JP2002023019A - Assembling device for optical element module and optical axis control method - Google Patents

Assembling device for optical element module and optical axis control method

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JP2002023019A JP2000203071A JP2000203071A JP2002023019A JP 2002023019 A JP2002023019 A JP 2002023019A JP 2000203071 A JP2000203071 A JP 2000203071A JP 2000203071 A JP2000203071 A JP 2000203071A JP 2002023019 A JP2002023019 A JP 2002023019A
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和雄 高井
Hiroshi Matahira
浩 又平
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稔 川端
Toshiyuki Ogawara
敏行 大河原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an assembling device and an optical axis control method, by which the optical axis of an optical fiber can be controlled at high speed when assembling an optical element module in double lens configuration. SOLUTION: A fiber bundle 20 capable of transmitting a laser beam image is provided on a movable mechanism 5, which can be moved in the direction of the optical axis and can be stopped at any arbitrary position, and the optical axis is controlled at high speed by an optical axis position measuring means equipped with a mechanism, in which one side of the fiber bundle 20 is located on the optical axis of an LD and a second lens and the other side is located on an optical system and a camera 3 capable of picking up an image, capable of measuring the optical axis of the optical module from a distant position while saving the space.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体レーザ
(以下LDと略称)とレンズと光ファイバとで構成される光
通信用の素子モジュールを組立てる工程で使用する光素
子モジュールの組み立て装置、特に、その光ファイバの
光軸調整部の構成光素子モジュール組立装置及び光軸調
整方法に関する。
The present invention relates to a semiconductor laser.
(Hereinafter abbreviated as LD), a device for assembling an optical element module used in assembling an element module for optical communication composed of a lens and an optical fiber, in particular, an optical element module constituting an optical axis adjusting portion of the optical fiber The present invention relates to an assembling apparatus and an optical axis adjusting method.

【0002】[0002]

【従来の技術】LDからの出射光をレンズで集光して光
ファイバに入射する構成の通信用光素子モジュールで
は、良好な光結合を得るためにモジュールを構成する部
品の位置合わせ、いわゆる光軸調整を行って組み立て
る。
2. Description of the Related Art In a communication optical element module having a configuration in which light emitted from an LD is condensed by a lens and incident on an optical fiber, positioning of components constituting the module is performed in order to obtain good optical coupling. Adjust the axis and assemble.

【0003】光素子モジュールには、LDからの出射光
を入射する第1のレンズと第1のレンズの出射光を集光
し光ファイバに入射する第2のレンズの2個のレンズを
用いる形態のものがある。2個のレンズを用いる光素子
モジュールは、レンズの軸ずれ許容度が緩く、製作性が
良いという特長がある。また光結合での損失を小さくで
きるという特性もあるため、レンズ個数が2個と部品点
数が多いにもかかわらず、高性能が求められるな光素子
モジュールでは、この構成は多用されている。
An optical element module uses two lenses, a first lens for receiving light emitted from an LD and a second lens for condensing light emitted from the first lens and entering the optical fiber. There are things. An optical element module using two lenses is characterized in that the tolerance of the lens axis shift is loose and the manufacturability is good. In addition, since there is a characteristic that the loss due to optical coupling can be reduced, this configuration is frequently used in an optical element module that requires high performance despite having a large number of components such as two lenses.

【0004】光素子モジュールの製造において、第二レ
ンズの光軸と光ファイバの位置との高精度な位置合わ
せ、即ち光軸調整が必要である。従来の光軸調整方法
は、光出力測定機器を用いて光ファイバ端からの光出力
を観察しながら光軸調整を行い、光出力が最大となる位
置を探し出す方法が実施されている。しかし前記従来の
方法では調整時間が多大であり、高速で光軸調整を実施
する方法が必要となる。
In the manufacture of an optical element module, it is necessary to precisely align the optical axis of the second lens with the position of the optical fiber, that is, to adjust the optical axis. In the conventional optical axis adjustment method, an optical axis adjustment is performed while observing the optical output from the end of an optical fiber using an optical output measuring device, and a position where the optical output is maximized is found. However, the conventional method requires a long adjustment time, and requires a method for performing optical axis adjustment at high speed.

【0005】例えば特開平8−297229号公報では
CCDカメラを用いてLDの光束を2点計測し、本来集
光されるべき位置と現在集光されている位置とのずれ量
を算出し、XYZステージを駆動させ本来集光されるべ
き位置にきわめて短時間に光軸調整する方法が提案され
ているが、光軸上部にCCDカメラを有しており光ファ
イバの光軸調整は困難であり、且つ第二レンズを用いな
い光素子モジュールに対する光軸調整装置のため、第二
レンズを使用する光素子モジュールの製造に適用は困難
である。
For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 8-297229, a CCD camera is used to measure two points of a light beam of an LD, and a shift amount between a position where light should be originally focused and a position where light is currently focused is calculated. A method has been proposed in which the stage is driven to adjust the optical axis to a position where light should be originally collected in a very short time.However, since a CCD camera is provided above the optical axis, it is difficult to adjust the optical axis of the optical fiber. Moreover, since it is an optical axis adjustment device for an optical element module that does not use the second lens, it is difficult to apply it to the manufacture of an optical element module that uses the second lens.

【0006】また、特開平9−43456号公報では赤
外線撮像管カメラを用いて光素子モジュールのレーザス
ポットの位置を撮像し、ファイバチャックで把持された
光ファイバをXYステージで移動させ、光ファイバ端を
レーザスポットへ位置決めする方法が提案されている
が、レーザ溶接等で光ファイバを固定する光素子モジュ
ールでは光軸上部に赤外線撮像管カメラが配置されてい
ると装置全体が大きくなりレーザ溶接の出射光学部が配
置しづらく、またZステージ等で赤外線撮像管カメラを
待避させる構造としても多大な待避時間を要するという
問題があり、光軸調整の高速化における妨げとなってい
る。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-43456, the position of a laser spot of an optical element module is imaged using an infrared imaging tube camera, and the optical fiber held by a fiber chuck is moved on an XY stage, and the end of the optical fiber is moved. There has been proposed a method of positioning the laser beam to the laser spot. However, in the case of an optical element module for fixing an optical fiber by laser welding or the like, if an infrared imaging tube camera is arranged above the optical axis, the entire apparatus becomes large, and laser welding is not performed. There is a problem that it is difficult to dispose the projection optical unit, and a large evacuation time is required even when the infrared imaging tube camera is evacuated on a Z stage or the like, which hinders speeding up the optical axis adjustment.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記光素子
モジュールの製造における光軸調整時間を短縮する光素
子モジュールの組立て装置、特に光ファイバ光軸調整部
の構造及び光軸調整方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an apparatus for assembling an optical element module for shortening the optical axis adjustment time in the manufacture of the optical element module, and more particularly, to a structure of an optical fiber optical axis adjusting section and an optical axis adjusting method. The purpose is to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、LDと光ファイバとレンズとを光軸調整して組み立
てる光素子モジュールを製造する装置において、上記光
ファイバとレンズとの光軸調整を行う光ファイバの光軸
調整部が、上記LDとレンズの光軸上の近傍での上記レ
ンズの出力ビームの画像出力をその画像の位置を換えな
がら、かつ光軸から離れた位置で得る撮像手段と、上記
撮像手段で得た画像から位置データを算出する処理装置
と、上記位置データを用い上記光ファイバの位置決めを
おこなう位置決め手段と、上記位置決め手段出の調整時
に上記光ファイバの出力を測定する光出力測定機器とを
備える。
In order to achieve the above object, in an apparatus for manufacturing an optical element module in which an LD, an optical fiber, and a lens are assembled by adjusting the optical axis, an optical axis of the optical fiber and the lens is adjusted. Imaging means for performing an optical axis adjustment of an optical fiber to obtain an image output of an output beam of the lens near the optical axis of the LD and the lens at a position away from the optical axis while changing the position of the image A processing device for calculating position data from an image obtained by the imaging means; a positioning means for positioning the optical fiber using the position data; and measuring an output of the optical fiber when adjusting the positioning means. A light output measuring device.

【0009】本発明の特に好ましい実施形態では、上記
撮像手段を光画像を伝送するファイバ束と、上記ファイ
バ束の一端を上記レンズの光軸近傍で移動し任意の位置
に停止する移動機構と、上記ファイバ束の他端に伝送さ
れた光画像像を撮像する光学系及びカメラとを設けて構
成する。
In a particularly preferred embodiment of the present invention, a fiber bundle for transmitting an optical image by the imaging means, a moving mechanism for moving one end of the fiber bundle near the optical axis of the lens and stopping at an arbitrary position, An optical system and a camera for capturing the transmitted optical image are provided at the other end of the fiber bundle.

【0010】更に、本発明の光ファイバ光軸調整方法で
は、上記本発明の光素子モジュールの組立て装置におい
て、上記LDを発光状態とし、上記レンズを規定の位置
へセットし、上記レンズから出射される光ビームが収束
する状態とし、その収束位置近傍のレーザ光画像を上記
収束位置近傍からはなれた位置で撮像光学系のピントを
合わせて、ビーム収束位置のデータを測定し、その測定
したデータを用いて組みたれられるべき光ファイバの把
持装置を所定の位置に移動する。
Further, according to the optical fiber optical axis adjusting method of the present invention, in the above-mentioned apparatus for assembling an optical element module of the present invention, the LD is set to a light emitting state, the lens is set to a predetermined position, and the light is emitted from the lens. The laser beam image near the convergence position is focused at a position separated from the vicinity of the convergence position, the data of the beam convergence position is measured, and the measured data is measured. The optical fiber holding device to be assembled is moved to a predetermined position.

【0011】本発明の装置及び方法によれば、遠隔位置
から光素子モジュールの光軸を省スペースで計測可能な
機構により、レンズを使用する光素子モジュールの組み
立て製造において、レンズと光ファイバの光軸調整を行
った後、レンズ部と光ファイバ部を溶接するレーザ溶接
固定機器を光ファイバの近傍に配備することが可能とな
り、レーザ溶接固定機器等の移動時間短縮が可能となり
更なる光軸調整及び光素子モジュールの組立てを高速化
できる。
According to the apparatus and the method of the present invention, in the assembly and manufacture of an optical element module using a lens, the optical axis of the optical element module can be measured from a remote position in a space-saving manner. After performing the axis adjustment, it is possible to install a laser welding fixing device that welds the lens unit and the optical fiber unit near the optical fiber, and it is possible to shorten the moving time of the laser welding fixing device etc. and further adjust the optical axis In addition, the speed of assembling the optical element module can be increased.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に本発明による光素子モジュ
ールの組み立て装置の一実施例を図面を用いて説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an optical device module assembling apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明による光素子モジュールの組
み立て装置の一実施例の斜視図である。図2は、上記光
素子モジュールの組立装置の要部構成を示す側面図であ
る。本発明の実施例を説明する前に、本発明の組み立て
装置によって組み立てられる光素子モジュールの構造及
び光結合状態を図3を用いて説明する。
FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of an apparatus for assembling an optical element module according to the present invention. FIG. 2 is a side view showing a main configuration of the optical device module assembling apparatus. Before describing the embodiments of the present invention, the structure and optical coupling state of an optical element module assembled by the assembling apparatus of the present invention will be described with reference to FIG.

【0014】光素子モジュールは、図3(a)に示すよ
うに、レーザダイオード(LD)10をもつパッケージ
16と、アイソレータモジュール17と、光ファイバ1
4の入力端を保持するホルダ19とで組み立てられる。
パッケージ16内にはLD10を搭載するステム15
と、筒状のレンズホルダ18に内蔵されLD10からの
発散光を平行光に変換する第一レンズ11とが設けられ
ている。アイソレータモジュール17の内部には、アイ
ソレータ12、平行光を収束する第二レンズ13が内蔵
されている。
As shown in FIG. 3A, the optical element module includes a package 16 having a laser diode (LD) 10, an isolator module 17, and an optical fiber 1
4 and a holder 19 for holding the input end.
A stem 15 on which the LD 10 is mounted is included in the package 16.
And a first lens 11 which is built in the cylindrical lens holder 18 and converts divergent light from the LD 10 into parallel light. The isolator module 17 has a built-in isolator 12 and a second lens 13 for converging parallel light.

【0015】レンズホルダ18は光軸調芯後、ステム1
5とレンズホルダ取り付け面で接続固定される。レンズ
ホルダ18が接続固定されたステム15はパッケージ1
6へ搭載され、パッケージ16は密閉される。パッケー
ジ16が密閉された後、第二レンズ13とアイソレータ
12が一部品となったアイソレータモジュール17と光
ファイバ14を光軸調整してレーザ溶接固定する構造と
なっている。
After alignment of the optical axis, the lens holder 18 holds the stem 1
5 and the lens holder mounting surface. The stem 15 to which the lens holder 18 is connected and fixed is the package 1
6 and the package 16 is sealed. After the package 16 is hermetically sealed, the optical axis of the optical fiber 14 and the isolator module 17 having the second lens 13 and the isolator 12 as one component are adjusted and fixed by laser welding.

【0016】図3(b)は図3(a)の光学系のみを抽
出して示した図で、LD10から出射される発散光は、
第一レンズ11を経て平行光となり、アイソレータ12
を透過し、第二レンズ13によって収束光となり、光フ
ァイバ14に入射する。アイソレータ12は、第二レン
ズ13や光ファイバ14等からの戻り光を除去する機能
を有する。
FIG. 3B is a diagram showing only the optical system shown in FIG. 3A, and the divergent light emitted from the LD 10 is:
The light becomes parallel light through the first lens 11 and becomes an isolator 12
And is converged by the second lens 13 and enters the optical fiber 14. The isolator 12 has a function of removing return light from the second lens 13, the optical fiber 14, and the like.

【0017】この2レンズ方式の光素子モジュールでの
光軸調整は次の二つの内容を含む。
The optical axis adjustment in the two-lens type optical element module includes the following two contents.

【0018】(1)第一レンズ11から出射するレーザ
光が、概平行光であり、その光軸はステム15の外形に
対して平行であること。これはステム15を格納するパ
ッケージ16に、アイソレータモジュール17が固定さ
れるため、パッケージ16に対してレーザ光の平行度が
でているようにする。 (2)アイソレータモジュール17と光ファイバ14を
組み付けた場合、光ファイバ14に入射する光量が最大
となるようにする。本発明の光素子モジュールの組み立
て装置の光ファイバの光軸調整部及び方法は、上記の
(2)の内容を対象とするものである。
(1) The laser light emitted from the first lens 11 is substantially parallel light, and its optical axis is parallel to the outer shape of the stem 15. This is because the isolator module 17 is fixed to the package 16 in which the stem 15 is stored. (2) When the isolator module 17 and the optical fiber 14 are assembled, the amount of light incident on the optical fiber 14 is maximized. The optical fiber optical axis adjusting section and the method of the optical element module assembling apparatus of the present invention are directed to the above (2).

【0019】図1の光素子モジュールの組み立て装置
は、作業者が操作を行う操作パネル1、光ファイバ14
を溶接固定するためのYAGレーザ溶接出射光学部2、
光素子モジュールからの光ビームの光学像を光軸から離
れた位置で遠隔検出撮像するための赤外線撮像管カメラ
3、YAGレーザ溶接出射光学部2へYAGレーザを出
力するYAGレーザ発振器4、光素子モジュールからの
光ビームを検出するためのファイバ束を位置決めするた
めのファイバ束位置決め機構部5、パッケージ16を、
アイソレータモジュール17及び光ファイバ14に入射
する光量が最大となる位置へ光軸調整するための光軸調
整ステージ6、前記光軸調整を実施する際にアイソレー
タモジュール17を位置決め調整するアイソレータ調整
ステージ7、前記光軸調整を実施する際に光ファイバ1
4を位置決め調整する光ファイバ調整ステージ8から構
成される。なお、図1には光素子モジュールを構成する
パッケージ16、アイソレータモジュール17、光ファ
イバ14及び光ファイバホルダー19は示されていな
い。
The optical device module assembling apparatus shown in FIG. 1 includes an operation panel 1 on which an operator operates, an optical fiber
Laser welding outgoing optical part 2 for welding and fixing
An infrared imaging tube camera 3 for remotely detecting and imaging an optical image of the light beam from the optical element module at a position away from the optical axis; a YAG laser oscillator 4 for outputting a YAG laser to the YAG laser welding emission optical unit 2; A fiber bundle positioning mechanism 5 for positioning a fiber bundle for detecting a light beam from the module, and a package 16;
An optical axis adjustment stage 6 for adjusting the optical axis to a position where the amount of light incident on the isolator module 17 and the optical fiber 14 is maximum, an isolator adjustment stage 7 for positioning and adjusting the isolator module 17 when performing the optical axis adjustment, When performing the optical axis adjustment, the optical fiber 1
4 comprises an optical fiber adjustment stage 8 for adjusting the position of the optical fiber 4. FIG. 1 does not show the package 16, the isolator module 17, the optical fiber 14, and the optical fiber holder 19 that constitute the optical element module.

【0020】上記光素子モジュールの組み立て装置の要
部構成は図2のように、アイソレータモジュール17内
の第二レンズより射出される収束光の収束位置を検出す
るためのファイバ束20及びパッケージ16から射出さ
れる総光量を検出するための光検出器50をファイバ束
位置決め機構部5で固定し上下及びXY(紙面に垂直な
面)方向に移動できるファイバ束上下移動部35、ファ
イバ束XY移動部34と、ファイバ束20に入射した光
ビームの像をファイバ束20の他端において撮影し光ビ
ームの収束位置を確認する画像を表示するための赤外線
撮像管カメラ3と、光ファイバ14に入射する光量が最
大となる位置へ光軸調整するためにLD10を内蔵した
パッケージ16を保持固定するパッケージ固定機構32
をXYθ方向に移動できる光軸調整XYθ移動部31を
持つ光軸調整ステージ6と、光軸調整を実施する際にア
イソレータモジュール17を位置決め調整するためにア
イソレータモジュール17をアイソレータ把持機構39
で把持しながら上下及びXY方向に移動できるアイソレ
ータ上下移動部38及びアイソレータXY移動部37を
持つアイソレータ調整ステージ7、光ファイバ14を位
置決め調整するためにファイバホルダ19と光ファイバ
14を保持するファイバホルダ把持機構42、光ファイ
バ把持機構44で同一中心で把持し各々独立して上下す
るファイバホルダ上下移動部41、光ファイバ上下移動
部43を搭載しXYに移動できる光ファイバファイバホ
ルダXY移動部40とから構成される光ファイバ調整ス
テージ8及び光ファイバ14の出力を検出するパワーメ
ータ33をベース30上で構成している。
As shown in FIG. 2, a main part of the optical device module assembling apparatus is composed of a fiber bundle 20 and a package 16 for detecting a convergence position of convergence light emitted from a second lens in an isolator module 17. A fiber detector 50 for detecting the total amount of light emitted is fixed by the fiber bundle positioning mechanism 5, and a fiber bundle vertical movement unit 35 and a fiber bundle XY movement unit that can move vertically and in the XY (plane perpendicular to the paper) direction. 34, an infrared imaging tube camera 3 for photographing an image of the light beam incident on the fiber bundle 20 at the other end of the fiber bundle 20 and displaying an image for confirming the convergence position of the light beam, and incident on the optical fiber 14. A package fixing mechanism 32 for holding and fixing the package 16 containing the LD 10 in order to adjust the optical axis to a position where the amount of light becomes maximum.
An optical axis adjustment stage 6 having an optical axis adjustment XYθ moving unit 31 that can move the isolator module 17 in the XYθ direction, and an isolator holding mechanism 39 for positioning and adjusting the isolator module 17 when performing the optical axis adjustment.
An isolator adjusting stage 7 having an isolator vertical moving part 38 and an isolator XY moving part 37 that can move in the vertical and XY directions while being gripped by the fiber, a fiber holder 19 for holding and positioning the optical fiber 14 and a fiber holder for holding the optical fiber 14 An optical fiber fiber holder XY moving part 40 which can hold the fiber holder vertical moving part 41 and the optical fiber vertical moving part 43 which can be moved in XY by independently holding the fiber holder vertical moving part 41 which is gripped at the same center by the gripping mechanism 42 and the optical fiber gripping mechanism 44; The optical fiber adjustment stage 8 and the power meter 33 for detecting the output of the optical fiber 14 are configured on the base 30.

【0021】また、光軸調整ステージ6の上方にはアイ
ソレータモジュール17、光ファイバ14、ファイバホ
ルダ19、パッケージ16を各々の位置決め調整後に固
定を行うために、上下及び前後で移動するYAGレーザ
溶接出射光学部上下移動部45、YAGレーザ溶接出射
光学部前後移動部46で最適位置にYAGレーザで溶接
固定できるYAGレーザ溶接出射光学部2を複数配置
し、これらを最適動作で動作させるカメラ撮像検出調整
制御部48、パワー検出調整制御部47、全体制御部4
9で構成している。
In order to fix the isolator module 17, the optical fiber 14, the fiber holder 19, and the package 16 after each positioning adjustment, a YAG laser welding moving up and down and back and forth is provided above the optical axis adjustment stage 6. A plurality of YAG laser welding output optical units 2 capable of welding and fixing with a YAG laser are arranged at an optimum position in a projection optical unit vertical moving unit 45 and a YAG laser welding output optical unit back-and-forth moving unit 46, and these are operated in an optimal operation. Control unit 48, power detection adjustment control unit 47, overall control unit 4
9.

【0022】図4は、図1に示した光ファイバ組み立て
装置の全体動作及び本発明による光軸調整方法の工程フ
ロー図である。先ず、パッケージ16、アイソレータモ
ジュール17、光ファイバ14を組み立て装置へ手作業
で供給する(S200)。次に、操作パネル1上の自動
起動スイッチをオン(ON)すると(S201)、光軸
調整ステージ6、アイソレータ調整ステージ7、光ファ
イバ調整ステージ5にセットされたそれぞれパッケージ
16、アイソレータモジュール17及び光ファイバ14
が自動で搬送され、予め設定された位置に初期位置決め
される(S202)。
FIG. 4 is a flowchart showing the overall operation of the optical fiber assembling apparatus shown in FIG. 1 and a process flow of the optical axis adjusting method according to the present invention. First, the package 16, the isolator module 17, and the optical fiber 14 are manually supplied to the assembling apparatus (S200). Next, when the automatic start switch on the operation panel 1 is turned on (S201), the package 16, the isolator module 17, and the light set on the optical axis adjustment stage 6, the isolator adjustment stage 7, and the optical fiber adjustment stage 5, respectively. Fiber 14
Is automatically conveyed and is initially positioned at a preset position (S202).

【0023】次に、YAGレーザ溶接高さを補正するた
めアイソレータモジュール17の取付高さを測定し(S
203)、パッケージ16とアイソレータモジュール1
7の溶接面の面合わせを行う(S204)。前記面合わ
せ完了後、光軸調整ステージ6をθ回転させパッケージ
16とアイソレータモジュール17の偏波面合わせを行
い(S205)、次に、ファイバ束20による光ビーム
の画像検出を行い、XYZ方向の補正と補正されたとき
の座標データの読み取りを行う(S206)。
Next, the mounting height of the isolator module 17 was measured to correct the welding height of the YAG laser (S
203), package 16 and isolator module 1
The surface of the welding surface of No. 7 is aligned (S204). After the completion of the surface alignment, the optical axis adjustment stage 6 is rotated by θ to align the polarization planes of the package 16 and the isolator module 17 (S205). Then, the coordinate data when the correction is made is read (S206).

【0024】次に、YAGレーザ溶接高さを補正するた
め光ファイバ14の取付高さを測定し(S207)、前
記の画像検出により認識したXYZ座標の位置(光軸
上)へ、光ファイバを位置決めする(S208)。次
に、光ファイバ14をXYZ方向へ、パッケージ16を
XY方向へ調整し、光出力が最大となる位置まで調整を
繰り返す(S209)。
Next, the mounting height of the optical fiber 14 is measured to correct the YAG laser welding height (S207), and the optical fiber is moved to the XYZ coordinate position (on the optical axis) recognized by the image detection. Positioning is performed (S208). Next, the optical fiber 14 is adjusted in the XYZ directions and the package 16 is adjusted in the XY directions, and the adjustment is repeated up to the position where the optical output becomes maximum (S209).

【0025】前記光軸調整完了後、アイソレータモジュ
ール17とパッケージ16をYAGレーザで溶接固定す
る(S210)。次に、アイソレータモジュール17と
ファイバホルダ19の溶接面の面合わせを行い(S21
1)、その後、光ファイバ14をXYZ方向へ調整し、
光出力が最大となる位置まで調整を繰り返す(S21
2)。前記光軸調整完了後、光ファイバ14とファイバ
ホルダ19をYAGレーザで溶接固定する(S21
3)。次に、再度、アイソレータモジュール17とファ
イバホルダ19の溶接面の面合わせを行い(S21
4)、その後、ファイバ14をXY方向へ調整し、光出
力が最大となる位置まで調整を繰り返す(S215)。
前記光軸調整完了後、ファイバホルダ19とアイソレー
タモジュール17をYAGレーザで溶接固定する(S2
16)。上記工程を経て完成した光素子モジュール21
は光軸調整ステージ6により取り出し場所まで搬送され
(S217)、手作業で完成品を取り外し(S21
8)、光素子モジュールの一連の組み立て動作を完了す
る。
After the completion of the optical axis adjustment, the isolator module 17 and the package 16 are fixed by welding with a YAG laser (S210). Next, the welding surfaces of the isolator module 17 and the fiber holder 19 are aligned (S21).
1) After that, the optical fiber 14 is adjusted in the XYZ directions,
The adjustment is repeated until the position where the light output becomes maximum (S21)
2). After the completion of the optical axis adjustment, the optical fiber 14 and the fiber holder 19 are fixed by welding with a YAG laser (S21).
3). Next, the welding surfaces of the isolator module 17 and the fiber holder 19 are aligned again (S21).
4) Then, the fiber 14 is adjusted in the X and Y directions, and the adjustment is repeated until the position where the optical output is maximized (S215).
After the completion of the optical axis adjustment, the fiber holder 19 and the isolator module 17 are fixed by welding with a YAG laser (S2).
16). Optical element module 21 completed through the above steps
Is transported by the optical axis adjustment stage 6 to the take-out place (S217), and the finished product is manually removed (S21).
8) A series of assembling operations of the optical element module is completed.

【0026】以下上記光素子モジュールの一連の組み立
てにおける光ファイバ光軸調整方法を具体的に説明す
る。図5(a)は、アイソレータモジュール17とパッ
ケージ16とを溶接固定する部分を完全に密着させるた
めの面合わせ動作を説明する図である。図5(a)にお
いて、アイソレータ調整ステージ7(図示せず)を駆動
することによりアイソレータモジュール17の下端がパ
ッケージ16の上端に接触する位置まで下降し、その位
置からさらに上記アイソレータ調整ステージ7を駆動す
ることによりアイソレータモジュール17をZ方向に下
降させ、アイソレータモジュール17の下端面をパッケ
ージ16の上端面に押し付けることにより、光軸調整ス
テージ6の角度が微小に変化し、アイソレータモジュー
ル17の下端面とパッケージ16の上端面が完全に平行
な状態となり、アイソレータモジュール17とパッケー
ジ16の面合わせ動作を完了する。
The method of adjusting the optical axis of the optical fiber in a series of assembly of the optical element module will be described below in detail. FIG. 5A is a view for explaining a surface-matching operation for bringing the portion where the isolator module 17 and the package 16 are fixed by welding into complete close contact. In FIG. 5A, by driving an isolator adjustment stage 7 (not shown), the lower end of the isolator module 17 is lowered to a position where it contacts the upper end of the package 16, and the isolator adjustment stage 7 is further driven from that position. Then, the isolator module 17 is lowered in the Z direction, and the lower end surface of the isolator module 17 is pressed against the upper end surface of the package 16, whereby the angle of the optical axis adjustment stage 6 is slightly changed. The upper end surface of the package 16 becomes completely parallel, and the surface matching operation between the isolator module 17 and the package 16 is completed.

【0027】図5(b)は、パッケージ16とアイソレ
ータモジュール17の偏波面合わせ動作を説明する図で
ある。前記面合わせ動作終了後、図5(b)に示すよう
に、ファイバ束位置決め機構部5(図示せず)を駆動
し、光検出器50をアイソレータモジュール17の直上
に移動した状態で、パッケージ16に通電することによ
り、パッケージ16の上端からレーザ光を射出させる。
パッケージ16から射出されたレーザ光はアイソレータ
モジュール17内部を通過した後、光検出器50に入射
する。次に光軸調整ステージ6をθ方向に回転させ光検
出器50に入射するレーザ出力が最大となる位置で光軸
調整ステージ6を停止させる。
FIG. 5B is a diagram for explaining the operation of aligning the polarization plane between the package 16 and the isolator module 17. After the surface matching operation, as shown in FIG. 5B, the fiber bundle positioning mechanism 5 (not shown) is driven to move the photodetector 50 directly above the isolator module 17, and the package 16 is moved. , A laser beam is emitted from the upper end of the package 16.
The laser beam emitted from the package 16 passes through the inside of the isolator module 17 and then enters the photodetector 50. Next, the optical axis adjustment stage 6 is rotated in the θ direction, and the optical axis adjustment stage 6 is stopped at a position where the laser output incident on the photodetector 50 becomes maximum.

【0028】図5(c)は、ファイバ束20による光ビ
ーム画像検出動作を説明する図である。図5(c)にお
いて、ファイバ束位置決め機構部(図示せず)を駆動
し、アイソレータモジュール17の直上にファイバ束2
0を位置決めする。次にファイバ束20の他端を赤外線
撮像管カメラ3(図示せず)で撮影しながら、ファイバ
束位置決め機構部5(図示せず)をXY方向に駆動し、
レーザ光がファイバ束20の中央に入射する位置でファ
イバ束20を停止する。この位置からファイバ束20を
Z方向に下降させながら、前記赤外線撮像管カメラで撮
影したレーザ光の映像の面積が最小となる位置で、ファ
イバ束20の移動を停止する。前記レーザ光の映像の面
積は、アイソレータモジュール17から射出されるレー
ザ光が収束する位置にファイバ束20の端面が位置する
時に最小となるため、前記検出面積が最小となる位置を
求めることにより、レーザ光が収束する位置データを求
めることができる。
FIG. 5C is a diagram for explaining the light beam image detecting operation by the fiber bundle 20. In FIG. 5C, the fiber bundle positioning mechanism (not shown) is driven, and the fiber bundle 2 is placed immediately above the isolator module 17.
Position 0. Next, while photographing the other end of the fiber bundle 20 with the infrared imaging tube camera 3 (not shown), the fiber bundle positioning mechanism 5 (not shown) is driven in the XY directions,
The fiber bundle 20 is stopped at a position where the laser light enters the center of the fiber bundle 20. While lowering the fiber bundle 20 from this position in the Z direction, the movement of the fiber bundle 20 is stopped at a position where the area of the image of the laser light captured by the infrared imaging tube camera is minimized. Since the area of the image of the laser light is minimized when the end face of the fiber bundle 20 is located at a position where the laser light emitted from the isolator module 17 converges, by determining the position where the detection area is minimized, Position data at which the laser light converges can be obtained.

【0029】図6(a)はパッケージ16とアイソレー
タモジュール17の位置関係を最適なものに調整するた
めの光軸調整動作を説明する図である。図6(a)に示
すように、光ファイバ調整ステージ8(図示せず)を駆
動し、光ファイバ14及びファイバホルダ19をアイソ
レータモジュール17の直上に移動する。この際、図5
(c)で求めたレーザ光が収束する位置のデータを用い
て光ファイバ14の先端が位置するようにする。この状
態から、光ファイバ14をXYZ方向に微動させなが
ら、光ファイバ14の他端に接続された光出力測定器3
3(図示せず)で測定される光出力が最大となる位置を
求め、その位置で光ファイバ14を停止する。次に、光
軸調整ステージ6をXY方向に微小移動させ、パッケー
ジ16とアイソレータモジュール17の位置関係を変動
させることによりレーザ光が光ファイバ14に入射する
際の入射角を微調整しながら、光出力測定器33で光出
力を測定し、光出力が最大となる位置で、パッケージ1
6を停止する。
FIG. 6A is a view for explaining an optical axis adjusting operation for adjusting the positional relationship between the package 16 and the isolator module 17 to an optimum one. As shown in FIG. 6A, the optical fiber adjustment stage 8 (not shown) is driven to move the optical fiber 14 and the fiber holder 19 directly above the isolator module 17. At this time, FIG.
The tip of the optical fiber 14 is positioned using the data of the position where the laser light converges obtained in (c). From this state, the optical output measuring device 3 connected to the other end of the optical fiber 14 is moved while slightly moving the optical fiber 14 in the XYZ directions.
The position where the optical output measured at 3 (not shown) becomes maximum is determined, and the optical fiber 14 is stopped at that position. Next, the optical axis adjustment stage 6 is slightly moved in the X and Y directions, and the positional relationship between the package 16 and the isolator module 17 is changed to finely adjust the incident angle when the laser light is incident on the optical fiber 14. The optical output is measured by the output measuring device 33, and at the position where the optical output is maximized, the package 1
Stop 6.

【0030】次に図6(b)に示すように、YAGレー
ザ溶接出射光学部位置決め機構(図示せず)を駆動し、
3個のYAGレーザ溶接出射光学部2を下降させ、パッ
ケージ16及びアイソレータモジュール17の接合面を
3点で溶接固定する。その後アイソレータ把持機構39
を開放し、光軸調整ステージ6をθ方向に回転させなが
らパッケージ16及びアイソレータモジュール17の接
合面の多点溶接を行う。溶接完了後、アイソレータ調整
ステージ(図示せず)を駆動し、アイソレータ把持機構
39を右方向に退避させる。
Next, as shown in FIG. 6 (b), a YAG laser welding output optical unit positioning mechanism (not shown) is driven,
The three YAG laser welding emission optical units 2 are lowered, and the joining surfaces of the package 16 and the isolator module 17 are fixed by welding at three points. Then the isolator gripping mechanism 39
Is released, and while the optical axis adjustment stage 6 is rotated in the θ direction, multi-point welding of the joint surface between the package 16 and the isolator module 17 is performed. After the welding is completed, an isolator adjustment stage (not shown) is driven, and the isolator holding mechanism is driven.
Evacuate 39 to the right.

【0031】次に図6(c)に示すように、ファイバホ
ルダ19の下端面とアイソレータモジュール17の上端
面とを溶接固定する面を密着させるための面合わせ動作
を行う。図6(c)において、光ファイバ調整ステージ
(図示せず)を駆動することにより、光ファイバ14及
びファイバホルダ19をZ方向に下降させ、ファイバホ
ルダ19の下端面をアイソレータモジュール17の上端
面に押し付けることにより、光軸調整ステージ6の角度
が微小に変化し、ファイバホルダ19の下端面とアイソ
レータモジュール17の上端面が完全に平行な状態とな
り、ファイバホルダ19とアイソレータモジュール17
の面合わせ動作が完了する。
Next, as shown in FIG. 6C, a surface matching operation is performed to bring the lower end surface of the fiber holder 19 and the upper end surface of the isolator module 17 into close contact by welding. In FIG. 6C, by driving an optical fiber adjustment stage (not shown), the optical fiber 14 and the fiber holder 19 are lowered in the Z direction, and the lower end surface of the fiber holder 19 is placed on the upper end surface of the isolator module 17. By pressing, the angle of the optical axis adjustment stage 6 changes minutely, and the lower end surface of the fiber holder 19 and the upper end surface of the isolator module 17 are completely parallel to each other.
Is completed.

【0032】上記面合わせ完了後、図7(a)に示すよ
うに、再度光ファイバ調整ステージ(図示せず)をXY
Z方向に移動させ、光ファイバ14を光出力測定器33
(図示せず)で測定される光出力が最大となる位置に光
ファイバ14を位置決めする。
After the completion of the surface alignment, as shown in FIG. 7A, the optical fiber adjustment stage (not shown) is again moved to XY.
The optical fiber 14 is moved in the Z direction,
The optical fiber 14 is positioned at a position where the optical output measured by (not shown) is maximum.

【0033】次に図7(b)に示すように、YAGレー
ザ溶接出射光学部位置決め機構45、46(図示せず)
を駆動し、3個のYAGレーザ溶接出射光学部2を移動
し、光ファイバ14及びファイバホルダ19を溶接固定
する。その後、ファイバホルダ19及びアイソレータモ
ジュール17の面合わせを前記の手順で再度行った後、
ファイバホルダ19をXY方向に微動させ、図8(a)
に示すように、光出力が最大となる位置にファイバホル
ダ19を位置決めする。
Next, as shown in FIG. 7 (b), YAG laser welding output optical unit positioning mechanisms 45, 46 (not shown).
To move the three YAG laser welding output optical units 2 to weld and fix the optical fiber 14 and the fiber holder 19. Then, after the fiber holder 19 and the isolator module 17 were again subjected to the surface alignment according to the above procedure,
The fiber holder 19 is slightly moved in the X and Y directions, and FIG.
As shown in (2), the fiber holder 19 is positioned at a position where the light output becomes maximum.

【0034】次にファイバホルダ19及びアイソレータ
モジュール17の溶接固定を行う。
Next, the fiber holder 19 and the isolator module 17 are fixed by welding.

【0035】図8(b)に示すように、YAGレーザ溶
接出射光学部位置決め機構45、46(図示せず)を駆
動し、3個所のYAGレーザ溶接出射光学部2を移動
し、ファイバホルダ19及びアイソレータモジュール1
7の接合面を3点で溶接固定する。次にファイバホルダ
把持機構42及び光ファイバ把持機構44を開放し、光
軸調整ステージ6をθ方向に回転させながら、ファイバ
ホルダ19及びアイソレータモジュール17の接合面の
多点溶接を行う。以上の手順で光素子モジュール21が
完成する。
As shown in FIG. 8 (b), the YAG laser welding and emitting optical unit positioning mechanisms 45 and 46 (not shown) are driven to move the three YAG laser welding and emitting optical units 2 and the fiber holder 19 is moved. And isolator module 1
7 are welded and fixed at three points. Next, the fiber holder holding mechanism 42 and the optical fiber holding mechanism 44 are released, and the joint surface between the fiber holder 19 and the isolator module 17 is subjected to multipoint welding while rotating the optical axis adjustment stage 6 in the θ direction. The optical element module 21 is completed by the above procedure.

【0036】図9は、本発明による光素子モジュールの
組み立て装置の更に他の実施例における第二レンズ13
と光ファイバ14との組み付け位置調整部を示す。本実
施例は、図2に示した実施例における遠隔地で光ビーム
の映像を得る手段であるファイバ束の代わりに、集光さ
れたレーザ光を可視化するための受光板を用いたもので
ある。他の光ファイバ調整ステージ、光軸調整ステージ
等にかんしては、図2に示した場合と同じであるので、
説明を省く。図11において、90はLD10のと同じ
波長を持つ代替光源、91は第二レンズ13により集光
されたレーザ光を可視化するための受光板、92は受光
板91で可視化されたレーザ光の集光状態を認識するカ
メラであり、カメラ92で認識したレーザ光の集光状態
に応じて、受光板91の位置を移動させるモータ93と
モータ93を制御する制御装置94から構成される。
FIG. 9 shows a second lens 13 in still another embodiment of the optical device module assembling apparatus according to the present invention.
2 shows an assembling position adjusting unit for connecting the optical fiber 14 and the optical fiber 14. In this embodiment, a light receiving plate for visualizing the condensed laser light is used instead of the fiber bundle which is a means for obtaining a light beam image at a remote place in the embodiment shown in FIG. . Other optical fiber adjustment stages, optical axis adjustment stages, etc. are the same as those shown in FIG.
Omit description. 11, reference numeral 90 denotes an alternative light source having the same wavelength as that of the LD 10, reference numeral 91 denotes a light receiving plate for visualizing the laser light condensed by the second lens 13, and reference numeral 92 denotes a collection of the laser light visualized by the light receiving plate 91. This is a camera for recognizing the light state, and includes a motor 93 for moving the position of the light receiving plate 91 in accordance with the condensing state of the laser light recognized by the camera 92, and a control device 94 for controlling the motor 93.

【0037】代替光源90の発散光は、第二レンズ13
を介して受光板91で可視化され、焦点位置において最
小スポット径となることから、受光板91面のスポット
径をカメラ92で認識し、最小スポット径となる位置
(以下、WDと記す)のデータを、モータ93により受
光板91をレーザ光に対して前後方向に移動させて検出
することにより、第二レンズ13固有の焦点位置ばらつ
きを事前に把握する。第二レンズ13と光ファイバ14
との位置調整においては、第二レンズ13と光ファイバ
14との間隔をWDに設定することにより、第二レンズ
13固有の焦点位置ばらつきを吸収させられることか
ら、位置調整時間の短縮が可能となる。
The divergent light from the alternative light source 90 is transmitted to the second lens 13
Is visualized on the light receiving plate 91 via the light receiving device, and has a minimum spot diameter at the focal position. Therefore, the spot diameter on the surface of the light receiving plate 91 is recognized by the camera 92, and data of a position (hereinafter referred to as WD) at which the minimum spot diameter is obtained. Is detected by moving the light receiving plate 91 in the front-rear direction with respect to the laser beam by the motor 93, whereby the focal position variation unique to the second lens 13 is grasped in advance. Second lens 13 and optical fiber 14
In the position adjustment of (1) and (2), the distance between the second lens 13 and the optical fiber 14 is set to WD, so that the focal position variation unique to the second lens 13 can be absorbed. Become.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、LDを含
むもパッケージと、収束レンズと、光ファイバから構成
される光素子モジュールで組み立てにおいて、収束レン
ズによるレーザ光の収束位置を光素子モジュールの光軸
から離れた位置で光学像として、撮像し、その位置デー
タを利用してその後の正確な光軸あわせを行うため、光
ファイバの光軸調整を高精度且つ短時間で行うことが可
能となる。
As described above, according to the present invention, when assembling a package including an LD, a converging lens, and an optical element module comprising an optical fiber, the converging position of the laser beam by the converging lens is determined by the optical element. An optical image is captured at a position distant from the optical axis of the module, and the optical axis adjustment of the optical fiber can be performed with high accuracy and in a short time in order to perform subsequent accurate optical axis alignment using the position data. It becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による光素子モジュールの組み立て装置
の一実施例の斜視図。
FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of an apparatus for assembling an optical element module according to the present invention.

【図2】図1の要構成を示す側面図。FIG. 2 is a side view showing a main configuration of FIG. 1;

【図3】本発明の実施例へ適用する光素子モジュールの
構造を説明する図。
FIG. 3 is a view for explaining the structure of an optical element module applied to an embodiment of the present invention.

【図4】図1の実施例のによる光素子モジュール組み立
てを説明するフロー図。
FIG. 4 is a flowchart illustrating an optical element module assembly according to the embodiment of FIG. 1;

【図5】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施
例の工程を説明する図。
FIG. 5 is a view for explaining the steps of an embodiment of an optical fiber optical axis adjusting method according to the present invention.

【図6】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施
例の工程を説明する図。
FIG. 6 is a view for explaining the steps of an embodiment of an optical fiber optical axis adjusting method according to the present invention.

【図7】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施
例の工程を説明する図。
FIG. 7 is a view for explaining the steps of an embodiment of an optical fiber optical axis adjusting method according to the present invention.

【図8】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施
例の工程を説明する図。
FIG. 8 is a view for explaining the steps of an embodiment of an optical fiber optical axis adjusting method according to the present invention.

【図9】本発明による光素子モジュールの組み立て装置
の更に他の実施例の用部構成を示す図。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a part of still another embodiment of the optical device module assembling apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……操作パネル,2……YAGレーザ溶接出射光学
部,3……赤外線撮像管カメラ,4……YAGレーザ発
振器,5……ファイバ束位置決め機構部,6……光軸調
整ステージ,7……アイソレータ調整ステージ,8……
光ファイバ調整ステージ,10……レーザーダイオード
(LD),11……第一レンズ,12……アイソレー
タ,13……第二レンズ,14……光ファイバ,15…
…ステム,16……パッケージ,18……レンズホル
ダ,19……ファイバホルダ,20……ファイバ束,2
1……光素子モジュール,30……ベース,31……光
軸調整XYθ移動部,32……パッケージ固定機構,3
3……パワーメータ,34……ファイバ束XY移動部,
35……ファイバ束上下移動部,36……ファイバ束把
持機構,37……アイソレータXY移動部,38……ア
イソレータ上下移動部,39……アイソレータ把持機
構,40……光ファイバ,ファイバホルダXY移動部 41……第二レンズ上下移動部,42……ファイバホル
ダ把持機構,43……光ファイバ上下移動部,44……
光ファイバ把持機構,45……YAGレーザ溶接出射光
学部上下移動部,46……YAGレーザ溶接出射光学部
前後移動部,47……パワー検出調整制御部,48……
カメラ撮像検出調整制御部,49……全体制御部,50
……光検出器,90……代替光源,91……受光板,9
2……カメラ,93……モータ,94……制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Operation panel, 2 ... YAG laser welding emission optical part, 3 ... Infrared imaging tube camera, 4 ... YAG laser oscillator, 5 ... Fiber bundle positioning mechanism part, 6 ... Optical axis adjustment stage, 7 ... … Isolator adjustment stage, 8 ……
Optical fiber adjustment stage, 10 Laser diode (LD), 11 First lens, 12 Isolator, 13 Second lens, 14 Optical fiber, 15
... Stem, 16 ... Package, 18 ... Lens holder, 19 ... Fiber holder, 20 ... Fiber bundle, 2
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical element module, 30 ... Base, 31 ... Optical axis adjustment XY (theta) moving part, 32 ... Package fixing mechanism, 3
3. Power meter, 34 Fiber XY moving part,
35: Fiber bundle vertical moving unit, 36: Fiber bundle gripping mechanism, 37: Isolator XY moving unit, 38: Isolator vertical moving unit, 39: Isolator gripping mechanism, 40: Optical fiber, fiber holder XY movement Part 41: Second lens vertical moving part, 42: Fiber holder gripping mechanism, 43: Optical fiber vertical moving part, 44:
Optical fiber gripping mechanism, 45... YAG laser welding emission optical part vertical movement part, 46... YAG laser welding emission optical part longitudinal movement part, 47... Power detection adjustment control part, 48.
Camera imaging detection adjustment control unit, 49... Overall control unit, 50
... Photodetector, 90... Alternative light source, 91.
2 ... Camera, 93 ... Motor, 94 ... Control device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 又平 浩 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 (72)発明者 川端 稔 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 (72)発明者 大河原 敏行 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA03 DA03 DA04 DA05 DA06 DA16 DA23 DA36  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Matahira 216 Totsukacho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Hitachi, Ltd.Communications Division (72) Inventor Minoru Kawabata 216 Totsukacho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Hitachi, Ltd. Communications Division (72) Inventor Toshiyuki Ogawara 216 Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture F-term (Reference) 2H037 AA01 BA03 DA03 DA04 DA05 DA06 DA16 DA23 DA36

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】レーザーダイオード(以降LDと略す)と
光ファイバとレンズとを光軸調整して組み立て光素子モ
ジュールを製造する装置であって、上記光ファイバとレ
ンズとの光軸調整を行う光ファイバの光軸調整部が、上
記LDとレンズの光軸上の近傍での上記レンズの出力ビ
ームの画像出力をその画像の位置を換えながら、かつ光
軸から離れた位置で得る撮像手段と、上記撮像手段で得
た画像から位置データを算出する処理装置と、上記位置
データを用い上記光ファイバの位置決めをおこなう位置
決め手段と、上記位置決め手段出の調整時に上記光ファ
イバの出力を測定する光出力測定機器とを備えたことを
特徴とする、光素子モジュールの組み立て装置。
An apparatus for manufacturing an optical element module by assembling a laser diode (hereinafter abbreviated as LD), an optical fiber, and a lens with an optical axis, wherein the optical axis adjusts the optical fiber and the lens. An imaging unit that obtains an image output of an output beam of the lens in the vicinity of the optical axis of the LD and the lens at a position away from the optical axis while changing the position of the image, and A processing device for calculating position data from the image obtained by the imaging means; a positioning means for positioning the optical fiber using the position data; and an optical output for measuring an output of the optical fiber when adjusting the positioning means. An assembling apparatus for an optical element module, comprising: a measuring device.
【請求項2】請求項1記載の光素子モジュールの組み立
て装置において、上記撮像手段が光画像を伝送するファ
イバ束と、上記ファイバ束の一端を上記レンズの光軸近
傍で移動し任意の位置に停止する移動機構と、上記ファ
イバ束の他端に伝送された像を撮像する画像表示装置を
もつことを特徴とする光素子モジュールの組み立て装
置。
2. An apparatus for assembling an optical element module according to claim 1, wherein said imaging means moves a fiber bundle for transmitting an optical image and one end of said fiber bundle near an optical axis of said lens to an arbitrary position. A device for assembling an optical element module, comprising: a moving mechanism for stopping; and an image display device for capturing an image transmitted to the other end of the fiber bundle.
【請求項3】請求項1の光ファイバ光軸調整装置におい
て、上記撮像手段が上記レンズで集光されたレーザ光を
可視化する受ける受光板と、上記L受光板の映像を撮像
する撮像手段と、上記撮像手段と連動し上記受光板の位
置を移動させる制御装置とをもつもつことを特徴とする
光素子モジュールの組み立て装置。
3. An optical fiber optical axis adjusting device according to claim 1, wherein said image pickup means receives a light receiving plate for visualizing the laser light condensed by said lens, and an image pickup means for picking up an image of said L light receiving plate. A control device for moving the position of the light receiving plate in conjunction with the imaging means.
【請求項4】レーザーダイオード(以降LDと略す)と
光ファイバとレンズとを光軸調整して組み立て光素子モ
ジュールを製造する方法において、 上記LDを発光状態とし、上記レンズから出射される光
ビームの画像の位置を換えながら画像位置からは離れた
位置で上記光ビームの画像を観察し、上記光ビームが収
束する状態の時の位置データを検出し、上記位置データ
を用いて上記光学レンズと光ファイバの組み立てのため
の光ファイバ把持装置の位置を制御する工程を含むこと
を特徴とする光ファイバ光軸調整方法。
4. A method for producing an optical element module by assembling a laser diode (hereinafter abbreviated as LD), an optical fiber and a lens by adjusting an optical axis thereof, wherein the LD is made to emit light, and a light beam emitted from the lens is produced. Observing the light beam image at a position distant from the image position while changing the position of the image, detecting position data when the light beam converges, and using the position data to A method for adjusting an optical axis of an optical fiber, comprising a step of controlling a position of an optical fiber holding device for assembling the optical fiber.
【請求項5】請求項4の光ファイバ光軸調整方法におい
て、上記レンズから出射される光ビームの画像の位置を
換えながら画像位置から離れた位置で上記光ビームの画
像を観察する工程が、光ファイバ束の一端を上記光ビー
ムが収束する位置近傍を移動し、上記光ファイバ束の他
端で上記光ビームの画像を観察することを特徴とする光
ファイバ光軸調整方法。
5. The method according to claim 4, wherein the step of observing the image of the light beam at a position away from the image position while changing the position of the image of the light beam emitted from the lens, An optical fiber optical axis adjusting method, comprising moving one end of an optical fiber bundle near a position where the light beam converges, and observing an image of the light beam at the other end of the optical fiber bundle.
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