JP2002091542A

JP2002091542A - 工程管理装置および工程管理方法

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Publication number: JP2002091542A
Application number: JP2000283323A
Authority: JP
Inventors: Masami Ichikawa; 正見市川; Masatoshi Sasaki; 正俊佐々木; Akio Matsuyama; 章男松山; Haruyuki Shimada; 晴之島田; Hidehiko Sakihama; 秀彦崎浜; Satoshi Nakamura; 中村　　聡; Masaru Watanabe; 大渡邊
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2000-09-19
Filing date: 2000-09-19
Publication date: 2002-03-29

Abstract

(57)【要約】【課題】生産リードタイムを短くすること。【解決手段】複数の装置を含み、複数の連続する工程
に従ってワークを加工する製造ラインを管理する工程管
理装置であって、複数の装置それぞれで実行される少な
くとも１つの工程を複数の装置８ごとに記憶する工程定
義部と、工程定義部は、複数の連続する工程の１部を構
成する少なくとも１つの工程群を記憶し、工程群に含ま
れる工程を実行する装置からの割付要求（ステップＳ
１）に応じて、少なくとも１つの工程群において、ワー
クを連続して処理することが可能か否かを検出する検出
手段（ステップＳ２〜ステップＳ４）と、検出手段によ
り連続処理可能とされた場合にワークを割付けるワーク
割付手段（ステップＳ５）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、工程管理方法に
関し、特に、半導体の製造工程などで代表される複数の
連続する工程に従ってワークを加工する製造ラインを管
理する工程管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造においては、一般に、成膜
工程−フォトリソ工程（レジストのパターン形成）−エ
ッチング工程（レジストパターンの転写）−レジスト剥
離工程一検査工程という一連のバターニングプロセス
（これを１サイクルと呼ぶ）でワークを処理することに
より、ワークに１つのパターンが形成される。このサイ
クルを繰り返し行ない、複数のパターンを形成すること
により半導体回路が完成する。

【０００３】半導体の製造において、各工程の処理を行
なう設備は、トラブルやメンテナンスのために設備が停
止する頻度が多い。また、一旦停止すると、停止する期
間が長いため、他の設備を稼動させるために各工程で仕
掛りを確保しておく必要がある。例えば、フォトリソ工
程に仕掛りがない場合、成膜工程の設備がトラブルで停
止すると、フォトリソ工程に供給するワークがなくな
る。このため、フォトリソ工程を実行する装置で処理す
るワークがなくフォトリソ工程を実行する設備の稼動率
が下がる。その結果、ラインの生産能力が低下してしま
う。ところが、フォトリソ工程に供給するのに十分な数
の仕掛りを持っていれば、たとえ成膜工程の設備が停止
したとしてもフォトリソ工程は仕掛りの中からワークを
選択して処理を続けることができ、設備の稼動率は低下
しない。

【０００４】この複数の仕掛りの中から処理すべきワー
クを選択するルールとしては、ディスバッチルールが用
いられている。これは、例えば、加工時間最小のワーク
を選択、納期までの期間が最も短いワークを選択、優先
度の最も高いワークを選択、仕掛り状態に最初に入った
ワークを選択、段取り替え時間の最小のワークを選択な
どのルールがあり、その工場、工程に適したルールが用
いられている。

【０００５】また、特開平１−１８３３４７号公報に
は、後工程におけるワークの仕掛り量を予め定められて
いる基準値と比較し、前工程の着手順序を決定するワー
ク選択方法が記載されている。このワーク選択方法によ
れば、各工程の仕掛り数をある程度確保できるように、
工程へのワーク投入を行なっているので、設備の稼動率
を向上させることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディスパッチルールだけでは、設備の稼動率を高くする
ことはできるけれども、仕掛りが多いためにワークをラ
インに投入してから完成して排出されるまでにの期間
（生産リードタイム）が長くなってしまう。また、仕掛
りを保管するためのストッカが多く必要になるため、ク
リーンルームの面積や容積を大きくしなければならな
い。さらに、クリーンルームのランニングコストが高く
なしまう。

【０００７】また、特開平１−１８３３４７号公報に記
載の技術は、設備の稼働率を向上させことはできるけれ
ども、工程全体の仕掛り数が多くなるため、生産リード
タイムが長くなってしまうといった問題がある。

【０００８】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたもので、この発明の目的の１つは、生産リード
タイムを短くすることが可能な工程管理装置および工程
管理方法を提供することである。

【０００９】この発明の他の目的は、工程間の仕掛りを
低減することが可能な工程管理システムを提供すること
である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めにこの発明のある局面によれば、工程関し装置は、複
数の装置を含み、複数の連続する工程に従ってワークを
加工する製造ラインを管理する工程管理装置であって、
複数の装置それぞれで実行される少なくとも１つの工程
を複数の装置ごとに記憶する工程記憶部と、工程記憶部
は、複数の連続する工程の１部を構成する少なくとも１
つの工程群を記憶し、工程群に含まれる工程を実行する
装置からの割付要求に応じて、少なくとも１つの工程群
において、ワークを連続して処理することが可能か否か
を検出する検出手段と、検出手段により連続処理可能と
された場合にワークを割付けるワーク割付手段とを備え
る。

【００１１】この発明に従えば、複数の装置それぞれで
実行される少なくとも１つの工程が複数の装置ごとに記
憶され、複数の連続する工程の１部を構成する少なくと
も１つの工程群が記憶され、工程群に含まれる工程を実
行する装置からの割付要求に応じて、少なくとも１つの
工程群において、ワークを連続して処理することが可能
か否かが検出され、連続処理可能とされた場合にワーク
が割付けられる。このため、工程群において連続処理が
可能となるので、生産リードタイムを短くすることが可
能な工程管理装置を提供することができる。また、工程
間の仕掛りを低減することが可能な工程管理装置を提供
することができる。

【００１２】好ましくは、工程管理装置は、複数の装置
の稼動状況を検出する装置状況検出手段をさらに備え、
検出手段は、工程群に含まれる工程を実行する装置の稼
動状況に基づき検出することを特徴とする。

【００１３】この発明に従えば、複数の装置の稼動状況
が検出され、工程群に含まれる工程を実行する装置の稼
動状況に基づき、ワークを連続して処理することが可能
か否かが検出される。このため、稼動していない装置の
仕掛りが増加するのを防止することができる。

【００１４】好ましくは、工程管理装置の検出手段は、
工程群に含まれる工程のうち割付要求をした装置で実行
される工程よりも下流の工程それぞれにおいて、該工程
を実行可能な装置が少なくとも１つ稼動している場合
に、連続処理可を検出することを特徴とする。

【００１５】この発明に従えば、工程群に含まれる工程
のうち割付要求をした装置で実行される工程よりも下流
の工程それぞれにおいて、該工程を実行可能な装置が少
なくとも１つ稼動している場合に、連続処理可が検出さ
れる。このため、工程群の下流の工程の１つでも、その
工程を実行可能な装置がすべて稼動していない場合に、
その工程の仕掛りが増加するのを防止することができ
る。

【００１６】好ましくは、工程管理装置の検出手段は、
工程群に含まれる工程のうち割付要求をした装置で実行
される工程よりも下流の下流工程における仕掛り数に基
づき、ワークを連続して処理することが可能か否かを検
出することを特徴とする。

【００１７】この発明に従えば、工程群に含まれる工程
のうち割付要求をした装置で実行される工程よりも下流
の下流工程における仕掛り数に基づき、ワークを連続し
て処理することが可能か否かが検出される。このため、
工程群の下流の工程における仕掛りが増加するのを防止
することができる。

【００１８】好ましくは、工程管理装置の検出手段は、
下流工程のすべてにおいて、仕掛り数が所定の値以下の
場合に、連続処理可を検出することを特徴とする。

【００１９】この発明に従えば、下流工程のすべてにお
いて、仕掛り数が所定の値以下の場合に、連続処理可が
検出される。このため、工程群における仕掛りが増加す
るのを防止することができる。

【００２０】好ましくは、工程管理装置のワーク割付け
手段は、割付けるべきワークが複数ある場合には、ワー
クに付された優先度に基づきワークを割付け、工程群に
含まれる工程のうち割付要求をした装置で実行される要
求工程よりも下流の下流工程を実行する装置の仕掛り数
に基づき、要求工程の仕掛りワークに付される優先度を
変更する第１優先度変更手段をさらに備える。

【００２１】この発明に従えば、割付けるべきワークが
複数ある場合には、ワークに付された優先度に基づきワ
ークが割付けられ、工程群に含まれる工程のうち割付要
求をした装置で実行される要求工程よりも下流の下流工
程を実行する装置の仕掛り数に基づき、要求工程の仕掛
りワークに付される優先度が変更される。このため、工
程群における仕掛りを増加するのを防止することができ
る。

【００２２】好ましくは、工程管理装置の検出手段は、
工程群に含まれる工程のうち割付要求をした装置で実行
される工程よりも下流の下流工程における仕掛り増減率
に基づき、ワークを連続して処理することが可能か否か
を検出することを特徴とする。

【００２３】この発明に従えば、工程群に含まれる工程
のうち割付要求をした装置で実行される工程よりも下流
の下流工程における仕掛り増減率に基づき、ワークを連
続して処理することが可能か否かが検出される。このた
め、工程群における仕掛りを増加するのを防止すること
ができる。

【００２４】好ましくは、工程管理装置のワーク割付け
手段は、割付けるべきワークが複数ある場合には、ワー
クに付された優先度に基づきワークを割付け、工程群に
含まれる工程のうち割付要求をした装置で実行される要
求工程よりも下流の下流工程を実行する装置の仕掛り数
の増減率に基づき、要求工程の仕掛りワークに付される
優先度を変更する第２優先度変更手段をさらに備える。

【００２５】この発明に従えば、割付けるべきワークが
複数ある場合には、ワークに付された優先度に基づきワ
ークが割付けられ、工程群に含まれる工程のうち割付要
求をした装置で実行される要求工程よりも下流の下流工
程を実行する装置の仕掛り数の増減率に基づき、要求工
程の仕掛りワークに付される優先度が変更される。この
ため、工程群における仕掛りを増加するのを防止するこ
とができる。

【００２６】この発明の他の局面によれば、工程管理方
法は、複数の装置を含み、複数の連続する工程に従って
ワークを加工する製造ラインを管理する工程管理方法で
あって、複数の装置それぞれで実行される少なくとも１
つの工程を複数の装置ごとに記憶するステップと、複数
の連続する工程は、複数の連続する工程の１部を構成す
る少なくとも１つの工程群を含み、工程群に含まれる工
程を実行する装置からの割付要求に応じて、少なくとも
１つの工程群において、ワークを連続して処理すること
が可能か否かを検出するステップと、検出手段により連
続処理可能とされた場合にワークを割付けるステップと
を含む。

【００２７】この発明に従えば、複数の装置それぞれで
実行される少なくとも１つの工程が複数の装置ごとに記
憶され、複数の連続する工程の１部を構成する少なくと
も１つの工程群が記憶され、工程群に含まれる工程を実
行する装置からの割付要求に応じて、少なくとも１つの
工程群において、ワークを連続して処理することが可能
か否かが検出され、連続処理可能とされた場合にワーク
が割付けられる。このため、工程群において連続処理が
可能となるので、生産リードタイムを短くすることが可
能で、工程間の仕掛りを低減することが可能な工程管理
方法を提供することができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態の１つ
における工程管理装置を、図面を参照して説明する。な
お、図中同一符号は、同一または相当する部材を示す。

【００２９】図１は本発明の実施の形態における工程管
理装置の概略構成を示すブロック図である。図１を参照
して、工程管理装置１００は、各工程で次に処理するワ
ークを決定するためのワーク割付部１と、工程ごとに必
要な情報を定義する工程定義部２と、ワーク割付部１で
決定された結果に基づいて装置８等を制御する工程制御
部３と、工程管理部７より受信した装置８の稼動状況を
記憶する装置稼動情報部４と、工程ごとに仕掛り量を記
憶する工程仕掛り情報部５と、工程ごとに仕掛り増減率
情報を記憶する工程仕掛り増減率情報部６と、装置８の
状態を監視する工程管理部７とを含む。

【００３０】工程制御部３と工程管理部７とは、装置８
とネットワークで接続されている。したがって、工程制
御部３および工程管理部７は、装置８と通信することに
より、種々の情報を送受信することができる。

【００３１】工程定義部２は、工程ごとに連続処理の種
類、仕掛り基準値、優先度、仕掛り増加率、仕掛り減少
率を記憶する。ここで工程とは、ワークを加工処理する
ときの処理単位をいい、所定の順序を有する。１つの工
程は、少なくとも１つの装置による加工処理で構成され
る。また、複数の工程で１つの装置が用いられることも
ある。さらに、１つの工程に複数の装置が用いられるこ
ともある。

【００３２】工程管理部７は、装置８の状態を監視す
る。そして、装置８の状態が稼動から停止、または、停
止から稼動に変化したときに、その状態の変化を稼動情
報として装置稼動情報部４に送る。装置稼動情報部４
は、工程管理部７より受信した稼動情報を工程ごとまた
は装置ごとに記憶する。装置稼動情報部４には、装置ご
とに現在の稼動情報が記憶される。

【００３３】また、工程管理部７は、装置８で処理した
ワークの数量を、それぞれの装置８から受信する。そし
て、受信した装置８ごとのワークの処理数から、工程ご
との仕掛り数を管理する。さらに、仕掛り数量に変化の
あった工程の仕掛り数量は、工程仕掛り情報部５に送信
されて工程ごとに記憶される。また、仕掛り数が単位期
間当りに増減した率を表す仕掛り増減率は、工程仕掛り
増減率情報部６に送信されて工程ごとに記憶される。

【００３４】ワーク割付部１は、工程定義部２に記憶さ
れている各工程の定義を用いて、装置稼動情報部４、装
置工程仕掛り情報部５、または、工程仕掛り増減率情報
部６の情報に基づいて、それぞれの装置で次に処理され
るべきワークを決定する。この割付処理については、後
で詳しく説明する。

【００３５】工程制御部３は、各装置８で処理するワー
クが、ワーク割付部１で割り付けられたワークとなるよ
うに、各装置８、および、各装置８にワークを搬送する
搬送ユニットを制御する。制御は、工程制御部３からそ
れぞれの装置８および搬送ユニットに制御コマンドが送
信されることにより行なわれる。

【００３６】次に、本実施の形態における工程管理装置
１００で行なわれる割付処理について説明する。図２
は、本実施の形態における工程管理装置１００で管理さ
れる工程と装置との関係を示す図である。ここでは、半
導体の製造工程を例に説明する。図２を参照して、製造
工程は、第１サイクルと第２サイクルりなり、第１サイ
クルの後に第２サイクルが行なわれる。

【００３７】第１サイクルは、装置Ａ１で成膜処理する
工程Ｘ１と、装置Ｂでフォトリソグラフ処理する工程Ｘ
２と、装置Ｃ１でエッチング処理する工程Ｘ３と、装置
Ｄでレジスト剥離処理する工程Ｘ４と、装置Ｅ１で検査
する工程Ｘ５とを含む。

【００３８】第２サイクルは、装置Ａ２で成膜処理する
工程Ｙ１と、装置Ｂでフォトリソグラフ処理する工程Ｙ
２と、装置Ｃ２でエッチング処理する工程Ｙ３と、装置
Ｄでレジスト剥離処理する工程Ｙ４と、装置Ｅ２で検査
する工程Ｙ５とを含む。

【００３９】半導体の製造工程では、成膜処理、フォト
リソグラフ処理、エッチング処理、レジスト剥離処理、
および、検査からなるサイクルが何回も繰り返される
が、ここでは、簡単のため第１サイクルと第２サイクル
の２回の繰り返しとしている。

【００４０】装置Ｂと装置Ｄとは、装置Ａ１，Ａ２、装
置Ｃ１，Ｃ２、装置Ｅ１，Ｅ２に比べて、処理時間が約
半分となっている。このため、各工程での処理時間が同
じとなるように、工程間で処理時間のバランスがとられ
ている。

【００４１】また、図２中で、工程Ｘ１の仕掛りワーク
をＷＸ１で、工程Ｘ２の仕掛りワークをＷＸ２で、工程
Ｘ３の仕掛りワークをＷＸ３で、工程Ｘ４の仕掛りワー
クをＷＸ４で、工程Ｘ５の仕掛りワークをＷＸ５で表し
ている。同様に、工程Ｙ１の仕掛りワークをＷＹ１で、
工程Ｙ２の仕掛りワークをＷＹ２で、工程Ｙ３の仕掛り
ワークをＷＹ３で、工程Ｙ４の仕掛りワークをＷＹ４
で、工程Ｙ５の仕掛りワークをＷＹ５で表している。

【００４２】本実施の形態における工程管理装置１００
では、図２に示す連続する工程をまとめた連続処理が定
義される。連続処理とは、ワークに対する処理が連続し
て行なわれる工程のまとまりである。連続処理は、すべ
ての工程をまとめたものであってもよい。また、製造工
程を第１サイクルと第２サイクルとに分割して、それぞ
れを連続処理としてもよい。さらに、第１サイクルまた
は第２サイクルを分割してそれぞれのサイクルに複数の
連続処理を含むようにしてもよい。ここでは、第１サイ
クルと第２サイクルとが、それぞれ連続処理連続処理を
構成するものとする。即ち、工程Ｘ１、工程Ｘ２、工程
Ｘ３、工程Ｘ４および工程Ｘ５からなる第１サイクルが
１つの連続処理となり、工程Ｙ１、工程Ｙ２、工程Ｙ
３、工程Ｙ４および工程Ｙ５からなる第２サイクルが１
つの連続処理となる。定義された連続処理は、工程定義
部２に記憶される。

【００４３】図２に示した半導体の製造工程では、各装
置でワークの加工処理が完了すると、次にその装置で処
理するワークが選択されて、選択されたワークがその装
置に搬送される。各装置では、次々に搬送されてくるワ
ークの処理を行なうことで生産が進められる。

【００４４】図３は、本実施の形態における工程管理装
置１００の工程定義部２に記憶される工程定義テーブル
の一例を示す図である。図３を参照して、工程定義テー
ブルは、工程ごとに、連続処理の種類、仕掛り基準値、
優先度繰下値、優先度繰上値、仕掛り増加率の第１上限
値、仕掛り増加率の第２上限値、仕掛り減少率の第１下
限値および仕掛り減少率の第２下限値の項目のデータを
記憶する。

【００４５】連続処理の種類は、その工程が属する連続
処理を示す。本実施の形態においては、第１サイクルと
第２サイクルそれぞれを連続処理に定義したので、第１
サイクルに属する工程の連続処理の種類は「１」とさ
れ、第２サイクルに属する工程の連続処理の種類は
「２」とされる。

【００４６】仕掛り基準値は、工程で仕掛り中のワーク
として保持する基準の量である。本実施の形態において
は、すべての工程で仕掛り基準値を「１０」としてい
る。

【００４７】優先度繰下値は、ワークに付された優先度
を繰り下げするための基準となる値である。優先度繰上
値は、ワークに付された優先度を繰り下げするための基
準となる値である。仕掛り増加率の第１上限値、仕掛り
増加率の第２上限値、仕掛り減少率の第１下限値、およ
び、仕掛り減少率の第２下限値は、仕掛り増加率または
仕掛り減少率を用いて、ワーク割付処理において用いら
れる基準値である。

【００４８】仕掛り増加率第１上限値は、仕掛り増減率
がゼロに近いかを判断する基準値であり、仕掛り増加率
第２上限値は増加傾向であることを判断する基準値であ
る。仕掛り減少率第１下限値は、仕掛り減少率がゼロに
近いかを判断する基準値であり、仕掛り減少率第２上限
値は減少傾向であることを判断する基準値である。

【００４９】次に、各装置に対して次に処理するべきワ
ークを割付ける割付処理について説明する。図４は、本
実施の形態における工程管理装置１００で行なわれる割
付処理の流れを示すフローチャートである。割付処理
は、おもにワーク割付部１で行なわれる。

【００５０】図４を参照して、いずれかの装置から次に
処理するべきワークを割付ける旨の要求があったか否か
が判断される（ステップＳ１）。装置からのワーク割付
けの要求は、工程制御部３で受信される。

【００５１】要求があった場合には、要求をした装置
（以下「要求装置」という）に割付可能なワークを選択
する仕掛りワーク選択処理が行なわれる（ステップＳ
２）。そして、連続処理の下流の工程における仕掛り数
量をチェックする仕掛り数量チェック処理が行なわれる
（ステップＳ３）。仕掛り数量チェック処理では、ワー
クの選択の可否判断とワークの優先度の変更とが行なわ
れる。

【００５２】次のステップＳ４では、連続処理の下流の
工程における仕掛り増減率をチェックする仕掛り増減率
チェック処理が行なわれる。仕掛り増減率チェック処理
では、ワーク選択の可否判断とワークの優先度の変更と
が行なわれる。

【００５３】そして、ステップＳ５において要求装置に
ワークを割付けるワーク割付処理が行なわれる。ステッ
プＳ５で要求装置にワークを割付けできたか否かが判断
され（ステップＳ６）、割付けできた場合には、ステッ
プＳ７に進み、そうでない場合には、ステップＳ８に進
む。ステップＳ８では５分間の待ち状態となり、その
後、ステップＳ２に進む。したがって、ステップＳ２か
らステップＳ６までの処理が、要求装置にワークが割付
けられるまで繰り返されることになる。

【００５４】最後のステップＳ７では、要求装置が次に
処理を行なうべきワークを示すワーク情報を工程制御部
３に送る。工程制御部３は、このワーク情報を要求装置
と図示していない搬送制御部に送信する。搬送制御部で
は、ワーク情報の受信に応じてワークを要求装置に搬送
する。

【００５５】図５は、図４のステップＳ２で行なわれる
仕掛りワーク選択処理の流れを示すフローチャートであ
る。図５を参照して、仕掛りワーク選択処理は、まず、
要求装置で実行可能な工程が属する連続処理の判定が行
なわれる（ステップＳ１１）。要求装置で実行可能な工
程が属する連続処理とは、例えば、要求装置が装置Ｃ１
の場合には、装置Ｃ１が実行可能な工程は、工程Ｘ３の
みである。工程Ｘ３が属する連続処理は、第１サイクル
の工程（工程Ｘ１〜Ｘ５）である。また、要求装置が装
置Ｂの場合には、装置Ｂが実行可能な工程は、工程Ｘ２
と工程Ｙ２の２つである。したがって、要求装置で実行
可能な工程が属する連続処理は、工程Ｘ２が属する第１
サイクルの連続処理（工程Ｘ１〜工程Ｘ５）と、工程Ｙ
２が属する第２サイクルの連続処理（工程Ｙ１〜工程Ｙ
５）とである。

【００５６】このように、要求装置で複数の工程を実行
可能な場合には、実行可能な複数の工程が属するすべて
の連続処理ごとに、以下のステップＳ１２〜ステップＳ
１６までの処理が行なわれる。ステップＳ１１で判定さ
れた連続処理が複数ある場合には、ステップＳ１２〜ス
テップＳ１６までの処理が、連続処理ごとに繰り返し行
なわれる。

【００５７】次のステップＳ１２では、連続処理のうち
要求装置が実行可能な工程の下流工程を実行可能な装置
の稼動情報が読込まれる。要求装置が装置Ｃ１の場合を
例に説明すると、連続処理は、第１サイクルの工程（工
程Ｘ１〜Ｘ５）である。連続処理（工程Ｘ１〜Ｘ５）の
うち、工程Ｘ３の下流の工程は工程Ｘ４およびＸ５とな
る。そして、工程Ｘ４を実行可能な装置Ｄと工程Ｘ５を
実行可能な装置Ｅ１との稼動情報が装置稼動情報部４か
ら読出される。

【００５８】また、要求装置が装置Ｂの場合には、装置
Ｂが実行可能な工程は、工程Ｘ２と工程Ｙ２の２つであ
る。したがって、連続処理は、工程Ｘ２が属する第１サ
イクル（工程Ｘ１〜工程Ｘ５）と、工程Ｙ２が属する第
２サイクル（工程Ｙ１〜工程Ｙ５）となる。連続処理を
第１サイクルの工程とした場合、工程Ｘ２の下流の工程
は工程Ｘ３、工程Ｘ４およびＸ５となる。そして、工程
Ｘ３を実行可能な装置Ｃ１、工程Ｘ４を実行可能な装置
Ｄ、および、工程Ｘ５を実行可能な装置Ｅ１の稼動情報
が装置稼動情報部４から読出される。一方、連続処理を
第２サイクルの工程とした場合、工程Ｙ２の下流は工程
Ｙ３、工程Ｙ４およびＹ５となる。そして、工程Ｙ３を
実行可能な装置Ｃ２、工程Ｙ４を実行可能な装置Ｄ、お
よび、工程Ｙ５を実行可能な装置Ｅ２の稼動情報が装置
稼動情報部４から読出される。

【００５９】次のステップＳ１３では、下流工程のうち
最初の下流工程が選択される。最初の下流工程は、下流
工程に含まれる工程であればいずれでも良い。そして、
選択された下流工程を実行可能な装置が稼動しているか
否かが判断される（ステップＳ１４）。装置稼動情報部
４には、すべての装置について、停止しているか、また
は、稼動しているかの装置の状態が記憶されている。こ
の稼動情報に基づき判断される。ある工程を実行可能な
装置が稼動していれば稼動する装置ありと判断され、停
止していれば稼動する装置なしと判断される。本実施の
形態においては、１つの工程を１つの装置が実行可能な
例を説明しているが、１つの工程を複数の装置で実行可
能な場合には、次のように判断される。ある工程を実行
可能な装置が複数ある場合、複数の装置のうち１台でも
稼動する装置があれば稼動する装置があると判断され、
その工程を実行可能な装置のすべてが稼動していない場
合に稼動する装置がないと判断される。選択された下流
工程で、稼動する装置がないと判断された場合にはステ
ップＳ１５に進み、そうでない場合には、ステップＳ１
８に進む。

【００６０】ステップＳ１５では、次に選択するべき次
の下流工程があるか否かが判断される。選択するべき次
の下流工程がある場合には、ステップＳ１６で次の下流
工程が選択されてステップＳ１４に進み、上述したステ
ップＳ１４の処理が行なわれる。ステップＳ１５で選択
するべき次の下流工程がないと判断された場合、すなわ
ち、下流工程のすべてについてステップＳ１４の処理が
行なわれた場合には、ステップＳ１７に進む。

【００６１】ステップＳ１７では、要求装置に割当てる
べきワークを選択する。ステップＳ１８では、装置へ割
付けるワークが存在しないとしてワーク選択不可とす
る。ワーク選択の結果は、ワーク割付部１のメモリに記
憶される。

【００６２】ここで、図２に示した工程と装置との関係
において、すべての装置のうち装置Ｃ１のみが停止して
いる場合を例に説明する。要求装置が装置Ｂで連続処理
が第１サイクルの場合、装置Ｃ１、装置Ｄおよび装置Ｅ
１の稼動情報がステップＳ１２で読込まれる。ここで、
装置Ｃ１が停止しているので、要求装置である装置Ｂで
仕掛りワークＷＸ２の加工処理をしたとしても仕掛りワ
ークＷＸ３が増加するだけで、工程Ｘ３以降の加工処理
を進めることはできない。この場合には、装置Ｂにワー
クＷＸ２を割付けることはできず、ワークの選択はされ
ない。割付けられないワークＷＸ２は、ワーク割付部１
のメモリに記憶される。このように、装置ＢにワークＷ
Ｘ２が割付けられないので、工程Ｘ３の仕掛かりが増加
するのを防止することができる。

【００６３】一方、要求装置が装置Ｂで連続処理が第２
サイクルの場合、装置Ｃ２、装置Ｄおよび装置Ｅ２の稼
動情報がステップＳ１２で読込まれる。ここで、装置Ｃ
２、装置Ｄおよび装置Ｅ２が停止していないので、装置
Ｂで行なう工程Ｙ２以降の加工処理を仕掛り量を増やす
ことなく続けることができる。この場合には、装置Ｂに
ワークＷＹ２を割付けることができ、装置Ｂに割付ける
べきワークＷＹ２が選択される。装置Ｂと選択されたワ
ークＷＹ２とはワーク割付部１のメモリに記憶される。

【００６４】このように、装置Ｃ１が停止していたとし
ても、装置Ｃ１が実行可能な工程Ｘ２は第１サイクルな
ので、第２サイクルの工程Ｙ２以降の加工処理に影響は
ない。そして、装置ＢにワークＷＹ２を割付けて工程Ｙ
２による加工処理を行なったとしても、ワークＷＸ３が
増加することなく、装置Ｃ２が必要とする仕掛りワーク
ＷＹ３を補充することができる。

【００６５】次のステップＳ１９では、他に処理すべき
連続処理があるか否かが判断され、ある場合にはステッ
プＳ１２に進み、ない場合には仕掛りワーク選択処理を
終了する。

【００６６】図６は、図４のステップＳ３で行なわれる
仕掛り数量チェック処理の流れを示すフローチャートで
ある。図６を参照して、仕掛り数量チェック処理は、ま
ず、要求装置で実行可能な工程が属する連続処理の判定
が行なわれる（ステップＳ２１）。要求装置で実行可能
な工程が属する連続処理とは、例えば、要求装置が装置
Ｂの場合には、装置Ｂが実行可能な工程は、工程Ｘ２と
工程Ｙ２の２つである。したがって、要求装置で実行可
能な工程が属する連続処理は、工程Ｘ２が属する第１サ
イクルの連続処理（工程Ｘ１〜工程Ｘ５）と、工程Ｙ２
が属する第２サイクルの連続処理（工程Ｙ１〜工程Ｙ
５）とである。ステップＳ２１で判定された連続処理が
複数ある場合には、ステップＳ２２〜ステップＳ２９ま
での処理が、連続処理ごとに繰り返し行なわれる。以
下、要求装置を装置Ｂとし、第１サイクルが選択された
場合について説明する。

【００６７】次に、ワーク割付部１により、連続処理の
なかで、要求装置が実行する工程より下流の工程の仕掛
り数が仕掛り基準値と比較される（ステップＳ２２）。
第１サイクルで要求装置Ｂの実行する工程は、工程Ｘ２
である。第１サイクルの中で、工程Ｘ２より下流の工程
は、工程Ｘ３、工程Ｘ４および工程Ｘ５である。工程Ｘ
２の仕掛かりワークＷＸ２、工程Ｘ３の仕掛かりワーク
ＷＸ３、工程Ｘ４の仕掛かりワークＷＸ４、および、工
程Ｘ５の仕掛かりワークＷＸ５それぞれが、仕掛り基準
値と比較される。仕掛り基準値は、工程定義部２に記憶
される工程定義テーブル（図３参照）に示されるように
工程ごとに定義される値である。本実施の形態において
は、仕掛り基準値をすべての工程で同じ値にしている
が、異ならせるようにしてもよい。

【００６８】下流の工程のいずれか１つにおいて、仕掛
り数が仕掛り基準値より小さい場合には、ステップＳ２
３に進み、そうでない場合にはステップＳ２４に進む。
ステップＳ２３では、ワーク選択可とされ、ステップＳ
２４ではワーク選択不可とされる。もし仕掛りワークＷ
Ｘ３が仕掛り基準値より多ければ、仕掛りワークＷＸの
処理を進めても不必要に仕掛りワークＷＸ３を増加させ
るだけある。このため、仕掛りワークＷＸ２は選択不可
と判断される（ステップＳ２４）。この判断結果は、ワ
ーク割付部１に記憶される。以上の例では、簡単のため
装置Ｂで行なわれる工程Ｘ２の次の工程Ｘ３の仕掛りワ
ークＷＸ３が仕掛り基準値より多い場合について説明し
たが、工程Ｘ３の仕掛りワークＷＸ３、工程Ｘ４の仕掛
りワークＷＸ４、工程Ｘ５の仕掛りワークＷＸ５のいず
れかが仕掛り基準値より大きければ、ステップＳ２４に
進み、仕掛りワークＷＸ２が選択不可とされる（ステッ
プＳ２４）。

【００６９】次に、ワーク割付部１により、連続処理の
なかで、要求装置が実行する工程より下流の工程の仕掛
り数が優先度繰下げ値と比較される（ステップＳ２
５）。ここでの下流工程は、要求装置を装置Ｂとする
と、第１サイクルで要求装置Ｂの実行する工程Ｘ２の下
流の下流工程は、工程Ｘ３である。工程Ｘ３の仕掛りワ
ークＷＸ３が、優先度繰下げ値と比較される。工程Ｘ３
の仕掛りワークＷＸ３が、優先度繰下げ値よりも小さい
場合には、ステップＳ２６に進み、そうでない場合には
ステップＳ２６を行なわず、ステップＳ２７に進む。

【００７０】優先度繰下げ値は、工程定義部２に記憶さ
れる工程定義テーブル（図３参照）に示されるように工
程ごとに定義される値である。本実施の形態において
は、優先度繰下げ値をすべての工程で同じ値にしている
が、異ならせるようにしてもよい。

【００７１】ステップＳ２６では、要求装置Ｂが実行可
能な工程Ｘ２の仕掛りワークＷＸ２の優先度が１下げら
れる。この優先度は、ワーク割付部１に記憶される。こ
こで、優先度とは、１〜１０までの１０段階にワークに
付される優先度合いを示し、度合いが小さいほど優先度
が高く、度合いが大きいほど優先度が低い。例えば、仕
掛りワークＷＸ２の優先度に５が設定されているとき
に、優先度が繰下げと判断されると、仕掛りワークＷＸ
２の優先度が「４」に変更される。この優先度は、例え
ば、そのワークが技術検討のためのワークである場合に
は、優先度が低く設定される。また、ワークが製品ロッ
トである場合には、製品の機種により優先度を異ならせ
ることができる。さらに、納期までの期間の短い製品の
ワークは最優先で処理を進める必要があるので、優先度
が最も高く設定される。

【００７２】ステップＳ２７では、ワーク割付部１によ
り、連続処理のなかで、要求装置が実行する工程より下
流の工程の仕掛り数が優先度繰上げ値と比較される。こ
こでの下流工程は、要求装置を装置Ｂとすると、第１サ
イクルで要求装置Ｂの実行する工程Ｘ２の下流の下流工
程は工程Ｘ３である。工程Ｘ３の仕掛りワークＷＸ３
が、優先度繰上げ値と比較される。工程Ｘ３の仕掛りワ
ークＷＸ３が、優先度繰上げ値よりも小さい場合には、
ステップＳ２８に進み、そうでない場合にはステップＳ
２８を行なわず、ステップＳ２９に進む。

【００７３】優先度繰上げ値は、工程定義部２に記憶さ
れる工程定義テーブル（図３参照）に示されるように工
程ごとに定義される値である。本実施の形態において
は、優先度繰上げ値をすべての工程で同じ値にしている
が、異ならせるようにしてもよい。

【００７４】ステップＳ２８では、要求装置Ｂが実行す
る工程Ｘ２の仕掛りワークＷＸ２の優先度が１上げられ
る。このワーク優先度は、ワーク割付部１に記憶され
る。

【００７５】そして、次に処理すべき連続処理があるか
否かが判断され（ステップＳ２９）、処理すべき連続処
理がある場合には、ステップＳ２２に進み、そうでない
場合には処理を終了する。本実施の形態においては、第
１サイクルと第２サイクルと２つの連続処理があるの
で、この２つの連続処理について、上述したステップＳ
２２〜ステップＳ２８までの処理が繰り返し行なわれる
ことになる。

【００７６】このように、仕掛りワークＷＸ３が基準値
より少なければ、装置Ｂとしては、仕掛りワークＷＸ２
を処理することになる。逆に、仕掛りワークＷＸ３が基
準値より多ければ、装置Ｂとしては、仕掛りワークＷＸ
２を処理しない。従って、仕掛りワークＷＸ３を基準値
以上に増加させることなく、装置Ｃ１が必要とする仕掛
りＷＸ３を補充することができる。

【００７７】図７は、図４のステップＳ４で行なわれる
仕掛り増減率チェック処理の流れを示すフローチャート
である。図７を参照して、仕掛り増減率チャック処理
は、まず、要求装置で実行可能な工程が属する連続処理
の判定が行なわれる（ステップＳ２１）。要求装置で実
行可能な工程が属する連続処理とは、例えば、要求装置
が装置Ｂの場合には、装置Ｂが実行可能な工程は、工程
Ｘ２と工程Ｙ２の２つである。したがって、要求装置で
実行可能な工程が属する連続処理は、工程Ｘ２が属する
第１サイクル（工程Ｘ１〜工程Ｘ５）と、工程Ｙ２が属
する第２サイクル（工程Ｙ１〜工程Ｙ５）とである。ス
テップＳ３１で判定された連続処理が複数ある場合に
は、ステップＳ３２〜ステップＳ４２までの処理が、連
続処理ごとに繰り返し行なわれる。以下、要求装置を装
置Ｂとし、第１サイクルが選択された場合について説明
する。

【００７８】次に、ワーク割付部１により、連続処理の
なかで、要求装置が実行する工程より下流の工程の仕掛
り増減率が増加率第２上限と比較される（ステップＳ３
２）。第１サイクルで要求装置Ｂの実行する工程は、工
程Ｘ２である。第１サイクルの中で、工程Ｘ２より下流
の工程は、工程Ｘ３、工程Ｘ４および工程Ｘ５である。
ステップＳ３３では、工程Ｘ２のすぐ下流の工程Ｘ３に
おける仕掛かり増減率ΔＷＸ３が増加率第２上限と比較
される。仕掛り増減率は、例えば一定期間内の仕掛り数
の増減数を用いることができる。増加率第２上限は、工
程定義部２に記憶される工程定義テーブル（図３参照）
に示されるように工程ごとに定義される値である。本実
施の形態においては、増加率第２上限をすべての工程で
同じ値にしているが、異ならせるようにしてもよい。

【００７９】工程Ｘ３における仕掛かり増減率ΔＷＸ３
が増加率第２上限よりも大きい場合には、ステップＳ３
７に進み、そうでない場合にはステップＳ３３に進む。
仕掛り増減率△ＷＸ３が仕掛り増加率第２上限値以上で
あれば、仕掛りワークＷＸ３が急速に増加しているとい
うことであり、工程Ｘ２の仕掛りワークＷＸ２は選択不
可と判断する。この判断結果は、ワーク割付部１に記憶
される。

【００８０】ステップＳ３３では、さらに下流の工程が
あるか否かが判断され、さらに下流の工程がある場合に
はステップＳ３４に進み、そうでない場合にはステップ
Ｓ３６に進む。今、工程Ｘ２に対して工程Ｘ３よりさら
に下流の工程Ｘ４が存在するので、ステップＳ３４に進
む。

【００８１】ステップＳ３４では、下流の工程における
仕掛かり増減率が増加率第１上限よりも小さく、かつ、
減少率第１下限より大きいか否かが判断される。判断の
結果、真の場合にはステップＳ３５に進み、偽の場合に
はステップＳ３６に進む。

【００８２】工程Ｘ３における仕掛り増減率△ＷＸ３が
仕掛り増加率第１上限値より小さく、かつ、仕掛り減少
率第１下限値より大きい場合は、仕掛り増減率ΔＷＸ３
がゼロに近い場合である。この場合には、工程Ｘ３にお
ける仕掛り増減率△ＷＸ３からは、仕掛りワークＷＸ２
を選択可能か否かを判断できないので、さらに下流の工
程Ｘ４の仕掛り増減率で判断するため、ステップＳ３５
に進み、判断処理をさらに下流の工程Ｘ４に移す。

【００８３】工程Ｘ３の工程Ｘ３における仕掛り増減率
△ＷＸ３が仕掛り増加率第１上限値より小さく、かつ、
仕掛り減少率第１下限値より大きい場合は、さらに下流
の工程Ｘ４の仕掛り増減率ΔＷＸ４が仕掛り増加率第２
上限値以上であれば（ステップＳ３２でＹＥＳ）、仕掛
りワークＷＸ３を増加させてもその下流の工程Ｘ４の仕
掛りワークＷＸ４を不必要に増加させるだけである。こ
のため、仕掛りワークＷＸ２にあるワークは選択不可と
判断する（ステップＳ３７）。これにより、仕掛りワー
クＷＸ３の変化に柔軟に対応できるワークの割付けを行
なうことができる。

【００８４】一方、ステップＳ３６では、工程Ｘ２で仕
掛りワークＷＸ２を選択可能とする。この判断結果は、
ワーク割付部１に記憶される。

【００８５】次のステップＳ３８では、工程Ｘ２のすぐ
下流工程Ｘ３における仕掛り増減率ΔＷＸ３が、仕掛り
増加率第２上限よりも大きいか否かが判断される。大き
い場合には、ステップＳ４１に進み、そうでない場合に
はステップＳ３９に進む。

【００８６】装置Ｂが実行可能な工程Ｘ２のすぐ下流の
工程Ｘ３における仕掛り増減率ΔＷＸ３が仕掛り増加率
第２上限値以上であれば、仕掛りワークＷＸ３が急速に
増加しているということであるので、工程Ｘ２における
仕掛りワークＷＸ２の優先度を下げる。

【００８７】そして、要求装置Ｂが実行可能な工程Ｘ２
の下流の工程Ｘ３における仕掛り増減率ΔＷＸ３が、仕
掛り増加率第１上限より小さく、かつ、仕掛り減少率第
１下限より大きいか否かが判断される（ステップＳ３
９）。真の場合には、ステップＳ４０に進み、そうでな
い場合には、ステップＳ４０をスキップしてステップＳ
４２に進む。

【００８８】工程Ｘ３における仕掛り増減率ΔＷＸ３
が、仕掛り増加率第１上限より小さく、かつ、仕掛り減
少率第１下限より大きい場合は、工程Ｘ３における仕掛
り増減率ΔＷＸ３がゼロに近い場合であり、この場合に
は、仕掛りワークＷＸ２のワークの優先度を上げる。こ
のワーク優先度は、ワーク割付部１に記憶される。

【００８９】そして、次に処理すべき連続処理があるか
否かが判断され（ステップＳ４２）、処理すべき連続処
理がある場合には、ステップＳ２２に進み、そうでない
場合には処理を終了する。本実施の形態においては、第
１サイクルと第２サイクルと２つの連続処理があるの
で、この２つの連続処理について、上述したステップＳ
３２〜ステップＳ４１までの処理が繰り返し行なわれる
ことになる。

【００９０】次に、ワーク割付部１により行なわれるワ
ーク割付処理について説明する。ワーク割付処理は、装
置Ｂが実行可能な工程Ｘ２またはＹ２の仕掛りワークＷ
Ｘ１，ＷＹ１の中から、工程Ｘ２または工程Ｙ２毎に定
義されている所定のディスパッチルールに基づいて１つ
のワークを選択し、装置Ｂにワークを割付ける処理であ
る。このディスバッチルールは、例えば、段取り替え時
間を最短にするルール、処理時間を最短にするルール、
納期の早いものを優先するルール、前工程で処理した時
刻の早いものを優先するルールなどがあり、これらのル
ールが組合わされて用いられる。また、ディスパッチル
ールは、工程ごとに定めることができる。

【００９１】本実施の形態においては、優先度の最も高
いワークを選択するルールを第１番目のルールとし、仕
掛り状態に最初に入ったワークを選択するルールを第２
番目のルールとしたディスパッチルールを用いている。
このディスパッチルールを、例えば工程Ｘ１に適用した
場合には、仕掛りワークＷＸ１の中からワークを割り付
けるときに、まず優先度の最も高いワークが選択され
る。そして、優先度の最も高いワークが複数個ある場合
には、第２番目のルールによりワークが選択される。す
なわち、仕掛りＷＸ１に投入された順にワークが選択さ
れる。

【００９２】図８は、図４のステップＳ５で行なわれる
ワーク割付処理の流れを示すフローチャートである。こ
こでは、要求装置を装置Ｂとした場合について説明す
る。図８を参照して、要求装置で実行可能な工程が工程
定義部２より読み出される（ステップＳ５１）。装置Ｂ
で実行可能な工程は、工程Ｘ２と工程Ｙ２である。

【００９３】そして、選択可能な仕掛りワークがピック
アップされる（ステップＳ５２）。選択可能な仕掛りワ
ークとは、上述の仕掛りワーク選択処理、仕掛り数量チ
ェック処理、または、仕掛り増減率チェック処理のいず
れかで、選択不可とされなかった仕掛りワークである。
ステップＳ５１でピックアップされた仕掛りワークのす
べてが、選択不可の場合には、要求装置にワークの割付
けが行なわれない。この場合には、以下の処理を行なわ
ず、ワーク割付処理を終了する。

【００９４】工程Ｘ２の仕掛かりワークＷＸ２と工程Ｙ
２の仕掛かりワークＷＹ２のうち、選択可能な仕掛りワ
ークがピックアップされる。ここでは、仕掛りワークＷ
Ｙ２が選択不可とされ、仕掛りワークＷＸ２が選択可能
とされてピックアップされた場合について説明する。こ
のように、仕掛りワークＷＹ２が選択不可と判断されて
いる場合は、仕掛りワークＷＸ２からのみワークが選択
されることになる。

【００９５】次のステップＳ５３では、ステップＳ５２
でピックアップされた仕掛りワークＷＸ２のうち、優先
度の最も高いワークがピックアップされる。優先度はワ
ーク割付部１に記憶されている。優先度を考慮してワー
クが選択されるので、例えば、装置Ｂにおいて仕掛りワ
ークＷＸ２，ＷＹ２が選択可能であった場合、上述の仕
掛りワーク選択処理、仕掛り数量チェック処理、また
は、仕掛り増減率チェック処理において優先度を変更す
ることにより、連続処理を優先したワーク選択が実現で
きる。例えば、仕掛りワークＷＸ２の優先度が仕掛りワ
ークＷＹ２の優先度よりも高ければ、仕掛りワークＷＸ
２が仕掛りワークＷＹ２よりも優先して選択される。こ
のため、第１サイクルの連続処理のワークが優先して処
理される。

【００９６】そして、ステップＳ５３で優先度の最も高
いワークが複数あった場合には、次のステップＳ５４に
おいて、先の工程Ｘ１での処理完了時刻の最も早いワー
クがピックアップされる。これにより、装置Ｂに割当て
るべき１つのワークがピックアップされる。

【００９７】以上説明したように本実施の形態における
工程管理装置では、第１サイクルと第２サイクルとより
なる連続処理が定義され、それぞれの連続処理において
装置の稼動情報、仕掛り量および仕掛り増減率に基づい
てワークが割付けられる。このため、連続処理における
仕掛り数を最小限に維持しながら生産することができ
る。このため、それぞれの連続処理の処理時間が短くな
り、生産リードタイムが短くなる。また、連続処理内で
仕掛りを保管するストッカを少なくできるので、クリー
ンルームの面積および容積を小さくすることができ、ク
リーンルームのランニングコストを低くすることができ
る。

【００９８】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における工程管理装置の
概略構成を示すブロック図である。

【図２】本実施の形態における工程管理装置で管理さ
れる工程と装置との関係を示す図である。

【図３】本実施の形態における工程管理装置の工程定
義部２に記憶される工程定義テーブルの一例を示す図で
ある。

【図４】本実施の形態における工程管理装置１００で
行なわれる割付処理の流れを示すフローチャートであ
る。

【図５】図４のステップＳ２で行なわれる仕掛りワー
ク選択処理の流れを示すフローチャートである。

【図６】図４のステップＳ３で行なわれる仕掛り数量
チェック処理の流れを示すフローチャートである。

【図７】図４のステップＳ４で行なわれる仕掛り増減
率チェック処理の流れを示すフローチャートである。

【図８】図４のステップＳ５で行なわれるワーク割付
処理の流れを示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ワーク割付部、２工程定義部、３工程制御部、
４装置稼動情報部、５情報部、６増減率情報部、
７工程管理部、８装置、１００工程管理装置。

フロントページの続き (72)発明者松山章男大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者島田晴之大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者崎浜秀彦大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者中村聡大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者渡邊大大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内Ｆターム(参考） 5B049 BB07 CC21 CC27 CC31 EE01 GG04 GG07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の装置を含み、複数の連続する工程
に従ってワークを加工する製造ラインを管理する工程管
理装置であって、前記複数の装置それぞれで実行される少なくとも１つの
工程を前記複数の装置ごとに記憶する工程記憶部と、前記工程記憶部は、前記複数の連続する工程の１部を構
成する少なくとも１つの工程群を記憶し、前記工程群に含まれる工程を実行する装置からの割付要
求に応じて、前記少なくとも１つの工程群において、ワ
ークを連続して処理することが可能か否かを検出する検
出手段と、前記検出手段により連続処理可能とされた場合にワーク
を割付けるワーク割付手段とを備えた、工程管理装置。
【請求項２】前記複数の装置の稼動状況を検出する装
置状況検出手段をさらに備え、前記検出手段は、前記工程群に含まれる工程を実行する
装置の稼動状況に基づき検出することを特徴とする、請
求項１に記載の工程管理装置。
【請求項３】前記検出手段は、前記工程群に含まれる
工程のうち前記割付要求をした装置で実行される工程よ
りも下流の工程それぞれにおいて、該工程を実行可能な
装置が少なくとも１つ稼動している場合に、連続処理可
を検出することを特徴とする、請求項２に記載の工程管
理装置。
【請求項４】前記検出手段は、前記工程群に含まれる
工程のうち前記割付要求をした装置で実行される工程よ
りも下流の下流工程における仕掛り数に基づき、ワーク
を連続して処理することが可能か否かを検出することを
特徴とする、請求項１または２に記載の工程管理装置。
【請求項５】前記検出手段は、前記下流工程のすべて
において、仕掛り数が所定の値以下の場合に、連続処理
可を検出することを特徴とする、請求項４に記載の工程
管理装置。
【請求項６】前記ワーク割付け手段は、割付けるべき
ワークが複数ある場合には、前記ワークに付された優先
度に基づきワークを割付け、前記工程群に含まれる工程のうち前記割付要求をした装
置で実行される要求工程よりも下流の下流工程を実行す
る装置の仕掛り数に基づき、前記要求工程の仕掛りワー
クに付される前記優先度を変更する第１優先度変更手段
をさらに備えた、請求項１に記載の工程管理装置。
【請求項７】前記検出手段は、前記工程群に含まれる
工程のうち前記割付要求をした装置で実行される工程よ
りも下流の下流工程における仕掛り増減率に基づき、ワ
ークを連続して処理することが可能か否かを検出するこ
とを特徴とする、請求項１、２または４に記載の工程管
理装置。
【請求項８】前記ワーク割付け手段は、割付けるべき
ワークが複数ある場合には、前記ワークに付された優先
度に基づきワークを割付け、前記工程群に含まれる工程のうち前記割付要求をした装
置で実行される要求工程よりも下流の下流工程を実行す
る装置の仕掛り数の増減率に基づき、前記要求工程の仕
掛りワークに付される前記優先度を変更する第２優先度
変更手段をさらに備えた、請求項１に記載の工程管理装
置。
【請求項９】複数の装置を含み、複数の連続する工程
に従ってワークを加工する製造ラインを管理する工程管
理方法であって、前記複数の装置それぞれで実行される少なくとも１つの
工程を前記複数の装置ごとに記憶するステップと、前記前記複数の連続する工程は、前記複数の連続する工
程の１部を構成する少なくとも１つの工程群を含み、前記工程群に含まれる工程を実行する装置からの割付要
求に応じて、前記少なくとも１つの工程群において、ワ
ークを連続して処理することが可能か否かを検出するス
テップと、前記検出手段により連続処理可能とされた場合にワーク
を割付けるステップとを含む工程管理方法。