JP2002155383A - Method for refining iron chloride aqueous solution and the iron chloride aqueous solution - Google Patents

Method for refining iron chloride aqueous solution and the iron chloride aqueous solution

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JP2002155383A JP2000376086A JP2000376086A JP2002155383A JP 2002155383 A JP2002155383 A JP 2002155383A JP 2000376086 A JP2000376086 A JP 2000376086A JP 2000376086 A JP2000376086 A JP 2000376086A JP 2002155383 A JP2002155383 A JP 2002155383A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for refining an iron chloride aqueous solution by which cobalt ions as impurities contained in the iron chloride aqueous solution can be removed, and the aqueous solution can be regenerated, and to provide the iron chloride aqueous solution obtained by the refining, and free from impuritis. SOLUTION: Nickel or cobalt ions contained in an iron chloride aqueous solution are precipitated and removed in an acidic region by using a sulfide.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、染料の還元剤
(塩化第一鉄)、有機合成における酸化剤や縮合剤さら
には、媒染剤や止血剤(塩化第二鉄)などに広く使用さ
れている塩化鉄水溶液、特に、電子部品として使用され
るリードフレームやテレビジョンのシャドウマスクをエ
ッチングするために用いられたエッチング用塩化第二鉄
水溶液、もしくは塩化第二鉄が還元されて得られる塩化
第一鉄水溶液などの塩化鉄水溶液の精製と、この精製に
よって得られる塩化鉄水溶液に関するものである。
The present invention is widely used as a dye reducing agent (ferrous chloride), an oxidizing agent and a condensing agent in organic synthesis, as well as a mordant and a hemostatic agent (ferric chloride). An aqueous solution of iron chloride, in particular, an aqueous solution of ferric chloride for etching used to etch lead masks and shadow masks of televisions used as electronic components, or ferrous chloride obtained by reducing ferric chloride The present invention relates to purification of an aqueous solution of iron chloride such as an aqueous solution of iron and an aqueous solution of iron chloride obtained by the purification.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品としてのリードフレームや、テ
レビジョンのシャドウマスクなどは、36ニッケルー6
4鉄などのいわゆるインバー材や、42アロイ(鉄58
%、ニッケル42%)、52アロイ(鉄48〜50%、
ニッケル50〜52%)などのアロイ材を、塩化第二鉄
水溶液を用いたエッチングにより製造している。
2. Description of the Related Art Lead frames as electronic parts and shadow masks for televisions are made of 36 nickel-6.
A so-called invar material such as 4 iron or 42 alloy (iron 58
%, Nickel 42%), 52 alloy (iron 48-50%,
An alloy material such as nickel (50-52%) is manufactured by etching using an aqueous ferric chloride solution.

【0003】エッチングに用いられた塩化第二鉄水溶液
は、エッチングにより、インバー材やアロイ材中のニッ
ケルなどの重金属を溶解し、エッチングの回数が増加す
るに従い、ニッケルイオンなどの重金属が液中に蓄積し
ていき、エッチング能力が低下してしまうものである。
The aqueous ferric chloride solution used for etching dissolves heavy metals such as nickel in invar and alloy materials by etching, and as the number of etchings increases, heavy metals such as nickel ions enter the solution. It accumulates and the etching ability is reduced.

【0004】特に、最近の微細で精度の良いエッチング
加工が要求される際には、塩化第二鉄水溶液中へのニッ
ケルイオンなどの重金属の蓄積、さらには、塩化第二鉄
の還元による塩化第一鉄の増加などによるエッチング能
力の低下は、避けなければならない大きな問題である。
In particular, when a recent fine and accurate etching process is required, accumulation of heavy metals such as nickel ions in an aqueous ferric chloride solution, and further, reduction of ferric chloride by reduction of ferric chloride. Deterioration of the etching ability due to an increase in ferrous iron is a major problem to be avoided.

【0005】そこで、ニッケルイオンの蓄積によって、
エッチング能力の低下した塩化第二鉄水溶液を、引き続
きエッチング加工に利用するために、溶液中のニッケル
イオンを除去し、精製する方法が種々提案されている。
[0005] Therefore, by accumulating nickel ions,
Various methods have been proposed for removing and purifying nickel ions in a solution in order to continuously use an aqueous solution of ferric chloride having a reduced etching ability for etching.

【0006】例えば、特開昭59−250764号公報
においては、加熱濃縮強酸性下に塩化ニッケルとして晶
析除去する方法が、また、特開昭59−190367号
公報では、ジメチルグリオキシムなどのグリオキシム類
の添加によって、ニッケルグリオキシムとして沈殿除去
する方法が、また、特開昭59−121123号公報で
は、塊状の金属鉄を添加し除去する方法が、さらには、
特開昭62−191428号公報、特開平3−2535
84号公報、特開平5−85740号公報などでは、鉄
粉を添加して除去する方法が提案されている。
For example, JP-A-59-250764 discloses a method in which crystallization is removed as nickel chloride under heat and strong acidity, and JP-A-59-190367 discloses a glyoxime such as dimethylglyoxime. In addition, a method for removing precipitates as nickel glyoxime by the addition of irons, and in JP-A-59-121123, a method for adding and removing massive metallic iron,
JP-A-62-191428, JP-A-3-2535
No. 84, Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-85740 and the like propose a method of adding and removing iron powder.

【0007】一方、最近、耐熱膨張性に優れるウルトラ
インバーやスーパーインバーが、リードフレームやテレ
ビジョンのシャドウマスクの原料として検討され始め、
これらのウルトラインバーやスーパーインバーは、コバ
ルトを含有するもので、これらを原料とするエッチング
加工を行った塩化第二鉄水溶液中には、コバルトイオン
が溶解し蓄積されている。
On the other hand, recently, ultra line bars and super invars having excellent thermal expansion resistance have been studied as raw materials for lead frames and shadow masks for televisions.
These ultra line bars and super invars contain cobalt, and cobalt ions are dissolved and accumulated in an aqueous ferric chloride solution which has been subjected to an etching process using these materials.

【0008】かかる塩化第二鉄水溶液中のコバルトイオ
ンは、塩化第二鉄水溶液のエッチング能力の低下という
面では、含有濃度が低いため、ニッケルイオン程の問題
をもたらさないが、塩化第一鉄及び塩化第二鉄は前記し
たように、各種用途に幅広く使用されるので、使用する
用途においては、コバルトイオンの存在は大きな問題と
なる。
The concentration of the cobalt ion in the aqueous ferric chloride solution is not so high as that of the nickel ion because the concentration of the cobalt ion is low in terms of lowering the etching ability of the aqueous ferric chloride solution. As described above, ferric chloride is widely used in various applications, and therefore, in applications to be used, the presence of cobalt ions poses a serious problem.

【0009】特に、磁性酸化鉄向けの塩化鉄水溶液で
は、コバルトイオンの存在は嫌われ、エッチング加工向
けの塩化第二鉄水溶液のコバルトイオンだけでなく、各
種用途における塩化鉄水溶液のコバルトイオンの除去も
強く求められ、それらイオンの許容量は、用途によって
は、ニッケルイオンは50ppm以下、さらには10p
pm以下、コバルトイオンは20ppm以下、さらには
10ppm以下というきわめて厳しいものである。
In particular, in an aqueous iron chloride solution for magnetic iron oxide, the existence of cobalt ions is disliked, and not only the cobalt ions in the aqueous ferric chloride solution for etching but also the removal of the cobalt ions from the aqueous iron chloride solution in various applications. Depending on the application, the allowable amount of these ions is 50 ppm or less for nickel ions,
pm or less, and the content of cobalt ions is 20 ppm or less, even 10 ppm or less.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】発明者等は、塩化鉄水
溶液中のコバルトイオン、特にエッチング加工に用いら
れたエッチング加工廃液である塩化第二鉄水溶液、又は
その還元物である塩化第一鉄水溶液中のコバルトイオン
の除去を、ニッケルの場合と同様に鉄粉を使用して行っ
てみたが、塩化第二鉄水溶液中のコバルトイオンは、鉄
粉単独の添加によっては殆ど除去することができなかっ
た。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have found that cobalt ions in an aqueous solution of iron chloride, in particular, an aqueous solution of ferric chloride which is an etching waste liquid used for etching, or ferrous chloride which is a reduced product thereof. The removal of cobalt ions in the aqueous solution was performed using iron powder as in the case of nickel, but the cobalt ions in the ferric chloride aqueous solution could be almost completely removed by adding iron powder alone. Did not.

【0011】そこで、鉄粉による方法を含め種々の方法
でコバルトイオンを除去できないか検討を行い、ニッケ
ルイオンの存在下に塩化鉄水溶液に金属鉄を加えること
により、コバルトイオンを析出させることができること
を見出し、先に、一つの提案を行った。
Therefore, it was examined whether or not cobalt ions could be removed by various methods including a method using iron powder. By adding metallic iron to an aqueous solution of iron chloride in the presence of nickel ions, it was possible to precipitate cobalt ions. And made one proposal earlier.

【0012】発明者等が提案した、ニッケルイオン併用
法は、コバルトイオンを効率的に析出させることができ
るが、上記したような厳しいコバルトイオンの許容量が
課せられる場合には、使用するニッケルイオンの量や鉄
粉の量も多くなり、必ずしも最適なものとは言い得なか
った。
The nickel ion combination method proposed by the inventors can deposit cobalt ions efficiently, but when the strict tolerance of cobalt ions as described above is imposed, the nickel ion And the amount of iron powder also increased, and could not always be said to be optimal.

【0013】そのため、発明者等は、さらに塩化鉄水溶
液中のコバルトイオンを含む各種金属イオンを除去する
方法について検討を行った結果、塩化鉄水溶液中のコバ
ルトイオンやニッケルイオンなどの金属イオンは、酸性
領域下で、硫化物、特に硫化水素や硫化アンモニウムと
反応し、溶液中で沈殿物を形成するため、除去すること
が可能であることを見出し、この発明を完成したのであ
る。
For this reason, the present inventors have further studied a method for removing various metal ions including cobalt ions in an aqueous iron chloride solution. As a result, the metal ions such as cobalt ions and nickel ions in the aqueous iron chloride solution are The present inventors have found that they react with sulfides, particularly hydrogen sulfide and ammonium sulfide, and form a precipitate in a solution in an acidic region, so that they can be removed, thereby completing the present invention.

【0014】この発明は、エッチング処理などによって
水溶液中に増加したコバルトイオンやニッケルイオンな
どの各種金属イオンを、前記知見に基づき、簡単かつ容
易な手段で除去して再生することのできる塩化鉄水溶液
の精製方法と、この精製方法によって得られるエッチン
グ能力の高い塩化鉄水溶液を提供せんとすることを目的
とするものである。
According to the present invention, there is provided an aqueous iron chloride solution capable of removing various metal ions, such as cobalt ions and nickel ions, which have been increased in an aqueous solution by an etching treatment or the like, by simple and easy means, based on the above knowledge, and regenerating the aqueous solution. It is an object of the present invention to provide a method of purifying iron and an aqueous solution of iron chloride having a high etching ability obtained by the method of purification.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、この発明の請求項1に記載の発明は、酸性領域下に
硫化物を用いて、溶液中の金属イオンを除去することを
特徴とする塩化鉄水溶液の精製方法である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for removing metal ions in a solution using a sulfide under an acidic region. This is a method for purifying an aqueous solution of iron chloride.

【0016】また、この発明の請求項2に記載の発明
は、酸性領域下に硫化物と金属鉄を用いて、溶液中の金
属イオンを除去することを特徴とする塩化鉄水溶液の精
製方法である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for purifying an aqueous solution of iron chloride, comprising removing metal ions in a solution using a sulfide and metallic iron in an acidic region. is there.

【0017】また、この発明の請求項5に記載の発明
は、溶液中に金属鉄を添加してpHを調整し、金属イオ
ンを部分的に析出させた後、硫化物を添加し、残存する
金属イオンを除去することを特徴とする塩化鉄水溶液の
精製方法である。
In the invention according to claim 5 of the present invention, after adding metal iron to the solution to adjust the pH and partially depositing metal ions, sulfide is added and the metal ions are left. This is a method for purifying an aqueous solution of iron chloride, which comprises removing metal ions.

【0018】また、この発明の請求項8に記載の発明
は、前記塩化鉄水溶液の精製方法で精製されたことを特
徴とする塩化鉄水溶液である。
[0018] The invention according to claim 8 of the present invention is an aqueous solution of iron chloride characterized by being purified by the method for purifying an aqueous solution of iron chloride.

【0019】さらに、この発明の請求項9に記載の発明
は、不純物としてコバルトイオンを含むエッチング廃液
を精製して得られコバルトイオン濃度が、20ppm以
下であることを特徴とする塩化鉄水溶液である。
Further, the invention according to claim 9 of the present invention is an aqueous iron chloride solution characterized in that the concentration of cobalt ions obtained by purifying an etching waste liquid containing cobalt ions as impurities is 20 ppm or less. .

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、この発明の塩化鉄水溶液の
精製方法及び塩化鉄水溶液について、より具体的に説明
する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a method for purifying an aqueous solution of iron chloride and an aqueous solution of iron chloride according to the present invention will be described more specifically.

【0021】塩化鉄水溶液 この発明で精製される塩化鉄水溶液としては、コバルト
イオンやニッケルイオンなどの各種金属イオンを不純物
として含み、当該コバルトイオンやニッケルイオンなど
の各種金属イオンの析出除去が望まれるものであれば、
どのような塩化鉄水溶液、すなわち、塩化第一鉄水溶液
や塩化第二鉄水溶液でもよいが、主として電子部品とし
てのリードフレームや、テレビジョンのシャドウマスク
などのエッチング加工に用いられた、エッチング廃液で
ある塩化第二鉄水溶液、及びその還元物である塩化第一
鉄水溶液の精製に、この発明を良好に適用することがで
きる。
Iron chloride aqueous solution The aqueous iron chloride solution purified in the present invention contains various metal ions such as cobalt ions and nickel ions as impurities, and it is desired to precipitate and remove various metal ions such as cobalt ions and nickel ions. If
Any iron chloride aqueous solution, that is, an aqueous solution of ferrous chloride or an aqueous solution of ferric chloride may be used, but an etching waste liquid mainly used for an etching process of a lead frame as an electronic component or a shadow mask of a television. The present invention can be favorably applied to the purification of an aqueous ferric chloride solution and an aqueous ferrous chloride solution as a reduced product thereof.

【0022】なお、塩化第二鉄水溶液中の塩化第二鉄
は、容易に還元されて、塩化第一鉄になるので、この発
明において、鉄粉により金属イオンを析出する方法を採
用する時には、塩化第二鉄は、塩化第一鉄に変化してい
るので、実質的には、エッチング廃液である塩化第二鉄
水溶液中の金属イオンの析出、すなわち、塩化第二鉄水
溶液の精製は、塩化第一鉄溶液中の金属イオンの析出と
実質的に同一の反応を経由して行われるものである。
Since ferric chloride in the aqueous ferric chloride solution is easily reduced to ferrous chloride, when the method of depositing metal ions with iron powder in the present invention is adopted, Since ferric chloride has been changed to ferrous chloride, the precipitation of metal ions in the aqueous ferric chloride solution, which is an etching waste liquid, that is, the purification of the aqueous ferric chloride solution, It is carried out through substantially the same reaction as the precipitation of metal ions in the ferrous solution.

【0023】したがって、後記のように、この発明で塩
化第二鉄水溶液を精製する場合においても、溶液中の塩
化第二鉄を塩化第一鉄に変化させてイオンを除去するも
のであり、最終的に精製された塩化第二鉄水溶液を得る
ためには、塩化第一鉄を塩素により酸化(塩素化)して
塩化第二鉄にする必要がある。
Therefore, as described later, even when the ferric chloride aqueous solution is purified by the present invention, the ferric chloride in the solution is changed to ferrous chloride to remove ions, and In order to obtain a ferric chloride aqueous solution which is purified to a certain degree, it is necessary to oxidize (chlorinate) ferrous chloride with chlorine to obtain ferric chloride.

【0024】金属イオン 塩化鉄水溶液中の除去し得るコバルトイオンや、その他
の金属イオンの量については格別の制限はないが、例え
ば、ウルトラインバーやスーパーインバーを、エッチン
グ加工したエッチング廃液である塩化第二鉄水溶液中に
は、通常1000〜2000ppmのコバルトイオン
と、10000ppm程度のニッケルイオンが存在して
いるので、これらの量のコバルトイオンやニッケルイオ
ン、さらには数100ppm、数1000ppmという
量のコバルトイオンの析出除去も、この発明により容易
に行うことができる。
The cobalt ions and may remove metal ions in aqueous solution of iron chloride, but no particular limitation on the amount of other metal ions, for example, the ultra-Invar and Super Invar, the chloride is etched with etching liquid waste Usually, 1000 to 2000 ppm of cobalt ions and about 10000 ppm of nickel ions are present in the aqueous solution of ferrous iron, so that these amounts of cobalt ions and nickel ions, and further, several hundred ppm and several thousand ppm of cobalt ions Can be easily removed according to the present invention.

【0025】硫化物 金属イオンの析出除去に用いられる硫化物としては、塩
化鉄水溶液、特にpHが1以上の塩化鉄水溶液中で、硫
化物イオンを形成するものであれば、格別な制限もな
く、この発明に適用することができるが、具体的な化合
物としては、硫化水素、硫化アンモニウムや、硫化ナト
リウム、硫化カリウム、硫化水素ナトリウム等のアルカ
リ金属の硫化物、硫化マグネシウム、硫化バリウム等の
アルカリ土類金属の硫化物などが挙げられる。
The sulfide used for the precipitation and removal of sulfide metal ions is not particularly limited as long as it forms sulfide ions in an aqueous solution of iron chloride, particularly an aqueous solution of iron chloride having a pH of 1 or more. Specific compounds that can be applied to the present invention include hydrogen sulfide, ammonium sulfide, and alkali metal sulfides such as sodium sulfide, potassium sulfide, and sodium hydrogen sulfide; and alkali compounds such as magnesium sulfide and barium sulfide. Earth metal sulfides and the like.

【0026】これらの化合物のなかでは、塩化鉄水溶液
中のコバルトイオンやニッケルイオンの析出能力により
優れている硫化水素や硫化アンモニウムが好ましく、特
に好ましいものは硫化水素で、不純物の少ないものであ
れば使用に制限はなく、工業用硫化水素が問題なく使用
できる。また、硫化バリウムも、ニッケルイオンとコバ
ルトイオンの析出に用いた後のバリウムイオンが、硫酸
により、容易に硫酸バリウムとして析出が可能であるた
め使用が好ましいものである。
Among these compounds, preferred are hydrogen sulfide and ammonium sulfide, which are superior in the ability to precipitate cobalt ions and nickel ions in an aqueous solution of iron chloride. There is no restriction on the use, and industrial hydrogen sulfide can be used without any problem. Further, barium sulfide is also preferably used because barium ion after used for precipitation of nickel ions and cobalt ions can be easily precipitated as barium sulfate with sulfuric acid.

【0027】金属イオンの析出除去に用いられる硫化物
の量としては、塩化鉄水溶液中のコバルトイオンを含
む、不純物として存在するニッケルイオンなどの金属イ
オンの種類や存在量により変化するので、実験により確
認する必要があるが、硫化水素に関しては、発明者等が
行った5L規模の試験において、圧力0.2MPaの硫
化水素を50〜200ml/min、塩化鉄水溶液に加
えることにより、金属イオンを問題のない量まで除去す
ることができた。
The amount of the sulfide used for the precipitation and removal of metal ions varies depending on the type and amount of metal ions such as nickel ions, which are present as impurities, including cobalt ions in the aqueous iron chloride solution. Although it is necessary to confirm, regarding hydrogen sulfide, in a 5 L-scale test conducted by the inventors, adding 50 to 200 ml / min of hydrogen sulfide at a pressure of 0.2 MPa to an aqueous iron chloride solution causes a problem of metal ions. It was possible to remove to the amount without.

【0028】金属鉄による析出 この発明において、硫化水素により金属イオンを析出さ
せる時、特にニッケルイオンが存在する時は、金属イオ
ンの析出を、従来と同様に、まず、金属鉄で行うことが
良く、ニッケルイオンとコバルトイオンが共存している
ときは、コバルトイオンの一部がニッケルイオンととも
に析出するので好ましい方法である。
[0028] In precipitation the invention by metallic iron, when depositing a metal ion by hydrogen sulfide, particularly when there are nickel ions, the precipitation of metal ions, as in the conventional, first, may be carried out in metallic iron When nickel ions and cobalt ions coexist, a part of cobalt ions is precipitated together with nickel ions, which is a preferable method.

【0029】さらに、金属鉄は、後述するように、金属
イオンの析出のためばかりでなく、塩化鉄水溶液中の金
属イオンを硫化水素により析出させる際の、塩化鉄水溶
液のpH調整剤としての機能も有する上、硫化物に併用
されることにより、ニッケルイオンやコバルトイオンの
析出を促進する機能を有するので、金属鉄の併用は好ま
しく、この金属鉄の併用は、硫化物を添加した塩化鉄水
溶液中に残存し、余剰・不要となった硫化物イオンの低
減にも効果がある。
Further, as will be described later, metallic iron functions not only for the precipitation of metal ions but also as a pH adjuster for the aqueous solution of iron chloride when the metal ions in the aqueous solution of iron chloride are precipitated by hydrogen sulfide. In addition, it has a function of accelerating the precipitation of nickel ions and cobalt ions by being used in combination with sulfides. Therefore, it is preferable to use metal iron in combination. It is also effective in reducing surplus and unnecessary sulfide ions which remain inside.

【0030】コバルトイオンを、ニッケルイオン共存下
に金属鉄で析出させる際は、ニッケルイオンの析出速度
がコバルトイオンの析出速度より大きいため、ニッケル
イオンの量がコバルトイオンの存在量より多いことが望
ましく、例えば、コバルトイオンが200〜2000p
pm程度である場合、10000ppm程度共存するの
が良く、具体的には、目標とするコバルトイオンの濃
度、析出時間などから、求められる。
When depositing cobalt ions with metallic iron in the presence of nickel ions, since the deposition rate of nickel ions is higher than the deposition rate of cobalt ions, it is desirable that the amount of nickel ions be larger than the existing amount of cobalt ions. For example, if the cobalt ion is 200-2000p
In the case of about pm, it is preferable that about 10,000 ppm coexist, and specifically, it is obtained from the target concentration of cobalt ion, deposition time and the like.

【0031】コバルトイオンの析出のために、ニッケル
イオンを塩化鉄水溶液に添加する際は、単にニッケル塩
を加えることでよいが、塩化鉄水溶液中に塩化第二鉄が
存在する場合は、金属ニッケルを加えることでもよく、
金属ニッケルは塩化第二鉄と反応してニッケルイオンを
生じるので、コバルトイオンの析出に利用できる。
When adding nickel ions to the aqueous solution of iron chloride for the precipitation of cobalt ions, it is sufficient to simply add a nickel salt. However, when ferric chloride is present in the aqueous solution of iron chloride, nickel May be added,
Since metallic nickel reacts with ferric chloride to produce nickel ions, it can be used for depositing cobalt ions.

【0032】ニッケルイオンを用いてコバルトイオンを
析出させる際、ニッケルイオンをコバルトイオンより多
く共存させていても、ニッケルイオンの析出速度が大き
いため、一定時間後には、液中のニッケルイオンの量が
少なくなり、コバルトイオンの析出が殆ど停止してしま
う状態に至ることがあるので、さらにコバルトイオンの
析出を望むときは、ニッケルイオンを追加して添加し、
必要に応じて金属鉄をさらに添加することにより、コバ
ルトイオンを所望の量(濃度)に低下するまで析出させ
ることができる。
When depositing cobalt ions using nickel ions, even if nickel ions coexist more than cobalt ions, the deposition rate of nickel ions is high. In some cases, the precipitation of cobalt ions may be almost stopped, so if further precipitation of cobalt ions is desired, nickel ions are added and added.
By further adding metallic iron as needed, cobalt ions can be precipitated until the desired amount (concentration) is reduced.

【0033】金属鉄 コバルトイオンの析出に、金属鉄を併用する際の金属鉄
としては、従来、ニッケルイオンの析出に用いられてい
るものが同様に用いられ、塊状の鉄、鉄片より還元鉄粉
などの鉄粉が好ましい。また、本発明において、金属鉄
としては純粋な鉄のみでなく、酸化鉄なども、脱ニッケ
ルイオン能には劣るが、金属鉄として部分的に代替可能
である。
[0033] deposition of metallic iron cobalt ions, as metallic iron when used in combination metallic iron, conventionally, those used for the precipitation of nickel ions are used in the same manner, iron bulk, reduced from iron iron powder Iron powder such as is preferred. Further, in the present invention, not only pure iron but also iron oxide is inferior in nickel removing ion ability as metal iron, but can be partially substituted as metal iron.

【0034】鉄粉としては、比表面積が0.1〜7m2
/gの多孔質のものが好ましく、粒度でいえば100メ
ッシュ以上のものが好ましく、より好ましくは150〜
350メッシュの範囲にあるもので、かかる鉄粉を使用
することにより、適正な速度でニッケルイオンや共存す
るコバルトイオンを析出させることができる。
The iron powder has a specific surface area of 0.1 to 7 m 2.
/ G is preferable, and the particle size is preferably 100 mesh or more, and more preferably 150 to
By using such iron powder having a size in the range of 350 mesh, nickel ions and coexisting cobalt ions can be precipitated at an appropriate rate.

【0035】金属鉄の添加量は、ニッケルイオンやコバ
ルトイオンの濃度、析出速度などを考慮して定めればよ
いが、一般的な添加量としては、金属イオンに対して1
当量以上であり、好ましくは3〜7当量であって、1当
量未満では、金属イオンの析出が不十分になり、7当量
以上では析出に寄与しないものがあり、最終的には、鉄
粉は濾過により排除されるため、コスト面でも資源的に
も好ましいものではない。
The amount of metallic iron to be added may be determined in consideration of the concentration of nickel ions and cobalt ions, the deposition rate, and the like.
The equivalent is not less than 3 equivalents, preferably 3 to 7 equivalents, and if it is less than 1 equivalent, the precipitation of metal ions is insufficient, and if it is 7 equivalents or more, it does not contribute to the precipitation. Since it is eliminated by filtration, it is not preferable in terms of cost and resources.

【0036】析出条件 金属イオンを析出させる際の塩化鉄水溶液としては、p
H1.5〜4.5の酸性領域の水溶液であることが好ま
しく、この範囲の酸性領域にある塩化鉄水溶液から最も
効果的にコバルトイオンや、その他の重金属イオン、例
えば、ニッケルイオンも析出させることができる。
Precipitation conditions The aqueous solution of iron chloride used to deposit metal ions is p
It is preferably an aqueous solution in an acidic region of H1.5 to 4.5, and most effectively precipitates cobalt ions and other heavy metal ions, for example, nickel ions, from an aqueous solution of iron chloride in the acidic region in this range. Can be.

【0037】塩化鉄水溶液のpHを1.5〜4.5の範
囲に調整するには、苛性ソーダなどの一般的な水酸化ア
ルカリを使用してもよいが、アルカリ金属が不純物とし
て問題になるときは、金属鉄を用いるのが好ましい。
In order to adjust the pH of the aqueous solution of iron chloride to a range of 1.5 to 4.5, a common alkali hydroxide such as caustic soda may be used. It is preferable to use metallic iron.

【0038】金属イオンの析出は、窒素雰囲気下でも空
気雰囲気下でもよく、温度としては常温から温度100
℃の範囲で行えるが、好ましい温度範囲は温度40〜9
0℃である。
The metal ions may be deposited under a nitrogen atmosphere or an air atmosphere.
C., but the preferred temperature range is 40-40.
0 ° C.

【0039】析出時間としては、析出温度が温度60℃
であれば1時間以上、通常2〜10時間とするのが、管
理する上で好ましい。
As for the deposition time, the deposition temperature is set to 60 ° C.
In this case, the time is preferably at least 1 hour, usually 2 to 10 hours in terms of management.

【0040】コバルトイオンを含め金属イオンは硫化物
として析出するので、それらを濾過することにより溶液
から分離することができ、金属鉄を用いて、金属イオン
を分離除去したときなどは、溶液中の塩化鉄が塩化第二
鉄であったとしても、塩化第二鉄は還元されて塩化第一
鉄に変化しているため、液中に塩素を吹き込み、塩素化
(酸化)して塩化第二鉄に戻す処置がとられ、精製され
た塩化第二鉄溶液とし、再度エッチング加工などに用い
られる。
Since metal ions, including cobalt ions, precipitate as sulfides, they can be separated from the solution by filtering them, and when metal ions are separated and removed using metallic iron, etc. Even if ferric chloride is ferric chloride, since ferric chloride is reduced to ferrous chloride, chlorine is blown into the liquid and chlorinated (oxidized) to ferric chloride. The solution is returned to the above-mentioned condition, and is used as a purified ferric chloride solution, which is used again for etching and the like.

【0041】[0041]

【作用】塩化鉄溶液中に不純物として存在するコバルト
イオンは、従来、同様の不純物としてのニッケルイオン
の除去に採用されていた方法、例えば、鉄粉の単独添加
などでは殆ど除去することができないが、硫化物、特に
硫化水素を加えることにより、酸性状態では沈殿物を形
成しないとされていた硫化物を、塩化鉄の水溶液が酸性
であるにも係わらず形成し、塩化鉄溶液からの分離・除
去を可能とする特異的な作用が奏される。
The cobalt ion existing as an impurity in the iron chloride solution can hardly be removed by a method conventionally used for removing nickel ion as the same impurity, for example, by adding iron powder alone. By adding sulfides, especially hydrogen sulfide, sulfides, which were considered not to form a precipitate in an acidic state, are formed despite the fact that an aqueous solution of iron chloride is acidic. A specific action enabling removal is achieved.

【0042】また、この発明によれば、ニッケルイオン
などの他の金属イオンも同時に除去され、コバルトイオ
ンを含め各種金属イオンが不純物として存在する塩化鉄
溶液の精製が極めて容易に行うことができる。
Further, according to the present invention, other metal ions such as nickel ions are also removed at the same time, and the purification of an iron chloride solution containing various metal ions including cobalt ions as impurities can be performed very easily.

【0043】[0043]

【実施例】以下、実施例に基づいて、この発明をより詳
細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in more detail with reference to embodiments.

【0044】実施例1 5Lの容器を用い、工業用35%塩化第一鉄溶液に、コ
バルトイオン濃度が約800ppmになるように試薬の
CoCl2・6H2Oを加えて、試験用塩化第一鉄溶液を
調整した。20%苛性ソーダ水溶液で試験液のpHを
4.0に調整した後、温度を60℃に維持し、攪拌しな
がら、硫化水素ガスを流量110ml/minで吹き込
み60分間反応させた。反応中、試験液のpHを20%
苛性ソーダ水溶液で4.0に維持した。反応開始後30
分及び反応終了後に、試験液を少量分取し、ろ紙を用い
て固液分離した。液側のコバルトイオン濃度を分析した
ところ、30分後で247ppm、終了後で1.2pp
mまで低下していた。
Example 1 Using a 5 L container, a reagent, CoCl 2 .6H 2 O, was added to an industrial 35% ferrous chloride solution so that the cobalt ion concentration was about 800 ppm, and the test solution was treated with ferrous chloride. The iron solution was prepared. After adjusting the pH of the test solution to 4.0 with a 20% aqueous sodium hydroxide solution, hydrogen sulfide gas was blown at a flow rate of 110 ml / min with stirring at a temperature of 60 ° C., and reacted for 60 minutes. During the reaction, adjust the pH of the test solution to 20%
It was maintained at 4.0 with aqueous sodium hydroxide solution. 30 after the start of the reaction
After the reaction and the completion of the reaction, a small amount of the test liquid was collected and subjected to solid-liquid separation using filter paper. When the cobalt ion concentration on the liquid side was analyzed, it was 247 ppm after 30 minutes and 1.2 pp after completion.
m.

【0045】実施例2 工業用35%塩化第一鉄溶液に、コバルトイオン濃度が
約800ppmになる様に試薬のCoCl2・6H2Oを
加え、さらに鉄粉と少量の水を加えて、pHが4.0の
試験用塩化第一鉄溶液を調整した。試験液の温度を60
℃に維持し、攪拌しながら、硫化水素ガスを流量110
ml/minで吹き込み120分間反応させた。反応終
了後のpHは1.5であった。反応開始後60分及び反
応終了後に、試験液を少量分取し、ろ紙を用いて固液分
離した。液側のコバルトイオン濃度を分析したところ、
60分後で1.7ppm、終了後で1.6ppmまで低
下していた。
Example 2 A reagent, CoCl 2 .6H 2 O, was added to an industrial 35% ferrous chloride solution so that the cobalt ion concentration became about 800 ppm. Further, iron powder and a small amount of water were added, and pH was adjusted. A test ferrous chloride solution having a pH of 4.0 was prepared. Set the temperature of the test solution to 60
C. and while stirring, supply hydrogen sulfide gas at a flow rate of 110
The reaction was carried out for 120 minutes by blowing at a rate of ml / min. After the completion of the reaction, the pH was 1.5. After 60 minutes from the start of the reaction and after the end of the reaction, a small amount of the test liquid was separated and subjected to solid-liquid separation using filter paper. When the cobalt ion concentration on the liquid side was analyzed,
It decreased to 1.7 ppm after 60 minutes and 1.6 ppm after completion.

【0046】実施例3 工業用35%塩化第一鉄溶液に、コバルトイオン濃度が
約100ppmになるように試薬のCoCl2・6H2
を加え、さらに鉄粉を表1に示される濃度まで加え試験
用塩化第一鉄溶液を調整した。試験液の温度を70℃に
維持し、攪拌しながら、硫化水素ガスを0.2MPa、
流量30ml/minで吹き込み60分間反応させた。
反応終了後のコバルトイオン濃度と硫黄濃度を分析して
結果を表1に示した。
Example 3 A reagent, CoCl 2 .6H 2 O, was added to an industrial 35% ferrous chloride solution so that the cobalt ion concentration was about 100 ppm.
Was added, and iron powder was further added to the concentration shown in Table 1 to prepare a test ferrous chloride solution. While maintaining the temperature of the test solution at 70 ° C. and stirring, the hydrogen sulfide gas was 0.2 MPa,
The mixture was blown at a flow rate of 30 ml / min and reacted for 60 minutes.
After the reaction, the cobalt ion concentration and the sulfur concentration were analyzed, and the results are shown in Table 1.

【0047】[0047]

【表1】 [Table 1]

【0048】実施例4 工業用35%塩化第一鉄溶液に、試薬のNiCl2・6
2Oと、CoCl2・6H2Oを加えて、ニッケルイオ
ン濃度約10000ppm、コバルトイオン濃度約16
00ppmになるように試験用塩化第一鉄溶液を調整し
た。試験液温を温度70℃に設定し、攪拌しながら、ニ
ッケルとコバルトの総モル数に対し、3当量の鉄粉(平
均粒度150メッシュオン、比表面積0.16m2
g)を3回(開始時、2時間後、4時間後)に分割して
添加し、480分反応させた。この反応液に、硫化水素
ガスを0.2MPa、流量100ml/minで1時間
吹き込み、液中のニッケル、コバルト、鉄及び硫化物イ
オンの濃度の変化を測定した。測定した結果を表2に示
す。
[0048] Example 4 Industrial 35% ferrous chloride solution, NiCl reagent 2.6
H 2 O and CoCl 2 .6H 2 O were added, and the nickel ion concentration was about 10,000 ppm and the cobalt ion concentration was about 16
The test ferrous chloride solution was adjusted to be 00 ppm. The test solution temperature was set to 70 ° C., and 3 equivalents of iron powder (average particle size 150 mesh on, specific surface area 0.16 m 2 /
g) was added in three portions (at the start, after 2 hours and after 4 hours), and the mixture was reacted for 480 minutes. Hydrogen sulfide gas was blown into this reaction solution at a flow rate of 0.2 MPa and a flow rate of 100 ml / min for 1 hour, and the change in the concentration of nickel, cobalt, iron and sulfide ions in the solution was measured. Table 2 shows the measured results.

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】実施例5 工業用35%塩化第一鉄溶液に、試薬のNiCl2・6
2Oと、CoCl2・6H2Oを加えて、ニッケルイオ
ン濃度とコバルトイオン濃度がそれぞれ約50ppmに
なるように試験用塩化第一鉄溶液を調整した。試験液に
鉄粉を加えて、pHを2.5とした後、試験液を二分
し、一方の試験液はろ過により鉄粉を除去した。両方の
試験液の温度を70℃とし、硫化アンモニウム水溶液
(硫黄含量6%)を50ppmとしたニッケルイオンと
コバルトイオンの3倍モル添加し4時間反応させた。試
験液中のニッケル、コバルト及び硫化物イオンの濃度並
びにpHの変化を測定した。測定した結果を表3(鉄粉
をろ過しなかった場合)、表4(鉄粉をろ過した場合)
に示す。
Example 5 A reagent, NiCl 2 .6, was added to an industrial 35% ferrous chloride solution.
H 2 O and CoCl 2 .6H 2 O were added to adjust the test ferrous chloride solution so that the nickel ion concentration and the cobalt ion concentration were each about 50 ppm. After adjusting the pH to 2.5 by adding iron powder to the test liquid, the test liquid was divided into two parts, and one of the test liquids was filtered to remove the iron powder. The temperature of both test liquids was set to 70 ° C., and an aqueous solution of ammonium sulfide (sulfur content: 6%) was added at a concentration of 50 ppm. The concentrations of nickel, cobalt and sulfide ions in the test solution and changes in pH were measured. Table 3 (when iron powder was not filtered) and Table 4 (when iron powder was filtered)
Shown in

【0051】[0051]

【表3】 [Table 3]

【0052】[0052]

【表4】 [Table 4]

【0053】実施例6 工業用35%塩化第一鉄溶液に、試薬のNiCl2・6
2Oと、CoCl2・6H2Oを加えて、ニッケルイオ
ン濃度とコバルトイオン濃度がそれぞれ約50ppmに
なるように試験用塩化第一鉄溶液を調整した。試験液の
温度を60℃にして鉄粉を投入し、pHが2.5以上に
なるまで撹拌した。次に、硫化バリウム(白色粉末)を
ニッケルとコバルトに対して3当量投入し、4時間撹拌
反応させた。試験液中のニッケル、コバルト、硫化物イ
オン及びバリウムイオンの濃度の変化を測定した。測定
した結果を表5に示す。なお、バリウムイオンは硫酸の
添加により除去可能である。
Example 6 The reagent NiCl 2 .6 was added to an industrial 35% ferrous chloride solution.
H 2 O and CoCl 2 .6H 2 O were added to adjust the test ferrous chloride solution so that the nickel ion concentration and the cobalt ion concentration became about 50 ppm, respectively. The temperature of the test solution was adjusted to 60 ° C., and iron powder was charged, followed by stirring until the pH reached 2.5 or more. Next, 3 equivalents of barium sulfide (white powder) were added to nickel and cobalt, and the mixture was stirred and reacted for 4 hours. Changes in the concentrations of nickel, cobalt, sulfide ions and barium ions in the test solution were measured. Table 5 shows the measurement results. Barium ions can be removed by adding sulfuric acid.

【0054】[0054]

【表5】 [Table 5]

【0055】比較例1 工業用35%塩化第一鉄溶液に、試薬のCoCl2・6
2Oを加えて、コバルトイオンの濃度が約1600p
pmになるように試験用塩化第一鉄溶液を調整した。調
整した溶液を温度70℃に設定し、攪拌しながら、コバ
ルトに対し、36当量の鉄粉(平均粒度150メッシュ
オン、比表面積0.16m2/g)を3回(開始時、2
時間後、4時間後)に分割して添加し、コバルトイオン
濃度の変化を測定した。測定した結果を表6に示した。
Comparative Example 1 The reagent CoCl 2 .6 was added to an industrial 35% ferrous chloride solution.
By adding H 2 O, the concentration of cobalt ions is about 1600p
The test ferrous chloride solution was adjusted to pm. The adjusted solution was set at a temperature of 70 ° C., and while stirring, 36 equivalents of iron powder (average particle size: 150 mesh on, specific surface area: 0.16 m 2 / g) were added to cobalt three times (at the start, 2
After 4 hours, the mixture was added in portions, and the change in the cobalt ion concentration was measured. Table 6 shows the measurement results.

【0056】比較例2 工業用35%塩化第一鉄溶液に、試薬のNiCl2・6
2Oと、CoCl2・6H2Oを加えて、ニッケルイオ
ン濃度約10000ppm、コバルトイオン濃度約16
00ppmになるように試験用塩化第一鉄溶液を調整し
た。液温を70℃に設定し、攪拌しながら、ニッケル及
びコバルトに対し、比較例1と同量の5当量の鉄粉(平
均粒度150メッシュオン、比表面積0.16m2
g)を3回(開始時、2時間後、4時間後)に分割して
添加し、ニッケル及びコバルトイオン濃度の変化を測定
した。測定した結果を表6に示した。
Comparative Example 2 The reagent NiCl 2 .6 was added to an industrial 35% ferrous chloride solution.
H 2 O and CoCl 2 .6H 2 O were added, and the nickel ion concentration was about 10,000 ppm and the cobalt ion concentration was about 16
The test ferrous chloride solution was adjusted to be 00 ppm. The solution temperature was set to 70 ° C., and while stirring, 5 equivalents of iron powder (average particle size: 150 mesh on, specific surface area: 0.16 m 2 /
g) was added in three portions (at the start, after 2 hours and after 4 hours), and the change in nickel and cobalt ion concentrations was measured. Table 6 shows the measurement results.

【0057】[0057]

【表6】 [Table 6]

【0058】実施例及び比較例の結果から明らかなよう
に、実質的に塩化鉄溶液からコバルトイオンの除去は、
金属鉄では殆ど行えず、硫化物、特に硫化水素を加える
ことによって、初めて、コバルトイオンの除去が効果的
に行え、また、同時にニッケルイオンも除去できるので
ある。
As is clear from the results of Examples and Comparative Examples, the removal of cobalt ions from the iron chloride solution was substantially as follows.
It is hardly possible with metallic iron, and only by adding sulfides, especially hydrogen sulfide, can cobalt ions be removed effectively and nickel ions can be removed at the same time.

【0059】また、本発明者等が先に提案したように、
ニッケルイオンが共存していると、鉄粉の添加によっ
て、コバルトイオンを除去することが可能であるが、コ
バルトイオンの量を少なくするためには、析出速度の速
く、濃度が速やかに低下してしまう、ニッケルイオンの
追添加や鉄粉の添加が必要であり、望ましい方法とは、
必ずしも云えないものである。
As proposed by the present inventors,
When nickel ions coexist, it is possible to remove cobalt ions by adding iron powder.However, in order to reduce the amount of cobalt ions, the deposition rate is high and the concentration decreases rapidly. It is necessary to add nickel ions or add iron powder.
It is not always possible to say.

【0060】なお、コバルトイオンの除去の際、既に、
ニッケルイオンも塩化鉄溶液中に存在するのであれば、
前記のように金属鉄の添加により、ニッケルイオンと一
緒にコバルトイオンも析出するので、金属鉄と硫化水素
を併用することにより、コバルトイオンやニッケルイオ
ンの析出除去がより効果的に行われる。
When removing cobalt ions,
If nickel ions are also present in the iron chloride solution,
As described above, the addition of metallic iron causes the precipitation of cobalt ions together with the nickel ions. Thus, the combined use of metallic iron and hydrogen sulfide enables more effective removal and precipitation of cobalt ions and nickel ions.

【0061】さらに、金属鉄は、金属イオンの析出のた
めばかりでなく、塩化鉄水溶液中の金属イオンを硫化水
素により析出させる際の、塩化鉄水溶液のpH調整剤と
しての機能も有するうえ、硫化物に併用されることによ
り、ニッケルイオンやコバルトイオンの析出を促進する
機能を有するとともに、硫化物を添加した塩化鉄水溶液
中に残存し余剰・不要となった硫化物イオンを低減する
ものでもある。
Further, iron metal not only functions to precipitate metal ions but also functions as a pH adjuster for the aqueous iron chloride solution when the metal ions in the aqueous iron chloride solution are precipitated by hydrogen sulfide. It has the function of accelerating the precipitation of nickel ions and cobalt ions by being used together with the sulfides, and also reduces excess and unnecessary sulfide ions remaining in the sulfide-added aqueous iron chloride solution. .

【0062】[0062]

【発明の効果】この発明の塩化鉄水溶液の精製方法によ
れば、ウルトラインバーやスーパーインバーのエッチン
グ加工によって、エッチング能力が低下した塩化第二鉄
水溶液又はその廃液中に含まれるコバルトイオンや重金
属イオンを効果的に除去でき、再度、当該塩化第二鉄水
溶液をエッチング液として使用することを可能にするこ
とができ、省資源的にも優れた効果を発揮するものであ
る。
According to the method for purifying an aqueous solution of iron chloride of the present invention, cobalt ions and heavy metal ions contained in an aqueous solution of ferric chloride or its waste liquid whose etching ability has been reduced by the etching process of the ultra line bar or super invar. Can be effectively removed, and the ferric chloride aqueous solution can be used again as an etching solution, thereby exhibiting an excellent effect in resource saving.

【0063】この発明の塩化鉄水溶液は、エッチング能
力が低下した塩化第二鉄水溶液又はその廃液から容易に
得ることができ、しかも再利用が可能な点で省資源的に
も優れた効果を発揮するものである。
The aqueous iron chloride solution of the present invention can be easily obtained from an aqueous solution of ferric chloride having a reduced etching ability or a waste liquid thereof, and exhibits an excellent effect on resource saving in that it can be reused. Is what you do.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 酸性領域下に硫化物を用いて、 溶液中の金属イオンを除去することを特徴とする塩化鉄
水溶液の精製方法。
1. A method for purifying an aqueous solution of iron chloride, comprising removing metal ions in a solution using a sulfide under an acidic region.
【請求項2】 酸性領域下に硫化物と金属鉄を用いて、 溶液中の金属イオンを除去することを特徴とする塩化鉄
水溶液の精製方法。
2. A method for purifying an aqueous solution of iron chloride, comprising removing metal ions in a solution using a sulfide and metallic iron in an acidic region.
【請求項3】 前記除去される金属イオンは、 ニッケル又はコバルトイオンであることを特徴とする請
求項1又は2記載の塩化鉄水溶液の精製方法。
3. The method according to claim 1, wherein the metal ions to be removed are nickel or cobalt ions.
【請求項4】 前記酸性領域は、 pH1.5〜4.5の範囲であることを特徴とする請求
項1乃至3のいずれかに記載の塩化鉄水溶液の精製方
法。
4. The method for purifying an aqueous solution of iron chloride according to claim 1, wherein the acidic region has a pH in the range of 1.5 to 4.5.
【請求項5】 溶液中に金属鉄を添加してpHを調整
し、 金属イオンを部分的に析出させた後、 硫化物を添加し、残存する金属イオンを除去することを
特徴とする塩化鉄水溶液の精製方法。
5. An iron chloride which is characterized by adding metallic iron to a solution to adjust the pH and partially depositing metal ions, and then adding sulfide to remove remaining metal ions. A method for purifying an aqueous solution.
【請求項6】 前記硫化物は、 硫化水素、硫化アンモニウム又は硫化バリウムであるこ
とを特徴とする請求項5に記載の塩化鉄水溶液の精製方
法。
6. The method according to claim 5, wherein the sulfide is hydrogen sulfide, ammonium sulfide, or barium sulfide.
【請求項7】 前記塩化鉄水溶液は、 エッチング廃液であることを特徴とする請求項1乃至6
のいずれかに記載の塩化鉄水溶液の精製方法。
7. The iron chloride aqueous solution is an etching waste liquid.
The method for purifying an aqueous iron chloride solution according to any one of the above.
【請求項8】 請求項1〜7記載の塩化鉄水溶液の精製
方法で精製されたことを特徴とする塩化鉄水溶液。
8. An aqueous iron chloride solution purified by the method for purifying an aqueous iron chloride solution according to claim 1.
【請求項9】 不純物としてコバルトイオンを含むエッ
チング廃液を精製して得られ、 コバルトイオン濃度が20ppm以下であることを特徴
とする塩化鉄水溶液。
9. An aqueous iron chloride solution obtained by purifying an etching waste liquid containing cobalt ions as impurities and having a cobalt ion concentration of 20 ppm or less.
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