JP2002086086A - 研削・研磨工具の洗浄方法および装置 - Google Patents
研削・研磨工具の洗浄方法および装置Info
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラスやセラミックス製レンズ等の光学素子
の研削・研磨加工に使用する研削・研磨工具をその表面
形状や形状精度を悪化させることなく容易にかつ確実に
洗浄することができる研削・研磨工具の洗浄方法および
装置を提供する。 【解決手段】 水または水溶性の溶剤を希釈した水溶液
等の洗浄液３を収容する洗浄槽２と、洗浄槽２の下部に
付設した超音波発振器４とを備え、洗浄槽２内の洗浄液
３内に研削・研磨加工用の工具２０…を浸し、超音波発
振器４を作動させて工具２０…の工具表面２４…を超音
波洗浄する。これにより、工具２０…の工具表面２４…
に目詰まり等によって付着したスラッジや研磨剤等の異
物のみを剥離除去でき、工具表面２４…を荒らすことな
くその再生を確実にかつ容易に図ることができる。
の研削・研磨加工に使用する研削・研磨工具をその表面
形状や形状精度を悪化させることなく容易にかつ確実に
洗浄することができる研削・研磨工具の洗浄方法および
装置を提供する。 【解決手段】 水または水溶性の溶剤を希釈した水溶液
等の洗浄液３を収容する洗浄槽２と、洗浄槽２の下部に
付設した超音波発振器４とを備え、洗浄槽２内の洗浄液
３内に研削・研磨加工用の工具２０…を浸し、超音波発
振器４を作動させて工具２０…の工具表面２４…を超音
波洗浄する。これにより、工具２０…の工具表面２４…
に目詰まり等によって付着したスラッジや研磨剤等の異
物のみを剥離除去でき、工具表面２４…を荒らすことな
くその再生を確実にかつ容易に図ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子として用
いられるガラス、セラミックス等の高脆材料を球面形状
あるいは平面形状に研削・研磨加工する際に使用する研
削・研磨工具の洗浄方法および装置に関するものであ
る。
いられるガラス、セラミックス等の高脆材料を球面形状
あるいは平面形状に研削・研磨加工する際に使用する研
削・研磨工具の洗浄方法および装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】カメラ、ビデオカメラ等に用いられる球
面レンズ等の光学素子の研削加工や研磨加工は、ガラ
ス、セラミックス等の高脆材料で作られた被加工物を、
凹凸が反転した表面形状を有する研削・研磨工具に押し
つけた状態で、研削・研磨工具を回転させ、かつ、研削
・研磨工具と被加工物の間に相対的な揺動運動を与える
ことによって行われている。
面レンズ等の光学素子の研削加工や研磨加工は、ガラ
ス、セラミックス等の高脆材料で作られた被加工物を、
凹凸が反転した表面形状を有する研削・研磨工具に押し
つけた状態で、研削・研磨工具を回転させ、かつ、研削
・研磨工具と被加工物の間に相対的な揺動運動を与える
ことによって行われている。
【０００３】図４は、ガラスレンズ等の光学素子を研磨
加工する際の一態様を示す概略図であり、特に凹形状の
ガラス製のレンズを研磨加工する態様を示す。図４にお
いて、研磨工具２０は、工具基体２１の工具面にゴム系
またはエポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤２
２を用いて研磨加工用の研磨シート２３を接着して構成
され、この研磨工具２０は、被加工物であるガラス製の
レンズ２５と接する凹凸相反する形状で曲率半径の略一
致する工具表面２４を有している。
加工する際の一態様を示す概略図であり、特に凹形状の
ガラス製のレンズを研磨加工する態様を示す。図４にお
いて、研磨工具２０は、工具基体２１の工具面にゴム系
またはエポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤２
２を用いて研磨加工用の研磨シート２３を接着して構成
され、この研磨工具２０は、被加工物であるガラス製の
レンズ２５と接する凹凸相反する形状で曲率半径の略一
致する工具表面２４を有している。
【０００４】レンズ受け工具２６に受けシート２６ａを
介して保持されたレンズ２５は、その被加工面を曲率半
径の創成された研磨工具２１の工具表面２４に当接さ
せ、レンズ受け工具２６の支持部２６ｂに合致させた支
持棒２７を介して適宜設定された圧力で押圧される。そ
して、研磨液２９をノズル２８から噴出させながら、研
磨工具２０の取り付けられた下軸を矢印ａに示すように
回転させ、かつレンズ２５に支持棒２７を介して矢印ｂ
に示すような適度な揺動運動を与えて、研磨加工が行わ
れる。
介して保持されたレンズ２５は、その被加工面を曲率半
径の創成された研磨工具２１の工具表面２４に当接さ
せ、レンズ受け工具２６の支持部２６ｂに合致させた支
持棒２７を介して適宜設定された圧力で押圧される。そ
して、研磨液２９をノズル２８から噴出させながら、研
磨工具２０の取り付けられた下軸を矢印ａに示すように
回転させ、かつレンズ２５に支持棒２７を介して矢印ｂ
に示すような適度な揺動運動を与えて、研磨加工が行わ
れる。
【０００５】このように研磨加工に使用する研磨工具２
０は、研磨加工に使用する前に、研磨工具２０の工具表
面２４と凹凸相反する形状の合わせ皿と呼ばれる合わせ
工具を用いて擦り合わせによる皿合わせが行われる。合
わせ工具３０は、図５に示すように、粒状のペレット３
３をエポキシ系等の接着剤３２によって工具基体３１に
貼り付けて構成されており、この合わせ工具３０は、加
工するガラスレンズ２５と略一致する同一形状の点Ｏを
中心とする曲率半径ｒからなる合わせ皿表面３４を有し
ており、これは研磨工具２０の工具表面２４とは凹凸相
反する形状で曲率半径は略一致している。皿合わせは、
研磨工具２０の工具表面２４と合わせ工具３０の合わせ
皿表面３４とを当接させ、広く一般的に使用されている
オスカータイプや楕円振りなどと呼ばれる機械によって
行われている。
０は、研磨加工に使用する前に、研磨工具２０の工具表
面２４と凹凸相反する形状の合わせ皿と呼ばれる合わせ
工具を用いて擦り合わせによる皿合わせが行われる。合
わせ工具３０は、図５に示すように、粒状のペレット３
３をエポキシ系等の接着剤３２によって工具基体３１に
貼り付けて構成されており、この合わせ工具３０は、加
工するガラスレンズ２５と略一致する同一形状の点Ｏを
中心とする曲率半径ｒからなる合わせ皿表面３４を有し
ており、これは研磨工具２０の工具表面２４とは凹凸相
反する形状で曲率半径は略一致している。皿合わせは、
研磨工具２０の工具表面２４と合わせ工具３０の合わせ
皿表面３４とを当接させ、広く一般的に使用されている
オスカータイプや楕円振りなどと呼ばれる機械によって
行われている。
【０００６】研磨工具２０によるレンズ２５の研磨加工
においては、複数個のガラスレンズを研磨加工すると、
あるいは所定の時間だけ研磨加工すると、研磨工具２０
の工具表面２４にはスラッジや研磨剤等が目詰まりする
ことによって付着し、研磨力の低下や球面精度の低下と
いった不具合な現象を引き起こすことがあり、結果的に
加工されたレンズの球面精度が低下し、品質欠陥を起こ
す場合が多い。こうした場合には研磨工具２０の工具表
面２４の洗浄を行わなければならない。
においては、複数個のガラスレンズを研磨加工すると、
あるいは所定の時間だけ研磨加工すると、研磨工具２０
の工具表面２４にはスラッジや研磨剤等が目詰まりする
ことによって付着し、研磨力の低下や球面精度の低下と
いった不具合な現象を引き起こすことがあり、結果的に
加工されたレンズの球面精度が低下し、品質欠陥を起こ
す場合が多い。こうした場合には研磨工具２０の工具表
面２４の洗浄を行わなければならない。
【０００７】この研磨工具の洗浄は、通常、図６に図示
するような洗浄方法によって行われている。図６には凹
形状のガラス製レンズを研磨加工する際に使用する凸形
状の研磨工具の場合を例にとって図示する。握り部分４
１の先端部分にＳＵＳ、真鍮あるいはナイロン系の毛先
４２を植設した洗浄用ブラシ４０を用い、洗浄用ブラシ
４０の毛先４２をスラッジや研磨剤等が目詰まりするこ
とによって付着している工具表面２４に当接させ、研磨
工具２０を適度に回転させながら洗浄用ブラシ４０を擦
り動かして洗浄している。
するような洗浄方法によって行われている。図６には凹
形状のガラス製レンズを研磨加工する際に使用する凸形
状の研磨工具の場合を例にとって図示する。握り部分４
１の先端部分にＳＵＳ、真鍮あるいはナイロン系の毛先
４２を植設した洗浄用ブラシ４０を用い、洗浄用ブラシ
４０の毛先４２をスラッジや研磨剤等が目詰まりするこ
とによって付着している工具表面２４に当接させ、研磨
工具２０を適度に回転させながら洗浄用ブラシ４０を擦
り動かして洗浄している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来技術のような洗浄用ブラシを用いた研磨工具の洗浄に
おいては、その洗浄の程度は作業者によってばらつきが
生じ、常に一定の洗浄の程度を得ることが困難であり、
さらに、洗浄用ブラシを用いて洗浄した研磨工具の工具
表面はその曲率半径や形状精度が崩れてしまい、洗浄後
の研磨工具をそのまま再度研磨加工に使用すると、ほと
んどの場合、加工したレンズの球面精度は規格を外れて
しまうことが多い。このために、研磨工具は、工具表面
の洗浄毎に再度図５に図示する合わせ工具を用いて皿合
わせを行わなければならず、光学素子の研削・研磨加工
等の作業効率を向上させることができなかった。
来技術のような洗浄用ブラシを用いた研磨工具の洗浄に
おいては、その洗浄の程度は作業者によってばらつきが
生じ、常に一定の洗浄の程度を得ることが困難であり、
さらに、洗浄用ブラシを用いて洗浄した研磨工具の工具
表面はその曲率半径や形状精度が崩れてしまい、洗浄後
の研磨工具をそのまま再度研磨加工に使用すると、ほと
んどの場合、加工したレンズの球面精度は規格を外れて
しまうことが多い。このために、研磨工具は、工具表面
の洗浄毎に再度図５に図示する合わせ工具を用いて皿合
わせを行わなければならず、光学素子の研削・研磨加工
等の作業効率を向上させることができなかった。
【０００９】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、ガラ
スやセラミックス製レンズ等の光学素子の研削・研磨加
工に使用する研削・研磨工具をその表面形状や形状精度
を悪化させることなく容易にかつ確実に洗浄することが
できる研削・研磨工具の洗浄方法および装置を提供する
ことを目的とするものである。
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、ガラ
スやセラミックス製レンズ等の光学素子の研削・研磨加
工に使用する研削・研磨工具をその表面形状や形状精度
を悪化させることなく容易にかつ確実に洗浄することが
できる研削・研磨工具の洗浄方法および装置を提供する
ことを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研削・研磨工具の洗浄方法は、被加工物を
球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工する際に使
用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研削・研磨
工具の洗浄方法において、超音波発振器を用いて研削・
研磨工具の工具表面を超音波洗浄することを特徴とす
る。
め、本発明の研削・研磨工具の洗浄方法は、被加工物を
球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工する際に使
用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研削・研磨
工具の洗浄方法において、超音波発振器を用いて研削・
研磨工具の工具表面を超音波洗浄することを特徴とす
る。
【００１１】また、本発明の研削・研磨工具の洗浄方法
は、被加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨
加工する際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄
する研削・研磨工具の洗浄方法において、超音波発振器
および低周波振動手段を用いて、超音波振動と低周波振
動を複合した重畳振動により研削・研磨工具の工具表面
を超音波洗浄することを特徴とする。
は、被加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨
加工する際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄
する研削・研磨工具の洗浄方法において、超音波発振器
および低周波振動手段を用いて、超音波振動と低周波振
動を複合した重畳振動により研削・研磨工具の工具表面
を超音波洗浄することを特徴とする。
【００１２】本発明の研削・研磨工具の洗浄方法におい
ては、被加工物の研削・研磨加工に使用された後の研削
・研磨工具、あるいは研削・研磨加工前であって皿合わ
せされた状態の研削・研磨工具を洗浄することが好まし
い。
ては、被加工物の研削・研磨加工に使用された後の研削
・研磨工具、あるいは研削・研磨加工前であって皿合わ
せされた状態の研削・研磨工具を洗浄することが好まし
い。
【００１３】本発明の研削・研磨工具の洗浄方法におい
ては、被加工物がガラスまたはセラミックス製の光学素
子であることが好ましい。
ては、被加工物がガラスまたはセラミックス製の光学素
子であることが好ましい。
【００１４】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置は、被
加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工す
る際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研
削・研磨工具の洗浄装置において、水または水溶性の溶
剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽に付
設した超音波発振器とを備え、前記洗浄槽内の水または
水溶性の溶剤を希釈した水溶液内に研削・研磨工具を浸
し、前記超音波発振器を作動させて研削・研磨工具の工
具表面を超音波洗浄することを特徴とする。
加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工す
る際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研
削・研磨工具の洗浄装置において、水または水溶性の溶
剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽に付
設した超音波発振器とを備え、前記洗浄槽内の水または
水溶性の溶剤を希釈した水溶液内に研削・研磨工具を浸
し、前記超音波発振器を作動させて研削・研磨工具の工
具表面を超音波洗浄することを特徴とする。
【００１５】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置は、被
加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工す
る際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研
削・研磨工具の洗浄装置において、水または水溶性の溶
剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽に付
設した超音波発振器と、研削・研磨工具を保持しうるよ
うに形成された洗浄用カゴに接続できるように設置され
た低周波振動手段とを備え、研削・研磨工具を保持した
前記洗浄用カゴを前記洗浄槽内の水または水溶性の溶剤
を希釈した水溶液内に浸し、前記超音波発振器を作動さ
せるとともに前記低周波振動手段を作動させて、超音波
振動と低周波振動を複合した重畳振動により研削・研磨
工具の工具表面を超音波洗浄することを特徴とする。
加工物を球面形状あるいは平面形状に研削・研磨加工す
る際に使用する研削・研磨工具の工具表面を洗浄する研
削・研磨工具の洗浄装置において、水または水溶性の溶
剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽と、該洗浄槽に付
設した超音波発振器と、研削・研磨工具を保持しうるよ
うに形成された洗浄用カゴに接続できるように設置され
た低周波振動手段とを備え、研削・研磨工具を保持した
前記洗浄用カゴを前記洗浄槽内の水または水溶性の溶剤
を希釈した水溶液内に浸し、前記超音波発振器を作動さ
せるとともに前記低周波振動手段を作動させて、超音波
振動と低周波振動を複合した重畳振動により研削・研磨
工具の工具表面を超音波洗浄することを特徴とする。
【００１６】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置におい
て、前記低周波振動手段は、回転駆動される回転体と該
回転体の中心から偏心した位置に回動可能に設けられた
偏心ピンとを有し、該偏心ピンに前記洗浄用カゴを接続
してあることが好ましい。
て、前記低周波振動手段は、回転駆動される回転体と該
回転体の中心から偏心した位置に回動可能に設けられた
偏心ピンとを有し、該偏心ピンに前記洗浄用カゴを接続
してあることが好ましい。
【００１７】
【作用】本発明によれば、被加工物を球面形状あるいは
平面形状に研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨
工具を、超音波振動あるいは超音波振動と低周波振動の
重畳振動により洗浄することによって、研磨工具の工具
表面に目詰まり等によって付着したスラッジや研磨剤等
の異物のみを剥離除去することができ、工具表面の再生
を確実にかつ容易に図ることができる。
平面形状に研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨
工具を、超音波振動あるいは超音波振動と低周波振動の
重畳振動により洗浄することによって、研磨工具の工具
表面に目詰まり等によって付着したスラッジや研磨剤等
の異物のみを剥離除去することができ、工具表面の再生
を確実にかつ容易に図ることができる。
【００１８】さらに、工具表面は超音波洗浄等によって
荒らされることがなく、表面形状やその曲率半径が損な
われることがないので、洗浄後の研削・研磨工具を用い
て直ちに研削・研磨加工しても合わせ工具による皿合わ
せ直後と同様の被加工物の表面形状や形状精度を得るこ
とができる。
荒らされることがなく、表面形状やその曲率半径が損な
われることがないので、洗浄後の研削・研磨工具を用い
て直ちに研削・研磨加工しても合わせ工具による皿合わ
せ直後と同様の被加工物の表面形状や形状精度を得るこ
とができる。
【００１９】研削・研磨工具の工具表面の再生を容易に
かつ確実に行うことができ、そして洗浄後の皿合わせを
必要としないため、光学素子の研削・研磨加工の作業効
率を向上させることができる。
かつ確実に行うことができ、そして洗浄後の皿合わせを
必要としないため、光学素子の研削・研磨加工の作業効
率を向上させることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００２１】図１は、本発明の研削・研磨工具の洗浄装
置の一実施例を示す概略図であり、図１に図示する洗浄
装置１は、水または水溶性の溶剤等を希釈した水溶液
（以下、洗浄液という）３を収容する洗浄槽２と洗浄槽
２の下部に付設した超音波発振器４とを備え、洗浄槽２
に収容した洗浄液３内に研削・研磨工具（以下、単に研
磨工具という）２０、２０ａを浸し、超音波発振器４を
１〜２分程度作動させて、研磨工具２０、２０ａの工具
表面２４、２４ａを超音波洗浄するように構成されてい
る。
置の一実施例を示す概略図であり、図１に図示する洗浄
装置１は、水または水溶性の溶剤等を希釈した水溶液
（以下、洗浄液という）３を収容する洗浄槽２と洗浄槽
２の下部に付設した超音波発振器４とを備え、洗浄槽２
に収容した洗浄液３内に研削・研磨工具（以下、単に研
磨工具という）２０、２０ａを浸し、超音波発振器４を
１〜２分程度作動させて、研磨工具２０、２０ａの工具
表面２４、２４ａを超音波洗浄するように構成されてい
る。
【００２２】ここで、研磨工具２０は、図２の（ａ）に
図示するように、工具基体２１の工具面にゴム系または
エポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤２２を用
いて研磨加工用の研磨シート２３を接着して構成され、
研磨工具２０は被加工物である凹形状のガラスレンズと
接する凹凸相反する凸形状で曲率半径の略一致する工具
表面２４を有している。また、研磨工具２０ａは、図２
の（ｂ）に図示するように、工具基体２１ａの工具面に
ゴム系またはエポキシ系等の水分によって溶融しない接
着剤２２ａを用いて研磨加工用の研磨シート２３ａを接
着して構成され、研磨工具２０ａは被加工物である凸形
状のガラスレンズと接する凹凸相反する凹形状で曲率半
径の略一致する工具表面２４ａを有している。
図示するように、工具基体２１の工具面にゴム系または
エポキシ系等の水分によって溶融しない接着剤２２を用
いて研磨加工用の研磨シート２３を接着して構成され、
研磨工具２０は被加工物である凹形状のガラスレンズと
接する凹凸相反する凸形状で曲率半径の略一致する工具
表面２４を有している。また、研磨工具２０ａは、図２
の（ｂ）に図示するように、工具基体２１ａの工具面に
ゴム系またはエポキシ系等の水分によって溶融しない接
着剤２２ａを用いて研磨加工用の研磨シート２３ａを接
着して構成され、研磨工具２０ａは被加工物である凸形
状のガラスレンズと接する凹凸相反する凹形状で曲率半
径の略一致する工具表面２４ａを有している。
【００２３】このような研磨工具２０、２０ａは、複数
個のガラス製のレンズの研磨加工によってあるいは所定
時間の研磨加工によって、工具表面２４、２４ａにスラ
ッジや研磨剤等が目詰まりや目つぶれして付着し、研磨
能力や球面精度を低下させ、結果的に加工されたガラス
レンズの球面精度が低下して品質欠陥の原因となる。こ
のように、工具表面２４、２４ａにスラッジや研磨剤等
が付着した研磨工具２０、２０ａを、図１に図示する洗
浄装置１の洗浄槽２に収容した洗浄液３内に浸し、超音
波発振器４を作動させて、１〜２分程度研磨工具２０、
２０ａを超音波洗浄する。すなわち、超音波発振器４の
発生する固有の周波数に応じて洗浄液３中を圧縮と減圧
とを繰り返しながら波が伝わり、圧縮と減圧との変化点
で洗浄液３中の気体分子間に気泡が形成され、この気泡
がはじける時に衝撃エネルギー（キャビテーション）が
発生する。この衝撃エネルギーが洗浄液３中に浸漬され
ている研磨工具２０、２０ａの工具表面２４、２４ａに
作用し、工具表面２４、２４ａからスラッジや研磨剤等
の異物を剥離して除去する。このように研磨工具２０、
２０ａを超音波洗浄することにより、研磨工具２０、２
０ａの工具表面２４、２４ａに付着したスラッジや研磨
剤等の異物のみを剥離除去することができ、工具表面２
４、２４ａの再生を図ることができる。さらに、工具表
面２４、２４ａは、超音波洗浄によって荒らされること
がなく、表面形状やその曲率半径が損なわれることがな
いので、表面形状や曲率半径を合わせ工具による皿合わ
せされた元の状態に維持することができ、洗浄後の研磨
工具を用いて直ちに研磨加工しても合わせ工具による合
わせ直後と同様の被加工物の球面形状や平面形状を得る
ことができる。
個のガラス製のレンズの研磨加工によってあるいは所定
時間の研磨加工によって、工具表面２４、２４ａにスラ
ッジや研磨剤等が目詰まりや目つぶれして付着し、研磨
能力や球面精度を低下させ、結果的に加工されたガラス
レンズの球面精度が低下して品質欠陥の原因となる。こ
のように、工具表面２４、２４ａにスラッジや研磨剤等
が付着した研磨工具２０、２０ａを、図１に図示する洗
浄装置１の洗浄槽２に収容した洗浄液３内に浸し、超音
波発振器４を作動させて、１〜２分程度研磨工具２０、
２０ａを超音波洗浄する。すなわち、超音波発振器４の
発生する固有の周波数に応じて洗浄液３中を圧縮と減圧
とを繰り返しながら波が伝わり、圧縮と減圧との変化点
で洗浄液３中の気体分子間に気泡が形成され、この気泡
がはじける時に衝撃エネルギー（キャビテーション）が
発生する。この衝撃エネルギーが洗浄液３中に浸漬され
ている研磨工具２０、２０ａの工具表面２４、２４ａに
作用し、工具表面２４、２４ａからスラッジや研磨剤等
の異物を剥離して除去する。このように研磨工具２０、
２０ａを超音波洗浄することにより、研磨工具２０、２
０ａの工具表面２４、２４ａに付着したスラッジや研磨
剤等の異物のみを剥離除去することができ、工具表面２
４、２４ａの再生を図ることができる。さらに、工具表
面２４、２４ａは、超音波洗浄によって荒らされること
がなく、表面形状やその曲率半径が損なわれることがな
いので、表面形状や曲率半径を合わせ工具による皿合わ
せされた元の状態に維持することができ、洗浄後の研磨
工具を用いて直ちに研磨加工しても合わせ工具による合
わせ直後と同様の被加工物の球面形状や平面形状を得る
ことができる。
【００２４】次に、本発明の研削・研磨工具の洗浄装置
の他の実施例について図３を用いて説明する。図３は、
本発明の研削・研磨工具の洗浄装置の他の実施例を示す
概略図であり、本実施例の洗浄装置は、前述した実施例
の洗浄装置に低周波振動を与える手段を付加して、超音
波振動と低周波振動を複合した重畳振動により洗浄を行
うように構成するものであって、前述した実施例と同様
の部材には同一符号を付して説明する。
の他の実施例について図３を用いて説明する。図３は、
本発明の研削・研磨工具の洗浄装置の他の実施例を示す
概略図であり、本実施例の洗浄装置は、前述した実施例
の洗浄装置に低周波振動を与える手段を付加して、超音
波振動と低周波振動を複合した重畳振動により洗浄を行
うように構成するものであって、前述した実施例と同様
の部材には同一符号を付して説明する。
【００２５】図３に図示する洗浄装置１１は、水または
水溶性の溶剤等を希釈した水溶液である洗浄液３を収容
する洗浄槽２と、洗浄槽２の下部に付設した超音波発振
器４と、被洗浄物である研磨工具２０、２０ａを保持す
るように形成された網籠等の洗浄用カゴ１５に接続され
て洗浄槽２の上方に設置された低周波振動手段１２とを
備え、低周波振動手段１２は、矢印で示す方向に０．３
Ｈｚ程度で回転駆動される回転体１３とその中心から偏
心した位置に回動可能に設けられた偏心ピン１４とを有
し、この回動可能な偏心ピン１４に洗浄用カゴ１５を接
続してある。
水溶性の溶剤等を希釈した水溶液である洗浄液３を収容
する洗浄槽２と、洗浄槽２の下部に付設した超音波発振
器４と、被洗浄物である研磨工具２０、２０ａを保持す
るように形成された網籠等の洗浄用カゴ１５に接続され
て洗浄槽２の上方に設置された低周波振動手段１２とを
備え、低周波振動手段１２は、矢印で示す方向に０．３
Ｈｚ程度で回転駆動される回転体１３とその中心から偏
心した位置に回動可能に設けられた偏心ピン１４とを有
し、この回動可能な偏心ピン１４に洗浄用カゴ１５を接
続してある。
【００２６】本実施例による研磨工具の洗浄において
は、工具表面２４、２４ａにスラッジや研磨剤等が目詰
まりして付着した研磨工具２０、２０ａを洗浄用カゴ１
５内に載置し、その洗浄用カゴ１５を洗浄槽２に収容さ
れている洗浄液３内に浸し、超音波発振器４を作動させ
るとともに低周波振動手段１２を作動させる。この低周
波振動手段１２の作動により、回転体１３は０．３Ｈｚ
程度で回転駆動し、偏心ピン１４に接続されている洗浄
用カゴ１５に上下横方向に低周波の振動を与える。これ
により、洗浄用カゴ１５に載置され保持されている研磨
工具２０、２０ａは、超音波洗浄されるとともに、超音
波振動と低周波振動の複合した重畳振動により洗浄され
る。このとき、研磨工具２０、２０ａの工具表面２４、
２４ａは振動波長の強弱の部分を均等に通ることとな
り、洗浄効率を向上させることができる。
は、工具表面２４、２４ａにスラッジや研磨剤等が目詰
まりして付着した研磨工具２０、２０ａを洗浄用カゴ１
５内に載置し、その洗浄用カゴ１５を洗浄槽２に収容さ
れている洗浄液３内に浸し、超音波発振器４を作動させ
るとともに低周波振動手段１２を作動させる。この低周
波振動手段１２の作動により、回転体１３は０．３Ｈｚ
程度で回転駆動し、偏心ピン１４に接続されている洗浄
用カゴ１５に上下横方向に低周波の振動を与える。これ
により、洗浄用カゴ１５に載置され保持されている研磨
工具２０、２０ａは、超音波洗浄されるとともに、超音
波振動と低周波振動の複合した重畳振動により洗浄され
る。このとき、研磨工具２０、２０ａの工具表面２４、
２４ａは振動波長の強弱の部分を均等に通ることとな
り、洗浄効率を向上させることができる。
【００２７】本実施例の洗浄装置を用いて実際に研磨工
具の洗浄を行ったところ、超音波振動のみによる前述し
た実施例に対し、３０〜４０％程度の洗浄効率を向上さ
せることができた。
具の洗浄を行ったところ、超音波振動のみによる前述し
た実施例に対し、３０〜４０％程度の洗浄効率を向上さ
せることができた。
【００２８】また、前述した各実施例においては、研削
・研磨加工によってスラッジや研磨剤等が目詰まりや目
つぶれすることによって付着した研磨工具２０、２０ａ
の洗浄について説明したけれども、本発明は、研削・研
磨加工後の研削・研磨工具の洗浄に限らず、新規に研磨
シートを工具面に貼り替えて皿合わせを行った研磨工具
を洗浄する際にも有効である。
・研磨加工によってスラッジや研磨剤等が目詰まりや目
つぶれすることによって付着した研磨工具２０、２０ａ
の洗浄について説明したけれども、本発明は、研削・研
磨加工後の研削・研磨工具の洗浄に限らず、新規に研磨
シートを工具面に貼り替えて皿合わせを行った研磨工具
を洗浄する際にも有効である。
【００２９】新規に研磨シート２３、２３ａを工具面に
貼り替えた研磨工具２０、２０ａ（図２参照）におい
て、研磨加工に使用する前に、工具表面と凹凸相反する
形状の合わせ工具３０（図５参照）によって擦り合わせ
による皿合わせを行った際に、研磨シート２３、２３ａ
の工具表面２４、２４ａには、皿合わせによって削り取
られた研磨シート自体の切り屑が付着または目詰まりし
た状態になっている。そこで、新規に研磨シート２３、
２３ａを工具面に貼って皿合わせを行った研磨工具２
０、２０ａに対して、前述した各実施例における洗浄装
置１、１１により超音波洗浄を行うことで、工具表面２
４、２４ａに付着した皿合わせによる切り屑を除去する
ことができ、洗浄後の研磨工具２０、２０ａをそのまま
研磨加工に使用することが可能となる。
貼り替えた研磨工具２０、２０ａ（図２参照）におい
て、研磨加工に使用する前に、工具表面と凹凸相反する
形状の合わせ工具３０（図５参照）によって擦り合わせ
による皿合わせを行った際に、研磨シート２３、２３ａ
の工具表面２４、２４ａには、皿合わせによって削り取
られた研磨シート自体の切り屑が付着または目詰まりし
た状態になっている。そこで、新規に研磨シート２３、
２３ａを工具面に貼って皿合わせを行った研磨工具２
０、２０ａに対して、前述した各実施例における洗浄装
置１、１１により超音波洗浄を行うことで、工具表面２
４、２４ａに付着した皿合わせによる切り屑を除去する
ことができ、洗浄後の研磨工具２０、２０ａをそのまま
研磨加工に使用することが可能となる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学素子として用いられるガラス、セラミックス等の高
脆材料を球面形状や平面形状に研削・研磨加工する際に
発生するスラッジや研磨剤等によって工具表面が目詰ま
りした際に工具表面の再生を確実にかつ容易に図ること
ができ、従来の工具の洗浄に際して発生していた洗浄の
程度の個人差等の人的要因を排除でき、常に同一にかつ
容易に研削・研磨工具の洗浄を行うことができる。
光学素子として用いられるガラス、セラミックス等の高
脆材料を球面形状や平面形状に研削・研磨加工する際に
発生するスラッジや研磨剤等によって工具表面が目詰ま
りした際に工具表面の再生を確実にかつ容易に図ること
ができ、従来の工具の洗浄に際して発生していた洗浄の
程度の個人差等の人的要因を排除でき、常に同一にかつ
容易に研削・研磨工具の洗浄を行うことができる。
【００３１】また、工具表面を荒らすことなくスラッジ
や研磨剤等を剥離除去する洗浄ができるため、工具表面
の表面形状が損なわれることがなく、洗浄後の研削・研
磨工具を用いて研削・研磨加工しても皿合わせ直後と同
様の被加工物の表面形状や形状精度が得られるといった
効果を有し、光学素子等の研削・研磨加工の作業効率を
向上させることができる。
や研磨剤等を剥離除去する洗浄ができるため、工具表面
の表面形状が損なわれることがなく、洗浄後の研削・研
磨工具を用いて研削・研磨加工しても皿合わせ直後と同
様の被加工物の表面形状や形状精度が得られるといった
効果を有し、光学素子等の研削・研磨加工の作業効率を
向上させることができる。
【図１】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置の一実施例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図２】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置により洗浄
する工具の一例を示し、（ａ）は凸形状の工具表面を有
する研磨工具の概略図であり、（ｂ）は凹形状の工具表
面を有する研磨工具の概略図である。
する工具の一例を示し、（ａ）は凸形状の工具表面を有
する研磨工具の概略図であり、（ｂ）は凹形状の工具表
面を有する研磨工具の概略図である。
【図３】本発明の研削・研磨工具の洗浄装置の他の実施
例を示す概略図である。
例を示す概略図である。
【図４】光学素子を研磨加工する際の一態様を示す概略
図である。
図である。
【図５】研磨工具の皿合わせを行うための合わせ工具の
一例を示す概略図である。
一例を示す概略図である。
【図６】従来の研磨工具の洗浄方法を示す概略図であ
る。
る。
１ 洗浄装置 ２ 洗浄槽 ３ 洗浄液 ４ 超音波発振器 １１ 洗浄装置 １２ 低周波振動手段 １３ 回転体 １４ 偏心ピン １５ 洗浄用カゴ ２０、２０ａ 研磨工具 ２１、２１ａ 工具基体 ２２、２２ａ 接着剤 ２３、２３ａ 研磨シート ２４、２４ａ 工具表面 ２５ レンズ（光学素子） ２６ レンズ受け工具 ２７ 支持棒 ２８ ノズル ２９ 研磨液 ３０ 合わせ工具 ３３ （粒状）ペレット ３４ 合わせ皿表面 ４０ 洗浄用ブラシ ４２ 毛先
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB40 AB45 BB02 BB85 BB92 BB95 CB01 3C047 FF08 FF19 3C049 AA02 AC01 CA02 CA05 CB01
Claims (7)
- 【請求項１】 被加工物を球面形状あるいは平面形状に
研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨工具の工具
表面を洗浄する研削・研磨工具の洗浄方法において、超
音波発振器を用いて研削・研磨工具の工具表面を超音波
洗浄することを特徴とする研削・研磨工具の洗浄方法。 - 【請求項２】 被加工物を球面形状あるいは平面形状に
研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨工具の工具
表面を洗浄する研削・研磨工具の洗浄方法において、超
音波発振器および低周波振動手段を用いて、超音波振動
と低周波振動を複合した重畳振動により研削・研磨工具
の工具表面を超音波洗浄することを特徴とする研削・研
磨工具の洗浄方法。 - 【請求項３】 被加工物の研削・研磨加工に使用された
後の研削・研磨工具、あるいは研削・研磨加工前であっ
て皿合わせされた状態の研削・研磨工具を洗浄すること
を特徴とする請求項１または２記載の研削・研磨工具の
洗浄方法。 - 【請求項４】 被加工物がガラスまたはセラミックス製
の光学素子であることを特徴とする請求項１ないし３の
いずれか１項に記載の研削・研磨工具の洗浄方法。 - 【請求項５】 被加工物を球面形状あるいは平面形状に
研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨工具の工具
表面を洗浄する研削・研磨工具の洗浄装置において、水
または水溶性の溶剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽
と、該洗浄槽に付設した超音波発振器とを備え、前記洗
浄槽内の水または水溶性の溶剤を希釈した水溶液内に研
削・研磨工具を浸し、前記超音波発振器を作動させて研
削・研磨工具の工具表面を超音波洗浄することを特徴と
する研削・研磨工具の洗浄装置。 - 【請求項６】 被加工物を球面形状あるいは平面形状に
研削・研磨加工する際に使用する研削・研磨工具の工具
表面を洗浄する研削・研磨工具の洗浄装置において、水
または水溶性の溶剤を希釈した水溶液を収容する洗浄槽
と、該洗浄槽に付設した超音波発振器と、研削・研磨工
具を保持しうるように形成された洗浄用カゴに接続でき
るように設置された低周波振動手段とを備え、研削・研
磨工具を保持した前記洗浄用カゴを前記洗浄槽内の水ま
たは水溶性の溶剤を希釈した水溶液内に浸し、前記超音
波発振器を作動させるとともに前記低周波振動手段を作
動させて、超音波振動と低周波振動を複合した重畳振動
により研削・研磨工具の工具表面を超音波洗浄すること
を特徴とする研削・研磨工具の洗浄装置。 - 【請求項７】 前記低周波振動手段は、回転駆動される
回転体と該回転体の中心から偏心した位置に回動可能に
設けられた偏心ピンとを有し、該偏心ピンに前記洗浄用
カゴを接続してあることを特徴とする請求項６記載の研
削・研磨工具の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281112A JP2002086086A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 研削・研磨工具の洗浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281112A JP2002086086A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 研削・研磨工具の洗浄方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002086086A true JP2002086086A (ja) | 2002-03-26 |
Family
ID=18765819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000281112A Pending JP2002086086A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 研削・研磨工具の洗浄方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002086086A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108212912A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 辉光放电质谱设备用陶瓷片的清洗方法 |
-
2000
- 2000-09-18 JP JP2000281112A patent/JP2002086086A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108212912A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 辉光放电质谱设备用陶瓷片的清洗方法 |
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