JP2002067337A - Ink jet head and method for manufacturing the same - Google Patents

Ink jet head and method for manufacturing the same

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JP2002067337A
JP2002067337A JP2000259044A JP2000259044A JP2002067337A JP 2002067337 A JP2002067337 A JP 2002067337A JP 2000259044 A JP2000259044 A JP 2000259044A JP 2000259044 A JP2000259044 A JP 2000259044A JP 2002067337 A JP2002067337 A JP 2002067337A
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actuator
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electrodes
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Michio Umezawa
道夫 梅沢
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株式会社リコー
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14411Groove in the nozzle plate

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To join an actuator electrode to FPC electrodes by heating in a state they are aligned with high accuracy when an ink jet head of drop-on-demand type is to be manufactured. SOLUTION: As to a method for arranging in parallel a plurality of FPC electrodes (electrode pattern) 10b on a base film 11 of an FPC 10 and joining by heating the FPC electrodes to the actuator electrode 51b corresponds to them, an expansion cumulation of the base film in heating and joining is divided by forming openings 22 on both sides of the FPC electrodes of the base film (an expansion of the base film is absorbed by the openings 22) and they are joined with high accuracy. Preferably the openings 22 have a length longer than a width of a joining regions (heating regions) R3 and the width of the joining regions R3 may be set within the length of the openings.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録を必要とする
時にのみインク液滴を形成・吐出し、所望の記録体にイ
ンク記録を行うドロップ・オン・デマンド型インクジェ
ット記録装置のインクジェットヘッド(記録ヘッド)及
びその製造方法に関し、特に、静電気力を利用してイン
クの吐出を行う静電型インクジェットヘッド及びその製
造方法に関するものである。本発明の応用分野としては
複写機、ファクシミリ、プリンタ等の画像形成装置の記
録ヘッドが挙げられる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink-jet head (recording) for a drop-on-demand type ink-jet recording apparatus which forms and discharges ink droplets only when recording is required and performs ink recording on a desired recording medium. More particularly, the present invention relates to an electrostatic inkjet head for discharging ink using electrostatic force and a method for manufacturing the same. An application field of the present invention is a recording head of an image forming apparatus such as a copying machine, a facsimile, and a printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録装置は、現像・定着
などのプロセスを必要とせず、非接触で記録ができるた
め、記録時の騒音が極めて小さいこと、高速印字が可能
であること、インクの自由度が高く安価な普通紙を使用
できることなど、多くの利点を有している。この中で
も、記録の必要な時にのみインク液滴を吐出する、いわ
ゆるドロップ・オン・デマンド型のものが、記録に不要
なインク液滴の回収を必要としないため、メインテナン
スが容易で装置構成が小型ですみ安価となるので、現在
注目されている。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus does not require processes such as development and fixing, and can perform non-contact recording, so that noise during recording is extremely low, high-speed printing is possible, and ink flexibility is high. It has many advantages, such as being able to use inexpensive plain paper. Among them, the so-called drop-on-demand type, which ejects ink droplets only when recording is necessary, does not require collection of ink droplets unnecessary for recording, so maintenance is easy and the device configuration is small. Because it is cheaper, it is currently attracting attention.

【0003】インクジェット記録装置を構成するインク
ジェットヘッドは、複数のノズル孔を形成したノズルプ
レートと、ノズル孔が連通する加圧液室(インク液室)
と、アクチュエータ(駆動手段)とを備えており、この
アクチュエータにより加圧液室内のインクを加圧するこ
とによって、前記ノズル孔からインク滴を吐出させるも
のである。
An ink jet head constituting an ink jet recording apparatus has a nozzle plate in which a plurality of nozzle holes are formed, and a pressurized liquid chamber (ink liquid chamber) in which the nozzle holes communicate.
And an actuator (driving means). The actuator pressurizes the ink in the pressurized liquid chamber to discharge ink droplets from the nozzle holes.

【0004】このドロップ・オン・デマンド型のインク
ジェットヘッドとしては、静電アクチュエータを設け、
静電気力によりこの静電アクチュエータを駆動して振動
板を振動させることによってインクの吐出を行うものが
知られている。静電アクチュエータを用いるこの方式に
は、小型高密度・高印字品質・長寿命という利点があ
る。
The drop-on-demand type ink jet head is provided with an electrostatic actuator,
There is known a device which discharges ink by driving the electrostatic actuator by an electrostatic force to vibrate a diaphragm. This method using an electrostatic actuator has advantages of small size, high density, high printing quality, and long life.

【0005】ところで、ファクシミリ等の画像記録装置
を構成するためにFPC(フレキシブルプリントケーブ
ル。これはフレキシブル印刷配線板または、フレキシブ
ルプリント板とも呼ばれる)を用いたサーマルヘッドに
係る技術が、特開平8−230224号公報や特開平9
−183245号公報に提案されている。
A technique relating to a thermal head using an FPC (flexible printed cable, also called a flexible printed wiring board or a flexible printed board) for forming an image recording apparatus such as a facsimile is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. H08-0849. JP 230224 and JP-A-9
No. 183245.

【0006】前者の特開平8−230224号公報に
は、ヘッド基板の導体層とFPCの配線との接続を確実
かつ強固にし、信頼性の高いサーマルヘッドを提供する
ことを目的とする接合方法および、この接合方法による
サーマルヘッドが開示されている。すなわち、上記接合
方法は、導体層と配線とを接合する半田の周囲に樹脂接
着剤を充填することを骨子とする、サーマルヘッドのF
PC配線板の接合方法である。また、上記サーマルヘッ
ドは、複数個の発熱素子及び該発熱素子に電気的に接続
される複数個の導体層を有するヘッド基板と、複数個の
配線を有するFPCとからなり、前記ヘッド基板の各導
体層にFPCの各配線を半田を介して接合したサーマル
ヘッドにおいて、前記ヘッド基板とFPCとの間に、前
記導体層と配線とを接合させる半田を取り囲むようにし
て樹脂接着材が充填されていることを特徴とするもので
ある。
The former JP-A-8-230224 discloses a bonding method and a connecting method which aims to provide a reliable thermal head by reliably and firmly connecting a conductor layer of a head substrate and a wiring of an FPC. A thermal head according to this joining method is disclosed. That is, the above-mentioned joining method is based on filling the resin adhesive around the solder for joining the conductor layer and the wiring.
This is a method for joining a PC wiring board. The thermal head includes a head substrate having a plurality of heating elements and a plurality of conductor layers electrically connected to the heating elements, and an FPC having a plurality of wirings. In a thermal head in which each wiring of an FPC is joined to a conductor layer via solder, a resin adhesive is filled between the head substrate and the FPC so as to surround the solder for joining the conductor layer and the wiring. It is characterized by having.

【0007】後者の特開平9−183245号公報に
は、サーマルヘッドのFPC接合部を封止する樹脂封止
材料および、これを用いたサーマルヘッドの製造方法が
開示されている。このサーマルヘッド製造方法は、複数
個の発熱素子及び該発熱素子に電気的に接続される複数
個の導体層を有するヘッド基板と、複数個の配線を有す
るFPCとからなり、前記ヘッド基板の各導体層にFP
Cの各配線を半田を介して接合したサーマルヘッドを製
造する方法であって、前記ヘッド基板とFPCとの間
に、前記導体層と配線とを接合させる半田を取り囲むよ
うにして所定の樹脂封止剤を充填する工程と、前記樹脂
封止剤を加熱してこれを熱硬化させる工程とを含むこと
を特徴とするサーマルヘッドの製造方法である。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-183245 discloses a resin sealing material for sealing an FPC joint of a thermal head and a method for manufacturing a thermal head using the same. The method of manufacturing a thermal head includes a head substrate having a plurality of heating elements and a plurality of conductor layers electrically connected to the heating elements, and an FPC having a plurality of wirings. FP for conductor layer
C. A method of manufacturing a thermal head in which each wiring of C is joined via solder, wherein a predetermined resin sealing is provided between the head substrate and the FPC so as to surround the solder for joining the conductor layer and the wiring. A method for manufacturing a thermal head, comprising: a step of filling a stopper; and a step of heating and thermally curing the resin sealing agent.

【0008】また、特開平7−52491号公報には、
記録ヘッドを搭載したキャリッジを移動させて記録を行
う、いわゆるシリアル型の記録装置であって、磁気式リ
ニアエンコーダによりキャリッジの位置を検出する記録
装置が開示されている。またこの特許公報には、磁気ヘ
ッドを構成する磁気抵抗効果素子(MR素子)の検出結
果を出力するためのFPCの導体部を電極上に半田付け
する構造が記載されている。この半田付け構造では、電
極上に下半田を施し、その上に半田層を形成し、前記導
体部を半田付けしている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-52491 discloses that
A so-called serial type recording apparatus that performs recording by moving a carriage on which a recording head is mounted and that detects the position of the carriage by a magnetic linear encoder is disclosed. Further, this patent publication describes a structure in which a conductor of an FPC for outputting a detection result of a magnetoresistive element (MR element) constituting a magnetic head is soldered on an electrode. In this soldering structure, a lower solder is applied on an electrode, a solder layer is formed thereon, and the conductor is soldered.

【0009】ところで、ドロップ・オン・デマンド型の
インクジェットヘッドは、加圧液室の一側に振動板を設
け、アクチュエータの駆動により振動板を振動させて加
圧液室内のインク液をノズルから吐出させるような構成
となっている。また、このインクジェットヘッドとして
は、アクチュエータの電極部をFPCの電極部とを接合
し、FPCを介して印加する電圧によりアクチュエータ
を駆動させるものが広く知られている。
In a drop-on-demand type ink jet head, a vibrating plate is provided on one side of a pressurized liquid chamber, and the vibrating plate is vibrated by driving an actuator to discharge ink liquid in the pressurized liquid chamber from a nozzle. It is configured to make it. Further, as this ink jet head, a type in which an electrode portion of an actuator is joined to an electrode portion of an FPC and the actuator is driven by a voltage applied via the FPC is widely known.

【0010】しかしながら、アクチュエータ電極部とF
PC電極部との接合では、両電極の位置合わせを適正に
行わないと導通不良を起こし、その結果ヘッドが正常に
機能しなくなる問題が生じる。
However, the actuator electrode and the F
In the connection with the PC electrode portion, if the electrodes are not properly aligned, conduction failure occurs, and as a result, a problem arises in that the head does not function properly.

【0011】上記両電極の位置ずれが発生する要因を大
きく分けると、(1)アクチュエータ電極部の寸法誤
差、(2)FPC電極部の寸法誤差、(3)両電極の位
置合わせ誤差および、(4)接合時の「位置ずれ」の4
つである。
The causes of the displacement between the two electrodes can be roughly divided into (1) a dimensional error of the actuator electrode portion, (2) a dimensional error of the FPC electrode portion, (3) a positioning error of the two electrodes, and ( 4) "Position shift" at the time of joining
One.

【0012】上記(1)〜(3)は部品の精度や、接合
装置の精度を上げて対処するしかない。また、上記
(4)については、加熱型の接合方法では材料の熱によ
る膨張が問題となる。すなわち、長いFPCを加熱して
接合すると、片側端部を高精度に位置合わせして接合し
ても、熱膨張によるFPCの伸びのため、他側では「位
置ずれ」が発生してしまう。あらかじめ伸び量を見込ん
でFPCの寸法を決める方法もあるが、材料のバラツ
キ、接合条件のバラツキなどで量産的に見ると、これだ
けでは満足のいく解決結果は得られない。
The above (1) to (3) must be dealt with by increasing the precision of the parts and the precision of the joining device. Regarding the above (4), in the heating type joining method, there is a problem that the material expands due to heat. That is, if a long FPC is heated and joined, even if one end is aligned with high accuracy, the FPC is stretched due to thermal expansion, and "position displacement" occurs on the other side. Although there is a method of determining the size of the FPC in consideration of the amount of elongation in advance, a satisfactory solution cannot be obtained with this alone in terms of mass production due to variations in materials, variations in bonding conditions, and the like.

【0013】従来の静電型インクジェットヘッドでは、
アクチュエータ電極とFPC電極との接合構造が図7
(平面図)に示すようになっている。図8は図7のB部
拡大図である。これらの図において符号54はFPC、
54bはFPC電極(電極パターン)、符号54cはベ
ースフィルム、符号R3で示した細長い長方形の領域
は、アクチュエータ電極51bと、FPC電極54bと
の電気的接続を行う接合領域である。その他の構成は、
後記する図1、図2に示す本発明に係る静電型インクジ
ェットヘッドと同様である。
In a conventional electrostatic ink jet head,
FIG. 7 shows the joint structure between the actuator electrode and the FPC electrode.
(Plan view). FIG. 8 is an enlarged view of a portion B in FIG. In these figures, reference numeral 54 denotes an FPC,
Reference numeral 54b denotes an FPC electrode (electrode pattern), reference numeral 54c denotes a base film, and an elongated rectangular region denoted by reference numeral R3 denotes a bonding region for electrically connecting the actuator electrode 51b and the FPC electrode 54b. Other configurations are
This is the same as the electrostatic inkjet head according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 described later.

【0014】ところが、インクジェットヘッドのノズル
孔数の増加に伴って、電極パターン54bの本数も増
え、必然的にFPC54の幅(ベースフィルム54cの
幅:図8において上下方向の寸法)も増大する。そうす
ると、上記したように、いくつかの要因により、アクチ
ュエータ電極51bと、FPC電極54bとを接合する
際の両者の正確な位置合わせが難しくなってくる。とく
に、電極同士を加熱接合する場合は、加熱によるベース
フィルム(通常は、耐熱性の高い樹脂材であるポリイミ
ドが使用される)の熱膨張は、材料の種類にもよるが無
視できない量となってきて、ひどい場合には電極同士が
当たらないこともある。これは、ベースフィルムの熱膨
張が累積してしまうためである。
However, as the number of nozzle holes in the ink jet head increases, the number of electrode patterns 54b also increases, and the width of the FPC 54 (the width of the base film 54c: the vertical dimension in FIG. 8) naturally increases. Then, as described above, it is difficult to accurately align the actuator electrode 51b and the FPC electrode 54b when joining the actuator electrode 51b and the FPC electrode 54b due to several factors. In particular, when the electrodes are joined by heating, the thermal expansion of the base film (usually, polyimide, which is a resin material having high heat resistance) due to heating is not negligible depending on the type of the material. In severe cases, the electrodes may not hit each other. This is because the thermal expansion of the base film is accumulated.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の第
1の目的は、ドロップ・オン・デマンド型のインクジェ
ットヘッドにおけアクチュエータ電極とFPC電極と
を、簡便な構成で的確に位置合わせして接合することが
できる電極接合構造を提供することにある。本発明の第
2の目的は、ドロップ・オン・デマンド型のインクジェ
ットヘッドを製造する場合において、アクチュエータ電
極とFPC電極とを、これらの電極を高精度に位置合わ
せした状態で加熱接合することができる電極接合方法を
提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, a first object of the present invention is to provide a drop-on-demand type ink jet head in which an actuator electrode and an FPC electrode are accurately aligned and joined with a simple structure. It is an object of the present invention to provide an electrode bonding structure that can be used. A second object of the present invention is to manufacture a drop-on-demand type ink jet head by heating and joining an actuator electrode and an FPC electrode with these electrodes positioned with high precision. It is to provide an electrode bonding method.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載のインク
ジェットヘッドは、複数配列されたノズル孔と、それぞ
れのノズル孔に対応して設けられた加圧液室およびアク
チュエータとを有し、ヘッドドライブ回路からの駆動信
号をアクチュエータに伝達するFPCの複数の電極(F
PC電極)がそれぞれ、対応するアクチュエータの電極
(アクチュエータ電極)に接合されたインクジェットヘ
ッドにおいて、FPCベースフィルムの隣り合うFPC
電極間部位に欠除部が形成された状態で、前記アクチュ
エータ電極が前記FPC電極に接合されていることを特
徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an ink jet head having a plurality of nozzle holes, a pressurized liquid chamber and an actuator provided corresponding to each of the nozzle holes. A plurality of electrodes (F) of an FPC for transmitting a drive signal from a drive circuit to an actuator
PC electrodes) are connected to the electrodes of the corresponding actuators (actuator electrodes), respectively.
The actuator electrode is joined to the FPC electrode in a state where a notch is formed in a region between the electrodes.

【0017】請求項2に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1において前記欠除部が、FPCベースフィ
ルムの端部に形成されたスリットであることを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, the notch is a slit formed at an end of an FPC base film.

【0018】請求項3に記載のインクジェットヘッド
は、請求項1において前記欠除部が、FPCベースフィ
ルムの端部に形成された開口であることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, the cutout portion is an opening formed at an end of an FPC base film.

【0019】請求項4に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、複数配列されたノズル孔と、それぞれのノ
ズル孔に対応して設けられた加圧液室およびアクチュエ
ータとを有し、ヘッドドライブ回路からの駆動信号をア
クチュエータに伝達するFPCの複数の電極(FPC電
極)がそれぞれ、対応するアクチュエータの電極(アク
チュエータ電極)に接合されたインクジェットヘッドの
製造方法において、FPCベースフィルムの隣り合うF
PC電極間部位に欠除部を形成した後、前記アクチュエ
ータ電極と前記FPC電極との加熱接合を、前記欠除部
で分割されたFPCベースフィルム部分毎にタイミング
をずらして別々に行うことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head, comprising: a plurality of nozzle holes; a pressurized liquid chamber and an actuator provided corresponding to each of the nozzle holes; In the method of manufacturing an inkjet head in which a plurality of electrodes (FPC electrodes) of the FPC that transmit the drive signals of the FPC to the actuators are respectively joined to the electrodes (actuator electrodes) of the corresponding actuators, the adjacent FPC base film F
After forming the notch in the region between the PC electrodes, the heat bonding between the actuator electrode and the FPC electrode is performed separately at a different timing for each FPC base film portion divided by the notch. And

【0020】請求項5に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、請求項4において、前記アクチュエータ電
極と前記FPC電極との加熱接合を、これらの接合領域
のみを加熱して行うことを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head according to the fourth aspect, wherein the heating and joining of the actuator electrode and the FPC electrode is performed by heating only the joining region.

【0021】請求項6に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、請求項4または5において、前記欠除部の
長さを前記アクチュエータ電極と前記FPC電極との接
合領域より長くするとともに、この接合領域が前記欠除
部の長さ内に位置するように、この欠除部を形成するこ
とを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an ink jet head according to the fourth or fifth aspect, the length of the cutout portion is made longer than a joining region between the actuator electrode and the FPC electrode, and the joining region is made longer. Is formed within the length of the notched portion.

【0022】請求項7に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、請求項6において前記欠除部は、FPCベ
ースフィルムの端部に形成したスリットであることを特
徴とする。
According to a seventh aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet head according to the sixth aspect, wherein the notch is a slit formed at an end of an FPC base film.

【0023】請求項8に記載のインクジェットヘッドの
製造方法は、請求項6において前記欠除部は、FPCベ
ースフィルムの端部に形成した開口であることを特徴と
する。
According to a eighth aspect of the present invention, in the method for manufacturing an ink jet head according to the sixth aspect, the notch is an opening formed at an end of an FPC base film.

【0024】請求項1に係るインクジェットヘッドおよ
び、請求項4に係るインクジェットヘッドの製造方法で
は、隣り合うFPC電極間のFPCベースフィルム部位
に前記欠除部としてスリットや開口を形成することで、
FPCのベースフィルムにおける加熱接合領域部位が分
割されるため、接合時の膨張の累積が前記欠除部により
分断され、アクチュエータ電極とFPC電極との加熱接
合を、高度の位置合わせ精度で行うことができる。
In the ink-jet head according to the first aspect and the method for manufacturing an ink-jet head according to the fourth aspect, a slit or an opening is formed as an opening in the FPC base film between adjacent FPC electrodes.
Since the heat bonding region in the base film of the FPC is divided, the accumulation of expansion at the time of bonding is divided by the lacking portion, and the heat bonding between the actuator electrode and the FPC electrode can be performed with a high degree of positioning accuracy. it can.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。 第1の実施の形態 静電型インクジェットヘッドの構造および、インク噴射
の原理について説明する。図1は、静電気力を利用した
インクジェットヘッドの分解斜視図、図2はこのインク
ジェットヘッドの要部構造を示す断面図である。図3は
この静電型インクジェットヘッドにおける、アクチュエ
ータ電極とFPC電極との接合構造を示す平面図であ
り、図4は図3のA部拡大図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First Embodiment The structure of an electrostatic ink jet head and the principle of ink ejection will be described. FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet head utilizing electrostatic force, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main structure of the inkjet head. FIG. 3 is a plan view showing a joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode in the electrostatic ink jet head, and FIG. 4 is an enlarged view of a portion A in FIG.

【0026】図1、図2に示すように、静電型インクジ
ェットヘッドは静電アクチュエータ51、ノズルプレー
ト52、ドライバIC53、FPC10、フレーム5
5、フィルター56、ジョイント57から構成される。
符号52aはノズル孔である。静電アクチュエータ51
は、シリコンプロセスにより形成され、ノズルプレート
52はニッケル電鋳プロセスによって形成される。な
お、これら静電アクチュエータ51およびノズルプレー
ト52の製造方法についての説明は省略する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the electrostatic type ink jet head includes an electrostatic actuator 51, a nozzle plate 52, a driver IC 53, an FPC 10, and a frame 5.
5, a filter 56 and a joint 57.
Reference numeral 52a is a nozzle hole. Electrostatic actuator 51
Are formed by a silicon process, and the nozzle plate 52 is formed by a nickel electroforming process. A description of a method of manufacturing the electrostatic actuator 51 and the nozzle plate 52 will be omitted.

【0027】次に、上記静電型インクジェットヘッドの
組立方法の一例を、図1および図2をもとに説明する。
まず、静電アクチュエータ51とFPC10を異方性導
電膜によって電気的に接続する(アクチュエータ電極5
1bとFPC電極10bとの接続)。FPC10には、
ドライバIC53がワイヤーボンドによって搭載されて
いる。
Next, an example of a method of assembling the above-mentioned electrostatic ink jet head will be described with reference to FIGS.
First, the electrostatic actuator 51 and the FPC 10 are electrically connected by an anisotropic conductive film (actuator electrode 5).
1b and FPC electrode 10b). In FPC10,
The driver IC 53 is mounted by wire bonding.

【0028】そして、ノズルプレート52と静電アクチ
ュエータ51とを接合するために、加圧液室(シリコン
液室)61の上面に接着剤(図略)を塗布する。加圧液
室61とノズルプレート52を上記接着剤により接合す
る場合、接着剤のはみ出しがノズル孔52aからのイン
ク噴射特性に影響を与えるので、接着剤の塗布膜厚は1
μm前後にする必要がある。したがって、加圧液室61
上面への接着剤塗布は、転写法により行うことが望まし
い。例えば、接着剤をローラー表面にドクターブレード
で塗布してこれを薄膜化し、転写パッドによりローラー
から接着剤を転写し、更に転写パッドから加圧液室上面
に接着剤を転写する。また、振動板62のギャップ(振
動室の入り口)を封止するために接着剤すなわち、振動
板ギャップ封止剤62aを塗布する。振動室内部に湿気
が入り込むと振動板62が変位しなくなってしまう。ま
た、ノズルプレート52と加圧液室61との位置決めを
行うために、仮接合用の紫外線硬化型接着剤または、瞬
間接着剤を加圧液室61の角部に塗布する。
Then, in order to join the nozzle plate 52 and the electrostatic actuator 51, an adhesive (not shown) is applied to the upper surface of the pressurized liquid chamber (silicon liquid chamber) 61. When the pressurized liquid chamber 61 and the nozzle plate 52 are joined by the above-mentioned adhesive, since the protrusion of the adhesive affects the ink ejection characteristics from the nozzle holes 52a, the adhesive applied film thickness is 1
It needs to be around μm. Therefore, the pressurized liquid chamber 61
It is desirable to apply the adhesive to the upper surface by a transfer method. For example, an adhesive is applied to the roller surface with a doctor blade to make it thinner, the adhesive is transferred from the roller by a transfer pad, and the adhesive is further transferred from the transfer pad to the upper surface of the pressurized liquid chamber. Further, an adhesive, that is, a diaphragm gap sealing agent 62a is applied to seal the gap (the entrance of the vibration chamber) of the diaphragm 62. If moisture enters the inside of the vibration chamber, the diaphragm 62 will not be displaced. In order to position the nozzle plate 52 and the pressurized liquid chamber 61, an ultraviolet-curing adhesive for temporary joining or an instant adhesive is applied to the corner of the pressurized liquid chamber 61.

【0029】そして、ニッケル電鋳により形成されたノ
ズルプレート52と、接着剤が塗布された静電アクチュ
エータ51とを位置合わせして仮加圧を行う。ここで、
紫外線硬化型接着剤の場合は、紫外線を照射して接着剤
を硬化させた後、本加圧を行い加熱硬化させる。静電ア
クチュエータ51が長いと、加熱接合する際に、加圧液
室61とノズルプレート52(Ni製またはSUS製)
が線膨張係数の差により反ってしまう。反りが発生する
と、内部応力により静電アクチュエータ51が破壊して
しまう。このように、接着剤の硬化温度は低い方が好ま
しく、したがって例えば2液混合型(常温硬化型)のエ
ポキシ系接着剤を用いるのが望ましい。硬化温度は、低
いほど良いが40℃〜100℃が実用的であり望まし
い。
Then, the nozzle plate 52 formed by nickel electroforming and the electrostatic actuator 51 coated with an adhesive are aligned and pre-pressed. here,
In the case of an ultraviolet-curable adhesive, the adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays, and then the main pressure is applied to cure the adhesive. If the electrostatic actuator 51 is long, the pressurized liquid chamber 61 and the nozzle plate 52 (made of Ni or SUS) are used for heating and joining.
Are warped due to the difference in linear expansion coefficient. When warpage occurs, the electrostatic actuator 51 is broken by internal stress. As described above, it is preferable that the curing temperature of the adhesive is lower. Therefore, it is desirable to use, for example, a two-component mixed type (room temperature curing type) epoxy adhesive. The curing temperature is preferably as low as possible, but 40 to 100 ° C. is practical and desirable.

【0030】また、インク供給タンク(図略)またはイ
ンクカートリッジ(図略)からインクを供給するための
上記ジョイント57と、フィルター56が熱溶着された
フレーム55を接着接合する。フレーム55に静電アク
チュエータ51と、ノズルプレート52とを接着接合す
るために接着剤を塗布し、静電アクチュエータの位置合
わせをして接着接合する。
The joint 57 for supplying ink from an ink supply tank (not shown) or an ink cartridge (not shown) is bonded to the frame 55 to which the filter 56 is heat-welded. An adhesive is applied to the frame 55 to bond the electrostatic actuator 51 and the nozzle plate 52 together, and the electrostatic actuator is aligned and bonded.

【0031】図1において符号51aは静電アクチュエ
ータ51の上部両側に形成された段差であり、この段差
51a上には、図2に示すようにアクチュエータ電極5
1bが形成されている。この電極51bは、共通電極と
個別電極とからなる。また、FPC10の頂部10aの
下面には図2、図4に示すようにパターン化されたFP
C電極(電極パターン)10bが形成されている。そし
て、アクチュエータ電極51bとFPC電極10bとの
電気的接続を、異方性導電膜(異方導電性フィルム)に
よって行う。なお図1、図2において符号11はFPC
10のベースフィルム(FPCベースフィルム)、符号
63はノズルプレート封止剤、符号64は流体抵抗、符
号65は共通液室流路である。
In FIG. 1, reference numeral 51a denotes a step formed on both sides of the upper portion of the electrostatic actuator 51. On the step 51a, as shown in FIG.
1b is formed. The electrode 51b includes a common electrode and an individual electrode. The FP patterned as shown in FIGS. 2 and 4 is provided on the lower surface of the top 10a of the FPC 10.
A C electrode (electrode pattern) 10b is formed. Then, the electrical connection between the actuator electrode 51b and the FPC electrode 10b is performed by an anisotropic conductive film (anisotropic conductive film). 1 and 2, reference numeral 11 denotes an FPC.
Reference numeral 63 denotes a nozzle plate sealant, reference numeral 64 denotes a fluid resistance, and reference numeral 65 denotes a common liquid chamber flow path.

【0032】このような構成において、上記個別電極に
パルス電圧を印加することにより、振動板62が静電気
力によって個別電極側に変形する。そして、インクが図
略の共通液室から、共通液室流路65および流体抵抗6
4を通り、加圧液室(圧力発生室)61に流入し、その
体積が増加する。ここで、上記パルス電圧が解除される
ことで静電気力がなくなり、振動板62がもとの状態に
戻る。この振動板62の弾性力によって加圧液室61の
圧力が上昇し、ノズル孔52aからインクが噴射され
る。
In such a configuration, by applying a pulse voltage to the individual electrode, the diaphragm 62 is deformed toward the individual electrode by an electrostatic force. Then, the ink flows from the common liquid chamber (not shown) to the common liquid chamber flow path 65 and the fluid resistance 6.
4 and flows into the pressurized liquid chamber (pressure generating chamber) 61, and its volume increases. Here, the release of the pulse voltage eliminates the electrostatic force, and the diaphragm 62 returns to the original state. The pressure of the pressurized liquid chamber 61 is increased by the elastic force of the vibration plate 62, and ink is ejected from the nozzle holes 52a.

【0033】図3、図4に示すように、FPC10のベ
ースフィルム11の幅方向(図4の上下方向)中央部に
は、その長さ方向(図4の左右方向)に延びるスリット
21が1条形成されている。符号R3で示した細長い長
方形の領域は、アクチュエータ電極51bとFPC電極
10bとの電気的接続を行う接合領域である。図3では
FPC電極10bの記載を簡略化し、両サイドのみ図示
しているが、実際にはFPC電極10bはベースフィル
ム11の幅方向全体にわたって形成されてドライバIC
53と接続され、さらに図2の左端部すなわち、上記接
合領域と反対側の端部(図略)は、送られてくる信号と
コンタクトするコネクタ部へとつながっている。
As shown in FIGS. 3 and 4, a slit 21 extending in the length direction (the left-right direction in FIG. 4) is provided at the center of the width direction (the vertical direction in FIG. 4) of the base film 11 of the FPC 10. Articles are formed. The elongated rectangular area indicated by the reference symbol R3 is a joining area where the actuator electrode 51b and the FPC electrode 10b are electrically connected. Although FIG. 3 simplifies the description of the FPC electrode 10b and shows only the two sides, the FPC electrode 10b is actually formed over the entire width of the base film 11 and a driver IC is formed.
2, and the left end of FIG. 2, that is, the end (not shown) on the opposite side to the above-mentioned joining area, is connected to a connector part which contacts the transmitted signal.

【0034】ところで、インクジェットヘッドのノズル
孔数が増えると電極パターン10bの本数も増え、必然
的にFPC10の幅(ベースフィルム11の幅)も増大
する。そうすると、上記したように、いくつかの要因に
より、アクチュエータ電極51bと電極パターン10b
との正確な位置合わせが難しくなってくる。既に説明し
たように、加熱接合する場合においては、加熱によるベ
ースフィルム11の熱膨張が大きいため、ひどい場合に
は電極同士を接触させることができないときもある。そ
こで本発明は、ベースフィルムの熱膨張が累積しないよ
うな手段を施すことで、上記不具合を防止したものであ
る。
By the way, when the number of nozzle holes of the ink jet head increases, the number of the electrode patterns 10b also increases, and the width of the FPC 10 (the width of the base film 11) naturally increases. Then, as described above, the actuator electrode 51b and the electrode pattern 10b
It becomes difficult to accurately align with As already described, in the case of heat joining, the thermal expansion of the base film 11 due to heating is large, and in severe cases, the electrodes may not be able to contact each other. In view of the above, the present invention prevents the above-mentioned problem by applying a means for preventing the thermal expansion of the base film from accumulating.

【0035】すなわち、本実施の形態では図3,4に示
すように、ベースフィルム11の隣り合うFPC電極1
0b,10b間の部位にスリット21を、ベースフィル
ム11の端部からFPC電極10bに平行に形成する。
スリット21を入れることで、ベースフィルム11にお
ける上記接合領域部位が第1分割部11a(スリットに
より分割されたベースフィルム部分)と、第2分割部1
1b(スリットにより分割されたベースフィルム部分)
とに分割されるため、接合時の膨張の累積をスリット2
1により分断することができる。スリット21として
は、幅が殆どゼロの単なる切り込みであっても効果は得
られるが、少し幅のあるスリット(帯状)がより効果的
である。ベースフィルムの幅がどのくらいのものから、
これらのことを考慮する必要があるかは必要精度、ベー
スフィルムの構成材料、加熱温度などによって違ってく
るが、一般的に精度数μm〜十数μm、ポリイミドフィ
ルム、半田付け又は異方性導電膜の加熱接合の場合に
は、ベースフィルム幅が約20mm幅を超えるときに
は、電極同士の位置ずれに対する対策が必要となる。
That is, in the present embodiment, as shown in FIGS.
A slit 21 is formed at a position between 0b and 10b from the end of the base film 11 in parallel with the FPC electrode 10b.
By providing the slits 21, the joining region portion of the base film 11 is divided into the first divided portion 11 a (the base film portion divided by the slit) and the second divided portion 1.
1b (base film part divided by slit)
And the cumulative expansion at the time of joining
The number can be divided by one. Although an effect can be obtained even if the slit 21 is a mere notch having a width of almost zero, a slit (a band) having a little width is more effective. From what the width of the base film,
Whether these factors need to be considered depends on the required accuracy, the constituent material of the base film, the heating temperature, etc., but generally the accuracy is several μm to several tens μm, polyimide film, soldering or anisotropic conductive In the case of the heat bonding of the films, when the width of the base film exceeds about 20 mm, it is necessary to take measures against the displacement of the electrodes.

【0036】スリット21は、図4に示すように長さを
接合領域R3の幅より長くするとともに、この接合領域
R3の幅がスリット21の長さ内に位置するように形成
することが好ましい。図4のFPC10において、一点
鎖線の右側の領域R1は、接合のための電極パターンの
接合面側が露出している部分を示す。また、上記一点鎖
線の左側の領域R2は、電極パターン10bがポリイミ
ドフィルムで両側面とも被覆されている部分を示してい
る。なお、図4ではスリット21を1条形成したが、複
数条形成することもできる。
As shown in FIG. 4, it is preferable that the length of the slit 21 be longer than the width of the joining region R3, and that the width of the joining region R3 be located within the length of the slit 21. In the FPC 10 of FIG. 4, a region R1 on the right side of the alternate long and short dash line indicates a portion where the bonding surface side of the electrode pattern for bonding is exposed. A region R2 on the left side of the dashed line indicates a portion where the electrode pattern 10b is covered on both sides with a polyimide film. Although one slit 21 is formed in FIG. 4, a plurality of slits 21 may be formed.

【0037】図3,4に示すように接合領域R1をスリ
ット21で2分割した場合において、複数のFPC電極
をそれぞれ、対応するアクチュエータ電極に接合すると
きには、第1分割部11aにおける電極接合のタイミン
グと、第2分割部11bにおける電極接合のタイミング
を異ならせることが好ましく、より高い接合精度を得た
い場合に有効である。例えば、第1分割部11aにおけ
る電極接合が終了した後に、第2分割部11bにおける
電極接合を行う。この場合、第1分割部11aについて
電極同士の位置合わせ(位置決め)を行って接合した
後、第2分割部11bについてもう一度位置合わせをし
て接合すれば良い。
When the joining region R1 is divided into two by the slits 21 as shown in FIGS. 3 and 4, when the plurality of FPC electrodes are respectively joined to the corresponding actuator electrodes, the timing of the electrode joining in the first dividing portion 11a is determined. In addition, it is preferable that the timing of the electrode joining in the second divided portion 11b be made different, which is effective when higher joining accuracy is desired. For example, after the electrode joining in the first division 11a is completed, the electrode joining in the second division 11b is performed. In this case, after the electrodes are aligned (positioned) for the first division 11a and joined, the second division 11b may be again aligned and joined.

【0038】スリット21の数が多ければ多いほど、電
極接合時の膨張累積の分断効果が上がるので、精度の高
い接合を行うことができる。スリット21を多数条形成
した場合には、分割部分毎にタイミングをずらしても良
いし、何箇所かの分割部分をまとめて電極接合を行って
も良い。なお、スリット数が多すぎると、ベースフィル
ムの一端部に形成される幅の狭い帯状部の数が多くなる
が、この場合には帯状部の一端部の動きが自由となるた
め、ベースフィルム自体の寸法精度および取扱い性に難
点が生じることがある。
The greater the number of slits 21, the greater the effect of dividing the accumulation of expansion during electrode joining, so that highly accurate joining can be performed. When a large number of slits 21 are formed, the timing may be shifted for each divided portion, or the electrodes may be joined together at several divided portions. If the number of slits is too large, the number of narrow band-shaped portions formed at one end of the base film increases. In this case, the movement of the one end of the band-shaped portion is free. In some cases, difficulties may occur in the dimensional accuracy and handleability of the device.

【0039】第2の実施の形態 図4のベースフィルム11では、スリットを多数設けた
ときに、ベースフィルムの取扱い性が低下する不具合が
ある。これに対し、図5に示すベースフィルム11は、
それぞれの電極パターン10bの両側に開口22を形成
することにより、電極接合時の膨張累積の分断効果を上
げて高精度の接合を行うことができるようにするととも
に、上記不具合を解消したものである。この開口部22
は、図4の場合と同様に、長さを接合領域(加熱領域)
R3の幅より長くし、かつ、この接合領域R3の幅が開
口部22の長さ内に位置するように形成することが好ま
しい。このベースフィルムでは、FPC全体について電
極接合を一度に行った場合でも、高精度な接合が可能で
ある。また、ベースフィルムの一端部が互いにつながっ
ているので、図4のベースフィルムにおける寸法精度の
低下、取り扱い性の低下は発生しない。
Second Embodiment In the base film 11 shown in FIG. 4, when a large number of slits are provided, there is a problem that the handleability of the base film is reduced. In contrast, the base film 11 shown in FIG.
By forming the openings 22 on both sides of each of the electrode patterns 10b, the effect of dividing the accumulation of expansion at the time of electrode bonding can be improved, and high-precision bonding can be performed, and the above-mentioned problem is solved. . This opening 22
In the same manner as in the case of FIG. 4, the length is changed to the joining region (heating region).
It is preferable that the width is larger than the width of R3 and that the width of the joining region R3 is located within the length of the opening 22. With this base film, high-precision bonding is possible even when electrode bonding is performed at once for the entire FPC. In addition, since one ends of the base film are connected to each other, a decrease in dimensional accuracy and a decrease in handleability of the base film in FIG. 4 do not occur.

【0040】第3の実施の形態 図6に示すアクチュエータ電極とFPC電極との接合構
造は、図5の改変例である。すなわち、図5では小さな
開口22が多数、独立に形成されていたのに対し、図6
ではこれらの開口を互いに連結した形態の、一つの大き
な長方形の開口23が形成されている。これにより図5
の接合構造と同様の効果が得られる。
Third Embodiment A joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode shown in FIG. 6 is a modified example of FIG. That is, while a large number of small openings 22 are formed independently in FIG. 5, FIG.
In this example, one large rectangular opening 23 is formed in a form in which these openings are connected to each other. As a result, FIG.
The same effect as that of the above joint structure can be obtained.

【0041】以上、本発明の実施の形態では、半田付け
を使用する場合について説明したが、異方性導電膜等を
使用する、加熱を伴う他の接合方法にも適用できること
はもちろんである。
As described above, the embodiment of the present invention has been described with respect to the case where soldering is used. However, it is needless to say that the present invention can be applied to other joining methods involving heating and using an anisotropic conductive film or the like.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に係るインクジェットヘッドおよび、請求項4に係るイ
ンクジェットヘッドの製造方法によれば、FPCベース
フィルムの隣り合うFPC電極間部位に欠除部を形成す
ることで、FPCベースフィルムにおける加熱接合領域
部位が分割され、接合時の膨張の累積が前記欠除部によ
り分断され(加熱接合時のFPCベースフィルムの熱膨
張による累積寸法誤差が分断される)ため、アクチュエ
ータ電極とFPC電極との加熱接合を、高度の位置合わ
せ精度で行うことができる。
As is apparent from the above description, claim 1
According to the inkjet head according to the first aspect and the manufacturing method of the inkjet head according to the fourth aspect, the notch is formed in the portion between the adjacent FPC electrodes of the FPC base film, so that the heat bonding region in the FPC base film is divided. Since the cumulative expansion at the time of bonding is divided by the above-described cutout portion (the cumulative dimensional error due to the thermal expansion of the FPC base film at the time of thermal bonding is divided), the thermal bonding between the actuator electrode and the FPC electrode can be advanced. Can be performed with a positioning accuracy of

【0043】請求項5に係るインクジェットヘッドの製
造方法では、アクチュエータ電極とFPC電極との加熱
接合を、これらの接合領域のみを加熱して行うので、接
合時の加熱による影響が最小限に抑えられ、請求項4の
製造方法に比べて、より高精度な電極接合が可能にな
る。
In the method for manufacturing an ink jet head according to the fifth aspect, the heating and joining of the actuator electrode and the FPC electrode are performed by heating only these joining regions, so that the influence of heating at the time of joining is minimized. As compared with the manufacturing method of the fourth aspect, more accurate electrode bonding can be performed.

【0044】請求項6,7,8に係るインクジェットヘ
ッドの製造方法では、前記欠除部の長さを、アクチュエ
ータ電極とFPC電極との接合領域より長くするととも
に、この接合領域が前記欠除部の長さ内に位置するよう
に、この欠除部を形成するようにしたため、FPCベー
スフィルムにおける加熱接合領域部位が前記欠除部(ス
リットまたは開口)によって分断された形となるので、
加熱接合時の熱膨張の影響を受けなくなる。とくに請求
項8に係る製造方法は、前記欠除部として開口を形成す
るものであるから、前記欠除部としてスリットを形成し
た請求項7に係るFPCベースフィルムと違って、その
端部は分割されていないので、フィルム分割による累積
精度の低下もない。さらに請求項8に係る製造方法で
は、すべてのFPC電極の両側に開口を形成すること
で、FPC全体について電極接合を一度に行った場合で
も、高精度な接合が可能となる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an ink jet head, the length of the cut-out portion is made longer than the joining region between the actuator electrode and the FPC electrode, and the joining region is formed in the cut-out portion. Since the notch portion is formed so as to be positioned within the length of the heat-bonded portion, the heat bonding region in the FPC base film has a shape divided by the notch portion (slit or opening).
It is no longer affected by thermal expansion during heat bonding. In particular, in the manufacturing method according to claim 8, since an opening is formed as the cutout portion, unlike the FPC base film according to claim 7, in which a slit is formed as the cutout portion, the end portion is divided. Since it is not performed, there is no decrease in the accumulation accuracy due to the film division. Furthermore, in the manufacturing method according to the eighth aspect, since openings are formed on both sides of all the FPC electrodes, high-precision bonding can be performed even when electrode bonding is performed at once for the entire FPC.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るもので、静電
型インクジェットヘッドの分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of an electrostatic inkjet head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のインクジェットヘッドの要部構造を示す
断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a main structure of the inkjet head of FIG.

【図3】図1の静電型インクジェットヘッドにおける、
アクチュエータ電極とFPC電極との接合構造を示す平
面図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating the electrostatic inkjet head of FIG. 1;
FIG. 3 is a plan view showing a joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode.

【図4】図3のA部拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a portion A in FIG. 3;

【図5】本発明の第2の実施の形態に係るもので、アク
チュエータ電極とFPC電極との接合構造を拡大して示
す平面図である。
FIG. 5 is an enlarged plan view showing a joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施の形態に係るもので、アク
チュエータ電極とFPC電極との接合構造を拡大して示
す平面図である。
FIG. 6 is an enlarged plan view showing a joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode according to a third embodiment of the present invention.

【図7】従来の静電型インクジェットヘッドにおける、
アクチュエータ電極とFPC電極との接合構造を示す平
面図である。
FIG. 7 shows a conventional electrostatic inkjet head.
FIG. 3 is a plan view showing a joint structure between an actuator electrode and an FPC electrode.

【図8】図7のB部拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view of a portion B in FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 FPC 10a 頂部 10b FPC電極(電極パターン) 11 ベースフィルム 11a 第1分割部 11b 第2分割部 21 スリット 22 開口 23 開口 51 静電アクチュエータ 51a 段差(電極配設部) 51b アクチュエータ電極 52 ノズルプレート 52a ノズル孔 53 ドライバIC 54 FPC 54b FPC電極(電極パターン) 54c ベースフィルム 55 フレーム 56 フィルター 57 ジョイント 61 加圧液室 62 振動板 62a 振動板ギャップ封止剤 63 ノズルプレート封止剤 64 流体抵抗 65 共通液室流路 R1 電極パターン露出領域 R2 電極パターン被覆領域 R3 接合領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 FPC 10a Top part 10b FPC electrode (electrode pattern) 11 Base film 11a 1st division part 11b 2nd division part 21 Slit 22 Opening 23 Opening 51 Electrostatic actuator 51a Step (electrode arrangement part) 51b Actuator electrode 52 Nozzle plate 52a Nozzle Hole 53 driver IC 54 FPC 54b FPC electrode (electrode pattern) 54c base film 55 frame 56 filter 57 joint 61 pressurized liquid chamber 62 diaphragm 62a diaphragm gap sealant 63 nozzle plate sealant 64 fluid resistance 65 common liquid chamber Channel R1 Electrode pattern exposed area R2 Electrode pattern covered area R3 Join area

Claims (8)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 複数配列されたノズル孔と、それぞれの
    ノズル孔に対応して設けられた加圧液室およびアクチュ
    エータとを有し、ヘッドドライブ回路からの駆動信号を
    アクチュエータに伝達するFPCの複数の電極(FPC
    電極)がそれぞれ、対応するアクチュエータの電極(ア
    クチュエータ電極)に接合されたインクジェットヘッド
    において、FPCベースフィルムの隣り合うFPC電極
    間部位に欠除部が形成された状態で、前記アクチュエー
    タ電極が前記FPC電極に接合されていることを特徴と
    するインクジェットヘッド。
    A plurality of FPCs having a plurality of arranged nozzle holes, a pressurized liquid chamber and an actuator provided corresponding to each of the nozzle holes, and transmitting a drive signal from a head drive circuit to the actuator. Electrode (FPC
    Electrodes) are connected to the electrodes (actuator electrodes) of the corresponding actuators, and the actuator electrodes are connected to the FPC electrodes in a state in which a notch is formed in a portion between adjacent FPC electrodes of the FPC base film. An ink jet head, which is joined to the ink jet head.
  2. 【請求項2】 前記欠除部は、FPCベースフィルムの
    端部に形成されたスリットであることを特徴とする請求
    項1に記載のインクジェットヘッド。
    2. The ink jet head according to claim 1, wherein the notch is a slit formed at an end of an FPC base film.
  3. 【請求項3】 前記欠除部は、FPCベースフィルムの
    端部に形成された開口であることを特徴とする請求項1
    に記載のインクジェットヘッド。
    3. The apparatus according to claim 1, wherein the cutout portion is an opening formed at an end of the FPC base film.
    2. The inkjet head according to item 1.
  4. 【請求項4】 複数配列されたノズル孔と、それぞれの
    ノズル孔に対応して設けられた加圧液室およびアクチュ
    エータとを有し、ヘッドドライブ回路からの駆動信号を
    アクチュエータに伝達するFPCの複数の電極(FPC
    電極)がそれぞれ、対応するアクチュエータの電極(ア
    クチュエータ電極)に接合されたインクジェットヘッド
    の製造方法において、FPCベースフィルムの隣り合う
    FPC電極間部位に欠除部を形成した後、前記アクチュ
    エータ電極と前記FPC電極との加熱接合を、前記欠除
    部で分割されたFPCベースフィルム部分毎にタイミン
    グをずらして別々に行うことを特徴とするインクジェッ
    トヘッドの製造方法。
    4. A plurality of FPCs having a plurality of arrayed nozzle holes, a pressurized liquid chamber and an actuator provided corresponding to each of the nozzle holes, and transmitting a drive signal from a head drive circuit to the actuator. Electrode (FPC
    In the method for manufacturing an ink jet head in which each of the actuator electrodes and the FPC are connected to the corresponding actuator electrode (actuator electrode), a notch is formed at a portion between adjacent FPC electrodes of the FPC base film. A method for manufacturing an ink jet head, wherein the heat bonding with an electrode is separately performed at a different timing for each FPC base film portion divided by the cutout portion.
  5. 【請求項5】 前記アクチュエータ電極と前記FPC電
    極との加熱接合を、これらの接合領域のみを加熱して行
    うことを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘ
    ッドの製造方法。
    5. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein the thermal bonding between the actuator electrode and the FPC electrode is performed by heating only the bonding region.
  6. 【請求項6】 前記欠除部の長さを前記アクチュエータ
    電極と前記FPC電極との接合領域より長くするととも
    に、この接合領域が前記欠除部の長さ内に位置するよう
    に、この欠除部を形成することを特徴とする請求項4ま
    たは5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
    6. The length of the notch portion is made longer than the joining region between the actuator electrode and the FPC electrode, and the notch is formed so that the joining region is located within the length of the notch portion. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 4, wherein a portion is formed.
  7. 【請求項7】 前記欠除部は、FPCベースフィルムの
    端部に形成したスリットであることを特徴とする請求項
    6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
    7. The method according to claim 6, wherein the notch is a slit formed at an end of an FPC base film.
  8. 【請求項8】 前記欠除部は、FPCベースフィルムの
    端部に形成した開口であることを特徴とする請求項6に
    記載のインクジェットヘッドの製造方法。
    8. The method according to claim 6, wherein the notch is an opening formed at an end of an FPC base film.
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