JP2001349870A - Ｐｄｐパネル封入ガス分析方法およびｐｄｐパネル封入ガス分析装置 - Google Patents
Ｐｄｐパネル封入ガス分析方法およびｐｄｐパネル封入ガス分析装置Info
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- JP2001349870A JP2001349870A JP2000170137A JP2000170137A JP2001349870A JP 2001349870 A JP2001349870 A JP 2001349870A JP 2000170137 A JP2000170137 A JP 2000170137A JP 2000170137 A JP2000170137 A JP 2000170137A JP 2001349870 A JP2001349870 A JP 2001349870A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 封入ガスを効率的に捕集しかつ分析すること
のできるＰＤＰパネル封入ガス分析方法およびＰＤＰパ
ネル封入ガス分析装置を得る。 【解決手段】 ガラス管４をゲッターバルブ３を覆うよ
うに配置し、ガラス管４をＰＤＰパネル２に気密に固着
する。ガラス管４を配管５に接続し、ポンプ７，８で配
管５およびガラス管４内荒引きし十分な真空度に到達し
たら、配管５およびガラス管４内の残留ガス成分を測定
（測定値Ａ）する。ゲッターバルブ３を破砕しＰＤＰパ
ネル２内の封入ガスを測定（測定値Ｂ）する。測定値Ｂ
から測定値Ａを差し引くことでＰＤＰパネル２内の正味
の封入ガス成分を分析する。
のできるＰＤＰパネル封入ガス分析方法およびＰＤＰパ
ネル封入ガス分析装置を得る。 【解決手段】 ガラス管４をゲッターバルブ３を覆うよ
うに配置し、ガラス管４をＰＤＰパネル２に気密に固着
する。ガラス管４を配管５に接続し、ポンプ７，８で配
管５およびガラス管４内荒引きし十分な真空度に到達し
たら、配管５およびガラス管４内の残留ガス成分を測定
（測定値Ａ）する。ゲッターバルブ３を破砕しＰＤＰパ
ネル２内の封入ガスを測定（測定値Ｂ）する。測定値Ｂ
から測定値Ａを差し引くことでＰＤＰパネル２内の正味
の封入ガス成分を分析する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＤＰ等のフラッ
トパネル内に封入されている封入ガスを分析測定するた
めのＰＤＰパネル封入ガス分析方法およびＰＤＰパネル
封入ガス分析装置に関するものである。
トパネル内に封入されている封入ガスを分析測定するた
めのＰＤＰパネル封入ガス分析方法およびＰＤＰパネル
封入ガス分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、管球製品等において、管球内に封
入された封入ガスを測定する手段として、管球を気密な
チャンバー内に収納したのち、チャンバー内を真空状態
にし、その後、チャンバー内の管球を物理的に破壊して
チャンバー内に管球の封入ガスを放出させ、その放出さ
れたガスを測定するものが知られている（特開平７−２
８８０９８号公報）。
入された封入ガスを測定する手段として、管球を気密な
チャンバー内に収納したのち、チャンバー内を真空状態
にし、その後、チャンバー内の管球を物理的に破壊して
チャンバー内に管球の封入ガスを放出させ、その放出さ
れたガスを測定するものが知られている（特開平７−２
８８０９８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
を、ＰＤＰパネル内の封入ガスを分析するために用いた
場合、ＰＤＰパネルは、管球などと異なり球面を持たな
いフラットなパネルであるため、チャンバー内を真空に
排気するだけで内圧によりＰＤＰパネルが破壊されてし
まう。そしてこのＰＤＰパネルの破壊を防止するために
は、パネル外部から、内圧に負けないだけの力をスペー
サ等によって与える必要がある。
を、ＰＤＰパネル内の封入ガスを分析するために用いた
場合、ＰＤＰパネルは、管球などと異なり球面を持たな
いフラットなパネルであるため、チャンバー内を真空に
排気するだけで内圧によりＰＤＰパネルが破壊されてし
まう。そしてこのＰＤＰパネルの破壊を防止するために
は、パネル外部から、内圧に負けないだけの力をスペー
サ等によって与える必要がある。
【０００４】しかしながら、管球等に比べ、非常に大型
である３６インチ、４２インチ、５０インチ等のＰＤＰ
パネルの封入ガスを測定することとなると、測定するＰ
ＤＰパネルの大きさに合わせたチャンバーをそれぞれ用
意する必要や、かなり大型のチャンバーやスペーサが必
要になってしまうため、装置が大型化する等実用的でな
いという課題がある。
である３６インチ、４２インチ、５０インチ等のＰＤＰ
パネルの封入ガスを測定することとなると、測定するＰ
ＤＰパネルの大きさに合わせたチャンバーをそれぞれ用
意する必要や、かなり大型のチャンバーやスペーサが必
要になってしまうため、装置が大型化する等実用的でな
いという課題がある。
【０００５】本発明は、ＰＤＰパネルのサイズに関わる
ことなく、ＰＤＰパネル内に封入された封入ガスを効率
的に捕集しかつ分析することのできるＰＤＰパネル封入
ガス分析方法およびＰＤＰパネル封入ガス分析装置を得
ることを目的とするものである。
ことなく、ＰＤＰパネル内に封入された封入ガスを効率
的に捕集しかつ分析することのできるＰＤＰパネル封入
ガス分析方法およびＰＤＰパネル封入ガス分析装置を得
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のＰＤＰパネル封
入ガス分析方法は、ＰＤＰパネル内の封入ガスを分析す
る方法であって、前記ＰＤＰパネルのゲッターバルブま
たは排気管を粉砕することにより、前記ＰＤＰパネル内
の封入ガスを質量分析計に導入し測定するものである。
入ガス分析方法は、ＰＤＰパネル内の封入ガスを分析す
る方法であって、前記ＰＤＰパネルのゲッターバルブま
たは排気管を粉砕することにより、前記ＰＤＰパネル内
の封入ガスを質量分析計に導入し測定するものである。
【０００７】これにより、ＰＤＰパネル全体をチャンバ
ー内に納める必要がなくなるので、あらゆるパネルサイ
ズのＰＤＰパネルに対する封入ガスの測定、分析を容易
に行うことができる。
ー内に納める必要がなくなるので、あらゆるパネルサイ
ズのＰＤＰパネルに対する封入ガスの測定、分析を容易
に行うことができる。
【０００８】本発明のＰＤＰパネル封入ガス分析装置
は、質量分析計とＰＤＰパネルのゲッターバルブまたは
排気管を接続するべきガラス管とが配管を介して接続さ
れており、前記配管には前記ＰＤＰパネルのゲッターバ
ルブまたは排気管を粉砕する手段と、前記配管内を真空
にするためのポンプとが設けられた構成を有するもので
ある。
は、質量分析計とＰＤＰパネルのゲッターバルブまたは
排気管を接続するべきガラス管とが配管を介して接続さ
れており、前記配管には前記ＰＤＰパネルのゲッターバ
ルブまたは排気管を粉砕する手段と、前記配管内を真空
にするためのポンプとが設けられた構成を有するもので
ある。
【０００９】これにより、チャンバーを大型化する必要
がなく、また、チャンバーも不要にできるので、装置全
体を大型化することなく、あらゆるパネルサイズのＰＤ
Ｐパネルに対する封入ガスの測定、分析に対応すること
ができる。
がなく、また、チャンバーも不要にできるので、装置全
体を大型化することなく、あらゆるパネルサイズのＰＤ
Ｐパネルに対する封入ガスの測定、分析に対応すること
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図を参照しながら説明する。
て図を参照しながら説明する。
【００１１】図１に示すように、ＰＤＰパネル封入ガス
分析装置は、質量分析計である四重極質量分析計１と、
図２，図３に示すように試料パネルである４２インチＰ
ＤＰパネル２のゲッターバルブ３に気密に接続されるべ
きガラス管４とがステンレス製の配管５を介して接続さ
れている。ＰＤＰパネル２のゲッターバルブ３上にはこ
のゲッターバルブ３を粉砕するための手段、例えば直線
導入端子６等の治具が配管５に設けられている。直線導
入端子６は本体６ａを回転させることにより、直線状の
端子６ｂがゲッターバルブ３方向に延び、その先端でゲ
ッターバルブ３を粉砕する。また、配管５には、配管５
内を真空にするためのターボ分子ポンプ７とロータリー
ポンプ８とが設けられている。これらポンプ７，８と配
管５との間にはバルブ９が設けられている。また、この
バルブ９よりも四重極質量分析計１側で、かつ配管５と
四重極質量分析計１との間にバルブ１０が設けられてい
る。
分析装置は、質量分析計である四重極質量分析計１と、
図２，図３に示すように試料パネルである４２インチＰ
ＤＰパネル２のゲッターバルブ３に気密に接続されるべ
きガラス管４とがステンレス製の配管５を介して接続さ
れている。ＰＤＰパネル２のゲッターバルブ３上にはこ
のゲッターバルブ３を粉砕するための手段、例えば直線
導入端子６等の治具が配管５に設けられている。直線導
入端子６は本体６ａを回転させることにより、直線状の
端子６ｂがゲッターバルブ３方向に延び、その先端でゲ
ッターバルブ３を粉砕する。また、配管５には、配管５
内を真空にするためのターボ分子ポンプ７とロータリー
ポンプ８とが設けられている。これらポンプ７，８と配
管５との間にはバルブ９が設けられている。また、この
バルブ９よりも四重極質量分析計１側で、かつ配管５と
四重極質量分析計１との間にバルブ１０が設けられてい
る。
【００１２】図４に示すようにガラス管４はパイレック
ス（登録商標）ガラスを加工して形成されたものであ
り、両端部に開口部を有する筒形状を有している。な
お、ガラス管４は長さ８５ｍｍで、その一端部は外径１
８ｍｍ、内径１２ｍｍ、他端部は外径３２ｍｍ、内径２
８ｍｍの開口部を有している。
ス（登録商標）ガラスを加工して形成されたものであ
り、両端部に開口部を有する筒形状を有している。な
お、ガラス管４は長さ８５ｍｍで、その一端部は外径１
８ｍｍ、内径１２ｍｍ、他端部は外径３２ｍｍ、内径２
８ｍｍの開口部を有している。
【００１３】ガラス管４の一端部は後述のゲージポート
１１に接続するため、ゲージポート１１と径を合わせて
いる。ガラス管４の他端部はＰＤＰパネル２のゲッター
バルブ３を覆うように配置することから、ゲッターバル
ブ３外径を覆える外径にしている。
１１に接続するため、ゲージポート１１と径を合わせて
いる。ガラス管４の他端部はＰＤＰパネル２のゲッター
バルブ３を覆うように配置することから、ゲッターバル
ブ３外径を覆える外径にしている。
【００１４】なお、本実施形態の場合、ゲッターバルブ
３は被表示画面側に４箇所設けられており、その外径は
それぞれ直径２０ｍｍ、高さ１０ｍｍである。また、同
面側に排気管１３が設けられている。また、ＰＤＰパネ
ル２は横１０３５ｍｍ、縦６４０ｍｍである。
３は被表示画面側に４箇所設けられており、その外径は
それぞれ直径２０ｍｍ、高さ１０ｍｍである。また、同
面側に排気管１３が設けられている。また、ＰＤＰパネ
ル２は横１０３５ｍｍ、縦６４０ｍｍである。
【００１５】次に本発明のＰＤＰパネル封入ガス分析方
法について図１を用いて説明する。
法について図１を用いて説明する。
【００１６】ガラス管４の他端部の開口部をＰＤＰパネ
ル２のいずれか１つのゲッターバルブ３を覆うように配
置し、ＰＤＰパネル２とガラス管４との接触部分にエポ
キシ接着剤１２を周辺から流し込んで気密に固着する。
エポキシ接着剤１２が充分に固着したのち、ガラス管４
の一端部をゲージポート１１付の配管５に接続し、ロー
タリポンプ８で配管５およびガラス管４内を荒引きを
し、ターボ分子ポンプ７で排気する。このとき、バルブ
９は開、バルブ１０は閉である。そして、配管５および
ガラス管４内が十分な真空度（１×１０-4Ｐａ）に到達
したら、バルブ９を閉、バルブ１０を開として、配管５
およびガラス管４内の残留ガス成分を四重極質量分析計
１で測定する（なお、測定された残留ガス成分の値を測
定値Ａとする）。
ル２のいずれか１つのゲッターバルブ３を覆うように配
置し、ＰＤＰパネル２とガラス管４との接触部分にエポ
キシ接着剤１２を周辺から流し込んで気密に固着する。
エポキシ接着剤１２が充分に固着したのち、ガラス管４
の一端部をゲージポート１１付の配管５に接続し、ロー
タリポンプ８で配管５およびガラス管４内を荒引きを
し、ターボ分子ポンプ７で排気する。このとき、バルブ
９は開、バルブ１０は閉である。そして、配管５および
ガラス管４内が十分な真空度（１×１０-4Ｐａ）に到達
したら、バルブ９を閉、バルブ１０を開として、配管５
およびガラス管４内の残留ガス成分を四重極質量分析計
１で測定する（なお、測定された残留ガス成分の値を測
定値Ａとする）。
【００１７】次に、直線導入端子６の本体６ａを回転さ
せ直線状の端子６ｂによりガラス管４内のゲッターバル
ブ３を破砕する。するとＰＤＰパネル２内の封入ガス
は、配管５内に放出されることとなり、配管５を通じて
四重極質量分析計に導入され測定される（なお、測定さ
れた値を測定値Ｂとする）。
せ直線状の端子６ｂによりガラス管４内のゲッターバル
ブ３を破砕する。するとＰＤＰパネル２内の封入ガス
は、配管５内に放出されることとなり、配管５を通じて
四重極質量分析計に導入され測定される（なお、測定さ
れた値を測定値Ｂとする）。
【００１８】そして、このように測定された測定値Ｂか
ら測定値Ａを差し引くことでＰＤＰパネル２内の正味の
封入ガス成分を分析することができる。
ら測定値Ａを差し引くことでＰＤＰパネル２内の正味の
封入ガス成分を分析することができる。
【００１９】なお、測定する際、ＰＤＰパネル２と四重
極質量分析計１とを介する配管５の経路中に適当な穴１
４ａ（内径０．０３ｍｍ）を有するオリフィス１４（図
５参照）を設け、四重極質量分析計１の動作圧力を越え
ないように封入ガスを絞って導入するようにするのが好
ましい。これは、四重極質量分析計１が１×１０-2Ｐａ
を越える真空度では、イオン源のフィラメントが酸化断
線したり、２次電子増倍管が劣化するためであり、この
ようにオリフィス１４を用いることによって、１×１０
-2Ｐａ以下の圧力に制御することができる。
極質量分析計１とを介する配管５の経路中に適当な穴１
４ａ（内径０．０３ｍｍ）を有するオリフィス１４（図
５参照）を設け、四重極質量分析計１の動作圧力を越え
ないように封入ガスを絞って導入するようにするのが好
ましい。これは、四重極質量分析計１が１×１０-2Ｐａ
を越える真空度では、イオン源のフィラメントが酸化断
線したり、２次電子増倍管が劣化するためであり、この
ようにオリフィス１４を用いることによって、１×１０
-2Ｐａ以下の圧力に制御することができる。
【００２０】なお、本実施形態においてはゲッターバル
ブ３を粉砕したが、排気管１３を粉砕しＰＤＰパネル２
内の封入ガスを測定してもよい。
ブ３を粉砕したが、排気管１３を粉砕しＰＤＰパネル２
内の封入ガスを測定してもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明のＰＤＰパネル封入
ガス分析方法によれば、ＰＤＰパネル全体をチャンバー
内に納める必要がなくなるので、あらゆるパネルサイズ
のＰＤＰパネルに対する封入ガスの測定、分析を容易に
行うことができる。
ガス分析方法によれば、ＰＤＰパネル全体をチャンバー
内に納める必要がなくなるので、あらゆるパネルサイズ
のＰＤＰパネルに対する封入ガスの測定、分析を容易に
行うことができる。
【００２２】また、本発明のＰＤＰパネル封入ガス分析
装置によれば、チャンバーを大型化する必要がなく、ま
た、チャンバーも不要にできるので、装置全体を大型化
することなく、あらゆるパネルサイズのＰＤＰパネルに
対する封入ガスの測定、分析に対応することができる。
装置によれば、チャンバーを大型化する必要がなく、ま
た、チャンバーも不要にできるので、装置全体を大型化
することなく、あらゆるパネルサイズのＰＤＰパネルに
対する封入ガスの測定、分析に対応することができる。
【図１】本発明の一実施形態であるＰＤＰパネル封入ガ
ス分析装置の概略図
ス分析装置の概略図
【図２】ＰＤＰパネルの被表示画面側を示す図
【図３】ＰＤＰパネルの側面図
【図４】ガラス管の正面図
【図５】オリフィスの正面図
１ 四重極質量分析計 ２ ＰＤＰパネル ３ ゲッターバルブ ４ ガラス管 ５ 配管 ６ 直線導入端子 ７ ターボ分子ポンプ ８ ロータリーポンプ ９，１０ バルブ １２ エポキシ接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｚ 49/04 49/04
Claims (3)
- 【請求項１】 ＰＤＰパネル内の封入ガスを分析する方
法であって、前記ＰＤＰパネルのゲッターバルブまたは
排気管を粉砕することにより、前記ＰＤＰパネル内の封
入ガスを質量分析計に導入し測定することを特徴とする
ＰＤＰパネル封入ガス分析方法。 - 【請求項２】 質量分析計とＰＤＰパネルのゲッターバ
ルブまたは排気管を接続するべきガラス管とを、前記Ｐ
ＤＰパネルのゲッターバルブまたは排気管を粉砕する手
段と、前記配管内を真空にするためのポンプとが設けら
れた配管を介して気密に接続したのち、前記ポンプによ
り前記配管内を真空状態にして前記配管内の残留ガスを
測定し、そして前記ゲッターバルブまたは前記排気管を
粉砕して前記ＰＤＰパネル内の封入ガスを測定し、前記
ＰＤＰパネル内の封入ガスの測定値から前記残留ガスの
測定値を差し引くことにより、前記ＰＤＰパネル内の封
入ガスを測定することを特徴とする請求項１記載のＰＤ
Ｐパネル封入ガス分析方法。 - 【請求項３】 質量分析計とＰＤＰパネルのゲッターバ
ルブまたは排気管を接続するべきガラス管とが配管を介
して接続されており、前記配管には前記ＰＤＰパネルの
ゲッターバルブまたは排気管を粉砕する手段と、前記配
管内を真空にするためのポンプとが設けられていること
を特徴とするＰＤＰパネル封入ガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000170137A JP2001349870A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | Ｐｄｐパネル封入ガス分析方法およびｐｄｐパネル封入ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000170137A JP2001349870A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | Ｐｄｐパネル封入ガス分析方法およびｐｄｐパネル封入ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001349870A true JP2001349870A (ja) | 2001-12-21 |
Family
ID=18672899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000170137A Pending JP2001349870A (ja) | 2000-06-07 | 2000-06-07 | Ｐｄｐパネル封入ガス分析方法およびｐｄｐパネル封入ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001349870A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005285721A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Tadahiro Omi | 真空管およびその製造装置と真空管の製造方法 |
| US7679279B2 (en) | 2002-10-17 | 2010-03-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display device having a sealed container with an exhaust pipe |
| CN102401755A (zh) * | 2011-08-23 | 2012-04-04 | 东南大学 | 一种用于气体取样的吸气剂装置 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5192675A (ja) * | 1975-02-13 | 1976-08-13 | ||
| JPS56112630A (en) * | 1980-02-12 | 1981-09-05 | Toshiba Corp | Airtight straight-wire introducing device |
| JPS60264036A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放出ガス分析装置 |
| JPH02141655A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 大気ガス成分分析装置 |
| JPH0326957A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-05 | Mazda Motor Corp | エンジンの燃焼ガス分析方法 |
| JPH07288098A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Nikkiso Co Ltd | 質量分析装置における気体導入装置 |
| JPH08203433A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | ガラス破壊装置 |
| JPH08222182A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Hitachi Ltd | 質量分析装置 |
| JPH112592A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Matsushita Electron Corp | 水銀蒸気放電灯の水銀分析装置および水銀分析方法 |
| JP2000243326A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Canon Inc | 画像形成装置および画像形成装置内部の真空度の検査方法 |
| JP2000323037A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマディスプレイパネルとその製造方法及びプラズマディスプレイ装置 |
-
2000
- 2000-06-07 JP JP2000170137A patent/JP2001349870A/ja active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5192675A (ja) * | 1975-02-13 | 1976-08-13 | ||
| JPS56112630A (en) * | 1980-02-12 | 1981-09-05 | Toshiba Corp | Airtight straight-wire introducing device |
| JPS60264036A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放出ガス分析装置 |
| JPH02141655A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 大気ガス成分分析装置 |
| JPH0326957A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-05 | Mazda Motor Corp | エンジンの燃焼ガス分析方法 |
| JPH07288098A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Nikkiso Co Ltd | 質量分析装置における気体導入装置 |
| JPH08203433A (ja) * | 1995-01-24 | 1996-08-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | ガラス破壊装置 |
| JPH08222182A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Hitachi Ltd | 質量分析装置 |
| JPH112592A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Matsushita Electron Corp | 水銀蒸気放電灯の水銀分析装置および水銀分析方法 |
| JP2000243326A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Canon Inc | 画像形成装置および画像形成装置内部の真空度の検査方法 |
| JP2000323037A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマディスプレイパネルとその製造方法及びプラズマディスプレイ装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7679279B2 (en) | 2002-10-17 | 2010-03-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Image display device having a sealed container with an exhaust pipe |
| JP2005285721A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Tadahiro Omi | 真空管およびその製造装置と真空管の製造方法 |
| JP4596805B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-12-15 | 財団法人国際科学振興財団 | 真空管製造装置 |
| CN102401755A (zh) * | 2011-08-23 | 2012-04-04 | 东南大学 | 一种用于气体取样的吸气剂装置 |
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