JP2002107408A - High-frequency socket for bga - Google Patents

High-frequency socket for bga

Info

Publication number
JP2002107408A
JP2002107408A JP2000297412A JP2000297412A JP2002107408A JP 2002107408 A JP2002107408 A JP 2002107408A JP 2000297412 A JP2000297412 A JP 2000297412A JP 2000297412 A JP2000297412 A JP 2000297412A JP 2002107408 A JP2002107408 A JP 2002107408A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bga
frequency socket
high frequency
hole
pogo pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000297412A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Inomata
辰也 猪俣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2000297412A priority Critical patent/JP2002107408A/en
Publication of JP2002107408A publication Critical patent/JP2002107408A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-frequency socket for BGA having a long life and good high-frequency characteristic. SOLUTION: This high-frequency socket is provided with pogo pins 3, a case having GND (ground)-processed through holes 1 holding the pogo pine 3 inside in no contact with them, and insulating sheets 4 and 4' installed on the opening faces of the through holes to fix the pogo pins.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、BGA(Ball
Grid Array)パッケージのテストを行なう
際に用いられる高周波ソケットに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a BGA (Ball)
The present invention relates to a high-frequency socket used when testing a Grid Array package.

【0002】[0002]

【従来の技術】これまで、Ball Grid Arr
ay(以下BGA)パッケージの実負荷テストを行なう
ために、テスタとデバイスを電気的に接続するソケット
には、大きく分けると、図4に示すような導電性のシー
ト11を用いて、半田ボール5と測定用基板7を接続す
るシートタイプと、図5に示すように、内部にバネ12
が入っており両側から押さえると縮むことにより接続す
るポゴピン3(バネピン或いはスプリングプローブピン
ともいう)を、樹脂13により保持し、接続するポゴピ
ンタイプという二つのタイプのものが用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, Ball Grid Arr
In order to perform an actual load test of an ay (hereinafter referred to as BGA) package, a socket for electrically connecting a tester and a device is roughly divided into a solder ball 5 and a conductive sheet 11 as shown in FIG. And a sheet type for connecting the measurement substrate 7 and a spring 12 inside as shown in FIG.
There are two types of pogo pins 3 (Pogo pin type) which are connected by holding them with a resin 13 and holding the pogo pins 3 (also referred to as spring pins or spring probe pins) which are connected by contraction when pressed from both sides.

【0003】高周波特性に優れたシートタイプには、金
属細線埋め込みタイプと導電ゴムタイプがあり、前者は
酸化金属の削れに因るゴミの発生が多く、シートも高価
でランニングコストが大きいという問題がある。また後
者は表面に酸化金属が付着するため接触抵抗が大きくな
るという問題がある。
[0003] There are two types of sheet having excellent high frequency characteristics: a thin metal wire embedded type and a conductive rubber type. The former has a problem that much dust is generated due to scraping of metal oxide, and the sheet is expensive and running cost is high. is there. In the latter case, there is a problem that the contact resistance is increased because the metal oxide adheres to the surface.

【0004】一方、価格的に優位であるポゴピンタイプ
においては、その高周波特性を改善するため、種々方法
が検討されている。まず、長さの短いものを用いること
により、インダクタンスの影響を極力少なくすることが
できる。しかしながら設計上マージンが取れず、機械的
摩耗に対して耐久性が低下し、短寿命となる。また、誘
電体を充填した同軸構造とすることにより、インダクタ
ンスの影響を抑え、インピーダンスマッチングを取るこ
とができるが、コストアップする上に、誘電率が高くな
り、誘電体厚さにもばらつきが生じてしまう。ポゴピン
を細くすることにより、誘電率を抑えることができる
が、一方で耐久性が低下し、短寿命となる。また、太い
ポゴピンを用いると、ホールピッチの微細化に対応する
ことができない。
On the other hand, for the pogo pin type, which is superior in cost, various methods are being studied in order to improve the high frequency characteristics. First, the influence of inductance can be reduced as much as possible by using one having a short length. However, there is no margin in design, durability against mechanical wear is reduced, and the life is shortened. In addition, by using a coaxial structure filled with a dielectric, the effect of inductance can be suppressed and impedance matching can be achieved, but the cost increases, the dielectric constant increases, and the dielectric thickness also varies. Would. By making the pogo pins thinner, the dielectric constant can be suppressed, but on the other hand, the durability is reduced and the life is shortened. In addition, when a thick pogo pin is used, it is not possible to cope with miniaturization of the hole pitch.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この様に、従来のBG
A用高周波ソケットにおいては、ポゴピンのサイズを小
さくしないと良好な高周波特性が得られないので、ポゴ
ピンの設計上マージンがとれない上に、寿命が短いとい
う問題があった。
As described above, the conventional BG
In the high-frequency socket for A, good high-frequency characteristics cannot be obtained unless the size of the pogo pin is reduced, so that there is a problem that a margin is not taken in the design of the pogo pin and the life is short.

【0006】従って本発明は、このような従来の欠点を
取り除き、長寿命で良好な高周波特性を有するBGA用
高周波ソケットを提供することを目的とするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-frequency socket for a BGA having a long life and good high-frequency characteristics by eliminating the conventional disadvantages.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のBGA用高周波
ソケットは、ポゴピンと、このポゴピンに接することな
くこれを内部に保持し、且つGND処理されたスルーホ
ールを備える筐体と、この筐体の前記スルーホール開口
面に設置され、前記ポゴピンを固定する絶縁シートとを
具備することを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a high frequency socket for a BGA according to the present invention, comprising a pogo pin, a housing having a through hole that holds the pogo pin therein without being in contact with the pogo pin, and a GND-processed through-hole. And an insulating sheet for fixing the pogo pins, the insulating sheet being provided on the opening of the through hole.

【0008】また、本発明のBGA用高周波ソケットに
おいては、前記筐体は、導電性材料からなることを特徴
とするものである。
Further, in the high frequency socket for BGA of the present invention, the housing is made of a conductive material.

【0009】さらに、本発明のBGA用高周波ソケット
においては、前記筐体は、非導電性材料からなり、導電
性材料からなる前記スルーホールを備えることを特徴と
するものである。
Furthermore, in the high frequency socket for BGA of the present invention, the housing is made of a non-conductive material, and is provided with the through hole made of a conductive material.

【0010】また、本発明のBGA用高周波ソケットに
おいては、前記スルーホール中には、空気が充填されて
いることを特徴とするものである。
Further, in the high frequency socket for BGA of the present invention, the through hole is filled with air.

【0011】さらに、本発明のBGA用高周波ソケット
においては、前記ポゴピンの外径dと、前記スルーホー
ルの内径Dの比が、2.07≦D/d≦2.53となる
ことを特徴とするものであるものである。
Further, in the high frequency socket for BGA of the present invention, the ratio of the outer diameter d of the pogo pin to the inner diameter D of the through hole satisfies 2.07 ≦ D / d ≦ 2.53. Is what you do.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態について、図
1乃至3を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0013】図1に示すように、被測定デバイス(BG
Aパッケージ)の半田ボールの位置に対応してスルーホ
ール1の形成されたAl製筐体からなるメタルジャケッ
ト2中に、ポゴピン3が挿入されている。ポゴピン3
は、メタルジャケット2のスルーホール1開口面に設置
される絶縁シート4、4'により固定されており、スル
ーホール1内部のポゴピンの周りには空気が充填されて
いる。絶縁シート4上には、パッケージの半田ボール5
の位置決めのために、絶縁体からなる着座シート6が設
けられている。尚、全てのスルーホール1はメタルジャ
ケット2全体でGND処理されている。
As shown in FIG. 1, a device under test (BG
A pogo pin 3 is inserted into a metal jacket 2 made of an aluminum housing having a through hole 1 formed at a position corresponding to the solder ball of the A package). Pogo pin 3
Is fixed by insulating sheets 4 and 4 ′ provided on the opening surface of the through hole 1 of the metal jacket 2, and air is filled around the pogo pins inside the through hole 1. On the insulating sheet 4, solder balls 5 of the package are provided.
For positioning, a seating seat 6 made of an insulator is provided. Note that all the through holes 1 are subjected to GND processing in the entire metal jacket 2.

【0014】このように構成されたBGA用高周波ソケ
ットを、測定用基板(テスタ)7上に設置し、着座シー
ト6の所定位置に、半田ボール5が配置されるように被
測定デバイス8を設置する。このようにして測定用基板
(テスタ)7と被測定デバイス8を電気的に接続して、
測定を行なう。
The high-frequency socket for BGA thus constructed is set on a measuring board (tester) 7, and the device 8 to be measured is set at a predetermined position of the seat 6 so that the solder balls 5 are arranged. I do. In this way, the measurement substrate (tester) 7 and the device under test 8 are electrically connected,
Perform a measurement.

【0015】本発明のBGA用高周波ソケットにおいて
は、メタルジャケットとポゴピンの間に充填された空気
を誘電体とした同軸構造となり、従来の設計マージンが
少なく、寿命の短いサイズの小さいポゴピンを用いたも
のと同様の特性を、長寿命のポゴピンを用いて得ること
ができる。また、高コストの誘電体付きポゴピンを用い
る必要もなく、均一な厚さの誘電体層を得ることができ
る。従って寿命が従来の3〜4倍となり、ランニングコ
ストも大きく低減することができる。
The high frequency socket for BGA of the present invention has a coaxial structure in which air filled between the metal jacket and the pogo pin is used as a dielectric, and uses a small pogo pin having a small design margin and a short life in the conventional art. Similar properties can be obtained with long-lived pogo pins. In addition, a dielectric layer having a uniform thickness can be obtained without using a high-cost pogo pin with a dielectric. Therefore, the life is three to four times longer than the conventional one, and the running cost can be greatly reduced.

【0016】また、図2に上面図と断面の拡大図を示す
ように、スルーホール1の内径Dとポゴピン3の外径d
の比は、誘電率を抑え、同軸構造を維持するために、
2.07≦D/d≦2.53となることが好ましい。
FIG. 2 is a top view and an enlarged cross-sectional view showing an inner diameter D of the through hole 1 and an outer diameter d of the pogo pin 3.
The ratio is to reduce the dielectric constant and maintain the coaxial structure,
It is preferable that 2.07 ≦ D / d ≦ 2.53.

【0017】さらに、筐体は、Al等のメタル(導電性
材料)に限定されるものではなく、非導電性材料も用い
ることができる。
Further, the housing is not limited to a metal (conductive material) such as Al, but a non-conductive material can also be used.

【0018】図3に示すように、筐体は非導電性材料か
らなるプリント基板9(FR−4)からなり、プリント
基板9に形成されたスルーホール1の内側には、めっき
により銅パターン10を設け、各々GND処理されてい
る。そして、メタルジャケットを用いたときと同様にポ
ゴピン3が挿入されている。ポゴピン3は、同様にプリ
ント基板9のスルーホール1開口面に設置される絶縁シ
ート4、4'により固定されており、スルーホール1内
部のポゴピンの周りには空気が充填されている。絶縁シ
ート4上には、同様にパッケージの半田ボール5の位置
決めのために、絶縁体からなる着座シート6が設けられ
ている。そして、このようにして構成されたBGA用高
周波ソケットにより、メタルジャケットを用いたときと
同様にして測定が行われる。
As shown in FIG. 3, the housing is composed of a printed circuit board 9 (FR-4) made of a non-conductive material, and a copper pattern 10 is formed inside the through hole 1 formed in the printed circuit board 9 by plating. , And each is subjected to GND processing. The pogo pins 3 are inserted as in the case where the metal jacket is used. The pogo pins 3 are similarly fixed by insulating sheets 4 and 4 ′ installed on the opening surfaces of the through holes 1 of the printed circuit board 9, and air is filled around the pogo pins inside the through holes 1. A seating sheet 6 made of an insulating material is similarly provided on the insulating sheet 4 for positioning the solder balls 5 of the package. The measurement is performed by the high frequency socket for BGA thus configured in the same manner as when the metal jacket is used.

【0019】本実施形態においては、筐体にプリント基
板FR−4を用いたが、他にFR−5、BTレジンとい
ったガラス繊維入りエポキシ基板等の非導電性材料を用
いることができる。また、スルーホールの内側には銅パ
ターンを形成したが、GNDを取ることのできる導電性
材料であれば良い。
In this embodiment, the printed circuit board FR-4 is used for the housing. However, other non-conductive materials such as an epoxy board containing glass fiber such as FR-5 and BT resin can be used. Although the copper pattern is formed inside the through hole, any conductive material that can take GND can be used.

【0020】このように、筐体に非導電性材料を用いた
ときも、メタルジャケットを用いたときと同様な効果が
得られるとともに、さらに、GNDが独立しており、信
号線毎に分かれているので、より良好な高周波特性が得
られる。
As described above, when the non-conductive material is used for the housing, the same effect as when the metal jacket is used can be obtained, and furthermore, the GND is independent and the signal lines are separated. Therefore, better high-frequency characteristics can be obtained.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、長寿命で良好な高周波
特性を有するBGA用高周波ソケットを提供することが
できる。
According to the present invention, it is possible to provide a high frequency socket for BGA having a long life and good high frequency characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のBGA用高周波ソケットの断面を示す
図。
FIG. 1 is a view showing a cross section of a high-frequency socket for BGA of the present invention.

【図2】本発明のBGA用高周波ソケットの上面及び断
面を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing a top surface and a cross section of a high frequency socket for BGA of the present invention.

【図3】本発明のBGA用高周波ソケットの断面を示す
図。
FIG. 3 is a diagram showing a cross section of a high-frequency socket for BGA of the present invention.

【図4】従来の短ポゴピンを用いたBGA用高周波ソケ
ットの断面を示す図。
FIG. 4 is a view showing a cross section of a conventional high frequency socket for BGA using short pogo pins.

【図5】従来のシートタイプのBGA用高周波ソケット
の断面を示す図。
FIG. 5 is a view showing a cross section of a conventional sheet type high frequency socket for BGA.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スルーホール 2 メタルジャケット 3 ポゴピン 4、4' 絶縁シート 5 半田ボール 6 着座シート 7 測定用基板(テスタ) 8 被測定デバイス 9 プリント基板 10 銅パターン 11 導電性シート 12 バネ 13 樹脂 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Through hole 2 Metal jacket 3 Pogo pin 4, 4 'Insulation sheet 5 Solder ball 6 Seating sheet 7 Measurement board (tester) 8 Device under test 9 Printed circuit board 10 Copper pattern 11 Conductive sheet 12 Spring 13 Resin

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポゴピンと、このポゴピンに接すること
なくこれを内部に保持し、且つGND処理されたスルー
ホールを備える筐体と、この筐体の前記スルーホール開
口面に設置され、前記ポゴピンを固定する絶縁シートと
を具備することを特徴とするBGA用高周波ソケット。
1. A pogo pin, a housing that holds the pogo pin inside without contacting the pogo pin, and has a through-hole subjected to GND processing, and a pogo pin installed on the through-hole opening surface of the housing, A high frequency socket for BGA, comprising: an insulating sheet to be fixed.
【請求項2】 前記筐体は、導電性材料からなることを
特徴とする請求項1記載のBGA用高周波ソケット。
2. The high frequency socket for BGA according to claim 1, wherein said housing is made of a conductive material.
【請求項3】 前記筐体は、非導電性材料からなり、導
電性材料からなる前記スルーホールを備えることを特徴
とする請求項1記載のBGA用高周波ソケット。
3. The high frequency socket for a BGA according to claim 1, wherein the housing is made of a non-conductive material and includes the through hole made of a conductive material.
【請求項4】 前記スルーホール中には、空気が充填さ
れていることを特徴とする請求項1乃至3記載のいずれ
か1項に記載のBGA用高周波ソケット。
4. The high frequency socket for a BGA according to claim 1, wherein the through hole is filled with air.
【請求項5】 前記ポゴピンの外径dと、前記スルーホ
ールの内径Dの比が、2.07≦D/d≦2.53とな
ることを特徴とする請求項1乃至4記載のいずれか1項
に記載のBGA用高周波ソケット。
5. The method according to claim 1, wherein a ratio of an outer diameter d of the pogo pin to an inner diameter D of the through hole satisfies 2.07 ≦ D / d ≦ 2.53. Item 2. The high frequency socket for BGA according to item 1.
JP2000297412A 2000-09-28 2000-09-28 High-frequency socket for bga Pending JP2002107408A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000297412A JP2002107408A (en) 2000-09-28 2000-09-28 High-frequency socket for bga

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000297412A JP2002107408A (en) 2000-09-28 2000-09-28 High-frequency socket for bga

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002107408A true JP2002107408A (en) 2002-04-10

Family

ID=18779529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000297412A Pending JP2002107408A (en) 2000-09-28 2000-09-28 High-frequency socket for bga

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002107408A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1471357A2 (en) * 2003-04-25 2004-10-27 YOKOWO Co., Ltd Ic socket
JP2006004932A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Aries Electronics Inc Shielded integrated circuit probe
JP2007178165A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Yokowo Co Ltd Inspection unit
WO2008015967A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-07 Jsr Corporation Composite conductive sheet, method for manufacturing the same and application of the same
US7456645B2 (en) 2003-04-25 2008-11-25 Yokowo Co., Ltd. Inspection coaxial probe and inspection unit incorporating the same
JP2009058237A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Renesas Technology Corp Defect analysis tool for semiconductor integrated circuit device
JP2012103028A (en) * 2010-11-08 2012-05-31 Renesas Electronics Corp Testing board

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1471357A2 (en) * 2003-04-25 2004-10-27 YOKOWO Co., Ltd Ic socket
US7456645B2 (en) 2003-04-25 2008-11-25 Yokowo Co., Ltd. Inspection coaxial probe and inspection unit incorporating the same
JP2006004932A (en) * 2004-06-17 2006-01-05 Aries Electronics Inc Shielded integrated circuit probe
JP4695925B2 (en) * 2004-06-17 2011-06-08 アリエス.エレクトロニクス.インコーポレイテッド Shielded integrated circuit probe
JP2007178165A (en) * 2005-12-27 2007-07-12 Yokowo Co Ltd Inspection unit
WO2008015967A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-07 Jsr Corporation Composite conductive sheet, method for manufacturing the same and application of the same
JP2009058237A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Renesas Technology Corp Defect analysis tool for semiconductor integrated circuit device
JP2012103028A (en) * 2010-11-08 2012-05-31 Renesas Electronics Corp Testing board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4242199B2 (en) IC socket
US4480223A (en) Unitary probe assembly
KR101573450B1 (en) Test socket
US20190302185A1 (en) Probe head for a testing apparatus of electronic devices with enhanced filtering properties
US7782070B2 (en) Probing device
JP2004177400A (en) Interfacing device of probe
KR101186915B1 (en) Contact structure for inspection
US6558168B2 (en) Probe card
KR101641276B1 (en) Socket for testing semiconductor package and method for manufacturing the same
US7279913B2 (en) Testing assembly for electrical test of electronic package and testing socket thereof
KR102389136B1 (en) Signal Loss Prevented Test Socket
KR20090082783A (en) Prove card assembly for electrical die sorting process
JP2002107408A (en) High-frequency socket for bga
JP5572066B2 (en) Test board
KR102463229B1 (en) Anisotropic conductive sheet with improved high frequency characteristics
JP3878578B2 (en) Contact probe, semiconductor and electrical inspection apparatus using the same
JPH09121007A (en) Conductive contact
JP2005241505A (en) Socket for semiconductor test, and semiconductor testing equipment
KR102598055B1 (en) Socket device for testing an IC
KR102661984B1 (en) Data signal transmission connector
US20220107342A1 (en) Electrical component inspection instrument
KR20130058297A (en) Electrical conductive powder and semiconductor test socket
US7126155B1 (en) S-parameter power plane probe coupon
JP2651430B2 (en) Card type contact probe
KR100232714B1 (en) Connector for semiconductor device tester

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050304

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20050307

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060829

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061003

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070213