する第１１項記載の方法。 （１３）更に、光サーキュレータを用いて前記入力ビー
ムと前記出力ビームとを分離する第１１項記載の方法。 （１４）更に、前記第２の位置にある前記ミラーからの
前記光の少なくとも一部を検出する第１１項記載の方
法。 （１５）前記マイクロミラーの前記位置決めは、前記第
２の位置にある前記ミラーから検出される光の量によっ
て決定される第１４項記載の方法。
【００８５】（１６）波長等化器および方法である。波
長等化器は、入力導波管（３０２）、出力導波管（３２
２）、波長分離デバイス（３１０）およびマイクロミラ
ー・アレイ（３１４）を備える。波長分離デバイス（３
１０）は、光の入力ビームをサブビームに分割する。マ
イクロミラー・アレイ（３１４）におけるマイクロミラ
ーの第１のサブアレイは、第１および第２の位置の間で
動作可能である。第１の位置は、サブビームへの光を出
力導波管（３２２）に向け、また第２の位置は、出力導
波管（３２２）からのサブビームの光を除外する。光入
力信号の複数の成分を等化する方法は、成分を分離し、
各成分をマイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、
第１の位置にあるマイクロミラーが入射光を出力導波管
に向け、かつ第２の位置にあるマイクロミラーがそうし
ないように各サブアレイにおけるマイクロミラーを位置
決めし、およびサブビームを光の出力ビームへと結合す
ることを備える。
長等化器は、入力導波管（３０２）、出力導波管（３２
２）、波長分離デバイス（３１０）およびマイクロミラ
ー・アレイ（３１４）を備える。波長分離デバイス（３
１０）は、光の入力ビームをサブビームに分割する。マ
イクロミラー・アレイ（３１４）におけるマイクロミラ
ーの第１のサブアレイは、第１および第２の位置の間で
動作可能である。第１の位置は、サブビームへの光を出
力導波管（３２２）に向け、また第２の位置は、出力導
波管（３２２）からのサブビームの光を除外する。光入
力信号の複数の成分を等化する方法は、成分を分離し、
各成分をマイクロミラー・アレイのサブアレイに向け、
第１の位置にあるマイクロミラーが入射光を出力導波管
に向け、かつ第２の位置にあるマイクロミラーがそうし
ないように各サブアレイにおけるマイクロミラーを位置
決めし、およびサブビームを光の出力ビームへと結合す
ることを備える。
本発明をより完全に理解するために、添付した図面と関
連付けて、詳細な説明を参照するが、それらの図面は以
下の通りである。
連付けて、詳細な説明を参照するが、それらの図面は以
下の通りである。
【図１】従来技術のマイクロミラー・アレイのわずかな
一部の斜視図である。
一部の斜視図である。
【図２】図１のマイクロミラー・アレイからの単一のマ
イクロミラー素子の斜視分解図である。
イクロミラー素子の斜視分解図である。
【図３】本発明による波長等化器の一実施例の概略図で
ある。
ある。
【図４】入力信号の強度を検知する検出器を用いる、本
発明による波長等化器の一実施例の概略図である。
発明による波長等化器の一実施例の概略図である。
【図５】固定ミラーを使うことなく動作する、本発明に
よる波長等化器の、別の実施例の概略図である。
よる波長等化器の、別の実施例の概略図である。
【図６】検出器および光トラップの双方を用いる、図５
の実施例に類似する本発明による波長等化器の、別の実
施例の概略図である。
の実施例に類似する本発明による波長等化器の、別の実
施例の概略図である。
【図７】円形またはその他の光分離デバイスを必要とし
ない、本発明による波長等化器の、別の実施例の概略図
である。
ない、本発明による波長等化器の、別の実施例の概略図
である。
【図８】逆反射器および２つのグループのミラー素子を
用い、かつ出力パワー・モニタを有する本発明による波
長等化器の、別の実施例の概略図である。
用い、かつ出力パワー・モニタを有する本発明による波
長等化器の、別の実施例の概略図である。
【図９】逆反射器および２つのグループのミラー素子を
用い、かつ出力パワー・モニタを有する本発明による波
長等化器の、別の実施例の概略図である。
用い、かつ出力パワー・モニタを有する本発明による波
長等化器の、別の実施例の概略図である。
１００ マイクロミラー １０２ ミラー １０４ 基板 １０６ 絶縁層 １１０ アドレス電極 １１２ ミラー・バイアス接続 １１４ ヒンジ・ヨーク １１６ ねじれヒンジ １１８ スペーサビア １２０ ヒンジ １２２ ヒンジ・キャップ １２４ 上部アドレス電極 １２６ スペーサビア ３０２ 導波管 ３０４ サーキュレータ ３０６ レンズ ３１０ 波長分離デバイス ３１２ 第２のレンズ ３１４ マイクロミラー・アレイ ３１６ 固定ミラー ３１８ 第２の方向 ３２０ 光トラップ ３２２ 導波管 ３２４ 検出器 ３２６ 検出プロセッサ ３２８ 制御器 ３２９ 第３のレンズ ３３４ 再反射器 ３３６ 第１の領域 ３３８ 第２の領域 ９０４ 入力サブビーム ９０６ 出力サブビーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 6/32 Ｇ０２Ｂ 6/32 6/34 6/34 26/08 26/08 Ｅ Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA23 BA25 CA11 CA32 CA33 CA38 2H038 AA22 AA23 AA35 BA04 BA21 BA34 2H041 AA12 AA18 AB14 AC06 AZ02 AZ08
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の光経路に沿って光のビームを提供
する入力導波管と、 出力導波管と、 前記光のビームをサブビームへと分割する波長分離デバ
イスと、 前記サブビームの経路における空間光変調器であって、
前記空間光変調器の素子のサブアレイは、第１および第
２の位置の間で動作可能であり、前記第１の位置は、前
記サブビームの光を前記出力導波管に向け、かつ前記第
２の位置は、前記サブビームの前記光を前記出力導波管
から除外する空間光変調器とを備える波長等化器。 - 【請求項２】 光入力信号の複数の成分を等化する方法
であって、 前記成分を分離し、 前記成分の各々をマイクロミラー・アレイのサブアレイ
に向け、 第１の位置にあるマイクロミラーが入射光を出力ファイ
バに向け、第２の位置にあるマイクロミラーがそうしな
いように、前記サブアレイの各々のマイクロミラーを位
置決めし、 前記サブビームを結合して光の出力ビームとする前記方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US250520 | 1988-09-29 | ||
| US25052000P | 2000-11-30 | 2000-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002196173A true JP2002196173A (ja) | 2002-07-10 |
Family
ID=22948079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001364307A Pending JP2002196173A (ja) | 2000-11-30 | 2001-11-29 | マイクロミラー波長等化器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020081070A1 (ja) |
| EP (1) | EP1211534A3 (ja) |
| JP (1) | JP2002196173A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004063684A1 (ja) * | 2003-01-08 | 2004-07-29 | Nikon Corporation | 光学装置、モニタ装置、逆分散型二重分光器、および、逆分散型二重分光器の制御方法 |
| US7103258B2 (en) | 2003-04-25 | 2006-09-05 | Nikon Corporation | Attenuator device, and optical switching device |
| JP2009025755A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Ntt Electornics Corp | 波長選択スイッチ |
| JP2010534864A (ja) * | 2007-07-23 | 2010-11-11 | ニスティカ，インコーポレーテッド | 多機能デジタル光スイッチ |
| JP2012501106A (ja) * | 2008-08-21 | 2012-01-12 | ニスティカ，インコーポレーテッド | 光チャンネルモニタ |
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|---|---|---|---|---|
| US7116862B1 (en) | 2000-12-22 | 2006-10-03 | Cheetah Omni, Llc | Apparatus and method for providing gain equalization |
| US6445502B1 (en) | 2001-02-02 | 2002-09-03 | Celeste Optics, Inc. | Variable blazed grating |
| US6625346B2 (en) | 2001-03-19 | 2003-09-23 | Capella Photonics, Inc. | Reconfigurable optical add-drop multiplexers with servo control and dynamic spectral power management capabilities |
| WO2002082165A2 (en) | 2001-04-03 | 2002-10-17 | Cidra Corporation | Dynamic optical filter having a spatial light modulator |
| US6956687B2 (en) | 2001-04-03 | 2005-10-18 | Cidra Corporation | Optical blocking filter having an array of micro-mirrors |
| US7123833B2 (en) | 2001-08-09 | 2006-10-17 | Cidra Corporation | Dynamically reconfigurable optical smart node |
| US7126740B2 (en) | 2001-04-03 | 2006-10-24 | Cidra Corporation | Multifunctional optical device having a spatial light modulator with an array of micromirrors |
| US6934069B2 (en) | 2001-04-03 | 2005-08-23 | Cidra Corporation | Chromatic dispersion compensation device having an array of micromirrors |
| US6958841B2 (en) | 2001-05-23 | 2005-10-25 | Texas Instruments Incorporated | Generation of digital patterns for spatial light modulation |
| US7142749B2 (en) * | 2001-06-27 | 2006-11-28 | Finisar Corporation | System and method for controlling spectral passband profile |
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| US7203398B2 (en) * | 2003-03-20 | 2007-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Compact DMD-based optical module |
| US7187485B2 (en) * | 2003-07-31 | 2007-03-06 | Corning Incorporated | Integrated continuous spectrum spatial light modulator |
| US7483126B2 (en) * | 2004-06-23 | 2009-01-27 | Texas Instruments Incorporated | Performance analyses of micromirror devices |
| US7429983B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-09-30 | Cheetah Omni, Llc | Packet-based digital display system |
| GB2504970A (en) | 2012-08-15 | 2014-02-19 | Swan Thomas & Co Ltd | Optical device and methods to reduce cross-talk |
| DE102016209645A1 (de) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | Osram Gmbh | Beleuchtungsvorrichtung mit Sensor zwischen Optik und Absorber |
| DE102016212086A1 (de) * | 2016-07-04 | 2018-01-04 | Osram Gmbh | Beleuchtungsvorrichtung mit einer lichtquelle zur emission von beleuchtungslicht |
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| WO2020051297A1 (en) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | Flex-N-Gate Advanced Product Development, Llc | Adaptive beam scanning headlamp |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6097859A (en) * | 1998-02-12 | 2000-08-01 | The Regents Of The University Of California | Multi-wavelength cross-connect optical switch |
-
2001
- 2001-11-13 US US10/008,186 patent/US20020081070A1/en not_active Abandoned
- 2001-11-21 EP EP01000648A patent/EP1211534A3/en not_active Withdrawn
- 2001-11-29 JP JP2001364307A patent/JP2002196173A/ja active Pending
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| WO2004063684A1 (ja) * | 2003-01-08 | 2004-07-29 | Nikon Corporation | 光学装置、モニタ装置、逆分散型二重分光器、および、逆分散型二重分光器の制御方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1211534A2 (en) | 2002-06-05 |
| EP1211534A3 (en) | 2005-06-29 |
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