JP2001356205A - シェーディング補正拡散板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の課題は、拡散板により近い位置で，拡
散された強度均一光を得ることである。また、撮像光学
系で、レンズのＣｏｓ４乗則による光強度の不均一さを
なくすことである。 【解決手段】拡散された強度均一光を得たい位置で、光
強度を測定し、そのデータから、拡散板の厚さを変える
ことで透過率を変え、強度が均一な光を得る。また、レ
ンズを介した位置が強度均一光を得た位置であるなら
ば、レンズのＣｏｓ４乗則による光強度の不均一さも光
強度の測定に含まれ、同様に解決する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、拡散光学系の拡散
板に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】拡散光学系の中で、拡散板は、板状の砂
かけガラスやオパールが用いられている。図１は，拡散
板の光強度を示した説明図である。拡散された光強度の
均一精度を求めていくと，強度均一光を得るには，図１
のように、拡散板から離れた位置でなければならない。
拡散板に入光する１の光強度Ａは、拡散板によって拡散
され、２の光強度Ｂになる。また、拡散板から離れた位
置での３の光強度Ｃは、光強度Ｂよりも光強度均一性は
良い。

【０００３】しかし、拡散光学系を組んだ装置の寸法に
よる制限から、強度均一光を得るために、拡散板よりあ
まり距離を取れなくなる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、拡散板により近い位置で，拡散された強度均一光
を得ることである。また、撮像光学系で、レンズのＣｏ
ｓ４乗則による光強度の不均一さをなくすことである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、拡散された強
度均一光を得たい位置で、光強度を測定し、そのデータ
から、拡散板の厚さを変えることで透過率を変え、強度
が均一な光を得るものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】投影面にパターンの像を撮像する
光源装置の目的として、投影面（１５×１５ｍｍ）での
光強度均一性を±２％以下にし、かつ、拡散板からパタ
ーン面までの距離を２０ｍｍにするという目的を、本発
明を用いることで実現した。

【０００７】

【実施例】図２は、本発明装置の１実施例の断面図であ
って、１の光源（ハロゲンランプ）、２のミラーボック
ス、３の本発明のシェーディング補正拡散板、４のパタ
ーン、５のレンズ、６の投影面からなっている。

【０００８】ミラーボックスは、シェーディング補正拡
散板に当てる前に、ある程度の均一光を作っている。こ
れは、シェーディング補正拡散板の厚さ加工をある程度
簡単にする為である。

【０００９】まず、図３の加工前の拡散板を設置する。
この拡散板は、１のガラス板（５０×５０×ｔ１）と２
のオパール（５０×５０×ｔ１）が接着してある。そし
て、投影面での光強度均一性を計る。このときの光強度
均一性は、±１０％であった。そのデーターから、本実
施例では、拡散板のオパールに、Ｒ１５００ｍｍの丸み
を加工した（図３ 加工後参照）。このシェーディング
補正拡散板を設置することで、投影面の光強度均一性
は、±２％になった。投影面で光均一性のデータを計る
ことで、レンズのＣｏｓ４乗則による光強度の不均一さ
も、無くなる。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシェーデ
ィング補正拡散板を用いることで、拡散板から近い位置
で強度均一光を得ることができ、レンズのＣｏｓ４乗則
による光強度の不均一さをなくすこともできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】拡散板の光強度を示した説明図である。

【図２】シェーディング補正拡散板を使用した撮像光学
装置の実施例を示した説明図である。

【図３】シェーディング補正拡散板の加工前を示した説
明図である。

【図４】シェーディング補正拡散板の加工後を示した説
明図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 拡散光学系において、強度均一光になる
   ように肉厚を加工した拡散板。