JP2001354249A - 基板収納容器の蓋体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蓋体の内部等を十分に洗浄でき、基板汚染の
おそれを有効に解消し、蓋体内部の洗浄液やその水滴等
を容易に除去することのできる基板収納容器の蓋体を提
供する。 【解決手段】 容器本体１の開口正面からなるフランジ
７をガスケット９を介しシール状態に閉鎖する蓋体１０
を、断面略Ｕ字状で略箱形の裏面プレート１１と、裏面
プレート１１の開口表面に隙間を介し螺着被覆される表
面プレート１４と、裏面プレート１１の外周部の上下左
右にそれぞれ穿孔形成される複数の出没孔１２と、裏面
プレート１１と表面プレート１４との間に内蔵され、各
出没孔１２から出没可能な係止爪２３を突出させてこれ
を容器本体１のフランジ７内周部の係止穴８に係合させ
る一対のラッチ機構１７と、表面プレート１４の略四隅
部にそれぞれ丸く穿孔形成される洗浄液用の複数の流通
口３０とから構成する。蓋体１０に小さい出没孔１２の
他に、複数の流通口３０を形成するので、洗浄液を十分
に流通・循環させ得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ、
マスクガラス、液晶セル、記録媒体等の破損し易く汚染
を嫌う精密基板を収納、保管、輸送したり、あるいは精
密基板を加工・処理する加工装置に対する位置決めや加
工装置間の搬送、貯蔵に使用される基板収納容器の蓋体
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体部品の生産に関する半導体
ウェーハ、マスクガラス等の精密基板は、半導体デバイ
スの厳しい価格競争に伴い、精密基板の歩留まり向上に
よるコストダウンを目的として精密基板の大口径化(例
えば、３００ｍｍないし４００ｍｍ以上)が急ピッチで
検討されている。同時に、半導体回路は益々微細化が進
められ、ＤＲＡＭのデザインルール(加工最小線幅)も
０．２５μｍから０．１８μｍあるいはそれ以下に移行
しつつあり、精密基板の加工される工場はもとより、精
密基板の運搬時等に使用される容器に関しても益々高度
なクリーン度が要求されてきている。

【０００３】このような要求を実現する手段として、精
密基板の各種処理加工に必要な局所環境(ミニエンバイ
ロメント)のみを高度にクリーンな環境(米国連邦規格
(Ｆｅｄｅｒａｌ ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９Ｅ)のクリ
ーン度が１以下、必要に応じて０．０１レベル)とする
とともに、基板収納容器を標準化してその内部に複数枚
の精密基板をクリーンな状態で気密収納し、幾つかのク
リーンな局所環境間で基板収納容器を搬送し、歩留まり
を向上させようという方法が提案されている。係る提案
を受け、精密基板を汚染させることなく自動的に搬送す
ることができ、しかも、加工装置に直接アクセスするこ
とのできる基板収納容器の開発が鋭意進められている。

【０００４】この種の基板収納容器は、図６に部分的に
示すように、図示しない精密基板を収納する容器本体１
と、この容器本体１の開口の内周領域をガスケット９を
介し気密状態に閉鎖する着脱自在の蓋体１０とを備え、
この蓋体１０が局所環境内の図示しない加工装置に開閉
操作される。

【０００５】容器本体１は、図６に示すように、各種合
成樹脂を使用して略立方形に成形され、複数枚の精密基
板を上下に並べて収納する。この容器本体１の底面左右
両側部にはボトムレール２がそれぞれ形成され、底面の
前部両側と後部中央とには、加工装置に対して位置決め
手段として機能するＶグループ(図示せず)がそれぞれ突
出形成されており、この複数のＶグループに図示しない
ボトムプレートが嵌合保持される。このボトムプレート
は、基本的には平面略Ｙ字に形成され、前部両側と後部
中央とには、Ｖグループの周囲に嵌合する誘導部がそれ
ぞれ形成されており、中央部には、加工装置固定用の貫
通口が穿孔形成されている。

【０００６】容器本体１の左右両側面には同図に示すよ
うに、サイドレール３やマニュアルハンドル４がそれぞ
れ着脱自在に装着され、容器本体１の上面中心部には、
図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックフラ
ンジ５が着脱自在に装着されている。また、容器本体１
の内部左右両側面には、棚状の支持部６が容器本体１と
一体形成、又は別部品として着脱自在に装着され、この
一対の支持部６間に複数枚の精密基板が所定のピッチで
水平に整列支持される。容器本体１の開口正面は、段付
きに傾斜形成されてフランジ７とされ、このフランジ７
の内周面上下には、左右対象の位置に位置する係止穴８
がそれぞれ凹み形成されている。

【０００７】蓋体１０は、図６や図７に示すように、相
互に対向嵌合する裏面プレート１１と表面プレート１４
とを備え、これら裏面プレート１１と表面プレート１４
の間には、外部から操作可能なラッチ機構１７が内蔵さ
れており、このラッチ機構１７が容器本体１に蓋体１０
が嵌合する際、各係止穴８に出没可能な係止爪２３を突
出係合させ、基板収納容器の気密状態を確保する。蓋体
１０の外周面上下には、左右に位置する係止爪２３用の
出没孔１２がそれぞれ穿孔形成されている。裏面プレー
ト１１には、棚状のリテーナ１３が着脱自在に装着さ
れ、このリテーナ１３が複数枚の精密基板の前部周縁を
弾発的に支持する。また、表面プレート１４は、上下の
斜め左右に位置決め凹部１５がそれぞれ凹み形成される
とともに、中央部の左右には操作口１６がそれぞれ穿孔
形成されている。

【０００８】加工装置は、外界から搬送されてきた基板
収納容器と接続し、この基板収納容器から精密基板をロ
ードしたり、基板収納容器との間で精密基板をアンロー
ドするアクセス装置を備えている。このアクセス装置
は、基板収納容器を位置決め搭載し、加工装置に対して
接続操作するロードポートと、基板収納容器の蓋体１０
に対向してこれを開閉する蓋体開閉装置とから構成され
ている。ロードポートは、先端部が丸く形成されるとと
もに、容器本体１の各Ｖグループに嵌入して基盤収納容
器を自動求心し、これを所定の位置に高精度に位置決め
する複数本の位置決めピンと、ボトムプレートの貫通口
に挿入されて基板収納容器を固定するＬ字押さえとを備
え、位置決めユニットを前進させて基板収納容器を並行
移動させ、蓋体開閉装置に蓋体１０をシール可能に当接
させるよう機能する。

【０００９】蓋体開閉装置は、ロードポートの搭載面に
対して略垂直な壁からなる接続壁と、この接続壁に形成
されて外界の基板収納容器から加工装置に移し替えられ
る精密基板通過用の開口部と、この開口部をシールして
内部環境が外界のパーティクルの侵入で汚染するのを防
止する開閉可能なカバー部材とを備えている。このカバ
ー部材は、蓋体を位置決め保持し、蓋体のラッチ機構１
７を回転可能な操作キーを介して施錠、解錠操作する操
作装置と、蓋体１０の各位置決め凹部１５に嵌入する一
対の位置決めピンと、蓋体１０を真空吸着する吸着装置
とから構成されている。

【００１０】上記において、局所環境で精密基板を処理
加工する場合には、先ず、加工装置に基板収納容器が位
置決めされ、この基板収納容器が蓋体開閉装置のカバー
部材に当接するまで前進し、カバー部材の一対の位置決
めピンと蓋体１０の一対の位置決め凹部１５とが嵌合す
るとともに、カバー部材の操作装置に蓋体１０のラッチ
機構１７が解錠操作され、容器本体１のフランジ７から
蓋体１０が取り外し可能な状態となる。こうして蓋体１
０が取り外し可能な状態となったら、カバー部材が後
退、下降して容器本体１から蓋体１０が取り外され、加
工装置の内部と容器本体１の基板収納領域とが連通す
る。この際、容器本体１のフランジ７が接続壁に押圧し
てシールされるので、外界のパーティクル等が内部環境
に侵入することがない。そして、基板収納容器の内部か
ら精密基板が加工装置にローディングされて取り込ま
れ、その後、精密基板に各種の処理加工が施される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】従来における基板収納
容器の蓋体は、以上のように構成されているので、以下
の問題がある。先ず、基板収納容器の蓋体１０は、使用
前や繰り返し使用後に容器本体１とは別に洗浄槽の洗浄
液で洗浄され、再度使用される。この洗浄の際、蓋体１
０は、中空構造に形成され、外周面に複数の出没孔１２
が、表面プレート１４にはラッチ機構１７の操作口１６
がそれぞれ穿孔形成されているので、内部に洗浄液(図
７の矢印参照)が流入して洗浄されることとなる。

【００１２】しかしながら、従来の蓋体１０は、出没孔
１２等の開口領域が狭いので、洗浄液が十分に流通・循
環せず、その結果、多数の部品からなるラッチ機構１７
の洗浄が不充分となったり、連続使用時に汚れたままの
ラッチ機構１７から汚染物が蓋体１０を経由して容器本
体１の内部に流出し、精密基板を汚染させるおそれがあ
る。また、蓋体１０の内部に洗浄液やその水滴が多量に
残存するおそれが少なくなく、しかも、水滴の除去が非
常に困難なので、乾燥作業の著しい遅延化を招くという
問題がある。さらに、ラッチ機構１７の耐久性に限界が
生じたり、トラブルが発生した場合、蓋体１０の内部を
確認する必要があるが、表面プレート１４が単に被覆さ
れているだけなので、蓋体１０の内部を観察することが
きわめて困難である。

【００１３】本発明は、上記に鑑みなされたもので、蓋
体の内部等を十分に洗浄することができ、基板汚染のお
それを有効に解消し、蓋体内部の洗浄液やその水滴等を
容易に除去することのできる基板収納容器の蓋体を提供
することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、容器本体の開口面を
着脱自在の蓋体で閉鎖するものであって、上記蓋体を、
裏面プレートに隙間を介して嵌め合わされる表面プレー
トと、これら裏面プレートと表面プレートの少なくとも
いずれか一方の外周部に設けられる出没孔と、該裏面プ
レートと表面プレートとの間に内蔵され、上記出没孔か
ら出没可能な係止爪を突出させてこれを上記容器本体の
開口面内周部の係止穴に嵌め入れるラッチ機構と、上記
表面プレートに設けられた流体用の流通口とを有するこ
とを特徴としている。

【００１５】なお、上記表面プレートの略外周部以外の
領域を上記流通口とすることができる。また、上記裏面
プレートの内面から上記流通口内に位置する突起を露出
状態に突出させ、この突起を位置決め及び又は保持用に
用いることもできる。

【００１６】ここで、特許請求の範囲における容器本体
は、透明でも非透明でも良いが、非透明の場合、容器本
体の背面や側面等を透明のウインドに形成し、容器本体
内の基板を観察可能とすると良い。この容器本体の開口
面は、正面でも良いし、上面あるいは下面でも良い。流
体は、洗浄液等の液体でも良いが、各種の気体とするこ
とも可能である。また、流通口は、任意の面積を有する
円形、矩形、小判形、三角形、台形、多角形、楕円形、
菱形、口形、田字形、又はこれらを組み合わせた形状等
とすることができ、しかも、単数複数いずれでも良い。
この流通口には、実質的に同様の機能を有するなら、表
面プレート１４の周縁部等に位置する各種形状の切り欠
きが含まれる。

【００１７】本発明によれば、蓋体を洗浄液やドライエ
アー等の流体で洗浄すると、流体は、蓋体の一部の出没
孔から内部を通過し、残部の出没孔から流れ出て蓋体を
洗浄する。この際、単数複数の流通口が流入口、流出口
としてそれぞれ機能するので、流体を十分に流通、循環
させ、蓋体の内部等を洗浄することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板
収納容器の蓋体は、図１ないし図３に示すように、容器
本体１の開口の内周領域を枠状のガスケット９を介しシ
ール状態に閉鎖する着脱自在の蓋体１０を、断面略Ｕ字
状で略箱形の裏面プレート１１と、この裏面プレート１
１の開口表面に隙間を介して螺着被覆される表面プレー
ト１４と、裏面プレート１１の外周部の上下左右にそれ
ぞれ穿孔形成される複数の出没孔１２と、裏面プレート
１１と表面プレート１４との間に内蔵され、各出没孔１
２から出没可能な係止爪２３を突出させてこれを容器本
体１の内周領域の係止穴８に係合させる一対のラッチ機
構１７と、表面プレート１４の略四隅部にそれぞ穿孔形
成される複数の流通口３０とから構成している。

【００１９】容器本体１は、図１に示すように、十分な
強度・剛性を有するポリカーボネートやアクリル樹脂等
の各種合成樹脂を使用して透明の略立方形に成形され、
円形を呈した複数枚の精密基板(図示せず)を上下に並べ
て収納する。この容器本体１の底面左右両側部には、前
後方向に伸びるボトムレール２がそれぞれ一体的に形成
され、底面の前部両側と後部中央とには、加工装置に対
して位置決め手段として機能するＶグループ(図示せず)
がそれぞれ突出形成されており、この複数のＶグループ
に図示しないボトムプレートが嵌合保持される。このボ
トムプレートは、基本的には平面略Ｙ字に形成され、左
右に分かれた前部両側と後部中央とには、Ｖグループの
周囲に嵌合する誘導部がそれぞれ形成されており、中央
部には、加工装置固定用の貫通口が穿孔形成されてい
る。

【００２０】容器本体１の左右両側面には同図に示すよ
うに、別部品であるサイドレール３やマニュアルハンド
ル４がそれぞれ着脱自在に装着され、容器本体１の上面
中心部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボ
ティックフランジ５が着脱自在に装着されている。ま
た、容器本体１の内部左右両側面には、相対向する棚状
の支持部６がそれぞれ一体形成、あるいは着脱自在に装
着され、この一対の支持部６間に複数枚の精密基板が所
定のピッチで水平に整列支持される。容器本体１の全開
口正面は、段付きに傾斜形成されて外側に徐々に拡開す
る傾斜面に形成され、この傾斜面が蓋体１０の閉鎖時に
ガイド機能を発揮して蓋体１０を円滑、迅速に嵌合させ
る。容器本体１の開口部の内周面上下には、左右に位置
する係止穴８がそれぞれ凹み形成されている。

【００２１】なお、ボトムプレート、サイドレール３、
及びマニュアルハンドル４は、容器本体１同様、ポリカ
ーボネート、アクリル樹脂、ポリエーテルエーテルケト
ン、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂、こ
れら熱可塑性樹脂をベースとした導電性樹脂とのアロイ
化技術、炭素繊維や金属繊維等の導電性添加物の添加に
より帯電防止性が付与された熱可塑性樹脂を用いて形成
される。また、熱可塑性樹脂に導電性ポリマーの皮膜を
塗布したり、コーティングして導電性を付与することも
可能である。また、ボトムプレートは、複数のＶグルー
プに嵌合保持されるものでも良いが、容器本体１の底面
に一体形成され、容器本体１の底面を形成するものでも
良い。

【００２２】蓋体１０は、図１ないし図３に示すよう
に、相互に対向嵌合する裏面プレート１１と表面プレー
ト１４とを備え、これら略矩形の裏面プレート１１と表
面プレート１４の間の中空部には、外部から操作可能な
一対のラッチ機構１７が内蔵されており、この一対のラ
ッチ機構１７が容器本体１に蓋体１０が嵌合する際、各
係止穴８に出没可能な係止爪２３を突出係合させ、基板
収納容器の気密状態を確保する。蓋体１０を形成する裏
面プレート１１と表面プレート１４とは、容器本体１同
様、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、
ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂、あるい
は熱可塑性樹脂に帯電防止性の付与された材料を使用し
て形成されている。また、蓋体１０、換言すれば、裏面
プレート１１の外周面上下には、左右に位置する係止爪
２３用の出没孔１２がそれぞれ長方形状に穿孔形成され
ている。

【００２３】裏面プレート１１の中央部には、棚状のリ
テーナ１３が着脱自在に装着され、このリテーナ１３が
複数枚の精密基板の前部周縁を弾発的に支持する。ま
た、表面プレート１４は、上下斜め左右の対角線上に位
置決め凹部１５がそれぞれ凹み形成され、この一対の位
置決め凹部１５にカバー部材の位置決めピンがそれぞれ
挿入される。表面プレート１４の中央部左右には、図示
しない操作装置の操作キーに貫通される操作口１６がそ
れぞれ穿孔形成されている。

【００２４】各ラッチ機構１７は、図３に部分的に示す
ように、裏面プレート１１の内面側方に軸支され、操作
キーに係合される回転プレート１８と、この回転プレー
ト１８に連結されて上下方向にスライドする一対の連結
プレート２１と、各連結プレート２１の先端部に軸着さ
れて出没孔１２から出没する揺動可能な係止爪２３とか
ら構成されている。各回転プレート１８は、基本的には
断面略凸字に形成され、中心の突部表面には、表面プレ
ート１４の操作口１６に対向するキー溝１９が凹み形成
されており、このキー溝１９に操作キーが嵌挿されて正
逆方向に９０°回転する。この回転プレート１８の表面
外周には、一対の係合ピン２０が１８０°ずれてそれぞ
れ突出形成されている。

【００２５】各連結プレート２１は、基本的には蓋体１
０の上下方向に伸びる板状に形成され、裏面プレート１
１の内面に複数のガイドピン２２を介しスライド可能に
支持されている。この連結プレート２１の末端部は、湾
曲形成され、円弧状の連結溝が切り欠き形成されてお
り、この連結溝に回転プレート１８の係合ピン２０が貫
通して連結されている。なお、回転プレート１８と連結
プレート２１とは、回転プレート１８に略円周状の溝を
形成するとともに、連結プレート２１に突起を設け、こ
れら溝と突起とを係合させて連結しても良い。

【００２６】各係止爪２３は、断面略Ｔ字状に形成さ
れ、一端部が表面プレート１４の内面外周に軸支されて
いる。この係止爪２３は、上下方向の端部が連結プレー
ト２１の先端部に軸着され、他の他端部には、容器本体
１の係止穴８に嵌入するローラ２４が回転可能に軸支さ
れており、連結プレート２１の上下方向へのスライドに
伴い、弧を描きながら出没孔１２から突出して蓋体１０
をロックしたり、出没孔１２内に退没して蓋体１０を取
り外し可能な状態とする。

【００２７】複数の流通口３０は、図２や図３に示すよ
うに、基板収納容器の機能を損なわない箇所、換言すれ
ば、表面プレート１４の略四隅部にそれぞれ丸く穿孔形
成され、洗浄液の流入口、流出口として機能するととも
に、各ラッチ機構１７を構成する連結プレート２１やガ
イドピン２２を外部から把握可能な観察窓として機能す
る。複数の流通口３０を表面プレート１４の略四隅部に
それぞれ穿孔形成するのは、標準化された基板収納容器
に使用される蓋体１０の表面には、蓋体開閉装置との間
にシールゾーンが必要とされ、ＳＥＭＩ規格では蓋体１
０表面における四辺の周端部内側にそれぞれ９ｍｍ幅の
蓋体形状に沿う枠状のシールゾーンが必要とされるから
である。また、蓋体１０の位置決め凹部１５、操作口１
６、パージポート部付近に、流通口３０を穿孔形成する
と、蓋体１０の機能を害するおそれが少なくないからで
ある。

【００２８】複数の流通口３０の総面積は、蓋体１０の
総面積の０．５％〜８０％以下、より好ましくは、４％
〜５０％以下とされる。これは、複数の流通口３０の総
面積が蓋体１０の総面積の０．５％未満では、サイクル
の短縮に必要な洗浄性と乾燥性を得られなくなるおそれ
があるからである。逆に８０％を超えると、蓋体１０の
強度低下を招くからである。複数の流通口３０の総面積
が好ましくは４％以上なのは、自然放置した状態の乾燥
に好適であるという理由に基づく。また、複数の流通口
３０の総面積が好ましくは５０％以下なのは、表面プレ
ート１４の固定、補強リブの存在等を考慮したものであ
る。なお、流通口３０は、流入口、流出口として洗浄液
等の循環性を向上させる機能を有するので、少なくとも
２個存在するのが好ましい。

【００２９】以下、具体的な数値をあげて流通口３０を
説明すると、口径３００ｍｍの精密基板を整列収納する
基板収納容器の蓋体１０の場合には、蓋体１０の表面積
は３６６ｍｍ×３０８ｍｍとして計算される。このと
き、直径約２０ｍｍの大きさ(蓋体１０の表面積の０．
５％)の流通口３０が２個必要となる。このように流通
口３０が比較的小さい場合、洗浄液やドライエアーが効
率良く循環するよう、２個の流通口３０を流入口、流出
口としてそれぞれホース等を接続し、液体や気体を給排
気するのが有効である。但し、この場合には、２個の流
通口３０に接続するための専用設備が必要である。好ま
しい例としては、表面プレート１４の略四隅部に、直径
４０ｍｍ程度の流通口３０をそれぞれ丸く穿孔形成する
例があげられる。その他の部分については、従来例と同
様であるので説明を省略する。

【００３０】上記構成において、使用前や繰り返し使用
後の蓋体１０を洗浄槽の洗浄液で洗浄すると、洗浄液
は、蓋体１０の一部の出没孔１２から内部を通過し、残
部の出没孔１２から外部に流出して蓋体１０を洗浄す
る。この際、一部の流通口３０が流入口として、残部の
流通口３０が流出口としてそれぞれ機能し、比較的多量
の洗浄液(図２の矢印参照)を十分に流通、循環させ、蓋
体１０内部の洗浄に資する。

【００３１】上記構成によれば、蓋体１０に小さい出没
孔１２の他に、複数の流通口３０を穿孔形成しているの
で、洗浄液を十分に流通・循環させることができる。し
たがって、多数の部品からなるラッチ機構１７を十分に
洗浄することができ、連続使用時に汚れたままのラッチ
機構１７から汚染物が蓋体１０を経由して容器本体１の
内部に流出し、精密基板を汚染させるおそれがない。ま
た、蓋体１０の内部に洗浄液やその水滴が多量に残存す
るおそれが実に少なく、しかも、水滴の除去が比較的簡
単なので、乾燥作業の著しい円滑化、短縮化、迅速化、
容易化を図ることができる。具体的には、乾燥時間を従
来の１／４以下に短縮でき、繰り返し使用時の作業性の
大幅な向上が大いに期待できる。さらに、ラッチ機構１
７の耐久性に限界が生じたり、トラブルが発生した場合
でも、蓋体１０の内部を確認することが可能なので、き
わめて容易にメンテナンスすることができる。

【００３２】次に、図４や図５は本発明の第２の実施形
態を示すもので、この場合には、表面プレート１４の略
外周部以外の領域、すなわち略中央部に単一の流通口３
０を大きく区画形成し、裏面プレート１１の内面の上下
左右等から流通口３０内に位置する複数の突起３１を表
面プレート１４側に向けて露出状態に突出させ、この複
数の突起３１を位置決め凹部１５として用いたり、蓋体
吸着用やガスパージ用等の保持部３２として用いるよう
にしている。その他の部分については、上記実施形態と
同様であるので説明を省略する。

【００３３】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、表面プレート１４を枠
状に形成して大きな流通口３０を区画形成するので、洗
浄性や乾燥作業の作業性の著しい向上が大いに期待でき
る。さらに、流通口３０の開口領域が実に広いので、連
結プレート２１の磨耗状況等を簡単に把握することがで
き、メンテナンスや部品交換がますます容易となり、こ
れを通じ、精密基板の汚染防止にも大いに資することが
可能になる。

【００３４】なお、上記実施形態では枠状のガスケット
９を単に示したが、このガスケット９は耐熱性、耐薬品
性等に優れるフッ素ゴム等で形成すると良い。また、裏
面プレート１１を断面略Ｕ字状の略箱形に形成し、この
裏面プレート１１の開口表面に表面プレート１４を隙間
を介して螺着被覆したが、表面プレート１４を断面略Ｕ
字状の略箱形に形成することも可能である。また、ラッ
チ機構１７の構成は、同様の機能を期待できるのであれ
ば、適宜変更することが可能である。例えば、回転プレ
ート１８の外周部に複数の連結溝をそれぞれ形成すると
ともに、各連結プレート２１の末端部に係合ピン２０を
突出形成し、これらを実質的に連結し、回転プレート１
８の回転に基づいて各連結プレート２１を上下方向にス
ライドさせることもできる。さらに、突起３１は、単数
でも良いし、形状を適宜変更することも可能である。

【００３５】

【実施例】以下、本発明に係る基板収納容器の蓋体の実
施例を比較例と共に説明する。 蓋体の乾燥時間の確認試験 実施例の蓋体１０と比較例の蓋体１０を用意し、これら
について乾燥時間の確認試験を実施し、その結果を表１
にまとめて検討・評価した。確認試験は、先ず、純水中
に蓋体１０を浸漬して取り出し、この蓋体１０を保持し
て複数の出没孔１２を図３のように上下方向に向けた。
そして、蓋体１０内部の純水が蓋体１０の流通口３０か
ら連続して滴下しなくなったら、６０℃に保温された乾
燥機中に蓋体１０を表面プレート１４が上方向を向くよ
う水平にセットし、蓋体１０内部の乾燥時間を測定し
た。

【００３６】なお、蓋体１０内部の乾燥状態は、５分毎
に乾燥機から蓋体１０を取り出し、表面プレート１４を
その都度取り外し、蓋体１０内部の乾燥状態、すなわ
ち、水滴の有無を把握することにより確認した。水滴が
残存している場合には、表面プレート１４を再度取り付
け、水滴を除去できるまで試験を続行し、水滴が見られ
なくなった時間を乾燥時間とした。ここで乾燥時間と
は、乾燥機にセットした時間の累計をいい、乾燥状態の
確認時間を含まない。

【００３７】実施例１の蓋体１０ 表面プレート１４の略四隅部に直径４０ｍｍの流通口３
０をそれぞれ丸く穿孔形成し、この複数の流通口３０の
面積を蓋体１０表面の面積の約５％とした(図２参照)。 実施例２の蓋体１０ 表面プレート１４の略外周部以外の領域、すなわち略中
央部に単一の流通口３０を大きく区画形成し、この流通
口３０の面積を蓋体１０表面の面積の約４７％とした
(図４参照)。 比較例の蓋体１０ 表面プレート１４に流通口３０を有しない従来の蓋体１
０を使用した(図７参照)。なお、ラッチ機構１７につい
ては、実施例、比較例共に図３の構造のものを用いた。

【００３８】

【表１】

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、蓋体の内
部等を十分に洗浄することができ、基板汚染のおそれを
有効に解消することができるという効果がある。また、
流体が洗浄液の場合には、蓋体内部の洗浄液やその水滴
を容易に除去することができ、しかも、流通口を大きく
形成する場合、蓋体内部を簡易に把握することが可能に
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板収納容器の蓋体の実施形態を
示す分解斜視説明図である。

【図２】本発明に係る基板収納容器の蓋体の実施形態に
おける蓋体を示す正面図である。

【図３】図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。

【図４】本発明に係る基板収納容器の蓋体の第２の実施
形態における蓋体を示す正面図である。

【図５】図４のＶ‐Ｖ線断面図である。

【図６】従来の基板収納容器を示す分解斜視説明図であ
る。

【図７】図６のＶＩＩ‐ＶＩＩ線断面図である。

【符号の説明】

１ 容器本体 ７ フランジ(開口面) ８ 係止穴 １０ 蓋体 １１ 裏面プレート １２ 出没孔 １４ 表面プレート １５ 位置決め凹部 １７ ラッチ機構 １８ 回転プレート １９ キー溝 ２１ 連結プレート ２３ 係止爪 ３０ 流通口 ３１ 突起 ３２ 保持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E084 AA05 AA14 AA24 AB10 BA02 CA03 CB02 CB03 CC03 FD04 GA08 GB12 HA03 HB09 HC03 HD04 KA02 LA17 LB03 LB07 LB09 3E096 AA06 BA15 BB03 CB03 DA17 DC01 FA03 GA07 5F031 CA02 CA05 DA19 EA12 EA19 PA24

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器本体の開口面を着脱自在の蓋体で閉
   鎖する基板収納容器の蓋体であって、 上記蓋体を、裏面プレートに隙間を介して嵌め合わされ
   る表面プレートと、これら裏面プレートと表面プレート
   の少なくともいずれか一方の外周部に設けられる出没孔
   と、該裏面プレートと表面プレートとの間に内蔵され、
   上記出没孔から出没可能な係止爪を突出させてこれを上
   記容器本体の開口面内周部の係止穴に嵌め入れるラッチ
   機構と、上記表面プレートに設けられた流体用の流通口
   とを有することを特徴とする基板収納容器の蓋体。
2. 【請求項２】 上記表面プレートの略外周部以外の領域
   を上記流通口とした請求項１記載の基板収納容器の蓋
   体。
3. 【請求項３】 上記裏面プレートの内面から上記流通口
   内に位置する突起を露出状態に突出させ、この突起を位
   置決め及び又は保持用に用いるようにした請求項２記載
   の基板収納容器の蓋体。