JP2001502100A - 多層データ保存及び読み取りのための共焦点光学顕微鏡システム - Google Patents

多層データ保存及び読み取りのための共焦点光学顕微鏡システム

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Abstract

(57)【要約】 光ディスクの多重層に保存された光情報の読み取り及び保存のための共焦点光学顕微鏡システム。本発明は、多層ディスクの層平面上に光ビームを正確に収束させるための共焦点光学顕微鏡の原理を利用するシステムを含む。このことにより、多層ディスクの層から光情報が読み取られる。本発明はまた、金属膜が不連続に分布している透明層を積み重ねた多重層からなる多層ディスク上に光データを記録する方法をも含む。この金属膜の分布が、記録光情報を表す。

Description

【発明の詳細な説明】 多層データ保存及び読み取りのための共焦点光学顕微鏡システム 技術分野 本発明は光学システム、特に、光ディスクの多重層に保存された光情報の読み 取り及び保存のための共焦点光学顕微鏡システムに関する。 背景技術 データ保存及び読み取りのための光学的方法は、コンピューター技術並びにオ ーディオ録音及びビデオ録画において幅広く用いられている。現行の技術を表現 する種々の用語の中には、CD(コンパクトディスク)、レーザーディスク及び CD−ROM(Compact Disk Read Only Memoly )がある。 光ディスクは、小さな矩形のピットとしてデータを保存し、これにより、ディ スクの表面を照射しているレーザビームの輝度に変動が生じる。光学的に別個の 微細な領域の配列が、支持素材の上に、トラック又はセクターを形成する。この トラックは一連のデジタルデータを表すように配列されている。レーザーの光を 個々の領域に収束させ、特定の順序で対象領域を照射することにより、ディスク からデータを読み取る。反射光と透過光の違いは、光検出装置が区別する。次い で、この光の変動を、0と1の流れに変換し、そして使用者が数値データとして 受け取る情報に変換する。これは、更に、文章、画像、音又はこれらの組合せに 変換される。 ディスク上のデータ保存密度を増加させるために種々のアプローチが試されて きた。このようなアプローチとして、米国特許5247510号「インクリーシ ング・ストレジ・デンシティ・オブ・オプティカル・デイタ・メディア・バイ・ ディテクティング・ア・セレクティド・ポーション・オブ・ア・ライト・スポッ ト・イメジ・コレスポンディング・トゥ・ア・シングル・ドメイン(Increasing Strage Density of Optical Data Media by Detecting a Selected Portion of a light Spot Image Corresponding to a Single Domain)」及び米国特許51 61134号「メソッド・フォー・インクリーシング・リニア・デンシティ・イ ン・マグネット・オプティカル・ストレジ・メディア(Method For Increasing Linear Density In Magneto Optical Storage Media)」がある。これらの特許 が明らかにしているように、光データ保存密度の増加は、記号の二次元分布内で 隣接した変動を設置し、さらに区別するために、ハードウェアの分解能の改良に 主に依存している。上記の技術によると、データを保持する記号を隣接して設置 することが可能になり、保存媒体の密度を増加させることができる。 従来のコンパクトディスク等の二次元保存媒体に関しては、上記のアプローチ では、光ハードウェアの分解能の改良は成されたが、媒体の二次元表面について は完全な限界があった。 発明の目的 従って、本発明の目的は、光データ保存媒体密度の数倍の増加を達成すること にある。 本発明の目的はまた、増加した密度を持つ光データ保存媒体から情報を読み取 るシステムを提供することにある。 本発明の目的は更に、光データ保存媒体のデータ密度を増加させる方法を提供 することにもある。 発明の要約 多層光読み取りディスク等の多層データ媒体から光データを読み取り及び保存 のための共焦点光学顕微鏡システムを開示する。 本発明によると、多層光読み取りディスクは、支持物質の上に、隣接する同一 の層を多数保持する。各層は、支持物質と同等の二次元表面積を有する。上記層 は実質的に透明な素材からなり、その片面は平坦である。データテンプレート等 から記録された光情報を形成する微小な不連続金属膜が分布して、各層を覆って いる。上記積み重なった層と上記支持物質が、各層に記録された光情報を有する 多層ディスクを形成する。 また本発明によると、上記多層ディスクからデータを読み取る場合には、レー ザー等の光源が干渉性光ビームを放射して、光情報を有する多層ディスクの一層 にある読み取り位置のビットを照射する。上記読み取り位置は、上記多層ディス クのどの層にもあることができる。次に、共焦点顕微鏡の原理を用いて、照射部 は、上記多層ディスクの一層であるデータを有する単一平面に、干渉性光ビーム を収束させる。この光ビームは、上記読み取り位置に記録されたデータ如何によ って、上記層の読み取り位置に吸収されるか又は反射される。上記光ビームが反 射されると、上記干渉性光ビームの運ぶ光情報は、共焦点顕微鏡の原理を用いた 結像部が処理する。この原理を用いると、上記読み取り位置の平面が放射する光 線のみが、二進法データを表す電気信号に変換するための光検出装置へと到達す る。デジタル信号処理装置が、次の表示器のために二進法データを処理する。 共焦点顕微鏡を用いると、多重層光ディスクのどの層からもデータを読み取る ことが出来る。従って、光媒体のデータ保持層の数を増加させることにより、デ ータ保存量が増大する。 更に、共焦点光学顕微鏡読み取りシステムに用いる多層ディスク、及び、この ような多層ディスクの製造方法を開示する。実質的に平坦な表面を少なくとも1 つ有する支持物質上に、光学的に透明な素材からなる層を重ねる。次に、支持物 質の平坦な表面に金属膜を設置する。光データをデータテンプレートから金属膜 に記録し、非データ領域をその層からエッチングにより除去する。透明素材から なる第二層を上記第一層の表面に重ねた後、第二層上に金属膜を重ねる。次いで 、別個のデータテンプレートから金属膜に光データを転写する。非データ部を取 り除き、隠れていた透明素材を露出させる。次の層を各表面に重ねて、以上の過 程を繰り返すと、各層が光データを有する三次元データディスクが完成する。 図面の簡単な説明 図1は、データの読み取り操作の際に、多層データ媒体とともに用いる共焦点 光学顕微鏡システムの略図である。 図2Aは、データの読み取り操作の際に、多層データ媒体とともに用いる共焦 点光学顕微鏡システムの例示図である。 図2Bは、対物レンズ22の焦点を移動させる装置の例示図である。 図3は、多層データ媒体からデータを読み取る共焦点光学顕微鏡システムにお いて成される、焦点がずれた信号の除去を例示している。 図4は、多層ディスク24の表面にデータ点の層を追加する方法を例示してい る。 発明の詳細な開示 図1は、データの読み取り操作の際の共焦点光学顕微鏡システムの構成要素の 配列略図である。まず、このシステムの照射部は、光源10、2つの凸レンズ1 2及び14、ピンホール18を備えた第一プレート16、ビーム分割プリズム2 0、並びに、対物レンズ22からなる。 発散性光源10、好ましくはレーザーは、多層ディスク24等の多層データ媒 体を照射する第一干渉性光ビーム11を放射する。光源10から放射される第一 干渉性光ビーム11は、その発射点から広く発散する。2つの凸レンズ12及び 14は、第一干渉性光ビーム11の光路上に位置し、発散している第一干渉性光 ビーム11を小さな焦点に収束させる。第一プレート16は、第一干渉性光ビー ム11の光路上に直角に置かれてある平行な二平面を有しており、レンズ12及 び14の焦点はその面上にある。第一プレート16のピンホール18は、凸レン ズ12及び14の焦点に位置する。第一干渉性光ビーム11はピンホール18を 通過し、ビーム分割プリズム20へ向けて発散する。ビーム分割プリズム20は 、第一干渉性光ビーム11を多層ディスク24の方向に直角に方向転換させて、 第一干渉性光ビーム11の反射光線と入射光線を区別する。 直角に方向転換した発散性の第一干渉性光ビーム11を対物レンズ22で集め る。対物レンズ22によって、光学的に記号化されたデータを有する多層ディス ク24の一層の表面に第一干渉性光ビーム11が収束する。この層は互いに積み 重ねられており、第一干渉性光ビーム11に対して直角な表面を有する。対物レ ンズ22により、多層ディスク24の一層の表面にデータビットを含んだ、情報 を有する微小な読み取り位置26に第一干渉性光ビーム11の焦点は収束する。 多層ディスク24は、種々の記録デジタル情報を持った多重層からなり、このデ ジタル情報は各層の同心セクター28に配列している。 好ましい例としては、二進法の「1」を、読み取り位置26が反射する場合に 対応させ、二進法の「0」は、読み取り位置26が透明な場合に対応させる。当 然のことだが、二進法の「1」と「0」の表現は逆でもよく、つまり、二進法「 1」をビットの透明な表面に、二進法「0」を反射する表面に対応させてもよい 。 次に、第一干渉性光ビーム11が層の平面に当たったところでの読み取りの後 の、システムの結像部について記述する。結像部は、対物レンズ22、ビーム分 割プリズム20、ピンホール32を備えた第二プレート30、コリメータレンズ 34、及び、光検出装置36からなる。 対物レンズ22により収束した第一干渉性光ビーム11が、多層ディスク24 の層上にある読み取り位置26で反射すると、第二干渉性光ビーム13が対物レ ンズ22に戻ってくる。第二干渉性光ビーム13とは、多層ディスク24の読み 取り位置26で反射したものであり、これが、対物レンズ22によりビーム分割 プリズム20を通過して一つの焦点に収束する。第二プレート30は、第二干渉 性光ビーム13の光路上に直角に置かれてある平行な二平面を有している。読み 取り位置26で反射した光は、対物レンズ22によりピンホール32に収束する 。この焦点に第二干渉性光ビーム13が収束すると、読み取り位置26で反射し た光線のみがピンホール32を通過し、その結果、第二干渉性光ビーム13はろ 過され、読み取り位置26の上下にある平面が放射する光線は取り除かれる。以 上のように、読み取り位置26で反射した情報を運ぶ光線のみがピンホール32 を通過し、他層のビットで反射した光線は第二プレート30によりほぼ遮蔽され る。 第二干渉性光ビーム13は、ピンホール32によりろ過された後、次にコリメ ータレンズ34を通過する。コリメータレンズ34は、第二干渉性光ビームを、 全長に渡ってほぼ均一な直径を持つ光ビームに変形する。光検出装置36が、層 に記録された光情報を運ぶ平行第二干渉性光ビーム13を二進法データを表す電 気信号に変換する。デジタル信号処理装置37は、光検出装置36と電気的に結 合しており、視覚表示器やオーディオ機器等の次段階の操作に向けて二進法デー タを処理する。 開示するデータ読み取り方法は、共焦点光学顕微鏡として周知の技術を利用し て、多層ディスク24からデータを読み取る際の分解能及びSN比の両方を改善 する。共焦点光学顕微鏡の一般原理は、同一の対物レンズ22を使用して、特定 の部分を照射し結像することを基礎とする。幅広い円錐状の光が全て、対象点に 収束するので、当該点に関する光学的特性の変調は平均化され、また、焦点にお ける照度は、強度の極大に達する。 共焦点顕微鏡は、第一干渉性光ビーム11を対物レンズ22を通して円錐状の 第一干渉性光ビーム11に代え収束させることにより、多層ディスク24の任意 の平面において高い分解能を達成する。円錐状の第一干渉性光ビーム11の頂点 、つまり対物レンズ22の焦点では、第一干渉性光ビーム11が、多層ディスク 24の任意の深さにある一点を照射する。その点で反射した第二干渉性光ビーム 13は、対物レンズ22により、多層ディスク24からは対物レンズ22の後方 にある別の焦点に収束する。ピンホール32はこの焦点に位置して、上記反射光 線をろ過する。 光源10に近いピンホール18は、光検出装置36の近くの多層ディスク24 の平面上にあるもう一つのピンホール32と正確に対を成すものであり、ピンホ ール32は、第二干渉性光ビーム13の不要な光線を除去する。ピンホール18 からビーム分割プリズム20と対物レンズ22を経て読み取り位置26に至るま での距離は、ピンホール32からビーム分割プリズム20と対物レンズ22を経 て読み取り位置26に至るまでの距離と等しい。対をなすこの配置のため、第二 干渉性光ビーム13の光線のみがほぼ完全に、光検出装置36の前方にある第二 プレート30のピンホール32を通過することが出来る。ピンホール32の周囲 の不透明な部分は、多層ディスク24の対象平面の上下に位置する被照射層で反 射して目的の画像を不明瞭にしてしまう光線を大部分遮蔽する。 以上のように、共焦点顕微鏡の原理によれば、照射部と結像部において対を成 すピンホール18及び32はそれぞれ、余分な光線を除去する。更に、共焦点光 学顕微鏡システムの結像部では、照射部と同一の対物レンズ22を用いているの で、対象部以外の多層ディスク24のビットは、焦点から外れるのに加えて、微 量しか照射されない。このため、不要な信号は強く除去される。通常の白色光を 照射する共焦点顕微鏡を用いると、対物レンズ22の焦点面の法線方向に10μ mでの分解が容易に達成され得ることが分かっている。 共焦点光学顕微鏡システムは、対物レンズ22の焦点を調節して一層の平面を 選択する。図2Aは、データの読み取り操作の際に、多層ディスク24とともに 用いる共焦点光学顕微鏡システムを例示している。全ての図において、同一の数 字は本発明における同一の構成要素を表す。多層ディスク24の平面に垂直に対 物レンズ22を移動させて、ある特定の層を選択する。個々の層は10μmの距 離を隔てているので、焦点の調節は極めて微妙なもので、最小の操作のみを必要 とする。図2Aでは、切除した部位を持つ焦点枠38を示している。焦点枠38 は、第一干渉性光ビーム11と第二干渉性光ビーム13が通過できるように、上 底面と下底面のない円筒の形状を持つ。円筒状の焦点枠38は、同軸的に設置し た対物レンズ22を内包する。対物レンズ22は、第一干渉性光ビーム11が多 層ディスク24の一層の平面に収束するように、焦点枠38の軸に沿って移動す る。焦点枠38の軸に沿っで対物レンズ22が移動すると、多層ディスク24の 別個の平行面に第一干渉性光ビーム11が収束し、データの高分解能が達成され る。対物レンズ22はマイクロメーター単位で移動するので、電気信号に応答さ せて、焦点枠38の軸に沿った対物レンズ22の移動を行うために、高感度の圧 電センサーや他の変換手段が用いられる。 図2Bは、対物レンズ22の焦点を移動させるための装置の形態を示す例図で ある。焦点枠38は、同軸の二つの円筒60及び62からなり、内円筒60は、 外円筒62の内部を自由に移動する。円筒60と62は、きつく巻かれたワイヤ のコイル64及び66にそれぞれ差し込まられている。鞍部状バネ68は、内円 筒60の周囲に取り付け、コイル64の上にのせる。つまり、内円筒60は外円 筒62に差し込まれ、わずかに鞍部状バネ68を圧迫している。止め輪58は、 内円筒60の上端付近の溝に取り付ける。止め輪58は、鞍部状バネ68のわず かな圧力を維持し、これによって、焦点の調節の際のゼロ点を設定する。コイル 64と66は一続きのワイヤにより形成されている。コイル64と66に流れる 電流が、コイル64と66の周辺に磁場を生み出す。この磁場の相互作用のため に、コイル64と66は、鞍部状バネ68の圧力に逆らって互いに引き合うこと になる。コイル64と66に流れる電流が増大するに伴って、動かない外円筒6 2に対して内円筒60の変位が増大し、必要な収束運動を達成できる。 多層ディスク24の一層の平面を選択するための別の方法としては、対物レン ズ22の位置を保って、心棒40の軸に沿って多層ディスクを直線的に移動させ る方法がある。多層ディスク24を心棒40にそって上下に移動させると、対物 レンズ22の焦点は種々の層に収束する。このようにして、第一干渉性光ビーム 11は、多層ディスク24の、特定のデータを保持する対象層に収束する。 多層ディスク24の平面に対する法線に沿って異なる層を区別するには、比較 的高度な平坦性、及び、多層ディスク24の平面に関して正確な回転軸の位置が 必要となる。各層の厚さが5〜10μmであれば、上記平坦性及び回転の正確性 は、約2〜4μmの許容範囲に収める必要がある。回転パラメーターの制御、及 び、多層ディスク24の表面に平行な平面に対する光学機器の位置は、サーボ機 構、及び、コンパクトディスクやレーザーディスクの従来技術において用いられ たものと同様の制御回路を用いて制御する。 従来のCDにおけると同様、時計回り又は反時計回りのいずれかに多層ディス ク24を回転させてある特定の層の同心セクター28を走査し、データを読み取 る。駆動モーター42が心棒40上にある多層ディスク24を一方向に回転させ る。 図3は、多層データ媒体と共に用いる共焦点光学顕微鏡システムでの、焦点の ずれた信号の除去を例示している。データの記録されている平行な二平面44及 び46を図3で示す。平面46は、照射部と結像部の二つのピンホール18及び 32のそれぞれにより決定される焦点面上にある。平面44は、平面46に平行 で、かつその上部にある。この平面44の被照射部56は、平面44に入射する 光線を全て含んだものである。ここの例では、26、26A、26B及び26C 等の読み取り位置は全て、実質的に不透明な物質からなる反射鏡であると想定す る。 図3の入射光線50、52及び54は、共焦点光学顕微鏡システムの選択性を 例示している。平面44の透明部を通過する入射光線50及び52は、平面46 上の焦点−−読み取り位置26−−に収束する。入射光線52及び54は、対物 レンズ22の光学軸に収束するので、読み取り位置26に反射されると、対称性 のために、入射光線50及び52は反射光線50A及び52Aとなって対物レン ズ22に戻ることになる。その後、反射光線50A及び52Aは、ピンホール3 2から最終的に光検出装置36まで到達する。 入射光線54は、平面44の読み取り位置26以外の読み取り位置を照射する 光線を表している。入射光線54は、対物レンズ22の光学軸から外れた読み取 り位置に達するものである。故に、反射光線54Aの光路は対称性を有しない。 対物レンズ22を通過すると、反射光線54Aは、ピンホール32以外の位置に 届く角度で屈折する。このため、反射光線54Aは第二プレート30により遮蔽 される。このような軸から外れた光線は、累積すると、光検出装置36で受け取 る全信号量を減じる結果となる可能性がある。しかしながら、この光線のために データ保持信号が変調したり大きく減少したりすることはない。 統計学的には、平面44におけるデータを保持する全ての読み取り位置の合計 面積は、その層の全面積の半分以下である。この結果、全入射光線に対して入射 光線50及び52の大部分が、平面46上の焦点に到達し、信号検出に供する方 向へと反射される。平面44上の読み取り位置26Dが、対物レンズ22の光学 軸上にある場合、読み取り位置26Dは、ピンホール32と光検出装置36の方 向に入射光線を反射する。しかし、読み取り位置26Dは、平面44上の被照射 部56に到達又は通過する光線が照射する極めて微小な面に過ぎない。焦点への 強力な収束光線束が得られるよう、対物レンズ22は、比較的幅広の開口と短い 焦点距離を持つ必要があり、これによって、検出信号に及ぼす読み取り位置26 Dの影響が極めて小さくなる。 開示する共焦点光学顕微鏡システムは、三次元読み取り技術を使用するが、使 用される層の数と厚みにはいくらか限界がある。多層ディスク24の最大の厚み は、対物レンズ22の作動距離によって決定される。また、層の最大数は、読み 取られる層の上の層のための不明瞭と散乱に起因する光信号の減衰量によって決 定される。共焦点光学顕微鏡で成された公知の結果によると、10枚のデータ層 が本方法の相応な目標である。 光源は単色である必要はないが、散乱を避けるために好ましくは単色光を使用 する。レーザーを使用する場合には、広角から目標のデータ層に収束するように 、レーザーは光源10から分散する必要がある。読み取られる平面の上下にある 平面からの対象外の信号を最も効率よく除去するには、照射光線が収束すること が重要である。当然のことだが、もし全ての光が対物レンズ22の光学軸から入 射すれば、全ての層で反射する。しかし、強く収束した光線は、対象層へと往復 する多数の異なる光路を有する。対象外の層の読み取り位置26Dは、全光線束 の中の非常に小さな部分を遮断し反射するので、比較的に非常に微弱な信号しか 送り返さない。 従来のCDは通常、平坦な表面のピットをレーザーでエッチングした後、光学 的特性を高めるために、得られる表面をアルミニウムの薄膜で覆うことにより製 作する。しかし、多層ディスク24を製造するには、基板の媒体は透明である必 要がある。 データビット部の形成可能な種々の方法のうちには、一度に一枚ずつ薄層を形 成する方法がある。例として、図4で示したような、積算回路の製造法と同様の フォトレジスト法が好適である。この技術には、以下の過程がある: 1. 片面が約±1μm以内の平坦さを有する、透明素材のディスクを製作す る。 2. 平坦な表面に金属の薄膜74(約1μm)を設置する。 3. フォトレジスト76で上記金属膜を覆う。 4. 上記フォトレジストをUV源82とレンズ80を用いて曝露し、前もっ て用意したテンプレート又はマスター78に記録されたデータパターンを記録す る。 5. 図4の段階Eで示すように、現像により、データ点以外のフォトレジス トを全表面から除去する。 6. エッチングにより、データ点以外の被膜金属を除去する。 7. 残留しているフォトレジストを取り除く。 8. 厚さ5〜10μm透明素材の層を新たに設置する。 9. 段階2に戻り、段階2から8を繰り返して、記録データを持つ多重層を 製造する。 上記過程によって、記録された光情報を持つ多重層を有する多層ディスク24 が得られる。多層ディスク24は、多数の近接する、平行な層を有する。各層が 記録された光情報を有し、多層ディスク24の表面積に実質的に等しい二次元の 表面を有する。各層は実質的に透明な素材からなり、その片面には記録された光 情報を表す不透明な金属膜の沈着が分布している。以上のようにして、光記録デ ータの多重層を区別するにあたって高い分解能を達成し、光データ保存媒体の密 度は従来の光データ保存媒体と比較すると何倍にも増加する。 当業者は、本発明の趣旨から外れることなく、開示した特定の態様を修正する ことが出来るので、請求の範囲はこのような修正やそれに相当するものをも扱う ものと理解されたい。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 光データの記録された多重層を有する多層データ媒体から光データを読み 取るための共焦点光学顕微鏡システムであって: 第一干渉性光ビームを放射し、前記多層データ媒体の光情報を含む層の読み取り 位置に前記第一干渉性光ビームを収束させるための照射手段; 前記多層データ媒体の前記層の前記読み取り位置で反射した第二干渉性光ビーム を収束させ、前記光情報を運ぶ前記第二干渉性光ビームの光線を処理し、前記前 記第二干渉性光ビーム中の、前記読み取り位置から発したものではない光線を遮 蔽するための像形成手段; 前記多層データ媒体の前記層に記録された前記光情報を運ぶ前記第二干渉性光ビ ームを、二進法データを表す電気信号に変換するための検出手段; 前記二進法データを処理するための、前記検出手段と電気的に結合された処理手 段 からなるシステム。 2. 前記照射手段は: 前記第一干渉性光ビームを放射して、前記多層データ媒体の前記光情報を含む層 の前記読み取り位置を照射するための光源; 前記第一干渉性光ビームを収束させるための、第一光路上の前記光源から離れた 位置に設置された複数の凸レンズ; 前記第一干渉性光ビームを発散させるための、前記第一光路上にある第一ピンホ ールを有していて、前記複数の凸レンズから離れた位置に設置された第一プレー ト; 反射光線を入射光線から区別できるよう前記第一干渉性光ビームを直角に方向転 換させるための、前記第一プレートから離れた位置に設置されたビーム分割プリ ズム;及び 直角に方向転換した前記第一干渉性光ビームを、前記多層データ媒体の前記光情 報を含む層の前記読み取り位置に収束させるための、前記第一光路と直角な第二 光路上にある対物レンズ からなる請求項1記載のシステム。 3. 前記像形成手段は: 前記第一干渉性光ビームを直角に方向転換させて、前記第二干渉性光ビームを前 記第一干渉性光ビームから区別するための、前記第一干渉性光ビームの第一光路 上にあるビーム分割プリズム; 前記多層データ媒体の前記層の前記読み取り位置で反射した前記第二干渉性光ビ ームを収束させるための対物レンズであって、前記第一光路と直角な第二光路上 にあり、前記第二干渉性光ビームを、前記対物レンズからは前記ビーム分割プリ ズムの後方にある焦点に収束させるための対物レンズ; 前記読み取り位置で反射した、第二干渉性光ビーム中の前記光情報を運ぶ前記光 線を通過させ、前記第二干渉性光ビーム中の残余の光線を遮蔽するための、前記 対物レンズからは前記ビーム分割プリズムの後方に離れており、前記焦点に位置 する第二ピンホールを有する第二プレート; 前記第二干渉性光ビームを、全長に渡ってほぼ均一な直径を持つ光ビームに成形 するための、前記第二光路上に前記第二プレートから離れてあるコリメータレン ズ からなる請求項1記載のシステム。 4. 光データが記録された多重層を有する多層データ媒体から光データを読み 取るための共焦点光学顕微鏡システムであって: 前記第一干渉性光ビームを放射して、前記多層データ媒体の光情報を含む層の前 記読み取り位置を照射するための光源; 前記第一干渉性光ビームを第一焦点に収束させるための、第一光路上に前記光源 から離れてある複数の凸レンズ; 前記第一干渉性光ビームを発散させるための、前記第一焦点にある第一ピンホー ルを有していて、前記複数の凸レンズから離れてある第一プレート; 前記第一干渉性光ビームを直角に方向転換させて、反射光線を入射光線から区別 するための、前記第一プレートから離れてあるビーム分割プリズム; 直角に方向転換した前記第一干渉性光ビームを、前記光情報の読み取りのために 前記多層データ媒体中の前記層の前記読み取り位置を含む平面上に収束させるた めの対物レンズであって、前記第一光路と直角な第二光路上にあり、前記読み取 り位置で反射した第二干渉性光ビームを、前記対物レンズからは前記ビーム分割 プリズムの後方にある第二焦点に収束させるための対物レンズ; 前記光情報を運ぶ前記光線を通過させ、前記第二干渉性光ビーム中の、前記読み 取り位置を含む前記平面で反射したものではない光線を遮蔽するための、前記対 物レンズからは前記ビーム分割プリズムの後方に離れてあり、前記第二焦点に位 置する第二ピンホールを有する第二プレート; 前記第二干渉性光ビームを、全長に渡ってほぼ均一な直径を持つ光ビームに成形 するための、前記第二光路上に前記第二プレートから離れてあるコリメータレン ズ; 前記多層ディスク媒体の前記層に記録された前記光情報を運ぶ前記第二干渉性光 ビームを、二進法データを表す電気信号に変換するための、前記第二光路上に前 記コリメータレンズから離れてある光検出装置;及び 前記二進法データを処理するための、前記検出手段と電気的に結合された処理手 段 からなるシステム。 5. 前記第一干渉性光ビームの前記第一ピンホールから前記読み取り位置まで の距離は、前記第二干渉性光ビームの前記第二ピンホールから前記読み取り位置 までの距離に実質的に等しい請求項4記載のシステム。 6. 読み取り位置を含む各層の各平面から前記光情報を読み取るために、前記 多層データ媒体の任意の層上に前記第一光ビームを収束させるための、第二円筒 の内部を、その軸に沿って前記対物レンズがすべり移動できるように、第一円筒 の内部に前記対物レンズを設置してなる焦点枠 を更に有する請求項5記載のシステム。 7. 各前記層の各読み取り位置から光データを読み取るために、前記焦点枠は 、電気信号に応答させて前記対物レンズを光学軸に沿って移動させる変換手段を 有する請求項5記載のシステム。 8. 前記多層データ媒体の前記層の残りの読み取り位置から光データを読み取 るために、前記多層データ媒体を回転可能な状態で支持する心棒、及び、前記多 層データ媒体回転のために前記心棒と連結された駆動モーター を更に有する請求項5記載のシステム。 9. ある層の各読み取り位置から前記光データを読み取るために、前記多層デ ータ媒体は、前記心棒の軸に沿って直線的に移動して、前記多層データ媒体の各 層の各読み取り位置に前記第二光ビームを収束させる請求項8記載のシステム。 10. 光情報が記録された多重層を有する多層データ媒体であって: ディスク上に、光読み取り情報を持つ、近接する複数の層を有しており、前記各 層は、残りの層と平行であり、前記ディスクの表面積と実質的に等しい二次元の 表面を持ち、実質的に透明であり、前記記録された光情報を表す金属膜の沈着に より覆われた表面を有するものである媒体。 11. 前記金属膜の前記沈着は、実質的に不透明である請求項10記載の多層 データ媒体。 12. 前記金属膜の前記沈着は、データを有するテンプレートに従って配置さ れる請求項11記載の多層データ媒体。 13. 共焦点光学顕微鏡読み取りシステムに用いられる、光データの記録され た多重層を有する多層データ媒体から光データを読み取る方法であって: 第一干渉性光ビームを放射し; 前記多層データ媒体の光情報を含む層の読み取り位置に前記第一干渉性光ビーム を収束させ; 前記多層データ媒体の前記層の前記読み取り位置で反射した第二干渉性光ビーム を焦点に収束させ; 前記焦点で前記第二干渉性光ビームをろ過して、前記層から発したものではない 光を除去し; 前記第二干渉性光ビームを、二進法データを表す電気信号に変更し;そして 前記二進法データを処理する ことからなる方法。 14. 前記ろ過は、ピンポールを用いて前記光情報を運ぶ光線を通過させ、前 記第二干渉性光ビーム中の残余の光線を遮蔽することからなる請求項13記載の 方法。 15. 共焦点光学顕微鏡読み取りシステムに用いられる、光データの記録され た多重層を有する多層データ媒体から光データを読み取る方法であって: (a)前記多層データ媒体の光情報を含む層の読み取り位置を照射するために、 光源から第一干渉性光ビームを放射し; (b)第一光路上に前記光源から離れてある複数の凸レンズで、前記第一干渉性 光ビームを収束させ; (c)前記複数の凸レンズから離れてあり、前記第一光路上にある第一ピンホー ルを有する第一プレートで、前記第一干渉性光ビームを発散させ; (d)反射光線を入射光線から区別するために、前記第一プレートから離れてあ るビーム分割プリズムで、前記第一光ビームを直角に方向転換させ; (e)前記第一光路に直角な第二光路上にある対物レンズで、前記層の前記読み 取り位置に前記第一干渉性光ビームを収束させ: (f)前記対物レンズからは前記ビーム分割プリズムの後方にある焦点に、前記 読み取り位置で反射した第二干渉性光ビームを収束させ; (g)前記対物レンズからは前記ビーム分割プリズムの後方に離れてある第二プ レートの、前記焦点に位置する第二ピンホールを通じて、光情報を有する光線は 通過させて、残余の光線を遮蔽することにより、前記第二干渉性光ビームをろ過 し; (h)前記第二光路上に前記第二プレートから離れてあるコリメータレンズで、 全長に渡ってほぼ均一な直径を持つ光ビームに、前記第二光ビームを成形させ; (i)前記第二光路上に前記コリメータレンズから離れてある光検出装置で、前 記光情報を運ぶ前記第二光ビームを、二進法データを表す電気信号に変換し;そ して (j)前記光検出装置と電気的に結合された処理手段で、前記二進法データを処 理する ことからなる方法。 16. 各読み取り位置から前記光情報を読み取るために、前記多層データ媒体 の各層の前記各読み取り位置に前記第一光ビームを収束させるための、焦点枠の 内部でその軸に沿って前記対物レンズがすべり移動できるように、前記焦点枠の 内部に同軸的に前記対物レンズを内包させる請求項15記載の方法。 17. 残りの各読み取り位置から前記光情報を読み取るために、前記心棒の軸 に沿って前記多層データ媒体を直線的に移動させ、前記多層データ媒体の残りの 各層の前記残りの各読み取り位置に前記第二光ビームを収束させる請求項15記 載の方法。 18. 共焦点光学顕微鏡読み取りシステムに用いられる、光データの記録され た多重層を有する多層データ媒体に光データを保存する方法であって: (a)実質的に平坦な表面を持つディスク上に透明な素材からなる第一層を設け ; (b)前記平坦な表面上に第一金属膜を設け; (c)フォトレジスト材で前記第一金属膜を覆い; (d)データテンプレートから前記第一金属膜に光データを記録するために、前 記フォトレジスト材を光にさらし; (e)前記ディスクから非データ領域の前記フォトレジスト材を除去し; (f)前記ディスクから前記非データ領域の前記第一金属膜を除去し; (g)前記ディスクから残留しているフォトレジスト材を除去し; (h)前記第一層上に前記透明な素材からなる第二層を設け; (i)前記透明な素材からなる前記第二層上に第二金属膜を設け; (j)前記フォトレジスト材で前記第二金属膜を覆い; (k)前記データテンプレートから前記第二金属膜に光データを記録するために 、前記フォトレジスト材を光にさらし、; (l)前記ディスクの非データ領域の前記フォトレジスト材を除去し; (m)前記ディスクの前記非データ領域の前記第二金属膜を除去し;そして (n)前記ディスクから残留しているフォトレジスト材を除去する ことからなる方法。
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