JP2002050778A - 受光素子アレイおよびそれを用いた光通信モニタモジュール - Google Patents
受光素子アレイおよびそれを用いた光通信モニタモジュールInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】回折格子を用いた波長多重光通信用チャンネル
モニタにおいて、受光素子間隔が一定な受光素子アレイ
を周波数間隔が一定の波長多重信号に対して使用する
と、各チャンネルと１対１に受光素子を対応させること
ができず、受光素子とチャンネルとの対応関係が複雑に
なり、チップ面積が大きくなるという問題点があった。 【解決手段】ｉ番目と（ｉ＋１）番目のチャンネルの波
長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数がｄ、回折
次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光素子間の光
路長をＬ、θoを平均出射角としたとき、前記受光素子
アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番目の受光素子間のピッチ
ｐiが式、ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo、を満たすように
した。
モニタにおいて、受光素子間隔が一定な受光素子アレイ
を周波数間隔が一定の波長多重信号に対して使用する
と、各チャンネルと１対１に受光素子を対応させること
ができず、受光素子とチャンネルとの対応関係が複雑に
なり、チップ面積が大きくなるという問題点があった。 【解決手段】ｉ番目と（ｉ＋１）番目のチャンネルの波
長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数がｄ、回折
次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光素子間の光
路長をＬ、θoを平均出射角としたとき、前記受光素子
アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番目の受光素子間のピッチ
ｐiが式、ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo、を満たすように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信技術、特に
高密度波長多重通信用光部品、モジュールに関するもの
である。
高密度波長多重通信用光部品、モジュールに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】光通信における通信容量の増大要求に応
えるため、既設の光ファイバケーブルをそのまま利用し
て通信容量を増大できる波長多重技術を使った通信方式
が採用されることが多い。この多重化方式のうち、多重
化した光の周波数間隔が１００ＧＨｚ程度と狭いものを
とくに高密度波長多重（ＤＷＤＭ、Dense Wave Divisio
n Multiplexing)と呼称している。
えるため、既設の光ファイバケーブルをそのまま利用し
て通信容量を増大できる波長多重技術を使った通信方式
が採用されることが多い。この多重化方式のうち、多重
化した光の周波数間隔が１００ＧＨｚ程度と狭いものを
とくに高密度波長多重（ＤＷＤＭ、Dense Wave Divisio
n Multiplexing)と呼称している。
【０００３】このように非常に狭い周波数（波長）間隔
の光が多重化された信号を分離するためには、従来から
知られている波長フィルタやプリズム等の分光素子があ
るが、これらは近接した波長の多数の光を分波するのに
は適しておらず、アレイ導波路(ＡＷＧ、Arrayed Wave
guide Grating)を用いたシステムがしばしば使用されて
いる。
の光が多重化された信号を分離するためには、従来から
知られている波長フィルタやプリズム等の分光素子があ
るが、これらは近接した波長の多数の光を分波するのに
は適しておらず、アレイ導波路(ＡＷＧ、Arrayed Wave
guide Grating)を用いたシステムがしばしば使用されて
いる。
【０００４】しかしこのＡＷＧは温度変化に敏感である
こと、複雑な光導波路を作製するのに高度な技術を必要
とすることから、一般に高価であり、素子を大量に必要
とする目的には適さない。
こと、複雑な光導波路を作製するのに高度な技術を必要
とすることから、一般に高価であり、素子を大量に必要
とする目的には適さない。
【０００５】一方、回折格子は、石英やシリコン基板な
どの表面に微細凹凸構造を形成し、その構造で発生する
回折光が互いに干渉し、ある特定波長の光が特定の方向
に出射される分光素子である。凹凸構造形成技術は、半
導体で使われているフォトリソグラフィ技術が利用でき
るため、非常に高精度な構造を形成することができる。
また、一度形成した凹凸構造をマスターとして、転写技
術を使ってレプリカ形成もし易い。そのため、回折格子
は大量生産に向いた光部品であるといえる。
どの表面に微細凹凸構造を形成し、その構造で発生する
回折光が互いに干渉し、ある特定波長の光が特定の方向
に出射される分光素子である。凹凸構造形成技術は、半
導体で使われているフォトリソグラフィ技術が利用でき
るため、非常に高精度な構造を形成することができる。
また、一度形成した凹凸構造をマスターとして、転写技
術を使ってレプリカ形成もし易い。そのため、回折格子
は大量生産に向いた光部品であるといえる。
【０００６】多重化された光信号の中の各チャンネルの
状態を把握するために用いられる波長モニタ（またはチ
ャンネルモニタ）と呼ばれる装置は、基本的には光分波
器であるが、例えば光ファイバ増幅器の制御に用いるな
ど、装置に組み込んで多数、使用される。発明者らは回
折格子がこのような目的に適した分光素子であることに
着目し、光分波モジュールとして、図４に示すような回
折格子３と受光素子アレイ４を組み合わせた構成を開示
している（国際出願公開、ＷＯ９９／４６６２９）。光
ファイバ１から出射した波長多重化された光線１０はコ
リメータレンズ２で平行光１１となり回折格子３に入射
される。この光は回折格子３で分波され、波長ごとに異
なった出射角をもって出射される。この出射光１２は再
びコリメータレンズ２を通過し、受光素子アレイ４上に
集光スポット群１３を形成する。受光素子アレイ４内の
各受光素子４０は各波長（チャンネル）の光の集光スポ
ット１３の位置に設置する。
状態を把握するために用いられる波長モニタ（またはチ
ャンネルモニタ）と呼ばれる装置は、基本的には光分波
器であるが、例えば光ファイバ増幅器の制御に用いるな
ど、装置に組み込んで多数、使用される。発明者らは回
折格子がこのような目的に適した分光素子であることに
着目し、光分波モジュールとして、図４に示すような回
折格子３と受光素子アレイ４を組み合わせた構成を開示
している（国際出願公開、ＷＯ９９／４６６２９）。光
ファイバ１から出射した波長多重化された光線１０はコ
リメータレンズ２で平行光１１となり回折格子３に入射
される。この光は回折格子３で分波され、波長ごとに異
なった出射角をもって出射される。この出射光１２は再
びコリメータレンズ２を通過し、受光素子アレイ４上に
集光スポット群１３を形成する。受光素子アレイ４内の
各受光素子４０は各波長（チャンネル）の光の集光スポ
ット１３の位置に設置する。
【０００７】反射回折格子の場合、回折格子の回折次数
をｍ、格子定数をｄ、使用波長をλとし、回折格子を形
成した面の法線と入射光線（光ファイバの光軸５）のな
す角をθi、出射光線のなす角をθoとすると、次式が成
り立つ。 ｓｉｎθi＋ｓｉｎθo＝ｍλ／ｄ θiを一定とし、波長がΔλだけ変化すると、回折格子
から距離Ｌ離れた受光面上に到達する光線の位置の変化
Δｘは、 Δｘ＝（Ｌｍ／（ｄ・ｃｏｓθo））・Δλ で与えられる。図４はθi＝θoの場合（リトロー配置）
を示しているが、上式は一般にθi≠θoの場合であって
も成り立つ。したがって波長間隔が一定であれば、複数
の受光素子を等間隔に並べることにより、受光素子の位
置と波長（各チャンネル）を１対１に対応させることが
できる。
をｍ、格子定数をｄ、使用波長をλとし、回折格子を形
成した面の法線と入射光線（光ファイバの光軸５）のな
す角をθi、出射光線のなす角をθoとすると、次式が成
り立つ。 ｓｉｎθi＋ｓｉｎθo＝ｍλ／ｄ θiを一定とし、波長がΔλだけ変化すると、回折格子
から距離Ｌ離れた受光面上に到達する光線の位置の変化
Δｘは、 Δｘ＝（Ｌｍ／（ｄ・ｃｏｓθo））・Δλ で与えられる。図４はθi＝θoの場合（リトロー配置）
を示しているが、上式は一般にθi≠θoの場合であって
も成り立つ。したがって波長間隔が一定であれば、複数
の受光素子を等間隔に並べることにより、受光素子の位
置と波長（各チャンネル）を１対１に対応させることが
できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ＤＷＤＭに
おける通信波長は、国際通信連合（ＩＴＵ）の規格によ
り、最小１００ＧＨｚ毎の周波数ピッチに規定されてい
る。その一例（Ｃバンド）を表１の左第１列の欄に示
す。そのため、λ＝ｃ／ｆ（ｃは光速）の関係より、周
波数ｆが等間隔に規定されていても、波長間隔は等間隔
にならない。回折格子を分光素子として用いた場合、分
光された光線が受光面に到達する位置は等間隔にならな
い（表１、左第２列参照）。
おける通信波長は、国際通信連合（ＩＴＵ）の規格によ
り、最小１００ＧＨｚ毎の周波数ピッチに規定されてい
る。その一例（Ｃバンド）を表１の左第１列の欄に示
す。そのため、λ＝ｃ／ｆ（ｃは光速）の関係より、周
波数ｆが等間隔に規定されていても、波長間隔は等間隔
にならない。回折格子を分光素子として用いた場合、分
光された光線が受光面に到達する位置は等間隔にならな
い（表１、左第２列参照）。
【０００９】また規定された周波数の内、一部のチャン
ネルを使用する場合、すべてのチャンネル間の周波数間
隔を一定にする必要は必ずしもない。この場合は、上記
の理由に加えてさらに分光された光線が受光面に到達す
る位置に「飛び」が生じる場合もある。
ネルを使用する場合、すべてのチャンネル間の周波数間
隔を一定にする必要は必ずしもない。この場合は、上記
の理由に加えてさらに分光された光線が受光面に到達す
る位置に「飛び」が生じる場合もある。
【００１０】しかし従来の通常の受光素子アレイは受光
素子間のピッチが一定であった。このような受光素子を
上記のような波長多重信号に対して使用すると、各チャ
ンネルと１対１に受光素子を対応させることができず、
１つのチャンネルの信号が隣接する受光素子で受光され
たり、信号を受光することのない受光素子が存在する場
合が生じる。このため、受光素子とチャンネルとの対応
関係が複雑になり、チャンネル間の信号分離のためにチ
ャンネル数よりも多くの受光素子が必要となるという問
題点があった。また使用されない受光素子がチップ上に
存在する分、受光素子チップ面積が大きくなるという問
題点もあった。
素子間のピッチが一定であった。このような受光素子を
上記のような波長多重信号に対して使用すると、各チャ
ンネルと１対１に受光素子を対応させることができず、
１つのチャンネルの信号が隣接する受光素子で受光され
たり、信号を受光することのない受光素子が存在する場
合が生じる。このため、受光素子とチャンネルとの対応
関係が複雑になり、チャンネル間の信号分離のためにチ
ャンネル数よりも多くの受光素子が必要となるという問
題点があった。また使用されない受光素子がチップ上に
存在する分、受光素子チップ面積が大きくなるという問
題点もあった。
【００１１】本発明の目的は、上記のような問題点を解
決した信号分離特性のよい小型の受光素子アレイを提供
することにある。
決した信号分離特性のよい小型の受光素子アレイを提供
することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、３個以上の受光素子が直線状に配列された受光素子
アレイにおいて、隣接受光素子間の配列ピッチが全アレ
イを通じて一定でない受光素子アレイを提供する。
め、３個以上の受光素子が直線状に配列された受光素子
アレイにおいて、隣接受光素子間の配列ピッチが全アレ
イを通じて一定でない受光素子アレイを提供する。
【００１３】また、ｉ番目と（ｉ＋１）番目のチャンネ
ルの波長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数が
ｄ、回折次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光素
子間の光路長をＬ、θoを平均出射角としたとき、前記
受光素子アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番目の受光素子間
のピッチｐiが式、 ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo を満たすようにした光通信モニタモジュールを提供す
る。すなわち、受光素子アレイへの光の入射位置に応じ
て受光素子間の配列ピッチを変化させることにより、受
光素子アレイチップを実質的に小型化できる。
ルの波長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数が
ｄ、回折次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光素
子間の光路長をＬ、θoを平均出射角としたとき、前記
受光素子アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番目の受光素子間
のピッチｐiが式、 ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo を満たすようにした光通信モニタモジュールを提供す
る。すなわち、受光素子アレイへの光の入射位置に応じ
て受光素子間の配列ピッチを変化させることにより、受
光素子アレイチップを実質的に小型化できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に本発明の光通信モニタモジ
ュール１００の概略図を示す。波長多重化された入射光
１１０は光ファイバ１０１によってモジュールの筐体２
００内に導かれ、コリメータレンズ１０２にて所定の径
のビームに整形される。次に、回折格子１０３に所定の
角度で光が入射するよう位置調整を行う。このことによ
り、波長の異なるチャンネル毎に出射角がわずかずつ変
化して光１１２が出射される。これをミラー１０６で折
り返し集光レンズ１０８に通すことにより、受光素子ア
レイ１４０上にビームが集光される。この受光素子アレ
イ１４０の各素子間隔をつぎに示す関係式によって決め
られた間隔にすることで、分離度が良好なチャネルモニ
タを形成することが可能となる。
ュール１００の概略図を示す。波長多重化された入射光
１１０は光ファイバ１０１によってモジュールの筐体２
００内に導かれ、コリメータレンズ１０２にて所定の径
のビームに整形される。次に、回折格子１０３に所定の
角度で光が入射するよう位置調整を行う。このことによ
り、波長の異なるチャンネル毎に出射角がわずかずつ変
化して光１１２が出射される。これをミラー１０６で折
り返し集光レンズ１０８に通すことにより、受光素子ア
レイ１４０上にビームが集光される。この受光素子アレ
イ１４０の各素子間隔をつぎに示す関係式によって決め
られた間隔にすることで、分離度が良好なチャネルモニ
タを形成することが可能となる。
【００１５】すなわち、ｉ番目と（ｉ＋１）番目のチャ
ンネルの波長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数
がｄ、回折次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光
素子間の光路長をＬ、θoを中心波長における出射角と
したとき、前記受光素子アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番
目の受光素子間のピッチｐiが次式を満たすようにす
る。 ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo
ンネルの波長間隔がΔλiの入射光に対して、格子定数
がｄ、回折次数がｍの回折格子を用い、回折格子と受光
素子間の光路長をＬ、θoを中心波長における出射角と
したとき、前記受光素子アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番
目の受光素子間のピッチｐiが次式を満たすようにす
る。 ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo
【００１６】以下に具体的なチャネルモニタの設計例を
示す。なお、つぎに示す実施例は回折格子に対する入射
角と出射角が異なる場合について説明するが、本発明は
リトロー配置であって適用できる。
示す。なお、つぎに示す実施例は回折格子に対する入射
角と出射角が異なる場合について説明するが、本発明は
リトロー配置であって適用できる。
【００１７】
【実施例１】使用する波長は１．５５μｍ帯を用いる。
中心波長を１５５２．５２ｎｍと定めた。チャンネルピ
ッチはＩＴＵのＣバンドの規格にしたがって１００ＧＨ
ｚとし、連続した１６チャンネルを使用するとする。な
お、受光素子アレイの間隔は中心波長付近で５０μｍと
なるように光路長Ｌを決定した。回折格子の回折次数は
２５次とし、入射角を７１．５゜、出射角を中心波長で
３８．５゜となるよう、格子定数を２４．７μｍと決め
る。この時の各波長（チャンネル）の光の回折格子から
の出射角と対応する受光素子間隔は表１に示す通りとな
る。ただしＬは４８ｍｍである。受光素子間隔は両端で
１．４μｍ（２．８％）の差が生じる。
中心波長を１５５２．５２ｎｍと定めた。チャンネルピ
ッチはＩＴＵのＣバンドの規格にしたがって１００ＧＨ
ｚとし、連続した１６チャンネルを使用するとする。な
お、受光素子アレイの間隔は中心波長付近で５０μｍと
なるように光路長Ｌを決定した。回折格子の回折次数は
２５次とし、入射角を７１．５゜、出射角を中心波長で
３８．５゜となるよう、格子定数を２４．７μｍと決め
る。この時の各波長（チャンネル）の光の回折格子から
の出射角と対応する受光素子間隔は表１に示す通りとな
る。ただしＬは４８ｍｍである。受光素子間隔は両端で
１．４μｍ（２．８％）の差が生じる。
【００１８】表１に示す間隔の受光素子をもつ受光素子
アレイのホトマスクを設計すれば、その他は従来のプロ
セスでＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰで構成されるメサ型受光
素子アレイを作製できる。作製した受光素子アレイチッ
プ１５１の平面図を図２に示す。図は概略図であって受
光素子のサイズ、間隔等は正確な寸法を示していない。
ＩｎＰ基板１５０上に受光素子１４０が１６素子形成さ
れ、金属配線１７０によってボンディングパッド１６０
と接続されている。ボンディングパッドは通常８０〜１
００μｍ角以上の大きさを必要とする。本実施例では受
光素子１４０の間隔が約５０μｍであり、ボンディング
パッド１６０はこれより大きい。したがってボンディン
グパッド１６０を受光素子１４０の片側に２列配置し
た。配置の仕方はこれに限られたものではなく、例えば
受光素子１４０の両側に各１列ずつ配置してもよい。
アレイのホトマスクを設計すれば、その他は従来のプロ
セスでＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰで構成されるメサ型受光
素子アレイを作製できる。作製した受光素子アレイチッ
プ１５１の平面図を図２に示す。図は概略図であって受
光素子のサイズ、間隔等は正確な寸法を示していない。
ＩｎＰ基板１５０上に受光素子１４０が１６素子形成さ
れ、金属配線１７０によってボンディングパッド１６０
と接続されている。ボンディングパッドは通常８０〜１
００μｍ角以上の大きさを必要とする。本実施例では受
光素子１４０の間隔が約５０μｍであり、ボンディング
パッド１６０はこれより大きい。したがってボンディン
グパッド１６０を受光素子１４０の片側に２列配置し
た。配置の仕方はこれに限られたものではなく、例えば
受光素子１４０の両側に各１列ずつ配置してもよい。
【００１９】中心波長、チャンネル数を選べば、例えば
８チャンネル、３２チャンネルなどの各種チャンネルモ
ニタを構成することができる。
８チャンネル、３２チャンネルなどの各種チャンネルモ
ニタを構成することができる。
【００２０】なお、本実施例では受光素子間隔の波長に
よる差が２．８％であり実使用条件での問題が殆ど生じ
ないため、全ての受光素子幅は同一としたが、受光素子
間隔の波長による差が大きい場合、受光素子間隔の比率
に応じて受光素子幅も変化させることが好ましい。
よる差が２．８％であり実使用条件での問題が殆ど生じ
ないため、全ての受光素子幅は同一としたが、受光素子
間隔の波長による差が大きい場合、受光素子間隔の比率
に応じて受光素子幅も変化させることが好ましい。
【００２１】
【実施例２】実施例１は連続１６チャンネルを使用した
例であるが、これを例えば８チャンネルずつ２つに分け
て使用してもよい。また周波数間隔も１００ＧＨｚであ
る必要はない。本実施例は、周波数間隔２００ＧＨｚで
中間に１ＴＨｚ分の不使用帯を設けた例である（表１参
照）。この場合は、表１に示すように受光素子１４０の
間隔に中央で約２５０μｍ（４素子分）の「飛び」が発
生する。この飛びの部分にも受光素子を形成し、実施例
同様の構成の受光素子アレイチップ１５２を形成した例
を図３（ａ）に示す。破線で囲まれた部分が不使用部分
２２０であり、この部分の受光素子１４０、ボンディン
グパッド１６０は使用されない。
例であるが、これを例えば８チャンネルずつ２つに分け
て使用してもよい。また周波数間隔も１００ＧＨｚであ
る必要はない。本実施例は、周波数間隔２００ＧＨｚで
中間に１ＴＨｚ分の不使用帯を設けた例である（表１参
照）。この場合は、表１に示すように受光素子１４０の
間隔に中央で約２５０μｍ（４素子分）の「飛び」が発
生する。この飛びの部分にも受光素子を形成し、実施例
同様の構成の受光素子アレイチップ１５２を形成した例
を図３（ａ）に示す。破線で囲まれた部分が不使用部分
２２０であり、この部分の受光素子１４０、ボンディン
グパッド１６０は使用されない。
【００２２】図３（ｂ）に示すようにこれら４個の受光
素子（破線で示す）１４２を形成しないと、それらに付
随するボンディングパッドと配線も省くことができる。
受光素子１４０の間隔を実施例１同様に約５０μｍとす
ると、図３（ａ）の構成ではボンディングパッド１６０
は２列に配列すればよい。一方、図３（ｂ）のように４
受光素子１４２を省くと、その空きスペースにボンディ
ングパッドを数個設けることができる。図３（ｂ）の配
置例では空きスペースに３素子分のボンディングパッド
１６２を配置することにより、残りのボンディングパッ
ド１６４は１列配列が可能となる。このためチップ１５
３の面積はチップ１５２（一点鎖線で示す）より１０％
以上削減でき、受光素子アレイチップが小型化できる。
図３（ｂ）のボンディングパッド配置は一例であってこ
れに限られたものではなく、種々の構成が考えられる。
素子（破線で示す）１４２を形成しないと、それらに付
随するボンディングパッドと配線も省くことができる。
受光素子１４０の間隔を実施例１同様に約５０μｍとす
ると、図３（ａ）の構成ではボンディングパッド１６０
は２列に配列すればよい。一方、図３（ｂ）のように４
受光素子１４２を省くと、その空きスペースにボンディ
ングパッドを数個設けることができる。図３（ｂ）の配
置例では空きスペースに３素子分のボンディングパッド
１６２を配置することにより、残りのボンディングパッ
ド１６４は１列配列が可能となる。このためチップ１５
３の面積はチップ１５２（一点鎖線で示す）より１０％
以上削減でき、受光素子アレイチップが小型化できる。
図３（ｂ）のボンディングパッド配置は一例であってこ
れに限られたものではなく、種々の構成が考えられる。
【００２３】なお、本実施例では周波数間隔を実施例１
の２倍の２００ＧＨｚにとっているため、受光素子間隔
が実施例１と同じ約５０μｍであれば、光路長Ｌは実施
例１の約１／２の約２４ｍｍでよい。
の２倍の２００ＧＨｚにとっているため、受光素子間隔
が実施例１と同じ約５０μｍであれば、光路長Ｌは実施
例１の約１／２の約２４ｍｍでよい。
【００２４】
【発明の効果】回折格子を用いたチャンネルモニタモジ
ュールにおいて、チャンネルの波長が等間隔でなくても
チャンネルと受光素子を１対１に対応させることがで
き、モジュールの構成を簡単化することができる。また
受光素子アレイチップを小型化することができる。
ュールにおいて、チャンネルの波長が等間隔でなくても
チャンネルと受光素子を１対１に対応させることがで
き、モジュールの構成を簡単化することができる。また
受光素子アレイチップを小型化することができる。
【表１】
【図１】本発明の光通信モニタモジュールの概念図であ
る。
る。
【図２】本発明の受光素子アレイチップの実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】本発明の受光素子アレイチップの他の実施例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図４】従来の光通信モニタモジュールの光学系を示す
図である。
図である。
１、１０１ 光ファイバ ２、１０２ コリメータレンズ ３、１０３ 回折格子 ４、１０４ 受光素子アレイ ４０、１４０ 受光素子 １００ 光通信モニタモジュール １４２ 不使用部分 １５０ 基板 １５１，１５２，１５３ 受光素子アレイチップ １６０、１６２，１６４ ボンディングパッド １７０ 配線 ２００ 筐体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 仲間 健一 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 4M118 AA10 AB05 CB01 CB03 GA10 HA23 HA30 5F088 BB01 EA02 JA01 JA11 JA12 JA14 JA20 5K002 BA01 BA05 DA02 FA01
Claims (2)
- 【請求項１】３個以上の受光素子が直線状に配列された
受光素子アレイにおいて、隣接受光素子間の配列ピッチ
が全アレイを通じて一定でないことを特徴とする受光素
子アレイ。 - 【請求項２】Ｎチャンネル（Ｎは３以上の整数）の波長
多重光を回折次数ｍ、格子定数ｄの回折格子により分波
し、受光素子アレイで受光する光通信モニタモジュール
において、 前記受光素子アレイのｉ番目と（ｉ＋１）番目（ｉは１
〜（Ｎ−１）の整数）の受光素子間のピッチｐiが次式
を満たすことを特徴とする光通信モニタモジュール。 ｐi＝ｍ△λiＬ／ｄcosθo ただし、△λiはｉ番目と（ｉ＋１）番目のチャンネル
間の波長間隔、Ｌは回折格子と受光素子アレイ間の光路
長、θoは平均出射角である。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000234941A JP2002050778A (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 受光素子アレイおよびそれを用いた光通信モニタモジュール |
| US09/915,477 US6690002B2 (en) | 2000-08-02 | 2001-07-27 | Photodetector array and optical communication monitor module using the same |
| CA002354350A CA2354350A1 (en) | 2000-08-02 | 2001-07-31 | Photodetector array and optical communication monitor module using the same |
| CNB011238259A CN1238907C (zh) | 2000-08-02 | 2001-08-01 | 光探测器阵列和使用该阵列的光通信监视模块 |
| TW090118856A TW531988B (en) | 2000-08-02 | 2001-08-02 | Photodetector array and optical communication monitor module using the same |
| EP01117793A EP1178535A3 (en) | 2000-08-02 | 2001-08-02 | Photodetector array and optical communication monitoring |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000234941A JP2002050778A (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 受光素子アレイおよびそれを用いた光通信モニタモジュール |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002050778A true JP2002050778A (ja) | 2002-02-15 |
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ID=18727232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000234941A Withdrawn JP2002050778A (ja) | 2000-08-02 | 2000-08-02 | 受光素子アレイおよびそれを用いた光通信モニタモジュール |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6690002B2 (ja) |
| EP (1) | EP1178535A3 (ja) |
| JP (1) | JP2002050778A (ja) |
| CN (1) | CN1238907C (ja) |
| CA (1) | CA2354350A1 (ja) |
| TW (1) | TW531988B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6888681B2 (en) | 2002-01-31 | 2005-05-03 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical demultiplexer |
| US7026497B2 (en) | 2004-01-15 | 2006-04-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Adhesive compound and method for forming photoresist pattern using the same |
| JP2008292924A (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光信号処理装置 |
| JP2009122492A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光チャネルモニタおよび波長選択型光スイッチ |
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| AU3032700A (en) | 1999-01-08 | 2000-07-24 | Ibsen Micro Structures A/S | Spectrometer |
| JP2002198544A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光検出器およびそれを用いた光分波器 |
| US6978062B2 (en) | 2001-02-21 | 2005-12-20 | Ibsen Photonics A/S | Wavelength division multiplexed device |
| US6842239B2 (en) | 2001-08-10 | 2005-01-11 | Ibsen Photonics A/S | Alignment of multi-channel diffractive WDM device |
| US7085492B2 (en) * | 2001-08-27 | 2006-08-01 | Ibsen Photonics A/S | Wavelength division multiplexed device |
| US7034739B2 (en) * | 2002-04-05 | 2006-04-25 | Osepchuk John M | Delivery of quasi-periodic pulses of EM energy utilizing the principle of beating-wave amplification |
| US7538945B2 (en) * | 2005-01-07 | 2009-05-26 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Optical path changing module |
| JP2006343223A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Yokogawa Electric Corp | フォトダイオードアレイ |
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| US7995202B2 (en) * | 2006-02-13 | 2011-08-09 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Methods and systems for simultaneous real-time monitoring of optical signals from multiple sources |
| US7715001B2 (en) * | 2006-02-13 | 2010-05-11 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Methods and systems for simultaneous real-time monitoring of optical signals from multiple sources |
| AU2007289057C1 (en) * | 2006-09-01 | 2014-01-16 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Substrates, systems and methods for analyzing materials |
| US8207509B2 (en) | 2006-09-01 | 2012-06-26 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Substrates, systems and methods for analyzing materials |
| US20080080059A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Modular optical components and systems incorporating same |
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| US20100167413A1 (en) * | 2007-05-10 | 2010-07-01 | Paul Lundquist | Methods and systems for analyzing fluorescent materials with reduced autofluorescence |
| AU2009292629B2 (en) | 2008-09-16 | 2014-03-20 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Substrates and optical systems and methods of use thereof |
| EP4378584A2 (en) | 2010-02-19 | 2024-06-05 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Integrated analytical system and method for fluorescence measurement |
| US8994946B2 (en) | 2010-02-19 | 2015-03-31 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Integrated analytical system and method |
| US9372308B1 (en) | 2012-06-17 | 2016-06-21 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Arrays of integrated analytical devices and methods for production |
| EP2936222B1 (en) | 2012-12-18 | 2019-07-03 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | An optical analytical device |
| US9624540B2 (en) | 2013-02-22 | 2017-04-18 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Integrated illumination of optical analytical devices |
| CN107003241B (zh) | 2014-08-27 | 2022-01-11 | 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司 | 集成分析器件阵列 |
| WO2016149397A1 (en) | 2015-03-16 | 2016-09-22 | Pacific Biosciences Of California, Inc. | Integrated devices and systems for free-space optical coupling |
| EP3292220B1 (en) | 2015-05-07 | 2022-07-13 | Pacific Biosciences of California, Inc. | Multiprocessor pipeline architecture |
| EP3308204A4 (en) | 2015-06-12 | 2019-03-13 | Pacific Biosciences of California, Inc. | WAVEGUIDE DEVICES WITH INTEGRATED TARGET AND OPTICAL COUPLING SYSTEMS |
| CN106784028B (zh) * | 2016-12-29 | 2021-04-13 | 北京邮电大学 | 一种亚波长分束光栅混合集成光电探测器阵列 |
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2000
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2001
- 2001-07-27 US US09/915,477 patent/US6690002B2/en not_active Expired - Fee Related
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