JP2002097572A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】光学部品の光学機能面に成膜装置により光学薄膜を形成する際に、前記光学部品を保持する基板ホルダーであって、
第一の光学部品の光学機能面に対して成膜領域を決め成膜領域側から前記第一の光学部品を保持する第一の基板保持具と、
第二の光学部品の光学機能面に対して成膜領域を決め成膜領域側から前記第二の光学部品を保持する第二の基板保持具と、
前記第一の基板保持具と前記第二の基板保持具の間に介在し、前記第一の光学部品と前記第二の光学部品とを各々成膜領域の反対領域側から保持する第三の基板保持具と、
前記第一乃至第三の基板保持具を一体的に保持する押さえ手段と、
を有することを特徴とする基板ホルダー。
【請求項２】前記基板ホルダーは、前記成膜装置に設けられた基板反転機構により表裏反転可能に支持可能される表裏反転軸を備えていることを特徴とする請求項１記載の基板ホルダー。
【請求項３】第一の光学部品の成膜領域側から第一の基板保持具により、第一の光学部品の成膜領域反対側から第三の基板保持具により、第一の光学部品を挟むことで、第一の光学部品を保持するとともに、その光学機能面に対して成膜領域を決める工程と、
この第三の基板保持具上に、第二の光学部品をその成膜領域の反対領域を下にして置く工程と、
第三の基板保持具により支持された第二の光学部品の成膜領域側を第二の基板保持具により挟み込み、前記第一乃至第三の基板保持具を一体化する工程と、
第一乃至第三の基板保持具により保持された第一、第二の光学部品の各成膜領域に光学薄膜を同時に又は順に成膜する工程と、
を含むことを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項４】 第一の受溝部を有する第一の基板保持具と、
第二の受溝部を有する第二の基板保持具と、
前記第一の基板保持具と前記第二の基板保持具の間に配置された第三の基板保持具と、
前記第一乃至前記第三の基板保持具を一体的に保持する押さえ手段を有し、
前記第一の開口部は、前記第一の基板保持具の表面側から前記第三の基板保持具に向かって、開口径が徐々に小さくなるように形成され、
前記第一の凹部は前記第一の受溝部を有し、前記第三の基板保持具と対向している前記第一の基板保持具の裏面に、前記第一の開口部の最小開口面よりも広く形成され、
前記第二の開口部は、前記第二の基板保持具の裏面側から前記第三の基板保持具に向かって、開口径が徐々に小さくなるように形成され、
前記第二の凹部は前記第二の受溝部を有し、前記第三の基板保持具と対向している前記第二の基板保持具の表面に、前記第二の開口部の最小開口面よりも広く形成され、
前記前記第一の開口部の最小開口径は、前記第一の基板保持具と第三の基板保持具で保持される光学部品の光学機能面に成形する成膜領域と一致する径であり、
前記前記第二の開口部の最小開口径は、前記第二の基板保持具と第三の基板保持具で保持される光学部品の光学機能面に成形する成膜領域と一致する径であることを特徴とする基板ホルダー。
【請求項５】 前記第三の基板保持具は突条部を有し、
前記突条部は第三の開口部と第三の凹部で形成され、
前第三の開口部は、前記第三の基板保持具側の表面から裏面までを貫通して形成され、
前記第三の凹部は、前記第三の基板保持具の表面及び裏面に、前記第三の開口部の開口面よりも広く形成されていることを特徴とする請求項４に記載の基板ホルダー。
【請求項６】 前記第三の基板保持具は２つの保持部材を有し、
前記保持部材の一方は、その一端が前記第一の保持部材と接すると共に、他端に第一の受溝部と対向するように形成された突出片を有し、
前記保持部材の他方は、その一端が前記第二の保持部材と接すると共に、他端に第二の受溝部と対向するように形成された突出片を有することを特徴とする請求項４に記載の基板ホルダー。