JP2002048732A - Visual inspection device and visual inspection method - Google Patents

Visual inspection device and visual inspection method

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JP2002048732A
JP2002048732A JP2000232645A JP2000232645A JP2002048732A JP 2002048732 A JP2002048732 A JP 2002048732A JP 2000232645 A JP2000232645 A JP 2000232645A JP 2000232645 A JP2000232645 A JP 2000232645A JP 2002048732 A JP2002048732 A JP 2002048732A
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Japan
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inspection
image
color
surface roughness
light
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JP2000232645A
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Japanese (ja)
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Keiji Yano
啓司 矢野
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Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a visual inspection device and a visual inspection method for accurately performing detection on a smooth surface with low surface roughness for improving inspection accuracy. SOLUTION: In the visual inspection, a predetermined inspection is carried out by color image processing of color image data obtained by photographing a mounted base board. In photographing an inspection object having a detection objective part with surface roughness different from that around it such as a polarity mark formed on the upper face of an electronic part 3, when a chromatic illuminating light is radiated in the coaxial direction by means of a coaxial light source part 4e while regular reflection light of the chromatic illuminating light from the polarity mark with the low surface roughness is received by means of the camera 5, the detection objective part is discriminated from the periphery. In this way, the smooth surface with low surface roughness can be precisely separated and discriminated by means of color image processing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物を撮像
して得られたカラー画像データをカラー画像処理するこ
とにより検査対象物について所定の検査を行う外観検査
装置および外観検査方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a visual inspection apparatus and a visual inspection method for performing a predetermined inspection on an inspection object by performing color image processing on color image data obtained by imaging the inspection object. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品や機器の製造分野においては、
電子部品や基板などの検査対象物をカメラで撮像して所
定の検査を行う外観検査が広く行われている。この外観
検査は、検査対象物の撮像データを画像処理することに
より、電子部品などの検査対象物の検出や識別、位置ず
れなど各種の項目についての判定が行われる。これらの
検査項目の中で、電子部品の有無や位置ずれなど、基板
と電子部品の色の違いを利用することにより判別が可能
な検査項目に対しては、カラー画像を用いたカラー画像
処理が行われる。
2. Description of the Related Art In the field of manufacturing electronic components and equipment,
2. Description of the Related Art Appearance inspections in which an inspection object such as an electronic component or a board is imaged by a camera and a predetermined inspection is performed are widely performed. In the appearance inspection, various items such as detection and identification of an inspection target such as an electronic component and misalignment are determined by performing image processing on image data of the inspection target. Among these inspection items, color image processing using a color image is performed for an inspection item that can be determined by using a difference in color between the board and the electronic component, such as the presence or absence of an electronic component and a position shift. Done.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のカラ
ー画像を用いた外観検査においては、以下に述べるよう
な問題点があった。外観検査の検査項目の中には、電子
部品の極性マーク、基板の位置決めマークなどのよう
に、周囲と比較して粗度が小さい平滑面が検出対象部位
となっている場合がある。このような検出対象は目視で
は容易に周囲から識別できるものの、カラー画像処理に
よる外観検査では、平滑面から反射されカメラに受光さ
れる光によってこれらの検出対象をカラー画像上で周囲
から明瞭に分離・識別することが困難であった。
However, the conventional visual inspection using a color image has the following problems. In the inspection items of the appearance inspection, a detection target portion may be a smooth surface having a small roughness compared to the surroundings, such as a polarity mark of an electronic component and a positioning mark of a substrate. Such detection targets can be easily identified from the surroundings by visual inspection, but in color appearance inspection, these detection targets are clearly separated from the surroundings on the color image by light reflected from the smooth surface and received by the camera.・ It was difficult to identify.

【0004】そこで本発明は、表面粗度の小さい平滑面
を精度よく検出し、検査精度を向上させることができる
外観検査装置および外観検査方法を提供することを目的
とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a visual inspection device and a visual inspection method capable of accurately detecting a smooth surface having a small surface roughness and improving the inspection accuracy.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の外観検査
装置は、表面粗度が周囲と異なる検出対象部位を有する
検査対象物を撮像して得られたカラー画像データをカラ
ー画像処理することにより所定の検査を行う外観検査装
置であって、前記検査対象物を撮像するカメラと、撮像
時に検査対象物に全天方向から白色照明光を照射する第
1の照明手段と、撮像時に検査対象物に同軸方向から有
色照明光を照射する第2の照明手段とを備えた。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a visual inspection apparatus for performing color image processing on color image data obtained by imaging an inspection object having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings. A camera for imaging the inspection object, first illumination means for irradiating the inspection object with white illumination light from all directions, and an inspection object for imaging. Second illumination means for irradiating the object with colored illumination light from the coaxial direction.

【0006】請求項2記載の外観検査方法は、表面粗度
が周囲と異なる検出対象部位を有する検査対象物を撮像
して得られたカラー画像データをカラー画像処理するこ
とにより所定の検査を行う外観検査方法であって、前記
検査対象物をカメラによって撮像する際に、検査対象物
に同軸方向から有色照明光を照射し、前記検出対象部位
と周囲のうち表面粗度が小さい方からの有色照明光の正
反射光をカメラによって受光することにより当該検出対
象部位を周囲から識別する。
According to a second aspect of the present invention, a predetermined inspection is performed by performing color image processing on color image data obtained by imaging an inspection target having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings. An appearance inspection method, wherein when the inspection object is imaged by a camera, the inspection object is irradiated with colored illumination light from the coaxial direction, and the detection target portion and the surroundings are colored from the one with the smaller surface roughness. By detecting the specular reflected light of the illumination light by the camera, the detection target part is identified from the surroundings.

【0007】本発明によれば、表面粗度が周囲と異なる
検出対象部位を有する検査対象物を撮像する際に、検査
対象物に同軸方向から有色照明光を照射して、検出対象
部位と周囲のうち表面粗度が小さい方からの有色照明光
の正反射光をカメラによって受光して当該検出対象部位
を周囲から識別することにより、表面粗度が小さい平滑
面をカラー画像処理によって精度よく分離・識別するこ
とができる。
According to the present invention, when capturing an image of an inspection object having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings, the inspection target object is irradiated with colored illumination light from the coaxial direction, thereby detecting the detection target portion and the surroundings. The camera receives the specularly reflected light of colored illumination light from the one with the smaller surface roughness and identifies the detection target part from the surroundings, so that a smooth surface with small surface roughness can be accurately separated by color image processing.・ Can be identified.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の実装
基板の外観検査装置の構成を示すブロック図、図2は本
発明の一実施の形態の色抽出処理の説明図、図3は本発
明の一実施の形態の実装基板の平面図、図4は本発明の
一実施の形態の電子部品の実装状態検査処理のフロー
図、図5は本発明の一実施の形態の半田付状態検査処理
のフロー図、図6は本発明の一実施の形態の半田ブリッ
ジ検査処理のフロー図、図7は本発明の一実施の形態の
半田検査処理の説明図、図8は本発明の一実施の形態の
半田ブリッジ検査処理の説明図、図9は本発明の一実施
の形態の電子部品の極性検査処理のフロー図、図10は
本発明の一実施の形態の電子部品の極性検査処理の説明
図である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a visual inspection apparatus for a mounting board according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of a color extraction process according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a flowchart of an electronic component mounting state inspection process according to one embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a flowchart of a soldering state inspection process according to one embodiment of the present invention. 6, FIG. 6 is a flowchart of a solder bridge inspection process according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 is an explanatory diagram of a solder inspection process according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 9 is an explanatory diagram of a bridge inspection process, FIG. 9 is a flowchart of an electronic component polarity inspection process of one embodiment of the present invention, and FIG. 10 is an explanatory diagram of an electronic component polarity inspection process of one embodiment of the present invention. .

【0009】まず図1を参照して実装基板の外観検査装
置の構成について説明する。図1において、XYテーブ
ル1上には電子部品が実装された検査対象物である実装
基板2(以下、単に「基板2」と略記。)が保持されて
おり、基板2には複数の種類の異なる電子部品3が実装
されている。図3に示すように基板2には、対角位置に
位置認識用の認識マーク2aが形成されており、基板2
上面には電子部品接合用の回路電極2bが形成されてい
る。電極2bには端子型の矩形電子部品31A,31B
や、接合用リードを備えたリード型の電子部品32,3
3など種類の異なる多数の電子部品が半田接合される。
First, the configuration of a visual inspection apparatus for a mounting board will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a mounting substrate 2 (hereinafter simply referred to as “substrate 2”), which is an inspection target on which electronic components are mounted, is held on an XY table 1. Different electronic components 3 are mounted. As shown in FIG. 3, a recognition mark 2a for position recognition is formed on the substrate 2 at a diagonal position.
On the upper surface, a circuit electrode 2b for joining electronic components is formed. Terminal type rectangular electronic components 31A and 31B are provided on the electrode 2b.
And lead-type electronic components 32, 3 having bonding leads
Many different types of electronic components such as 3 are soldered.

【0010】外観検査においては、これら電子部品の有
無や位置ずれおよび電子部品の方向を示す極性の正否、
電子部品を回路電極に接合するための半田付け状態の良
否などが光学的に検査される。すなわち認識マーク2a
を認識することにより基板2の位置を検出し、この位置
に基づいて各電子部品の位置を特定する。極性検査にお
いては、電子部品33の上面に形成された極性マーク3
3aを認識することにより、電子部品33の極性を判定
する。また、リード33bの周囲を撮像して半田フィレ
ットの大きさや形状を認識することにより、半田付け状
態が検査される。
In the appearance inspection, the polarity of the presence / absence and displacement of the electronic component and the direction of the electronic component is determined.
The quality of a soldering state for joining the electronic component to the circuit electrode is inspected optically. That is, the recognition mark 2a
, The position of the substrate 2 is detected, and the position of each electronic component is specified based on this position. In the polarity inspection, the polarity mark 3 formed on the upper surface of the electronic component 33 is used.
By recognizing 3a, the polarity of the electronic component 33 is determined. The soldering state is inspected by imaging the periphery of the lead 33b and recognizing the size and shape of the solder fillet.

【0011】基板2の上方には、照明部4とカメラ5よ
り成る撮像部が配設されている。照明部4はハロゲン光
源部(図示せず)によって発光される白色光を照射する
リング状の発光体4aと略半球面状の反射体4bを備え
ており、発光体4aから反射体4bの内面に向けて照射
された白色光は、球面状の反射面によって拡散反射さ
れ、下方の基板2を全天方向から照明する。すなわち発
光体4aと反射体4bは、白色照明光を照射する全天型
の第1の照明手段となっている。
Above the substrate 2, an image pickup unit including a lighting unit 4 and a camera 5 is provided. The illuminating unit 4 includes a ring-shaped illuminator 4a for emitting white light emitted by a halogen light source unit (not shown) and a substantially hemispherical reflector 4b. Is scattered and reflected by the spherical reflecting surface, and illuminates the substrate 2 below from all directions. That is, the light emitter 4a and the reflector 4b constitute an all-sky first illuminating unit that emits white illumination light.

【0012】また、反射体4bの内部には、赤色光を発
光するLED光源部4c,4dが上下2段に設けられて
おり、LED光源部4c,4dから発光される赤色光
は、下方の基板2に対してそれぞれ方向の異なる斜め方
向から照射される。すなわちLED光源部4c,4d
は、基板2に対して方向の異なる複数の特定方向から照
明光を照射する多段型の第2の照明手段となっている。
Further, inside the reflector 4b, LED light sources 4c and 4d for emitting red light are provided in upper and lower stages, and the red light emitted from the LED light sources 4c and 4d is provided in the lower part. The substrate 2 is irradiated from different oblique directions. That is, the LED light sources 4c, 4d
Is a multi-stage second illumination means for irradiating the substrate 2 with illumination light from a plurality of specific directions having different directions.

【0013】更に照明部4は、反射体4bの上方に配置
された同軸光源部4eを備えている。同軸光源部4eは
LEDによって発光し、この同軸光源部4eからの照射
光は、反射体4bの開口部に設けられたハーフミラー4
fによって反射されて、下方の基板2上にカメラ5の同
軸方向から入射する。
Further, the illumination section 4 has a coaxial light source section 4e disposed above the reflector 4b. The coaxial light source unit 4e emits light by an LED, and the irradiation light from the coaxial light source unit 4e is applied to the half mirror 4 provided in the opening of the reflector 4b.
The light is reflected by f and enters the lower substrate 2 from the coaxial direction of the camera 5.

【0014】照明部4は照明制御部18に接続されてお
り、照明制御部18によって照明部4を制御することに
より、全天型照明用の白色照明光を発光する発光体4
a、多段型照明用の赤色光を発光するLED光源部4
c,4dおよび同軸照明用の同軸光源部4eのいずれか
のみ、もしくはこれらを組み合わせて点灯させることが
でき、したがって、第1の照明手段である発光体4a、
または第2の照明手段であるLED光源部4c,4dを
選択的に切り換えて点灯させることができる。すなわち
照明制御部18は、第1の照明手段と第2の照明手段を
切り換える照明切り換え手段となっている。
The illumination unit 4 is connected to an illumination control unit 18. The illumination control unit 18 controls the illumination unit 4 to emit white illumination light for all-sky illumination.
a, LED light source unit 4 that emits red light for multistage illumination
Only one of c, 4d and the coaxial light source section 4e for coaxial illumination, or a combination thereof, can be turned on. Therefore, the illuminants 4a,
Alternatively, the LED light sources 4c and 4d, which are the second lighting means, can be selectively switched on and turned on. That is, the illumination control unit 18 is an illumination switching unit that switches between the first illumination unit and the second illumination unit.

【0015】照明部4の上方にはカメラ5が下向きに配
置されており、カメラ5は反射体4bの上部に設けられ
た開口を介して、前述の各種の照明手段によって照明さ
れた状態の基板2を撮像する。このときXYテーブル1
を駆動することにより基板2は水平移動し、基板2上に
実装された任意の電子部品3をカメラ5の直下に位置さ
せて撮像することができる。
A camera 5 is disposed above the illuminating section 4 in a downward direction, and the camera 5 is illuminated by the above-described various illuminating means via an opening provided above the reflector 4b. 2 is imaged. At this time, the XY table 1
, The substrate 2 moves horizontally, and an arbitrary electronic component 3 mounted on the substrate 2 can be positioned just below the camera 5 and imaged.

【0016】カメラ5はカメラコントロールユニット
(CCU)6に接続されている。カメラコントロールユ
ニット6は撮像タイミングなどのカメラ5の撮像動作を
制御するとともに、撮像データからR(赤)、G
(緑)、B(青)の三原色を抽出し、各要素ごとの画像
データとして出力する。R,G,Bの三要素の画像デー
タは第1の画像記憶部8に記憶されるとともに、カラー
モデル変換部7に送られる。
The camera 5 is connected to a camera control unit (CCU) 6. The camera control unit 6 controls an imaging operation of the camera 5 such as an imaging timing, and performs R (red), G
The three primary colors (green) and B (blue) are extracted and output as image data for each element. The image data of the three elements R, G, and B are stored in the first image storage unit 8 and sent to the color model conversion unit 7.

【0017】カラーモデル変換部7は前記R,G,Bの
三要素のそれぞれの要素を1つの独立の次元とする3次
元のRGB画像データを、H(色相)、S(彩度)、I
(明度)のそれぞれの要素を1つの独立の次元とする3
次元のHSI画像データに変換する。変換されたHSI
画像データは第2の記憶部9に記憶される。そしてこの
HSI画像データは色抽出部13に送られ、色抽出部1
3ではHSI画像データを用いて撮像視野内の所定部位
の色を抽出する処理、すなわち当該部位の本来の色を他
の特定の色に置き換えた画像(色抽出画像)を合成する
処理が行われる。この色抽出処理により得られた色抽出
画像は、第3の画像記憶部10に格納される。
The color model conversion unit 7 converts the three-dimensional RGB image data, in which each of the three elements of R, G, and B has one independent dimension, into H (hue), S (saturation),
Each element of (brightness) as one independent dimension 3
It is converted into dimensional HSI image data. Converted HSI
The image data is stored in the second storage unit 9. The HSI image data is sent to the color extraction unit 13 and
In step 3, a process of extracting a color of a predetermined portion in the imaging field of view using the HSI image data, that is, a process of synthesizing an image in which the original color of the portion is replaced with another specific color (color extracted image) is performed. . The color extraction image obtained by the color extraction processing is stored in the third image storage unit 10.

【0018】半田付け状態検査部11は、第1の画像記
憶部8に格納されたRGB画像データを画像処理するこ
とにより、電子部品の半田付け状態を検査する。したが
って半田付け状態検査部11は半田検査手段となってい
る。部品搭載状態検査部12は、色抽出処理がなされ第
3の画像記憶部10に格納された色抽出画像を画像処理
することにより、電子部品の搭載状態、すなわち電子部
品の有無や位置ずれを検査する。したがって部品搭載状
態検査部12は、実装検査手段となっている。
The soldering state inspection unit 11 inspects the soldering state of the electronic component by performing image processing on the RGB image data stored in the first image storage unit 8. Therefore, the soldering state inspection unit 11 is a solder inspection unit. The component mounting state inspection unit 12 inspects the mounting state of the electronic component, that is, the presence / absence and displacement of the electronic component by performing image processing on the color extraction image stored in the third image storage unit 10 after the color extraction processing. I do. Therefore, the component mounting state inspection unit 12 is a mounting inspection unit.

【0019】半田付け状態検査部11、部品搭載状態検
査部12、色抽出部13は全体制御部14と接続されて
おり、全体制御部14には検査データ記憶部15、ライ
ブラリ記憶部16および検査結果記憶部17の各記憶部
が接続されている。検査データ記憶部15は、搭載状態
検査装置の検査処理における動作順序を示す検査シーケ
ンスデータを記憶する。この検査シーケンスデータの中
には、検査の対象となる電子部品を特定するための部品
識別情報、色コード、検査項目に関する情報が含まれて
いる。
The soldering state inspecting unit 11, the component mounting state inspecting unit 12, and the color extracting unit 13 are connected to an overall control unit 14. The overall control unit 14 includes an inspection data storage unit 15, a library storage unit 16, and an inspection unit. Each storage unit of the result storage unit 17 is connected. The inspection data storage unit 15 stores inspection sequence data indicating an operation order in the inspection processing of the mounting state inspection device. The inspection sequence data includes component identification information for identifying an electronic component to be inspected, a color code, and information on an inspection item.

【0020】ライブラリ記憶部16は、検査対象の電子
部品についての各種のデータより構成される部品ライブ
ラリを記憶する。この部品ライブラリのデータは全体制
御部14によって読み出されて色抽出部13に送られ、
ここで各電子部品に応じたライブラリデータを用いた色
抽出処理が行われる。検査結果記憶部17は、半田付け
状態検査部11、部品搭載状態検査部12の検査結果を
全体制御部14を介して受け取り格納する。照明制御部
18は照明部4の点灯の制御や、照度などの照明条件の
制御を行う。機構制御部19は、基板2を保持・位置決
めするXYテーブル1の動作を制御する。
The library storage unit 16 stores a component library including various data on electronic components to be inspected. The data of this part library is read out by the overall control unit 14 and sent to the color extraction unit 13.
Here, color extraction processing using library data corresponding to each electronic component is performed. The inspection result storage unit 17 receives and stores the inspection results of the soldering state inspection unit 11 and the component mounting state inspection unit 12 via the overall control unit 14. The lighting control unit 18 controls lighting of the lighting unit 4 and controls lighting conditions such as illuminance. The mechanism control unit 19 controls the operation of the XY table 1 for holding and positioning the substrate 2.

【0021】ここで図2を参照して色抽出処理について
説明する。カメラ5によって取り込まれカメラコントロ
ールユニット6によって出力された電子部品3を含む基
板2のRGB画像20は、カラーモデル変換部7によっ
てHSI画像データにカラーモデル変換される。ここで
は、画像を構成する各画素毎にRGB次元で表された色
のデータをHSI次元でのデータに変換する処理が行わ
れ、カラーモデル変換後のデータからはH,S,Iの各
種類毎にデータが分離されて出力される。
Here, the color extraction processing will be described with reference to FIG. An RGB image 20 of the substrate 2 including the electronic component 3 captured by the camera 5 and output by the camera control unit 6 is subjected to color model conversion into HSI image data by a color model conversion unit 7. Here, a process of converting color data expressed in RGB dimensions into data in HSI dimensions is performed for each pixel forming an image, and the data after color model conversion is converted into H, S, and I types. Each data is separated and output.

【0022】これにより、第2の画像記憶部9には、各
画素毎にH,S,Iのそれぞれのデータを対応させた画
像、すなわちH(色相)のみで表された色変換画像9
a、S(彩度)のみで表された色変換画像9bおよびI
(明度)のみで表された色変換画像9cが格納される。
そしてこれらの画像データは色抽出部13へ送られ、
H,I,Sの各画像データに対して、変換テーブル21
(Hテーブル21a、Sテーブル21b、Iテーブル2
1c)を用いたデータ変換が行われる。
Thus, the second image storage unit 9 stores an image in which the data of each of H, S, and I correspond to each pixel, that is, the color conversion image 9 represented only by H (hue).
a, color-converted images 9b and I expressed only by S (saturation)
A color conversion image 9c represented only by (lightness) is stored.
Then, these image data are sent to the color extracting unit 13,
A conversion table 21 for each of the H, I, and S image data
(H table 21a, S table 21b, I table 2
Data conversion using 1c) is performed.

【0023】この変換テーブル21を用いたデータ変換
は、各画素毎に求められたH,S,Iの数値データを所
定の変換法則に従って新たな数値データH’,S’,
I’に置き換えることによって行われる。ここで用いら
れる変換テーブル21は、この変換法則を定めるもので
あり、検査対象に応じて異なる特性を備えた変換テーブ
ルが設定される。
In the data conversion using the conversion table 21, the numerical data of H, S, I obtained for each pixel are converted into new numerical data H ', S', according to a predetermined conversion rule.
This is done by replacing it with I '. The conversion table 21 used here determines this conversion rule, and a conversion table having different characteristics is set according to the inspection target.

【0024】そしてデータ変換されたH’,S’,I’
の各画像は合成処理部22によって合成され、色抽出画
像が合成される。合成された色抽出画像は、第3の画像
記憶部10に記憶される。このような色抽出処理を行う
ことにより、本実施の形態に示す例では、検出対象の電
子部品3の部分は白色部23aに、その他の部分は黒色
から灰色の範囲で色が変化する非白色部23bにそれぞ
れ変換された色抽出画像(モノクロ画像)23を得る。
そして色抽出された色抽出画像は部品搭載状態検査部1
2に送られ、ここで所定部位に所定の電子部品が正しい
位置に正常な状態で搭載されているか否かについての検
査が行われる。
The data converted H ', S', I '
Are synthesized by the synthesis processing unit 22 to synthesize a color extracted image. The synthesized color extraction image is stored in the third image storage unit 10. By performing such a color extraction process, in the example shown in the present embodiment, the part of the electronic component 3 to be detected is in the white part 23a, and the other parts are non-white in which the color changes from black to gray. The converted color extraction image (monochrome image) 23 is obtained by the unit 23b.
The color-extracted image from which the color has been extracted is sent to the component mounting state inspection unit 1.
2, where an inspection is performed as to whether or not a predetermined electronic component is properly mounted at a predetermined position in a correct position.

【0025】この実装基板の外観検査装置は上記のよう
に構成されており、次に図4を参照して実装状態検査処
理について説明する。まず検査対象の基板2がXYテー
ブル1上に載置される。そして発光体4aを点灯するこ
とにより白色照明が点灯される(ST1)。次いでカメ
ラ5によって検査対象の電子部品を含む画像の取り込み
が行われる(ST2)。これにより基板2のRGB画像
がカメラコントロールユニット6より出力され、カラー
モデル変換部7によってHSI画像にカラーモデル変換
される(ST3)。
This apparatus for inspecting the appearance of a mounting board is configured as described above. Next, the mounting state inspection processing will be described with reference to FIG. First, the substrate 2 to be inspected is placed on the XY table 1. Then, the white light is turned on by turning on the light emitter 4a (ST1). Next, an image including the electronic component to be inspected is captured by the camera 5 (ST2). As a result, the RGB image of the substrate 2 is output from the camera control unit 6, and the color model is converted into an HSI image by the color model conversion unit 7 (ST3).

【0026】次いで色抽出部13によって検査対象部位
に設定された色取り込み領域を対象として色抽出処理が
行われる(ST4)。そして色抽出画像を対象として部
品搭載状態検査部12によって検査処理が行われる(S
T5)。すなわち、色抽出画像を画像処理することによ
り、基板2上における電子部品の有無や、位置ずれが検
出される。
Next, color extraction processing is performed on the color capture area set in the inspection target region by the color extraction unit 13 (ST4). Then, an inspection process is performed on the color extraction image by the component mounting state inspection unit 12 (S
T5). That is, by performing image processing on the color extraction image, the presence / absence of an electronic component on the substrate 2 and the displacement are detected.

【0027】次に図5、図7を参照して半田付け状態検
査について説明する。この半田付け状態検査は、図3に
示す電子部品33のリード33bを基板2の電極2bに
接合する半田フィレットの形状を検出することにより、
半田付けが正常に行われているか否かを判定するもので
ある。この検査に際しては、まず上段照明が点灯される
(ST11)。すなわち、照明部4に備えられたLED
光源部4dおよび同軸光源部4eを点灯し、基板2に対
し上方から赤色の照明光を照射する。
Next, the inspection of the soldering state will be described with reference to FIGS. This soldering state inspection is performed by detecting the shape of a solder fillet that joins the lead 33b of the electronic component 33 shown in FIG.
It is to determine whether or not the soldering is performed normally. In this inspection, first, the upper illumination is turned on (ST11). That is, the LED provided in the lighting unit 4
The light source unit 4d and the coaxial light source unit 4e are turned on, and the substrate 2 is irradiated with red illumination light from above.

【0028】そしてこの状態で半田フィレット部分の画
像を取り込む(ST12)。すると図7に示すように、
電子部品のリード33b上面や基板2の電極2b上面の
うち半田が接合されていない平坦面に照射された照明光
は、これらの水平な表面によって上方に反射されカメラ
5によって受光される。これに対し、電極2b上面とリ
ード33b側面とを接合して形成された半田フィレット
34の傾斜した表面に入射した照明光は斜め方向に反射
される結果、上方のカメラ5によって受光されない。こ
れにより、カメラ5によって取得される画像上では、図
7(a)に示すようにリード33b上面や電極2b面と
半田フィレット34との間で輝度差が明瞭なモノクロ画
像を得ることができる。そしてこの画像に基づき検査処
理が行われる(ST13)。
Then, in this state, an image of the solder fillet portion is captured (ST12). Then, as shown in FIG.
Illumination light applied to the flat surfaces of the electronic component leads 33b and the upper surface of the electrodes 2b of the substrate 2 to which the solder is not bonded is reflected upward by these horizontal surfaces and received by the camera 5. On the other hand, the illumination light incident on the inclined surface of the solder fillet 34 formed by joining the upper surface of the electrode 2b and the side surface of the lead 33b is reflected in the oblique direction, and is not received by the upper camera 5. Thereby, on the image acquired by the camera 5, a monochrome image having a clear luminance difference between the upper surface of the lead 33b or the surface of the electrode 2b and the solder fillet 34 can be obtained as shown in FIG. Then, an inspection process is performed based on this image (ST13).

【0029】すなわち半田フィレット34が存在する場
合には、画像には図7(a)に示すように半田フィレッ
ト34を示す暗部が現れ、半田フィレット34が存在し
ない場合には、画像には図7(b)に示すようにリード
33bと電極2bの範囲に輝部のみが現れる。このよう
にモノクロ画像上で半田フィレット34の存在を示す暗
部を検出することにより、半田フィレット34の有無が
判定され、検出された暗部の形状や面積により半田フィ
レット34の形状不良を検出することができる。
That is, when the solder fillet 34 exists, a dark portion indicating the solder fillet 34 appears in the image as shown in FIG. 7A, and when the solder fillet 34 does not exist, the image shown in FIG. As shown in (b), only the bright part appears in the area between the lead 33b and the electrode 2b. By detecting the dark portion indicating the presence of the solder fillet 34 on the monochrome image, the presence or absence of the solder fillet 34 is determined, and the shape defect of the solder fillet 34 can be detected based on the detected shape and area of the dark portion. it can.

【0030】次に図6、図8を参照して半田ブリッジ検
査について説明する。この半田ブリッジ検査は、図3に
示す電子部品33のように、多数のリード33bが狭ピ
ッチで配列されている場合において、はみ出した半田に
よって電極2b間が連結されて電気的に短絡する不具合
の有無を検出するものである。この検査では、まず下段
照明、すなわち下段に配置されたLED光源部4cが点
灯される(ST21)。これにより、基板2表面に対し
て図8(a)に示すように低い角度の斜め方向から赤色
の照明光が照射され、この状態でリード間の画像が取り
込まれる(ST22)。そして取り込まれた画像に基づ
いて検査処理が行われる(ST23)。
Next, the solder bridge inspection will be described with reference to FIGS. This solder bridge inspection is a problem in which, when a large number of leads 33b are arranged at a narrow pitch, as in the electronic component 33 shown in FIG. It detects the presence or absence. In this inspection, first, the lower stage illumination, that is, the LED light source unit 4c arranged in the lower stage is turned on (ST21). As a result, the surface of the substrate 2 is irradiated with red illumination light from an oblique direction at a low angle as shown in FIG. 8A, and an image between the leads is captured in this state (ST22). Then, an inspection process is performed based on the captured image (ST23).

【0031】この画像取り込みにおいて斜め方向から照
射された照明光の反射光のうち、リード33bの上面や
電極2bの上面など水平な面によって斜め方向に反射さ
れた反射光はカメラ5に受光されないのに対し、リード
33bの端面に形成された半田フィレット34や電極2
bからはみ出して形成された半田ブリッジ35など、斜
面状側面を有する部分からの反射光は上方のカメラ5に
よって受光される。これにより、画像には図8(b)に
示すように、半田フィレット34や半田ブリッジ35の
斜面状側面に相当する部分のみに光沢部34a,35a
が現れる。そしてこの光沢部35aの検出の有無によっ
て、半田ブリッジ35の存在の有無を判定することがで
きる。
In the reflected light of the illumination light emitted obliquely in this image capture, the reflected light obliquely reflected by a horizontal surface such as the upper surface of the lead 33b or the upper surface of the electrode 2b is not received by the camera 5. In contrast, the solder fillet 34 formed on the end face of the lead 33b and the electrode 2
Light reflected from a portion having a sloped side surface, such as a solder bridge 35 protruding from b, is received by the upper camera 5. As a result, as shown in FIG. 8B, only the portions corresponding to the inclined side surfaces of the solder fillet 34 and the solder bridge 35 are glossy portions 34a and 35a in the image.
Appears. The presence or absence of the solder bridge 35 can be determined based on whether or not the glossy portion 35a is detected.

【0032】すなわち、電子部品の半田付け状態を検査
する半田検査においては、多段型のLED光源部4c,
4dや同軸光源部4eを選択的に点灯することにより、
検査対象部位に応じて特定方向から照明光が照射され
る。そしてこの照明による反射光を上方のカメラ5で受
光することにより、異なる検査項目を同一の撮像手段に
よって処理することが可能となる。
That is, in the solder inspection for inspecting the soldering state of the electronic component, the multi-stage LED light source 4c,
By selectively lighting 4d and the coaxial light source 4e,
Illumination light is emitted from a specific direction according to the inspection target site. By receiving the reflected light from the illumination by the upper camera 5, it becomes possible to process different inspection items by the same imaging means.

【0033】次に図9、図10を参照して電子部品の極
性検査処理について説明する。極性検査は、実装状態で
の極性を有する電子部品(図3に示す電子部品33参
照)が、正しい方向で実装されているか否かを、電子部
品33の上面に形成された極性マーク33aを検出する
ことによって判定するものである。この極性マーク33
aは、電子部品33の樹脂モールドに直接形成されたも
のであることから本来同質・同色であり、白色照明下で
撮像されたカラー画像上では、図10(a)に示すよう
に極性マーク33aとその周囲とを明瞭に識別すること
が困難である。
Next, the polarity inspection process of the electronic component will be described with reference to FIGS. The polarity inspection detects whether the electronic component having the polarity in the mounted state (see the electronic component 33 shown in FIG. 3) is mounted in the correct direction by detecting the polarity mark 33a formed on the upper surface of the electronic component 33. It is determined by doing. This polarity mark 33
Since a is directly formed on the resin mold of the electronic component 33, it is originally of the same quality and same color. On a color image captured under white illumination, the polarity mark 33a is formed as shown in FIG. It is difficult to clearly discriminate from the surroundings.

【0034】そこでこの極性検査においては、まず同軸
照明及び白色照明がともに点灯される(ST31)。す
なわち、照明部4の発光体4aと同軸光源部4eがとも
に点灯される。これにより、基板2には、方向性のない
全天方向からの白色照明光及び垂直同軸方向からの赤色
照明光が照射される。
Therefore, in this polarity inspection, first, both the coaxial illumination and the white illumination are turned on (ST31). That is, the light emitter 4a of the illumination unit 4 and the coaxial light source unit 4e are both turned on. As a result, the substrate 2 is irradiated with white illumination light from all sky directions having no direction and red illumination light from the vertical coaxial direction.

【0035】そしてこの状態で、電子部品33上面の画
像取り込みが行われる(ST32)。この画像取り込み
において、表面粗度が小さい滑らかな表面を有する極性
マーク33aの部分では、同軸方向からの赤色照明光は
上方に正反射される度合いが大きく、この正反射光はカ
メラ5によって受光される。これにより、取り込まれた
カラー画像上では、極性マーク33aの部分に有色照明
光と同色の赤色が検出される。なお、同軸方向から照射
される有色照明光として、本実施例では赤色光を用いて
いるが、周囲との識別が可能な色であれば赤色以外の照
明光を用いてもよい。
In this state, an image of the upper surface of the electronic component 33 is captured (ST32). In this image capture, in the portion of the polar mark 33a having a smooth surface with a small surface roughness, the red illumination light from the coaxial direction is highly specularly reflected upward, and the specularly reflected light is received by the camera 5. You. Thus, on the captured color image, red of the same color as the colored illumination light is detected at the portion of the polarity mark 33a. In the present embodiment, red light is used as colored illumination light emitted from the coaxial direction. However, illumination light other than red may be used as long as the color can be distinguished from the surroundings.

【0036】これに対して極性マーク33a以外の電子
部品33の上面は表面粗度が大きいためこの範囲に照射
された赤色照明光は拡散反射し、上方のカメラ5に入射
する反射光は少ない。また、極性マーク33a以外の範
囲においては、全天方向から照射される白色照明光の拡
散反射光がカメラ5によって受光される。すなわち、カ
ラー画像上では極性マーク33a以外の部分は、電子部
品33の樹脂モールド本来の色が検出される。したがっ
て、図10(b)に示すように電子部品33の画像にお
いて極性マーク33aとそれ以外の周囲からは異なる色
が検出され、これにより極性マーク33aは周囲から識
別される。
On the other hand, since the upper surface of the electronic component 33 other than the polar mark 33a has a large surface roughness, the red illumination light applied to this area is diffusely reflected, and the reflected light incident on the upper camera 5 is small. In a range other than the polar mark 33a, the camera 5 receives diffuse reflection light of white illumination light emitted from all directions. That is, in the portion other than the polarity mark 33a on the color image, the original color of the resin mold of the electronic component 33 is detected. Therefore, as shown in FIG. 10B, in the image of the electronic component 33, different colors are detected from the polarity mark 33a and the surrounding area, whereby the polarity mark 33a is identified from the surrounding area.

【0037】このように、電子部品33に表面処理の違
いによる表面粗度の差異が存在し、表面粗度が周囲と異
なる部分が検出対象部位となっている場合において、表
面粗度が小さい方からの有色照明光の正反射光を受光す
ることにより、極性マーク33aなど材質的には同質で
同色である検出対象部位を周囲から識別することができ
る。そして電子部品33上面における極性マーク33a
の位置を検出することにより検査処理が行われ(ST3
3)、電子部品4の極性、すなわち実装方向の正否が検
出される。
As described above, in the case where the electronic component 33 has a difference in surface roughness due to a difference in surface treatment, and a portion where the surface roughness is different from the surroundings is a detection target portion, the smaller the surface roughness is, the better. By receiving the specularly reflected light of the colored illumination light from, it is possible to identify, from the surroundings, a detection target portion having the same material and the same color, such as the polarity mark 33a. And a polar mark 33a on the upper surface of the electronic component 33.
The inspection process is performed by detecting the position of (ST3).
3) The polarity of the electronic component 4, that is, the correctness of the mounting direction is detected.

【0038】なお、上記実施の形態では、照明部4の発
光体4aと同軸光源部4eをともに点灯する例を示して
いるが、同軸光源部4eのみを点灯して、有色照明光の
正反射光のみをカメラ5で受光するようにしてもよい。
この方法によっても、極性マーク33aを周囲から分離
・識別することができる。
In the above-described embodiment, an example is shown in which the light emitter 4a of the illumination unit 4 and the coaxial light source unit 4e are both turned on. However, only the coaxial light source unit 4e is turned on to perform regular reflection of colored illumination light. Only the light may be received by the camera 5.
Also according to this method, the polarity mark 33a can be separated and identified from the surroundings.

【0039】なお、周囲と異なる表面粗度を有する検出
対象部位として、本実施の形態では電子部品の極性マー
クを例にとって説明したが、これ以外の例、例えば基板
2の表面に形成された認識マーク2aや、半田接合性を
向上させる目的で表面に半田膜が形成された半田レベラ
を有する電極などを検出対象部位とする場合についても
本発明を適用することができる。
In the present embodiment, the polarity mark of the electronic component has been described as an example of a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings. However, other examples, for example, a recognition mark formed on the surface of the substrate 2. The present invention can also be applied to a case where the mark 2a or an electrode having a solder leveler having a solder film formed on the surface for the purpose of improving solder jointability is a detection target portion.

【0040】基板の認識マークの場合には、極性マーク
の場合と同様に、周囲の基板の表面と比較して平滑で表
面粗度が小さい認識マーク表面からの正反射光を受光す
ることにより、認識マークを周囲から分離・識別する。
また半田レベラが形成された電極の場合には、電極上面
に塗布されたクリーム半田と比較してより表面粗度が小
さい電極表面(半田膜表面)からの正反射光を受光する
ことによって、半田膜によって覆われた電極表面と類似
色でカラー画像上では識別が困難なクリーム半田を電極
表面から分離・識別することができる。
In the case of the recognition mark of the substrate, similarly to the case of the polarity mark, the specular reflection light from the surface of the recognition mark which is smooth and has a small surface roughness as compared with the surface of the surrounding substrate is received. The recognition mark is separated and identified from the surroundings.
Also, in the case of an electrode having a solder leveler, by receiving specularly reflected light from the electrode surface (solder film surface) having a smaller surface roughness as compared with cream solder applied to the upper surface of the electrode, the solder level is reduced. It is possible to separate and identify cream solder that is difficult to identify on a color image in a color similar to the electrode surface covered with the film from the electrode surface.

【0041】また上記実施の形態では、検査対象物とし
て電子部品が実装された実装基板の例を示しているが、
これに限定されず、例えば電子部品など個片状態のワー
クを検査対象とする場合であってもよい。
In the above embodiment, the example of the mounting board on which the electronic component is mounted as the inspection target is shown.
The present invention is not limited to this, and may be a case where a work in an individual state such as an electronic component is to be inspected.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明によれば、表面粗度が周囲と異な
る検出対象部位を有する検査対象物を撮像する際に、検
査対象物に同軸方向から有色照明光を照射して、検出対
象部位と周囲のうち表面粗度が小さい方からの有色照明
光の正反射光をカメラによって受光して当該検出対象部
位を周囲から識別することにより、表面粗度が小さい平
滑面をカラー画像処理によって精度よく分離・識別する
ことができる。
According to the present invention, when picking up an image of an inspection object having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings, the inspection target object is irradiated with colored illumination light from the coaxial direction to thereby detect the detection target portion. The camera receives the specularly reflected light of colored illumination light from the smaller surface roughness of the surrounding area and identifies the detection target part from the surrounding area. Can be well separated and identified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の実装基板の外観検査装
置の構成を示すブロック図
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a mounting board appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態の色抽出処理の説明図FIG. 2 is an explanatory diagram of a color extraction process according to an embodiment of the present invention;

【図3】本発明の一実施の形態の実装基板の平面図FIG. 3 is a plan view of a mounting board according to one embodiment of the present invention;

【図4】本発明の一実施の形態の電子部品の実装状態検
査処理のフロー図
FIG. 4 is a flowchart of an electronic component mounting state inspection process according to one embodiment of the present invention;

【図5】本発明の一実施の形態の半田付状態検査処理の
フロー図
FIG. 5 is a flowchart of a soldering state inspection process according to one embodiment of the present invention;

【図6】本発明の一実施の形態の半田ブリッジ検査処理
のフロー図
FIG. 6 is a flowchart of a solder bridge inspection process according to one embodiment of the present invention;

【図7】本発明の一実施の形態の半田検査処理の説明図FIG. 7 is an explanatory diagram of a solder inspection process according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施の形態の半田ブリッジ検査処理
の説明図
FIG. 8 is an explanatory diagram of a solder bridge inspection process according to one embodiment of the present invention.

【図9】本発明の一実施の形態の電子部品の極性検査処
理のフロー図
FIG. 9 is a flowchart of a polarity inspection process of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図10】本発明の一実施の形態の電子部品の極性検査
処理の説明図
FIG. 10 is an explanatory diagram of a polarity inspection process for an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 基板 2a 認識マーク 3 電子部品 4 照明部 4a 発光体 4b 反射体 4c、4d LED光源部 5 カメラ 7 カラーモデル変換部 11 半田付け状態検査部 12 部品搭載状態検査部 18 照明制御部 33 電子部品 33a 極性マーク 2 Board 2a Recognition mark 3 Electronic component 4 Illumination unit 4a Light emitter 4b Reflector 4c, 4d LED light source unit 5 Camera 7 Color model conversion unit 11 Soldering state inspection unit 12 Component mounting state inspection unit 18 Lighting control unit 33 Electronic component 33a Polarity mark

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/00 H05K 3/00 Q Fターム(参考) 2F065 AA03 AA49 AA50 AA53 BB27 CC25 CC26 DD04 DD09 DD12 FF04 GG07 GG17 GG24 HH12 HH13 JJ03 JJ26 LL00 LL19 MM03 NN02 PP12 QQ23 QQ24 QQ31 TT02 2G051 AA65 AB14 AB20 BA01 BA20 BB01 CA04 DA07 EA12 EA14 EA17 5B047 AA07 AA12 AB04 BB04 BC09 BC12 BC14 CA19 CB21 5B057 AA03 BA15 BA19 CA01 CA08 CA13 CB01 CB08 CB12 CC01 CE16 CH18 DA01 DA07 DB03 DB06 DB09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/00 H05K 3/00 Q F term (Reference) 2F065 AA03 AA49 AA50 AA53 BB27 CC25 CC26 DD04 DD09 DD12 FF04 GG07 GG17 GG24 HH12 HH13 JJ03 JJ26 LL00 LL19 MM03 NN02 PP12 QQ23 QQ24 QQ31 TT02 2G051 AA65 AB14 AB20 BA01 BA20 BB01 CA04 DA07 EA12 EA14 EA17 5B047 AA07 AA12 AB04 BB04 CA19 CB01 BA19 BC19 BA19 BC19 BC01 BC19 DA01 DA07 DB03 DB06 DB09

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表面粗度が周囲と異なる検出対象部位を有
する検査対象物を撮像して得られたカラー画像データを
カラー画像処理することにより所定の検査を行う外観検
査装置であって、前記検査対象物を撮像するカメラと、
撮像時に検査対象物に全天方向から白色照明光を照射す
る第1の照明手段と、撮像時に検査対象物に同軸方向か
ら有色照明光を照射する第2の照明手段とを備えたこと
を特徴とする外観検査装置。
An appearance inspection apparatus for performing a predetermined inspection by performing color image processing on color image data obtained by imaging an inspection object having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings, A camera for imaging the inspection object,
A first illuminating means for irradiating the object to be inspected with white illumination light from all directions at the time of imaging; and a second illuminating means for irradiating the object to be inspected with colored illumination light from the coaxial direction at the time of imaging. Appearance inspection device.
【請求項2】表面粗度が周囲と異なる検出対象部位を有
する検査対象物を撮像して得られたカラー画像データを
カラー画像処理することにより所定の検査を行う外観検
査方法であって、前記検査対象物をカメラによって撮像
する際に、検査対象物に同軸方向から有色照明光を照射
し、前記検出対象部位と周囲のうち表面粗度が小さい方
からの有色照明光の正反射光をカメラによって受光する
ことにより当該検出対象部位を周囲から識別することを
特徴とする外観検査方法。
2. A visual inspection method for performing a predetermined inspection by performing color image processing on color image data obtained by imaging an inspection target having a detection target portion having a surface roughness different from that of the surroundings, When capturing an image of the inspection target with a camera, the inspection target is irradiated with colored illumination light from the coaxial direction, and the specular reflection light of the colored illumination light from the surface roughness of the detection target portion and the surroundings that is smaller is used. A visual inspection method characterized in that the detection target part is identified from the surroundings by receiving the light.
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