JP2008231286A - Adhesive composition for semiconductor device and copper-clad laminate, coverlay film and adhesive sheet each using the composition - Google Patents

Adhesive composition for semiconductor device and copper-clad laminate, coverlay film and adhesive sheet each using the composition Download PDF

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Daikichi Nishioka
大吉 西岡
Tetsuya Yamamoto
哲也 山本
Masaya Katayama
昌也 片山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition which is free of halogen components, excellent in flame retardancy, without deteriorating heat-resistant adhesive force; and to provide a copper-clad laminate, a coverlay film and an adhesive sheet each using the composition. <P>SOLUTION: This adhesive composition for a semiconductor device comprises a thermoplastic resin (A), an epoxy resin (B) and a curing agent (C), characterized in that the epoxy resin (B) contains a phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl isocyanurate. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体装置用接着剤組成物、それを用いた銅張り積層板、カバーレイフィルムおよび接着剤シートに関する。   The present invention relates to an adhesive composition for semiconductor devices, a copper-clad laminate using the same, a coverlay film, and an adhesive sheet.

電気・電子機器印刷回路基板に用いられる積層板の代表例として、フレキシブルプリント配線板(Flexible Printed Circuits、以下FPCということがある)が挙げられる。FPCは、銅張り積層板(以下CCLということがある)、カバーレイフィルム(以下CLということがある)で構成される。CCLには、銅箔、ポリイミドベースフィルム、エポキシ系熱硬化型接着剤層の3種の層で構成される安価な3層タイプと、ポリイミドベースフィルムと同質のポリイミド系接着剤を有した3層タイプ、さらには接着剤層を有しない2層タイプがある。また、CLはCCLの銅配線を保護する目的で積層されるものであり、ポリイミドベースフィルム、エポキシ系熱硬化型接着剤層で構成される。柔軟性に富み、優れた屈曲性を有するFPC材料は、HDD、CD、DVD、各種電子機器のヒンジ部等、可動部分の基板として好適であり、これら電気・電子機器の小型化、軽量化、省スペース化にとって必要不可欠な存在となっている。   As a typical example of a laminated board used for an electric / electronic device printed circuit board, there is a flexible printed circuit board (hereinafter sometimes referred to as FPC). The FPC is composed of a copper-clad laminate (hereinafter also referred to as CCL) and a coverlay film (hereinafter also referred to as CL). CCL has three types of layers: a low-cost three-layer type consisting of three layers of copper foil, polyimide base film, and epoxy thermosetting adhesive layer, and a polyimide adhesive that is the same quality as the polyimide base film. There are types, and also a two-layer type without an adhesive layer. Moreover, CL is laminated | stacked in order to protect the copper wiring of CCL, and is comprised with a polyimide base film and an epoxy-type thermosetting adhesive layer. FPC material that is flexible and has excellent flexibility is suitable as a substrate for movable parts such as HDDs, CDs, DVDs, hinge parts of various electronic devices, etc. It is indispensable for space saving.

一方では、近年、電気・電子機器に用いられる材料の環境への影響が社会問題として重要視され、人体に対する安全性を考慮した材料設計が求められるようになってきている。特に、燃焼時に発生する有害ガスや発煙の発生が少ないことが要望される。従来、電子部品を搭載するFPCの他、ガラスエポキシ基板などの硬質プリント配線板や封止剤においても、火災防止、延焼遅延のために、難燃剤としてテトラブロモビスフェノールAを中心とする誘導体(臭素化エポキシ樹脂等のハロゲン含有化学物質)が広く一般に使用されていた(例えば、特許文献1参照)。   On the other hand, in recent years, the environmental impact of materials used for electrical and electronic equipment has been regarded as a social issue, and material design that considers safety for the human body has been demanded. In particular, it is desired that the generation of harmful gases and smoke generated during combustion is small. Conventionally, in addition to FPC on which electronic components are mounted, hard printed wiring boards such as glass epoxy boards and sealants also have derivatives (bromine bromide) mainly composed of tetrabromobisphenol A as a flame retardant to prevent fires and delay the spread of fire. Halogen-containing chemical substances such as halogenated epoxy resins) have been widely used (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら、このような臭素含有難燃剤を用いた難燃性接着剤や難燃性接着剤シートは、良好な難燃性を有するものの、接着後の時間経過に伴い、腐食性を有するハロゲン化水素(臭化水素)ガスを発生することがある。特に、芳香族臭素化合物は熱分解により腐食性の臭素および臭化水素を発生するだけでなく、酸素存在下で分解した場合には、毒性の強いポリブロムジベンゾフランおよびポリブロムジベンゾジオキシンを形成する可能性がある。また、上記腐食性ガスによりプリント回路において腐食や曇りが発生するといった不具合も発生しており、現在その使用が抑制されつつある。このような理由から、臭素含有難燃剤に代わるものとして、リン化合物が広く検討されている。例えば、リン含有エポキシ樹脂を含む難燃性接着剤組成物(例えば、特許文献2参照)や、リン含有エポキシ樹脂とホスファゼン化合物を含む難燃性接着剤組成物(例えば、特許文献3参照)が開示されている。リン含有エポキシ樹脂はリン化合物とエポキシ樹脂とを反応させて得られるため、添加型難燃剤の短所であるFPC材料の耐熱性やブリード性の低下を最小限に抑えることができる。しかし長時間に亘る熱履歴を受けた後の接着力(以下、耐熱接着力という)が低下するという課題があり、総合的に十分満足しうる特性が得られていなかった。
特開昭62−96580号公報 特開2002−020715号公報 特開2005−2294号公報
However, flame retardant adhesives and flame retardant adhesive sheets using such bromine-containing flame retardants have good flame retardancy, but corrosive hydrogen halide over time after bonding. May generate (hydrogen bromide) gas. In particular, aromatic bromine compounds not only generate corrosive bromine and hydrogen bromide by thermal decomposition, but can form highly toxic polybrominated dibenzofurans and polybrominated dibenzodioxins when decomposed in the presence of oxygen. There is sex. In addition, the corrosive gas causes problems such as corrosion and fogging in the printed circuit, and its use is currently being suppressed. For these reasons, phosphorus compounds have been widely studied as an alternative to bromine-containing flame retardants. For example, a flame retardant adhesive composition containing a phosphorus-containing epoxy resin (for example, see Patent Document 2) or a flame retardant adhesive composition containing a phosphorus-containing epoxy resin and a phosphazene compound (for example, see Patent Document 3). It is disclosed. Since the phosphorus-containing epoxy resin is obtained by reacting a phosphorus compound and an epoxy resin, the heat resistance and bleedability of the FPC material, which are disadvantages of the additive-type flame retardant, can be minimized. However, there is a problem that the adhesive strength (hereinafter referred to as heat-resistant adhesive strength) after receiving a heat history over a long period of time is lowered, and a characteristic that is fully satisfactory cannot be obtained.
JP 62-96580 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-020715 JP 2005-2294 A

本発明は、耐熱接着力を低下させることなく難燃性に優れた、ハロゲン成分を含まない半導体装置用接着剤組成物、それを用いた銅張り積層板、カバーレイフィルムおよび接着剤シートを提供することを目的とする。   The present invention provides an adhesive composition for a semiconductor device which does not contain a halogen component and has excellent flame retardancy without reducing heat-resistant adhesive strength, a copper-clad laminate, a coverlay film and an adhesive sheet using the same The purpose is to do.

本発明は、(A)熱可塑性樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤を含有する半導体装置用接着剤組成物であって、(B)エポキシ樹脂が、リン含有エポキシ樹脂およびトリグリシジルイソシアヌレートを含むことを特徴とする半導体装置用接着剤組成物である。   The present invention is an adhesive composition for a semiconductor device containing (A) a thermoplastic resin, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent, wherein (B) the epoxy resin is a phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl. An adhesive composition for a semiconductor device comprising isocyanurate.

本発明により、電気・電子機器に要求される難燃性を有し、耐熱接着力に優れた接着剤シート、カバーレイフィルム、および銅張り積層板を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain an adhesive sheet, a cover lay film, and a copper-clad laminate having flame retardancy required for electric / electronic devices and excellent in heat-resistant adhesion.

以下、本発明の詳細について説明する。本発明の接着剤組成物は、(A)熱可塑性樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤を必須成分とし、(B)エポキシ樹脂がリン含有エポキシ樹脂およびトリグリシジルイソシアヌレートを含有する。熱可塑性樹脂は、接着性、可とう性、熱応力の緩和、低吸水性による絶縁性の向上等の機能を有し、エポキシ樹脂は硬化剤と反応することにより、耐熱性、高温での絶縁性、耐薬品性、接着剤層の強度等の物性バランスを実現することができる。すなわち、熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂、硬化剤のいずれが欠けても、半導体装置用接着剤組成物として十分性能を満足する特性が得られない。   Details of the present invention will be described below. The adhesive composition of the present invention comprises (A) a thermoplastic resin, (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent as essential components, and (B) the epoxy resin contains a phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl isocyanurate. . Thermoplastic resin has functions such as adhesion, flexibility, relaxation of thermal stress, and improvement of insulation due to low water absorption, and epoxy resin reacts with a curing agent to provide heat resistance and insulation at high temperature. Property balance such as property, chemical resistance and strength of the adhesive layer can be realized. That is, even if any of the thermoplastic resin, the epoxy resin, and the curing agent is lacking, characteristics that sufficiently satisfy performance as an adhesive composition for semiconductor devices cannot be obtained.

本発明に用いられる(A)熱可塑性樹脂としては、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体(NBR)、アクリロニトリル−ブタジエンゴム−スチレン樹脂(ABS)、ポリブタジエン、スチレン−ブタジエン−エチレン樹脂(SEBS)、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリウレタン等公知のものが例示される。また、これらの熱可塑性樹脂は後述のエポキシ樹脂との反応が可能な官能基を有することが好ましい。具体的には、アミノ基、カルボキシル基、エポキシ基、水酸基、メチロール基、イソシアネート基等である。これらの官能基によりエポキシ樹脂との結合が強固になり、耐熱性が向上するので好ましい。   Examples of the thermoplastic resin (A) used in the present invention include acrylonitrile-butadiene copolymer (NBR), acrylonitrile-butadiene rubber-styrene resin (ABS), polybutadiene, styrene-butadiene-ethylene resin (SEBS), acrylic resin, Examples include known materials such as polyvinyl butyral, polyamide, polyester, polyimide, polyamideimide, and polyurethane. Further, these thermoplastic resins preferably have a functional group capable of reacting with an epoxy resin described later. Specific examples include amino groups, carboxyl groups, epoxy groups, hydroxyl groups, methylol groups, and isocyanate groups. These functional groups are preferable because the bond with the epoxy resin becomes strong and the heat resistance is improved.

これらの中でも、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体(NBR)、スチレン−ブタジエン−エチレン樹脂(SEBS)、スチレン−ブタジエン樹脂(SBS)等のブタジエンを共重合成分とする共重合体は、金属との接着性、耐薬品性等の観点から好適に用いられる。さらに、ブタジエンを共重合成分とし、かつカルボキシル基を有する共重合体はより好ましく用いられ、例えば、カルボキシル化NBR(NBR−C)、カルボキシル化SEBS(SEBS−C)およびカルボキシル化SBS(SBS−C)等が挙げられる。NBR−Cとしては、例えばアクリロニトリルとブタジエンを約10/90〜50/50のモル比で共重合させた共重合ゴムの末端基をカルボキシル化したもの、あるいはアクリロニトリル、ブタジエンとアクリル酸、マレイン酸等のカルボキシル基含有重合性単量体の三元系共重合ゴム等が挙げられる。具体的には、PNR−1H(JSR(株)製)、“ニポール”(登録商標)1072J、“ニポール”(登録商標)DN612、“ニポール”(登録商標)DN631(以上日本ゼオン(株)製)、“ハイカー”(登録商標)CTBN(BFグッドリッチ社製)等がある。また、SEBS−CとしてはMX−073(旭化成(株)製)が、SBS−CとしてはD1300X(シェルジャパン(株)製)が例示できる。   Among these, copolymers containing butadiene as a copolymer component such as acrylonitrile-butadiene copolymer (NBR), styrene-butadiene-ethylene resin (SEBS), and styrene-butadiene resin (SBS) are adhesive to metal. It is preferably used from the viewpoint of chemical resistance and the like. Furthermore, copolymers having butadiene as a copolymer component and having a carboxyl group are more preferably used. For example, carboxylated NBR (NBR-C), carboxylated SEBS (SEBS-C), and carboxylated SBS (SBS-C). ) And the like. Examples of NBR-C include those obtained by carboxylating terminal groups of a copolymer rubber obtained by copolymerizing acrylonitrile and butadiene at a molar ratio of about 10/90 to 50/50, or acrylonitrile, butadiene and acrylic acid, maleic acid, etc. And terpolymer rubbers of carboxyl group-containing polymerizable monomers. Specifically, PNR-1H (manufactured by JSR Corporation), “Nipol” (registered trademark) 1072J, “Nipol” (registered trademark) DN612, “Nipol” (registered trademark) DN631 (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.) ), “Hiker” (registered trademark) CTBN (manufactured by BF Goodrich). Moreover, MX-073 (made by Asahi Kasei Co., Ltd.) can be illustrated as SEBS-C, and D1300X (made by Shell Japan Co., Ltd.) can be exemplified as SBS-C.

本発明に用いられる(B)エポキシ樹脂は、リン含有エポキシ樹脂とトリグリシジルイソシアヌレートを含有する。   The (B) epoxy resin used in the present invention contains a phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl isocyanurate.

分子内にリンを含有するエポキシ樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、レゾルシノール、ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエンジフェノール等のジグリシジルエーテル、エポキシ化フェノールノボラック、エポキシ化クレゾールノボラック、エポキシ化トリスフェニロールメタン、エポキシ化テトラフェニロールエタン等の脂環式エポキシ樹脂、あるいはビフェノール型エポキシ樹脂あるいはノボラック型エポキシ樹脂、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキシドやその誘導体と、1,4−ベンゾキノン、1,2−ベンゾキノン、トルキノン、1,4−ナフトキノン等が反応して得られる化合物に、エポキシ樹脂を予め反応させたもの等などが挙げられる。その中でも難燃性に対する効果を高めるために、ノボラック型エポキシ樹脂が好適に用いられる。   The epoxy resin containing phosphorus in the molecule is not particularly limited. For example, diglycidyl ethers such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, resorcinol, dihydroxynaphthalene, dicyclopentadiene diphenol, and epoxidation Aliphatic epoxy resins such as phenol novolak, epoxidized cresol novolak, epoxidized trisphenylol methane, epoxidized tetraphenylol ethane, biphenol type epoxy resin or novolac type epoxy resin, 9,10-dihydro-9-oxa- An epoxy compound is obtained by reacting 10-phosphaphenanthrene-10-oxide or a derivative thereof with 1,4-benzoquinone, 1,2-benzoquinone, tolquinone, 1,4-naphthoquinone, or the like. Those pre-reacted with butter, and the like, and the like. Among them, a novolac type epoxy resin is preferably used in order to enhance the effect on flame retardancy.

このリン含有エポキシ樹脂は、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキシド、レゾルシルジフェニルフォスフェート、フェニルホスフィン酸、ジフェニルフォスフィン酸等の従来の反応型リン系難燃剤と異なり、接着剤組成物のベースとなるエポキシ樹脂中の構造単位としてリンを含んでいるものである。そのため、接着力等の調整が容易であり、また、未反応のリン化合物を残すことなくリンを樹脂マトリックス中に固定することができる。そのため、従来の反応型リン系難燃剤にくらべて吸水率がより小さく、リンの加水分解による弊害もほとんどない。   This phosphorus-containing epoxy resin is a conventional reactive phosphorus-based difficulty such as 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, resorcyl diphenyl phosphate, phenylphosphinic acid, diphenylphosphinic acid and the like. Unlike a flame retardant, it contains phosphorus as a structural unit in an epoxy resin serving as a base of an adhesive composition. Therefore, adjustment of adhesive force etc. is easy, and phosphorus can be fixed in the resin matrix without leaving an unreacted phosphorus compound. Therefore, the water absorption is smaller than that of the conventional reactive phosphorus-based flame retardant, and there is almost no adverse effect due to the hydrolysis of phosphorus.

トリグリシジルイソシアヌレートは、1,3,5−トリス(2,3−エポキシプロピル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンと呼ばれる化合物であり、下記式で表される構造を有する。骨格に強固なトリアジンを有する3官能エポキシ化合物であり、その強固な骨格と窒素により、優れた難燃効果を発揮することができる。   Triglycidyl isocyanurate is a compound called 1,3,5-tris (2,3-epoxypropyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, It has a structure represented by the following formula. It is a trifunctional epoxy compound having a strong triazine in the skeleton, and an excellent flame retardant effect can be exhibited by the strong skeleton and nitrogen.

Figure 2008231286
Figure 2008231286

本発明の半導体装置用接着剤組成物は、(B)エポキシ樹脂として、前述のリン含有エポキシ樹脂およびトリグリシジルイソシアヌレート以外に、汎用の非臭素化エポキシ樹脂を含有してもよい。その種類は特に限定されないが、エポキシ基を分子中に少なくとも2個以上含むものであって、例えばビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、レゾルシノール、ジヒドロキシナフタレン、ジシクロペンタジエンジフェノール等のジグリシジルエーテル、エポキシ化フェノールノボラック、エポキシ化クレゾールノボラック、エポキシ化トリスフェニロールメタン、エポキシ化テトラフェニロールエタン等の脂環式エポキシ樹脂、あるいはビフェノール型エポキシ樹脂あるいはノボラック型エポキシ樹脂などが挙げられる。特に接着剤層の柔軟性を向上させ、接着力を向上させる上でビスフェノールA型エポキシ樹脂またはビスフェノールF型エポキシ樹脂が好ましい。   The adhesive composition for a semiconductor device of the present invention may contain a general-purpose non-brominated epoxy resin in addition to the above-described phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl isocyanurate as the (B) epoxy resin. The type is not particularly limited, but includes at least two epoxy groups in the molecule, for example, diglycidyl ethers such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, resorcinol, dihydroxynaphthalene, dicyclopentadiene diphenol, Examples thereof include alicyclic epoxy resins such as epoxidized phenol novolak, epoxidized cresol novolak, epoxidized trisphenylol methane, and epoxidized tetraphenylol ethane, or biphenol type epoxy resin or novolak type epoxy resin. In particular, a bisphenol A type epoxy resin or a bisphenol F type epoxy resin is preferable in terms of improving the flexibility of the adhesive layer and improving the adhesive force.

(B)エポキシ樹脂の含有量は、(A)熱可塑性樹脂100重量部に対して90重量部以上200重量部以下が好ましい。そのうち、トリグリシジルイソシアヌレートは70重量部以上150重量部以下が好ましい。   (B) As for content of an epoxy resin, 90 to 200 weight part is preferable with respect to 100 weight part of (A) thermoplastic resins. Among them, triglycidyl isocyanurate is preferably 70 parts by weight or more and 150 parts by weight or less.

本発明の半導体装置用接着剤組成物中のリン含有量は、難燃性をより向上させるために0.2重量%以上が好ましい。また、半導体装置用接着剤組成物中の窒素含有量は、難燃性をより向上させるために0.5重量%以上が好ましく、硬化後の吸湿性を低減するために10重量%以下が好ましい。リン含有量および窒素含有量は、一般的には元素分析等の方法で測定することができる。   The phosphorus content in the adhesive composition for a semiconductor device of the present invention is preferably 0.2% by weight or more in order to further improve the flame retardancy. Further, the nitrogen content in the adhesive composition for a semiconductor device is preferably 0.5% by weight or more in order to further improve the flame retardancy, and is preferably 10% by weight or less in order to reduce the hygroscopicity after curing. . The phosphorus content and nitrogen content can be generally measured by a method such as elemental analysis.

本発明に用いられる(C)硬化剤は、特に限定されるものではないが、例えば、芳香族ポリアミンである3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’5,5’−テトラエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジクロロ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2’3,3’−テトラクロロ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4,4’−トリアミノジフェニルスルホンなどやフェノールノボラック樹脂、ジシアンジアミド、酸無水物などが挙げられる。   The (C) curing agent used in the present invention is not particularly limited. For example, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, which is an aromatic polyamine, , 3′5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dichloro-4,4 '-Diaminodiphenylmethane, 2,2'3,3'-tetrachloro-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,4,4 ′ Triamino diphenyl sulfone, phenol novolak resins, dicyandiamide, and acid anhydrides thereof.

本発明の半導体装置用接着剤組成物は、硬化促進剤を含有してもよい。硬化促進剤としては、三フッ化ホウ素トリエチルアミン錯体などの三フッ化ホウ素のアミン錯体、2−アルキル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−アルキルイミダゾールなどのイミダゾール誘導体、無水フタル酸、無水トリメリット酸などの有機酸などが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。   The adhesive composition for a semiconductor device of the present invention may contain a curing accelerator. Curing accelerators include boron trifluoride amine complexes such as boron trifluoride triethylamine complex, imidazole derivatives such as 2-alkyl-4-methylimidazole and 2-phenyl-4-alkylimidazole, phthalic anhydride, And organic acids such as merit acid. Two or more of these may be used.

本発明の半導体装置用接着剤組成物は、必要に応じて無機粒子剤を含有してもよい。無機粒子剤としては水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、カルシウム・アルミネート水和物等の金属水酸化物、酸化亜鉛、酸化マグネシウム等の金属酸化物が挙げられ、これらを単独または2種以上用いてもよい。無機粒子剤の平均粒子径は透明性と分散安定性を考慮すると、0.2〜5μmが好ましい。また、含有量は(A)熱可塑性樹脂100重量部に対して30〜300重量部が適当である。また、以上の成分以外に、接着剤の特性を損なわない範囲で酸化防止剤、イオン捕捉剤、窒素系難燃剤(メラミン変性フェノール樹脂等)などの有機、無機成分を含有することは何ら制限されるものではない。   The adhesive composition for a semiconductor device of the present invention may contain an inorganic particle agent as necessary. Examples of inorganic particles include metal hydroxides such as aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium aluminate hydrate, and metal oxides such as zinc oxide and magnesium oxide. These may be used alone or in combination of two or more. Also good. In consideration of transparency and dispersion stability, the average particle size of the inorganic particulate agent is preferably 0.2 to 5 μm. Moreover, 30-300 weight part is suitable with respect to 100 weight part of (A) thermoplastic resins. In addition to the above components, it is not limited to contain organic and inorganic components such as antioxidants, ion scavengers, nitrogen flame retardants (melamine modified phenolic resin, etc.) within the range that does not impair the properties of the adhesive. It is not something.

本発明の銅張り積層板は、絶縁性フィルム、前記接着剤組成物から形成される接着剤層および銅箔をこの順に有する。また、本発明のカバーレイフィルムは、絶縁性フィルム、前記接着剤組成物から形成される接着剤層および剥離可能な保護フィルムをこの順に有する。また、本発明の接着剤シートは、前記接着剤組成物から形成される接着剤層の両面に剥離可能な保護フィルムを有する。   The copper-clad laminate of the present invention has an insulating film, an adhesive layer formed from the adhesive composition, and a copper foil in this order. Moreover, the coverlay film of this invention has an insulating film, the adhesive bond layer formed from the said adhesive composition, and the peelable protective film in this order. Moreover, the adhesive sheet of this invention has a protective film which can peel on both surfaces of the adhesive bond layer formed from the said adhesive composition.

絶縁性フィルムとしては、ポリイミド、ポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、アラミド、ポリカーボネート、ポリアリレート等のプラスチックフィルムが挙げられる。これらから選ばれる複数のフィルムを積層して用いても良い。絶縁性フィルムの厚さは5〜200μmが好ましい。また必要に応じて、加水分解、コロナ放電、低温プラズマ、物理的粗面化、易接着コーティング処理等の表面処理を施すことができる。   Examples of the insulating film include plastic films such as polyimide, polyester, polyphenylene sulfide, polyethersulfone, polyetheretherketone, aramid, polycarbonate, and polyarylate. A plurality of films selected from these may be laminated and used. The thickness of the insulating film is preferably 5 to 200 μm. If necessary, surface treatments such as hydrolysis, corona discharge, low temperature plasma, physical roughening, and easy adhesion coating treatment can be applied.

銅箔は、用途に応じて圧延箔および電解箔のいずれも好適に用いることができる。銅箔の厚みや表面粗度も特に限定されない。   As the copper foil, either a rolled foil or an electrolytic foil can be suitably used depending on the application. The thickness and surface roughness of the copper foil are not particularly limited.

離型フィルムは、接着剤層およびそれを用いた接着剤シ−トの形態を損なうことなく剥離できれば特に限定されないが、例えば、シリコーンあるいはフッ素化合物のコーティング処理を施したポリエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム、およびこれらをラミネートした紙が挙げられる。   The release film is not particularly limited as long as it can be peeled without impairing the form of the adhesive layer and the adhesive sheet using the adhesive layer. For example, a polyester film, a polyolefin film subjected to a coating treatment with silicone or a fluorine compound, and The paper which laminated these is mentioned.

本発明の半導体装置用接着剤組成物、銅張り積層板、カバーレイフィルム、接着剤シートの用途は特に限定されるものではなく、電子機器、半導体集積回路接続用基板、半導体装置に好適に使用することができる。例えばフレキシブルプリント基板(FPC)、テープオートメーティッドボンディング(TAB)、各種パーケージ用途(CSP、BGA)などがあげられる。   Applications of the adhesive composition for semiconductor devices, copper-clad laminates, coverlay films, and adhesive sheets of the present invention are not particularly limited, and are suitably used for electronic devices, substrates for connecting semiconductor integrated circuits, and semiconductor devices. can do. Examples include flexible printed circuit boards (FPC), tape automated bonding (TAB), and various package applications (CSP, BGA).

以下に実施例をあげて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例の説明に入る前に評価の方法について述べる。   EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Prior to the description of the examples, the evaluation method will be described.

A.評価用サンプル作製方法(片面CCL)
12.5μm厚のポリイミドフィルム“カプトン”(登録商標)50ENに、接着剤溶液をバーコーターで塗布し、硬化して、10μm厚の接着剤層を形成した。次に、接着剤層に1/3ozの電解銅箔(三井金属(株)製、3EC−M3S−HTE箔、12μm厚)の非光沢面を合わせるように、100℃、2.7MPaでラミネートした後、熱風循環式エアーオーブンで150℃、5時間の熱処理を行って、接着剤層の硬化度が90%以上である片面CCLを作製した。
A. Sample preparation method for evaluation (single-sided CCL)
An adhesive solution was applied to a polyimide film “Kapton” (registered trademark) 50EN having a thickness of 12.5 μm with a bar coater and cured to form an adhesive layer having a thickness of 10 μm. Next, the adhesive layer was laminated at 100 ° C. and 2.7 MPa so that the non-glossy surface of 1/3 oz electrolytic copper foil (manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., 3EC-M3S-HTE foil, 12 μm thickness) was matched. Thereafter, heat treatment was performed at 150 ° C. for 5 hours in a hot-air circulating air oven, and a single-sided CCL having an adhesive layer with a degree of cure of 90% or more was produced.

B.評価用サンプル作製方法(両面CCL)
前記Aに記載の方法で得られた片面CCLのポリイミドフィルム面に、さらに接着剤溶液をバーコーターで塗布し、硬化して、1/3ozの電解銅箔(三井金属(株)製、3EC−M3S−HTE箔、12μm厚)の非光沢面を同様の条件でラミネートした。これを熱風循環式エアーオーブンで150℃、5時間の熱処理を行って、接着剤層の硬化度が90%以上である両面CCLを作製した。
B. Sample preparation method for evaluation (double-sided CCL)
An adhesive solution was further applied to the polyimide film surface of the single-sided CCL obtained by the method described in A above with a bar coater and cured to 1/3 oz electrolytic copper foil (Mitsui Metals Co., Ltd., 3EC- The non-glossy surface of M3S-HTE foil (thickness 12 μm) was laminated under the same conditions. This was subjected to heat treatment at 150 ° C. for 5 hours in a hot-air circulating air oven to prepare a double-sided CCL having a degree of cure of the adhesive layer of 90% or more.

C.常態接着力
上記Aに記載の方法で作製した片面CCLサンプル用いて、JIS−C6481に準拠して行った。すなわち片面側の銅箔をエッチングにより2mm幅の銅箔パターンを作製し、テンシロンを用いて2mm幅の銅箔のみを90度方向に引き剥がした場合の強度を測定し、常態接着力とした(引張速度:50mm/分)。常態接着力は、好ましくは10N/cm以上、より好ましくは15N/cmである。
C. Normal-state adhesive strength Using a single-sided CCL sample prepared by the method described in A above, the adhesion was performed according to JIS-C6481. That is, a copper foil pattern having a width of 2 mm was produced by etching the copper foil on one side, and the strength when only 2 mm width of the copper foil was peeled in the direction of 90 degrees using Tensilon was measured as a normal adhesive force ( (Tensile speed: 50 mm / min). The normal state adhesive strength is preferably 10 N / cm or more, more preferably 15 N / cm.

D.耐熱接着力(片面パターン)
上記Bに記載の方法で作製した両面CCLサンプル用いて、UL796に準拠して行った。ただし、銅箔パターンは片面側にのみ2mm幅で作製し、もう一方の銅箔は全面エッチングした。テンシロンを用いて2mm幅の銅箔のみを90度方向に引き剥がした場合の強度を測定し、耐熱接着力とした(引張速度:50mm/分)。耐熱接着力は、3.5N/cm以上が好ましい。
D. Heat-resistant adhesion (single-sided pattern)
Using a double-sided CCL sample produced by the method described in B above, the measurement was performed according to UL796. However, the copper foil pattern was produced with a width of 2 mm only on one side, and the other copper foil was etched on the entire surface. The strength when only 2 mm-wide copper foil was peeled off in the 90-degree direction using Tensilon was measured to determine the heat-resistant adhesive strength (tensile speed: 50 mm / min). The heat resistant adhesive force is preferably 3.5 N / cm or more.

E.耐熱接着力(両面パターン)
上記Bに記載の方法で作製したCCLサンプル用いて、UL796に準拠して行った。ただし、銅箔パターンは両面に対になるように2mm幅で作製した。テンシロンを用いて2mm幅の銅箔のみを90度方向に引き剥がした場合の強度を測定した(引張速度:50mm/分)。接着力としては、3.5N/cm以上が好ましい。
E. Heat resistant adhesive strength (double-sided pattern)
Using the CCL sample prepared by the method described in B above, the measurement was performed according to UL796. However, the copper foil pattern was produced with a width of 2 mm so as to be paired on both sides. Using Tensilon, the strength when only a 2 mm-wide copper foil was peeled off in the 90-degree direction was measured (tensile speed: 50 mm / min). The adhesive strength is preferably 3.5 N / cm or more.

F.半田耐熱性
JIS−C6481に準拠した方法で行った。上記Aに記載の方法で作製した片面CCLサンプルを20mm角にカットし、40℃、90%RHの雰囲気下で24時間調湿した後、すみやかに所定の温度の半田浴上に30秒間浮かべ、ポリイミドフィルムの膨れおよび剥がれのない最高温度を測定した。半田耐熱性としては、好ましくは260℃以上、より好ましくは280℃以上である。
F. Solder heat resistance It carried out by the method based on JIS-C6481. A single-sided CCL sample prepared by the method described in A above is cut into a 20 mm square, conditioned for 24 hours in an atmosphere of 40 ° C. and 90% RH, and immediately floated on a solder bath at a predetermined temperature for 30 seconds. The maximum temperature at which the polyimide film did not swell and peel was measured. The solder heat resistance is preferably 260 ° C. or higher, more preferably 280 ° C. or higher.

G.難燃性
上記Bに記載の方法で作製した両面CCLの銅箔を両面全面エッチングしたサンプルを作製し、UL94V−0に準拠して測定した。
G. Flame Retardancy A sample was prepared by etching a double-sided CCL copper foil produced by the method described in B above on both sides, and measured according to UL94V-0.

実施例1
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)70重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)50重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)25重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 1
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, triglycidyl isocyanurate (Nissan Chemical Industry Co., Ltd., TEPIC-S) 70 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX) -289B, phosphorus content 2% by weight) 50 parts by weight and curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 25 parts by weight are dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred and mixed at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was prepared.

実施例2
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)100重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)50重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)35重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 2
100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 100 parts by weight of triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S), phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX) -289B, phosphorus content 2% by weight) 50 parts by weight and curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 35 parts by weight are dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred and mixed at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was prepared.

実施例3
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)150重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)50重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)45重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 3
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S) 150 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX) -289B, phosphorus content 2% by weight) 50 parts by weight and curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4'-diaminodiphenylsulfone) 45 parts by weight are dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred at 30 ° C and mixed. A 28 wt% adhesive solution was prepared.

実施例4
無機フィラー(昭和電工(株)製、水酸化アルミニウム、H−42I)80重量部をトルエンに分散させ、サンドミル処理して水酸化アルミニウム分散液を作製した。この分散液に、NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)80重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、EXA−9710、リン含有率3重量%)120重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)30重量部を加え、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 4
80 parts by weight of an inorganic filler (manufactured by Showa Denko KK, aluminum hydroxide, H-42I) was dispersed in toluene, and sand milled to prepare an aluminum hydroxide dispersion. To this dispersion, 100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 80 parts by weight of triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S), phosphorus-containing epoxy resin (Tohto Kasei ( Co., Ltd., EXA-9710, phosphorous content 3% by weight) 120 parts by weight, and curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 30 parts by weight are added and stirred at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was made by mixing.

実施例5
無機フィラー(昭和電工(株)製、水酸化アルミニウム、H−42I)80重量部をトルエンに分散させ、サンドミル処理して水酸化アルミニウム分散液を作製した。この分散液に、NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)70重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、EXA−9710、リン含有率3重量%)130重量部、及び硬化剤(ジャパンエポキシレジン(株)製、ジシアンジアミド、DICY7)8重量部を加え、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 5
80 parts by weight of an inorganic filler (manufactured by Showa Denko KK, aluminum hydroxide, H-42I) was dispersed in toluene, and sand milled to prepare an aluminum hydroxide dispersion. To this dispersion, 100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 70 parts by weight of triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S), a phosphorus-containing epoxy resin (Tohto Kasei ( Co., Ltd., EXA-9710, phosphorus content 3% by weight) 130 parts by weight, and curing agent (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., dicyandiamide, DICY7) 8 parts by weight are added and stirred at 30 ° C. and mixed to 28 parts. A weight percent adhesive solution was prepared.

実施例6
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)70重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)70重量部、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、“jER”(登録商標)834、エポキシ当量250)20重量部、硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)30重量部、及び硬化促進剤(日鉱金属(株)製、イミダゾールシラン、IS−1000)2重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 6
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, triglycidyl isocyanurate (Nissan Chemical Industry Co., Ltd., TEPIC-S) 70 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX) -289B, phosphorus content 2% by weight) 70 parts by weight, epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., “jER” (registered trademark) 834, epoxy equivalent 250), 20 parts by weight, curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd.) , 4,4'-diaminodiphenylsulfone) and 2 parts by weight of a curing accelerator (manufactured by Nikko Metal Co., Ltd., imidazolesilane, IS-1000) are dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred and mixed at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was prepared.

実施例7
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)70重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)30重量部、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、“jER”(登録商標)834、エポキシ当量250)100重量部、硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)30重量部、及び硬化促進剤(日鉱金属(株)製、イミダゾールシラン、IS−1000)2重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 7
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, triglycidyl isocyanurate (Nissan Chemical Industry Co., Ltd., TEPIC-S) 70 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX) -289B, phosphorus content 2% by weight) 30 parts by weight, epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., "jER" (registered trademark) 834, epoxy equivalent 250) 100 parts by weight, curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd.) , 4,4'-diaminodiphenylsulfone) and 2 parts by weight of a curing accelerator (manufactured by Nikko Metal Co., Ltd., imidazolesilane, IS-1000) are dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred and mixed at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was prepared.

実施例8
無機フィラー(昭和電工(株)製、水酸化アルミニウム、H−42I)80重量部をトルエンに分散させ、サンドミル処理して水酸化アルミニウム分散液を作製した。この分散液に、NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)70重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)30重量部、及び硬化剤(ジャパンエポキシレジン(株)製、ジシアンジアミド、DICY7)8重量部を加え、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 8
80 parts by weight of an inorganic filler (manufactured by Showa Denko KK, aluminum hydroxide, H-42I) was dispersed in toluene, and sand milled to prepare an aluminum hydroxide dispersion. To this dispersion, 100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 70 parts by weight of triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S), a phosphorus-containing epoxy resin (Tohto Kasei ( Co., Ltd., FX-289B, phosphorus content 2% by weight) 30 parts by weight, and curing agent (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., dicyandiamide, DICY7) 8 parts by weight are added and stirred at 30 ° C. and mixed to 28 parts. A weight percent adhesive solution was prepared.

実施例9
無機フィラー(昭和電工(株)製、水酸化アルミニウム、H−42I)80重量部をトルエンに分散させ、サンドミル処理して水酸化アルミニウム分散液を作製した。この分散液に、NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、トリグリシジルイソシアヌレート(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)150重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)50重量部、及び硬化剤(ジャパンエポキシレジン(株)製、ジシアンジアミド、DICY7)15重量部を加え、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 9
80 parts by weight of an inorganic filler (manufactured by Showa Denko KK, aluminum hydroxide, H-42I) was dispersed in toluene, and sand milled to prepare an aluminum hydroxide dispersion. To this dispersion, 100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 150 parts by weight of triglycidyl isocyanurate (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S), phosphorus-containing epoxy resin (Tohto Kasei ( Co., Ltd., FX-289B, phosphorus content 2 wt%) 50 parts by weight, and curing agent (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., dicyandiamide, DICY7) 15 parts by weight are added and stirred at 30 ° C. and mixed 28 A weight percent adhesive solution was prepared.

実施例10
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、エポキシ樹脂(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)60重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)20重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)15重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 10
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, epoxy resin (Nissan Chemical Industry Co., Ltd., TEPIC-S) 60 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX-289B) 20 parts by weight of phosphorus content 2%) and 15 parts by weight of a curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) were dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. A weight percent adhesive solution was prepared.

実施例11
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、エポキシ樹脂(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)60重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)80重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)20重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 11
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, epoxy resin (Nissan Chemical Industry Co., Ltd., TEPIC-S) 60 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX-289B) 80 parts by weight of phosphorus content 2%) and 20 parts by weight of a curing agent (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) were dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. A weight percent adhesive solution was prepared.

実施例12
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、エポキシ樹脂(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)160重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)80重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)45重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Example 12
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, epoxy resin (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S) 160 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX-289B) 80 parts by weight of phosphorus content 2%) and 45 parts by weight of a curing agent (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) were dissolved in methyl ethyl ketone, and stirred and mixed at 30 ° C. 28 A weight percent adhesive solution was prepared.

比較例1
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、エポキシ樹脂(日産化学工業(株)製、TEPIC−S)120重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)30重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Comparative Example 1
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, epoxy resin (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., TEPIC-S) 120 parts by weight, and curing agent (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4, 4 ' -Diaminodiphenylsulfone) 30 parts by weight was dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. to prepare a 28% by weight adhesive solution.

比較例2
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、FX−289B、リン含有率2重量%)120重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)10重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Comparative Example 2
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., FX-289B, phosphorus content 2% by weight) 120 parts by weight, and curing agent (Sumitomo Chemical ( Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 10 parts by weight was dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. to prepare a 28 wt% adhesive solution.

比較例3
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、EXA−9710、リン含有率3重量%)170重量部、及び硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)10重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Comparative Example 3
100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 170 parts by weight of a phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., EXA-9710, phosphorus content 3% by weight), and a curing agent (Sumitomo Chemical ( Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 10 parts by weight was dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. to prepare a 28 wt% adhesive solution.

比較例4
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、“jER”(登録商標)834、エポキシ当量250)120重量部、硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)15重量部、及び硬化促進剤(日鉱金属(株)製、イミダゾールシラン、IS−1000)2重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Comparative Example 4
100 parts by weight of NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H), 120 parts by weight of epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., “jER” (registered trademark) 834, epoxy equivalent 250), curing agent (Sumitomo Chemical ( Co., Ltd., 4,4′-diaminodiphenylsulfone) 15 parts by weight, and a curing accelerator (Nikko Metal Co., Ltd., imidazolesilane, IS-1000) 2 parts by weight were dissolved in methyl ethyl ketone and stirred at 30 ° C. A 28 wt% adhesive solution was made by mixing.

比較例5
NBR(JSR(株)製、PNR−1H)100重量部、リン含有エポキシ樹脂(東都化成(株)製、EXA−9710、リン含有率3重量%)15重量部、エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、“jER”(登録商標)834、エポキシ当量250)120重量部、硬化剤(住友化学(株)製、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)15重量部、及び硬化促進剤(日鉱金属(株)製、イミダゾールシラン、IS−1000)2重量部をメチルエチルケトンに溶解し、30℃で撹拌、混合して28重量%の接着剤溶液を作製した。
Comparative Example 5
NBR (manufactured by JSR Corporation, PNR-1H) 100 parts by weight, phosphorus-containing epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., EXA-9710, phosphorus content 3% by weight), epoxy resin (Japan Epoxy Resin ( "JER" (registered trademark) 834, epoxy equivalent 250) 120 parts by weight, curing agent (Sumitomo Chemical Co., Ltd., 4,4'-diaminodiphenylsulfone) 15 parts by weight, and curing accelerator (Nikko) 2 parts by weight of Metal Co., Ltd. (Imidazolesilane, IS-1000) was dissolved in methyl ethyl ketone and stirred and mixed at 30 ° C. to prepare a 28 wt% adhesive solution.

実施例1〜12、比較例1〜5に記載の接着剤溶液を用いて評価用サンプルを作製し、常態接着力、耐熱接着力、半田耐熱性、難燃性について評価した結果を表1〜2に示す。   Samples for evaluation were prepared using the adhesive solutions described in Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 5, and the results of evaluation of normal adhesive strength, heat resistant adhesive strength, solder heat resistance, and flame retardancy are shown in Tables 1 to 1. It is shown in 2.

Figure 2008231286
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Figure 2008231286
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Claims (5)

(A)熱可塑性樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤を含有する半導体装置用接着剤組成物であって、(B)エポキシ樹脂が、リン含有エポキシ樹脂およびトリグリシジルイソシアヌレートを含むことを特徴とする半導体装置用接着剤組成物。 (A) A thermoplastic resin, (B) an epoxy resin, and (C) an adhesive composition for a semiconductor device containing a curing agent, wherein (B) the epoxy resin contains a phosphorus-containing epoxy resin and triglycidyl isocyanurate. An adhesive composition for semiconductor devices. (A)熱可塑性樹脂を100重量部に対して、(B)エポキシ樹脂の含有量が90〜200重量部であり、トリグリシジルイソシアヌレートの含有量が70〜150重量部であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用接着剤組成物。 (A) The content of the epoxy resin is 90 to 200 parts by weight and the content of triglycidyl isocyanurate is 70 to 150 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the thermoplastic resin. The adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1. 絶縁性フィルム、請求項1または2記載の半導体装置用接着剤組成物から形成される接着剤層および銅箔をこの順に有することを特徴とする銅張り積層板。 A copper-clad laminate comprising an insulating film, an adhesive layer formed from the adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1, and a copper foil in this order. 絶縁性フィルム、請求項1または2記載の半導体装置用接着剤組成物から形成される接着剤層および剥離可能な保護フィルムをこの順に有することを特徴とするカバーレイフィルム。 A coverlay film comprising an insulating film, an adhesive layer formed from the adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1, and a peelable protective film in this order. 請求項1または2記載の半導体装置用接着剤組成物から形成される接着剤層の両面に剥離可能な保護フィルムを有することを特徴とする接着剤シート。 An adhesive sheet comprising a peelable protective film on both sides of an adhesive layer formed from the adhesive composition for a semiconductor device according to claim 1.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010144141A (en) * 2008-12-22 2010-07-01 Fujikura Ltd Adhesive resin composition, coverlay, metal clad laminate and flexible printed wiring board
JP2010265415A (en) * 2009-05-15 2010-11-25 Sekisui Chem Co Ltd Epoxy resin composition and laminate
CN102161747A (en) * 2011-02-28 2011-08-24 山东天一化学股份有限公司 Method for preparing nitrogen-containing epoxy resin cured material
WO2015182161A1 (en) * 2014-05-28 2015-12-03 東洋紡株式会社 Adhesive composition using polyamide-imide resin
JP2017128061A (en) * 2016-01-21 2017-07-27 宇部エクシモ株式会社 Flexible metal laminate

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010144141A (en) * 2008-12-22 2010-07-01 Fujikura Ltd Adhesive resin composition, coverlay, metal clad laminate and flexible printed wiring board
JP2010265415A (en) * 2009-05-15 2010-11-25 Sekisui Chem Co Ltd Epoxy resin composition and laminate
CN102161747A (en) * 2011-02-28 2011-08-24 山东天一化学股份有限公司 Method for preparing nitrogen-containing epoxy resin cured material
WO2015182161A1 (en) * 2014-05-28 2015-12-03 東洋紡株式会社 Adhesive composition using polyamide-imide resin
CN106103628A (en) * 2014-05-28 2016-11-09 东洋纺株式会社 Use the adhesive composition of polyamide-imide resin
JP2017128061A (en) * 2016-01-21 2017-07-27 宇部エクシモ株式会社 Flexible metal laminate

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