JP2002013649A - 流路連通遮断装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 摩耗、劣化し難く丈夫な構成で且つ弁体
の両面に作用する圧力差に基づいて弁体に作用する差圧
力の小さな流路連通遮断装置を提供すること。 【解決手段】 第１弁体（２７）および第２弁体（２
９）が前記第１連通孔（３ａ）および第２連通孔（４
ａ）を閉塞して流路を遮断する遮断位置と流路を連通さ
せる連通位置との間で前記弁体（Ｖ）および弁体支持軸
（１２）を回動させるように、前記弁体支持軸（１２）
の外端部に連結された弁体回動装置と、弁体（Ｖ）が前
記遮断位置にあるときに前記仕切壁（２）の一面側およ
び他面側の圧力差により第１弁体（２７）に作用する力
である差圧力が前記弁体（Ｖ）を回動させる力の向き
と、第２弁体（２９）に作用する差圧力が前記弁体
（Ｖ）を回動させる力の向きとが互いに逆向きとなるよ
うに配置された前記第１弁体（２７）および第２弁体
（２９）とを備えた流路連通遮断装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、筒壁内部に形成さ
れた流体の流路を連通させたり、遮断したりするための
流路連通遮断装置に関する。本発明の流路連通遮断装置
は、気体や液体等の流路を連通させたり遮断したりする
際に使用可能であるが、特に、半導体製造装置で使用さ
れる気体の流路を連通させたり遮断したりする際等に好
適に使用することができる。

【０００２】

【従来の技術】前記流路連通遮断装置として次の技術
（Ｊ01）〜（Ｊ04）が従来公知である。 （Ｊ01）バタフライバルブ 図２２は従来のバタフライバルブの説明図である。図２
２において、流路Ａを形成する筒壁０１に回転可能に支
持された弁体支持軸０２には、円板状の弁体０３が連結
されている。弁体支持軸０２および弁体０３を回動させ
ることにより前記流路Ａを開閉可能である。

【０００３】（Ｊ02）アングルバルブ 図２３は従来のアングルバルブの説明図で、図２３Ａは
手動式アングルバルブを示す図、図２３Ｂは空気圧作動
式アングルバルブを示す図である。図２３Ａにおいて、
ハンドル０５が上端に連結されたスクリューシャフト０
６は、蓋０７のメスネジに螺合し貫通している。スクリ
ューシャフト０６の下端には弁体０９が相対回転可能且
つ軸方向への相対移動不能に連結されている。前記蓋シ
ール０８および前記弁体０９の間にはベローズ０１１が
配置されている。したがって、前記ハンドル０５を回転
させると、スクリューシャフト０６は回転しながら上下
に移動し、スクリューシャフト０６の上下移動時には弁
体０９は回転せずに前記ベローズ０１１を伸縮させなが
ら上下移動する。前記弁体０９の下面には弁座シール０
１２が設けられており、弁座シール０１２は弁座０１３
に押圧された状態（図２３Ａの状態）では流路Ａ１およ
びＡ２を遮断し、弁座０１３から離れた状態では流路Ａ
１およびＡ２を連通させる。図２３Ｂにおいて、前記図
２３Ａのハンドル０５の代わりにピストン０１４および
シリンダ０１５が設けられている。前記シリンダ０１５
の上端または下端にエアを供給することによりピストン
０１４を上下移動させて、弁体０９を上下移動させ、流
路Ａ１，Ａ２を遮断または連通させるように構成されて
いる。

【０００４】（Ｊ03）ゲートバルブ 図２４は従来のゲートバルブの説明図で、図２４Ａは開
放状態を示す図、図２４Ｂは閉塞状態を示す図である。
図２４Ａ、図２４Ｂにおいて、前進後退可能な操作ロッ
ド０１６の前端部には弁体支持部材０１７が連結されて
おり、弁体支持部材０１７にはリンク０１８を介して弁
体０１９が連結されている。操作ロッド０１６を前進さ
せると、弁体０１９の前端がローラ０２１に当接し前進
不能となる。その状態でさらに操作ロッド０１６および
弁体支持部材０１７を前進させると、リンク０１８がそ
の下端を中心に回動して弁体０１９を持ち上げる。弁体
０１９の上面の弁座シール０２２が弁座０１３に押圧さ
れて、流路Ａ１，Ａ２が遮断される。

【０００５】（Ｊ04）振子式高真空バルブ 図２５は振子式高真空バルブの説明図で、図２５Ａは開
放状態を示す図、図２５Ｂは閉塞状態を示す図である。
図２５において、弁体０２６は回動軸０２７に連結され
ている。回動軸０２７の下端にはギヤ０２８が形成され
ており、ギヤ０２８はラック０２９に噛み合っている。
ラック０２９はエアシリンダ０３１のピストン０３２の
進退移動に連動して移動し、ラック０２９の移動時にギ
ヤ０２８および弁体０２６が回動する。弁体０２６が流
路Ａ１，Ａ２を横切る位置に回動した状態（図２５Ａ、
図２５Ｂに示す状態）で、ロッキング用エアシリンダ０
３３によりロッキングリング０３４を降下させると、ロ
ッキングリング０３４が弁体０２６に押圧され、流路Ａ
１および流路Ａ２が遮断される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術（Ｊ01）
のバタフライバルブでは次の問題点（１）〜（３）があ
る。 （１）可動弁が閉まるときに、可動弁の外周に装着され
たＯリングがハウジングとの間でこすられるため、脱落
し易い。脱落し難くするためＯリングのつぶし代を少な
くすると流路遮断性能が低下する。 （２）開閉時Ｏリングがこすられて摩耗劣化するため短
時間でＯリング交換が必要となる。 （３）開閉時にＯリングがこすられてパーティクルが発
生する。

【０００７】また、前記従来技術（Ｊ02）〜（Ｊ04）の
弁体には、その一面側に高圧が作用し他面側に低圧が作
用しており、両面に作用する圧力差が高くなるに従っ
て、前記圧力差により弁体には大きな力（差圧力）が作
用することになる。この場合、弁体を開閉させるための
弁体駆動力には前記差圧力以上の大きな力（弁体操作力
または駆動力）が必要になる。

【０００８】また、半導体ウエハの製造装置では、半導
体ウエハの微細化が進み、最近は０.１８μｍの設計ル
ールでの量産が開始されているが、微細化の傾向は益々
加速されてきている。微細化の促進と同時にウエハの大
口径化が促進されているため、ガス流量の大流量化が加
速され、排気系は益々大型化の傾向にある。微細化の加
速は加工技術の進歩を加速し、真空チャンバ内の状態
（コンディション）をいかに安定させ、再現性をいかに
保てるかが必要となる。真空チャンバ内の状態安定化
（真空状態の安定化すなわち、真空状態の気圧制御）を
行うために、ガス流量や、排気速度等を前記真空バルブ
の弁体の開度の調節により行う場合がある。このような
場合、信頼性が高く、小型、低価格の真空バルブが必要
とされている。この場合、弁体の両面の圧力差が大きい
と、前記圧力差により弁体に作用する力（差圧力）が大
きくなり、弁体を所定の開度に制御するための弁体駆動
力には、前記差圧力より大きな駆動力が必要となる。前
述のように、従来技術（Ｊ02）〜（Ｊ04）では、弁体の
両面の圧力差が大きいと圧力差により弁体に作用する力
（差圧力）が大きくなるために、弁体駆動力が大きい装
置（弁体回動装置）が必要となる。その場合、弁体回動
装置が大型となりコスト高になるという問題点が生じ
る。また、弁体を手動で作動させる場合には大きな操作
力が必要となる。

【０００９】本発明は前述の検討結果に鑑み、下記の記
載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。 （Ｏ01）摩擦接触によるパーティクルの発生が少なく且
つ摩耗、劣化し難く丈夫な構成の流路連通遮断装置を提
供すること。 （Ｏ02）弁体の両面に作用する圧力差に基づいて弁体に
作用する回動力の小さな流路連通遮断装置を提供するこ
と。

【００１０】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。な
お、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【００１１】（第１発明）前記課題を解決するために第
１発明の流路連通遮断装置は、下記の要件（Ａ01）〜
（Ａ05）を備えたことを特徴とする、（Ａ01）筒壁
（１）内部に形成される流路を遮断する状態で前記筒壁
（１）に支持されるとともに第１連通孔（３ａ）および
第２連通孔（４ａ）を有する仕切壁（２）、（Ａ02）前
記筒壁（１）を気密に貫通し且つ前記仕切壁（２）の一
面側に沿って配置された回転可能な弁体支持軸（１
２）、（Ａ03）前記弁体支持軸（１２）に連結されて前
記仕切壁（２）の一面側から前記第１連通孔（３ａ）を
開閉する第１弁体（２７）と前記第１連通孔（３ａ）を
貫通する連結部材（２８）に連結され且つ前記仕切壁
（２）の他面側から前記第２連通孔（４ａ）を開閉する
第２弁体（２９）とを有する弁体（Ｖ）、（Ａ04）前記
第１弁体（２７）および第２弁体（２９）が前記第１連
通孔（３ａ）および第２連通孔（４ａ）を閉塞して前記
流路を遮断する遮断位置と、連通させる連通位置との間
で前記弁体（Ｖ）および弁体支持軸（１２）を回動させ
るように、前記弁体支持軸（１２）の外端部に連結され
た弁体回動装置（３３〜５３；３３〜５１，５６〜６
２）、（Ａ05）前記弁体（Ｖ）が前記遮断位置にあると
きに前記仕切壁（２）の一面側および他面側の圧力差に
より第１弁体（２７）に作用する力である差圧力が前記
弁体（Ｖ）を回動させる力の向きと、第２弁体（２９）
に作用する差圧力が前記弁体（Ｖ）を回動させる力の向
きとが互いに逆向きとなるように配置された前記第１弁
体（２７）および第２弁体（２９）。

【００１２】前記第１発明の流路連通遮断装置におい
て、前記「第１連通孔（３ａ）」および「第２連通孔
（４ａ）」はそれぞれ１個以上設けることが可能であ
る。また、「第１連通孔（３ａ）」および「第２連通孔
（４ａ）」の流路断面積は任意の大きさに調節すること
が可能であり、例えば、「第１連通孔（３ａ）」および
「第２連通孔（４ａ）」の流路断面積をほぼ同一にする
ことも可能である。前記「第１連通孔（３ａ）」および
「第２連通孔（４ａ）」の流路断面積を調節することに
より弁体（Ｖ）両面の圧力差により「弁体（Ｖ）」およ
び「弁体支持軸（１２）に作用する力（差圧力）を調節
ことができる。この場合、弁体（Ｖ）を回動させるため
に必要な弁体駆動力または弁体操作力の必要な大きさを
非常に小さくすることが可能となる。

【００１３】（第１発明の作用）前記構成を備えた第１
発明の流路連通遮断装置では、第１連通孔（３ａ）およ
び第２連通孔（４ａ）を有する仕切壁（２）は、筒壁
（１）内部に形成される流路を遮断する状態で筒壁
（１）に支持される。前記仕切壁（２）の一面側に沿っ
て配置された回転可能な弁体支持軸（１２）は、前記筒
壁（１）を気密に貫通する。前記弁体支持軸（１２）に
連結された弁体（Ｖ）の第１弁体（２７）は、前記弁体
支持軸（１２）の回転時に前記仕切壁（２）の一面側か
ら前記第１連通孔（３ａ）を開閉し、前記第１連通孔
（３ａ）を貫通する連結部材（２８）に連結された第２
弁体（２９）は、前記仕切壁（２）の他面側から前記第
２連通孔（４ａ）を開閉する。前記弁体支持軸（１２）
の外端部に連結された弁体回動装置（３３〜５３）は、
前記第１弁体（２７）および第２弁体（２９）が前記第
１連通孔（３ａ）および第２連通孔（４ａ）を閉塞して
前記流路を遮断する遮断位置と、連通させる連通位置と
の間で前記弁体（Ｖ）および弁体支持軸（１２）を回動
させる。前記弁体（Ｖ）が前記遮断位置にあるときに前
記仕切壁（２）の一面側および他面側の圧力差により第
１弁体（２７）に作用する力である差圧力が前記弁体
（Ｖ）を回動させる力の向きと、第２弁体（２９）に作
用する差圧力が前記弁体（Ｖ）を回動させる力の向きと
は互いに逆向きとなる。前記仕切壁（２）の一面側およ
び他面側の圧力差に基づく差圧力により弁体（Ｖ）に作
用する回動力は、前記逆向きの力が相殺されるために小
さくなる。このため、弁体（Ｖ）を開閉制御するために
必要な駆動力または操作力の大きさを小さくすることが
できる。

【００１４】（第２発明）また、第２発明の流路連通遮
断方法は、下記の要件（Ｂ01）を備えたことを特徴とす
る、（Ｂ01）筒壁（１）内部に形成される流路を遮断す
る状態で前記筒壁（１）に支持されるとともに第１連通
孔（３ａ）および第２連通孔（４ａ）を有する仕切壁
（２）の一面側に沿って配置された回転可能な弁体支持
軸（１２）と一体的に回動する第１弁体（２７）および
第２弁体（２９）をそれぞれ前記仕切壁（２）の一面側
および他面側に配置するとともに、前記仕切壁（２）の
一面側と他面側との圧力差により一方の弁体が前記連通
孔を遮断する位置に移動する方向の力を受け且つ他方の
弁体が前記連通孔を連通させる位置に移動する方向の力
を受けるように前記両弁体を配置し、前記弁体支持軸
（１２）を回動させることにより前記第１弁体（２７）
を前記仕切壁（２）の一面側から前記第１連通孔（３
ａ）に接近離隔させるとともに前記第２弁体（２９）を
前記仕切壁（２）の他面側から前記第２連通孔（４ａ）
に接近離隔させて、前記第１連通孔（３ａ）および第２
連通孔（４ａ）を同時に連通または遮断させる流路連通
遮断方法。

【００１５】（第２発明の作用）前記構成を備えた第２
発明の流路連通遮断方法では、第１連通孔（３ａ）およ
び第２連通孔（４ａ）を有する仕切壁（２）は、筒壁
（１）内部に形成される流路を遮断する状態で前記筒壁
（１）に支持される。前記弁体支持軸（１２）を回動さ
せることにより前記第１弁体（２７）を前記仕切壁
（２）の一面側から前記第１連通孔（３ａ）に接近離隔
させるとともに前記第２弁体（２９）を前記仕切壁
（２）の他面側から前記第２連通孔（４ａ）に接近離隔
させて、前記第１連通孔（３ａ）および第２連通孔（４
ａ）を同時に連通または遮断する。前記両弁体（２７，
２９）は、前記一面側と他面側との圧力差により一方の
弁体（２７または２９）が前記連通孔（３ａまたは４
ａ）を遮断する位置に移動する方向の力を受け且つ他方
の弁体（２９または２７）が前記連通孔（４ａまたは３
ａ）を連通させる位置に移動する方向の力を受けるの
で、前記両弁体（２７または２９）に作用する力（差圧
力）は、弁体（Ｖ）を互いに逆方向に回動させる力とな
る。前記逆方向の回動力は相殺されるため、前記一面側
と他面側との圧力差により前記両弁体（２７，２９）を
介して弁体（Ｖ）が受ける回動力は小さくなる。したが
って、弁体（Ｖ）を開閉制御するために必要な駆動力ま
たは操作力の大きさを小さくすることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】（実施例）次に図面を参照しなが
ら、本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明する
が、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面にお
いて、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下
方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−
Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右
方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左
側、上側、下側とする。また、図中、「○」の中に
「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印
を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面
の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。

【００１７】（実施例１）図１は本発明の流路連通遮断
装置の実施例１の全体説明図で、図１Ａは平面半断面図
で図１ＢのＩＡ−ＩＡ線断面図、図１Ｂは前記図１Ａの
矢印１Ｂから見た半断面図である。図２は同実施例１の
全体説明図で、図２Ａは前記図１ＢのIIＡ−IIＡ線断面
図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ−IIＢ線断面図である。
図３は前記図１ＢのIII−III線矢印から見た図である。
図１Ｂ、図２Ａ、図３において、真空バルブ装置Ｕは、
円筒形のハウジングＨおよびその上下両端面に連結され
フランジＦ，Ｆを有している。

【００１８】図４は真空バルブ装置の円筒状のハウジン
グの説明図で、図４Ａは上面図、図４Ｂは前記図４Ａの
IＶＢ−IＶＢ線断面図、図４Ｃは前記図４ＡのIＶＣ−I
ＶＣ線断面図である。図５は真空バルブのハウジングの
説明図で、図５Ａは前記図４Ａの矢印ＶＡから見た図、
図５Ｂは下面図で前記図５Ａの矢印ＶＢから見た図であ
る。図４、図５等において前記円筒形のハウジングＨ
は、円筒壁１と仕切壁２を有している。円筒壁１の前部
（Ｘ側部分）には、その外側面に平坦な操作部材装着面
１ａが形成されており、また、前後方向（Ｘ軸方向）に
延びる軸貫通孔１ｂが形成されている。また、円筒壁１
の後部（−Ｘ側部分）には軸端収容孔１ｃが形成されて
いる。前記円筒壁１の上面および下面にはリング状のＯ
リング溝１ｄおよび１ｅが形成されている。また、円筒
壁１には上下に貫通する６本のネジ孔１ｆが形成されて
いる。

【００１９】ハウジングＨの前記仕切壁２は、中央部で
連結された上部仕切壁３および下部仕切壁４を有してい
る。図４Ａ、図４Ｃにおいて、上部仕切壁３の上面は下
部仕切壁４の上面よりも高い位置に形成されている。図
４Ｃにおいて、上部仕切壁３および下部仕切壁４の境界
部の上面には段差が形成されており、下部には傾斜面２
ａ（図４Ｃ、図５Ｂ参照）が形成されている。図４Ａ、
図４Ｃにおいて、上部仕切壁３および下部仕切壁４には
それぞれ仕切壁２の上下を連通させる第１連通孔３ａお
よび第２連通孔４ａが形成されており、前記第１連通孔
３ａおよび第２連通孔４ａの開口面積は同一に設定され
ている。前記各連通孔３ａおよび４ａの周囲にはそれぞ
れＯリング溝３ｂおよび４ｂが形成されている。図４
Ｃ、図５Ｂから分かるように、前記傾斜面２ａの下端
は、下部仕切壁４の下面に形成された凹部４ｃに接続し
ている。

【００２０】図６はハウジングの上面および下面に固定
されるフランジＦの説明図で、図６Ａは前記図４、図５
のハウジング上面に固定されるフランジの上面図、図６
Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。図６に
おいてフランジＦは、ハウジングＨの上端面または下端
面に連結される円筒状のハウジング連結部６と、円筒壁
７と、他の円筒状の流路形成部材（図示せず）にカップ
リング（図示せず）を用いて連結される連結用フランジ
部８とを有している。ハウジング連結部６の外周面には
平坦な操作部材装着面６ａが形成されており、また、ハ
ウジング連結部６には６本のネジ貫通孔６ｂが形成さ
れ、そのうちの３個のネジ貫通孔６ｂにはネジ頭部収容
孔６ｃとが形成されている。図１、図３から分かるよう
に、前記操作部材装着面１ａおよび６ａは同一平面上に
存在するように形成されている。連結用フランジ８には
リング状凹溝８ａが形成されており、リング状凹溝８ａ
には、図１Ｂ、図２Ａに示す連結用リング９が嵌合し、
連結用リング９の外周にはＯリング１０が嵌合する。前
記連結用フランジ８および図示しない円筒状の流路形成
部材のフランジ（連結用フランジ８と同様の形状を有す
るフランジ）は、前記連結用リング９およびＯリング１
０を挟んで図示しないカップリングにより連結される。
なお、このようなカップリングは従来公知である。

【００２１】図７は弁体支持軸の説明図で、図７Ａは弁
体支持軸の平面図、図７Ｂは弁体支持軸およびその外端
部に連結された弁体回動装置の側面図である。図７にお
いて、弁体支持軸１２は、その上面に平坦な弁体連結部
１２ａが形成されており、弁体連結部１２ａには３個の
弁体連結用ネジ孔１２ｂが形成されている。前記弁体支
持軸１２の前端部（Ｘ端部）には大径の前端Ｏリング装
着部１２ｃおよびその前端側に設けた小径の前端ベアリ
ング装着部１２ｄが形成されている。前記前端Ｏリング
装着部１２ｃおよび前端ベアリング装着部１２ｄは前記
ハウジングＨ（図１Ｂ参照）の軸貫通孔１ｂ（図４Ｂ、
図７参照）に収容される部分である。前端ベアリング装
着部１２ｄの前端部（Ｘ端部）には、対向する側面を切
削して形成した一対の平坦面を有する揺動部材装着部１
２ｅが設けられている。弁体支持軸１２の後端部（−Ｘ
端部）には小径の後端Ｏリング装着部１２ｆおよびその
後端側に設けられ且つ前記後端Ｏリング装着部１２ｆよ
りもさらに小径の後端ベアリング装着部１２ｇが形成さ
れている。前記後端Ｏリング装着部１２ｆおよび後端ベ
アリング装着部１２ｇは前記ハウジングＨの軸端収容孔
１ｃ（図４Ｂ参照）に収容される部分である。

【００２２】図１Ｂ、図７Ｂにおいて、前端Ｏリング装
着部１２ｃには前方（Ｘ方向）に向かって順次、テフロ
ン（登録商標）リング１３，１４とＯリング１５，１５
とが交互に装着されている。前端ベアリング装着部１２
ｄには前方（Ｘ方向）に向かって順次、テフロンリング
１６とベアリング１７とが装着されている。図７Ａ、図
７Ｂにおいて後端Ｏリング装着部１２ｆには後方（−Ｘ
方向）に向かって順次、テフロンリング１８、Ｏリング
１９が装着されている。後端ベアリング装着部１２ｇに
は後方（−Ｘ方向）に向かって順次、テフロンリング２
０、ベアリング２１が装着されている。図８はベアリン
グ抜け止めプレートの説明図である。図８、図７Ｂにお
いて、ベアリング抜け止めプレート２３はＵ字型の部材
であり、操作部材装着面１ａ（図３、図５Ａ参照）にネ
ジで固定されており、図７Ｂに示すベアリング１７が軸
貫通孔１ｂ（図７Ａ、図１参照）から前方（Ｘ方向）に
離脱するのを防止する。

【００２３】図９は第１弁体部材の説明図で、図９Ａは
前面図で前記図２Ａと同方向から見た図、図９Ｂは下面
図で前記図９Ａの矢印IＸＢから見た図である。図１０
は第２弁体の説明図で、図１０Ａは前面図で前記図２Ａ
と同方向から見た図、図１０Ｂは下面図で前記図１０Ａ
の矢印ＸＢから見た図である。前記図２Ａにおいて弁体
Ｖは、第１弁体部材２６を有している。図２Ａ、図９に
おいて、第１弁体部材２６は、板状の第１弁体２７と第
１弁体２７の下面に一体的に形成された３個の連結部材
２８とを有している。第１弁体２７には、前記弁体支持
軸１２の弁体連結部１２ａに形成された３個の弁体連結
用ネジ孔１２ｂ（図７Ａ参照）に対応して、３個のネジ
貫通孔２７ａが形成されている。第１弁体２７の下面に
２点鎖線で示した領域２７ｂは、前記Ｏリング溝３ｂ
（図４Ｃ参照）に装着されたＯリング（図示せず）に圧
接する領域である。前記３個の連結部材２８にはそれぞ
れネジ孔２８ａが形成されている。

【００２４】図１０において、第２弁体２９は板状の部
材であり、第２弁体２９には、前記３個の連結部材２８
のネジ孔２８ａに対応して、３個のネジ貫通孔２９ａが
形成されている。前記各ネジ貫通孔２９ａを貫通する連
結ネジ３０（図２Ａ参照）により連結部材２８および第
２弁体２９が連結されている。第２弁体２９に２点鎖線
で示した領域２９ｂは、前記Ｏリング溝４ｂ（図４Ｃ参
照）に装着されたＯリング（図示せず）に圧接する領域
（第２弁体２９の上面ｋ領域）である。前記弁体Ｖ（図
２Ａ参照）は前記第１弁体２７および連結部材２８を有
する第１弁体部材２６と、第２弁体２９とそれらを連結
する３本の連結ネジ３０とにより構成されている。前記
弁体Ｖ（図２Ａ参照）は、前記３個のネジ貫通孔２７ａ
（図９Ａ参照）を貫通し且つ前記弁体支持軸１２の３個
の弁体連結用ネジ孔１２ｂ（図７Ａ参照）に螺合する３
本のネジ３１（図２Ａに１本図示）により、前記弁体支
持軸１２に連結されている。したがって、前記弁体Ｖ
は、弁体支持軸１２の回転により図２Ａに実線で示す閉
塞位置（連通孔３ａ，４ａを閉塞する位置、すなわち、
流路を遮断する遮断位置）と２点鎖線で示す開放位置
（連通孔３ａ，４ａが仕切壁２の両側を連通させる連通
位置）との間で回動可能である。なお、第１弁体２７は
仕切壁２の上面側で回動して閉塞位置（遮断位置）にお
いては仕切壁２の上面に押圧され、第２弁体２９は仕切
壁２の下面側で回動して閉塞位置（遮断位置）において
は仕切壁２の下面に押圧される。

【００２５】図１１は前記図７の弁体支持軸１２の前端
の揺動部材装着部１２ｅに装着されて固定される揺動部
材３３の説明図で、図１１Ａは前記図７Ｂと同方向から
見た図、図１１Ｂは揺動部材の前面図で前記図１１Ａの
矢印ＸIＢから見た図、図１１Ｃは揺動部材の後面図で
前記図１１Ａの矢印ＸIＣから見た図である。図１１、
図７Ｂにおいて、揺動部材３３は、その後端部に長円孔
３３ａが形成されており、長円孔３３ａには弁体支持軸
１２の前端（Ｘ端）の一対の平坦な切削面を有する揺動
部材装着部１２ｅが嵌合して回転不能に連結される。前
記揺動部材３３の前端面にはローラ嵌合溝３３ｂが形成
されており、ローラ嵌合溝３３ｂと長円孔３３ａとの間
にはネジ収容孔３３ｃが形成されている。前記長円孔３
３ａが前記揺動部材装着部１２ｅに嵌合した状態で、揺
動部材３３と弁体支持軸１２とは連結ネジ３４（図７Ｂ
参照）により連結される。

【００２６】図１２は前記操作部材装着面１ａに連結さ
れる操作部材支持枠の分解斜視図である。図１３は操作
部材装着面１ａに連結される後側プレート３６の説明図
で、図１３Ａは前面（Ｘ面）図、図１３Ｂは前記図１３
Ａの矢印ＸIIＢから見た図である。図１４は前記図１３
の後側プレートの前方（Ｘ方向）に所定間隔離れて配置
される前側プレート３７の説明図で、図１４Ａは前面
（Ｘ面）図、図１４Ｂは左側面（−Ｙ側面）図で前記図
１４Ａの矢印ＸIＶＢから見た図、図１４Ｃは下面（−
Ｚ面）図で前記図１４Ａの矢印ＸIＶＣから見た図、で
ある。図１５は前記図１３の後側プレート３６および図
１４の前側プレート３７間を連結する左側プレート３８
の説明図で、図１５Ａは左側面（−Ｙ側面）図、図１５
Ｂは前面（Ｘ面）図で前記図１５Ａの矢印ＸＶＢから見
た図、図１５Ｃは後面（−Ｘ面）図で前記図１５Ａの矢
印ＸＶＣから見た図、である。図１６は前記図１３の後
側プレート３６および図１４の前側プレート３７間を連
結する右側プレート３９の説明図で、図１６Ａは左側面
（−Ｙ側面）図、図１６Ｂは後面（−Ｘ面）図で前記図
１６Ａの矢印ＸＶIＢから見た図である。

【００２７】図１、図７Ｂ、図１２において、操作部材
支持枠Ｃは、前記操作部材装着面１ａに連結される後側
プレート３６と、前記後側プレート３６に対向して配置
された前側プレート３７と、前記後側プレート３６およ
び前側プレート３７間を連結する左側プレート３８（図
１Ａ、図１２参照）、右側プレート３９を有している。
図７、図１２、図１３において、後側プレート３６に
は、前記操作部材装着面１ａに固定するネジ４１，４１
（図１Ａ参照）が貫通する一対の固定ネジ貫通孔３６
ａ，３６ａと、左側プレート３８の後端（−Ｘ端）に連
結するためのネジ貫通孔３６ｂ，３６ｂと、右側プレー
ト３９の後端（−Ｘ端）に連結するためのネジ貫通孔３
６ｃ，３６ｃと、ベアリング装着孔３６ｄとが形成され
ている。なお、図１３から分かるように、ネジ貫通孔３
６ｂ，３６ｂおよび３６ｃ，３６ｃには、その後部にネ
ジ頭収容凹部が形成されている。

【００２８】図７、図１２、図１４において、前側プレ
ート３７には、左側プレート３８の前端（Ｘ端）に連結
するためのネジ貫通孔３７ａ，３７ａと、右側プレート
３９の前端（Ｘ端）に連結するためのネジ貫通孔３７
ｂ，３７ｂと、ベアリング装着孔３７ｃとが形成されて
いる。なお、図１４から分かるように、ネジ貫通孔３７
ａ，３７ａおよび３７ｂ，３７ｂには、その前部（Ｘ側
部分）にネジ頭収容凹部が形成されている。図１Ａ、図
１２、図１５において、左側プレート３８には、４個の
エアシリンダ連結用ネジ貫通孔３８ａと、１個のピスト
ンロッド貫通孔３８ｂと、前記後側プレート３６（図１
２、図１３参照）のネジ貫通孔３６ｂ，３６ｂを貫通す
る連結ネジ（図示せず）が螺合するネジ孔３８ｃ，３８
ｃと、前側プレート３７（図１２、図１４参照）の螺子
貫通孔３７ａ，３７ａを貫通する連結ネジ（図示せず）
が螺合するネジ孔３８ｄ，３８ｄとを有している。

【００２９】図７Ｂ、図１２、図１６において、右側プ
レート３９には、前記後側プレート３６（図１２、図１
３参照）のネジ貫通孔３６ｃ，３６ｃを貫通する連結ネ
ジ（図示せず）が螺合するネジ孔３９ａ，３９ａと、前
側プレート３７（図１２、図１４参照）の螺子貫通孔３
７ｂ，３７ｂを貫通する連結ネジ（図示せず）が螺合す
るネジ孔３９ｂ，３９ｂとを有している。図１２におい
て、操作部材支持枠Ｃは、前記後側プレート３６、前側
プレート３７、左側プレート３８、右側プレート３９
と、それらを連結する連結ネジにより構成されている。
前記操作部材支持枠Ｃは、前記後側プレート３６の固定
ネジ貫通孔３６ａ，３６ａ（図１３参照）を貫通する一
対の固定するネジ４１，４１（図１Ａ参照）により前記
操作部材装着面１ａに固定されている。

【００３０】図７Ｂ、図１において、後側プレート３６
のベアリング装着孔３６ｄおよび前側プレート３７のベ
アリング装着孔３７ｃにはベアリング４１を介して軸４
２が回転可能に支持されている。軸４２にはネジ４３に
より揺動レバー４４が固定されている。図１７は揺動レ
バー４４の説明図で、図１７Ａは前面（Ｘ面）図、図１
７Ｂは左側面部分断面図で前記図１７Ａの矢印ＸＶIIＢ
から見た部分断面図、図１７Ｃは上面図で前記図１７Ａ
の矢印ＸＶIIＣから見た図である。図７Ｂ、図１７にお
いて、揺動レバー４４には、前記軸４２が貫通する軸貫
通孔４４ａ、前記ネジ４３が貫通するネジ貫通孔４４
ｂ、ローラ軸装着ネジ孔４４ｃ、厚さの薄いピストンロ
ッド連結部４４ｄおよびピン貫通長孔４４ｅが形成され
ている。

【００３１】図１８は前記図１７の揺動レバー４４に装
着されるローラ軸４６の説明図で、図１８Ａは側面図で
前記図７Ｂと同方向から見た図、図１８Ｂは前面図で前
記図１８Ａの矢印ＸＶIIIＢから見た図である。図７
Ｂ、図１８において、ローラ軸４６はその前端部（Ｘ端
部）にネジ４６ａが形成されており、その後端部に円筒
状のローラ装着部４６ｂが設けられている。前記ネジ４
６ａは前記揺動レバー４４のローラ軸装着ネジ孔４４ｃ
に螺合している。前記ローラ装着部４６ｂにはローラ４
７が回転自在に支持されており、ローラ４７は前記揺動
部材３３のローラ嵌合溝３３ｂに回転可能且つスライド
可能に係合している。

【００３２】弁体Ｖに作用する仕切壁２両側の気圧差や
Ｏリングの反力等により弁体支持軸１２および揺動部材
３３には回動力が作用する。しかしながら、前記揺動部
材３３のローラ嵌合溝３３ｂの延びる方向と揺動レバー
４４の延びる方向とは、ほぼ直角に交差しているので、
前記揺動部材３３の回動力が前記揺動レバー４４を回動
させる力の成分は少なくなる。このため、揺動レバー４
４は前記弁体Ｖを閉塞する位置に容易に保持することが
できる。また、揺動部材３３の回動中心およびローラ４
７間の距離に比べて、揺動レバー４４の回動中心および
ローラ４７間の距離は長く設定されている。このため、
揺動レバー４４を回動させるのに必要な力を小さくする
ことができる。

【００３３】図１Ａにおいて、左側プレート３８には、
前記４本のエアシリンダ連結用ネジ貫通孔３８ａ（図１
２参照）を貫通する固定ネジ４８（図１Ａ参照）により
エアシリンダ４９が固定されている。図１９は前記エア
シリンダ４９（図１参照）のピストンロッド４９ａの先
端に連結される連結部材５１の説明図で、図１９Ａは上
面図、図１９Ｂは前記図１９Ａの矢印ＸIＸＢから見た
図、図１９Ｃは前記図１９Ａの矢印ＸIＸＣから見た図
である。図１Ａ、図１９において、エアシリンダ４９の
伸縮可能なピストンロッド４９ａの右端部（Ｙ端部）に
はオスネジ４９ｂ（図１９Ｂの２点鎖線参照）が形成さ
れている。

【００３４】図１９において、連結部材５１には、その
左部分に前記オスネジ４９ｂが螺合するメスネジ５１ａ
が形成されており、その右部分に前記ピストンロッド連
結部４４ｄ（図１７参照）が挿入されるロッド連結部挿
入溝５１ｂが形成されている。図１、図１９において、
前記揺動レバー４４のピストンロッド連結部４４ｄは前
記ロッド連結部挿入溝５１ｂに挿入された状態で、連結
ピン５２（図７Ｂ参照）により連結部材５１に連結され
ている。なお、連結ピン５２の両端には抜け止め用のＥ
クリップ５３，５３（図１Ｂ参照）が装着されている。
前記符号３３〜５３で示された要素により弁体回動装置
（３３〜５３）が構成されている。

【００３５】（実施例１の作用）図１、図３、図７にお
いて、前記実施例１の流路連通遮断装置は、エアシリン
ダ４９のピストンロッド４９ａを伸縮させると、揺動レ
バー４４が軸４２と一体的に回動する。このとき、揺動
レバー４４に支持されたローラ軸４６およびローラ軸４
６に回転可能に装着されたローラ４７は、揺動レバー４
４と共に揺動する。前記ローラ４７は揺動部材３３のロ
ーラ嵌合溝３３ｂに嵌合しているので、前記ローラ４７
の揺動に伴って揺動部材３３が揺動する。揺動部材３３
は弁体支持軸１２の前端に固定されているので、揺動部
材３３の揺動に伴って弁体支持軸１２が回動する。すな
わち、前記エアシリンダ４９の作動により、弁体支持軸
１２を回動させることができる。

【００３６】図２において、仕切壁２の上側が低圧で下
側が高圧の場合に弁体Ｖが遮断状態のときには、第２弁
体２９の下面および第１弁体２７の第１連通孔３ａに面
する下面に高圧が作用する。このとき、第２弁体２９の
下面に作用する高圧は弁体支持軸１２を時計方向に回動
させる力（弁体Ｖを遮断位置に回動させる力）となり、
第１弁体２７の第１連通孔３ａに面する下面に作用する
高圧は弁体支持軸１２を反時計方向に回動させる力（弁
体Ｖを連通位置に回動させる力）となる。したがって、
前記仕切壁２下側の高圧が第１弁体２７に作用して弁体
支持軸１２を回動させる力と、第２弁体２９に作用して
弁体支持軸１２を回動させる力とは、互いに反対方向と
なる。このため、弁体Ｖの両面に作用する圧力差に基づ
いて弁体Ｖおよび弁体支持軸１２を回動させようとする
力（前記圧力差により生じる回動力）が小さくなる。こ
のため、弁体Ｖを開閉制御するのに必要な駆動力（エア
シリンダ４９の出力パワー）を小さくすることができ
る。また、弁体Ｖは仕切弁２の表面にほぼ垂直な方向か
ら接近および離隔するので、仕切弁２の連通孔３ａ，４
ａ周囲に配置されＯリング溝３ｂ，４ｂに装着されたＯ
リングと弁体Ｖとが摩擦接触することがなくなる。この
ため、パーティクルの発生が少なく、また、前記Ｏリン
グの寿命の短縮が防止される。

【００３７】（実施例２）図２０は本発明の流路連通遮
断装置の実施例２の全体説明図で前記実施例１の図２に
対応する図であり、図２０Ａは前面断面図、図２０Ｂは
前記図２０ＡのＸＸＢ−ＸＸＢ線断面図である。なお、
この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素
に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細
な説明を省略する。この実施例２は、下記の点で前記実
施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同
様に構成されている。図２０においてこの実施例２の仕
切壁２は平板状に形成されており、この実施例２の仕切
壁２は、前記実施例１の上部仕切壁３および下部仕切壁
４の代わりに、第１連通孔３ａが形成された仕切壁右側
部分３および第２連通孔４ａが形成された仕切壁左側部
分４を有している。弁体支持軸１２には、第１弁体部材
２６の第１弁体２７の一端部に設けたＬ型連結部２７ａ
が連結されている。前記構成を備えた実施例２の流路連
通遮断装置は、前記実施例１と同様の作用を奏する。ま
た、この実施例２の仕切壁２は、実施例１と異なり段差
の無い平板状に形成されているので、構成が簡単で、製
作が容易である。

【００３８】（実施例３）図２１は本発明の流路連通遮
断装置の実施例３の全体説明図で、図２１Ａは前記実施
例１の図３に対応する図、図２１Ｂは同実施例３の要部
拡大図である。なお、この実施例３の説明において、前
記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符
号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施例３
は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点
では前記実施例１と同様に構成されている。図２１にお
いて、本実施例３の流路連通遮断装置は、前記実施例１
のエアシリンダ４９およびピストンロッド４９ａの代わ
りに、連結ロッド５６を有しており、連結ロッド５６の
右端部（Ｙ端部）には連結部材５１の ５１ａに螺
合するオスネジ５６ａが設けられている。また、連結ロ
ッド５６左端部（−Ｙ端部）には左端面に開口する凹部
５６ｂが形成されており、その外周面にはナット連結用
オスネジ５６ｃが形成されている。ロッド５６は左側プ
レート３８に形成されたロッドガイド孔３８ａにより左
右方向（Ｙ軸方向）に移動可能にガイドされている。

【００３９】左側プレート３８に連結されたブラケット
５７に形成したメスネジ５７ａには操作ロッド５８のオ
スネジ５８ａが螺合しており、操作ロッド５８の右端
（Ｙ端）には円板状の抜け止め部材５９がネジで固定さ
れている。また、操作ロッド５８の右端部（Ｙ端部）外
周面にはナット６１が回転可能且つスライド可能に装着
されている。前記抜け止め部材５９は連結ロッド５６左
端の凹部５６ｂに回転可能に収容され、前記ナット６１
は前記連結ロッド５６後端部のナット連結用オスネジ５
６ｃに螺合している。前記操作ロッドの左端部（−Ｙ端
部）には操作ハンドル６２が固定されている。前記符号
３３〜５１，５６〜６２で示された要素により弁体回動
装置（３３〜５１，５６〜６２）が構成されている。し
たがって、前記操作ハンドル６２を回転させると操作ロ
ッド５８が回転しながら左右方向（Ｙ軸方向）に進退移
動する。操作ロッド５８右端の抜け止め部材５９は連結
ロッド５６の凹部５６ｂ内で回転し、連結ロッド５６は
回転せずに左右に進退移動する。連結ロッド５６の左右
方向の進退移動により連結部材５１が左右に移動する。
このとき、揺動レバー４４が軸４２と一体的に揺動し、
揺動レバー４４の揺動に伴い前記実施例１と同様に前記
弁体支持軸１２が回動する。したがって、本実施例３で
は、前記実施例１がエアシリンダ４９により弁体支持軸
１２を回動させて弁体Ｖの開閉を行ったのに対して、操
作ハンドル６２を手動で回転操作することにより弁体Ｖ
の開閉を行う。

【００４０】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）前記弁体Ｖ、弁体支持軸１２、またはハウジン
グＨ等にヒータを内蔵することが可能である。また、ハ
ウジングの外側面にヒータを装着することも可能であ
る。 （Ｈ02）連結部材２８は、第１弁体２７および第２弁体
２９と別体に構成することが可能であり、また、いずれ
か一方の弁体と一体に構成することが可能である。 （Ｈ03）前記弁体Ｖの材料としては、ステンレス、アル
ミ等の金属、フッ素化合物、窒素化合物、酸素化合物、
窒素酸素化合物等を使用することが可能である。 （Ｈ04）前記各実施例の流路連通遮断装置は、種々の気
体、液体が流れる流路で使用可能である。

【００４１】

【発明の効果】前述の本発明の流路連通遮断装置は、下
記の効果（Ｅ01），（Ｅ02）を奏することができる。 （Ｅ01）摩擦接触によるパーティクルの発生が少なく且
つ摩耗、劣化し難く丈夫な構成の流路連通遮断装置を提
供することができる。 （Ｅ02）弁体の両面に作用する圧力差に基づいて弁体に
作用する回動力の小さな流路連通遮断装置を提供するこ
とができる。したがって、弁体を開閉制御するために必
要な駆動力（動力装置を使用した場合）または操作力
（手動操作の場合）を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の流路連通遮断装置の実施例１
の全体説明図で、図１Ａは平面半断面図で図１ＢのＩＡ
−ＩＡ線断面図、図１Ｂは前記図１Ａの矢印１Ｂから見
た半断面図である。

【図２】 図２は同実施例１の全体説明図で、図２Ａは
前記図１ＢのIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図２Ａ
のIIＢ−IIＢ線断面図である。

【図３】 図３は前記図１Ｂの矢印IIIから見た図であ
る。

【図４】 図４は真空バルブ装置の円筒状のハウジング
の説明図で、図４Ａは上面図、図４Ｂは前記図４ＡのI
ＶＢ−IＶＢ線断面図、図４Ｃは前記図４ＡのIＶＣ−I
ＶＣ線断面図である。

【図５】 図５は真空バルブのハウジングの説明図で、
図５Ａは前記図４Ａの矢印ＶＡから見た図、図５Ｂは下
面図で前記図５Ａの矢印ＶＢから見た図である。

【図６】 図６はハウジングの上面および下面に固定さ
れるフランジの説明図で、図６Ａは前記図４、図５のハ
ウジング上面に固定されるフランジの上面図、図６Ｂは
前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。

【図７】 図７は弁体支持軸の説明図で、図７Ａは弁体
支持軸の平面図、図７Ｂは弁体支持軸およびその外端部
に連結された弁体回動装置の側面図である。

【図８】 図８はベアリング抜け止めプレートの説明図
である。

【図９】 図９は第１弁体部材の説明図で、図９Ａは前
面図で前記図２Ａと同方向から見た図、図９Ｂは下面図
で前記図９Ａの矢印IＸＢから見た図である。

【図１０】 図１０は第２弁体の説明図で、図１０Ａは
前面図で前記図２Ａと同方向から見た図、図１０Ｂは下
面図で前記図１０Ａの矢印ＸＢから見た図である。

【図１１】 図１１は前記図７の弁体支持軸１２の前端
の揺動部材装着部１２ｅに装着されて固定される揺動部
材３３の説明図で、図１１Ａは前記図７Ｂと同方向から
見た図、図１１Ｂは揺動部材の前面図で前記図１１Ａの
矢印ＸIＢから見た図、図１１Ｃは揺動部材の後面図で
前記図１１Ａの矢印ＸIＣから見た図である。

【図１２】 図１２は前記操作部材装着面１ａに連結さ
れる操作部材支持枠の分解斜視図である。

【図１３】 図１３は操作部材装着面１ａに連結される
後側プレート３６の説明図で、図１３Ａは前面（Ｘ面）
図、図１３Ｂは前記図１３Ａの矢印ＸIIＢから見た図で
ある。

【図１４】 図１４は前記図１３の後側プレートの前方
（Ｘ方向）に所定間隔離れて配置される前側プレート３
７の説明図で、図１４Ａは前面（Ｘ面）図、図１４Ｂは
左側面（−Ｙ側面）図で前記図１４Ａの矢印ＸIＶＢか
ら見た図、図１４Ｃは下面（−Ｚ面）図で前記図１４Ａ
の矢印ＸIＶＣから見た図、である。

【図１５】 図１５は前記図１３の後側プレート３６お
よび図１４の前側プレート３７間を連結する左側プレー
ト３８の説明図で、図１５Ａは左側面（−Ｙ側面）図、
図１５Ｂは前面（Ｘ面）図で前記図１５Ａの矢印ＸＶＢ
から見た図、図１５Ｃは後面（−Ｘ面）図で前記図１５
Ａの矢印ＸＶＣから見た図、である。

【図１６】 図１６は前記図１３の後側プレート３６お
よび図１４の前側プレート３７間を連結する右側プレー
ト３９の説明図で、図１６Ａは左側面（−Ｙ側面）図、
図１６Ｂは後面（−Ｘ面）図で前記図１６Ａの矢印ＸＶ
IＢから見た図である。

【図１７】 図１７は揺動レバー４４の説明図で、図１
７Ａは前面（Ｘ面）図、図１７Ｂは左側面部分断面図で
前記図１７Ａの矢印ＸＶIIＢから見た部分断面図、図１
７Ｃは上面図で前記図１７Ａの矢印ＸＶIIＣから見た図
である。

【図１８】 図１８は前記図１７の揺動レバー４４に
装着されるローラ軸４６の説明図で、図１８Ａは側面図
で前記図７Ｂと同方向から見た図、図１８Ｂは前面図で
前記図１８Ａの矢印ＸＶIIIＢから見た図である。

【図１９】 図１９は前記エアシリンダ４９（図１参
照）のピストンロッド４９ａの先端に連結される連結部
材５１の説明図で、図１９Ａは上面図、図１９Ｂは前記
図１９Ａの矢印ＸIＸＢから見た図、図１９Ｃは前記図
１９Ａの矢印ＸIＸＣから見た図である。

【図２０】 図２０は本発明の流路連通遮断装置の実施
例２の全体説明図で前記実施例１の図２に対応する図で
あり、図２０Ａは前面断面図、図２０Ｂは前記図２０Ａ
のＸＸＢ−ＸＸＢ線断面図である。

【図２１】 図２１は本発明の流路連通遮断装置の実施
例３の全体説明図で、図２１Ａは前記実施例１の図３に
対応する図、図２１Ｂは同実施例３の要部拡大図であ
る。

【図２２】 図２２は従来のバタフライバルブの説明図
である。

【図２３】 図２３は従来のアングルバルブの説明図
で、図２３Ａは手動式アングルバルブを示す図、図２３
Ｂは空気圧作動式アングルバルブを示す図である。

【図２４】 図２４は従来のゲートバルブの説明図で、
図２４Ａは開放状態を示す図、図２４Ｂは閉塞状態を示
す図である。

【図２５】 図２５は振子式高真空バルブの説明図で、
図２５Ａは開放状態を示す図、図２５Ｂは閉塞状態を示
す図である。

【符号の説明】 Ｖ…弁体、１…筒壁、２…仕切壁、３ａ…第１連通孔、
４ａ…第２連通孔、１２…弁体支持軸、２７…第１弁
体、２８…連結部材、２９…第２弁体、（３３〜５３）
…弁体回動装置、

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H052 AA02 BA22 BA31 BA35 CA12 EA09 EA16

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた
   ことを特徴とする流路連通遮断装置、（Ａ01）筒壁内部
   に形成される流路を遮断する状態で前記筒壁に支持され
   るとともに第１連通孔および第２連通孔を有する仕切
   壁、（Ａ02）前記筒壁を気密に貫通し且つ前記仕切壁の
   一面側に沿って配置された回転可能な弁体支持軸、（Ａ
   03）前記弁体支持軸に連結されて前記仕切壁の一面側か
   ら前記第１連通孔を開閉する第１弁体と前記第１連通孔
   を貫通する連結部材に連結され且つ前記仕切壁の他面側
   から前記第２連通孔を開閉する第２弁体とを有する弁
   体、（Ａ04）前記第１弁体および第２弁体が前記第１連
   通孔および第２連通孔を閉塞して前記流路を遮断する遮
   断位置と、連通させる連通位置との間で前記弁体および
   弁体支持軸を回動させるように、前記弁体支持軸の外端
   部に連結された弁体回動装置。（Ａ05）前記弁体が前記
   遮断位置にあるときに前記仕切壁の一面側および他面側
   の圧力差により第１弁体に作用する力である差圧力が前
   記弁体を回動させる力の向きと、第２弁体に作用する差
   圧力が前記弁体を回動させる力の向きとが互いに逆向き
   となるように配置された前記第１弁体および第２弁体。
2. 【請求項２】 下記の要件（Ｂ01）を備えたことを特徴
   とする流路連通遮断方法、（Ｂ01）筒壁内部に形成され
   る流路を遮断する状態で前記筒壁に支持されるとともに
   第１連通孔および第２連通孔を有する仕切壁の一面側に
   沿って配置された回転可能な弁体支持軸と一体的に回動
   する第１弁体および第２弁体をそれぞれ前記仕切壁の一
   面側および他面側に配置するとともに、前記仕切壁の一
   面側と他面側との圧力差により一方の弁体が前記連通孔
   を遮断する位置に移動する方向の力を受け且つ他方の弁
   体が前記連通孔を連通させる位置に移動する方向の力を
   受けるように前記両弁体を配置し、前記弁体支持軸を回
   動させることにより前記第１弁体を前記仕切壁の一面側
   から前記第１連通孔に接近離隔させるとともに前記第２
   弁体を前記仕切壁の他面側から前記第２連通孔に接近離
   隔させて、前記第１連通孔および第２連通孔を同時に連
   通または遮断させる流路連通遮断方法。