JP2002074638A - Magnetic information recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気情報記録媒体
に関する。更に詳しくは、本発明は、情報を磁気的に記
録及び再生するに際して、記録／再生特性を向上させた
情報記録媒体に関し、情報の記録再生を超高密度で行い
うる情報記録再生媒体を提供するものである。[0001] The present invention relates to a magnetic information recording medium. More specifically, the present invention relates to an information recording medium having improved recording / reproducing characteristics when recording and reproducing information magnetically, and provides an information recording / reproducing medium capable of recording and reproducing information at an ultra high density. Things.
【０００２】[0002]
【従来の技術】膜面に対して垂直方向に磁化容易軸を有
し情報を記録する磁性層（記録層とも言う）と軟磁性層
との積層体からなる磁気情報記録媒体が知られている。
この軟磁性層は、記録層への記録に用いられる磁束を集
中させる役割を有し、記録層単独の場合よりも記録再生
特性が向上することが知られている。軟磁性層を備えた
磁気情報記録媒体は、例えば、特開平６−２８６５２号
公報や特開平１０−２１４７１９号公報に報告されてい
る。具体的には、前者には、軟磁性層と記録層との間に
非磁性中間層を備えた構成が記載されており、非磁性中
間層は、軟磁性層に磁壁が発生することを抑制する役割
を有している。一方、後者には、軟磁性層と記録層とを
備え、軟磁性層に発生する磁壁の移動を抑制する固定層
を備えた構成が記載されている。2. Description of the Related Art There is known a magnetic information recording medium comprising a laminate of a magnetic layer (also referred to as a recording layer) having an easy axis of magnetization perpendicular to a film surface for recording information and a soft magnetic layer. .
This soft magnetic layer has a role of concentrating the magnetic flux used for recording on the recording layer, and it is known that the recording / reproducing characteristics are improved as compared with the case where the recording layer is used alone. Magnetic information recording media having a soft magnetic layer are reported, for example, in JP-A-6-28652 and JP-A-10-214719. Specifically, the former describes a configuration in which a non-magnetic intermediate layer is provided between a soft magnetic layer and a recording layer, and the non-magnetic intermediate layer suppresses generation of domain walls in the soft magnetic layer. Have a role to do. On the other hand, the latter describes a configuration including a soft magnetic layer and a recording layer, and a fixed layer that suppresses movement of a domain wall generated in the soft magnetic layer.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記磁
気情報記録媒体においても、軟磁性層が非常に小さな磁
界で磁化状態が変化することにより、ノイズが生じてい
た。そこで、本発明は、この軟磁性層の磁化揺らぎによ
るノイズの上昇を低減しうる磁気情報記録媒体を提供す
るものである。However, also in the above-mentioned magnetic information recording medium, noise is caused by the soft magnetic layer changing its magnetization state with a very small magnetic field. Accordingly, the present invention provides a magnetic information recording medium capable of reducing an increase in noise due to the fluctuation of magnetization of the soft magnetic layer.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】かくして本発明によれ
ば、膜面に対して垂直方向に磁化容易軸を有し情報を記
録する第１磁性層と、膜面に対して面内方向に磁化容易
軸を有する第２磁性層と、第１磁性層と第２磁性層との
間に形成された非磁性中間層と、膜面に対して垂直方向
又は面内方向に磁化容易軸を有しかつ第２磁性層と交換
結合する第３磁性層とを備え、第３磁性層が、少なくと
も情報を連続して再生する特定の領域において、一方向
に向いた磁化方向を有することを特徴とする磁気情報記
録媒体が提供される。Thus, according to the present invention, there is provided a first magnetic layer having an easy axis of magnetization perpendicular to a film surface for recording information, and a magnetization in an in-plane direction relative to the film surface. A second magnetic layer having an easy axis, a nonmagnetic intermediate layer formed between the first magnetic layer and the second magnetic layer, and an easy axis of magnetization in a direction perpendicular or in-plane to the film surface. And a third magnetic layer exchange-coupled with the second magnetic layer, wherein the third magnetic layer has a magnetization direction in one direction at least in a specific region where information is continuously reproduced. A magnetic information recording medium is provided.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下では、第１磁性層を記録層、
第２磁性層を軟磁性層、第３磁性層を固定層と称して、
本発明を説明する。まず、本発明の磁気情報記録媒体の
構成としては、以下の例が挙げられる。 （１）基板１／固定層２／軟磁性層３／非磁性中間層４
／記録層５（図１（ａ）参照） （２）基板１／軟磁性層３／固定層２／非磁性中間層４
／記録層５（図１（ｂ）参照）DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following, a first magnetic layer is a recording layer,
The second magnetic layer is called a soft magnetic layer, and the third magnetic layer is called a fixed layer.
The present invention will be described. First, examples of the configuration of the magnetic information recording medium of the present invention include the following. (1) Substrate 1 / fixed layer 2 / soft magnetic layer 3 / non-magnetic intermediate layer 4
/ Recording layer 5 (see FIG. 1A) (2) Substrate 1 / Soft magnetic layer 3 / Fixed layer 2 / Non-magnetic intermediate layer 4
/ Recording layer 5 (see FIG. 1B)
【０００６】本発明では、上記のように軟磁性層と固定
層を磁気的に密着させた構成としているので、その間に
交換結合が働く。ゆえに、固定層の磁化により、軟磁性
層は一度特定方向に磁化されると容易にその磁化方向を
変えることがない。ただし、記録する際にヘッドから印
加される磁界に対しては、敏感に反応して記録磁界の磁
束の通りをよくする。しかし、記録後には、凍結された
軟磁性層の磁化は特定方向に向いた固定層の磁化に影響
されて動かない。このために軟磁性層由来のノイズを低
減できる。In the present invention, since the soft magnetic layer and the fixed layer are magnetically adhered as described above, exchange coupling acts between them. Therefore, once the soft magnetic layer is magnetized in a specific direction by the magnetization of the fixed layer, the magnetization direction does not easily change. However, it responds sensitively to the magnetic field applied from the head during recording to improve the flow of the magnetic field of the recording magnetic field. However, after recording, the magnetization of the frozen soft magnetic layer does not move due to the influence of the magnetization of the fixed layer oriented in a specific direction. For this reason, noise derived from the soft magnetic layer can be reduced.
【０００７】固定層は、膜面に対して垂直方向に磁化容
易軸を有する垂直磁性層あるいは面内方向に容易軸を有
する反強磁性層を使用することができる。具体的には、
ＴｂＦｅＣｏのような希土類遷移金属アモルファス合金
やＣｒＭｎのような多結晶合金からなる垂直磁性層、Ｐ
ｄＭｎ、ＰｔＭｎ、ＮｉＭｎ、ＰｄＰｔＭｎ等からなる
反強磁性層が挙げられる。この内、希土類遷移金属アモ
ルファス合金や多結晶合金からなる垂直磁性層が好まし
く、特にＴｂＦｅＣｏが好ましい。As the fixed layer, a perpendicular magnetic layer having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface or an antiferromagnetic layer having an easy axis of in-plane direction can be used. In particular,
A perpendicular magnetic layer made of a rare earth transition metal amorphous alloy such as TbFeCo or a polycrystalline alloy such as CrMn;
Examples include an antiferromagnetic layer made of dMn, PtMn, NiMn, PdPtMn, or the like. Of these, a perpendicular magnetic layer made of a rare earth transition metal amorphous alloy or a polycrystalline alloy is preferable, and TbFeCo is particularly preferable.
【０００８】また、固定層は、軟磁性層由来のノイズを
低減するために保磁力が大きいことが好ましい。具体的
には、保磁力は、５ｋＯｅ以上であることが好ましく、
１０ｋＯｅ以上であることがより好ましい。ここで、固
定層にＴｂＦｅＣｏを使用する場合、Ｔｂの量を１８〜
２７ａｔｏｍ％とすることで、５ｋＯｅ以上の保磁力を
実現することができる。なお、固定層を構成する材料の
組成は、保磁力が無限大となる補償組成であることがよ
り好ましい。It is preferable that the fixed layer has a large coercive force in order to reduce noise derived from the soft magnetic layer. Specifically, the coercive force is preferably 5 kOe or more,
More preferably, it is 10 kOe or more. Here, when TbFeCo is used for the fixed layer, the amount of Tb is 18 to
By setting it to 27 atom%, a coercive force of 5 kOe or more can be realized. Note that the composition of the material forming the fixed layer is more preferably a compensating composition in which the coercive force becomes infinite.
【０００９】更に、固定層の厚さは、この層を構成する
材料の種類によっても相違するが、例えば、ＴｂＦｅＣ
ｏを使用する場合、３０〜６０ｎｍであることが好まし
い。軟磁性層は、膜面に対して面内方向に磁化容易軸を
有する磁性層である。軟磁性層を構成する材料は、特に
限定されず、公知の材料を使用することができる。具体
的には、ＦｅＴａＣ、ＮｉＦｅ等が挙げられる。この
内、ＦｅＴａＣが好ましい。また、軟磁性層の厚さは、
この層を構成する材料の種類によっても相違するが、例
えば、ＦｅＴａＣを使用する場合、２００〜５００ｎｍ
であることが好ましい。Further, the thickness of the fixed layer varies depending on the type of the material constituting the fixed layer.
When o is used, it is preferably 30 to 60 nm. The soft magnetic layer is a magnetic layer having an easy axis of magnetization in an in-plane direction with respect to the film surface. The material constituting the soft magnetic layer is not particularly limited, and a known material can be used. Specifically, FeTaC, NiFe and the like can be mentioned. Of these, FeTaC is preferred. Also, the thickness of the soft magnetic layer is
Although it differs depending on the type of material constituting this layer, for example, when using FeTaC, 200 to 500 nm
It is preferred that
【００１０】記録層は、膜面に対して垂直方向に磁化容
易軸を有する磁性層である。軟磁性層を構成する材料
は、特に限定されず、公知の材料を使用することができ
る。具体的には、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＦｅＣｏ、ＴｂＤ
ｙＦｅＣｏ、ＴｂＧｄＦｅＣｏ、ＤｙＧｄＦｅＣｏ等の
希土類遷移金属アモルファス合金が挙げられる。また、
記録層は、磁気ヘッドで記録するために、保磁力が小さ
いことが好ましい。具体的には、保磁力は、５ｋＯｅ以
下であることが好ましい。ここで、記録層にＴｂＦｅＣ
ｏを使用する場合、Ｔｂの量を１４〜１８ａｔｏｍ％と
することで、５ｋＯｅ以下の保磁力を実現することがで
きる。但し、保磁力は記録層の製造条件によっても変化
するため、Ｔｂの量よりも、保磁力の値を基準とするこ
とが好ましい。[0010] The recording layer is a magnetic layer having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface. The material constituting the soft magnetic layer is not particularly limited, and a known material can be used. Specifically, TbFeCo, GdFeCo, TbD
Rare earth transition metal amorphous alloys such as yFeCo, TbGdFeCo, and DyGdFeCo can be used. Also,
The recording layer preferably has a small coercive force for recording with a magnetic head. Specifically, the coercive force is preferably 5 kOe or less. Here, TbFeC is used for the recording layer.
When o is used, a coercive force of 5 kOe or less can be realized by setting the amount of Tb to 14 to 18 atom%. However, since the coercive force changes depending on the manufacturing conditions of the recording layer, it is preferable to use the value of the coercive force as a reference rather than the amount of Tb.
【００１１】更に、記録層の厚さは、この層を構成する
材料の種類によっても相違するが、例えば、ＴｂＦｅＣ
ｏを使用する場合、１０〜３０ｎｍであることが好まし
い。なお、記録層は２層以上の積層体からなっていても
よい。例えば、ＴｂＦｅＣｏ層とＧｄＦｅＣｏ層の積層
体が挙げられる。より具体的には、ＴｂＦｅＣｏ層（層
厚２０ｎｍ、保磁力５ｋＯｅ（１４０ｅｍｕ／ｃｃ））
とＧｄＦｅＣｏ層（層厚１０ｎｍ、保磁力１００Ｏｅ
（３００ｅｍｕ／ｃｃ））を交換結合させた記録層を使
用することができる。この場合、ＧｄＦｅＣｏ層を記録
再生用磁気ヘッド側に位置させることが好ましい。Further, the thickness of the recording layer differs depending on the type of material constituting the layer.
When o is used, the thickness is preferably 10 to 30 nm. The recording layer may be composed of a laminate of two or more layers. For example, a laminate of a TbFeCo layer and a GdFeCo layer can be given. More specifically, a TbFeCo layer (layer thickness: 20 nm, coercive force: 5 kOe (140 emu / cc))
And a GdFeCo layer (layer thickness 10 nm, coercive force 100 Oe
(300 emu / cc)) can be used. In this case, it is preferable to position the GdFeCo layer on the recording / reproducing magnetic head side.
【００１２】非磁性中間層は、特に限定されず、ＳｉＮ
層のような当該分野で公知の材料からなる層を使用する
ことができる。この層の厚さは、特に限定されないが、
５〜５０ｎｍであることが好ましい。上記固定層、軟磁
性層、非磁性中間層及び記録層は、スパッタ法のような
公知の方法で所定の厚さに形成することができる。The non-magnetic intermediate layer is not particularly limited.
Layers of materials known in the art, such as layers, can be used. The thickness of this layer is not particularly limited,
Preferably it is 5 to 50 nm. The fixed layer, soft magnetic layer, non-magnetic intermediate layer and recording layer can be formed to a predetermined thickness by a known method such as a sputtering method.
【００１３】本発明の磁気情報記録媒体は、通常基板上
に上記各層が形成されている。基板としては、プラスチ
ック基板、シリコン基板等の当該分野で通常使用される
基板をいずれも使用することができる。もちろん、基板
と基板に接する磁性層（固定層又は軟磁性層）の間に
は、Ｃｒ層、ＳｉＮ層、ＳｉＯ2層といった密着層が形
成されていてもよい。また、記録層上にＣ層、ＳｉＮ
層、ＳｉＯ2層、Ｙ−ＳｉＯ2層等の保護層が形成されて
いてもよく、さらには保護層はＣ／ＳｉＮ等の積層体で
あってもよい。The magnetic information recording medium of the present invention usually has the above-mentioned layers formed on a substrate. As the substrate, any substrate commonly used in this field, such as a plastic substrate or a silicon substrate, can be used. Of course, an adhesion layer such as a Cr layer, a SiN layer, or a SiO 2 layer may be formed between the substrate and the magnetic layer (fixed layer or soft magnetic layer) in contact with the substrate. In addition, a C layer, SiN
A protective layer such as a layer, a SiO 2 layer, and a Y-SiO 2 layer may be formed, and the protective layer may be a laminate of C / SiN or the like.
【００１４】本発明の磁気情報記録媒体は、磁気により
情報を記録及び再生する方法であれば、いずれの記録再
生方法にも使用することができる。例えば、情報を室温
で磁気的に記録再生する方法や、情報を光を照射して加
熱しつつ磁気的に記録再生する方法が挙げられる。ま
た、本発明の磁気情報記録媒体は、記録再生方法に適合
した公知の記録再生装置で記録再生することができる。The magnetic information recording medium of the present invention can be used for any recording / reproducing method as long as it records and reproduces information by magnetism. For example, a method of magnetically recording and reproducing information at room temperature, and a method of magnetically recording and reproducing information while irradiating the information with light and heating the same. Further, the magnetic information recording medium of the present invention can be recorded and reproduced by a known recording and reproducing apparatus suitable for a recording and reproducing method.
【００１５】[0015]
【実施例】実施例１ ここでは、垂直磁気異方性を示す希土類遷移金属を主成
分とするアモルファス合金からなる記録層とＦｅＴａＣ
からなる軟磁性層および、室温でＨｃが非常に大きくな
る希土類遷移金属アモルファス合金からなる固定層を用
い、非磁性中間層としては、ＳｉＮ層を用いた。基板に
は通常の２．５インチガラス基板を用いた。磁性層の製
膜は通常のＤＣマグネトロンスパッタ装置を用いた。磁
性層のスパッタにはＡｒガスを用い、ＳｉＮのスパッタ
にはＡｒ＋Ｎ2ガスを用いた。EXAMPLE 1 Here, a recording layer made of an amorphous alloy mainly composed of a rare earth transition metal exhibiting perpendicular magnetic anisotropy and a FeTaC
And a fixed layer made of a rare earth transition metal amorphous alloy whose Hc becomes very large at room temperature. A SiN layer was used as the nonmagnetic intermediate layer. An ordinary 2.5-inch glass substrate was used as the substrate. An ordinary DC magnetron sputtering apparatus was used for forming the magnetic layer. Ar gas was used for sputtering the magnetic layer, and Ar + N 2 gas was used for sputtering SiN.
【００１６】ターゲットとしては以下のものを用いた。
なお、各層を構成する合金層中の元素記号の後の数値は
ａｔｏｍ％を意味する 固定層：Ｔｂ２２Ｆｅ４８Ｃｏ３０ （Ｈｃ＝１５ｋＯｅ 層厚５０ｎｍ Ｍｓ＝１０ｅｍｕ
／ｃｃ） 記録層：Ｔｂ１９Ｆｅ７１Ｃｏ１０ （Ｈｃ＝３．８ｋＯｅ 層厚：２０ｎｍ Ｍｓ＝１５０
ｅｍｕ／ｃｃ） 軟磁性層：Ｆｅ８０Ｔａ１０Ｃ１０ （層厚：４００ｎｍ Ｍｓ＝１２００ｅｍｕ／ｃｃ） 非磁性中間層：ＳｉＮ 上記各層を以下のように積層した。 基板／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｔｂ２２Ｆｅ４８Ｃｏ３０
（５０ｎｍ）／Ｆｅ８０Ｔａ１０Ｃ１０（４００ｎｍ）
／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｔｂ１９Ｆｅ７１Ｃｏ１０（２
０ｎｍ）／ＳｉＮ（８ｎｍ）／Ｃ（２ｎｍ）The following were used as targets.
The numerical value after the element symbol in the alloy layer constituting each layer means atom%. Fixed layer: Tb22Fe48Co30 (Hc = 15 kOe, layer thickness 50 nm, Ms = 10 emu)
/ Cc) Recording layer: Tb19Fe71Co10 (Hc = 3.8 kOe) Layer thickness: 20 nm Ms = 150
emu / cc) Soft magnetic layer: Fe80Ta10C10 (layer thickness: 400 nm Ms = 1200 emu / cc) Nonmagnetic intermediate layer: SiN Each of the above layers was laminated as follows. Substrate / SiN (10 nm) / Tb22Fe48Co30
(50 nm) / Fe80Ta10C10 (400 nm)
/ SiN (10 nm) / Tb19Fe71Co10 (2
0 nm) / SiN (8 nm) / C (2 nm)
【００１７】この磁気情報記録媒体の２７０ｋＦＣＩに
おけるＳＮＲの変化を調べた。ここでは、記録再生ヘッ
ドには、磁気情報記録媒体において、面内記録用に使用
されているマージ型ヘッド（薄膜インダクティブ記録素
子＋ＧＭＲ再生素子）を用いた。記録コア幅は０．６μ
ｍ、再生コア幅は０．５μｍ、再生シールド間隔は０．
１２μｍとした。なお、記録前に媒体を強力な磁石を通
過させて、固定層の磁化を特定方向に揃えておいた。上
記媒体のＳＮＲは２２ｄＢであった。比較のために、固
定層を設けないこと以外は上記と同様の構成の磁気情報
記録媒体を作成し、そのＳＮＲを測定したところ、１９
ｄＢと小さくなっていた。この理由は、再生信号の大き
さには変化はないが、ノイズが約１．５倍になったため
である。The change in SNR of the magnetic information recording medium at 270 kFCI was examined. Here, as the recording / reproducing head, a merge type head (thin film inductive recording element + GMR reproducing element) used for in-plane recording in a magnetic information recording medium was used. Recording core width is 0.6μ
m, the reproducing core width is 0.5 μm, and the reproducing shield interval is 0.5 μm.
It was 12 μm. Before recording, the medium was passed through a strong magnet so that the magnetization of the fixed layer was aligned in a specific direction. The SNR of the medium was 22 dB. For comparison, a magnetic information recording medium having the same configuration as above except that no fixed layer was provided was prepared, and its SNR was measured.
It had been reduced to dB. The reason for this is that the magnitude of the reproduced signal does not change, but the noise is increased about 1.5 times.
【００１８】実施例２ 次に固定層の位置を変えた媒体のＳＮＲを測定した。 基板／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｆｅ８０Ｔａ１０Ｃ１０
（４００ｎｍ）／Ｔｂ２２Ｆｅ４８ｃｏ８０（５０ｎ
ｍ）／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｔｂ１９Ｆｅ７１Ｃｏ１０
（２０ｎｍ）／ＳｉＮ（８ｎｍ）／Ｃ（２ｎｍ） 磁気特性や製膜条件は実施例１と同一とした。この場
合、固定層のＭｓが小さいことから、記録層と固定層の
静磁気的なカップリングが小さく、記録と再生の両方と
もに悪影響を与えることはない。また、実施例１と同様
な測定をしたところ、ＳＮＲ＝２２．３ｄＢという良好
な値を示した。Example 2 Next, the SNR of the medium in which the position of the fixed layer was changed was measured. Substrate / SiN (10 nm) / Fe80Ta10C10
(400 nm) / Tb22Fe48co80 (50 n
m) / SiN (10 nm) / Tb19Fe71Co10
(20 nm) / SiN (8 nm) / C (2 nm) The magnetic properties and film forming conditions were the same as in Example 1. In this case, since Ms of the fixed layer is small, the magnetostatic coupling between the recording layer and the fixed layer is small, and there is no adverse effect on both recording and reproduction. The same measurement as in Example 1 showed a good value of SNR = 22.3 dB.
【００１９】実施例３ 次に、固定層の組成を変えることで保磁力を変化させた
場合のＳＮＲを実施例１と同様に測定した。希土類遷移
金属アモルファス合金層は組成を変えれば様々な保磁力
を得られるので、保磁力に対するＳＮＲを示す。 固定層Ｈｃ（ｋＯｅ） 5 10 13 15 20 25 ＳＮＲ（ｄＢ） 21.4 21.6 21.8 22 22.4 22.4 このように固定層のＨｃを大きくすることでＳＮＲを高
めることが可能であることが分かった。また、Ｈｃが１
０ｋＯｅ以上であれば、よりよいＳＮＲが得られること
が分かった。Example 3 Next, the SNR when the coercive force was changed by changing the composition of the fixed layer was measured in the same manner as in Example 1. Since various coercive forces can be obtained by changing the composition of the rare earth transition metal amorphous alloy layer, the SNR with respect to the coercive force is shown. Fixed layer Hc (kOe) 5 10 13 15 20 25 SNR (dB) 21.4 21.6 21.8 22 22.4 22.4 It was found that the SNR can be increased by increasing the Hc of the fixed layer. Also, Hc is 1
It has been found that a better SNR can be obtained if 0 kOe or more.
【００２０】実施例４ ここでは、固定層として多結晶性のＣｒ６０Ｍｎ４０を
用いた。製膜は特に加熱することなく行った。この固定
層を使用することで、その上に形成される層の配向性を
向上させることができた。 基板／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｃｒ５０Ｍｏ５０（１０ｎ
ｍ）／Ｃｒ６０Ｍｎ４０（４０ｎｍ）／Ｆｅ８０Ｔａ１
０Ｃ１０（４００ｎｍ）／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｔｂ２
２Ｆｅ４８Ｃｏ３０（２０ｎｍ）／ＳｉＮ（８ｎｍ）／
Ｃ（２ｎｍ） この媒体のＳＮＲを実施例１と同様な方法で測定したと
ころ、ＳＮＲ＝２２．１ｄＢとなり、固定層に垂直磁化
層を用いた場合と同様な効果が得られることが分かっ
た。Embodiment 4 Here, polycrystalline Cr60Mn40 was used as the fixed layer. The film was formed without heating. By using this fixed layer, the orientation of the layer formed thereon could be improved. Substrate / SiN (10 nm) / Cr50Mo50 (10n
m) / Cr60Mn40 (40 nm) / Fe80Ta1
0C10 (400 nm) / SiN (10 nm) / Tb2
2Fe48Co30 (20 nm) / SiN (8 nm) /
C (2 nm) The SNR of this medium was measured by the same method as in Example 1. As a result, SNR was 22.1 dB, and it was found that the same effect as when the perpendicular magnetization layer was used as the fixed layer was obtained.
【００２１】実施例５ ここでは、垂直磁気異方性を示す希土類遷移金属を主成
分とするアモルファス合金からなる記録層と、ＦｅＴａ
Ｃからなる軟磁性層と、室温でＨｃが大きくなる希土類
遷移金属アモルファス合金からなる固定層を用い、非磁
性中間層を用いない場合を調べた。基板には通常の２．
５インチガラス基板を用いた。磁性層の製膜は通常のＤ
Ｃマグネトロンスパッタ装置を用いた。磁性層のスパッ
タにはＡｒガスを用い、ＳｉＮのスパッタにはＡｒ＋Ｎ
2ガスを用いた。ターゲットとしては以下のものを用い
た。 固定層：Ｔｂ２２Ｆｅ４８Ｃｏ３０ （Ｈｃ＝１５ｋＯｅ 層厚５０ｎｍ Ｍｓ＝１０ｅｍｕ
／ｃｃ） 記録層：Ｔｂ１９Ｆｅ７１Ｃｏ１０ （Ｈｃ＝３．８ｋＯｅ 層厚：２０ｎｍ Ｍｓ＝１５０
ｅｍｕ／ｃｃ） 軟磁性層：Ｆｅ８０Ｔａ１０Ｃ１０ （層厚：４００ｎｍ Ｍｓ＝１２００ｅｍｕ／ｃｃ） 上記各層を以下のように積層した。 基板／ＳｉＮ（１０ｎｍ）／Ｔｂ２２Ｆｅ４８Ｃｏ３０
（５０ｎｍ）／Ｆｅ８０Ｔａ１０Ｃ１０（４００ｎｍ）
／Ｔｂ１９Ｆｅ７１Ｃｏ１０（２０ｎｍ）／ＳｉＮ（８
ｎｍ）／Ｃ（２ｎｍ） この磁気情報記録媒体の２７０ｋＦＣＩにおけるＳＮＲ
の変化を調べた。Example 5 Here, a recording layer made of an amorphous alloy mainly composed of a rare earth transition metal exhibiting perpendicular magnetic anisotropy,
A case was examined in which a soft magnetic layer made of C and a fixed layer made of a rare earth transition metal amorphous alloy whose Hc increased at room temperature were used, and a nonmagnetic intermediate layer was not used. The substrate has the usual 2.
A 5-inch glass substrate was used. The formation of the magnetic layer is carried out by the usual
A C magnetron sputtering device was used. Ar gas is used for sputtering of the magnetic layer, and Ar + N is used for sputtering of SiN.
Two gases were used. The following were used as targets. Fixed layer: Tb22Fe48Co30 (Hc = 15 kOe, layer thickness 50 nm, Ms = 10 emu)
/ Cc) Recording layer: Tb19Fe71Co10 (Hc = 3.8 kOe) Layer thickness: 20 nm Ms = 150
emu / cc) Soft magnetic layer: Fe80Ta10C10 (layer thickness: 400 nm Ms = 1200 emu / cc) The above layers were laminated as follows. Substrate / SiN (10 nm) / Tb22Fe48Co30
(50 nm) / Fe80Ta10C10 (400 nm)
/ Tb19Fe71Co10 (20 nm) / SiN (8
nm) / C (2 nm) SNR of this magnetic information recording medium at 270 kFCI
Was examined for changes.
【００２２】ここでは、記録再生ヘッドには、磁気情報
記録媒体において、面内記録用に使用されているマージ
型ヘッド（薄膜インダクティブ記録素子＋ＧＭＲ再生素
子）を用いた。記録コア幅は０．６μｍ、再生コア幅は
０．５μｍ、再生シールド間隔は０．１２μｍとした。
上記媒体のＳＮＲは１７ｄＢであった。Here, as the recording / reproducing head, a merge type head (thin-film inductive recording element + GMR reproducing element) used for in-plane recording in a magnetic information recording medium was used. The recording core width was 0.6 μm, the reproducing core width was 0.5 μm, and the reproducing shield interval was 0.12 μm.
The SNR of the medium was 17 dB.
【００２３】また、固定層の層厚を変化させること以外
は、上記と同様の構成の磁気情報記録媒体を作成し、そ
のＳＮＲを測定した。 固定層の層厚（ｎｍ） 0 5 10 15 20 30 40 80 ＳＮＲ（ｄＢ） 17 17.5 22 22.5 23.1 23.3 23.3 23.2 更に、比較のために、固定層を設けないこと以外は上記
と同様の構成の磁気情報記録媒体を作成し、そのＳＮＲ
を測定したところ、１５ｄＢであった。以上から、非磁
性中間層と固定層の両方を備えることが重要であること
がわかった。Further, a magnetic information recording medium having the same configuration as that described above except that the thickness of the fixed layer was changed was prepared, and its SNR was measured. Layer thickness of fixed layer (nm) 0 5 10 15 20 30 40 80 SNR (dB) 17 17.5 22 22.5 23.1 23.3 23.3 23.2 For comparison, a magnet having the same configuration as above except that no fixed layer is provided. Create an information recording medium and use its SNR
Was 15 dB. From the above, it was found that it was important to provide both the nonmagnetic intermediate layer and the fixed layer.
【００２４】[0024]
【発明の効果】本発明により、軟磁性層を備えた磁気情
報記録媒体において、軟磁性層由来のノイズの低減が可
能となり高ＳＮＲを実現できるので、超高密度記録が可
能となる。According to the present invention, in a magnetic information recording medium having a soft magnetic layer, noise derived from the soft magnetic layer can be reduced and a high SNR can be realized, so that ultra-high density recording can be performed.
【図１】本発明の磁気情報記録媒体の概略構成図であ
る。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a magnetic information recording medium of the present invention.
１ 基板 ２ 固定層 ３ 軟磁性層 ４ 非磁性中間層 ５ 記録層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Fixed layer 3 Soft magnetic layer 4 Nonmagnetic intermediate layer 5 Recording layer
Claims (3)
し情報を記録する第１磁性層と、膜面に対して面内方向
に磁化容易軸を有する第２磁性層と、第１磁性層と第２
磁性層との間に形成された非磁性中間層と、膜面に対し
て垂直方向又は面内方向に磁化容易軸を有しかつ第２磁
性層と交換結合する第３磁性層とを備え、第３磁性層
が、少なくとも情報を連続して再生する特定の領域にお
いて、一方向に向いた磁化方向を有することを特徴とす
る磁気情報記録媒体。A first magnetic layer having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to a film surface and recording information; a second magnetic layer having an easy axis of magnetization in an in-plane direction with respect to the film surface; 1st magnetic layer and 2nd
A nonmagnetic intermediate layer formed between the magnetic layer and a third magnetic layer having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular or in-plane to the film surface and exchange-coupled to the second magnetic layer; A magnetic information recording medium characterized in that the third magnetic layer has a magnetization direction oriented in one direction at least in a specific area where information is continuously reproduced.
層との間に位置する請求項１に記載の磁気情報記録媒
体。2. The magnetic information recording medium according to claim 1, wherein the second magnetic layer is located between the third magnetic layer and the non-magnetic intermediate layer.
ァス合金層からなる請求項１又は２に記載の磁気情報記
録媒体。3. The magnetic information recording medium according to claim 1, wherein the third magnetic layer comprises a rare earth transition metal amorphous alloy layer.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP (1) | JP2002074638A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007299453A (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Fujitsu Ltd | Magnetic recording medium, its manufacturing method, and magnetic recording device |
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- 2000-08-24 JP JP2000254045A patent/JP2002074638A/en active Pending
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| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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