JP2002158382A - Method and device for deciding appropriate driving temperature of laser source - Google Patents
Method and device for deciding appropriate driving temperature of laser sourceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ペルチェ素子など
の熱源上に配設されたレーザ光源から発せられるレーザ
光の出力パワーが最大となる該レーザ光源の適正駆動温
度を決定するための方法および装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for determining an appropriate driving temperature of a laser light source which maximizes the output power of the laser light emitted from the laser light source disposed on a heat source such as a Peltier device. It concerns the device.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えばコンパクトディスクプレーヤ、ミ
ニディスクプレーヤなどのピックアップ部の読取光源、
放射線画像読取装置(例えば特公平 3-79695号、特開平
7-191421号など)、蛍光診断装置(例えば特開平1-1366
30号、特開平 7-59783号など)、あるいはマクロアレ
イ、マイクロアレイ、DNAチップなどを用いて遺伝子
発現解析を行なうための蛍光検出装置(例えば“マイク
ロアレイを用いた遺伝子発現解析;実験医学シリーズ
(株式会社羊土社出版),第17巻(1999年),1
月号,P61〜P65”や“遺伝子医学;Vol.4,No.1 2000
(株)メディカルドゥ”)の励起光源としてレーザ光源が
使用されていることは良く知られている。2. Description of the Related Art For example, a reading light source of a pickup section of a compact disk player, a mini disk player, or the like,
Radiation image reader (for example, Japanese Patent Publication No. 3-79695,
7-191421, etc.), a fluorescence diagnostic apparatus (for example,
No. 30, JP-A-7-59783, etc.) or a fluorescence detection device for performing gene expression analysis using a macroarray, a microarray, a DNA chip, etc. (for example, “Gene expression analysis using microarray; Yodosha Publishing Co., Ltd.), Volume 17 (1999), 1
Monthly Issue, P61-P65 ”and“ Gene Medicine; Vol.4, No.1 2000
It is well known that a laser light source is used as an excitation light source of "Medical Do Co., Ltd.").
【0003】また、レーザ光源中でも特にレーザダイオ
ード(半導体レーザ)を用いたレーザ光源は、小型であ
ること、安価であること、取り扱いが容易であることな
どから、従来の固体レーザ、ガスレーザなどに代えて使
用されることが多くなってきており、急速にその需要が
増大している。[0003] Among laser light sources, particularly, a laser light source using a laser diode (semiconductor laser) is small in size, inexpensive, and easy to handle. It has been increasingly used, and its demand is rapidly increasing.
【0004】また例えば特開昭 62-189783号に示される
ように、ネオジウムなどの希土類が添加された固体レー
ザ結晶を、レーザダイオードから発せられた光(レーザ
ビーム)によって固体レーザビームを励起するレーザダ
イオード励起固体レーザ(以下LD励起固体レーザとも
いう)も公知となっている。このLD励起固体レーザ
は、高出力の光出力を得るにも適することから、例えば
MOPAレーザ(MasterOscillator-Power Amplifier
;MOPA型のレーザダイオード、ElectronicsLett
ers Vol.28 No.2 p 2011〜2013、Optics&Photonics
News Mch. '93p 11〜13、特開平6-291400号)などと
ともに、高出力レーザとしての利用が広がっている。For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-189783, a solid-state laser crystal to which a rare earth element such as neodymium is added is irradiated with a laser (a laser beam) emitted from a laser diode to excite the solid-state laser beam. A diode-pumped solid-state laser (hereinafter, also referred to as an LD-pumped solid-state laser) is also known. This LD-pumped solid-state laser is also suitable for obtaining a high-output optical output, and thus is, for example, a MOPA laser (Master Oscillator-Power Amplifier).
A MOPA type laser diode, Electronics Lett;
ers Vol.28 No.2 p 2011-2013, Optics & Photonics
As well as News Mch. '93p 11-13, JP-A-6-291400), its use as a high-power laser is expanding.
【0005】また、このLD励起固体レーザにおいて
は、より短波長のレーザビームを得るために、その共振
器内に非線形光学結晶を配置して、固体レーザビームを
第2高調波や和周波などに波長変換することも広く行な
われており、例えば近赤外の出力光(固体レーザビー
ム)をベースに非線形光学結晶を用いて周波数2逓倍に
より可視光や紫外光を得ることを目的として第2高調波
を取り出すものは、SHG(Second Harmonic Generati
on)レーザといわれている。In this LD-pumped solid-state laser, in order to obtain a laser beam having a shorter wavelength, a non-linear optical crystal is arranged in the resonator to convert the solid-state laser beam to a second harmonic, a sum frequency, or the like. Wavelength conversion is also widely performed. For example, a second harmonic is used to obtain visible light or ultraviolet light by frequency doubling using a nonlinear optical crystal based on near-infrared output light (solid laser beam). The thing that takes out the waves is SHG (Second Harmonic Generati)
on) It is called a laser.
【0006】一方、レーザ光源を上記各種装置の光源と
して使用する場合、読取精度の安定化などのため、定常
状態においてレーザ光源の光出力(発光量)を一定に保
つために、光出力をフォトダイオードなどの光検出素子
により検出し、光検出素子の出力信号が一定の値となる
ようにするAPC(Automatic Power Control) 制御を
行なうのが一般的である。On the other hand, when a laser light source is used as a light source of the above-described various devices, the light output (light emission amount) of the laser light source is kept constant in a steady state in order to stabilize reading accuracy and the like. In general, APC (Automatic Power Control) control is performed so that the output signal of the photodetector is detected by a photodetector such as a diode and the output signal of the photodetector has a constant value.
【0007】また、LD励起固体レーザ(上述のように
波長変換するものも含む。以下同様である。)などを用
いたもののように比較的高出力の光出力を得ることので
きるレーザ光源においては、励起源であるレーザダイオ
ードの光出力(出力パワー)および発振波長の変動を抑
えるため、さらに上述の波長変換を行なうものの場合は
非線形光学結晶において所定の位相整合状態を維持する
ために、レーザダイオード、固体レーザ結晶、あるいは
共振器の各部分を所定温度に温度調節するのが一般的で
ある。例えばSHGレーザの場合、エタロンによるモー
ド制御の影響を受けるため、温度制御を厳しく管理する
必要がある。A laser light source capable of obtaining a relatively high output light, such as a laser using an LD-pumped solid-state laser (including the one that converts the wavelength as described above; the same applies hereinafter), is used. In order to suppress variations in the optical output (output power) and oscillation wavelength of the laser diode as the pump source, and to maintain a predetermined phase matching state in the nonlinear optical crystal in the case of performing the above-described wavelength conversion, Generally, the temperature of each part of the solid-state laser crystal or the resonator is adjusted to a predetermined temperature. For example, in the case of an SHG laser, since it is affected by the mode control by the etalon, it is necessary to strictly control the temperature control.
【0008】この温度調節は通常、上記の各部分をペル
チェ素子(発熱吸熱素子)などの電子冷却素子上に載置
するとともに、レーザダイオードや共振器内の温度を検
出し、その検出温度に基づいて前記各部分を最終目的温
度に保つように電子冷却素子をフィードバック制御によ
り駆動することによってなされる。This temperature adjustment is usually carried out by placing the above-mentioned parts on an electronic cooling element such as a Peltier element (heat-absorbing / absorbing element), detecting the temperature in a laser diode or a resonator, and based on the detected temperature. In this case, the electronic cooling element is driven by feedback control so as to keep the above-mentioned parts at the final target temperature.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】この温度調節に際して
の最終目的温度は、光出力が温度依存性を持つので、光
出力が略最大となるような適正駆動温度(適正動作温
度)にする必要がある。このため、従来は以下のように
して適正駆動温度を決定(温度探査)していた。すなわ
ち、レーザダイオードなどレーザ光源に用いられている
発光源を定電流駆動するとともにペルチェ素子などの熱
源を駆動してレーザ光源(特に発光源であるレーザダイ
オード)が略一定温度で安定するまで待ち、このある安
定した温度における光出力を検出する。次に調節温度を
若干昇温あるいは降温させて温度安定を待ち、再び光出
力を検出する。このように温度を若干変化させながら光
出力を検出するということを繰り返して、温度と光出力
との関係を示す温度特性情報を取得する。そしてこの取
得した温度特性情報に基づいて、光出力がほぼ最大とな
る温度を求め、これを適正駆動温度として決定する。一
度、適正駆動温度が求まれば、再びこのレーザ光源を使
用する場合は、予め求めておいた適正駆動温度に最初か
ら調節して使用する。Since the optical output has a temperature dependency, it is necessary to set the final target temperature at the time of this temperature adjustment to an appropriate driving temperature (appropriate operating temperature) at which the optical output becomes substantially maximum. is there. For this reason, conventionally, an appropriate driving temperature has been determined (temperature search) as follows. That is, the light emitting source used for the laser light source such as a laser diode is driven at a constant current, and the heat source such as a Peltier element is driven to wait until the laser light source (particularly the laser diode as the light emitting source) is stabilized at a substantially constant temperature. The light output at this certain stable temperature is detected. Next, the control temperature is raised or lowered slightly to wait for the temperature to stabilize, and the light output is detected again. By repeatedly detecting the light output while slightly changing the temperature, temperature characteristic information indicating the relationship between the temperature and the light output is obtained. Then, based on the acquired temperature characteristic information, a temperature at which the optical output becomes substantially maximum is determined, and this is determined as an appropriate driving temperature. Once the proper driving temperature is determined, if this laser light source is to be used again, it is adjusted from the beginning to the previously determined proper driving temperature before use.
【0010】また、この適正駆動温度は経時で変化する
ことがあるため、一旦適正駆動温度を決定した後にも、
定期的(例えば1ヶ月おき)に前述同様に温度特性情報
を取得して適正駆動温度を改めて決定することが行なわ
れている。Further, since the proper driving temperature may change with time, even after the proper driving temperature is once determined,
The temperature characteristic information is acquired periodically (for example, every other month) in the same manner as described above, and the appropriate driving temperature is determined again.
【0011】しかしながら、上記説明から分かるよう
に、従来の方法では、温度安定を待ちながら光検出を行
なって温度特性情報を取得するため、適正駆動温度を決
定するまでに時間がかかるという問題がある。例えば、
2℃の温度範囲で温度を変化させて温度特性情報を取得
する場合には適正駆動温度を決定するまでに6分程度を
要するものもある。このため、レーザ光源を使用する上
記各種装置においては、装置起動後の適正駆動温度が決
定されるまでの間は、事実上該装置を使用できないとい
う問題が生じていた。However, as can be seen from the above description, the conventional method has a problem that it takes time to determine an appropriate driving temperature because light detection is performed while waiting for temperature stabilization to acquire temperature characteristic information. . For example,
When temperature characteristics information is acquired by changing the temperature in a temperature range of 2 ° C., it may take about 6 minutes to determine an appropriate driving temperature. For this reason, in the various devices using the laser light source, there has been a problem that the device cannot be used until the proper driving temperature is determined after the device is started.
【0012】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであり、レーザ光源の適正駆動温度を短時間で決定す
ることのできる方法および装置を提供することを目的と
するものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a method and an apparatus capable of determining an appropriate driving temperature of a laser light source in a short time.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明の適正駆動温度決
定方法は、レーザ光源をほぼ一定の温度勾配で変温させ
ながら光出力を検出することにより光出力の温度特性情
報を取得し、この温度特性情報に基づいて適正駆動温度
を決定することを特徴とするものである。According to the present invention, a method of determining an appropriate driving temperature obtains temperature characteristic information of an optical output by detecting an optical output while changing the temperature of a laser light source with a substantially constant temperature gradient. It is characterized in that an appropriate driving temperature is determined based on temperature characteristic information.
【0014】すなわち本発明の適正駆動温度決定方法
は、熱源上に配設されたレーザ光源から発せられるレー
ザ光の出力パワーが略最大となる該レーザ光源の適正駆
動温度を決定するための方法であって、レーザ光源の温
度が略一定の勾配で変化するように熱源を駆動しながら
該レーザ光源から発せられたレーザ光の出力パワーを検
出することにより出力パワーの温度特性を示す温度特性
情報を取得し、取得した温度特性情報に基づいて適正駆
動温度を決定することを特徴とするものである。That is, the method for determining an appropriate driving temperature of the present invention is a method for determining an appropriate driving temperature of a laser light source at which the output power of the laser light emitted from the laser light source disposed on the heat source becomes substantially maximum. Then, while driving the heat source so that the temperature of the laser light source changes at a substantially constant gradient, the output power of the laser light emitted from the laser light source is detected to obtain temperature characteristic information indicating the temperature characteristics of the output power. It is characterized in that an appropriate driving temperature is determined based on the acquired temperature characteristic information.
【0015】出力パワーの温度特性を示す温度特性情報
とは、温度変化と出力パワー変化との関係を示す情報を
意味する。The temperature characteristic information indicating the temperature characteristic of the output power means information indicating the relationship between the temperature change and the output power change.
【0016】熱源を駆動しながらレーザ光の出力パワー
を検出して温度特性情報を取得するに際しては、所定の
温度間隔でレーザ光の出力パワーを検出するのが望まし
い。所定の温度間隔とあるが、略一定の勾配で温度変化
させているから、実質的には一定の時間間隔で出力パワ
ーを検出すればよい。ここで、所定の温度間隔で該レー
ザ光の出力パワーを検出するとは、所定の温度間隔に応
じたレーザ光源の各温度における出力パワーを検出する
という意味である。In obtaining temperature characteristic information by detecting the output power of the laser beam while driving the heat source, it is desirable to detect the output power of the laser beam at predetermined temperature intervals. Although there is a predetermined temperature interval, since the temperature is changed at a substantially constant gradient, the output power may be detected at substantially constant time intervals. Here, detecting the output power of the laser beam at a predetermined temperature interval means detecting the output power at each temperature of the laser light source corresponding to the predetermined temperature interval.
【0017】なお、レーザ光の出力パワーの温度特性情
報を取得するものであるから、温度特性情報を取得する
際には、当然に、レーザ光源は少なくてもAPC制御を
作動させない。Since the temperature characteristic information of the output power of the laser light is acquired, the APC control is not activated even if the laser light source is small at the time of acquiring the temperature characteristic information.
【0018】また、正確な温度特性情報を取得するに
は、データの連続性を持たせるべく、半導体レーザなど
の発光源に流れる電流量を一定値に保つ定電流駆動を行
なうのが望ましい。またこの際には、定常状態における
レーザ光源の基準パワー(基準光出力値)に対応する定
常電流量と略等しい電流値となるように定電流駆動を行
なうのがよい。つまり、できるだけ適正な駆動状態で発
光源を駆動しておくということである。Further, in order to obtain accurate temperature characteristic information, it is desirable to perform constant current driving for maintaining the amount of current flowing to a light emitting source such as a semiconductor laser at a constant value in order to maintain data continuity. In this case, it is preferable to perform the constant current drive so that the current value becomes substantially equal to the steady current amount corresponding to the reference power (reference light output value) of the laser light source in the steady state. That is, the light-emitting source is driven in an appropriate driving state as much as possible.
【0019】温度特性情報に基づいて適正駆動温度を決
定するに際しては、例えば従来方法と同様に、出力パワ
ー(光出力)がほぼ最大となる温度を適正駆動温度とし
てもよいし、あるいは出力パワーの最大値を挟んだ所定
位置(例えば最大値の90%位置)の温度の中央値を適
正駆動温度としてもよい。When determining the proper drive temperature based on the temperature characteristic information, a temperature at which the output power (light output) becomes substantially maximum may be set as the proper drive temperature, for example, as in the conventional method. The median value of the temperature at a predetermined position (for example, a 90% position of the maximum value) across the maximum value may be set as the appropriate drive temperature.
【0020】なお、適正駆動温度を再決定する場合にお
いて、取得した温度特性情報が複数のピーク(極大)を
呈する場合には、前回決定した適正駆動温度に近い方を
今回の適正駆動温度とするとよい。If the acquired temperature characteristic information shows a plurality of peaks (maximum values) when re-determining the proper driving temperature, the one closer to the previously determined proper driving temperature is set as the present proper driving temperature. Good.
【0021】熱源上に配設されたレーザ光源とあるが、
温度調節用の熱源上にレーザ光源が直接に配設された形
態のものに限らず、レーザ光の出力パワーが最大となる
適正駆動温度を決定する必要があるものであればよい。
例えば、熱源とレーザ光源とが近接して配され、実質的
に熱源上にレーザ光源が配設されたものと言い得るもの
であってもよい。There is a laser light source disposed on a heat source.
The present invention is not limited to the configuration in which the laser light source is directly disposed on the heat source for temperature adjustment, but may be any configuration that determines the appropriate driving temperature at which the output power of the laser light is maximized.
For example, the heat source and the laser light source may be arranged close to each other, and the laser light source may be substantially arranged on the heat source.
【0022】本発明の適正駆動温度決定装置は、熱源上
に配設されたレーザ光源から発せられるレーザ光の出力
パワーが略最大となる該レーザ光源の適正駆動温度を決
定するための装置であって、レーザ光源の温度が略一定
の勾配で変化するように熱源を駆動しながら該レーザ光
源から発せられたレーザ光の出力パワーを検出すること
により、出力パワーの温度特性を示す温度特性情報を取
得する温度特性情報取得手段と、この取得された温度特
性情報に基づいて適正駆動温度を決定する適正駆動温度
決定手段とを備えたことを特徴とするものである。An apparatus for determining an appropriate driving temperature according to the present invention is an apparatus for determining an appropriate operating temperature of a laser light source at which the output power of the laser light emitted from the laser light source disposed on the heat source becomes substantially maximum. By detecting the output power of the laser light emitted from the laser light source while driving the heat source so that the temperature of the laser light source changes at a substantially constant gradient, the temperature characteristic information indicating the temperature characteristics of the output power can be obtained. It is characterized by comprising temperature characteristic information acquiring means for acquiring and proper driving temperature determining means for deciding a proper driving temperature based on the acquired temperature characteristic information.
【0023】本発明の適正駆動温度決定装置において
は、温度特性情報取得手段を、レーザ光源の温度が0.
1℃/秒以下の範囲内の略一定の勾配で変化するように
熱源を駆動するものとすることが望ましい。In the apparatus for determining an appropriate driving temperature according to the present invention, the temperature characteristic information acquiring means is provided with a laser light source having a temperature of 0.
It is desirable to drive the heat source so as to change at a substantially constant gradient within a range of 1 ° C./sec or less.
【0024】また本発明の適正駆動温度決定装置におい
ては、レーザ光源がレーザダイオードを有するものであ
ることが望ましい。In the apparatus for determining an appropriate driving temperature according to the present invention, it is preferable that the laser light source has a laser diode.
【0025】さらに本発明の適正駆動温度決定装置にお
いては、レーザ光源がSHGレーザなどのレーザダイオ
ード励起固体レーザを有するものであることが望まし
い。つまり、レーザダイオードが励起固体レーザの固体
レーザ結晶を励起する励起源として用いられるものであ
るということである。Further, in the proper driving temperature determining apparatus of the present invention, it is preferable that the laser light source has a laser diode pumped solid laser such as an SHG laser. That is, the laser diode is used as an excitation source for exciting the solid-state laser crystal of the excitation solid-state laser.
【0026】なお、本発明の効果を十分に享受するに
は、レーザ光源の適正駆動温度下の出力パワーの範囲が
0.05mW〜20mWであることが望ましい。In order to fully enjoy the effects of the present invention, it is desirable that the range of the output power at an appropriate driving temperature of the laser light source is 0.05 mW to 20 mW.
【0027】また、同様の理由により、適正駆動温度と
して採り得る範囲が10℃〜45℃の範囲で、レーザ光
源の使用環境温度が0℃〜50℃であることが望まし
い。For the same reason, it is desirable that the range which can be adopted as the proper driving temperature is 10 ° C. to 45 ° C. and the operating environment temperature of the laser light source is 0 ° C. to 50 ° C.
【0028】[0028]
【発明の効果】本発明の適正駆動温度決定方法および装
置によれば、レーザ光源をほぼ一定の温度勾配で変化さ
せながら光出力を検出することにより光出力の温度特性
情報を取得し、この温度特性情報に基づいて適正駆動温
度を決定するようにしているので、温度を微小変化させ
た後レーザ光源の温度が安定するまでの間の待ち時間が
なく、温度特性情報を高速に取得でき、結果的には適正
駆動温度決定の処理時間の短縮化を図ることができる。According to the method and the apparatus for determining an appropriate driving temperature of the present invention, the temperature characteristic information of the light output is obtained by detecting the light output while changing the laser light source with a substantially constant temperature gradient. Since the proper drive temperature is determined based on the characteristic information, there is no waiting time until the temperature of the laser light source stabilizes after the temperature is slightly changed, and the temperature characteristic information can be acquired at high speed. Specifically, the processing time for determining the appropriate driving temperature can be reduced.
【0029】これにより、レーザ光源を使用する上記各
種装置を起動した後の適正駆動温度が決定されるまでの
間に、該装置を使用できないという問題を解消すること
もできる。Thus, it is also possible to solve the problem that the apparatus cannot be used before the appropriate driving temperature is determined after starting the various apparatuses using the laser light source.
【0030】[0030]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0031】図1は本発明の適正駆動温度決定装置を包
含したレーザ光源の一実施形態を示す図、図2は、この
レーザ光源とともに、適正駆動温度決定装置をなす回路
部分や発光源などを駆動する回路部分を示すブロック図
である。FIG. 1 is a view showing one embodiment of a laser light source including a proper driving temperature determining device according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a circuit portion and a light emitting source constituting the proper driving temperature determining device together with this laser light source. FIG. 3 is a block diagram illustrating a circuit portion to be driven.
【0032】レーザ光源1のパッケージケース9内に
は、励起用のレーザビームL1を発するレーザダイオー
ド(半導体レーザ)11と、発散光である上記レーザビ
ームL1を集光する例えば屈折率分布型ロッドレンズ
(セルフォックレンズ)などからなる集光レンズ12
と、ネオジウム(Nd)がドーピングされた固体レーザ
媒質(固体レーザ結晶)であるYAG結晶(以下Nd:
YAG結晶という)13と、このNd:YAG結晶13
の前方側(図中右方側)に配設された共振器ミラー14
と、この共振器ミラー14とNd:YAG結晶13との
間に、結晶13側から順にブリュースター板15a、2
次高調波発生素子としてのLiNbO3 結晶(以下LN
結晶という)15b、エタロン15cが順に配されてな
る波長変換ユニット15とを有するLD励起固体レーザ
10が設けられている。In the package case 9 of the laser light source 1, a laser diode (semiconductor laser) 11 for emitting a laser beam L1 for excitation, and a refractive index distribution type rod lens for condensing the laser beam L1, which is divergent light, are provided. (Selfoc lens) Condensing lens 12
And a YAG crystal (hereinafter, Nd: a solid laser medium) doped with neodymium (Nd).
13) and the Nd: YAG crystal 13
Resonator mirror 14 disposed on the front side (right side in the figure) of
Between the resonator mirror 14 and the Nd: YAG crystal 13, in order from the crystal 13 side.
LiNbO 3 crystal (hereinafter referred to as LNb)
An LD-pumped solid-state laser 10 having a wavelength conversion unit 15 in which a crystal 15b and an etalon 15c are sequentially arranged is provided.
【0033】レーザダイオード11としては、波長80
9nmのレーザビームL1を発するものが用いられてい
る。Nd:YAG結晶13は入射したレーザビームL1
によってネオジウムイオンが励起されて、基本波として
の波長946nmの光を発する。Nd:YAG結晶13
の励起光入射側の端面には、波長946nmの光は良好
に反射させ(反射率99.9%以上)、波長809nmの励
起用レーザビームL1は良好に透過させる(透過率99%
以上)コーティングが施されている。一方共振器ミラー
14のミラー面には、波長946nmの光は良好に反射
させ下記の波長473nmの光は透過させるコーティン
グが施されている。The laser diode 11 has a wavelength of 80
One that emits a 9 nm laser beam L1 is used. The Nd: YAG crystal 13 receives the incident laser beam L1.
Excites neodymium ions, and emits light having a wavelength of 946 nm as a fundamental wave. Nd: YAG crystal 13
The light of 946 nm wavelength is reflected well (reflectance of 99.9% or more) and the excitation laser beam L1 of 809 nm wavelength is satisfactorily transmitted (transmittance of 99%) on the end face on the side of the excitation light incident side.
Above) coating is applied. On the other hand, the mirror surface of the resonator mirror 14 is provided with a coating that satisfactorily reflects light having a wavelength of 946 nm and transmits light having a wavelength of 473 nm described below.
【0034】これにより、Nd:YAG結晶13と共振
器ミラー14によってファブリー・ペロー型共振器が構
成され、波長946nmの光は上記各面間に閉じ込めら
れてレーザ発振を引き起こし、こうして発生したレーザ
ビーム(基本波)L2は波長変換ユニット15により波
長が1/2すなわち473nmの第2高調波であるレー
ザビームL3に変換され、主にこのレーザビーム(第2
高調波)L3が共振器ミラー14から出射する。すなわ
ち、本実施形態のレーザ光源1のLD励起固体レーザ1
0はSHGレーザとして機能する。As a result, a Fabry-Perot resonator is formed by the Nd: YAG crystal 13 and the resonator mirror 14, and the light having a wavelength of 946 nm is confined between the above-described surfaces to cause laser oscillation. The (fundamental wave) L2 is converted by the wavelength conversion unit 15 into a laser beam L3, which is a second harmonic having a wavelength of す な わ ち, that is, 473 nm.
Harmonics) L3 are emitted from the resonator mirror 14. That is, the LD-pumped solid-state laser 1 of the laser light source 1 of the present embodiment
0 functions as an SHG laser.
【0035】なお、Nd:YAG結晶13の代わりにY
VO結晶を用いると、波長532nmの第2高調波をレ
ーザビームL3として得ることができる。Note that, instead of the Nd: YAG crystal 13, Y
When a VO crystal is used, a second harmonic having a wavelength of 532 nm can be obtained as a laser beam L3.
【0036】Nd:YAG結晶13、波長変換ユニット
15、および共振器ミラー14は共振器ホルダー95に
固定され、この共振器ホルダー95が基準板22に固定
設置されている。この基準板22は、共振器構造の位置
精度を高めるために用いられることに加えて、ペルチェ
素子の熱をNd:YAG結晶13などに効率よく伝導す
るために用いられるものであり、熱伝導率が高くて面内
温度勾配が生じ難い銅などの金属体からなる。The Nd: YAG crystal 13, the wavelength conversion unit 15, and the resonator mirror 14 are fixed to a resonator holder 95, and the resonator holder 95 is fixed to the reference plate 22. The reference plate 22 is used not only for improving the positional accuracy of the resonator structure but also for efficiently conducting the heat of the Peltier element to the Nd: YAG crystal 13 and the like, and has a thermal conductivity. It is made of a metal body such as copper, which is high in temperature and hardly generates an in-plane temperature gradient.
【0037】このレーザ光源1には、該レーザ光源1の
略全体を略一定の温度に保つように温度制御を行なう温
度制御機能が組み込まれいている。すなわち、レーザ光
源1のパッケージケース9内には、素子本体24a、上
面24b、底面24cからなる熱源としてのペルチェ素
子24が設けられ、この装置載置面(パッケージケース
底面)上にペルチェ素子24の底面24cが固定されて
いる。ペルチェ素子24の上面24bには基準板22が
固定されている。基準板22とペルチェ素子24との間
には、両者の間の密着性および熱伝導性をよくするため
に、弾力性を有する熱伝導性シートなどを配してもよ
い。The laser light source 1 has a built-in temperature control function for controlling the temperature so that substantially the entire laser light source 1 is maintained at a substantially constant temperature. That is, in the package case 9 of the laser light source 1, a Peltier device 24 as a heat source composed of an element body 24a, an upper surface 24b, and a bottom surface 24c is provided, and the Peltier device 24 is placed on the device mounting surface (package case bottom surface). The bottom surface 24c is fixed. The reference plate 22 is fixed to the upper surface 24b of the Peltier element 24. Between the reference plate 22 and the Peltier element 24, a heat conductive sheet having elasticity may be arranged in order to improve adhesion and heat conductivity between the two.
【0038】また基準板22上のNd:YAG結晶13
近傍には、温度検出用の温度センサ40が固定されてい
る。この温度センサ40はドライブ基板3上に設けられ
た温度制御回路42に接続されている。なお、図1では
温度センサ40やドライブ基板3は図示していない。温
度センサ40としては、例えばサーミスタや熱電対など
を用いることができる。The Nd: YAG crystal 13 on the reference plate 22
A temperature sensor 40 for temperature detection is fixed in the vicinity. This temperature sensor 40 is connected to a temperature control circuit 42 provided on the drive board 3. In FIG. 1, the temperature sensor 40 and the drive board 3 are not shown. As the temperature sensor 40, for example, a thermistor, a thermocouple, or the like can be used.
【0039】上述のように本実施形態においては、N
d:YAG結晶13と共振器ミラー14によってファブ
リー・ペロー型共振器が構成され、この共振器の部分の
Nd:YAG結晶13近傍の温度が、基準板22に固定
された温度センサ40により検出される。温度制御回路
42はフィードバック型の回路であり、温度センサ40
の検知温度が所定温度となるように該温度制御回路42
によってペルチェ素子24を駆動制御する。このような
温度制御により、Nd:YAG結晶13近傍の温度が所
定温度に保たれる。上述のように、基準板22は、熱伝
導率が高くて面内温度勾配が生じ難い金属体であるか
ら、結果的には、上記共振器のNd:YAG結晶13近
傍部分だけでなく、波長変換ユニット15の各部分(例
えばエタロン15c)、レーザダイオード11、および
集光レンズ12なども含むレーザ光源1の主要部が一定
温度に保たれることとなる。As described above, in this embodiment, N
The d: YAG crystal 13 and the resonator mirror 14 constitute a Fabry-Perot resonator, and the temperature near the Nd: YAG crystal 13 in this resonator is detected by a temperature sensor 40 fixed to the reference plate 22. You. The temperature control circuit 42 is a feedback type circuit, and the temperature sensor 40
Temperature control circuit 42 so that the detected temperature of
Drives the Peltier element 24. By such temperature control, the temperature in the vicinity of the Nd: YAG crystal 13 is maintained at a predetermined temperature. As described above, since the reference plate 22 is a metal body having a high thermal conductivity and hardly causing an in-plane temperature gradient, as a result, not only the portion of the resonator near the Nd: YAG crystal 13 but also the wavelength Main parts of the laser light source 1 including the respective parts of the conversion unit 15 (for example, the etalon 15c), the laser diode 11, and the condenser lens 12 are kept at a constant temperature.
【0040】なおここで、ペルチェ素子24を駆動制御
するに際しては、目標とする所定温度と検知温度との関
係により、発熱作用や吸熱作用をペルチェ素子24に行
なわせるのはいうまでもない。Here, when driving and controlling the Peltier element 24, it goes without saying that the Peltier element 24 is caused to generate heat or absorb heat depending on the relationship between the target predetermined temperature and the detected temperature.
【0041】次に、レーザ光源1の光出力(出力パワ
ー)を一定に保つAPC制御系の構成について説明す
る。基準板22上の波長変換ユニット15のさらに前方
(図中右方側)には、波長選択性を有する光学フィルタ
31とダイクロイックミラーなどのビームスプリッタ3
2とが、レーザビームL3の進行方向に対してこの順に
固定されている。また、基準板22上のレーザビームL
3の進行方向に対して邪魔にならない位置には、APC
用光検出器としてのフォトダイオード33が固定されて
いる。Next, the configuration of the APC control system for keeping the light output (output power) of the laser light source 1 constant will be described. An optical filter 31 having wavelength selectivity and a beam splitter 3 such as a dichroic mirror are further forward (rightward in the figure) of the wavelength conversion unit 15 on the reference plate 22.
2 are fixed in this order with respect to the traveling direction of the laser beam L3. The laser beam L on the reference plate 22
APC in a position that does not interfere with the direction of travel
A photodiode 33 as a photodetector is fixed.
【0042】前記レーザ光源1の主要部とこのAPC制
御系とは、パッケージケース9内に収容されるようにな
っている。パッケージケース9の光路前方側にはレーザ
光(後述する使用光L3a)を出射させるための窓材7
が設けられている。The main part of the laser light source 1 and this APC control system are housed in a package case 9. A window member 7 for emitting laser light (light L3a to be described later) is provided on the front side of the optical path of the package case 9.
Is provided.
【0043】光学フィルタ31は、レーザビーム(第2
高調波)L3を透過させるとともに共振器ミラー14か
ら出射した微弱なレーザビームL1およびレーザビーム
L2をカットする。そしてレーザビームL3の進行方向
に対して傾けて配設されたビームスプリッタ32は、レ
ーザビームL3の大半を使用光L3aとして透過させる
一方、一部を検出光L3bとしてフォトダイオード33
に向けて反射させる。The optical filter 31 is provided with a laser beam (second
The laser beam L1 and the laser beam L2 emitted from the resonator mirror 14 are cut while transmitting the higher harmonic (L3). The beam splitter 32 disposed at an angle to the traveling direction of the laser beam L3 transmits most of the laser beam L3 as the use light L3a, while partially transmitting the photodiode 33 as the detection light L3b.
Reflect toward.
【0044】上記検出光L3bはフォトダイオード33
によって検出され、光量モニタ電流を示す出力信号Sは
ドライブ基板3上に設けられたAPC回路34に入力さ
れる。APC回路34はこの出力信号Sに基づいて、該
出力信号Sが一定化するようにレーザダイオード11の
駆動電流を制御する。これにより、レーザビームL1の
光出力が一定化されて、最終的にはレーザビーム(第2
高調波)L3の出力も略安定するようになる。The detection light L3b is applied to the photodiode 33
And an output signal S indicating the light amount monitor current is input to the APC circuit 34 provided on the drive board 3. The APC circuit 34 controls the drive current of the laser diode 11 based on the output signal S so that the output signal S is constant. Thereby, the light output of the laser beam L1 is stabilized, and finally the laser beam (second
The output of the (harmonic) L3 also becomes substantially stable.
【0045】なお基準板22上に固定されたフォトダイ
オード33も、上記共振器の部分とレーザダイオード1
1および集光レンズ12とともに温度調節されて、所定
温度に保たれる。The photodiode 33 fixed on the reference plate 22 is also connected to the portion of the above-described resonator and the laser diode 1.
The temperature is adjusted together with the lens 1 and the condenser lens 12 so as to be maintained at a predetermined temperature.
【0046】次に、上記レーザ光源1に包含された本発
明の適正駆動温度決定装置5について説明する。Next, the proper drive temperature determining device 5 of the present invention included in the laser light source 1 will be described.
【0047】この適正駆動温度決定装置5は、熱源とし
てのペルチェ素子24上に配設されたレーザ光源1から
発せられるレーザビームL3(実質的には上記使用光L
3a)の出力パワーが最大となる該レーザ光源1の適正
駆動温度を決定するためのものであり、レーザ光源1の
前記主要部の温度(以下単にレーザ光源1の温度とい
う)が略一定の勾配で変化するようにペルチェ素子24
を駆動しながら該レーザ光源1から発せられたレーザビ
ームL3の出力パワーを検出することにより、この出力
パワーの温度特性を示す温度特性情報を取得する温度特
性情報取得手段52と、この取得した温度特性情報に基
づいて適正駆動温度を決定する適正駆動温度決定手段5
4とを備えた構成である。温度特性情報取得手段52お
よび適正駆動温度決定手段54はドライブ基板3上に回
路構成されて設けられている。回路構成として、温度デ
ータや光出力データを取得するためのA/D変換器やデ
ータ処理のためのCPUなどが設けられるのはいうまで
もない。The proper drive temperature determining device 5 is configured to control the laser beam L3 (substantially the light beam L3) emitted from the laser light source 1 disposed on the Peltier element 24 as a heat source.
3a) for determining an appropriate driving temperature of the laser light source 1 at which the output power becomes maximum, wherein the temperature of the main part of the laser light source 1 (hereinafter simply referred to as the temperature of the laser light source 1) is substantially constant. Peltier element 24
A temperature characteristic information acquiring means 52 for acquiring temperature characteristic information indicating a temperature characteristic of the output power by detecting the output power of the laser beam L3 emitted from the laser light source 1 while driving the laser; Proper drive temperature determining means 5 for determining a proper drive temperature based on the characteristic information
4 is provided. The temperature characteristic information obtaining means 52 and the proper drive temperature determining means 54 are provided on the drive board 3 in a circuit configuration. It goes without saying that an A / D converter for acquiring temperature data and optical output data, a CPU for data processing, and the like are provided as the circuit configuration.
【0048】温度特性情報取得手段52は、上記検出光
L3bをフォトダイオード33により検出することによ
り、実質的にレーザビームL3の出力パワーを検出する
ように構成されている。The temperature characteristic information acquiring means 52 is configured to detect the detection light L3b with the photodiode 33, thereby substantially detecting the output power of the laser beam L3.
【0049】なお、APC制御を作動させておいた状態
でレーザ光源1の温度が略一定の勾配で変化するように
ペルチェ素子24を駆動すると、該APC制御によって
光出力が一定となるように作用し適正な温度特性を取得
できない。このため、前述のようにしてレーザビームの
出力パワーの温度特性(温度変化と光出力の変化との関
係を示す特性)を取得する際には、APC制御を停止さ
せ且つレーザダイオード11に流れる電流量を定常状態
におけるレーザ光源1の基準光出力値に対応する定常電
流量と略等しい電流量に保つACC制御(定電流駆動)
を行なう。When the Peltier element 24 is driven so that the temperature of the laser light source 1 changes at a substantially constant gradient in a state where the APC control is operated, the APC control causes the light output to be constant. And proper temperature characteristics cannot be obtained. For this reason, when acquiring the temperature characteristics of the output power of the laser beam (characteristics indicating the relationship between the temperature change and the optical output change) as described above, the APC control is stopped and the current flowing through the laser diode 11 is stopped. ACC control (constant current drive) for keeping the amount of current approximately equal to the amount of steady current corresponding to the reference light output value of the laser light source 1 in the steady state
Perform
【0050】基準光出力値としては、所定環境温度下の
適正駆動温度状態におけるレーザビームL3の最大出力
パワーを用いることができる。より具体的には、例えば
メーカの提供する代表値などを用いるとよい。また、本
発明の適正駆動温度決定方法や従来の適正温度決定方法
を用いて予め調べた適正駆動温度あるいはメーカ推奨の
適正駆動温度下のレーザダイオード11に流れていた電
流値を用いてもよい。As the reference light output value, the maximum output power of the laser beam L3 in an appropriate driving temperature state at a predetermined environmental temperature can be used. More specifically, for example, a representative value provided by a manufacturer may be used. Alternatively, a current value flowing through the laser diode 11 at an appropriate driving temperature or an appropriate operating temperature recommended by a manufacturer may be used, which is determined in advance using the appropriate operating temperature determination method of the present invention or a conventional appropriate temperature determining method.
【0051】また、温度特性情報取得手段52は、レー
ザ光源1の温度を略一定の勾配で変化するようにペルチ
ェ素子24を駆動するために、温度制御回路42のフィ
ードバック制御を停止させるとともに、基準板22に固
定された温度センサ40によりレーザ光源1の温度を検
出(モニタ)し、温度スイープ(レーザ光源1の温度変
化)が0.1℃/秒以下の早さとなるようにペルチェ素
子24を駆動させることとする。これにより、ペルチェ
素子24を駆動しながらレーザビームの出力パワーを検
出することができ、適正な温度特性情報を取得すること
ができる。The temperature characteristic information acquiring means 52 stops the feedback control of the temperature control circuit 42 and drives the Peltier element 24 so as to change the temperature of the laser light source 1 at a substantially constant gradient. The temperature of the laser light source 1 is detected (monitored) by the temperature sensor 40 fixed to the plate 22, and the Peltier element 24 is moved so that the temperature sweep (temperature change of the laser light source 1) is as fast as 0.1 ° C./sec or less. It is to be driven. Thus, the output power of the laser beam can be detected while driving the Peltier element 24, and appropriate temperature characteristic information can be obtained.
【0052】なお、レーザ光源1が略一定温度で温度変
化すればよく、ペルチェ素子24の駆動はパルス状でも
よい。It is sufficient that the laser light source 1 changes its temperature at a substantially constant temperature, and the driving of the Peltier element 24 may be pulsed.
【0053】また、略一定の勾配でレーザ光源1を温度
変化させているから、実質的には一定の時間間隔で出力
パワーを検出(サンプリング)すればよい。なお、実際
にはデータサンプリング回路を1系統しか設けていない
のでシングルタスク処理しかできず、温度と光出力のデ
ータサンプリングを同時に行なうことはできない。しか
しながら、温度センサ40による温度変化モニタとフォ
トダイオード33による光出力モニタとの1サンプル当
たりの時差を小さくすることで、両モニタを実質的に同
時に行なうことができる。勿論、温度変化モニタと光出
力モニタとを別個に行なう構成(パラレルタスク処理)
としてもよい。Since the temperature of the laser light source 1 is changed at a substantially constant gradient, the output power may be detected (sampled) at substantially constant time intervals. Since only one data sampling circuit is actually provided, only single task processing can be performed, and data sampling of temperature and light output cannot be performed simultaneously. However, by reducing the time difference per sample between the temperature change monitor by the temperature sensor 40 and the light output monitor by the photodiode 33, both monitors can be performed substantially simultaneously. Of course, a configuration in which the temperature change monitor and the optical output monitor are performed separately (parallel task processing)
It may be.
【0054】図3は、上記構成の適正駆動温度決定装置
5において行なわれる、本発明の適正駆動温度決定方法
の具体例を示したフローチャートである。FIG. 3 is a flow chart showing a specific example of the proper driving temperature determining method of the present invention, which is performed in the proper driving temperature determining device 5 having the above-described configuration.
【0055】まず、上述のように、レーザダイオード1
1に基準光出力値に対応する定常電流を流すとともにペ
ルチェ素子24を駆動して、レーザ光源1の温度が所定
の適正駆動温度(温度の初期値とする)とほぼ等しくな
るようにする(ステップ#1)。このときの温度制御回
路42に対する制御温度のデータ精度は、例えば12ビ
ット程度であればよい。First, as described above, the laser diode 1
1 and a steady-state current corresponding to the reference light output value is passed, and the Peltier element 24 is driven so that the temperature of the laser light source 1 becomes substantially equal to a predetermined appropriate driving temperature (the initial temperature value) (step). # 1). At this time, the data accuracy of the control temperature for the temperature control circuit 42 may be, for example, about 12 bits.
【0056】次にレーザ光源1の温度がほぼ安定するよ
うになった状態で、レーザ光源1の温度(現在温度)を
示す温度データを取得する(ステップ#2)。このとき
に取得する温度データの精度は、例えば16ビット程度
とする。また精度向上のため、例えば5サンプリング位
の平均値を求め、この平均値を現在温度Tn(nはサン
プリング点を示す)とする。Next, with the temperature of the laser light source 1 substantially stabilized, temperature data indicating the temperature (current temperature) of the laser light source 1 is obtained (step # 2). The accuracy of the temperature data acquired at this time is, for example, about 16 bits. In order to improve accuracy, for example, an average value at five sampling points is obtained, and the average value is set as a current temperature Tn (n indicates a sampling point).
【0057】次にこの現在温度Tn下のレーザビームL
3の光出力(現在パワー)を示す光出力データを取得す
る(ステップ#3)。このときに取得する光出力データ
の精度は、例えば16ビット程度とする。また精度向上
のため、例えば5サンプリング位の平均値を求め、この
平均値を現在パワーPn(nはサンプリング点を示す)
とする。Next, the laser beam L at the current temperature Tn
Light output data indicating the light output (current power) of No. 3 is obtained (step # 3). The accuracy of the optical output data acquired at this time is, for example, about 16 bits. In order to improve accuracy, for example, an average value at five sampling positions is obtained, and this average value is used as the current power Pn (n indicates a sampling point).
And
【0058】上記ステップ#2における現在温度Tnの
取得とステップ#3における現在パワーPnの取得が終
わったら、レーザ光源1の温度が0.03℃程度上昇す
るように温度制御回路42に向けて制御信号J0を発
し、温度制御回路42にペルチェ素子24を駆動させる
(ステップ#4)。When the acquisition of the current temperature Tn in step # 2 and the acquisition of the current power Pn in step # 3 are completed, control is performed toward the temperature control circuit 42 so that the temperature of the laser light source 1 increases by about 0.03 ° C. The signal J0 is issued, and the temperature control circuit 42 drives the Peltier element 24 (step # 4).
【0059】上記ステップ#2の後の略0.3〜1.0
秒程度の後に、上記ステップ#2と同様にレーザ光源1
の温度データを取得し、以下同様にステップ#4までの
処理を順次繰り返す。そして、データが所望の数(ここ
ではN個とする)だけ得られるまで繰り返す(ステップ
#5)。つまり、0.3〜1.0秒程度の繰返しサイク
ルで上記ステップ#2〜#5の処理を繰り返す。Approximately 0.3 to 1.0 after step # 2
After about a second, the laser light source 1
, And the processing up to step # 4 is sequentially repeated in the same manner. The process is repeated until a desired number (here, N) of data is obtained (step # 5). That is, the processes of steps # 2 to # 5 are repeated in a repetition cycle of about 0.3 to 1.0 seconds.
【0060】このようにして、レーザ光源1の温度を変
化させながら、各繰返しサイクルごとに温度データと光
出力データとを取得することで光出力の温度特性情報を
取得することができる。そして温度特性情報を取得した
ら、その結果に基づいて、光出力を略最大とすることの
できる駆動温度を求める(ステップ#6)。As described above, the temperature characteristic of the light output can be obtained by obtaining the temperature data and the light output data for each repetition cycle while changing the temperature of the laser light source 1. Then, when the temperature characteristic information is obtained, a drive temperature at which the light output can be substantially maximized is obtained based on the result (step # 6).
【0061】光出力の温度特性情報としては、一般的に
は図3のステップ#6に示すような極大値(ピーク)を
1つ有するものとして得られるので、例えばピークを呈
する温度を適正駆動温度としたり、あるいはピークを挟
んだ90%位置の温度の中央値を適正駆動温度とする。
また、取得した温度特性情報が出力パワーとして複数の
ピーク(極大)を呈する場合には、前回決定した適正駆
動温度に近い方を今回の適正駆動温度とする。Since the temperature characteristic information of the light output is generally obtained as having one maximum value (peak) as shown in step # 6 of FIG. 3, for example, the temperature exhibiting the peak is determined as the appropriate driving temperature. Or the median value of the temperature at the 90% position across the peak is taken as the appropriate drive temperature.
Further, when the acquired temperature characteristic information exhibits a plurality of peaks (maximum) as output power, the one closer to the previously determined proper driving temperature is set as the present proper driving temperature.
【0062】ここで、ピークを挟んだ90%位置の温度
の中央値を適正駆動温度とするのは、例えばピークがや
や傾いたほぼフラットな特性であったり、微妙なピーク
が複数個ある特性であった場合においても、それらのほ
ぼ中央値に設定することで、温度揺らぎにより出力が大
幅に変化するのを防ぐためである。Here, the median value of the temperature at the 90% position across the peak is set as the appropriate driving temperature, for example, because of a substantially flat characteristic with a slightly inclined peak or a characteristic with a plurality of subtle peaks. Even in the case where there is, by setting them at almost the center value, it is possible to prevent the output from largely changing due to temperature fluctuation.
【0063】決定した適正駆動温度を示す信号J1を温
度制御回路42に発し、決定した適正駆動温度となるよ
うに温度制御回路42にペルチェ素子24を駆動させ
る。A signal J1 indicating the determined proper drive temperature is issued to the temperature control circuit 42, and the Peltier device 24 is driven by the temperature control circuit 42 so as to reach the determined proper drive temperature.
【0064】このようにして決定した適正駆動温度に関
する情報や参照した温度特性情報はメモリなどの記憶素
子に記憶しておき、次回のレーザ光源の起動やそのとき
の適正駆動温度決定処理に参照することとする。The information on the proper driving temperature determined in this way and the referred temperature characteristic information are stored in a storage element such as a memory, and are referred to in the next activation of the laser light source and the proper driving temperature determination processing at that time. It shall be.
【0065】なお、上記実施形態では、ステップ#4に
おいて、レーザ光源1の温度が、0.03℃/秒以下で
上昇するように、つまり低温側から高温側へ一定の勾配
で変化するようにペルチェ素子24に駆動信号を発して
いたが、これとは逆に、レーザ光源1の温度が高温側か
ら低温側へ一定の勾配で変化するように(下降するよう
に)ペルチェ素子24に駆動信号を発して、上述同様に
光出力の温度特性情報を取得し、その結果に基づいて光
出力を最大とすることのできる駆動温度を求めるように
してもよい。In the above embodiment, in step # 4, the temperature of the laser light source 1 is increased at a rate of 0.03 ° C./sec or less, that is, changed at a constant gradient from the low temperature side to the high temperature side. The drive signal is issued to the Peltier element 24. Conversely, the drive signal is sent to the Peltier element 24 so that the temperature of the laser light source 1 changes (falls) from a high temperature side to a low temperature side at a constant gradient. In the same manner as described above, the temperature characteristic information of the light output may be acquired, and the drive temperature at which the light output can be maximized may be obtained based on the result.
【0066】ここで、上記図3を参照した説明から分か
るように、本発明の適正駆動温度決定方法では、レーザ
光源1をほぼ一定の温度勾配で変化させながら光出力を
検出することにより光出力の温度特性情報を取得(連続
的にデータサンプリングして温度特性情報を取得)し、
この温度特性情報に基づいて適正駆動温度を決定してい
るので、温度を微小変化させた後レーザ光源が温度安定
するまでの間の待ち時間がなく温度特性情報を高速に取
得でき、結果的には短時間で適正駆動温度を決定するこ
とができる。Here, as can be seen from the description with reference to FIG. 3, in the method for determining an appropriate driving temperature of the present invention, the light output is detected by changing the laser light source 1 at a substantially constant temperature gradient. Temperature characteristic information (continuous data sampling to obtain temperature characteristic information),
Since the proper drive temperature is determined based on this temperature characteristic information, the temperature characteristic information can be acquired at high speed without waiting time until the laser light source stabilizes after a slight change in temperature. Can determine an appropriate driving temperature in a short time.
【0067】また、温度特性情報を取得する温度特性情
報取得手段52としては、レーザ光源1のパッケージケ
ース9内に設けられたフォトダイオード33によりレー
ザ光の出力パワーを測定するとともに、温度センサ40
によりレーザ光源1の温度を測定する構成としているの
で、個体差の影響を受けることもないし、光源全体の構
成をコンパクトにすることもできる。The temperature characteristic information acquiring means 52 for acquiring the temperature characteristic information measures the output power of the laser light by the photodiode 33 provided in the package case 9 of the laser light source 1 and the temperature sensor 40.
, The temperature of the laser light source 1 is measured, so that there is no influence of individual differences and the configuration of the entire light source can be made compact.
【0068】次に、本発明の適正駆動温度決定方法を適
用した実施例と従来の適正駆動温度決定方法を適用した
比較例について説明する。Next, an embodiment to which the proper driving temperature determining method of the present invention is applied and a comparative example to which a conventional proper driving temperature determining method is applied will be described.
【0069】比較実験に際しては、23℃50%での従
来方法を用いた条件に対して、環境温度や温度探査シー
ケンスを変更した時に示された適正駆動温度がどのよう
に変化するかを調べることとする。In the comparative experiment, it was examined how the proper driving temperature indicated when the environmental temperature and the temperature search sequence were changed under the condition using the conventional method at 23 ° C. and 50% was changed. And
【0070】環境条件としては、5℃50%RH、23
℃50%RH、42℃50%RHの3条件において測定
する。As environmental conditions, 5 ° C., 50% RH, 23
The measurement is performed under three conditions of 50 ° C and 50% RH.
【0071】適正駆動温度を決定する際の探査シーケン
ス(温度特性情報を取得する処理)としては、従来方法
を用いるときには、0.03℃ごとに上昇させて温度安
定をまってからフォトダイオードの出力データをサンプ
リングする(後述する表中において「低→高」で示
す)。また、同様の条件で、温度を下降させてフォトダ
イオードの出力の出力データをサンプリングする(後述
する表中において「高→低」で示す)。一方、本発明の
方法を用いるときには、略0.03℃/秒程度の一定の
勾配でレーザ光源の温度が上昇(後述する表中において
「低→高」で示す)あるいは下降(後述する表中におい
て「高→低」で示す)するようにペルチェ素子を駆動
し、その間のフォトダイオードの出力データと温度セン
サの出力データとをほぼ同時にサンプリングする。As a search sequence (a process for acquiring temperature characteristic information) when determining an appropriate drive temperature, when the conventional method is used, the temperature is raised every 0.03 ° C. to stabilize the temperature, and then the output of the photodiode is set. Data is sampled (shown as “low → high” in a table described later). Further, under the same conditions, the temperature is lowered and the output data of the output of the photodiode is sampled (shown as “high → low” in a table described later). On the other hand, when the method of the present invention is used, the temperature of the laser light source rises (indicated by “low → high” in a table described later) or decreases (in a table described below) at a constant gradient of about 0.03 ° C./sec. , The Peltier element is driven so as to perform “high → low”, and the output data of the photodiode and the output data of the temperature sensor during that time are sampled almost simultaneously.
【0072】どちらの方法においても、得られた温度特
性情報に基づいて、ピークを挟んだ90%位置の温度の
中央値を適正駆動温度として決定することとする。In either method, the central value of the temperature at the 90% position across the peak is determined as the appropriate driving temperature based on the obtained temperature characteristic information.
【0073】レーザ光源(測定サンプル)としては、B
lue−SHG(青色光を発するSHGレーザ;以下青
色SHGという)として、B0052S,B0100S,B0103S,B3
-231の4種、Green−SHG(緑色光を発するSH
Gレーザ;以下緑色SHGという)としてG0098Sの1種
を測定する。これら各SHGレーザは、富士写真光機社
製のものである。As a laser light source (measurement sample), B
B0052S, B0100S, B0103S, B3 as lue-SHG (SHG laser emitting blue light; hereinafter referred to as blue SHG)
-231, Green-SHG (SH emitting green light)
G0098S is measured as G laser (hereinafter referred to as green SHG). These SHG lasers are manufactured by Fuji Photo Optical Co., Ltd.
【0074】温度特性の一例として、B0103Sについての
温度特性図(温度マップ、温度特性情報)を図4〜図6
に示す。図中、型番の後ろに記した末尾の3文字によ
り、探査方法・温度昇降の方向・環境温度を区別してお
り、Pは従来方法の温度探査、Nは本発明の温度探査、
Fは低温から高温側へ、Rは高温から低温側へ、Lは5
℃50%RH、Mは23℃50%RH、Hは42℃50
%RHをそれぞれ示す。As an example of the temperature characteristics, temperature characteristic diagrams (temperature map, temperature characteristic information) for B0103S are shown in FIGS.
Shown in In the figure, the exploration method, the direction of temperature rise and fall, and the environmental temperature are distinguished by the last three letters written after the model number, P is the temperature exploration of the conventional method, N is the temperature exploration of the present invention,
F is from low temperature to high temperature side, R is from high temperature to low temperature side, L is 5
50% RH at 50 ° C., 50% RH at 23 ° C., 42 ° C. 50 at H
% RH is shown.
【0075】表1は、温度特性図の取得に要した処理時
間(探査時間)を各SHGレーザ(測定サンプル)ごと
に示したものである。表2は、得られた温度特性図に基
づいて決定した各SHGレーザに関する適正駆動温度を
示したもの、表3は各SHGレーザの標準出力を示した
ものである。Table 1 shows the processing time (exploration time) required to acquire the temperature characteristic diagram for each SHG laser (measurement sample). Table 2 shows an appropriate driving temperature for each SHG laser determined based on the obtained temperature characteristic diagram, and Table 3 shows a standard output of each SHG laser.
【表1】 [Table 1]
【表2】 [Table 2]
【表3】 [Table 3]
【0076】なお、図5および図6において末尾がMの
ものは、図4に示した23℃50%RHにおけるデータ
(タイプデータ)であり、参照(レファレンス)のため
に示したものである。In FIGS. 5 and 6, the data with the suffix M is the data (type data) at 23 ° C. and 50% RH shown in FIG. 4, and is shown for reference.
【0077】また、図中縦軸の「PD出力」は、出力パ
ワーをモニタしているフォトダイオード33の出力値を
示す。なお、出力パワー(mW)とPD出力(a.u)
との対応関係は、各温度特性図に示すピーク値が表3の
標準出力に相当し、例えばB0103Sの場合、標準出力が
1.837mWであり、これが図中のピークの約180
00a.uに相当する。[0094] The “PD output” on the vertical axis in the figure indicates the output value of the photodiode 33 monitoring the output power. The output power (mW) and PD output (au)
The peak value shown in each temperature characteristic diagram corresponds to the standard output in Table 3. For example, in the case of B0103S, the standard output is 1.837 mW, which is about 180% of the peak in the diagram.
00a. u.
【0078】図示するように、いずれの探査方法を用い
た場合においても、各環境温度下の光出力の温度特性と
してはピーク(極大値)を1つ呈している。なお、探査
方法や条件によって、ピークの位置や形が若干相違して
いることも分かる。As shown in the figure, one of the peaks (maximum value) is exhibited as a temperature characteristic of the light output under each environmental temperature in any of the search methods. It can also be seen that the peak position and shape are slightly different depending on the search method and conditions.
【0079】図示していないが、B0103S以外のSHGレ
ーザに関しても、ほぼ同様の特性が得られた。Although not shown, almost the same characteristics were obtained for SHG lasers other than B0103S.
【0080】表1から分かるように、従来方法を用いた
場合には2℃の範囲でスイープさせて適正駆動温度を決
定するのに6分前後かかっているが、本発明の方法によ
れば、2℃/0.03℃=66サンプルであり、0.5
秒/サイクル程度で上記ステップを繰り返すこととすれ
ば、データサンプリングに要する時間が略33秒程度に
なり、温度特性を取得するためのデータサンプリング以
外の処理を含めても、適正駆動温度を決定するまでに要
する時間を50秒以内にすることができた。つまり本発
明を適用して適正駆動温度を決定すれば、時短化を図る
ことができる。As can be seen from Table 1, when the conventional method is used, it takes about 6 minutes to determine the appropriate driving temperature by sweeping within the range of 2 ° C. According to the method of the present invention, 2 ° C./0.03° C. = 66 samples, 0.5
If the above steps are repeated at a rate of about seconds / cycle, the time required for data sampling is about 33 seconds, and the appropriate driving temperature is determined even if processing other than data sampling for acquiring temperature characteristics is included. The time required for this could be made within 50 seconds. That is, if an appropriate driving temperature is determined by applying the present invention, the time can be reduced.
【0081】ここでB3-231の5℃下においては、いずれ
の方法を用いても異常データ(他の略2倍)が得られて
いる。これは、温度変化を一方向からのみ与えて取得し
た温度特性ではピーク点を見つけることができず、温度
変化を逆方向に与えて再度取得した温度特性をも参照す
ることで、適正駆動温度を決定したためである。At 5 ° C. below B3-231, abnormal data (approximately twice as large) is obtained by any of the methods. This is because the peak point cannot be found in the temperature characteristic obtained by giving the temperature change only in one direction, and the appropriate driving temperature can be obtained by referring to the temperature characteristic obtained again by giving the temperature change in the opposite direction. Because it was decided.
【0082】なお、実験によれば、温度スイープの速度
を0.1℃/秒以上に速めると、従来方法を用いて決定
した結果とのズレが大きくなり、必ずしも好ましい結果
が得られなかった。このため、本発明を適用する場合に
おいては、レーザ光源の温度が0.1℃/秒以下の範囲
内の略一定の勾配で変化するようにするのがよい。According to the experiment, when the speed of the temperature sweep was increased to 0.1 ° C./sec or more, the deviation from the result determined by using the conventional method became large, and a preferable result was not necessarily obtained. Therefore, when the present invention is applied, it is preferable that the temperature of the laser light source be changed at a substantially constant gradient within a range of 0.1 ° C./sec or less.
【0083】また表2から分かるように、標準出力にお
いては、いずれの温度環境においても、従来方法により
決定した適正駆動温度と本発明の方法により決定した適
正駆動温度との差は、全て±0.1℃以内に収まってい
る。つまり、レーザ光源を一定温度勾配で変化させなが
ら温度安定を待たずに、SHGモジュール内のフォトダ
イオード出力と温度センサ信号(温度センサ信号)をほ
ぼ同時に取り込んで光出力の温度特性を取得してデータ
処理するという本発明の方法を用いることは、実質的に
従来方法で温度管理するのと同等であり、SHG適正駆
動温度探査の処理時間の短縮化を図ることができる。As can be seen from Table 2, the difference between the proper driving temperature determined by the conventional method and the proper driving temperature determined by the method of the present invention in all standard environments is ± 0. It is within 1 ° C. In other words, without waiting for temperature stabilization while changing the laser light source at a constant temperature gradient, the output of the photodiode in the SHG module and the temperature sensor signal (temperature sensor signal) are acquired almost simultaneously, and the temperature characteristics of the optical output are obtained. The use of the method of the present invention for performing the processing is substantially equivalent to performing the temperature control by the conventional method, and the processing time of the SHG proper drive temperature search can be reduced.
【0084】換言すれば、従来方法との本発明の方法と
では、0.1℃以内の差しか生ぜず本発明を適用して適
正駆動温度を決定しても問題ない、すなわち温度特性図
のピーク検出結果に大きなずれが生じるという時短化の
副作用は発生しない。In other words, in the conventional method and the method of the present invention, there is no problem even if the present invention is applied to determine an appropriate driving temperature without causing a difference within 0.1 ° C. The side effect of shortening the time, that is, a large deviation occurs in the peak detection result, does not occur.
【0085】これにより、レーザ光源を使用する上記各
種装置に本発明の適正駆動温度決定方法を適用すれば、
装置起動後の適正駆動温度が決定されるまでの間に該装
置を使用できないという問題を解消することができる。
つまり、レーザ光源を利用する装置の立ち上げを早くす
ることができる。Thus, if the method for determining an appropriate driving temperature of the present invention is applied to the above-described various devices using a laser light source,
The problem that the device cannot be used until the proper drive temperature is determined after the device is started can be solved.
That is, it is possible to quickly start up the device using the laser light source.
【0086】また、本発明の適正駆動温度決定方法を装
置の電源投入の度に行なうこととしても、上述のように
その処理時間は短時間となるので、レーザ光源、特にS
HGレーザの寿命にも影響を与えない。Even if the method of determining an appropriate driving temperature according to the present invention is carried out every time the power of the apparatus is turned on, the processing time is short as described above, so that the laser light source, especially the S
It does not affect the life of the HG laser.
【0087】また、狭い温度範囲でレーザ光源の温度を
変化させると、経時変化により適正駆動温度がその温度
探査範囲から外れてしまう場合がある。この場合、従来
方法でも、温度探査範囲を広げてやればよいがそれだけ
処理時間がかかる。これに対して本発明によれば、温度
探査範囲を広げても短時間で温度探査が済むので、経時
変化により適正駆動温度が大きくずれているような場合
でも簡単に適正駆動温度を見つけることができる。If the temperature of the laser light source is changed in a narrow temperature range, the appropriate driving temperature may deviate from the temperature search range due to a change over time. In this case, even in the conventional method, the temperature search range may be increased, but the processing time is correspondingly longer. On the other hand, according to the present invention, even if the temperature search range is widened, the temperature search can be completed in a short time. Therefore, even when the proper drive temperature is largely deviated due to a change with time, it is possible to easily find the appropriate drive temperature. it can.
【0088】以上本発明の適正駆動温度決定方法および
装置の好ましい実施形態について説明したが、本発明は
必ずしも上述した実施形態に限定されるものではない。Although the preferred embodiment of the method and apparatus for determining an appropriate drive temperature according to the present invention has been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiment.
【0089】例えば、上記実施形態は標準出力パワーが
1〜3mW程度のものであったが、本発明は、レーザ光
源の適正駆動温度下の出力パワーの範囲が0.05mW
〜20mW程度のものに適用するのが好適である。For example, in the above embodiment, the standard output power is about 1 to 3 mW. However, the present invention provides that the output power range under the proper driving temperature of the laser light source is 0.05 mW.
It is suitable to apply to those of about 20 mW.
【0090】上記実施例はレーザパワー(光出力)が標
準出力時のものであるが、例えば実使用状態の出力パワ
ーが標準出力時の1/10である場合などにおいても同
様の手法を用いることができるのはいうまでもない。In the above embodiment, the laser power (optical output) is at the time of the standard output. For example, the same method is used when the output power in the actual use state is 1/10 of the standard output. It goes without saying that you can do it.
【0091】また、上記実施形態ではSHGレーザを用
いたレーザ光源であったが、必ずしもこれに限らず、例
えばSHGレーザ以外のLD励起固体レーザやMOPA
レーザなど、熱源上にレーザ光源が配され、実使用時に
おいて、レーザ光の出力パワーが最大となる適正駆動温
度を決定する必要があるものであれば、どのようなもに
も適用できる。In the above embodiment, the laser light source using the SHG laser was used. However, the present invention is not limited to this.
A laser light source is disposed on a heat source, such as a laser, and can be applied to any device that needs to determine an appropriate driving temperature at which the output power of the laser light is maximized in actual use.
【0092】また、上記実施形態では、温度特性情報取
得手段52としては、レーザ光源1のパッケージケース
9内に設けられたフォトダイオード33によりレーザ光
の出力パワーを測定するとともに、温度センサ40によ
りレーザ光源1の温度を測定する構成としていたが、必
ずしもこのような構成のものでなくてもよい。例えば、
出力パワーの測定および/またはレーザ光源1の温度測
定そのものは外部の測定器を用いて行なう構成とし、温
度特性情報取得手段52としては、専らその測定結果を
取得し(オペレータによるマニュアル入力や計測システ
ムを用いた自動入力などいずれでもよい)、この取得し
た測定結果に基づいて温度特性情報を取得する構成とし
てもよい。In the above-described embodiment, the temperature characteristic information acquiring means 52 measures the output power of the laser light by the photodiode 33 provided in the package case 9 of the laser light source 1, and the temperature sensor 40 Although the configuration is such that the temperature of the light source 1 is measured, such a configuration is not necessarily required. For example,
The measurement of the output power and / or the temperature measurement of the laser light source 1 itself is performed using an external measuring instrument. The temperature characteristic information acquisition means 52 exclusively acquires the measurement results (manual input by an operator or a measurement system). May be used, for example, may be used as an automatic input), or may be configured to acquire temperature characteristic information based on the acquired measurement result.
【図1】本発明の適正駆動温度決定装置を包含したレー
ザ光源の一実施形態を示す正面図FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a laser light source including a proper drive temperature determining device according to the present invention.
【図2】適正駆動温度決定装置をなす回路部分や発光源
などを駆動する回路部分を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a circuit portion forming an appropriate driving temperature determining device and a circuit portion driving a light emitting source and the like;
【図3】本発明の適正駆動温度決定方法の具体例を示し
たフローチャートFIG. 3 is a flowchart showing a specific example of a method for determining an appropriate driving temperature according to the present invention.
【図4】青色SHG(B0103S)についての温度特性図
(23℃)FIG. 4 is a temperature characteristic diagram of blue SHG (B0103S) (23 ° C.)
【図5】青色SHG(B0103S)についての温度特性図
(5℃)FIG. 5 is a temperature characteristic diagram (5 ° C.) of blue SHG (B0103S).
【図6】青色SHG(B0103S)についての温度特性図
(42℃)FIG. 6 is a temperature characteristic diagram (42 ° C.) of blue SHG (B0103S).
1 レーザ光源 3 ドライブ基板 5 適正駆動温度決定装置 9 パッケージケース 10 LD励起固体レーザ 11 レーザダイオード(半導体レーザ) 12 集光レンズ 13 Nd:YAG結晶 14 共振器ミラー 15 波長変換ユニット 22 基準板 24 ペルチェ素子 31 光学フィルタ 32 ビームスプリッタ 33 フォトダイオード 34 APC回路 40 温度センサ 42 温度制御回路 52 温度特性情報取得手段 54 適正駆動温度決定手段 L1 レーザビーム(励起用) L2 レーザビーム(基本波) L3 レーザビーム(第2高調波) L3a 使用光 L3b 検出光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser light source 3 Drive board 5 Appropriate drive temperature determining device 9 Package case 10 LD-excited solid-state laser 11 Laser diode (semiconductor laser) 12 Condensing lens 13 Nd: YAG crystal 14 Resonator mirror 15 Wavelength conversion unit 22 Reference plate 24 Peltier device 31 Optical Filter 32 Beam Splitter 33 Photodiode 34 APC Circuit 40 Temperature Sensor 42 Temperature Control Circuit 52 Temperature Characteristic Information Acquisition Means 54 Appropriate Driving Temperature Determination Means L1 Laser Beam (for Excitation) L2 Laser Beam (Fundamental Wave) L3 Laser Beam (No. L3a Used light L3b Detection light
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 諸星 稔 神奈川県足柄上郡開成町宮台798番地 富 士写真フイルム株式会社内 Fターム(参考) 5F072 AB02 JJ20 KK01 KK05 KK08 KK12 KK15 KK30 PP07 TT05 TT14 TT27 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Minoru Moroboshi 798, Miyadai, Kaisei-cho, Ashigara-gun, Kanagawa F-Term (in reference) 5F072 AB02 JJ20 KK01 KK05 KK08 KK12 KK15 KK30 PP07 TT05 TT14 TT27
Claims (6)
せられるレーザ光の出力パワーが略最大となる該レーザ
光源の適正駆動温度を決定するための方法であって、前
記レーザ光源の温度が略一定の勾配で変化するように前
記熱源を駆動しながら該レーザ光源から発せられたレー
ザ光の出力パワーを検出することにより該出力パワーの
温度特性を示す温度特性情報を取得し、取得した温度特
性情報に基づいて前記適正駆動温度を決定することを特
徴とする適正駆動温度決定方法。1. A method for determining an appropriate driving temperature of a laser light source at which an output power of a laser light emitted from a laser light source disposed on a heat source is substantially maximum, wherein the temperature of the laser light source is By detecting the output power of the laser light emitted from the laser light source while driving the heat source so as to change at a substantially constant gradient, temperature characteristic information indicating the temperature characteristic of the output power is obtained, and the obtained temperature is obtained. A proper driving temperature determining method, wherein the proper driving temperature is determined based on characteristic information.
せられるレーザ光の出力パワーが略最大となる該レーザ
光源の適正駆動温度を決定するための装置であって、 前記レーザ光源の温度が略一定の勾配で変化するように
前記熱源を駆動しながら該レーザ光源から発せられたレ
ーザ光の出力パワーを検出することにより、該出力パワ
ーの温度特性を示す温度特性情報を取得する温度特性情
報取得手段と、 この取得された温度特性情報に基づいて前記適正駆動温
度を決定する適正駆動温度決定手段とを備えたことを特
徴とする適正駆動温度決定装置。2. An apparatus for determining an appropriate driving temperature of a laser light source at which an output power of a laser light emitted from a laser light source disposed on a heat source is substantially maximum, wherein the temperature of the laser light source is Temperature characteristic information for obtaining temperature characteristic information indicating the temperature characteristic of the output power by detecting the output power of the laser light emitted from the laser light source while driving the heat source so as to change at a substantially constant gradient. An appropriate driving temperature determining apparatus comprising: an obtaining unit; and an appropriate driving temperature determining unit that determines the appropriate driving temperature based on the obtained temperature characteristic information.
光源の温度が0.1℃/秒以下の範囲内の略一定の勾配
で変化するように前記熱源を駆動するものであることを
特徴とする請求項2記載の適正駆動温度決定装置。3. The temperature characteristic information acquiring means drives the heat source so that the temperature of the laser light source changes at a substantially constant gradient within a range of 0.1 ° C./sec or less. The apparatus for determining an appropriate driving temperature according to claim 2.
有するものであることを特徴とする請求項2または3記
載の適正駆動温度決定装置。4. The apparatus according to claim 2, wherein the laser light source has a laser diode.
励起固体レーザを有するものであることを特徴とする請
求項4記載の適正駆動温度決定装置。5. The apparatus according to claim 4, wherein the laser light source includes a laser diode-pumped solid-state laser.
における出力パワーの範囲が0.05mW〜20mWで
あることを特徴とする請求項2から5いずれか1項記載
の適正駆動温度決定装置。6. The apparatus according to claim 2, wherein an output power of the laser light source at the appropriate driving temperature is in a range of 0.05 mW to 20 mW.
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