JP2001327855A - 電磁波を用いた装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体が外側を流れる保護カバーが破損し、或
いは保護カバーによって覆われた流体通路が破損するこ
とにより、その流体が電磁波発生手段に接触可能となっ
たことを検出する流体漏れ検出手段を設ける。これによ
り、保護カバー等の破損を検出できるようにして、流体
が電磁波発生手段に接触するのを防止し又は抑制するこ
とができる電磁波を用いた装置を提供する。 【解決手段】 タンク１２内を流通する水Ｗに紫外線を
照射して水Ｗを処理する紫外線ランプ１５を有し、この
紫外線ランプ１５を紫外線を透過可能なランプ収納管１
４で覆って保護するようにした紫外線殺菌装置におい
て、ランプ収納管１４の破損により水Ｗが紫外線ランプ
１５に接触可能な状態となったことを検出する流体漏れ
検出手段を設け、この流体漏れ検出手段は、水Ｗの作用
により移動する浮き子２９の変位によってオン・オフさ
れるスイッチ装置１６である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、水や純水
等の液体又は空気やガス等の気体からなる流体に紫外線
や赤外線或いはＸ線やγ線等の電磁波を照射することに
より水や空気等を殺菌したり、光エネルギーを用いて酸
素を発生する光合成等の光反応、或いは光吸収によって
引き起こされる光分解等の処理を施すための装置に関
し、特に、水や空気等の流体の漏れを検出する電磁波を
用いた装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、一般に、電磁波を用いた装置とし
ては、例えば、図１４に示すような紫外線殺菌装置が知
られている。この紫外線殺菌装置１は、ＬＳＩや超ＬＳ
Ｉ等の製造等に使用される純水や超純水を製造する純水
製造装置の一部として構成されている。この紫外線殺菌
装置１は、内部に水が通されるタンク２と、このタンク
２に水を供給する水供給装置３と、タンク２内の水を紫
外線によって殺菌する紫外線ランプ４と、この紫外線ラ
ンプ４を覆って保護する保護カバー５等を備えて構成さ
れている。

【０００３】タンク２は、上下面が共に閉じられた円筒
体からなる。このタンク２の下部には側方に突出された
流入口６ａが設けられ、上部には側方に突出された流入
口６ｂ及びドレン口６ｃが設けられている。このタンク
２の流入口６ａには水供給装置３の供給口３ａが接続さ
れ、この供給口３ａから流入口６ａを経てタンク２内に
水Ｗが供給される。このタンク２の上面には、紫外線透
過性の材料によって形成された保護カバー５が挿入され
ている。この保護カバー５内に紫外線ランプ４が収納さ
れており、この紫外線ランプ４から放射される紫外線が
保護カバー５を透過し、その外側を流れる水Ｗに照射さ
れて水Ｗの殺菌処理が行われる。

【０００４】保護カバー５は、タンク２の上面部２ａの
中央部に取り付けられた取付部材７の中央孔及び上面部
２ａの中央孔を共に貫通し、その先端部が下面部２ｂの
近傍まで延在されている。この保護カバー５の取付部に
はＯ−リング７ａが嵌合されており、このＯ−リング７
ａを上面部２ａと取付部材７とで圧縮して保護カバー５
の外周面に圧接させることにより、取付部の密閉性が確
保されている。

【０００５】また、保護カバー５の内部には、この保護
カバー５の破損を検出して水Ｗが紫外線ランプ等に接触
することを防止する流体漏れ検出手段１０が設けられて
いる。この流体漏れ検出手段１０としては、電通方式の
フロートレス・スイッチや静電容量型近接センサが用い
られている。フロートレス・スイッチは、導電性の金属
からなる検出片が先端部に設けられた一対の被覆電線か
らなり、水Ｗの働きによって検出片間に電気が流れるこ
とにより、保護カバー５の破損を検出することができ
る。また、静電容量型近接センサは、静電容量の変化を
検出するもので、検出部周囲の電位が水Ｗの影響によっ
て変化することを見て、保護カバー５の破損を検出する
ことができるようになっている。

【０００６】かくして、タンク２内で紫外線により殺菌
処理された水Ｗは、流出口６ｂから外部に流出される。
この流出口６ｂには、ここを通過する水Ｗの温度を検出
する温度検出器８が取り付けられている。また、ドレン
口６ｃにはドレン管路９が接続されている。このドレン
管路９は、流出口６ｂ内の水Ｗの温度が所定温度以上に
上昇したときに、その水Ｗを外部に逃がしてタンク２内
の水Ｗの温度を所定温度以下に保持するためのものであ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の紫外線殺菌装置１においては、紫外線ラ
ンプ４を保護カバー５内に収納して保護する構成となっ
ており、保護カバー５の破損を検出するための手段は存
在したが、その手段が電通方式のフロートレス・スイッ
チや静電容量型近接センサであったため、保護カバー５
が破損した場合にも、その保護カバー５の破損を精度良
く検出することができなかった。即ち、フロートレス・
スイッチ又は静電容量型近接センサに働く流体が水Ｗで
あるとき、特に、純水や超純水である場合には、これら
は非導体であるためフロートレス・スイッチでは作動せ
ず、また、静電容量型近接センサでは周囲の結露等によ
って誤動作を生ずることが多くあり、いずれの場合にも
精度の良い水漏れの検出ができないという課題があっ
た。

【０００８】本発明は、上述したような課題に鑑みてな
されたものであり、流体が外側を流れる保護カバーが破
損し、或いは保護カバーによって覆われた流体通路が破
損することにより、その流体が電磁波発生手段に接触可
能となったことを確実に検出できる流体漏れ検出手段を
設けることにより、保護カバー等の破損を確実に検出す
ることができるようにして、流体が電磁波発生手段に接
触するのを防止し又は抑制することができる電磁波を用
いた装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決
し、上記目的を達成するために、本出願の請求項１記載
の電磁波を用いた装置は、流体通路内を流通する流体に
電磁波を照射して流体を処理する電磁波発生手段を有
し、この電磁波発生手段を電磁波を透過可能な保護カバ
ーで覆って保護するようにした電磁波を用いた装置にお
いて、保護カバー又は流体通路の破損により流体が電磁
波発生手段に接触可能な状態となったことを検出する流
体漏れ検出手段を設け、この流体漏れ検出手段は、流体
の作用により移動する変位部材の変位によってオン・オ
フされるスイッチ装置であることを特徴としている。

【００１０】本出願の請求項２記載の電磁波を用いた装
置は、電磁波は紫外線であり、電磁波発生手段は紫外線
を発生させる紫外線ランプであることを特徴としてい
る。

【００１１】本出願の請求項３記載の電磁波を用いた装
置は、保護カバーは、紫外線を透過可能な紫外線透過性
部材によって形成された筒体からなり、保護カバーが流
体通路内に挿入されて流体通路を形成する容器体に片持
ち状に支持されており、この保護カバー内にスイッチ装
置を設けたことを特徴としている。

【００１２】本出願の請求項４記載の電磁波を用いた装
置は、保護カバーは、紫外線を透過可能な紫外線透過性
部材によって形成された筒体からなり、保護カバーが流
体通路内を貫通されて流体通路を形成する容器体に両端
支持されており、この保護カバー内又は保護カバーに連
通された部位にスイッチ装置を設けたことを特徴として
いる。

【００１３】本出願の請求項５記載の電磁波を用いた装
置は、流体通路は、紫外線を透過可能な紫外線透過性部
材によって形成された筒体からなり、流体通路の外側に
紫外線ランプが配置され、この紫外線ランプを含む流体
通路が保護カバーによって覆われており、この保護カバ
ー内又は保護カバーに連通された部位にスイッチ装置を
設けたことを特徴としている。

【００１４】本出願の請求項６記載の電磁波を用いた装
置は、スイッチ装置は、流体である液体よりも比重が小
さく且つ少なくとも表面に導電層を有する変位部材と、
この変位部材の変位によって断続される一対の端子とを
有することを特徴としている。

【００１５】本出願の請求項７記載の電磁波を用いた装
置は、スイッチ装置は、流体が流通可能な流路を有する
変位部材ケースと、通路を開閉可能な状態で変位部材ケ
ースに収納された変位部材と、この変位部材が流体の作
用で変位することによって断続される一対の端子とを有
することを特徴としている。

【００１６】本出願の請求項８記載の電磁波を用いた装
置は、スイッチ装置は、流体の作用により揺動される変
位部材と、この変位部材の揺動によって断続されるスイ
ッチ本体とを有することを特徴としている。

【００１７】本出願の請求項９記載の電磁波を用いた装
置は、スイッチ装置は、変位部材であるボールがころが
り移動可能とされ且つＭ字状、コ字状又はＵ字状に形成
された流体通路と、この流体通路の適宜位置に設けられ
且つボールが流体の作用で変位することによって断続さ
れる一対の端子とを有することを特徴としている。

【００１８】本出願の請求項１０記載の電磁波を用いた
装置は、スイッチ装置は、流体通路を有する変位部材ケ
ースと、この変位部材ケース内に移動可能に収納され且
つ流体の正圧又は負圧によって流体通路を閉じる変位部
材と、この変位部材によってオン・オフされる一対の端
子とを有し、流体の圧力変動によって動作される圧力ス
イッチとして構成したことを特徴としている。

【００１９】上述のように構成したことにより、本出願
の請求項１記載の電磁波を用いた装置では、保護カバー
又は流体通路に関連させて電磁波発生手段を設け、保護
カバー又は流体通路の破損によって流体が電磁波発生手
段に接触可能な状態となったことを流体漏れ検出手段で
検出することにより、流体の漏れを確実に検出して早期
に適切な流体漏れ対策を図ることができる。

【００２０】本出願の請求項２記載の電磁波を用いた装
置では、電磁波発生手段として紫外線ランプを用いるこ
とにより、この紫外線ランプで流体の殺菌、滅菌等を行
って純水や超純水等を生産することができる。

【００２１】本出願の請求項３記載の電磁波を用いた装
置では、保護カバーを紫外線透過性部材によって筒体に
形成し、この保護カバーの先端部を流体通路内に挿入し
て基端部を容器体に片持ち状に支持すると共に、保護カ
バー内にスイッチ装置を設けることにより、流体通路内
を流通する流体を紫外線を用いて効率良く殺菌処理する
ことができると共に、保護カバーの破損による流体の漏
れを確実に検出して早期に流体漏れ対策を図ることがで
きる。

【００２２】本出願の請求項４記載の電磁波を用いた装
置では、保護カバーを紫外線透過性部材によって筒体に
形成し、この保護カバーを流体通路内に貫通させて両端
部を容器体に両端支持すると共に、保護カバー内にスイ
ッチ装置を設けることにより、流体通路内を流通する流
体を紫外線を用いて効率良く殺菌処理することができる
と共に、保護カバーの破損による流体の漏れを確実に検
出して早期に流体漏れ対策を図ることができる。

【００２３】本出願の請求項５記載の電磁波を用いた装
置では、紫外線透過性部材によって筒体に形成された流
体通路の内側に流体を流通させると共にその流体通路の
外側に紫外線ランプを配置し、これらを保護カバーで覆
うことにより、流体通路内を流通する流体を紫外線によ
って効率良く殺菌処理することができると共に、保護カ
バーの破損による流体の漏れを確実に検出して早期に流
体漏れ対策を図ることができる。

【００２４】本出願の請求項６記載の電磁波を用いた装
置では、液体よりも比重が小さくて導電層を有する変位
部材と一対の端子とでスイッチ装置を構成することによ
り、液体の働きによる変位部材の移動によって端子間に
電流を流し、液体漏れを検出する。これにより、簡単な
構成のスイッチ装置でありながら、液体の漏れを確実に
検出することができる。

【００２５】本出願の請求項７記載の電磁波を用いた装
置では、流体通路を有する変位部材ケースとその通路を
開閉する変位部材と一対の端子とでスイッチ装置を構成
することにより、流体の働きによる変位部材の移動によ
って端子間に電流を流し、流体漏れを検出する。これに
より、簡単な構成のスイッチ装置でありながら、流体の
漏れを確実に検出することができる。

【００２６】本出願の請求項８記載の電磁波を用いた装
置では、流体の作用によって揺動される変位部材とスイ
ッチ本体とでスイッチ装置を構成することにより、流体
の作用で変位部材を揺動させてスイッチ本体をオン・オ
フさせ、流体漏れを検出する。これにより、簡単な構成
のスイッチ装置でありながら、流体の漏れを確実に検出
することができる。

【００２７】本出願の請求項９記載の電磁波を用いた装
置では、ボールがころがり移動される流体通路と一対の
端子とでスイッチ装置を構成することにより、流体の作
用でボールを移動させて端子間に電流を流し、流体漏れ
を検出する。これにより、簡単な構成のスイッチ装置で
ありながら、流体の漏れを確実に検出することができ
る。

【００２８】本出願の請求項１０記載の電磁波を用いた
装置では、流体通路を有する変位部材ケースと流体の正
圧又は負圧によって移動される変位部材と一対の端子と
でスイッチ装置を構成することにより、圧力スイッチと
して用いて流体の漏れを検出することができ、簡単な構
成のスイッチ装置でありながら流体の漏れを確実に検出
することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面を参照して説明する。図１から図１３は、本発明
の実施の例を示すもので、電磁波を用いた装置の一具体
例として紫外線殺菌装置に適用したものである。即ち、
図１は本発明に係る紫外線殺菌装置の第１の実施例を断
面して示す説明図、図２は図１の要部を拡大して示す説
明図、図３は本発明に係る紫外線殺菌装置の第２の実施
例を断面して示す説明図、図４は図３に示す紫外線殺菌
装置に用いられる流体漏れ検出手段の他の実施例を断面
して示す説明図である。

【００３０】更に、図５は本発明に係る紫外線殺菌装置
の第３の実施例を示す一部を切除した斜視図、図６は図
５の要部を断面して示す説明図、図７は本発明に係る紫
外線殺菌装置の第４の実施例を示す一部を切除した斜視
図、図８は図７の要部を断面して示す説明図、図９は図
７に示す紫外線殺菌装置に用いられる流体漏れ検出手段
の他の実施例を断面して示す説明図、図１０は本発明に
係る紫外線殺菌装置の第５の実施例を断面して示す説明
図、図１１〜図１３は本発明の流体漏れ検出手段の更に
他の実施例を断面して示す説明図である。

【００３１】図１に示すように、本発明の第１の実施例
を示す電磁波を用いた装置は、紫外線を利用して水や空
気等の流体を殺菌する紫外線殺菌装置１１に適用したも
のである。ここで、電磁波は、波長の違いによって、γ
線（約１０^-2nm以下、発生源：放射線、宇宙線）、Ｘ線
（１０^-3nm〜１０nm、発生源：Ｘ線管）、紫外線（１nm
〜４００nm、発生源：放電管、太陽）、可視光線（４０
０nm〜８００nm、発生源：白熱灯、太陽）、赤外線（８
００nm〜１mm、発生源：赤熱物体、太陽）、電波（０．
１mm以上、発生源：発振器、放電等）に分類される。

【００３２】このうち、以下に述べる実施例では、紫外
線を利用した紫外線殺菌装置に適用した例について説明
するが、本願発明は、紫外線以外の他の電磁波を用いた
装置に適用できることは勿論である。即ち、本願発明
は、流体を電磁波によって殺菌処理する場合のみなら
ず、光エネルギーを用いて酸素を発生する光合成等の光
反応、或いは光吸収によって引き起こされる光分解等の
ように電磁波を用いて処理する各種の装置として適用す
ることができるものである。

【００３３】本願発明の第１の実施例として示す紫外線
殺菌装置１１は、流体の一具体例を示す水を殺菌対象と
して用いて殺菌水や純水、超純水等を得るための装置に
適用したものである。この紫外線殺菌装置１１は、水が
内部に流通される容器体の一具体例を示す円筒状のタン
ク１２と、このタンク１２に水を供給する制御装置１３
と、タンク１２内に大部分が挿入されている保護カバー
の一具体例を示すランプ収納管１４と、このランプ収納
管１４に収納されている紫外線発生手段の一具体例を示
す紫外線ランプ１５等を備えて構成されている。そし
て、ランプ収納管１４の内部には、流体漏れ検出手段の
第１の実施例を示すスイッチ装置１６が収納されてい
る。

【００３４】タンク１２は、円筒状の筒体からなるタン
ク本体１２ａと、このタンク本体１２ａの上下面を閉じ
る上面部１２ａ及び下面部１２ｃとを有している。タン
ク本体１２ａの下部には側方に開口する流入口１７ａが
設けられ、上部には同じく側方に開口する流出口１７ｂ
及びドレン口１７ｃが設けられている。このタンク本体
１２ａの流入口１７ａには、制御装置１３の供給口１３
ａが接続されている。制御装置１３は、電源スイッチ１
８と、手動操作と自動操作の切り換えが可能な切換スイ
ッチ１９とを有している。

【００３５】電源スイッチ１８をオン・オフさせること
により、制御装置１３の駆動と紫外線ランプ１５の点灯
とが制御される。そして、制御装置１３の駆動により、
供給口１３ａから流入口１７ａを経てタンク１２内に水
Ｗが供給される。この供給口１３ａには、図示しない流
量調整弁が設けられており、この流量調整弁の開度を変
えることにより流入口１７ａを通る水Ｗの流量を任意に
調整することができる。

【００３６】また、タンク１２の流出口１７ｂには、こ
の流出口１７ｂ内における水Ｗの温度を検出するための
温度計２０が取り付けられている。この温度計２０は、
先端が水Ｗの中に挿入されてその温度を検出する温度検
出部２０ａと、この温度検出部２０ａで検出された温度
を所定の電気信号に変換して制御装置１３に送出する信
号送出部２０ｂとを有している。この温度計２０の機能
としては、温度の上限値及び下限値の設定が簡単にでき
るものが好ましい。このような構成の温度計２０が、合
成樹脂やゴム等の材質で形成された取付栓２１に取り付
けられている。そして、取付栓２１は、流出口１７ｂに
形成された取付部１７ｄに、取付ネジ等の固着手段によ
って着脱可能に取り付けられている。

【００３７】タンク１２のドレン口１７ｃには、ドレン
管路２２が接続されている。このドレン管路２２は、流
出口１７ｂ内の水Ｗの温度が所定温度以上に上昇したと
きに、その水Ｗを外部に逃がしてタンク１２内の水Ｗの
温度を所定温度以下に保持するためのものである。この
ドレン管路２２は、ドレン口１７ｃの先端に取り付けら
れた逃し弁２３と、この逃し弁２３に接続された逆止め
弁２４と、この逆止め弁２４に接続されたドレン配管２
５とから構成されている。ドレン配管２５の先端部は、
タンク１２に設けた固定部１７ｅによって固定されてい
る。

【００３８】また、タンク１２の上面部１２ｂの中央部
には、上下方向に貫通された貫通孔２６が設けられてい
る。この貫通孔２６は、外側の径を大きくした円形二段
の開口部からなり、ランプ収納管１４が上方から挿通さ
れている。ランプ収納管１４は、一端が閉じられた中空
の円筒体からなり、閉鎖側の端部がタンク１２内に挿入
されている。このランプ収納管１４は、紫外線を良く透
過させることができる紫外線透過性部材、例えば、石英
ガラス、紫外線透過性フッ素樹脂等で形成されている。
このランプ収納管１４の開口側端部は、取付部材２７及
びＯ−リング２８によって支持されており、これによ
り、ランプ収納管１４がタンク１２に取り付けられてい
る。

【００３９】取付部材２７は、貫通孔２６を覆うことが
できると共に中央部にランプ収納管１４が挿通される中
央孔を有するリング体からなる。この取付部材２７は貫
通孔２６に嵌合される嵌合部２７ａを有し、この嵌合部
２７ａの端面により貫通孔２６の大径部に収納されたＯ
−リング２８が押圧される。これにより、Ｏ−リング２
８に弾性変形が生じてランプ収納管１４の外周面に圧接
される。このＯ−リング２８のシール機能によって貫通
孔２６の液密性が確保されている。この取付部材２７
は、取付ネジ等の固着手段により締付固定されてタンク
１２の上面部１２ｂに取り付けられている。

【００４０】このランプ収納管１４の内部には、棒状の
紫外線ランプ１５が挿入されている。この紫外線ランプ
１５は、ランプ収納管１４内において複数本のリード線
１５ａによって宙づり状態とされている。この紫外線ラ
ンプ１５の下方でランプ収納管１４内には、スイッチ装
置１６が配置されている。また、各リード線１５ａはラ
ンプ収納管１４の開口部から外部に引き出され、制御装
置１３に電気的に接続されている。

【００４１】図２に拡大して示すように、スイッチ装置
１６は、水Ｗの浮力によって容易に浮き上がることがで
きる変位部材の第１の実施例を示す浮き子２９と、この
浮き子２９の横方向への移動を制限して上下方向へのみ
移動可能とされた変位部材ケースの第１の実施例を示す
浮き子ケース３０とを有している。浮き子２９は、比重
が水よりも小さく且つ水に溶けることのない材料、例え
ば、水よりも比重の小さいプラスチック等によって形成
されている。更に、浮き子２９は、表面全体が導電性を
有する金属膜によって覆われており、これにより、浮き
子２９が導電性部材とされている。

【００４２】また、浮き子ケース３０は、上下面が閉じ
られた円筒状の筒体からなり、側面下部には導入口３１
ａが設けられ、上面には排出口３１ｂが設けられてい
る。この浮き子ケース３０の上部には、浮き子２９が浮
き上がったときに、その浮き上がりを阻止するようにし
て接触される一対の端子３２ａ，３２ｂが設けられてい
る。一対の端子３２ａ，３２ｂは浮き子ケース３０を貫
通して側方に突出され、それぞれリード線３３ａ，３３
ｂを介して制御装置１３に接続されている。

【００４３】かくして、水Ｗの浮力によって浮き子２９
が浮き上がると、浮き子２９が一対の端子３２ａ，３２
ｂに接続される。これにより、浮き子２９を介して一対
の端子３２ａ，３２ｂ間が接続され、両端子３２ａ，３
２ｂ間の通電状態が制御装置１３によって検出される。

【００４４】このような構成を有する紫外線殺菌装置１
１は、例えば、次のようにして使用される。まず、制御
装置１３の供給弁及びドレン管路２２の逃し弁２３を共
に閉じ、この状態で電源スイッチ１８をオン側に投入す
る。これにより、制御装置１３が駆動されると共に紫外
線ランプ１５が発光され、紫外線がランプ収納管１４を
透過してタンク１２の内部を照射される。

【００４５】次に、供給弁を徐々に開いて通水を開始
し、切換スイッチ１９を手動側に投入して逃し弁２３を
開き、タンク１２内の空気をドレン管路２２から外部に
排出する。このタンク１２内に導入される水Ｗによって
タンク１２内の空気を排出した後、逃し弁２３を閉じる
と共に、切換スイッチ１９を自動側に切り換える。そし
て、供給弁の開度を調節してタンク１２内に導入される
水Ｗの流量を所定量に設定する。これにより、タンク１
２内に導入された水Ｗは、タンク本体１２ａ内を下方か
ら上方に流れ、その間に紫外線ランプ１５から放射され
た紫外線に晒されて殺菌される。

【００４６】この紫外線照射によって殺菌された水Ｗ
は、タンク１２の上部に設けた流出口１７ｂからタンク
外に流出される。このように、制御装置１３の駆動によ
って水Ｗが連続して供給され、この水Ｗに紫外線ランプ
１５の発光による紫外線が連続して照射されることによ
り、紫外線で殺菌された衛生的な水Ｗが連続して得られ
る。その後、電源スイッチ１８をオフ側に切り換え、水
Ｗの供給を停止すると共に紫外線ランプ１５を消灯させ
ることにより、水Ｗの紫外線殺菌が停止される。

【００４７】このような紫外線殺菌装置１１において、
ランプ収納管１４は、タンク本体１２ａにより片持ち状
に支持されて、水Ｗの通路内に大きく突出されている。
そのため、ランプ収納管１４には絶えず水Ｗの流体圧力
が作用することから、長期間の使用によってランプ収納
管１４の強度が低下することがある。そして、ランプ収
納管１４が破損すると、紫外線ランプ１５が水Ｗに浸漬
されることになる。その結果、紫外線ランプ１５の電気
回路がショートするばかりでなく、紫外線ランプ１５自
体も破壊されるおそれがある。

【００４８】このような場合において、例えば、ランプ
収納管１４にひび割れが発生し、外を流れる水Ｗがラン
プ収納管１４内に入り込むと、その水Ｗはランプ収納管
１４の底から徐々に蓄積される。このとき、ランプ収納
管１４の底に流れ込んだ水Ｗは、スイッチ装置１６の浮
きケース３０に設けた導入口３１ａからケース内に入り
込む。この水Ｗの量が所定量に達すると、水Ｗの浮力に
よって浮きケース３０内の浮き子２９が押し上げられ
る。そして、浮き子２９が所定の高さまで押し上げられ
ると、その浮き子２９が一対の端子３２ａ，３２ｂに接
触される。これにより、浮き子２９を介して端子３２
ａ，３２ｂ間が導通され、その回路に電気が流れる。

【００４９】その結果、スイッチ装置１６の通電状態が
制御置１３によって検出される。そこで、紫外線殺菌装
置１１の駆動を停止させた後、生産ラインの流れを停止
させ、その安全を確認した上で、ランプ収納管１４を交
換する。これにより、ランプ収納管１４が完全に破壊さ
れるのを防止して、電気回路のショートや紫外線ランプ
１５の破損等を未然に防止することができる。また、上
述した異常を信号として取り出し、その異常検出信号
を、例えば、集中管理センター等に送出するようにす
る。この異常検出信号に基づいて集中管理センター等に
おいて、コンピュータ制御によって安全のためにライン
を停止したり、バイパス回路へ切り換える等の措置を自
動又は主動によって行うようにするとよい。

【００５０】この場合、ランプ収納管１４の交換作業
は、タンク１２内に水Ｗを入れた状態で行うこともで
き、また、タンク１２内から水Ｗを抜いた後に行うこと
もできる。例えば、タンク１２内に水Ｗを入れた状態で
行う場合には、まず、ランプ収納管１４から紫外線ラン
プ１５を取り出す。次に、取付部材２７を取り外した
後、Ｏ−リング２８と伴にランプ収納管１４を貫通孔２
６から引き抜く。これにより、ランプ収納管１４の交換
が可能となる。

【００５１】そこで、予めスイッチ装置１６が取り付け
られている新しいランプ収納管１４の開口側にＯ−リン
グ２８を装着する。この新たなランプ収納管１４を、そ
の先端側からタンク１２の上面部１２ｂの貫通孔２６に
挿入する。次に、Ｏ−リング２８を貫通孔２６に嵌合さ
せると共に、その上に取付部材２７を嵌合させる。そし
て、取付部材２７をタンク１２の上面部１２ｂにネジ止
めすることにより、ランプ収納管１４の交換作業が完了
する。尚、この実施例に係るスイッチ装置１６は、流体
圧力が正圧のときに作動する正圧スイッチとして適用し
た例について説明したが、流体圧力が負圧のときに作動
する負圧スイッチとして適用することもできる。

【００５２】図３に示すように、本発明の第２の実施例
に係る紫外線殺菌装置４１は、ランプ収納管４４をタン
ク４２によって両端支持すると共に、ランプ収納管４４
の下端部を支持する下取付部材４５にスイッチ装置４６
を取り付けたものである。この紫外線殺菌装置４１は、
上述した第１実施例の紫外線殺菌装置１２と構成の大部
分において同一であるため、同一部分については同一符
号を付して詳細な説明は省略し、異なる部分について詳
細に説明する。

【００５３】紫外線殺菌装置４１が紫外線殺菌装置１１
と異なる点は、ランプ収納管４４がタンク本体１２ａを
上下方向に貫通している点と、ランプ収納管４４の下端
部にスイッチ装置４６が取り付けられている点であり、
その他の構成は紫外線殺菌装置１１と同一である。タン
ク１２の下面部１２ｃの中央部には、上下方向に貫通さ
れた貫通孔４７が設けられている。この貫通孔４７は外
側の径を大きくした円形二段の開口部からなり、ランプ
収納管４４が上下方向に貫通されている。

【００５４】ランプ収納管４４は、軸方向の両端が開か
れたた中空の円筒体からなり、同じく紫外線を良く透過
させることができる紫外線透過性部材（例えば、石英ガ
ラス、紫外線透過性フッ素樹脂等）によって形成されて
いる。このランプ収納管４４は、タンク本体１２ａを上
下方向に貫通して両端が上面部１２ｂ及び下面部１２ｃ
の両側に突出されている。そして、ランプ収納管４４の
上端部は、取付部材２７及びＯ−リング２８によって液
密に支持されている。また、ランプ収納管４４の下端部
は、下取付部材４５及びＯ−リング４８によって支持さ
れている。このＯ−リング４８のシール機能によって貫
通孔４７の液密性が確保されている。

【００５５】下取付部材４５は、貫通孔４７に嵌合され
る嵌合部４５ａを有し、中央部にランプ収納管４４が挿
通される中央孔が設けられたリング体からなる。この下
取付部材４５の外周面には、半径方向外側に展開された
フランジ状の取付部４５ｂが設けられている。この取付
部４５ｂに設けられた挿通孔に取付ネジのネジ部を挿通
して締めつけることにより、下取付部材４５が複数本の
取付ネジによって下面部１２ｃに締付固定されている。
更に、下取付部材４５の嵌合部４５ａと反対側には半径
方向内側に展開されたフランジ状の端面部４５ｃが設け
られている。この端面部４５ｃはランプ収納管４４の下
端部を支えるもので、緩衝部材であるＯ−リング４９を
介してランプ収納管４４の下端部が弾性的に支持されて
いる。

【００５６】この下取付部材４５の端面部４５ｃには、
嵌合部４５ａと反対側に突出されたリング状の筒軸部４
５ｄが設けられている。この筒軸部４５ｄにはスイッチ
装置４６が取り付けられている。このスイッチ装置４６
は、一対の発光素子５０ａ及び受光素子５０ｂと、両素
子５０ａ，５０ｂ間に介在されて常時は光の透過を遮断
する閉鎖体５１と、この閉鎖体５１を上下方向へ移動可
能に保持する閉鎖体ケース５２とを有している。

【００５７】閉鎖体５１は、変位部材の第２の実施例を
示すもので、発光素子５０ａから発射された光を遮断し
て受光素子５０ｂが光を受光するのを阻止するものであ
る。この閉鎖体５１は、この実施例では球体とされてい
て、水Ｗが上から掛かることにより容易に落下するよう
に構成される。この閉鎖体５１の材質としては、発光素
子５０ａからの光を遮断してその透過を阻止できる材料
であれば良く、水Ｗより比重が大きくても良く、また小
さいものであっても良い。この閉鎖体５１が収納される
変位部材ケースの第２の実施例を示す閉鎖体ケース５２
は上下方向に延在された円筒体からなり、その円筒状空
間部に閉鎖体５１が、横方向への移動を制限して上下方
向へのみ移動可能に収納されている。

【００５８】この閉鎖体ケース５２の上部には、下取付
部材４５の筒軸部４５ｄに螺合されるリング状の連結部
５２ａが設けられている。この連結部５２ａの内面には
メネジが設けられており、このメネジを筒軸部４５ｄの
外周面に設けられたオネジに螺合させることにより、閉
鎖体ケース５２が下取付部材４５に対して着脱可能に取
り付けられる。更に、閉鎖体ケース５２の上面には水Ｗ
を導入するための導入口５２ｂが設けられ、下面には水
Ｗを排出するための排出口５２ｃが設けられている。導
入口５２ｂは閉鎖体５１によって閉じられており、この
導入口５２ｂを閉じた状態で円筒状空間部に保持されて
いる。

【００５９】この閉鎖体５１の保持手段としては、例え
ば、接着剤等を用いることができる。しかしながら、保
持手段の保持力はあまり大きなものではなく、閉鎖体５
１の上面に所定の水圧が加えられたときには容易に落下
し得る程度の強さとする。この閉鎖体５１の取付位置に
関連させて閉鎖体ケース５２には、直径方向に対向され
た左右一対の光透過口５３ａ，５３ｂが設けられてい
る。この光透過口５３ａ，５３ｂは、開口されたままの
状態でも良く、また、透明なプラスチックで閉鎖する構
成としても良い。

【００６０】この光透過口５３ａ，５３ｂ及び閉鎖体５
１を挟んで一対の発光素子５０ａ及び受光素子５０ｂが
対向設置されている。これら発光素子５０ａ及び受光素
子５０ｂは、制御装置１３に電気的に接続されている。
これにより、閉鎖体５１が導入口５２ｂを閉じている状
態では、発光素子５０ａから発射された光は閉鎖体５１
により遮断され、その光が受光素子５０ｂによって検出
されることがない。一方、閉鎖体５１が水Ｗの重量を受
けて落下することにより、その光路が解放される。その
結果、発光素子５０ａから発射された光が一対の光透過
口５３ａ，５３ｂを通過し、その光が受光素子５０ｂに
よって検出される。

【００６１】このような構成を有する紫外線殺菌装置４
１において、ランプ収納管４４は、流体の通路を横断す
るように配置されてタンク１２により両端支持されてい
る。そのため、ランプ収納管４４には絶えず水Ｗの流体
圧力が作用することから、長期間の使用によって強度が
低下することがある。このような場合において、例え
ば、ランプ収納管４４にひび割れが発生し、外を流れる
水Ｗがランプ収納管４４内に入り込むと、その水Ｗはラ
ンプ収納管４４の内面を伝わって下方に移動する。そし
て、ランプ収納管４４の下側の開口部から下取付部材４
５の筒軸部４５ｄを経て閉鎖体ケース５２の連結部５２
ａ内に入り込む。

【００６２】閉鎖体ケース５２の連結部５２ａ内に入り
込んだ水Ｗは、更に導入口５２ｂに入り込み、閉鎖体５
１に荷重として作用する。この閉鎖体５１に作用する荷
重が所定荷重に達すると、その荷重が閉鎖体５１の保持
力よりも大きくなり、その水圧によって閉鎖体５１が落
下する。これにより、閉鎖体５１によって閉鎖されてい
た光路が解放され、発光素子５０ａから発射された光が
受光素子５０ｂによって受光され、その信号が受光素子
５０ｂから制御装置１３に入力される。

【００６３】このようにして、ランプ収納管４４の液漏
れ状態がスイッチ装置４６によって検出され、その検出
信号が制御装置１３に入力される。そこで、紫外線殺菌
装置４１の駆動を停止させ、タンク１２内の水抜きをし
た後、ランプ収納管４４を交換することにより、ランプ
収納管４４が完全に破壊されるのを防止して、電気回路
のショートや紫外線ランプ１５の破損等を未然に防止す
ることができる。尚、以上は加圧状態のもとにおける説
明であるが、装置内部が負圧になる使用においては、変
位部材が下に位置し、その変位部材を負圧により吸引し
て電気を流す構成とすることもできる。

【００６４】図４は、図３に示したスイッチ装置４６の
変形実施例を示すものである。この図４に示すスイッチ
装置５６は、常時は回路が閉じられて通電された状態に
あり、液漏れが生じたときに回路を閉じて液漏れ状態を
検出するように構成したものである。

【００６５】このスイッチ装置５６は、浮き子５７と浮
き子ケース５８と一対の端子５９ａ，５９ｂとを有して
いる。浮き子５７は、上述した図２に示す浮き子２９と
同様のものであり、比重が水よりも小さく且つ水に溶け
ることのない材料、例えば、水よりも比重の小さいプラ
スチック等によって形成されている。更に、浮き子５７
の表面は全体が導電性を有する金属膜によって覆われて
おり、これにより、浮き子５７が導電性部材とされてい
る。

【００６６】また、変位部材ケースの第３の実施例を示
す浮き子ケース５８は、上面が開口され且つ下面が閉じ
られた有底の筒体部５８ａと、この筒体部５８ａの開口
側に装着される蓋体部５８ｂとを有している。筒体部５
８ａの底面には、所定の隙間を開けて一対の端子５９
ａ，５９ｂが取り付けられており、各端子５９ａ，５９
ｂはそれぞれリード線３３ａ，３３ｂを介して制御装置
１３に接続されている。この一対の端子５９ａ，５９ｂ
間は、浮き子５７が自重で筒体部５８ａの底面にある場
合には、その浮き子５７を介して電気的に接続された状
態となる。尚、負圧状態で使用する場合には、これらを
引き子として上述した構成と逆の構成に設定することが
できる。

【００６７】筒体部５８ａと蓋体部５８ｂとはネジ結合
等の固着手段によって着脱可能とされている。即ち、蓋
体部５８ｂは、下取付部材４５の筒軸部４５ｄに螺合さ
せるための第１のネジ部６０ａと、筒体部５８ａに螺合
させるための第２のネジ部６０ｂとを有し、また、底面
には導入口６０ｃが設けられている。尚、導入口６０ｃ
は、筒体部５８ａ内の空気を逃がす必要があるため比較
的大きく形成されている。

【００６８】かくして、このスイッチ装置５６では、例
えば、ランプ収納管４４に亀裂が生じることによって水
Ｗが浸入し、その水Ｗが導入口６０ｃから浮き子ケース
５８内に入り込む。この水Ｗが所定量に達すると、水Ｗ
の浮力によって浮き子５７が浮き上がる。これにより、
それまで通電されていた一対の端子５９ａ，５９ｂ間の
回路が遮断されるため、その遮断状態が制御装置１３に
よって検出される。即ち、この実施例においても上述し
た実施例と同様に、ランプ収納管４４の液漏れ状態がス
イッチ装置５６によって検出され、これに基づき、ラン
プ収納管４４を交換する等の処置を取ることができるよ
うになる。

【００６９】図５に示す本願発明の第３の実施例に係る
紫外線殺菌装置６１は、上述した第１の実施例に係る紫
外線殺菌装置１１の紫外線ランプ１５を複数本使用する
と共にタンク６２の上部にスイッチ装置６６を設けたも
のである。この紫外線殺菌装置６１は、複数の光源の外
側に流体を通過させるようにした内照式加熱防止光照射
装置に適用されている。紫外線殺菌装置６１において、
図１に示す紫外線殺菌装置１１と同一部分には同一符号
を付して詳細な説明は省略し、異なる部分について詳細
に説明する。

【００７０】この紫外線殺菌装置６１は、流入口１７ａ
と流出口１７ｂとドレン口１７ｃとを有する中空のタン
ク６２と、ランプ収納管１４に収納された複数の紫外線
ランプ１５と、水Ｗをタンク６２内に導入すると共に紫
外線ランプ１５及びスイッチ装置６６を制御する制御装
置１３等を備えて構成されている。即ち、制御装置１３
には、紫外線ランプ１５の点灯及び消灯並びに水Ｗの供
給及び停止を兼用して行う電源スイッチ１８と、上述し
た切換スイッチ１９と、紫外線ランプ１５の安定器６３
等が設けられている。

【００７１】タンク６２は、円筒状に形成されたタンク
本体６２ａと、このタンク本体６２ａの上面開口部を閉
じる上面板６２ｂと、タンク本体６２ａの下面開口部を
閉じる下面板６２ｃとを有している。タンク本体６２ａ
と上面板６２ｂ及びタンク本体６２ａと下面板６２ｃと
は、それぞれ多数本の固定ネジ６４により締結されて一
体に構成されている。このタンク６２は、４本の脚体６
５によって取付ベース７０上に支持されている。そし
て、下面板６２ｃには排水弁７１が取り付けられてい
る。

【００７２】図６に示すように、タンク６２の上面板６
２ｂには、使用される紫外線ランプ１５の数だけの貫通
孔７２が設けられている。各貫通孔７２にはランプ収納
管１４が挿通されていて、各ランプ収納管１４は取付部
材２７によって上面板６２ｂに取り付けられている。そ
して、全てのランプ収納管１４の上部を覆うように上部
カバー７３が配置され、この上部カバー７３が上面板６
２ｂに取り付けられている。上部カバー７３は、下面に
開口された円形の容器体からなり、開口側の縁部にリン
グ状のパッキン７３ａが装着されている。この上部カバ
ー７３は、側方に突出する接続部７３ｂを有し、この接
続部７３ｂに流体漏れ検出手段の第４の実施例を示すス
イッチ装置６６が取り付けられている。

【００７３】スイッチ装置６６は、変位部材の第３の実
施例を示すボール状の閉鎖体６７と、この閉鎖体６７を
上下方向へ移動可能に保持する変位部材ケースの第４の
実施例を示す閉鎖体ケース６８と、この閉鎖体ケース６
８に設けられた一対の端子６９ａ，６９ｂとを有してい
る。閉鎖体ケース６８は、Ｌ字状に形成された管体から
なり、一端には接続部７３ｂに連結するためのネジ部が
設けられている。この閉鎖体ケース６８は、接続部７３
ｂに取り付けた状態において、他端が上方へ突出するよ
うに取り付けられている。この閉鎖体ケース６８のＬ字
状に折り曲げられた流体通路７４のうち上下方向に延在
された部分には、他の部分よりも大径とされた閉鎖体収
納室７４ａが設けられている。

【００７４】この閉鎖体収納室７４ａ内には、閉鎖体６
７が上下方向へ昇降可能に収納されている。従って、流
体通路７４は、通常は閉鎖体６７によって閉じられてお
り、その自重に抗して閉鎖体６７を押し上げることによ
り、流体通路７４が開かれる。この閉鎖体収納室７４ａ
の上部には一対の端子６９ａ，６９ｂが配置されてお
り、閉鎖体６７が所定高さまで押し上げられることによ
り一対の端子６９ａ，６９ｂに接続される。その結果、
閉鎖体６７を介して一対の端子６９ａ，６９ｂ間が電気
的に接続され、これにより、流体漏れの検出対象とされ
る流体（例えば、水Ｗ等）が流体通路７４を通過するこ
とを検出することができる。

【００７５】この実施例に係るスイッチ装置６６では、
例えば、上面板６２ｂの破損による液漏れ、上面板６２
ｂとランプ収納管１４との間の液漏れ等を検出すること
ができる。例えば、上面板６２ｂとランプ収納管１４と
の間に液漏れが発生し、タンク６２内の水Ｗが上面板６
２ｂの上に漏れ出して上部カバー７３内に充満するもの
とする。また、ランプ収納管１４の上部開口部は封止部
材によって液密に封止されているものとする。

【００７６】このような場合に、上面板６２ｂ上に漏れ
出した水Ｗは、スイッチ装置６６の流体通路７４内に入
り込み、閉鎖体６７を押し上げる。この水Ｗによる押し
上げ力が閉鎖体６７の自重よりも大きくなると、閉鎖体
６７が押し上げられる。この閉鎖体６７の押し上げ高さ
が所定高さに達することにより、閉鎖体６７を介して一
対の端子６９ａ，６９ｂ間が電気的に接続される。その
結果、スイッチ装置６６により検出された信号が制御装
置１３に送出され、制御装置１３においてタンク６２内
の水Ｗが上面板６２ｂの上に漏れ出したことを知ること
ができる。

【００７７】図７に示す本願発明の第４の実施例に係る
紫外線殺菌装置７５は、タンク６２の下方にスイッチ装
置７６を配置したものである。この紫外線殺菌装置７５
は、上述した紫外線殺菌装置６１の一部を改良したもの
で、両紫外線殺菌装置６１，７５が異なるところはスイ
ッチ装置のみである。そのため、紫外線殺菌装置７５が
紫外線殺菌装置６１と共通する部分には同一の符号を付
してその説明を省略し、構造が異なるスイッチ装置７６
について詳細に説明する。

【００７８】スイッチ装置７６は、タンク６２の下方に
配置されて取付ベース７０上に取り付けられている。こ
のスイッチ装置７６は、図８に示すように、タンク６２
から漏れ出した液体を受ける容器からなる容器体７７
と、この容器体７７に収容された液体の量によって揺動
される変位部材の第４の実施例を示す揺動アーム７８
と、この揺動アーム７８によってオン・オフされる開閉
スイッチ７９とを備えている。容器体７７は上面に開口
されており、その凹部内に揺動アーム７８の一端に取り
付けられたフロート７８ａが挿入されている。揺動アー
ム７８の他端部は開閉スイッチ７９のアーム受け片７９
ａによって揺動可能に支持されている。この揺動アーム
７８の先端には、開閉スイッチ７９をオン・オフさせる
作動子７８ｂが取り付けられている。この作動子７８ｂ
が、開閉スイッチ７９の入力部７９ｂに対向されてい
る。

【００７９】この実施例で示すスイッチ装置７６では、
タンク６２から漏れ出した水Ｗは容器体７７内に入り込
み、水Ｗの浮力によってフロート７８ａが浮き上がる。
容器体７７内の水Ｗが所定量に達すると、フロート７８
ａの上昇によって揺動アーム７８がアーム受け片７９ａ
を中心に揺動され、この揺動アーム７８の姿勢変化によ
って作動子７８ｂが下方に押し下げられる。これによ
り、作動子７８ｂが入力部７９ｂに当接してこれを押し
下げ、開閉スイッチ７９を動作させる。その結果、スイ
ッチ装置７６により検出された信号が制御装置１３に送
出され、制御装置１３においてタンク６２内の水Ｗが下
面板６２ｃから漏れ出したことを知ることができる。

【００８０】このような構成のスイッチ装置７６に代え
て、図９に示すような構成のスイッチ装置を用いること
もできる。このスイッチ装置８０は、変位部材の第５の
実施例を示す揺動アーム８１と開閉スイッチ８２とで構
成したものである。揺動アーム８１は、一端に水受け部
８１ａを有する杓状の部材からなり、その他端の操作部
８１ｂが開閉スイッチ８２によって支持されている。開
閉スイッチ８２は、揺動アーム８１の操作部８１ｂを揺
動可能に支持するアーム支持部８２ａと、このアーム支
持部８２ａ側に突出された入力部８２ｂとを有してい
る。この入力部８２ｂを操作部８１ｂで押圧することに
より、開閉スイッチ８２がオン・オフ動作される。この
ような構成を有するスイッチ装置８０によっても、上述
したスイッチ装置７６と同様の効果を得ることができ
る。

【００８１】図１０に示す本願発明の第４の実施例に係
る紫外線殺菌装置８４は、光源の内側に流体を通過させ
るようにした外照式過熱防止光照射装置に適用したもの
である。この紫外線殺菌装置８４は、気密状態に維持さ
れる保護カバーの第３の実施例を示すケーシング８５を
有し、このケーシング８５内に流体通路の他の実施例を
示す連通管８６が上下方向へ延在するように挿通されて
いる。この連通管８６の下端部である流入口８６ａに
は、Ｌ字状に形成された流入側接続パイプ８７の一端が
接続され、その他端には制御装置１３の供給口１３ａが
接続されている。また、連通管８６の上端部である流出
口８６ｂには、Ｌ字状に形成された流出側接続パイプ８
８の一端が接続され、この流出側接続パイプ８８の他端
から紫外線殺菌された水Ｗが流出される。

【００８２】流出側接続パイプ８８にはドレンパイプ８
８ａが接続されていて、このドレンパイプ８８ａには、
上述したドレン管路２２（逃し弁２３と逆止め弁２４と
ドレン配管２５とを有する。）が接続されている。この
ドレン管路２２の排出部は、ケーシング８５に取り付け
られた固定片８５ａによって支持されている。更に、流
出側接続パイプ８８には取付部８８ｂが設けられ、この
取付部８８ｂには、上述した実施例と同様に取付栓２１
を介して温度計２０（温度検出部２０ａと信号送出部２
０ｂとを有する。）が取り付けられている。

【００８３】連通管８６は、上述したランプ収納管１４
と同様に紫外線を透過することができる材質（例えば、
石英ガラス、紫外線透過性フッソ樹脂等）によって形成
されている。この連通管８６の周囲を囲むように多数の
紫外線ランプ１５が配置されている。この実施例に示す
紫外線ランプ１５としては、連通管８６と同程度の長さ
を有する棒状のものが用いられているが、リング状の紫
外線ランプを用いることもできる。

【００８４】ケーシング８５は、連通管８６を含み多数
の紫外線ランプ１５の周囲を大きく囲うことができる円
筒体からなる。このケーシング８５の上下には半径方向
内側に展開された下面部８５ｂ及び上面部８５ｃが設け
られている。ケーシング８５の下面部８５ｂに形成され
た中央穴には流入側接続パイプ８７のフランジ部８７ａ
が嵌合されており、これによりケーシング８５の下面が
気密に閉鎖されている。また、ケーシング８５の上面部
８５ｃに形成された中央穴には流出側接続パイプ８８の
フランジ部８８ｃが嵌合されており、これによりケーシ
ング８５の上面が気密に閉鎖されている。

【００８５】このケーシング８５の下部には側方に突出
する供給口８９ａ及び接続口８９ｂが設けられ、上部に
は側方に突出する排気口８９ｃが設けられている。供給
口８９ａには、図示しないガス発生装置が接続され、こ
のガス発生装置から窒素や不活性ガスＧ等が供給可能と
されている。また、排気口８９ｃには、図示しない真空
発生装置が接続され、この真空発生装置でケーシング８
５内の空気Ｅを排気することにより、ケーシング８５内
を真空にすることも可能とされている。従って、この実
施例においては、ケーシング８５内は不活性ガス等の雰
囲気によって充填されるか、又は真空状態とされる。こ
のとき、ケーシング８５内の圧力は、外気の圧力よりも
低くして負圧に設定する。

【００８６】更に、ケーシング８５の接続口８９ｂに
は、流体漏れ検出手段の第７の実施例を示すスイッチ装
置９０が取り付けられている。このスイッチ装置９０
は、変位部材の第６の実施例を示すボール状の閉鎖体９
１と、この閉鎖体９１を上下方向へ移動可能に保持する
変位部材ケースの第５の実施例を示す閉鎖体ケース９２
と、この閉鎖体ケース９２に設けられた一対の端子９３
ａ，９３ｂとを有している。閉鎖体ケース９２は、Ｌ字
状に形成された管体からなり、一端には接続口８９ｂに
連結するためのネジ部が設けられている。この閉鎖体ケ
ース９２は、接続口８９ｂに取り付けた状態において、
他端が上方へ開口するように取り付けられている。この
閉鎖体ケース９２のＬ字状に折り曲げられた流体通路９
４のうち上下方向に延在された部分には、他の部分より
も大径とされた閉鎖体収納室９４ａが設けられている。

【００８７】この閉鎖体収納室９４ａ内には、閉鎖体９
１が上下方向へ昇降可能に収納されている。従って、ケ
ーシング８５内が負圧とされているため、通常、流体通
路９４は閉鎖体９１によって閉じられている。このケー
シング８５内の圧力が上昇して外気よりも高くなること
により、閉鎖体９１が押し上げられて流体通路９４が開
かれる。この閉鎖体収納室９４ａの上部に一対の端子９
３ａ，９３ｂが配置されており、閉鎖体９１が所定高さ
まで押し上げられることにより一対の端子９３ａ，９３
ｂに接続される。その結果、閉鎖体９１を介して一対の
端子９３ａ，９３ｂ間が電気的に接続され、これによ
り、流体漏れの検出対象とされる流体（例えば、水Ｗ
等）が流体通路９４を通過することを検出することがで
きる。

【００８８】この実施例に係るスイッチ装置９０では、
例えば、連通管８６の破損による液漏れを検出すること
ができる。例えば、連通管８６に液漏れが発生し、この
連通管８６内を流れている水Ｗがケーシング８５内に漏
れ出すものとする。このような場合に、ケーシング８５
内に漏れ出した水Ｗは、スイッチ装置９０の流体通路９
４内に入り込み、閉鎖体９１を押し上げる。この水Ｗに
よる押し上げ力が閉鎖体９１を押圧する外気圧よりも大
きくなると、閉鎖体９１が押し上げられて流体通路９４
が開かれる。この閉鎖体９１の押し上げ高さが所定高さ
に達することにより、閉鎖体９１を介して一対の端子９
３ａ，９３ｂ間が電気的に接続される。その結果、スイ
ッチ装置９０により検出された信号が制御装置１３に送
出され、制御装置１３において連通管８６内の水Ｗがケ
ーシング８５内に漏れ出したことを知ることができる。

【００８９】図１１〜図１３は、流体漏れ検出手段であ
るスイッチ装置の第７〜第９の実施例を示すものであ
る。これらのスイッチ装置９５Ａ，９５Ｂ及び９５Ｃ
は、変位部材の第７の実施例を示す閉鎖体９６と変位部
材ケースの第６，７及び８の実施例を示す閉鎖体ケース
９７ａ，９７ｂ及び９７ｃと一対又は二対の端子９８
ａ，９８ｂとを有している。

【００９０】図１１に示す第７の実施例を示すスイッチ
装置９５Ａは、閉鎖体ケース９７ａをＭ字状に形成した
ものである。閉鎖体ケース９７ａの内部にはＭ字状の流
体通路９９が設けられており、この流体通路９９内にボ
ール状の閉鎖体９６がころがり移動可能に収納されてい
る。流体通路９９の一端には、閉鎖体９６を移動させる
流体が導入される導入口９９ａが設けられ、他端にはそ
の流体を排出させる排出口９９ｂが設けられている。そ
して、閉鎖体ケース９７ａの中央部の下方へ凸となった
部分に一対の端子９８ａ，９８ｂが取り付けられてい
る。一対の端子９８ａ，９８ｂは、上下に対向するよう
に配置されている。この実施例では、通常状態におい
て、閉鎖体９６を介して一対の端子９８ａ，９８ｂが接
続され、導通可能な状態とされている。

【００９１】図１２に示す第８の実施例を示すスイッチ
装置９５Ｂは、閉鎖体ケース９７ｂをコ字状に形成した
ものである。閉鎖体ケース９７ａの内部にはコ字状の流
体通路９９が設けられており、この流体通路９９内にボ
ール状の閉鎖体９６がころがり移動可能に収納されてい
る。流体通路９９の一端には、閉鎖体９６を移動させる
流体が導入される導入口９９ａが設けられ、他端にはそ
の流体を排出させる排出口９９ｂが設けられている。そ
して、閉鎖体ケース９７ａの排出口９９ｂ側の端部に一
対の端子９８ａ，９８ｂが取り付けられている。一対の
端子９８ａ，９８ｂは、左右に対向するように配置され
ている。この実施例では、通常状態において、閉鎖体９
６は導入口９９ａ側に配置されており、一対の端子９８
ａ，９８ｂ間が非導通状態とされている。

【００９２】図１３に示す第９の実施例を示すスイッチ
装置９５Ｃは、閉鎖体ケース９７ｃをＵ字状に形成した
ものである。閉鎖体ケース９７ａの内部にはＵ字状の流
体通路９９が設けられており、この流体通路９９内にボ
ール状の閉鎖体９６がころがり移動可能に収納されてい
る。流体通路９９の一端には、閉鎖体９６を移動させる
流体が導入される導入口９９ａが設けられ、他端にはそ
の流体を排出させる排出口９９ｂが設けられている。そ
して、閉鎖体ケース９７ａの各端部に、それぞれ一対の
端子９８ａ，９８ｂが取り付けられている。一対の端子
９８ａ，９８ｂは、左右に対向するように配置されてい
る。この実施例では、通常状態において、閉鎖体９６は
閉鎖体ケース９７ａの中央部にころがり移動可能に配置
されており、二対の端子９８ａ，９８ｂ間が共に非導通
状態とされている。

【００９３】このような構成を有する第７〜第９の実施
例に係るスイッチ装置９５Ａ〜９５Ｃによっても、上述
した実施例のスイッチ装置１６，４６，５６，６６，７
６，８０及び９０と同様の効果を得ることができる。

【００９４】以上説明したが、本発明は、上記実施例に
限定されるものではなく、例えば、上述した実施例で
は、流体の一具体例として水Ｗを用い、その水Ｗに紫外
線ランプ１５から紫外線を照射して当該水Ｗを殺菌処理
する例について説明したが、流体の他の例としては、例
えば、食品加工等の分野で使用される糖液、デンプン乳
液、白水その他の液体、又は空気、窒素その他の気体、
或いはこれらの気体と液体との混合物等の各種の流体を
対象とすることができる。この場合、流体の種類に応じ
て、制御装置が水供給装置、糖液供給装置、デンプン乳
液供給装置、白水供給装置、空気供給装置、窒素供給装
置等になる。

【００９５】また、上記実施例においては、電磁波とし
て紫外線を用いた例について説明したが、その他の電磁
波としては、例えば、赤外線や遠赤外線、Ｘ線、γ線等
を用いることもできる。この場合、光源としては、赤外
線ランプ、遠赤外線ランプ、Ｘ線発生器、γ線発生器等
を用いることができる。更に、電磁波発生手段として
は、ランプのみならず、レーザを発射するレーザ装置を
用いることもできる。更に又、本願発明に係る電磁波を
用いた装置としては、上述したような流体を殺菌する装
置の他、これら流体を電磁波で分解したり、電磁波で流
体に化学反応を生じさせて合成（例えば、光合成、ビタ
ミン剤の生成等）させる装置に適用できることは勿論で
ある。

【００９６】更に、本願発明に係る電磁波を用いた装置
は、電子線の発生にも用いることができる。また、本願
発明の電磁波を用いた装置は、上述した紫外線殺菌装置
そのものに適用できることは勿論のこと、その紫外線殺
菌装置を冷却するため冷却水や冷却媒体を流体の対象と
して適用することもできる。このように、本発明は、そ
の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更できるものである。

【００９７】

【発明の効果】以上説明したように、本出願の請求項１
記載の電磁波を用いた装置によれば、保護カバー又は流
体通路に関連させて電磁波発生手段を設け、保護カバー
又は流体通路の破損によって流体が電磁波発生手段に接
触可能な状態となったことを流体漏れ検出手段で検出
し、この流体漏れ検出手段流体の作用により変位される
変位部材を有するスイッチ装置によって構成したため、
流体の漏れを確実に検出して早期に流体漏れ対策を図る
ことができるという効果が得られる。

【００９８】本出願の請求項２記載の電磁波を用いた装
置によれば、電磁波として紫外線を適用し、この紫外線
を発生する紫外線ランプを電磁波発生手段として用いる
構成としたため、この紫外線ランプで流体の殺菌、滅菌
等を行って純水や超純水等を生産することができるとい
う効果が得られる。

【００９９】本出願の請求項３記載の電磁波を用いた装
置によれば、保護カバーを紫外線透過性部材によって筒
体に形成し、この保護カバーの先端部を流体通路内に挿
入して基端部を容器体に片持ち状に支持すると共に、保
護カバー内にスイッチ装置を設ける構成としたため、流
体通路内を流通する流体を紫外線を用いて効率良く殺菌
処理することができると共に、保護カバーの破損による
流体の漏れを確実に検出して早期に流体漏れ対策を図る
ことができるという効果が得られる。

【０１００】本出願の請求項４記載の電磁波を用いた装
置によれば、保護カバーを紫外線透過性部材によって筒
体に形成し、この保護カバーを流体通路内に貫通させて
両端部を容器体に両端支持すると共に、保護カバー内に
スイッチ装置を設ける構成としたため、流体通路内を流
通する流体を紫外線を用いて効率良く殺菌処理すること
ができると共に、保護カバーの破損による流体の漏れを
確実に検出して早期に流体漏れ対策を図ることができる
という効果が得られる。

【０１０１】本出願の請求項５記載の電磁波を用いた装
置によれば、紫外線透過性部材によって筒体に形成され
た流体通路の内側に流体を流通させると共にその流体通
路の外側に紫外線ランプを配置し、これらを保護カバー
で覆う構成としたため、流体通路内を流通する流体を紫
外線によって効率良く殺菌処理することができると共
に、保護カバーの破損による流体の漏れを確実に検出し
て早期に流体漏れ対策を図ることができるという効果が
得られる。

【０１０２】本出願の請求項６記載の電磁波を用いた装
置によれば、液体よりも比重が小さくて導電層を有する
変位部材と一対の端子とでスイッチ装置を構成したた
め、液体の働きによる変位部材の移動によって端子間に
電流を流し、液体漏れを検出することができ、簡単な構
成のスイッチ装置でありながら、液体の漏れを確実に検
出することができるという効果が得られる。

【０１０３】本出願の請求項７記載の電磁波を用いた装
置によれば、流体通路を有する変位部材ケースとその通
路を開閉する変位部材と一対の端子とでスイッチ装置を
構成したため、流体の働きによる変位部材の移動によっ
て端子間に電流を流し、流体漏れを検出することがで
き、簡単な構成のスイッチ装置でありながら、流体の漏
れを確実に検出することができるという効果が得られ
る。

【０１０４】本出願の請求項８記載の電磁波を用いた装
置によれば、流体の作用によって揺動される変位部材と
スイッチ本体とでスイッチ装置を構成したため、流体の
作用で変位部材を揺動させてスイッチ本体をオン・オフ
させ、流体漏れを検出することができ、簡単な構成のス
イッチ装置でありながら、流体の漏れを確実に検出する
ことができるという効果が得られる。

【０１０５】本出願の請求項９記載の電磁波を用いた装
置によれば、ボールがころがり移動される流体通路と一
対の端子とでスイッチ装置を構成したため、流体の作用
でボールを移動させて端子間に電流を流し、流体漏れを
検出することができ、簡単な構成のスイッチ装置であり
ながら、流体の漏れを確実に検出することができるとい
う効果が得られる。

【０１０６】本出願の請求項１０記載の電磁波を用いた
装置によれば、流体通路を有する変位部材ケースと流体
の正圧又は負圧によって移動される変位部材と一対の端
子とでスイッチ装置を構成したため、圧力スイッチとし
て用いて流体の漏れを検出することができ、簡単な構成
のスイッチ装置でありながら流体の漏れを確実に検出す
ることができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電磁波を用いた装置の第１の実施例に
係る紫外線殺菌装置を断面して示す説明図である。

【図２】図１の要部を拡大して示すもので、流体漏れ検
出手段の第１の実施例を断面して示す説明図である。

【図３】本発明の電磁波を用いた装置の第２の実施例に
係る紫外線殺菌装置を断面して示す説明図である。

【図４】本発明の電磁波を用いた装置に用いられる流体
漏れ検出手段の第３の実施例を断面して示す説明図であ
る。

【図５】本発明の電磁波を用いた装置の第３の実施例に
係る紫外線殺菌装置の一部を断面して示す斜視図であ
る。

【図６】図５の要部を拡大して示すもので、流体漏れ検
出手段の第４の実施例を断面して示す説明図である。

【図７】本発明の電磁波を用いた装置の第４の実施例に
係る紫外線殺菌装置の一部を断面して示す斜視図であ
る。

【図８】図７の要部を断面して示すもので、流体漏れ検
出手段の第５の実施例を断面して示す説明図である。

【図９】本発明の電磁波を用いた装置に使用される流体
漏れ検出手段の第６の実施例の一部を断面して示す説明
図である。

【図１０】本発明の電磁波を用いた装置の第５の実施例
に係る紫外線殺菌装置を断面して示す説明図である。

【図１１】本発明の電磁波を用いた装置に使用される流
体漏れ検出手段の第７の実施例を断面して示す説明図で
ある。

【図１２】本発明の電磁波を用いた装置に使用される流
体漏れ検出手段の第８の実施例を断面して示す説明図で
ある。

【図１３】本発明の電磁波を用いた装置に使用される流
体漏れ検出手段の第９の実施例を断面して示す説明図で
ある。

【図１４】従来の紫外線殺菌装置を断面して示す説明図
である。

【符号の説明】

１１，４１，６１，７５，８４ 紫外線殺菌装置（電磁
波を用いた装置）、１２，６２，７０ タンク（容器
体）、 １３ 制御装置、 １４，４４ ランプ収納管
（保護カバー）、 １５ 紫外線ランプ（紫外線発生手
段）、 １６，４６，５６，６６，７６，８０，９０，
９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃ スイッチ装置（流体漏れ検出
手段）、 １７ａ，８６ａ 流入口、 １７ｂ，８６ｂ
流出口、 ２９，５７ 浮き子（変位部材）、 ３
０，５８ 浮き子ケース（変位部材ケース）、 ３２
ａ，３２ｂ，５９ａ，５９ｂ，６９ａ，６９ｂ，９３
ａ，９３ｂ，９９ａ，９８ｂ 端子、 ５１，６７，９
１，９６ 閉鎖体（変位部材）、５２，６８，９２，９
７ａ，９７ｂ，９７ｃ 閉鎖体ケース（変位部材ケー
ス）、 ７３ 上部カバー、 ７４，９４，９９ 流体
通路、 ７９，８２ 開閉スイッチ、 ８５ ケーシン
グ（保護カバー）、 ８６ 連通管（流体通路）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4C080 AA10 BB05 QQ11 QQ17 4G075 AA02 AA51 AA65 BA04 CA24 CA33 DA02 EB31 ED13 EE02 FC11

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体通路内を流通する流体に電磁波を照
   射して当該流体を処理する電磁波発生手段を有し、この
   電磁波発生手段を当該電磁波を透過可能な保護カバーで
   覆って保護するようにした電磁波を用いた装置におい
   て、 上記保護カバー又は上記流体通路の破損により上記流体
   が上記電磁波発生手段に接触可能な状態となったことを
   検出する流体漏れ検出手段を設け、 当該流体漏れ検出手段は、上記流体の作用により移動す
   る変位部材の変位によってオン・オフされるスイッチ装
   置であることを特徴とする電磁波を用いた装置。
2. 【請求項２】 上記電磁波は紫外線であり、上記電磁波
   発生手段は上記紫外線を発生させる紫外線ランプである
   ことを特徴とする請求項１記載の電磁波を用いた装置。
3. 【請求項３】 上記保護カバーは、上記紫外線を透過可
   能な紫外線透過性部材によって形成された筒体からな
   り、当該保護カバーが上記流体通路内に挿入されて当該
   流体通路を形成する容器体に片持ち状に支持されてお
   り、この保護カバー内に上記スイッチ装置を設けたこと
   を特徴とする請求項２記載の電磁波を用いた装置。
4. 【請求項４】 上記保護カバーは、上記紫外線を透過可
   能な紫外線透過性部材によって形成された筒体からな
   り、当該保護カバーが上記流体通路内を貫通されて当該
   流体通路を形成する容器体に両端支持されており、この
   保護カバー内又は当該保護カバーに連通された部位に上
   記スイッチ装置を設けたことを特徴とする請求項２記載
   の電磁波を用いた装置。
5. 【請求項５】 上記流体通路は、上記紫外線を透過可能
   な紫外線透過性部材によって形成された筒体からなり、
   当該流体通路の外側に上記紫外線ランプが配置され、こ
   の紫外線ランプを含む上記流体通路が上記保護カバーに
   よって覆われており、この保護カバー内又は当該保護カ
   バーに連通された部位に上記スイッチ装置を設けたこと
   を特徴とする請求項２記載の電磁波を用いた装置。
6. 【請求項６】 上記スイッチ装置は、上記流体である液
   体よりも比重が小さく且つ少なくとも表面に導電層を有
   する変位部材と、この変位部材の変位によって断続され
   る一対の端子とを有することを特徴とする請求項１記載
   の電磁波を用いた装置。
7. 【請求項７】 上記スイッチ装置は、上記流体が流通可
   能な流路を有する変位部材ケースと、上記通路を開閉可
   能な状態で上記変位部材ケースに収納された変位部材
   と、この変位部材が上記流体の作用で変位することによ
   って断続される一対の端子とを有することを特徴とする
   請求項１記載の電磁波を用いた装置。
8. 【請求項８】 上記スイッチ装置は、上記流体の作用に
   より揺動される変位部材と、この変位部材の揺動によっ
   て断続されるスイッチ本体とを有することを特徴とする
   請求項１記載の電磁波を用いた装置。
9. 【請求項９】 上記スイッチ装置は、上記変位部材であ
   るボールがころがり移動可能とされ且つＭ字状、コ字状
   又はＵ字状に形成された流体通路と、この流体通路の適
   宜位置に設けられ且つ当該ボールが上記流体の作用で変
   位することによって断続される一対の端子とを有するこ
   とを特徴とする請求項１記載の電磁波を用いた装置。
10. 【請求項１０】 上記スイッチ装置は、上記流体通路を
    有する変位部材ケースと、この変位部材ケース内に移動
    可能に収納され且つ上記流体の正圧又は負圧によって当
    該流体通路を閉じる変位部材と、この変位部材によって
    オン・オフされる一対の端子とを有し、当該流体の圧力
    変動によって動作される圧力スイッチとして構成したこ
    とを特徴とする請求項１記載の電磁波を用いた装置。