JP2002185198A - Method for detecting displacement of electrical component caused by absorption nozzle and method for mounting electrical component - Google Patents

Method for detecting displacement of electrical component caused by absorption nozzle and method for mounting electrical component

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JP2002185198A
JP2002185198A JP2000376153A JP2000376153A JP2002185198A JP 2002185198 A JP2002185198 A JP 2002185198A JP 2000376153 A JP2000376153 A JP 2000376153A JP 2000376153 A JP2000376153 A JP 2000376153A JP 2002185198 A JP2002185198 A JP 2002185198A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a detection accuracy of displacement of an electronic component 82 to a rotational center of an absorption nozzle 184. SOLUTION: A dog 266 including a section 268 to be detected in a position where an image of the section and an electronic component 82 absorbed by the absorption nozzle 184 are simultaneously taken is prepared. An relative location between a tip 274 of the section 268 to be detected and the rotational center 322 of the absorption nozzle 184 is detected beforehand and stored in the storing means. The images of the electronic component 82 held by the absorption nozzle 184 and the section 268 to be detected are simultaneously taken, and the central position of the electronic component 82 and the tip 274 of the section 268 to be detected are detected. The position of rotational center is estimated based on the position of the tip 274 and the relative location between the detected tip 274 and the rotational center 322 of the absorption nozzle 184, and the displacement of the center of the electronic component 82 to the estimated central position is obtained. The shift of the central position of the absorption nozzle 184 caused by thermal expansion of every part of apparatus can be detected and eliminated as a positional shift of the section 268 to be detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電気部品(電子部品
を含む)をプリント配線板等の回路基板に装着する電気
部品装着システム、ならびにそのシステムにおける部品
装着精度に関連する部分の相対位置関係の取得、吸着ノ
ズルに対する電気部品の位置ずれの取得等に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electric component mounting system for mounting an electric component (including an electronic component) on a circuit board such as a printed wiring board, and a relative positional relationship between parts related to component mounting accuracy in the system. The present invention relates to acquisition, displacement of an electric component with respect to a suction nozzle, and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】電気部品装着システムは、負圧により電
気部品を吸着して保持する吸着ノズルを備えたものが多
いが、この吸着ノズルによる電気部品の吸着位置は多少
ずれるのが普通である。そこで、従来から、吸着ノズル
に保持された電気部品を撮像装置により撮像し、吸着ノ
ズルに対する電気部品の位置ずれを検出して、その位置
ずれを修正しつつ回路基板に装着することが行われてい
る。上記位置ずれには、電気部品の中心点等基準点の吸
着ノズルの中心軸線と直交する方向における位置ずれ
と、電気部品の、吸着ノズルの中心軸線まわりの回転位
置ずれとの少なくとも一方を含む。また、電気部品が装
着されるべき回路基板も、基板支持装置により位置決め
されて支持されるのが普通であるが、それでも、回路基
板に形成された回路パターンの電気部品を装着すべきパ
ッドの位置が多少予定の位置からずれることが多い。そ
のため、回路基板に回路パターンの形成と同時に基準マ
ークを形成し、基準マークを撮像装置により撮像して位
置ずれを取得し、その位置ずれからパッドの位置ずれを
推定して、その位置ずれも修正しつつ電気部品を装着す
ることが行われている。
2. Description of the Related Art Many electric component mounting systems are provided with a suction nozzle for sucking and holding an electric component by a negative pressure, but the suction position of the electric component by the suction nozzle is usually slightly shifted. Therefore, conventionally, an electric device held by a suction nozzle is imaged by an image pickup device, a position shift of the electric component with respect to the suction nozzle is detected, and the electric component is mounted on a circuit board while correcting the position shift. I have. The displacement includes at least one of a displacement of a reference point such as a center point of the electric component in a direction orthogonal to a central axis of the suction nozzle and a displacement of the electric component around a central axis of the suction nozzle. Also, the circuit board on which the electric component is to be mounted is usually positioned and supported by the board support device. However, the position of the pad on which the electric component of the circuit pattern formed on the circuit board is to be mounted is still used. Often deviates slightly from the intended position. Therefore, the reference mark is formed simultaneously with the formation of the circuit pattern on the circuit board, the reference mark is imaged by the imaging device to obtain the positional deviation, the positional deviation of the pad is estimated from the positional deviation, and the positional deviation is also corrected. At the same time, electric parts are mounted.

【0003】上記のように、電気部品の吸着ノズルに対
する位置ずれや、回路基板の基準マークの基板支持装置
に対する位置ずれを取得するためには、電気部品や基準
マークの撮像時における吸着ノズル,電気部品撮像装
置,基準マーク撮像装置等の相対位置が既知であること
が必要である。電気部品装着システムの組立時や保守点
検時に、専用の検出装置を使用してそれらの相対位置を
検出しておき、その相対位置が維持されているものとし
て、電気部品や基準マークの位置ずれを取得することも
可能である。しかし、そのためには大がかりな検出装置
が必要である。また、一旦それらの相対位置を検出して
も、吸着ノズル,基板支持装置,撮像装置等を相対移動
させる相対移動装置のボールねじの温度変化に基づく伸
縮や負荷に基づく弾性変形、電気部品装着システムの本
体フレームや、撮像装置を保持しているブラケット等の
温度変化に基づく変形等により、吸着ノズル,基板支持
装置,撮像装置等の相対位置が変化する。なお、上記温
度変化に基づく伸縮や変形を熱変形と総称することとす
る。
As described above, in order to acquire the displacement of the electric component with respect to the suction nozzle and the displacement of the reference mark of the circuit board with respect to the substrate supporting device, it is necessary to obtain the position of the suction nozzle when picking up the electric component and the reference mark. It is necessary that the relative positions of the component imaging device, the reference mark imaging device, and the like be known. At the time of assembling and maintenance of the electrical component mounting system, their relative positions are detected using a dedicated detection device, and it is assumed that the relative positions have been maintained, and the positional deviation of the electrical components and reference marks has been detected. It is also possible to obtain. However, this requires a large-scale detection device. Further, even if the relative positions are detected once, the expansion / contraction based on the temperature change of the ball screw of the relative moving device that relatively moves the suction nozzle, the substrate support device, the imaging device, etc., the elastic deformation based on the load, and the electric component mounting system. The relative positions of the suction nozzle, the substrate support device, the imaging device, and the like change due to deformation or the like of the main body frame, the bracket holding the imaging device, and the like due to the temperature change. Note that expansion and contraction and deformation based on the above temperature change are collectively referred to as thermal deformation.

【0004】さらに、電気部品装着システムの各構成要
素の経年変化や使用に伴う摩耗、さらには固定装置の緩
みによる移動等によって、吸着ノズル,基板支持装置,
撮像装置等の相対位置が変化することもある。そのた
め、特に、高い装着位置精度が要求される電気部品装着
システムにおいては、リニアエンコーダを設けて実際の
相対位置を検出したり、撮像装置を保持するブラケット
等を剛性が高くかつ熱膨張係数が小さい材料から成るも
のとしたり、カメラのレンズ等を耐震構造のものにした
りすることが行われている。しかし、これらの対策を施
せば装置コストが高くなることを避け得ず、しかも未だ
完全とは言い難い。
[0004] Furthermore, the suction nozzle, the substrate support device, and the like due to the aging of each component of the electric component mounting system and wear due to use, and movement due to loosening of the fixing device.
The relative position of the imaging device or the like may change. Therefore, in particular, in an electric component mounting system that requires high mounting position accuracy, a linear encoder is provided to detect an actual relative position, and a bracket or the like holding an imaging device has a high rigidity and a low coefficient of thermal expansion. 2. Description of the Related Art It has been practiced to use a material or a camera lens or the like having an earthquake-resistant structure. However, if these measures are taken, it is inevitable that the cost of the apparatus will increase, and it is still difficult to say that it is perfect.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題,課題解決手段および効
果】本発明は、以上の事情を背景とし、装置コストの上
昇をできる限り回避しつつ、電気部品の吸着ノズルに対
する位置ずれを正確に取得したり、電気部品装着システ
ムの電気部品装着位置精度を向上させたり、電気部品装
着位置精度に関連する部分の相対位置関係を取得したり
することを可能にすることを課題としてなされたもので
あり、本発明によって、下記各態様の電気部品の位置ず
れ検出方法,検出用記録媒体および装置、相対位置関係
の取得方法,取得用記録媒体および装置、電気部品装着
方法,装着用記録媒体および装着システム等が得られ
る。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号
を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記
載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にする
ためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれら
の組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解
釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が
記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採
用しなければならないわけではない。一部の事項のみを
選択して採用することも可能なのである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, the present invention accurately obtains a displacement of an electric component with respect to a suction nozzle while avoiding an increase in apparatus cost as much as possible. Or, to improve the electrical component mounting position accuracy of the electrical component mounting system, and to make it possible to obtain the relative positional relationship of the portion related to the electrical component mounting position accuracy has been made as a problem, According to the present invention, a method for detecting a displacement of an electric component, a recording medium and device for detection, a method for acquiring a relative positional relationship, a recording medium and device for acquisition, an electric component mounting method, a recording medium for mounting, a mounting system, etc. Is obtained. As in the case of the claims, each aspect is divided into sections, each section is numbered, and if necessary, is described in a form in which the numbers of other sections are cited. This is for the purpose of facilitating the understanding of the present invention and should not be construed as limiting the technical features and combinations thereof described in the present specification to those described in the following sections. . Further, when a plurality of items are described in one section, the plurality of items need not always be adopted together. It is also possible to select and adopt only some of the items.

【0006】(1)電気部品を負圧により吸着する吸着
ノズルに対する電気部品の位置ずれを検出する方法であ
って、前記吸着ノズルとその近傍に配設されたドッグと
を同時に撮像する第一撮像工程と、その第一撮像工程に
おいて取得した吸着ノズルとドッグとの画像データを処
理してそれら吸着ノズルとドッグとの相対位置関係を取
得して記憶する第一データ処理工程と、前記吸着ノズル
に電気部品を保持させた状態でその電気部品と前記ドッ
グとを撮像する第二撮像工程と、その第二撮像工程にお
いて取得した電気部品とドッグとの画像データと、前記
第一データ処理工程で取得した吸着ノズルとドッグとの
相対位置関係とに基づいて、電気部品の吸着ノズルに対
する位置ずれを取得する第二データ処理工程とを含むこ
とを特徴とする電気部品の位置ずれ検出方法(請求項
1)。上記電気部品の吸着ノズルに対する位置ずれは、
電気部品の中心点等基準点の吸着ノズルの中心軸線と直
交する方向における位置ずれと、電気部品の、吸着ノズ
ルの中心軸線まわりの回転位置ずれとの少なくとも一方
を含む。第二データ処理工程においては、まず、ドッグ
の位置を取得し、そのドッグの位置と第一データ処理工
程において取得したドッグと吸着ノズルとの相対位置関
係とから吸着ノズルの位置を取得し、その吸着ノズルの
位置に対する電気部品の相対位置(位置ずれ)を取得し
てもよく、まず、ドッグと電気部品の相対位置関係を取
得し、その相対位置関係と、第一データ処理工程におい
て取得したドッグと吸着ノズルとの相対位置関係とに基
づいて電気部品の吸着ノズルに対する位置ずれを取得し
てもよい。撮像装置は、例えば、CCDカメラ等のカメ
ラのみを備えたものとすることも、1つ以上の反射面や
多数の光ファイバを備えて光の向きを変える導光装置を
も備えたものとすることも可能である。前者においては
カメラを吸着ノズルの先端面に対向させ、後者において
は導光装置を対向させるのである。本発明によれば、電
気部品の撮像時に吸着ノズルが電気部品の後ろに隠れて
いて検出できないにもかかわらず、検出可能なドッグの
位置と、先に検出しておいたドッグと吸着ノズルとの相
対位置関係とに基づいて、吸着ノズルの位置を正確に推
定することができる。そして、その推定位置に対する電
気部品の位置ずれが、吸着ノズルに対する電気部品の実
際の位置ずれであると見なすことは、吸着ノズルとドッ
グとの相対位置が変化しない限り妥当なことである。そ
して、例えば、吸着ノズルを保持する部材自体、あるい
は、その部材を相対回転あるいは軸方向に相対移動可能
に保持する部材にドッグを保持させれば、それら部材の
熱変形,弾性変形,経年変化,摩耗等によって吸着ノズ
ルとドッグとの相対位置が変化することを実質上防止す
ることは比較的容易である。したがって、例えば、ドッ
グの位置に基づく吸着ノズルの推定位置に対する電気部
品の位置ずれが、吸着ノズルに対する電気部品の実際の
位置ずれであると見なして装着作業を行うことにより、
前記種々の原因に基づく吸着ノズルと撮像装置との相対
位置ずれを修正し、電気部品を高い位置精度で回路基板
に装着することができる。 (2)前記第一撮像工程が、前記吸着ノズルを少なくと
も1回回転させて少なくとも2つの回転位置における吸
着ノズル先端を撮像する工程を含み、前記第一撮像工程
が、それら少なくとも2つの吸着ノズルの先端の像に基
づいて吸着ノズルの回転中心位置を取得する工程を含む
(1) 項に記載の電気部品の位置ずれ検出方法(請求項
2)。例えば、吸着ノズルを180度回転させ、その回
転の前後における2つの回転位置における吸着ノズルの
先端の2つの像の中心座標の平均値を回転中心位置とし
て取得し、あるいは、吸着ノズルを90度ずつ3回回転
させ、4つの回転位置における先端の4つの像の中心座
標から回転中心位置の座標を取得することができる。3
つ以上の回転位置における先端の像を使用する場合に
は、吸着ノズルの回転角度は必ずしも同じである必要は
ない。先端の像の中心が1円周上に位置するとして、そ
の円周の中心の位置を取得すればよいのである。吸着ノ
ズルが回転しない場合には、先端の位置が吸着ノズルの
位置であるとして装着作業等を行って差し支えないが、
吸着ノズルが回転し、電気部品を任意の回転姿勢で回路
基板に装着し得るものである場合には、吸着ノズルの回
転中心の位置を吸着ノズルの位置として装着作業の制御
を行わなければ、装着位置の精度が低下してしまう。 (3)前記ドックを複数個設け、少なくとも前記第一撮
像工程においてそれら複数個のドッグを撮像し、前記第
一データ処理工程において複数のドッグの相対位置関係
に基づいて撮像画面の傾きを取得する(1) 項または(2)
項に記載の電気部品の位置ずれ検出方法(請求項3)。
撮像装置自体や撮像装置を保持している装置の組付誤差
や熱変形に起因してドッグと撮像画面(撮像領域)とが
相対的に傾くことがある。複数のドッグを利用すれば、
この傾きを検出することができる。例えば、2個のドッ
グを第一撮像装置の撮像画面の2隅に、X軸,Y軸のい
ずれかに正確に平行な方向に隔たって撮像されるように
配設しておけば、それら2つのドッグの予め定められた
頂点等の基準点を結ぶ直線を、第一撮像装置の傾き(撮
像画面の傾き)を検出するための基準として利用するこ
とができる。また、上記基準点を結ぶ直線の、X軸また
はY軸に対する傾き角を予め別の装置で測定しておけ
ば、やはり基準点を結ぶ直線を第一撮像装置の傾きを検
出するための基準として利用することができる。さら
に、後に実施形態の項において説明するように、基準チ
ップ,第一撮像装置および第二撮像装置を利用すれば、
上記基準点を結ぶ直線の傾きを、電気部品装着システム
自体の機能を利用して検出することができる。ドッグを
保持している装置の組付誤差や熱変形に起因してドッグ
自体が傾くことがあり、本方法によればドッグの傾きを
検出できるのである。そして、そのようにして検出した
基準点を結ぶ直線を第一撮像装置の撮像画面の傾きを検
出するための基準として利用することができ、さらに、
基準チップを利用することにより、第二撮像装置の第一
撮像装置に対する相対的な傾きも検出することもでき
る。ドッグを比較的大きく、かつ、傾きの検出に適した
形状のものとすれば、1個のドッグにより撮像画面の傾
きを検出することができる。しかし、ドッグは、吸着ノ
ズルに吸着された電気部品の後ろに隠れてしまうもので
は意味がないため、撮像画面の外周部、特に撮像画面が
矩形である場合には隅部に、比較的小さい複数個のドッ
グを設けることが望ましい。 (4)電気部品を吸着ノズルにより吸着して回路基板に
装着し、電気回路を組み立てる電気部品装着システムの
装着精度に関連する部分の相対位置関係を取得する方法
であって、第一撮像装置により前記吸着ノズルとその近
傍に配設されたドッグとを同時に撮像する第一撮像工程
と、その第一撮像工程において取得した吸着ノズルとド
ッグとの画像データを処理してそれら吸着ノズルとドッ
グとの相対位置関係を取得し、記憶する第一データ処理
工程と、前記吸着ノズルに基準チップを保持させた状態
でその基準チップと前記ドッグとを同時に撮像する第二
撮像工程と、その第二撮像工程において取得した基準チ
ップとドッグとの画像データと前記第一データ処理工程
で取得した吸着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基
づいて、基準チップの吸着ノズルに対する位置ずれを取
得する第二データ処理工程と、前記吸着ノズルと前記回
路基板を支持する基板支持装置とを相対移動させ、基板
支持装置に対して相対移動不能に設定した載置面に前記
基準チップを載置させる載置工程と、その載置工程にお
いて載置した基準チップを第二撮像装置により撮像する
第三撮像工程と、その第三撮像工程において取得した基
準チップの画像データに基づいて、前記吸着ノズル,前
記第一撮像装置および前記第二撮像装置の相対位置関係
を取得する第三データ処理工程と、を含み、かつ、前記
第二データ処理工程において取得した基準チップの吸着
ノズルに対する位置ずれを修正して前記載置工程を実施
することと、前記第二データ処理工程において取得した
基準チップの吸着ノズルに対する位置ずれと前記載置し
た基準チップの画像データとに基づいて前記第三データ
処理工程を実施することとのいずれか一方を含むことを
特徴とする相対位置関係取得方法(請求項4)。第一撮
像装置と第二撮像装置とを備えた電気部品装着システム
においては、一般に、吸着ノズルに対する電気部品の位
置ずれが、第一撮像装置により取得された画像データに
基づいて検出される一方、回路基板の基板支持装置に対
する位置ずれが、第二撮像装置により取得された画像デ
ータに基づいて検出され、それら両位置ずれ分だけ、装
着制御プログラムにより指示される吸着ノズルと基板支
持装置との相対位置決めが修正されて装着が行われる。
したがって、吸着ノズル,第一撮像装置および第二撮像
装置の間に相対位置ずれが存在すれば、その位置ずれは
当然電気部品の装着位置精度低下の原因となる。しかる
に、本発明に従って、吸着ノズル,第一撮像装置および
第二撮像装置の相対位置関係、例えば、それら3者のい
ずれか一つに対する他の2者の相対位置ずれを検出し、
その相対位置ずれをも考慮に入れて吸着ノズルと基板支
持装置との相対位置決めの修正を行えば、電気部品の装
着位置精度を向上させることができる。基準チップは、
相対位置関係を取得するために専用のチップを準備して
使用してもよく、実際に回路基板に装着すべき電気部品
の一つを基準チップとして利用してもよい。前者におい
ては、基準チップを形状および寸法の精度の高いものと
し、あるいは検出に都合のよい光学的特性を備えたもの
とすることができ、それによって相対位置関係の取得精
度を向上させることが容易となる。また、載置面は、装
置の構成部材に恒久的に設定してもよく、例えば電気部
品を装着すべき回路基板上に一時的に設定してもよい。
載置面は、載置工程と第三撮像工程との実施時に基板支
持装置に対して相対移動不能に設定されていればよいの
である。本項の相対位置関係取得方法は、電気部品装着
システムの組立時や保守点検時に行うことも、電気部品
装着作業の実施中の適宜の時期に行うことも可能であ
る。前者においては、取得した相対位置関係に基づいて
装着制御プログラムを修正するなどにより、吸着ノズル
と基板支持装置との相対位置決めをを修正することによ
って、電気部品装着システムの電気部品装着精度を向上
させることができる。後者においては、電気部品装着シ
ステムの各部の熱変形に起因する相対位置関係の変化を
取得し、それに基づいて吸着ノズルと基板支持装置との
相対位置決めを修正することによって、電気部品装着シ
ステムの電気部品装着精度を一層向上させることができ
る。また、電気部品装着システムの各部の温度が定常状
態になる前に装着作業を行っても十分な装着位置精度を
得ることができる。 (5)(4) 項に記載の相対位置関係取得方法と、前記基
板支持装置に支持された回路基板に設けられた基準マー
クを前記第二撮像装置により撮像する第四撮像工程と、
その第四撮像工程により取得した基準マークの画像デー
タに基づいて回路基板の位置ずれを取得する第四データ
処理工程と、前記吸着ノズルに電気部品を保持させ、そ
の電気部品を前記第一撮像装置により撮像する第五撮像
工程と、その第五撮像工程により取得した電気部品の画
像データと、前記相対位置関係取得方法の実施により取
得した吸着ノズル,第一撮像装置および第二撮像装置の
相対位置関係と、前記第四データ処理工程において取得
した回路基板の位置ずれとに基づいて、前記基板支持装
置と前記吸着ノズルとの予め定められた相対位置を修正
し、電気部品を回路基板に装着させる部品装着工程とを
含む電気部品装着方法(請求項5)。上記第四データ処
理工程において取得される回路基板の位置ずれ(基準マ
ークの位置ずれ)は、第二撮像装置の撮像画面内でのず
れ(回路基板の第二撮像装置に対する位置ずれ)でもよ
く、正規の位置からのずれでもよい。前者の場合、例え
ば、第一撮像装置の位置が電気部品装着システム全体の
基準位置とされるものとすれば、回路基板の正規の位置
からのずれは、回路基板の第二撮像装置に対する位置ず
れと、第二撮像装置の第一撮像装置に対する位置ずれと
の和として取得される。 (6)(1) 項ないし(3) 項のいずれかに記載の電気部品
位置ずれ検出方法を実施するための制御プログラムがコ
ンピュータにより読み取り可能な状態で記録された記録
媒体。 (7)(4) 項に記載の相対位置関係取得方法を実施する
ための制御プログラムがコンピュータにより読み取り可
能な状態で記録された記録媒体。 (8)(5) 項に記載の電気部品装着方法を実施するため
の制御プログラムがコンピュータにより読み取り可能な
状態で記録された記録媒体。 (9)電気部品を負圧により吸着する吸着ノズルに対す
る電気部品の位置ずれを検出する装置であって、前記吸
着ノズルをその吸着ノズルの中心軸線に平行な方向から
撮像可能な撮像装置と、その撮像装置により吸着ノズル
と同時に撮像可能な位置に配設されたドッグと、前記撮
像装置に吸着ノズルとドッグとを同時に撮像させるとと
もに、吸着ノズルに吸着された電気部品とドッグとを同
時に撮像させる撮像制御装置と、前記同時に撮像した吸
着ノズルとドッグとの像に基づいて吸着ノズルとドッグ
との相対位置関係を取得するとともに、前記同時に取得
した電気部品とドッグとの像と、吸着ノズルとドッグと
の相対位置関係とに基づいて吸着ノズルに対する電気部
品の位置ずれを取得するデータ処理装置とを含むことを
特徴とする電気部品の位置ずれ検出装置(請求項6)。
本項に係る位置ずれ検出装置は、前記(1) 項の係る位置
ずれ検出方法の実施に好適なものである。 (10)前記撮像制御装置が、前記吸着ノズルを少なく
とも1回回転させて少なくとも2つの回転位置における
吸着ノズルの先端を前記撮像装置に撮像させる複数回撮
像制御部を含み、前記データ処理装置が、前記少なくと
も2つの吸着ノズルの先端の像に基づいて吸着ノズルの
回転中心位置を取得する回転中心位置取得部を含む(9)
項に記載の電気部品の位置ずれ検出装置。 (11)前記ドッグを複数個含み、それら複数個のドッ
グが前記撮像装置により前記吸着ノズルと同時にかつ撮
像画面の外周部において撮像される位置に配置された
(9) 項または(10)項に記載の電気部品の位置ずれ検出装
置。 (12)前記データ処理装置が、前記複数個のドッグの
像に基づいて前記撮像装置の撮像画面の傾きを取得する
傾き取得部を含む(11)項に記載の電気部品の位置ずれ検
出装置。 (13)前記ドッグが、概して矩形をなし、その矩形の
互に直交する2辺により規定される頂点を有する被検出
部を備えた(9) 項ないし(12)項のいずれかに記載の電気
部品の位置ずれ検出装置。2辺により規定される頂点
は、撮像により正確に検出することが容易であるため、
ドッグの位置を規定するための基準点として理想的であ
る。 (14)前記被検出部に、前記2辺に沿って延びる面取
りが施され、それら2辺がそれぞれ互に鋭角に交差する
2平面の交線として形成された(13)項に記載の電気部品
の位置ずれ検出装置。2辺を形成する部分に厚みがあれ
ば、2辺を撮像装置により撮像した場合に、シャープな
像を得難いため、本来の目的からすれば、上記2辺は文
字通り「互に鋭角に交差する2平面の交線として形成さ
れ」、2辺を形成する部分の厚みが0であることが理想
であるが、製造の都合上、あるいは耐久性や安全性の観
点から、2辺を形成する部分がごく小さい厚さを有する
ものとされてもよい。本項はその形態も包含するものと
する。 (15)電気部品を供給する部品供給装置と、電気部品
を吸着して保持する吸着ノズルと、回路基板を支持する
基板支持装置と、それら部品供給装置と吸着ノズルと基
板支持装置とを相対移動させる相対移動装置と、その相
対移動装置を制御して前記吸着ノズルに前記部品供給装
置により供給される電気部品を前記基板支持装置に支持
された回路基板の予め定められた位置に装着させる装着
制御装置と、前記吸着ノズルをその吸着ノズルの中心軸
線に平行な方向から撮像可能な第一撮像装置と、前記基
板支持装置に支持された回路基板に設けられた基準マー
クを撮像可能な第二撮像装置と、それら第一,第二撮像
装置により取得された画像データを処理するデータ処理
装置とを含む電気部品装着システムにおける前記吸着ノ
ズル,前記第一撮像装置および前記第二撮像装置の相対
位置関係を取得する相対位置関係取得装置であって、前
記第一撮像装置により前記吸着ノズルと同時に撮像可能
な位置に配設されたドッグと、前記第一撮像装置に、前
記吸着ノズルと前記ドッグとを同時に撮像させるととも
に、吸着ノズルに吸着された基準チップとドッグとを同
時に撮像させる撮像制御手段と、その撮像制御手段の制
御により同時に撮像された吸着ノズルとドッグとの像に
基づいて吸着ノズルとドッグとの相対位置関係を取得す
るとともに、同時に取得された基準チップとドッグとの
像と、前記吸着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基
づいて吸着ノズルに対する基準チップの位置ずれを取得
する位置ずれ取得手段と、前記相対移動装置に前記吸着
ノズルと前記基板支持装置とを相対移動させ、基板支持
装置に対して相対移動不能に設定された載置面に前記基
準チップを載置させる基準チップ載置制御手段と、その
載置された基準チップを前記第二撮像装置に撮像させる
基準チップ撮像制御手段と、その取得された基準チップ
の画像データに基づいて、前記吸着ノズル,前記第一撮
像装置および前記第二撮像装置の相対位置関係を取得す
る相対位置関係取得手段とを含み、かつ、前記載置制御
手段が、前記位置ずれ取得手段により取得された基準チ
ップの吸着ノズルに対する位置ずれを修正して前記吸着
ノズルに前記基準チップを前記載置面に載置させるもの
であるか、あるいは、前記相対位置関係取得手段が、前
記位置ずれ取得手段により取得された基準チップの吸着
ノズルに対する位置ずれと、前記基準チップ撮像制御手
段の制御により取得された基準チップの画像データとに
基づいて前記相対位置関係を取得するものであることを
特徴とする相対位置関係取得装置。本項に係る相対位置
関係取得装置は、前記(4) 項に係る相対位置関係取得方
法の実施に好適なものである。 (16)電気部品を供給する部品供給装置と、電気部品
を吸着して保持する吸着ノズルと、回路基板を支持する
基板支持装置と、それら部品供給装置,吸着ノズルおよ
び基板支持装置を相対移動させる相対移動装置と、その
相対移動装置を制御して前記吸着ノズルに前記部品供給
装置から供給される電気部品を前記基板支持装置に支持
された回路基板の予め定められた位置に装着させる装着
制御装置と、前記吸着ノズルをその吸着ノズルの中心軸
線に平行な方向から撮像可能な第一撮像装置と、前記基
板支持装置に支持された回路基板に設けられた基準マー
クを撮像可能な第二撮像装置と、それら第一,第二撮像
装置により取得された画像データを処理するデータ処理
装置とを含む電気部品装着システムであって、前記第一
撮像装置により前記吸着ノズルと同時に撮像可能な位置
に配設されたドッグと、前記第一撮像装置に前記吸着ノ
ズルと前記ドッグとを同時に撮像させるとともに、吸着
ノズルに吸着された基準チップとドッグとを同時に撮像
させる撮像制御手段と、その撮像制御手段の制御により
同時に撮像された吸着ノズルとドッグとの像に基づいて
吸着ノズルとドッグとの相対位置関係を取得するととも
に、同時に取得された基準チップとドッグとの像と、前
記吸着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基づいて吸
着ノズルに対する基準チップの位置ずれを取得する位置
ずれ取得手段と、前記相対移動装置に前記吸着ノズルと
前記基板支持装置とを相対移動させ、基板支持装置に対
して相対移動不能に設定された載置面に前記基準チップ
を載置させる基準チップ載置制御手段と、その載置され
た基準チップを前記第二撮像装置に撮像させる基準チッ
プ撮像制御手段と、その取得された基準チップの画像デ
ータに基づいて、前記吸着ノズル,前記第一撮像装置お
よび前記第二撮像装置の相対位置関係を取得する相対位
置関係取得手段と、前記載置制御手段が、前記位置ずれ
取得手段により取得された基準チップの吸着ノズルに対
する位置ずれを修正して前記吸着ノズルに前記基準チッ
プを前記載置面に載置させるものであることと、前記相
対位置関係取得手段が、前記位置ずれ取得手段により取
得された基準チップの吸着ノズルに対する位置ずれと、
前記基準チップ撮像制御手段の制御により取得された基
準チップの画像データとに基づいて前記相対位置関係を
取得するものであることとのいずれか一方と、前記基板
支持装置に支持された回路基板に設けられた基準マーク
を前記第二撮像装置に撮像させる基準マーク撮像制御手
段と、その取得された基準マークの画像データに基づい
て前記回路基板の位置ずれを取得する基板位置ずれ取得
手段と、前記吸着ノズルに電気部品を保持させ、その電
気部品を前記第一撮像装置により撮像させる電気部品撮
像制御手段と、その取得された電気部品の画像データ
と、前記相対位置関係取得手段により取得された前記吸
着ノズル,第一撮像装置および第二撮像装置の相対位置
関係と、前記基板位置ずれ取得手段により取得された回
路基板の位置ずれとに基づいて、前記基板支持装置と前
記吸着ノズルとの予め定められた相対位置を修正し、電
気部品を前記回路基板の予め定められた位置に装着させ
る装着制御手段とを含むことを特徴とする電気部品装着
システム。本項に係る電気部品装着システムは、前記
(5) 項に係る電気部品装着方法の実施に好適なものであ
る。 (17)前記相対移動装置が、前記基板支持装置に支持
された前記回路基板の表面に平行な平面内においてX軸
方向に移動可能なX軸スライドと、そのX軸スライドに
よって前記平面内において前記X軸方向と直交するY軸
方向に移動可能に保持され、前記吸着ノズルを保持した
Y軸スライドとを備えたものであり、かつ、前記第一撮
像装置が前記X軸スライドに固定的に取り付けられた(1
6)項に記載の電気部品装着システム。 (18)前記相対移動装置が、前記基板支持装置に支持
された前記回路基板の表面に平行な平面内においてX軸
方向に移動可能なX軸スライドと、そのX軸スライドに
よって前記平面内において前記X軸方向と直交するY軸
方向に移動可能に保持され、前記吸着ノズルを保持した
Y軸スライドとを備えたものであり、前記第一撮像装置
が前記X軸スライドを保持する静止部材に取り付けられ
た(16)項に記載の電気部品装着システム。 (19)前記相対移動装置が、前記基板支持装置に支持
された前記回路基板の表面に平行な平面内においてX軸
方向に移動可能なX軸スライドと、そのX軸スライドに
よって前記平面内において前記X軸方向と直交するY軸
方向に移動可能に保持され、前記吸着ノズルを保持した
Y軸スライドとを備えたものであり、かつ、第二撮像装
置が前記Y軸スライドに固定的に取り付けられた(16)項
ないし(18)項のいずれかに記載の電気部品装着システ
ム。 (20)前記載置面が、前記X軸スライドの移動の原点
および前記Y軸スライドの移動の原点に近い原点近傍位
置と、前記X軸スライド移動の原点および前記Y軸スラ
イドの移動の原点から共に遠い遠隔位置とに設定されて
おり、前記基準チップ載置制御手段が、それら原点近傍
位置と遠隔位置との両載置面に前記基準チップを載置さ
せるものである(17)項ないし(19)項のいずれかに記載の
電気部品装着システム。 (21)前記相対移動装置が、前記吸着ノズルを旋回軸
線まわりに旋回させるとともにその旋回の軌跡上に予め
設定された複数の停止位置で停止させるノズル移動装置
と、前記基板支持装置をその基板支持装置に支持された
回路基板の表面に平行な平面内において互いに直交する
X軸とY軸とにそれぞれ平行な2方向に移動させる基板
移動装置とを含み、前記第一撮像装置が前記複数の停止
位置の一つに停止した吸着ノズルの先端面に対向する位
置に静止して設けられ、前記第二撮像装置が前記基板支
持装置に支持された回路基板に対向する位置に静止して
設けられた(16)項に記載の電気部品装着システム。 (22)前記基板移動装置が、前記X軸に平行な方向に
移動可能なX軸スライドと、前記Y軸に平行な方向に移
動可能なY軸スライドとを含み、前記載置面が、前記X
軸スライドの移動の原点および前記Y軸スライドの移動
の原点に近い原点近傍位置と、前記X軸スライド移動の
原点および前記Y軸スライドの移動の原点から共に遠い
遠隔位置とに設定されており、前記基準チップ載置制御
手段が、それら原点近傍位置と遠隔位置との両載置面に
前記基準チップを載置させるものである(21)項に記載の
電気部品装着システム。
(1) Suction for sucking electric parts by negative pressure
This is a method for detecting the displacement of the electrical component with respect to the nozzle.
Thus, the suction nozzle and a dog disposed in the vicinity thereof
And a first imaging step of simultaneously imaging
Process the image data of the suction nozzle and the dog
The relative positional relationship between the suction nozzle and the dog.
A first data processing step of obtaining and storing, and the suction nozzle
While holding the electrical component in the
And a second imaging step of imaging the
Image data of the electrical part and the dog obtained by
Between the suction nozzle and the dog acquired in the first data processing step
Based on the relative positional relationship, the electrical component suction nozzle
And a second data processing step of acquiring a positional deviation to be performed.
And a method for detecting a displacement of an electric component.
1). The displacement of the electric component with respect to the suction nozzle is as follows.
Directly to the center axis of the suction nozzle at the reference point such as the center point of the electrical component
Misalignment in the intersecting direction and the suction noise
At least one of the rotational position shifts around the center axis of the
including. In the second data processing step, first, the dog
Position of the dog, and the position of the dog and the first data processing
The relative position between the dog and the suction nozzle
The position of the suction nozzle is obtained from the
Acquires the relative position (position shift) of the electrical component with respect to the position
First, determine the relative positional relationship between the dog and the electrical components.
In the first data processing step.
Based on the relative positional relationship between the dog and the suction nozzle
The position of the electrical component with respect to the suction nozzle
You may. The imaging device is, for example, a camera such as a CCD camera.
Or only one or more reflective surfaces,
A light guide device with many optical fibers to change the direction of light
It is also possible to provide with. In the former
With the camera facing the tip of the suction nozzle,
Makes the light guide devices face each other. According to the present invention,
The suction nozzle is hidden behind electrical components when imaging
Of a detectable dog
Position and phase of the previously detected dog and suction nozzle
Accurately estimate the position of the suction nozzle based on the
Can be specified. Then, the power for the estimated position
The misalignment of the electrical component is
Is considered to be a misalignment when the suction nozzle and the
This is appropriate as long as the relative position with respect to the tag does not change. So
Then, for example, the member itself holding the suction nozzle or
Can rotate the member relatively or move axially
If the dog is held by the members held in the
Adsorption noise due to thermal deformation, elastic deformation, aging, wear, etc.
To prevent the relative position of the dog and the dog from changing.
It is relatively easy to do. So, for example,
For the estimated position of the suction nozzle based on the position of the
Product misalignment is caused by the actual
By performing the mounting work assuming that it is a displacement,
Relative relationship between the suction nozzle and the imaging device based on the various causes
Corrects misalignment and enables electrical components to be mounted on circuit boards with high positional accuracy
Can be attached to (2) The first imaging step includes reducing the number of the suction nozzles.
Is also rotated once so that suction at at least two rotational positions is possible.
Imaging the tip of the arrival nozzle, the first imaging step
Are based on images of the tips of at least two of the suction nozzles.
Obtaining the rotation center position of the suction nozzle
(1) The method for detecting the displacement of the electrical component described in (1) (Claim
2). For example, the suction nozzle is rotated 180 degrees,
Of the suction nozzle at two rotation positions before and after the rotation
Using the average value of the center coordinates of the two images at the tip as the rotation center position
Or rotate the suction nozzle 90 degrees three times
And the center of the four images at the tip in four rotational positions
The coordinates of the rotation center position can be obtained from the mark. 3
When using images of the tip in more than one rotational position
Means that the rotation angle of the suction nozzle does not necessarily have to be the same
Absent. Assuming that the center of the image at the tip is located on one circumference,
What is necessary is just to acquire the position of the center of the circumference of. Adsorption
If the nozzle does not rotate, the tip position is
It is OK to do mounting work etc. as it is the position,
The suction nozzle rotates, and the electric parts are placed in a circuit with an arbitrary rotation posture.
If it can be mounted on the substrate, turn the suction nozzle
Control of mounting work with the position of the center of rotation as the position of the suction nozzle
Otherwise, the accuracy of the mounting position will be reduced. (3) A plurality of the docks are provided, and at least the first
In the imaging step, the plurality of dogs are imaged, and the
Relative positional relationship of multiple dogs in one data processing process
Obtain the tilt of the imaging screen based on (1) or (2)
3. A method for detecting a displacement of an electric component according to claim 1.
Assembly error of the imaging device itself or the device holding the imaging device
And the imaging screen (imaging area)
May lean relatively. If you use multiple dogs,
This inclination can be detected. For example, two docks
The X-axis and Y-axis at two corners of the imaging screen of the first imaging device.
So that images can be captured exactly in the direction parallel to each other
If you arrange them, the two dogs have a predetermined
The straight line connecting the reference points, such as vertices, is
(The tilt of the image screen)
Can be. The X-axis or straight line connecting the reference points
Is to measure the tilt angle with respect to the Y-axis with another device in advance.
For example, a straight line connecting the reference points can be used to detect the inclination of the first imaging device.
It can be used as a reference for issuing. Further
As will be described later in the embodiment section,
If the top, the first imaging device and the second imaging device are used,
The inclination of the straight line connecting the above-mentioned reference points is determined by the electrical component mounting system.
It can be detected using its own function. Dog
The dog may be damaged due to an assembly error or thermal deformation of the holding device.
This method can cause the dog to tilt itself.
It can be detected. And so detected
A straight line connecting the reference points is used to detect the inclination of the imaging screen of the first imaging device.
Can be used as a basis for issuing
By using the reference chip, the first imaging device
It can also detect the tilt relative to the imaging device.
You. Dogs are relatively large and suitable for detecting tilt
If it is shaped, the tilt of the imaging screen can be controlled by one dog.
Can be detected. However, dogs
It hides behind electrical components that are absorbed by the slime
Is meaningless, so the outer periphery of the imaging screen, especially the imaging screen
In the case of a rectangle, a plurality of relatively small
It is desirable to provide a tag. (4) Electric components are adsorbed by the suction nozzle to the circuit board
Mounting and assembly of electrical circuits
How to get the relative positional relationship of parts related to mounting accuracy
Wherein the first imaging device and the vicinity of the suction nozzle
First imaging step of simultaneously imaging a dog placed beside
And the suction nozzle and nozzle acquired in the first imaging step.
Process the image data with the suction nozzle and the
Data processing that acquires and stores the relative positional relationship with the
Process and a state in which a reference chip is held by the suction nozzle
A second image of the reference chip and the dog simultaneously
The imaging step and the reference channel acquired in the second imaging step
Image data of a top and a dog and the first data processing step
Based on the relative positional relationship between the suction nozzle and the dog
The position of the reference tip with respect to the suction nozzle.
Obtaining a second data processing step;
Relative to the substrate support device that supports the circuit board
The mounting surface is set to be immovable relative to the support device.
The mounting process for mounting the reference chip and the mounting process
Image of the mounted reference chip by the second imaging device
The third imaging step and the base acquired in the third imaging step
Based on the image data of the quasi chip, the suction nozzle,
Relative positional relationship between the first imaging device and the second imaging device
And a third data processing step of obtaining
Suction of the reference chip obtained in the second data processing step
Correct the misalignment with respect to the nozzle and execute the placement process described above
And obtained in the second data processing step
Displacement of the reference chip with respect to the suction nozzle
The third data based on the reference chip image data
To carry out one of the processing steps.
Characteristic relative positional relationship acquisition method (claim 4). First shot
Component mounting system including an imaging device and a second imaging device
In general, the position of electrical components with respect to the suction nozzle
The misalignment occurs in the image data acquired by the first imaging device.
On the other hand, and
The position shift that occurs is the image data acquired by the second imaging device.
Data is detected based on the
Suction nozzle and substrate support specified by the loading control program
The mounting is performed after the relative positioning with respect to the holding device is corrected.
Therefore, the suction nozzle, the first imaging device, and the second imaging device
If there is a relative displacement between the devices, the displacement is
Naturally, this causes a decrease in the mounting position accuracy of the electric component. Scold
According to the present invention, a suction nozzle, a first imaging device and
Relative positional relationship of the second imaging device, for example,
Detecting the relative positional deviation of the other two with respect to one of the deviations,
Considering the relative displacement, the suction nozzle and substrate support
If the relative positioning with the holding device is corrected,
The landing position accuracy can be improved. The reference tip is
Prepare a dedicated chip to obtain the relative positional relationship
Electrical components that may be used and should be actually mounted on the circuit board
May be used as a reference chip. Smell the former
The reference tip with a shape and dimension
Or with optical characteristics that are convenient for detection
And thereby obtain the relative positional relationship
It is easy to improve the degree. The mounting surface is
May be permanently set on the components of the
It may be set temporarily on the circuit board on which the product is to be mounted.
The mounting surface is used to support the substrate when the mounting step and the third imaging step are performed.
It only needs to be set to be immovable relative to the holding device
It is. The method for acquiring the relative positional relationship in this section
Electric components can be used during system assembly and maintenance.
It is also possible to carry out at appropriate time during the mounting work.
You. In the former, based on the acquired relative positional relationship,
By modifying the mounting control program, etc., the suction nozzle
By correcting the relative positioning between the
To improve the electrical component placement accuracy of the electrical component placement system
Can be done. In the latter case, the electrical component mounting system
Changes in relative positional relationship caused by thermal deformation of each part of the stem
Acquired, and based on it, the suction nozzle
By correcting the relative positioning, the electrical component mounting system
The accuracy of mounting electric components on the stem can be further improved
You. In addition, the temperature of each part of the electrical
Sufficient mounting position accuracy even if mounting work is performed before
Obtainable. (5) The relative position relationship acquisition method described in (4),
The reference mark provided on the circuit board supported by the board support device
A fourth imaging step of imaging the workpiece with the second imaging device;
The image data of the fiducial mark acquired in the fourth imaging step
Data to obtain the circuit board displacement based on the data
In the processing step, the electric component is held by the suction nozzle, and
Fifth imaging in which the first electrical device is imaged by the first imaging device
Process and the image of the electrical component obtained in the fifth imaging process
Image data and the relative position
Of the obtained suction nozzle, the first imaging device and the second imaging device.
Relative positional relationship and acquired in the fourth data processing step
The substrate support device based on the misalignment of the circuit board.
Correct the predetermined relative position between the placement and the suction nozzle
And a component mounting process for mounting the electrical components on the circuit board.
An electric component mounting method including the method (claim 5). The above fourth data processing
Misalignment of the circuit board obtained in the
Position of the second imaging device)
(Position shift of the circuit board with respect to the second imaging device)
Alternatively, it may be a deviation from the normal position. In the former case,
If the position of the first imaging device is
Assuming that it is the reference position, the regular position on the circuit board
Deviation from the position of the circuit board with respect to the second imaging device.
And the displacement of the second imaging device with respect to the first imaging device.
Is obtained as the sum of (6) An electrical component according to any one of paragraphs (1) to (3)
A control program for implementing the position shift detection method is not
A record recorded in a state readable by a computer
Medium. (7) Implement the relative positional relationship acquisition method described in (4).
Computer-readable control program for
Recording medium recorded in a functional state. (8) To implement the electrical component mounting method described in (5).
Control program can be read by computer
Recording medium recorded in the state. (9) For suction nozzles that suck electric components by negative pressure
A device for detecting a displacement of an electric component,
From the direction parallel to the central axis of the suction nozzle
Imaging device capable of imaging and suction nozzle using the imaging device
At the same time, the dog placed at
When the image pickup device picks up the suction nozzle and the dog at the same time,
In addition, the electrical components sucked by the suction nozzle and the dog are
An imaging control device for causing an image to be taken at the same time;
Suction nozzle and dog based on image of arrival nozzle and dog
To obtain the relative positional relationship with
Image of electrical parts and dog, and suction nozzle and dog
Of the suction nozzle based on the relative position of the
And a data processing device for acquiring the positional deviation of the product.
A feature of the present invention is a device for detecting a displacement of an electric component.
The position shift detecting device according to this section is the position shift detecting apparatus according to the above (1).
This is suitable for implementing the displacement detection method. (10) The imaging control device reduces the number of the suction nozzles.
Are rotated once and in at least two rotational positions.
Multiple shots to make the imaging device image the tip of the suction nozzle
An image control unit, wherein the data processing device includes the at least
Also based on the images of the tips of the two suction nozzles
Includes rotation center position acquisition unit that acquires rotation center position (9)
Item 5. A device for detecting a displacement of an electric component according to the above. (11) Including a plurality of the dogs,
The imaging nozzle simultaneously with the suction nozzle
Placed at the position where the image is taken on the outer periphery of the image screen
The device for detecting misalignment of electrical components described in paragraph (9) or (10)
Place. (12) The data processing device includes a plurality of dogs.
Obtain the tilt of the imaging screen of the imaging device based on the image
Including the inclination acquisition unit, the position deviation detection of the electrical parts described in section (11)
Output device. (13) The dog generally has a rectangular shape, and the rectangular shape
A detected object having a vertex defined by two mutually orthogonal sides
(9) to (12)
Component displacement detector. Vertex defined by two sides
Is easy to accurately detect by imaging,
It is ideal as a reference point for defining the position of the dog.
You. (14) The detected portion has a chamfer extending along the two sides.
And the two sides intersect each other at an acute angle
The electrical component according to item (13), formed as an intersection of two planes.
Misalignment detection device. Thickness on the part that forms the two sides
For example, when two sides are imaged by an imaging device,
Since it is difficult to obtain an image, from the original purpose, the above two sides are sentence
Literally "formed as a line of intersection of two planes that intersect at an acute angle
It is ideal that the thickness of the portion forming the two sides is 0
However, for the sake of manufacturing, or in view of durability and safety,
From the point, the part forming the two sides has a very small thickness
It may be assumed. This section also includes that form
I do. (15) Component supply device for supplying electrical components, and electrical components
Suction nozzle that sucks and holds the air, and supports the circuit board
Substrate support device, component supply device, suction nozzle and base
A relative movement device for relatively moving the plate support device, and the relative movement device;
Controlling the anti-movement device to supply the component to the suction nozzle.
Supports the electrical components supplied by the device on the substrate support device
Mounting at a predetermined position on the circuit board
A control device, and a central axis of the suction nozzle
A first imaging device capable of imaging from a direction parallel to the line;
The reference mark provided on the circuit board supported by the board support device
Imaging device capable of capturing images, and their first and second imaging devices
Data processing for processing image data acquired by the device
Device in an electric component mounting system including
Chisel, relative to the first imaging device and the second imaging device
A relative positional relationship acquisition device for acquiring a positional relationship, wherein
The first imaging device can take an image simultaneously with the suction nozzle
And a dog disposed at an appropriate position,
The suction nozzle and the dog are imaged simultaneously.
The reference chip and the dog sucked by the suction nozzle are
Imaging control means for causing an image to be captured at the time, and control of the imaging control means.
The image of the suction nozzle and the dog taken simultaneously by the control
The relative positional relationship between the suction nozzle and the dog based on the
Of the reference chip and the dog
Based on the image and the relative positional relationship between the suction nozzle and the dog.
The position of the reference tip with respect to the suction nozzle
The relative displacement device and the suction device
The nozzle and the substrate support device are relatively moved to support the substrate.
Place the base on a mounting surface that is set to be immovable relative to the device.
Reference chip placement control means for placing the reference chip,
Making the second imaging device image the mounted reference chip
Reference chip imaging control means and the obtained reference chip
The suction nozzle and the first imaging
Acquiring a relative positional relationship between an imaging device and the second imaging device.
And relative position relationship acquisition means, and
The means is a reference key acquired by the displacement acquisition means.
Correct the position of the tip with respect to the suction nozzle
The reference chip is mounted on the mounting surface described above in a nozzle.
Or the relative positional relationship acquisition means is
Suction of the reference chip acquired by the position shift acquisition means
The position shift with respect to the nozzle and the reference chip imaging control
With the image data of the reference chip acquired by the control of the stage
That the relative positional relationship is obtained based on the
Characteristic relative positional relationship acquisition device. Relative position according to this section
The relationship acquisition device is configured to acquire the relative positional relationship according to the above (4).
It is suitable for carrying out the method. (16) Component supply device for supplying electrical components, and electrical components
Suction nozzle that sucks and holds the air, and supports the circuit board
Substrate support devices, their component supply devices, suction nozzles and
Relative movement device for relatively moving the substrate and the substrate support device;
Controlling the relative moving device to supply the parts to the suction nozzle
Supports electrical components supplied from the device on the substrate support device
Mounting at a predetermined position on the circuit board
A control device, and a central axis of the suction nozzle
A first imaging device capable of imaging from a direction parallel to the line;
The reference mark provided on the circuit board supported by the board support device
Imaging device capable of capturing images, and their first and second imaging devices
Data processing for processing image data acquired by the device
An electrical component mounting system comprising:
A position where an image can be taken simultaneously with the suction nozzle by an imaging device
And the suction device is attached to the first imaging device.
Simultaneous imaging of the chisel and the dog
Simultaneous imaging of reference chip and dog adsorbed by nozzle
Imaging control means for controlling the imaging control means
Based on the image of the suction nozzle and the dog taken at the same time
Acquire the relative positional relationship between the suction nozzle and the dog
At the same time, the image of the reference chip and the dog
Suction based on the relative positional relationship between the suction nozzle and the dog.
Position where the positional deviation of the reference chip from the landing nozzle is obtained
A shift acquiring unit, the suction nozzle provided to the relative moving device,
The substrate support device is relatively moved, and the substrate support device is moved.
The reference chip is placed on the mounting surface
Reference chip placement control means for placing
The reference chip for causing the second imaging device to image the reference chip
Imaging control means and the acquired image data of the reference chip.
The suction nozzle, the first imaging device and the
And a relative position for obtaining a relative positional relationship of the second imaging device.
The placement relationship acquisition means and the placement control means are provided with
With respect to the suction nozzle of the reference chip acquired by the acquisition means.
The suction nozzle and the reference chip
That the pump is to be placed on the placement surface
The positional relationship acquiring means acquires the position by the positional deviation acquiring means.
Displacement of the obtained reference chip with respect to the suction nozzle,
The base obtained by the control of the reference chip imaging control means.
The relative positional relationship is determined based on the image data of the quasi-chip.
The substrate to be obtained
Fiducial mark provided on a circuit board supported by a support device
Reference mark imaging control means for causing the second imaging device to image
Based on the column and the image data of the acquired fiducial mark
Board displacement acquisition to acquire the circuit board displacement
Means for holding an electric component on the suction nozzle,
Electrical component imaging for imaging the electrical component by the first imaging device
Image control means and the acquired image data of the electric component
And the suction obtained by the relative positional relationship obtaining means.
Relative position of arrival nozzle, first imaging device and second imaging device
Relationship and the number of times obtained by the substrate displacement obtaining means.
The substrate supporting device and the front
Correct the predetermined relative position with the suction nozzle and
The electronic component is mounted at a predetermined position on the circuit board.
Electrical component mounting comprising:
system. The electrical component mounting system according to this section,
(5) It is suitable for implementing the electrical component mounting method according to the paragraph.
You. (17) The relative moving device is supported by the substrate supporting device.
X-axis in a plane parallel to the surface of the circuit board
X-axis slide that can move in the direction
Therefore, the Y axis perpendicular to the X axis direction in the plane
Held movably in the direction, holding the suction nozzle
A Y-axis slide, and the first imaging
An imaging device was fixedly attached to the X-axis slide (1
The electric component mounting system according to the item 6). (18) The relative moving device is supported by the substrate supporting device.
X-axis in a plane parallel to the surface of the circuit board
X-axis slide that can move in the direction
Therefore, the Y axis perpendicular to the X axis direction in the plane
Held movably in the direction, holding the suction nozzle
And a Y-axis slide, wherein the first imaging device
Is attached to a stationary member that holds the X-axis slide.
The electrical component mounting system according to item (16). (19) The relative moving device is supported by the substrate supporting device.
X-axis in a plane parallel to the surface of the circuit board
X-axis slide that can move in the direction
Therefore, the Y axis perpendicular to the X axis direction in the plane
Held movably in the direction, holding the suction nozzle
A Y-axis slide, and a second imaging device.
Item (16) wherein the device is fixedly attached to the Y-axis slide.
Or the electrical component mounting system according to any one of (18) to (18).
M (20) The mounting surface is the origin of the movement of the X-axis slide.
And near the origin close to the origin of the Y-axis slide movement
Position, the origin of the X axis slide movement and the Y axis
Is set to a remote position that is far from the origin of the movement of the id.
The reference chip placement control means is located near the origin.
The reference chip is placed on both the placement surface at the position and the remote position.
Described in any of paragraphs (17) to (19)
Electrical component mounting system. (21) The relative moving device pivots the suction nozzle.
Turn around the line and advance on the trajectory of the turn.
Nozzle moving device that stops at a plurality of set stop positions
And the substrate supporting device was supported by the substrate supporting device.
Orthogonal to each other in a plane parallel to the surface of the circuit board
Substrate that moves in two directions parallel to the X axis and the Y axis
A moving device, wherein the first imaging device stops the plurality of stops.
A position facing the tip surface of the suction nozzle stopped at one of the positions
And the second imaging device is mounted stationary on the substrate support.
At a position facing the circuit board supported by the holding device
The provided electrical component mounting system according to (16). (22) The substrate moving device moves in a direction parallel to the X axis.
Moveable X-axis slide and move in a direction parallel to the Y-axis
A movable Y-axis slide;
Origin of axis slide movement and movement of the Y axis slide
And the position near the origin close to the origin of the X-axis slide movement.
Both the origin and the origin of the Y-axis slide movement are far
Remote position and the reference chip placement control
Means are placed on both the mounting position near the origin and the remote position.
According to the item (21), wherein the reference chip is placed.
Electrical component mounting system.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。本発明の実施形態の1つであ
る電子部品装着システムが図1および図2に示されてい
る。図1において10は電子部品装着システムのベース
である。ベース10上には、回路基板の一種であるプリ
ント配線板12をX軸方向(図1においては左右方向)
に搬送する配線板コンベヤ14,プリント配線板12に
電気部品の一種である電子部品を装着する部品装着装置
18および部品装着装置18に電子部品を供給する部品
供給装置20,22等が設けられている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. An electronic component mounting system according to one embodiment of the present invention is shown in FIGS. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a base of the electronic component mounting system. On the base 10, a printed wiring board 12, which is a kind of a circuit board, is placed in the X-axis direction (the horizontal direction in FIG. 1).
And a component mounting device 18 for mounting an electronic component, which is a kind of electrical component, on the printed wiring board 12, and component supply devices 20 and 22 for supplying the electronic component to the component mounting device 18. I have.

【0008】本実施形態においてプリント配線板12
は、配線板コンベヤ14により水平な姿勢で搬送され、
図示を省略する停止装置によって予め定められた部品装
着位置において停止させられるとともに、ベース10の
部品装着位置に対応する部分に設けられた回路基板支持
装置たる配線板支持装置26(図5参照)により支持さ
れる。本実施形態においてプリント配線板12は、その
電子部品が装着される被装着面28が水平な姿勢で支持
される。前記X軸方向は、被装着面28に平行であって
水平なXY座標面の一座標軸に平行な方向である。
In this embodiment, the printed wiring board 12
Is transported in a horizontal position by the wiring board conveyor 14,
It is stopped at a predetermined component mounting position by a stop device not shown, and is also provided by a wiring board supporting device 26 (see FIG. 5) as a circuit board supporting device provided at a portion of the base 10 corresponding to the component mounting position. Supported. In the present embodiment, the printed wiring board 12 is supported such that the mounting surface 28 on which the electronic component is mounted is horizontal. The X-axis direction is a direction that is parallel to the mounting surface 28 and parallel to one coordinate axis on a horizontal XY coordinate plane.

【0009】配線板コンベヤ14は、図2および図5に
概略的に示すように、一対のガイドレール30,32を
備えている。本実施形態において、ガイドレール30,
32のうちの一方はベース10に位置を固定して設けら
れた固定ガイドレールであり、他方は固定ガイドレール
に接近,離間可能に設けられた可動ガイドレールであ
り、配線板コンベヤ14の幅(搬送方向に直角な方向の
寸法)に応じて可動ガイドレールが移動させられ、搬送
幅が変更される。
The circuit board conveyor 14 includes a pair of guide rails 30 and 32, as schematically shown in FIGS. In the present embodiment, the guide rails 30,
One of the fixed guide rails 32 is a fixed guide rail provided at a fixed position on the base 10, and the other is a movable guide rail provided so as to be able to approach and separate from the fixed guide rail. The movable guide rail is moved according to the dimension perpendicular to the transport direction), and the transport width is changed.

【0010】一対のガイドレール30,32にはそれぞ
れ、無端の巻掛体たるコンベヤベルト34が巻き掛けら
れており、プリント配線板12はコンベヤベルト34上
に載せられ、これら1対のコンベヤベルト34が、配線
板搬送用モータ36(図9参照)を駆動源とするベルト
駆動装置によって同期して周回させられることにより、
プリント配線板12が搬送される。
A pair of guide rails 30 and 32 are respectively wound around a conveyor belt 34 as an endless wrapping body. The printed wiring board 12 is placed on the conveyor belt 34, and the pair of conveyor belts 34. Are synchronously circulated by a belt driving device having a wiring board transport motor 36 (see FIG. 9) as a driving source.
The printed wiring board 12 is transported.

【0011】配線板支持装置26は、図5に概略的に示
すように、1対のクランプ部材40およびを複数の支持
部材42を有するものとすることができる。1対のクラ
ンプ部材40は板状を成し、昇降台44の、配線板搬送
方向に平行な両縁にそれぞれ、配線板搬送方向に平行に
立設されており、複数の支持部材42は、昇降台44の
1対のクランプ部材40の間の部分であって、プリント
配線板12の裏面(当該電子部品装着システムにおいて
電子部品が装着される側とは反対側の面)の被支持部に
対応する位置に立設されている。
The wiring board support device 26 may include a pair of clamp members 40 and a plurality of support members 42 as schematically shown in FIG. The pair of clamp members 40 are formed in a plate shape, and are respectively erected on both sides of the elevating platform 44 parallel to the wiring board transport direction in parallel with the wiring board transport direction. A portion between the pair of clamp members 40 of the elevating platform 44 and a supported portion on the back surface of the printed wiring board 12 (the surface opposite to the side where the electronic components are mounted in the electronic component mounting system). It is erected at the corresponding position.

【0012】昇降台44は、昇降台駆動装置50によっ
て昇降させられる。昇降台駆動装置50は、図示の例に
おいては、駆動源として昇降用シリンダ52を備えてい
る。昇降用シリンダ52は、流体圧アクチュエータたる
流体圧シリンダの一種であり、本実施形態においてはエ
アシリンダとされている。昇降用シリンダ52は上下方
向に設けられ、ピストンロッド54が昇降台44に係合
させられている。したがって、ピストンロッド54が伸
縮させられれば、昇降台44は複数組のガイドロッド5
6およびガイド筒58を含む案内装置60により案内さ
れつつ昇降させられ、クランプ部材40および支持部材
42が、プリント配線板12の被装着面22に直角な方
向に移動させられてプリント配線板12に接近,離間さ
せられる。1対のクランプ部材40は、プリント配線板
12をコンベヤベルト34から持ち上げて、その縁部を
ガイドレール30,32にそれぞれ設けられた押さえ部
62との間に挟んでプリント配線板12をクランプし、
支持部材42はプリント配線板12の裏面に接触し、下
方から支持する。
The lift 44 is raised and lowered by a lift drive 50. In the example shown in the drawing, the lifting platform drive device 50 includes a lifting cylinder 52 as a drive source. The lifting / lowering cylinder 52 is a type of a hydraulic cylinder serving as a hydraulic actuator, and is an air cylinder in the present embodiment. The elevating cylinder 52 is provided vertically, and a piston rod 54 is engaged with the elevating table 44. Therefore, if the piston rod 54 is expanded and contracted, the lifting platform 44 can move the plurality of sets of the guide rods 5.
6 and a guide device 60 including a guide cylinder 58, the guide member 60 is moved up and down while being guided by the guide device 60. They can be approached and separated. The pair of clamp members 40 lift the printed wiring board 12 from the conveyor belt 34 and clamp the printed wiring board 12 with its edges sandwiched between holding portions 62 provided on the guide rails 30 and 32, respectively. ,
The support member 42 contacts the back surface of the printed wiring board 12 and supports it from below.

【0013】部品供給装置20,22は、図1および図
2に示すように、X軸方向と直交するY軸方向互いに隔
たって、配線板コンベヤ14の両側に設けられている。
図示の例においては、部品供給装置20がフィーダ型部
品供給装置とされ、部品供給装置22がトレイ型部品供
給装置とされている。フィーダ型電子部品供給装置20
においては、多数のフィーダ70がX軸方向に並べて設
置される。各フィーダ70にはテーピング電子部品がセ
ットされる。テーピング電子部品は、キャリヤテープに
等間隔に形成された部品収容凹部の各々に電子部品が収
容され、それら部品収容凹部の開口がキャリヤテープに
貼り付けられたカバーフィルムによって塞がれることに
より、キャリヤテープ送り時等における電子部品の部品
収容凹部からの飛び出しが防止されたものである。この
キャリヤテープがY軸方向に所定ピッチずつ送られ、カ
バーフィルムが剥がされるとともに、部品供給位置へ送
られる。フィーダ70により供給される電子部品には、
リードを有する電子部品もあれば、リードを有さない電
子部品もある。いずれにしても、電子部品はほぼ位置決
めされて部品収容凹部に収容されているため、部品装着
装置18は電子部品のほぼ中央を保持し、ほぼ正しい回
転姿勢で取り出すことができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the component supply devices 20 and 22 are provided on both sides of the wiring board conveyor 14 so as to be separated from each other in a Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction.
In the illustrated example, the component supply device 20 is a feeder type component supply device, and the component supply device 22 is a tray type component supply device. Feeder type electronic component supply device 20
In, a number of feeders 70 are arranged side by side in the X-axis direction. Taping electronic components are set in each feeder 70. The electronic component is accommodated in each of the component accommodating recesses formed at equal intervals in the carrier tape, and the openings of the component accommodating recesses are closed by a cover film affixed to the carrier tape, so that the carrier tape is closed. This prevents the electronic component from jumping out of the component housing recess when the tape is fed. This carrier tape is fed at a predetermined pitch in the Y-axis direction, and the cover film is peeled off and sent to the component supply position. The electronic components supplied by the feeder 70 include:
Some electronic components have leads and some have no leads. In any case, since the electronic component is substantially positioned and accommodated in the component accommodating recess, the component mounting device 18 can hold the approximate center of the electronic component and take it out with a substantially correct rotation posture.

【0014】トレイ型電子部品供給装置22は、電子部
品を部品トレイ76(図3参照)に収容して供給する。
部品トレイ76は、上下方向に配設された多数の部品ト
レイ収容箱78内にそれぞれ1枚ずつ支持されている。
これら部品トレイ収容箱78はそれぞれ図示しない支持
部材により支持され、コラム79内に設けられた昇降装
置により順次部品供給位置へ上昇させられるのである
が、部品供給位置の上方には後述する保持装置が電子部
品を取り出すためのスペースを確保することが必要であ
る。そのため、電子部品を供給し終わった部品トレイ収
容箱78は、次の部品トレイ収容箱78が部品供給位置
へ上昇させられるのと同時に、上記スペース分上昇させ
られ、上方の退避領域へ退避させられる。このトレイ型
電子部品供給装置22は、特公平2−57719号公報
に記載の電子部品供給装置と同じであり、説明は省略す
る。
The tray-type electronic component supply device 22 stores and supplies electronic components in a component tray 76 (see FIG. 3).
The component trays 76 are supported one by one in a large number of component tray housing boxes 78 arranged vertically.
Each of these component tray storage boxes 78 is supported by a support member (not shown), and is sequentially raised to a component supply position by an elevating device provided in a column 79. Above the component supply position, a holding device described later is provided. It is necessary to secure space for taking out electronic components. Therefore, the component tray storage box 78 to which the electronic components have been supplied is raised by the space at the same time as the next component tray storage box 78 is raised to the component supply position, and is retracted to the upper evacuation area. . The tray-type electronic component supply device 22 is the same as the electronic component supply device described in Japanese Patent Publication No. 2-57719, and a description thereof will be omitted.

【0015】上記のように、上方にスペースが形成され
たトレイ収容箱78内の部品トレイ76から部品装着装
置18が1個ずつ電子部品を取り出す。各部品トレイ7
6は、マトリックス状に形成された多数の収容凹部80
(図6参照)にそれぞれ電子部品82を収容しており、
各収容凹部80は電子部品82をほぼ位置決めした状態
で収容している。したがって、部品装着装置18は電子
部品82のほぼ中央を保持し、ほぼ正しい回転姿勢で取
り出すことができる。図示の電子部品82は、矩形の本
体90の4つの側面からそれぞれ多数本のリード92が
延び出させられたものであり、リード92がプリント配
線板12に接続される際、プリント配線板12側となる
面を底面96、反対側の面を上面94と称することとす
る。ただし、ボールグリッドアレイを備えた電子部品や
リードを備えない電子部品もすべて符号82で表すこと
とする。
As described above, the component mounting device 18 takes out the electronic components one by one from the component tray 76 in the tray housing box 78 having a space formed above. Each component tray 7
6 is a large number of receiving recesses 80 formed in a matrix.
(See FIG. 6), each of which accommodates an electronic component 82,
Each accommodating recess 80 accommodates the electronic component 82 in a substantially positioned state. Therefore, the component mounting device 18 can hold the substantially center of the electronic component 82 and can take it out with a substantially correct rotation posture. The illustrated electronic component 82 has a large number of leads 92 extending from four sides of a rectangular main body 90. When the leads 92 are connected to the printed wiring board 12, Is referred to as a bottom surface 96, and the opposite surface is referred to as an upper surface 94. However, the electronic components having the ball grid array and the electronic components having no leads are all represented by reference numeral 82.

【0016】部品装着装置18は、図3に示す保持装置
100が互いに直交するX軸方向およびY軸方向の成分
を有する方向に直線移動して電子部品82を搬送し、プ
リント配線板12の表面ないし上面である装着面18に
装着するものとされている。そのため、図1に示すよう
に、ベース10の配線板コンベヤ22のY軸方向におけ
る両側にはそれぞれボールねじ104がX軸方向に平行
に設けられるとともに、X軸スライド106に設けられ
たナット108(図4に1個のみ図示されている)の各
々に螺合されており、これらボールねじ104がそれぞ
れ、X軸スライド駆動用モータ110によって回転させ
られることにより、X軸スライド106がX軸に平行な
方向の任意の位置へ移動させられる。X軸スライド10
6は、図1に示すように、フィーダ型電子部品供給装置
20から配線板コンベヤ14を越えてトレイ型電子部品
供給装置22にわたる長さを有する。なお、ベース10
上には、2つのボールねじ104の下側にそれぞれ案内
部材たるガイドレール112(図4参照)が設けられて
おり、X軸スライド106は被案部材たるガイドブロッ
ク114においてガイドレール112に摺動可能に嵌合
され、移動が案内される。以上、ナット108,ボール
ねじ104およびX軸スライド駆動用モータ110等が
X軸スライド移動装置116を構成している。
The component mounting device 18 transports the electronic component 82 by linearly moving the holding device 100 shown in FIG. 3 in the directions having the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to each other. Or it is to be mounted on the mounting surface 18 which is the upper surface. Therefore, as shown in FIG. 1, ball screws 104 are provided on both sides of the wiring board conveyor 22 of the base 10 in the Y-axis direction in parallel with the X-axis direction, and nuts 108 (provided on the X-axis slide 106). Each of the ball screws 104 is rotated by an X-axis slide drive motor 110 so that the X-axis slide 106 is parallel to the X-axis. To any position in any direction. X axis slide 10
As shown in FIG. 1, reference numeral 6 has a length extending from the feeder type electronic component supply device 20 to the tray type electronic component supply device 22 beyond the wiring board conveyor 14. The base 10
A guide rail 112 (see FIG. 4) serving as a guide member is provided below each of the two ball screws 104 on the upper side. The fitting is possible and the movement is guided. As described above, the nut 108, the ball screw 104, the X-axis slide driving motor 110 and the like constitute the X-axis slide moving device 116.

【0017】X軸スライド106上には、ボールねじ1
20(図4参照)がY軸方向に平行に設けられるととも
に、Y軸スライド122がナット124において螺合さ
れている。このボールねじ120がY軸スライド駆動用
モータ126(図1参照)によりギヤ128,130を
介して回転させられることにより、Y軸スライド122
は案内部材たる一対のガイドレール132に案内されて
Y軸方向に平行な任意の位置に移動させられる。以上、
ナット124,ボールねじ120およびY軸スライド駆
動用モータ126がY軸スライド移動装置134を構成
し、前記X軸スライド106,X軸スライド移動装置1
16およびY軸スライド122と共に移動装置136を
構成しており、保持装置100は、移動装置136によ
り、水平面内の任意の位置へ移動させられる。
The ball screw 1 is placed on the X-axis slide 106.
20 (see FIG. 4) is provided in parallel with the Y-axis direction, and a Y-axis slide 122 is screwed on a nut 124. When the ball screw 120 is rotated by gears 128 and 130 by a Y-axis slide driving motor 126 (see FIG. 1), the Y-axis slide 122 is rotated.
Is guided by a pair of guide rails 132 as guide members, and is moved to an arbitrary position parallel to the Y-axis direction. that's all,
The nut 124, the ball screw 120, and the Y-axis slide driving motor 126 constitute a Y-axis slide moving device 134, and the X-axis slide 106 and the X-axis slide moving device 1
The holding device 100 is moved to an arbitrary position in a horizontal plane by the moving device 136 together with the moving device 136 together with the 16 and the Y-axis slide 122.

【0018】Y軸スライド122の垂直な側面140
に、図2および図3に示すように、保持装置100,保
持装置100を昇降させる昇降装置144,保持装置1
00をその軸線まわりに回転させる回転装置146が設
けられており、これら保持装置100等が部品装着ユニ
ットを構成している。本実施形態では、部品装着ユニッ
トは1組設けられているのであるが、複数組設けてもよ
い。例えば、Y軸スライド122に複数の部品装着ユニ
ットをY軸方向に平行に1列に並べて設けることができ
る。
The vertical side surface 140 of the Y-axis slide 122
2 and 3, the holding device 100, an elevating device 144 for lifting and lowering the holding device 100, and the holding device 1
A rotation device 146 for rotating the motor 00 around its axis is provided, and the holding device 100 and the like constitute a component mounting unit. In this embodiment, one set of component mounting units is provided, but a plurality of sets may be provided. For example, a plurality of component mounting units can be provided on the Y-axis slide 122 in a row in parallel with the Y-axis direction.

【0019】本実施形態の部品装着ユニットは、特開平
4−372199号公報に記載の部品装着ユニットと同
様に構成されており、簡単に説明する。Y軸スライド1
22の側面140に設けられた支持部150には、図7
に示すように、ナット152およびスプライン部材15
4がそれぞれ同心にかつ上下方向に距離を隔てた状態
で、自身の軸線まわりであって、本実施形態においては
垂直軸線まわりに回転可能に支持されており、ナット1
52には中空ロッド156の雄ねじ部158が螺合さ
れ、スプライン部材154には中空ロッド156の雄ね
じ部158の下方に形成されたスプライン部160が嵌
合されている。これらナット152およびスプライン部
材154は、多数のボールを保持したボールナットおよ
びボールスプライン部材である。
The component mounting unit of the present embodiment has the same configuration as the component mounting unit described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-372199, and will be briefly described. Y-axis slide 1
7 is provided on the supporting portion 150 provided on the side surface 140 of FIG.
As shown in FIG.
The nuts 4 are supported concentrically and at a distance in the vertical direction about their own axis, and in this embodiment, rotatably about a vertical axis.
A male thread 158 of the hollow rod 156 is screwed into the 52, and a spline 160 formed below the male thread 158 of the hollow rod 156 is fitted to the spline member 154. The nut 152 and the spline member 154 are a ball nut and a ball spline member holding a large number of balls.

【0020】ナット152は、ノズル昇降用モータ16
4,歯車166,168を含む回転駆動装置により軸線
まわりに回転させられ、それにより中空ロッド156が
軸方向に移動させられ、昇降させられる。ナット15
2,歯車166,168およびノズル昇降用モータ16
4が昇降装置144を構成しているのである。昇降装置
144は、中空ロッド156、ひいては保持装置100
をその軸線に平行な方向に移動させる移動装置でもあ
り、保持装置100をプリント配線板12の表面に直角
な方向に移動させ、プリント配線板12に接近,離間さ
せる接近・離間装置でもある。なお、ノズル昇降用モー
タ164の回転角度はエンコーダ170によって検出さ
れるようになっている。
The nut 152 is connected to the motor 16 for raising and lowering the nozzle.
4, rotated about an axis by a rotary drive including gears 166, 168, whereby the hollow rod 156 is moved axially and raised and lowered. Nut 15
2, gears 166, 168 and nozzle lifting motor 16
4 constitutes the lifting device 144. The lifting / lowering device 144 includes the hollow rod 156 and thus the holding device 100.
Is moved in a direction parallel to the axis of the printed wiring board 12, and is also an approaching / separating device that moves the holding device 100 in a direction perpendicular to the surface of the printed wiring board 12 to approach and separate from the printed wiring board 12. The rotation angle of the motor 164 is detected by an encoder 170.

【0021】また、スプライン部材154の支持部15
0から突出した下端部には歯車172が固定され、ノズ
ル回転用モータ174(図9参照)の出力軸に固定の歯
車に噛み合わされており、ノズル回転用サーボモータ1
74によってスプライン部材154が回転させられるこ
とにより、中空ロッド156がその垂直な軸線まわりに
回転させられる。それにより、保持装置100がその軸
線まわりに回転させられ、保持装置100に保持された
電子部品82が、その上面94に直角でかつ上面94の
ほぼ中央をとおる回転軸線であって、本実施形態におい
ては垂直な軸線まわりに回転させられる。ノズル回転用
モータ174の回転角度はエンコーダ176(図9参
照)により検出される
The support portion 15 of the spline member 154
A gear 172 is fixed to the lower end protruding from the nozzle 0, and is engaged with a gear fixed to the output shaft of the nozzle rotation motor 174 (see FIG. 9).
Rotation of spline member 154 by 74 causes hollow rod 156 to rotate about its vertical axis. Thereby, the holding device 100 is rotated around its axis, and the electronic component 82 held by the holding device 100 is a rotation axis perpendicular to the upper surface 94 and passing through substantially the center of the upper surface 94. Is rotated about a vertical axis. The rotation angle of the nozzle rotation motor 174 is detected by an encoder 176 (see FIG. 9).

【0022】上記中空ロッド156の下端部には、図8
に示すように、チャックアダプタ180が着脱可能に、
かつ抜け出し不能に取り付けられ、チャックアダプタ1
80にはチャック182が着脱可能に、かつ抜け出し不
能に取り付けられている。これら3部材が吸着ノズル1
84を着脱可能に保持するホルダ186を構成し、吸着
ノズル184およびホルダ186が保持装置100を構
成している。
At the lower end of the hollow rod 156, FIG.
As shown in, the chuck adapter 180 is detachable,
It is attached so that it cannot come out, and the chuck adapter 1
A chuck 182 is detachably attached to 80 and cannot be pulled out. These three members are the suction nozzle 1
The suction nozzle 184 and the holder 186 constitute the holding device 100.

【0023】吸着ノズル184は、スリーブ190と、
スリーブ190に嵌合された吸着管192とを有してい
る。スリーブ190はチャックアダプタ180に嵌合さ
れるとともに、チャックアダプタ180との間に配設さ
れた圧縮コイルスプリング198(以下、スプリング1
98と略称する。)によりチャックアダプタ180から
抜け出す向きに付勢されており、1対の耳部200にそ
れぞれ設けられ、互に同一平面上に位置する1対の傾斜
面202が、チャック182に設けられた1対のピン2
04に係合することにより、吸着ノズル184はチャッ
ク182によって軸方向に相対移動不能かつ相対回転不
能に保持されている。圧縮コイルスプリング198は、
付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材である。
The suction nozzle 184 includes a sleeve 190,
And a suction tube 192 fitted to the sleeve 190. The sleeve 190 is fitted to the chuck adapter 180 and a compression coil spring 198 (hereinafter referred to as a spring 1) disposed between the sleeve 190 and the chuck adapter 180.
Abbreviated as 98. ), A pair of inclined surfaces 202 provided on the pair of ears 200 and located on the same plane with each other are provided on the chuck 182. Pin 2 of
By engaging the suction nozzle 04, the suction nozzle 184 is held by the chuck 182 so as to be relatively immovable in the axial direction and relatively unrotatable. The compression coil spring 198 is
It is a spring member as an elastic member which is a kind of the urging means.

【0024】スリーブ190には、チャック182から
の突出端部の外周面に発光板206が嵌合固定される一
方、内周面に吸着管192が嵌合され、発光板206を
貫通して下方へ突出させられている。発光板206は、
吸着ノズル184による電子部品82の保持姿勢の検出
時に紫外線を受けて可視光線を放射するものである。
The light emitting plate 206 is fitted and fixed to the outer surface of the sleeve 190 at the end protruding from the chuck 182, and the suction tube 192 is fitted to the inner peripheral surface thereof. It is made to protrude. The light emitting plate 206
When the suction posture of the electronic component 82 is detected by the suction nozzle 184, the suction nozzle 184 receives ultraviolet light and emits visible light.

【0025】吸着ノズル184は電子部品82を負圧に
より吸着し、装着対象部材としてのプリント配線板12
に装着する。そのため、吸着ノズル184は、中空ロッ
ド156内に軸方向に相対移動可能に嵌合されたパイプ
210,パイプ210の中空ロッド156から突出させ
られた上端部に固定のハウジング212,ハウジング2
12に取り付けられたニップル214等を経て図示を省
略する負圧源,正圧源および大気に接続されており、電
磁方向切換弁装置(図示省略)の切換えにより、吸着管
192が負圧源,正圧源および大気に択一的に連通させ
られる。吸着管192は、負圧の供給により電子部品8
2を、その本体90の上面94において吸着し、正圧の
供給により電子部品82を開放する。本実施形態におい
て吸着ノズル184は、電子部品82を水平な姿勢で吸
着し、保持する
The suction nozzle 184 sucks the electronic component 82 by negative pressure, and the printed wiring board 12 as a member to be mounted.
Attach to Therefore, the suction nozzle 184 includes the pipe 210 fitted in the hollow rod 156 so as to be relatively movable in the axial direction, the housing 212 fixed to the upper end protruding from the hollow rod 156 of the pipe 210, and the housing 2.
12 are connected to a negative pressure source (not shown), a positive pressure source (not shown), and the atmosphere via a nipple 214 and the like attached to the suction pipe 12. It is alternatively connected to a positive pressure source and the atmosphere. The suction tube 192 supplies the electronic component 8 by supplying a negative pressure.
2 is sucked on the upper surface 94 of the main body 90, and the electronic component 82 is opened by supplying a positive pressure. In the present embodiment, the suction nozzle 184 sucks and holds the electronic component 82 in a horizontal posture.

【0026】パイプ210はその自重により、図8に示
すように、ホルダ186により保持された吸着ノズル1
84のスリーブ190の上面に当接しており、吸着ノズ
ル184と共に昇降させられる。本実施形態において
は、パイプ210の移動に基づいて、ホルダ186と吸
着ノズル184との相対移動の開始を検出するようにさ
れている。そのため、パイプ210の上端部には、図7
に示すように、ドッグ222が固定され、前記ハウジン
グ212の上部には光電スイッチ226が固定されてい
る。
As shown in FIG. 8, the suction nozzle 1 held by the holder 186 is moved by its own weight.
84 is in contact with the upper surface of the sleeve 190 and is moved up and down together with the suction nozzle 184. In the present embodiment, the start of the relative movement between the holder 186 and the suction nozzle 184 is detected based on the movement of the pipe 210. Therefore, at the upper end of the pipe 210, FIG.
As shown in FIG. 7, a dog 222 is fixed, and a photoelectric switch 226 is fixed on an upper portion of the housing 212.

【0027】光電スイッチ226は電子部品82の非装
着時においてドッグ222から上側に外れた位置に設け
られている。この光電スイッチ226は本実施形態にお
いては反射型であり、発光器および受光器を有し、発光
器が発する光が反射されて受光する場合にON信号を発
し、光が反射されず、受光しない場合にOFF信号を発
する。したがって、吸着ノズル184がホルダ186か
ら最も長く突出した状態では、光電スイッチ226が発
する光を反射するものがなく、受光しないためOFF信
号を発するが、吸着ノズル184が僅かにホルダ186
内に引っ込めば、ドッグ222により光が反射されてO
N信号を発し、それにより吸着ノズル184とホルダ1
86との相対移動の開始が検出される。本実施例におい
ては、パイプ210,ドッグ222および光電スイッチ
226がホルダ186と吸着ノズル184との相対移動
の開始を検出する検出装置を構成しているのである。
The photoelectric switch 226 is provided at a position above the dog 222 when the electronic component 82 is not mounted. The photoelectric switch 226 is a reflection type in this embodiment, has a light emitter and a light receiver, and emits an ON signal when light emitted from the light emitter is reflected and received, and the light is not reflected and is not received. In this case, an OFF signal is issued. Therefore, in a state where the suction nozzle 184 protrudes the longest from the holder 186, there is nothing that reflects the light emitted from the photoelectric switch 226, and the OFF signal is issued because the light is not received.
When retracted, the light is reflected by the dog 222 and
N signal, whereby the suction nozzle 184 and the holder 1
The start of the relative movement with respect to 86 is detected. In this embodiment, the pipe 210, the dog 222, and the photoelectric switch 226 constitute a detection device that detects the start of the relative movement between the holder 186 and the suction nozzle 184.

【0028】プリント配線板12には、複数種類の電子
部品82が装着されるが、種類が異なれば大きさ(横断
面積と高さとの少なくとも一方)が異なることが多く、
電子部品82が大きいほど吸着管192の直径が大きい
吸着ノズル184が使用される。そのため、吸着管19
2の直径が異なる複数種類の吸着ノズル184が用意さ
れ、図示しないノズル収容装置に収容されており、装着
する電子部品82の種類に応じて交換される。なお、吸
着管192の直径が異なれば長さも異なるようにするこ
とも可能であるが、ここでは理解を容易にするために吸
着管192の長さはすべて同じであることとする。
A plurality of types of electronic components 82 are mounted on the printed wiring board 12, but different types often have different sizes (at least one of the cross-sectional area and the height).
A suction nozzle 184 having a larger diameter of the suction tube 192 as the electronic component 82 is larger is used. Therefore, the adsorption tube 19
A plurality of types of suction nozzles 184 having different diameters 2 are prepared, housed in a nozzle housing device (not shown), and exchanged according to the type of electronic component 82 to be mounted. Note that the length of the adsorption tubes 192 may be different if the diameters of the adsorption tubes 192 are different, but here, the lengths of the adsorption tubes 192 are all the same for easy understanding.

【0029】Y軸スライド122にはまた、プリント配
線板12に設けられた基準マークを撮像する撮像装置た
る基準マークカメラ240(図1参照)が移動不能に設
けられている。基準マークカメラ240は、本実施形態
においては、CCD(電荷結合素子)とレンズ系とを備
えており、被写体の二次元像を一挙に取得するCCDカ
メラとされている。基準マークカメラ240に対応して
照明装置242が配設されており、基準マークおよびそ
の周辺を照明する。
The Y-axis slide 122 is also provided with a reference mark camera 240 (see FIG. 1) as an image pickup device for picking up a reference mark provided on the printed wiring board 12 so as to be immovable. In the present embodiment, the reference mark camera 240 includes a CCD (Charge Coupled Device) and a lens system, and is a CCD camera that acquires a two-dimensional image of a subject at once. An illumination device 242 is provided corresponding to the fiducial mark camera 240, and illuminates the fiducial mark and its surroundings.

【0030】X軸スライド106には、ちょうどX軸ス
ライド106を移動させる2つのボールねじ104にそ
れぞれ対応する位置であって、フィーダ型電子部品供給
装置20とプリント配線板12との間およびトレイ型電
子部品供給装置22とプリント配線板12との間の位置
にそれぞれ、撮像装置248が移動不能に取り付けられ
ている。これら撮像装置248の構成は同じであり、一
方の撮像装置248を代表的に説明する。
The X-axis slide 106 is located at a position corresponding to each of the two ball screws 104 for moving the X-axis slide 106, between the feeder-type electronic component supply device 20 and the printed wiring board 12 and the tray-type. An imaging device 248 is immovably attached to a position between the electronic component supply device 22 and the printed wiring board 12, respectively. The configurations of these imaging devices 248 are the same, and one of the imaging devices 248 will be described as a representative.

【0031】撮像装置248は、図4に示すように、電
子部品82を撮像する部品カメラ250および導光装置
251を備え、導光装置251は、反射装置としての反
射鏡252,254を有している。反射鏡252,25
4は、図示しないブラケットによりX軸スライドの下部
に固定されており、一方の反射鏡252は、保持装置1
00のY軸方向の移動経路の真下において、吸着ノズル
184の中心線を含む垂直面に対して約45度傾斜させ
られ、それのX軸スライドに近い側の端部が下方に位置
する反射面256を有する。
As shown in FIG. 4, the image pickup device 248 includes a component camera 250 for picking up an image of the electronic component 82 and a light guide device 251. The light guide device 251 has reflection mirrors 252 and 254 as reflection devices. ing. Reflecting mirrors 252, 25
4 is fixed to the lower part of the X-axis slide by a bracket (not shown).
00, the reflection surface is inclined at about 45 degrees with respect to the vertical plane including the center line of the suction nozzle 184, and the end near the X-axis slide is located below. 256.

【0032】それに対して他方の反射鏡254は、X軸
スライドを挟んだ反対側に反射鏡252の反射面256
と垂直面に対して対称に傾斜し、X軸スライドに近い側
の端部が下方に位置する反射面258を有する。X軸ス
ライド106の保持装置100が設けられた側とは反対
側であって、前記反射鏡254の反射面258に対向す
る位置において、吸着ノズル184に保持された電子部
品82を撮像する部品カメラ250が下向きに固定され
ている。したがって、保持装置100が移動装置136
によって移動させられ、Y軸方向においてボールねじ1
04に対応する位置であって、反射鏡252上に位置す
る位置に至れば、部品カメラ250は電子部品82を撮
像することができる。撮像装置248は、Y軸スライド
122がX軸スライド106に対して移動する際におけ
る電子部品82の移動軌跡上において、その電子部品8
2の像を撮像可能な位置に配設されているのである。本
実施形態においては、部品カメラ250は、前記基準マ
ークカメラ240と同様に、面撮像装置であって、CC
Dカメラとされている。なお、反射鏡254を省略し、
部品カメラ250を水平な姿勢で反射鏡252に対向す
る位置に配設することも可能である。
On the other hand, the other reflecting mirror 254 has a reflecting surface 256 of the reflecting mirror 252 on the opposite side of the X-axis slide.
And a reflecting surface 258 that is inclined symmetrically with respect to the vertical plane, and whose end near the X-axis slide is located below. A component camera that picks up an image of the electronic component 82 held by the suction nozzle 184 at a position opposite to the side on which the holding device 100 of the X-axis slide 106 is provided and facing the reflecting surface 258 of the reflecting mirror 254. 250 is fixed downward. Therefore, the holding device 100 is moved to the moving device 136.
And the ball screw 1 is moved in the Y-axis direction.
When the component camera 250 reaches a position corresponding to the position 04 and located on the reflecting mirror 252, the component camera 250 can image the electronic component 82. The imaging device 248 displays the electronic component 8 on the movement locus of the electronic component 82 when the Y-axis slide 122 moves with respect to the X-axis slide 106.
That is, they are arranged at positions where two images can be taken. In the present embodiment, the component camera 250 is a surface imaging device, like the fiducial mark camera 240, and has a CC
D camera. Note that the reflecting mirror 254 is omitted,
It is also possible to dispose the component camera 250 at a position facing the reflecting mirror 252 in a horizontal posture.

【0033】反射鏡252の近傍には、紫外線照射装置
としてのストロボ260が設けられ、吸着ノズル184
の発光板206に向かって紫外線を照射するようにされ
ている。発光板206は紫外線を吸収して可視光線を放
射し、吸着ノズル184に吸着された電子部品82を背
後から照明し、部品カメラ250は発光板206を明る
い背景として、電子部品82のシルエット像であって、
回転軸線に平行な方向から見た電子部品82の像を撮像
する。本実施形態においては、発光板206および紫外
線照射装置が照明装置を構成している。また、上記スト
ロボ260に比較して吸着ノズル184に近い位置に可
視光線を照射する別のストロボ262が設けられてお
り、ボールグリッドアレイを電子部品82の底面に対し
て小さい傾斜角で照明するための照明装置を構成してい
る。なお、上記ストロボ260を可視光線を電子部品8
2の底面に向かって照射する正面像取得のための照明装
置とすることも可能であり、シルエット像取得用の照明
装置と正面像取得のための照明装置との両方を設け、選
択的に使用可能とすることもできる。
In the vicinity of the reflecting mirror 252, a strobe 260 as an ultraviolet irradiation device is provided.
The light emitting plate 206 is irradiated with ultraviolet rays. The light-emitting plate 206 absorbs ultraviolet light and emits visible light, illuminates the electronic component 82 sucked by the suction nozzle 184 from behind, and the component camera 250 uses the light-emitting plate 206 as a bright background and a silhouette image of the electronic component 82. So,
An image of the electronic component 82 viewed from a direction parallel to the rotation axis is captured. In the present embodiment, the light emitting plate 206 and the ultraviolet irradiation device constitute an illumination device. Further, another strobe 262 for irradiating a visible ray to a position closer to the suction nozzle 184 than the strobe 260 is provided to illuminate the ball grid array with a small inclination angle with respect to the bottom surface of the electronic component 82. Of the lighting device. It should be noted that the strobe light 260 is used to emit visible light to the electronic component 8.
It is also possible to use a lighting device for acquiring a front image that irradiates toward the bottom surface of 2, and to provide both a lighting device for acquiring a silhouette image and a lighting device for acquiring a front image, and selectively use them. It can be possible.

【0034】保持装置100の近傍には、図3および図
4に示すように、ドッグ266が配設されている。ドッ
グ266はブラケット267を介してY軸スライド12
2に固定されており、下端部に図10および図11に示
す形状の被検出部268を有している。被検出部268
は矩形状をなし、矩形の2辺に当たる部分に面取りが施
されて、鋭利なエッジ270,272が形成されてい
る。これらエッジ270,272が交差する頂点274
の位置がドッグ266の位置として検出される。ドッグ
266は、図12に示すように、電子部品82(図示の
例はボールグリッドアレイを有する電子部品)の像(便
宜上同じ符号で表す。他の像についても同様とする)が
部品カメラ250により取得される際、同時にドッグ2
66の被検出部268の像も撮像画面276の隅に取得
される位置に設けられている。
A dog 266 is provided near the holding device 100 as shown in FIGS. The dog 266 is connected to the Y-axis slide 12 via the bracket 267.
2 and has a detected part 268 having a shape shown in FIGS. 10 and 11 at the lower end. Detected part 268
Has a rectangular shape, and portions corresponding to two sides of the rectangle are chamfered to form sharp edges 270 and 272. Vertex 274 where these edges 270 and 272 intersect
Is detected as the position of the dog 266. As shown in FIG. 12, an image of the electronic component 82 (in the illustrated example, an electronic component having a ball grid array) is represented by the same reference numeral for convenience, and the same applies to other images. When acquired, dog 2 at the same time
The image of the 66 to-be-detected portion 268 is also provided at a position acquired at the corner of the imaging screen 276.

【0035】前記保持装置100が前記移動装置136
によって移動させられる矩形の領域の対角線上の2隅に
近い部分、本実施形態おいては、図1に示すように、部
品供給装置20側のボールねじ104のX軸スライド駆
動用モータ110に近い側の端近傍と、部品供給装置2
2側のボールねじ104のX軸スライド駆動用モータ1
10から遠い側の端近傍との各1ヶ所に、載置面28
2,284が設定されている。載置面282は、X軸ス
ライド106およびY軸スライド122の移動の原点に
近い位置に設定されており、載置面284はX軸スライ
ド106およびY軸スライド122の移動の原点からで
きる限り隔たった位置に設定されているのである。載置
面282,284のいずれかに基準チップ286が選択
的に載置される。上記ボールねじ104および120
は、X軸スライド駆動用モータ110およびY軸スライ
ド駆動用モータ126により駆動される側の端部が回転
可能かつ軸方向に移動不能にベース10およびX軸スラ
イド106に保持されており、反対側の端部は回転およ
び軸方向の移動を共に許容された状態で保持されてい
る。したがって、ボールねじ104,120の熱変形や
弾性変形の量は、載置面282側で小さく、載置面28
4側で大きくなる。載置面282は、熱変形や弾性変形
の量が無視できるほど小さい位置に設定されることが望
ましい。ただし、配線板支持装置26に支持されること
が予定されているプリント配線板12の対角位置にある
2隅の近傍に載置面282,284を設けてもよい。基
準チップ286は、平面形状が矩形の平板部材であって
各辺が被検出部として機能するものとすることも、平板
部材の上面に他の部分とは光学的特性が明瞭に異なる被
検出部が形成されたものとすることも可能である。以下
においては説明を簡単にするために前者であるとする。
The holding device 100 is moved to the moving device 136.
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a portion close to two corners on a diagonal line of a rectangular area moved by the X-axis slide driving motor 110 of the ball screw 104 on the component supply device 20 side And the component supply device 2
X-axis slide drive motor 1 for ball screw 104 on 2 side
A mounting surface 28 is provided at each of one position near the end on the side remote from 10.
2,284 are set. The mounting surface 282 is set at a position close to the origin of the movement of the X-axis slide 106 and the Y-axis slide 122, and the mounting surface 284 is as far as possible from the origin of the movement of the X-axis slide 106 and the Y-axis slide 122. It is set at just the position. The reference chip 286 is selectively mounted on one of the mounting surfaces 282 and 284. The ball screws 104 and 120
The end on the side driven by the X-axis slide drive motor 110 and the Y-axis slide drive motor 126 is held by the base 10 and the X-axis slide 106 so as to be rotatable and immovable in the axial direction. Is held in a state where both rotation and axial movement are allowed. Therefore, the amount of thermal deformation and elastic deformation of the ball screws 104 and 120 is small on the mounting surface 282 side, and
It increases on the 4 side. It is desirable that the mounting surface 282 be set at a position where the amount of thermal deformation or elastic deformation is negligible. However, the mounting surfaces 282 and 284 may be provided near two diagonally opposite corners of the printed wiring board 12 that is to be supported by the wiring board support device 26. The reference chip 286 may be a flat plate member having a rectangular planar shape and each side may function as a detected portion. May be formed. In the following, the former is assumed for the sake of simplicity.

【0036】本電子部品装着システムは、制御手段とし
て、図9に示す制御装置300を備えている。制御装置
300は、CPU302,ROM304,RAM306
およびそれらを接続するバス308を有するコンピュー
タを主体とするものである。バス308には画像入力イ
ンタフェース312が接続され、前記基準マークカメラ
240および部品カメラ250が接続されている。バス
308にはまた、サーボインタフェース314が接続さ
れ、X軸スライド駆動用モータ110等の各種アクチュ
エータが接続されている。X軸スライド駆動用モータ1
10は駆動源たる電動モータの一種であり、本実施形態
ではサーボモータとされているが、回転角度を制御可能
なモータであれば採用可能であり、ステップモータ等を
用いることもできる。
The present electronic component mounting system includes a control device 300 shown in FIG. 9 as control means. The control device 300 includes a CPU 302, a ROM 304, and a RAM 306.
And a computer having a bus 308 connecting them. An image input interface 312 is connected to the bus 308, and the fiducial mark camera 240 and the component camera 250 are connected to the bus 308. A servo interface 314 is connected to the bus 308, and various actuators such as the X-axis slide drive motor 110 are connected to the bus 308. X-axis slide drive motor 1
Reference numeral 10 denotes a kind of an electric motor as a drive source, which is a servo motor in the present embodiment. However, any motor that can control the rotation angle can be used, and a step motor or the like can be used.

【0037】バス308にはまた、デジタル入力インタ
フェース318が接続され、前記エンコーダ170,1
76を始めとし、図示は省略するが、X軸スライド駆動
用モータ110等の回転角度を検出するエンコーダが接
続されている。バス308にはさらに、デジタル出力イ
ンタフェース320が接続され、配線板搬送用モータ3
6,昇降用シリンダ52等が接続されている。上記RA
M306には、図示を省略するメインルーチン,相対位
置関係取得ルーチン,電子部品装着ルーチン等を始めと
する種々の制御プログラムが記憶させられている。な
お、接続の図示は省略するが、制御装置300は各種カ
メラによる撮像も制御する。
A digital input interface 318 is also connected to the bus 308, and the encoders 170, 1
Although not shown, an encoder for detecting the rotation angle of the X-axis slide drive motor 110 and the like is connected. A digital output interface 320 is further connected to the bus 308, and the motor 3
6, a lifting cylinder 52 and the like are connected. RA above
Various control programs such as a main routine (not shown), a relative positional relationship acquisition routine, an electronic component mounting routine, and the like are stored in M306. Although illustration of the connection is omitted, the control device 300 also controls imaging by various cameras.

【0038】以上のように構成された電子部品装着シス
テムは、自身で装着精度に関連する部分の相対位置関係
を取得し、その相対位置関係の正規の相対位置関係から
のずれに基づく装着精度の低下を回避しつつ電子部品8
2をプリント配線板12に装着することができる。すな
わち、部品カメラ250および導光装置251から成る
撮像装置248と、基準マークカメラ240と、吸着ノ
ズル184との相対位置の本来あるべき相対位置からの
ずれ、つまりずれの大きさと方向とを電子部品装着シス
テム自身が自動で検出し、その相対位置のずれを修正し
つつ電子部品82をプリント配線板12に装着し得るよ
うになっているのである。撮像装置248および基準マ
ークカメラ240の位置は、本実施形態おいてはそれら
の光軸の位置、つまり撮像画面の中心点の位置で表され
る。そして、本実施形態においては、基準マークカメラ
240と吸着ノズル184との位置が撮像装置248の
撮像画面の中心点の位置を基準とし、前記X軸およびY
軸により規定されるXY座標面上の位置で表されるよう
になっている。また、XY座標面の原点は、X軸スライ
ド106およびY軸スライド122の移動領域のうち、
最もX軸スライド駆動用モータ110およびY軸スライ
ド駆動用モータ126に近い部分に設定されている。
The electronic component mounting system configured as described above acquires the relative positional relationship of the parts related to the mounting accuracy by itself, and determines the mounting accuracy based on the deviation of the relative positional relationship from the normal relative positional relationship. Electronic components 8 while avoiding decline
2 can be mounted on the printed wiring board 12. That is, the deviation of the relative position of the imaging device 248 including the component camera 250 and the light guide device 251, the reference mark camera 240, and the suction nozzle 184 from the original relative position, that is, the magnitude and direction of the deviation are determined by the electronic component. The mounting system itself can automatically detect and correct the displacement of the relative position, and mount the electronic component 82 on the printed wiring board 12. In the present embodiment, the positions of the imaging device 248 and the reference mark camera 240 are represented by the positions of their optical axes, that is, the positions of the center points of the imaging screen. In the present embodiment, the positions of the reference mark camera 240 and the suction nozzle 184 are determined based on the position of the center point of the imaging screen of the imaging device 248, and
It is represented by a position on an XY coordinate plane defined by an axis. Also, the origin of the XY coordinate plane is defined by the moving area of the X-axis slide 106 and the Y-axis slide 122.
It is set at a portion closest to the X-axis slide drive motor 110 and the Y-axis slide drive motor 126.

【0039】相対位置関係取得ルーチンの実行により、
まず、吸着ノズル184が撮像装置248の光軸の位置
として設定されている座標(X1 ,Y1 )の位置へ移動
させられて停止させられる。この際の座標位置は、X軸
スライド駆動用モータ110およびY軸スライド駆動用
モータ126に付属して設けられているエンコーダの出
力信号に基づいて制御装置300により取得される。本
電子部品装着システムが設計通りに製作されていれば、
吸着ノズル184の先端面の中心は、撮像装置248の
光軸の位置、すなわち撮像画面の中心に位置しているは
ずであるが、実際には僅かにずれているのが普通であ
る。その吸着ノズル184の先端面とドッグ266の被
検出部268とが撮像装置248により、図13に実線
で示すように撮像される。
By executing the relative positional relationship acquisition routine,
First, the suction nozzle 184 is moved to the position of the coordinates (X 1 , Y 1 ) set as the position of the optical axis of the imaging device 248 and stopped. The coordinate position at this time is acquired by the control device 300 based on an output signal of an encoder provided to the X-axis slide drive motor 110 and the Y-axis slide drive motor 126. If this electronic component mounting system is manufactured as designed,
The center of the tip end surface of the suction nozzle 184 should be located at the position of the optical axis of the imaging device 248, that is, at the center of the imaging screen. The tip end surface of the suction nozzle 184 and the detected portion 268 of the dog 266 are imaged by the imaging device 248 as shown by a solid line in FIG.

【0040】その後、吸着ノズル184が180度回転
させられ、その吸着ノズル184の先端面が図13に二
点鎖線で示すように撮像される。あるいは、90度ずつ
3回回転させられ、それら各回転位置において吸着ノズ
ル184の先端面が撮像されるようにしてもよい。その
ようにして得られた吸着ノズル184の先端面の複数の
像を表す画像データの処理により、それら先端面の中心
の座標が取得され、それら座標の平均値を演算する等に
より吸着ノズル184の回転中心322の位置の座標
(X2 ,Y2 )が取得される。また、ドッグ266の被
検出部268の像を表す画像データの処理により、頂点
274の座標(X3 ,Y3 )も取得される。そして、こ
れら座標(X2 ,Y2 ),(X3 ,Y3 )の差DX=X
3 −X2 ,DY=Y3 −Y2 が頂点274により代表さ
れるドッグ266と吸着ノズル184の回転中心322
との相対位置を表すデータとしてRAM306に記憶さ
せられる。また、吸着ノズル184の回転中心322
の、撮像装置248の光軸からの位置ずれを表すデータ
ΔX1 =X2 −X1 ,ΔY1 =Y2 −Y1 もRAM30
6に記憶させられる。これらドッグ266と吸着ノズル
184の回転中心322との相対位置や、吸着ノズル1
84の回転中心と撮像装置248の光軸との相対位置の
取得動作は1回行われるのみでもよいが、複数回行わ
れ、複数の検出データに基づいて相対位置の取得が行わ
れるようにすることが望ましい。以下の各種データの取
得についても同様である。
Thereafter, the suction nozzle 184 is rotated by 180 degrees, and the tip end surface of the suction nozzle 184 is imaged as shown by a two-dot chain line in FIG. Alternatively, the suction nozzle 184 may be rotated three times by 90 degrees, and the tip surface of the suction nozzle 184 may be imaged at each of the rotation positions. By processing image data representing a plurality of images of the tip surface of the suction nozzle 184 thus obtained, the coordinates of the center of the tip surface are obtained, and an average value of the coordinates is calculated, and the like. The coordinates (X 2 , Y 2 ) of the position of the rotation center 322 are obtained. The coordinates (X 3 , Y 3 ) of the vertex 274 are also obtained by processing the image data representing the image of the detected portion 268 of the dog 266. Then, the difference DX = X between these coordinates (X 2 , Y 2 ) and (X 3 , Y 3 )
3- X 2 , DY = Y 3 -Y 2 is represented by the dog 266 represented by the vertex 274 and the rotation center 322 of the suction nozzle 184.
Is stored in the RAM 306 as data representing a relative position with respect to. The rotation center 322 of the suction nozzle 184
The data ΔX 1 = X 2 −X 1 and ΔY 1 = Y 2 −Y 1 representing the displacement of the imaging device 248 from the optical axis are also stored in the RAM 30.
6 is stored. The relative position between the dog 266 and the rotation center 322 of the suction nozzle 184, the suction nozzle 1
The operation of acquiring the relative position between the rotation center 84 and the optical axis of the imaging device 248 may be performed only once, but is performed a plurality of times, and the relative position is acquired based on a plurality of detection data. It is desirable. The same applies to the acquisition of the following various data.

【0041】次に、吸着ノズル184が載置面282の
上方の、予め定められた位置へ移動させられ、下降させ
られて基準チップ286を吸着する。その吸着ノズル1
84が再び撮像装置248に対向する位置へ移動させら
れるが、この際は、先に位置が検出された吸着ノズル1
84の回転中心322が、撮像装置248の光軸と一致
するようにΔX1 =X2 −X1 ,ΔY1 =Y2 −Y1
け修正された位置へ移動させられる。そして、吸着ノズ
ル184に吸着されている基準チップ286の撮像が行
われる。この撮像により取得された図14に示す基準チ
ップ286の像を表す画像データの処理により、基準チ
ップ286の中心の座標(X4 ,Y4 )が取得され、基
準チップ286のノズル回転中心322に対する位置ず
れ、すなわち撮像装置248の光軸に対する位置ずれΔ
2 =X4 −X1 ,ΔY2 =Y4−Y1 が演算され、R
AM306に記憶させられる。なお、実際には基準チッ
プ286は、それの中心が撮像装置248の光軸に対し
てずれるのみならず、撮像装置248の撮像画面内にお
いて傾く。基準チップ286は回転位置誤差も有するの
が普通なのである。しかし、ここにおいては、単純化の
ために、撮像装置248,基準マークカメラ240およ
び基準チップ286の間には回転位置ずれはないものと
する。
Next, the suction nozzle 184 is moved to a predetermined position above the mounting surface 282 and lowered to suck the reference chip 286. The suction nozzle 1
84 is again moved to a position facing the imaging device 248, but in this case, the suction nozzle 1 whose position has been detected earlier
The rotation center 322 of 84 is moved to a position corrected by ΔX 1 = X 2 −X 1 and ΔY 1 = Y 2 −Y 1 so as to coincide with the optical axis of the imaging device 248. Then, an image of the reference chip 286 sucked by the suction nozzle 184 is taken. The coordinates (X 4 , Y 4 ) of the center of the reference chip 286 are obtained by processing the image data representing the image of the reference chip 286 shown in FIG. Misalignment, that is, misalignment Δ of the imaging device 248 with respect to the optical axis
X 2 = X 4 −X 1 and ΔY 2 = Y 4 −Y 1 are calculated, and R
It is stored in the AM 306. Note that, in practice, the center of the reference chip 286 not only shifts with respect to the optical axis of the imaging device 248, but also tilts in the imaging screen of the imaging device 248. Usually, the reference tip 286 also has a rotational position error. However, here, for the sake of simplicity, it is assumed that there is no rotational displacement between the imaging device 248, the reference mark camera 240, and the reference chip 286.

【0042】次に、上記位置ずれを修正し、基準チップ
286の中心が、載置面282上に予め設定されている
載置位置の座標(X5 ,Y5 )と一致するように修正さ
れた位置へ吸着ノズル184が移動させられ、その位置
で基準チップ286が載置面282に載置される。した
がって、基準チップの中心の座標は(X5 ,Y5 )にな
っているはずである。そこで、基準マークカメラ240
がそれの光軸が載置位置と一致するはずの位置へ移動さ
せられ、図15に示すように、基準チップ286が撮像
される。その結果取得された基準チップ286の像を表
す画像データの処理により、基準チップ286の中心の
座標(X6 ,Y6 )が取得される。実際は、座標
(X5 ,Y5 )で表される載置位置にあるはずの基準チ
ップ286の中心が、基準マークカメラ240によって
はΔX3 =X6 −X5 ,ΔY3 =Y5 −Y6 だけの位置
ずれがあるように撮像されるのであり、それは、逆に基
準マークカメラ240の光軸の位置が、撮像装置248
の光軸の位置を基準とする系の中で−ΔX3 =−(X6
−X5 ),−ΔY3 =−(Y5 −Y6 )だけずれている
ことを意味する。
Next, the above-mentioned positional deviation is corrected so that the center of the reference chip 286 matches the coordinates (X 5 , Y 5 ) of the mounting position preset on the mounting surface 282. The suction nozzle 184 is moved to the position, and the reference chip 286 is mounted on the mounting surface 282 at that position. Therefore, the coordinates of the center of the reference chip should be (X 5 , Y 5 ). Therefore, the reference mark camera 240
Is moved to a position where its optical axis should match the mounting position, and the reference chip 286 is imaged as shown in FIG. By processing the image data representing the image of the reference chip 286 obtained as a result, the coordinates (X 6 , Y 6 ) of the center of the reference chip 286 are obtained. Actually, depending on the reference mark camera 240, the center of the reference chip 286 supposed to be at the mounting position represented by the coordinates (X 5 , Y 5 ) is ΔX 3 = X 6 −X 5 and ΔY 3 = Y 5 −Y The image is picked up so that there is only a displacement of six , which means that the position of the optical axis of the reference mark camera 240 is
−ΔX 3 = − (X 6
−X 5 ) and −ΔY 3 = − (Y 5 −Y 6 ).

【0043】以上の説明から明らかなように、撮像装置
248(の光軸)の位置を基準とする系の中において、
吸着ノズル184の回転中心322はΔX1 =X2 −X
1 ,ΔY1 =Y2 −Y1 の位置ずれを有し、基準マーク
カメラ240(の光軸)の位置は−ΔX3 =−(X6
5 ),−ΔY3 =−(Y5 −Y6 )の位置ずれを有し
ていることになる。したがって、これらの位置ずれを表
すデータが、撮像装置248,吸着ノズル184および
基準マークカメラ240の相対位置関係を表すデータと
してRAM306に記憶させられる。
As is clear from the above description, in the system based on the position of (the optical axis of) the imaging device 248,
The rotation center 322 of the suction nozzle 184 is ΔX 1 = X 2 −X
1 , ΔY 1 = Y 2 −Y 1, and the position of (the optical axis of) the reference mark camera 240 is −ΔX 3 = − (X 6
X 5 ) and −ΔY 3 = − (Y 5 −Y 6 ). Therefore, data representing these positional deviations is stored in the RAM 306 as data representing the relative positional relationship between the imaging device 248, the suction nozzle 184, and the reference mark camera 240.

【0044】次に、吸着ノズル184により再び基準チ
ップ286が吸着される。この際、吸着ノズル184は
それの回転中心322が載置位置と一致する位置まで移
動させられて下降させられる。したがって、吸着ノズル
184に保持された基準チップ286の中心は吸着ノズ
ル184はそれの回転中心322と一致しているはずで
ある。したがって、必ずしも必要ではないが、本実施形
態においては、基準チップ284の撮像装置248によ
る撮像と、その結果取得された画像データの処理とによ
り確認される。万一、上記両中心が一致していない場合
には、上記の検出中に何らかの不具合が発生したとし
て、撮像装置248,吸着ノズル184および基準マー
クカメラ240の相対位置関係を取得する動作が繰り返
されるが、通常は、両中心の一致が確認される。
Next, the reference chip 286 is sucked again by the suction nozzle 184. At this time, the suction nozzle 184 is moved to a position where its rotation center 322 coincides with the mounting position and is lowered. Therefore, the center of the reference chip 286 held by the suction nozzle 184 should coincide with the rotation center 322 of the suction nozzle 184. Therefore, although not necessary, in the present embodiment, it is confirmed by imaging the reference chip 284 by the imaging device 248 and processing the image data obtained as a result. If the two centers do not coincide with each other, it is determined that some trouble has occurred during the detection, and the operation of acquiring the relative positional relationship between the imaging device 248, the suction nozzle 184, and the reference mark camera 240 is repeated. However, the coincidence of both centers is usually confirmed.

【0045】そこで、吸着ノズル184は、載置面28
4上に設定されている載置位置の座標(Y7 ,Y7 )の
位置へ移動させられて下降させられ、基準チップ284
を載置面284に載置する。この際の座標も、X軸スラ
イド駆動用モータ110およびY軸スライド駆動用モー
タ126に付属して設けられているエンコーダの出力信
号に基づいて制御装置300により取得される。そし
て、基準マークカメラ240が、それの光軸が載置位置
と一致する位置へ移動させられ、基準チップ284を撮
像する。上記吸着ノズル184の移動および基準マーク
カメラ240の移動は、先に取得された撮像装置248
の位置を基準とする吸着ノズル184および基準マーク
カメラ240の正規の位置からの位置ずれを修正しつつ
行われる。したがって、移動装置136に作動誤差がな
ければ、上記の撮像により取得される基準チップ284
の像の画像データが処理され、基準チップ284の中心
の座標が取得されれば、その座標は、前記載置面284
上に設定されている載置位置の座標(Y7 ,Y7 )と一
致しているはずである。しかし、現実には基準チップ2
84の中心の座標は(Y8 ,Y8 )となるのが普通であ
り、ΔX4 =X8 −Y 7 ,ΔY4 =X8 −Y7 の差が生
じる。
Therefore, the suction nozzle 184 is mounted on the mounting surface 28.
4 (Y coordinate)7, Y7)of
The reference tip 284 is moved to the position and lowered.
Is placed on the placement surface 284. The coordinates at this time are also
Motor 110 and the Y-axis slide drive motor.
Output signal of an encoder attached to the
It is acquired by the control device 300 based on the number. Soshi
And the reference mark camera 240 has its optical axis
Is moved to a position corresponding to
Image. Movement of suction nozzle 184 and reference mark
The movement of the camera 240 depends on the imaging device 248 acquired earlier.
Nozzle 184 and fiducial mark based on the position of
While correcting the displacement of the camera 240 from its normal position
Done. Therefore, there is no operation error in the moving device 136.
If so, the reference chip 284 obtained by the above imaging
Is processed, and the center of the reference chip 284 is processed.
Are obtained, the coordinates are set to the placement surface 284 described above.
The coordinates of the placement position set above (Y7, Y7) And one
Should have done it. However, in reality, the reference chip 2
The coordinates of the center of 84 are (Y8, Y8) Is usually
ΔXFour= X8-Y 7, ΔYFour= X8-Y7Is the difference
I will.

【0046】上記の差は移動装置136の作動誤差と考
えることができ、この作動誤差は、ボールねじ104,
120等の製造誤差,弾性変形,熱変形等に起因して生
じる。そして、製造誤差および弾性変形は起動後の経過
時間と共には変化しないが、熱変形は経過時間と共に変
化するため、所定の運転時間毎に、あるいは、電子部品
82の装着作業の邪魔にならない時期に、上記と同様の
位置ずれ検出を行い、移動装置136の作動誤差の検出
を行うことが望ましい。同じ観点から、載置面282へ
の基準チップ284の載置による撮像装置248,吸着
ノズル184および基準マークカメラ240の相対位置
関係の取得も、所定の運転時間毎に、あるいは、電子部
品82の装着作業の邪魔にならない時期に、繰り返し実
施することが望ましい。撮像装置248,吸着ノズル1
84,基準マークカメラ240等を保持している部材も
温度変化に伴って熱変形するからである。
The above difference can be considered as an operation error of the moving device 136.
120, etc., due to manufacturing errors, elastic deformation, thermal deformation, and the like. And although the manufacturing error and the elastic deformation do not change with the elapsed time after the start, the thermal deformation changes with the elapsed time, so at every predetermined operation time or at a time when the mounting work of the electronic component 82 is not hindered. , It is desirable to detect the displacement of the moving device 136 in the same manner as described above. From the same viewpoint, the acquisition of the relative positional relationship between the imaging device 248, the suction nozzle 184, and the reference mark camera 240 by mounting the reference chip 284 on the mounting surface 282 is also performed at every predetermined operation time or when the electronic component 82 is mounted. It is desirable to carry out the repetition at a time when it does not interfere with the mounting work. Imaging device 248, suction nozzle 1
84, the member holding the fiducial mark camera 240 and the like are also thermally deformed with the temperature change.

【0047】以上のようにして、ドッグ266と吸着ノ
ズル184の回転中心322との図17のベクトルV0
で表される相対位置のデータDX=X3 −X2 ,DY=
3−Y2 、撮像装置248(の光軸)の位置を基準と
する系の中における吸着ノズル184の回転中心322
および基準マークカメラ240のベクトルV1 ,V2
表される位置ずれΔX1 =X2 −X1 ,ΔY1 =Y2
1 および−ΔX3 =−(X6 −X5 ),−ΔY3 =−
(Y5 −Y6 )のデータ、さらに、移動装置136のベ
クトルV3 で表される作動誤差ΔX4 =X8 −Y7 ,Δ
4 =X8 −Y 7 のデータ等が取得された後、電子部品
装着ルーチンの実行による電子部品82のプリント配線
板12への装着作業が開始される。
As described above, the dog 266 and the suction
The vector V of FIG. 17 with the center of rotation 322 of the chirp 1840
DX = X of relative position data represented byThree-XTwo, DY =
YThree-YTwo, Based on the position of (the optical axis of) the imaging device 248
Of rotation 322 of the suction nozzle 184 in the system
And the vector V of the reference mark camera 2401, VTwoso
Expressed displacement ΔX1= XTwo-X1, ΔY1= YTwo
Y1And -ΔXThree=-(X6-XFive), -ΔYThree= −
(YFive-Y6), And the data of the mobile device 136.
Kuturu VThreeOperating error ΔX expressed byFour= X8-Y7, Δ
YFour= X8-Y 7After the data of
Print wiring of the electronic component 82 by executing the mounting routine
The mounting work on the plate 12 is started.

【0048】この装着作業に当たっては、まず、配線板
コンベヤ14により搬入され、基板支持装置により支持
されたプリント配線板12の正規の位置からの位置ずれ
が、基準マークカメラ240による基準マークの撮像な
らびに画像処理により検出される。その後、部品供給装
置20または22から吸着ノズル184により電子部品
82が取り出され、撮像装置248による撮像ならびに
画像処理によって電子部品82の吸着ノズル回転中心3
22に対する位置ずれが検出される。そして、それらプ
リント配線板12の位置ずれと電子部品82の位置ずれ
とが、予め定められた装着制御データの修正により除去
され、電子部品82がプリント配線12の所定の位置に
装着される。
In this mounting operation, first, the positional deviation of the printed wiring board 12 carried in by the wiring board conveyor 14 and supported by the substrate supporting device from the normal position is determined by the reference mark camera 240 and the imaging of the reference mark. Detected by image processing. Thereafter, the electronic component 82 is taken out from the component supply device 20 or 22 by the suction nozzle 184, and the suction nozzle rotation center 3 of the electronic component 82 is captured by the imaging device 248 and image processing.
The displacement with respect to 22 is detected. Then, the positional deviation of the printed wiring board 12 and the positional deviation of the electronic component 82 are removed by correcting the predetermined mounting control data, and the electronic component 82 is mounted at a predetermined position on the printed wiring 12.

【0049】この点は、従来と同様であるが、本実施形
態においては、プリント配線板12の位置ずれと電子部
品82の位置ずれとの検出時に、撮像装置248の位置
を基準とする系の中における吸着ノズル184の回転中
心322および基準マークカメラ240の位置ずれΔX
1 =X2 −X1 ,ΔY1 =Y2 −Y1 および−ΔX3
−(X6 −X5 ),−ΔY3 =−(Y5 −Y6 )が除去
される位置へ吸着ノズル184および基準マークカメラ
240が移動させられる点において異なっている。
Although this point is the same as the conventional one, in the present embodiment, when the positional deviation of the printed wiring board 12 and the positional deviation of the electronic component 82 are detected, a system based on the position of the imaging device 248 is used. Displacement ΔX between the rotation center 322 of the suction nozzle 184 and the reference mark camera 240 in the middle
1 = X 2 −X 1 , ΔY 1 = Y 2 −Y 1 and −ΔX 3 =
The difference is that the suction nozzle 184 and the reference mark camera 240 are moved to a position where-(X 6 -X 5 ) and -ΔY 3 =-(Y 5 -Y 6 ) are removed.

【0050】また、吸着ノズル184の回転中心322
に対する電子部品82の位置ずれの検出時に、電子部品
82と同時にドッグ266の被検出部268も撮像さ
れ、図18に示すように、被検出部268の頂点の座標
(X9 ,Y9 )と、先に取得されている被検出部268
の頂点274と吸着ノズル184の回転中心322との
相対位置のデータDX=X3 −X2 ,DY=Y3 −Y2
とに基づいて、吸着ノズル184の回転中心322の位
置(X10,Y10)が推定され、その推定された吸着ノズ
ル184の回転中心322の位置からの電子部品82の
中心(X11,Y11)の位置ずれが検出される点も特徴的
である。
The rotation center 322 of the suction nozzle 184
When detecting the displacement of the electronic component 82 with respect to the electronic component 82, the detected portion 268 of the dog 266 is also imaged at the same time as the electronic component 82, and the coordinates (X 9 , Y 9 ) of the vertex of the detected portion 268 and , The detected part 268 acquired earlier
DX = X 3 −X 2 , DY = Y 3 −Y 2
, The position (X 10 , Y 10 ) of the rotation center 322 of the suction nozzle 184 is estimated, and the center (X 11 , Y 11) of the electronic component 82 from the estimated position of the rotation center 322 of the suction nozzle 184. Another characteristic is that the misalignment of 11 ) is detected.

【0051】吸着ノズル184は電子部品82の後ろに
隠れて見えないのであるが、ドッグ266の被検出部2
68は見えるため、被検出部268を撮像装置248に
より撮像し、得られた画像と予め検出しておいた被検出
部268と吸着ノズル184の回転中心との相対位置の
データに基づいて、吸着ノズル184の回転中心322
の位置を推定することができるのである。もっとも、前
述のように、前記相対位置関係のデータに基づいて、吸
着ノズル184がそれの回転中心322の位置が撮像装
置248の光軸上に位置するように位置決めされるた
め、上記相対位置関係の取得の直後においては、吸着ノ
ズル184の回転中心322が撮像装置248の光軸上
に位置するはずである。しかし、本電子部品装着システ
ムの作動時間の増大につれて、各部の温度が上昇し、吸
着ノズル184の回転中心322の位置が撮像装置24
8の光軸の位置からずれてくるため、本実施形態におい
ては、本電子装着システムの運転中一定時間毎に上記回
転中心322の位置の推定が行われるようにされてい
る。なお、この回転中心322位置の推定は、比較的短
時間で実施可能であるため、各電子部品82の吸着位置
ずれの検出の際、毎回実施されるようにすることも可能
である。
The suction nozzle 184 is hidden behind the electronic component 82 and cannot be seen.
Since the object 68 can be seen, the detected part 268 is imaged by the imaging device 248, and suction is performed based on the obtained image and data of the relative position between the detected part 268 and the rotation center of the suction nozzle 184 which has been detected in advance. Rotation center 322 of nozzle 184
Can be estimated. However, as described above, the suction nozzle 184 is positioned such that the position of the rotation center 322 thereof is positioned on the optical axis of the imaging device 248 based on the data of the relative positional relationship. Immediately after the acquisition of, the rotation center 322 of the suction nozzle 184 should be located on the optical axis of the imaging device 248. However, as the operation time of the electronic component mounting system increases, the temperature of each part rises, and the position of the rotation center 322 of the suction nozzle 184 becomes
In the present embodiment, the position of the rotation center 322 is estimated at regular intervals during the operation of the electronic mounting system because the position of the optical axis 8 is shifted from the position of the optical axis 8. Since the position of the rotation center 322 can be estimated in a relatively short time, the position of the rotation center 322 can be detected every time when the suction position shift of each electronic component 82 is detected.

【0052】本電子部品装着システムにおいてはさら
に、電子部品82をプリント配線板12に装着する際に
おける吸着ノズル184の位置決め時に、吸着ノズル1
84の回転中心322に対する電子部品82の中心の位
置ずれおよびプリント配線板12の位置ずれと共に、先
に取得された移動装置136の作動誤差ΔX4 =X8
7 ,ΔY4 =X8 −Y7 が除去されるように、装着制
御データが修正される。作動誤差の除去のための装着制
御データの修正は、例えば、移動装置136の作動誤差
は、載置面282上の載置位置から載置面284上の載
置位置までのX軸方向,Y軸方向の距離に比例して増大
するとの仮定に基づいて行うことができる。
In the present electronic component mounting system, the suction nozzle 1 is positioned when the electronic component 82 is mounted on the printed wiring board 12.
Along with the displacement of the center of the electronic component 82 with respect to the rotation center 322 of 84 and the displacement of the printed wiring board 12, the operation error ΔX 4 = X 8 − of the moving device 136 acquired earlier.
The mounting control data is modified so that Y 7 , ΔY 4 = X 8 −Y 7 is removed. The correction of the mounting control data for removing the operation error includes, for example, the operation error of the moving device 136, the X-axis direction, the Y direction from the mounting position on the mounting surface 282 to the mounting position on the mounting surface 284. This can be done on the assumption that it increases in proportion to the axial distance.

【0053】具体的には、吸着ノズル184が載置面2
82の位置から載置面284まで移動する際の作動誤差
が図17のベクトルV3 で表されるΔX4 =X8
7 ,ΔY4 =X8 −Y7 であるため、載置面282上
の載置位置からプリント配線板12上の電子部品装着位
置までのX軸およびY軸に平行な方向の距離を、載置面
282上の載置位置から載置面284上の載置位置まで
のX軸およびY軸に平行な方向の距離で割った比KX
Y と作動誤差ΔX4 ,ΔY4 との積KX ・ΔX4,K
Y ・ΔY4 を装着位置における移動装置136の作動誤
差であると見なして、その作動誤差を除去するための修
正を装着制御データに加えるのである。ただし、上記移
動装置136の作動誤差ΔX4 ,ΔY4 は電子部品装着
システムの運転時間の増大につれて変化するため、前述
のように運転中に時々実行される作動誤差検出作動毎に
更新されたものを使用する。
Specifically, the suction nozzle 184 is placed on the mounting surface 2
An operation error when moving from the position 82 to the mounting surface 284 is represented by ΔX 4 = X 8 − represented by a vector V 3 in FIG.
Since Y 7 , ΔY 4 = X 8 −Y 7 , the distance in the direction parallel to the X axis and the Y axis from the mounting position on the mounting surface 282 to the electronic component mounting position on the printed wiring board 12 is: The ratio K X divided by the distance from the mounting position on the mounting surface 282 to the mounting position on the mounting surface 284 in the direction parallel to the X axis and the Y axis,
The product of K Y and the operation errors ΔX 4 , ΔY 4 , K X · ΔX 4 , K
The Y · [Delta] Y 4 is regarded as a working error of the mobile device 136 at the mounting position, is to add a correction for removing the operational error in mounting the control data. However, since the operation errors ΔX 4 and ΔY 4 of the moving device 136 change as the operation time of the electronic component mounting system increases, the operation errors ΔX 4 and ΔY 4 are updated for each operation error detection operation that is sometimes performed during operation as described above. Use

【0054】また、部品供給装置20,22から吸着ノ
ズル184により受け取られた電子部品82の姿勢(回
転位置)と、プリント配線板12に装着される姿勢とが
異なる場合には、吸着ノズル184の回転により、電子
部品82が所定の角度回転させられて装着されるが、そ
の場合でも高い装着位置精度が得られる。本電子部品装
着システムにおいては、電子部品82の吸着ノズル18
4による保持位置ずれが、吸着ノズル184の回転中心
322に対する位置ずれで取得されるため、吸着ノズル
184の回転に伴う電子部品82の中心位置の変化を正
確に演算することができ、演算した中心位置の変化を除
去するように、吸着ノズル184とプリント配線板12
との相対位置決めを修正することができるからである。
If the attitude (rotational position) of the electronic component 82 received from the component supply devices 20 and 22 by the suction nozzle 184 is different from the attitude of mounting the electronic component 82 on the printed wiring board 12, Although the electronic component 82 is mounted by being rotated by a predetermined angle due to the rotation, high mounting position accuracy can be obtained even in this case. In the present electronic component mounting system, the suction nozzle 18 of the electronic component 82 is used.
4 is obtained as a positional shift of the suction nozzle 184 with respect to the rotation center 322, a change in the center position of the electronic component 82 due to the rotation of the suction nozzle 184 can be accurately calculated, and the calculated center can be calculated. The suction nozzle 184 and the printed wiring board 12 are
This is because it is possible to correct the relative positioning with respect to.

【0055】ここまでの説明においては、基準チップ2
86や電子部品82の吸着ノズル184による保持位置
誤差には回転位置誤差が含まれていないものとしたが、
実際には、回転位置も含まれる。そのため、撮像装置2
48の撮像画面276に対する基準チップ286や電子
部品82の傾きが画像処理により検出され、回転位置誤
差を除去するように、吸着ノズル184が回転させられ
て載置や装着が行われる。ただし、そのためには撮像装
置248や基準マークカメラ240の回転位置誤差を、
無視できる程に小さく調整しておくことが必要である。
これらの回転位置誤差の存在を許容する場合については
後に詳述する。
In the description so far, the reference chip 2
Although it is assumed that the rotation position error is not included in the holding position error of the suction nozzle 184 of the electronic component 86 or the electronic component 82,
In practice, the rotational position is also included. Therefore, the imaging device 2
The inclination of the reference chip 286 or the electronic component 82 with respect to the 48 imaging screens 276 is detected by image processing, and the suction nozzle 184 is rotated so as to remove the rotational position error, thereby performing mounting and mounting. However, for that purpose, the rotational position error of the imaging device 248 and the fiducial mark camera 240 is
It is necessary to adjust it so small that it can be ignored.
The case where the existence of these rotational position errors is allowed will be described later in detail.

【0056】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、吸着ノズル184および基準マークカメ
ラ240を配線板支持装置26に対して相対移動させる
移動装置136が相対移動装置を構成しており、制御装
置300の、移動装置136を制御して吸着ノズル18
4に配線板支持装置26に支持されたプリント配線板1
2に装着させる部分が装着制御装置を構成している。ま
た、撮像装置284が第一撮像装置、基準マークカメラ
240が第二撮像装置をそれぞれ構成し、制御装置30
0の、撮像装置284および基準マークカメラ240に
撮像を行わせる部分が撮像制御装置ないし撮像制御手段
を構成し、その結果取得された画像データを処理する部
分がデータ処理装置を構成している。また、そのデータ
処理装置の、吸着ノズル184の回転中心位置を取得す
る部分が回転中心位置取得部を構成しており、前記撮像
制御装置の、吸着ノズル184を少なくとも1回回転さ
せて少なくとも2つの回転位置における吸着ノズル18
4の先端を撮像装置248に撮像させる部分が複数回撮
像制御部を構成している。さらに、制御装置300のそ
れぞれ以下のことをする部分が以下の各手段を構成して
いる。吸着ノズル184とドッグ266と基準チップ2
86との相対位置関係に基づいて、吸着ノズルに対する
基準チップの位置ずれを取得する部分が位置ずれ取得手
段を構成し、吸着ノズル184に基準チップ286を載
置面282に載置させる部分が基準チップ載置制御手段
を、撮像装置284に基準チップ286を撮像させる部
分が基準チップ撮像制御手段を構成している。吸着ノズ
ル184,撮像装置284および基準マークカメラ24
0の相対位置関係を取得する部分が相対位置関係取得手
段を構成している。基準マークカメラ240にプリント
配線板12の基準マークを撮像させる部分が基準マーク
撮像制御手段を構成し、プリント配線板12の位置ずれ
を取得する部分が基板位置ずれ取得手段を構成してい
る。吸着ノズル184に電気部品を保持させ、その電気
部品を撮像装置284により撮像させる部分が電気部品
撮像制御手段を構成し、その取得された電気部品の画像
データと、前記相対位置関係取得手段により取得された
吸着ノズル184,撮像装置284および基準マークカ
メラ240の相対位置関係と、前記基板位置ずれ取得手
段により取得されたプリント配線板12位置ずれとに基
づいて、配線板支持装置26と吸着ノズル184との予
め定められた相対位置を修正し、電気部品をプリント配
線板12のの予め定められた位置に装着させる部分が装
着制御手段を構成している。
As is apparent from the above description, in this embodiment, the moving device 136 for moving the suction nozzle 184 and the reference mark camera 240 relative to the wiring board supporting device 26 constitutes a relative moving device. , The control device 300 controls the moving device 136 to control the suction nozzle 18.
4 shows a printed wiring board 1 supported by a wiring board supporting device 26
The part to be mounted on 2 forms a mounting control device. The imaging device 284 constitutes a first imaging device, the fiducial mark camera 240 constitutes a second imaging device, and the control device 30
The part of the image processing apparatus 284 and the reference mark camera 240 that perform imaging performs the imaging control device or the imaging control unit, and the part that processes the obtained image data forms the data processing apparatus. Further, a portion of the data processing device that acquires the rotation center position of the suction nozzle 184 constitutes a rotation center position acquisition unit, and the suction control unit 184 of the imaging control device rotates the suction nozzle 184 at least one time to obtain at least two rotation center positions. Suction nozzle 18 at rotating position
The portion that causes the imaging device 248 to image the tip of the image No. 4 constitutes an imaging control unit a plurality of times. Further, the following parts of the control device 300 constitute the following units. Suction nozzle 184, dog 266 and reference chip 2
Based on the relative positional relationship with the suction nozzle 86, the portion for obtaining the displacement of the reference chip with respect to the suction nozzle constitutes a position shift acquisition unit, and the portion for placing the reference chip 286 on the placement surface 282 with the suction nozzle 184 is the reference. A part of the chip placement control unit that causes the imaging device 284 to image the reference chip 286 constitutes a reference chip imaging control unit. Suction nozzle 184, imaging device 284 and fiducial mark camera 24
The part for acquiring the relative positional relationship of 0 constitutes a relative positional relationship acquiring means. The part that causes the reference mark camera 240 to image the reference mark of the printed wiring board 12 constitutes a reference mark imaging control unit, and the part that acquires the displacement of the printed wiring board 12 constitutes the board displacement acquisition means. The part where the suction nozzle 184 holds the electric component and the electric device is imaged by the image pickup device 284 constitutes an electric component imaging control unit, and the acquired image data of the electric component and the relative position relationship obtained by the relative position acquisition unit are acquired. The wiring board support device 26 and the suction nozzle 184 are determined based on the relative positional relationship between the suction nozzle 184, the imaging device 284, and the reference mark camera 240, and the positional deviation of the printed wiring board 12 acquired by the substrate positional deviation acquiring means. The part for correcting the predetermined relative position with respect to the above and mounting the electric component at the predetermined position of the printed wiring board 12 constitutes a mounting control means.

【0057】そして、RAM306の、電気部品の位置
ずれを検出するための制御プログラムを記憶している部
分、吸着ノズル184,撮像装置284および基準マー
クカメラ240の相対位置関係を取得するための制御プ
ロラムを記憶している部分、上記相対位置関係,移動装
置136の作動誤差や電気部品およびプリント配線板の
位置ずれのデータを利用しつつ前記移動装置136を制
御し、電気部品をプリント配線板12の所定の位置に正
確に装着するための制御プログラムを記憶している部分
が、それぞれ電気部品位置ずれ検出用,相対位置関係取
得用および電気部品装着用の制御プログラムが記憶させ
られた記録媒体を構成している。なお、これら制御プロ
グラムは、本電子部品装着システムが接続されているホ
ストコンピュータの記憶装置に記憶されており、適宜R
AM306にダウンロードされて実行されるのである
が、フロッピディスク等の取り外し可能な記録媒体に記
録され、電子部品装着システム自体あるいはホストコン
ピュータに設けられた読取装置によって読み取られ、実
行されるようにしてもよい。
Then, a control program for acquiring the relative positional relationship between the suction nozzle 184, the image pickup device 284, and the reference mark camera 240, the portion of the RAM 306 storing the control program for detecting the displacement of the electric component. The moving device 136 is controlled while utilizing the relative position relationship, the operation error of the moving device 136 and the data of the displacement of the electric component and the printed wiring board, and the electric component is transferred to the printed wiring board 12. The part storing the control program for accurately mounting the electronic component at a predetermined position constitutes a recording medium storing the control programs for detecting the displacement of the electric component, obtaining the relative positional relationship, and mounting the electric component, respectively. are doing. These control programs are stored in a storage device of a host computer to which the present electronic component mounting system is connected.
Although it is downloaded to the AM 306 and executed, it is recorded on a removable recording medium such as a floppy disk and read and executed by the electronic component mounting system itself or the reading device provided in the host computer. Good.

【0058】前記実施形態においては、ドッグ266が
1個のみ設けられていたが、複数個設けることも可能で
ある。例えば、図19に示すように、ドッグ332を2
個設け、それらの被検出部334,336の像が撮像装
置248の撮像画面276のX軸またはY軸に平行な方
向に隔たった2隅(図示の例ではY軸に平行な方向に隔
たった2隅)に形成されるようにする。そして、2個の
被検出部334,336の頂点338,340を結ぶ直
線342に対する撮像画面276の回転角度Δθ1 を取
得する。2個の被検出部334,336の頂点338,
340を結ぶ直線342が、X軸スライド106に設け
られたY軸スライド122用のガイドレール132に正
確に平行となるようにそれら2個のドッグ332を調整
しておけば、上記回転角度Δθ1 が撮像画面276の回
転位置誤差、すなわち撮像装置248の回転位置誤差を
表すことになる。
Although only one dog 266 is provided in the above embodiment, a plurality of dogs 266 may be provided. For example, as shown in FIG.
And two corners of the image of the detected parts 334 and 336 separated in a direction parallel to the X axis or Y axis of the imaging screen 276 of the imaging device 248 (in the illustrated example, separated in a direction parallel to the Y axis). (At two corners). Then, the rotation angle Δθ 1 of the imaging screen 276 with respect to the straight line 342 connecting the vertexes 338 and 340 of the two detected parts 334 and 336 is obtained. The vertex 338 of the two detected parts 334, 336,
If the two dogs 332 are adjusted so that a straight line 342 connecting 340 is exactly parallel to the guide rail 132 for the Y-axis slide 122 provided on the X-axis slide 106, the rotation angle Δθ 1 is obtained. Represents the rotation position error of the imaging screen 276, that is, the rotation position error of the imaging device 248.

【0059】また、図20に示すように、吸着のズル1
84に基準チップ286を吸着させた状態で、その基準
チップ286を撮像装置248に撮像させ、撮像画面2
76に対する基準チップ286の回転角度Δθ2 を取得
すれば、基準チップ286の回転位置誤差をΔθ1 +Δ
θ2 として取得することができる。
Further, as shown in FIG.
In a state where the reference chip 286 is attracted to the imaging device 84, the imaging device 248 takes an image of the reference chip 286, and the imaging screen 2
When the rotation angle Δθ 2 of the reference chip 286 with respect to the reference chip 286 is obtained, the rotation position error of the reference chip 286 is calculated as Δθ 1 + Δ
It can be obtained as theta 2.

【0060】その基準チップ286の回転位置誤差を除
去する角度だけ吸着ノズル184を回転させて、基準チ
ップ286を載置面282に載置させ、基準マークカメ
ラ240に撮像させる。そして、基準マークカメラ24
0の撮像画面に対する基準チップ286の像の相対回転
角度を取得すれば、その相対回転角度が、撮像装置24
8に対す基準マークカメラ240の回転位置誤差である
ことになり、その回転位置誤差と前記撮像装置248の
回転位置誤差との和が、基準マークカメラ240の、X
軸スライド106用のガイドレール30,32およびY
軸スライド122用のガイドレール132により規定さ
れるXY座標面に対する絶対的な回転位置誤差であるこ
とになる。本実施形態においては、制御装置300の一
部により構成されるデータ処理装置のうち、複数個のド
ッグ332の像に基づいて撮像装置248の撮像画面2
76の傾きを取得する部分が傾き取得部を構成してい
る。
The suction nozzle 184 is rotated by an angle that eliminates the rotational position error of the reference chip 286, the reference chip 286 is mounted on the mounting surface 282, and the reference mark camera 240 captures an image. Then, the fiducial mark camera 24
If the relative rotation angle of the image of the reference chip 286 with respect to the imaging screen of 0 is acquired, the relative rotation angle becomes
8, the sum of the rotational position error and the rotational position error of the image pickup device 248 is the X position of the reference mark camera 240.
Guide rails 30, 32 and Y for shaft slide 106
This is an absolute rotational position error with respect to the XY coordinate plane defined by the guide rail 132 for the shaft slide 122. In the present embodiment, among the data processing devices constituted by a part of the control device 300, the imaging screen 2 of the imaging device 248 is based on the images of the plurality of dogs 332.
The part for acquiring the inclination of 76 constitutes the inclination acquisition unit.

【0061】上記実施形態においては、2個のドッグ3
32の位置が、それらの被検出部334,336の頂点
338,340を結ぶ直線342がY軸スライド122
用のガイドレール132に正確に平行となるように予め
調整されているものとしたが、上記頂点338,340
を結ぶ直線342の傾きも、電子部品装着システムの機
能を利用して検出することができる。例えば、前述のよ
うに、被検出部334,336の頂点338,340を
結ぶ直線342を基準として基準チップ286の回転位
置誤差をΔθ1 +Δθ2 を取得した後、その回転位置誤
差を除去するように吸着ノズル184を回転させて、基
準チップ286を載置面282に載置させる。そして、
その載置された基準チップ286を基準マークカメラ2
40に撮像させ、その後基準マークカメラ240をX軸
またはY軸に平行な方向にのみ一定小距離移動させて再
び基準チップ286を撮像させる。このようにして取得
される2つの基準チップ286の像を重ねて記載すれ
ば、図21に示す状態となる。そして、それら2つの基
準チップ286の像の同じ頂点同士を結ぶ直線350が
Y軸に正確に平行な直線のはずであり、また、上記のよ
うに被検出部334,336の頂点338,340を結
ぶ直線342を基準とした基準チップ286の回転位置
誤差は除去されているはずであるから、直線350に対
する基準チップ286の回転角度Δθ3 は被検出部33
4,336の頂点338,340を結ぶ直線342のY
軸に対する回転位置誤差であることになる。
In the above embodiment, two dogs 3
A straight line 342 connecting the positions vertices 338 and 340 of the detected parts 334 and 336 is a Y-axis slide 122.
Is adjusted in advance so as to be exactly parallel to the guide rail 132 for the
Can also be detected using the function of the electronic component mounting system. For example, as described above, the rotational position error of the reference chip 286 is obtained as Δθ 1 + Δθ 2 based on the straight line 342 connecting the vertices 338 and 340 of the detected parts 334 and 336, and then the rotational position error is removed. Then, the suction nozzle 184 is rotated, and the reference chip 286 is mounted on the mounting surface 282. And
The mounted reference chip 286 is used as a reference mark camera 2.
Then, the reference mark camera 240 is moved by a fixed small distance only in a direction parallel to the X axis or the Y axis, and the reference chip 286 is imaged again. If the images of the two reference chips 286 obtained in this manner are described in an overlapping manner, the state shown in FIG. 21 is obtained. Then, the straight line 350 connecting the same vertices of the images of the two reference chips 286 should be a straight line that is exactly parallel to the Y-axis, and the vertices 338 and 340 of the detected parts 334 and 336 are set as described above. Since the rotational position error of the reference chip 286 with respect to the connecting straight line 342 should have been removed, the rotation angle Δθ 3 of the reference chip 286 with respect to the straight line 350 is determined by the detected part 33.
Y of a straight line 342 connecting vertices 338 and 340 of 4,336
This is a rotational position error with respect to the shaft.

【0062】このようにして、被検出部334,336
の頂点338,340を結ぶ直線342のY軸に対する
回転位置誤差が取得できれば、前述の方法で直線342
を基準として取得される撮像装置248および基準マー
クカメラ240の回転位置誤差を直線342の回転位置
誤差分修正すれば、撮像装置248および基準マークカ
メラ240の絶対的な回転位置誤差を取得することがで
きる。
In this way, the detected parts 334, 336
If the rotational position error of the straight line 342 connecting the vertices 338 and 340 with respect to the Y-axis can be obtained,
By correcting the rotational position error of the imaging device 248 and the reference mark camera 240 obtained based on the reference by the rotational position error of the straight line 342, the absolute rotational position error of the imaging device 248 and the reference mark camera 240 can be obtained. it can.

【0063】本発明は、図22に示すタイプの電子部品
装着システムに適用することも可能である。この電子部
品装着システムは、吸着ノズルの回転中心に対する電子
部品の位置ずれを取得するための撮像装置である部品カ
メラ356がベース10に対して固定的に設けられてい
る点において前記実施形態の電子部品装着システムと異
なっている。部品カメラ356が、部品供給装置20と
配線板コンベヤ14との間の、配線板支持装置に支持さ
れたプリント配線板12の長手方向(配線板コンベヤ1
4の搬送方向)のほぼ中央に対応する位置において、ベ
ース10に固定的に設けられているのである。吸着ノズ
ル184および基準マークカメラ240は、前記図1お
よび図2の電子部品装着システムと同様に、Y軸スライ
ド122に固定されている。本電子部品装着システムに
おいても、前述のドッグ266および基準チップ286
と同様のドッグおよび基準チップを利用して、吸着ノズ
ル186,基準マークカメラ240および部品カメラ3
56の相対位置関係(中心位置ずれおよび回転位置ずれ
を含む)を取得することができる。
The present invention can be applied to an electronic component mounting system of the type shown in FIG. This electronic component mounting system is different from the electronic component mounting system of the above-described embodiment in that a component camera 356, which is an imaging device for acquiring a displacement of the electronic component with respect to the rotation center of the suction nozzle, is fixed to the base 10. It is different from the component mounting system. The component camera 356 is disposed between the component supply device 20 and the wiring board conveyor 14 in the longitudinal direction of the printed wiring board 12 supported by the wiring board support device (wiring board conveyor 1).
In the position corresponding to the approximate center of the (transport direction 4), the base 10 is fixedly provided. The suction nozzle 184 and the fiducial mark camera 240 are fixed to the Y-axis slide 122 similarly to the electronic component mounting system of FIGS. Also in the present electronic component mounting system, the above-described dog 266 and the reference chip 286 are used.
The suction nozzle 186, the reference mark camera 240 and the component camera 3
56 relative positional relationships (including the center position shift and the rotational position shift) can be obtained.

【0064】図23に示すタイプの電子部品装着システ
ムに本発明を適用することも可能である。本電子部品装
着システムは、それぞれ吸着ノズルを備えた部品保持具
360が1つの間欠回転盤362に保持されており、間
欠回転盤362が一定角度ずつ間欠回転させられること
により、間欠回転盤362の回転中心線たる旋回軸線ま
わりに部品保持具360を旋回させるとともに、その旋
回の軌跡上に予め設定された複数の停止位置で停止させ
るノズル移動装置364を備えている。また、配線板支
持装置366をその配線板支持装置366に支持された
プリント配線板12の表面に平行な平面内において互い
に直交するX軸とY軸とにそれぞれ平行な2方向に移動
させる配線板移動装置370も備えている。配線板移動
装置370は、X軸スライド駆動用モータ372および
送りねじとしてのボールねじ374により移動させられ
るX軸スライド376と、そのX軸スライド376上に
おいてY軸スライド駆動用モータ378および送りねじ
としてのボールねじ380により移動させられるY軸ス
ライドとを備えている。Y軸スライドは配線板支持装置
366を下方から支持している。そして、上記複数の停
止位置の一つに停止した吸着ノズルの先端面に対向する
位置に、部品カメラと導光装置とを含み、電子部品を撮
像する撮像装置384が静止して設けられるとともに、
その撮像装置384および部品保持具360の上方に部
品保持具360を回転させる保持具回転装置(図示省
略)がやはり静止して設けられている。保持具回転装置
は、撮像装置384が設けられた停止位置と、電子部品
82をプリント配線板12に装着するための停止位置と
の間の停止位置にも、電子部品82の回転位置誤差を修
正するために設けられている。また、図示は省略する
が、電子部品の吸着や装着のために吸着ノズルを昇降さ
せる装置も設けられている。さらに、配線板支持装置3
66に支持されたプリント配線板12の基準マークを撮
像する基準マークカメラ386も静止して設けられてい
る。なお、図23においては、間欠回転盤362,撮像
装置384,基準マークカメラ386,ドッグ390等
を保持する保持装置は煩雑さを避けるため、図示が省略
されている。また、間欠回転盤362の代わりに、共通
の回動軸線のまわりにそれぞれ回動可能に設けられ、カ
ム装置により予め定められた速度パターンに従って回動
させられ、互に異なる時期に所定の停止位置(複数)に
順次停止させられる複数の回動部材を採用することも可
能である。例えば、複数の回動部材の各々に、部品保持
具360をそれぞれ1個ずつ、回転および軸方向の移動
可能に保持させるのである。
The present invention can be applied to an electronic component mounting system of the type shown in FIG. In the present electronic component mounting system, the component holders 360 each having a suction nozzle are held by one intermittent rotary disk 362, and the intermittent rotary disk 362 is intermittently rotated by a fixed angle, so that the intermittent rotary disk 362 is rotated. A nozzle moving device 364 is provided for rotating the component holder 360 about a rotation axis, which is a rotation center line, and stopping at a plurality of preset stop positions on the path of the rotation. Further, a wiring board for moving the wiring board supporting device 366 in two directions parallel to the X axis and the Y axis orthogonal to each other in a plane parallel to the surface of the printed wiring board 12 supported by the wiring board supporting device 366. A moving device 370 is also provided. The wiring board moving device 370 includes an X-axis slide drive motor 372 and an X-axis slide 376 that is moved by a ball screw 374 as a feed screw, and a Y-axis slide drive motor 378 and a feed screw on the X-axis slide 376. And a Y-axis slide moved by the ball screw 380. The Y-axis slide supports the wiring board support device 366 from below. Then, at a position facing the tip end surface of the suction nozzle stopped at one of the plurality of stop positions, an imaging device 384 including a component camera and a light guide device and imaging the electronic component is provided stationary,
A holder rotating device (not shown) for rotating the component holder 360 is also provided stationary above the imaging device 384 and the component holder 360. The holder rotating device corrects the rotational position error of the electronic component 82 also at a stop position between the stop position where the imaging device 384 is provided and the stop position for mounting the electronic component 82 on the printed wiring board 12. It is provided in order to. Although not shown, a device for raising and lowering a suction nozzle for sucking and mounting an electronic component is also provided. Further, the wiring board support device 3
A fiducial mark camera 386 that captures a fiducial mark on the printed wiring board 12 supported by 66 is also provided stationary. In FIG. 23, a holding device for holding the intermittent rotating disk 362, the imaging device 384, the reference mark camera 386, the dog 390, and the like is not shown in order to avoid complexity. Further, instead of the intermittent rotating disk 362, each is provided rotatably around a common rotation axis, and is rotated by a cam device in accordance with a predetermined speed pattern, and a predetermined stop position is provided at different times. It is also possible to employ a plurality of rotating members that are sequentially stopped at (plural). For example, each of the plurality of rotating members holds one component holder 360 so as to be rotatable and movable in the axial direction.

【0065】上記電子部品装着システムにおいても、上
記撮像装置384が設けられた停止位置の近傍にドッグ
390を、吸着ノズルに保持された電子部品が撮像され
る際に同時にドッグ390も撮像される相対位置に静止
状態で設けるとともに、載置面392,394および基
準チップ396を準備することによって、本発明を実施
することができる。前記実施形態におけるとほぼ同様の
方法で、ドッグ390を基準として部品保持具360の
回転中心、すなわち吸着ノズルの回転中心の位置を推定
し、その回転中心位置に対する電子部品82の位置ずれ
を検出したり、吸着ノズルの回転中心および基準マーク
カメラ386と、撮像装置384との相対位置関係を取
得したり、配線板移動装置370の作動誤差を取得した
りすることができるのである。
Also in the electronic component mounting system, the dog 390 is positioned near the stop position where the image pickup device 384 is provided, and the dog 390 is also captured simultaneously when the electronic component held by the suction nozzle is imaged. The present invention can be practiced by providing the mounting surfaces 392 and 394 and the reference chip 396 in a stationary state at the position. In substantially the same manner as in the above embodiment, the rotation center of the component holder 360, that is, the position of the rotation center of the suction nozzle is estimated with reference to the dog 390, and the displacement of the electronic component 82 with respect to the rotation center position is detected. It is also possible to acquire the rotation center of the suction nozzle and the relative positional relationship between the reference mark camera 386 and the imaging device 384, and acquire the operation error of the wiring board moving device 370.

【0066】第一,第二撮像装置は面撮像装置に限ら
ず、ラインセンサにより構成してもよい。ラインセンサ
は、一直線状に並べられた多数の撮像素子を有し、被写
体と相対移動させつつ繰り返し撮像を行うことによって
二次元像が得られる。第一撮像装をラインセンサにより
構成する場合、例えば、ラインセンサを多数の撮像素子
が、電子部品の上面と平行な方向において一直線状に設
け、ラインセンサと電子部品とを、電子部品の上面に平
行でかつ上記一直線と直交する方向に相対移動させれば
よい。
The first and second image pickup devices are not limited to the surface image pickup device but may be constituted by line sensors. The line sensor has a large number of imaging elements arranged in a straight line, and a two-dimensional image can be obtained by repeatedly performing imaging while relatively moving the object. When the first imaging device is configured by a line sensor, for example, a number of line sensors are provided in a straight line in a direction parallel to the upper surface of the electronic component, and the line sensor and the electronic component are disposed on the upper surface of the electronic component. What is necessary is just to relatively move in a direction which is parallel and orthogonal to the straight line.

【0067】以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細
に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記
〔発明が解決しようとする課題,課題解決手段および効
果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識
に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施するこ
とができる。
Although some embodiments of the present invention have been described in detail above, these are merely examples, and the present invention is not limited to the above-mentioned [Problems to be Solved by the Invention, Means for Solving Problems and Effects]. The present invention can be implemented in various modified and improved forms based on the knowledge of those skilled in the art, including the described embodiment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態である電子部品装着システ
ムを示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an electronic component mounting system according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記電子部品装着システムの側面図である。FIG. 2 is a side view of the electronic component mounting system.

【図3】上記電子部品装着システムの部品装着装置を示
す正面図である。
FIG. 3 is a front view showing a component mounting device of the electronic component mounting system.

【図4】上記部品装着装置を示す側面図(一部断面)で
ある。
FIG. 4 is a side view (partial cross section) showing the component mounting apparatus.

【図5】上記電子部品装着システムの配線板支持装置を
概略的に示す側面図である。
FIG. 5 is a side view schematically showing a wiring board support device of the electronic component mounting system.

【図6】上記電子部品装着システムの部品トレイに収容
された電子部品を示す側面図である。
FIG. 6 is a side view showing electronic components housed in a component tray of the electronic component mounting system.

【図7】上記部品装着装置の部品装着ユニットを示す側
面図(一部断面)である。
FIG. 7 is a side view (partial cross section) showing a component mounting unit of the component mounting apparatus.

【図8】上記部品装着ユニットの保持装置を示す側面断
面図である。
FIG. 8 is a side sectional view showing a holding device of the component mounting unit.

【図9】上記電子部品装着システムの制御装置を概略的
に示すブロック図である。
FIG. 9 is a block diagram schematically showing a control device of the electronic component mounting system.

【図10】電子部品装着システムのドッグの一部を示す
平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a part of a dog of the electronic component mounting system.

【図11】上記ドッグの要部正面図である。FIG. 11 is a front view of a main part of the dog.

【図12】上記ドッグが電子部品と共に撮像される状況
を示す説明図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a situation where the dog is imaged together with an electronic component.

【図13】前記電子部品装着システムにおける吸着ノズ
ルの回転中心の取得を説明するための図である。
FIG. 13 is a diagram for describing acquisition of a rotation center of a suction nozzle in the electronic component mounting system.

【図14】前記電子部品装着システムにおける吸着ノズ
ルに保持された基準チップの撮像を説明するための図で
ある。
FIG. 14 is a diagram for explaining imaging of a reference chip held by a suction nozzle in the electronic component mounting system.

【図15】前記電子部品装着システムにおける基準マー
クカメラの位置ずれの取得を説明するための図である。
FIG. 15 is a diagram for describing acquisition of a positional shift of a reference mark camera in the electronic component mounting system.

【図16】前記電子部品装着システムにおける移動装置
の作動誤差の取得を説明するための図である。
FIG. 16 is a diagram for explaining acquisition of an operation error of the moving device in the electronic component mounting system.

【図17】前記電子部品装着システムにおけるドッグと
吸着ノズル回転中心との相対位置、吸着ノズル,撮像装
置および基準マークカメラの相対位置ずれ、および移動
装置の作動誤差を示す図である。
FIG. 17 is a diagram showing a relative position between a dog and a rotation center of a suction nozzle, a relative position shift between a suction nozzle, an imaging device, and a reference mark camera, and an operation error of a moving device in the electronic component mounting system.

【図18】前記電子部品装着システムにおける電子部品
の吸着ノズル回転中心からの位置ずれの取得を説明する
ための図である。
FIG. 18 is a diagram for describing acquisition of a displacement of the electronic component from the rotation center of the suction nozzle in the electronic component mounting system.

【図19】本発明の別の実施形態である電子部品装着シ
ステムにおける撮像装置の回転位置ずれの取得を説明す
るためのずである。
FIG. 19 is a diagram for explaining acquisition of a rotational position shift of an imaging device in an electronic component mounting system according to another embodiment of the present invention.

【図20】上記電子部品装着システムにおける基準マー
クカメラの回転位置ずれの取得を説明するためのずであ
る。
FIG. 20 is a view for explaining acquisition of a rotational position shift of a reference mark camera in the electronic component mounting system.

【図21】本発明のさらに別の実施形態である電子部品
装着システムにおける複数のドッグの傾きの検出を説明
するための図である。
FIG. 21 is a diagram illustrating detection of inclinations of a plurality of dogs in an electronic component mounting system according to yet another embodiment of the present invention.

【図22】本発明のさらに別の実施形態である電子部品
装着システムにを示す平面図である。
FIG. 22 is a plan view showing an electronic component mounting system according to still another embodiment of the present invention.

【図23】本発明のさらに別の実施形態である電子部品
装着システムにを示す平面図である。
FIG. 23 is a plan view showing an electronic component mounting system according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12:プリント配線板 14:配線板コンベヤ 1
8:部品装着装置 20,22:部品供給装置 2
6:配線板支持装置 82:電子部品 100:保
持装置 106:X軸スライド 116:X軸スラ
イド移動装置 122:Y軸スライド 134:Y軸スライド移動装
置 136:移動装置 144:昇降装置 146:回転装置 184:吸
着ノズル 248:撮像装置 250:部品カメラ
251:導光装置 266:ドッグ 268:被検出部 276:撮像画面 282,2
84:載置面 286:基準チップ 300:制御
装置 332:ドッグ 356:部品カメラ 3
84:撮像装置 386:基準マークカメラ 39
0:ドッグ 392,394:載置面 396:基準チップ
12: Printed wiring board 14: Wiring board conveyor 1
8: Component mounting device 20, 22: Component supply device 2
6: Wiring board supporting device 82: Electronic component 100: Holding device 106: X-axis slide 116: X-axis slide moving device 122: Y-axis slide 134: Y-axis slide moving device 136: moving device 144: elevating device 146: rotating device 184: suction nozzle 248: imaging device 250: component camera 251: light guide device 266: dog 268: detected part 276: imaging screen 282, 2
84: mounting surface 286: reference chip 300: control device 332: dog 356: component camera 3
84: Imaging device 386: Reference mark camera 39
0: dog 392, 394: mounting surface 396: reference chip

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気部品を負圧により吸着する吸着ノズ
ルに対する電気部品の位置ずれを検出する方法であっ
て、 前記吸着ノズルとその近傍に配設されたドッグとを同時
に撮像する第一撮像工程と、 その第一撮像工程において取得した吸着ノズルとドッグ
との画像データを処理してそれら吸着ノズルとドッグと
の相対位置関係を取得して記憶する第一データ処理工程
と、 前記吸着ノズルに電気部品を保持させた状態でその電気
部品と前記ドッグとを撮像する第二撮像工程と、 その第二撮像工程において取得した電気部品とドッグと
の画像データと、前記第一データ処理工程で取得した吸
着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基づいて、電気
部品の吸着ノズルに対する位置ずれを取得する第二デー
タ処理工程とを含むことを特徴とする電気部品の位置ず
れ検出方法。
1. A method for detecting a displacement of an electric component with respect to a suction nozzle that suctions an electric component by negative pressure, wherein a first imaging step of simultaneously imaging the suction nozzle and a dog disposed in the vicinity thereof A first data processing step of processing image data of the suction nozzle and the dog obtained in the first imaging step to obtain and store a relative positional relationship between the suction nozzle and the dog; A second imaging step of imaging the electrical component and the dog while holding the component, image data of the electrical component and the dog acquired in the second imaging process, and the image data acquired in the first data processing step A second data processing step of acquiring a displacement of the electric component with respect to the suction nozzle based on a relative positional relationship between the suction nozzle and the dog. Positional deviation detection method of goods.
【請求項2】 前記第一撮像工程が、前記吸着ノズルを
少なくとも1回回転させて少なくとも2つの回転位置に
おける吸着ノズル先端を撮像する工程を含み、前記第一
撮像工程が、それら少なくとも2つの吸着ノズルの先端
の像に基づいて吸着ノズルの回転中心位置を取得する工
程を含む請求項1に記載の電気部品の位置ずれ検出方
法。
2. The first imaging step includes a step of rotating the suction nozzle at least once to image a tip of the suction nozzle at at least two rotation positions, and the first imaging step includes the at least two suction nozzles. The method according to claim 1, further comprising a step of acquiring a rotation center position of the suction nozzle based on an image of the tip of the nozzle.
【請求項3】 前記ドックを複数個設け、少なくとも前
記第一撮像工程においてそれら複数個のドッグを撮像
し、前記第一データ処理工程において複数のドッグの相
対位置関係に基づいて撮像画面の傾きを取得する請求項
1または2に記載の電気部品の位置ずれ検出方法。
3. A plurality of docks are provided, and the plurality of dogs are imaged in at least the first imaging step. The method for detecting a displacement of an electric component according to claim 1, wherein the acquisition is performed.
【請求項4】 電気部品を吸着ノズルにより吸着して回
路基板に装着し、電気回路を組み立てる電気部品装着シ
ステムの装着精度に関連する部分の相対位置関係を取得
する方法であって、 第一撮像装置により前記吸着ノズルとその近傍に配設さ
れたドッグとを同時に撮像する第一撮像工程と、 その第一撮像工程において取得した吸着ノズルとドッグ
との画像データを処理してそれら吸着ノズルとドッグと
の相対位置関係を取得し、記憶する第一データ処理工程
と、 前記吸着ノズルに基準チップを保持させた状態でその基
準チップと前記ドッグとを同時に撮像する第二撮像工程
と、 その第二撮像工程において取得した基準チップとドッグ
との画像データと前記第一データ処理工程で取得した吸
着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基づいて、基準
チップの吸着ノズルに対する位置ずれを取得する第二デ
ータ処理工程と、 前記吸着ノズルと前記回路基板を支持する基板支持装置
とを相対移動させ、基板支持装置に対して相対移動不能
に設定した載置面に前記基準チップを載置させる載置工
程と、 その載置工程において載置した基準チップを第二撮像装
置により撮像する第三撮像工程と、 その第三撮像工程において取得した基準チップの画像デ
ータに基づいて、前記吸着ノズル,前記第一撮像装置お
よび前記第二撮像装置の相対位置関係を取得する第三デ
ータ処理工程と、を含み、かつ、前記第二データ処理工
程において取得した基準チップの吸着ノズルに対する位
置ずれを修正して前記載置工程を実施することと、前記
第二データ処理工程において取得した基準チップの吸着
ノズルに対する位置ずれと前記載置した基準チップの画
像データとに基づいて前記第三データ処理工程を実施す
ることとのいずれか一方を含むことを特徴とする相対位
置関係取得方法。
4. A method for acquiring a relative positional relationship of a part related to mounting accuracy of an electric part mounting system for assembling an electric circuit by mounting an electric part on a circuit board by suctioning the electric part by a suction nozzle, comprising: A first imaging step of simultaneously imaging the suction nozzle and a dog arranged in the vicinity thereof by an apparatus, and processing the image data of the suction nozzle and the dog acquired in the first imaging step to process the suction nozzle and the dog. A first data processing step of acquiring and storing a relative positional relationship with the second imaging step of simultaneously imaging the reference chip and the dog while holding the reference chip in the suction nozzle; Based on the image data of the reference chip and the dog obtained in the imaging step and the relative positional relationship between the suction nozzle and the dog obtained in the first data processing step A second data processing step of acquiring a positional shift of the reference chip with respect to the suction nozzle; and a mounting in which the suction nozzle and the substrate supporting device supporting the circuit board are relatively moved, and are set to be relatively immovable with respect to the substrate supporting device. A mounting step of mounting the reference chip on a mounting surface, a third imaging step of imaging the reference chip mounted in the mounting step with a second imaging device, and a reference chip acquired in the third imaging step. A third data processing step of acquiring a relative positional relationship between the suction nozzle, the first imaging device, and the second imaging device based on the image data, and a reference obtained in the second data processing step. Correcting the displacement of the chip with respect to the suction nozzle and performing the placement step, and the suction nozzle of the reference chip obtained in the second data processing step Performing the third data processing step on the basis of the positional deviation with respect to and the image data of the reference chip placed as described above.
【請求項5】 請求項4に記載の相対位置関係取得方法
と、 前記基板支持装置に支持された回路基板に設けられた基
準マークを前記第二撮像装置により撮像する第四撮像工
程と、 その第四撮像工程により取得した基準マークの画像デー
タに基づいて回路基板の位置ずれを取得する第四データ
処理工程と、 前記吸着ノズルに電気部品を保持させ、その電気部品を
前記第一撮像装置により撮像する第五撮像工程と、 その第五撮像工程により取得した電気部品の画像データ
と、前記相対位置関係取得方法の実施により取得した吸
着ノズル,第一撮像装置および第二撮像装置の相対位置
関係と、前記第四データ処理工程において取得した回路
基板の位置ずれとに基づいて、前記基板支持装置と前記
吸着ノズルとの予め定められた相対位置を修正し、電気
部品を回路基板に装着させる部品装着工程とを含む電気
部品装着方法。
5. A method for acquiring a relative positional relationship according to claim 4, further comprising: a fourth image pickup step of picking up an image of a reference mark provided on a circuit board supported by the substrate support apparatus, using the second image pickup apparatus. A fourth data processing step of acquiring a positional displacement of the circuit board based on the image data of the reference mark acquired in the fourth imaging step; A fifth imaging step of capturing an image, image data of the electrical component acquired in the fifth imaging step, and a relative positional relationship between the suction nozzle, the first imaging device, and the second imaging device acquired by performing the relative positional relationship acquisition method. And, based on the displacement of the circuit board obtained in the fourth data processing step, based on the predetermined relative position of the substrate support device and the suction nozzle is corrected, EC mounting method including a component mounting step of mounting the gas components on the circuit board.
【請求項6】 電気部品を負圧により吸着する吸着ノズ
ルに対する電気部品の位置ずれを検出する装置であっ
て、 前記吸着ノズルをその吸着ノズルの中心軸線に平行な方
向から撮像可能な撮像装置と、 その撮像装置により吸着ノズルと同時に撮像可能な位置
に配設されたドッグと、 前記撮像装置に吸着ノズルとドッグとを同時に撮像させ
るとともに、吸着ノズルに吸着された電気部品とドッグ
とを同時に撮像させる撮像制御装置と、 前記同時に撮像した吸着ノズルとドッグとの像に基づい
て吸着ノズルとドッグとの相対位置関係を取得するとと
もに、前記同時に取得した電気部品とドッグとの像と、
吸着ノズルとドッグとの相対位置関係とに基づいて吸着
ノズルに対する電気部品の位置ずれを取得するデータ処
理装置とを含むことを特徴とする電気部品の位置ずれ検
出装置。
6. A device for detecting a displacement of an electric component with respect to a suction nozzle for suctioning an electric component by a negative pressure, the imaging device being capable of imaging the suction nozzle from a direction parallel to a central axis of the suction nozzle. A dog arranged at a position that can be imaged simultaneously with the suction nozzle by the imaging device; and simultaneously causing the imaging device to image the suction nozzle and the dog, and simultaneously imaging the electric component and the dog sucked by the suction nozzle. An imaging control device that causes a relative positional relationship between the suction nozzle and the dog to be obtained based on the image of the suction nozzle and the dog that are simultaneously captured, and an image of the electrical component and the dog that are simultaneously obtained,
A data processing device for acquiring a displacement of the electric component with respect to the suction nozzle based on a relative positional relationship between the suction nozzle and the dog.
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