JP2002162517A - Color filter for liquid crystal display - Google Patents

Color filter for liquid crystal display

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JP2002162517A
JP2002162517A JP2000362175A JP2000362175A JP2002162517A JP 2002162517 A JP2002162517 A JP 2002162517A JP 2000362175 A JP2000362175 A JP 2000362175A JP 2000362175 A JP2000362175 A JP 2000362175A JP 2002162517 A JP2002162517 A JP 2002162517A
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JP
Japan
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weight
acrylate
color filter
photosensitive resin
parts
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Application number
JP2000362175A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomonobu Sumino
友信 角野
Akira Inoue
彰 井上
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter having little deformation under high temperature and high pressure conditions, with a coloring layer of superior resistance to scuffing and wear and enabling manufacture of a liquid crystal display with superior display quality. SOLUTION: The color filter is manufactured, by forming a coloring layer which contains at least inorganic fine particles with an average particle diameter in 10-20 nm range, a coloring material and a resin component and consists of a plurality of colors on a substrate with a prescribed pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表示品質に優れた
液晶ディスプレイの製造が可能なカラーフィルタに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter capable of manufacturing a liquid crystal display having excellent display quality.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、カ
ラー液晶ディスプレイが注目されている。カラー液晶デ
ィスプレイの一例として、ブラックマトリックス、複数
の色(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色)
からなる着色層、透明導電層(共通電極)および配向層
を備えたカラーフィルタと、薄膜トランジスタ(TFT
素子)、画素電極および配向層を備えたTFTアレイ基
板とを所定の間隙をもたせて向かい合わせ、この間隙部
に液晶材料を注入して液晶層としたものがある。着色層
は、一般に色材を樹脂成分で保持したものであり、顔料
分散法、染色法、電着法、印刷法、インキジェット法等
の種々の方法によりR、G、Bのパターン形成が行なわ
れる。
2. Description of the Related Art In recent years, a color liquid crystal display has attracted attention as a flat display. As an example of a color liquid crystal display, a black matrix and a plurality of colors (normally, three primary colors of red (R), green (G), and blue (B))
A color filter comprising a colored layer, a transparent conductive layer (common electrode), and an alignment layer comprising a thin film transistor (TFT)
An element), a pixel electrode and a TFT array substrate provided with an alignment layer are opposed to each other with a predetermined gap, and a liquid crystal material is injected into the gap to form a liquid crystal layer. The coloring layer generally holds a coloring material with a resin component, and the R, G, and B patterns are formed by various methods such as a pigment dispersion method, a dyeing method, an electrodeposition method, a printing method, and an ink jet method. It is.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
カラーフィルタでは、配向層のラビング処理時に着色層
に傷がついたり、TFTアレイ基板との組み立て(セル
圧着)時の高温高圧下において着色層の変形が生じ易
く、これにより液晶ディスプレイの表示画像に色むら等
が発生して画像品質の低下を来たすという問題があっ
た。本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたもの
であり、高温高圧下における変形が小さく耐擦過性に優
れた着色層を備え表示品質に優れた液晶ディスプレイの
製造を可能とするカラーフィルタを提供することを目的
とする。
However, in the conventional color filter, the colored layer is damaged during the rubbing treatment of the alignment layer, or the colored layer is subjected to a high temperature and a high pressure at the time of assembling with the TFT array substrate (cell compression bonding). Deformation is likely to occur, which causes a problem that color unevenness or the like occurs in a display image of the liquid crystal display, resulting in deterioration of image quality. The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has a color layer which has a small deformation under high temperature and high pressure and has a colored layer excellent in abrasion resistance, and is capable of producing a liquid crystal display excellent in display quality. The purpose is to provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の液晶ディスプレイ用カラーフィルタ
は、基板と、該基板上に所定のパターンで形成された複
数色からなる着色層とを備え、該着色層は少なくとも色
材、無機粉体および樹脂成分を含有し、前記無機粉体の
平均粒径は10〜20nmの範囲内であるような構成と
した。また、本発明の液晶ディスプレイ用カラーフィル
タの好ましい態様は、前記着色層が前記無機粉体を5〜
20重量%の範囲で含有するような構成とした。
In order to achieve the above object, a color filter for a liquid crystal display according to the present invention comprises a substrate and a colored layer of a plurality of colors formed in a predetermined pattern on the substrate. The coloring layer contains at least a coloring material, an inorganic powder, and a resin component, and the inorganic powder has an average particle diameter in a range of 10 to 20 nm. In a preferred embodiment of the color filter for a liquid crystal display according to the present invention, the colored layer is formed by coating the inorganic powder with 5 to 5.
It was configured to be contained in the range of 20% by weight.

【0005】このような本発明では、含有される無機粉
体によって着色層の硬度が高くなり、セル圧着時の高温
高圧下における着色層の変形量が小さいものとなり、ま
た、着色層の耐擦過性が向上する。
In the present invention, the hardness of the colored layer is increased by the contained inorganic powder, the amount of deformation of the colored layer under high temperature and high pressure during cell compression is reduced, and the abrasion resistance of the colored layer is reduced. The performance is improved.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて図面を参照して説明する。図1は本発明のカラー
フィルタの実施形態の一例を示す縦断面図である。図1
において、本発明のカラーフィルタ1は、基板2と、こ
の基板2上に形成されたブラックマトリックス3および
着色層4を備え、着色層4は赤色パターン4R、緑色パ
ターン4Gおよび青色パターン4Bが所望のパターン形
状で配列されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of an embodiment of the color filter of the present invention. FIG.
The color filter 1 of the present invention includes a substrate 2, a black matrix 3 and a coloring layer 4 formed on the substrate 2, and the coloring layer 4 preferably has a red pattern 4R, a green pattern 4G, and a blue pattern 4B. They are arranged in a pattern.

【0007】上記のカラーフィルタ1を構成する基板2
としては、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラ
ス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あ
るいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有
する透明なフレキシブル材を用いることができる。この
中で特にコーニング社製1737ガラスは、熱膨脹率の
小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理におけ
る作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含ま
ない無アルカリガラスであるため、アクティブマトリッ
クス方式によるカラー液晶ディスプレイ用のカラーフィ
ルタに適している。
[0007] The substrate 2 constituting the above color filter 1
For example, a transparent rigid material having no flexibility such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, a synthetic quartz plate, or a transparent flexible material having flexibility such as a transparent resin film or an optical resin plate is used. be able to. Among them, Corning 1737 glass is a material having a low coefficient of thermal expansion, excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is an alkali-free glass containing no alkali component in the glass. It is suitable for a color filter for a color liquid crystal display by the method.

【0008】また、カラーフィルタ1を構成するブラッ
クマトリックス3は、着色層4からなる表示画素部の間
および着色層4の形成領域の外側に設けられている。こ
のようなブラックマトリックス3は、スパッタリング
法、真空蒸着法等により厚み1000〜2000Å程度
のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニン
グして形成したもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を
含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして
形成したもの、カーボン微粒子、金属酸化物等の遮光性
粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹
脂層をパターニングして形成したもの等、いずれであっ
てもよい。
The black matrix 3 constituting the color filter 1 is provided between the display pixel portions composed of the colored layers 4 and outside the region where the colored layers 4 are formed. Such a black matrix 3 is formed by forming a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 2000 ° by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like, and patterning the thin film, and containing light-shielding particles such as carbon fine particles. Forming a resin layer of polyimide resin, acrylic resin, epoxy resin, etc., and forming a photosensitive resin layer containing light-shielding particles such as carbon fine particles, metal oxides, etc. The photosensitive resin layer may be formed by patterning the photosensitive resin layer.

【0009】着色層4は、少なくとも無機粉体、色材お
よび樹脂成分を含有する。使用する無機粉体は、平均粒
径が10〜20nmのものであり、酸化ケイ素、酸化ゲ
ルマニウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジル
コニウム、酸化マグネシウム等を挙げることができる。
無機粉体の平均粒径が10nm未満であると、本発明の
効果の更なる向上がほとんど得られずに無機粉体のコス
トが高くなるので好ましくない。また、無機粉体の平均
粒径が20nmを超えると、着色層4の光透過性が低下
する。
The coloring layer 4 contains at least an inorganic powder, a coloring material and a resin component. The inorganic powder used has an average particle diameter of 10 to 20 nm, and examples thereof include silicon oxide, germanium oxide, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, and magnesium oxide.
If the average particle size of the inorganic powder is less than 10 nm, the effect of the present invention is hardly further improved and the cost of the inorganic powder increases, which is not preferable. When the average particle size of the inorganic powder exceeds 20 nm, the light transmittance of the colored layer 4 decreases.

【0010】着色層4における無機粉体の含有量は5〜
20重量%、好ましくは10〜20重量%の範囲で設定
することができる。無機粉体の含有量が20重量%を超
えると、着色パターンの形成精度、光透過性が低下す
る。一方、無機粉体の含有量が5重量%未満であると、
着色層4の硬度が不充分となり、変形量が大きくなった
り、傷がつきやすくなり好ましくない。
The content of the inorganic powder in the colored layer 4 is 5 to 5.
It can be set in the range of 20% by weight, preferably 10 to 20% by weight. When the content of the inorganic powder exceeds 20% by weight, the accuracy of forming the colored pattern and the light transmittance are reduced. On the other hand, when the content of the inorganic powder is less than 5% by weight,
The hardness of the colored layer 4 becomes insufficient, the deformation amount becomes large, and the colored layer 4 is easily damaged, which is not preferable.

【0011】ここで、着色層の硬度について図2を参照
しながら説明する。着色層にダイナミック硬さ用三角圧
子(1150)で厚み方向に0.23mN/秒の割合で
5mNまで荷重をかけ、5秒間保持したときの変形量
は、図2に示されるようになり、実線は本発明のカラー
フィルタにおける着色層の変形量を示すグラフであり、
破線は無機粉体を含有しない従来の着色層の変形量を示
すグラフである。本発明では、ダイナミック硬さ用三角
圧子(1150)で厚み方向に0.23mN/秒の割合
で5mNまで荷重をかけ、5秒間保持したときのダイナ
ミック硬さ(Pa)を(株)島津製作所製 島津ダイナ
ミック超微小硬度計にて測定する。本発明のカラーフィ
ルタ1では、着色層4のダイナミック硬さが、従来のカ
ラーフィルタの着色層のダイナミック硬さよりも大きい
ので、着色層4の変形量が、従来のカラーフィルタの着
色層の変形量に比べて小さいものとなる。
Here, the hardness of the colored layer will be described with reference to FIG. The load was applied to the colored layer with a triangular indenter for dynamic hardness (1150) in the thickness direction at a rate of 0.23 mN / sec up to 5 mN, and the deformation amount when held for 5 seconds was as shown in FIG. Is a graph showing the amount of deformation of the colored layer in the color filter of the present invention,
The broken line is a graph showing the deformation amount of the conventional colored layer containing no inorganic powder. In the present invention, the dynamic hardness (Pa) when a load is applied to 5 mN at a rate of 0.23 mN / sec in the thickness direction with a triangular indenter for dynamic hardness (1150) and held for 5 seconds is determined by Shimadzu Corporation. Measured with Shimadzu Dynamic Ultra Micro Hardness Tester. In the color filter 1 of the present invention, since the dynamic hardness of the coloring layer 4 is larger than the dynamic hardness of the coloring layer of the conventional color filter, the deformation amount of the coloring layer 4 is smaller than the deformation amount of the coloring layer of the conventional color filter. It is smaller than.

【0012】着色層4に含有される色材としては、赤色
顔料として、C.I.No.9、97、122、12
3、149、168、177、180、192、215
等、緑色顔料として、C.I.No.7、36等、青色
顔料として、C.I.No.15、20、60、64
等、黄色顔料として、C.I.No.20、24、8
6、93、109、110、117、125、137、
138、147、148、153、154、166、1
68等、オレンジ顔料として、C.I.No.36、4
3、51、55、59、61等、バイオレット顔料とし
て、C.I.No.19、23、29、30、37、4
0、50等を使用することができる。これらのうち、1
種のみで使用してもよく、あるいは、複数を組み合わせ
て使用してもよく、カラーフィルタの分光調整には、2
〜3種を組み合わせて使用することが多い。着色層4に
おける色材の含有量は20〜50重量%の範囲で設定す
ることができる。
The coloring material contained in the coloring layer 4 includes red pigments such as C.I. I. No. 9, 97, 122, 12
3, 149, 168, 177, 180, 192, 215
As green pigments, C.I. I. No. 7, 36, etc. as blue pigments; I. No. 15, 20, 60, 64
As yellow pigments, C.I. I. No. 20, 24, 8
6, 93, 109, 110, 117, 125, 137,
138, 147, 148, 153, 154, 166, 1
68 and the like, as orange pigments, C.I. I. No. 36, 4
As violet pigments such as 3, 51, 55, 59 and 61, C.I. I. No. 19, 23, 29, 30, 37, 4
0, 50, etc. can be used. Of these, one
They may be used alone or in combination of two or more.
Often, three or more are used in combination. The content of the coloring material in the coloring layer 4 can be set in the range of 20 to 50% by weight.

【0013】着色層4は、所望の色材と無機粉体を含有
した感光性樹脂組成物を使用して、フォトリソグラフィ
ー法、印刷法、転写法、インクジェット法等の公知の方
法により形成することができる。感光性樹脂が硬化され
た樹脂成分は、無機粉体および色材のバインダとしての
作用をなすものである。また、着色層4を、例えば、赤
色パターン4Rが最も薄く、緑色パターン4G、青色パ
ターン4Bの順に厚くすることにより、着色層4の各色
ごとに最適な液晶層厚みの設定が可能なようにしてもよ
い。
The coloring layer 4 is formed by a known method such as a photolithography method, a printing method, a transfer method, and an ink-jet method using a photosensitive resin composition containing a desired coloring material and inorganic powder. Can be. The resin component obtained by curing the photosensitive resin functions as a binder for the inorganic powder and the coloring material. In addition, for example, by making the colored layer 4 thinnest in the red pattern 4R and thicker in the order of the green pattern 4G and the blue pattern 4B, the optimal liquid crystal layer thickness can be set for each color of the colored layer 4. Is also good.

【0014】本発明のカラーフィルタ1では、上述のよ
うに着色層4が平均粒径10〜20nmの範囲内にある
無機粉体を含有しているのでダイナミック硬さが大き
く、上述の図2による説明のように、TFTアレイ基板
との組み立て(セル圧着)時の高温高圧下においても、
変形量が小さいものとなる。また、着色層4は透明性に
優れるとともに、硬度が高く優れた耐擦過性をもつの
で、配向層のラビング処理等による傷の発生が防止され
る。
In the color filter 1 of the present invention, since the coloring layer 4 contains an inorganic powder having an average particle diameter in the range of 10 to 20 nm as described above, the dynamic hardness is large, and the color filter 4 shown in FIG. As described, even under high temperature and high pressure during assembly (cell compression bonding) with the TFT array substrate,
The amount of deformation is small. Further, since the coloring layer 4 is excellent in transparency and has high hardness and excellent scratch resistance, generation of scratches due to rubbing treatment of the alignment layer is prevented.

【0015】ここで、本発明のカラーフィルタの着色層
形成に使用できる感光性樹脂組成物の一例について説明
する。感光性樹脂組成物は、少なくともポリマー、モノ
マー、光重合開始剤、および、平均粒径が10〜20n
mの範囲にある無機粉体を含有するものである。
Here, an example of a photosensitive resin composition that can be used for forming a colored layer of the color filter of the present invention will be described. The photosensitive resin composition has at least a polymer, a monomer, a photopolymerization initiator, and an average particle size of 10 to 20 n.
It contains an inorganic powder in the range of m.

【0016】感光性樹脂組成物を構成するポリマーとし
ては、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化
ビニル共重合体、エチレンビニル共重合体、ポリスチレ
ン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ABS樹
脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレンメタクリル酸樹
脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニ
ルアルコール、セルロースアセテートプロピオネート、
セルロースアセテートブチレート、ナイロン6、ナイロ
ン66、ナイロン12、ポリエチレンテレフタレート、
ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリ
ビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ
エーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポ
リアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、
フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹
脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フ
ェノール樹脂、ユリア樹脂等、および、重合可能なモノ
マーであるメチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレー
ト、sec-ブチルアクリレート、sec-ブチルメタクリレー
ト、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレー
ト、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリ
レート、n−ペンチルアクリレート、n−ペンチルメタ
クリレート、n−ヘキシルアクリレート、n−ヘキシル
メタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2
−エチルヘキシルメタクリレート、n−オクチルアクリ
レート、n−オクチルメタクリレート、n−デシルアク
リレート、n−デシルメタクリレート、スチレン、α−
メチルスチレン、N−ビニル−2−ピロリドン、グリシ
ジル(メタ)アクリレートの1種以上と、アクリル酸、
メタクリル酸、アクリル酸の2量体(例えば、東亜合成
化学(株)製M−5600)、イタコン酸、クロトン
酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、これらの酸無
水物等の1種以上からなるポリマーまたはコポリマー等
が挙げられる。
The polymer constituting the photosensitive resin composition includes ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-vinyl chloride copolymer, ethylene-vinyl copolymer, polystyrene, acrylonitrile-styrene copolymer, ABS resin, and polystyrene. Methacrylic acid resin, ethylene methacrylic acid resin, polyvinyl chloride resin, chlorinated vinyl chloride, polyvinyl alcohol, cellulose acetate propionate,
Cellulose acetate butyrate, nylon 6, nylon 66, nylon 12, polyethylene terephthalate,
Polybutylene terephthalate, polycarbonate, polyvinyl acetal, polyether ether ketone, polyether sulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polyvinyl butyral, epoxy resin,
Phenoxy resin, polyimide resin, polyamide imide resin, polyamic acid resin, polyether imide resin, phenol resin, urea resin and the like, and polymerizable monomers methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-
Propyl acrylate, n-propyl methacrylate,
Isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, n-pentyl acrylate, n-pentyl methacrylate, n-hexyl acrylate, n-hexyl Methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2
-Ethylhexyl methacrylate, n-octyl acrylate, n-octyl methacrylate, n-decyl acrylate, n-decyl methacrylate, styrene, α-
One or more of methylstyrene, N-vinyl-2-pyrrolidone, glycidyl (meth) acrylate and acrylic acid;
Methacrylic acid, dimer of acrylic acid (for example, M-5600 manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.), itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and one or more of these acid anhydrides and the like. Polymers or copolymers.

【0017】また、上記のコポリマーにグリシジル基ま
たは水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させ
たポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。このようなポリマーの含有量は、感光性樹脂
組成物の総固形分において20〜50重量%の範囲で設
定することができる。
Further, there may be mentioned, for example, polymers obtained by adding an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or a hydroxyl group to the above copolymer, but the invention is not limited thereto. The content of such a polymer can be set in the range of 20 to 50% by weight based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

【0018】感光性樹脂組成物を構成するモノマーとし
ては、少なくとも1つの重合可能な炭素−炭素不飽和結
合を有する化合物を用いることができる。具体的には、
アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブトキシ
エチルアクリレート、ブトキシエチレングリコールアク
リレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペン
タニルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレー
ト、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキ
シプロピルアクリレート、イソボニルアクリレート、イ
ソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、
ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレー
ト、メトキシエチレングリコールアクリレート、フェノ
キシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、エ
チレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコー
ルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレ
ート、1,5−ペンタンジオールジアクリレート、1,
6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,3−プロパ
ンジオールアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオ
ールジアクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジ
アクリレート、グリセロールジアクリレート、トリプロ
ピレングリコールジアクリレート、グリセロールトリア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレ
ングリコールジアクリレート、ポリオキシプロピルトリ
メチロールプロパントリアクリレート、ブチレングリコ
ールジアクリレート、1,2,4−ブタントリオールト
リアクリレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペ
ンタンジオールジアクリレート、ジアリルフマレート、
1,10−デカンジオールジメチルアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート、および、上記
のアクリレート基をメタクリレート基に置換したもの、
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−
ビニル−2−ピロリドン、2−ヒドロキシエチルアクリ
ロイルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアクリ
レート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペ
ンテニルオキシエチルアクリレート、3−ブタンジオー
ルジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレ
ート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ヒドロ
キシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジアク
リレート、フェノール−エチレンオキサイド変性アクリ
レート、フェノール−プロピレンオキサイド変性アクリ
レート、N−ビニル−2−ピロリドン、ビスフェノール
A−エチレンオキサイド変性ジアクリレート、ペンタエ
リスリトールジアクリレートモノステアレート、テトラ
エチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレング
リコールジアクリレート、トリメチロールプロパンプロ
ピレンオキサド変性トリアクリレート、イソシアヌール
酸エチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチ
ロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラアクリレート等のアクリレートモノマー、お
よび、これらのアクリレート基をメタクリレート基に置
換したもの、ポリウレタン構造を有するオリゴマーにア
クリレート基を結合させたウレタンアクリレートオリゴ
マー、ポリエステル構造を有するオリゴマーにアクリレ
ート基を結合させたポリエステルアクリレートオリゴマ
ー、エポキシ基を有するオリゴマーにアクリレート基を
結合させたエポキシアクリレートオリゴマー、ポリウレ
タン構造を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合
させたウレタンメタクリレートオリゴマー、ポリエステ
ル構造を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合さ
せたポリエステルメタクリレートオリゴマー、エポキシ
基を有するオリゴマーにメタクリレート基を結合させた
エポキシメタクリレートオリゴマー、アクリレート基を
有するポリウレタンアクリレート、アクリレート基を有
するポリエステルアクリレート、アクリレート基を有す
るエポキシアクリレート樹脂、メタクリレート基を有す
るポリウレタンメタクリレート、メタクリレート基を有
するポリエステルメタクリレート、メタクリレート基を
有するエポキシメタクリレート樹脂等が挙げられる。こ
れらは使用することができるモノマーの一例であり、こ
れらに限定されるものではない。また、このようなモノ
マーの含有量は、感光性樹脂組成物の総固形分に対して
10〜50重量%の範囲で設定することができる。
As the monomer constituting the photosensitive resin composition, a compound having at least one polymerizable carbon-carbon unsaturated bond can be used. In particular,
Allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxyethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isobonyl acrylate , Isodexyl acrylate, isooctyl acrylate,
Lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,5-pentanediol diacrylate, 1,
6-hexanediol diacrylate, 1,3-propanediol acrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, 2,2-dimethylolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, glycerol triacrylate, trimethylol Propane triacrylate, polyoxyethylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate,
Pentaerythritol tetraacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyoxypropyltrimethylolpropane triacrylate, butylene glycol diacrylate, 1,2,4-butanetriol triacrylate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol Diacrylate, diallyl fumarate,
1,10-decanediol dimethyl acrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and those obtained by substituting the acrylate group with a methacrylate group,
γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-
Vinyl-2-pyrrolidone, 2-hydroxyethylacryloyl phosphate, tetrahydrofurfuryl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, dicyclopentenyloxyethyl acrylate, 3-butanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, hydroxy Pivalic acid ester neopentyl glycol diacrylate, phenol-ethylene oxide modified acrylate, phenol-propylene oxide modified acrylate, N-vinyl-2-pyrrolidone, bisphenol A-ethylene oxide modified diacrylate, pentaerythritol diacrylate monostearate, tetraethylene Glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate Acrylate monomers such as methacrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, pentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, And those in which these acrylate groups are substituted with methacrylate groups, urethane acrylate oligomers in which acrylate groups are bonded to oligomers having a polyurethane structure, polyester acrylate oligomers in which acrylate groups are bonded to oligomers having a polyester structure, and epoxy groups. Epoxy acrylates with acrylate groups bonded to oligomers Gomer, a urethane methacrylate oligomer in which a methacrylate group is bonded to an oligomer having a polyurethane structure, a polyester methacrylate oligomer in which a methacrylate group is bonded to an oligomer having a polyester structure, an epoxy methacrylate oligomer in which a methacrylate group is bonded to an oligomer having an epoxy group, Examples include polyurethane acrylate having an acrylate group, polyester acrylate having an acrylate group, epoxy acrylate resin having an acrylate group, polyurethane methacrylate having a methacrylate group, polyester methacrylate having a methacrylate group, and epoxy methacrylate resin having a methacrylate group. These are examples of monomers that can be used, but are not limited thereto. The content of such a monomer can be set in the range of 10 to 50% by weight based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

【0019】感光性樹脂組成物を構成する光重合開始剤
としては、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メ
チル、4,4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノ
ン、4,4−ビス(ジエチルアミン)ベンゾフェノン、
α−アミノ・アセトフェノン、4,4−ジクロロベンゾ
フェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケト
ン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−ジエト
キシアセトフォノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニ
ルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピ
オフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノ
ン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−
クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサント
ン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケター
ル、ベンジルメトキシエチルアセタール、ベンゾインメ
チルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキ
ノン、2−tert−ブチルアントラキノン、2−アミルア
ントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロ
ン、ベンズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンア
ントロン、4−アジドベンジルアセトフェノン、2,6
−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサン、
2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチル
シクロヘキサノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン
−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェ
ニル−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニ
ル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン
−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェ
ニル−3−エトキシ−プロパントリオン−2−(o−ベ
ンゾイル)オキシム、ミヒラーケトン、2−メチル−1
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン、ナフ
タレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロ
ライド、n−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビ
スイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベン
ズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、
カンファーキノン、アデカ(株)製N1717、四臭素
化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイ
ン、エオシン、メチレンブルー等の光還元性の色素とア
スコルビン酸、トリエタノールアミン等の還元剤の組み
合わせ等が挙げられる。本発明では、これらの光重合開
始剤を1種または2種以上使用することができる。この
ような光重合開始剤の添加量は、感光性樹脂組成物の総
固形分において3〜10重量%の範囲で設定することが
できる。
As the photopolymerization initiator constituting the photosensitive resin composition, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamine) benzophenone,
α-amino acetophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophonone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, -Hydroxy-2-methylpropiophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-
Chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyldimethylketal, benzylmethoxyethylacetal, benzoinmethylether, benzoinbutylether, anthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzantrone , Dibenzsuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzylacetophenone, 2,6
-Bis (p-azidobenzylidene) cyclohexane,
2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxy Carbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl-1
[4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, n- Phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzothiazole disulfide, triphenylphosphine,
Examples include a combination of camphorquinone, N1717 manufactured by ADEKA CORPORATION, a photoreducing dye such as carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide, eosin, and methylene blue and a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. Can be In the present invention, one or more of these photopolymerization initiators can be used. The addition amount of such a photopolymerization initiator can be set in a range of 3 to 10% by weight based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

【0020】感光性樹脂組成物における上記無機粉体の
含有量は、総固形分において5〜20重量%、好ましく
は10〜20重量%の範囲で設定することができる。無
機粉体の含有量が20重量%を超えると、着色パターン
の形成性、光透過性が低下する。一方、無機粉体の含有
量が5重量%未満であると、形成された着色パターンの
変形量が大きくなり好ましくない。
The content of the inorganic powder in the photosensitive resin composition can be set in the range of 5 to 20% by weight, preferably 10 to 20% by weight based on the total solid content. When the content of the inorganic powder exceeds 20% by weight, the formability of the colored pattern and the light transmittance are reduced. On the other hand, if the content of the inorganic powder is less than 5% by weight, the amount of deformation of the formed colored pattern is undesirably large.

【0021】感光性樹脂組成物には、更にエポキシ樹脂
を含有することができる。使用するエポキシ樹脂として
は、三菱油化シェル(株)製エピコートシリーズ、ダイ
セル(株)製セロキサイドシリーズ、エポリードシリー
ズ、または、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビス
フェノール−F型エポキシ樹脂、ビスフェノール−S型
エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ポリカルボ
ン酸グリシジルエステル、ポリオールグリシジルエステ
ル、脂肪族または脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ
樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジヒドロ
キシベンゼン型エポキシ樹脂、グリシジル(メタ)アク
リレートとラジカル重合可能なモノマーとの共重合エポ
キシ化合物等を挙げることができる。本発明では、上記
のエポキシ樹脂を単独で、または2種以上の混合物とし
て使用することができる。このようなエポキシ樹脂の添
加量は、感光性樹脂組成物の総固形分において0〜20
重量%の範囲で設定することができる。
The photosensitive resin composition may further contain an epoxy resin. Examples of the epoxy resin to be used include an Epicoat series manufactured by Mitsubishi Yuka Shell Co., Ltd., a celoxide side series and an Epode series manufactured by Daicel Corporation, or bisphenol-A type epoxy resin, bisphenol-F type epoxy resin, and bisphenol-type. S type epoxy resin, novolak type epoxy resin, polycarboxylic acid glycidyl ester, polyol glycidyl ester, aliphatic or alicyclic epoxy resin, amine epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, dihydroxybenzene type epoxy resin, glycidyl (meth) Copolymerized epoxy compounds of acrylates and radically polymerizable monomers can be exemplified. In the present invention, the above epoxy resins can be used alone or as a mixture of two or more. The addition amount of such an epoxy resin is 0 to 20 in the total solid content of the photosensitive resin composition.
It can be set in the range of weight%.

【0022】また、感光性樹脂組成物に用いる溶剤とし
ては、例えば、メタノール、エタノール、n−プロパノ
ール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピ
レングリコール等のアルコール類、α−もしくはβ−テ
ルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチ
ルケトン、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリ
ドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチル
ベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセ
ロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカ
ルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリ
コールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモ
ノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチル
エーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル
等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、
セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、
ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテー
ト、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトー
ルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ルアセテート等の酢酸エステル類等が挙げられる。
Examples of the solvent used in the photosensitive resin composition include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol and propylene glycol, terpenes such as α- and β-terpineol, and the like. Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene, cellosolve, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, ethyl carbyl Tall, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, Glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and triethylene glycol monoethyl ether, ethyl acetate, butyl acetate,
Cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate,
Examples thereof include acetates such as butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate.

【0023】[0023]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0024】[実施例1]まず、赤色パターン用の感光
性樹脂組成物として、下記の表1に示すように含有する
酸化ケイ素粉体の平均粒径を変えた下記組成の6種の感
光性樹脂組成物R−I、R−II、R−III、R−IV、R
−V、R−VIを調製した。同様に、緑色パターン用の感
光性樹脂組成物として、下記組成の6種の感光性樹脂組
成物G−I、G−II、G−III、G−IV、G−V、G−V
Iを調製した。また、青色パターン用の感光性樹脂組成
物として、下記組成の6種の感光性樹脂組成物B−I、
B−II、B−III、B−IV、B−V、B−VIを調製し
た。
Example 1 First, as a photosensitive resin composition for a red pattern, six kinds of photosensitive compositions having the following compositions in which the average particle diameter of the silicon oxide powder contained was changed as shown in Table 1 below Resin compositions RI, R-II, R-III, R-IV, R
-V and R-VI were prepared. Similarly, as the photosensitive resin composition for a green pattern, there are six kinds of photosensitive resin compositions GI, G-II, G-III, G-IV, G-V, and G-V having the following compositions.
I was prepared. Further, as a photosensitive resin composition for a blue pattern, six kinds of photosensitive resin compositions BI having the following compositions,
B-II, B-III, B-IV, BV and B-VI were prepared.

【0025】 赤色パターン用の感光性樹脂組成物の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 2重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材(キノフタレンレッド系顔料) … 36重量部 ・ポリマー … 32重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 16重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 6重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin composition for red pattern・ Silicon oxide (colloidal silica): 2 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content indication) ・ Coloring material (quinophthalene) Red pigment) 36 parts by weight Polymer 32 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer 16 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator 6 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0026】 緑色パターン用の感光性樹脂組成物の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 5重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材(ハロゲン化銅フタロシアニン系顔料) … 36重量部 ・ポリマー … 32重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 16重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 6重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin composition for green pattern : Silicon oxide (colloidal silica): 5 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content display) Coloring material (halogenated) Copper phthalocyanine pigment) 36 parts by weight Polymer 32 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer 16 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator 6 parts by weight Part (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals) ・ Solvent… 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0027】 青色パターン用の感光性樹脂組成物の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 10重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材(フタロシアニンブルー顔料) … 36重量部 ・ポリマー … 32重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 16重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 6重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin composition for blue pattern : Silicon oxide (colloidal silica): 10 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content display) Coloring material (phthalocyanine blue) Pigment) 36 parts by weight Polymer 32 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer 16 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator 6 parts by weight (Ciba) Specialty Chemicals Co., Ltd. Irgacure 907) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0028】次に、上記の各着色パターン用の感光性樹
脂組成物(I、II、III、IV、V、VI)をガラス基板上
にスピンコーターにより塗布し、所定形状の開口部を設
けたフォトマスクを介して100mJ/cm2の露光量
で露光を行い、現像、加熱処理(200℃、30分間)
を行った。次いで、各パターン試料に対し、厚み方向に
0.23mN/秒の割合で5mNまで荷重をかけ、5秒
間保持したときのダイナミック硬さ(Pa)を(株)島
津製作所製 島津ダイナミック超微小硬度計にて測定
し、図2に示されるダイナミック硬さ(Pa)を下記の
表1に示した。
Next, the above-mentioned photosensitive resin compositions (I, II, III, IV, V, VI) for the respective colored patterns were applied on a glass substrate by a spin coater to provide openings of a predetermined shape. Exposure is performed through a photomask at an exposure amount of 100 mJ / cm 2 , development, and heat treatment (200 ° C., 30 minutes)
Was done. Next, a dynamic hardness (Pa) when a load was applied to each pattern sample in the thickness direction at a rate of 0.23 mN / sec up to 5 mN and held for 5 seconds, was measured by Shimadzu Dynamic Ultra-Micro Hardness manufactured by Shimadzu Corporation. The dynamic hardness (Pa) shown in FIG. 2 is shown in Table 1 below.

【0029】次に、カラーフィルタ用の基板として、3
00mm×400mm、厚さ0.7mmのガラス基板
(コーニング社製1737ガラス)を準備した。この基
板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側全面にス
パッタリング法により金属クロムからなる遮光層(厚さ
0.1μm)を成膜した。次いで、この遮光層に対し
て、通常のフォトリソグラフィー法によって感光性レジ
スト塗布、マスク露光、現像、エッチング、レジスト層
剥離を行ってブラックマトリックスを形成した。
Next, as a substrate for a color filter, 3
A glass substrate (Corning 1737 glass) having a size of 00 mm × 400 mm and a thickness of 0.7 mm was prepared. After washing the substrate according to a conventional method, a light-shielding layer (thickness: 0.1 μm) made of metallic chromium was formed on the entire surface of one side of the substrate by a sputtering method. Next, the light-shielding layer was subjected to photosensitive resist coating, mask exposure, development, etching, and resist layer peeling by a normal photolithography method to form a black matrix.

【0030】次に、ブラックマトリックスが形成された
基板全面に、赤色パターン用の感光性樹脂組成物(R−
I)をスピンコート法により塗布して赤色感光性樹脂層
を形成し、プレベーク(100℃、3分間)を行った。
その後、所定の着色パターン用フォトマスクを用いて赤
色感光性樹脂層をアライメント露光し、現像液(水酸化
カリウム水溶液)にて現像を行い、次いで、ポストベー
ク(200℃、30分間)を行って、ブラックマトリッ
クスパターンに対して所定の位置に赤色パターン(厚み
1μm)を形成した。
Next, the photosensitive resin composition (R-R) for the red pattern is coated on the entire surface of the substrate on which the black matrix is formed.
I) was applied by a spin coating method to form a red photosensitive resin layer, and prebaked (100 ° C., 3 minutes).
Thereafter, the red photosensitive resin layer is aligned and exposed using a predetermined colored pattern photomask, developed with a developing solution (aqueous potassium hydroxide solution), and then post-baked (200 ° C., 30 minutes). A red pattern (thickness: 1 μm) was formed at a predetermined position with respect to the black matrix pattern.

【0031】同様に、緑色パターン用の感光性樹脂組成
物(G−I)を用いて、ブラックマトリックスパターン
に対して所定の位置に緑色パターン(厚み1μm)を形
成した。さらに、青色パターン用の感光性樹脂組成物
(B−I)を用いて、ブラックマトリックスパターンに
対して所定の位置に青色パターン(厚み1μm)を形成
した。次に、着色層上に酸化インジウムスズ(ITO)
からなる共通透明電極層を形成した。これにより、図1
に示されるような構造のカラーフィルタ(試料I)を得
た。
Similarly, a green pattern (thickness: 1 μm) was formed at a predetermined position with respect to the black matrix pattern by using the photosensitive resin composition (GI) for a green pattern. Further, a blue pattern (thickness: 1 μm) was formed at a predetermined position with respect to the black matrix pattern by using the photosensitive resin composition (BI) for a blue pattern. Next, indium tin oxide (ITO) is placed on the coloring layer.
Was formed. As a result, FIG.
A color filter (sample I) having a structure as shown in FIG.

【0032】また、各色の感光性樹脂組成Iの代わり
に、各色の感光性樹脂組成物II、III、IV、V、VIを用
いた他は、カラーフィルタ試料Iと同様にして、カラー
フィルタ(試料II、III、IV、V、VI)を得た。
In addition, except that the photosensitive resin compositions I, III, IV, V and VI of the respective colors were used instead of the photosensitive resin compositions I of the respective colors, the color filters ( Samples II, III, IV, V, VI) were obtained.

【0033】一方、透明基板として300mm×400
mm、厚さ0.7mmのガラス基板(コーニング社製1
737ガラス)を準備した。この基板を定法にしたがっ
て洗浄した後、基板上の所定の複数の個所に薄膜トラン
ジスタ(TFT)を形成し、各TFTのドレイン電極に
接続するように透明画素電極を酸化インジウムスズ(I
TO)により形成して、対向電極基板を作製した。
On the other hand, a transparent substrate of 300 mm × 400
mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning 1
737 glass). After washing the substrate according to a conventional method, thin film transistors (TFTs) are formed at a plurality of predetermined locations on the substrate, and the transparent pixel electrode is connected to indium tin oxide (I) so as to be connected to the drain electrode of each TFT.
TO) to form a counter electrode substrate.

【0034】次に、上記のカラーフィルタ(試料I、I
I、III、IV、V、VI)の共通透明電極層を覆うように、
また、対向電極基板の透明画素電極を覆うように、ポリ
イミド樹脂塗料(日産化学(株)製SE−7492)を
塗布、乾燥して配向層(厚み0.07μm)を設け、ラ
ビング処理を施した。
Next, the color filters (samples I, I
I, III, IV, V, VI) to cover the common transparent electrode layer,
In addition, a polyimide resin paint (SE-7492 manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) was applied so as to cover the transparent pixel electrode of the counter electrode substrate, dried to form an alignment layer (0.07 μm in thickness), and rubbed. .

【0035】次いで、これらのカラーフィルタと対向電
極基板を用いて液晶ディスプレイを作製(セル圧着時の
温度=180℃)し、表示画像の色むらの有無を観察
し、また、コントラスト比を測定して、結果を下記の表
1に示した。
Next, a liquid crystal display was fabricated using these color filters and the counter electrode substrate (temperature at the time of cell compression = 180 ° C.), the presence or absence of color unevenness in the displayed image was measured, and the contrast ratio was measured. The results are shown in Table 1 below.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】表1に示されるように、各色の感光性樹脂
組成物I、II、IIIを用いて形成されたパターン試料
は、いずれもダイナミック硬さが大きく、これらの感光
性樹脂組成物を用いて着色層を形成したカラーフィルタ
を使用した液晶ディスプレイは、着色層の変形量が小さ
いものであり、色むらがなく、コントラスト比の高い画
像表示が可能であった。
As shown in Table 1, the pattern samples formed by using the photosensitive resin compositions I, II, and III of each color have high dynamic hardness, and these photosensitive resin compositions are used. A liquid crystal display using a color filter having a colored layer formed thereon has a small amount of deformation of the colored layer, has no color unevenness, and can display an image with a high contrast ratio.

【0038】また、感光性樹脂組成物IV、Vを用いて形
成したカラーフィルタは、セル組み時の着色層の変形量
が小さく、ラビング処理時に傷が発生することはなかっ
た。しかし、着色層の光透過性が悪く、このカラーフィ
ルタIV、Vを使用した液晶ディスプレイの画像品質はコ
ントラスト比が低く、カラーフィルタI、II、IIIを使
用した液晶ディスプレイの画像品質よりも悪いものであ
った。さらに、酸化ケイ素を含有しない感光性樹脂組成
物VIを用いて着色層を形成したカラーフィルタは、セル
組み時の着色層の変形量が大きく、また、ラビング処理
時に傷が発生し、画像表示が良好な液晶ディスプレイの
製造が困難であった。
In the color filters formed using the photosensitive resin compositions IV and V, the amount of deformation of the colored layer during cell assembly was small, and no scratch was generated during the rubbing treatment. However, the light transmittance of the colored layer is poor, and the image quality of the liquid crystal display using the color filters IV and V has a low contrast ratio and is lower than the image quality of the liquid crystal display using the color filters I, II and III. Met. Further, in the color filter in which the colored layer is formed using the photosensitive resin composition VI containing no silicon oxide, the amount of deformation of the colored layer at the time of cell assembly is large, and a scratch is generated at the time of rubbing treatment, and image display is poor. It was difficult to produce a good liquid crystal display.

【0039】[実施例2]まず、平均粒径が20nmで
ある酸化ケイ素が形成後の着色層中に下記表2に示す含
有量で含有されるように、赤色パターン用の感光性樹脂
組成物として下記の5種の感光性樹脂組成物R−1、R
−2、R−3、R−4、R−5を調製した。尚、赤色の
色材としてキノフタレンレッド系顔料を用いた。
Example 2 First, a photosensitive resin composition for a red pattern such that silicon oxide having an average particle diameter of 20 nm is contained in the formed colored layer at the content shown in Table 2 below. The following five types of photosensitive resin compositions R-1 and R
-2, R-3, R-4 and R-5 were prepared. Note that a quinophthalene red pigment was used as a red color material.

【0040】同様に、緑色パターン用の感光性樹脂組成
物として、下記組成の5種の感光性樹脂組成物G−1、
G−2、G−3、G−4、G−5を調製した。尚、緑色
の色材としてハロゲン化銅フタロシアニン系顔料を用い
た。また、青色パターン用の感光性樹脂組成物として、
下記組成の5種の感光性樹脂組成物B−1、B−2、B
−3、B−4、B−5、を調製した。尚、青色の色材と
してフタロシアニンブルー顔料を用いた。
Similarly, five types of photosensitive resin compositions G-1 having the following compositions were used as photosensitive resin compositions for green patterns.
G-2, G-3, G-4 and G-5 were prepared. Note that a halogenated copper phthalocyanine pigment was used as a green color material. Further, as a photosensitive resin composition for a blue pattern,
Five types of photosensitive resin compositions B-1, B-2, and B having the following compositions
-3, B-4 and B-5 were prepared. A phthalocyanine blue pigment was used as a blue color material.

【0041】 感光性樹脂組成物R−1、G−1、B−1の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 3重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材 … 37重量部 ・ポリマー … 35重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 18重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 7重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin compositions R-1, G-1, B-1 Silicon oxide (colloidal silica): 3 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) Coloring material: 37 parts by weight Polymer: 35 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer: 18 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator: 7 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0042】 感光性樹脂組成物R−2、G−2、B−2の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 10重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材 … 33重量部 ・ポリマー … 34重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 17重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 6重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin compositions R-2, G-2, B-2: Silicon oxide (colloidal silica): 10 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content indication) Coloring material: 33 parts by weight Polymer: 34 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer: 17 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator: 6 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0043】 感光性樹脂組成物R−3、G−3、B−3の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 20重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材 … 32重量部 ・ポリマー … 29重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 14重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 5重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin compositions R-3, G-3 and B-3: Silicon oxide (colloidal silica) 20 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content indication) Coloring material: 32 parts by weight Polymer: 29 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer: 14 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator: 5 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0044】 感光性樹脂組成物R−4、G−4、B−4の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 25重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材 … 30重量部 ・ポリマー … 26重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 14重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 5重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin compositions R-4, G-4 and B-4: Silicon oxide (colloidal silica): 25 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content indication) Coloring material: 30 parts by weight Polymer: 26 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer: 14 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator: 5 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0045】 感光性樹脂組成物R−5、G−5、B−5の組成 ・酸化ケイ素(コロイダルシリカ) … 0重量部 (日産化学工業(株)製スノーテックスNPC−ST) (固形分表示) ・色材 … 40重量部 ・ポリマー … 35重量部 (スチレン−メタクリル酸メチル−メタクリル酸の共重合体) ・モノマー … 18重量部 (ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・光重合開始剤 … 7重量部 (チバスペシャリティケミカルズ社製イルガキュア907) ・溶剤 … 200重量部 (プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) Composition of photosensitive resin compositions R-5, G-5, B-5: Silicon oxide (colloidal silica): 0 parts by weight (Snowtex NPC-ST manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) (solid content display) Coloring material: 40 parts by weight Polymer: 35 parts by weight (copolymer of styrene-methyl methacrylate-methacrylic acid) Monomer: 18 parts by weight (dipentaerythritol pentaacrylate) Photopolymerization initiator: 7 parts by weight (Irgacure 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) Solvent: 200 parts by weight (propylene glycol monomethyl ether acetate)

【0046】次に、上記の各着色パターン用の感光性樹
脂組成物(1、2、3、4、5)について、実施例1と
同様にして、ダイナミック硬さを測定し下記の表2に示
した。
Next, the dynamic hardness of the photosensitive resin composition (1, 2, 3, 4, 5) for each of the above colored patterns was measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2 below. Indicated.

【0047】次に、実施例1と同様にして、ガラス基板
上にブラックマトリックスと着色層を形成し、着色層上
に酸化インジウムスズ(ITO)からなる共通透明電極
層を形成した。これにより、図1に示されるような構造
のカラーフィルタ(試料1、2、3、4、5)を得た。
次に、上記のカラーフィルタを用いて、実施例1と同様
にして、液晶ディスプレイを作製し、表示画像の色むら
の有無を観察して、結果を下記の表2に示した。
Next, in the same manner as in Example 1, a black matrix and a colored layer were formed on a glass substrate, and a common transparent electrode layer made of indium tin oxide (ITO) was formed on the colored layer. Thus, a color filter (samples 1, 2, 3, 4, and 5) having a structure as shown in FIG. 1 was obtained.
Next, a liquid crystal display was produced using the above color filters in the same manner as in Example 1, and the presence or absence of color unevenness in the displayed image was observed. The results are shown in Table 2 below.

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】表2に示されるように、着色層中に酸化ケ
イ素を5〜20重量%の範囲で含有するカラーフィルタ
2、3は、着色層のダイナミック硬さが十分に大きく、
このため、セル組み時の着色層の変形量が小さく、ラビ
ング処理時に傷が発生することはなく、画像表示が良好
な液晶ディスプレイの製造を可能とすることが確認され
た。
As shown in Table 2, the color filters 2 and 3 containing silicon oxide in the colored layer in the range of 5 to 20% by weight have a sufficiently large dynamic hardness of the colored layer.
For this reason, it was confirmed that the deformation amount of the colored layer at the time of cell assembly was small, no scratch was generated during the rubbing treatment, and it was possible to manufacture a liquid crystal display with good image display.

【0050】しかし、着色層中の酸化ケイ素の含有量が
3重量%であるカラーフィルタ1、着色層中に酸化ケイ
素を含有しないカラーフィルタ5は、着色層のダイナミ
ック硬さが小さく、このため、セル組み時の着色層の変
形量が大きく、また、ラビング処理により傷つきが生
じ、画像表示が良好な液晶ディスプレイの製造が困難で
あった。また、着色層中に酸化ケイ素を25重量%含有
するカラーフィルタ5は、着色層のダイナミック硬さが
大きく、このため、セル組み時の着色層の変形量が小さ
いものの、着色パターンの形成精度が悪いものであっ
た。
However, the color filter 1 containing 3% by weight of silicon oxide in the colored layer and the color filter 5 containing no silicon oxide in the colored layer have a small dynamic hardness of the colored layer. The amount of deformation of the colored layer during cell assembly is large, and rubbing treatment causes damage, making it difficult to produce a liquid crystal display with good image display. Further, the color filter 5 containing 25% by weight of silicon oxide in the coloring layer has a large dynamic hardness of the coloring layer, and therefore has a small deformation amount of the coloring layer at the time of cell assembly, but has a high precision of forming the coloring pattern. It was bad.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば着
色層に含有された無機粉体によって着色層の硬度が高く
なるので、着色層の耐擦過性が向上し、配向層のラビン
グ処理時の着色層の傷つきが防止され、また、セル圧着
時の高温高圧下における着色層の変形量が小さいものと
なり、表示品質に優れ信頼性の高い液晶ディスプレイが
可能となる。
As described above in detail, according to the present invention, the hardness of the colored layer is increased by the inorganic powder contained in the colored layer, so that the abrasion resistance of the colored layer is improved and the rubbing of the alignment layer is performed. The colored layer is prevented from being damaged during processing, and the amount of deformation of the colored layer under high temperature and high pressure during cell compression is reduced, so that a highly reliable liquid crystal display with excellent display quality can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの実施形態の一例を示
す縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of an embodiment of a color filter of the present invention.

【図2】荷重と変形量との関係を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a relationship between a load and a deformation amount.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…カラーフィルタ 2…基板 3…ブラックマトリックス 4…着色層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter 2 ... Substrate 3 ... Black matrix 4 ... Coloring layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 Fターム(参考) 2H025 AA10 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CC08 CC11 CC20 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 2H091 FA02Y FA35Y GA13 LA02 LA15 4J002 AB021 BB061 BB081 BB101 BC031 BC061 BD041 BD181 BE021 BF021 BG011 BG041 BG051 BG061 BH021 BN151 BQ001 CC031 CD001 CF061 CF071 CF161 CG001 CH071 CH091 CK011 CL011 CL031 CM041 CN011 CN031 DJ017 EU026 FD017 FD096 GP03──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 F term (Reference) 2H025 AA10 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CC08 CC11 CC20 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 2H091 FA02Y FA35Y GA13 LA02 LA15 4J002 AB021 BB061 BB081 BB101 BC031 BC061 BD041 BD181 BE021 BF021 BG011 BG041 BG051 BG061 BH021 BN151 BQ001 CF01 CF1 CF1 CF11 001

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、該基板上に所定のパターンで形
成された複数色からなる着色層とを備え、該着色層は少
なくとも色材、無機粉体および樹脂成分を含有し、前記
無機粉体の平均粒径は10〜20nmの範囲内であるこ
とを特徴とする液晶ディスプレイ用カラーフィルタ。
1. A substrate comprising: a substrate; and a colored layer having a plurality of colors formed in a predetermined pattern on the substrate, wherein the colored layer contains at least a coloring material, an inorganic powder, and a resin component. A color filter for a liquid crystal display, wherein an average particle diameter of the body is in a range of 10 to 20 nm.
【請求項2】 前記着色層は前記無機粉体を5〜20重
量%の範囲で含有することを特徴とする請求項1に記載
の液晶ディスプレイ用カラーフィルタ。
2. The color filter according to claim 1, wherein the coloring layer contains the inorganic powder in a range of 5 to 20% by weight.
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