JP2002018372A - Cleaning method and cleaning equipment - Google Patents

Cleaning method and cleaning equipment

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JP2002018372A
JP2002018372A JP2000201568A JP2000201568A JP2002018372A JP 2002018372 A JP2002018372 A JP 2002018372A JP 2000201568 A JP2000201568 A JP 2000201568A JP 2000201568 A JP2000201568 A JP 2000201568A JP 2002018372 A JP2002018372 A JP 2002018372A
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孝次 花栗
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孝一郎 赤理
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning method and cleaning equipment by which oils and contaminants are surely removed from a work for a short time, the work is dried without causing any stain, and safety is also secured. SOLUTION: This device is provided with a first treating section 4 for degreasing an article to be cleaned with an aqueous cleaning solution, a second treating section 5 arranged adjacent to the first treating section 4 and rinsing the article in water, a third treating section 6 arranged adjacent to the second treating section 5, dewatering and substituting the water depositing on the article for hydrocarbon solution and a fourth treating section 7 arranged adjacent to the third treating section 6, cleaning the article with hydrocarbon vapor, then vaporizing the hydrocarbon solvent depositing on the article and drying the article.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、機械・工具部品等
の切削・研磨後の切削油・防錆油等の有機油脂類の除去
並びに切子・研磨粉等の無機類の除去を同時に行う洗浄
方法及び洗浄装置に係り、より具体的には、水系洗浄後
に炭化水素洗浄剤で真空(減圧)にて洗浄乾燥する方法
と装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to cleaning for simultaneously removing organic oils and fats such as cutting oil and rust preventive oil after cutting and polishing of machine and tool parts and removing inorganics such as facets and abrasive powder. The present invention relates to a method and a cleaning apparatus, and more specifically, to a method and apparatus for cleaning and drying with a hydrocarbon cleaning agent under vacuum (reduced pressure) after aqueous cleaning.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、機械・工具部品等の切削・研磨後
の切削油・防錆油等の有機油脂類の除去と切子・研磨粉
等の無機類の除去は、フロンや、トリクロロエタン、塩
化メチレン・代替フロン等の溶剤を用いて行ってきた
が、これらは、環境破壊物質及び発ガン性物質を含む
為、その使用が禁止されつつある。この為、水系洗浄剤
で洗浄し、イオン交換等を使用し純水にて水洗し、その
後120℃〜180℃の熱風によりワーク(被洗浄物)
を乾燥する方法があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, removal of organic oils and fats such as cutting oil and rust preventive oil after cutting and polishing of machines and tool parts, and removal of inorganics such as facets and polishing powders have been performed by using chlorofluorocarbon, trichloroethane, chloride, or the like. It has been carried out using solvents such as methylene and chlorofluorocarbons, but since these contain environmental destructive substances and carcinogenic substances, their use is being prohibited. Therefore, it is washed with a water-based cleaning agent, washed with pure water using ion exchange or the like, and thereafter, the workpiece (object to be cleaned) is heated with hot air at 120 to 180 ° C.
There was a method of drying.

【0003】また、フロン等の代替となる溶剤として灯
油等の炭化水素系溶剤(HC溶剤)を使用した洗浄方法
が提案されている。この場合、まず、炭化水素系溶剤を
貯留する洗浄槽の開閉蓋を開けてワークを浸漬し、次
に、開閉蓋を閉じた後、洗浄槽の内部を減圧して真空状
態にし、超音波振動発生装置を用いて超音波振動をワー
クに付与し、ワークに付着するマシーン油等の不純油を
炭化水素系溶剤に溶出して真空洗浄を行なう。次に洗浄
槽の開閉蓋を開けてワークを取り出し、熱風乾燥によっ
てワークを乾燥させる。
Further, a cleaning method using a hydrocarbon solvent (HC solvent) such as kerosene as a substitute solvent for chlorofluorocarbons has been proposed. In this case, first, the opening and closing lid of the cleaning tank for storing the hydrocarbon-based solvent is opened and the work is immersed. Then, after the opening and closing lid is closed, the inside of the cleaning tank is decompressed to a vacuum state, and the ultrasonic vibration is applied. Ultrasonic vibration is applied to the work using a generator, and impurity oil such as machine oil adhering to the work is eluted into a hydrocarbon solvent to perform vacuum cleaning. Next, the opening and closing lid of the cleaning tank is opened, the work is taken out, and the work is dried by hot air drying.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなワ
ークの洗浄・乾燥は、以下の問題を有する。 (1)熱風乾燥なので、ワークを完全に乾燥するために
は、水の場合は100℃以上に又、炭化水素系溶剤のと
きはその蒸発温度である160℃以上に加熱する必要が
あり、いずれにしても乾燥のために莫大なエネルギーが
必要となる。また、そのエネルギーは回収することがで
きず、さらに、大気中に排出された場合は、公害や地球
温暖化をもたらすことになる。
However, such washing and drying of the work has the following problems. (1) Since the work is hot-air dried, it is necessary to heat the work to 100 ° C. or more in the case of water and 160 ° C. or more in the case of a hydrocarbon solvent in order to completely dry the work. Even so, enormous energy is required for drying. In addition, the energy cannot be recovered, and if released to the atmosphere, it causes pollution and global warming.

【0005】(2)ワークが高炭素鋼であったり、特殊
合金鋼の場合、120℃〜160℃にワークを加熱、乾
燥すると、酸化し、変色し、ワークの品質向上を図る事
ができない。 (3)乾燥工程でシミ発生があり、被洗浄物の深穴(切
削ドリルの潤滑油通過穴)や、狭い隙間の脱脂洗浄が不
可能であるし、また、板状の被洗浄物を重ねたまま洗浄
することも不可能であった。 (4)さらに、洗浄後の水洗に供給する純水を造る為、
純水機が必要であり、設備コスト、設備場所、ランニン
グコストがかかっている。
(2) When the work is made of high carbon steel or special alloy steel, if the work is heated to 120 ° C. to 160 ° C. and dried, the work is oxidized and discolored, and the quality of the work cannot be improved. (3) Spots are generated in the drying process, making it impossible to degrease and clean deep holes (lubricating oil passage holes of cutting drills) and narrow gaps in the object to be cleaned. It was not possible to wash while standing. (4) In addition, in order to produce pure water to be supplied for washing after washing,
A pure water machine is required, and equipment costs, equipment locations, and running costs are incurred.

【0006】本発明は、このような事情に鑑みなされた
ものであり、従来、大気圧状態の水系洗浄では、油脂等
の有機物洗浄が完全洗浄できなかったが、真空仕上げ洗
浄を追加実施する事で、完全な洗浄ができる方法と装置
を提供するものであり、より具体的には、ワークから無
機、有機の汚れを短時間で確実に除去できるとともに乾
燥でき、安全性も確保できる水系洗浄後に炭化水素洗浄
剤で真空にて洗浄乾燥する方法と装置を提供する事を目
的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances. Conventionally, water-based cleaning under atmospheric pressure has not been able to completely clean organic substances such as oils and fats. However, vacuum finishing cleaning is additionally performed. Therefore, it is intended to provide a method and apparatus capable of complete cleaning, and more specifically, after water-based cleaning, which can securely remove inorganic and organic dirt from a work in a short time, can be dried, and can ensure safety. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for cleaning and drying in a vacuum with a hydrocarbon cleaning agent.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の目的を
達成するために、次の技術的手段を講じている。すなわ
ち、請求項1に係る洗浄方法は、水系洗浄液により被洗
浄物を脱脂処理する第1処理工程と、この第1処理工程
を終了した被洗浄物を水によりリンス処理する第2処理
工程と、この第2処理工程を終了した前記被洗浄物に付
着の水を切り炭化水素液に置換する第3処理工程と、こ
の第3処理工程を終了した被洗浄物に対して炭化水素系
蒸気により蒸気洗浄した後当該被洗浄物に付着している
炭化水素溶剤を蒸発して乾燥処理する第4処理工程とを
経由することを特徴とするものである。
The present invention employs the following technical means to achieve the above object. That is, the cleaning method according to claim 1 includes a first processing step of degreasing the object to be cleaned with an aqueous cleaning liquid, a second processing step of rinsing the object to be cleaned after the first processing step with water, A third treatment step of removing water adhering to the object to be cleaned after completion of the second treatment step and replacing it with a hydrocarbon liquid, and applying a hydrocarbon-based vapor to the object to be cleaned after completion of the third treatment step. After the cleaning, a fourth processing step of evaporating a hydrocarbon solvent adhering to the object to be cleaned and drying the hydrocarbon solvent is performed.

【0008】このような構成を採用したことにより、オ
ゾン層を破壊する蒸気(気体)が発生しない地球環境に
優しい洗浄方法が提供できる。また、炭化水素(洗浄
液)は、(ガソリン、灯油等の基本燃料が、社会的に規
制されない限り)今後とも使用規制がかかることはない
ことから、市場汎用性の高い、安価な洗浄媒体を使用す
ることができる。更に、炭化水素液のkg当り単価は、
代替フロンに比べて安価であるため、初期充填コストを
低減できる。
By adopting such a configuration, it is possible to provide a cleaning method which is friendly to the global environment and does not generate steam (gas) which destroys the ozone layer. In addition, hydrocarbons (cleaning liquids) will not be regulated in the future (unless basic fuels such as gasoline and kerosene are regulated socially), so use inexpensive cleaning media with high market versatility. can do. Furthermore, the unit price per kg of hydrocarbon liquid is
Since it is cheaper than the alternative CFC, the initial filling cost can be reduced.

【0009】本発明においては、前記第3処理工程およ
び第4処理工程を、密閉可能な洗浄・乾燥槽に被洗浄物
を装入して減圧雰囲気下で行うことが推奨される(請求
項2)。このような構成を採用したことにより、炭化水
素液の消費量は、代替フロン等の溶剤を使用する場合に
比べて、1%以下に抑えることができる。kg当り単価
は、代替フロンに比べ、単価水素が安いため、年間での
ランニングコストの低減が計れる。
In the present invention, it is recommended that the third processing step and the fourth processing step be performed in a reduced-pressure atmosphere by charging an object to be cleaned into a sealable cleaning / drying tank. ). By adopting such a configuration, the consumption of the hydrocarbon liquid can be suppressed to 1% or less as compared with the case of using a solvent such as alternative chlorofluorocarbon. Since the unit price per kg is lower than that of alternative CFCs, the annual running cost can be reduced.

【0010】また、第3処理の工程で、真空排気(減
圧)することにより被洗浄物の深穴(切削ドリルの潤滑
油通過穴)や、狭い隙間の脱脂洗浄も可能となり、した
がって、板状の被洗浄物を重ねたまま洗浄することも可
能である。更に、本発明においては、前記第3処理工程
を大気圧下で行い、前記第4処理工程を、密閉可能な洗
浄・乾燥槽に被処理物を装入して真空雰囲気下で行うこ
とも可能である(請求項3)。また、前記第1処理工程
における水系洗浄液中に、アルカリ性、中性、酸性等の
洗剤を混入しているが推奨される(請求項4)、更に、
前記第1処理工程における水系洗浄液が80℃以下に加
熱されていることが推奨される(請求項5)。
In the third processing step, vacuum exhaustion (reduced pressure) makes it possible to degrease and clean deep holes (lubricating oil passage holes of a cutting drill) and narrow gaps in an object to be cleaned. It is also possible to perform cleaning with the objects to be cleaned superposed. Further, in the present invention, the third processing step can be performed under atmospheric pressure, and the fourth processing step can be performed in a vacuum atmosphere by charging the object to be processed into a sealable washing / drying tank. (Claim 3). It is recommended that an alkaline, neutral, acidic, etc. detergent is mixed in the aqueous cleaning solution in the first treatment step (claim 4).
It is recommended that the aqueous cleaning solution in the first processing step is heated to 80 ° C. or less (Claim 5).

【0011】これによって、脱脂、洗浄効果が促進でき
るのである。また、本発明においては、前記第1処理工
程および/又は第2処理工程は被洗浄物を槽に装入して
行うとともに、この槽内における被洗浄物に対して超音
波振動又は振動のいずれか一方又は双方を付与すること
が推奨される(請求項6)。前述の第1処理および/又
は第2処理は、水系洗浄液を被洗浄物に対してジェット
ノズル等を介して介して噴出させることで脱脂処理した
り、又は水を噴出させることによってリンス(すすぎ)
処理することも可能であるが、前述したように、第1処
理工程および/又は第2処理工程は被洗浄物を槽に装入
して行うとともに、この槽内における被洗浄物に対して
超音波振動又は振動のいずれか一方又は双方を付与する
ことによって、脱脂、洗浄効果が向上できるし、リンス
効果(溶剤の除去)を向上させ、被処理物表面の清浄度
を向上できるのである。
As a result, the degreasing and cleaning effects can be promoted. Further, in the present invention, the first processing step and / or the second processing step are performed by charging an object to be cleaned into a tank, and the object to be cleaned in the tank is subjected to either ultrasonic vibration or vibration. It is recommended to provide one or both of them (claim 6). In the first and / or second treatments described above, a degreasing treatment is performed by ejecting an aqueous cleaning liquid to an object to be washed through a jet nozzle or the like, or rinsing is performed by ejecting water.
Although it is possible to perform the treatment, as described above, the first treatment step and / or the second treatment step is performed by charging the object to be cleaned into the tank, and the object to be cleaned in this tank is By applying one or both of the acoustic vibration and the vibration, the degreasing and cleaning effects can be improved, the rinsing effect (removal of the solvent) can be improved, and the cleanliness of the surface of the processing object can be improved.

【0012】更に、本発明において、前記第1処理工程
は水系洗浄液を貯留している複数の洗浄槽のそれぞれに
被洗浄物を装入して当該液中に浸漬して行うことが、脱
脂、洗浄効果を促進できることから推奨されるし(請求
項7)、また、前記第2処理工程は水が多段向流方式で
流下する複数の水リンス槽のそれぞれに被洗浄物を装入
して当該水に浸漬して行うことが、リンス効果を向上さ
せ、被処理物表面の清浄度を向上させ得ることから推奨
される(請求項8)。また、本発明においては、前述し
た請求項1〜3における第3処理工程又は第4処理工程
に使用する炭化水素は、水と油の両方に溶ける両親水性
の炭化水素洗浄剤を使用することが推奨される(請求項
9)。
Further, in the present invention, the first treatment step is performed by charging an object to be cleaned into each of a plurality of cleaning tanks storing an aqueous cleaning liquid and immersing the cleaning object in the liquid. It is recommended because the cleaning effect can be promoted (Claim 7). In the second treatment step, the object to be cleaned is charged into each of a plurality of water rinsing tanks in which water flows down in a multi-stage countercurrent system. Dipping in water is recommended because it can improve the rinsing effect and improve the cleanliness of the surface of the workpiece (claim 8). In the present invention, the hydrocarbon used in the third treatment step or the fourth treatment step in claims 1 to 3 described above may use an amphiphilic hydrocarbon detergent that is soluble in both water and oil. Recommended (claim 9).

【0013】すなわち、第3処理工程によって例えば水
溶性切削油を除去できるが、一方、アルカリ性、中性の
洗浄剤では、油性油は除去できるが水溶性の切削油等が
除去できないことから、両親水性の炭化水素洗浄剤を使
用することによって油性油、水溶性油のいずれの汚れも
除去洗浄することができるのであり、この場合、炭化水
素洗浄剤としては、イソプレン系グリコールエーテル又
は界面活性剤・アルコール入りの炭化水素洗浄剤である
ことが望ましい(請求項10)。更に、本発明において
は、前述した請求項1〜10に係る洗浄方法を、実施
(実行)する洗浄装置として、以下の技術的手段を講じ
ている。
That is, for example, a water-soluble cutting oil can be removed by the third treatment step. On the other hand, an alkaline or neutral cleaning agent can remove an oily oil but cannot remove a water-soluble cutting oil. By using an aqueous hydrocarbon detergent, both oil-based oil and water-soluble oil can be removed and washed. In this case, as the hydrocarbon detergent, isoprene-based glycol ether or surfactant. It is desirable that the solvent be a hydrocarbon detergent containing alcohol. Furthermore, in the present invention, the following technical means are taken as a cleaning apparatus for performing (executing) the cleaning method according to claims 1 to 10 described above.

【0014】すなわち、請求項11に係る洗浄装置は、
水系洗浄液により被洗浄物を脱脂処理する第1処理部
と、水により被処理物をリンス処理する第2処理部と、
被処理物に付着の水を切り炭化水素液に置換する第3処
理部と、炭化水素系蒸気により蒸気洗浄した後、被洗浄
物に付着している炭化水素溶剤を蒸発して乾燥処理する
第4処理部と、を備えていることを特徴とするものであ
り、ここにおいて、第1・処理部は、水系洗浄液又は水
をジェットノズル等で噴出するものであっても構わない
が、前記第1〜4処理部はいずれも槽によって構成する
ことが推奨される(請求項12)。
That is, the cleaning apparatus according to claim 11 is
A first processing unit for degreasing the object to be cleaned with an aqueous cleaning liquid, a second processing unit for rinsing the object to be processed with water,
A third treatment section for removing water adhering to the object to be treated and replacing it with a hydrocarbon liquid; and a third step of performing steam cleaning with hydrocarbon-based steam, followed by evaporating a hydrocarbon solvent adhering to the object to be cleaned and drying. 4 processing unit, wherein the first processing unit may jet a water-based cleaning liquid or water with a jet nozzle or the like. It is recommended that each of the processing units 1 to 4 be constituted by a tank (claim 12).

【0015】更に、本発明の洗浄装置は、前記第3処理
部および第4処理部は密閉可能な洗浄・乾燥槽によって
構成されており、この槽内を真空雰囲気下にする真空排
気(減圧)手段が備えられていることが推奨されるし
(請求項13)、また、前記第3処理部は大気開放可能
な洗浄・乾燥槽によって構成されており、第4処理部は
密閉可能な洗浄・乾燥槽によって構成されており、この
槽内を真空雰囲気下にする真空排気手段が備えられてい
ることが推奨される(請求項14)。更に、前記第1処
理部を構成する第1処理槽には、これに収容している水
系洗浄液を加熱するヒーター手段が備えられていること
が推奨され(請求項15)、また、前記第2処理部を構
成する第2処理槽は複数の槽を並設してなり、各槽には
水が多段向流方式で流下することが望ましく(請求項1
6)、更に、前記第1処理部および第2処理部を構成す
る第1・2処理槽にはこれら槽内における被洗浄物に対
して超音波振動又は振動のいずれか一方又は双方を付与
する超音波振動付与手段および/又は振動付与手段が備
えられていることが推奨される(請求項17)。
Further, in the cleaning apparatus of the present invention, the third processing unit and the fourth processing unit are constituted by a sealable washing / drying tank, and the inside of the tank is evacuated (reduced pressure) to a vacuum atmosphere. It is recommended that means are provided (claim 13), and the third processing section is constituted by a cleaning / drying tank that can be opened to the atmosphere, and the fourth processing section is a sealing / cleaning tank that can be sealed. It is recommended that a drying tank be provided, and that the tank be provided with vacuum evacuation means for evacuating the tank to a vacuum atmosphere. Further, it is recommended that the first processing tank constituting the first processing section is provided with a heater means for heating the aqueous cleaning liquid contained therein (Claim 15). The second processing tank constituting the processing unit is provided with a plurality of tanks arranged in parallel, and it is desirable that water flows down to each tank in a multi-stage countercurrent system.
6) Further, one or both of ultrasonic vibration and vibration are applied to the objects to be cleaned in the first and second processing tanks constituting the first processing unit and the second processing unit. It is recommended that an ultrasonic vibration applying means and / or a vibration applying means be provided (claim 17).

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態について説明する。全体構成を概略立面図で示す
図1および概略平面図で示す図2において、本発明に係
る洗浄装置1は、入側コンベア手段2と出側コンベア手
段3との間に、水系洗浄液により被洗浄物(ワークとも
いう)を脱脂処理する第1処理部4と、この第1処理部
4に隣接して配置されていて水により被洗浄物をリンス
処理する第2処理部5と、この第2処理部5に隣接して
配置されていて被処理物に付着の水を切り炭化水素液に
置換する第3処理部6と、この第3処理部6に隣接され
ていて炭化水素系蒸気により蒸気洗浄した後、被洗浄物
に付着している炭化水素溶剤を蒸発して乾燥処理する第
4処理部7とをその順序で直列状として同一平面(水平
面)上に配置することで主構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1 showing the overall configuration in a schematic elevation view and FIG. 2 in a schematic plan view, a cleaning apparatus 1 according to the present invention is provided between an inlet conveyor means 2 and an outlet conveyor means 3 with an aqueous cleaning liquid. A first processing unit 4 for degreasing a cleaning object (also referred to as a workpiece); a second processing unit 5 disposed adjacent to the first processing unit 4 for rinsing the cleaning object with water; (2) a third processing unit 6 disposed adjacent to the processing unit 5 for removing water adhering to the object to be treated and replacing the hydrocarbon liquid with the third processing unit 6; After the steam cleaning, the fourth processing unit 7 for evaporating the hydrocarbon solvent adhering to the object to be cleaned and drying is arranged in series in that order and arranged on the same plane (horizontal plane). ing.

【0017】第1処理部4は、上部開口の洗浄槽4A,
4Bの2槽を並列して構成されており、この槽内には、
水系洗浄液4Cが収納されており、この液中に被洗浄物
を浸漬することにより、該被洗浄物に付着の汚れを脱脂
可能とされている。勿論、この第1処理部4は、洗浄槽
を1槽とすることができるし、2槽以上(3槽、4槽
等)の多槽構成とすることにより、脱脂・洗浄効果を向
上させることができる。また、この第1処理部4におい
ては、槽構成とすることなく、水系洗浄液を例えばジェ
ットノズル、シャワー、スプレー等々によって被洗浄物
の全面(全体)に亘って噴出することによって脱脂・洗
浄するものであっても構わない。この噴出(吐出、噴
射)によれば、新鮮(新規)な液で脱脂・洗浄できる
し、潤滑油通過穴や狭いすきまの脱脂洗浄が液の噴出圧
によって可能となる。
The first processing section 4 includes a cleaning tank 4A having an upper opening,
The 4B tanks are configured in parallel.
An aqueous cleaning liquid 4C is stored, and by immersing the object to be cleaned in this liquid, dirt attached to the object to be cleaned can be degreased. Of course, the first processing unit 4 can use a single cleaning tank, and improve the degreasing / cleaning effect by using a multi-tank configuration of two or more tanks (three tanks, four tanks, etc.). Can be. In the first processing unit 4, degreasing / cleaning is performed by jetting a water-based cleaning liquid over the entire surface (the entirety) of the object to be cleaned without using a tank structure, for example, by a jet nozzle, a shower, a spray, or the like. It does not matter. According to this ejection (discharge, ejection), degreasing and cleaning can be performed with a fresh (new) liquid, and degreasing and cleaning of a lubricating oil passage hole and a narrow gap can be performed by the liquid ejection pressure.

【0018】ただし、図示のように槽構成としてこれに
浸漬することによって、液の使用量の節減、回収等が有
利となるし、液の飛散が防止できる。前記水系洗浄液と
しては、この液(水)に、アルカリ性、中性、酸性等の
洗剤を混入した混合液とすることによって、脱脂・洗浄
効果を促進できて有利となる。ただし、その洗浄の種
類、混入割合等は被洗浄物の種類、形状、大きさ等々に
よって決定(選択)される。第1処理部4を槽構成とし
たときには、水系洗浄液を20℃〜80℃程度(80℃
以下)に加熱するヒーター手段4Dを付帯させることが
でき(付帯させないときもある)、このヒーター手段4
Dを付帯(備えて)させて液を80℃以下に加熱するこ
とにより、脱脂・洗浄効果を促進できる。
However, by immersing the tank in a tank configuration as shown in the drawing, it is possible to advantageously reduce the amount of liquid used and recover the liquid, and to prevent the liquid from scattering. As the aqueous cleaning liquid, a mixed liquid in which an alkaline, neutral, acidic, etc. detergent is mixed with this liquid (water) can advantageously promote the degreasing / cleaning effect. However, the type of cleaning, the mixing ratio, and the like are determined (selected) according to the type, shape, size, and the like of the object to be cleaned. When the first processing unit 4 is configured as a tank, the aqueous cleaning solution is supplied at about 20 ° C. to 80 ° C. (80 ° C.).
The heater means 4D for heating (hereinafter, sometimes not attached) can be provided.
By heating the liquid to 80 ° C. or lower with D attached (provided), the degreasing / washing effect can be promoted.

【0019】勿論、ジェットノズル等で噴出(吐出)さ
せるときは、その送液経路にヒーターを具備させて加熱
することも可能である。更に、第1処理部4を槽構成と
したときには、例えば槽4A,4Bの底部に、超音波付
与手段4Fを付帯させて、該槽内の被洗浄物に対して超
音波を作用させ、脱脂・洗浄効果を促進できて有利とな
る。また、第1処理部4においては被洗浄物に対して揺
動させる揺動手段4Gを付帯させることによって脱脂・
洗浄効果を向上させることもできる。
Of course, when the liquid is ejected (discharged) by a jet nozzle or the like, it is possible to heat the liquid by providing a heater in the liquid supply path. Further, when the first processing unit 4 is configured as a tank, for example, an ultrasonic wave applying means 4F is attached to the bottom of the tanks 4A and 4B to apply ultrasonic waves to the object to be cleaned in the tank to degrease the object. -It is advantageous because the cleaning effect can be promoted. In addition, the first processing unit 4 is provided with an oscillating means 4G for oscillating the object to be cleaned, so
The cleaning effect can also be improved.

【0020】この超音波付与手段、揺動手段はいずれか
一方、又は双方を付帯させることができ、勿論、付帯さ
せないときもある。第2処理部5は、前記第1処理部4
によって水系洗浄液により脱脂・洗浄された被洗浄物
を、水によりリンス(すすぎ)処理するものであり、図
示例では上部開口のリンス槽5A,5Bの2槽を並列し
て構成されており、この各槽5A,5B内には、水を多
段向流方式によって流下させ、この流下(流動)する水
に被洗浄物を浸漬することによってリンス(すすぎ)処
理するようにされている。
Either one or both of the ultrasonic wave applying means and the oscillating means can be attached, and, of course, there is a case where it is not attached. The second processing unit 5 includes the first processing unit 4
The object to be cleaned, which has been degreased and cleaned with an aqueous cleaning liquid, is subjected to a rinsing treatment with water. In the illustrated example, two rinsing tanks 5A and 5B having upper openings are arranged in parallel. In each of the tanks 5A and 5B, water is caused to flow down by a multi-stage countercurrent method, and the object to be cleaned is immersed in the flowing (flowing) water to perform a rinsing (rinsing) treatment.

【0021】ここで多段向流方式とは、被洗浄物の処理
方向(搬送方向)に対して水を逆方向(向流)に流下
(流動)させることをいい、図では第2リンス槽5Bに
給水し、この第2リンス槽5Bの水を第1リンス槽5A
に供給してこの第1リンス槽5Aから排水するものを示
しており、この向流手段としては図6(1)で示すよう
にオーバーフロー方式、図6(2)で示す落差方式等を
採用でき、落差方式でオーバーフロー方式よりも少しで
も鮮度の高い水(新鮮水)でリンス処理できて有利とな
る。
Here, the multi-stage counter-flow system means that water flows down (flows) in the opposite direction (counter current) to the processing direction (transport direction) of the object to be cleaned. In the figure, the second rinsing tank 5B is used. And the water in the second rinse tank 5B is supplied to the first rinse tank 5A.
And drains the water from the first rinsing tank 5A. As the countercurrent means, an overflow method as shown in FIG. 6A, a head method as shown in FIG. This is advantageous because the head can be rinsed with water (fresh water) having a little higher freshness than the overflow system in the head system.

【0022】この第2処理部5におけるリンス手段とし
て、水をジェットノズル、シャワー、スプレー等々によ
って被洗浄物の全面(全体)に亘って噴出(吐出)する
ことによてってリンス処理するものであっても構わな
い。この噴出(吐出)によれば、新鮮(新規)な水で被
洗浄物をリンス処理できるし、潤滑油通過穴や狭い隙間
に付着の洗剤等が水の噴出圧によってリンス(除去)可
能となる。ただし、図示のように槽(タンク)構成とし
てこれに貯留した水に被洗浄物を浸漬することによるリ
ンス処理によれば、水の使用両の節約、回収等の点で有
利となるし、水の飛散も防止できる。
As the rinsing means in the second processing unit 5, a rinsing treatment is performed by jetting (discharging) water over the entire surface (entire) of the object to be cleaned by a jet nozzle, a shower, a spray, or the like. It does not matter. According to the ejection (discharge), the object to be cleaned can be rinsed with fresh (new) water, and the detergent or the like attached to the lubricating oil passage hole or the narrow gap can be rinsed (removed) by the ejection pressure of the water. . However, as shown in the drawing, the rinsing process in which the object to be cleaned is immersed in water stored in a tank (tank) configuration as shown in the figure is advantageous in terms of saving and recovering both water usage and water. Can also be prevented from scattering.

【0023】第2処理部5による水によるリンス処理は
これを1回(1段)とすることもできるが、多段処理
(3槽、4槽等)とすることにより、リンス効果(洗剤
の除去効果)を向上させ、被処理物表面の洗浄度を向上
でき、特に、多段向流方式とすることでより一層有利と
なる。第2処理部5を槽構成としたときには、そのリン
ス槽5A,5Bの底部等に、超音波付与手段5Cを付帯
させて、槽内の被洗浄物に対して超音波を作用させ、リ
ンス効果を促進できて有利となる。
The rinsing treatment with water by the second treatment section 5 can be performed once (one step), but by performing multi-step treatment (three tanks, four tanks, etc.), the rinsing effect (detergent removal) can be achieved. Effect) can be improved, and the degree of cleaning of the surface of the object to be treated can be improved. In particular, a multi-stage countercurrent method is more advantageous. When the second processing unit 5 is configured as a tank, an ultrasonic wave applying means 5C is attached to the bottom of the rinsing tanks 5A and 5B to apply ultrasonic waves to the object to be cleaned in the tank, thereby providing a rinsing effect. Can be promoted.

【0024】また、第2処理部5において槽内の被洗浄
物を揺動させる揺動手段5Dを付帯させることにより、
リンス処理効果、表面洗浄度を向上させることもでき
る。この超音波付与手段、揺動手段はいずれか一方又は
双方を付帯させることができ、勿論付帯させないときも
ある。なお、第2処理部5においてリンス水を加熱する
ヒーター付帯させても良い。第3処理部6は、前記被洗
浄物に付着の水を切り炭化水素液に置換処理する部位で
あり、更に、第4処理部7は、被洗浄物に対して炭化水
素系蒸気により蒸気洗浄した後当該被洗浄物に付着して
いる炭化水素溶剤を蒸発して乾燥処理する部位であり、
この第3処理部6と第4処理部7とによって真空洗浄乾
燥装置10を構成しており、前記第3処理部6は大気圧
下で行うこともでき、これ故、大気開放可能であるが第
4処理部7は真空雰囲気下で処理を行うため真空排気手
段を備えている。
In addition, the second processing section 5 is provided with a swinging means 5D for swinging the object to be cleaned in the tank, so that
The rinsing effect and the degree of surface cleaning can be improved. Either one or both of the ultrasonic wave applying means and the oscillating means can be attached, and, of course, there is a case where it is not attached. In the second processing section 5, a heater for heating the rinsing water may be provided. The third processing unit 6 is a unit that removes water adhering to the object to be cleaned and replaces it with a hydrocarbon liquid. The fourth processing unit 7 further performs steam cleaning on the object to be cleaned with hydrocarbon-based steam. Is a part to be dried by evaporating the hydrocarbon solvent attached to the object to be cleaned after the
The third processing section 6 and the fourth processing section 7 constitute a vacuum cleaning / drying apparatus 10, and the third processing section 6 can be performed under the atmospheric pressure, and therefore can be opened to the atmosphere. The fourth processing unit 7 includes a vacuum exhaust unit for performing processing in a vacuum atmosphere.

【0025】ここで、炭化水素(液)は、水と油の両方
に溶ける両親水性の炭化水素洗浄剤を使用(混入)する
ことが望ましく、具体的には、イソプレン系グリコール
エーテル又は界面活性剤・アルコール入りの炭化水素洗
浄剤を挙げることができる。次に、図7および図8に示
すブロック図を参照して、本発明の一実施の形態に係る
第3処理部6と第4処理部7とで構成される真空洗浄乾
燥装置10の概念的構成を説明する。図示するように、
内部にワーク11を洗浄するための炭化水素系溶剤12
を貯留する洗浄槽13は、その上部開口部を密閉可能な
開閉蓋14を有すると共に、その下部に超音波振動手段
の一例である超音波振動発生装置15を有する。また、
後述するように、洗浄槽13はワーク11を揺動するた
めの揺動手段68(図9参照)を具備する。
Here, it is desirable to use (mix) an amphiphilic hydrocarbon detergent soluble in both water and oil as the hydrocarbon (liquid). Specifically, isoprene-based glycol ether or surfactant -Hydrocarbon detergents containing alcohol can be mentioned. Next, with reference to the block diagrams shown in FIGS. 7 and 8, a conceptual view of a vacuum cleaning / drying apparatus 10 including a third processing unit 6 and a fourth processing unit 7 according to an embodiment of the present invention. The configuration will be described. As shown
A hydrocarbon solvent 12 for cleaning the workpiece 11 therein.
The washing tank 13 for storing therein has an opening / closing lid 14 capable of sealing an upper opening thereof, and has an ultrasonic vibration generator 15 as an example of ultrasonic vibration means below the lid. Also,
As will be described later, the cleaning tank 13 includes a swinging unit 68 (see FIG. 9) for swinging the work 11.

【0026】洗浄槽13の一側方には仕上げ洗浄・乾燥
槽16が並設されており、仕上げ洗浄・乾燥槽16は、
その内部に炭化水素系溶剤の蒸気を発生させるものであ
り、上部開口部を密閉可能な開閉蓋18を有する。洗浄
槽13は、図7に示す例では中途に冷却器19を、図8
ではヒーター19Aを具備する第1の真空吸引配管20
を介して真空ポンプ21に連通連結されており、真空ポ
ンプ21を駆動することによって洗浄槽13の内部を減
圧して真空状態にすることができる。一方、仕上げ洗浄
・乾燥槽16は、第2の真空吸引配管22を介して第1
の真空吸引配管20に連通連結されており、同様に真空
ポンプ21を駆動することによって仕上げ洗浄・乾燥槽
16の内部を減圧して真空状態にすることができる。
On one side of the cleaning tank 13, a finishing cleaning / drying tank 16 is provided in parallel.
It has an opening / closing lid 18 for generating vapor of a hydrocarbon-based solvent therein and capable of closing the upper opening. In the example shown in FIG. 7, the cleaning tank 13
Then, a first vacuum suction pipe 20 having a heater 19A is provided.
The inside of the cleaning tank 13 can be evacuated to a vacuum state by driving the vacuum pump 21. On the other hand, the finish cleaning / drying tank 16 is connected to the first vacuum suction pipe 22 via the second vacuum suction pipe 22.
Similarly, by driving a vacuum pump 21, the inside of the finishing washing / drying tank 16 can be evacuated to a vacuum state.

【0027】本実施の形態において、洗浄槽13への炭
化水素系溶剤(以下溶剤と略称することもある)12へ
の供給、及び、仕上げ洗浄・乾燥槽16への溶剤の蒸気
の供給は、これらを再生してその有効利用を図るため、
以下の構成を用いて行っている。即ち、洗浄槽13は、
開閉弁23aを具備するオーバーフローライン23を介
して溶剤回収タンクの一例である溶剤回収タンク24の
流入口に連通連結されている。また、真空ポンプ21の
下流側に設けた溶剤回収ラインの一例である溶剤回収ラ
イン25を介して溶剤回収タンク24のもう一つの流入
口に連通連結されており、溶剤回収ライン25の中途に
はガス冷却器26と逆止弁26aが取付けられている。
なお、溶剤回収タンク24の上部空間には先部が大気に
開放された排気ダクト24aの基部が連通連結されてお
り、排気ダクト24aの中途部にはは排気ファン24b
が取付けられている。
In the present embodiment, the supply of the hydrocarbon solvent (hereinafter sometimes abbreviated as a solvent) 12 to the cleaning tank 13 and the supply of the solvent vapor to the finishing cleaning / drying tank 16 are performed as follows. To regenerate these and use them effectively,
It is performed using the following configuration. That is, the cleaning tank 13
It is connected to an inlet of a solvent recovery tank 24, which is an example of a solvent recovery tank, via an overflow line 23 having an on-off valve 23a. Further, it is connected to another inlet of the solvent recovery tank 24 through a solvent recovery line 25 which is an example of a solvent recovery line provided on the downstream side of the vacuum pump 21. A gas cooler 26 and a check valve 26a are mounted.
A base of an exhaust duct 24a whose tip is open to the atmosphere is connected to the upper space of the solvent recovery tank 24, and an exhaust fan 24b is provided in the middle of the exhaust duct 24a.
Is installed.

【0028】また、溶剤回収タンク24の流出口にはフ
ィルタ28と開閉弁29aを具備する第1の溶剤供給ラ
イン27を介して蒸留器29の流入口が連通連結されて
いる。図7の例では、蒸留器29の流出口には第1の溶
剤蒸気供給ライン30が連通連結されている。第1の溶
剤蒸気供給ライン30の加硫側部分は、三方弁からなる
蒸気案内弁30aを介して第2及び第3の溶剤蒸気供給
ライン31,32に分岐されている。さらに、蒸留器2
9の下部に接続された配管にはドレンバルブ29bが取
付けられている。
The outlet of the solvent recovery tank 24 is connected to the inlet of a still 29 through a first solvent supply line 27 having a filter 28 and an on-off valve 29a. In the example of FIG. 7, a first solvent vapor supply line 30 is connected to the outlet of the still 29 in communication. The vulcanization-side portion of the first solvent vapor supply line 30 is branched to second and third solvent vapor supply lines 31, 32 via a vapor guide valve 30a formed of a three-way valve. Furthermore, still 2
A drain valve 29b is attached to a pipe connected to a lower part of the pipe 9.

【0029】第2の溶剤蒸気供給ライン31は、洗浄剤
として使用できる溶剤12を生成するための液化装置の
一例であるコンデンサ33の流入口に連通連結されてい
る。一方、コンデンサ33の流出口は、循環タンク3
4、逆止弁33b、エジェクター33c、開閉弁34a
を取付けた第2の溶剤供給ライン35を介して洗浄槽1
3内に連通連結されている。なお、符号34bは循環ポ
ンプを示す。また、第3の溶剤蒸気ライン32の下流側
端は仕上げ洗浄・乾燥槽16の内部に連通連結されてい
る。
The second solvent vapor supply line 31 is connected to an inlet of a condenser 33 which is an example of a liquefier for producing the solvent 12 which can be used as a cleaning agent. On the other hand, the outlet of the condenser 33 is connected to the circulation tank 3
4. Check valve 33b, ejector 33c, open / close valve 34a
Cleaning tank 1 via a second solvent supply line 35 with
3 are connected in communication. Reference numeral 34b indicates a circulation pump. The downstream end of the third solvent vapor line 32 is connected to the inside of the finish washing / drying tank 16.

【0030】上記した図7に示す構成によって、洗浄槽
13からマシーン油等の洗浄対象物である不純油を溶か
した溶剤12のうち、所定のレベルを超える分を取り出
し、オーバーフローライン23を通して溶剤回収タンク
24に回収することができる。また、真空ポンプ21に
よって洗浄槽13や仕上げ洗浄・乾燥槽16から吸引さ
れる空気中に含まれる溶剤蒸気を真空ポンプ21の上流
側に設けた冷却器19を通して液化した後においても吸
引空気中にわずかに含まれる溶剤12も真空ポンプ21
の下流側に設けた溶剤回収ライン25を通して溶剤回収
タンク24に不純油を含む溶剤12として回収すること
ができる。その後、これらの回収された不純油を含む溶
剤12から蒸留器29を用いて不純油を含まない溶剤蒸
気を生成し、その一部を仕上げ・乾燥槽16内に溶剤蒸
気として導入すると共に、残りをコンデンサ33を用い
て液化して新液としての溶剤12を生成した後、循環タ
ンク34を介して洗浄槽13内に導入することができ
る。
With the configuration shown in FIG. 7 described above, a portion exceeding a predetermined level is taken out of the solvent 12 in which the impure oil which is the object to be cleaned such as machine oil is dissolved from the cleaning tank 13, and the solvent is recovered through the overflow line 23. It can be collected in the tank 24. Further, even after the solvent vapor contained in the air sucked from the cleaning tank 13 or the finishing washing / drying tank 16 by the vacuum pump 21 is liquefied through the cooler 19 provided on the upstream side of the vacuum pump 21, the solvent vapor remains in the sucked air. The solvent 12 contained in the vacuum pump 21
The solvent 12 containing the impure oil can be recovered in the solvent recovery tank 24 through the solvent recovery line 25 provided on the downstream side. Thereafter, a solvent vapor containing no impure oil is generated from the recovered solvent 12 containing the impure oil by using the still 29, a part of which is introduced into the finishing / drying tank 16 as the solvent vapor, and Can be liquefied using a condenser 33 to produce a solvent 12 as a new liquid, and then introduced into the cleaning tank 13 via a circulation tank 34.

【0031】また、図7に示すように、洗浄槽13には
第1の真空度計36、第1の真空破壊弁37及び第1の
排気弁38が取付けられている。なお、本実施の形態で
は、第1の排気弁38は、便宜上、第1の真空吸引配管
20の洗浄槽13に近接した個所に取付けられている。
一方、仕上げ洗浄・乾燥槽16には、第2の真空度計3
9、第2の真空破壊弁40及び第2の排気弁41が取付
けられている。また、便宜上、第2の真空破壊弁40と
第2の排気弁41は、第3の溶剤蒸気供給ライン32及
び第2の真空吸引配管22の仕上げ洗浄・乾燥槽16の
近傍をなす個所に取付けられている。
As shown in FIG. 7, a first vacuum gauge 36, a first vacuum break valve 37, and a first exhaust valve 38 are attached to the cleaning tank 13. In the present embodiment, the first exhaust valve 38 is attached to a portion of the first vacuum suction pipe 20 close to the cleaning tank 13 for convenience.
On the other hand, the finish cleaning / drying tank 16 has a second vacuum gauge 3
9. A second vacuum break valve 40 and a second exhaust valve 41 are attached. Further, for convenience, the second vacuum break valve 40 and the second exhaust valve 41 are attached to a portion of the third solvent vapor supply line 32 and the second vacuum suction pipe 22 near the finish cleaning / drying tank 16. Have been.

【0032】そして、制御手段の一例である制御装置7
6(図2及び図3参照)を用いて、真空ポンプ21と第
1の真空度計36、第1の真空破壊弁37及び第1の排
気弁38を駆動制御して洗浄槽13内の真空度を、例え
ば3〜50Torrに調整することができると共に、真
空ポンプ21と第2の真空度計39、第2の真空破壊弁
40及び第2の排気弁41を駆動制御して、仕上げ洗浄
・乾燥槽16内を交互に真空状態と大気開放状態にする
と共に、真空度を、例えば3〜5Torrに調整するこ
とができる。
The control device 7 which is an example of the control means
6 (see FIG. 2 and FIG. 3), the vacuum pump 21, the first vacuum gauge 36, the first vacuum break valve 37, and the first exhaust valve 38 are controlled to drive the vacuum in the cleaning tank 13. The degree can be adjusted to, for example, 3 to 50 Torr, and at the same time, the vacuum pump 21, the second vacuum gauge 39, the second vacuum break valve 40, and the second exhaust valve 41 are drive-controlled to finish cleaning and cleaning. The inside of the drying tank 16 is alternately brought into a vacuum state and an open state to the atmosphere, and the degree of vacuum can be adjusted to, for example, 3 to 5 Torr.

【0033】また、図7および図8に示すように、本実
施の形態では、溶剤12を用いることから、その安全性
を確実なものとするために、蒸留器29内に供給される
油や汚れを溶かした溶剤12を、熱媒油を用いて加熱す
るようにしている。即ち、ヒーター等によって加熱され
る難燃性の熱媒油を充填する油タンク42は、循環ポン
プ45を取付けた熱媒油供給ライン43と熱媒油戻しラ
イン44からなる循環流路によって蒸留器29に連通連
結されている。なお、本実施の形態では、蒸留器29の
蒸留側に設けた開閉弁29aを閉じて溶剤12の蒸留器
29への流入を一時的に停止するようにしている。これ
は、溶剤12中に混入されている不純油の沸点(例え
ば、120℃)が溶剤12の沸点(例えば、80℃)よ
り高いことに鑑み、蒸留器29内で溶剤12を煮詰め、
溶剤12のみ蒸発させ、油濃度を十分に高めた後に、ド
レインバルブ29bを開けて外部に取り出し廃棄するこ
とにより、破棄両を少なくすると共に、破棄回数を少な
くして、真空洗浄乾燥装置10の運転停止時間を可及的
に短くするためである。
As shown in FIGS. 7 and 8, in the present embodiment, since the solvent 12 is used, the oil supplied into the still 29 is The solvent 12 in which the dirt is dissolved is heated by using a heating medium oil. That is, the oil tank 42 filled with the flame-retardant heat medium oil to be heated by the heater or the like is provided by the circulating flow path including the heat medium oil supply line 43 to which the circulation pump 45 is attached and the heat medium oil return line 44. 29. In the present embodiment, the on-off valve 29a provided on the distillation side of the still 29 is closed to temporarily stop the flow of the solvent 12 into the still 29. This is because the boiling point (for example, 120 ° C.) of the impure oil mixed in the solvent 12 is higher than the boiling point (for example, 80 ° C.) of the solvent 12, and the solvent 12 is boiled down in the still 29.
After evaporating only the solvent 12 and sufficiently increasing the oil concentration, the drain valve 29b is opened and taken out and discarded, thereby reducing the number of discards and reducing the number of discards. This is to make the stop time as short as possible.

【0034】図示の実施の形態におけるその他の構成に
ついて説明すると、図7に示すように、仕上げ洗浄・乾
燥槽16の底部と冷却器19の底部はそれぞれ第1又は
第2の溶剤戻し配管46,47を介して溶剤戻しタンク
48に連通連結されており、溶剤戻しタンク48は第3
の溶剤戻し配管49を介して洗浄槽13の底部に連通連
結されている。なお、第3の溶剤戻し配管49には戻し
ポンプ50が取付られている。また、第1の溶剤戻し配
管46には、開閉弁46aが取付けられ、第2の溶剤戻
し配管47にはガス逆流防止タンク19aが取付けられ
ている。
The other components in the illustrated embodiment will be described. As shown in FIG. 7, the bottom of the finish washing / drying tank 16 and the bottom of the cooler 19 are respectively provided with a first or second solvent return pipe 46, 47 is connected to a solvent return tank 48 via
Is connected to the bottom of the cleaning tank 13 through a solvent return pipe 49. Note that a return pump 50 is attached to the third solvent return pipe 49. Further, an opening / closing valve 46a is attached to the first solvent return pipe 46, and a gas backflow prevention tank 19a is attached to the second solvent return pipe 47.

【0035】かかる構成によって、仕上げ洗浄・乾燥槽
16の蒸気洗浄によって仕上げ洗浄・乾燥槽16の底部
に滴下した溶剤12と、冷却器19による液化によって
生じた溶剤12をいったん溶剤戻しタンク48を経由し
て、洗浄槽13内に戻し、再利用することができる。ま
た、図7に示すように、冷却器19、ガス冷却器26、
真空ポンプ21、コンデンサ33等は、高価なチラーを
用いずに、クーリングタワー51から冷却水を用いて作
動するようにしている。即ち、冷却器19、ガス冷却器
26、真空ポンプ21、コンデンサ33等は、冷却水供
給配管52と冷却水戻し配管53を介してクーリングタ
ワー51に連通連結されている。
With this configuration, the solvent 12 dropped to the bottom of the finish cleaning / drying tank 16 by the steam cleaning of the finish cleaning / drying tank 16 and the solvent 12 generated by liquefaction by the cooler 19 pass through the solvent return tank 48 once. Then, it can be returned to the cleaning tank 13 and reused. Further, as shown in FIG. 7, the cooler 19, the gas cooler 26,
The vacuum pump 21, the condenser 33, and the like operate using cooling water from the cooling tower 51 without using an expensive chiller. That is, the cooler 19, the gas cooler 26, the vacuum pump 21, the condenser 33 and the like are connected to the cooling tower 51 via a cooling water supply pipe 52 and a cooling water return pipe 53.

【0036】さらに、図7に示すように、洗浄槽13に
は、溶剤12中に含まれる無機質のごみを除去するため
のフィルタユニット54が取付られている。フィルタユ
ニット54は、実質的に循環ポンプ55とフィルタ56
を取付けた溶剤循環流路57から形成されている。な
お、図8の実施の形態では冷却器19に代えてコイルヒ
ーター19Aを真空ポンプ21に並設したものであり、
これにより該ポンプ21の寿命を伸ばすことができライ
ン19B,19Cを介して図示のように接続されてい
る。
Further, as shown in FIG. 7, the cleaning tank 13 is provided with a filter unit 54 for removing inorganic dust contained in the solvent 12. The filter unit 54 substantially includes a circulation pump 55 and a filter 56.
Is formed from the solvent circulation flow path 57 to which the. In the embodiment of FIG. 8, a coil heater 19A is provided in parallel with the vacuum pump 21 instead of the cooler 19,
Thus, the life of the pump 21 can be extended, and the pump 21 is connected as shown in the drawing via lines 19B and 19C.

【0037】次に、図1を参照して既述した第1処理工
程(脱脂処理)を経て第2処工程(水によるリンス処
理)を終了した被洗浄物(ワーク)について、第3・4
処理を行う。上記した構成を有する真空洗浄乾燥装置1
0による真空洗浄乾燥方法について説明する。以下に説
明するように、真空洗浄乾燥方法は、実質的にワーク洗
浄工程と、ワーク蒸気洗浄工程と、ワーク乾燥工程とか
らなる。 (1)まず、洗浄槽13内に炭化水素系溶剤(以下溶剤
と省略する)12を入れる。この溶剤12は、最初の状
態では、洗浄槽13の開閉蓋14を開いて直接投入する
のが好ましいが、循環タンク34内に再生された溶剤1
2が残っている場合には、開閉弁34aを開いて第2の
溶剤供給ライン35より供給してもよい。洗浄槽13内
に供給する溶剤12の量は第2のレベルセンサ72によ
って検知され、この第2のレベルセンサ72が作動して
いることを確認して、以下の処理が行われるようになっ
ている。
Next, the object to be cleaned (work), which has been subjected to the first processing step (degreasing processing) described above with reference to FIG.
Perform processing. Vacuum cleaning and drying apparatus 1 having the above configuration
The method of vacuum cleaning and drying according to 0 will be described. As described below, the vacuum cleaning and drying method substantially includes a work cleaning step, a work vapor cleaning step, and a work drying step. (1) First, a hydrocarbon-based solvent (hereinafter abbreviated as a solvent) 12 is put into a cleaning tank 13. In the initial state, it is preferable that the solvent 12 is directly charged by opening the opening / closing lid 14 of the cleaning tank 13.
When 2 remains, the on-off valve 34a may be opened to supply from the second solvent supply line 35. The amount of the solvent 12 to be supplied into the cleaning tank 13 is detected by the second level sensor 72, and after confirming that the second level sensor 72 is operating, the following processing is performed. I have.

【0038】この洗浄槽13は油タンク42からの熱媒
油によって加熱され、内部の溶剤12の温度が図示しな
い温度センサによって検知・制御されて約40℃になっ
ている。これは、ワーク11に付着している不純油の溶
解温度が約30℃程度であるので、ワーク11を入れた
場合に、約40℃(不純油の融点以上で、溶剤12の沸
点より十分に低い温度)に加熱されてワーク11に付着
した不純油を溶剤12に溶かすためである。 (2)洗浄槽13の下部にその出口及び入口が設けられ
ているフィルタユニット54を駆動する。これによっ
て、溶剤12内に含まれる汚れはフィルタ56によって
除去されることになるが、新しい溶剤12を洗浄槽13
内に入れた直後では、汚れ(SS)等は無いので、この
工程は、ワーク11を洗浄槽13内に入れた後に行って
もよい。
The cleaning tank 13 is heated by the heat transfer oil from the oil tank 42, and the temperature of the solvent 12 inside the tank is detected and controlled by a temperature sensor (not shown) to be about 40 ° C. This is because the melting temperature of the impure oil adhering to the work 11 is about 30 ° C., so that when the work 11 is put, it is about 40 ° C. (above the melting point of the impure oil and sufficiently higher than the boiling point of the solvent 12). This is for dissolving the impurity oil, which has been heated to a low temperature) and adhered to the work 11, in the solvent 12. (2) The filter unit 54 having an outlet and an inlet provided at a lower portion of the cleaning tank 13 is driven. As a result, dirt contained in the solvent 12 is removed by the filter 56.
Since there is no dirt (SS) or the like immediately after the workpiece 11 is placed in the cleaning tank 13, this step may be performed after the workpiece 11 is placed in the cleaning tank 13.

【0039】(3)開閉蓋14を開けた状態で、洗浄槽
13内の溶剤12中に洗浄籠67(図8参照)に入った
ワーク11を浸漬して、開閉蓋14を閉じる。このと
き、オーバーフローする溶剤12は、オーバーフローラ
イン23を通じて溶剤回収タンク24に流れ込む。 (4)オーバーフローライン23に設けられている開閉
弁23aを閉じた状態で、真空ポンプ21を作動して洗
浄槽13内を減圧し、内部の空気を抜くと共に、溶剤1
2中に溶解している酸素を脱気し、第1の真空度計36
で測定する洗浄槽13内の真空度が30Torrになっ
た段階で第1の排気弁38を閉じ真空ポンプ21の作動
を停止する。
(3) With the opening / closing lid 14 opened, the work 11 in the cleaning basket 67 (see FIG. 8) is immersed in the solvent 12 in the cleaning tank 13 and the opening / closing lid 14 is closed. At this time, the overflowing solvent 12 flows into the solvent recovery tank 24 through the overflow line 23. (4) While the on-off valve 23a provided in the overflow line 23 is closed, the vacuum pump 21 is operated to depressurize the inside of the washing tank 13 to evacuate the air therein, and to remove the solvent 1
The oxygen dissolved in 2 is degassed and the first vacuum gauge 36
When the degree of vacuum in the cleaning tank 13 measured in step (1) has reached 30 Torr, the first exhaust valve 38 is closed and the operation of the vacuum pump 21 is stopped.

【0040】(5)洗浄槽13の底部に取付けられてい
る超音波振動発生装置15を作動させると共に、振動機
構68を作動させてワーク11の収納されている洗浄籠
67を揺動させる。これによって、ワーク11に付着し
ている不純油が強制的に溶剤12中に溶け出し、汚れも
ワーク11から除去される。この操作によって汚れた溶
剤12はフィルタユニット54によって含まれる固形状
の汚れ(SS)が除去される。超音波洗浄を行うと、溶
剤12の温度が徐々に上昇するので、超音波洗浄中は常
時溶剤12が約40℃を保持するように洗浄槽13を水
冷しておく(ワーク洗浄工程終了)。
(5) The ultrasonic vibration generator 15 attached to the bottom of the cleaning tank 13 is operated, and the vibration mechanism 68 is operated to swing the cleaning basket 67 containing the work 11. As a result, the impure oil adhering to the work 11 is forcibly dissolved into the solvent 12 and dirt is also removed from the work 11. This operation removes the solid dirt (SS) contained in the solvent 12 from the filter unit 54. When the ultrasonic cleaning is performed, the temperature of the solvent 12 gradually increases. Therefore, during the ultrasonic cleaning, the cleaning tank 13 is cooled with water so that the solvent 12 always keeps about 40 ° C. (the work cleaning step is completed).

【0041】(6)所定時間の洗浄作業が完了すると、
超音波振動発生装置15と揺動機構68の作動を止め、
第1の真空破壊弁37を作動して洗浄槽13の内部を大
気開放する。次に、洗浄槽13の開閉蓋14を開けて、
ワーク11を外部に取り出し、仕上げ洗浄とその後のワ
ーク11の乾燥を行う仕上げ洗浄・乾燥槽16の直上ま
で移送する。ここで、溶剤戻しタンク48から戻しポン
プ50を介して洗浄槽13に溶剤12が供給され、その
オーバーフロー分が溶剤回収タンク24に供給されるよ
うになっている。これによって洗浄槽13内の不足の溶
剤12を補うと共に、溶剤戻しタンク48内の不純な油
を少量含む溶剤12を、洗浄槽13内で再利用してい
る。
(6) When the cleaning operation for a predetermined time is completed,
Stop the operation of the ultrasonic vibration generator 15 and the swing mechanism 68,
The first vacuum breaking valve 37 is operated to open the inside of the cleaning tank 13 to the atmosphere. Next, the opening / closing lid 14 of the cleaning tank 13 is opened,
The work 11 is taken out and transferred to a position just above the finish washing / drying tank 16 for finish washing and subsequent drying of the work 11. Here, the solvent 12 is supplied from the solvent return tank 48 to the cleaning tank 13 via the return pump 50, and the overflow is supplied to the solvent recovery tank 24. This compensates for the shortage of the solvent 12 in the cleaning tank 13 and reuses the solvent 12 containing a small amount of impure oil in the solvent return tank 48 in the cleaning tank 13.

【0042】(7)開閉蓋18を開けて、洗浄槽13で
洗浄剤である溶剤12による液洗浄(水切り・置換)が
完了したワーク11を、図3又は図8に示すように、昇
降機械65によって仕上げ洗浄・乾燥槽16内に入れ
る。この仕上げ洗浄・乾燥槽16内には、底部に・の子
が設けられて、洗浄籠67に入ったワーク11が仕上げ
洗浄・乾燥槽16の内間位置に配置されるようになって
いる。ここで、ワーク11の温度は約40〜60℃であ
るが、仕上げ洗浄・乾燥槽16の側壁の温度は約80℃
(蒸気洗浄を行う溶剤12の凝結温度近傍又は凝結温度
以上)に内部に加熱ヒーターを備えた熱媒油によって予
め加熱し、蒸気を発生させる構造としている。
(7) The opening / closing lid 18 is opened, and the work 11 which has been subjected to liquid cleaning (water removal / replacement) with the solvent 12 as a cleaning agent in the cleaning tank 13 is moved up and down as shown in FIG. 3 or FIG. 65 puts it in the finishing washing / drying tank 16. In the finish cleaning / drying tank 16, there is provided a snot at the bottom so that the work 11 entering the cleaning basket 67 is arranged at a position between the finish cleaning / drying tank 16. Here, the temperature of the work 11 is about 40 to 60 ° C., but the temperature of the side wall of the finish cleaning / drying tank 16 is about 80 ° C.
The structure is such that steam is generated by being heated beforehand by a heating medium oil having a heating heater inside (at or near the setting temperature of the solvent 12 for performing the steam washing).

【0043】(8)開閉蓋18を閉じて、第2の排気弁
41を開くと共にその他の弁を閉じて、真空ポンプ21
を作動し、仕上げ洗浄・乾燥槽16の内部を減圧して内
部の空気を除去する。これは仕上げ洗浄・乾燥槽16内
に空気があると、仕上げ洗浄(濯ぎ洗浄)である蒸気洗
浄が円滑に行われないためである。 (9)仕上げ洗浄・乾燥槽16の真空度が3〜5Tor
rになった時点で、第2の排気弁41を閉じると共に真
空ポンプ21を止める。仕上げ洗浄・乾燥槽16内に入
った溶剤は加熱され、約40〜60℃のワーク11に接
して凝結し、これによってワーク11の蒸気洗浄が行わ
れる。蒸気洗浄の過程において発生する不純油を含む溶
剤12は、仕上げ洗浄・乾燥槽16の底部に溜まる。
(8) The opening and closing cover 18 is closed, the second exhaust valve 41 is opened, and the other valves are closed.
Is operated to decompress the inside of the finishing washing / drying tank 16 to remove air therein. This is because if there is air in the finish cleaning / drying tank 16, the steam cleaning as the finish cleaning (rinse cleaning) is not performed smoothly. (9) The degree of vacuum in the finish cleaning / drying tank 16 is 3 to 5 Torr.
At time r, the second exhaust valve 41 is closed and the vacuum pump 21 is stopped. The solvent that has entered the finish washing / drying tank 16 is heated and condenses in contact with the workpiece 11 at about 40 to 60 ° C., whereby the workpiece 11 is subjected to steam cleaning. The solvent 12 containing the impure oil generated in the process of steam cleaning accumulates at the bottom of the finish cleaning / drying tank 16.

【0044】(10)80℃に加熱された溶剤蒸気が接
することによってワーク11の温度は徐々に上昇し、8
0℃又は80℃近傍の温度になった時点で蒸気洗浄を終
了する。これは、ワーク11が80℃近傍になると溶剤
蒸気の付着が極端に悪くなって洗浄効率が著しく落ちる
からである(ワーク蒸気洗浄工程)。 (11)ワーク11の蒸気洗浄が終了すると、蒸気案内
弁30aを閉じて、第2の真空破壊弁40を開いて内部
を大気圧にした後、仕上げ洗浄・乾燥槽16の下部に設
けられている開閉弁46aを開いて、仕上げ洗浄・乾燥
槽16の底部に溜まっている溶剤(不純油を含む)12
を溶剤戻しタンク48内に移す。これによって、仕上げ
洗浄・乾燥槽16の溶剤12が一応抜けることになる。
(10) The temperature of the work 11 gradually increases due to the contact of the solvent vapor heated to 80 ° C.
When the temperature reaches 0 ° C. or around 80 ° C., the steam cleaning is completed. This is because when the temperature of the work 11 is around 80 ° C., the adhesion of the solvent vapor becomes extremely poor, and the cleaning efficiency is significantly reduced (work vapor cleaning step). (11) When the steam cleaning of the work 11 is completed, the steam guide valve 30a is closed, the second vacuum break valve 40 is opened to make the inside of the work 11 at atmospheric pressure, and then provided at the lower part of the finish washing / drying tank 16. The on-off valve 46a is opened, and the solvent (including impure oil) 12 accumulated at the bottom of the finish washing / drying tank 16 is opened.
Into the solvent return tank 48. As a result, the solvent 12 in the finish cleaning / drying tank 16 is temporarily removed.

【0045】(12)次に、第2の真空破壊弁40及び
開閉弁46aを閉じた状態で、第2の排気弁41を開く
と共に真空ポンプ21を作動させ、仕上げ洗浄・乾燥槽
16内を減圧する。これによって、ワーク11に付着し
た溶剤12が蒸気となって蒸発する。この溶剤蒸発の過
程において、溶剤12に溶融している不純油も蒸発し、
ワーク11の表面は清浄となって乾燥する。この乾燥処
理は、仕上げ洗浄・乾燥槽16を熱媒で加熱しながら、
仕上げ洗浄・乾燥槽16の内部圧力が3〜5Torrに
なるまで継続する(ワーク乾燥工程終了)。
(12) Next, with the second vacuum breaking valve 40 and the opening / closing valve 46a closed, the second exhaust valve 41 is opened and the vacuum pump 21 is operated, so that the inside of the finishing washing / drying tank 16 is opened. Reduce pressure. Thus, the solvent 12 attached to the work 11 evaporates as vapor. In the course of this solvent evaporation, the impure oil dissolved in the solvent 12 also evaporates,
The surface of the work 11 is cleaned and dried. This drying treatment is performed while heating the finish washing / drying tank 16 with a heating medium.
The process is continued until the internal pressure of the finish washing / drying tank 16 becomes 3 to 5 Torr (the work drying step ends).

【0046】なお、ワーク11に盲穴や油溜まりがある
場合には上記処理では十分に付着した不純油の除去が困
難であるので、仕上げ洗浄・乾燥槽16内に溶剤を入れ
てワーク11を蒸気洗浄する処理と、仕上げ洗浄・乾燥
槽16内を減圧して、不純油が混入した凝結溶剤を気化
させる減圧処理とを複数回繰り返す。ワーク11はワー
ク蒸気洗浄工程によって温度が上がり、減圧処理による
気化によって温度が下がるので、効率的に次の処理を行
うことができ、この繰り返し処理(フラッシングとい
う)によって、局所に溜まった不純油も略完全に除去で
きる。
If the work 11 has a blind hole or an oil pool, it is difficult to remove the impure oil sufficiently adhered by the above-mentioned treatment. The process of performing steam cleaning and the process of reducing the pressure in the finish cleaning / drying tank 16 to evaporate the condensed solvent mixed with the impure oil are repeated a plurality of times. The temperature of the work 11 is increased by the work steam cleaning process, and the temperature is reduced by vaporization by the decompression process, so that the next process can be efficiently performed. It can be almost completely removed.

【0047】(13)以上の処理が終了した後、第2の
真空破壊弁40を開くとともに、他の弁は閉じて、仕上
げ洗浄・乾燥槽16の開閉蓋18を開け、乾燥処理した
ワーク11を取り出す。 次に、この真空洗浄乾燥処理装置10によって使用され
る溶剤12の再生処理について説明する。 (1)図7の例では真空ポンプ21の上流側には、通過
するガスを40℃以下に冷却する冷却部19が設けら
れ、ガスに含まれる溶剤分の大部分を液化し、下部のガ
ス逆流防止タンク19aを介して液化した溶剤12を溶
剤戻しタンク48に貯留している。これによって、真空
ポンプ21に吸引される溶剤蒸気の進入を防いで真空ポ
ンプ21の負荷を著しく軽減し、更には、吸引ガス中の
溶剤12を回収している。
(13) After the above processing is completed, the second vacuum break valve 40 is opened, the other valves are closed, and the opening / closing lid 18 of the finishing washing / drying tank 16 is opened to open the dried workpiece 11. Take out. Next, a regeneration process of the solvent 12 used by the vacuum cleaning / drying apparatus 10 will be described. (1) In the example of FIG. 7, a cooling unit 19 for cooling the passing gas to 40 ° C. or lower is provided on the upstream side of the vacuum pump 21 to liquefy most of the solvent contained in the gas. The liquefied solvent 12 is stored in the solvent return tank 48 via the backflow prevention tank 19a. This prevents the solvent vapor sucked into the vacuum pump 21 from entering, thereby significantly reducing the load on the vacuum pump 21 and further recovering the solvent 12 in the suction gas.

【0048】一方、図8の例ではポンプ21の上流側に
は、通過する蒸気を80℃以下に加熱する加熱部19A
が設けられ、蒸気に含まれる溶剤の大部分を蒸気化し、
これによって真空ポンプ21が溶剤液を吸い込んでロッ
クスすることをを防いでポンプ21の寿命を著しく伸ば
すことができる。 (2)真空ポンプ21から排出されたガス又は蒸気は、
真空ポンプ21へのガス又は蒸気の逆流を防止してその
負荷を軽減する逆止弁26a、及びガス冷却器26を介
して溶剤回収タンク24に入り、更に含まれている溶剤
12を回収した後、排気ファン24bを介して大気開放
されている。
On the other hand, in the example of FIG. 8, a heating section 19A for heating the passing steam to 80 ° C. or lower is provided upstream of the pump 21.
Is provided, and most of the solvent contained in the vapor is vaporized,
This can prevent the vacuum pump 21 from sucking the solvent solution to cause a lock, thereby significantly extending the life of the pump 21. (2) The gas or steam discharged from the vacuum pump 21
After a check valve 26a for preventing backflow of gas or vapor to the vacuum pump 21 to reduce the load, and a solvent recovery tank 24 via a gas cooler 26, and further recovering the contained solvent 12, , Through the exhaust fan 24b.

【0049】(3)溶剤回収タンク24に貯留される溶
剤12は、不純油を含むので、フィルタ28を介して蒸
留器29に供給されている。この蒸留器29は熱媒油に
よって80〜90℃に加熱されて、溶剤12を気化して
不純油の除去された溶剤蒸気を発生させている。図7の
例ではこの溶剤蒸気は蒸気案内弁30aを介して、仕上
げ洗浄・乾燥槽16又はコンデンサ33に供給されてい
る。なお、蒸留器29の下部には不純油が溜まるので、
ドレンバルブ29bを定期的に開いて除去している。
(3) Since the solvent 12 stored in the solvent recovery tank 24 contains impure oil, it is supplied to the still 29 through the filter 28. The still 29 is heated to 80 to 90 ° C. by the heat medium oil to vaporize the solvent 12 and generate a solvent vapor from which the impure oil has been removed. In the example of FIG. 7, this solvent vapor is supplied to the finish cleaning / drying tank 16 or the condenser 33 via the vapor guide valve 30a. In addition, since impure oil collects in the lower part of the still 29,
The drain valve 29b is opened and removed periodically.

【0050】(4)コンデンサ33の上流側にはガス又
は蒸気冷却器33aが設けられていて、予め溶剤蒸気を
冷却し、コンデンサ33の負荷を軽減している。コンデ
ンサ33を液化された純水な再生溶剤は、逆止弁33b
及びエジェクター33cを介して循環タンク34に供給
されている。循環タンク34では、下部に循環ポンプ3
4bを備え、内部の再生溶剤を循環させて、エジェクタ
ー33cによるコンデンサ33からの再生溶剤の回収及
び循環タンク34への再生溶剤の送り出しに寄与してい
る。
(4) A gas or steam cooler 33a is provided upstream of the condenser 33 to cool the solvent vapor in advance to reduce the load on the condenser 33. The pure water regenerated solvent obtained by liquefying the condenser 33 is supplied to the check valve 33b.
And is supplied to the circulation tank 34 via the ejector 33c. In the circulation tank 34, the circulation pump 3
4b, circulates the regenerated solvent inside, and contributes to the recovery of the regenerated solvent from the condenser 33 by the ejector 33c and the sending of the regenerated solvent to the circulation tank.

【0051】[0051]

【実施例】図1〜図3を参照して上記した真空洗浄乾燥
装置10を含む洗浄装置1の全体の具体的構成を示す。
図示するように、矩形箱体からケーシング60の下部基
台61上には、槽取付フレーム62が設置されており、
槽取付フレーム62には、幅方向に間隔をあけて第1〜
4処理部4〜7が取付けられている。図1に示すよう
に、第1〜4処理部4〜7の上方には走行レール63が
架設されており、走行レール63上には、図では2基の
ワーク搬送台車64が走行自在に載置されていて、この
ワーク搬送台車64の下面から一対の昇降機構65が下
方に向けて延びており、昇降機構65の下部には着脱自
在に揺動台66が取付けられている。また、揺動台66
の上面にはワーク11を収納した洗浄籠67が取付けら
れている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 3, the overall specific structure of a cleaning apparatus 1 including a vacuum cleaning and drying apparatus 10 described above will be described.
As shown in the figure, a tank mounting frame 62 is provided on the lower base 61 of the casing 60 from the rectangular box,
The tank mounting frame 62 has a first to
Four processing units 4 to 7 are attached. As shown in FIG. 1, a traveling rail 63 is provided above the first to fourth processing units 4 to 7, and two work transport vehicles 64 are mounted on the traveling rail 63 so as to be freely movable in the figure. A pair of elevating mechanisms 65 extend downward from the lower surface of the work carrier 64, and a swing table 66 is detachably mounted below the elevating mechanism 65. The swing table 66
A washing basket 67 containing the work 11 is mounted on the upper surface of the washing basket 67.

【0052】図8に示すように、洗浄槽13の周壁の一
側には、揺動台66を片持ち状態で支持すると共に、揺
動することのできる揺動機構68が取付けられている。
洗浄槽13の底壁には、超音波振動発生装置取付板69
が取付けられており、超音波振動発生装置取付板69に
は超音波振動発生装置15が取付られている。また、洗
浄槽13の周壁の両側には、それぞれ、水圧検出型の通
常の第1レベルセンサ71と、フロート式の第2のレベ
ルセンサ72が取付られている。さらに、図1及び図2
に示すように、開閉蓋14,18は、それぞれ蓋開閉用
シリンダ73、74によって開閉可能に構成されてい
る。ケーシング60の下部基台61上において、洗浄槽
13と仕上げ洗浄・乾燥槽16の後部をなす個所には、
蒸留器29と、コンデンサ33と、循環タンク34と、
油タンク42等から構成される蒸留再生ユニット75
や、真空ポンプ21や、溶剤回収タンク24や、制御装
置76が配設されている。
As shown in FIG. 8, on one side of the peripheral wall of the cleaning tank 13, a swinging mechanism 68 that supports the swinging table 66 in a cantilevered state and that can swing is mounted.
An ultrasonic vibration generator mounting plate 69 is provided on the bottom wall of the cleaning tank 13.
The ultrasonic vibration generator 15 is mounted on the ultrasonic vibration generator mounting plate 69. A normal first level sensor 71 of a water pressure detection type and a second level sensor 72 of a float type are mounted on both sides of the peripheral wall of the cleaning tank 13, respectively. 1 and 2
As shown in the figure, the open / close lids 14 and 18 are configured to be openable / closable by lid open / close cylinders 73 and 74, respectively. On the lower base 61 of the casing 60, a portion that forms the rear part of the cleaning tank 13 and the finish cleaning / drying tank 16 includes:
A still 29, a condenser 33, a circulation tank 34,
A distillation regeneration unit 75 including the oil tank 42 and the like
Also, a vacuum pump 21, a solvent recovery tank 24, and a control device 76 are provided.

【0053】上記した構成において、昇降機構65を具
備するワーク搬送台車64を用いることによって、第1
処理部4の洗浄槽4A,4B、第2処理部5のリンス槽
5A,5Bおよび第3処理部6の洗浄槽13へのワーク
11の出入り動作、洗浄槽13から第4処理部7の仕上
げ洗浄・乾燥槽16への移動、仕上げ洗浄・乾燥槽16
へワーク11の出入り動作を全て自動的に行うことがで
き、しかも台車64を2基(これ以上でも良い)備える
ことにより、サイクルタイムを短縮でき、さらに、昇降
機構65は、これの上下動によって揺動手段を兼用でき
るし、ここにワーク11の脱脂洗浄、水リンス、水切り
置換・乾燥までの全行程を効果的に行うことができる。
In the above-described configuration, by using the work carrier 64 provided with the elevating mechanism 65, the first
The operation of the work 11 in and out of the cleaning tanks 4A and 4B of the processing section 4, the rinsing tanks 5A and 5B of the second processing section 5 and the cleaning tank 13 of the third processing section 6, and the finishing of the fourth processing section 7 from the cleaning tank 13 Transfer to cleaning / drying tank 16, finish cleaning / drying tank 16
All the movements of the workpiece 11 can be automatically performed, and the cycle time can be reduced by providing two (or more) carts 64. Further, the lifting mechanism 65 is moved up and down by The oscillating means can also be used, and the entire process from degreasing and washing of the work 11, water rinsing, draining replacement and drying can be effectively performed here.

【0054】また、揺動機構によってワーク11を揺動
しながら、洗浄、水リンス、水切り等することができる
ので洗浄効果を促進できる。図4は本発明の他の実施形
態を示しており、被洗浄物をアルカリ液等で脱脂する第
1工程における第1処理部4をひとつの洗浄槽4Aで行
うとともに、第3および第4処理を行う第3・4処理部
6,7を単一の処理槽にしたものであり、その他の構成
は既述の構成、作用と共通するので、共通部分は共通符
号を採用している。
Further, while the work 11 is oscillated by the oscillating mechanism, cleaning, water rinsing, draining, and the like can be performed, so that the cleaning effect can be promoted. FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which a first processing section 4 in a first step of degreasing an object to be cleaned with an alkaline solution or the like is performed in one cleaning tank 4A, and a third and fourth processing is performed. The third and fourth processing units 6 and 7 that perform the above-mentioned steps are configured as a single processing tank, and the other configuration is common to the above-described configuration and operation.

【0055】図5は本発明の他の実施形態を示し、前述
した第3処理工程を大気圧(大気雰囲気)によって行う
ようにしたものであり、これ故、洗浄槽13には、真空
ポンプ等の減圧関与部材を初め、開閉蓋等は具備されて
いない。従って、図5で示した実施形態のように第3処
理工程(水切りと炭化水素液への置換処理)において、
洗浄槽13を必要とせず、炭化水素液を第2処理工程
(水リンス処理)が終了した被洗浄物に対して、ジェッ
トノズル、シャワー、スプレー等によって噴出させるこ
ともできる。勿論、この第3処理工程を複数段とするこ
とも可能である。なお、図5においては第3処理工程を
大気圧下で実施する以外は、図1に示した実施の形態と
共通するので共通部分は共通符号を採用している。
FIG. 5 shows another embodiment of the present invention, in which the above-mentioned third processing step is performed at atmospheric pressure (atmospheric atmosphere). , The opening / closing lid and the like are not provided. Therefore, as in the embodiment shown in FIG. 5, in the third processing step (water removal and replacement with a hydrocarbon liquid),
The cleaning tank 13 is not required, and the hydrocarbon liquid can be spouted by a jet nozzle, a shower, a spray, or the like on the object to be cleaned after the second processing step (water rinsing processing). Of course, the third processing step can be performed in a plurality of stages. Note that, in FIG. 5, except that the third processing step is performed under atmospheric pressure, the third embodiment is common to the embodiment shown in FIG. 1.

【0056】本発明の実施の形態は以上の通りである
が、次のような付加手段を備えることもできるし、以下
に述べるような変形例を採用できる。 (1)安全性・外観・メンテナンス性を考え、装置には
全体カバーを設けることができる。この場合、安全性を
考え、装置内部が見えるように、前面に網入りガラスの
サッシ窓を設け、メンテナンス性をよくする為、外装カ
バーは簡単に取り外し可とし、さらに1次側接続の必要
のある、電気配線・エアー配管・排気ダクト・冷却水配
管はすべて装置の上部からの取合いとすることが望まし
い。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the following additional means can be provided, and the following modifications can be adopted. (1) Considering safety, appearance, and maintainability, the apparatus can be provided with an entire cover. In this case, in consideration of safety, a meshed glass sash window is provided on the front so that the inside of the device can be seen, and the exterior cover can be easily removed to improve maintenance, and it is necessary to connect the primary side. It is desirable that all electrical wiring, air piping, exhaust ducts, and cooling water piping be connected from the top of the device.

【0057】(2)装置内部に滞留した、洗浄剤のミス
ト・ガス・臭いを連続的に装置外部に放出させる排気フ
ァンを併設し、その排気温度も常に36℃以下の温度で
排風するように、排風温度冷却機能を付帯(付加)する
ことにより、地球環境の温暖化を防止できる。 (3)装置に使用している真空ポンプ等の機器が、オイ
ル交換、グリースアップ等の点検及び交換時間に到達し
たら、自動的に警告、表示、ブザーが鳴る等の機能を付
加できる。
(2) An exhaust fan for continuously releasing the mist, gas, and odor of the cleaning agent staying inside the apparatus to the outside of the apparatus is provided, and the exhaust temperature is always kept at 36 ° C. or less. In addition, by adding (adding) an exhaust air temperature cooling function, global warming can be prevented. (3) When the equipment such as a vacuum pump used in the apparatus reaches the time for checking and replacing the oil, grease, and the like, a function such as a warning, a display, and a buzzer sounding can be automatically added.

【0058】(4)装置内に設けてある各機器が故障し
た場合、その個所、対応方法がタッチパネル画面あるい
はパソコン画面等に自動表示され、表示、ブザーが鳴る
等の、シーケンスプログラム機能を付加できる。 (5)火災等の異常時には、自動消火器の作動とあわ
せ、置換槽・乾燥槽の蓋自走閉、1次側のエアー自動
閉、排気自動閉、電源自走断となる様、自動消火システ
ム回路を組み込んだ機能を付加できる。 (6)更に、前記の実施の形態においては第1〜4処理
部に被洗浄物をチャック機能を有する自走台車で自動搬
送可能としているが、クレーン、ホイスト等を利用して
搬送するようにしても良い。
(4) When each device provided in the apparatus breaks down, the location and the corresponding method are automatically displayed on a touch panel screen or a personal computer screen, and a sequence program function such as display and buzzer sounds can be added. . (5) In the event of a fire or other abnormalities, the fire extinguisher will be automatically fired so that the automatic extinguisher will operate, the lid of the replacement tank / drying tank will automatically close, the primary air will automatically close, the exhaust will automatically close, and the power supply will automatically shut off. Functions incorporating system circuits can be added. (6) Furthermore, in the above-described embodiment, the object to be cleaned can be automatically transported to the first to fourth processing units by a self-propelled vehicle having a chuck function, but is transported using a crane, a hoist or the like. May be.

【0059】(7)また、前述の実施の形態において
は、第1〜4処理部における各槽を、ステンレス製とす
ることが望ましいが、これ以外の材料であっても良い。 (8)更に、前述の実施の形態におていは洗浄篭を利用
して被洗浄物を各槽に出入させているが、篭を必ずしも
用いる必要はない。
(7) In the above-described embodiment, it is desirable that each tank in the first to fourth processing units is made of stainless steel, but other materials may be used. (8) Further, in the above-described embodiment, the objects to be cleaned are moved into and out of each tank using the cleaning basket, but the basket is not necessarily used.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
溶剤を使用することによる、環境や人体への安全性の問
題および溶剤コストの問題並びに、乾燥工程におけるシ
ミの発生が洗浄不良につながる問題等々を一挙に解決で
き、機械部品、切削工具等に残留している、切削油、防
錆油等の有機油脂類の除去、ならびに切子、研磨粉等の
無機類の除去を行う洗浄方法、および装置として実益大
である。
As described in detail above, according to the present invention,
Solvent problems such as safety to the environment and human body, solvent cost problems, and problems such as the occurrence of spots in the drying process leading to poor cleaning can be solved at once, and remain in machine parts, cutting tools, etc. The cleaning method and apparatus for removing organic oils and fats such as cutting oil and rust-preventive oil and removing inorganics such as cutting chips and abrasive powders are of great utility.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る実施の形態の基本例を示す全体構
成の概略立面図である。
FIG. 1 is a schematic elevation view of an overall configuration showing a basic example of an embodiment according to the present invention.

【図2】図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.

【図3】図1の側面図である。FIG. 3 is a side view of FIG. 1;

【図4】他の実施の形態を示す概略立面図である。FIG. 4 is a schematic elevation view showing another embodiment.

【図5】他の実施の形態を示す概略立面図である。FIG. 5 is a schematic elevation view showing another embodiment.

【図6】水リンス処理の2例を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing two examples of a water rinsing process.

【図7】真空洗浄乾燥装置(第3・4処理部)の全体構
成図である。
FIG. 7 is an overall configuration diagram of a vacuum cleaning / drying apparatus (third and fourth processing units).

【図8】図7の他の好ましい例の全体構成図である。FIG. 8 is an overall configuration diagram of another preferred example of FIG. 7;

【図9】図7の要部立面図である。FIG. 9 is an elevational view of a main part of FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 洗浄装置 4 第1処理部(槽) 5 第2処理部(槽) 6 第3処理部(槽) 7 第4処理部(槽) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cleaning apparatus 4 1st processing part (tank) 5 2nd processing part (tank) 6 3rd processing part (tank) 7 4th processing part (tank)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤理 孝一郎 兵庫県高砂市荒井町新浜2丁目3番1号 株式会社神戸製鋼所高砂製作所内 (72)発明者 堂元 雅洋 福岡県遠賀郡遠賀町大字老良485−12 株 式会社アクアテック内 Fターム(参考) 3B201 AA46 AB13 AB45 BB02 BB04 BB12 BB13 BB14 BB82 BB83 BB92 BB95 BB96 CB15 CC01 CC11 CD11 CD33  ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Koichiro Akari 2-3-1 Shinhama, Arai-machi, Takasago City, Hyogo Prefecture Inside Kobe Steel, Ltd. Takasago Works (72) Inventor Masahiro Domoto Onga-cho, Onga-gun, Fukuoka Prefecture Fara term 485-12 Aquatec Co., Ltd. F-term (reference) 3B201 AA46 AB13 AB45 BB02 BB04 BB12 BB13 BB14 BB82 BB83 BB92 BB95 BB96 CB15 CC01 CC11 CD11 CD33

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 水系洗浄液により被洗浄物を脱脂処理す
る第1処理工程と、この第1処理工程を終了した被洗浄
物を水によりリンス処理する第2処理工程と、この第2
処理工程を終了した前記被洗浄物に付着の水を切り炭化
水素液に置換する第3処理工程と、この第3処理工程を
終了した被洗浄物に対して炭化水素系蒸気により蒸気洗
浄した後当該被洗浄物に付着している炭化水素溶剤を蒸
発して乾燥処理する第4処理工程とを経由することを特
徴とする洗浄方法。
A first processing step of degreasing the object to be cleaned with an aqueous cleaning liquid; a second processing step of rinsing the object to be cleaned after the first processing step with water;
A third treatment step of removing water adhering to the object to be cleaned after the treatment step and replacing the liquid with a hydrocarbon liquid, and after the object to be cleaned after the third treatment step is steam-cleaned with hydrocarbon-based steam. And a fourth processing step of evaporating and drying the hydrocarbon solvent attached to the object to be cleaned.
【請求項2】 前記第3処理工程および第4処理工程
を、密閉可能な洗浄・乾燥槽に被洗浄物を装入して真空
雰囲気下で行うことを特徴とする請求項1に記載の洗浄
方法。
2. The cleaning according to claim 1, wherein the third processing step and the fourth processing step are performed in a vacuum atmosphere by charging an object to be cleaned into a sealable cleaning / drying tank. Method.
【請求項3】 前記第3処理工程を大気圧下で行い、前
記第4処理工程を、密閉可能な洗浄・乾燥槽に被処理物
を装入して真空雰囲気下で行うことを特徴とする請求項
1に記載の洗浄方法。
3. The method according to claim 1, wherein the third processing step is performed under atmospheric pressure, and the fourth processing step is performed in a vacuum atmosphere by charging an object to be processed into a sealable washing / drying tank. The cleaning method according to claim 1.
【請求項4】 第1処理工程における水系洗浄液中に、
アルカリ性、中性、酸性等の洗剤を混入していることを
特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄方法。
4. The aqueous cleaning solution in the first treatment step,
The cleaning method according to any one of claims 1 to 3, wherein a detergent such as an alkaline, neutral, or acidic detergent is mixed.
【請求項5】 第1処理工程における水系洗浄液が80
℃以下に加熱されていることを特徴とする請求項1〜4
のいずれかに記載の洗浄方法。
5. The method according to claim 1, wherein the aqueous cleaning liquid in the first treatment step is 80%.
5. Heated at a temperature of not more than ℃.
The washing method according to any one of the above.
【請求項6】 第1処理工程および/又は第2処理工程
は被洗浄物を槽に装入して行うとともに、この槽内にお
ける被洗浄物に対して超音波振動又は振動のいずれか一
方又は双方を付与することを特徴とする請求項1〜5の
いずれかに記載の洗浄方法。
6. The first processing step and / or the second processing step are performed by charging an object to be cleaned into a tank, and applying one of ultrasonic vibration and vibration to the object to be cleaned in the tank. The cleaning method according to claim 1, wherein both are applied.
【請求項7】 第1処理工程は水系洗浄液を貯留してい
る複数の洗浄槽のそれぞれに被洗浄物を装入して当該液
中に浸漬して行うことを特徴とする請求項1〜6のいず
れかに記載の洗浄方法。
7. The first processing step is performed by charging an object to be cleaned into each of a plurality of cleaning tanks storing an aqueous cleaning liquid and immersing the cleaning object in the liquid. The washing method according to any one of the above.
【請求項8】 第2処理工程は水が多段向流方式で流下
する複数の水リンス槽のそれぞれに被洗浄物を装入して
当該水に浸漬して行うことを特徴とする請求項1〜7の
いずれかに記載の洗浄方法。
8. The method according to claim 1, wherein the second treatment step is performed by charging an object to be cleaned into each of a plurality of water rinsing tanks in which water flows down in a multi-stage countercurrent system and immersing the objects in the water. The cleaning method according to any one of claims 1 to 7.
【請求項9】 請求項1〜3における第3処理工程又は
第4処理工程に使用する炭化水素は、水と油の両方に溶
ける両親水性の炭化水素洗浄剤を使用することを特徴と
する請求項1〜8のいずれかに記載の洗浄方法。
9. The hydrocarbon used in the third treatment step or the fourth treatment step in claim 1, wherein an amphiphilic hydrocarbon detergent soluble in both water and oil is used. Item 9. The cleaning method according to any one of Items 1 to 8.
【請求項10】 請求項9に記載の炭化水素洗浄剤は、
イソプレン系グリコールエーテル又は界面活性剤・アル
コール入りの炭化水素洗浄剤であることを特徴とする洗
浄方法。
10. The hydrocarbon detergent according to claim 9,
A cleaning method characterized by being a hydrocarbon cleaning agent containing isoprene-based glycol ether or a surfactant / alcohol.
【請求項11】 水系洗浄液により被洗浄物を脱脂処理
する第1処理部と、水により被処理物をリンス処理する
第2処理部と、被処理物に付着の水を切り炭化水素液に
置換する第3処理部と、炭化水素系蒸気により蒸気洗浄
した後、被洗浄物に付着している炭化水素溶剤を蒸発し
て乾燥処理する第4処理部と、を備えていることを特徴
とする洗浄装置。
11. A first processing unit for degreasing an object to be cleaned with an aqueous cleaning liquid, a second processing unit for rinsing the object to be cleaned with water, and removing water adhering to the object to be replaced with a hydrocarbon liquid. And a fourth processing unit for performing a steam cleaning with hydrocarbon-based steam and a drying process by evaporating a hydrocarbon solvent attached to the object to be cleaned. Cleaning equipment.
【請求項12】 第1〜4処理部はいずれも槽によって
構成されていることを特徴とする請求項11に記載の洗
浄装置。
12. The cleaning apparatus according to claim 11, wherein each of the first to fourth processing units is constituted by a tank.
【請求項13】 第3処理部および第4処理部は密閉可
能な洗浄・乾燥槽によって構成されており、これら槽内
を真空雰囲気下にする真空排気手段が備えられているこ
とを特徴とする請求項11又は12に記載の洗浄装置。
13. The third processing section and the fourth processing section are constituted by sealable washing / drying tanks, and are provided with vacuum exhaust means for evacuating these tanks to a vacuum atmosphere. The cleaning device according to claim 11.
【請求項14】 第3処理部は大気開放可能な洗浄・乾
燥槽によって構成されており、第4処理部は密閉可能な
洗浄・乾燥槽によって構成されており、この槽内を真空
雰囲気下にする真空排気手段が備えられていることを特
徴とする請求項11又は12に記載の洗浄装置。
14. The third processing section is constituted by a washing / drying tank which can be opened to the atmosphere, and the fourth processing section is constituted by a washing / drying tank which can be closed, and the inside of the tank is kept under a vacuum atmosphere. The cleaning apparatus according to claim 11, further comprising a vacuum evacuation unit that performs the cleaning.
【請求項15】 第1処理部を構成する第1処理槽に
は、これに収容している水系洗浄液を加熱するヒーター
手段が備えられていることを特徴とする請求項11〜1
4のいずれかに記載の洗浄装置。
15. The first processing tank constituting the first processing section is provided with a heater means for heating the aqueous cleaning liquid contained in the first processing tank.
5. The cleaning device according to any one of 4.
【請求項16】 第2処理部を構成する第2処理槽は複
数の槽を並設してなり、各槽には水が多段向流方式で流
下することを特徴とする請求項11〜15のいずれかに
記載の洗浄装置。
16. The second processing tank constituting the second processing section is composed of a plurality of tanks arranged side by side, and water flows down to each tank in a multi-stage countercurrent system. The cleaning device according to any one of the above.
【請求項17】 第1処理部および第2処理部を構成す
る第1・2処理槽にはこれら槽内における被洗浄物に対
して超音波振動又は振動のいずれか一方又は双方を付与
する超音波振動付与手段および/又は振動付与手段が備
えられていることを特徴とする請求項11〜16のいず
れかに記載の洗浄装置。
17. A first and second processing tanks constituting a first processing unit and a second processing unit, each of which is provided with an ultrasonic vibration and / or vibration applied to an object to be cleaned in these tanks. The cleaning device according to any one of claims 11 to 16, further comprising a sonic vibration applying means and / or a vibration applying means.
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