JP2001357779A - Manufacturing method of substrate for plasma display - Google Patents

Manufacturing method of substrate for plasma display

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JP2001357779A
JP2001357779A JP2000176827A JP2000176827A JP2001357779A JP 2001357779 A JP2001357779 A JP 2001357779A JP 2000176827 A JP2000176827 A JP 2000176827A JP 2000176827 A JP2000176827 A JP 2000176827A JP 2001357779 A JP2001357779 A JP 2001357779A
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substrate
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plasma display
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Michio Takagi
道生 高木
Izumi Hikita
いづみ 引田
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a substrate for a plasma display in order that a fluorescent substance layer is simply formed at a high precision between barrier ribs with a high yield and in order that a plasma display of a high luminance is manufactured. SOLUTION: This is the manufacturing method of the substrate for the plasma display, which has the barrier ribs on the substrate, and which has the fluorescent substance layer, and a forming process of the fluorescent layer has a process to fill fluorescent substance pastes between the barrier ribs, and the filling amount is within a range of 50% to 120% of the volume of grooves consisting of the ribs.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ用基板の製造方法に関する。より詳細には、高歩留
まりで簡便にプラズマディスプレイ用基板を製造する方
法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a substrate for a plasma display. More specifically, the present invention relates to a method for easily manufacturing a plasma display substrate with a high yield.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイは、前面基板と背
面基板との間に設けられた放電空間内で対向する電極間
にプラズマ放電を生じさせ、この放電空間内に封入され
ているガスから発生する紫外線を放電空間内に設けた蛍
光体にあて、蛍光体を発光させることにより表示を行う
ものである。この場合、放電の拡がりを一定領域に押さ
え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、かつ均一
な放電空間を確保するために隔壁が設けられている。隔
壁は通常背面基板に形成され、その隔壁で形成されたセ
ル間にカラーディスプレイの場合RGBの蛍光体層が形
成されている。
2. Description of the Related Art In a plasma display, a plasma discharge is generated between electrodes facing each other in a discharge space provided between a front substrate and a rear substrate, and ultraviolet rays generated from a gas sealed in the discharge space. Is applied to a phosphor provided in the discharge space, and display is performed by causing the phosphor to emit light. In this case, a partition is provided to suppress the spread of the discharge to a certain area, to perform display in a specified cell, and to secure a uniform discharge space. The partition is usually formed on the back substrate, and an RGB phosphor layer is formed between cells formed by the partition in the case of a color display.

【0003】プラズマディスプレイの蛍光体層を形成す
る方法としては、スクリーン印刷法が多く用いられてい
る。大型基板に高精細な蛍光体パターンを形成するため
の方法として、特開平6−5205号公報に示されるよ
うなスクリーン印刷を行った後にサンドブラストを用い
る方法、特開平5−144375号公報に示されるよう
な架橋剤を塗布した後にスクリーン印刷する方法が提案
されている。
As a method of forming a phosphor layer of a plasma display, a screen printing method is often used. As a method for forming a high-definition phosphor pattern on a large-sized substrate, a method using screen blasting and then using sandblasting as disclosed in JP-A-6-5205, and a method disclosed in JP-A-5-144375. A method of screen printing after applying such a crosslinking agent has been proposed.

【0004】また、高精度のパターンが得られる方法と
して、フォトリソグラフィーを用いた方法も行われてい
るが、この場合塗布、露光、現像、乾燥等の工程を繰り
返す必要があること、及び全面塗布して露光した後に不
必要な部分を現像により除去することによる蛍光体粉末
の無駄な消費、これの回収、再生などコスト高となる。
A method using photolithography is also used as a method for obtaining a high-precision pattern. In this case, however, it is necessary to repeat steps such as coating, exposure, development, and drying. Unnecessary portions are removed by development after the exposure, and wasteful consumption of the phosphor powder, and recovery and regeneration of the phosphor powder increase costs.

【0005】インクジェットノズルの先端から蛍光体ペ
ーストを噴射し、蛍光体層を形成する方法も提案されて
いる。しかし、インクジェットの場合は、圧電素子など
により蛍光体ペーストを噴射する機構のため、粘度を
0.2ポイズ以下程度にする必要があり、ペースト中の
蛍光体粉末量を多くできないため、蛍光体層全体の厚み
が薄くなる。
A method has been proposed in which a phosphor paste is sprayed from the tip of an ink jet nozzle to form a phosphor layer. However, in the case of ink jet, the viscosity needs to be about 0.2 poise or less due to a mechanism for injecting a phosphor paste by a piezoelectric element or the like, and the amount of phosphor powder in the paste cannot be increased. The overall thickness is reduced.

【0006】さらには、上記のようなスクリーン印刷な
どの方法で形成された蛍光体層は、隔壁頂部付近の厚み
が薄くなる傾向があるため、プラズマディスプレイとし
ての発光輝度が低く、発光効率の低いものであった。
Further, the phosphor layer formed by the method such as the screen printing described above tends to have a small thickness near the top of the partition wall, so that the luminous luminance and the luminous efficiency of the plasma display are low. Was something.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、高歩留まり
かつ簡便に、隔壁間に高精度に蛍光体層を形成し、高輝
度のプラズマディスプレイを製造するためのプラズマデ
ィスプレイ用基板の製造方法を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method for manufacturing a plasma display substrate for manufacturing a high-luminance plasma display by easily forming a phosphor layer between partition walls with high yield and high yield. Aim.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明の第1発
明は、隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプ
レイ用基板の製造方法であって、隔壁間に蛍光体ペース
トを充填する際、蛍光体ペーストの充填量が隔壁で構成
される溝の体積の50〜120%の範囲内であることを
特徴とするプラズマディスプレイ用基板の製造方法であ
る。また、本発明の第2発明は、隔壁間に蛍光体層が形
成されたプラズマディスプレイ用基板の製造方法であっ
て、隔壁間に蛍光体ペーストを充填する際、画像処理に
よって蛍光体ペーストの充填量を検知して、充填量を制
御することを特徴とするプラズマディスプレイ用基板の
製造方法である。
That is, a first invention of the present invention is a method of manufacturing a plasma display substrate in which a phosphor layer is formed between partition walls. A method for manufacturing a substrate for a plasma display, wherein a filling amount of a phosphor paste is in a range of 50 to 120% of a volume of a groove formed by a partition. Further, the second invention of the present invention is a method for manufacturing a plasma display substrate having a phosphor layer formed between partitions, wherein the filling of the phosphor paste between the partitions is performed by image processing. A method for manufacturing a substrate for a plasma display, comprising detecting an amount and controlling a filling amount.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明の製造方法において使用さ
れる基板は特に限定されないが、一般的なソーダライム
ガラスやソーダライムガラスをアニール処理したガラ
ス、または、高歪み点ガラス等を用いることができる。
またガラス基板のサイズには特に限定はなく、1〜5m
mの厚みのガラスを用いることができる。さらに、ガラ
ス基板上に電極、誘電体層が形成されたものでもよい。
ここで、電極は、銀やアルミ、銅、金、ニッケル、酸化
錫、ITO等をスクリーン印刷法や感光性導電ペースト
を用いた方法などで基板上に形成することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The substrate used in the manufacturing method of the present invention is not particularly limited, but it is possible to use a general soda lime glass, a glass obtained by annealing a soda lime glass or a glass having a high strain point. it can.
The size of the glass substrate is not particularly limited, and is 1 to 5 m.
Glass with a thickness of m can be used. Further, an electrode and a dielectric layer may be formed on a glass substrate.
Here, the electrodes can be formed on the substrate by a screen printing method, a method using a photosensitive conductive paste, or the like of silver, aluminum, copper, gold, nickel, tin oxide, ITO, or the like.

【0010】プラズマディスプレイを構成する背面基板
には、通常、ピッチ100〜430μm、線幅15〜6
0μm、高さ60〜150μm程度の形状を有する隔壁
層が形成されている。また、通常、隔壁はストライプ状
に形成されるので蛍光体層もストライプ状に10〜50
μmの厚みで形成されている。隔壁はその断面がほぼ矩
形状になるように形成され、蛍光体ペーストはこれらの
隔壁に仕切られた溝間に充填される。カラーディスプレ
イの場合、RGB3本のストライプで1つの画素ライン
を形成するため、その繰り返しで蛍光体層を形成する必
要がある。
A back substrate constituting a plasma display usually has a pitch of 100 to 430 μm and a line width of 15 to 6 μm.
A partition layer having a shape of 0 μm and a height of about 60 to 150 μm is formed. In addition, since the partition walls are usually formed in a stripe shape, the phosphor layer is also formed in a stripe shape in a range of 10 to 50.
It is formed with a thickness of μm. The partition is formed so that its cross section is substantially rectangular, and the phosphor paste is filled between the grooves partitioned by the partition. In the case of a color display, since one pixel line is formed with three stripes of RGB, it is necessary to repeatedly form a phosphor layer.

【0011】蛍光体ペーストの充填方法はプラズマディ
スプレイの品質を左右する重要技術であり、具体的には
スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法などが挙げ
られる。
The method of filling the phosphor paste is an important technique which affects the quality of the plasma display, and specific examples include a screen printing method and a photolithography method.

【0012】本発明における蛍光体ペーストは、蛍光体
粉末と有機成分等を混合したものを用いることができ
る。
As the phosphor paste in the present invention, a mixture of a phosphor powder and an organic component can be used.

【0013】蛍光体粉末としては特に限定されない。例
えば、赤色では、Y23:Eu、YVO4:Eu、
(Y,Gd)BO3:Eu、Y23S:Eu、γ−Zn3
(PO4 2:Mn、(ZnCd)S:Ag+In23
2SiO5:Eu、Y2Al512:Eu、Zn3(P
42:Mn、YBO3:Eu、(Y,Gd)BO3:E
u、GdBO3:Eu、ScBO3P:Eu、LuB
3:Eu などがある。緑色では、Zn2GeO2:M
n、BaAl1219:Mn、Zn2SO4:Mn、LaP
4:Tb、ZnS:Cu,Al、ZnS:Au,C
u, Al、(ZnCd)S:Cu,Al、Zn2SiO
4:Mn,As、AsY3Al512:Ce、CeMgA
1119:Tb、Gd22S:Tb、Y3Al512:T
b、ZnO:Zn などがある。青色では、Y2Si
5:Ce、CaWO4:Pb、BaMgAl1423:E
u、Sr5(PO43Cl:Eu、BaMgAl
1627:Eu、BaMg2Al1424:Eu、ZnS:
Ag+pigment(red)、Y2SiO3:Ceな
どである。
[0013] The phosphor powder is not particularly limited. An example
For example, in red, YTwoOThree: Eu, YVOFour: Eu,
(Y, Gd) BOThree: Eu, YTwoOThreeS: Eu, γ-ZnThree
(POFour) Two: Mn, (ZnCd) S: Ag + InTwoOThree,
YTwoSiOFive: Eu, YTwoAlFiveO12: Eu, ZnThree(P
OFour)Two: Mn, YBOThree: Eu, (Y, Gd) BOThree: E
u, GdBOThree: Eu, ScBOThreeP: Eu, LuB
OThree: Eu and the like. In green, ZnTwoGeOTwo: M
n, BaAl12O19: Mn, ZnTwoSOFour: Mn, LaP
OFour: Tb, ZnS: Cu, Al, ZnS: Au, C
u, Al, (ZnCd) S: Cu, Al, ZnTwoSiO
Four: Mn, As, AsYThreeAlFiveO12: Ce, CeMgA
l11O19: Tb, GdTwoOTwoS: Tb, YThreeAlFiveO12: T
b, ZnO: Zn and the like. In blue, YTwoSi
OFive: Ce, CaWOFour: Pb, BaMgAl14Otwenty three: E
u, SrFive(POFour)ThreeCl: Eu, BaMgAl
16O27: Eu, BaMgTwoAl14Otwenty four: Eu, ZnS:
Ag + pigment (red), YTwoSiOThree: Ce
What is it?

【0014】有機成分としては、一般的な有機バインダ
ー、溶媒などを使用することができる。有機バインダー
の具体的な例としては、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルブチラール、ポリビニルアセテート、メチルセルロ
ース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロー
ス、メチルヒドロキシエチルセルロースなどのセルロー
ス系ポリマー、ポリメチルシロキサン、ポリメチルフェ
ニルシロキサンなどのシリコンポリマー、ポリエチレ
ン、ポリビニルピロリドン、ポリスチレン、ポリアミ
ド、高分子量ポリエーテル、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。ま
た、ペーストの粘度を調整するなどの用途に用いられる
溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、
アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソ
ブチルアルコール、イソプロピルアルコール、ベンジル
アルコール、テルピネオール、テトラヒドロフラン、ブ
チルカルビトールアセテート、ジメチルスルフォキシ
ド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベン
ゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安
息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上
を含有する有機溶媒混合物が挙げられる。
As the organic component, general organic binders, solvents and the like can be used. Specific examples of the organic binder include polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, methylcellulose, ethylcellulose, hydroxyethylcellulose, cellulosic polymers such as methylhydroxyethylcellulose, polymethylsiloxane, silicon polymers such as polymethylphenylsiloxane, polyethylene, Polyvinylpyrrolidone, polystyrene, polyamide, high molecular weight polyether, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins. In addition, as a solvent used for purposes such as adjusting the viscosity of the paste, methyl cellosolve, ethyl cellosolve,
Butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane,
Acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, benzyl alcohol, terpineol, tetrahydrofuran, butyl carbitol acetate, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, Examples thereof include chlorobenzoic acid and the like and an organic solvent mixture containing at least one of these.

【0015】また、有機成分中には可塑剤を添加するこ
ともでき、具体的な例としては、ジブチルフタレート、
ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリ
セリンなどがあげられる。
A plasticizer can be added to the organic component. Specific examples include dibutyl phthalate,
Dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like can be mentioned.

【0016】また、フォトリソグラフィー法を適用する
場合、ペースト中に、感光性モノマー、感光性オリゴマ
ー、感光性ポリマーのうち少なくとも1種類から選ばれ
る感光性成分を含有し、さらに必要に応じて、光重合開
始剤、紫外線吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤な
どの添加剤成分を加えることで感光性が付与される。こ
のような場合、ペーストを充填後に、乾燥を行った後、
パターン露光して不要部分を現像して取り除き、所望の
パターンを形成することができる。
In the case where the photolithography method is applied, the paste contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer and a photosensitive polymer. Photosensitivity is imparted by adding additive components such as a polymerization initiator, an ultraviolet absorber, a sensitizer, a sensitization aid, and a polymerization inhibitor. In such a case, after filling the paste, after drying,
Unnecessary portions can be developed and removed by pattern exposure to form a desired pattern.

【0017】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (A)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (B)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (C)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。
The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (A) a functional monomer having at least one unsaturated group in the molecule. (B) those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds, and organic halogen compounds. (C) So-called diazo resins such as condensates of diazo amines and formaldehyde. And others.

【0018】また、光可溶型のものとしては、 (D)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (E)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン−1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル
等がある。
Examples of the photo-soluble type include (D) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, and a compound containing a quinone diazo compound. (E) a quinone diazo compound combined with an appropriate polymer binder. For example, phenol, naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid ester of a novolak resin, and the like.

【0019】これらの内、特に、積層してパターン加工
する場合は、光不溶化型のものが、中でも、感光性ペー
ストとして、無機微粒子と混合して簡便に用いることが
できる点から(A)のものが好ましく用いられる。
Of these, in particular, when laminating and patterning, the photoinsolubilizing type is particularly preferable because it can be easily mixed with inorganic fine particles as a photosensitive paste and used as (A). Are preferably used.

【0020】感応性モノマーとは、炭素−炭素不飽和結
合を含有する化合物で、その具体的な例として、メチル
アクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルアク
リレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチルアク
リレート、sec−ブチルアクリレート、イソブチルア
クリレート、tert−ブチルアクリレート、n−ペン
チルアクリレート、アリルアクリレート、ベンジルアク
リレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリ
エチレングリコールアクリレート、シクロヘキシルアク
リレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロ
ペンテニルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレ
ート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレ
ート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、イソボニルアクリレート、
2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルア
クリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアク
リレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシ
エチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレン
グリコールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリ
レート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルア
クリレート、トリフロロエチルアクリレート、アリル化
シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジオー
ルジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジアク
リレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチ
レングリコールジアクリレート、トリエチレングリコー
ルジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレー
ト、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、グ
リセロールジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシル
ジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピ
レングリコールジアクリレート、トリグリセロールジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、アクリルアミド、アミノエチルアクリレート、フェ
ニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ベ
ンジルアクリレート、1−ナフチルアクリレート、2−
ナフチルアクリレート、ビスフェノールAジアクリレー
ト、ビスフェノールA−エチレンオキサイド付加物のジ
アクリレート、ビスフェノールA−プロピレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、チオフェノールアクリレー
ト、ベンジルメルカプタンアクリレート等のアクリレー
ト、また、これらの芳香環の水素原子のうち、1〜5個
を塩素または臭素原子に置換したモノマー、もしくは、
スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、
m−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化スチレ
ン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチレン、
臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒ
ドロキシメチルスチレン、カルボシキメチルスチレン、
ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバ
ゾール、および、上記化合物の分子内のアクリレートを
一部もしくはすべてをメタクリレートに変えたもの、γ
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−ビ
ニル−2−ピロリドンなどが挙げられる。
The sensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, and sec-butyl. Acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, Glycerol acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate Rate, isobornyl acrylate,
2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, Allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, Dipentaerythrit Rumonohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, Aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-
Acrylates such as naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct, diacrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, thiophenol acrylate and benzyl mercaptan acrylate, and hydrogen atoms of these aromatic rings Among them, monomers in which 1 to 5 are substituted with chlorine or bromine atoms, or
Styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene,
m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α-methylstyrene,
Brominated α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene, carboxymethylstyrene,
Vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and those obtained by changing some or all of the acrylate in the molecule of the above compound to methacrylate, γ
-Methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone and the like.

【0021】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、パターン露光後の現像性を
付与することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例
としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、
クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、また
はこれらの酸無水物などがあげられる。
In addition, by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid, developability after pattern exposure can be imparted. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid,
Examples thereof include crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0022】共重合するモノマーとしては、不飽和カル
ボン酸等の不飽和酸を共重合することによって、パター
ンを形成する場合の現像性を向上することができる。不
飽和カルボン酸の具体的な例としては、アクリル酸、メ
タアクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、
フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物などが
あげられる。
As a monomer to be copolymerized, an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid may be copolymerized to improve the developability in forming a pattern. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid,
Examples thereof include fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0023】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
の側鎖または分子末端に光反応性基を付加させることに
よって、感光性を持つ感光性ポリマーや感光性オリゴマ
ーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、
エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不
飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メ
タクリル基などがあげられる。
By adding a photoreactive group to the side chain or molecular terminal of the polymer or oligomer described above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are
It has an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0024】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させて作る方法がある。
A method for adding such a side chain to an oligomer or a polymer is to use an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, or an acrylic acid, for a mercapto group, an amino group, a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer. There is a method in which chloride, methacrylic chloride or allyl chloride is added to make an addition reaction.

【0025】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl crotonate, and glycidyl ether isocrotonic acid. .

【0026】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate.

【0027】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。
The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of from 0.05 to 0.05 to the mercapto group, amino group, hydroxyl group and carboxyl group in the polymer. It is preferable to add one molar equivalent.

【0028】光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾ
フェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロ
ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニ
ルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−
ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−
フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジク
ロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオ
キサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロ
ピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジ
ルジメチルケタノール、ベンジルメトキシエチルアセタ
ール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インブチルエーテル、アントラキノン、2−t−ブチル
アントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロ
ルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジ
ベンゾスベロン、メチレンアントロン、4−アジドベン
ザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジ
リデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジド
ベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フ
ェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカル
ボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2
−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフ
ェニル−プロパントリオン−2−(o−エトキシカルボ
ニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパ
ントリオン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、ミヒラ
ーケトン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニ
ル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ナフタレン
スルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライ
ド、N−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイ
ソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチ
アゾールジスルフィド、トリフェニルホルフィン、カン
ファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスル
ホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブル
ーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノ
ールアミンなどの還元剤の組合せなどがあげられる。
Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4-dichlorobenzophenone. , 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-
Diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-
Phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyldimethylketanol , Benzylmethoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidoben Zalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene)- - methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2-(o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl - propane dione -2
-(O-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, Photoreducing dyes such as benzothiazole disulfide, triphenylphorphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide and eosin, and methylene blue, and reduction of ascorbic acid, triethanolamine, etc. Such as the combination, and the like.

【0029】また、ペースト中に紫外線吸収剤を添加す
ることも、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られ
ることから、有効である。紫外線吸収剤としては、アゾ
系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノ
リン系染料、アミノケトン系染料、アントラキノン系、
ベンゾフェノン系、ジフェニルシアノアクリレート系、
トリアジン系、p−アミノ安息香酸系染料などが使用で
きる。
It is also effective to add an ultraviolet absorber to the paste, since high aspect ratio, high definition and high resolution can be obtained. As an ultraviolet absorber, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinone dyes,
Benzophenone-based, diphenylcyanoacrylate-based,
Triazine-based, p-aminobenzoic acid-based dyes and the like can be used.

【0030】さらに、増感剤の添加は、感度を向上させ
るために有効である。増感剤としては、例えば、2,4
−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサント
ン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シク
ロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベン
ザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチル
アミノベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒ
ラーケトン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾ
フェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチ
ルアミノシンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、2−(p−ジメチルアミノ
フェニルビニレン)−イソナフトチアゾール、1,3−
ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3
−カルボニル−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)ア
セトン、3,3−カルボニル−ビス(7−ジエチルアミ
ノクマリン)、N−フェニル−N−エチルエタノールア
ミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエ
タノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、ジメ
チルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香
酸イソアミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテト
ラゾール、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオ
テトラゾールなどがあげられる。
Further, the addition of a sensitizer is effective for improving the sensitivity. As the sensitizer, for example, 2,4
-Diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal ) -4-Methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) -benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone,
4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) -isonaphthothiazole, 1,3-
Bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3
-Carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonyl-bis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N- Examples include phenylethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like.

【0031】また、重合禁止剤の添加は、保存時の熱安
定性を向上させるために有効である。重合禁止剤の具体
的な例としては、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエ
ステル化物、N−ニトロソジフェニルアミン、フェノチ
アジン、p−t−ブチルカテコール、N−フェニルナフ
チルアミン、2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェ
ノール、クロラニール、ピロガロールなどが挙げられ
る。
The addition of a polymerization inhibitor is effective for improving the thermal stability during storage. Specific examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, monoesterified hydroquinone, N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, pt-butylcatechol, N-phenylnaphthylamine, 2,6-di-t-butyl-p- Methyl phenol, chloranil, pyrogallol and the like can be mentioned.

【0032】上記の各成分を混合した後、プラネタリー
ミキサーや三本ローラーなどで混練して本発明における
蛍光体ペーストを作製することができる。
After the above components are mixed, the mixture is kneaded with a planetary mixer, a three-roller or the like to prepare the phosphor paste of the present invention.

【0033】スクリーン印刷法の場合を例に説明する
と、前述したように隔壁ピッチが100〜430μmと
なると、3色に分ける場合の蛍光体ペーストの充填ピッ
チは300〜1290μmとなり、隔壁線幅が50μm
とするなら、ペーストが充填されるパターン部の大きさ
は50〜380μmとなる。このようなパターンが形成
されたスクリーン印刷版から隔壁間に押し出された蛍光
体ペーストは、隔壁の側面に転写された後、ペーストの
自重で隔壁側面を降下し、ペーストの自重と表面張力で
均一化して、隔壁の側面とその底部に蛍光体ペースト層
を形成すると考えられている。ここで、蛍光体ペースト
の充填量が少ないと、底部にペーストが集中し、ペース
ト層の隔壁側面厚みが薄くなるため、輝度のロス・高視
野角での輝度低下を引き起こす。また、充填量が多い場
合は、輝度確保にはある程度有効であるが、隔壁頂部に
ペースト付着が生じるなどの不都合が考えられる。
The screen printing method will be described as an example. As described above, when the partition pitch is 100 to 430 μm, the filling pitch of the phosphor paste when divided into three colors is 300 to 1290 μm, and the partition line width is 50 μm.
Then, the size of the pattern portion filled with the paste is 50 to 380 μm. The phosphor paste extruded between the partition walls from the screen printing plate on which such a pattern is formed is transferred to the side surfaces of the partition walls, then descends on the partition wall side surfaces by the own weight of the paste, and is uniform by the paste's own weight and surface tension. It is considered that the phosphor paste layer is formed on the side surface and the bottom portion of the partition wall. Here, when the filling amount of the phosphor paste is small, the paste concentrates on the bottom portion and the thickness of the side wall of the paste layer becomes thin, so that a loss of luminance and a decrease in luminance at a high viewing angle are caused. Further, when the filling amount is large, it is effective to some extent for securing the luminance, but it may be disadvantageous that the paste adheres to the top of the partition wall.

【0034】本発明の第1発明は、蛍光体ペーストの充
填量が隔壁で構成される溝の体積の50〜120%の範
囲内であることが必要である。蛍光体ペーストの充填量
が50%未満では頂部付近の厚みが薄くなり、120%
を越えると隔壁頂部への蛍光体ペーストが付着するなど
の不都合が生じるためである。均一な厚みの蛍光体層を
安定して形成するためには、蛍光体ペーストの充填量を
60%〜110%とすることが好ましい。なお、充填量
は蛍光体ペーストの供給量と用いる隔壁間の溝の体積か
ら容易に算出することができる。具体的には、(蛍光体
ペーストの供給量)×100/(隔壁間の溝の体積)
で、求めることができる。
According to the first aspect of the present invention, the filling amount of the phosphor paste must be in the range of 50 to 120% of the volume of the groove formed by the partition. If the filling amount of the phosphor paste is less than 50%, the thickness near the top becomes thin, and
If the thickness exceeds the above range, problems such as adhesion of the phosphor paste to the top of the partition wall may occur. In order to stably form a phosphor layer having a uniform thickness, the filling amount of the phosphor paste is preferably set to 60% to 110%. The filling amount can be easily calculated from the supply amount of the phosphor paste and the volume of the groove between the used partition walls. Specifically, (supply amount of phosphor paste) × 100 / (volume of groove between partition walls)
In, you can ask.

【0035】本発明の第2発明は、蛍光体ペーストの充
填工程において、画像処理によって蛍光体ペーストの充
填量を検知して、充填量を制御するものである。本方法
によれば段取り替えの度に充填量を制御するための条件
設定を行う必要が無くなり、設定間違いなどの初歩的な
ミスを無くすことができ歩留まりが向上する。
According to a second aspect of the present invention, in the step of filling the phosphor paste, the filling amount of the phosphor paste is detected by image processing to control the filling amount. According to this method, it is not necessary to set conditions for controlling the filling amount every time the setup is changed, so that elementary mistakes such as setting mistakes can be eliminated, and the yield can be improved.

【0036】具体的には、例えばCCDカメラなどの撮
像器を用いて、隔壁間に蛍光体ペーストが充填された様
子を撮像し、その結果を画像として記憶し、その記憶し
た画像と所望量充填された状態の画像とを比較して蛍光
体ペーストの充填量を制御する方法などが挙げられる。
充填量は、隔壁間の溝の形状、用いる蛍光体ペーストの
特性によって異なるため制御する必要があるが、主に蛍
光体ペーストの充填条件を変更することで制御すること
ができる。充填条件としては、スクリーン印刷の場合を
例に取ると、用いるスクリーン版の開口部の大きさ、ペ
ーストを押し込むスキージの角度、押し込み圧、進行速
度、あるいはスクリーン版と基板とのクリアランスなど
が挙げられ、これらを適宜調節することによって充填量
を制御することができる。
More specifically, for example, an image pickup device such as a CCD camera is used to capture an image of the state in which the phosphor paste is filled between the partition walls, and the result is stored as an image. A method of controlling the filling amount of the phosphor paste by comparing the image in a state where the image is displayed, and the like can be given.
The filling amount depends on the shape of the groove between the partition walls and the characteristics of the phosphor paste to be used, and thus needs to be controlled. However, it can be controlled mainly by changing the filling condition of the phosphor paste. The filling conditions include, for example, the size of the opening of the screen plate to be used, the angle of the squeegee for pushing the paste, the pushing pressure, the traveling speed, and the clearance between the screen plate and the substrate, in the case of screen printing. The filling amount can be controlled by appropriately adjusting these.

【0037】例えば、隔壁間の溝の形状が異なる背面基
板や特性の異なる蛍光体ペーストを用いたりするときの
充填量の制御方法としては、押し込み圧などの複数の充
填条件を調節することにより蛍光体ペーストが充填され
た状態の画像と所望の充填量の記憶画像とを比較し、そ
の誤差が一定範囲内となる充填条件を選択する方法など
が挙げられる。
For example, as a method of controlling a filling amount when using a back substrate having different shapes of grooves between the partition walls or a phosphor paste having different characteristics, a plurality of filling conditions such as an indentation pressure are adjusted to adjust the filling amount. There is a method of comparing an image in a state where the body paste is filled with a stored image of a desired filling amount, and selecting a filling condition in which an error is within a certain range.

【0038】また、本方法は設定した充填条件に対して
実際の充填量を検査する場合に適用することもできる。
なお、吐出孔を有する口金から隔壁間に充填する方法を
用いる場合には、口金の進行方向の後方に画像検出装置
を設けて、充填と同時に充填量の確認を行い、それをフ
ィードバックするなどの操作を行うこともできる。
The present method can also be applied to the case where the actual filling amount is inspected under the set filling conditions.
In addition, when using the method of filling between the partition from the base having the discharge hole, an image detection device is provided in the back of the base in the traveling direction, the filling amount is checked at the same time as the filling, and the feedback is performed. Operations can also be performed.

【0039】また、吐出孔を有する口金から蛍光体ペー
ストを隔壁間に吐出して充填する方法は、高精細な背面
基板を製造するための蛍光体ペーストの充填方法として
好ましく用いることができる。スクリーン印刷法などを
用いて蛍光体ペーストを充填する場合は、スクリーン版
材裏面へのペーストの回り込みや、位置合わせの精度の
問題から隔壁頂部に各色ペーストが付着するという問題
があり、本発明の方法を使用することにより上記問題点
を解決することができるからである。
Further, the method of discharging and filling the phosphor paste between the partition walls from a die having discharge holes can be preferably used as a method of filling the phosphor paste for manufacturing a high-definition back substrate. When the phosphor paste is filled using a screen printing method or the like, there is a problem that the paste wraps around the back surface of the screen plate material, and that each color paste adheres to the top of the partition wall due to a problem of alignment accuracy. This is because the above problem can be solved by using the method.

【0040】口金から蛍光体ペーストを吐出するために
は、ディスペンサーなどを用いて一定範囲の圧力で連続
的にペーストを加圧して、その圧力でペーストを吐出す
る定圧吐出、あるいはシリンジなどに充填されたペース
トの一定体積を連続的に押し出す定量吐出などの方法が
好ましく用いられる。これによりペーストの吐量出を一
定に保つことができ、安定した充填量を得ることができ
る。この時用いられる口金は、吐出孔先端にさらにノズ
ルを有する口金、またはニードルを有する口金である
と、口金が汚れにくくなり好ましい。
In order to discharge the phosphor paste from the die, the paste is continuously pressurized at a certain range of pressure using a dispenser or the like, and the paste is discharged at a constant pressure. It is preferable to use a method such as constant-volume ejection in which a predetermined volume of the paste is continuously extruded. Thereby, the discharge amount of the paste can be kept constant, and a stable filling amount can be obtained. The base used at this time is preferably a base having a nozzle at the tip of the discharge hole or a base having a needle, since the base is less likely to be stained.

【0041】吐出口の内径は、塗布対象の隔壁の間隔1
00〜400μmに対し、隔壁間隔以下であることが好
ましく、蛍光体粉末の粒子径よりも大きいことが好まし
い。
The inner diameter of the discharge port is determined by the distance 1 between the partition walls to be coated.
The distance between the partition walls is preferably equal to or less than 00 to 400 μm, and is preferably larger than the particle diameter of the phosphor powder.

【0042】さらに、充填する際は、口金の吐出部先端
と隔壁頂部との距離を0.01〜2mmの範囲内に状態
に保ち、一定の速度で口金および/またはガラス基板を
走行させながら蛍光体ペーストを一定流量で吐出して隔
壁間に充填することが好ましい。より好ましくは0.0
3〜1mmの範囲内である。この間隔で充填することに
より、隔壁の頂部との接触を避けながら、蛍光体ペース
トを隔壁の間に流し込むことができる。
Further, at the time of filling, the distance between the tip of the discharge portion of the base and the top of the partition wall is maintained in the range of 0.01 to 2 mm, and the fluorescent light is run while moving the base and / or the glass substrate at a constant speed. It is preferable to discharge the body paste at a constant flow rate and fill the space between the partition walls. More preferably 0.0
It is in the range of 3 to 1 mm. By filling at this interval, the phosphor paste can be poured between the partition walls while avoiding contact with the tops of the partition walls.

【0043】以上のように蛍光体ペーストを隔壁間に充
填した後、好ましくは40〜300℃で加熱するなどの
乾燥工程により、蛍光体層を形成することができる。
After the phosphor paste is filled between the partition walls as described above, the phosphor layer can be formed by a drying step such as heating at preferably 40 to 300 ° C.

【0044】[0044]

【実施例】以下に本発明を実施例を用いて具体的に説明
するが、これらに限定されるものではない。なお、濃度
(%)は特に断らない限り、重量%である。 実施例1ないし6及び比較例1ないし6 (1)蛍光体ペーストの作成 無機蛍光体粉末95gをエチルセルロースの16%テル
ピネオール/ベンジルアルコール(3/1)溶液100
gの中に分散・混合して蛍光体ペーストを作成した。用
いた蛍光体粉末は赤色発光には(Y,Gd)BO3:E
u、緑色発光にはZnSiO4:Mn、青色発光にはB
aMgAl1017:Euである。これらの各色蛍光体粉
末の累積平均粒子径、および最大粒子径はそれぞれ次の
通りであった。 R蛍光体:2.7μm、27μm B蛍光体:3.7μm、27μm G蛍光体:3.6μm、25μm (2)蛍光体層の形成 (1)で作成した各色蛍光体ペーストをガラス基板上に
ピッチ330μm、高さ120μm、幅50μmで形成
された隔壁間に充填した。充填は、孔径150μmの吐
出孔を有する口金により行った。口金の吐出孔部と隔壁
の頂部の距離は150μmにセットした。そしてディス
ペンサーにより吐出圧を200〜700kPaに調節し
て、口金の進行速度を20〜100mm/sの範囲内で
変化させ、各種充填条件で、一定速度で口金を進行させ
ながら蛍光体ペーストを一定量吐出して隔壁間に充填し
た。その後、150℃で加熱乾燥して蛍光体層を形成し
た。 (3)評価 (2)で蛍光体層を形成した基板を、蛍光体層の隔壁側
面厚み、隔壁底部厚み、及び隔壁頂部への蛍光体の付着
の有無を電子顕微鏡により観察した結果が、表1であ
る。表1に示すように、本発明の製造方法により、各色
蛍光体が隔壁底部及び側面に20±5μmの同等の厚み
で形成され、隔壁頂部への蛍光体の付着のないプラズマ
ディスプレイ用基板が得られた。
EXAMPLES The present invention will be described below in more detail with reference to Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto. The concentration (%) is% by weight unless otherwise specified. Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6 (1) Preparation of phosphor paste 95 g of inorganic phosphor powder was mixed with a solution of ethyl cellulose in a 16% terpineol / benzyl alcohol (3/1) solution 100.
g was dispersed and mixed to prepare a phosphor paste. The phosphor powder used was (Y, Gd) BO 3 : E for red emission.
u, ZnSiO 4 : Mn for green light emission, B for blue light emission
aMgAl 10 O 17 : Eu. The cumulative average particle size and the maximum particle size of each of the phosphor powders were as follows. R phosphor: 2.7 μm, 27 μm B phosphor: 3.7 μm, 27 μm G phosphor: 3.6 μm, 25 μm (2) Formation of phosphor layer The phosphor paste of each color prepared in (1) is placed on a glass substrate. The space was filled between the partition walls having a pitch of 330 μm, a height of 120 μm, and a width of 50 μm. The filling was performed by a die having a discharge hole having a hole diameter of 150 μm. The distance between the discharge hole of the base and the top of the partition was set to 150 μm. Then, the discharge pressure is adjusted to 200 to 700 kPa by a dispenser, and the traveling speed of the die is changed within a range of 20 to 100 mm / s. Under various filling conditions, a predetermined amount of the phosphor paste is fed while the die is advanced at a constant speed. It was discharged and filled between the partition walls. Thereafter, the resultant was dried by heating at 150 ° C. to form a phosphor layer. (3) Evaluation The results of observing the substrate on which the phosphor layer was formed in (2) by using an electron microscope for the thickness of the side wall of the phosphor layer, the thickness of the bottom of the partition, and the presence / absence of the phosphor adhering to the top of the partition are shown in Table 1. It is one. As shown in Table 1, according to the manufacturing method of the present invention, each color phosphor is formed at the same thickness of 20 ± 5 μm on the bottom and side walls of the partition wall, and a plasma display substrate having no phosphor attached to the top of the partition wall is obtained. Was done.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】実施例7ないし12及び比較例7ないし1
2 (1)蛍光体ペーストの作成 無機蛍光体粉末110gをエチルセルロースの14%テ
ルピネオール/ベンジルアルコール(3/5)溶液10
0gの中に分散・混合して蛍光体ペーストを作成した。
蛍光体粉末は実施例1ないし6及び比較例1ないし6と
同様のものを用いた。 (2)蛍光体層の形成 実施例1ないし6及び比較例1ないし6において、蛍光
体層を形成する際、それぞれの充填条件で蛍光体ペース
トが充填された様子をCCDカメラを用いて撮影し、そ
れを画像記憶させた。続いて上記(1)で作成した各色
蛍光体ペーストを実施例1ないし5及び比較例1ないし
3と同様にガラス基板上に形成された隔壁間に充填し
た。
Examples 7 to 12 and Comparative Examples 7 to 1
2 (1) Preparation of phosphor paste 110 g of inorganic phosphor powder was added to a 10% solution of ethyl cellulose in 14% terpineol / benzyl alcohol (3/5).
0 g was dispersed and mixed to prepare a phosphor paste.
Phosphor powders similar to those used in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6 were used. (2) Formation of Phosphor Layer In Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6, when the phosphor layer was formed, the state in which the phosphor paste was filled under each filling condition was photographed using a CCD camera. , It was stored in the image. Subsequently, each color phosphor paste prepared in the above (1) was filled between the partition walls formed on the glass substrate in the same manner as in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3.

【0047】充填は実施例1ないし6及び比較例1ない
し6と同様の口金およびディスペンサーを用い、充填さ
れた様子をCCDカメラで撮影して、画像処理によっ
て、あらかじめ記憶しておいた画像と一致する充填条件
を選択して充填を行った。その後、150℃で加熱乾燥
して蛍光体層を形成した。 (3)評価 (2)で蛍光体層を形成した基板を、蛍光体層の隔壁側
面厚み、隔壁底部厚み、及び隔壁頂部への蛍光体の付着
の有無を電子顕微鏡により観察した結果が、表2であ
る。表2に示すように、本発明の製造方法により、画像
処理を行って簡便に充填量を制御することが可能とな
り、各色蛍光体が隔壁底部及び側面に20±5μmの同
等の厚みで形成され、隔壁頂部への蛍光体の付着のない
プラズマディスプレイ用基板が得られた。
Filling was performed using the same base and dispenser as in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 6, and the filled state was photographed with a CCD camera, and matched with an image stored in advance by image processing. The filling conditions were selected to perform filling. Thereafter, the resultant was dried by heating at 150 ° C. to form a phosphor layer. (3) Evaluation The results of observing the substrate on which the phosphor layer was formed in (2) by using an electron microscope for the thickness of the side wall of the phosphor layer, the thickness of the bottom of the partition, and the presence / absence of the phosphor adhering to the top of the partition are shown in Table 1. 2. As shown in Table 2, the manufacturing method of the present invention makes it possible to easily control the filling amount by performing image processing, and each color phosphor is formed on the bottom and side surfaces of the partition wall with an equivalent thickness of 20 ± 5 μm. Thus, a plasma display substrate having no phosphor adhered to the top of the partition wall was obtained.

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明のプラズマディスプレイ用基板の
製造方法によれば、高精細で均一な高い輝度を示すプラ
ズマディスプレイ用基板を簡便に高歩留まりで製造する
ことができる。また、蛍光体ペーストの充填工程におい
て、段取り替えなどの際に所望の充填量に制御するため
に充填条件を設定したり、設定した充填条件の実際の充
填量を検査するなどの時に、画像処理によってそれらを
自動あるいは簡便に行うことが可能となり、効率の良い
蛍光体ペーストの充填を行うことができる。
According to the method for manufacturing a substrate for a plasma display of the present invention, a substrate for a plasma display having high definition and uniform high luminance can be easily manufactured with a high yield. In addition, in the process of filling the phosphor paste, image processing is performed when setting a filling condition to control a desired filling amount during setup change or when checking an actual filling amount under the set filling condition. As a result, they can be automatically or simply performed, and efficient filling of the phosphor paste can be performed.

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Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマデ
ィスプレイ用基板の製造方法であって、隔壁間に蛍光体
ペーストを充填する際、蛍光体ペーストの充填量が隔壁
で構成される溝の体積の50〜120%の範囲内である
ことを特徴とするプラズマディスプレイ用基板の製造方
法。
1. A method for manufacturing a plasma display substrate in which a phosphor layer is formed between partition walls, wherein when a phosphor paste is filled between the partition walls, a filling amount of the phosphor paste is determined by a groove formed by the partition walls. A method for manufacturing a substrate for a plasma display, wherein the volume is in the range of 50 to 120% of the volume of the substrate.
【請求項2】隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマデ
ィスプレイ用基板の製造方法であって、隔壁間に蛍光体
ペーストを充填する際、画像処理によって蛍光体ペース
トの充填量を検知して、充填量を制御することを特徴と
するプラズマディスプレイ用基板の製造方法。
2. A method of manufacturing a plasma display substrate having a phosphor layer formed between partition walls, the method comprising: when filling a phosphor paste between partition walls, detecting a filling amount of the phosphor paste by image processing. And a method for manufacturing a substrate for a plasma display, which comprises controlling a filling amount.
【請求項3】蛍光体ペーストの充填が、吐出孔を有する
口金を用いてストライプ状に形成された隔壁間になされ
ることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ
ディスプレイ用基板の製造方法。
3. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the filling of the phosphor paste is performed between the partition walls formed in a stripe shape by using a base having discharge holes. Method.
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