JP2002055223A - Optical device, method for manufacturing the same and liquid crystal device - Google Patents

Optical device, method for manufacturing the same and liquid crystal device

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JP2002055223A
JP2002055223A JP2000243591A JP2000243591A JP2002055223A JP 2002055223 A JP2002055223 A JP 2002055223A JP 2000243591 A JP2000243591 A JP 2000243591A JP 2000243591 A JP2000243591 A JP 2000243591A JP 2002055223 A JP2002055223 A JP 2002055223A
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ink
optical element
treatment
manufacturing
pixel
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Withdrawn
Application number
JP2000243591A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Yanai
洋 谷内
Shoji Shiba
昭二 芝
Katsuhiko Takano
勝彦 高野
Takeshi Okada
岡田  健
Taketo Nishida
武人 西田
Junichi Sakamoto
淳一 坂本
Yoshikatsu Okada
良克 岡田
Kenitsu Iwata
研逸 岩田
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive method for manufacturing a color filter with good yield by which a light shielding part is formed in a simple process without causing problems of environmental safety or production stability. SOLUTION: After pixels 2 are formed on a supporting substrate 1 and treated to have ink-repelling property, ink 4 is supplied from an ink jet head 3 to the space in the pixels 2 to form the light shielding part 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、パ
ーソナルコンピュータ、パチンコ遊技台に使用されてい
るカラー液晶素子の構成部材であるカラーフィルタ等光
学素子の製造方法に関し、さらには、該製造方法により
製造される光学素子、及び該光学素子の一つであるカラ
ーフィルタを用いてなる液晶素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical element such as a color filter which is a constituent member of a color liquid crystal element used for a color television, a personal computer, and a pachinko game console. The present invention relates to a manufactured optical element and a liquid crystal element using a color filter which is one of the optical elements.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要が増
加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のため
にはコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の
重いカラーフィルタのコストダウンに対する要求が高ま
っている。
2. Description of the Related Art In recent years, the development of personal computers,
In particular, with the development of portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, tends to increase. However, cost reduction is necessary for further popularization, and in particular, there is an increasing demand for cost reduction of color filters having a high specific gravity.

【0003】従来から、カラーフィルタの要求特性を満
足しつつ上記の要求に応えるべく、種々の方法が試みら
れているが、未だ全ての要求特性を満足する方法は確立
されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。
Conventionally, various methods have been tried to satisfy the above requirements while satisfying the required characteristics of the color filter, but no method has yet been established which satisfies all the required characteristics. The respective methods will be described below.

【0004】第一の方法は染色法である。染色法は、先
ず透明基板上に染色用の材料である、水溶性の高分子材
料層を形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所
望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染
色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。この工程を
3回繰り返すことにより、R(赤)、G(緑)、B
(青)の3色の着色部からなる着色層を形成する。
[0004] The first method is a dyeing method. In the dyeing method, first, a water-soluble polymer material layer, which is a material for dyeing, is formed on a transparent substrate, and this is patterned into a desired shape by a photolithography process, and the obtained pattern is immersed in a dye bath. To obtain a colored pattern. By repeating this process three times, R (red), G (green), B
A colored layer composed of three colored portions (blue) is formed.

【0005】第二の方法は顔料分散法であり、近年最も
盛んに行われている。この方法は、先ず透明基板上に顔
料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニン
グすることにより、単色のパターンを得る。この工程を
3回繰り返すことにより、R、G、Bの3色の着色部か
らなる着色層を形成する。
[0005] The second method is a pigment dispersion method, which has been most frequently used in recent years. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is first formed on a transparent substrate, and this is patterned to obtain a monochromatic pattern. This step is repeated three times to form a colored layer including three colored portions of R, G, and B.

【0006】第三の方法としては電着法がある。この方
法は、先ず透明基板上に透明電極をパターニングし、顔
料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一
の色を電着する。この工程を3回繰り返して、R、G、
Bの3色の着色部からなる着色層を形成し、最後に焼成
するものである。
A third method is an electrodeposition method. In this method, a transparent electrode is first patterned on a transparent substrate, and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like to electrodeposit a first color. This process is repeated three times, and R, G,
A colored layer composed of colored portions of three colors B is formed and finally baked.

【0007】第四の方法としては、熱硬化型の樹脂に顔
料を分散し、印刷を3回繰り返すことにより、R、G、
Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより、着
色層を形成するものである。いずれの方法においても、
着色層の上に保護層を形成するのが一般的である。
As a fourth method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin and printing is repeated three times to obtain R, G,
After separately applying B, the resin is thermally cured to form a colored layer. In either method,
Generally, a protective layer is formed on the coloring layer.

【0008】カラーフィルタの着色部は規則的に配置さ
れ、通常、各着色部間には表示コントラストを高めるた
めに遮光部が設けられている。以下に遮光部の形成方法
について述べる。
[0008] The colored portions of the color filter are regularly arranged, and a light-shielding portion is usually provided between the colored portions to enhance display contrast. Hereinafter, a method for forming the light shielding portion will be described.

【0009】第一の方法は、金属ブラックマトリクス
(金属BM)と称される金属薄膜を用いる方法である。
この方法は、現在主流になっており、金属としてはCr
が用いられている。具体的には、先ず透明基板上に蒸着
法により金属Cr薄膜を形成し、これをフォトリソグラ
フィ工程により所望のパターンに形成したレジストをマ
スクにしてエッチングし、最終的にレジストを剥離して
得られる。この方法は、薄くても十分な光学濃度が得ら
れることや、解像性に優れるという利点がある。
The first method uses a metal thin film called a metal black matrix (metal BM).
This method is currently mainstream, and the metal is Cr
Is used. Specifically, first, a metal Cr thin film is formed on a transparent substrate by an evaporation method, this is etched using a resist formed in a desired pattern by a photolithography process as a mask, and finally the resist is peeled off. . This method has an advantage that a sufficient optical density can be obtained even if it is thin, and that the resolution is excellent.

【0010】第二の方法は、前記した顔料分散法を用い
た方法であり、樹脂BMと称される。この方法では、透
明基板上に遮光材料を分散した感光性樹脂層を形成し、
マスクを介してパターニングすることにより遮光パター
ンを得る。また、その立体形状を利用してインクジェッ
ト方式で着色部を形成する場合にも用いられる。特開平
9−127327号公報には、撥インク性を有する遮光
部の開口部にインクジェット記録装置にて着色インクを
充填し、カラーフィルタを製造する方法が開示されてい
る。
The second method is a method using the above-described pigment dispersion method, and is referred to as a resin BM. In this method, a photosensitive resin layer in which a light shielding material is dispersed is formed on a transparent substrate,
A light-shielding pattern is obtained by patterning through a mask. It is also used when a colored portion is formed by an ink-jet method using the three-dimensional shape. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-127327 discloses a method of manufacturing a color filter by filling a color ink into an opening of a light-shielding portion having ink repellency by an ink jet recording apparatus.

【0011】第三の方法は、背面露光と称される方法で
あり、遮光材料を分散した感光性樹脂を用いるが、上記
2方法が着色部よりも先に遮光部を形成するのに対し、
当該方法は、着色部を形成した後に遮光部を形成する。
即ち、紫外線吸収剤を含んだ材料によりパターン形成さ
れた着色部の上に遮光材料を分散した感光性樹脂を全面
に塗布し、透明基板の裏面から全面露光することで、着
色部間隙のみを光硬化させ、現像により着色部上の遮光
材料を除去することで遮光部を形成する。この方法は、
パターニング時にマスクを必要とせず、アライメントも
不要であることから、簡便な方法である。例えば、特開
平7−49415号公報などで紹介されている。
The third method is a method called back exposure, which uses a photosensitive resin in which a light-shielding material is dispersed. In the above two methods, a light-shielding portion is formed before a colored portion.
In this method, a light-shielding portion is formed after forming a colored portion.
That is, a photosensitive resin in which a light-shielding material is dispersed is applied to the entire surface of the colored portion patterned with a material containing an ultraviolet absorber, and the entire surface is exposed from the back surface of the transparent substrate, so that only the colored portion gap is exposed to light. After curing, the light-shielding material on the colored portion is removed by development to form a light-shielding portion. This method
This is a simple method since no mask is required for patterning and no alignment is required. For example, it is introduced in JP-A-7-49415.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の遮光部
の製造方法には、以下のような問題点があった。
The above-mentioned conventional method for manufacturing a light-shielding portion has the following problems.

【0013】金属BMは、金属Crのエッチング時に発
生する廃液に含まれるCr化合物が環境安全的に問題視
されている。この問題は廃棄もしくはリサイクル時にお
いても同様である。
As for the metal BM, a Cr compound contained in a waste liquid generated at the time of etching of metal Cr is regarded as an environmentally safe problem. This problem is the same at the time of disposal or recycling.

【0014】樹脂BMは、必要な光学濃度を得るために
は膜厚が大きくなることや、遮光性の高い材料を光パタ
ーニングするために解像度を得にくいといった問題点が
ある。
The resin BM has problems that the film thickness becomes large in order to obtain a required optical density, and that it is difficult to obtain a resolution due to optical patterning of a material having a high light-shielding property.

【0015】背面露光法は、透明基板(一般的にはUV
光を通しにくいガラス)を介しての遮光材料の露光であ
るために多大な露光量が必要になることや、着色部上に
遮光材料が残って光学特性を悪化させることなどが問題
視されている。
The back exposure method uses a transparent substrate (generally, UV
There is a problem that a large amount of exposure is required because the light-shielding material is exposed through a glass that does not allow light to pass through, and that the light-shielding material remains on the colored portion and deteriorates the optical characteristics. I have.

【0016】この他にも、上記カラーフィルタの着色部
の形成方法で述べた印刷法や、近年研究が進んでいるイ
ンクジェット法なども理論的には応用できるが、高精細
化が進んだ現在のカラーフィルタに応用するには解像度
の面で高度な特殊技術が要求されるために今のところ量
産化に対応できていない。
In addition to the above, the printing method described in the above-described method for forming the colored portion of the color filter and the ink jet method, which has been studied recently, can be theoretically applied. At present, mass production cannot be supported due to the need for advanced special technology in terms of resolution for application to color filters.

【0017】金属BMは上記したように、環境安全的に
見れば樹脂BMに変更すべきところであるが、未だ金属
BMが主流である理由の一つには、樹脂BMの製造安全
性やコストの面での課題が多いことが挙げられる。
As described above, the metal BM should be changed to the resin BM from the viewpoint of environmental safety. One of the reasons why the metal BM is still mainstream is that the production safety and cost of the resin BM are low. There are many issues on the surface.

【0018】本発明の課題は、上記環境安全性や製造安
定性、コスト等の問題点を解決し、簡便な方法で遮光部
を形成して、信頼性の高い光学素子をより簡易に歩留ま
り良く製造し、安価に提供することにある。また、本発
明は、該光学素子を用いて、カラー表示特性に優れた液
晶素子をより安価に提供するものである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of environmental safety, manufacturing stability, cost, etc., and to form a light-shielding portion by a simple method so that a highly reliable optical element can be more easily produced with a higher yield. It is to manufacture and provide it cheaply. Further, the present invention provides a liquid crystal element having excellent color display characteristics at a lower cost by using the optical element.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明の第一は、支持基
板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する黒色樹脂
組成物からなる遮光部とを少なくとも有する光学素子の
製造方法であって、支持基板上に画素を形成する工程
と、上記画素の少なくとも上面に撥インク化処理を施す
工程と、隣接する画素の間隙にインクジェット方式によ
りインクを付与して遮光部を形成する工程と、を有する
ことを特徴とする光学素子の製造方法である。
A first aspect of the present invention is a method for manufacturing an optical element having at least a plurality of pixels on a supporting substrate and a light-shielding portion made of a black resin composition located between adjacent pixels. Forming a pixel on the support substrate, performing a process of making the at least upper surface of the pixel ink repellent, forming a light-shielding portion by applying ink by an inkjet method to the gap between adjacent pixels, It is a manufacturing method of the optical element characterized by having.

【0020】上記本発明は、上記画素を顔料分散法によ
り形成すること、上記画素を着色インクを使用した印刷
法により形成すること、特に、シリコーンオイル含有ゴ
ムで形成した印刷版或いは表面をシリコーンオイル含有
ゴムで被覆した間接転写体を用い、パターン転写と同時
に画素上面に撥インク化処理を施すこと、上記撥インク
化処理が、少なくともフッ素原子を含有するガスを導入
してプラズマ照射を行うプラズマ処理であること、上記
撥インク化処理を、画素上面以外をレジストにより保護
して行うこと、上記撥インク化処理が、シリコーンオイ
ル含有ゴムを画素上面に接触させる処理であること、或
いは、感光性を有する撥インク材を用いて画素上面にの
み撥インク層を形成する処理であること、該撥インク材
が感光性を有するシリコーンゴム、或いは、フッ素系樹
脂またはシリコーン系樹脂を含有する感光性レジストで
あること、撥インク化処理された画素の上面の純水に対
する接触角が80°〜130°であること、遮光部形成
後に画素上面に親水化処理を施すこと、該親水化処理
が、アルカリ水溶液による洗浄処理、UV洗浄処理、エ
キシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理の
いずれかであること、上記インクが少なくとも硬化成
分、水、有機溶剤を含有すること、上記画素が着色部で
あるカラーフィルタを製造すること、を好ましい態様と
して含むものである。
The present invention relates to forming the pixels by a pigment dispersion method, forming the pixels by a printing method using a coloring ink, and particularly, forming a printing plate or surface formed of a silicone oil-containing rubber by a silicone oil. Using an indirect transfer body coated with a rubber-containing material, performing an ink-repellent treatment on the upper surface of the pixel at the same time as pattern transfer, wherein the ink-repellent treatment is a plasma treatment in which a gas containing at least a fluorine atom is introduced and plasma irradiation is performed. That the ink-repellent treatment is performed by protecting a portion other than the pixel upper surface with a resist, that the ink-repellent treatment is a process of bringing a silicone oil-containing rubber into contact with the pixel upper surface, or A process of forming an ink-repellent layer only on the upper surface of a pixel using the ink-repellent material having the photosensitive property Silicone rubber, or a photosensitive resist containing a fluorine-based resin or a silicone-based resin, the contact angle of pure water on the upper surface of the ink-repellent treated pixel to 80 ° to 130 °, after forming the light shielding portion Subjecting the pixel upper surface to a hydrophilic treatment, wherein the hydrophilic treatment is any one of a cleaning treatment with an alkaline aqueous solution, a UV cleaning treatment, an excimer cleaning treatment, a corona discharge treatment, and an oxygen plasma treatment; , Water, and an organic solvent, and manufacturing a color filter in which the pixel is a colored portion, as preferred embodiments.

【0021】本発明の第二は、支持基板上に複数の画素
と隣接する画素間に位置する遮光部とを少なくとも有
し、上記本発明の光学素子の製造方法により製造された
ことを特徴とする光学素子である。
A second aspect of the present invention is characterized in that the optical element has at least a plurality of pixels on a support substrate and a light-shielding portion located between adjacent pixels, and is manufactured by the above-described method for manufacturing an optical element of the present invention. Optical element.

【0022】上記本発明の第二は、上記支持基板が透明
基板であり、複数色の着色部を備えたカラーフィルタで
あること、該着色部上に保護層を有すること、表面に透
明導電膜を有すること、を好ましい態様として含むもの
である。
The second aspect of the present invention is that the support substrate is a transparent substrate and is a color filter having a plurality of colored portions, a protective layer is provided on the colored portions, and a transparent conductive film is provided on the surface. Is included as a preferred embodiment.

【0023】さらに本発明の第三は、一対の基板間に液
晶を挟持してなり、一方の基板が上記本発明の光学素子
の一態様であるカラーフィルタを用いて構成されたこと
を特徴とする液晶素子である。
A third aspect of the present invention is characterized in that a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and one of the substrates is formed using a color filter which is one embodiment of the optical element of the present invention. Liquid crystal element.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】本発明は、先に画素を形成し、該
画素の表面に撥インク化処理を施した上でインクジェッ
ト方式により該画素間隙にインクを付与して遮光部を形
成することに特徴を有する。そのため本発明において
は、インクを付与する際に、画素表面の撥インク性によ
って多量のインクでも画素上面にのらずに十分に画素間
隙に保持され、画素上にインクが残って画素を遮光する
恐れがなく、また、樹脂組成物からなる遮光部を十分な
厚さで形成することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the present invention, a light-shielding portion is formed by first forming a pixel, applying an ink-repellent treatment to the surface of the pixel, and then applying ink to the pixel gap by an ink-jet method. It has features. Therefore, in the present invention, when applying ink, a large amount of ink is sufficiently held in the pixel gap without being on the pixel upper surface due to the ink repellency of the pixel surface, and the ink remains on the pixel to shield the pixel from light. There is no fear, and the light-shielding portion made of the resin composition can be formed with a sufficient thickness.

【0025】本発明の製造方法で製造される本発明の光
学素子としては、カラーフィルタが挙げられる。先ず、
本発明の光学素子について実施形態を挙げて説明する。
The optical element of the present invention manufactured by the manufacturing method of the present invention includes a color filter. First,
The optical element of the present invention will be described with reference to embodiments.

【0026】図5に、本発明の光学素子の一実施形態で
あるカラーフィルタの一例の断面を模式的に示す。図
中、71は支持基板としての透明基板、72は遮光部で
あるブラックマトリクス、73は画素である着色部、7
4は必要に応じて形成される保護層である。本発明のカ
ラーフィルタを用いて液晶素子を構成する場合には、着
色部73上或いは、着色部73上に保護層74を形成し
たさらにその上に、液晶を駆動するためのITO(イン
ジウム・チン・オキサイド)等透明導電材からなる透明
導電膜が形成されて提供される場合もある。
FIG. 5 schematically shows a cross section of an example of a color filter which is an embodiment of the optical element of the present invention. In the figure, 71 is a transparent substrate as a support substrate, 72 is a black matrix as a light-shielding portion, 73 is a colored portion as a pixel, 7
4 is a protective layer formed as needed. When a liquid crystal element is formed using the color filter of the present invention, ITO (indium tin) for driving liquid crystal is provided on the colored portion 73 or further on the protective layer 74 formed on the colored portion 73. In some cases, a transparent conductive film made of a transparent conductive material such as (oxide) is formed and provided.

【0027】図6に、図5のカラーフィルタを用いて構
成された、本発明の液晶素子の一実施形態の断面模式図
を示す。図中、77は共通電極(透明導電膜)、78は
配向膜、79は液晶、81は対向基板、82は画素電
極、83は配向膜であり、図7と同じ部材には同じ符号
を付して説明を省略する。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of the liquid crystal element of the present invention constituted by using the color filter of FIG. In the figure, 77 is a common electrode (transparent conductive film), 78 is an alignment film, 79 is a liquid crystal, 81 is a counter substrate, 82 is a pixel electrode, 83 is an alignment film, and the same members as those in FIG. And the description is omitted.

【0028】カラー液晶素子は、一般的にカラーフィル
タ側の基板71と対向基板81とを合わせ込み、液晶7
9を封入することにより形成される。液晶素子の一方の
基板81の内側に、TFT(不図示)と画素電極82が
マトリクス状に形成されている。また、カラーフィルタ
側の基板71の内側には、画素電極82に対向する位置
に、R、G、Bが配列するように、カラーフィルタの着
色部73が形成され、その上に透明な共通電極77が形
成される。さらに、両基板の面内には配向膜78,83
が形成されており、液晶分子を一定方向に配列させてい
る。これらの基板は、スペーサー(不図示)を介して対
向配置され、シール材(不図示)によって貼り合わさ
れ、その間隙に液晶79が充填される。
In general, a color liquid crystal element includes a substrate 71 on the color filter side and a counter substrate 81, and
9 is formed. TFTs (not shown) and pixel electrodes 82 are formed in a matrix inside one substrate 81 of the liquid crystal element. Further, inside the substrate 71 on the color filter side, a colored portion 73 of a color filter is formed at a position facing the pixel electrode 82 so that R, G, and B are arranged, and a transparent common electrode is formed thereon. 77 is formed. Further, alignment films 78 and 83 are provided in the plane of both substrates.
Are formed, and the liquid crystal molecules are arranged in a certain direction. These substrates are arranged to face each other via a spacer (not shown), are adhered by a sealing material (not shown), and a gap is filled with a liquid crystal 79.

【0029】上記液晶素子は、透過型の場合には、基板
81及び画素電極82を透明素材で形成し、それぞれの
基板の外側に偏光板を接着し、一般的に蛍光灯と散乱板
を組み合わせたバックライトを用い、液晶化合物をバッ
クライトの光の透過率を変化させる光シャッターとして
機能させることにより表示を行う。また、反射型の場合
には、基板81或いは画素電極82を反射機能を備えた
素材で形成するか、或いは、基板81上に反射層を設
け、透明基板71の外側に偏光板を設け、カラーフィル
タ側から入射した光を反射して表示を行う。
In the case of the transmission type liquid crystal element, a substrate 81 and a pixel electrode 82 are formed of a transparent material, a polarizing plate is bonded to the outside of each substrate, and a fluorescent lamp and a scattering plate are generally combined. The display is performed by using the backlight and using the liquid crystal compound as an optical shutter for changing the transmittance of the backlight. In the case of the reflection type, the substrate 81 or the pixel electrode 82 is formed of a material having a reflection function, or a reflection layer is provided on the substrate 81, and a polarizing plate is provided outside the transparent substrate 71, and a color plate is provided. Display is performed by reflecting light incident from the filter side.

【0030】以下に、図面を参照して本発明の光学素子
の製造方法について説明する。
Hereinafter, a method for manufacturing an optical element according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0031】図1は本発明の光学素子の製造方法を模式
的に示す工程図である。以下に各工程について説明す
る。尚、以下の工程(a)〜(d)は図1の(a)〜
(d)に対応する。また、図1の各工程において紙面左
側の(a−1)〜(d−1)は上方より見た平面模式
図、紙面右側の(a−2)〜(d−2)は(a−1)〜
(d−1)のA−B断面模式図である。図中、1は支持
基板、2は画素、3はインクジェットヘッド、4はイン
ク、5は遮光部である。
FIG. 1 is a process diagram schematically showing a method of manufacturing an optical element according to the present invention. Hereinafter, each step will be described. In addition, the following steps (a) to (d) are performed in FIG.
(D). In each step of FIG. 1, (a-1) to (d-1) on the left side of the paper are schematic plan views viewed from above, and (a-2) to (d-2) on the right side of the paper are (a-1). ) ~
It is an AB sectional schematic diagram of (d-1). In the figure, 1 is a support substrate, 2 is a pixel, 3 is an inkjet head, 4 is ink, and 5 is a light-shielding portion.

【0032】工程(a) 支持基板1上に画素2を形成する。支持基板1は、図5
に例示したカラーフィルタを製造する場合には透明基板
71であり、一般にはガラス基板が用いられるが、液晶
素子を構成する目的においては、所望の透明性、機械的
強度等の必要特性を有するものであれば、プラスチック
基板なども用いることができる。
Step (a) The pixels 2 are formed on the support substrate 1. The supporting substrate 1 is shown in FIG.
In the case of manufacturing the color filter exemplified in (1), the transparent substrate 71 is used, and in general, a glass substrate is used. However, for the purpose of forming a liquid crystal element, a substrate having necessary characteristics such as desired transparency and mechanical strength is used. If so, a plastic substrate or the like can be used.

【0033】画素2はカラーフィルタでは着色部73で
あり、その形成方法としては、先に示した染色法や顔料
分散法、電着法、印刷法等を用いることができ、特に限
定されるものではない。これらの方法の中では、エッジ
形状の優れる顔料分散法や、印刷法が好適である。特に
印刷法においては、印刷版をシリコーンオイルを含有す
るゴムで形成したり、或いは表面をシリコーンオイルを
含有するゴムで被覆した間接転写体を用いることによっ
て、パターニングと同時に撥インク化処理を施すことが
できる。尚、上記シリコーンオイルを含有するゴムと
は、シリコーンゴム内部から移行成分として表面に浮き
出てくるものと、外部からゴム材質へシリコーンオイル
を供給するものの両方を意味する。
The pixel 2 is a colored portion 73 in a color filter, and can be formed by the dyeing method, the pigment dispersion method, the electrodeposition method, the printing method, or the like as described above, and is particularly limited. is not. Among these methods, a pigment dispersion method having a good edge shape and a printing method are preferable. In particular, in the printing method, the printing plate is formed of rubber containing silicone oil or an indirect transfer body whose surface is coated with rubber containing silicone oil is subjected to ink repellency simultaneously with patterning. Can be. The rubber containing the silicone oil means both a rubber that emerges from the inside of the silicone rubber as a transition component on the surface and a rubber that supplies the silicone oil from outside to the rubber material.

【0034】工程(b) 画素2の少なくとも上面に撥インク化処理を施す。撥イ
ンク化処理としては、フッ素化処理やシリコーンオイル
含有ゴムを画素2上面に接触させる方法、或いは、感光
性を有する撥インク材を用いて撥インク層を画素2の上
面にのみ形成する方法、が挙げられる。
Step (b) At least the upper surface of the pixel 2 is subjected to an ink-repellent treatment. As the ink-repellent treatment, a fluorination treatment or a method of contacting a silicone oil-containing rubber with the upper surface of the pixel 2 or a method of forming an ink-repellent layer only on the upper surface of the pixel 2 using a photosensitive ink-repellent material, Is mentioned.

【0035】上記フッ素化処理としては、工程が簡単で
あり画素2表面を良好にフッ素化して撥インク性を増大
させることができる方法として、少なくともフッ素原子
を含有するガスを導入してプラズマ照射を行うプラズマ
処理が好ましく用いられる。
In the fluorination treatment, as a method of simplifying the process and satisfactorily fluorinating the surface of the pixel 2 to increase the ink repellency, plasma irradiation by introducing a gas containing at least a fluorine atom is performed. Performed plasma treatment is preferably used.

【0036】当該工程において用いられる、少なくとも
フッ素原子を含有するガスとしては、CF4、CHF3
26、SF6、C38、C58から選択されるハロゲ
ンガスを1種以上用いることが好ましい。特に、C58
(オクタフルオロシクロペンテン)は、オゾン破壊能が
0であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べて(C
4:5万年、C48:3200年)0.98年と非常
に短い。従って、地球温暖化係数が90(CO2=2と
した100年積算値)と、従来のガスに比べて(C
4:6500、C48:8700)非常に小さく、オ
ゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発明で使
用する上で望ましい。
The gas containing at least a fluorine atom used in this step includes CF 4 , CHF 3 ,
It is preferable to use at least one halogen gas selected from C 2 F 6 , SF 6 , C 3 F 8 and C 5 F 8 . In particular, C 5 F 8
(Octafluorocyclopentene) has an ozone depletion potential of 0 and an air life longer than that of a conventional gas by (C).
F 4: 5 million years, C 4 F 8:. 3200 years) 0 98 years and very short. Therefore, the global warming potential is 90 (100-year integrated value with CO 2 = 2), which is (C
(F 4 : 6500, C 4 F 8 : 8700) Very small, extremely effective in protecting the ozone layer and the global environment, and is desirable for use in the present invention.

【0037】さらに、導入ガスとしては、必要に応じて
酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。
本工程においては、上記CF4、CHF3、C26、SF
6、C38、C58から選択されるハロゲンガスを1種
以上とO2との混合ガスを用いると、本工程においてフ
ッ素化処理される画素2表面の撥インク性の程度を制御
することが可能になる。但し、当該混合ガスにおいて、
2の混合比率が30%を超えるとO2による酸化反応が
支配的になり、撥インク性向上効果が妨げられるため、
また、O2混合比率が30%を超えると樹脂に対するダ
メージが顕著になるため、当該混合ガスを用いる場合に
はO2の混合比率が30%以下の範囲で使用する必要が
ある。
Further, as the introduced gas, a gas such as oxygen, argon, helium or the like may be used in combination, if necessary.
In this step, the above CF 4 , CHF 3 , C 2 F 6 , SF
6 , a mixed gas of at least one halogen gas selected from C 3 F 8 and C 5 F 8 and O 2 is used to reduce the degree of ink repellency of the surface of the pixel 2 to be fluorinated in this step. It becomes possible to control. However, in the mixed gas,
Mixing ratio oxidation reaction with O 2 exceeds 30% of O 2 is dominant, because the ink repellency enhancing effect is prevented,
When the O 2 mixture ratio exceeds 30%, the damage to the resin becomes remarkable. Therefore, when the mixed gas is used, it is necessary to use the O 2 mixture ratio within a range of 30% or less.

【0038】また、プラズマの発生方法としては、低周
波放電、高周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いる
ことができ、プラズマ処理の際の圧力、ガス流量、放電
周波数、処理時間等の条件は任意に設定することができ
る。
As a method for generating plasma, methods such as low-frequency discharge, high-frequency discharge, and microwave discharge can be used. Conditions such as pressure, gas flow rate, discharge frequency, and processing time in plasma processing are as follows. It can be set arbitrarily.

【0039】本工程において、撥インク性を高くすれば
するほど後工程において画素2の間隙に充填できるイン
ク量が増すため材料設計や製造時のプロセスマージンを
得ることが容易になるが、状況によっては白抜けを発生
させてしまうことがある。
In this step, the higher the ink repellency, the greater the amount of ink that can be filled into the gaps between the pixels 2 in the subsequent step, so that it becomes easier to obtain a material design and a process margin in manufacturing. May cause white spots.

【0040】即ち、高度に撥インク化処理された表面に
囲まれたポイント、具体的には90°近傍以下の角度で
挟まれた角部において、使用する材料の組み合わせによ
っては白抜けを起こすことがある。
That is, white spots may occur at points surrounded by a highly ink-repellent surface, specifically, at corners sandwiched by an angle of about 90 ° or less, depending on the combination of materials used. There is.

【0041】例えばカラーフィルタの遮光部の場合、そ
の形状は格子状もしくはライン状が一般的であるが、場
合によってはTFTの光による誤動作を防止するべくT
FTを遮光するために、遮光部の形状を複雑化する必要
が生じる。図2にその一例を示す。図中、22は着色部
(画素)、25は遮光部、26は遮光部25のうちのT
FT誤動作防止用遮光領域、27は白抜けである。図2
に示すように、画素22の側壁で90°に挟まれた領域
26では、両側壁の撥インク性が高いとインクがはじか
れて白抜け27が発生しやすい。
For example, in the case of a light-shielding portion of a color filter, the shape thereof is generally a lattice shape or a line shape.
In order to shield the FT, it is necessary to complicate the shape of the light shielding portion. FIG. 2 shows an example. In the figure, 22 is a colored portion (pixel), 25 is a light-shielding portion, and 26 is T of the light-shielding portion 25.
The FT malfunction prevention light-shielding region 27 is a white spot. FIG.
As shown in (2), in the region 26 sandwiched between the side walls of the pixel 22 at 90 °, if the ink repellency of both side walls is high, the ink is repelled and the white spot 27 is easily generated.

【0042】従って、このような白抜けを防止する上
で、当該撥インク化処理は画素2上面のみに施すことが
望ましく、上記したフッ素化処理のような工程の場合に
は、画素2の側壁をレジストによって保護することが望
ましい。
Therefore, in order to prevent such white spots, it is desirable that the ink repellency treatment be performed only on the upper surface of the pixel 2. In the case of the above-described fluorination treatment, the side wall of the pixel 2 is required. Is desirably protected by a resist.

【0043】図3は、レジストで画素2の側壁を保護し
て撥インク化処理を行う工程を示す。図中、31は感光
性レジスト層、32a、32bはフォトマスク、33は
レジストパターンである。以下に各工程を説明する。
FIG. 3 shows a step of protecting the side wall of the pixel 2 with a resist and performing an ink-repellent treatment. In the figure, 31 is a photosensitive resist layer, 32a and 32b are photomasks, and 33 is a resist pattern. The respective steps will be described below.

【0044】画素2を形成した支持基板1(図3
(a))全面に感光性レジスト層31を形成する(図3
(b))。次いで、当該レジスト層31がポジ型の場合
には、画素2に対応する開口部を有するフォトマスク3
2aを用い(図3(c−1))、また、当該レジスト層
31がネガ型の場合には、画素2を覆うパターンのフォ
トマスク32bを用いて(図3(c−2))露光する。
また、当該レジスト層31がネガ型の場合には、画素2
をマスクとして支持基板1の裏面から露光する(図3
(c−3))こともでき、この場合には、画素2に紫外
線吸収剤を含有させておく必要がある。
The support substrate 1 on which the pixels 2 are formed (FIG.
(A)) A photosensitive resist layer 31 is formed on the entire surface (FIG. 3).
(B)). Next, when the resist layer 31 is of a positive type, the photomask 3 having an opening corresponding to the pixel 2 is formed.
2a (FIG. 3C-1), and when the resist layer 31 is of a negative type, is exposed using a photomask 32b having a pattern covering the pixel 2 (FIG. 3C-2). .
When the resist layer 31 is a negative type, the pixel 2
Is exposed from the back surface of the support substrate 1 using
(C-3)). In this case, it is necessary to make the pixel 2 contain an ultraviolet absorber.

【0045】現像により、画素2上のレジスト層31を
除去することによって、画素2間隙を埋めるレジストパ
ターン33が得られ(図3(d))、この状態で撥イン
ク化処理を施す(図3(e))ことによって画素2の上
面のみが撥インク化処理され、処理後にレジストパター
ン33を除去する(図3(f))。
By removing the resist layer 31 on the pixel 2 by development, a resist pattern 33 filling the gap between the pixels 2 is obtained (FIG. 3D), and an ink repellent treatment is performed in this state (FIG. 3D). By (e)), only the upper surface of the pixel 2 is subjected to the ink repellency treatment, and the resist pattern 33 is removed after the treatment (FIG. 3 (f)).

【0046】また、本発明にかかる撥インク化処理とし
て、シリコーンオイル含有ゴムを画素2上面に接触させ
る方法や画素2上に撥インク層を形成する場合には、画
素2上面のみを撥インク化させることができる。
In the ink-repelling treatment according to the present invention, a method of contacting a silicone oil-containing rubber with the upper surface of the pixel 2 or forming an ink-repellent layer on the pixel 2, only the upper surface of the pixel 2 is made ink-repellent. Can be done.

【0047】シリコーンオイル含有ゴムを被処理面に接
触させる方法では、シリコーンオイルを含有するゴムを
巻いたローラーを回転させながら、画素2の上面に接触
させる方法が好適である。また、ここでいうシリコーン
オイルを含有するゴムとは、シリコーンゴム内部から移
行成分として表面に浮き出てくるものと、外部からゴム
材質へシリコーンオイルを含有するものの両方を意味す
る。
As a method of bringing the silicone oil-containing rubber into contact with the surface to be treated, a method of bringing the silicone oil-containing rubber into contact with the upper surface of the pixel 2 while rotating a roller around which the rubber containing the silicone oil is rotated is preferable. The term "silicone oil-containing rubber" as used herein means both a rubber material that emerges from the inside of the silicone rubber as a transition component and a rubber material that contains silicone oil from the outside.

【0048】また、画素2上に撥インク層を形成する方
法としては、感光性を有する撥インク材として、感光性
を有するシリコーンゴム、或いは、フッ素系樹脂やシリ
コーン系樹脂を含有させた感光性レジストが挙げられ
る。図4に当該工程を示す。図中、41は感光性撥イン
ク材層、42a、42bはフォトマスク、43は撥イン
ク層である。
As a method of forming an ink-repellent layer on the pixel 2, a photosensitive silicone rubber containing a photosensitive ink-repellent material or a photosensitive resin containing a fluorine-based resin or a silicone-based resin is used. Resist. FIG. 4 shows the process. In the figure, 41 is a photosensitive ink repellent material layer, 42a and 42b are photomasks, and 43 is an ink repellent layer.

【0049】当該工程においては、画素2を形成した支
持基板1(図4(a))上に全面に感光性撥インク材層
41を形成し(図4(b))、該撥インク材層41がネ
ガ型の場合には画素2に対応する開口部を有するフォト
マスク42aを用いて(図4(c−1)、該撥インク材
層42がポジ型の場合には画素2を覆うパターンを有す
るフォトマスク42bを用いて(図4(c−2))露光
する。また、ポジ型の場合には、画素2をマスクとして
支持基板1の裏面から露光することもでき、この場合に
は、画素2に紫外線吸収剤を含有させておく必要があ
る。
In this step, a photosensitive ink repellent material layer 41 is formed on the entire surface of the support substrate 1 (FIG. 4A) on which the pixels 2 are formed (FIG. 4B). When the negative type 41 is used, a photomask 42a having an opening corresponding to the pixel 2 is used (FIG. 4C-1). When the ink repellent material layer 42 is a positive type, a pattern covering the pixel 2 is used. (FIG. 4 (c-2)) using a photomask 42b having the following.In the case of a positive type, exposure can be performed from the back surface of the support substrate 1 using the pixels 2 as a mask. It is necessary that the pixel 2 contains an ultraviolet absorber.

【0050】上記露光後、現像によって、画素2間隙の
撥インク材層41を除去して画素2上にのみ撥インク層
43を形成することができる(図4(d))。
After the exposure, the ink repellent material layer 41 in the gap between the pixels 2 is removed by development to form the ink repellent layer 43 only on the pixels 2 (FIG. 4D).

【0051】ここで形成した撥インク層43をそのまま
残す場合、その用途に応じて透明性や以後の工程に対す
る耐性を有することが要求される。しかしながら、後述
するように、該撥インク層43上に形成される部材によ
っては、撥インク性が問題となる場合もあり、その場合
には、遮光部5を形成した後に当該撥インク層43を除
去することが望ましい。
If the ink-repellent layer 43 formed here is left as it is, it is required that the ink-repellent layer 43 has transparency and resistance to the subsequent steps depending on its use. However, as described later, depending on the member formed on the ink repellent layer 43, ink repellency may be a problem. In such a case, the ink repellent layer 43 is formed after the light shielding portion 5 is formed. It is desirable to remove it.

【0052】工程(c) インクジェット記録装置を用いて、インクジェットヘッ
ド3より、インク4を画素2の間隙に付与する。インク
ジェットとしては、エネルギー発生素子として電気熱変
換体を用いたバブルジェット(登録商標)タイプ、或い
は圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能
である。また、インク4としては、硬化後に黒色の樹脂
組成物層を形成するべく、硬化成分、水、溶剤を少なく
とも含むものが好ましい。以下に、インクの組成につい
てさらに詳細に説明する。
Step (c) The ink 4 is applied to the gap between the pixels 2 by the ink jet head 3 using an ink jet recording apparatus. As the ink jet, a bubble jet (registered trademark) type using an electrothermal converter as an energy generating element, a piezo jet type using a piezoelectric element, or the like can be used. The ink 4 preferably contains at least a curing component, water, and a solvent in order to form a black resin composition layer after curing. Hereinafter, the composition of the ink will be described in more detail.

【0053】〔1〕着色剤 本発明でインク中に含有させる着色剤としては、染料系
及び顔料系共に使用可能であるが、十分な遮光性を少量
で得るためには顔料系の着色剤が好ましい。具体的に
は、通常樹脂BMで用いられているカーボンブラックが
好ましく用いられ、該カーボンブラックとしては、チャ
ネルブラック、ローラーブラック、ディスクブラックと
呼ばれているコンタクト法で製造されたもの、ガスファ
ーネストブラック、オイルファーネストブラックと呼ば
れているファーネスト法で製造されたもの、サーマルブ
ラック、アセチレンブラックと呼ばれているサーマル法
で製造されたものなどを用いることができるが、特に、
チャネルブラック、ガスファーネストブラック、オイル
ファーネストブラックが好ましい。さらに必要に応じ
て、R、G、Bの顔料の混合物などを加えても良い。ま
た、着色剤の添加量としては、後述する硬化成分と同量
以下であることが好ましい。
[1] Colorant As the colorant to be contained in the ink in the present invention, both dyes and pigments can be used. However, in order to obtain a sufficient light-shielding property in a small amount, a pigment-based colorant must be used. preferable. Specifically, carbon black usually used for the resin BM is preferably used. Examples of the carbon black include those manufactured by a contact method called channel black, roller black, and disk black; Black, those manufactured by a furnace method called oil furnace black, thermal black, those manufactured by a thermal method called acetylene black, and the like can be used.
Channel black, gas furnace black and oil furnace black are preferred. If necessary, a mixture of R, G, and B pigments may be added. Further, the amount of the coloring agent to be added is preferably equal to or less than the amount of the curing component described later.

【0054】〔2〕硬化成分 後工程におけるプロセス耐性、信頼性等を考慮した場
合、熱処理或いは光照射等の処理により硬化し、着色剤
を固定化する成分、即ち架橋可能なモノマー或いはポリ
マー等の成分を含有することが好ましい。特に、後工程
における耐熱性を考慮した場合、硬化可能な樹脂組成物
を用いることが好ましい。具体的には、例えば基材樹脂
として、水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基、アミ
ド基等の官能基を有するアクリル樹脂、シリコーン樹
脂;またはヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシ
エチルセルロース、メチルセルロース、カルボキシメチ
ルセルロース等のセルロース誘導体或いはそれらの変性
物;またはポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルアセタール等のビニル系ポリマーが挙げ
られる。さらに、これらの基材樹脂を光照射或いは加熱
処理により硬化させるための架橋剤、光開始剤を用いる
ことが可能である。具体的には、架橋剤としては、メチ
ロール化メラミン等のメラミン誘導体が、また光開始剤
としては重クロム酸塩、ビスアジド化合物、ラジカル系
開始剤、カチオン系開始剤、アニオン系開始剤等が使用
可能である。また、これらの光開始剤を複数種混合し
て、或いは他の増感剤と組み合わせて使用することもで
きる。
[2] Curing component In consideration of the process resistance, reliability, and the like in the post-process, a component that is cured by heat treatment or light irradiation to fix the colorant, ie, a crosslinkable monomer or polymer, etc. It is preferable to contain components. In particular, it is preferable to use a curable resin composition in consideration of heat resistance in a later step. Specifically, for example, as a base resin, an acrylic resin having a functional group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, an alkoxy group, or an amide group, a silicone resin; or a cellulose derivative such as hydroxypropylcellulose, hydroxyethylcellulose, methylcellulose, or carboxymethylcellulose; Modified products thereof; and vinyl polymers such as polyvinylpyrrolidone, polyvinyl alcohol, and polyvinyl acetal. Further, a crosslinking agent and a photoinitiator for curing these base resins by light irradiation or heat treatment can be used. Specifically, melamine derivatives such as methylolated melamine are used as crosslinking agents, and dichromates, bisazide compounds, radical initiators, cationic initiators, anionic initiators, etc. are used as photoinitiators. It is possible. Further, these photoinitiators can be used as a mixture of plural kinds thereof or in combination with other sensitizers.

【0055】〔3〕溶剤 本発明で使用されるインクの媒体としては、水及び有機
溶剤の混合溶媒が好ましく使用される。水としては種々
のイオンを含有する一般の水ではなく、イオン交換水
(脱イオン水)を使用することが好ましい。
[3] Solvent As the medium of the ink used in the present invention, a mixed solvent of water and an organic solvent is preferably used. As the water, it is preferable to use ion-exchanged water (deionized water) instead of general water containing various ions.

【0056】有機溶剤としては、メチルアルコール、エ
チルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチル
アルコール、tert−ブチルアルコール等の炭素数1
〜4のアルキルアルコール類;ジメチルホルムアミド、
ジメチルアセトアミド等のアミド類;アセトン、ジアセ
トンアルコール等のケトン類またはケトアルコール類;
テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類;ポリ
エチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポ
リアルキレングリコール類;エチレングリコール、プロ
ピレングリコール、ブチレングリコール、トリエチレン
グリコール、チオジグリコール、へキシレングリコー
ル、ジエチレングリコール等のアルキレン基が2〜4個
の炭素を含有するアルキレングリコール類;グリセリン
類;エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコール
モノメチルエーテル等の多価アルコールの低級アルキル
エーテル類;N−メチル−2−ピロリドン、2−ピロリ
ドン等の中から選択することが好ましい。
Examples of the organic solvent include those having 1 carbon atom such as methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butyl alcohol, sec-butyl alcohol and tert-butyl alcohol.
To 4 alkyl alcohols; dimethylformamide,
Amides such as dimethylacetamide; ketones or keto alcohols such as acetone and diacetone alcohol;
Ethers such as tetrahydrofuran and dioxane; polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol; alkylene groups such as ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, triethylene glycol, thiodiglycol, hexylene glycol and diethylene glycol having 2 to 4 Glycerins; lower alkyl ethers of polyhydric alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol methyl ether, and triethylene glycol monomethyl ether; N-methyl-2-pyrrolidone, 2-pyrrolidone, etc. It is preferable to select from the following.

【0057】また、上記成分の他に、必要に応じて所望
の物性値を持つインクとするために、沸点の異なる2種
類以上の有機溶剤を混合して用いたり、界面活性剤、消
泡剤、防腐剤等を添加しても良い。
In addition to the above components, two or more kinds of organic solvents having different boiling points may be used in combination to form an ink having desired physical properties, if necessary, or a surfactant or an antifoaming agent. Preservatives and the like may be added.

【0058】工程(d) 熱処理、光照射等必要な処理を施し、インク4中の溶剤
成分を除去して硬化させることにより、遮光部5を形成
する。
Step (d) The light-shielding portion 5 is formed by performing necessary processing such as heat treatment and light irradiation, and removing and curing the solvent component in the ink 4.

【0059】さらに、カラーフィルタの場合には、前記
したように、必要に応じて保護層や透明導電膜を形成す
る。この場合の保護層としては、光硬化タイプ、熱硬化
タイプ、或いは光熱併用硬化タイプの樹脂材料、或い
は、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用
いることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を
有し、その後の透明導電膜形成プロセス、配向膜形成プ
ロセス等に耐えうるものであれば使用可能である。ま
た、透明導電膜は、保護層を介さずに着色部上に直接形
成しても良い。
Further, in the case of a color filter, a protective layer and a transparent conductive film are formed as necessary, as described above. As the protective layer in this case, a resin material of a photo-curing type, a thermo-setting type, or a photo- and heat-curable type, or an inorganic film formed by vapor deposition, sputtering, or the like can be used. Any material can be used as long as it has transparency and can withstand the subsequent transparent conductive film formation process, alignment film formation process, and the like. Further, the transparent conductive film may be formed directly on the colored portion without using the protective layer.

【0060】また、本発明においては、画素2の上面は
撥インク化処理されており、画素2の上に形成される部
材によっては、当該撥インク性が問題となる場合があ
る。例えば、図5のカラーフィルタにおいて、撥インク
性の高い着色部73の上に保護層74を形成した場合、
その上に透明導電膜を形成することで、該透明導電膜の
応力により、保護層にしわが生じたり、透明導電膜にク
ラックが生じる場合がある。
In the present invention, the upper surface of the pixel 2 is subjected to an ink-repellent treatment, and depending on a member formed on the pixel 2, the ink-repellent property may become a problem. For example, in the case where the protective layer 74 is formed on the colored portion 73 having high ink repellency in the color filter of FIG.
When a transparent conductive film is formed thereover, wrinkles may occur in the protective layer or cracks may occur in the transparent conductive film due to stress of the transparent conductive film.

【0061】よって、該画素2の撥インク化処理が、撥
インク層を形成することで実施された場合には、当該撥
インク層を除去し、それ以外の処理が施された場合に
は、画素2の上面に親水化処理を施すことが好ましく、
具体的には、アルカリ水溶液による洗浄処理、UV洗浄
処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズ
マ処理が好ましく挙げられる。
Therefore, when the ink-repellent treatment of the pixel 2 is performed by forming an ink-repellent layer, the ink-repellent layer is removed, and when the other process is performed, Preferably, the upper surface of the pixel 2 is subjected to a hydrophilic treatment,
Specifically, washing treatment with an alkaline aqueous solution, UV washing treatment, excimer washing treatment, corona discharge treatment, and oxygen plasma treatment are preferably exemplified.

【0062】[0062]

【実施例】(実施例1) 〔着色部(画素)の形成〕ガラス基板(コーニング製
「1737」)上に、顔料分散レジスト(富士フィルム
オーリン製「カラーモザイクシリーズ」)をスピンコー
トにより塗布し、所定の露光、現像処理をR、G、Bの
各色について繰り返し行い、膜厚が1μm、75μm×
225μmの長方形の画素が20μmの間隔をおいて横
にR、G、Bが繰り返され、縦に同一色が配列された着
色部パターンを得た。
[Example 1] [Formation of colored portion (pixel)] A pigment-dispersed resist ("Color Mosaic Series" manufactured by Fuji Film Ohlin) was applied on a glass substrate ("1737" manufactured by Corning) by spin coating. The predetermined exposure and development processes are repeated for each of the R, G, and B colors, and the film thickness is 1 μm, 75 μm ×
R, G, and B were repeated horizontally at 225 μm rectangular pixels at intervals of 20 μm to obtain a colored portion pattern in which the same color was arranged vertically.

【0063】〔撥インク化処理〕上記着色部パターン
に、平行平板型のプラズマ処理装置を用いて、以下の条
件にてプラズマ処理を施した。
[Ink Repellent Treatment] The colored portion pattern was subjected to plasma treatment using a parallel plate type plasma treatment apparatus under the following conditions.

【0064】 使用ガス :CF4 ガス流量 :80sccm 圧力 :8Pa RFパワー :150W 処理時間 :60secGas used: CF 4 gas flow rate: 80 sccm Pressure: 8 Pa RF power: 150 W Processing time: 60 sec

【0065】〔撥インク性の評価〕上記撥インク化処理
後の基板の純水に対する接触角を測定したところ、 着色部上面:125° ガラス基板表面:15° であった。
[Evaluation of Ink Repellency] The contact angle of the substrate after the ink repellency treatment to pure water was measured. As a result, the upper surface of the colored portion was 125 ° and the surface of the glass substrate was 15 °.

【0066】〔インクの調整〕下記に示す組成からなる
アクリル系共重合体を熱硬化成分として用い、以下の組
成にてR、G、Bの各インクを調製した。該インクは1
mm2当たり約20nlの付与量(キュア後の膜厚約
1.5μm)で十分とされる光学濃度(OD)4以上と
なるように設計した。
[Preparation of Ink] Using an acrylic copolymer having the following composition as a thermosetting component, R, G, and B inks were prepared with the following compositions. The ink is 1
The optical density (OD) was designed to be 4 or more, which was sufficient when an applied amount of about 20 nl per mm 2 (film thickness after curing was about 1.5 μm).

【0067】硬化成分 メチルメタクリレート 50重量部 ヒドロキシエチルメタクリレート 30重量部 N−メチロールアクリルアミド 20重量部Curing component Methyl methacrylate 50 parts by weight Hydroxyethyl methacrylate 30 parts by weight N-methylol acrylamide 20 parts by weight

【0068】インク カーボンブラック 5重量部 ジエチレングリコール 30重量部 エチレングリコール 20重量部 イオン交換水 40重量部 上記硬化成分 5重量部Ink Carbon black 5 parts by weight Diethylene glycol 30 parts by weight Ethylene glycol 20 parts by weight Deionized water 40 parts by weight 5 parts by weight of the above curing component

【0069】〔遮光部の形成〕吐出量20plのインク
ジェットヘッドを具備したインクジェット記録装置を用
い、上記基板の着色部間隙に対して、上記インクを1m
2当たり10〜50nlの範囲で10nlおきに付与
量を変化させて付与した。次いで、90℃で10分間、
引き続き230℃で30分間の熱処理を行ってインクを
硬化させて遮光部(ブラックマトリクス)とし、インク
付与量の異なる7種類のカラーフィルタを作製した。
[Formation of Light Shielding Section] Using an ink jet recording apparatus equipped with an ink jet head having a discharge amount of 20 pl, the above-mentioned ink was applied to the gap of 1 m in the colored portion of the substrate.
granted by changing the application amount to 10nl every range of m 2 per 10~50Nl. Then, at 90 ° C. for 10 minutes,
Subsequently, heat treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes to cure the ink to form a light-shielding portion (black matrix), thereby producing seven types of color filters having different amounts of applied ink.

【0070】〔カラーフィルタの評価〕得られた7種類
のカラーフィルタを光学顕微鏡で観察したところ、全て
のカラーフィルタにおいて、遮光部の着色部へのはみ出
し、白抜けは観察されなかった。また、付与量30nl
のカラーフィルタに保護層、透明導電膜を設けた液晶素
子を構成したところ、良好な表示品質を得た。
[Evaluation of Color Filters] When the obtained seven types of color filters were observed with an optical microscope, all the color filters did not protrude into the colored portion of the light-shielding portion and no white spots were observed. In addition, the applied amount is 30 nl.
When a liquid crystal element in which a protective layer and a transparent conductive film were provided on the color filter described above, good display quality was obtained.

【0071】(実施例2)実施例1と同じガラス基板上
に、凹版オフセット印刷法にてR、G、Bの各色につい
て繰り返し印刷を行って、膜厚が3μm、75μm×2
25μmの長方形の一角に30μm角のTFT誤動作防
止用遮光領域分の領域を欠いた形状の着色部を20μm
の間隔をおいて横にR、G、Bが繰り返され、縦に同一
色が配列された着色部パターンを得た。また、当該工程
において間接転写体表面にシリコーンゴム(信越化学製
「KS779H」)をコーティングし、パターン転写時
に同時に着色部上面のみに撥インク化処理を施した。
Example 2 On the same glass substrate as in Example 1, printing was repeatedly performed for each of R, G, and B colors by intaglio offset printing to obtain a film thickness of 3 μm, 75 μm × 2.
A colored portion having a shape in which a 30 μm square light-shielding region for preventing malfunction of a TFT is cut off at a corner of a 25 μm rectangular shape is formed by 20 μm.
R, G, and B were repeated horizontally at intervals of to obtain a colored portion pattern in which the same color was arranged vertically. In this step, the surface of the indirect transfer member was coated with silicone rubber (“KS779H” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and at the same time as the pattern was transferred, only the upper surface of the colored portion was subjected to an ink-repellent treatment.

【0072】〔撥インク性の評価〕上記基板の純水に対
する接触角を測定したところ、 着色部上面:102° ガラス基板表面:28° であった。
[Evaluation of Ink Repellency] The contact angle of the substrate to pure water was measured, and the result was 102 ° on the colored portion and 28 ° on the glass substrate surface.

【0073】上記基板の着色部の間隙に実施例1と同様
にしてインクを付与し、遮光部を形成した。
Ink was applied to the gap between the colored portions of the substrate in the same manner as in Example 1 to form a light-shielding portion.

【0074】〔カラーフィルタの評価〕得られた7種類
のカラーフィルタを光学顕微鏡で観察したところ、イン
ク付与量40nl/mm2までのカラーフィルタにおい
て、遮光部の着色部へのはみ出しは観察されなかった。
また、これらのカラーフィルタで、TFT誤動作防止用
遮光領域の角部の白抜けは観察されなかった。また、付
与量30nlのカラーフィルタに保護層、透明導電膜を
設けた液晶素子を構成したところ、良好な表示品質を得
た。
[Evaluation of Color Filter] When the obtained seven types of color filters were observed with an optical microscope, no protrusion of the light-shielding portions into the colored portions was observed in the color filters having an ink application amount of up to 40 nl / mm 2. Was.
In these color filters, white spots were not observed at the corners of the TFT malfunction preventing light-shielding region. In addition, when a liquid crystal element in which a protective layer and a transparent conductive film were provided on a color filter having an applied amount of 30 nl was formed, good display quality was obtained.

【0075】(実施例3)顔料分散レジストにUV吸収
剤(アルコキシベンゾフェノン)を1重量%混ぜた以外
は実施例1と同様にして画素を形成したガラス基板上
に、ポジ型レジスト(ヘキスト製「AZ−4903」)
にフッ素系樹脂(3M製「フロラード」)を5重量%添
加した撥インクレジストをスピンコートで塗布し、所定
の露光量をガラス基板の裏面から照射した後に、現像を
行って、着色部上に撥インクレジストパターンを得た。
Example 3 A positive resist ("Hoechst") was formed on a glass substrate on which pixels were formed in the same manner as in Example 1 except that 1% by weight of a UV absorber (alkoxybenzophenone) was mixed with a pigment-dispersed resist. AZ-4903 ")
Is coated with an ink-repellent resist to which 5% by weight of a fluororesin ("Florald" made by 3M) is added by spin coating, and a predetermined exposure amount is irradiated from the back surface of the glass substrate. An ink-repellent resist pattern was obtained.

【0076】〔撥インク性の評価〕上記基板の純水に対
する接触角を測定したところ、 着色部上面:95° ガラス基板表面:20° であった。
[Evaluation of Ink Repellency] The contact angle of the above substrate to pure water was measured, and it was found that the upper surface of the colored portion was 95 ° and the surface of the glass substrate was 20 °.

【0077】上記基板の着色部の間隙に実施例1と同様
にしてインクを付与し、遮光部を形成した。
Ink was applied to the gap between the colored portions of the substrate in the same manner as in Example 1 to form a light-shielding portion.

【0078】〔カラーフィルタの評価〕得られた7種類
のカラーフィルタを光学顕微鏡で観察したところ、イン
ク付与量30nl/mm2までのカラーフィルタにおい
て、遮光部の着色部へのはみ出しは観察されなかった。
また、これらのカラーフィルタで、白抜けは観察されな
かった。また、付与量30nlのカラーフィルタに残っ
た撥インクレジストをアルカリ水溶液にて除去した後、
保護層、透明導電膜を設けた液晶素子を構成したとこ
ろ、良好な表示品質を得た。
[Evaluation of Color Filter] When the obtained seven types of color filters were observed with an optical microscope, no protruding portions of the light-shielding portions into the colored portions were observed in the color filters having an ink application amount of up to 30 nl / mm 2. Was.
No white spots were observed on these color filters. Further, after removing the ink-repellent resist remaining on the color filter having the applied amount of 30 nl with an alkaline aqueous solution,
When a liquid crystal element provided with a protective layer and a transparent conductive film was formed, good display quality was obtained.

【0079】(比較例1)着色部に撥インク化処理を施
さない以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタを作
製した。
(Comparative Example 1) A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the colored portion was not subjected to the ink repellent treatment.

【0080】〔撥インク性の評価〕着色部を形成した基
板の純水に対する接触角を測定したところ、 着色部上面:72° ガラス基板表面:25° であった。
[Evaluation of Ink Repellency] When the contact angle of the substrate on which the colored portion was formed with pure water was measured, the upper surface of the colored portion was 72 ° and the surface of the glass substrate was 25 °.

【0081】〔カラーフィルタの評価〕得られた7種類
のカラーフィルタを光学顕微鏡で観察したところ、全て
のカラーフィルタにおいて、遮光部の着色部へのはみ出
しが観察された。また、白抜けの評価は不可能であっ
た。
[Evaluation of Color Filters] Observation of the obtained seven types of color filters with an optical microscope revealed that all of the color filters protruded from the light-shielding portions to the colored portions. In addition, it was impossible to evaluate white spots.

【0082】[0082]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
画素上へのはみ出し白抜けのない遮光部を備えた信頼性
の高いカラーフィルタを、環境安全性の優れた簡易なプ
ロセスによって歩留まり良く製造することができ、よっ
て、上記カラーフィルタを用いて、カラー表示特性に優
れた液晶素子をより安価に提供することができる。
As described above, according to the present invention,
A highly reliable color filter having a light-shielding portion without protruding over pixels can be manufactured with a high yield by a simple process with excellent environmental safety. A liquid crystal element having excellent display characteristics can be provided at lower cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光学素子の製造方法の一実施形態の工
程図である。
FIG. 1 is a process chart of one embodiment of a method for manufacturing an optical element of the present invention.

【図2】インクジェット方式により形成される遮光部に
おける白抜けを示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing white spots in a light-shielding portion formed by an inkjet method.

【図3】本発明において、画素側面をレジストで保護し
て撥インク化処理を行う工程を示す模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a step of performing an ink-repellent treatment by protecting a side surface of a pixel with a resist in the present invention.

【図4】本発明において、画素上にのみ撥インク層を形
成する工程を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing a step of forming an ink-repellent layer only on a pixel in the present invention.

【図5】本発明の光学素子の実施形態であるカラーフィ
ルタの一例の断面模式図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of an example of a color filter which is an embodiment of the optical element of the present invention.

【図6】本発明の液晶素子の一実施形態の断面模式図で
ある。
FIG. 6 is a schematic sectional view of one embodiment of the liquid crystal element of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 支持基板 2 画素 3 インクジェットヘッド 4 インク 5 遮光部 22 着色部 25 遮光部 26 TFT誤動作防止用遮光領域 27 白抜け 31 感光性レジスト層 32a、32b フォトマスク 33 レジストパターン 41 感光性撥インク材層 42a、42b フォトマスク 43 撥インク層 72 ブラックマトリクス 73 着色部 74 保護層 77 共通電極 78 配向膜 79 液晶 81 対向基板 82 画素電極 83 配向膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support substrate 2 Pixel 3 Ink-jet head 4 Ink 5 Light-shielding part 22 Colored part 25 Light-shielding part 26 TFT malfunction prevention light-shielding area 27 White spot 31 Photosensitive resist layer 32a, 32b Photomask 33 Resist pattern 41 Photosensitive ink repellent material layer 42a , 42b Photomask 43 Ink-repellent layer 72 Black matrix 73 Colored part 74 Protective layer 77 Common electrode 78 Alignment film 79 Liquid crystal 81 Counter substrate 82 Pixel electrode 83 Alignment film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高野 勝彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 岡田 健 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 西田 武人 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 坂本 淳一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 岡田 良克 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 岩田 研逸 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2C056 FB01 FB08 2H048 BA02 BA11 BA28 BA57 BA60 BA64 BB14 BB15 BB22 BB37 BB44 2H091 FA02Y FB04 FC12 FC24 FC25 FC27 FD05 LA12 LA15 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Katsuhiko Takano, Inventor 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Ken Okada 3- 30-2, Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inside (72) Inventor Taketo Nishida 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Junichi Sakamoto 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. 72) Inventor Yoshikatsu Okada 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. Reference) 2C056 FB01 FB08 2H048 BA02 BA11 BA28 BA57 BA60 BA64 BB14 BB15 BB22 BB37 BB44 2H091 FA02Y FB04 FC12 FC24 FC25 FC27 FD05 LA12 LA15

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持基板上に複数の画素と隣接する画素
間に位置する黒色樹脂組成物からなる遮光部とを少なく
とも有する光学素子の製造方法であって、支持基板上に
画素を形成する工程と、上記画素の少なくとも上面に撥
インク化処理を施す工程と、隣接する画素の間隙にイン
クジェット方式によりインクを付与して遮光部を形成す
る工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方
法。
1. A method for manufacturing an optical element having at least a plurality of pixels on a support substrate and a light-shielding portion made of a black resin composition located between adjacent pixels, wherein the pixels are formed on the support substrate. Manufacturing an optical element, comprising: applying an ink-repellent treatment to at least an upper surface of the pixel; and applying ink by an inkjet method to a gap between adjacent pixels to form a light-shielding portion. Method.
【請求項2】 上記画素を顔料分散法により形成する請
求項1に記載の光学素子の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the pixels are formed by a pigment dispersion method.
【請求項3】 上記画素を着色インクを使用した印刷法
により形成する請求項1に記載の光学素子の製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein the pixels are formed by a printing method using a coloring ink.
【請求項4】 シリコーンオイル含有ゴムで形成した印
刷版或いは表面をシリコーンオイル含有ゴムで被覆した
間接転写体を用い、パターン転写と同時に画素上面に撥
インク化処理を施す請求項3に記載の光学素子の製造方
法。
4. The optical device according to claim 3, wherein a printing plate made of silicone oil-containing rubber or an indirect transfer body whose surface is coated with silicone oil-containing rubber is subjected to an ink repellent treatment on the upper surface of the pixel simultaneously with the pattern transfer. Device manufacturing method.
【請求項5】 上記撥インク化処理が、少なくともフッ
素原子を含有するガスを導入してプラズマ照射を行うプ
ラズマ処理である請求項1〜3のいずれかに記載の光学
素子の製造方法。
5. The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the ink repellency treatment is a plasma treatment in which a gas containing at least a fluorine atom is introduced to perform plasma irradiation.
【請求項6】 上記撥インク化処理を、画素上面以外を
レジストにより保護して行う請求項5に記載の光学素子
の製造方法。
6. The method of manufacturing an optical element according to claim 5, wherein the ink repellency treatment is performed by protecting a portion other than the upper surface of the pixel with a resist.
【請求項7】 上記撥インク化処理が、シリコーンオイ
ル含有ゴムを画素上面に接触させる処理である請求項1
〜3のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
7. The ink repellent treatment is a process in which a silicone oil-containing rubber is brought into contact with the upper surface of a pixel.
4. The method for manufacturing an optical element according to any one of claims 1 to 3.
【請求項8】 上記撥インク化処理が、感光性を有する
撥インク材を用いて画素上面にのみ撥インク層を形成す
る処理である請求項1〜3のいずれかに記載の光学素子
の製造方法。
8. The method of manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the ink-repellent treatment is a process of forming an ink-repellent layer only on a pixel upper surface using a photosensitive ink-repellent material. Method.
【請求項9】 上記撥インク材が、感光性を有するシリ
コーンゴム、或いは、フッ素系樹脂またはシリコーン系
樹脂を含有する感光性レジストである請求項8に記載の
光学素子の製造方法。
9. The method according to claim 8, wherein the ink repellent material is a photosensitive silicone rubber or a photosensitive resist containing a fluorine-based resin or a silicone-based resin.
【請求項10】 撥インク化処理された画素の上面の純
水に対する接触角が80°〜130°である請求項1〜
9のいずれかに記載の光学素子の製造方法。
10. The contact angle of the upper surface of the pixel subjected to the ink repellency treatment to pure water is 80 ° to 130 °.
10. The method for manufacturing an optical element according to any one of items 9 to 10.
【請求項11】 遮光部形成後に画素上面に親水化処理
を施す請求項1〜10のいずれかに記載の光学素子の製
造方法。
11. The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein a hydrophilic treatment is performed on the upper surface of the pixel after forming the light shielding portion.
【請求項12】 上記親水化処理が、アルカリ水溶液に
よる洗浄処理、UV洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロ
ナ放電処理、酸素プラズマ処理のいずれかである請求項
11に記載の光学素子の製造方法。
12. The method for manufacturing an optical element according to claim 11, wherein the hydrophilic treatment is any one of a cleaning treatment with an alkaline aqueous solution, a UV cleaning treatment, an excimer cleaning treatment, a corona discharge treatment, and an oxygen plasma treatment.
【請求項13】 上記インクが少なくとも硬化成分、
水、有機溶剤を含有する請求項1〜12のいずれかに記
載の光学素子の製造方法。
13. The ink according to claim 13, wherein the ink comprises at least a curing component,
The method for producing an optical element according to claim 1, comprising water and an organic solvent.
【請求項14】 上記画素が着色部であるカラーフィル
タを製造する請求項1〜13のいずれかに記載の光学素
子の製造方法。
14. The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein a color filter in which the pixels are colored portions is manufactured.
【請求項15】 支持基板上に複数の画素と隣接する画
素間に位置する遮光部とを少なくとも有し、請求項1〜
13のいずれかに記載の光学素子の製造方法により製造
されたことを特徴とする光学素子。
15. The image display device according to claim 1, further comprising at least a plurality of pixels on a support substrate and a light-shielding portion located between adjacent pixels.
14. An optical element manufactured by the method for manufacturing an optical element according to any one of 13.
【請求項16】 上記支持基板が透明基板であり、複数
色の着色部を備えたカラーフィルタである請求項15に
記載の光学素子。
16. The optical element according to claim 15, wherein said support substrate is a transparent substrate and is a color filter having a plurality of colored portions.
【請求項17】 上記着色部上に保護層を有する請求項
16に記載の光学素子。
17. The optical element according to claim 16, having a protective layer on the colored portion.
【請求項18】 表面に透明導電膜を有する請求項16
または17に記載の光学素子。
18. A transparent conductive film on a surface.
Or the optical element according to 17;
【請求項19】 一対の基板間に液晶を挟持してなり、
一方の基板が請求項16〜18のいずれかに記載の光学
素子を用いて構成されたことを特徴とする液晶素子。
19. A liquid crystal sandwiched between a pair of substrates,
A liquid crystal element, wherein one of the substrates is configured using the optical element according to claim 16.
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