JP2002170830A - 搬送レール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送路内の酸素濃度をより低下させることが
できる搬送レールを提供する。 【解決手段】 ヒートブロック１１の搬送路２３の両脇
に、凹溝３１を切削加工して、ヒートブロック１１とカ
バー１２間にガスの供給路３３を形成する。搬送路２３
と供給路３３，３３間に細溝４１を多数切削加工して、
ヒートブロック１１とカバー１２間に、供給路３３のガ
スを搬送路２３へ送出するガス送出路４２を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップがボンディ
ングされるリードフレームを搬送するための搬送レール
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体などのチップをボンディン
グするダイボンダにリードフレームを搬送する際には、
図４に示すような搬送レール１０１が用いられていた。

【０００３】図４は、その搬送レール１０１を示す断面
図であり、該搬送レール１０１は、ヒートブロック１１
１と、ヒートブロック１１１上に設けられたカバー１１
２とにより構成されており、前記ヒートブロック１１１
上面１１３には、リードフレーム１１４が搬送される搬
送路１１５が凹設されている。この搬送路１１５は、前
記カバー１１２が複数箇所にてボルトで固定されること
により、上部が閉鎖されるように構成されており、当該
搬送路１１５の下部には、図外のヒータが内蔵されてい
る。これにより、下流にてボンディングされる搬送路１
１５上のリードフレーム１１４を加熱できるように構成
されている。

【０００４】前記ヒートブロック１１１には、一対の円
形穴１２１，１２１が前記搬送路１１５に沿って穿孔さ
れており、該搬送路１１５の底面には、この円形穴１２
１，１２１に連通する直径約０．６ｍｍの小孔１２２，
・・・が複数箇所に穿孔されている。前記円形穴１２１
には、加熱されたリードフレーム１１４の酸化を抑制す
るためのガス（窒素と水素の混合ガス）が供給されてお
り、当該ガスが前記搬送路１１５内に送出され充満する
ことで、前記リードフレーム１１４の酸化を防止できる
ように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな搬送レール１０１においては、加工荒さによってヒ
ートブロック１１１上面１１３とカバー１１２との間に
小さな隙間が形成されてしまう。また、前記ヒートブロ
ック１１１は、ヒータにより加熱されるため、熱変形が
生じやすく、前記隙間の発生を助長してしまう。

【０００６】一方、搬送路１１５内へ送出されたガス
は、搬送路１１５に沿って流れるため、ベルヌーイの定
理により小さな前記隙間に負圧が発生する。これによ
り、前記ヒートブロック１１１とカバー１１２間に生じ
た隙間から大気を巻き込みやすく、搬送路１１５内の酸
素濃度を所定値より低下させることが困難であった。

【０００７】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、搬送路内の酸素濃度をより低下さ
せることができる搬送レールを提供することを目的とす
るものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の請求項１の搬送レールにあっては、リードフ
レーム搬送用の搬送路が凹設されたヒートブロックと、
該ヒートブロックの上面に面接して前記搬送路上部を覆
うカバーとからなり、リードフレーム酸化抑制用のガス
を前記搬送路へ供給するための供給路が設けられた搬送
レールにおいて、前記搬送路の両脇に位置する前記ヒー
トブロックの上面に凹溝を延設して、前記ヒートブロッ
クと前記カバーとの間に、前記搬送路に沿った前記供給
路を形成した。

【０００９】すなわち、ヒートブロックに凹設された搬
送路の両脇上面には、カバーが面接した状態で固定され
るが、加工荒さや熱変形によって隙間が生じる。しか
し、この上面には、酸化抑制用のガスが通流する供給路
が形成されており、前記搬送路と外部との間には、前記
供給路が介在する。これにより、前記搬送路への大気の
直接の進入が防止される。また、この供給路には、前記
ガスが供給されており、正圧に保たれる。このため、こ
のガスが、前記隙間を介して外部へ漏れることにより、
大気の進入が確実に防止される。

【００１０】そして、この供給路は、ヒートブロック上
面が加工されることにより形成される。

【００１１】また、請求項２の搬送レールにおいては、
前記搬送路と前記供給路との間に、前記ガスを前記搬送
路内へ略水平方向に送出するガス送出路を形成した。

【００１２】すなわち、搬送路内には、ガス送出路から
のガスが略水平方向に送出されるので、搬送路内でのガ
スの乱流が防止される。

【００１３】さらに、請求項３の搬送レールでは、前記
搬送路と前記供給路との間に、複数の細溝を前記搬送路
に沿って並設して、前記ヒートブロックと前記カバーと
の間に前記ガス送出路を形成した。

【００１４】すなわち、前記ガス送出路は、ヒートブロ
ック上面の前記搬送路と供給路間が加工されることによ
り形成される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる搬送
レール１を示す平面図であり（後述するカバーが取り外
された状態を図示）、該搬送レール１は、半導体などの
チップをボンディングするダイボンダへリードフレーム
を搬送するために用いられるものである。

【００１６】この搬送レール１は、図２に示すように、
下部を構成するヒートブロック１１と、該ヒートブロッ
ク１１上に配設されたカバー１２とからなり、該カバー
１２は、図外の複数箇所がボルトによって前記ヒートブ
ロック１１に固定されている。該ヒートブロック１１及
び前記カバー１２は、酸窒化ホモ処理されたプリハード
ン鋼により形成されており、酸化防止対策がなされてい
る。

【００１７】前記ヒートブロック１１の上面２１には、
長尺状のリードフレーム２２が搬送される搬送路２３が
切削加工によって凹設されており、該搬送路２３の両側
部には、前記リードフレーム２２の両側部を支持する段
部２４，２４が形成されている。この搬送路２３の下部
には、図外のヒータが複数配設されており、図１に示し
たように、下流に設けられたボンディングポイント２５
にてチップがボンディングされる搬送路２３上のリード
フレーム２２を加熱できるように構成されている。

【００１８】前記搬送路２３の両脇に位置する前記ヒー
トブロック１１上面２１には、搬送路２３に沿って延在
する断面矩形状の凹溝３１，３１が切削加工されてお
り、その両端部３２，３２は、閉鎖されている（下流側
のみ図示）。これら凹溝３１，３１によって前記ヒート
ブロック１１と前記カバー１２との間に形成された供給
路３３，３３には、窒素と水素の混合気体からなる酸化
抑制用のガスが供給される供給部が設けられており（図
示せず）、このガスを前記搬送路２３に供給して充満さ
せることで、金属製のリードフレーム２２の酸化を防止
できるように構成されている。

【００１９】前記搬送路２３と前記供給路３３，３３と
の間に位置する上面２１には、ヒートブロック１１の幅
方向に延在する断面矩形状の細溝４１，・・・が多数切
削加工されており、各細溝４１，・・・は、前記搬送路
２３に沿って等間隔に並設されている。これにより、前
記ヒートブロック１１と前記カバー１２との間には、前
記供給路３３，３３のガスを搬送路２３内へ、当該ヒー
トブロック１１の幅方向へ略水平に送出するガス送出路
４２，・・・が形成されている。

【００２０】一方、前記カバー１２は、図２に示したよ
うに、基部５１と該基部５１の両側部から下方に延出し
たフランジ部５２，５２とにより一体形成されている。
このカバー１２は、前記ヒートブロック１１に固定され
た状態で、前記基部５１が前記搬送路２３両脇の上面２
１に面接して、前記搬送路２３、前記供給路３３，３
３、及び総てのガス送出路４２，・・・の上部を覆った
状態で閉鎖するように構成されている。また、固定状態
において、前記両フランジ部５２，５２がヒートブロッ
ク１１上部に外嵌して、前記ガスの側部からの漏れを抑
えられるように構成されている。

【００２１】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、ヒートブロック１１に凹設された搬送路２３の両脇
上面２１には、カバー１２が面接した状態で固定される
が、図３に示すように、加工荒さや熱変形によって隙間
Ｓが生じる。しかし、この上面２１には、酸化抑制用の
ガスが通流する供給路３３が形成されており、前記搬送
路２３と外部６１との間には、前記供給路３３が介在す
ることとなる。このため、前記搬送路２３への大気の直
接の進入を防止することができるとともに、搬送路２３
を流れるガスにより生じた負圧による大気の巻き込みを
阻止することができる。また、この供給路３３，３３内
は、前記ガスが供給されることによって正圧に保たれて
おり、このガスＧ１が、ヒートブロック１１とカバー１
２間に形成される隙間Ｓから外部６１へ漏れることで、
大気の進入を確実に防止することができる。

【００２２】したがって、加工荒さや熱変形によってヒ
ートブロック１１とカバー１２間に形成される隙間Ｓか
ら大気が進入してしまう従来と比較して、搬送路２３内
の酸素濃度を低下させることができる。

【００２３】そして、この供給路３３，３３は、ヒート
ブロック１１の上面２１に設けられており、当該上面２
１を切削加工することで容易に形成することができる。
また、上面２１からの加工により形成することができる
ので、供給路３３，３３の大径化を容易に図ることがで
きる。これにより、当該供給路３３，３３を通流するガ
スの流速の増大を防ぐことができ、ベルヌーイの定理に
よる負圧の発生に起因した大気の巻き込み防止を抑制す
ることができる。

【００２４】また、前記ヒートブロック１１に全長に渡
る円形穴を穿孔して供給路３３，３３を形成する場合と
比較して、長尺な供給路３３，３３を形成することがで
きる。これに伴い、長尺なヒートブロック１１の製造が
可能となり、搬送レール１の成形精度を高めつつ、製造
コストを抑えるこができる。

【００２５】さらに、前記搬送路２３にガスＧ２を送出
するガス送出路４２，・・・は、ヒートブロック１１の
上面２１に設けられており、当該上面２１を切削加工す
ることで容易に形成することができる。さらに、上面２
１での加工により形成することが可能なので、搬送路２
３の底面に、下部に設けられた供給路に連通する小孔を
設けなければならなかった従来と比較して、ガス送出路
４２，・・・を、本実施の形態のように、細かなピッチ
で搬送路２３に沿って多数並設することができる。これ
により、ヒートブロック１１の幅方向に送出されるガス
Ｇ２を搬送路２３の全域に渡って均一に分布することで
き、前記ガスＧ２による酸化抑制効果を高めることがで
きる。

【００２６】そして、このガス送出路４２，・・・は、
略水平に切削加工された細溝４１，・・・によって構成
されており、各ガス送出路４２，・・・からのガスＧ２
を搬送路２３内へ略水平方向に送出し、リードフレーム
２２の上面に沿って流すことができる。これにより、搬
送路２３内でのガスＧ２の乱流を防止することができる
ので、下方から噴出されたガスが、リードフレーム２２
下面に垂直に当接し、搬送路２３内に乱流を生じさせて
しまう従来と比較して、乱流に起因した負圧による大気
の巻き込みをも防止することができる。

【００２７】なお、本実施の形態にあっては、ヒートブ
ロック１１の搬送路２３と供給路３３，３３との間に、
多数の細溝４１，・・・を設けて、供給路３３，３３の
ガスを搬送路２３に送出するガス送出路４２，・・・を
形成した場合を例に挙げて説明したが、これに限定され
るものではなく、例えば、搬送路２３と供給路３３，３
３との間の全域に浅い段部を形成したり、供給路３３，
３３の側壁に搬送路２３に連通する小孔を開設してガス
送出路４２，・・・を形成しても良い。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１の
搬送レールにあっては、ヒートブロックに形成された搬
送路と外部との間に、酸化抑制用のガスが通流する供給
路を介在させることで、前記搬送路への大気の直接の進
入を防止することができるとともに、搬送路を流れるガ
スにより生じた負圧による大気の巻き込みを阻止するこ
とができる。また、この供給路内は、前記ガスが供給さ
れることによって正圧に保たれており、このガスが、ヒ
ートブロックとカバー間に形成される隙間から外部へ漏
れることで、大気の進入を確実に防止することができ
る。

【００２９】したがって、加工荒さや熱変形によってヒ
ートブロックとカバー間に形成される隙間から大気が進
入してしまう従来と比較して、搬送路内の酸素濃度を低
下させることができる。

【００３０】そして、この供給路は、ヒートブロック上
面を、例えば切削加工することで容易に形成することが
できる。また、上面からの加工により形成することがで
きるので、供給路の大径化を容易に図ることができる。
これにより、当該供給路を通流するガスの流速の増大を
防ぐことができ、ベルヌーイの定理による負圧の発生に
起因した大気の巻き込み防止を抑制することができる。

【００３１】さらに、ヒートブロックに全長に渡る円形
穴を穿孔して供給路を形成する場合と比較して、長尺な
供給路を形成することができる。これに伴い、長尺なヒ
ートブロックの製造が可能となり、搬送レールの成形精
度を高めることができるとともに、製造コストを抑える
こができる。

【００３２】また、請求項２の搬送レールにおいては、
ガス送出路からのガスを搬送路内へ略水平方向に送出し
リードフレームに沿って流すことで、搬送路内でのガス
の乱流を防止することができる。したがって、下方から
噴出されたガスが、リードフレームに垂直に当接し、搬
送路内に乱流を生じさせてしまう従来と比較して、乱流
に起因した負圧による大気の巻き込みをも防止すること
ができる。

【００３３】さらに、請求項３の搬送レールでは、ヒー
トブロック上面の前記搬送路と供給路間を、例えば切削
加工することで、前記ガス送出路を容易に形成すること
ができる。また、上面での加工により形成することがで
きるので、搬送路の底面に下部の円形穴に連通する小孔
を設けなければならなかった従来と比較して、多数のガ
ス送出路を細かなピッチで搬送路に沿って並設すること
ができる。これにより、前記ガスを搬送路の全域に渡っ
て均一に分布することでき、前記ガスによる酸化抑制効
果を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面に相当する図である。

【図３】図２の要部拡大図である。

【図４】従来の搬送レールを示す要部の断面図である。

【符号の説明】

１ 搬送レール １１ ヒートブロック １２ カバー ２１ 上面 ２２ リードフレーム ２３ 搬送路 ３１ 凹溝 ３３ 供給路 ４１ 細溝 ４２ ガス送出路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リードフレーム搬送用の搬送路が凹設さ
   れたヒートブロックと、該ヒートブロックの上面に面接
   して前記搬送路上部を覆うカバーとからなり、リードフ
   レーム酸化抑制用のガスを前記搬送路へ供給するための
   供給路が設けられた搬送レールにおいて、 前記搬送路の両脇に位置する前記ヒートブロックの上面
   に凹溝を延設して、前記ヒートブロックと前記カバーと
   の間に、前記搬送路に沿った前記供給路を形成したこと
   を特徴とする搬送レール。
2. 【請求項２】 前記搬送路と前記供給路との間に、前記
   ガスを前記搬送路内へ略水平方向に送出するガス送出路
   を形成したことを特徴とする請求項１記載の搬送レー
   ル。
3. 【請求項３】 前記搬送路と前記供給路との間に、複数
   の細溝を前記搬送路に沿って並設して、前記ヒートブロ
   ックと前記カバーとの間に前記ガス送出路を形成したこ
   とを特徴とする請求項２記載の搬送レール。