JP2002184305A - Manufacturing method of color cathode-ray tube and color cathode-ray tube - Google Patents

Manufacturing method of color cathode-ray tube and color cathode-ray tube

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JP2002184305A
JP2002184305A JP2000376623A JP2000376623A JP2002184305A JP 2002184305 A JP2002184305 A JP 2002184305A JP 2000376623 A JP2000376623 A JP 2000376623A JP 2000376623 A JP2000376623 A JP 2000376623A JP 2002184305 A JP2002184305 A JP 2002184305A
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metal back
heater
ray tube
color cathode
groove
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Japanese (ja)
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Tetsuro Watanabe
哲朗 渡邊
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce equipment by reducing the number of heaters and number of the power sources for the heaters. SOLUTION: In the manufacturing method of a color cathode-ray tube having a process of forming a metal back layer on a phosphor layer 3 on the inner wall of a panel 2 and a process of forming a heat absorption membrane on the metal back layer, the metal back layer and the heat absorption membrane are formed by heating at a time and evaporating in order the plural substances 7, 8 having different evaporation temperature by a single heater 5 that will bring about difference in arrival temperature according to part. Thereby, the number of heaters and the number of power sources of the heaters can be reduced, and the manufacturing cost of the color cathode-ray tube can be reduced and the equipment specifications such as the layout of the heaters can be simplified.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、パネル内面の蛍光
体層上にメタルバック層と熱吸収膜とを順次形成するカ
ラー陰極線管の製造方法及びカラー陰極線管に係り、詳
しくは到達温度の異なる複数の溝部を有する単一ヒータ
ーにより蒸着温度の異なる複数の物質を一度に加熱し順
次蒸着させてメタルバック層と熱吸収膜を形成するよう
にしたカラー陰極線管の製造方法及びカラー陰極線管に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color cathode ray tube and a color cathode ray tube in which a metal back layer and a heat absorbing film are sequentially formed on a phosphor layer on the inner surface of a panel, and more particularly to a different temperature. The present invention relates to a method for manufacturing a color cathode ray tube and a color cathode ray tube in which a plurality of substances having different deposition temperatures are heated at a time by a single heater having a plurality of grooves and sequentially deposited to form a metal back layer and a heat absorbing film. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のカラー陰極線管の製造方法、特に
パネルの製造においては、パネル内面に蛍光体層を形成
後、アルミニウムの真空蒸着を行ってメタルバック層を
形成する方法が広く採用されている。
2. Description of the Related Art In a conventional method of manufacturing a color cathode ray tube, in particular, a method of manufacturing a panel, a method of forming a metal back layer by vacuum-depositing aluminum after forming a phosphor layer on the inner surface of the panel has been widely adopted. I have.

【0003】図9は、カラー陰極線管について、その要
部構成の一例を示す概略側断面図である。カラー陰極線
管31のパネル32の内面には蛍光体層33が塗布され
ており、色選別機構である例えばアパーチャーグリル3
5と電子銃36とがカラー陰極線管31内に組み込まれ
ている。アパーチャーグリル35にはスリットが設けら
れており、電子銃36から射出されてこれらのスリット
を透過した電子ビーム37が蛍光体層33中の所定の蛍
光体パターンに入射し、所定の蛍光体パターンを発光さ
せるようになっている。
FIG. 9 is a schematic side sectional view showing an example of the configuration of a main part of a color cathode ray tube. A phosphor layer 33 is applied to the inner surface of the panel 32 of the color cathode ray tube 31, and a color selection mechanism such as the aperture grill 3
5 and the electron gun 36 are incorporated in the color cathode ray tube 31. A slit is provided in the aperture grill 35, and an electron beam 37 emitted from the electron gun 36 and transmitted through these slits is incident on a predetermined phosphor pattern in the phosphor layer 33, and a predetermined phosphor pattern is formed. It is designed to emit light.

【0004】なお、図9においては、理解を容易にする
ために単に蛍光体層33としたが、実際の製造工程で
は、パネル32の内面の赤、緑、青色それぞれの蛍光体
ストライプあるいはドットの間隙にカーボン膜を配置さ
せた後、その蛍光体ストライプあるいはドットの表面を
平滑化させるための中間膜が形成されて製造されてい
る。
[0004] In FIG. 9, the phosphor layer 33 is simply used for easy understanding. However, in an actual manufacturing process, the phosphor stripes or dots of red, green, and blue on the inner surface of the panel 32 are formed. After the carbon film is arranged in the gap, an intermediate film for smoothing the surface of the phosphor stripe or dot is formed.

【0005】蛍光体層33上には、アルミニウムからな
るメタルバック層38が真空蒸着されている。このよう
にすると、電子銃36から射出され加速された電子ビー
ム37はアパーチャーグリル35を介してメタルバック
層38を突き抜けて蛍光体層33を発光させるが、蛍光
体層33からアパーチャーグリル35側へ向かう光をメ
タルバック層38でパネル32側へ反射させて輝度を高
めたり、蛍光体層33の電位をメタルバック層38で安
定化させたり、イオン衝撃による蛍光体層33の焼けを
メタルバック層38で防止したりすることができる。
On the phosphor layer 33, a metal back layer 38 made of aluminum is vacuum-deposited. In this way, the accelerated electron beam 37 emitted from the electron gun 36 penetrates the metal back layer 38 through the aperture grill 35 to emit light from the phosphor layer 33, but from the phosphor layer 33 toward the aperture grill 35. The incoming light is reflected toward the panel 32 by the metal back layer 38 to increase the brightness, the potential of the phosphor layer 33 is stabilized by the metal back layer 38, and the burning of the phosphor layer 33 due to ion bombardment is prevented. 38 can be prevented.

【0006】ところで、電子銃36から射出された電子
ビーム37がアパーチャーグリル35に衝突すると、ア
パーチャーグリル35の温度が上昇して、アパーチャー
グリル35が放射熱を発生させる。この放射熱がメタル
バック層38に入射しメタルバック層38で反射されて
再びアパーチャーグリル35に入射すると、アパーチャ
ーグリル35の温度が更に上昇して、アパーチャーグリ
ル35の熱ドリフト量すなわち熱変形量が多くなる。
When the electron beam 37 emitted from the electron gun 36 collides with the aperture grill 35, the temperature of the aperture grill 35 rises, and the aperture grill 35 generates radiant heat. When this radiant heat enters the metal back layer 38, is reflected by the metal back layer 38, and again enters the aperture grill 35, the temperature of the aperture grill 35 further increases, and the amount of thermal drift, that is, the amount of thermal deformation of the aperture grill 35 is reduced. More.

【0007】アパーチャーグリル35の熱ドリフト量が
多くなると、アパーチャーグリル35のスリットと蛍光
体層33中の蛍光体パターンとの相対的な位置関係が変
化して、電子ビームランディングのズレが生じ、色ズレ
が発生する。そこで、アパーチャーグリル35からメタ
ルバック層38に入射する放射熱を吸収しメタルバック
層38で反射しないようにすると共に、直接電子ビーム
37がメタルバック層38に照射することで生じるメタ
ルバック層38の表面からのアパーチャーグリル35へ
の輻射熱を抑えるために、メタルバック層38上に熱吸
収膜39が設けられている。
When the amount of thermal drift of the aperture grille 35 increases, the relative positional relationship between the slit of the aperture grille 35 and the phosphor pattern in the phosphor layer 33 changes, causing a shift in electron beam landing and causing color shift. Deviation occurs. Therefore, the radiant heat incident on the metal back layer 38 from the aperture grill 35 is absorbed so as not to be reflected by the metal back layer 38, and the electron back 37 is irradiated with the electron beam 37 directly to the metal back layer 38. A heat absorbing film 39 is provided on the metal back layer 38 to suppress radiant heat from the surface to the aperture grill 35.

【0008】熱吸収膜39をメタルバック層38上に形
成するための方法として、熱吸収膜用蒸着材料を熱吸収
膜用蒸着ヒーターにて真空蒸着する方法が広く知られて
いる。図10は真空蒸着装置における真空室の一例を示
す概略側断面図である。真空室41上にはパネル32が
載置される。アパーチャーグリル35は、メタルバック
層38及び熱吸収膜39形成時には、一時的に取り外さ
れている。真空室41内にはメタルバック用蒸着ヒータ
ー42と熱吸収膜用蒸着ヒーター43とが配置されてい
る。
As a method for forming the heat absorbing film 39 on the metal back layer 38, a method of vacuum-depositing a heat absorbing film deposition material by a heat absorbing film deposition heater is widely known. FIG. 10 is a schematic side sectional view showing an example of a vacuum chamber in a vacuum evaporation apparatus. The panel 32 is placed on the vacuum chamber 41. The aperture grill 35 is temporarily removed when the metal back layer 38 and the heat absorbing film 39 are formed. In the vacuum chamber 41, a metal back vapor deposition heater 42 and a heat absorbing film vapor deposition heater 43 are arranged.

【0009】メタルバック用蒸着ヒーター42及び熱吸
収膜用蒸着ヒーター43の溝部にはそれぞれ図示せぬ材
料供給手段によりアルミニウムからなるメタルバック用
蒸着材料50と、熱吸収の高い物質としてクロムからな
る熱吸収膜用蒸着材料51が供給される。
In the grooves of the metal back vapor deposition heater 42 and the heat absorbing film vapor deposition heater 43, a metal back vapor deposition material 50 made of aluminum and a heat absorbing material made of chromium as a substance having high heat absorption are provided by material supply means (not shown). The vapor deposition material 51 for an absorption film is supplied.

【0010】先ず、図10に示すように内面に蛍光体層
33が塗布されたパネル32を真空室41上に載置した
状態で図示せぬスイッチを作動させてメタルバック用ヒ
ーター電源47を電源コード45,45を介してメタル
バック用蒸着ヒーター42に接続し、メタルバック用蒸
着ヒーター42を加熱する。メタルバック用蒸着ヒータ
ー42が加熱されると、メタルバック用蒸着材料、すな
わちアルミニウム50が蒸発温度に到達して蒸発し、パ
ネル32の蛍光体層33の内面に蒸着し、図10に示す
ように、メタルバック層38を形成する。
First, a switch (not shown) is operated in a state where the panel 32 having the phosphor layer 33 coated on the inner surface thereof is placed on the vacuum chamber 41 as shown in FIG. The metal back evaporation heater 42 is connected to the metal back evaporation heater 42 via the cords 45 and 45 to heat the metal back evaporation heater 42. When the metal back deposition heater 42 is heated, the metal back deposition material, ie, aluminum 50 reaches the evaporation temperature and evaporates, deposits on the inner surface of the phosphor layer 33 of the panel 32, and as shown in FIG. Then, a metal back layer 38 is formed.

【0011】次に、熱吸収膜用ヒーター電源49を電源
コード48,48を介して熱吸収膜用蒸着ヒーター43
に接続し、熱吸収膜用蒸着ヒーター43を加熱すると、
熱吸収膜用蒸着材料51が蒸発温度に到達して蒸発し、
メタルバック層38の内面に蒸着し、図11に示すよう
に、熱吸収膜39を形成する。
Next, the heat absorbing film heater power supply 49 is connected to the heat absorbing film deposition heater 43 via power cords 48 and 48.
And heating the heat-absorbing film deposition heater 43,
The evaporation material 51 for a heat absorbing film reaches the evaporation temperature and evaporates,
Vapor deposition is performed on the inner surface of the metal back layer 38 to form a heat absorbing film 39 as shown in FIG.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】一般に、メタルバック
用蒸着材料としてはアルミニウムが使用され、アルミニ
ウムの融点は約660℃である。一方、熱吸収膜用材料
となる物質は一般に融点が高く、例えばクロムの融点は
約1900℃である。そこで、アルミニウムを蒸着する
ためのメタルバック用蒸着ヒーターとクロム等を蒸着す
るための熱吸収膜用蒸着ヒーターを別々に設けて蒸着す
る方法が取られている。メタルバック用蒸着ヒーターと
熱吸収膜用蒸着ヒーターを必要とすることから、両蒸着
ヒーターの配置が難しくなり、しかも両蒸着ヒーターそ
れぞれに蒸着用電源が必要となる。
Generally, aluminum is used as a metal back deposition material, and the melting point of aluminum is about 660 ° C. On the other hand, a substance serving as a material for a heat absorbing film generally has a high melting point, for example, chromium has a melting point of about 1900 ° C. Therefore, a method has been adopted in which a metal-back deposition heater for depositing aluminum and a heat-absorbing-film deposition heater for depositing chromium and the like are separately provided for deposition. The necessity of a metal-back evaporation heater and a heat-absorbing film evaporation heater makes it difficult to dispose both evaporation heaters, and also requires an evaporation power source for each of the two evaporation heaters.

【0013】一般に、1台のパネルにはメタルバック用
蒸着ヒーターと熱吸収膜用蒸着ヒーターがそれぞれ複数
設けられているため、蒸着ヒーター数の増加に伴い蒸着
ヒーター用電源の数も増し、カラー陰極線管の製造コス
トが高くなると共に、蒸着ヒーターのレイアウト等設備
仕様が複雑になるという問題があった。
In general, a single panel is provided with a plurality of vapor deposition heaters for the metal back and a plurality of vapor deposition heaters for the heat absorbing film. Therefore, as the number of vapor deposition heaters increases, the number of power supplies for the vapor deposition heaters also increases. There has been a problem that the manufacturing cost of the tube is increased and the equipment specifications such as the layout of the vapor deposition heater are complicated.

【0014】蒸着ヒーター数と蒸着ヒーター用電源数の
増加に伴い、管理すべき設備が増えることになり、多数
の設備を保守管理せねばならず、例えば蒸着ヒーターの
交換等の設備修繕機会も増加するという問題を生じてい
る。
As the number of vapor deposition heaters and the number of power supplies for vapor deposition heaters increase, the number of facilities to be managed increases, so that a large number of facilities must be maintained and managed. The problem has arisen.

【0015】そこで、本発明は、ヒーター数及びヒータ
ー用電源数を削減して、設備の減少を図るようにしたカ
ラー陰極線管の製造方法及びその製造方法により製造さ
れたカラー陰極線管を提供することを目的とするもので
ある。
It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a color cathode ray tube which reduces the number of heaters and the number of power supplies for the heater to reduce the number of facilities, and a color cathode ray tube manufactured by the method. It is intended for.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明に係るカラー陰極
線管の製造方法は、パネルの内面の蛍光体層上にメタル
バック層を形成する工程と、前記メタルバック層上に熱
吸収膜を形成する工程とを有するカラー陰極線管の製造
方法において、部分によって到達温度差が生じる単一ヒ
ーターにより蒸着温度の異なる複数の物質を一度に加熱
し順次蒸着させて前記メタルバック層と前記熱吸収膜を
形成することを特徴とするものである。
A method of manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention comprises the steps of forming a metal back layer on a phosphor layer on the inner surface of a panel, and forming a heat absorbing film on the metal back layer. In the method for manufacturing a color cathode-ray tube having a step of, a plurality of substances having different deposition temperatures are heated at a time by a single heater having a difference in ultimate temperature depending on a portion and sequentially deposited to form the metal back layer and the heat absorbing film. It is characterized by forming.

【0017】本発明に係るカラー陰極線管の製造方法で
は、部分によって到達温度差が生じる単一ヒーターによ
り蒸着温度の異なる複数の物質を一度に加熱し順次蒸着
させてメタルバック層と熱吸収膜を形成するので、メタ
ルバック用のヒーターと熱吸収膜用のヒーターを別々に
設ける必要がなく、単一のヒーターでよく、ヒーター数
を減らし、それに伴いヒーター用電源の数も減らすこと
ができ、カラー陰極線管の製造コストを削減することが
でき、ヒーターのレイアウト等設備仕様が簡易になる。
更に、ヒーター数とヒーター用電源数の減少に伴い、管
理すべき設備が大幅に減り、設備の保守管理を軽減する
ことができる。
In the method for manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention, a plurality of substances having different deposition temperatures are heated at a time by a single heater having a difference in ultimate temperature depending on portions, and are sequentially deposited to form a metal back layer and a heat absorbing film. Since it is formed, there is no need to separately provide a heater for the metal back and a heater for the heat absorbing film, a single heater is required, the number of heaters can be reduced, and the number of power supplies for the heater can be reduced accordingly, color The manufacturing cost of the cathode ray tube can be reduced, and the equipment specifications such as the layout of the heater can be simplified.
Further, as the number of heaters and the number of power supplies for the heaters decrease, the number of facilities to be managed is greatly reduced, and maintenance management of the facilities can be reduced.

【0018】本発明に係るカラー陰極線管は、パネルの
内面の蛍光体層上にメタルバック層が形成され、このメ
タルバック層上に熱吸収膜が形成されたカラー陰極線管
において、前記メタルバック層と前記熱吸収膜は、部分
によって到達温度差が生じる単一ヒーターにより蒸着温
度の異なる複数の物質を一度に加熱し順次蒸着させて形
成されたことを特徴とするものである。
The color cathode ray tube according to the present invention is a color cathode ray tube wherein a metal back layer is formed on a phosphor layer on the inner surface of a panel, and a heat absorbing film is formed on the metal back layer. And the heat absorbing film is formed by heating a plurality of substances having different deposition temperatures at a time by a single heater having a difference in ultimate temperature depending on portions, and sequentially depositing the substances.

【0019】本発明に係るカラー陰極線管では、部分に
よって到達温度差が生じる単一ヒーターにより蒸着温度
の異なる物質を一度に加熱し順次蒸着させてメタルバッ
ク層と熱吸収膜が形成されるので、単一のヒーターでよ
く、ヒーター数を減らし、それに伴いヒーター用電源の
数も減らすことができ、カラー陰極線管の製造コストを
削減することができる。
In the color cathode ray tube according to the present invention, the materials having different deposition temperatures are heated at a time by a single heater in which a difference in ultimate temperature is generated depending on the portions, and the metal back layer and the heat absorbing film are formed by sequentially depositing the materials. A single heater can be used, and the number of heaters can be reduced, and accordingly, the number of heater power supplies can be reduced, so that the cost of manufacturing a color cathode ray tube can be reduced.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
るカラー陰極線管の製造方法の実施の形態の一例を説明
する。図2は本発明に係るカラー陰極線管の製造方法を
実施するために使用する真空蒸着装置の側面図である。
真空蒸着装置21では、基台22上に真空室23と操作
部24とが設けられており、真空室23上にカラー陰極
線管のパネル2が載置されるようになっている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a side view of a vacuum deposition apparatus used to carry out the method for manufacturing a color cathode ray tube according to the present invention.
In the vacuum evaporation apparatus 21, a vacuum chamber 23 and an operation unit 24 are provided on a base 22, and a panel 2 of a color cathode ray tube is mounted on the vacuum chamber 23.

【0021】図1は真空室23の一例を示す概略側断面
図である。パネル2の内面には蛍光体層3が塗布されて
いる。真空室23内には蒸着ヒーター5が配置されてい
る。蒸着ヒーター5はメタルバック用及び熱吸収膜用の
兼用ヒーターである。蒸着ヒーター5にはメタルバック
用蒸着材料を加熱するための溝部5a-1と、熱吸収膜用
蒸着材料を加熱するための溝部5b-1が設けられ、溝部
5a-1には図示せぬ材料供給手段によりメタルバック用
蒸着材料7が供給され、溝部5b-1には図示せぬ材料供
給手段により熱吸収のよい物質である熱吸収膜用蒸着材
料8が供給される。蒸着ヒーター5は電源コード9,9
を介してヒーター電源10に接続されており、ヒーター
電源10は真空室23の外に設置されている。
FIG. 1 is a schematic side sectional view showing an example of the vacuum chamber 23. The phosphor layer 3 is applied to the inner surface of the panel 2. The evaporation heater 5 is arranged in the vacuum chamber 23. The deposition heater 5 is a dual-purpose heater for a metal back and a heat absorbing film. The vapor deposition heater 5 is provided with a groove 5a-1 for heating the metal back vapor deposition material and a groove 5b-1 for heating the heat absorbing film vapor deposition material, and a material (not shown) is provided in the groove 5a-1. The metal back deposition material 7 is supplied by the supply means, and the heat absorbing film deposition material 8 which is a substance having good heat absorption is supplied to the groove 5b-1 by the material supply means (not shown). The evaporation heater 5 has power cords 9, 9
The heater power supply 10 is installed outside the vacuum chamber 23.

【0022】本発明は、パネル2の内面の蛍光体層3上
に後述するメタルバック層12と熱吸収膜13を順次形
成する工程において(図7参照)、蒸着温度の異なるメ
タルバック用蒸着材料7と熱吸収膜用蒸着材料8をそれ
ぞれ同一蒸着ヒーター5の到達温度の異なる溝部5a-
1,5b-1にて一度に加熱し順次蒸着させて、メタルバ
ック層12と熱吸収膜13を形成するようにしたもので
ある。
According to the present invention, in the step of sequentially forming a metal back layer 12 and a heat absorbing film 13 to be described later on the phosphor layer 3 on the inner surface of the panel 2 (see FIG. 7), metal back deposition materials having different deposition temperatures are used. 7 and the heat-absorbing film-forming material 8 are provided with grooves 5a-
The metal back layer 12 and the heat absorbing film 13 are formed by heating at 1,5b-1 at a time and sequentially depositing.

【0023】図3は蒸着ヒーター5の斜視図である。蒸
着ヒーター5は例えばボロンナイトライド(窒化ほう
素)ヒーターであり、幅広の部分5aと幅狭の部分5b
から形成され、幅広の部分5aにはメタルバック用蒸着
材料を加熱するための溝部5a-1が設けられ、幅狭の部
分5bには熱吸収膜用蒸着材料を加熱するための溝部5
b-1が設けられている。溝部5a-1に供給されるメタル
バック用蒸着材料7は、例えばアルミニウムであり、溝
部5b-1に供給される熱吸収膜用蒸着材料8は、例えば
クロムである。アルミニウムの融点が約660℃である
のに対し、クロムのそれは約1900℃であるので、そ
れぞれに対応した加熱温度にすべく、溝部5a-1,5b
-1の形状及び蒸着ヒーター5の形状が設定されている。
FIG. 3 is a perspective view of the vapor deposition heater 5. The vapor deposition heater 5 is, for example, a boron nitride (boron nitride) heater, and has a wide portion 5a and a narrow portion 5b.
The wide portion 5a is provided with a groove 5a-1 for heating the metal back deposition material, and the narrow portion 5b is provided with a groove 5a for heating the heat absorption film deposition material.
b-1 is provided. The metal back deposition material 7 supplied to the groove 5a-1 is, for example, aluminum, and the heat absorption film deposition material 8 supplied to the groove 5b-1 is, for example, chromium. Aluminum has a melting point of about 660 ° C., whereas chromium has a melting point of about 1900 ° C., so that the grooves 5a-1, 5b
-1 and the shape of the vapor deposition heater 5 are set.

【0024】すなわち、蒸着ヒーター5の溝部5a-1,
5b-1の幅と長さと深さ、及び蒸着ヒーター5の幅と高
さ等を変えることにより、溝部5a-1,5b-1の到達温
度を変更することができる。蒸着ヒーター5の幅と高
さ、及び溝部5a-1,5b-1の幅と深さを変えると、断
面積が変わる。断面積が大きいと、電気抵抗が小さくな
り、到達温度が低くなり、一方、断面積が小さいと、電
気抵抗が大きくなり、到達温度が高くなる。そこで、溝
部5a-1部分の断面積を溝部5b-1部分のそれに比して
大きくすると、電気抵抗が小さくなり、到達温度が低く
なり、メタルバック用蒸着材料7である例えばアルミニ
ウムを加熱し蒸発させるのに適合することになる。一
方、溝部5b-1部分の断面積を溝部5a-1部分のそれに
比して小さくすると、電気抵抗が大きくなり、到達温度
が高くなり、熱吸収膜用蒸着材料8である例えばクロム
を加熱し蒸発させることが可能となる。
That is, the grooves 5a-1,
The ultimate temperature of the grooves 5a-1 and 5b-1 can be changed by changing the width, length and depth of 5b-1, and the width and height of the vapor deposition heater 5. Changing the width and height of the vapor deposition heater 5 and the width and depth of the grooves 5a-1 and 5b-1 change the cross-sectional area. When the cross-sectional area is large, the electric resistance decreases and the ultimate temperature decreases. On the other hand, when the cross-sectional area is small, the electric resistance increases and the ultimate temperature increases. Therefore, when the cross-sectional area of the groove 5a-1 is made larger than that of the groove 5b-1, the electric resistance is reduced and the temperature reached is reduced, and the metal back deposition material 7 such as aluminum is heated and evaporated. Will be adapted to On the other hand, when the cross-sectional area of the groove 5b-1 is smaller than that of the groove 5a-1, the electric resistance is increased and the attained temperature is increased. For example, chromium which is the heat absorbing film deposition material 8 is heated. It is possible to evaporate.

【0025】図4は蒸着ヒーター5と溝部5a-1,5b
-1の形状例を示す平面図である。メタルバック用蒸着材
料を加熱するための溝部5a-1を溝部A、熱吸収膜用蒸
着材料を加熱するための溝部5b-1を溝部Bとする。形
状1は、幅広の部分5aの幅が6mm、幅狭の部分5bの
幅が5mm、溝部A及び溝部Bは幅が3mm、長さが30mm
である。なお、形状1,2,3,4共に蒸着ヒーター5
の高さは4mm、溝部A及び溝部Bの深さは2mmである。
FIG. 4 shows the deposition heater 5 and the grooves 5a-1 and 5b.
FIG. 3 is a plan view showing a shape example of -1. The groove 5a-1 for heating the metal back deposition material is referred to as a groove A, and the groove 5b-1 for heating the heat absorbing film deposition material is referred to as a groove B. The shape 1 has a wide portion 5a having a width of 6 mm, a narrow portion 5b having a width of 5 mm, and the groove portions A and B having a width of 3 mm and a length of 30 mm.
It is. In addition, the vapor deposition heater 5 is used for the shapes 1, 2, 3 and 4.
Has a height of 4 mm, and the depth of the groove portions A and B is 2 mm.

【0026】形状2は、幅広の部分5aの幅が6mm、幅
狭の部分5bの幅が4mm、溝部A及び溝部Bは幅が3m
m、長さが30mmである。
In the shape 2, the width of the wide portion 5a is 6 mm, the width of the narrow portion 5b is 4 mm, and the width of the groove portions A and B is 3 m.
m, length is 30 mm.

【0027】形状3は、幅広の部分5aの幅が6mm、幅
狭の部分5bの幅が4mm、溝部A及び溝部Bは幅が2m
m、長さが30mmである。形状4は、幅広の部分5aの
幅が7mm、幅狭の部分5bの幅が3.5mm、溝部A及び
溝部Bは幅が3mm、長さが30mmである。
In the shape 3, the width of the wide portion 5a is 6 mm, the width of the narrow portion 5b is 4 mm, and the width of the groove portions A and B is 2 m.
m, length is 30 mm. In the shape 4, the width of the wide portion 5a is 7 mm, the width of the narrow portion 5b is 3.5 mm, and the groove portions A and B are 3 mm in width and 30 mm in length.

【0028】図5は各形状毎の溝部A及び溝部Bの到達
温度を示す図である。横欄は形状であり、縦欄は設定電
圧である。例えば、形状1の場合には、電圧を7.5Vに
設定すると、溝部Aの到達温度は1200℃、溝部Bの到達
温度は1450℃である。また、形状4の場合には、電圧を
10.5Vに設定すると、溝部Aの到達温度は1290℃、溝部
Bの到達温度は1900℃である。このように、蒸着ヒータ
ー5の形状及び溝部A,Bの形状を変えることにより、
溝部A,Bの到達温度を変えることができる。
FIG. 5 is a diagram showing the temperatures reached by the grooves A and B for each shape. The horizontal column is the shape, and the vertical column is the set voltage. For example, in the case of the shape 1, when the voltage is set to 7.5 V, the ultimate temperature of the groove A is 1200 ° C., and the ultimate temperature of the groove B is 1450 ° C. In the case of shape 4, the voltage is
When it is set to 10.5 V, the ultimate temperature of the groove A is 1290 ° C., and the ultimate temperature of the groove B is 1900 ° C. Thus, by changing the shape of the vapor deposition heater 5 and the shapes of the grooves A and B,
The ultimate temperature of the grooves A and B can be changed.

【0029】次に、カラー陰極線管の製造方法について
具体的に説明する。先ず、図1に示すように内面に蛍光
体層3が塗布されたパネル2を真空室23上に載置す
る。アパーチャーグリルは、後述するメタルバック層1
2及び熱吸収膜13形成時には、一時的に取り外されて
いる。そして、図示せぬポンプ等で真空室23内を排気
し、真空室23が所定の圧力以下になった時点で蒸着ヒ
ーター5に通電する。すなわち、操作部24の釦を操作
して、ヒーター電源10を電源コード9,9を介して蒸
着ヒーター5に接続し、蒸着ヒーター5を加熱する。蒸
着ヒーター5及び溝部A,Bは、例えば形状4に示す形
状で、電圧を10.5Vに設定したとすると、溝部Aの到達
温度は1290℃、溝部Bの到達温度は1900℃となる。
Next, a method for manufacturing a color cathode ray tube will be specifically described. First, as shown in FIG. 1, the panel 2 having the phosphor layer 3 applied on the inner surface is placed on the vacuum chamber 23. The aperture grill is a metal back layer 1 described later.
When the heat absorbing film 2 and the heat absorbing film 13 are formed, they are temporarily removed. Then, the inside of the vacuum chamber 23 is evacuated by a pump or the like (not shown), and the vacuum heater 23 is energized when the pressure of the vacuum chamber 23 becomes lower than a predetermined pressure. That is, the button of the operation unit 24 is operated to connect the heater power supply 10 to the vapor deposition heater 5 via the power cords 9, 9 to heat the vapor deposition heater 5. Assuming that the vapor deposition heater 5 and the grooves A and B have, for example, the shape shown in the shape 4 and the voltage is set to 10.5 V, the temperature reached in the groove A is 1290 ° C. and the temperature reached in the groove B is 1900 ° C.

【0030】蒸着ヒーター5が加熱されると、先ず溝部
5a-1(溝部A)がアルミニウムの融点である約660
℃に到達してメタルバック用蒸着材料7であるアルミニ
ウム材が蒸発し、パネル2の蛍光体層3の内面に蒸着
し、図6に示すようにメタルバック層12を形成する。
When the deposition heater 5 is heated, first, the groove 5a-1 (groove A) has a melting point of about 660, which is the melting point of aluminum.
When the temperature reaches ° C., the aluminum material as the metal back vapor deposition material 7 evaporates and is vapor-deposited on the inner surface of the phosphor layer 3 of the panel 2 to form the metal back layer 12 as shown in FIG.

【0031】次いで、溝部5b-1(溝部B)がクロムの
融点である約1900℃に到達して熱吸収膜用蒸着材料
8であるクロム材が蒸発し、メタルバック層12の内面
に蒸着して、図7に示すように熱吸収膜13を形成す
る。
Next, when the groove 5b-1 (groove B) reaches about 1900 ° C., which is the melting point of chromium, the chromium material as the heat absorbing film deposition material 8 evaporates and is deposited on the inner surface of the metal back layer 12. Thus, a heat absorbing film 13 is formed as shown in FIG.

【0032】この際、図8に示すように、溝部5a-1
(溝部A)と溝部5b-1(溝部B)は到達温度が約12
00度異なり温度差が大きいので、溝部Aは溝部Bより
速く所定の到達温度に到達し、必ずアルミニウムが先に
蒸着して時間tの間にメタルバック層12が形成され、
クロムが後に蒸着してメタルバック層12の内面に熱吸
収膜13が形成される。
At this time, as shown in FIG. 8, the groove 5a-1
(Groove A) and Groove 5b-1 (Groove B) have a temperature of about 12
Since the temperature difference differs by 00 degrees, the groove portion A reaches the predetermined temperature faster than the groove portion B, and the metal back layer 12 is formed during the time t by always depositing aluminum first,
Chromium is deposited later to form a heat absorbing film 13 on the inner surface of the metal back layer 12.

【0033】これにより、一旦メタルバック層12が形
成されてから熱吸収膜13が形成されるので、2層構造
が明確に形成され、メタルバック層12及び熱吸収膜1
3が十分その機能を発揮することができる。なお、図8
中、tは溝部Aの到達温度達成時から溝部Bの到達温度
達成時までの経過時間を示している。
As a result, the heat absorption film 13 is formed after the metal back layer 12 is formed once, so that the two-layer structure is clearly formed, and the metal back layer 12 and the heat absorption film 1 are formed.
3 can sufficiently exhibit its function. FIG.
In the figure, t indicates the elapsed time from the time when the temperature of the groove A is reached to the time when the temperature of the groove B is achieved.

【0034】従って、単一の蒸着ヒーター5の到達温度
の異なる2つの溝部5a-1,5b-1により、それぞれ異
なる蒸着温度のメタルバック用蒸着材料7と熱吸収膜用
蒸着材料8を一度に加熱し順次蒸着させ、メタルバック
層と熱吸収膜を順次形成することができる。このため、
メタルバック用の蒸着ヒーターと熱吸収膜用の蒸着ヒー
ターを別々に設ける必要がなく、単一の蒸着ヒーターで
よく、蒸着ヒーター数を減らし、それに伴い蒸着ヒータ
ー用電源の数も減らすことができ、カラー陰極線管の製
造コストを削減することができると共に、蒸着ヒーター
のレイアウト等設備仕様を簡易化することができる。
Therefore, the metal back deposition material 7 and the heat absorbing film deposition material 8 at different deposition temperatures are simultaneously formed by the two grooves 5a-1 and 5b-1 at different temperatures reached by the single deposition heater 5. By heating and sequentially depositing, a metal back layer and a heat absorbing film can be sequentially formed. For this reason,
There is no need to provide a separate deposition heater for the metal back and a deposition heater for the heat absorbing film, a single deposition heater is sufficient, and the number of deposition heaters can be reduced, and the number of deposition heater power supplies can be reduced accordingly. The manufacturing cost of the color cathode ray tube can be reduced, and the equipment specifications such as the layout of the vapor deposition heater can be simplified.

【0035】特に、蒸着ヒーター5をパネル2のセンタ
ーに配置することができるので、蒸着ヒーターのレイア
ウトを極めて簡易にすることができる。
In particular, since the deposition heater 5 can be disposed at the center of the panel 2, the layout of the deposition heater can be extremely simplified.

【0036】更に、蒸着ヒーター数と蒸着ヒーター用電
源数の減少に伴い、管理すべき設備が減ることになり、
蒸着ヒーターの交換等の設備の保守管理を軽減すること
ができる。
Further, as the number of vapor deposition heaters and the number of power supplies for vapor deposition heaters decrease, the number of facilities to be managed decreases.
Maintenance management of equipment such as replacement of a deposition heater can be reduced.

【0037】なお、上述実施の形態では、熱吸収のよい
物質としてクロムを用いたが、これに限らず、マンガ
ン、錫等他の熱吸収のよい物質を用いてもよいことは勿
論である。蒸着ヒーター5をボロンナイトライド(窒化
ほう素)ヒーターとしたが、これに限らず、タングステ
ンヒーター等他のヒーターであってもよいことは勿論で
ある。
In the above-described embodiment, chromium is used as the material having good heat absorption. However, the present invention is not limited to this. Of course, other materials having good heat absorption such as manganese and tin may be used. Although the vapor deposition heater 5 is a boron nitride (boron nitride) heater, it is needless to say that the present invention is not limited to this, and another heater such as a tungsten heater may be used.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
部分によって到達温度差が生じる単一ヒーターにより蒸
着温度の異なる複数の物質を一度に加熱し順次蒸着させ
てメタルバック層と熱吸収膜を形成するので、メタルバ
ック用のヒーターと熱吸収膜用のヒーターを別々に設け
る必要がなく、単一のヒーターでよく、ヒーター数を減
らし、それに伴いヒーター用電源の数も減らすことがで
き、カラー陰極線管の製造コストを削減することができ
ると共に、ヒーターのレイアウト等設備仕様を簡易化す
ることができる。更に、ヒーター数とヒーター用電源数
の減少に伴い、管理すべき設備が大幅に減り、ヒーター
の交換等の設備の保守管理を軽減することができる。
As described above, according to the present invention,
A single heater, which has a difference in ultimate temperature depending on the part, heats multiple substances with different deposition temperatures at once and deposits them sequentially to form a metal back layer and a heat absorbing film. There is no need to provide separate heaters, a single heater is sufficient, the number of heaters can be reduced, and the number of power supplies for heaters can be reduced accordingly, and the cost of manufacturing color cathode ray tubes can be reduced. Equipment specifications such as layout can be simplified. Further, as the number of heaters and the number of power supplies for heaters decrease, the number of facilities to be managed is greatly reduced, and maintenance management of facilities such as replacement of heaters can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態で用いる真空蒸着装置にお
ける真空室を示す概略側断面図である。
FIG. 1 is a schematic side sectional view showing a vacuum chamber in a vacuum evaporation apparatus used in one embodiment of the present invention.

【図2】一実施形態で用いる真空蒸着装置の側面図であ
る。
FIG. 2 is a side view of a vacuum evaporation apparatus used in one embodiment.

【図3】蒸着ヒーターの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a deposition heater.

【図4】蒸着ヒーターと溝部の形状例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing examples of shapes of a vapor deposition heater and a groove.

【図5】各形状毎の溝部の到達温度を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an attained temperature of a groove for each shape.

【図6】パネル内面の蛍光体層上にメタルバック層を形
成する工程の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory view of a step of forming a metal back layer on the phosphor layer on the inner surface of the panel.

【図7】メタルバック層上に熱吸収膜を形成する工程の
説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a step of forming a heat absorbing film on a metal back layer.

【図8】溝部Aと溝部Bの到達温度に達する時間を示す
図である。
FIG. 8 is a diagram showing a time required to reach a temperature reached by a groove A and a groove B.

【図9】カラー陰極線管の要部構成の一例を示す概略側
断面図である。
FIG. 9 is a schematic side sectional view showing an example of a main part configuration of a color cathode ray tube.

【図10】従来のメタルバック層を形成する工程の説明
図である。
FIG. 10 is an explanatory view of a step of forming a conventional metal back layer.

【図11】従来の熱吸収膜を形成する工程の説明図であ
る。
FIG. 11 is an explanatory diagram of a step of forming a conventional heat absorbing film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2・・・パネル、3・・・蛍光体層、5・・・蒸着ヒー
ター(ヒーター)、5a・・・幅広の部分、5b・・・
幅狭の部分、5a-1・・・溝部(溝部A)、5b-1・・
・溝部(溝部B)、7・・・メタルバック用蒸着材料
(アルミニウム)、8・・・熱吸収膜用蒸着材料、10
・・・ヒーター電源、12・・・メタルバック層、13
・・・熱吸収膜、21・・・真空蒸着装置、23・・・
真空室
2 ... panel, 3 ... phosphor layer, 5 ... vapor deposition heater (heater), 5a ... wide part, 5b ...
Narrow portion, 5a-1 ... groove (groove A), 5b-1 ...
・ Groove (groove B), 7: evaporation material for metal back (aluminum), 8: evaporation material for heat absorbing film, 10
... heater power supply, 12 ... metal back layer, 13
... Heat absorbing film, 21 ... Vacuum deposition device, 23 ...
Vacuum chamber

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パネルの内面の蛍光体層上にメタルバッ
ク層を形成する工程と、前記メタルバック層上に熱吸収
膜を形成する工程とを有するカラー陰極線管の製造方法
において、 部分によって到達温度差が生じる単一ヒーターにより蒸
着温度の異なる複数の物質を一度に加熱し順次蒸着させ
て前記メタルバック層と前記熱吸収膜を形成することを
特徴とするカラー陰極線管の製造方法。
1. A method for manufacturing a color cathode ray tube, comprising: a step of forming a metal back layer on a phosphor layer on an inner surface of a panel; and a step of forming a heat absorbing film on the metal back layer. A method for manufacturing a color cathode ray tube, wherein a plurality of substances having different deposition temperatures are heated at a time by a single heater having a temperature difference and are sequentially deposited to form the metal back layer and the heat absorbing film.
【請求項2】 前記ヒーターは到達温度の異なる複数の
溝部を有し、この複数の溝部に前記蒸着温度の異なる複
数の物質をそれぞれ供給し、この蒸着温度の異なる複数
の物質を一度に加熱し順次蒸着させることを特徴とする
請求項1に記載のカラー陰極線管の製造方法。
2. The heater has a plurality of grooves having different arrival temperatures, supplies a plurality of substances having different deposition temperatures to the plurality of grooves, respectively, and heats the plurality of substances having different deposition temperatures at a time. 2. The method according to claim 1, wherein the deposition is performed sequentially.
【請求項3】 前記溝部の形状を変えることにより溝部
の到達温度を変更できることを特徴とする請求項2に記
載のカラー陰極線管の製造方法。
3. The method according to claim 2, wherein the ultimate temperature of the groove can be changed by changing the shape of the groove.
【請求項4】 前記ヒーターの形状を変えることにより
前記溝部の到達温度を変更できることを特徴とする請求
項2に記載のカラー陰極線管の製造方法。
4. The method for manufacturing a color cathode ray tube according to claim 2, wherein the ultimate temperature of the groove can be changed by changing the shape of the heater.
【請求項5】 前記ヒーターの形状と前記溝部の形状を
変えることにより溝部の到達温度を変更できることを特
徴とする請求項2に記載のカラー陰極線管の製造方法。
5. The method for manufacturing a color cathode ray tube according to claim 2, wherein the ultimate temperature of the groove can be changed by changing the shape of the heater and the shape of the groove.
【請求項6】 前記蒸着温度の異なる複数の物質がアル
ミニウムと熱吸収のよい物質であることを特徴とする請
求項1に記載のカラー陰極線管の製造方法。
6. The method according to claim 1, wherein the plurality of materials having different deposition temperatures are materials having good heat absorption with aluminum.
【請求項7】 パネルの内面の蛍光体層上にメタルバッ
ク層が形成され、このメタルバック層上に熱吸収膜が形
成されたカラー陰極線管において、 前記メタルバック層と前記熱吸収膜は、部分によって到
達温度差が生じる単一ヒーターにより蒸着温度の異なる
複数の物質を一度に加熱し順次蒸着させて形成されたこ
とを特徴とするカラー陰極線管。
7. A color cathode ray tube in which a metal back layer is formed on a phosphor layer on an inner surface of a panel, and a heat absorbing film is formed on the metal back layer, wherein the metal back layer and the heat absorbing film are A color cathode ray tube formed by heating a plurality of substances having different deposition temperatures at a time by a single heater in which an attained temperature difference occurs depending on portions, and sequentially depositing the materials.
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