JP2002151811A - Substrate for wiring board - Google Patents

Substrate for wiring board

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JP2002151811A
JP2002151811A JP2000345812A JP2000345812A JP2002151811A JP 2002151811 A JP2002151811 A JP 2002151811A JP 2000345812 A JP2000345812 A JP 2000345812A JP 2000345812 A JP2000345812 A JP 2000345812A JP 2002151811 A JP2002151811 A JP 2002151811A
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JP
Japan
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polyimide
substrate
wiring board
carbonaceous
plating
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JP2000345812A
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Japanese (ja)
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Motoyasu Nakanishi
幹育 中西
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Suzuki Sogyo Co Ltd
Original Assignee
Suzuki Sogyo Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
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    • C04B2111/00474Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
    • C04B2111/00844Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 for electronic applications

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for wiring board upon which a metal is laminated and which has superior thermal conductivity and a high adhesive property with respect to the metal and is in a preceding stage of forming a printed wiring board, particularly, a wiring pattern that can quickly radiate generated heat. SOLUTION: This substrate 1 for wiring board is constituted of a carbonaceous substrate 2, coating polyimide films 3 formed on both surfaces of the substrate 2, and plated metal layers 4 formed on the films 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、配線板用基板に関
する。
The present invention relates to a wiring board substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、種々の電気・電子機器分野で使用
されているプリント配線板は、基板に銅箔等の金属箔を
積層させた所謂金属貼り積層板に、フォトレジストを利
用して配線パターンを描き、その配線パターンに準拠し
てエッチング等を行うフォトリソグラフィー技術により
製造されている。また別の場合には、銅板等の金属板か
ら配線パターンを打ち抜いて作製された所謂リードフレ
ームを基板に積層させることにより製造されている。そ
して従来、上記金属箔やリードフレームを積層させる基
板としては、例えばフェノール樹脂等の合成樹脂製の基
板が多用されていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a printed wiring board used in various electric and electronic equipment fields is formed by wiring a so-called metal-attached laminate in which a metal foil such as a copper foil is laminated on a substrate by using a photoresist. It is manufactured by a photolithography technique of drawing a pattern and performing etching or the like in accordance with the wiring pattern. In another case, a so-called lead frame formed by punching a wiring pattern from a metal plate such as a copper plate is laminated on a substrate. Conventionally, as a substrate on which the metal foil and the lead frame are laminated, a substrate made of a synthetic resin such as a phenol resin has been frequently used.

【0003】一般に、プリント配線板は、それに実装さ
れた素子の種類にもよるが、発熱することがあり、熱が
蓄積されて回路の温度が上昇すると不測の障害が発生す
る恐れがあるので、熱を速やかに放散させることが求め
られる。しかし、従来の合成樹脂製基板を用いた場合、
その熱伝導性が劣るので、蓄積した熱を放散し難いとい
う問題があった。
In general, a printed wiring board may generate heat, depending on the type of elements mounted thereon, and there is a possibility that an unexpected trouble may occur if heat is accumulated and the temperature of the circuit rises. It is required to dissipate heat quickly. However, when using a conventional synthetic resin substrate,
Because of its poor thermal conductivity, there is a problem that it is difficult to dissipate the accumulated heat.

【0004】また、蓄積した熱を放散する場合には、金
属を積層させる基板自体の熱伝導性のみならず、金属と
基板との密着性も大きく影響する。したがって、金属を
基板に確実に密着させることにより全体的な熱の放散性
を向上させることが従来望まれていた。
When dissipating the accumulated heat, not only the thermal conductivity of the substrate on which the metal is laminated, but also the adhesion between the metal and the substrate is greatly affected. Therefore, it has been conventionally desired to improve the overall heat dissipation by firmly adhering the metal to the substrate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の状況に鑑
み、本発明は、金属を積層させる基板自体の熱伝導性に
優れ、かつ金属と基板との密着性が高いため、発熱した
熱を速やかに放散させ得るプリント配線板、特に配線パ
ターンを形成する前段階である配線板用基板の提供を目
的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned conventional circumstances, the present invention provides a substrate on which a metal is laminated has excellent thermal conductivity and high adhesion between the metal and the substrate. It is an object of the present invention to provide a printed wiring board which can be dissipated into a wiring board, particularly a wiring board substrate which is a stage before forming a wiring pattern.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成すべく鋭意研究を行った結果、金属を積層させる基
板として熱伝導性に優れた炭素質材料からなる炭素質基
板を用いること、及び金属層を形成する手段としてめっ
きによる方法を選択することにより上記目的を達成でき
ることを見出し本発明を完成した。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has found that a carbonaceous substrate made of a carbonaceous material having excellent thermal conductivity is used as a substrate for laminating a metal. It has been found that the above object can be achieved by selecting a plating method as a means for forming a metal layer, and completed the present invention.

【0007】すなわち本発明の配線板用基板は、炭素質
基板と、前記炭素質基板に設けられたポリイミド塗膜、
ポリイミドフィルム、もしくはポリイミド蒸着重合層
と、前記ポリイミド塗膜、ポリイミドフィルム、もしく
はポリイミド蒸着重合層に設けられためっきによる金属
層とから構成したことを特徴とする。
That is, the wiring board substrate of the present invention comprises a carbonaceous substrate, a polyimide coating film provided on the carbonaceous substrate,
It is characterized by comprising a polyimide film or a polyimide vapor-deposited polymer layer, and a metal layer by plating provided on the polyimide coating film, the polyimide film or the polyimide vapor-deposited polymer layer.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、実施の形態により本発明を
詳細に説明する。まず、本発明の実施の形態(1)を図
1に示す。図1の配線板用基板1は、炭素質基板2にポ
リイミド塗膜3が設けられ、さらにそのポリイミド塗膜
3に、めっきによる金属層4が形成されて概略構成され
ている。ポリイミド塗膜3、及びめっきによる金属層4
は、図1に示すように、炭素質基板2の両面に設けるこ
ともできるし、或いは炭素質基板2の片面のみに設ける
こともできる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments. First, an embodiment (1) of the present invention is shown in FIG. The wiring board substrate 1 shown in FIG. 1 has a schematic structure in which a polyimide film 3 is provided on a carbonaceous substrate 2 and a metal layer 4 is formed on the polyimide film 3 by plating. Polyimide coating 3 and metal layer 4 by plating
May be provided on both sides of the carbonaceous substrate 2 as shown in FIG. 1 or may be provided only on one side of the carbonaceous substrate 2.

【0009】炭素質基板2としては、一般に、炭素繊維
を補強材とし、炭素をマトリックスとする炭素繊維強化
炭素複合材料、或いは等方性高密度炭素材料等の炭素質
材料からなる板状物が用いられる。この炭素質基板2の
厚さは、薄すぎると基板の強度低下を招き、逆に厚すぎ
ると重量増加やコストアップにつながるので、これらを
考慮して適宜設定されるが、一般に、0.3〜5mmが
適当である。
As the carbonaceous substrate 2, a plate made of a carbonaceous material such as a carbon fiber reinforced carbon composite material using carbon fiber as a reinforcing material and carbon as a matrix, or an isotropic high-density carbon material is generally used. Used. When the thickness of the carbonaceous substrate 2 is too small, the strength of the substrate is reduced. On the contrary, when the thickness is too large, the weight increases and the cost increases. Therefore, the thickness is appropriately set in consideration of these factors. 55 mm is appropriate.

【0010】上記炭素質基板2に用いる炭素繊維強化炭
素複合材料としては、従来から知られた種々の炭素繊維
強化炭素複合材料を適宜選択して用いることができる。
炭素繊維強化炭素複合材料には、一般に、炭素繊維の配
列の仕方に種々あり、炭素繊維を一方向にそろえて配列
して束にした1次配向のもの、炭素繊維を平織、綾織、
朱子織等の織布にした2次配向のもの、炭素繊維をいわ
ゆる立体織した3次配向のもの等があり、また炭素繊維
をフェルトや短繊維にして用いたもの等がある。本発明
においては、種々の炭素繊維の配列の仕方のものを適宜
選択して用いることができる。また、炭素繊維強化炭素
複合材料は、一般に、上記各種の配向の仕方の炭素繊維
集合体に、フェノール樹脂等の熱硬化性合成樹脂、或い
は石油ピッチ等のマトリックス材を含浸させてプリプレ
グを調製し、そのプリプレグを必要に応じて複数枚積層
し、加圧下で加熱してマトリックス材を硬化させ、さら
に不活性雰囲気中で高温焼成してマトリックス材を炭素
化して製造される。また、炭素繊維が短繊維の場合は、
一般に、マトリックス材に炭素繊維の短繊維を混合し、
その混合物を所定形状に成形し、その成形物を加圧下で
加熱してマトリックス材を硬化させ、さらに不活性雰囲
気中で高温焼成してマトリックス材を炭素化して、炭素
繊維強化炭素複合材料が製造される。炭素質基板2に用
いる炭素繊維強化炭素複合材料は、予め所定の厚さの板
状に製造されたものでも良いし、或いはブロック状に製
造された炭素繊維強化炭素複合材料から、所定の厚さの
板状に切断して切り出されたものでも良い。また、上記
各種炭素繊維強化炭素複合材料を構成する炭素繊維、炭
素マトリックスは黒鉛化されていても差し支えない。
As the carbon fiber reinforced carbon composite material used for the carbonaceous substrate 2, various conventionally known carbon fiber reinforced carbon composite materials can be appropriately selected and used.
In general, carbon fiber reinforced carbon composite materials have various arrangements of carbon fibers. The carbon fibers are aligned in one direction and arranged in a primary orientation to form a bundle.
There are secondary orientations made of woven cloth such as satin weave, tertiary orientations of carbon fibers so-called three-dimensionally woven, and felts and short fibers made of carbon fibers. In the present invention, various arrangements of carbon fibers can be appropriately selected and used. Further, the carbon fiber reinforced carbon composite material is generally prepared by impregnating a carbon fiber aggregate having various orientations described above with a thermosetting synthetic resin such as a phenol resin or a matrix material such as petroleum pitch to prepare a prepreg. The prepreg is manufactured by laminating a plurality of the prepregs as necessary, heating the matrix under pressure to harden the matrix material, and firing the matrix material in an inert atmosphere at a high temperature to carbonize the matrix material. If the carbon fiber is short fiber,
In general, short fibers of carbon fiber are mixed with the matrix material,
The mixture is formed into a predetermined shape, and the formed material is heated under pressure to harden the matrix material, and then fired at a high temperature in an inert atmosphere to carbonize the matrix material to produce a carbon fiber reinforced carbon composite material. Is done. The carbon fiber-reinforced carbon composite material used for the carbonaceous substrate 2 may be a plate-like material having a predetermined thickness in advance, or a carbon fiber-reinforced carbon composite material manufactured in a block shape and having a predetermined thickness. It may be cut into a plate shape and cut out. Further, the carbon fibers and the carbon matrix constituting the various carbon fiber reinforced carbon composite materials may be graphitized.

【0011】上記各種炭素繊維強化炭素複合材料の中で
も、炭素マトリックス中で炭素繊維が一方向にそろえて
配列された1次配向の炭素繊維強化炭素複合材料のブロ
ックから、それを炭素繊維の配列方向に対して直角方向
に所定の厚さの板状に切断して切り出された板状物は、
特に厚さ方向への熱伝導性に優れているので、炭素質基
板2として好ましく用いられる。このような炭素質基板
2の断面を図1に模式的に示す。図1の炭素質基板2
は、炭素マトリックス21中において厚さ方向に炭素繊
維22が配列している。なお、上記炭素繊維強化炭素複
合材料のブロックからの板状物の切り出しは、ワイヤー
ソー、回転ダイヤモンドソー等のそれ自体公知の切断手
段により行うことができる。
Among the various carbon fiber reinforced carbon composite materials described above, a block of a primary orientation carbon fiber reinforced carbon composite material in which carbon fibers are aligned in one direction in a carbon matrix is used to remove the carbon fiber in the direction in which the carbon fibers are arranged. The plate-like object cut out by cutting into a plate having a predetermined thickness in a direction perpendicular to
Particularly, it is preferably used as the carbonaceous substrate 2 because of its excellent thermal conductivity in the thickness direction. A cross section of such a carbonaceous substrate 2 is schematically shown in FIG. Carbonaceous substrate 2 of FIG.
Has carbon fibers 22 arranged in a thickness direction in a carbon matrix 21. The cutting of the plate-like material from the block of the carbon fiber reinforced carbon composite material can be performed by a cutting means known per se such as a wire saw or a rotating diamond saw.

【0012】また、上記炭素質基板2として等方性高密
度炭素材料を用いる場合にも、従来から知られた種々の
等方性高密度炭素材料を適宜選択して用いることができ
る。等方性高密度炭素材料は、一般に、生コークスやメ
ソカーボンマイクロビーズ等の焼結性を有する黒鉛前駆
体の微粒子を加圧成形しつつ高温で焼成することによ
り、或いは黒鉛微粒子やカーボンウイスカー粉体等をピ
ッチや合成樹脂等の炭素前駆体からなるバインダーと混
合して加圧成形、焼成することにより製造される。炭素
質基板2に用いる等方性高密度炭素材料は、予め所定の
厚さの板状に製造されたものでも良いし、或いはブロッ
ク状に製造された等方性高密度炭素材料から、所定の厚
さの板状に切断して切り出されたものでも良い。また、
上記各種等方性高密度炭素材料は黒鉛化されていても差
し支えない。
Also, when an isotropic high-density carbon material is used as the carbonaceous substrate 2, various conventionally known isotropic high-density carbon materials can be appropriately selected and used. The isotropic high-density carbon material is generally obtained by firing fine particles of sinterable graphite precursor such as raw coke or mesocarbon microbeads at a high temperature while pressing, or by using graphite fine particles or carbon whisker powder. It is manufactured by mixing a body or the like with a binder composed of a carbon precursor such as a pitch or a synthetic resin, press-molding and firing. The isotropic high-density carbon material used for the carbonaceous substrate 2 may be manufactured in a plate shape having a predetermined thickness in advance, or may be a predetermined isotropic high-density carbon material manufactured in a block shape. It may be cut into a plate having a thickness. Also,
The above-mentioned various isotropic high-density carbon materials may be graphitized.

【0013】上記の炭素繊維強化炭素複合材料或いは等
方性高密度炭素材料はいずれも、一般に、その製造過程
に由来する微細孔を有していてポーラスである。そし
て、これらの材料の微細孔に無機コーティング剤或いは
金属を含浸させ、非多孔質化することにより熱伝導性は
一層向上する。したがって、本発明では、必要に応じ
て、上記各炭素質材料を、その微細孔に無機コーティン
グ剤或いは金属を含浸させて炭素質基板2として用いる
ことができ、基板の熱伝導性の一層の向上という観点か
らは、そうすることが好ましい。
The above-mentioned carbon fiber reinforced carbon composite material or isotropic high-density carbon material is generally porous having fine pores derived from the production process. Then, the thermal conductivity is further improved by impregnating the fine pores of these materials with an inorganic coating agent or a metal to make them nonporous. Therefore, in the present invention, each of the carbonaceous materials described above can be used as the carbonaceous substrate 2 by impregnating the fine pores thereof with an inorganic coating agent or a metal, if necessary, to further improve the thermal conductivity of the substrate. From the viewpoint of this, it is preferable to do so.

【0014】上記の各炭素質材料に含浸させる無機コー
ティング剤としては、液状であって炭素質材料の微細孔
に含浸させることができ、含浸後に硬化して炭素質材料
を非多孔質化する無機質硬化物を形成する各種無機コー
ティング剤を適宜選択して用いることができる。その例
として、常温或いは加熱下に架橋反応が進行してセラミ
ック様の硬化物を形成する無機のケイ素含有ポリマー、
アルミナセメントのようなセメント、水ガラス類等を含
有する無機系バインダーが挙げられる。これらの無機コ
ーティング剤は、その含浸性を高めるために、有機溶媒
で希釈することができる。また、上記無機コーティング
剤のなお一層具体的な例を挙げれば、ケイ素含有ポリマ
ーを形成するHEATLESS GLASS GAシリ
ーズ(商品名:ホーマーテクノロジー社製)、ポリシラ
ザン類である東燃ポリシラザン(商品名:東燃社製)、
無機バインダーであるレッドプルーフ MR−100シ
リーズ(商品名:熱研社製)等が挙げられる。
The inorganic coating agent to be impregnated into each of the carbonaceous materials is an inorganic material which is liquid and can be impregnated into fine pores of the carbonaceous material, and is cured after impregnation to make the carbonaceous material nonporous. Various inorganic coating agents that form a cured product can be appropriately selected and used. Examples thereof include an inorganic silicon-containing polymer in which a crosslinking reaction proceeds at room temperature or under heating to form a ceramic-like cured product,
Inorganic binders containing cement such as alumina cement, water glass, and the like are included. These inorganic coating agents can be diluted with an organic solvent to enhance their impregnation. Still more specific examples of the inorganic coating agent include HEATLES GLASS GA series (trade name: Homer Technology Co., Ltd.) which forms a silicon-containing polymer, and Tonen polysilazane, a polysilazane (trade name, manufactured by Tonensha Co., Ltd.). ),
Redproof MR-100 series (trade name: manufactured by Atsushi), which is an inorganic binder, and the like.

【0015】炭素質材料の微細孔に無機コーティング剤
を含浸させる方法としては、炭素質材料に無機コーティ
ング剤を刷毛等により塗布する方法、炭素質材料を無機
コーティング剤中に浸漬する方法、高圧にて炭素質材料
に無機コーティング剤を圧入する方法、高真空にて炭素
質材料に無機コーティング剤を吸入する方法等が挙げら
れる。炭素質材料に含浸された無機コーティング剤は硬
化される。この際、無機コーティング剤の硬化条件は、
用いた無機コーティング剤の種類に応じて適宜設定する
ことができるが、例えば無機コーティング剤がHEAT
LESS GLASSである場合は、一般に約130℃
で60分間加熱するのが適当である。
As a method for impregnating the fine pores of the carbonaceous material with the inorganic coating agent, a method of applying the inorganic coating agent to the carbonaceous material by a brush or the like, a method of dipping the carbonaceous material in the inorganic coating agent, a method of applying high pressure And a method of injecting the inorganic coating agent into the carbonaceous material under a high vacuum. The inorganic coating agent impregnated in the carbonaceous material is cured. At this time, the curing conditions of the inorganic coating agent are as follows:
It can be appropriately set according to the type of the inorganic coating agent used.
In the case of LESS GLASS, generally about 130 ° C.
And heating for 60 minutes.

【0016】また、上記の各炭素質材料に金属を含浸さ
せる場合には、一般に、アルミニウム、銅、或いはこの
両者が好ましく用いられる。炭素質材料の微細孔に金属
を含浸させる方法としては、溶融したアルミニウムや銅
などの金属を高温高圧下にて含浸させる等の方法を用い
ることができる。アルミニウムを含浸させた炭素質材料
としては、CC−MA(商品名:炭素繊維を一次配列さ
せた先端材料社製のC/Cコンポジットベース)やC−
MA(商品名:先端材料社製の等方性高密度炭素材料ベ
ース)等が挙げられ、また、銅を含浸させた炭素質材料
としては、MB−18(商品名:炭素繊維を一次配列さ
せたメビウス・A・T社製のC/Cコンポジットベー
ス)等が挙げられる。
In the case of impregnating each of the above carbonaceous materials with a metal, generally, aluminum, copper or both are preferably used. As a method of impregnating a metal into the fine pores of the carbonaceous material, a method of impregnating a metal such as molten aluminum or copper under high temperature and high pressure can be used. Examples of the carbonaceous material impregnated with aluminum include CC-MA (trade name: C / C composite base manufactured by Advanced Materials Co., Ltd. in which carbon fibers are primarily arranged) and C-MA
MA (trade name: isotropic high-density carbon material base manufactured by Advanced Materials Co., Ltd.) and the like. As the carbonaceous material impregnated with copper, MB-18 (trade name: carbon fibers are primarily arranged) C / C composite base manufactured by Mobius A.T.

【0017】次に、ポリイミド塗膜3は、従来から知ら
れた種々のポリイミド塗料を炭素質基板2へ塗布する等
して形成することができる。なお、ポリイミド塗料は、
ポリイミド酸を溶剤に溶かしたタイプと、ポリイミド樹
脂を溶剤に溶かしたタイプのどちらも適用可能である
が、後者の方が、加熱による脱水イミド化の工程が不要
であり、比較的低温で絶縁性に優れた塗膜が得られるた
め好ましく用いられる。このようなポリイミド塗料の具
体例として、リカコート(商品名:新日本理化社製)、
ユーピレックスS(商品名:宇部興産社製)等が挙げら
れる。また、ポリイミド塗料には、絶縁性や塗膜の安定
性を向上させるために各種添加剤を添加することができ
る。
Next, the polyimide coating film 3 can be formed by applying various conventionally known polyimide coating materials to the carbonaceous substrate 2 or the like. In addition, polyimide paint,
Either a type in which polyimide acid is dissolved in a solvent or a type in which polyimide resin is dissolved in a solvent can be applied, but the latter method does not require a dehydration imidization step by heating and has an insulating property at a relatively low temperature. It is preferably used because a coating film excellent in the quality can be obtained. Specific examples of such a polyimide paint include Rica Coat (trade name: manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.),
Upilex S (trade name: manufactured by Ube Industries) and the like. In addition, various additives can be added to the polyimide paint in order to improve insulation properties and stability of the coating film.

【0018】ポリイミド塗膜3の厚さは、厚すぎると配
線板用基板10の厚さ方向の熱伝導性を阻害する恐れが
あり、逆に薄すぎると金属層4と炭素質基板2との絶縁
性が確保されないので、これらのバランスを考慮して適
宜設定される。一般には、5〜150μm程度とするこ
とが好ましい。
If the thickness of the polyimide coating film 3 is too large, the thermal conductivity in the thickness direction of the wiring board substrate 10 may be impaired. Since the insulating property is not ensured, it is appropriately set in consideration of these balances. Generally, it is preferable that the thickness be about 5 to 150 μm.

【0019】上記ポリイミド塗膜3の好適な一形態とし
て、ポリイミド電着塗膜が挙げられる。ポリイミド電着
塗膜は、従来から知られた樹脂成分がポリイミドであっ
て媒体がカチオン溶液である種々のポリイミド電着塗料
から形成することができる。なお、ポリイミド電着塗料
には、絶縁性や、塗膜の安定性を向上させるために各種
添加剤を添加することができる。そして、ポリイミド電
着塗膜は、上記のポリイミド電着塗料を炭素質基板2へ
電着塗りすることにより得ることができる。電着塗りの
方法は、従来から知られた方法を適宜選択、採用して行
うことができる。
A preferred form of the polyimide coating 3 is a polyimide electrodeposition coating. The polyimide electrodeposition coating film can be formed from various kinds of polyimide electrodeposition coating materials in which a conventionally known resin component is polyimide and a medium is a cation solution. Various additives can be added to the polyimide electrodeposition paint in order to improve the insulating property and the stability of the coating film. And the polyimide electrodeposition coating film can be obtained by electrodepositing the above-mentioned polyimide electrodeposition paint on the carbonaceous substrate 2. The electrodeposition method can be performed by appropriately selecting and employing a conventionally known method.

【0020】続いて、上記ポリイミド塗膜3上に、めっ
きによる金属層4が形成される。めっき方法としては、
ポリイミド等のプラスチックにめっきする方法として従
来知られた種々のめっき方法を適宜採用することができ
る。具体的には、無電解めっき等の湿式法、真空蒸着、
低温スパッタ、イオンプレーティング等の乾式法を挙げ
ることができる。その中でも、無電解めっき、及び真空
蒸着による方法が、効率的に金属層4を形成できる点に
おいて好ましく用いられる。また、めっきによる金属層
4の厚さは、回路として機能させるために、少なくとも
15μm以上形成することが好ましい。
Subsequently, a metal layer 4 is formed on the polyimide coating film 3 by plating. As the plating method,
Various conventionally known plating methods can be appropriately adopted as a method of plating a plastic such as polyimide. Specifically, wet methods such as electroless plating, vacuum deposition,
Dry methods such as low-temperature sputtering and ion plating can be used. Among them, a method using electroless plating and vacuum deposition is preferably used in that the metal layer 4 can be efficiently formed. The thickness of the metal layer 4 formed by plating is preferably at least 15 μm or more in order to function as a circuit.

【0021】無電解めっきにより金属層4を形成する場
合には、金属イオン、還元剤等を含むめっき液に対し
て、炭素質基板2にポリイミド塗膜3を形成した板状物
を浸漬することにより行われる。その際には、ポリイミ
ド塗膜3が強アルカリに弱いので、めっき液のpHは1
2.0〜12.5に調整して行うことが好ましい。ま
た、無電解めっきを行うにあたっては、ポリイミド塗膜
3の表面を粗化するとともに塗膜表面に親水性を付与す
るため予め化学エッチング処理を施すことができる。ま
た、無電解めっきによる初期の金属析出を効率的に行う
ため、ポリイミド塗膜3の表面には予め、パラジウム、
銀、金、白金等の触媒層を形成させておいても良い。さ
らに、金属層4をより厚く形成させるとともに金属層4
の機械的強度を増すことを目的として、無電解めっきに
より形成した金属層の上にさらに電解めっきを施すこと
ができる。
When the metal layer 4 is formed by electroless plating, the plate-like material having the polyimide coating film 3 formed on the carbonaceous substrate 2 is immersed in a plating solution containing metal ions, a reducing agent and the like. It is performed by At this time, since the polyimide coating film 3 is weak to strong alkali, the pH of the plating solution is 1
It is preferable to adjust to 2.0 to 12.5. In performing the electroless plating, a chemical etching process can be performed in advance to roughen the surface of the polyimide coating film 3 and to impart hydrophilicity to the coating film surface. In addition, in order to efficiently perform initial metal deposition by electroless plating, palladium,
A catalyst layer of silver, gold, platinum or the like may be formed. Further, the metal layer 4 is formed thicker and the metal layer 4 is formed.
For the purpose of increasing the mechanical strength of the metal layer, electrolytic plating can be further performed on the metal layer formed by electroless plating.

【0022】金属層4を、真空蒸着により形成する場合
には、炭素質基板2にポリイミド塗膜3を形成した板状
物に対して、従来知られた真空蒸着の手法により、銅、
ニッケル等の金属を均一に蒸着して行う。
In the case where the metal layer 4 is formed by vacuum deposition, a plate-like material having the polyimide coating 3 formed on the carbonaceous substrate 2 is coated with copper, by a conventionally known vacuum deposition method.
This is performed by uniformly depositing a metal such as nickel.

【0023】次に、本発明の実施の形態(2)を図2に
示す。図2の配線板用基板1は、上記実施の形態(1)
におけるポリイミド塗膜3に替わり、ポリイミドフィル
ム5を用いた例である。すなわち、炭素質基板2にポリ
イミドフィルム5が積層され、さらにそのポリイミドフ
ィルム5上にめっきによる金属層4が形成されている。
このようなポリイミドフィルム5の具体例としては、ユ
ピタイト(商品名:宇部興産社製)等の、フィルム型の
ポリイミド系接着剤が挙げられる。そして、上記ポリイ
ミドフィルム5を用いて配線板用基板11を作製するに
際しては、炭素質基板2にポリイミドフィルム5を積層
させ、加熱プレスして両者を接着させた後、めっきによ
る金属層4を形成して作製することができる。
Next, an embodiment (2) of the present invention is shown in FIG. The wiring board substrate 1 shown in FIG.
This is an example in which a polyimide film 5 is used instead of the polyimide coating film 3 in FIG. That is, the polyimide film 5 is laminated on the carbonaceous substrate 2, and the metal layer 4 is formed on the polyimide film 5 by plating.
A specific example of such a polyimide film 5 is a film-type polyimide adhesive such as Iupitite (trade name, manufactured by Ube Industries, Ltd.). Then, when manufacturing the wiring board substrate 11 using the polyimide film 5, the polyimide film 5 is laminated on the carbonaceous substrate 2, and the two are bonded by hot pressing, and then the metal layer 4 is formed by plating. Can be manufactured.

【0024】さらに、本発明の実施の形態(3)を図3
に示す。図3の配線板用基板1は、炭素質基板2に、上
記実施の形態(1)と同様のポリイミド塗膜3を設け、
そのポリイミド塗膜3上に、上記実施の形態(2)と同
様のポリイミドフィルム5を積層させ加熱プレスして接
着させた後、そのポリイミドフィルム5上にめっきによ
る金属層4を形成して作製される。図3の例では、ポリ
イミドフィルム5を積層させて加熱プレスする際に、ポ
リイミド塗膜3を形成する塗料が炭素質基板2表面の孔
の空隙を埋めるように流れ込んで密着し炭素質基板2の
熱伝導性を高めるともに、ポリイミドフィルム5を介す
ることによって炭素質基板2とめっきによる金属層4と
が確実に分離されて絶縁性が確保される。
Further, Embodiment (3) of the present invention is shown in FIG.
Shown in In the wiring board substrate 1 of FIG. 3, a polyimide coating film 3 similar to that of the above embodiment (1) is provided on a carbonaceous substrate 2,
After the same polyimide film 5 as in the above embodiment (2) is laminated on the polyimide coating film 3 and bonded by heating and pressing, a metal layer 4 is formed on the polyimide film 5 by plating. You. In the example of FIG. 3, when the polyimide film 5 is laminated and heated and pressed, the coating material for forming the polyimide coating film 3 flows so as to fill the pores of the holes on the surface of the carbonaceous substrate 2, and adheres tightly to the carbonaceous substrate 2. The thermal conductivity is increased, and the carbonaceous substrate 2 and the metal layer 4 formed by plating are reliably separated by the polyimide film 5, so that the insulating property is ensured.

【0025】上記実施の形態(1)〜(3)におけるポ
リイミド塗膜3、及びポリイミドフィルム5には、微細
粒子状のスペーサー機能を有するフィラーを適量添加す
ることができる。このスペーサー機能を有するフィラー
の例として、シリカ、球状アルミナ、中空バルーン等が
挙げられる。
The polyimide coating film 3 and the polyimide film 5 in the above embodiments (1) to (3) can be added with an appropriate amount of a fine particle filler having a spacer function. Examples of the filler having the spacer function include silica, spherical alumina, and hollow balloon.

【0026】また、上記実施の形態(1)〜(3)にお
けるポリイミド塗膜3、及びポリイミドフィルム5に
は、絶縁性の織布又は不織布を埋設することができる。
ここで「埋設」とは、織布・不織布がポリイミド塗膜3
もしくはポリイミドフィルム5の中に包まれるように内
在する状態、及び織布・不織布がポリイミド塗膜3もし
くはポリイミドフィルム5に対して一部めり込みつつ層
界面に位置する状態のいずれも意味するものである。こ
のような例を図4、図5に示す。図4の実施の形態
(4)に係る配線板用基板1は、不織布6がポリイミド
塗膜3の中に包まれるように内在しており、一方、図5
の実施の形態(5)に係る配線板用基板1は、不織布6
は、ポリイミド塗膜3と炭素質基板2の間の界面に位置
し、ポリイミド塗膜3に一部めり込んでいる。このよう
に、織布又は不織布を埋設することにより、織布又は不
織布をスペーサーとして機能させ、炭素質基板と、めっ
きによる金属層との間を少なくとも織布又は不織布の厚
さ分だけ確実に分離して配線板用基板の絶縁破壊強度を
向上させることができる。
The polyimide coating film 3 and the polyimide film 5 in the above embodiments (1) to (3) can be embedded with an insulating woven or nonwoven fabric.
Here, "embed" means that the woven or nonwoven fabric is a polyimide coating 3
Alternatively, it means both a state in which it is wrapped in the polyimide film 5 and a state in which the woven or nonwoven fabric is partially located in the polyimide coating film 3 or the polyimide film 5 and located at the layer interface. . Such an example is shown in FIGS. The wiring board substrate 1 according to the embodiment (4) in FIG. 4 has the nonwoven fabric 6 embedded therein so as to be wrapped in the polyimide coating film 3, while FIG.
The wiring board substrate 1 according to the fifth embodiment (5)
Is located at the interface between the polyimide coating film 3 and the carbonaceous substrate 2 and partially penetrated into the polyimide coating film 3. By embedding the woven or nonwoven fabric in this way, the woven or nonwoven fabric functions as a spacer, and the carbonaceous substrate and the metal layer formed by plating are surely separated by at least the thickness of the woven or nonwoven fabric. Thus, the dielectric breakdown strength of the wiring board substrate can be improved.

【0027】上記の織布又は不織布としては、絶縁性・
耐熱性を有することを条件として、種々の合成繊維、天
然繊維、ガラス繊維等の織布、不織布の中から適宜選択
し用いることができる。具体的には、メタ・アラミドペ
ーパー(商品名:デュポン帝人アドバンスドペーパー社
製)等のアラミド系繊維からなる不織布を好適な例とし
て挙げることができる。また、織布又は不織布の厚さ
は、厚過ぎると配線板用基板全体の熱伝導率が低下し、
逆に薄過ぎると絶縁破壊強度を向上させる効果が得られ
ないので、これらを考慮して適宜設定される。具体的に
は30〜150μm程度が適当であるがこれに限定され
るものではない。
The above-mentioned woven or non-woven fabric has an insulating property.
As long as it has heat resistance, it can be appropriately selected and used from various synthetic fibers, natural fibers, woven fabrics such as glass fibers, and nonwoven fabrics. Specifically, a nonwoven fabric made of aramid fiber such as meta-aramid paper (trade name: manufactured by DuPont Teijin Advanced Paper Co., Ltd.) can be mentioned as a suitable example. Also, if the thickness of the woven or non-woven fabric is too thick, the thermal conductivity of the entire wiring board substrate decreases,
On the other hand, if the thickness is too small, the effect of improving the dielectric breakdown strength cannot be obtained, so that it is appropriately set in consideration of these. Specifically, about 30 to 150 μm is appropriate, but the present invention is not limited to this.

【0028】上記織布又は不織布を用いて配線板用基板
を作製するに際しては、例えば、炭素質基板上にポリイ
ミド塗膜を形成し、そのポリイミド塗膜上に織布・不織
布を積層させ、さらにその上にポリイミド塗料を塗布し
て硬化させ、最後にめっきによる金属層を形成して作製
することができる。あるいは、炭素質基板上に、塗布・
浸漬等によりポリイミド塗料を含浸させた織布・不織布
を積層させ、それを硬化させて織布・不織布が埋設され
たポリイミド塗膜を形成した後、めっきによる金属層を
形成することにより作製しても良い。また、織布・不織
布をポリイミドフィルムに埋設する場合は、例えば、炭
素質基板に、織布・不織布を2枚のフィルム型ポリイミ
ド接着剤で挟み込んだものを積層させ、加熱プレス等の
手段によりポリイミド接着剤を溶融・硬化させた後、め
っきによる金属層を形成して目的の配線板用基板を作製
することができる。このとき織布又は不織布は、フィル
ム型のポリイミド接着剤の溶融温度よりも高い耐熱性を
必要とすることは無論である。なお、上記の各方法によ
り作製した場合、織布・不織布は、ポリイミド塗膜もし
くはポリイミドフィルム中に包まれるように内在した状
態となる。一方、織布・不織布を、ポリイミド塗膜もし
くはポリイミドフィルムに対して一部めり込ませつつ層
界面に位置させる場合には、例えば、炭素質基板に接着
剤を薄く塗布してから織布・不織布を積層させ、その上
にポリイミド塗料を塗布・硬化させてポリイミド塗膜を
形成するかもしくはポリイミドフィルムを積層させた
後、その上にめっきによる金属層を形成して作製するこ
とができる。なお、炭素質基板に塗布する接着剤として
は、織布・不織布と炭素質基板とを十分に接着できるも
のであれば特に成分を問わずに用いることができる。ま
た、別の例としては、織布・不織布と炭素質基板とを積
層させる際に上記接着剤を用いず、織布・不織布を溶着
により積層させることもできる。
In preparing a wiring board substrate using the woven or nonwoven fabric, for example, a polyimide coating film is formed on a carbonaceous substrate, and a woven or nonwoven fabric is laminated on the polyimide coating film. It can be manufactured by applying and curing a polyimide coating material thereon, and finally forming a metal layer by plating. Alternatively, apply and coat on a carbonaceous substrate.
After laminating a woven fabric or nonwoven fabric impregnated with polyimide paint by immersion etc., curing it and forming a polyimide coating film embedded with woven fabric / nonwoven fabric, it is made by forming a metal layer by plating Is also good. In the case of embedding a woven or nonwoven fabric in a polyimide film, for example, a woven fabric or a nonwoven fabric sandwiched between two film-type polyimide adhesives is laminated on a carbonaceous substrate, and the polyimide is heated by a press or the like. After melting and curing the adhesive, a metal layer is formed by plating, so that a target wiring board substrate can be manufactured. At this time, it is a matter of course that the woven or non-woven fabric requires heat resistance higher than the melting temperature of the film-type polyimide adhesive. In addition, when produced by each of the above methods, the woven fabric / nonwoven fabric is in a state of being inherently wrapped in a polyimide coating film or polyimide film. On the other hand, when the woven fabric / nonwoven fabric is positioned at the layer interface while being partially immersed in the polyimide coating film or the polyimide film, for example, a thin adhesive is applied to the carbonaceous substrate and then the woven fabric / nonwoven fabric is applied. A nonwoven fabric may be laminated, and a polyimide coating may be applied and cured to form a polyimide coating film, or a polyimide film may be laminated, and then a metal layer formed by plating on the nonwoven fabric. As the adhesive applied to the carbonaceous substrate, any material can be used as long as it can sufficiently bond the woven or nonwoven fabric to the carbonaceous substrate. As another example, when laminating a woven or nonwoven fabric with a carbonaceous substrate, the woven or nonwoven fabric can be laminated by welding without using the above adhesive.

【0029】次に、本発明の実施の形態(6)を図6に
示す。図6の配線板用基板1は、上記実施の形態(1)
におけるポリイミド塗膜3に替わり、ポリイミド蒸着重
合層7を用いた例である。すなわち、炭素質基板2上
に、蒸着重合によりポリイミド層が形成され、さらにそ
のポリイミド蒸着重合層7上にめっきによる金属層4が
形成される。ここでポリイミド蒸着重合層は、種々の蒸
着重合法を適宜選択、採用して形成することができる。
すなわち、ピロメリット酸二無水物、ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物等の酸無水物と、オキシジアニリン、パラフェ
ニレンジアミン、ベンゾフェノンジアミン等の芳香族ジ
アミンとを、炭素質基板上に共蒸着し、加熱等によりイ
ミド化して形成することができる。ポリイミド蒸着重合
層は、膜厚の制御が容易でありまた膜の均一性にも優れ
るので、炭素質基板と、めっきによる金属層4とを確実
に絶縁しつつ十分強固に密着させることができる。
Next, an embodiment (6) of the present invention is shown in FIG. The wiring board substrate 1 shown in FIG.
In this example, a polyimide vapor-deposited polymer layer 7 is used in place of the polyimide coating film 3 in FIG. That is, a polyimide layer is formed on the carbonaceous substrate 2 by vapor deposition polymerization, and the metal layer 4 is formed on the polyimide vapor deposition polymerization layer 7 by plating. Here, the polyimide vapor deposition polymerization layer can be formed by appropriately selecting and employing various vapor deposition polymerization methods.
That is, acid anhydrides such as pyromellitic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and aromatic diamines such as oxydianiline, paraphenylenediamine, and benzophenone diamine are converted into carbon. Can be formed by co-evaporation on a quality substrate and imidization by heating or the like. The polyimide vapor-deposited polymer layer is easily controllable in film thickness and excellent in uniformity of the film, so that the carbonaceous substrate and the metal layer 4 formed by plating can be sufficiently firmly adhered to each other while being reliably insulated.

【0030】上記実施の形態(1)〜(6)により作製
された配線板用基板は、従来から知られたフォトリソグ
ラフィー技術の常法に従って好適にプリント配線の形成
されたプリント配線基板とすることができ、得られたプ
リント配線基板は種々の電気、電子機器等の配線基板と
して好適に用いることができる。また、上記実施の形態
において、ポリイミド塗膜3、ポリイミドフィルム5、
あるいはポリイミド蒸着重合層7上に、マスクを介して
めっきによる金属層4を回路パターン状に形成すること
によりプリント配線板を直接得ることもできる。
The wiring board substrate manufactured according to the above-described embodiments (1) to (6) is a printed wiring board on which printed wiring is suitably formed in accordance with a conventionally known photolithography technique. The obtained printed wiring board can be suitably used as a wiring board for various electric and electronic devices. In the above embodiment, the polyimide coating film 3, the polyimide film 5,
Alternatively, a printed wiring board can be obtained directly by forming the metal layer 4 by plating on the polyimide vapor-deposited polymerized layer 7 through a mask in a circuit pattern.

【0031】[0031]

【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明をさら
に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって
限定されるものではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【0032】(実施例1)炭素マトリックス中において
厚さ方向に炭素繊維が配列してなる、厚さ3mmの板状
の炭素繊維強化炭素複合材料(以下「C/Cコンポジッ
ト」という)であるCC(商品名:先端材料社製)を炭
素質基板として用いた。この炭素質基板の片面に、ユー
ピレックスS(ポリイミドワニス、商品名:宇部興産社
製)を刷毛塗りし、続いてフィルム型のポリイミド接着
剤として厚さ20μmのユピタイト(型番UPA−N1
11、商品名:宇部興産社製)を積層させ、170℃で
30分、2.94MPaの圧力で加圧した。次に、無電
解めっきにより銅をめっきして目的の配線板用基板を得
た。得られた配線板用基板におけるポリイミド層の厚さ
は合計で50μmであり、銅めっきの厚さは40μmで
あった。次に、得られた配線板用基板からエッチングに
より表面の銅めっきを取り除いたものをアルミ板(厚さ
25mm)上に置き、熱伝導率計QTM−500(京都
電子社製)を使用して熱伝導率を測定した。ここでアル
ミ板を用いるのは、熱伝導率を測定するに当たってある
程度の厚みが必要とされるためである。そして、測定の
結果、19.03(W/m・K)という高い値を得た。
(Example 1) A 3 mm-thick plate-like carbon fiber reinforced carbon composite material (hereinafter referred to as "C / C composite") having carbon fibers arranged in a carbon matrix in the thickness direction. (Trade name: manufactured by Advanced Materials Co., Ltd.) was used as the carbonaceous substrate. One side of this carbonaceous substrate is brush-coated with Iupirex S (polyimide varnish, trade name: manufactured by Ube Industries, Ltd.), followed by a 20 μm-thick Iupitite (model number UPA-N1) as a film-type polyimide adhesive.
11, trade name: Ube Industries, Ltd.) and pressurized at 170 ° C. for 30 minutes at a pressure of 2.94 MPa. Next, copper was plated by electroless plating to obtain a target wiring board substrate. The total thickness of the polyimide layer in the obtained wiring board substrate was 50 μm, and the thickness of the copper plating was 40 μm. Next, the obtained substrate for a wiring board from which the copper plating on the surface was removed by etching was placed on an aluminum plate (thickness: 25 mm), and a thermal conductivity meter QTM-500 (manufactured by Kyoto Electronics Co., Ltd.) was used. The thermal conductivity was measured. The reason why the aluminum plate is used here is that a certain thickness is required for measuring the thermal conductivity. As a result of the measurement, a high value of 19.03 (W / m · K) was obtained.

【0033】(実施例2)実施例1におけるポリイミド
ワニスの塗布、及びフィルム型ポリイミド接着剤の加圧
積層に代えて、ポリイミド電着塗料を、30Vで2.5
分、常温にて電着塗りし、80℃で10分乾燥させ、さ
らに250℃で30分焼付することにより厚さ20μm
のポリイミド電着塗膜を形成した他は、実施例1と同様
にして目的の配線板用基板を得た。得られた配線板用基
板について、実施例1と同様の方法にて熱伝導率を測定
した結果、20.18(W/m・K)という高い値を得
た。
Example 2 Instead of applying the polyimide varnish in Example 1 and laminating the film-type polyimide adhesive under pressure, a polyimide electrodeposition paint was applied at 30 V for 2.5 hours.
Minutes, electrodeposited at room temperature, dried at 80 ° C. for 10 minutes, and baked at 250 ° C. for 30 minutes to obtain a thickness of 20 μm.
A substrate for a wiring board was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide electrodeposition coating film was formed. As a result of measuring the thermal conductivity of the obtained wiring board substrate in the same manner as in Example 1, a high value of 20.18 (W / m · K) was obtained.

【0034】(実施例3)実施例1で用いたと同様の厚
さ3mmの板状C/Cコンポジットを、ヒートレスガラ
スGA−4(N)(商品名:ホーマーテクノロジー社製
の常温硬化型シリカ溶液)中に9.31kPa減圧下に
てディッピングし、板状C/Cコンポジットの微細孔に
ヒートレスガラスを含浸させ、その後常温で50分放置
し、続いて120℃で60分加熱することによりヒート
レスガラスを硬化させ、ヒートレスガラスの含浸された
板状C/Cコンポジットを得た。このヒートレスガラス
の含浸された板状C/Cコンポジットを炭素質基板とし
て用いたこと以外は、実施例1と同様にして、配線板用
基板を作製した。得られた配線板用基板について、実施
例1と同様の方法にて熱伝導率を測定した結果、22.
48(W/m・K)という高い値を得た。
Example 3 A plate-like C / C composite having a thickness of 3 mm similar to that used in Example 1 was prepared by heatless glass GA-4 (N) (trade name: Room temperature curable silica manufactured by Homer Technology Co., Ltd.). Solution) under a reduced pressure of 9.31 kPa, impregnating the micropores of the plate-shaped C / C composite with heatless glass, and then leaving it to stand at room temperature for 50 minutes, and then heating it to 120 ° C. for 60 minutes. The heatless glass was cured to obtain a plate-like C / C composite impregnated with the heatless glass. A wiring board substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that the plate-like C / C composite impregnated with the heatless glass was used as a carbonaceous substrate. The thermal conductivity of the obtained wiring board substrate was measured in the same manner as in Example 1, and as a result, 22.
A high value of 48 (W / m · K) was obtained.

【0035】(実施例4)銅を高温高圧下で含浸させた
厚さ3mmのMB−18(商品名:炭素繊維を一次配列
させたメビウス・A・T社製のC/Cコンポジットベー
ス)を炭素質基板として用いた。この炭素質基板の片面
に、ユーピレックスS(ポリイミドワニス、商品名:宇
部興産社製)を刷毛塗りし、続いてフィルム型のポリイ
ミド接着剤として厚さ20μmのユピタイト(型番UP
A−N111、商品名:宇部興産社製)を積層させ、1
70℃で30分、2.94MPaの圧力で加圧した。次
に、真空蒸着により銅をめっきして目的の配線板用基板
を作製した。作製した配線板用基板における銅めっきの
厚さは20μmであった。また、得られた配線板用基板
について、実施例1と同様の方法にて熱伝導率を測定し
た結果、25.27(W/m・K)という高い値を得
た。
(Example 4) MB-18 having a thickness of 3 mm (trade name: C / C composite base manufactured by Mobius A.T with primary arrangement of carbon fibers) impregnated with copper under high temperature and high pressure was used. Used as a carbonaceous substrate. On one side of this carbonaceous substrate, Iupirex S (polyimide varnish, trade name: manufactured by Ube Industries, Ltd.) is brush-applied, and then a 20 μm-thick Iupitite (model number UP) is used as a film-type polyimide adhesive.
A-N111, trade name: Ube Industries, Ltd.)
Pressure was applied at 70 ° C. for 30 minutes at a pressure of 2.94 MPa. Next, copper was plated by vacuum evaporation to produce a target wiring board substrate. The thickness of the copper plating on the produced wiring board substrate was 20 μm. Further, as a result of measuring the thermal conductivity of the obtained wiring board substrate in the same manner as in Example 1, a high value of 25.27 (W / m · K) was obtained.

【0036】(実施例5)実施例1で用いたと同様の厚
さ3mmの板状C/Cコンポジットの片面にユーピレッ
クスS(ポリイミドワニス、商品名:宇部興産社製)を
刷毛塗りし、200℃で30分焼付してポリイミド塗膜
を形成した。続いて、真空蒸着により銅をめっきして配
線板用基板を作製した。得られた配線板用基板における
ポリイミド塗膜の厚さは30μmであり、銅めっきの厚
さは20μmであった。また、得られた配線板用基板に
ついて、実施例1と同様の方法にて熱伝導率を測定した
結果、20.56(W/m・K)という高い値を得た。
(Example 5) The same 3 mm thick plate-like C / C composite as used in Example 1 was brush-coated on one side with Iupirex S (polyimide varnish, trade name: Ube Industries, Ltd.). For 30 minutes to form a polyimide coating film. Subsequently, copper was plated by vacuum evaporation to produce a wiring board substrate. The thickness of the polyimide coating film on the obtained wiring board was 30 μm, and the thickness of the copper plating was 20 μm. The thermal conductivity of the obtained wiring board substrate was measured in the same manner as in Example 1, and as a result, a high value of 20.56 (W / m · K) was obtained.

【0037】(実施例6)実施例1で用いたと同様の厚
さ3mmの板状C/Cコンポジットの片面に、フィルム
型のポリイミド接着剤として厚さ20μmのユピタイト
(型番UPA−N111、商品名:宇部興産社製)を2
50℃で3分、50N/cm2の圧力で加圧し、続い
て、真空蒸着により銅をめっきして配線板用基板を作製
した。得られた配線板用基板における銅めっきの厚さは
20μmであった。また、得られた配線板用基板につい
て、実施例1と同様の方法にて熱伝導率を測定した結
果、20.33(W/m・K)という高い値を得た。
Example 6 A 20-μm thick Iupitite (model number UPA-N111, trade name) was used as a film-type polyimide adhesive on one side of a plate-like C / C composite having a thickness of 3 mm similar to that used in Example 1. : Ube Industries) 2
Pressing was performed at 50 ° C. for 3 minutes at a pressure of 50 N / cm 2 , and subsequently, copper was plated by vacuum evaporation to produce a wiring board substrate. The thickness of the copper plating on the obtained wiring board substrate was 20 μm. The thermal conductivity of the obtained wiring board substrate was measured in the same manner as in Example 1, and as a result, a high value of 20.33 (W / m · K) was obtained.

【0038】(実施例7)実施例2において、ポリイミ
ド電着塗膜に代えて、真空中にてポリイミド蒸着重合層
を形成した以外は、実施例2と同様に操作して目的の配
線板用基板を作製した。この配線板用基板におけるポリ
イミド蒸着重合層の厚みは20μmであった。また、得
られた配線板用基板について、実施例1と同様の方法に
て熱伝導率を測定した結果、20.10(W/m・K)
という高い値を得た。
Example 7 The procedure of Example 2 was repeated, except that a polyimide vapor-deposited polymer layer was formed in a vacuum in place of the polyimide electrodeposition coating film. A substrate was prepared. The thickness of the polyimide vapor-deposited polymer layer in this wiring board substrate was 20 μm. Further, the thermal conductivity of the obtained wiring board substrate was measured in the same manner as in Example 1, and as a result, 20.10 (W / m · K)
I got a high value.

【0039】(実施例8)アラミド不織布である厚さ1
20μmのメタ・アラミドペーパー(商品名:デュポン
帝人アドバンスドペーパー社製)に、ユーピレックスS
(ポリイミドワニス、商品名:宇部興産社製)を含浸さ
せた。続いて、このポリイミドワニスを含浸させた不織
布を、実施例1で用いたと同様の厚さ3mmの板状C/
Cコンポジットの片面に積層させ、200℃で30分焼
付し、不織布が埋設されたポリイミド塗膜を形成した。
次に、その不織布が埋設されたポリイミド塗膜上に真空
蒸着により銅をめっきして配線板用基板を作製した。得
られた配線板用基板における銅めっきの厚さは20μm
であった。また、得られた配線板用基板について、実施
例1と同様の方法にて熱伝導率を測定した結果、16.
53(W/m・K)という高い値を得た。
Example 8 Aramid nonwoven fabric having a thickness of 1
20 μm meta-aramid paper (trade name: manufactured by DuPont Teijin Advanced Paper Co., Ltd.)
(Polyimide varnish, trade name: Ube Industries, Ltd.). Subsequently, the nonwoven fabric impregnated with the polyimide varnish was treated in the same manner as in Example 1 with a 3 mm thick plate C /
The laminate was laminated on one side of the C composite and baked at 200 ° C. for 30 minutes to form a polyimide coating film in which the nonwoven fabric was embedded.
Next, copper was plated by vacuum vapor deposition on the polyimide coating film in which the nonwoven fabric was embedded to prepare a wiring board substrate. The thickness of the copper plating on the obtained wiring board substrate is 20 μm.
Met. In addition, as a result of measuring the thermal conductivity of the obtained wiring board substrate in the same manner as in Example 1, 16.
A high value of 53 (W / m · K) was obtained.

【0040】さらに、上記各実施例の配線板用基板にお
ける、金属層である銅めっきとポリイミド塗膜等との密
着性、及びポリイミド塗膜等と炭素質基板との密着性に
ついて、簡易かつ便宜的に、JIS−K−5400
「8.5.2碁盤目テープ法」に準じて試験を行った。
すなわち、各実施例の配線板用基板における銅めっき表
面に、銅めっき及びその下層のポリイミド塗膜等を貫通
して炭素質基板に達する切り傷を1mm間隔で22本の
碁盤目状に切り付け、その碁盤目上に粘着テープを消し
ゴムで擦り付けて密着させた後、その粘着テープを基板
面と直交する上方へ一気に剥がして、銅めっきの剥がれ
具合を目視で観察した。その結果、いずれの実施例でも
剥がれは全く見られず高い密着性を示した。また、配線
板用基板のハンダ耐熱性を簡易に確認するため、30W
のハンダゴテを銅めっき表面に軽く押しあてるととも
に、ハンダゴテに線径0.8mmのヤニ入りハンダを、
溶融したハンダが銅めっき上に流れ出るまま1分間供給
し続けたところ、いずれの実施例においても、ハンダが
流れた部分及びその周辺部の銅めっきには、剥がれ、膨
れ等の問題は一切見られなかった。
Further, in the wiring board substrate of each of the above embodiments, the adhesion between the copper plating as the metal layer and the polyimide coating film and the adhesion between the polyimide coating film and the like and the carbonaceous substrate are simple and convenient. JIS-K-5400
The test was performed according to “8.5.2 Crosscut tape method”.
That is, on the copper plating surface of the wiring board substrate of each example, cuts reaching the carbonaceous substrate through the copper plating and the polyimide coating film thereunder were cut into 22 grids at 1 mm intervals. After the adhesive tape was rubbed with an eraser and adhered to the grid, the adhesive tape was peeled off at once at a right angle to the substrate surface, and the peeling state of the copper plating was visually observed. As a result, no peeling was observed in any of the examples, and high adhesion was exhibited. Further, in order to easily confirm the solder heat resistance of the wiring board substrate, 30 W
Lightly press the soldering iron on the copper plating surface, and apply a solder with 0.8 mm wire diameter to the soldering iron,
When the molten solder was supplied for one minute while flowing onto the copper plating, in any of the examples, the copper plating in the portion where the solder flowed and the peripheral portion thereof showed no problems such as peeling and swelling. Did not.

【0041】(比較例)比較例として、サンハヤト社製
プリント基板No.31(厚さ1.6mm)を用いた。
このプリント基板は、ガラス−エポキシ基板の両面に銅
箔を貼着したものである。このプリント基板からエッチ
ングにより表面の銅箔を取り除きガラス−エポキシ基板
を得た。次に、得られたガラス−エポキシ基板をアルミ
板(厚さ25mm)上に置き、熱伝導率計QTM−50
0(京都電子社製)により熱伝導率を測定した。ここで
アルミ板を用いる理由は、上記各実施例と同様であり、
熱伝導率を測定するに当たってある程度の厚みが必要な
ためである。そして、測定の結果、熱伝導率の値は0.
552(W/m・K)にとどまり、本発明に係る配線板
用基板の優位性が確認された。
(Comparative Example) As a comparative example, a printed circuit board No. 31 (thickness: 1.6 mm) was used.
This printed circuit board is obtained by attaching copper foil to both surfaces of a glass-epoxy board. The copper foil on the surface was removed from this printed board by etching to obtain a glass-epoxy board. Next, the obtained glass-epoxy substrate was placed on an aluminum plate (25 mm in thickness), and a thermal conductivity meter QTM-50 was used.
0 (manufactured by Kyoto Electronics Co., Ltd.) to measure the thermal conductivity. The reason for using an aluminum plate here is the same as in each of the above embodiments,
This is because a certain thickness is required for measuring the thermal conductivity. Then, as a result of the measurement, the value of the thermal conductivity was 0.1.
It was only 552 (W / m · K), and the superiority of the wiring board substrate according to the present invention was confirmed.

【0042】なお、熱伝導率を測定するに当たっては、
上記各実施例と比較例1でほぼ同じ厚みにするために、
比較例では基板を2枚重ねて測定した。また、測定物の
表面を絶縁にする必要があるため、上記各実施例におい
ては銅箔を取り除いた積層板の表面をラップフィルム
(厚さ10μm)で覆って測定を行った。また、比較例
のガラス−エポキシ基板は絶縁性であるため、熱伝導率
測定においてラップフィルムで覆う必要はないものの、
上記各実施例と同じ条件にするためにあえてラップフィ
ルムで覆って測定を行った。
In measuring the thermal conductivity,
In order to make the thickness approximately the same in each of the above Examples and Comparative Example 1,
In the comparative example, measurement was performed with two substrates stacked. In addition, since the surface of the measurement object needs to be insulated, in each of the above examples, the measurement was performed by covering the surface of the laminate from which the copper foil had been removed with a wrap film (thickness: 10 μm). Also, since the glass-epoxy substrate of the comparative example is insulative, it is not necessary to cover it with a wrap film in the measurement of thermal conductivity,
In order to obtain the same conditions as in the above examples, the measurement was performed by covering with a wrap film.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、基板自体の熱伝導性、
及び金属と基板との密着性に優れ、全体として発熱され
た熱を速やかに放散させ得る配線板用基板が提供され
る。
According to the present invention, the thermal conductivity of the substrate itself,
Further, there is provided a wiring board substrate having excellent adhesion between a metal and a substrate and capable of quickly dissipating heat generated as a whole.

【0044】本発明の配線板用基板は、基板とする炭素
質材料が安価に得られるので、低コストで製造すること
ができる。また、本発明の配線板用基板は、基板とする
炭素質材料が軽量であるので、その軽量な配線板用基板
を用いた電気、電子機器は重量が低減される。
The substrate for a wiring board of the present invention can be manufactured at low cost because the carbonaceous material used as the substrate can be obtained at low cost. In addition, since the wiring board substrate of the present invention is made of a lightweight carbonaceous material, electric and electronic devices using the lightweight wiring board substrate can be reduced in weight.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施の形態(1)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a cross section of a wiring board substrate according to an embodiment (1).

【図2】 実施の形態(2)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a cross section of a wiring board substrate according to Embodiment (2).

【図3】 実施の形態(3)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 3 is a view showing a cross section of a wiring board substrate according to Embodiment (3).

【図4】 実施の形態(4)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a cross section of a wiring board substrate according to Embodiment (4).

【図5】 実施の形態(5)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a cross section of a wiring board substrate according to an embodiment (5).

【図6】 実施の形態(6)に係る配線板用基板の断面
を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a cross section of a wiring board substrate according to an embodiment (6).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 線板用基板 2 炭素質基板 21 炭素マトリックス 22 炭素繊維 3 ポリイミド塗膜 4 めっきによる金属層 5 ポリイミドフィルム 6 不織布 7 ポリイミド蒸着重合層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wire board 2 Carbonaceous substrate 21 Carbon matrix 22 Carbon fiber 3 Polyimide coating 4 Metal layer by plating 5 Polyimide film 6 Nonwoven fabric 7 Polyimide vapor deposition polymerization layer

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 炭素質基板と、前記炭素質基板に設けら
れたポリイミド塗膜と、前記ポリイミド塗膜に設けられ
ためっきによる金属層とから構成されてなる配線板用基
板。
1. A wiring board substrate comprising a carbonaceous substrate, a polyimide coating provided on the carbonaceous substrate, and a metal layer formed by plating provided on the polyimide coating.
【請求項2】 炭素質基板と、前記炭素質基板に設けら
れたポリイミド塗膜と、前記ポリイミド塗膜に設けられ
たポリイミドフィルムと、前記ポリイミドフィルムに設
けられためっきによる金属層とから構成されてなる配線
板用基板。
2. A carbonaceous substrate, comprising: a polyimide coating provided on the carbonaceous substrate; a polyimide film provided on the polyimide coating; and a metal layer formed by plating provided on the polyimide film. Wiring board.
【請求項3】 請求項1又は2記載の配線板用基板にお
いて、ポリイミド塗膜が、ポリイミド電着塗膜であるこ
とを特徴とする配線板用基板。
3. The wiring board substrate according to claim 1, wherein the polyimide coating film is a polyimide electrodeposition coating film.
【請求項4】 炭素質基板と、前記炭素質基板に設けら
れたポリイミドフィルムと、前記ポリイミドフィルムに
設けられためっきによる金属層とから構成されてなる配
線板用基板。
4. A wiring board substrate, comprising: a carbonaceous substrate; a polyimide film provided on the carbonaceous substrate; and a metal layer formed by plating provided on the polyimide film.
【請求項5】 請求項1〜3のいずれか記載の配線板用
基板において、ポリイミド塗膜に、絶縁性の織布又は不
織布が埋設されたことを特徴とする配線板用基板。
5. The wiring board substrate according to claim 1, wherein an insulating woven or nonwoven fabric is embedded in the polyimide coating.
【請求項6】 請求項2又は4記載の配線板用基板にお
いて、ポリイミドフィルムに、絶縁性の織布又は不織布
が埋設されたことを特徴とする配線板用基板。
6. The wiring board substrate according to claim 2, wherein an insulating woven or nonwoven fabric is buried in the polyimide film.
【請求項7】 炭素質基板と、前記炭素質基板に設けら
れたポリイミド蒸着重合層と、前記ポリイミド蒸着重合
層に設けられためっきによる金属層とから構成されてな
る配線板用基板。
7. A wiring board substrate comprising a carbonaceous substrate, a polyimide vapor-deposited polymer layer provided on the carbonaceous substrate, and a metal layer formed by plating provided on the polyimide vapor-deposited polymer layer.
【請求項8】 請求項1〜7のいずれか記載の配線板用
基板において、めっきが、真空蒸着によるめっきである
ことを特徴とする配線板用基板。
8. The wiring board substrate according to claim 1, wherein the plating is plating by vacuum evaporation.
【請求項9】 請求項1〜7のいずれか記載の配線板用
基板において、めっきが、無電解めっきであることを特
徴とする配線板用基板。
9. The wiring board substrate according to claim 1, wherein the plating is electroless plating.
【請求項10】 請求項1〜9のいずれか記載の配線板
用基板において、炭素質基板の微細孔に、無機コーティ
ング剤又は金属が含浸されたことを特徴とする配線板用
基板。
10. The wiring board substrate according to claim 1, wherein the fine pores of the carbonaceous substrate are impregnated with an inorganic coating agent or a metal.
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