JP2003039670A - Ink jet printing head - Google Patents

Ink jet printing head

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JP2003039670A
JP2003039670A JP2001235878A JP2001235878A JP2003039670A JP 2003039670 A JP2003039670 A JP 2003039670A JP 2001235878 A JP2001235878 A JP 2001235878A JP 2001235878 A JP2001235878 A JP 2001235878A JP 2003039670 A JP2003039670 A JP 2003039670A
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JP
Japan
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laminated piezoelectric
print head
plate
flexible cable
ink jet
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001235878A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshitaka Akiyama
Kenichi Hisagai
Nobuhiro Noto
Yutaka Shoji
Hiroshi Takahagi
Kenji Yamada
健一 久貝
健二 山田
裕 庄司
佳孝 秋山
信博 能登
浩 高萩
Original Assignee
Hitachi Koki Co Ltd
日立工機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Hitachi Koki Co Ltd, 日立工機株式会社 filed Critical Hitachi Koki Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14403Structure thereof only for on-demand ink jet heads including a filter

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head which is inexpensive and highly reliable by reducing irregularities of ink jet characteristics and can be used from a room temperature to high temperatures. SOLUTION: All parts except laminated piezoelectric elements and a flexible cable are constituted of a stainless material in the printing head. The laminated piezoelectric elements are electrically connected via the flexible cable onto a piezoelectric element-fixing plate of the stainless material.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、オフィス用並びに
産業用インクジェットプリントヘッドに関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to office and industrial inkjet printheads.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6に従来技術からなるインクジェット
プリントヘッドの斜視図を示す。2は複数のノズル1を
形成したオリフィスプレートである。オリフィスプレー
ト2はニッケルの電鋳加工、ステンレス板等の精密プレ
ス加工法またはレーザ加工法等により形成される。4は
圧力室3が形成されたチャンバプレートである。6は共
通インク供給路12と圧力室3とを連通し、圧力室3へ
のインク流入量を制御するリストリクタ5を形成したリ
ストリクタプレートである。チャンバプレート4及びリ
ストリクタプレート6は、ステンレス材のエッチング加
工法またはニッケル材の電鋳加工法等で作られる。9
は、圧電体素子15の圧力を効率よく圧力室に伝えるた
めの振動板7と、共通インク通路12からリストリクタ
5に流入するインク中のゴミ等を取り除くフィルタ部8
とを形成したダイアフラムプレートである。ダイアフラ
ムプレート9はステンレス材またはプラスチックのフィ
ルム等で製造され、フィルタ部8はノズル1の穴径より
も小さな無数の微細穴を形成したステンレス材のエッチ
ング加工法、またはニッケル材の電鋳加工法等で作られ
る。11は振動板7と積層圧電素子15を接着剤で固定
する時に、振動板7の振動系固定端の位置を規定、及び
接着箇所からはみ出た接着剤が振動板7上で広がるのを
規定する枠10が形成されたサポートプレートである。
サポートプレート11は、ステンレス材のエッチング加
工法またはニッケル材の電鋳加工法等で作られる。13
は共通インク通路12を形成したハウジングであり、金
属または樹脂で作られている。積層圧電素子固定板16
は剛性の高い、又はヤング率の高い材料である方が積層
圧電体素子15の変位を振動板7に効率よく伝えること
が出来るのでセラミック基板が一般的に用いられてい
る。前記積層圧電素子固定板16には、それぞれの積層
圧電体素子15に外部駆動回路から独立した電気信号を
送るための個別電極16−bと、その積層圧電素子固定
板裏面側に共通電極16−c及び前記裏面より個別電極
側に共通電極側と通電するためにスルーホール16−d
が形成されている。前記積層圧電素子固定板16の位置
決め穴16−eと、フレキシブルケーブル17の位置決
め穴17−dで、フレキシブルケーブルと積層圧電素子
固定板が位置決めされ、フレキシブルケーブルには、個
別電極16−bと、共通電極16−cからスルーホール
16−dを介して導通されている個別電極側に形成され
た電極とが一括して接続される。更にフレキシブルケー
ブル17の端末は外部駆動回路に接続される構成となっ
ている。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a perspective view of an ink jet print head according to the prior art. Reference numeral 2 is an orifice plate having a plurality of nozzles 1 formed therein. The orifice plate 2 is formed by nickel electroforming, a stainless plate or other precision press working method, a laser working method, or the like. Reference numeral 4 is a chamber plate in which the pressure chamber 3 is formed. Reference numeral 6 is a restrictor plate which connects the common ink supply path 12 and the pressure chamber 3 and which is formed with a restrictor 5 for controlling the amount of ink flowing into the pressure chamber 3. The chamber plate 4 and the restrictor plate 6 are made by a stainless material etching method, a nickel material electroforming method, or the like. 9
Is a vibrating plate 7 for efficiently transmitting the pressure of the piezoelectric element 15 to the pressure chamber, and a filter section 8 for removing dust and the like in the ink flowing into the restrictor 5 from the common ink passage 12.
And a diaphragm plate formed with. The diaphragm plate 9 is made of a stainless material or a plastic film, and the filter portion 8 is an etching method of a stainless material in which numerous minute holes smaller than the hole diameter of the nozzle 1 are formed, or an electroforming method of a nickel material, etc. Made in. Reference numeral 11 defines the position of the vibration system fixed end of the vibration plate 7 when the vibration plate 7 and the laminated piezoelectric element 15 are fixed by an adhesive agent, and the spread of the adhesive agent protruding from the bonding portion on the vibration plate 7. It is a support plate on which a frame 10 is formed.
The support plate 11 is made by a stainless material etching method, a nickel material electroforming method, or the like. Thirteen
Is a housing in which the common ink passage 12 is formed, and is made of metal or resin. Multilayer piezoelectric element fixing plate 16
A material having a high rigidity or a high Young's modulus can efficiently transmit the displacement of the laminated piezoelectric element 15 to the vibration plate 7, and thus a ceramic substrate is generally used. The laminated piezoelectric element fixing plate 16 has an individual electrode 16-b for transmitting an electric signal independent of an external driving circuit to each laminated piezoelectric element 15, and a common electrode 16-b on the rear surface side of the laminated piezoelectric element fixing plate. c and through holes 16-d for conducting electricity to the common electrode side from the back surface to the individual electrode side
Are formed. The flexible cable and the laminated piezoelectric element fixing plate are positioned by the positioning hole 16-e of the laminated piezoelectric element fixing plate 16 and the positioning hole 17-d of the flexible cable 17, and the flexible cable is provided with the individual electrode 16-b. The electrodes formed on the individual electrode side that are electrically connected from the common electrode 16-c through the through holes 16-d are collectively connected. Further, the terminal of the flexible cable 17 is connected to an external drive circuit.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成の場合には、前記プレート類はエッチング加工、
電鋳加工等であり、また、ハウジングもプラスチックモ
ールド、ステンレスの焼結等の型化が可能であり、安価
に製作することができる。これに対し、前記圧電素子固
定板は、セラミック板上に電極をパターニングし、スル
ーホール、フレキシブルケーブル接合時の位置決め穴加
工、さらには前記積層圧電素子を取り付ける端面は、イ
ンク噴射特性を良好にするため、平面度、そりねじれ等
を低減し精度良く加工する必要がある。しかし、特に前
記セラミック板の板厚が1mm以上の厚みになると、汎
用品でなくなるため、材料費も高価となる。更に前述し
た、スルーホール及び位置決め穴等の加工も、板厚が厚
いため特殊となり、加工精度を良好にすることが困難と
なる。このため、前記積層圧電素子固定板は高価なもの
となり、従ってインクジェットプリントヘッドを高価な
ものとしていた。
However, in the case of the above-mentioned structure, the plates are etched,
It can be manufactured at low cost by electroforming, etc., and the housing can be made into a mold such as a plastic mold or stainless sintered. On the other hand, in the piezoelectric element fixing plate, electrodes are patterned on a ceramic plate to form through holes, positioning holes for joining flexible cables, and further, an end face to which the laminated piezoelectric element is attached improves ink ejection characteristics. Therefore, it is necessary to reduce the flatness, warp twist, and the like, and perform processing with high accuracy. However, especially when the thickness of the ceramic plate is 1 mm or more, it is not a general-purpose product, and the material cost is high. Further, the above-described processing of the through hole and the positioning hole is also special due to the large plate thickness, and it becomes difficult to improve the processing accuracy. Therefore, the laminated piezoelectric element fixing plate is expensive, and thus the inkjet print head is expensive.

【0004】また、固形インクを使用する場合には、固
形インクの融点以上の温度、例えば120℃前後に前記
インクジェットプリントヘッドをヒータ等により加熱し
て使用することになる。しかし、上記した様に、例え
ば、振動板がプラスチックのフィルムで、ハウジングが
ステンレス材等の材料を用いる一方、積層厚電素子固定
板及び積層厚電素子はセラミックが主体の無機材料から
構成されている場合には、熱膨張係数の差や、室温と高
温のヒートサイクルにより、積層圧電素子及び振動板に
残留応力と残留ひずみが発生する。
When the solid ink is used, the ink jet print head is heated by a heater or the like at a temperature equal to or higher than the melting point of the solid ink, for example, around 120.degree. However, as described above, for example, while the diaphragm is a plastic film and the housing is made of a material such as stainless steel, the laminated thick electric element fixing plate and the laminated thick electric element are made of an inorganic material mainly composed of ceramics. If there is, the residual stress and the residual strain are generated in the laminated piezoelectric element and the vibration plate due to the difference in the coefficient of thermal expansion and the heat cycle between room temperature and high temperature.

【0005】このため、電圧を積層圧電素子15に加え
た時の積層圧電素子15及び振動板9の変位量に影響を
及ぼし、結果としてインク噴射特性のばらつきに反映す
る。特に、多ノズル化された長尺ヘッドにおいては、主
にハウジングと積層圧電素子固定板の熱膨張係数が異な
ることにより、室温と高温のヒートサイクルにより振動
板9または積層圧電素子15に歪みが発生し、インク噴
射特性が不安定となる。この不具合は、最両端ノズルに
発生して印字品質を低下するのみならず、最悪の場合は
積層圧電素子15や振動板9の破損、接着剤のはがれと
いった寿命特性にも悪影響を及ぼす。
Therefore, the displacement amount of the laminated piezoelectric element 15 and the vibration plate 9 when a voltage is applied to the laminated piezoelectric element 15 is affected, and as a result, it is reflected in the dispersion of the ink ejection characteristics. In particular, in a long head having multiple nozzles, the vibrating plate 9 or the laminated piezoelectric element 15 is distorted due to a heat cycle between room temperature and high temperature, mainly because the housing and the laminated piezoelectric element fixing plate have different thermal expansion coefficients. However, the ink ejection characteristics become unstable. This defect not only occurs at the nozzles at the extreme opposite ends and deteriorates the printing quality, but in the worst case, the laminated piezoelectric element 15 and the diaphragm 9 are damaged, and the life characteristics such as peeling of the adhesive are adversely affected.

【0006】本発明の目的は、安価でインク噴射特性の
ばらつきを低減した信頼性の高い、室温から高温まで使
用可能なインクジェットプリントヘッドを提供すること
にある。
An object of the present invention is to provide an ink jet print head which is inexpensive and has a reduced variation in ink ejection characteristics and which can be used from room temperature to high temperature with high reliability.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め、本発明では、インクを蓄える複数の圧力室を具備し
たステンレス材のチャンバプレートと、電気信号の印加
により前記圧力室内に圧力変動を発生させる積層圧電素
子と、前記圧力室の壁面の少なくとも一部を形成して前
記積層圧電素子と接着剤で連結されているステンレス材
の振動板であるダイアフラムプレートと、前記積層圧電
素子端部が固定されたステンレス材の積層圧電素子固定
板と、前記積層圧電素子に電気信号を送るためのフレキ
シブルケーブルと、前記圧力室にインクを供給する流路
を形成するステンレス材のリストリクタを具備したリス
トリクタプレートと、リストリクタにインクを供給する
共通インク流路が設けられたステンレス材のハウジング
と、前記圧力室からインク滴が吐出する複数個のノズル
を形成したステンレス材のオリフィスプレートとから構
成されたインクジェットプリントヘッドにおいて、前記
ステンレス材からなる圧電素子固定板上にフレキシブル
ケーブルを介し、前記積層圧電素子と導通していること
を特徴とする。
In order to solve the above problems, according to the present invention, a chamber plate made of a stainless material having a plurality of pressure chambers for accumulating ink and a pressure fluctuation in the pressure chambers by applying an electric signal. A laminated piezoelectric element to be generated, a diaphragm plate that is a diaphragm made of stainless material and forms at least a part of the wall surface of the pressure chamber and is connected to the laminated piezoelectric element with an adhesive; A list including a fixed laminated piezoelectric element fixing plate made of a stainless material, a flexible cable for transmitting an electric signal to the laminated piezoelectric element, and a restrictor made of a stainless material forming a flow path for supplying ink to the pressure chambers. A restrictor plate, a stainless steel housing provided with a common ink flow path for supplying ink to the restrictor, and the pressure chamber. In an inkjet printhead including a stainless steel orifice plate having a plurality of nozzles through which ink droplets are ejected, a piezoelectric element fixing plate made of the stainless material is connected to the laminated piezoelectric element via a flexible cable. It is characterized by

【0008】また、前記積層圧電素子の個別電極側は前
記フレキシブルケーブルの電極を積層圧電素子と導電性
接着剤により導通させ、共通電極側は積層圧電素子と前
記ステンレス材からなる積層圧電素子固定板とを導電性
接着剤により直接導通させ、更に前記フレキシブルケー
ブルと前記ステンレス材からなる積層圧電素子固定板と
を電導性接着剤により導通させることを特徴とする。
The individual electrode side of the laminated piezoelectric element electrically connects the electrode of the flexible cable to the laminated piezoelectric element by a conductive adhesive, and the common electrode side of the laminated piezoelectric element and the laminated piezoelectric element fixing plate made of the stainless material. Are electrically connected by a conductive adhesive, and the flexible cable and the laminated piezoelectric element fixing plate made of a stainless material are electrically connected by an electrically conductive adhesive.

【0009】また、前記積層圧電素子と前記積層圧電素
子固定板を絶縁性のある接着剤で接合したことを特徴と
する。
Further, the laminated piezoelectric element and the laminated piezoelectric element fixing plate are joined by an insulating adhesive.

【0010】また、前記積層圧電素子固定板と前記積層
圧電素子の個別電極側に、切り欠き部を設けたことを特
徴とする。
Further, the laminated piezoelectric element fixing plate and the laminated piezoelectric element are provided with notches on the individual electrode side.

【0011】また、前記フレキシブルケーブルの個別電
極を剥き出しにして、その部分を前記積層圧電素子個別
電極側に導電性接着剤で接合したことを特徴とする。
Further, the individual electrode of the flexible cable is exposed and the portion is joined to the individual electrode side of the laminated piezoelectric element with a conductive adhesive.

【0012】また、前記フレキシブルケーブルの個別電
極幅と前記積層圧電素子幅との関係が、(積層圧電素子
幅>フレキシブルケーブル個別電極幅)であることを特
徴とする。
Further, the relationship between the individual electrode width of the flexible cable and the laminated piezoelectric element width is (laminated piezoelectric element width> flexible cable individual electrode width).

【0013】また、前記フレキシブルケーブルの絶縁用
フィルムの積層圧電素子個別電極接着面側が、前記積層
圧電素子の切り欠き部を覆う構成であることを特徴とす
る。
Also, the insulating film of the flexible cable is characterized in that the laminated piezoelectric element individual electrode adhering surface side covers the cutout portion of the laminated piezoelectric element.

【0014】また、前記フレキシブルケーブルの個別電
極間に所定の幅の溝が形成されていることを特徴とす
る。
A groove having a predetermined width is formed between the individual electrodes of the flexible cable.

【0015】また、前記ハウジングに前記積層圧電素子
固定板を挿入できる開口部を設け、前記振動板と前記積
層圧電素子を位置決して接合することを特徴とする。
Also, the housing is provided with an opening into which the laminated piezoelectric element fixing plate can be inserted, and the vibrating plate and the laminated piezoelectric element are positionally joined to each other.

【0016】また、前記ハウジングに前記積層圧電素子
固定板を挿入できる開口部を設け、前記振動板と前記積
層圧電素子の位置決めを行い、位置決め後、前記ハウジ
ングの開口部と前記積層圧電素子固定板との隙間にイン
クシール目的のシーリング剤の接着剤を充填することを
特徴とする。
Further, the housing is provided with an opening into which the laminated piezoelectric element fixing plate can be inserted, the vibration plate and the laminated piezoelectric element are positioned, and after positioning, the opening of the housing and the laminated piezoelectric element fixing plate are positioned. An adhesive of a sealing agent for the purpose of ink sealing is filled in the gap between and.

【0017】また、前記積層圧電素子固定板と前記ハウ
ジングを熱伝導性の良好なシリコーンゴムで接合する。
Further, the laminated piezoelectric element fixing plate and the housing are joined with silicone rubber having good thermal conductivity.

【0018】更に、前記インクシール目的のシーリング
剤の接着剤硬度が90度(ショア−A)以下であること
を特徴とする。
Further, the sealing agent for the purpose of ink sealing has an adhesive hardness of 90 degrees (Shore-A) or less.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。図1は、本発明の一例を示すインクジェットヘ
ッドの部品構成を説明する斜視図であり、図2は、本発
明の一例の組み立て状態を示す部分断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a component structure of an inkjet head showing an example of the present invention, and FIG. 2 is a partial sectional view showing an assembled state of the example of the present invention.

【0020】2は複数のノズル1を形成したオリフィス
プレートである。ノズル1の開口形状の加工精度はイン
クジェットプリントヘッドのインク吐出特性に大きな影
響を及ぼす。複数のノズル1間においてこれらのノズル
精度ばらつきを低く押さえるためオリフィスプレート2
の製法は高い加工精度が要求される。また耐食性からオ
リフィスプレート2はステンレス板の精密プレス加工法
またはレーザ加工法により形成される。4は圧力室3が
形成されたチャンバプレートである。6は共通インク供
給路12と圧力室3とを連通し、圧力室3へのインク流
入量を制御するリストリクタ5を形成したリストリクタ
プレートである。チャンバプレート4とリストリクタプ
レート6は、ステンレス材のエッチング加工法で作られ
る。9は、積層圧電体素子15の圧力を効率よく圧力室
に伝えるための振動板7と、共通インク通路12からリ
ストリクタ5に流入するインク中のゴミ等を取り除くフ
ィルタ部8とを形成したダイアフラムプレートである。
ダイアフラムプレート9はステンレス材で製造され、フ
ィルタ部8はノズル1の穴径よりも小さな無数の微細穴
が形成されている。11は振動板7と積層圧電素子15
を接着剤24で固定する時に、接着箇所からはみ出た接
着剤が振動板7上で広がるのを規定する枠10が形成さ
れたサポートプレートである。サポートプレート11は
ステンレス材のエッチング加工法で作られる。上記した
ようにプレート類は加工性、インクとの耐食性からステ
ンレス材を使用し、生産性の高い安価な部品となってい
る。13は共通インク通路12及び、積層圧電素子15
を固定する積層圧電素子固定板16に固定した積層圧電
素子組21より大きな開口部13−aを設けたハウジン
グであり、該ハウジングはインクとの耐食性からステン
レス材の機械加工または焼結品で作られている。上記オ
リフィスプレート2、チャンバプレート4、リストリク
タプレート6、ダイアフラムプレート9、サポートプレ
ート11は、ハウジング13の基準穴20を基準にし
て、各プレートの基準穴18に位置あわせとして順次、
接着剤等を適量塗布し、流路形成部材を重ねて圧着す
る。上記構成部品をフロントエンド組21と呼ぶ。
Reference numeral 2 is an orifice plate having a plurality of nozzles 1. The processing accuracy of the opening shape of the nozzle 1 has a great influence on the ink ejection characteristics of the inkjet print head. The orifice plate 2 is used to suppress variations in the accuracy of these nozzles among the plurality of nozzles 1.
The manufacturing method of requires high processing accuracy. Further, the orifice plate 2 is formed by a precision press working method or a laser working method of a stainless plate in view of corrosion resistance. Reference numeral 4 is a chamber plate in which the pressure chamber 3 is formed. Reference numeral 6 is a restrictor plate which connects the common ink supply path 12 and the pressure chamber 3 and which is formed with a restrictor 5 for controlling the amount of ink flowing into the pressure chamber 3. The chamber plate 4 and the restrictor plate 6 are made by etching a stainless steel material. 9 is a diaphragm formed with a vibration plate 7 for efficiently transmitting the pressure of the laminated piezoelectric element 15 to the pressure chamber, and a filter portion 8 for removing dust and the like in the ink flowing into the restrictor 5 from the common ink passage 12. It is a plate.
The diaphragm plate 9 is made of a stainless material, and the filter portion 8 is formed with innumerable fine holes smaller than the hole diameter of the nozzle 1. Reference numeral 11 is the vibration plate 7 and the laminated piezoelectric element 15
Is a support plate formed with a frame 10 that defines that the adhesive protruding from the bonding portion spreads on the vibration plate 7 when being fixed with the adhesive 24. The support plate 11 is made by etching a stainless material. As described above, the plates are made of stainless steel in view of workability and corrosion resistance with ink, and are inexpensive parts with high productivity. 13 is a common ink passage 12 and a laminated piezoelectric element 15
Is a housing provided with an opening 13-a larger than the laminated piezoelectric element set 21 fixed to the laminated piezoelectric element fixing plate 16 for fixing the housing. The housing is made of a machined or sintered product of stainless steel in view of corrosion resistance with ink. Has been. The orifice plate 2, the chamber plate 4, the restrictor plate 6, the diaphragm plate 9, and the support plate 11 are sequentially aligned with the reference holes 18 of the respective plates with reference to the reference hole 20 of the housing 13.
An appropriate amount of adhesive or the like is applied, the flow path forming members are overlaid and pressure-bonded. The above-mentioned components are referred to as the front end set 21.

【0021】また、15は積層圧電素子、16は積層圧
電素子固定板、17はフレキシブルケーブルである。こ
れらの構成部品の部組を積層圧電素子組22と呼ぶ。
Reference numeral 15 is a laminated piezoelectric element, 16 is a laminated piezoelectric element fixing plate, and 17 is a flexible cable. A set of these components is called a laminated piezoelectric element set 22.

【0022】次に、該積層圧電素子組22の概略構成及
び組み立て方法を図2、3、4にて説明する。複数の積
層圧電体素子15とそれを固定するステンレス材を用い
た積層圧電素子固定板16を製作する順序は、まず圧電
素子固定板16に積層圧電体素子棒を複数本並べて絶縁
性の接着材等で固定する。この際、図2に示す様に前記
積層圧電素子15と前記圧電素子固定板16との絶縁性
を確保するため、前記積層圧電素子15の外部電極15
−aが前記圧電素子固定板16と導通しないように切り
欠き部15−bを設け、また、更に絶縁性を向上させる
ため、前記積層圧電素子固定板16にも切り欠き部13
−aを設ける。その後、フレキシブルケーブル17の個
別電極17−bの接合部のみを剥き出しにした部分17
−b1の先端部と、前記圧電素子15の外部電極15−
aとを導電性接着剤等で接合する。
Next, the schematic structure and assembling method of the laminated piezoelectric element set 22 will be described with reference to FIGS. The order of manufacturing the plurality of laminated piezoelectric element elements 15 and the laminated piezoelectric element fixing plate 16 using the stainless material for fixing the laminated piezoelectric element elements 15 is as follows. Etc. At this time, as shown in FIG. 2, in order to secure the insulation between the laminated piezoelectric element 15 and the piezoelectric element fixing plate 16, the external electrode 15 of the laminated piezoelectric element 15 is secured.
A cutout portion 15-b is provided so that -a does not electrically connect to the piezoelectric element fixing plate 16, and the cutout portion 13 is also formed in the laminated piezoelectric element fixing plate 16 in order to further improve the insulating property.
-A is provided. Then, the portion 17 of the flexible cable 17 where only the joint portion of the individual electrode 17-b is exposed
-The tip of b1 and the external electrode 15 of the piezoelectric element 15-
a is joined with a conductive adhesive or the like.

【0023】前記フレキシブルケーブル17はフィルム
部17−aにより、耐熱性及び絶縁性のあるポリイミド
フィルム等で個別電極17−b、共通電極17−cを覆
ってなる。また、該フレキシブルケーブル17は後加工
であるダイシングソー、ワイヤソー等で前記圧電素子1
5にフレキシブルケーブル17切断時の振動による破損
を回避するためと、隣接する積層圧電素子15同志の絶
縁性を確保するため、図2に示すように、前記圧電素子
15の外部電極15−a側、つまり接合面のみを上記積
層圧電素子切り欠き部15−bの長さよりも長くしてあ
る。
The flexible cable 17 has a film portion 17-a which covers the individual electrodes 17-b and the common electrode 17-c with a heat-resistant and insulating polyimide film or the like. In addition, the flexible cable 17 is formed by a dicing saw, a wire saw, or the like, which is a post-process, and the piezoelectric element
5, in order to avoid damage due to vibration when the flexible cable 17 is cut and to ensure the insulation between adjacent laminated piezoelectric elements 15, as shown in FIG. That is, only the bonding surface is made longer than the length of the laminated piezoelectric element cutout portion 15-b.

【0024】その後、圧電体素子棒をダイシングソー、
ワイヤソー等を利用して、前記フレキシブルケーブル1
7の個別電極17−bの1本ずつに対応する様に切断し
分割する。この際、フレキシブルケーブル17の個別電
極17−b幅と圧電素子15の分割加工後の幅との関係
は、圧電素子幅>個別電極幅とし、分割加工のピッチ誤
差を吸収できるようになっている。また、分割された各
々の圧電体素子15は圧力室3の一つずつに対応する。
更に、前記フレキシブルケーブル17の端末は外部駆動
回路に接続されている。
Thereafter, the piezoelectric element rod is attached to a dicing saw,
Using the wire saw, etc., the flexible cable 1
7 individual electrodes 17-b are cut and divided so as to correspond to each one individually. At this time, the relationship between the width of the individual electrode 17-b of the flexible cable 17 and the width of the piezoelectric element 15 after the division processing is such that the piezoelectric element width> the individual electrode width, and the pitch error of the division processing can be absorbed. . Further, each divided piezoelectric element 15 corresponds to each pressure chamber 3.
Further, the end of the flexible cable 17 is connected to an external drive circuit.

【0025】前述のように、前記ステンレス材からなる
圧電素子固定板16上にフレキシブルケーブル17を介
し、前記積層圧電素子15と導通させる構成とし、且
つ、個別電極側は前記フレキシブルケーブル17の個別
電極17−bを積層圧電素子15の外部電極15−aと
導電性接着剤22等により導通させ、共通電極17−c
側は積層圧電素子15と前記ステンレス材からなる積層
圧電素子固定板16とを導電性接着剤22等により直接
導通をとり、更に、前記フレキシブルケーブル17と前
記ステンレス材からなる積層圧電素子固定板16と電導
性接着剤22等により導通するような構成とする。この
構成により、積層圧電素子固定板16に電極をパターニ
ングする必要も無くなり、汎用のステンレス材を使用す
ることにより、材料費も安価となり、更に、前記積層圧
電素子を固定する端面及び位置決め穴の機械加工性が向
上するため、安価な部品を提供することが可能となる。
As described above, the piezoelectric element fixing plate 16 made of the stainless material is electrically connected to the laminated piezoelectric element 15 through the flexible cable 17, and the individual electrode side has the individual electrode of the flexible cable 17. 17-b is electrically connected to the external electrode 15-a of the laminated piezoelectric element 15 by a conductive adhesive 22 or the like, and the common electrode 17-c
On the side, the laminated piezoelectric element 15 and the laminated piezoelectric element fixing plate 16 made of the stainless material are electrically connected by a conductive adhesive 22 or the like, and further, the flexible cable 17 and the laminated piezoelectric element fixing plate 16 made of the stainless material. And a conductive adhesive 22 or the like. With this configuration, it is not necessary to pattern the electrodes on the laminated piezoelectric element fixing plate 16, and by using a general-purpose stainless steel material, the material cost is low, and further, the machine of the end face and the positioning hole for fixing the laminated piezoelectric element. Since the workability is improved, it is possible to provide inexpensive parts.

【0026】次に、フロントエンド組20と前記積層圧
電素子組21を位置決め接着する工程を図5にて説明す
る。フロントエンド組20及び図示しない位置決め用ダ
ミーサポートプレートを位置決めする位置決めピンを具
備した図示しないベースA、積層圧電素子組20を固定
する図示しないベースB、積層圧電素子組21を微小移
動をさせるための複数の図示しないマイクロメータヘッ
ド、積層圧電素子組21を微小移動後固定するための図
示しない固定ネジ等、前記フロントエンド組20を固定
した前記ベースAに積層圧電素子組21を固定した前記
ベースBを接着させるために図中矢印方向に移動を可能
にするための直動ガイド等を具備した図示しない位置決
め治具により、前記位置決め用ダミーサポートプレート
を前記ベースBに位置決め穴18を用いセットする。ま
た、積層圧電素子組21は前記ベースBに固定し、積層
圧電素子15と反対側の面から観察しつつ、前記ダミー
サポートプレートの開口部を基準に、前記マイクロメー
タヘッドにより、X及びY方向に位置合わせをし、前記
固定ネジ等により積層圧電素子組21を固定する。次
に、前記ダミーサポートプレートを前記ベースAより取
り外し、前記フロントエンド組20を、位置決め穴18
を用いて前記ベースAの位置決めピンに挿入しセットす
る。次に、前記振動板7もしくは積層圧電素子15に接
着剤24を塗布し、前記直動ガイドにより前記圧電素子
組21をフロントエンド組20側の矢印方向に移動し
て、前記積層圧電素子組21の積層圧電素子15を振動
板7に前記接着剤24で接着する。この時、積層圧電素
子15は前記位置決め用ダミーサポートプレートに対し
て既に位置決めがなされているので正確に規定の位置に
合わせて接着することが可能となる。この際、前述した
ように、前記ハウジング13の開口部13−aと前記積
層圧電素子組21の間には、隙間がある状態で位置決め
され接着されている。更に、前記ハウジング13の開口
部13−aと前記積層圧電素子組21の隙間にインクが
侵入して、前記積層圧電素子15の地絡による破損を防
止するためのインクシール目的のシーリング剤23等を
充填して組み立て工程を終了する。上記の様な構成で組
み立てることにより、前記圧電素子と振動板との位置決
め精度は、ある程度の加工ばらつきを持った部品でも、
接着位置のばらつきを最小限に押さえられることが可能
となり、安価でインク噴射特性ばらつきを低減すること
が可能となる。
Next, the step of positioning and adhering the front end set 20 and the laminated piezoelectric element set 21 will be described with reference to FIG. A base A (not shown) having positioning pins for positioning the front-end set 20 and a positioning dummy support plate (not shown), a base B (not shown) for fixing the laminated piezoelectric element set 20, and a laminated piezoelectric element set 21 for fine movement. A plurality of micrometer heads (not shown), fixing screws (not shown) for fixing the laminated piezoelectric element set 21 after minute movement, and the like, the base B having the laminated piezoelectric element set 21 fixed to the base A having the front end set 20 fixed thereto. The positioning dummy support plate is set in the base B using the positioning holes 18 by a positioning jig (not shown) equipped with a linear guide for enabling movement in the direction of the arrow in the figure for bonding. Further, the laminated piezoelectric element set 21 is fixed to the base B, and while being observed from the surface opposite to the laminated piezoelectric element 15, the micrometer head is used for the X and Y directions with reference to the opening of the dummy support plate. Then, the laminated piezoelectric element set 21 is fixed by the fixing screw or the like. Next, the dummy support plate is removed from the base A, and the front end set 20 is attached to the positioning hole 18
Using, insert into the positioning pin of the base A and set. Next, the adhesive 24 is applied to the vibrating plate 7 or the laminated piezoelectric element 15, and the piezoelectric element set 21 is moved in the direction of the arrow on the front end set 20 side by the linear motion guide to move the laminated piezoelectric element set 21. The laminated piezoelectric element 15 is adhered to the vibration plate 7 with the adhesive 24. At this time, since the laminated piezoelectric element 15 has already been positioned with respect to the positioning dummy support plate, it is possible to accurately adhere the laminated piezoelectric element 15 to a prescribed position. At this time, as described above, the opening 13-a of the housing 13 and the laminated piezoelectric element set 21 are positioned and bonded with a gap. Further, a sealant 23 for the purpose of ink sealing for preventing ink from entering the gap between the opening 13-a of the housing 13 and the laminated piezoelectric element set 21 and damaging the laminated piezoelectric element 15 due to a ground fault. To complete the assembly process. By assembling with the above-mentioned configuration, the positioning accuracy of the piezoelectric element and the vibration plate can be a part having some processing variation,
It is possible to suppress the variation in the bonding position to a minimum, and it is possible to reduce the variation in the ink ejection characteristics at a low cost.

【0027】また、上記の様な構成と組立法により製作
されたインクジェットプリントヘッドを、図示しないヒ
ータ等の熱源により加熱して固体インク用を高温にて使
用する場合、フロントエンド組20の構成部品が全てス
テンレス材を使用する一方で、前記積層圧電素子15が
セラミック主体の無機材料から構成されていて熱膨張係
数が違っていても、前述したように、前記積層圧電素子
固定板16に該積層圧電素子15を接合し、その後分割
加工するため、温度変化による伸縮は前記積層圧電素子
固定板16の熱膨張係数が支配的となる。このため、室
温と高温のヒートサイクルがあっても、残留応力や残留
ひずみが発生しない。
When the ink jet print head manufactured by the construction and assembly method as described above is heated by a heat source such as a heater (not shown) to use solid ink at a high temperature, the components of the front end assembly 20 are used. While using all stainless steel, even if the laminated piezoelectric element 15 is made of an inorganic material mainly composed of ceramics and has a different coefficient of thermal expansion, as described above, the laminated piezoelectric element fixing plate 16 is laminated with the laminated piezoelectric element. Since the piezoelectric element 15 is joined and then divided, the expansion and contraction due to temperature change is dominated by the thermal expansion coefficient of the laminated piezoelectric element fixing plate 16. Therefore, residual stress and residual strain do not occur even if there is a heat cycle between room temperature and high temperature.

【0028】また、フレキシブルケーブル17の材質は
ポリイミドフィルムであり、前記積層圧電素子固定板1
6のステンレス材と熱膨張係数が異なるが、前記フレキ
シブルケーブル17の先端部の個別電極17−bをむき
出しにして、先端部のみを前記積層圧電素子15に対応
するように分割され、接合されている。このため、温度
変化による伸縮によるひずみは前記個別電極むき出し部
17−b1の前記圧電素子15と接合されていない部分
で緩和される。
The material of the flexible cable 17 is a polyimide film, and the laminated piezoelectric element fixing plate 1
Although the coefficient of thermal expansion is different from that of the stainless steel material of No. 6, the individual electrode 17-b at the tip of the flexible cable 17 is exposed, and only the tip is divided and bonded so as to correspond to the laminated piezoelectric element 15. There is. Therefore, the strain due to the expansion and contraction due to the temperature change is relaxed in the portion of the individual electrode exposed portion 17-b1 which is not joined to the piezoelectric element 15.

【0029】また、前記フレキシブルケーブル17の個
別電極17−b間に、所定の幅の溝17−eを形成する
ことで、フレキシブルケーブル17の絶縁用フィルム部
17−aと前記ステンレス材の積層圧電素子固定板16
との熱膨張係数の違いによるひずみを、更に緩和するこ
とができる。
Further, by forming a groove 17-e having a predetermined width between the individual electrodes 17-b of the flexible cable 17, the insulating film portion 17-a of the flexible cable 17 and the laminated piezoelectric material of the stainless material are formed. Element fixing plate 16
The strain due to the difference in the coefficient of thermal expansion between and can be further relaxed.

【0030】また、フロントエンド組20と積層圧電素
子組21を位置決め後、前記ハウジング13の開口部1
4と前記積層圧電素子固定板16との隙間にインクシー
ル目的のシーリング剤23等を充填することにより、イ
ンクによる圧電素子15の地絡による破損を防止するこ
とが可能となる。
After the front end set 20 and the laminated piezoelectric element set 21 are positioned, the opening 1 of the housing 13 is opened.
By filling the gap between the piezoelectric element fixing plate 16 and the laminated piezoelectric element fixing plate 16 with the sealing agent 23 for the purpose of ink sealing, it is possible to prevent the piezoelectric element 15 from being damaged by the ground fault.

【0031】また、前記積層圧電素子固定板16と前記
ハウジング13を熱伝導性の良好なシリコーンゴム等の
シーリング剤23で接合し、前記ハウジング13と積層
圧電素子組21の熱伝導性を更に良好にし、温度差によ
る伸縮によるひずみの影響を低減することが可能とな
る。また、インクシール目的のシーリング剤23等の接
着剤硬度が90度(ショア−A)以下の接着剤を前記圧
電素子固定板16と前記ハウジング13との隙間に充填
することによっても、前記圧電素子15と振動板7の接
着位置を保持したまま、温度差による伸縮によるひずみ
を前記硬度の接着剤で吸収することが可能となる。
Further, the laminated piezoelectric element fixing plate 16 and the housing 13 are joined by a sealing agent 23 such as silicone rubber having a good thermal conductivity so that the thermal conductivity of the housing 13 and the laminated piezoelectric element set 21 is further improved. In addition, it is possible to reduce the influence of strain due to expansion and contraction due to the temperature difference. Further, by filling an adhesive having an adhesive hardness of 90 degrees (Shore-A) or less such as a sealing agent 23 for the purpose of ink sealing into the gap between the piezoelectric element fixing plate 16 and the housing 13, the piezoelectric element It is possible to absorb the strain due to the expansion and contraction due to the temperature difference with the adhesive having the hardness while maintaining the bonding position between 15 and the vibration plate 7.

【0032】以上説明した構成をとることにより、安価
でインク噴射特性ばらつきを低減した信頼性の高い、例
えばインクジェットプリントヘッドを取り付けるベース
の加熱手段の有無により、同一仕様のインクジェットプ
リントヘッドで主に室温で用いられるリキッドインク用
から高温で用いられる固形インク用の兼用が可能である
インクジェットプリントヘッドを提供することが可能と
なる。
By adopting the configuration described above, it is inexpensive and highly reliable with reduced variation in ink ejection characteristics. For example, the presence or absence of heating means for the base to which the ink jet print head is attached, the ink jet print head having the same specifications is mainly used at room temperature. It is possible to provide an inkjet print head which can be used both for the liquid ink used in (1) and the solid ink used at high temperature.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明によれば、積層圧電素子、フレキ
シブルケーブル以外の部品を全てステンレス材で構成し
たプリントヘッドにおいて、ステンレス材の圧電素子固
定板上にフレキシブルケーブルを介し、積層圧電素子と
導通することにより、安価でインク噴射特性ばらつきを
低減した信頼性の高い、室温から高温まで使用可能なイ
ンクジェットプリントヘッドを提供することができる。
According to the present invention, in a print head in which all components other than the laminated piezoelectric element and the flexible cable are made of stainless material, the piezoelectric element fixing plate made of stainless material is electrically connected to the laminated piezoelectric element via the flexible cable. By doing so, it is possible to provide an ink jet print head that is inexpensive and has reduced variation in ink ejection characteristics and that is highly reliable and that can be used from room temperature to high temperatures.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明による一例となるインクジェットプリ
ントヘッドの概略構成を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an exemplary inkjet printhead according to the present invention.

【図2】 本発明による一例となるインクジェットプリ
ントヘッドの概略構成を示す横断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an exemplary inkjet printhead according to the present invention.

【図3】 本発明による一例となる積層圧電素子組の個
別電極側から見た斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of an example of a laminated piezoelectric element set according to the present invention viewed from the individual electrode side.

【図4】 本発明による一例となる積層圧電素子組の共
通電極側から見た斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of a laminated piezoelectric element set as an example according to the present invention viewed from the common electrode side.

【図5】 本発明による一例となるフロントエンド組と
積層圧電素子組の位置決め接着作業を示す正面断面図及
び右側面断面図である。
5A and 5B are a front cross-sectional view and a right side cross-sectional view showing a positioning and bonding operation of an example front end set and a laminated piezoelectric element set according to the present invention.

【図6】 従来技術からなるインクジェットヘッドの概
略構成を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of an inkjet head according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1はノズル、2はオリフィスプレート、3は圧力室、4
はチャンバプレート、5はリストリクタ、6はリストリ
クタプレート、7は振動板、8はフィルタ部、9はダイ
アフラムプレート、10は枠、11はサポートプレー
ト、12は共通インク通路、13はハウジング、14は
開口部、15は積層圧電素子、15−aは積層圧電素子
外部電極、15−bは積層圧電素子切り欠き部、16は
圧電素子固定板、16−aは圧電素子固定板切り欠き
部、16−bは個別電極、16−cは共通電極、16−
dはスルーホール、16−eは位置決め穴、17はフレ
キシブルケーブル、17−aはフレキシブルケーブルフ
ィルム部、17−bはフレキシブルケーブル個別電極、
17−b1はフレキシブルケーブル個別電極剥き出し
部、17−cはフレキシブルケーブル共通電極、17−
dはフレキシブルケーブル位置決め穴、17−eはフレ
キシブルケーブル溝、18は位置決め穴、19はハウジ
ング位置決め穴、20はフロントエンド組、21は積層
圧電素子組、22は導電性接着剤、23はシーリング
剤、24は接着剤である。
1 is a nozzle, 2 is an orifice plate, 3 is a pressure chamber, 4
Is a chamber plate, 5 is a restrictor, 6 is a restrictor plate, 7 is a diaphragm, 8 is a filter part, 9 is a diaphragm plate, 10 is a frame, 11 is a support plate, 12 is a common ink passage, 13 is a housing, 14 Is an opening, 15 is a laminated piezoelectric element, 15-a is a laminated piezoelectric element external electrode, 15-b is a laminated piezoelectric element notch, 16 is a piezoelectric element fixing plate, 16-a is a piezoelectric element fixing plate notch, 16-b is an individual electrode, 16-c is a common electrode, 16-
d is a through hole, 16-e is a positioning hole, 17 is a flexible cable, 17-a is a flexible cable film portion, 17-b is a flexible cable individual electrode,
17-b1 is a flexible cable individual electrode exposed portion, 17-c is a flexible cable common electrode, 17-
d is a flexible cable positioning hole, 17-e is a flexible cable groove, 18 is a positioning hole, 19 is a housing positioning hole, 20 is a front end assembly, 21 is a laminated piezoelectric element assembly, 22 is a conductive adhesive, and 23 is a sealing agent. , 24 are adhesives.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 庄司 裕 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 秋山 佳孝 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 山田 健二 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF24 AF93 AG47 AG89 AG91 AP02 AP25 AP77 AQ06 BA03 BA14    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Hiroshi Shoji             Hitachiko, 1060 Takeda, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture             Machine Co., Ltd. (72) Inventor Yoshitaka Akiyama             Hitachiko, 1060 Takeda, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture             Machine Co., Ltd. (72) Inventor Kenji Yamada             Hitachiko, 1060 Takeda, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture             Machine Co., Ltd. F-term (reference) 2C057 AF24 AF93 AG47 AG89 AG91                       AP02 AP25 AP77 AQ06 BA03                       BA14

Claims (12)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】インクを蓄える複数の圧力室を具備したス
    テンレス材のチャンバプレートと、電気信号の印加によ
    り前記圧力室内に圧力変動を発生させる積層圧電素子
    と、前記圧力室の壁面の少なくとも一部を形成して前記
    積層圧電素子と接着剤で連結されているステンレス材の
    振動板であるダイアフラムプレートと、前記積層圧電素
    子端部が固定されたステンレス材の積層圧電素子固定板
    と、前記積層圧電素子に電気信号を送るためのフレキシ
    ブルケーブルと、前記圧力室にインクを供給する流路を
    形成するステンレス材のリストリクタを具備したリスト
    リクタプレートと、リストリクタにインクを供給する共
    通インク流路が設けられたステンレス材のハウジング
    と、前記圧力室からインク滴が吐出する複数個のノズル
    を形成したステンレス材のオリフィスプレートとから構
    成されたインクジェットプリントヘッドにおいて、前記
    ステンレス材からなる圧電素子固定板上にフレキシブル
    ケーブルを介し、前記積層圧電素子と導通していること
    を特徴とするインクジェットプリントヘッド。
    1. A chamber plate made of a stainless material having a plurality of pressure chambers for storing ink, a laminated piezoelectric element for generating a pressure fluctuation in the pressure chamber by applying an electric signal, and at least a part of a wall surface of the pressure chamber. A diaphragm plate, which is a diaphragm made of a stainless material and is connected to the laminated piezoelectric element with an adhesive, and a laminated piezoelectric element fixing plate made of a stainless material having an end portion of the laminated piezoelectric element fixed; A flexible cable for sending an electric signal to the element, a restrictor plate including a restrictor made of stainless material forming a flow path for supplying ink to the pressure chamber, and a common ink flow path for supplying ink to the restrictor are provided. A stainless steel housing provided, and a stainless steel formed with a plurality of nozzles for ejecting ink droplets from the pressure chamber. In the ink jet print head configured from the orifice plate, ink jet print head, wherein the through a flexible cable to the piezoelectric element fixing plate on which a stainless material, are electrically connected to the laminated piezoelectric element.
  2. 【請求項2】前記積層圧電素子の個別電極側は前記フレ
    キシブルケーブルの電極を積層圧電素子と導電性接着剤
    により導通させ、共通電極側は積層圧電素子と前記ステ
    ンレス材からなる積層圧電素子固定板とを導電性接着剤
    により直接導通させ、更に前記フレキシブルケーブルと
    前記ステンレス材からなる積層圧電素子固定板とを電導
    性接着剤により導通させることを特徴とする請求項1記
    載のインクジェットプリントヘッド。
    2. An individual electrode side of the laminated piezoelectric element electrically connects the electrode of the flexible cable to the laminated piezoelectric element by a conductive adhesive, and a common electrode side of the laminated piezoelectric element and a laminated piezoelectric element fixing plate made of the stainless material. 2. The inkjet print head according to claim 1, wherein the conductive cable and the flexible cable are electrically connected to each other and the laminated piezoelectric element fixing plate made of the stainless material is electrically connected to each other.
  3. 【請求項3】前記積層圧電素子と前記積層圧電素子固定
    板を絶縁性のある接着剤で接合したことを特徴とする請
    求項1記載のインクジェットプリントヘッド。
    3. The ink jet print head according to claim 1, wherein the laminated piezoelectric element and the laminated piezoelectric element fixing plate are bonded together by an insulating adhesive.
  4. 【請求項4】前記積層圧電素子固定板と前記積層圧電素
    子の個別電極側に、切り欠き部を設けたことを特徴とす
    る請求項1乃至3記載のインクジェットプリントヘッ
    ド。
    4. The ink jet print head according to claim 1, wherein a cutout portion is provided on the laminated piezoelectric element fixing plate and the individual electrode side of the laminated piezoelectric element.
  5. 【請求項5】前記フレキシブルケーブルの個別電極を剥
    き出しにして、その部分を前記積層圧電素子個別電極側
    に導電性接着剤で接合したことを特徴とする請求項1乃
    至4記載のインクジェットプリントヘッド。
    5. The ink jet print head according to claim 1, wherein the individual electrode of the flexible cable is exposed and the portion is bonded to the individual electrode side of the laminated piezoelectric element with a conductive adhesive.
  6. 【請求項6】前記フレキシブルケーブルの個別電極幅と
    前記積層圧電素子幅との関係が、(積層圧電素子幅>フ
    レキシブルケーブル個別電極幅)であることを特徴とす
    る請求項1乃至5記載のインクジェットプリントヘッ
    ド。
    6. The inkjet according to claim 1, wherein the relationship between the individual electrode width of the flexible cable and the laminated piezoelectric element width is (laminated piezoelectric element width> flexible cable individual electrode width). Print head.
  7. 【請求項7】前記フレキシブルケーブルの絶縁用フィル
    ムの積層圧電素子個別電極接着面側が、前記積層圧電素
    子の切り欠き部を覆う構成であることを特徴とする請求
    項1乃至6記載のインクジェットプリントヘッド。
    7. The ink jet print head according to claim 1, wherein the insulating film of the flexible cable has a structure in which a laminated piezoelectric element individual electrode bonding surface side covers the cutout portion of the laminated piezoelectric element. .
  8. 【請求項8】前記フレキシブルケーブルの個別電極間に
    所定の幅の溝が形成されていることを特徴とする請求項
    1乃至7記載のインクジェットプリントヘッド。
    8. The ink jet print head according to claim 1, wherein a groove having a predetermined width is formed between the individual electrodes of the flexible cable.
  9. 【請求項9】前記ハウジングに前記積層圧電素子固定板
    を挿入できる開口部を設け、前記振動板と前記積層圧電
    素子を位置決して接合することを特徴とする請求項1乃
    至8記載のインクジェットプリントヘッド。
    9. The ink jet print head according to claim 1, wherein the housing is provided with an opening into which the laminated piezoelectric element fixing plate can be inserted, and the vibrating plate and the laminated piezoelectric element are positionally joined to each other. .
  10. 【請求項10】前記ハウジングに前記積層圧電素子固定
    板を挿入できる開口部を設け、前記振動板と前記積層圧
    電素子の位置決めを行い、位置決め後、前記ハウジング
    の開口部と前記積層圧電素子固定板との隙間にインクシ
    ール目的のシーリング剤の接着剤を充填することを特徴
    とする請求項8記載のインクジェットプリントヘッド。
    10. An opening through which the laminated piezoelectric element fixing plate can be inserted is provided in the housing, the vibration plate and the laminated piezoelectric element are positioned, and after positioning, the opening of the housing and the laminated piezoelectric element fixing plate. 9. The ink jet print head according to claim 8, wherein an adhesive of a sealing agent for the purpose of ink sealing is filled in a gap between the ink jet print head and the ink.
  11. 【請求項11】前記積層圧電素子固定板と前記ハウジン
    グを熱伝導性の良好なシリコーンゴムで接合する請求項
    9記載のインクジェットプリントヘッド。
    11. The ink jet print head according to claim 9, wherein the laminated piezoelectric element fixing plate and the housing are joined with silicone rubber having good thermal conductivity.
  12. 【請求項12】前記インクシール目的のシーリング剤の
    接着剤硬度が90度(ショア−A)以下であることを特
    徴とする請求項9または10記載のインクジェットプリ
    ントヘッド。
    12. The ink jet print head according to claim 9, wherein the sealing agent for the purpose of ink sealing has an adhesive hardness of 90 degrees (Shore-A) or less.
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