JP2002170830A - 搬送レール - Google Patents
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- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 5
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- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
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Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送路内の酸素濃度をより低下させることが
できる搬送レールを提供する。 【解決手段】 ヒートブロック11の搬送路23の両脇
に、凹溝31を切削加工して、ヒートブロック11とカ
バー12間にガスの供給路33を形成する。搬送路23
と供給路33,33間に細溝41を多数切削加工して、
ヒートブロック11とカバー12間に、供給路33のガ
スを搬送路23へ送出するガス送出路42を形成する。
できる搬送レールを提供する。 【解決手段】 ヒートブロック11の搬送路23の両脇
に、凹溝31を切削加工して、ヒートブロック11とカ
バー12間にガスの供給路33を形成する。搬送路23
と供給路33,33間に細溝41を多数切削加工して、
ヒートブロック11とカバー12間に、供給路33のガ
スを搬送路23へ送出するガス送出路42を形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップがボンディ
ングされるリードフレームを搬送するための搬送レール
に関する。
ングされるリードフレームを搬送するための搬送レール
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体などのチップをボンディン
グするダイボンダにリードフレームを搬送する際には、
図4に示すような搬送レール101が用いられていた。
グするダイボンダにリードフレームを搬送する際には、
図4に示すような搬送レール101が用いられていた。
【0003】図4は、その搬送レール101を示す断面
図であり、該搬送レール101は、ヒートブロック11
1と、ヒートブロック111上に設けられたカバー11
2とにより構成されており、前記ヒートブロック111
上面113には、リードフレーム114が搬送される搬
送路115が凹設されている。この搬送路115は、前
記カバー112が複数箇所にてボルトで固定されること
により、上部が閉鎖されるように構成されており、当該
搬送路115の下部には、図外のヒータが内蔵されてい
る。これにより、下流にてボンディングされる搬送路1
15上のリードフレーム114を加熱できるように構成
されている。
図であり、該搬送レール101は、ヒートブロック11
1と、ヒートブロック111上に設けられたカバー11
2とにより構成されており、前記ヒートブロック111
上面113には、リードフレーム114が搬送される搬
送路115が凹設されている。この搬送路115は、前
記カバー112が複数箇所にてボルトで固定されること
により、上部が閉鎖されるように構成されており、当該
搬送路115の下部には、図外のヒータが内蔵されてい
る。これにより、下流にてボンディングされる搬送路1
15上のリードフレーム114を加熱できるように構成
されている。
【0004】前記ヒートブロック111には、一対の円
形穴121,121が前記搬送路115に沿って穿孔さ
れており、該搬送路115の底面には、この円形穴12
1,121に連通する直径約0.6mmの小孔122,
・・・が複数箇所に穿孔されている。前記円形穴121
には、加熱されたリードフレーム114の酸化を抑制す
るためのガス(窒素と水素の混合ガス)が供給されてお
り、当該ガスが前記搬送路115内に送出され充満する
ことで、前記リードフレーム114の酸化を防止できる
ように構成されている。
形穴121,121が前記搬送路115に沿って穿孔さ
れており、該搬送路115の底面には、この円形穴12
1,121に連通する直径約0.6mmの小孔122,
・・・が複数箇所に穿孔されている。前記円形穴121
には、加熱されたリードフレーム114の酸化を抑制す
るためのガス(窒素と水素の混合ガス)が供給されてお
り、当該ガスが前記搬送路115内に送出され充満する
ことで、前記リードフレーム114の酸化を防止できる
ように構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな搬送レール101においては、加工荒さによってヒ
ートブロック111上面113とカバー112との間に
小さな隙間が形成されてしまう。また、前記ヒートブロ
ック111は、ヒータにより加熱されるため、熱変形が
生じやすく、前記隙間の発生を助長してしまう。
うな搬送レール101においては、加工荒さによってヒ
ートブロック111上面113とカバー112との間に
小さな隙間が形成されてしまう。また、前記ヒートブロ
ック111は、ヒータにより加熱されるため、熱変形が
生じやすく、前記隙間の発生を助長してしまう。
【0006】一方、搬送路115内へ送出されたガス
は、搬送路115に沿って流れるため、ベルヌーイの定
理により小さな前記隙間に負圧が発生する。これによ
り、前記ヒートブロック111とカバー112間に生じ
た隙間から大気を巻き込みやすく、搬送路115内の酸
素濃度を所定値より低下させることが困難であった。
は、搬送路115に沿って流れるため、ベルヌーイの定
理により小さな前記隙間に負圧が発生する。これによ
り、前記ヒートブロック111とカバー112間に生じ
た隙間から大気を巻き込みやすく、搬送路115内の酸
素濃度を所定値より低下させることが困難であった。
【0007】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、搬送路内の酸素濃度をより低下さ
せることができる搬送レールを提供することを目的とす
るものである。
なされたものであり、搬送路内の酸素濃度をより低下さ
せることができる搬送レールを提供することを目的とす
るものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の請求項1の搬送レールにあっては、リードフ
レーム搬送用の搬送路が凹設されたヒートブロックと、
該ヒートブロックの上面に面接して前記搬送路上部を覆
うカバーとからなり、リードフレーム酸化抑制用のガス
を前記搬送路へ供給するための供給路が設けられた搬送
レールにおいて、前記搬送路の両脇に位置する前記ヒー
トブロックの上面に凹溝を延設して、前記ヒートブロッ
クと前記カバーとの間に、前記搬送路に沿った前記供給
路を形成した。
に本発明の請求項1の搬送レールにあっては、リードフ
レーム搬送用の搬送路が凹設されたヒートブロックと、
該ヒートブロックの上面に面接して前記搬送路上部を覆
うカバーとからなり、リードフレーム酸化抑制用のガス
を前記搬送路へ供給するための供給路が設けられた搬送
レールにおいて、前記搬送路の両脇に位置する前記ヒー
トブロックの上面に凹溝を延設して、前記ヒートブロッ
クと前記カバーとの間に、前記搬送路に沿った前記供給
路を形成した。
【0009】すなわち、ヒートブロックに凹設された搬
送路の両脇上面には、カバーが面接した状態で固定され
るが、加工荒さや熱変形によって隙間が生じる。しか
し、この上面には、酸化抑制用のガスが通流する供給路
が形成されており、前記搬送路と外部との間には、前記
供給路が介在する。これにより、前記搬送路への大気の
直接の進入が防止される。また、この供給路には、前記
ガスが供給されており、正圧に保たれる。このため、こ
のガスが、前記隙間を介して外部へ漏れることにより、
大気の進入が確実に防止される。
送路の両脇上面には、カバーが面接した状態で固定され
るが、加工荒さや熱変形によって隙間が生じる。しか
し、この上面には、酸化抑制用のガスが通流する供給路
が形成されており、前記搬送路と外部との間には、前記
供給路が介在する。これにより、前記搬送路への大気の
直接の進入が防止される。また、この供給路には、前記
ガスが供給されており、正圧に保たれる。このため、こ
のガスが、前記隙間を介して外部へ漏れることにより、
大気の進入が確実に防止される。
【0010】そして、この供給路は、ヒートブロック上
面が加工されることにより形成される。
面が加工されることにより形成される。
【0011】また、請求項2の搬送レールにおいては、
前記搬送路と前記供給路との間に、前記ガスを前記搬送
路内へ略水平方向に送出するガス送出路を形成した。
前記搬送路と前記供給路との間に、前記ガスを前記搬送
路内へ略水平方向に送出するガス送出路を形成した。
【0012】すなわち、搬送路内には、ガス送出路から
のガスが略水平方向に送出されるので、搬送路内でのガ
スの乱流が防止される。
のガスが略水平方向に送出されるので、搬送路内でのガ
スの乱流が防止される。
【0013】さらに、請求項3の搬送レールでは、前記
搬送路と前記供給路との間に、複数の細溝を前記搬送路
に沿って並設して、前記ヒートブロックと前記カバーと
の間に前記ガス送出路を形成した。
搬送路と前記供給路との間に、複数の細溝を前記搬送路
に沿って並設して、前記ヒートブロックと前記カバーと
の間に前記ガス送出路を形成した。
【0014】すなわち、前記ガス送出路は、ヒートブロ
ック上面の前記搬送路と供給路間が加工されることによ
り形成される。
ック上面の前記搬送路と供給路間が加工されることによ
り形成される。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかる搬送
レール1を示す平面図であり(後述するカバーが取り外
された状態を図示)、該搬送レール1は、半導体などの
チップをボンディングするダイボンダへリードフレーム
を搬送するために用いられるものである。
に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかる搬送
レール1を示す平面図であり(後述するカバーが取り外
された状態を図示)、該搬送レール1は、半導体などの
チップをボンディングするダイボンダへリードフレーム
を搬送するために用いられるものである。
【0016】この搬送レール1は、図2に示すように、
下部を構成するヒートブロック11と、該ヒートブロッ
ク11上に配設されたカバー12とからなり、該カバー
12は、図外の複数箇所がボルトによって前記ヒートブ
ロック11に固定されている。該ヒートブロック11及
び前記カバー12は、酸窒化ホモ処理されたプリハード
ン鋼により形成されており、酸化防止対策がなされてい
る。
下部を構成するヒートブロック11と、該ヒートブロッ
ク11上に配設されたカバー12とからなり、該カバー
12は、図外の複数箇所がボルトによって前記ヒートブ
ロック11に固定されている。該ヒートブロック11及
び前記カバー12は、酸窒化ホモ処理されたプリハード
ン鋼により形成されており、酸化防止対策がなされてい
る。
【0017】前記ヒートブロック11の上面21には、
長尺状のリードフレーム22が搬送される搬送路23が
切削加工によって凹設されており、該搬送路23の両側
部には、前記リードフレーム22の両側部を支持する段
部24,24が形成されている。この搬送路23の下部
には、図外のヒータが複数配設されており、図1に示し
たように、下流に設けられたボンディングポイント25
にてチップがボンディングされる搬送路23上のリード
フレーム22を加熱できるように構成されている。
長尺状のリードフレーム22が搬送される搬送路23が
切削加工によって凹設されており、該搬送路23の両側
部には、前記リードフレーム22の両側部を支持する段
部24,24が形成されている。この搬送路23の下部
には、図外のヒータが複数配設されており、図1に示し
たように、下流に設けられたボンディングポイント25
にてチップがボンディングされる搬送路23上のリード
フレーム22を加熱できるように構成されている。
【0018】前記搬送路23の両脇に位置する前記ヒー
トブロック11上面21には、搬送路23に沿って延在
する断面矩形状の凹溝31,31が切削加工されてお
り、その両端部32,32は、閉鎖されている(下流側
のみ図示)。これら凹溝31,31によって前記ヒート
ブロック11と前記カバー12との間に形成された供給
路33,33には、窒素と水素の混合気体からなる酸化
抑制用のガスが供給される供給部が設けられており(図
示せず)、このガスを前記搬送路23に供給して充満さ
せることで、金属製のリードフレーム22の酸化を防止
できるように構成されている。
トブロック11上面21には、搬送路23に沿って延在
する断面矩形状の凹溝31,31が切削加工されてお
り、その両端部32,32は、閉鎖されている(下流側
のみ図示)。これら凹溝31,31によって前記ヒート
ブロック11と前記カバー12との間に形成された供給
路33,33には、窒素と水素の混合気体からなる酸化
抑制用のガスが供給される供給部が設けられており(図
示せず)、このガスを前記搬送路23に供給して充満さ
せることで、金属製のリードフレーム22の酸化を防止
できるように構成されている。
【0019】前記搬送路23と前記供給路33,33と
の間に位置する上面21には、ヒートブロック11の幅
方向に延在する断面矩形状の細溝41,・・・が多数切
削加工されており、各細溝41,・・・は、前記搬送路
23に沿って等間隔に並設されている。これにより、前
記ヒートブロック11と前記カバー12との間には、前
記供給路33,33のガスを搬送路23内へ、当該ヒー
トブロック11の幅方向へ略水平に送出するガス送出路
42,・・・が形成されている。
の間に位置する上面21には、ヒートブロック11の幅
方向に延在する断面矩形状の細溝41,・・・が多数切
削加工されており、各細溝41,・・・は、前記搬送路
23に沿って等間隔に並設されている。これにより、前
記ヒートブロック11と前記カバー12との間には、前
記供給路33,33のガスを搬送路23内へ、当該ヒー
トブロック11の幅方向へ略水平に送出するガス送出路
42,・・・が形成されている。
【0020】一方、前記カバー12は、図2に示したよ
うに、基部51と該基部51の両側部から下方に延出し
たフランジ部52,52とにより一体形成されている。
このカバー12は、前記ヒートブロック11に固定され
た状態で、前記基部51が前記搬送路23両脇の上面2
1に面接して、前記搬送路23、前記供給路33,3
3、及び総てのガス送出路42,・・・の上部を覆った
状態で閉鎖するように構成されている。また、固定状態
において、前記両フランジ部52,52がヒートブロッ
ク11上部に外嵌して、前記ガスの側部からの漏れを抑
えられるように構成されている。
うに、基部51と該基部51の両側部から下方に延出し
たフランジ部52,52とにより一体形成されている。
このカバー12は、前記ヒートブロック11に固定され
た状態で、前記基部51が前記搬送路23両脇の上面2
1に面接して、前記搬送路23、前記供給路33,3
3、及び総てのガス送出路42,・・・の上部を覆った
状態で閉鎖するように構成されている。また、固定状態
において、前記両フランジ部52,52がヒートブロッ
ク11上部に外嵌して、前記ガスの側部からの漏れを抑
えられるように構成されている。
【0021】以上の構成にかかる本実施の形態におい
て、ヒートブロック11に凹設された搬送路23の両脇
上面21には、カバー12が面接した状態で固定される
が、図3に示すように、加工荒さや熱変形によって隙間
Sが生じる。しかし、この上面21には、酸化抑制用の
ガスが通流する供給路33が形成されており、前記搬送
路23と外部61との間には、前記供給路33が介在す
ることとなる。このため、前記搬送路23への大気の直
接の進入を防止することができるとともに、搬送路23
を流れるガスにより生じた負圧による大気の巻き込みを
阻止することができる。また、この供給路33,33内
は、前記ガスが供給されることによって正圧に保たれて
おり、このガスG1が、ヒートブロック11とカバー1
2間に形成される隙間Sから外部61へ漏れることで、
大気の進入を確実に防止することができる。
て、ヒートブロック11に凹設された搬送路23の両脇
上面21には、カバー12が面接した状態で固定される
が、図3に示すように、加工荒さや熱変形によって隙間
Sが生じる。しかし、この上面21には、酸化抑制用の
ガスが通流する供給路33が形成されており、前記搬送
路23と外部61との間には、前記供給路33が介在す
ることとなる。このため、前記搬送路23への大気の直
接の進入を防止することができるとともに、搬送路23
を流れるガスにより生じた負圧による大気の巻き込みを
阻止することができる。また、この供給路33,33内
は、前記ガスが供給されることによって正圧に保たれて
おり、このガスG1が、ヒートブロック11とカバー1
2間に形成される隙間Sから外部61へ漏れることで、
大気の進入を確実に防止することができる。
【0022】したがって、加工荒さや熱変形によってヒ
ートブロック11とカバー12間に形成される隙間Sか
ら大気が進入してしまう従来と比較して、搬送路23内
の酸素濃度を低下させることができる。
ートブロック11とカバー12間に形成される隙間Sか
ら大気が進入してしまう従来と比較して、搬送路23内
の酸素濃度を低下させることができる。
【0023】そして、この供給路33,33は、ヒート
ブロック11の上面21に設けられており、当該上面2
1を切削加工することで容易に形成することができる。
また、上面21からの加工により形成することができる
ので、供給路33,33の大径化を容易に図ることがで
きる。これにより、当該供給路33,33を通流するガ
スの流速の増大を防ぐことができ、ベルヌーイの定理に
よる負圧の発生に起因した大気の巻き込み防止を抑制す
ることができる。
ブロック11の上面21に設けられており、当該上面2
1を切削加工することで容易に形成することができる。
また、上面21からの加工により形成することができる
ので、供給路33,33の大径化を容易に図ることがで
きる。これにより、当該供給路33,33を通流するガ
スの流速の増大を防ぐことができ、ベルヌーイの定理に
よる負圧の発生に起因した大気の巻き込み防止を抑制す
ることができる。
【0024】また、前記ヒートブロック11に全長に渡
る円形穴を穿孔して供給路33,33を形成する場合と
比較して、長尺な供給路33,33を形成することがで
きる。これに伴い、長尺なヒートブロック11の製造が
可能となり、搬送レール1の成形精度を高めつつ、製造
コストを抑えるこができる。
る円形穴を穿孔して供給路33,33を形成する場合と
比較して、長尺な供給路33,33を形成することがで
きる。これに伴い、長尺なヒートブロック11の製造が
可能となり、搬送レール1の成形精度を高めつつ、製造
コストを抑えるこができる。
【0025】さらに、前記搬送路23にガスG2を送出
するガス送出路42,・・・は、ヒートブロック11の
上面21に設けられており、当該上面21を切削加工す
ることで容易に形成することができる。さらに、上面2
1での加工により形成することが可能なので、搬送路2
3の底面に、下部に設けられた供給路に連通する小孔を
設けなければならなかった従来と比較して、ガス送出路
42,・・・を、本実施の形態のように、細かなピッチ
で搬送路23に沿って多数並設することができる。これ
により、ヒートブロック11の幅方向に送出されるガス
G2を搬送路23の全域に渡って均一に分布することで
き、前記ガスG2による酸化抑制効果を高めることがで
きる。
するガス送出路42,・・・は、ヒートブロック11の
上面21に設けられており、当該上面21を切削加工す
ることで容易に形成することができる。さらに、上面2
1での加工により形成することが可能なので、搬送路2
3の底面に、下部に設けられた供給路に連通する小孔を
設けなければならなかった従来と比較して、ガス送出路
42,・・・を、本実施の形態のように、細かなピッチ
で搬送路23に沿って多数並設することができる。これ
により、ヒートブロック11の幅方向に送出されるガス
G2を搬送路23の全域に渡って均一に分布することで
き、前記ガスG2による酸化抑制効果を高めることがで
きる。
【0026】そして、このガス送出路42,・・・は、
略水平に切削加工された細溝41,・・・によって構成
されており、各ガス送出路42,・・・からのガスG2
を搬送路23内へ略水平方向に送出し、リードフレーム
22の上面に沿って流すことができる。これにより、搬
送路23内でのガスG2の乱流を防止することができる
ので、下方から噴出されたガスが、リードフレーム22
下面に垂直に当接し、搬送路23内に乱流を生じさせて
しまう従来と比較して、乱流に起因した負圧による大気
の巻き込みをも防止することができる。
略水平に切削加工された細溝41,・・・によって構成
されており、各ガス送出路42,・・・からのガスG2
を搬送路23内へ略水平方向に送出し、リードフレーム
22の上面に沿って流すことができる。これにより、搬
送路23内でのガスG2の乱流を防止することができる
ので、下方から噴出されたガスが、リードフレーム22
下面に垂直に当接し、搬送路23内に乱流を生じさせて
しまう従来と比較して、乱流に起因した負圧による大気
の巻き込みをも防止することができる。
【0027】なお、本実施の形態にあっては、ヒートブ
ロック11の搬送路23と供給路33,33との間に、
多数の細溝41,・・・を設けて、供給路33,33の
ガスを搬送路23に送出するガス送出路42,・・・を
形成した場合を例に挙げて説明したが、これに限定され
るものではなく、例えば、搬送路23と供給路33,3
3との間の全域に浅い段部を形成したり、供給路33,
33の側壁に搬送路23に連通する小孔を開設してガス
送出路42,・・・を形成しても良い。
ロック11の搬送路23と供給路33,33との間に、
多数の細溝41,・・・を設けて、供給路33,33の
ガスを搬送路23に送出するガス送出路42,・・・を
形成した場合を例に挙げて説明したが、これに限定され
るものではなく、例えば、搬送路23と供給路33,3
3との間の全域に浅い段部を形成したり、供給路33,
33の側壁に搬送路23に連通する小孔を開設してガス
送出路42,・・・を形成しても良い。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1の
搬送レールにあっては、ヒートブロックに形成された搬
送路と外部との間に、酸化抑制用のガスが通流する供給
路を介在させることで、前記搬送路への大気の直接の進
入を防止することができるとともに、搬送路を流れるガ
スにより生じた負圧による大気の巻き込みを阻止するこ
とができる。また、この供給路内は、前記ガスが供給さ
れることによって正圧に保たれており、このガスが、ヒ
ートブロックとカバー間に形成される隙間から外部へ漏
れることで、大気の進入を確実に防止することができ
る。
搬送レールにあっては、ヒートブロックに形成された搬
送路と外部との間に、酸化抑制用のガスが通流する供給
路を介在させることで、前記搬送路への大気の直接の進
入を防止することができるとともに、搬送路を流れるガ
スにより生じた負圧による大気の巻き込みを阻止するこ
とができる。また、この供給路内は、前記ガスが供給さ
れることによって正圧に保たれており、このガスが、ヒ
ートブロックとカバー間に形成される隙間から外部へ漏
れることで、大気の進入を確実に防止することができ
る。
【0029】したがって、加工荒さや熱変形によってヒ
ートブロックとカバー間に形成される隙間から大気が進
入してしまう従来と比較して、搬送路内の酸素濃度を低
下させることができる。
ートブロックとカバー間に形成される隙間から大気が進
入してしまう従来と比較して、搬送路内の酸素濃度を低
下させることができる。
【0030】そして、この供給路は、ヒートブロック上
面を、例えば切削加工することで容易に形成することが
できる。また、上面からの加工により形成することがで
きるので、供給路の大径化を容易に図ることができる。
これにより、当該供給路を通流するガスの流速の増大を
防ぐことができ、ベルヌーイの定理による負圧の発生に
起因した大気の巻き込み防止を抑制することができる。
面を、例えば切削加工することで容易に形成することが
できる。また、上面からの加工により形成することがで
きるので、供給路の大径化を容易に図ることができる。
これにより、当該供給路を通流するガスの流速の増大を
防ぐことができ、ベルヌーイの定理による負圧の発生に
起因した大気の巻き込み防止を抑制することができる。
【0031】さらに、ヒートブロックに全長に渡る円形
穴を穿孔して供給路を形成する場合と比較して、長尺な
供給路を形成することができる。これに伴い、長尺なヒ
ートブロックの製造が可能となり、搬送レールの成形精
度を高めることができるとともに、製造コストを抑える
こができる。
穴を穿孔して供給路を形成する場合と比較して、長尺な
供給路を形成することができる。これに伴い、長尺なヒ
ートブロックの製造が可能となり、搬送レールの成形精
度を高めることができるとともに、製造コストを抑える
こができる。
【0032】また、請求項2の搬送レールにおいては、
ガス送出路からのガスを搬送路内へ略水平方向に送出し
リードフレームに沿って流すことで、搬送路内でのガス
の乱流を防止することができる。したがって、下方から
噴出されたガスが、リードフレームに垂直に当接し、搬
送路内に乱流を生じさせてしまう従来と比較して、乱流
に起因した負圧による大気の巻き込みをも防止すること
ができる。
ガス送出路からのガスを搬送路内へ略水平方向に送出し
リードフレームに沿って流すことで、搬送路内でのガス
の乱流を防止することができる。したがって、下方から
噴出されたガスが、リードフレームに垂直に当接し、搬
送路内に乱流を生じさせてしまう従来と比較して、乱流
に起因した負圧による大気の巻き込みをも防止すること
ができる。
【0033】さらに、請求項3の搬送レールでは、ヒー
トブロック上面の前記搬送路と供給路間を、例えば切削
加工することで、前記ガス送出路を容易に形成すること
ができる。また、上面での加工により形成することがで
きるので、搬送路の底面に下部の円形穴に連通する小孔
を設けなければならなかった従来と比較して、多数のガ
ス送出路を細かなピッチで搬送路に沿って並設すること
ができる。これにより、前記ガスを搬送路の全域に渡っ
て均一に分布することでき、前記ガスによる酸化抑制効
果を高めることができる。
トブロック上面の前記搬送路と供給路間を、例えば切削
加工することで、前記ガス送出路を容易に形成すること
ができる。また、上面での加工により形成することがで
きるので、搬送路の底面に下部の円形穴に連通する小孔
を設けなければならなかった従来と比較して、多数のガ
ス送出路を細かなピッチで搬送路に沿って並設すること
ができる。これにより、前記ガスを搬送路の全域に渡っ
て均一に分布することでき、前記ガスによる酸化抑制効
果を高めることができる。
【図1】本発明の一実施の形態を示す平面図である。
【図2】図1のA−A断面に相当する図である。
【図3】図2の要部拡大図である。
【図4】従来の搬送レールを示す要部の断面図である。
1 搬送レール 11 ヒートブロック 12 カバー 21 上面 22 リードフレーム 23 搬送路 31 凹溝 33 供給路 41 細溝 42 ガス送出路
Claims (3)
- 【請求項1】 リードフレーム搬送用の搬送路が凹設さ
れたヒートブロックと、該ヒートブロックの上面に面接
して前記搬送路上部を覆うカバーとからなり、リードフ
レーム酸化抑制用のガスを前記搬送路へ供給するための
供給路が設けられた搬送レールにおいて、 前記搬送路の両脇に位置する前記ヒートブロックの上面
に凹溝を延設して、前記ヒートブロックと前記カバーと
の間に、前記搬送路に沿った前記供給路を形成したこと
を特徴とする搬送レール。 - 【請求項2】 前記搬送路と前記供給路との間に、前記
ガスを前記搬送路内へ略水平方向に送出するガス送出路
を形成したことを特徴とする請求項1記載の搬送レー
ル。 - 【請求項3】 前記搬送路と前記供給路との間に、複数
の細溝を前記搬送路に沿って並設して、前記ヒートブロ
ックと前記カバーとの間に前記ガス送出路を形成したこ
とを特徴とする請求項2記載の搬送レール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000364594A JP2002170830A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 搬送レール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000364594A JP2002170830A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 搬送レール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002170830A true JP2002170830A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18835505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000364594A Pending JP2002170830A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 搬送レール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002170830A (ja) |
-
2000
- 2000-11-30 JP JP2000364594A patent/JP2002170830A/ja active Pending
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