JP2002188066A - Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices - Google Patents
Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devicesInfo
- Publication number
- JP2002188066A JP2002188066A JP2001300158A JP2001300158A JP2002188066A JP 2002188066 A JP2002188066 A JP 2002188066A JP 2001300158 A JP2001300158 A JP 2001300158A JP 2001300158 A JP2001300158 A JP 2001300158A JP 2002188066 A JP2002188066 A JP 2002188066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- semiconductor device
- adhesive composition
- epoxy resin
- phosphorus compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は難燃化手法としてハ
ロゲンを用いず、燃焼時に有害ガスである臭化水素を発
生することのない非ハロゲン系難燃性半導装置用接着剤
組成物並びにそれを含有する半導体装置用接着剤シー
ト、カバーレイフィルムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adhesive composition for a non-halogen flame-retardant semiconductor device which does not use halogen as a flame-retarding method and does not generate hydrogen bromide which is a harmful gas during combustion. The present invention relates to an adhesive sheet for semiconductor devices and a coverlay film containing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、電子機器には小型化、軽量化、小
スペース化要求に対応するため、軽量でコンパクトでし
かも折り曲げ可能なフレキシブルプリント配線板、フラ
ットケーブル等が組み込まれている。そして例えばフレ
キシブルプリント配線板では接着剤によって絶縁フィル
ム上にプリント回路を接着することが一般的である。2. Description of the Related Art In recent years, flexible printed wiring boards, flat cables, and the like that are lightweight and compact and can be bent have been incorporated into electronic devices in order to meet demands for miniaturization, weight reduction, and space reduction. For example, in the case of a flexible printed wiring board, it is common to bond a printed circuit on an insulating film with an adhesive.
【0003】一方、環境への影響が社会問題として重要
視される中、電気・電子製品に要求される難燃性規制は
人体に対する安全性を考慮したより高い安全性に移行し
つつある。すなわち電気・電子製品は単に燃えにくいだ
けでなく、有害ガスや発煙の発生が少ないことが要望さ
れている。従来、電子部品を搭載するガラスエポキシ基
板などのプリント配線板(銅張積層板)、フレキシブル
プリント基板、封止材において、火災防止・遅延などの
安全性の理由から使用されている難燃剤は、特にテトラ
ブロモビスフェノールAを中心とする誘導体(臭素化エ
ポキシ樹脂等)が広く一般に使用されている。そしてこ
のような用途に使用する難燃性接着剤としては、例えば
飽和共重合ポリエステル樹脂を主成分とし、これに臭素
化有機難燃剤及び無機充填剤を加えたもの(特開昭62
−96580号公報)や同様に臭素化エポキシ樹脂、臭
素化ポリビニルフェノールを用いた難燃性接着剤シート
(特開平6−177520号公報)等が知られている。[0003] On the other hand, as the influence on the environment is regarded as a social problem, the regulation of flame retardancy required for electric and electronic products is shifting to higher safety in consideration of safety for the human body. That is, it is demanded that not only electric and electronic products are not easily burned but also generate less harmful gas and smoke. Flame retardants conventionally used in printed wiring boards (copper-clad laminates) such as glass-epoxy boards, flexible printed boards, and encapsulants, on which electronic components are mounted, are used for safety reasons such as fire prevention and delay. In particular, derivatives mainly based on tetrabromobisphenol A (brominated epoxy resins and the like) are widely and generally used. Examples of the flame-retardant adhesive used in such applications include, for example, a saturated copolymerized polyester resin as a main component, and a brominated organic flame retardant and an inorganic filler added thereto (Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-62).
Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-177520) and a flame-retardant adhesive sheet using a brominated epoxy resin and a brominated polyvinyl phenol (JP-A-6-177520).
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な臭素化エポキシ樹脂は良好な難燃性を有するものの、
接着後の時間経過に伴い腐食性を有するハロゲン化水素
(臭化水素)ガスを発生することがあり、特に芳香族臭
素化合物は熱分解により腐食性の臭素及び臭化水素を発
生するだけでなく、酸素存在下で分解した場合には、毒
性の強いポリブロムジベンゾフラン及びポリブロムジベ
ンゾジオキシンを形成する可能性がある。また、従来こ
の腐食性ガスによりプリント回路において腐食や曇りが
発生するといった不具合も発生しており、現在その使用
が抑制されつつある。However, such brominated epoxy resins have good flame retardancy,
With the passage of time after bonding, corrosive hydrogen halide (hydrogen bromide) gas may be generated. Particularly, aromatic bromine compounds not only generate corrosive bromine and hydrogen bromide by thermal decomposition, but also When decomposed in the presence of oxygen, highly toxic polybromodibenzofuran and polybromodibenzodioxin may be formed. In addition, there has conventionally been a problem that the corrosive gas causes corrosion or fogging in a printed circuit, and its use is being suppressed at present.
【0005】このような理由から、臭素含有難燃剤に変
わるものとして、リン化合物が広く検討されているが、
エポキシ樹脂系にリン酸エステルなどを用いる場合はブ
リードや加水分解の問題で、電子部品を搭載するガラス
エポキシ基板などのプリント配線板(銅張積層板)、フ
レキシブルプリント基板、封止材において十分満足しう
る特性が得られていない。すなわち、加水分解により遊
離のリン酸が生成し、ホスフィンなどの有害ガスの発生
や耐熱性、接着性、電気的特性などの製品信頼性を著し
く劣化させるという欠点が生じていた。そこで、特開2
000−129090号公報などのように、新たに反応
型のリン酸エステルを用いてリン化合物を樹脂のマトリ
ックスと結合させて難燃性と電気的特性を両立しその欠
点を解消しようとする試みが、半導体封止用成形材料や
リジッドな銅張積層板ではなされているが、カバーレイ
やフレキシブルプリント基板等においては未だ接着性、
半田耐熱性においては十分な効果が得られていない。For these reasons, phosphorus compounds have been widely studied as alternatives to bromine-containing flame retardants.
When using phosphate ester etc. in epoxy resin system, due to problems of bleeding and hydrolysis, it is fully satisfactory in printed wiring boards (copper-clad laminates) such as glass epoxy boards on which electronic components are mounted, flexible printed boards, and sealing materials. Possible properties have not been obtained. That is, free phosphoric acid is generated by the hydrolysis, and harmful gases such as phosphine are generated, and the product reliability such as heat resistance, adhesiveness, and electrical characteristics is significantly deteriorated. Therefore, JP
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 000-129090, there is an attempt to newly combine a phosphorus compound with a resin matrix by using a reactive phosphoric acid ester to achieve both flame retardancy and electrical characteristics and to eliminate the disadvantages. Although it is made with molding materials for semiconductor encapsulation and rigid copper-clad laminates, it still has adhesiveness on coverlays and flexible printed boards, etc.
Sufficient effects have not been obtained on solder heat resistance.
【0006】本発明は上記の欠点を解消するためになさ
れたもので、難燃化の手法としてハロゲンを含まず、多
官能型のリン系難燃剤を用いることによって良好な難燃
性を示すとともに、接着性、半田耐熱性、張り合わせ加
工性に優れた半導体装置用接着剤組成物並びにそれを含
有する半導体装置用接着剤シート、カバーレイフィルム
を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned drawbacks, and shows a good flame retardancy by using a halogen-free, multifunctional phosphorus-based flame retardant as a flame-retarding technique. It is an object of the present invention to provide an adhesive composition for a semiconductor device excellent in adhesiveness, solder heat resistance and laminating processability, and an adhesive sheet for a semiconductor device and a coverlay film containing the same.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は下記
(A)〜(D)を必須成分として含む熱硬化型の接着剤
であって、かつエポキシ樹脂と直接反応する多官能型リ
ン化合物を含むことを特徴とする半導体装置用接着剤組
成物であり、それを用いた接着剤シートおよびカバーレ
イフィルムである。 (A)カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエン
ゴム 100重量部、(B)エポキシ樹脂 50〜40
0重量部、(C)反応性指数Rgが3以上13以内であ
る芳香族ポリアミン、および反応性指数Rgが15以上
30以内である芳香族ポリアミンをそれぞれ少なくとも
1種類以上含む硬化剤混合物、(ただし、反応性指数R
gはビスフェノールAジグリシジルエーテルと該芳香族
ポリアミンとの混合物の150℃におけるゲル化時間t
hおよび同一条件におけるビスフェノールAジグリシジ
ルエーテルと4,4´ジアミノジフェニルメタンとの混
合物のゲル化時間tdとの比であり、下記式(1)で定
義される。) Rg=th/td……(1) (D)硬化促進剤 0.1〜5重量部。That is, the present invention relates to a thermosetting adhesive containing the following (A) to (D) as essential components, and a polyfunctional phosphorus compound which directly reacts with an epoxy resin. It is an adhesive composition for semiconductor devices characterized by including, and is an adhesive sheet and a coverlay film using the same. (A) 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene rubber containing a carboxyl group, (B) epoxy resin 50 to 40
0 parts by weight, (C) a curing agent mixture containing at least one kind of an aromatic polyamine having a reactivity index Rg of 3 to 13 and at least one aromatic polyamine having a reactivity index Rg of 15 to 30; , Reactivity index R
g is the gel time at 150 ° C. of the mixture of bisphenol A diglycidyl ether and the aromatic polyamine.
h and the ratio between the gelation time td of the mixture of bisphenol A diglycidyl ether and 4,4 ′ diaminodiphenylmethane under the same conditions, and is defined by the following formula (1). Rg = th / td (1) (D) 0.1 to 5 parts by weight of a curing accelerator.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
本発明の(A)で使用されるカルボキシル基含有アクリ
ロニトリルブタジエンゴム(以下NBR−Cと称する)
としては、例えばアクリロニトリルとブタジエンを約1
0/90〜50/50のモル比で共重合させた共重合ゴ
ムの末端基をカルボキシル化したもの、あるいはアクリ
ロニトリル、ブタジエンとアクリル酸、マレイン酸など
のカルボキシル基含有重合性単量体の三元共重合ゴムな
どが挙げられる。カルボキシル基含有量は1〜8モル%
が望ましい。1モル%未満ではエポキシ樹脂との反応点
が少なく、最終的に得られる硬化物の耐熱性が劣る。一
方、8%を越えると、塗布の際に接着剤溶液とした場合
の粘度増加および安定性の低下を招く。アクリロニトリ
ル量は10〜50モル%が必要であり、10%未満では
硬化物の耐薬品性が悪くなる。一方、50モル%を越え
ると通常の溶剤に溶解しにくくなるので作業性の低下に
つながる。具体的なNBR−Cとしては、PNR−1H
(日本合成ゴム(株)製)、“ニポール”1072J、
“ニポール”DN612、“ニポール”DN631(以
上日本ゼオン(株)製)、“ハイカー”CTBN(BF
グッドリッチ社製)等がある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail.
Carboxyl group-containing acrylonitrile butadiene rubber (hereinafter referred to as NBR-C) used in (A) of the present invention
For example, acrylonitrile and butadiene are mixed in about 1
Carboxylated end groups of a copolymer rubber copolymerized in a molar ratio of 0/90 to 50/50, or ternary of acrylonitrile, butadiene and carboxyl group-containing polymerizable monomers such as acrylic acid and maleic acid. And copolymer rubber. Carboxyl group content is 1 to 8 mol%
Is desirable. If it is less than 1 mol%, the number of reaction points with the epoxy resin is small, and the heat resistance of the finally obtained cured product is poor. On the other hand, if it exceeds 8%, the viscosity increases and the stability decreases when an adhesive solution is used during coating. The amount of acrylonitrile must be 10 to 50 mol%, and if it is less than 10%, the cured product has poor chemical resistance. On the other hand, if it exceeds 50 mol%, it becomes difficult to dissolve in a usual solvent, which leads to a decrease in workability. Specific NBR-C includes PNR-1H
(Manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), "Nipol" 1072J,
"Nipole" DN612, "Nipol" DN631 (all made by Nippon Zeon Co., Ltd.), "Hiker" CTBN (BF
Goodrich Co., Ltd.).
【0009】本発明の(B)において使用されるエポキ
シ樹脂は非臭素化エポキシ樹脂であって、エポキシ基を
分子中に少なくとも2個以上含むものであれば特に限定
されないが、例えばビスフェノールA、ビスフェノール
F、ビスフェノールS、レゾルシノール、ジヒドロキナ
フタレン、ジシクロペンタジエンジフェノール等のジグ
リシジルエーテル、エポキシ化フェノールノボラック、
エポキシ化クレゾールノボラック、エポキシ化クレゾー
ルノボラック、エポキシ化トリスフェニロールメタン、
エポキシ化テトラフェニロールエタン等の脂環式エポキ
シ樹脂,あるいはビフェノール型エポキシ樹脂あるいは
ノボラック型エポキシ樹脂などが挙げられる。The epoxy resin used in (B) of the present invention is a non-brominated epoxy resin, and is not particularly limited as long as it contains at least two or more epoxy groups in a molecule. For example, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, resorcinol, dihydroquinaphthalene, diglycidyl ether such as dicyclopentadiene diphenol, epoxidized phenol novolak,
Epoxidized cresol novolak, epoxidized cresol novolak, epoxidized trisphenylolmethane,
An alicyclic epoxy resin such as epoxidized tetraphenylolethane, or a biphenol-type epoxy resin or a novolak-type epoxy resin is exemplified.
【0010】また、難燃性付与のために本発明で使用さ
れるリン化合物はエポキシ樹脂と直接反応する多官能型
リン系のものであれば特に限定されず、2官能以上を有
することが好ましい。The phosphorus compound used in the present invention for imparting flame retardancy is not particularly limited as long as it is a polyfunctional phosphorus compound which directly reacts with an epoxy resin, and preferably has two or more functional groups. .
【0011】多官能型リン化合物においては、エポキシ
樹脂と反応し重付加が可能な活性水素を持った官能基
(アミノ基、カルボキシル基、エポキシ基、水酸基、メ
チロール基、イソシアネート基、ビニル基、シラノール
基、フェノール性水酸基等)を1分子内に2個以上有す
るものや、エポキシ樹脂と反応し重付加が可能な活性水
素を持ったP−H結合が1分子内に少なくとも2個以上
有するものであれば特に限定されない。また1分子内に
存在する2個以上の官能基の種類は同じであっても異な
っていても良く、多官能型リン系難燃剤の一分子中に、
アミノ基、カルボキシル基、エポキシ基、水酸基、メチ
ロール基、イソシアネート基、ビニル基、シラノール
基、フェノール性水酸基等の官能基とP−H結合が混在
していてもかまわない。In the polyfunctional phosphorus compound, a functional group having an active hydrogen capable of reacting with an epoxy resin and capable of polyaddition (amino group, carboxyl group, epoxy group, hydroxyl group, methylol group, isocyanate group, vinyl group, silanol group) Group, phenolic hydroxyl group, etc.) in one molecule, or a compound having at least two P--H bonds in one molecule having active hydrogen capable of reacting with an epoxy resin and capable of polyaddition. There is no particular limitation as long as it exists. Further, the types of two or more functional groups present in one molecule may be the same or different, and in one molecule of a polyfunctional phosphorus-based flame retardant,
Functional groups such as an amino group, a carboxyl group, an epoxy group, a hydroxyl group, a methylol group, an isocyanate group, a vinyl group, a silanol group, and a phenolic hydroxyl group may be mixed with a PH bond.
【0012】さらに、難燃性付与のために本発明で使用
される多官能型リン化合物は、エポキシ樹脂と直接し樹
脂マトリックスと強固に結合させ、架橋密度を上げるこ
とにより高耐熱性及び高接着性とする上で2官能型のも
のがより好ましい。例えば、9,10−ジヒドロ−9−
オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキシ
ドやその誘導体と1,4−ベンゾキノン、1,2−ベン
ゾキノン、トルキノン、1,4−ナフトキノン等が反応
して得られる化合物などが挙げられ、単独でも2種類以
上混合してもかまわない。またこれらの2官能型リン化
合物は、本発明の(B)で用いられるエポキシ樹脂とあ
らかじめ反応させて得られるエポキシ基を2個以上有す
る化合物であってもかまわない。Further, the polyfunctional phosphorus compound used in the present invention for imparting flame retardancy is directly bonded to an epoxy resin and firmly bonded to a resin matrix, thereby increasing the crosslink density to provide high heat resistance and high adhesion. The bifunctional type is more preferable in terms of the properties. For example, 9,10-dihydro-9-
Examples include compounds obtained by reacting oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide or a derivative thereof with 1,4-benzoquinone, 1,2-benzoquinone, tolquinone, 1,4-naphthoquinone, or the like. More than one kind may be mixed. Further, these bifunctional phosphorus compounds may be compounds having two or more epoxy groups obtained by previously reacting with the epoxy resin used in (B) of the present invention.
【0013】特に下記一般式(1)で示される2官能型
リン化合物と本発明の(B)で用いられるエポキシ樹脂
をあらかじめ反応させることによって得られる多官能型
リン化合物が、半導体接着剤組成物としての接着性、高
半田耐熱性の点からもより好ましく、熱硬化後の硬化物
のガラス転位温度(Tg)が高く機械特性(屈曲特
性)、特に高温環境下での高耐熱、高屈曲特性が良好な
カバーレイ、接着剤シート等が得られる。半導体装置用
接着剤組成物の硬化後のガラス転位温度(Tg)は、8
0℃より高いことが好ましい。80℃以下では、半導体
集積回路接続用基板、フレキシブルプリント配線基板、
カバーレイフィルム等の接着剤層として使用した場合、
車載用途などでは雰囲気温度が80℃程度まで上昇する
ことがあるため、機械強度、屈曲特性の低下を招く。こ
こでいう熱硬化後とは、接着剤を塗工して接着剤層とし
た後、50℃、30時間などの所定のキュアを行って少
なくとも接着剤の硬化反応が80%以上進行した状態の
ことをいう。また、硬化反応の進行は示差走査熱量計法
(DSC法)での発熱量測定によって判断することがで
きる。In particular, a polyfunctional phosphorus compound obtained by previously reacting a bifunctional phosphorus compound represented by the following general formula (1) with the epoxy resin used in (B) of the present invention is a semiconductor adhesive composition: From the viewpoint of adhesiveness and high soldering heat resistance, the cured product after heat curing has a high glass transition temperature (Tg) and high mechanical properties (bending properties), especially high heat resistance and high bending properties in a high temperature environment. , A coverlay, an adhesive sheet and the like are obtained. The glass transition temperature (Tg) of the adhesive composition for a semiconductor device after curing is 8
Preferably it is higher than 0 ° C. At 80 ° C or lower, a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, a flexible printed wiring board,
When used as an adhesive layer such as coverlay film,
Since the ambient temperature may rise to about 80 ° C. in the case of in-vehicle use or the like, the mechanical strength and the bending characteristics are reduced. The term “after heat curing” as used herein refers to a state in which, after applying an adhesive to form an adhesive layer, a predetermined cure such as 50 ° C. and 30 hours is performed, and at least the curing reaction of the adhesive proceeds by 80% or more. That means. The progress of the curing reaction can be determined by measuring the calorific value by a differential scanning calorimeter method (DSC method).
【0014】[0014]
【化3】 Embedded image
【0015】さらに、一般式(2)で示される2官能型
リン化合物が好ましい。すなわち分子内の2個のフェノ
ール性水酸基とエポキシ基との反応を利用し、さらにエ
ポキシ基によって樹脂マトリックスと強固に結合させ、
架橋密度をあげることで難燃性と信頼性を両立させるこ
とができる。一般式(2)で表される化合物は、樹脂組
成物の調合及び硬化、接着剤層とする過程において樹脂
組成物中のエポキシ基との反応が進行するが、さらに一
般式(2)で表されるリン化合物は、電気的信頼性を向
上させるため、あらかじめ本発明の(B)で使用される
エポキシ樹脂と反応させて得たリン化合物を樹脂組成物
中に加え用いてもかまわない。あらかじめ反応させたリ
ン化合物の粘度が高く、含浸性や流れ性など作業性に影
響を及ぼす場合は低粘度のエポキシ樹脂類を使用するこ
とで回避することができる。Further, a bifunctional phosphorus compound represented by the general formula (2) is preferable. In other words, utilizing the reaction between two phenolic hydroxyl groups in the molecule and the epoxy group, and further strongly bonded to the resin matrix by the epoxy group,
By increasing the crosslink density, both flame retardancy and reliability can be achieved. The compound represented by the general formula (2) undergoes a reaction with an epoxy group in the resin composition in the process of preparing and curing the resin composition and forming an adhesive layer. In order to improve electrical reliability, the phosphorus compound obtained by previously reacting with the epoxy resin used in (B) of the present invention may be added to the resin composition. When the phosphorus compound reacted in advance has a high viscosity and affects workability such as impregnation and flowability, it can be avoided by using a low-viscosity epoxy resin.
【0016】また、一般式(2)で表されるリン化合物
をあらかじめ本発明の(B)で使用されるエポキシ樹脂
と反応させて得たリン化合物は、半導体接着剤組成物と
しての接着性、高半田耐熱性の点からもより好ましく、
熱硬化後の硬化物のガラス転位温度(Tg)が高く機械
特性(屈曲特性)、特に高温環境下での高耐熱、高屈曲
特性が良好なカバーレイ、接着剤シート等が得られる。The phosphorus compound obtained by previously reacting the phosphorus compound represented by the general formula (2) with the epoxy resin used in (B) of the present invention has an adhesive property as a semiconductor adhesive composition, More preferable in terms of high solder heat resistance,
The cured product after heat curing has a high glass transition temperature (Tg), and provides a mechanical property (bending property), particularly, a coverlay and an adhesive sheet having good heat resistance and good bending property under a high temperature environment.
【0017】さらに、一般式(2)で表される化合物
が、樹脂組成物を溶解させる有機溶剤系に溶けず、粒子
として存在する系では、化合物の融点が260℃と高い
ため、難燃剤としての作用を併せ持つ有機フィラーとし
て使用することができる。この場合は無機粒子剤(無機
フィラー)と併せて用いても、単独で用いてもかまわな
い。Further, in a system in which the compound represented by the general formula (2) does not dissolve in the organic solvent system for dissolving the resin composition but exists as particles, the melting point of the compound is as high as 260 ° C. Can be used as an organic filler having the action of In this case, it may be used in combination with the inorganic particle agent (inorganic filler) or may be used alone.
【0018】[0018]
【化4】 Embedded image
【0019】また接着剤組成物中のリン含有量としては
0.3重量%から30重量%が好ましく、0.3重量部
から5重量%がより好ましい。0.3重量%未満では十
分な難燃性が得られず、30重量%より多くなると硬化
後のエポキシ樹脂の架橋密度が低下すること等により耐
熱性、接着性などの物性が低下する。リン含有量につい
ては一般的には元素分析等の方法で測定することができ
る。[0019] The phosphorus content in the adhesive composition is preferably from 0.3 to 30% by weight, more preferably from 0.3 to 5% by weight. If the amount is less than 0.3% by weight, sufficient flame retardancy cannot be obtained. If the amount is more than 30% by weight, the crosslink density of the cured epoxy resin decreases, and the physical properties such as heat resistance and adhesiveness decrease. The phosphorus content can be generally measured by a method such as elemental analysis.
【0020】上記のNBR−Cとエポキシ樹脂との配合
割合は、NBR−Cが100重量部に対してエポキシ樹
脂50〜400重量部、好ましくは150〜250重量
部である。50重量部未満では半導体集積回路接続用基
板、カバーレイフィルム等に使用した場合の半田耐熱性
の低下を招く。また、400重量部を越えると接着性が
低下するので好ましくない。The mixing ratio of NBR-C and epoxy resin is 50 to 400 parts by weight, preferably 150 to 250 parts by weight of epoxy resin per 100 parts by weight of NBR-C. If the amount is less than 50 parts by weight, the solder heat resistance when used for a substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, a coverlay film or the like is reduced. On the other hand, if it exceeds 400 parts by weight, the adhesiveness is undesirably reduced.
【0021】(C)において使用される硬化剤混合物と
は、反応性指数Rgが3以上13以内、好ましくは5以
上12以内である芳香族ポリアミンおよびRgが15以
上30以内、好ましくは17以上28以内である芳香族
ポリアミンをそれぞれ少なくとも1種類以上含むもので
ある。Rgが3以上13以内の芳香族ポリアミンを含ま
ない場合や一方のRgが30を越える場合は硬化反応性
が低すぎて、適当な加熱処理条件で十分に硬化させるこ
とができないため半導体集積回路接続用基板、カバーレ
イフィルム等に使用した場合の半田耐熱性が低下する。
他方、Rgが15以上30以内の芳香族ポリアミンを含
まない場合や一方のRgが3未満の場合は硬化反応性が
高すぎて、寿命が短くなり接着性、半導体集積回路接続
用基板、カバーレイフィルム等に使用した場合の半田耐
熱性が低下する。また、カール等による加工作業性の低
下も生じる。The curing agent mixture used in (C) is an aromatic polyamine having a reactivity index Rg of 3 or more and 13 or less, preferably 5 or more and 12 or less and Rg of 15 or more and 30 or less, preferably 17 or more and 28 or less. And at least one or more aromatic polyamines. If the Rg does not contain an aromatic polyamine having a value of 3 to 13, or one of the Rg's exceeds 30, the curing reactivity is too low and the curing cannot be performed sufficiently under appropriate heat treatment conditions. Solder heat resistance when used for substrates for substrates, coverlay films, etc., is reduced.
On the other hand, when the aromatic polyamine having an Rg of 15 to 30 is not contained, or when one of the Rg is less than 3, the curing reactivity is too high, the life is shortened, the adhesiveness, the substrate for connecting a semiconductor integrated circuit, the coverlay, Solder heat resistance when used for films and the like is reduced. In addition, a reduction in workability due to curl or the like also occurs.
【0022】該芳香族ポリアミンは上記のRgの範囲を
満たせば種類は限定されないが、芳香族ジアミンが特に
好ましい。The type of the aromatic polyamine is not limited as long as it satisfies the above range of Rg, but aromatic diamine is particularly preferred.
【0023】たとえばRgが3以上13以内の芳香族ポ
リアミンとしては3,3´5,5´−テトラメチル−
4,4´−ジアミノジフェニルメタン、3,3´5,5
´−テトラエチル−4,4´−ジアミノジフェニルメタ
ン、3,3´−ジメチル−5,5´−ジエチル−4,4
´−ジアミノジフェニルメタン、3,3´−ジクロロ−
4,4´−ジアミノジフェニルメタン、2,2´3,3
´−テトラクロロ−4,4´−ジアミノジフェニルメタ
ン、4,4´−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3
´−ジアミノベンゾフェノン等が挙げられる。For example, aromatic polyamines having an Rg of 3 to 13 include 3,3'5,5'-tetramethyl-
4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'5,5
'-Tetraethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl-4,4
'-Diaminodiphenylmethane, 3,3'-dichloro-
4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2'3,3
'-Tetrachloro-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3
'-Diaminobenzophenone and the like.
【0024】また、Rgが15以上30以内の芳香族ポ
リアミンとしては3,3´−ジアミノジフェニルスルホ
ン、4,4´−ジアミノジフェニルスルホン、3,4´
−ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジアミノベ
ンゾフェノン、3,4,4´−トリアミノジフェニルス
ルホン等が挙げられる。The aromatic polyamine having an Rg of 15 to 30 is 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,4 '.
-Diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,4,4'-triaminodiphenylsulfone and the like.
【0025】硬化促進剤としては三フッ化ホウ素トリエ
チルアミン錯体等の三フッ化ホウ素のアミン錯体、2−
アルキル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4
−アルキルイミダゾール等のイミダゾール誘導体、無水
フタル酸、無水トリメリット酸等の有機酸、ジシアンジ
アミド等が挙げられ、これらを単独または2種以上混合
して用いても良い。As a curing accelerator, an amine complex of boron trifluoride, such as triethylamine boron trifluoride complex;
Alkyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4
-Imidazole derivatives such as alkyl imidazole; organic acids such as phthalic anhydride and trimellitic anhydride; dicyandiamide; and the like, and these may be used alone or as a mixture of two or more.
【0026】上記の必須成分以外に必要に応じて微粒子
状の無機粒子剤を添加できる。微粒子状の無機粒子剤と
しては水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、カル
シウム・アルミネート水和物等の金属水酸化物、酸化亜
鉛、酸化マグネシウム等の金属酸化物が挙げられ、これ
らを単独または2種以上混合して用いても良い。微粒子
状の無機粒子剤平均粒子径は透明性と分散安定性を考慮
すると、0.2〜5μmが好ましい。また、添加量はN
BR−Cに対して30〜300重量部が適当である。In addition to the above-mentioned essential components, fine inorganic particles can be added as required. Examples of the fine inorganic particle agent include metal hydroxides such as aluminum hydroxide, magnesium hydroxide and calcium aluminate hydrate, and metal oxides such as zinc oxide and magnesium oxide. These may be used in combination. The average particle diameter of the fine inorganic particle agent is preferably 0.2 to 5 μm in consideration of transparency and dispersion stability. The amount of addition is N
30 to 300 parts by weight to BR-C is suitable.
【0027】以上の成分以外に、接着剤の特性を損なわ
ない範囲で酸化防止剤、イオン捕捉剤などの有機、無機
成分を添加することは何ら制限されるものではない。In addition to the above components, addition of organic or inorganic components such as an antioxidant and an ion scavenger as long as the properties of the adhesive are not impaired is not limited at all.
【0028】本発明の接着剤組成物は、層として構成さ
れ、かつ少なくとも一層以上の剥離可能な保護フィルム
とを有する半導体装置用接着剤シートとして好ましく用
いられる。さらに本発明の接着剤組成物は該組成物を塗
布した絶縁性フィルムと剥離可能な保護フィルムの積層
体として構成されるカバーレイとして好ましく用いられ
る。The adhesive composition of the present invention is preferably used as an adhesive sheet for a semiconductor device which is constituted as a layer and has at least one or more peelable protective films. Further, the adhesive composition of the present invention is preferably used as a coverlay constituted as a laminate of an insulating film coated with the composition and a peelable protective film.
【0029】本発明でいう絶縁性フィルムとはポリイミ
ド、ポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエ
ーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、アラミ
ド、ポリカーボネート、ポリアリレート、等のプラスチ
ックからなる厚さ5〜200μmのフィルムであり、こ
れらから選ばれる複数のフィルムを積層して用いても良
い。また必要に応じて、加水分解、コロナ放電、低温プ
ラズマ、物理的粗面化、易接着コーティング処理等の表
面処理を施すことができる。The insulating film referred to in the present invention is a film having a thickness of 5 to 200 μm made of a plastic such as polyimide, polyester, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyether ether ketone, aramid, polycarbonate, polyarylate, etc. A plurality of films selected from these may be laminated and used. If necessary, a surface treatment such as hydrolysis, corona discharge, low-temperature plasma, physical surface roughening, and easy adhesion coating treatment can be performed.
【0030】本発明でいう剥離可能な保護フィルム(離
型フィルム)とは接着剤層及びそれを用いた接着剤シー
ト、カバーレイフィルム等の形態を損なうことなく剥離
できれば特に限定されないが、たとえばシリコーンある
いはフッ素化合物のコーティング処理を施したポリエス
テルフィルム、ポリオレフィンフィルム、およびこれら
をラミネートした紙が挙げられる。The peelable protective film (release film) referred to in the present invention is not particularly limited as long as it can be peeled off without damaging the form of an adhesive layer and an adhesive sheet and a coverlay film using the same. Alternatively, there may be mentioned a polyester film, a polyolefin film coated with a fluorine compound and a paper laminated with these.
【0031】上記のようにして得られたカバーレイフィ
ルムは、絶縁性フィルム/接着剤層/離型フィルムの構
成であるが、接着剤層の両面を離型フィルム層として接
着剤シートの形態としても利用できる。この場合、絶縁
性フィルム以外に金属、セラミックス、あるいは耐溶剤
性の問題でコーティング基材に適さない有機フィルム等
も用いることが可能であり、表面の絶縁性、耐環境性の
目的での保護のみならず、放熱、電磁的シールド、補
強、識別等の新たな機能を付与できる利点がある。The cover lay film obtained as described above has an insulating film / adhesive layer / release film configuration, and both sides of the adhesive layer are used as release film layers to form an adhesive sheet. Also available. In this case, in addition to the insulating film, it is possible to use a metal, ceramics, or an organic film that is not suitable for the coating substrate due to the problem of solvent resistance, and only protection for the purpose of surface insulation and environmental resistance. In addition, there is an advantage that new functions such as heat radiation, electromagnetic shielding, reinforcement, and identification can be provided.
【0032】また、本発明の接着剤組成物、接着剤シー
ト用途は特に限定されるものではなく、電子機器、半導
体集積回路接続用基板、半導体装置に好適に使用するこ
とができる。例えばフレキシブルプリント基板(FP
C)、テープオートメーティッドボンディング(TA
B)、各種パーケージ用途(CSP、BGA)などがあ
げられる。The use of the adhesive composition and the adhesive sheet of the present invention is not particularly limited, and the adhesive composition and the adhesive sheet can be suitably used for electronic devices, substrates for connecting semiconductor integrated circuits, and semiconductor devices. For example, a flexible printed circuit board (FP
C), Tape automated bonding (TA
B), various packaging applications (CSP, BGA), and the like.
【0033】[0033]
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実
施例の説明に入る前に評価方法について述べる。EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to these examples. Before starting the description of the embodiments, an evaluation method will be described.
【0034】評価方法 (1)評価用サンプル作成方法 接着剤シートの一形態としてカバーレイフィルムを35
μmの電解銅箔(日鉱グールド・フォイル(株)製、J
TC箔)の光沢面に、160℃、30kg/cm2、3
0分のプレス条件で積層し、評価用サンプルを作成し
た。Evaluation method (1) Method of preparing sample for evaluation A coverlay film was used as one form of an adhesive sheet.
μm electrolytic copper foil (manufactured by Nikko Gould Foil Co., Ltd., J
160 ° C, 30 kg / cm 2 , 3
Lamination was performed under a 0 minute press condition to prepare a sample for evaluation.
【0035】(2)剥離強度 上記(1)の方法で電界銅箔にプレスしたサンプルを用
いて、JIS−C6481に準拠して行った。(2) Peel Strength The peel strength was measured in accordance with JIS-C6481 using a sample pressed on an electric field copper foil by the method of (1).
【0036】(3)半田耐熱性 JIS−C6481に準拠した方法で行なった。上記
(1)の方法で電解銅箔にプレスした25mm角のサン
プルを、22℃,90%RHの雰囲気下で24時間調湿
した後、すみやかに半田浴上に30秒間浮かべ、膨れお
よび剥がれのない最高温度を測定した。(3) Solder heat resistance The solder heat resistance was measured in accordance with JIS-C6481. The sample of 25 mm square pressed on the electrolytic copper foil by the method of the above (1) was conditioned for 24 hours in an atmosphere of 22 ° C. and 90% RH, and then immediately floated on a solder bath for 30 seconds to prevent swelling and peeling. Not the highest temperature measured.
【0037】(4)カール 150mm角のカバーレイから離型フィルムを剥がした
後、四隅が浮くようにして平板上に置き、平板からの最
大距離を測定する。(4) Curl After releasing the release film from the 150 mm square cover lay, place it on a flat plate so that the four corners float, and measure the maximum distance from the flat plate.
【0038】(5)粘着性 25mm幅のカバーレイから離型フィルムを剥がした
後、1kg/cm2の圧力で上記の電解銅箔に20℃、
1分間加圧し、90度方向に50mm/minの速度で
引き剥がした場合の単位長さあたりの強度を測定する。(5) Adhesiveness After the release film was peeled off from the coverlay having a width of 25 mm, the above-mentioned electrolytic copper foil was applied at 20 ° C. under a pressure of 1 kg / cm 2 .
Pressing for 1 minute and measuring the strength per unit length when peeled off at a speed of 50 mm / min in the direction of 90 degrees.
【0039】(6)難燃性 銅張ポリイミドフィルム(1F2−EG44、東レ
(株)製)を両面エッチングし、その両面に本発明で得
られた接着剤厚み30μmのカバーレイフィルムを16
0℃、30kg/cm2、30分のプレス条件で積層
し、評価用サンプルを作成した。評価方法はUL94に
準拠して測定した。(6) Flame Retardancy A copper-clad polyimide film (1F2-EG44, manufactured by Toray Industries, Inc.) was etched on both sides, and the cover lay film having an adhesive thickness of 30 μm obtained by the present invention was applied to both sides thereof.
Lamination was performed under the pressing conditions of 0 ° C., 30 kg / cm 2 , and 30 minutes to prepare a sample for evaluation. The evaluation method was measured according to UL94.
【0040】(7)ゲル化時間(thおよびtd) IPC−L110に準拠して測定した。サンプルの混合
比は、ビスフェノールAジグリシジルエーテルのエポキ
シ基のモル数に対する芳香族ポリアミン活性水素の総数
のモル数が等しくなるように混合した。(7) Gelation time (th and td) Measured according to IPC-L110. The sample was mixed so that the mole number of the total number of aromatic polyamine active hydrogens to the mole number of the epoxy group of bisphenol A diglycidyl ether was equal.
【0041】(8)接着剤硬化後のガラス転位温度(T
g) 示差走査熱量計法(DSC法)にてDSC昇温曲線と1
80℃での短時間前熱処理後のDSC降温曲線及びDS
C昇温曲線を測定した。この短時間の前熱処理は、付着
水の脱水及び経時変化によって変形(エンタルピー緩
和)したガラス転位シグナルをもとに戻すために行っ
た。(8) The glass transition temperature (T
g) The DSC heating curve and the 1 were measured by differential scanning calorimetry (DSC method).
DSC cooling curve and DS after short-time pre-heat treatment at 80 ° C
The C heating curve was measured. This short-time pre-heat treatment was performed in order to restore the glass dislocation signal deformed (enthalpy relaxed) due to dehydration and change with time of the attached water.
【0042】(条件) 装置:メトラー社製DSC821、 温度範囲:-20℃〜300℃(前熱処理サンプル:-50℃〜2
00℃) 昇温速度: 20℃/分 (前熱処理サンプル:10℃/
分) 降温速度: 10℃/分 (前処理サンプル) 試料:約5mg 前処理条件:180℃で0.1分間処理。(Conditions) Apparatus: DSC821 manufactured by METTLER, temperature range: -20 ° C to 300 ° C (pre-heat treatment sample: -50 ° C to 2 ° C)
(00 ° C) Heating rate: 20 ° C / min (pre-heat treatment sample: 10 ° C /
Min) Temperature drop rate: 10 ° C / min (Pretreatment sample) Sample: Approx. 5mg Pretreatment condition: Treated at 180 ° C for 0.1 minute.
【0043】(9)屈曲試験 銅張ポリイミドサンプル(1F1−RN50、東レ
(株)製)にJIS C 6471で開示される耐屈曲性試験資料
のパターンを作製し、これにカバーレイフィルムを16
0℃、30kg/cm2、30分のプレス条件でホット
プレスし試験試料を得た。これをFPC高速屈曲試験器
(信越エンジニアリング(株)製)にて、振動数150
0cpm、ストローク20mm、曲率2,5mmR、カバーレイ外
側の条件で80℃雰囲気下で抵抗値の変化を測定した。
屈曲により銅箔にヒビ等の亀裂が生じると、体積減少が
生じ抵抗が上がることを利用し、該抵抗が初期より20
%上昇する回数を測定して、屈曲特性を確認した。(9) Bending test A pattern of a bending resistance test material disclosed in JIS C 6471 was prepared on a copper-clad polyimide sample (1F1-RN50, manufactured by Toray Industries, Inc.).
The sample was hot-pressed at 0 ° C., 30 kg / cm 2 and 30 minutes to obtain a test sample. This was tested with a FPC high-speed bending tester (Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.) at a vibration frequency of 150.
The change in the resistance value was measured at 80 ° C. in an atmosphere of 0 cpm, a stroke of 20 mm, a curvature of 2.5 mmR, and the outside of the coverlay.
If a crack such as a crack is formed in the copper foil due to bending, the volume is reduced and the resistance is increased.
The bending characteristics were confirmed by measuring the number of times of increase in%.
【0044】実施例1 水酸化アルミニウム(昭和電工(株)製、H−43)を
トルエン溶液とした後、サンドミル処理して水酸化アル
ミニウム分散液を作成する。この分散液に、NBR−C
(日本合成ゴム(株)製、PNR−1H)、多官能型リ
ン化合物(東都化成(株)製、FX−279BEK、リ
ン含有率2wt%)、エポキシ樹脂(油化シェル(株)
製、“エピコート”834、エポキシ当量250)、
3,3´5,5´−テトラメチル−4,4´−ジアミノ
ジフェニルメタン、4,4´−ジアミノジフェニルスル
ホン、三フッ化ホウ素モノエチルアミン錯体および分散
液と等重量のメチルエチルケトンをそれぞれ表1の組成
比となるように加え、30℃で撹拌、混合して接着剤溶
液を作成した。この接着剤をバーコータで、厚さ25μ
mのポリイミドフィルム(東レデュポン(株)製”カプ
トン”100H)に約35μmの乾燥厚さとなるように
塗布し、150℃で5分間乾燥し、シリコーン離型剤付
きの厚さ25μのポリエステルフィルムをラミネートし
て接着剤シート(カバーレイフィルム)を得た。特性を
表3に示す。Example 1 Aluminum hydroxide (H-43, manufactured by Showa Denko KK) was converted into a toluene solution, followed by sand milling to prepare an aluminum hydroxide dispersion. The NBR-C
(Manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd., PNR-1H), polyfunctional phosphorus compound (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX-279BEK, phosphorus content 2 wt%), epoxy resin (Yukaka Shell Co., Ltd.)
"Epicoat" 834, epoxy equivalent 250),
3,3'5,5'-Tetramethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, boron trifluoride monoethylamine complex, and a dispersion, each having the same weight of methyl ethyl ketone as in Table 1 The mixture was added so as to have a ratio, and stirred and mixed at 30 ° C. to prepare an adhesive solution. Apply this adhesive with a bar coater to a thickness of 25μ.
m of a polyimide film ("Kapton" 100H manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.) to a dry thickness of about 35 .mu.m, and dried at 150.degree. C. for 5 minutes. Lamination was performed to obtain an adhesive sheet (coverlay film). Table 3 shows the characteristics.
【0045】[0045]
【表1】 [Table 1]
【0046】なお表1中 (1)Ep828,Ep834,Ep1001:ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量はそれぞれ、
190,250,475) (2)HCA−HQ:2官能型リン系難燃剤(三光
(株)製、リン含有率9.5wt%)、FX−279B
EK75:多官能型リン化合物(東都化成(株)製、エ
ポキシ当量308.2、リン含有率2wt%)、ZX−
1548−3:多官能型リン化合物(東都化成(株)
製、エポキシ当量289.2、リン含有率3wt%) (3)TMDM:3,3’,5,5’−テトラメチル−
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、TEDM:3,
3’,5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジ
フェニルメタン、MEDM:3,3’−ジメチル−5,
5’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタ
ン、DDM:4,4’−ジアミノジフェニルメタン (4)4,4’DDS:4,4’−ジアミノジフェニル
スルフォン、3,3’DDS:3,3’’−ジアミノジ
フェニルスルフォン、3,4’DDS:3,4’’−ジ
アミノジフェニルスルフォン、4,4’DBP:4,
4’−ジアミノベンゾフェノン (5)BTF:三フッ化ホウ素モノエチルアミン錯体、
PMHZ:2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシ
メチルイミダゾ−ル (6)ATH:水酸化アルミニウムIn Table 1, (1) Ep828, Ep834, Ep1001: bisphenol A type epoxy resin (the epoxy equivalent is
190, 250, 475) (2) HCA-HQ: bifunctional phosphorus-based flame retardant (manufactured by Sanko Co., Ltd., phosphorus content: 9.5 wt%), FX-279B
EK75: polyfunctional phosphorus compound (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., epoxy equivalent 308.2, phosphorus content 2 wt%), ZX-
1548-3: Polyfunctional phosphorus compound (Toto Kasei Co., Ltd.)
(3) TMDM: 3,3 ', 5,5'-tetramethyl-
4,4'-diaminodiphenylmethane, TEDM: 3
3 ′, 5,5′-Tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, MEDM: 3,3′-dimethyl-5
5'-diethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, DDM: 4,4'-diaminodiphenylmethane (4) 4,4'DDS: 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'DDS: 3,3 ''-Diaminodiphenylsulfone,3,4' DDS: 3,4 ''-diaminodiphenylsulfone, 4,4'DBP: 4,
4′-diaminobenzophenone (5) BTF: boron trifluoride monoethylamine complex,
PMHZ: 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole (6) ATH: aluminum hydroxide
【0047】[0047]
【表2】 [Table 2]
【0048】ここで表2において (1)FBAP:1,1,3,3−テトラフルオロ−
2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン) (2)TMDS:3,3’,5,5'−テトラメチル−
4,4’−ジアミノジフェニルスルホン (3)RDP−T:反応型一官能リン化合物(味の素フ
ァインテクノ(株)製、リン含有率9wt%)、HC
A:反応型一官能リン化合物(三光(株)製、リン含有
率14.29wt%) また他の略号は表1と同一である。Here, in Table 2, (1) FBAP: 1,1,3,3-tetrafluoro-
2,2-bis (4-aminophenyl) propane) (2) TMDS: 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-
4,4′-diaminodiphenyl sulfone (3) RDP-T: reactive monofunctional phosphorus compound (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., phosphorus content 9 wt%), HC
A: Reactive monofunctional phosphorus compound (manufactured by Sanko Co., Ltd., phosphorus content: 14.29 wt%) Other abbreviations are the same as in Table 1.
【0049】[0049]
【表3】 [Table 3]
【0050】実施例2〜5および比較例1〜7 実施例1と同一の方法で、それぞれ表1および表2に示
した原料および組成比で調合した接着剤を用いて接着剤
シート(カバーレイフィルム)を得た。特性を表3に示
す。Examples 2 to 5 and Comparative Examples 1 to 7 In the same manner as in Example 1, an adhesive sheet (coverlay) was prepared by using the raw materials and adhesives prepared at the composition ratios shown in Tables 1 and 2, respectively. Film). Table 3 shows the characteristics.
【0051】表1〜3の実施例及び比較例から本発明に
より得られる接着剤シート(カバーレイフィルム)は、
良好な難燃性を有しかつ接着性、半田耐熱性および貼り
合わせ加工性に優れることがわかる。The adhesive sheet (coverlay film) obtained by the present invention from the examples and comparative examples in Tables 1 to 3
It can be seen that it has good flame retardancy and is excellent in adhesiveness, solder heat resistance and bonding workability.
【0052】[0052]
【発明の効果】本発明は難燃化の手法としてハロゲンを
含まず、エポキシ樹脂と直接反応する多官能型リン系難
燃剤を用いることによって良好な難燃性を示すととも
に、接着性、耐熱性を低下させることのない貼り合わせ
加工の作業性、機械特性等に優れた新規な半導体装置用
接着剤組成物並びにそれを含有する半導体装置用接着剤
シート、カバーレイフィルムを提供するものであり、電
気・電子製品に要求される難燃性規制を満足した有害ガ
スや発煙の発生が少ない材料を提供できる。As described above, the present invention shows good flame retardancy by using a polyfunctional phosphorus flame retardant which does not contain halogen and reacts directly with an epoxy resin as a method of flame retardation, as well as adhesion and heat resistance. The present invention provides a novel adhesive composition for a semiconductor device excellent in workability of a laminating process without lowering the mechanical properties, a semiconductor device adhesive sheet containing the same, and a coverlay film, It is possible to provide a material that satisfies the flame-retardant regulations required for electric and electronic products and that generates less harmful gas and smoke.
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/60 311 H01L 21/60 311W Fターム(参考) 4F100 AH03A AK27A AK27J AK29A AK29J AK53A AL01A AL05A BA03 BA07 BA10B BA10C CA02A CB00A EH46 GB41B JA05A JB13A JG04B JL14C YY00A 4J004 AA05 AA13 AB05 CA06 CB03 CD08 DA02 DA04 FA05 4J040 CA071 EC041 EC061 EC071 EC091 GA07 HB44 HC06 HC12 HC16 HC23 HD23 HD38 KA16 KA17 KA36 LA02 LA06 LA08 MA10 NA19 NA20 PA30 5F044 MM11 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat II (Reference) H01L 21/60 311 H01L 21/60 311W F term (Reference) 4F100 AH03A AK27A AK27J AK29A AK29J AK53A AL01A AL05A BA03 BA07 BA10B BA10C CA02A CB EH46 GB41B JA05A JB13A JG04B JL14C YY00A 4J004 AA05 AA13 AB05 CA06 CB03 CD08 DA02 DA04 FA05 4J040 CA071 EC041 EC061 EC071 EC091 GA07 HB44 HC06 HC12 HC16 HC23 HD23 HD38 KA16 KA17 KA36 LA10 LA04
Claims (6)
熱硬化型の接着剤であって、かつエポキシ樹脂と直接反
応する多官能型リン化合物を含むことを特徴とする半導
体装置用接着剤組成物。 (A)カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエン
ゴム 100重量部、(B)エポキシ樹脂 50〜40
0重量部、(C)反応性指数Rgが3以上13以内であ
る芳香族ポリアミン、および反応性指数Rgが15以上
30以内である芳香族ポリアミンをそれぞれ少なくとも
1種類以上含む硬化剤混合物、(D)硬化促進剤 0.
1〜5重量部 (ただし、反応性指数RgはビスフェノールAジグリシ
ジルエーテルと該芳香族ポリアミンとの混合物の150
℃におけるゲル化時間thおよび同一条件におけるビス
フェノールAジグリシジルエーテルと4,4´−ジアミ
ノジフェニルメタンとの混合物のゲル化時間tdとの比
であり、下記式(1)で定義される。) Rg=th/td……(1)1. A thermosetting adhesive containing the following (A) to (D) as essential components, and containing a polyfunctional phosphorus compound which directly reacts with an epoxy resin. Adhesive composition. (A) 100 parts by weight of acrylonitrile butadiene rubber containing a carboxyl group, (B) epoxy resin 50 to 40
0 parts by weight, (C) a curing agent mixture containing at least one kind of an aromatic polyamine having a reactivity index Rg of 3 to 13 and at least one aromatic polyamine having a reactivity index Rg of 15 to 30; ) Hardening accelerator
1 to 5 parts by weight (however, the reactivity index Rg is 150 parts by weight of a mixture of bisphenol A diglycidyl ether and the aromatic polyamine).
It is the ratio between the gelation time th at ° C and the gelation time td of a mixture of bisphenol A diglycidyl ether and 4,4'-diaminodiphenylmethane under the same conditions, and is defined by the following formula (1). ) Rg = th / td (1)
(Tg)がTg>80℃であることを特徴とする請求項
1記載の半導体装置用接着剤組成物。2. The adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1, wherein the glass transition temperature (Tg) of the resin composition after thermosetting is Tg> 80 ° C.
れるリン化合物とエポキシ樹脂とを反応して得られる化
合物であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置
用接着剤組成物。 【化1】 3. The adhesive for a semiconductor device according to claim 1, wherein the polyfunctional phosphorus compound is a compound obtained by reacting the phosphorus compound represented by the general formula (1) with an epoxy resin. Composition. Embedded image
れる2官能型リン化合物であることを特徴とする請求項
1記載の半導体装置用接着剤組成物。 【化2】 4. The adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1, wherein the polyfunctional phosphorus compound is a bifunctional phosphorus compound represented by the general formula (2). Embedded image
剤組成物を接着剤層とし、かつ少なくとも一層以上の剥
離可能な保護フィルム層を有することを特徴とする半導
体装置用接着剤シート。5. An adhesive sheet for a semiconductor device, wherein the adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1 or 2 is used as an adhesive layer and has at least one or more peelable protective film layers.
剤組成物を塗布した絶縁性フィルム及び剥離可能な保護
フィルムの積層体により構成されることを特徴とするカ
バーレイフィルム。6. A coverlay film comprising a laminate of an insulating film coated with the adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1 or 2 and a peelable protective film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001300158A JP2002188066A (en) | 2000-10-10 | 2001-09-28 | Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-309390 | 2000-10-10 | ||
JP2000309390 | 2000-10-10 | ||
JP2001300158A JP2002188066A (en) | 2000-10-10 | 2001-09-28 | Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002188066A true JP2002188066A (en) | 2002-07-05 |
Family
ID=26601790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001300158A Pending JP2002188066A (en) | 2000-10-10 | 2001-09-28 | Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002188066A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009215494A (en) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Flame retardant adhesive composition, and adhesive sheet, coverlay film and flexible copper-clad laminate plate using the same |
WO2010114166A1 (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-07 | 東都化成株式会社 | Flame-retardant phosphorus-containing epoxy resin composition and cured product thereof |
-
2001
- 2001-09-28 JP JP2001300158A patent/JP2002188066A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009215494A (en) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Flame retardant adhesive composition, and adhesive sheet, coverlay film and flexible copper-clad laminate plate using the same |
WO2010114166A1 (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-07 | 東都化成株式会社 | Flame-retardant phosphorus-containing epoxy resin composition and cured product thereof |
JP2010241870A (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Nippon Steel Chem Co Ltd | Flame-retardant phosphorus-containing epoxy resin composition and cured product thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008088302A (en) | Flame-retardant adhesive composition, adhesive sheet using it, cover-lay film and flexible copper-clad laminate plate | |
JP2001151991A (en) | Epoxy resin composition, prepreg, and multi-layer printed wiring board | |
JP2002069270A (en) | Flame-retardant halogen-free epoxy resin composition and use thereof | |
JP2008201884A (en) | Flame-retardant adhesive composition, flexible copper-clad laminated plate, cover-lay, and adhesive sheet | |
JP3810954B2 (en) | Flame-retardant adhesive composition, flexible copper-clad laminate, coverlay and adhesive film | |
JP2003105167A (en) | Flame-retardant resin composition and adhesive sheet for semiconductor device using the same, cover lay film and flexible printed circuit board | |
JP2009167396A (en) | Adhesive composition, copper-clad laminate plate using the same, cover-lay film and adhesive sheet | |
JP3504500B2 (en) | Thermosetting adhesive and flexible printed wiring board material using the same | |
JP4503239B2 (en) | Flame-retardant adhesive composition, flexible copper-clad laminate, coverlay and adhesive film | |
KR20090078051A (en) | Adhesive composition for halogen-free coverlay film and coverlay film using the same | |
JP2008231235A (en) | Adhesive composition for semiconductor device, adhesive sheet for semiconductor device using the same, cover-lay film and copper-clad laminate | |
JP2001081282A (en) | Epoxy resin composition and flexible printed wiring board material containing the same | |
JP2008231286A (en) | Adhesive composition for semiconductor device and copper-clad laminate, coverlay film and adhesive sheet each using the composition | |
JP2008239675A (en) | Flame retardant resin composition, and adhesive sheet, cover lay film and copper-clad laminate using the same | |
JP2002146310A (en) | Adhesive composition for semiconductor device and cover lay film, adhesive sheet and flexible printed circuit board using the same | |
JP2002053833A (en) | Adhesive composition for semiconductor device, cover-lay film using the same, adhesive sheet and flexible printed circuit substrate | |
JP2005002294A (en) | Adhesive composition, coverlay film using the same and flexible printed circuit board | |
JP2002194310A (en) | Adhesive composition for semiconductor apparatus, adhesive sheet for semiconductor apparatus and cover lay film using the same | |
JP2003119392A (en) | Flame-retardant resin composition and flexible printed circuit substrate using the same and cover lay film | |
JP3490226B2 (en) | Heat resistant coverlay film | |
JP2002188065A (en) | Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices | |
JP2002188066A (en) | Adhesive composition for semiconductor device and adhesive sheet and cover lay film for semiconductor devices | |
JP2002020715A (en) | Flame retardant adhesive composition and flexible printed wiring board-related product | |
JP2004059777A (en) | Flame-retardant adhesive composition, flexible copper clad laminate and its related product | |
JP2836942B2 (en) | Coverlay film |