JP2002136162A - 静電吸着ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の課題は、上記問題点に鑑み、平板状の
電子材料の静電吸着搬送において、任意に、確実に吸着
脱離を行う静電吸着ユニットを提供することにある。 【解決手段】少なくとも対向電極を内包する静電吸着
板、該対向電極に高電圧を印加する電圧供給回路を有す
る静電吸着ユニットにおいて、電圧供給回路と並列に抵
抗回路を有すること。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気・電子機器に
用いられる平板状の電子材料、特にプリント配線板やシ
ャドウマスク、アパーチャグリル等の小径孔を多数有す
る電子材料を、吸着して搬送するための吸着搬送手段に
おける、吸着した電子材料の円滑な脱離方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】平板状の電子材料、例えばプリント配線
板やシャドウマスクのような薄板状でも多数の穴が空い
た材料の枚葉毎の搬送においては、穴の空いていない部
分を小径の吸着パッドを介して減圧吸着して搬送した
り、高流量のブロアを用いて多数吸着口を有する吸着面
で吸着して搬送する手段がとられていた。

【０００３】上記のような搬送手段では、搬送する電子
材料のロット替わりに際して、吸着パッド位置を調整が
必要であったり、また減圧するための高流量用の配管を
引き回す必要があるため設計上の制約が生じたり機械が
大型化するなど不都合を生じていた。

【０００４】そこで、吸着手段として、静電吸着方式に
よる薄板状の電子材料の搬送方法の提案もなされてい
る。静電吸着方式では、減圧吸着方式に比べ、小径孔を
多数有するプリント配線板やシャドウマスクを効率よく
吸着することが可能で、大流量の配管等の取り回しがい
らないため、搬送装置の設計の自由度も向上する。しか
し、吸着した電子材料を脱離させる時には印加電圧を切
断しても、電子材料の材質、質量、吸着面積、また静電
吸着板の表面吸着層の材質及び誘電率や抵抗率、あるい
は使用環境下の温湿度等の要因によって、吸着面に電荷
が残存し、電子材料等の吸着物が任意に脱離出来ない場
合があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
問題点に鑑み、平板状の電子材料の静電吸着搬送におい
て、任意に、確実に脱離が行える静電吸着ユニットを提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、以下の発明を見出
した。

【０００７】本発明は、少なくとも対向電極を内包する
静電吸着板、該対向電極に高電圧を印加する電圧供給回
路を有する静電吸着ユニットにおいて、電圧供給回路と
並列に抵抗回路を有することを特徴としている。

【０００８】第二の発明は、用いる静電吸着板の吸着側
の材質が、ナイロン、ポリエステル、ポリ塩化ビニルか
ら選ばれる樹脂から成ることを特徴としている。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の静電吸着ユニットは、平
板状の電子材料、特にプリント配線板やシャドウマスク
が静電吸着なされた後に脱離させる時に、印加電圧の供
給を停止すると、対向電極に並列に接続されている抵抗
回路が作用し、静電吸着板に残存する電荷を消失し、吸
着している電子材料の脱離が印加電圧の停止から遅延無
く行えるものである。

【００１０】電圧印加時に対向電極に対応して静電吸着
板の表面には静電誘導により電荷が生じており、これが
吸着力となっている。しかし脱離時に電圧印加を停止し
ても静電吸着板表面の電荷が直ぐには消失ぜず、漸次減
衰するため回路遮断から脱離するまでに遅延が生じるこ
ととなる。対向電極を短絡させることで吸着層表面の電
荷を素早く消失させることが可能である。しかし、電荷
の量や帯電圧によっては短絡時に火花放電が生じる可能
性があるが、本発明の静電吸着ユニットでは対向電極間
に抵抗回路を並列に接続することで短時間に円滑に電荷
を消失させる。

【００１１】本発明の静電吸着ユニットの回路の一例を
図１に示す。用いられる抵抗の抵抗値としては、並列に
接続される電圧供給回路からの電圧が対向電極に印加さ
れ、電圧供給停止時に抵抗回路で電荷が消失されうる抵
抗値があればよい。抵抗値が低すぎると、電圧供給時に
抵抗回路で消費され対向電極に印加されないため、対向
電極の導電率や印可する電圧にもよるが、例えば１ＭΩ
から８００ＭΩの範囲が好ましい。

【００１２】また静電吸着板の吸着側の材質によって
は、電気抵抗率や誘電率の差異により吸着物の脱離に大
きく違いが生じる場合があるが、本発明では、特にナイ
ロン、ポリエステル、ポリ塩化ビニルの素材であって
も、有効に機能し、脱離が円滑に行える。このため、吸
着板の作製における設計自由度の向上やコストダウンが
可能となる。

【００１３】次に本発明に係る静電吸着板について説明
する。本発明に用いられる静電吸着板は、例えば特公昭
５７−５８８７２号公報、特開昭５９−１０８９１５号
公報に記載されているように、吸着面シートとして１０
⁸〜１０¹²Ωｃｍ程度の電気抵抗率を有したプラステッ
クシートと電気抵抗率１０¹⁵Ωｃｍ以上の絶縁物の間
に、櫛歯状で互いに入れ子となった対向電極が設けられ
て構成されたものである。

【００１４】上記のような静電吸着板の対向電極に高圧
電源が接続され、電極間に１００Ｖ〜１０ｋＶの高電圧
が印加されて静電吸着力（クーロン力）が発現するよう
になっている。この高圧電源には通常、自励発振方式の
ＤＣ−ＤＣコンバータが用いられており、数Ｖ程度の入
力で上記高電圧が得られるようになっている。出力電圧
は可変のものが好ましいが、出力電圧が固定のものを複
数用いて切り替えて使用することも出来る。

【００１５】

【実施例】以下本発明を実施例により詳説するが、本発
明はその趣旨を逸脱しない限り、下記実施例に限定され
るものではない。

【００１６】実施例 電子材料として、両面銅張り積層板（５００×６００ｍ
ｍ）を使用し、常法に従って配線パターン形成し、プリ
ント配線板を作製した。

【００１７】静電吸着板として、ガラスエポキシ基材
（０．１ｍｍ厚）の片面銅張りプリント配線板（銅厚１
８μｍ）を用いて銅箔を櫛歯状にエッチングして対向電
極とし、この対向電極上面にナイロン板（板厚１ｍｍ）
を接着して作製したものを用いた。対向電極には高電圧
出力電源（トレック社製６１０Ｂ）を接続し、また並列
に５００ＭΩの抵抗を接続した。

【００１８】上記プリント配線板を静電吸着板に接触さ
せて、静電吸着板に４ｋＶの電圧を印加したところ、吸
着した。この静電吸着板を垂直にして、高電圧出力電源
のスイッチを遮断したところ、直ちにプリント配線板が
脱離した。

【００１９】比較例 抵抗を接続しない以外は実施例と同様に作製した静電吸
着板により、同様にプリント配線板を吸着させ、高電圧
出力電源を遮断したが、脱離するまでに約３０秒必要で
あった。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したごとく、本発明の静電吸着
ユニットによれば、電子材料、特に小径孔を多数有する
プリント配線板やシャドウマスクが確実に静電吸着さ
れ、また脱離させたい時に、任意に、また確実にタイミ
ング良く脱離させることが出来る。従って本発明の静電
吸着ユニットを用いれば、雰囲気温湿度、また静電吸着
板や吸着搬送物の材質や表面状態等の要因によらず確実
に脱離が出来る秀逸な効果をもたらす。また、静電吸着
板の吸着側の素材の選定範囲が広くなり、設計自由度が
増すと共にコストダウンが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の静電吸着ユニットの回路の一例の概略
図である。

【符号の説明】

１ 基材 ２ａ、２ｂ 対向電極 ３ 抵抗 ４ 高電圧出力電源 ５ 電線

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも対向電極を内包する静電吸着
   板、該対向電極に高電圧を印加する電圧供給回路を有す
   る静電吸着ユニットにおいて、電圧供給回路と並列に抵
   抗回路を有することを特徴とする静電吸着ユニット。
2. 【請求項２】 用いる静電吸着板の吸着側の材質が、ナ
   イロン、ポリエステル、ポリ塩化ビニルから選ばれる樹
   脂から成ることを特徴とする請求項１記載の静電吸着ユ
   ニット。