JP2002029033A - Method for creating data for inspection of print inspecting device - Google Patents

Method for creating data for inspection of print inspecting device

Info

Publication number
JP2002029033A
JP2002029033A JP2000216940A JP2000216940A JP2002029033A JP 2002029033 A JP2002029033 A JP 2002029033A JP 2000216940 A JP2000216940 A JP 2000216940A JP 2000216940 A JP2000216940 A JP 2000216940A JP 2002029033 A JP2002029033 A JP 2002029033A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
inspection
mask
screen printing
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000216940A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Yamazaki
公幸 山崎
Michinori Tomomatsu
道範 友松
Shigetaka Abe
成孝 阿部
Seiichi Miyahara
清一 宮原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000216940A priority Critical patent/JP2002029033A/en
Publication of JP2002029033A publication Critical patent/JP2002029033A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for creating data for an inspection of a print inspecting device capable of improving an inspecting accuracy by a simple method. SOLUTION: In creating the data for the inspection used for the print inspecting device for inspecting a printing state of a cream solder of a base after screen printing, an aperture shape of pattern pores of a mask plate 12 used for the screen printing is measured by a laser measuring instrument 20, data of the aperture shape is obtained, and this measured result is compared with mask forming data of the plate 12, and error data indicating an error from a normal shape of the plate 12 is obtained. The data for the inspection is created based on the mask creating data and the error data. Thus, the data for the inspection of a high accuracy in which influences of a mask manufacturing error and an aging deformation are removed can be created by the simple method.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に印刷された
クリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置に用い
られる印刷検査装置の検査用データの作成方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing inspection data of a print inspection apparatus used in a print inspection apparatus for inspecting a printing state of cream solder printed on a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品の実装においては、基板への電
子部品の搭載に先立って基板の表面にクリーム半田が塗
布される。クリーム半田塗布の方法としてはスクリーン
印刷による方法が広く用いられており、印刷工程の後に
はクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査が行われ
る。この印刷検査は、スクリーン印刷後の基板をカメラ
により撮像し、撮像結果を画像処理することにより印刷
部位に正しくクリーム半田が印刷されているか否かを判
定するものである。そして印刷検査に先立って、検査対
象基板のクリーム半田が印刷されるべき印刷部位を指示
する検査用データが印刷検査装置に入力される。
2. Description of the Related Art In mounting electronic components, cream solder is applied to the surface of the substrate prior to mounting the electronic component on the substrate. As a method of applying cream solder, a screen printing method is widely used, and after the printing process, a printing inspection for inspecting a printing state of the cream solder is performed. In this print inspection, the board after screen printing is imaged by a camera, and the imaged result is subjected to image processing to determine whether or not cream solder is correctly printed on a printed portion. Then, prior to the print inspection, inspection data indicating a print portion of the inspection target substrate on which the cream solder is to be printed is input to the print inspection device.

【0003】従来この検査用データは種々の方法によっ
て作成されており、例えば印刷に用いられるマスクプレ
ートのパターン孔の形状を示すマスク作成データを用い
る方法、印刷済の基板の中から印刷状態が良好と思われ
る基板を選んでマスター基板とし、このマスター基板を
検査装置に認識させる方法などが用いられていた。
Conventionally, this inspection data has been created by various methods, for example, a method using mask creation data indicating the shape of the pattern hole of a mask plate used for printing, and a good printed state from among printed substrates. A method was adopted in which a substrate that was considered to be selected was used as a master substrate, and this master substrate was recognized by an inspection apparatus.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法は、いずれも問題点を有しており、必ずしも適切
な方法とは云えないものであった。例えば、マスク作成
データは必ずしも全てのユーザが入手出来るものとは限
らない上に、実際のマスクプレートは製作誤差や変形な
どによりマスク作成データの通りにできているとは限ら
ず、検査結果に誤差を生じる場合があった。またマスタ
ー基板を用いる場合には、マスター基板自体の良否判定
が困難で検査データそのものが信頼性に欠けるなど、上
記各方法には種々の問題点があり、簡便な方法でかつ信
頼性に優れ必要検査精度を満たす検査用データの作成方
法が求められていた。
However, each of the above-mentioned conventional methods has a problem, and is not always an appropriate method. For example, mask creation data is not always available to all users, and the actual mask plate is not always made exactly as the mask creation data due to manufacturing errors and deformations. In some cases. In addition, when a master substrate is used, the above methods have various problems, such as difficulty in determining the quality of the master substrate itself and lack of reliability of the inspection data itself, and a simple method and excellent reliability are required. There has been a demand for a method of creating inspection data that satisfies inspection accuracy.

【0005】そこで本発明は、簡便な方法で検査精度を
向上させることができる印刷検査装置の検査用データの
作成方法を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for creating inspection data of a print inspection apparatus which can improve inspection accuracy by a simple method.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の印刷検査
装置の検査用データの作成方法は、スクリーン印刷後の
基板のクリーム半田の印刷状態を検査する印刷検査装置
に用いられる検査用データの作成方法であって、スクリ
ーン印刷に用いられるマスクプレートのパターン孔の開
口形状を形状測定手段によって測定し、この測定によっ
て得られた前記開口形状のデータから検査用データを作
成するようにした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of preparing inspection data for a print inspection apparatus, wherein the inspection data is used in a print inspection apparatus for inspecting a printed state of cream solder on a substrate after screen printing. In the method, an opening shape of a pattern hole of a mask plate used for screen printing is measured by a shape measuring unit, and inspection data is created from the data of the opening shape obtained by the measurement.

【0007】請求項2記載の印刷検査装置の検査用デー
タの作成方法は、スクリーン印刷後の基板のクリーム半
田の印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられる検査
用データの作成方法であって、スクリーン印刷に用いら
れるマスクプレートのパターン孔の開口形状を形状測定
手段によって測定し、この測定によって得られた前記開
口形状のデータと当該マスクプレートのマスク作成デー
タとを比較することによりマスクプレートの正規形状か
らの誤差を示す誤差データを求め、前記マスク作成デー
タとこの誤差データに基づいて検査用データを作成する
ようにした。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of generating inspection data for use in a print inspection apparatus for inspecting a printed state of cream solder on a board after screen printing. The shape of the opening of the pattern hole of the mask plate used for screen printing is measured by a shape measuring means, and the data of the opening shape obtained by this measurement is compared with the mask making data of the mask plate to thereby determine the regularity of the mask plate. Error data indicating an error from the shape is obtained, and inspection data is created based on the mask creation data and the error data.

【0008】本発明によれば、スクリーン印刷に用いら
れるマスクプレートのパターン孔の開口形状を形状測定
手段によって測定し、この測定によって得られた前記開
口形状のデータから検査用データを作成することによ
り、更に好ましくはこの測定結果と当該マスクプレート
のマスク作成データとを比較してマスクプレートの正規
形状からの誤差を示す誤差データを求めておくことによ
り、簡便な方法で精度の高い検査用データを作成するこ
とができる。
According to the present invention, an opening shape of a pattern hole of a mask plate used for screen printing is measured by a shape measuring means, and inspection data is created from the data of the opening shape obtained by the measurement. More preferably, by comparing this measurement result with the mask making data of the mask plate to obtain error data indicating an error from the normal shape of the mask plate, highly accurate inspection data can be obtained by a simple method. Can be created.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスク
リーン印刷装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態
のスクリーン印刷装置の側面図、図3は本発明の一実施
の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図4は本発明の
一実施の形態のスクリーン印刷装置のレーザ計測装置の
斜視図、図5は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷
装置の制御系の構成を示すブロック図である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printing apparatus according to one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a laser measuring device of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a control system of the screen printing apparatus of the embodiment of the present invention. is there.

【0010】まず図1、図2および図3を参照してスク
リーン印刷装置の構造を説明する。図1、図2におい
て、基板位置決め手段である基板位置決め部1は、X軸
テーブル2およびY軸テーブル3よりなる移動テーブル
上にθ軸テーブル4を段積みし、さらにその上にZ軸テ
ーブル5を配設して構成されており、Z軸テーブル5上
にはクランパ8によって挟み込まれた基板6を下方から
保持する基板保持部7が設けられている。印刷対象の基
板6は、図1、図3に示す搬入コンベア14によって基
板位置決め部1に搬入される。基板位置決め部1を駆動
することにより、基板6の位置を調整することができ
る。印刷後の基板6は、搬出コンベア15によって搬出
される。
First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3. 1 and 2, a substrate positioning unit 1 serving as a substrate positioning unit stacks a θ-axis table 4 on a moving table including an X-axis table 2 and a Y-axis table 3, and further has a Z-axis table 5 thereon. A substrate holding unit 7 is provided on the Z-axis table 5 for holding the substrate 6 sandwiched by the clampers 8 from below. The substrate 6 to be printed is carried into the substrate positioning unit 1 by the carry-in conveyor 14 shown in FIGS. By driving the substrate positioning unit 1, the position of the substrate 6 can be adjusted. The printed substrate 6 is carried out by the carry-out conveyor 15.

【0011】基板位置決め部1の上方には、スクリーン
マスク10が配設されており、スクリーンマスク10は
ホルダ11にマスクプレート12を装着して構成されて
いる。基板6は基板位置決め部1によってマスクプレー
ト12に対して位置合わせされ下方から当接する。スク
リーンマスク10上には、スキージヘッド13が水平方
向に往復動自在に配設されている。基板6がマスクプレ
ート12の下面に当接した状態で、マスクプレート12
上にペーストであるクリーム半田9を供給し、スキージ
ヘッド13のスキージ13aをマスクプレート12の表
面に当接させて摺動させることにより、基板6の表面に
形成された電極6a(図3参照)上にはマスクプレート
12に設けられたパターン孔12a(図3参照)を介し
てクリーム半田9が印刷される。
A screen mask 10 is provided above the substrate positioning section 1. The screen mask 10 is configured by mounting a mask plate 12 on a holder 11. The substrate 6 is positioned with respect to the mask plate 12 by the substrate positioning unit 1 and abuts from below. A squeegee head 13 is disposed on the screen mask 10 so as to be able to reciprocate in a horizontal direction. With the substrate 6 in contact with the lower surface of the mask plate 12, the mask plate 12
An electrode 6a formed on the surface of the substrate 6 (see FIG. 3) is supplied by supplying cream solder 9, which is a paste, onto the surface of the substrate 6 by sliding the squeegee 13a of the squeegee head 13 into contact with the surface of the mask plate 12. On the upper side, cream solder 9 is printed via pattern holes 12a (see FIG. 3) provided in the mask plate 12.

【0012】スクリーンマスク10の上方には、形状測
定手段であるレーザ計測装置20が設けられている。図
3に示すように、レーザ計測装置20はX軸テーブル2
1およびY軸テーブル22によってXY方向に水平移動
し、昇降手段23(図1、図2)によって昇降自在とな
っている。昇降手段23を駆動することにより、レーザ
計測装置20は計測高さ位置まで下降する。X軸テーブ
ル21およびY軸テーブル22および昇降手段23は、
レーザ計測装置20を移動させる移動手段となってい
る。
Above the screen mask 10, a laser measuring device 20 as a shape measuring means is provided. As shown in FIG. 3, the laser measurement device 20
1 and the Y-axis table 22 horizontally move in the X and Y directions, and can be raised and lowered by lifting means 23 (FIGS. 1 and 2). By driving the lifting / lowering means 23, the laser measurement device 20 is lowered to the measurement height position. The X-axis table 21, the Y-axis table 22, and the lifting / lowering means 23
It serves as a moving means for moving the laser measuring device 20.

【0013】レーザ計測装置20はレーザ光を照射する
ことにより垂直方向の変位を測定する機能とレーザ照射
位置をXY方向に走査させる走査機構とを備えており、
図4に示すように照射点Pを計測範囲R内で走査させる
ことにより計測範囲R内の計測対象物表面の垂直方向位
置を連続的に検出し、計測対象物の3次元形状を測定で
きるようになっている。
The laser measuring device 20 has a function of measuring a vertical displacement by irradiating a laser beam and a scanning mechanism for scanning a laser irradiation position in the XY directions.
As shown in FIG. 4, by scanning the irradiation point P within the measurement range R, the vertical position of the surface of the measurement object within the measurement range R is continuously detected, and the three-dimensional shape of the measurement object can be measured. It has become.

【0014】レーザ計測装置20を前記移動手段によっ
て基板6、マスクプレート12に対して移動させること
により、基板6、マスクプレート12の任意の範囲を対
象として3次元形状測定を行うことができる。そして得
られた測定データを処理することにより、基板6の特徴
部である電極6aの配置パターンおよびマスクプレート
12の特徴部であるパターン孔12aの配置パターンを
検出することができるとともに、スクリーン印刷後の基
板6を計測対象として3次元測定を行うことにより、基
板6上に印刷されたクリーム半田9の形状を3次元的に
検出することができる。したがって本スクリーン印刷装
置は、印刷検査装置の機能を兼ね備えたものとなってい
る。
By moving the laser measuring device 20 with respect to the substrate 6 and the mask plate 12 by the moving means, a three-dimensional shape measurement can be performed on an arbitrary range of the substrate 6 and the mask plate 12. By processing the obtained measurement data, it is possible to detect the arrangement pattern of the electrodes 6a, which are the characteristic parts of the substrate 6, and the arrangement pattern of the pattern holes 12a, which are the characteristic parts of the mask plate 12. By performing three-dimensional measurement using the substrate 6 as a measurement target, the shape of the cream solder 9 printed on the substrate 6 can be three-dimensionally detected. Therefore, the screen printing apparatus has the function of the print inspection apparatus.

【0015】次に、図5を参照してスクリーン印刷装置
の制御系の構成について説明する。図5において、CP
U30は全体制御部であり以下に説明する各部の全体制
御を行う。プログラム記憶部31は、スクリーン印刷の
動作プログラムや、レーザ計測装置20の検出信号から
基板6やマスクプレート12の形状測定を行うための処
理プログラム、以下に説明する各種判定処理のプログラ
ムを記憶する。データ記憶部32はスクリーン印刷条件
のデータや、印刷後の基板に対して行われる印刷検査の
検査用データなど、各種のデータを記憶する。
Next, a configuration of a control system of the screen printing apparatus will be described with reference to FIG. In FIG.
U30 is an overall control unit that performs overall control of each unit described below. The program storage unit 31 stores a screen printing operation program, a processing program for measuring the shape of the substrate 6 and the mask plate 12 from a detection signal of the laser measurement device 20, and programs for various determination processes described below. The data storage unit 32 stores various data such as data of screen printing conditions and inspection data of print inspection performed on a printed board.

【0016】機構制御部33は、基板位置決め部1や搬
入コンベア14、搬出コンベア15、X軸テーブル2
1、Y軸テーブル22などの各機構部の動作を制御す
る。形状検出部34は、レーザ計測装置20を走査させ
て得られた検出信号を処理することにより、基板6に設
けられた電極6aの平面配置を示す電極配置データ、お
よびマスクプレート12に設けられたパターン孔12a
の形状・配置を示すマスク開口データ、印刷後の基板6
上のクリーム半田9の形状データを検出する。
The mechanism control unit 33 includes a board positioning unit 1, a carry-in conveyor 14, a carry-out conveyor 15, and an X-axis table 2.
1. The operation of each mechanism such as the Y-axis table 22 is controlled. The shape detection unit 34 processes the detection signal obtained by scanning the laser measurement device 20, thereby providing the electrode arrangement data indicating the planar arrangement of the electrodes 6 a provided on the substrate 6 and the electrode arrangement data provided on the mask plate 12. Pattern hole 12a
Opening data indicating the shape and arrangement of the substrate 6 after printing
The shape data of the upper cream solder 9 is detected.

【0017】検査用データ作成部35は、形状検出部3
4によって検出されたマスク開口形状データに基づい
て、印刷状態の良否を判定する印刷検査に用いられる検
査用データを作成する。この検査用データ作成の際に
は、現物のマスクプレート12を測定して求められた測
定結果と、当該マスクプレート12のマスク作成データ
とを比較することにより、マスクプレート12の正規形
状からの誤差を示す誤差データを求める。そして、実際
の印刷検査に用いられる検査用データは、この誤差デー
タとマスク作成データとに基づいて作成される。
The inspection data creation unit 35 includes the shape detection unit 3
Based on the mask opening shape data detected by step 4, the inspection data used for the print inspection for determining the quality of the printing state is created. When creating the inspection data, the measurement result obtained by measuring the actual mask plate 12 is compared with the mask creation data of the mask plate 12 to determine the error of the mask plate 12 from the normal shape. Is obtained. Then, the inspection data used for the actual print inspection is created based on the error data and the mask creation data.

【0018】すなわち、実際のマスクプレート12の形
状誤差が許容値以内であれば予めオリジナルデータとし
て記憶されているマスク作成データを検査用データとし
て使用する。また、検出された誤差が許容値を超えてい
る場合には、実際に計測によって求めたマスク開口形状
データを検査用データとして使用する。なお、マスク作
成データが提供されていない場合には、マスク開口デー
タをそのまま検査用データとして使用してもよい。
That is, if the actual shape error of the mask plate 12 is within an allowable value, mask creation data stored in advance as original data is used as inspection data. If the detected error exceeds the allowable value, the mask opening shape data actually obtained by measurement is used as inspection data. If mask creation data is not provided, the mask opening data may be used as it is as inspection data.

【0019】印刷判定部36は、スクリーン印刷後の基
板6をレーザ計測装置20によって測定して得られたク
リーム半田9の形状データ、すなわち印刷されたクリー
ム半田9の基板6上での位置や印刷されたクリーム半田
9の体積を示すデータを、検査用データ作成部35によ
って作成されデータ記憶部32に記憶された検査用デー
タと比較することにより、印刷状態の良否を判定する。
The print determination unit 36 determines the shape data of the cream solder 9 obtained by measuring the screen printed board 6 with the laser measuring device 20, that is, the position of the printed cream solder 9 on the board 6 and the printing. By comparing the data indicating the volume of the cream solder 9 with the inspection data created by the inspection data creation unit 35 and stored in the data storage unit 32, the quality of the printing state is determined.

【0020】このスクリーン印刷装置は上記のように構
成されており、以下スクリーン印刷方法について説明す
る。まず、新たな印刷対象品種への品種切り替えが行わ
れ、当該品種に対応してスクリーンマスク10が装着さ
れると、マスク開口パターンの形状測定がが行われる。
この測定は、スクリーンマスク10が装着された状態
で、レーザ計測装置20をX軸テーブル21およびY軸
テーブル22によってマスクプレート12上で移動させ
ながらマスクプレート12の上面を3次元測定すること
により行われる。この測定により、印刷検査に用いられ
る検査データの基となるマスク開口形状データが求めら
れる。求められたマスク開口形状データは検査用データ
作成部35に送られ、検査用データが作成される。作成
された検査用データは、データ記憶部32に格納され
る。
This screen printing apparatus is configured as described above, and a screen printing method will be described below. First, the type is switched to a new type to be printed, and when the screen mask 10 is mounted corresponding to the type, the shape of the mask opening pattern is measured.
This measurement is performed by three-dimensionally measuring the upper surface of the mask plate 12 while the laser measuring device 20 is moved on the mask plate 12 by the X-axis table 21 and the Y-axis table 22 with the screen mask 10 mounted. Will be By this measurement, mask opening shape data that is the basis of inspection data used for print inspection is obtained. The obtained mask opening shape data is sent to the inspection data creation unit 35, and inspection data is created. The created inspection data is stored in the data storage unit 32.

【0021】次に、スクリーン印刷作業が開始される。
まずマスクプレート12上にクリーム半田9が供給さ
れ、スキージ13aを往復動させてクリーム半田9を練
る予備スキージングを行った後に、基板位置決め部1の
Z軸テーブル5を上昇させて基板6をマスクプレート1
2の下面に当接させる。次いでスキージヘッド13を移
動させて、クリーム半田9をパターン孔12aを介して
基板6の電極6a上に印刷する。この後、Z軸テーブル
5を下降させて版離れを行うことにより、基板6の電極
6a上にはクリーム半田9が印刷される。
Next, a screen printing operation is started.
First, the cream solder 9 is supplied onto the mask plate 12, and the squeegee 13a is reciprocated to perform preliminary squeezing for kneading the cream solder 9, and then the Z-axis table 5 of the board positioning unit 1 is raised to mask the board 6 Plate 1
2 is brought into contact with the lower surface. Next, the squeegee head 13 is moved to print the cream solder 9 on the electrode 6a of the substrate 6 via the pattern hole 12a. Thereafter, by lowering the Z-axis table 5 and separating the plate, cream solder 9 is printed on the electrodes 6a of the substrate 6.

【0022】この後、印刷検査が行われる。この印刷検
査は、基板位置決め部1を再びスクリーンマスク10の
下方から基板計測位置(図2参照)へ移動させ、レーザ
計測装置20によって印刷後の基板6の上面を3次元測
定することによって行われる。そしてこの3次元測定結
果を、データ記憶部32に記憶された検査用データと対
比し、印刷結果の良否が判定される。この検査により印
刷状態が良好であると判定されたならば、基板位置決め
部1はマスクプレート下面の印刷位置に戻り、ここで搬
出コンベア15に印刷後の基板6を渡し、クリーム半田
9の印刷作業を完了する。
Thereafter, a print inspection is performed. This print inspection is performed by moving the substrate positioning unit 1 again from below the screen mask 10 to the substrate measurement position (see FIG. 2), and three-dimensionally measuring the upper surface of the printed substrate 6 by the laser measurement device 20. . Then, the three-dimensional measurement result is compared with the inspection data stored in the data storage unit 32, and the quality of the print result is determined. If it is determined by this inspection that the printing state is good, the substrate positioning unit 1 returns to the printing position on the lower surface of the mask plate, where the printed substrate 6 is transferred to the carry-out conveyor 15 and the printing operation of the cream solder 9 is performed. Complete.

【0023】この印刷検査においては、実際の印刷に使
用されるスクリーンマスクを測定した測定結果に基づい
て作成された検査用データを用いるため、検査結果には
スクリーン印刷動作自体に起因する位置ずれや印刷量の
ばらつきが正しく反映される。すなわち、マスク作成デ
ータをそのまま検査用データとして用いる従来の方法で
は検査結果が示すばらつきがそのまま印刷過程自体に起
因するものであるか否かを一意的に判断することができ
ないのに対し、本実施の形態に示す検査用データではマ
スク製作誤差や経時変形の影響が取り除かれ、印刷過程
自体を正しく評価する検査結果が得られる。これによ
り、不具合発生時においても、発生原因を究明するため
の有用なデータを取得することが可能となっている。
In this print inspection, inspection data created based on the measurement result of a screen mask used for actual printing is used. Therefore, the inspection result includes misalignment caused by the screen printing operation itself. The variation in the print amount is correctly reflected. That is, in the conventional method using the mask creation data as the inspection data as it is, it is not possible to uniquely determine whether or not the variation indicated by the inspection result is directly caused by the printing process itself. In the inspection data shown in the embodiment, the effects of mask manufacturing errors and temporal deformation are removed, and an inspection result for correctly evaluating the printing process itself is obtained. As a result, even when a failure occurs, it is possible to obtain useful data for determining the cause of the failure.

【0024】なお、本実施の形態では、印刷検査機能を
備えたスクリーン印刷装置によって印刷検査を行う形態
を示しているが、スクリーン印刷装置とは別個に独立し
て設けられた専用検査装置で用いられるための検査用デ
ータであってもよい。すなわち、上記実施の形態に示す
スクリーン印刷装置の3次元測定機能によって、または
専用の3次元測定装置を用いて、検査対象の基板に用い
られるマスクプレートを測定するものであってもよい。
そしてこの測定結果からマスク開口形状データが求めら
れ検査用データが作成される。
In the present embodiment, the print inspection is performed by a screen printing apparatus having a print inspection function, but it is used in a dedicated inspection apparatus provided separately and independently of the screen printing apparatus. Inspection data to be inspected. That is, the mask plate used for the substrate to be inspected may be measured by the three-dimensional measurement function of the screen printing device described in the above embodiment or by using a dedicated three-dimensional measurement device.
Then, mask opening shape data is obtained from the measurement result, and inspection data is created.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、スクリーン印刷に用い
られるマスクプレートのパターン孔の開口形状を形状測
定手段によって測定し、この測定によって得られた開口
形状のデータから検査用データを作成するようにしたの
で、更に好ましくはこの測定結果と当該マスクプレート
のマスク作成データとを比較してマスクプレートの正規
形状からの誤差を示す誤差データを求めておくことによ
り、簡便な方法で精度の高い検査用データを作成するこ
とができるとともに、マスク製作誤差や経時変形の影響
が取り除かれ、印刷過程自体を正しく評価する検査結果
を得ることができる。
According to the present invention, the opening shape of the pattern hole of the mask plate used for screen printing is measured by the shape measuring means, and inspection data is created from the opening shape data obtained by this measurement. More preferably, by comparing this measurement result with the mask making data of the mask plate to obtain error data indicating an error from the normal shape of the mask plate, a highly accurate inspection can be performed by a simple method. Data can be created, and the effects of mask manufacturing errors and temporal deformation can be eliminated, and inspection results that correctly evaluate the printing process itself can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
正面図
FIG. 1 is a front view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
側面図
FIG. 2 is a side view of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
平面図
FIG. 3 is a plan view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
レーザ計測装置の斜視図
FIG. 4 is a perspective view of a laser measuring device of the screen printing device according to the embodiment of the present invention;

【図5】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
制御系の構成を示すブロック図
FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration of a control system of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板位置決め部 6 基板 10 スクリーンマスク 12 マスクプレート 12a パターン孔 13 スキージヘッド 20 レーザ計測装置 34 形状検出部 35 検査用データ作成部 36 印刷判定部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate positioning part 6 Substrate 10 Screen mask 12 Mask plate 12a Pattern hole 13 Squeegee head 20 Laser measuring device 34 Shape detection part 35 Inspection data creation part 36 Printing judgment part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 成孝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 宮原 清一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2C250 EB39 EB43 EB50 2F065 AA53 BB02 BB29 CC01 CC26 FF61 GG04 MM03 PP12 QQ21 QQ32 QQ38 5E319 AA03 AC01 BB05 CD04 CD29 CD53 GG20  ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Shigetaka Abe 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 2C250 EB39 EB43 EB50 2F065 AA53 BB02 BB29 CC01 CC26 FF61 GG04 MM03 PP12 QQ21 QQ32 QQ38 5E319 AA03 AC01 BB05 CD04 CD29 CD53 GG20

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の
印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられる検査用デ
ータの作成方法であって、スクリーン印刷に用いられる
マスクプレートのパターン孔の開口形状を形状測定手段
によって測定し、この測定によって得られた前記開口形
状のデータから検査用データを作成することを特徴とす
る印刷検査装置の検査用データの作成方法。
1. A method for producing inspection data used in a print inspection apparatus for inspecting the printed state of cream solder on a substrate after screen printing, wherein the shape of an opening of a pattern hole of a mask plate used for screen printing is formed. A method for producing inspection data for a print inspection apparatus, wherein the inspection data is produced from data of the opening shape obtained by measurement by measuring means.
【請求項2】スクリーン印刷後の基板のクリーム半田の
印刷状態を検査する印刷検査装置に用いられる検査用デ
ータの作成方法であって、スクリーン印刷に用いられる
マスクプレートのパターン孔の開口形状を形状測定手段
によって測定し、この測定によって得られた前記開口形
状のデータと当該マスクプレートのマスク作成データと
を比較することによりマスクプレートの正規形状からの
誤差を示す誤差データを求め、前記マスク作成データと
この誤差データに基づいて検査用データを作成すること
を特徴とする印刷検査装置の検査用データの作成方法。
2. A method for producing inspection data used in a print inspection apparatus for inspecting a printed state of cream solder on a substrate after screen printing, wherein the shape of an opening of a pattern hole of a mask plate used for screen printing is formed. Measured by measuring means, error data indicating an error from the normal shape of the mask plate is obtained by comparing the data of the opening shape obtained by this measurement with the mask making data of the mask plate, and obtaining the mask making data And generating inspection data on the basis of the error data.
JP2000216940A 2000-07-18 2000-07-18 Method for creating data for inspection of print inspecting device Pending JP2002029033A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000216940A JP2002029033A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for creating data for inspection of print inspecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000216940A JP2002029033A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for creating data for inspection of print inspecting device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002029033A true JP2002029033A (en) 2002-01-29

Family

ID=18712121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000216940A Pending JP2002029033A (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for creating data for inspection of print inspecting device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002029033A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004058296A (en) * 2002-07-25 2004-02-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for simulation of printing inspection
US6951175B2 (en) 2002-08-19 2005-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming printing inspection data
JP2006247942A (en) * 2005-03-09 2006-09-21 Hitachi Communication Technologies Ltd Cream-solder printing machine
JP2008294035A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Panasonic Corp Screen printing device, and screen printing method
US7630536B2 (en) 2002-07-25 2009-12-08 Panasonic Corporation Printing inspection apparatus, printing inspection method, printing inspection data generating apparatus, and printing inspection data generating method

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004058296A (en) * 2002-07-25 2004-02-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for simulation of printing inspection
US7630536B2 (en) 2002-07-25 2009-12-08 Panasonic Corporation Printing inspection apparatus, printing inspection method, printing inspection data generating apparatus, and printing inspection data generating method
KR101059825B1 (en) 2002-07-25 2011-08-29 파나소닉 주식회사 Apparatus and method for inspecting cream solder printed on a substrate
US6951175B2 (en) 2002-08-19 2005-10-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming printing inspection data
EP1677584A2 (en) * 2002-08-19 2006-07-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming printing inspection data
EP1677584A3 (en) * 2002-08-19 2006-07-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming printing inspection data
KR100990968B1 (en) 2002-08-19 2010-10-29 파나소닉 주식회사 Method for forming printing inspection data
JP2006247942A (en) * 2005-03-09 2006-09-21 Hitachi Communication Technologies Ltd Cream-solder printing machine
JP2008294035A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Panasonic Corp Screen printing device, and screen printing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6715413B2 (en) Apparatus and method of screen printing
US6036994A (en) Screen printing method and apparatus therefor
KR20090087803A (en) Apparatus for inspecting solder printings and parts mounting system
JP6329667B1 (en) Component mounting system and adhesive inspection device
JP4841459B2 (en) Paste pattern inspection method
JP2002029033A (en) Method for creating data for inspection of print inspecting device
JP3758463B2 (en) Screen printing inspection method
JP3750484B2 (en) Screen printing method
US5537050A (en) Process for inspecting electrodes using rotation alignment correction
JP2003177411A (en) Coating applicator and coating application method for sealant
JP2002029027A (en) Screen printing apparatus and method
JPH05273288A (en) Method and apparatus for inspection of printed-circuit board
JP2001315297A (en) Screen printing apparatus and screen printing process
JP3692912B2 (en) Screen printing method
JP3314406B2 (en) How to measure the height of cream solder
JP2001315299A (en) Method for positioning screen mask in screen printing
JP3008631B2 (en) Screen printing status inspection method
JP3832062B2 (en) Cream solder appearance inspection method
JP3680675B2 (en) Method for creating inspection data for printing inspection apparatus
JP2002029028A (en) Screen printing apparatus and method
JPH03114868A (en) Printing method of mask pattern
JPH081907A (en) Method for checking amount of printed cream solder
JP2000246865A (en) Jig for adjusting height of printing screen
JPH0282172A (en) Continuity inspecting machine for conductor pattern
JP2021192398A (en) Screen mask inspection device, solder print inspection device, and method of inspecting screen mask

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050630

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060111

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060425

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060822