JP2002011882A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JP2002011882A JP2002011882A JP2001164613A JP2001164613A JP2002011882A JP 2002011882 A JP2002011882 A JP 2002011882A JP 2001164613 A JP2001164613 A JP 2001164613A JP 2001164613 A JP2001164613 A JP 2001164613A JP 2002011882 A JP2002011882 A JP 2002011882A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構造で、記録ヘッド部の蓄熱を防止で
きるインクジェット記録ヘッドを提供する。 【構成】 ヒータ基板１には、蓄熱層２、電極３、ヒー
タ４、絶縁層５、保護層６が設けられ、その上に厚膜絶
縁層７が形成されている。ヒータ４の保護層に金属層を
用いて、この金属層を噴射ノズル口１３側に延長させて
いる。ヒータ側で発生した熱を、ヒータとノズル噴射口
の間で、インク側に放熱させることができる。
きるインクジェット記録ヘッドを提供する。 【構成】 ヒータ基板１には、蓄熱層２、電極３、ヒー
タ４、絶縁層５、保護層６が設けられ、その上に厚膜絶
縁層７が形成されている。ヒータ４の保護層に金属層を
用いて、この金属層を噴射ノズル口１３側に延長させて
いる。ヒータ側で発生した熱を、ヒータとノズル噴射口
の間で、インク側に放熱させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱によりインクを気化
させ、発生する気泡の圧力を用いてインク滴の噴射を制
御し、プリントを行なうインクジェット記録ヘッドに関
するものである。
させ、発生する気泡の圧力を用いてインク滴の噴射を制
御し、プリントを行なうインクジェット記録ヘッドに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、サーマルインクジェット記録ヘッ
ドとして、特開平１−１４８５６０号公報に記載されて
いるように、ピットを形成するための厚膜絶縁層を形成
したものが知られている。
ドとして、特開平１−１４８５６０号公報に記載されて
いるように、ピットを形成するための厚膜絶縁層を形成
したものが知られている。
【０００３】図４は、ピットを有する従来のインクジェ
ット記録ヘッドの要部の断面図である。図中、１はヒー
タ基板、２は蓄熱層、３は電極、４はヒータ、５は絶縁
層、６は保護層、７は厚膜絶縁層、８はピット、１０は
チャネル、１１はインクリザーバ、１２はチャネル基
板、１３はノズル面、１４は噴射ノズル口である。厚膜
絶縁層７は、感光性樹脂、例えば、感光性ポリイミドが
用いられ、ヒータ４の上部にピット８が形成される。ピ
ット８は、気泡の成長方向を規定するために設けられる
ものである。印字信号により、ヒータ４に通電して加熱
をすると、インク側に伝わった熱によって気泡が発生
し、インク滴を噴射する。ヒータ４への通電がオフとな
った後は、ヒータ基板１側に熱が速やかに拡散し、ヒー
タ４が冷却される。加熱面とインクとの間に成長した気
泡が消滅し、インクが加熱面上に接すると、インク側に
も放熱が行なわれる。１５は放熱を表した矢印である。
ット記録ヘッドの要部の断面図である。図中、１はヒー
タ基板、２は蓄熱層、３は電極、４はヒータ、５は絶縁
層、６は保護層、７は厚膜絶縁層、８はピット、１０は
チャネル、１１はインクリザーバ、１２はチャネル基
板、１３はノズル面、１４は噴射ノズル口である。厚膜
絶縁層７は、感光性樹脂、例えば、感光性ポリイミドが
用いられ、ヒータ４の上部にピット８が形成される。ピ
ット８は、気泡の成長方向を規定するために設けられる
ものである。印字信号により、ヒータ４に通電して加熱
をすると、インク側に伝わった熱によって気泡が発生
し、インク滴を噴射する。ヒータ４への通電がオフとな
った後は、ヒータ基板１側に熱が速やかに拡散し、ヒー
タ４が冷却される。加熱面とインクとの間に成長した気
泡が消滅し、インクが加熱面上に接すると、インク側に
も放熱が行なわれる。１５は放熱を表した矢印である。
【０００４】このように、通常、放熱は、ヒータ基板側
とインク側とに行なわれるが、ピットを形成する厚膜絶
縁層が断熱層にもなっており、放熱面積を大きくできな
いため、インク側への放熱が発生しにくい構造になって
いる。
とインク側とに行なわれるが、ピットを形成する厚膜絶
縁層が断熱層にもなっており、放熱面積を大きくできな
いため、インク側への放熱が発生しにくい構造になって
いる。
【０００５】ところで、このようなサーマルインクジェ
ット記録ヘッドにおいては、印字のために、ヒータへの
通電が繰り返されると、ヒータ基板側が蓄熱して、ヘッ
ド温度が上昇し、その影響で、発生する気泡が過大にな
り過ぎて、印字濃度が濃くなり過ぎたり、気泡が噴射ノ
ズル口からはみ出て、正常なインク滴の噴射が行なわれ
ないという問題があった。
ット記録ヘッドにおいては、印字のために、ヒータへの
通電が繰り返されると、ヒータ基板側が蓄熱して、ヘッ
ド温度が上昇し、その影響で、発生する気泡が過大にな
り過ぎて、印字濃度が濃くなり過ぎたり、気泡が噴射ノ
ズル口からはみ出て、正常なインク滴の噴射が行なわれ
ないという問題があった。
【０００６】この問題を解決するために、温度センサを
記録ヘッドに取り付けて、検出した温度が４０〜５０℃
以上になったら、印字動作を一時中断したり、冷却手段
をオンするなどの制御が行なわれている。しかし、この
ような手段を採用することによって、印字品質は保たれ
るものの、印字速度の低下や、冷却手段の設置によるコ
ストアップは避けることができない。
記録ヘッドに取り付けて、検出した温度が４０〜５０℃
以上になったら、印字動作を一時中断したり、冷却手段
をオンするなどの制御が行なわれている。しかし、この
ような手段を採用することによって、印字品質は保たれ
るものの、印字速度の低下や、冷却手段の設置によるコ
ストアップは避けることができない。
【０００７】特開平２−２５８３５２号公報には、イン
クリザーバの断面積を、熱の溜まりやすい中央部を大き
くして、インクへの熱の逃げをよくするようにし、記録
ヘッド内に温度分布が発生するのを防止しているが、こ
のような方法を適用しても、ヘッド全体の蓄熱問題を解
決することはできない。
クリザーバの断面積を、熱の溜まりやすい中央部を大き
くして、インクへの熱の逃げをよくするようにし、記録
ヘッド内に温度分布が発生するのを防止しているが、こ
のような方法を適用しても、ヘッド全体の蓄熱問題を解
決することはできない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、簡単な構造で、記録ヘッド
部の蓄熱を防止できるインクジェット記録ヘッドを提供
し、印字速度の低下を防止することを目的とするもので
ある。
情に鑑みてなされたもので、簡単な構造で、記録ヘッド
部の蓄熱を防止できるインクジェット記録ヘッドを提供
し、印字速度の低下を防止することを目的とするもので
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、繰り返しヒー
タに通電して加熱を行なってインク滴を噴射させて記録
を行なううインクジェット記録ヘッドにおいて、金属層
であるヒータの保護層をノズル側に延長させて、発生し
た熱をヒータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱さ
せるようにしたことを特徴とするものである。
タに通電して加熱を行なってインク滴を噴射させて記録
を行なううインクジェット記録ヘッドにおいて、金属層
であるヒータの保護層をノズル側に延長させて、発生し
た熱をヒータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱さ
せるようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】本発明によれば、金属層であるヒータの保護層
をノズル側に延長させたことによって、発生した熱をヒ
ータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱させること
ができ、インクへ放熱を加速させて、放熱性を向上さ
せ、蓄熱を防止することができる。
をノズル側に延長させたことによって、発生した熱をヒ
ータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱させること
ができ、インクへ放熱を加速させて、放熱性を向上さ
せ、蓄熱を防止することができる。
【００１１】したがって、繰り返しヒータに通電して加
熱を行なうと、蓄熱が発生するが、その熱が放熱する部
分をヒータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱させ
るようにしたため、熱を多く吸収したインクは噴射さ
れ、効率よく記録ヘッドを冷却することができる。
熱を行なうと、蓄熱が発生するが、その熱が放熱する部
分をヒータとノズル噴射口の間で、インク側に放熱させ
るようにしたため、熱を多く吸収したインクは噴射さ
れ、効率よく記録ヘッドを冷却することができる。
【００１２】保護層として、熱伝導の良い金属層である
ヒータの保護層をノズル側に延長すして構成としたこと
によって、簡単な構造で放熱を行なうことができる。
ヒータの保護層をノズル側に延長すして構成としたこと
によって、簡単な構造で放熱を行なうことができる。
【００１３】
【実施例】図１，図２は、本発明のインクジェット記録
ヘッドの一実施例を説明するためのもので、図１は要部
の断面図、図２は、ピット近傍の平面図である。図中、
図４と同様な部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。８は第１のピット、９は第２のピットである。
ヘッドの一実施例を説明するためのもので、図１は要部
の断面図、図２は、ピット近傍の平面図である。図中、
図４と同様な部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。８は第１のピット、９は第２のピットである。
【００１４】この実施例のインクジェット記録ヘッドの
作製工程を簡単に説明する。ヒーター基板１としてシリ
コンウェハを用い、蓄熱層２は、シリコンウェハの熱酸
化膜として形成したＳｉＯ2 層を用いる。蓄熱層２の上
に、Ｐｏｌｙ−ＳｉやＴａＡｌ等によりヒータ４を蒸着
やスパッタ等により着膜する。必要に応じて、不純物を
ドープするなどにより、所望の抵抗値に調整し、所望の
形状にパターニングする。
作製工程を簡単に説明する。ヒーター基板１としてシリ
コンウェハを用い、蓄熱層２は、シリコンウェハの熱酸
化膜として形成したＳｉＯ2 層を用いる。蓄熱層２の上
に、Ｐｏｌｙ−ＳｉやＴａＡｌ等によりヒータ４を蒸着
やスパッタ等により着膜する。必要に応じて、不純物を
ドープするなどにより、所望の抵抗値に調整し、所望の
形状にパターニングする。
【００１５】ついで、電極層としてＡｌ等を着膜し、パ
ターニングして、電極３を形成する。絶縁層５はＳｉＮ
とＰＳＧで構成し、その上に、保護層６をパターニング
する。保護層６は、キャビテーションダメージ、インク
腐食からヒータを保護するためのもので、Ｔａ等の金属
層が用いられる。保護層６は、図２に示すように、隣接
チャネルとは個別分離するようにパターニングし、第１
のピット８と第２のピット９間の底部を共通に構成し
て、保護層をノズル側に延長させる。
ターニングして、電極３を形成する。絶縁層５はＳｉＮ
とＰＳＧで構成し、その上に、保護層６をパターニング
する。保護層６は、キャビテーションダメージ、インク
腐食からヒータを保護するためのもので、Ｔａ等の金属
層が用いられる。保護層６は、図２に示すように、隣接
チャネルとは個別分離するようにパターニングし、第１
のピット８と第２のピット９間の底部を共通に構成し
て、保護層をノズル側に延長させる。
【００１６】厚膜絶縁層７は、感光性ポリイミドを用い
て形成し、フォトリソグラフィー法で第１のピット８と
第２のピット９を開口する。ピット層には、ＣＩＢＡ−
ＧＥＩＧＹ社製のＰｒｏｂｉｍｉｄｅ（登録商標）３４
８，Ｓｅｌｅｃｔｉｌｕｘ（登録商標）ＨＴＲ３−２０
０や、ドライフィルムレジスト等の感光性樹脂をスピン
コートやラミネートにより着膜し、露光、現像により所
望のピット層パターンを得る。
て形成し、フォトリソグラフィー法で第１のピット８と
第２のピット９を開口する。ピット層には、ＣＩＢＡ−
ＧＥＩＧＹ社製のＰｒｏｂｉｍｉｄｅ（登録商標）３４
８，Ｓｅｌｅｃｔｉｌｕｘ（登録商標）ＨＴＲ３−２０
０や、ドライフィルムレジスト等の感光性樹脂をスピン
コートやラミネートにより着膜し、露光、現像により所
望のピット層パターンを得る。
【００１７】一方、チャネル基板１２は、（１００）結
晶面を表面に持つシリコン基板を用い、（１１１）結晶
面とのエッチング速度の差を利用した異方性エッチング
方法により、チャネル１０、インクリザーバ１１を形成
する。詳しい作成方法は、特開平２−２６５７５４号公
報に記載されている。
晶面を表面に持つシリコン基板を用い、（１１１）結晶
面とのエッチング速度の差を利用した異方性エッチング
方法により、チャネル１０、インクリザーバ１１を形成
する。詳しい作成方法は、特開平２−２６５７５４号公
報に記載されている。
【００１８】チャネル１０とインクリザーバ１１が形成
されたチャネル基板１２は、特開昭６３−３４１５２号
公報に記載されているような選択的塗布法によって、エ
ポキシ接着剤が塗布され、ヒータ基板１側の厚膜絶縁層
７と接着される。
されたチャネル基板１２は、特開昭６３−３４１５２号
公報に記載されているような選択的塗布法によって、エ
ポキシ接着剤が塗布され、ヒータ基板１側の厚膜絶縁層
７と接着される。
【００１９】その後、ダイサーによりノズル面１３の位
置を切削して、ノズル面１３を露出させ、電極配線端の
ワイヤボンディングパッド部の開口切断をし、個々のチ
ップになるよう切断分離する。分離したチップは、図示
しないアルミ製ヒートシンクに銀エポで接着し、インク
マニホールド、プリント配線基板等が組み付けられる。
置を切削して、ノズル面１３を露出させ、電極配線端の
ワイヤボンディングパッド部の開口切断をし、個々のチ
ップになるよう切断分離する。分離したチップは、図示
しないアルミ製ヒートシンクに銀エポで接着し、インク
マニホールド、プリント配線基板等が組み付けられる。
【００２０】上述した実施例のサーマルインクジェット
ヘッドの動作は、インク吐出に関しては、従来のものと
変わりはない。しかし、繰り返しヒータに通電された時
に発生する蓄熱は、金属膜を用いた保護層６を介して、
第２のピット９内に存在するインクに効率よく吸収さ
れ、噴射インク滴とともに記録ヘッド外に放出される。
したがって、蓄熱しにくいヘッドを得ることができる。
ヘッドの動作は、インク吐出に関しては、従来のものと
変わりはない。しかし、繰り返しヒータに通電された時
に発生する蓄熱は、金属膜を用いた保護層６を介して、
第２のピット９内に存在するインクに効率よく吸収さ
れ、噴射インク滴とともに記録ヘッド外に放出される。
したがって、蓄熱しにくいヘッドを得ることができる。
【００２１】また、この実施例では隣接ヒータ間で、熱
伝導しやすい金属保護層を分割パターニングしたため、
熱的クロストークも小さく、プリントパターンに依存し
ない優れた印字品質が得られる。
伝導しやすい金属保護層を分割パターニングしたため、
熱的クロストークも小さく、プリントパターンに依存し
ない優れた印字品質が得られる。
【００２２】図３は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの他の実施例のピット近傍の平面図である。図中、図
２と同様な部分には同じ符号を付して説明を省略する。
この実施例においては、第２のピット９側においては、
保護層６を共通に一体化したものである。第１のピット
側における保護層９は隣接ヒータ間で分離されているか
ら、熱的クロストークは小さい。また、第２のピット側
における保護層が共通とされ、この部分を介して、各ヒ
ータの保護層６が連結された状態となっているが、第２
のピット側でのインクへの放熱があること、隣接ヒータ
間の保護層を直接接続したものより熱抵抗が大きいこと
により、熱的クロストークはさほど問題とならない。第
２のピット側において、隣接するピット方向にも放熱さ
れるので、放熱特性が良好となる。
ドの他の実施例のピット近傍の平面図である。図中、図
２と同様な部分には同じ符号を付して説明を省略する。
この実施例においては、第２のピット９側においては、
保護層６を共通に一体化したものである。第１のピット
側における保護層９は隣接ヒータ間で分離されているか
ら、熱的クロストークは小さい。また、第２のピット側
における保護層が共通とされ、この部分を介して、各ヒ
ータの保護層６が連結された状態となっているが、第２
のピット側でのインクへの放熱があること、隣接ヒータ
間の保護層を直接接続したものより熱抵抗が大きいこと
により、熱的クロストークはさほど問題とならない。第
２のピット側において、隣接するピット方向にも放熱さ
れるので、放熱特性が良好となる。
【００２３】なお、第１のピットと第２のピットの熱伝
導的な接続は、保護層に限られるものではなく、ピット
の側壁間を連結するなど、適宜の方法が採用できる。
導的な接続は、保護層に限られるものではなく、ピット
の側壁間を連結するなど、適宜の方法が採用できる。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、繰り返しヒータに通電したときに発生する蓄
熱を、金属層であるヒータの保護層をノズル側に延長さ
せて、噴射インク滴に、吸収させる構造にしたため、効
率よく放熱でき、ヘッドの蓄熱を抑えることができる。
その結果、連続印字を行なっても、休止時間が少なくて
済み、印字速度の低下を小さくすることができるという
効果がある。
によれば、繰り返しヒータに通電したときに発生する蓄
熱を、金属層であるヒータの保護層をノズル側に延長さ
せて、噴射インク滴に、吸収させる構造にしたため、効
率よく放熱でき、ヘッドの蓄熱を抑えることができる。
その結果、連続印字を行なっても、休止時間が少なくて
済み、印字速度の低下を小さくすることができるという
効果がある。
【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施
例の要部の断面図である。
例の要部の断面図である。
【図２】 図１のインクジェット記録ヘッドのピット近
傍の平面図である。
傍の平面図である。
【図３】 本発明のインクジェット記録ヘッドの他の実
施例のピット近傍の平面図である。
施例のピット近傍の平面図である。
【図４】 従来のインクジェット記録ヘッドの要部の断
面図である。
面図である。
１…ヒータ基板、２…蓄熱層、３…電極、４…ヒータ、
５…絶縁層、６…保護層、７…厚膜絶縁層、８…ピッ
ト、９…第２のピット、１０…チャネル、１１…インク
リザーバ、１２…チャネル基板、１３…ノズル面、１４
…噴射ノズル口。
５…絶縁層、６…保護層、７…厚膜絶縁層、８…ピッ
ト、９…第２のピット、１０…チャネル、１１…インク
リザーバ、１２…チャネル基板、１３…ノズル面、１４
…噴射ノズル口。
Claims (1)
- 【請求項１】 繰り返しヒータに通電して加熱を行なっ
てインク滴を噴射させて記録を行なうインクジェット記
録ヘッドにおいて、金属層であるヒータの保護層をノズ
ル側に延長させて、発生した熱をヒータとノズル噴射口
の間で、インク側に放熱させるようにしたことを特徴と
するインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001164613A JP3327292B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001164613A JP3327292B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | インクジェット記録ヘッド |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30497092A Division JP3248268B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002011882A true JP2002011882A (ja) | 2002-01-15 |
| JP3327292B2 JP3327292B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=19007411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001164613A Expired - Fee Related JP3327292B2 (ja) | 2001-05-31 | 2001-05-31 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3327292B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045809A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| CN102431302A (zh) * | 2010-09-29 | 2012-05-02 | 佳能株式会社 | 液体排出头及其制造方法 |
-
2001
- 2001-05-31 JP JP2001164613A patent/JP3327292B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045809A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| CN102398422A (zh) * | 2010-08-26 | 2012-04-04 | 佳能株式会社 | 用于液体喷射头的基板和液体喷射头的制造方法 |
| US8943690B2 (en) | 2010-08-26 | 2015-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing substrate for liquid ejection head and method for manufacturing liquid ejection head |
| CN102431302A (zh) * | 2010-09-29 | 2012-05-02 | 佳能株式会社 | 液体排出头及其制造方法 |
| US8434850B2 (en) | 2010-09-29 | 2013-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head and manufacturing method of the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3327292B2 (ja) | 2002-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |