JP2002144204A - 研磨治具、研磨装置、及び光学部材の製造方法 - Google Patents

研磨治具、研磨装置、及び光学部材の製造方法

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JP2002144204A
JP2002144204A JP2000342883A JP2000342883A JP2002144204A JP 2002144204 A JP2002144204 A JP 2002144204A JP 2000342883 A JP2000342883 A JP 2000342883A JP 2000342883 A JP2000342883 A JP 2000342883A JP 2002144204 A JP2002144204 A JP 2002144204A
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JP
Japan
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polishing
lens
holder
cup
polished
Prior art date
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JP2000342883A
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English (en)
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Yasuo Miura
庸雄 三浦
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 曲率の大きな被研磨物でも安定して研磨を可
能にする研磨治具を提供する。 【解決手段】 レンズホルダ3の凹部にはレンズ4が保
持されている。レンズホルダ3の上面は球面をなしてお
り、同じ曲率の球面状の凹部を有するカップ5の凹部に
嵌り込んで、球面接触をなしている。カップ5の上面に
はホルダ部6が設けられている。この状態で、研磨皿1
を回転させると共に、揺動装置によりホルダ部6を揺動
させる。すると、その揺動に応じてレンズホルダ3とレ
ンズ4が傾くが、レンズホルダ3とカップ5が広い面積
を有する球面接触をしているので、ホルダ部6に加えら
れる押し付け力は、安定してレンズホルダ3を介してレ
ンズ4に伝達され、レンズ4と研磨材2間の圧力は安定
な値に保たれるので、レンズ4の傾きが大きくなる端部
の研磨に際しても、安定な研磨を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被研磨物(レンズ
等)であって、特に曲率が大きいものを研磨するときに
用いるのに適当な研磨治具、それを用いた研磨装置、お
よびこの研磨装置を用いた光学部材の製造方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】レンズ等の光学部材の製造には、その表
面の研磨工程が不可欠である。例えば、レンズを製造す
る場合、まず始めにカーブジェネレータと呼ばれる切削
装置により、その表面が所定の曲率を持つように加工す
る。この状態では表面の粗さが非常に粗いので、その
後、ダイヤモンドラッピングと呼ばれる研磨工程によ
り、その表面を研磨して平滑なものとしている。
【0003】図4にこのような研磨装置の1例を示す。
研磨すべき被研磨物であるレンズ14の曲率に合わせた
曲率を有する研磨皿11の曲面部には、ダイヤモンドペ
レット等の研磨材12が固着されている。レンズ14は
レンズホルダ13に、松脂等の後で剥離が可能な接着剤
等を用いて接着されている。
【0004】レンズホルダ13には、その中心部に保持
部13aが設けらており、保持部13aの上端平面部に
は、半球状の凹部である球面軸受部13bが設けられて
いる。この球面軸受部13bには、先端に球状部を有す
るかんざしピン15が嵌りこんでいる。なお、図4は、
中心軸を通る縦断面図であり、各部材は、研磨材12を
除いて中心軸に対して回転対称となっている。
【0005】図4に示すような状態で、研磨皿11を中
心軸の周りに回転させると同時に、かんざしピン15を
揺動させる。すると、研磨皿11の研磨材12とレンズ
14の間に相対運動が発生して研磨が行われる。この
間、かんざしピン15を下方に押し付けることにより、
研磨材12とレンズ14間に圧力が加えられる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図4に示すような研磨
装置で曲率の大きな被研磨物を研磨しようとすると、レ
ンズの周辺部を研磨する際に、研磨材12とレンズ14
間にかかる圧力が低下してしまい、十分な研磨ができな
かったり、レンズ14が踊ってしまったりして、甚だし
い場合にはレンズ14の縁が欠けてしまうという問題点
があった。
【0007】これは、レンズ14の周辺部を研磨すると
きには、かんざしピン15の揺動により、研磨皿11の
回転中心とかんざしピン15の中心軸がずれ、それによ
り、レンズホルダ13とレンズ14が傾くことになる
が、レンズ14の曲率が大きい場合にはこの傾き角度が
大きくなり、かんざしピン15の押し付け力が十分にレ
ンズホルダ13より下に伝わらなくなるためである。
【0008】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、曲率の大きな被研磨物でも安定して研磨を可能
にする研磨治具、この研磨治具を使用した研磨装置、及
びこの研磨装置を使用した光学部材の製造方法を提供す
ることを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第1の手段は、研磨装置に用いられる研磨治具であっ
て、球を平面で切り取り、その平面側に被研磨物を取り
付けるための凹部を設けた基本形状を有する被研磨物ホ
ルダ部と、片側面が前記被研磨物ホルダ部の球面と同じ
曲率を有するような凹部が形成され、当該凹部が形成さ
れた面と反対側の面には、それ自体を保持し揺動させる
ための保持部が設けられたカップ部とを、前記被研磨物
ホルダ部の球面部と前記カップ部の凹部とが接触するよ
うに組み合わせてなることを特徴とする研磨治具(請求
項1)である。
【0010】本手段においては、被研磨物ホルダ部の凹
部に、後に剥がすことができる接着剤等を用いて被研磨
物を固着する。凹部の形状と被研磨物の形状が同一の場
合は、単に被研磨物を凹部に嵌め込むだけでよい場合も
ある。そして、被研磨物ホルダ部の球面側をカップ部の
凹部に嵌め込み、この状態で被研磨物を研磨皿の上に載
置する。そして、研磨皿を回転させると共に、カップ部
の保持部を揺動させて研磨を行う。この際、カップ部の
保持部を下に押し付けることにより、研磨皿の研磨材と
被研磨物の間に圧力を加える。
【0011】すなわち、本手段においては、従来のかん
ざしピンが行っていた役割を、カップ部が行うことにな
る。従来技術においては、かんざしピンとレンズ(被研
磨物)ホルダの間の接触がほとんど点接触に近かったた
め、レンズ(被研磨物)ホルダが傾くと押し付け力が十
分に伝達されなかった。しかし、本手段においては、カ
ップ部と被研磨物ホルダ部の接触は、接触面積の大きな
球面接触となっているので、被研磨物ホルダ部が大きく
傾いても、カップ部と被研磨物ホルダ部間の力の伝達は
安定して行われる。よって、曲率の大きな被研磨物の周
辺部を研磨する場合でも、被研磨物を十分な圧力で研磨
材に押し付けることができ、安定した研磨を行うことが
できる。
【0012】前記課題を解決するための第2の手段は、
前記第1の手段であって、前記保持部には、前記被研磨
物ホルダ部の球面部と前記カップ部の凹部との間に潤滑
剤を供給するための貫通穴が設けられていることを特徴
とするもの(請求項2)である。
【0013】本手段においては、保持部に設けられた貫
通穴を通して、被研磨物ホルダ部の球面部とカップ部の
凹部との間に潤滑剤を供給することができるので、両者
の球面接触部の摩擦抵抗が小さくなり、カップを揺動さ
せたときに、被研磨物と研磨材との間の摺動がスムース
に行われる。
【0014】前記課題を解決するための第3の手段は、
回転する研磨皿と、前記第1の手段又は第2の手段であ
る研磨治具と、当該研磨治具のカップ部を揺動させる装
置とを有してなることを特徴とする研磨装置(請求項
3)である。
【0015】本装置においては、かんざしピンと従来の
被研磨物ホルダに代えて、前記第1の手段又は第2の手
段である研磨治具を用いているので、前記第1の手段の
説明で述べたとおり、曲率の大きな被研磨物の周辺部を
研磨する場合でも、被研磨物を十分な圧力で研磨材に押
し付けることができ、安定した研磨を行うことができ
る。
【0016】前記課題を解決するための第4の手段は、
前記第3の手段であり、かつ、前記第2の手段を有する
ものであって、前記潤滑剤として、研磨皿と被研磨物と
の間に供給される研磨液を使用していることを特徴とす
るもの(請求項4)である。
【0017】前記潤滑材としては、水、潤滑油等、適当
なものを使用することができるが、研磨皿と被研磨物と
の間に供給される研磨液を潤滑材として使用することが
特に好ましい。すなわち、研磨皿と被研磨物との間に
は、主として摩擦熱により温度が上昇するのを冷却する
ために研磨液が供給されている。よって、この研磨液を
前記潤滑材として利用すれば、特別な潤滑液を必要とせ
ず、かつ、研磨中に研磨液と潤滑液が混じっても、何ら
問題を引き起こすことがない。
【0018】前記課題を解決するための第5の手段は、
前記第3の手段又は第4の手段を用いて表面を研磨する
工程を有してなることを特徴とする光学部材の製造方法
(請求項5)である。
【0019】本手段は、表面の研磨に前記第3の手段又
は第4の手段を用いている他は従来の光学部材の製造方
法と同じである。本手段によれば、大きな曲率を有する
光学部材を精度よく製作することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例
を、図を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態
の1例であるレンズ研磨装置を示す概要図であり、中心
軸を含む縦断面図である。図1において、1は研磨皿、
2は研磨材、3は被研磨物ホルダ部であるレンズホル
ダ、4はレンズ、5はカップ部であるカップ、6は保持
部、7は貫通穴である。図において、研磨材2以外の要
素は、中心軸に対して回転対称な形状を有している。
【0021】研磨皿1と研磨材2は従来技術と同じであ
り、研磨皿1の曲面部には、ダイヤモンドペレット等の
研磨材2が固着されている。レンズホルダ3は、後に示
すような形状を有し、その凹部には、松脂等の後に剥離
可能な接着剤によりレンズ4が保持されている。レンズ
ホルダ3の上面は球面をなしており、同じ曲率の球面状
の凹部を有するカップ5の凹部に嵌り込んで、球面接触
をなしている。カップ5の上面には保持部6が設けら
れ、その中心部には貫通穴7が設けられている。
【0022】この状態で、研磨皿1を回転させると共
に、揺動装置により保持部6を揺動させる。すると、そ
の揺動に応じてレンズホルダ3とレンズ4が傾くが、レ
ンズホルダ3とカップ5が広い面積を有する球面接触を
しているので、保持部6に加えられる押し付け力は、安
定してレンズホルダ3を介してレンズ4に伝達される。
よって、レンズ4と研磨材2間の圧力は安定な値に保た
れるので、レンズ4の傾きが大きくなる端部の研磨に際
しても、安定な研磨を行うことができる。
【0023】また、貫通穴7を介して、レンズホルダ3
とカップ5の接触面に潤滑剤を供給することにより、レ
ンズホルダ3とカップ5の相対運動をスムースに行わせ
ることができる。供給された潤滑剤は、レンズホルダ3
の周囲から流れ出すが、潤滑剤として、研磨皿1に設け
られた貫通穴1aより、研磨皿1とレンズ4の間に供給
される研磨液を使用すれば、特別な潤滑剤を用意する必
要がなく、また、潤滑剤と研磨液が混じり合っても問題
を生じることがない。
【0024】なお、図では、レンズ4の曲率と、レンズ
ホルダ3の球面の曲率を大きく異なったように描いてあ
るが、両者はなるべく近くしたほうが、動きがスムース
になる。ただし、両者の曲率を同じとする必要性はな
い。
【0025】図2は、カップ5の形状の例を示す図であ
り、(a)は断面図、(b)は下側から見た図である。
カップ5の下面には、レンズホルダ4の球面と同じ曲率
を有する球状の凹部5aが設けられている。図において
はカップ5の上表面は平面に描かれてあるが、凹部の曲
率半径が小さくなれば、これに合わせて球面状とした方
が、全体の重量を小さくすることができる。上面側には
保持部6が設けられ、その中心に貫通穴7が設けられて
いるのは前述のとおりである。
【0026】図3は、レンズホルダの形状の例を示す図
であり、(a)は断面図、(b)は下側から見た図であ
る。レンズホルダ3は、球を平面で切断した形状を基本
形状とし、上面側が球状面3aとなっている。その平面
側に、レンズを保持するための凹部3bが設けられてい
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の1例であるレンズ研磨装
置を示す概要図である。
【図2】カップの形状の例を示す図である。
【図3】レンズホルダの形状の例を示す図である。
【図4】従来の研磨装置の1例を示す図である。
【符号の説明】
1…研磨皿 1a…貫通穴 2…研磨材 3…レンズホルダ 3a…球状面 3b…凹部 4…レンズ 5…カップ 5a…球状の凹部 6…保持部 7…貫通穴

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 研磨装置に用いられる研磨治具であっ
    て、球を平面で切り取り、その平面側に被研磨物を取り
    付けるための凹部を設けた基本形状を有する被研磨物ホ
    ルダ部と、片側面に前記被研磨物ホルダ部の球面と同じ
    曲率を有するような凹部が形成され、当該凹部が形成さ
    れた面と反対側の面には、それ自体を保持し揺動させる
    ための保持部が設けられたカップ部とを、前記被研磨物
    ホルダ部の球面部と前記カップ部の凹部とが接触するよ
    うに組み合わせてなることを特徴とする研磨治具。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の研磨治具であって、前
    記保持部には、前記被研磨物ホルダ部の球面部と前記カ
    ップ部の凹部との間に潤滑剤を供給するための貫通穴が
    設けられていることを特徴とする研磨治具。
  3. 【請求項3】 回転する研磨皿と、請求項1又は請求項
    2に記載の研磨治具と、当該研磨治具のカップ部を揺動
    させる装置とを有してなることを特徴とする研磨装置。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の研磨装置であり、か
    つ、請求項2に記載の研磨治具を有するものであって、
    前記潤滑剤として、研磨皿と被研磨物との間に供給され
    る研磨液を使用していることを特徴とする研磨装置。
  5. 【請求項5】 請求項3又は請求項4に記載の研磨装置
    を用いて表面を研磨する工程を有してなることを特徴と
    する光学部材の製造方法。
JP2000342883A 2000-11-10 2000-11-10 研磨治具、研磨装置、及び光学部材の製造方法 Pending JP2002144204A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113853270A (zh) * 2019-06-17 2021-12-28 麦格纳国际公司 用于激光透射焊接设备的光学轮组件

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113853270A (zh) * 2019-06-17 2021-12-28 麦格纳国际公司 用于激光透射焊接设备的光学轮组件
CN113853270B (zh) * 2019-06-17 2024-04-30 麦格纳国际公司 用于激光透射焊接设备的光学轮组件

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