JP2001326540A - 半導体回路 - Google Patents

半導体回路

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JP2001326540A
JP2001326540A JP2000143550A JP2000143550A JP2001326540A JP 2001326540 A JP2001326540 A JP 2001326540A JP 2000143550 A JP2000143550 A JP 2000143550A JP 2000143550 A JP2000143550 A JP 2000143550A JP 2001326540 A JP2001326540 A JP 2001326540A
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bipolar transistor
hbts
temperature
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Kazukiyo Tsunenobu
和清 常信
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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    • H03F3/20Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
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    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数のバイポーラトランジスタ、特にHBT
を並列に接続してなる半導体回路において、比較的簡易
な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑止し、出力電力
特性及び歪み特性の向上を図る。 【解決手段】 複数のHBT1,2,3,4…が並列接
続されてなる半導体回路であり、各HBTの近傍にそれ
ぞれ温度モニタ素子5が配される。温度モニタ素子5
は、温度上昇に応じて電流供給能力が増加する性質を有
し、その入力端子がバイアス線6に接続されるととも
に、その出力端子が当該温度モニタ素子5の近傍に存す
るHBTと隣接するHBTのべース電極と接続され、H
BT1〜4と各々の近傍の各温度モニタ素子5とが熱的
に結合している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のバイポーラ
トランジスタが並列接続された半導体回路に関し、特に
ヘテロ接合バイポーラトランジスタを用いた増幅機能を
有する半導体回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的にヘテロ接合バイポーラトランジ
スタ(Heterojunction Bipolar Transistor:HBT)
は、電流と温度に正の相関を示すため、熱暴走を起こし
易い。特に多数のHBTを並列に接続したパワーHBT
増幅器では、一部のHBTに電流と熱が集中する不均一
動作やそれに起因するトランジスタの破壊が問題とな
る。
【0003】この問題に対処して、従来では例えば図8
に示すように、不均一動作を抑えるために各HBT10
1のエミッタ或いはべースに直列に抵抗(バラスト抵
抗)102を接続し、一部のHBTにおける電流の増
大、即ち電流集中に対してネガティブフィードバックが
かかるように工夫している。バラスト抵抗102がエミ
ッタに接続される場合にはコレクタ電流の増加ととも
に、べースに接続される場合にはべース電流の増加とと
もに、ベースとエミッタ間の電圧が低下するように働
き、HBT101の熱暴走が抑えられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにバラスト抵抗を設ける場合、エミッタバラスト抵
抗はその抵抗値の許容範囲が極めて厳格であり、即ちエ
ミッタバラスト抵抗は小さいと熱暴走が発生し易く、大
き過ぎる場合には出力電力を低下させるという問題があ
る。
【0005】他方、ベースバラスト抵抗には歪み特性を
劣化させるという問題がある。無線通信システムでは情
報の伝送量を大きくするためにデジタル変調方式が採用
されている。そのようなシステムに用いられる電力増幅
器には低歪み特性が求められる。ベースバラスト抵抗を
配したHBT増幅器の場合には、変調信号周波数での入
力インピーダンスが高くなってしまう。その結果、変調
信号に応じてHBTのバイアス条件が変動し、増幅器の
歪み特性が劣化するという問題が生じる。
【0006】そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされ
たものであり、多数のバイポーラトランジスタ、特にH
BTを並列に接続してなる半導体回路において、比較的
簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑止し、出力
電力特性及び歪み特性の向上を図る半導体回路を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
の結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
【0008】本発明は、複数のバイポーラトランジス
タ、好ましくはヘテロ接合型のバイポーラトランジスタ
が並列接続された半導体回路を対象とする。この半導体
回路は、各バイポーラトランジスタの近傍にこれと熱的
に結合するように、温度上昇に応じて電流供給能力が増
加する性質を有する温度モニタ素子が配され、その出力
端子が近傍に存するバイポーラトランジスタとは別のバ
イポーラトランジスタのべース電極又はべース電極と接
続されるバイアス回路と接続されて構成される。
【0009】各温度モニタ素子は、ダイオード又はバイ
ポーラトランジスタとして構成することが好適である。
【0010】本発明の半導体回路においては、並列接続
された複数のバイポーラトランジスタのうち、あるトラ
ンジスタTnに温度上昇が生じると、それに伴って当該
トランジスタTnの近傍に配され熱的に結合された温度
モニタ素子も温度上昇する。このとき、温度モニタ素子
のもつ性質によって閾値電圧が低下し、その出力端子に
接続された他のトランジスタTmへの電流供給量が増加
する。即ち、トランジスタTnの温度上昇の影響が他の
トランジスタTm(1つとは限らない)に拡散されてそ
のバイアス条件が変化する。これにより、トランジスタ
Tnの温度上昇が緩和して熱暴走が抑止されるととも
に、回路全体の動作の均一化が図られることになる。
【0011】更に、本発明の半導体回路にはバイアス線
が配されており、当該バイアス線には各温度モニタ素子
が入力端子で接続されるとともに、バイアス線の一端に
はバラスト抵抗が接続されている。
【0012】半導体回路全体(或いは大部分)で温度上
昇が生じた場合、各温度モニタ素子がバイアス線に接続
されているため、バラスト抵抗の働きにより電圧降下が
惹起されて熱暴走が抑止される。
【0013】また、各温度モニタ素子と接続されるバイ
ポーラトランジスタは、具体的には当該温度モニタ素子
の近傍に存するバイポーラトランジスタに隣接するも
の、或いは当該近傍のトランジスタから少なくとも1つ
以上離間したものとすることが好適である。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した好適な諸
実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明す
る。
【0015】(第1の実施形態)図1は、本実施形態の
パワーHBT増幅器の回路構成図であり、図2は当該パ
ワーHBT増幅器のレイアウト構成を模式的に示す平面
図である。
【0016】このパワーHBT増幅器は、複数(例えば
40個)のヘテロ接合型バイポーラトランジスタ(HB
T)1,2,3,4…(図示の例ではトランジスタ1〜
4のみ示す。他の実施形態、変形例でも同様)が並列接
続されてなる半導体回路であり、各HBTのエミッタ寸
法は例えば2μm×20μmとする。更に、各HBTの
近傍にそれぞれ温度モニタ素子5が配されており、イン
ダクタンスコイルL1が接続された入力端子Tinと、イ
ンダクタンスコイルL2,L3及びキャパシタC5が接
続された出力端子Toutとが設けられてパワーHBT増
幅器が構成されている。ここで、各HBT1〜4のベー
ス電極にはそれぞれキャパシタC1〜4が接続され、当
該キャパシタC1〜4を介して入力端子Tinと接続され
ている。これらキャパシタC1〜4及びインダクタンス
コイルL1により入力整合回路が構成される。他方、各
HBT1〜4のコレクタ電極は出力端子Toutに接続さ
れており、エミッタ電極は接地されている。
【0017】各HBTは、AlGaAs/GaAs,A
lGaAs/InGaAs,AlGaAs/InGaA
sSb,InGaP/GaAs,InGaP/InGa
As,InGaP/InGaAsSb,AlInAs/
InGaAs,Si/SiGe、Si/SiGeC、及
びAlGaN/GaN等から選ばれた1種を材料として
構成されるものである。
【0018】温度モニタ素子5は、HBTのベース電極
とコレクタ電極を短絡してなる両電極のPN接合を利用
したダイオードとして構成されており、温度上昇に応じ
て電流供給能力が増加する性質を有するものである。こ
の温度モニタ素子5のエミッタ寸法は例えば2μm×4
μmとする。
【0019】温度モニタ素子としては、HBTを使った
ダイオード型の温度モニタ素子5の他に、ショットキ接
合型のダイオードや、温度上昇に対して抵抗値が下がる
ような負の温度係数を持つ抵抗体などが適用可能であ
る。
【0020】各温度モニタ素子5は、その入力端子がバ
イアス線6に接続されるとともに、その出力端子が当該
温度モニタ素子5の近傍に存するHBTと隣接するHB
T(例えば、HBT2の近傍の温度モニタ素子5につい
ては隣接するHBT1,3)のべース電極と接続され、
HBT1〜4と各々の近傍の各温度モニタ素子5とが熱
的に結合している。なお、図示の例ではHBT2,3の
近傍にはそれぞれ2つの温度モニタ素子5が配されてお
り、それぞれ両隣のHBT1,3及びHBT2,4のべ
ース電極と接続されている。
【0021】バイアス線6は、その一端がバイアス端子
bとされ、当該バイアス端子TbとHBT1の近傍の温
度モニタ素子5との間に、バラスト抵抗7及び安定化キ
ャパシタ8がこの順に接続されている。バラスト抵抗値
は例えば50Ωとする。HBT1〜4が、GaAs基板
上に形成されたInGaP/GaAsからなる場合には
バイアス端子の電圧は各HBTのオン電圧の2倍、約
2.7Vが必要になる。また、Si基板上に形成された
Si/SiGeからなる場合には1.7V前後をバイア
ス端子Tbに印加する。
【0022】ここで、温度モニタ素子5の機能について
説明する。図3は、温度モニタ素子の電流電圧特性の温
度依存を示す特性図である。温度モニタ素子5の温度が
上昇すると、同じべース電圧でもコレクタ電流が増加
し、或いは、同じコレクタ電流を流すために必要なベー
ス電圧が低下する。本実施形態では、温度モニタ素子5
のこのような特性を利用する。即ち、並列接続されたH
BT1〜4のうち、あるHBTnに電流集中・熱集中に
より温度上昇(温度の不均一)が生じると、それに伴っ
て当該HBTnの近傍に配され熱的に結合された温度モ
ニタ素子5も温度上昇する。このとき、温度モニタ素子
5のもつ前記性質によってその閾値電圧が低下し、その
出力端子に接続された他のHBTmへの電流供給量が増
加する。即ち、HBTnの温度上昇による影響が他のH
BTm(1つであるとは限らない)に拡散されてそのバ
イアス条件が変化する。これにより、HBTnの温度上
昇が緩和して熱暴走が抑止されるとともに、回路全体の
動作の均一化が図られることになる。
【0023】更に、回路全体で温度上昇が生じた場合に
は、バイアス線6の一端に接続されたバラスト抵抗7に
より電圧降下が生じ、回路全体の熱暴走が抑止される。
また、安定化キャパシタ8により、変調信号周波数帯域
でバイアス線6が低インピーダンスに抑えられる。安定
化キャパシタ8の容量値は、例えば変調信号周波数帯域
が4MHzであれば1μFとする。
【0024】以上説明したように、本実施形態のパワー
HBT増幅器によれば、比較的簡易な回路構成で熱暴走
の発生を効率的に抑止し、出力電力特性及び歪み特性の
向上を図ることができる。
【0025】−変形例− ここで、本実施形態のパワーHBT増幅器の諸変形例に
ついて説明する。なお、本実施形態と同一の構成部材等
については同符号を記して説明を省略する。
【0026】変形例1:このパワーHBT増幅器は、本
実施形態のそれとほぼ同様の構成を有するが、概ね各H
BTのベース電極が接地されている点で相違する。
【0027】図4は、変形例1のパワーHBT増幅器の
回路構成図である。ここでは、HBT1〜4の各々の近
傍にダイオードからなる温度モニタ素子11が1個ずつ
設けられており、その入力端子がバイアス線6に、出力
端子が当該温度モニタ素子11の近傍に存するHBTと
隣接するHBT(例えば、HBT2の近傍の温度モニタ
素子11については隣接するHBT3)のべース電極と
接続され、HBT1〜4と各々の近傍の各温度モニタ素
子11とが熱的に結合している。
【0028】そして、HBT1〜4のエミッタ電極が入
力端子Tinと、コレクタ電極が出力端子Toutに接続さ
れており、ベース電極は各温度モニタ素子11との接続
部及びキャパシタC1〜4をこの順で介して接地されて
いる。
【0029】変形例1のパワーHBT増幅器によれば、
比較的簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑止
し、出力電力特性及び歪み特性の向上を図ることができ
る。
【0030】変形例2:このパワーHBT増幅器は、本
実施形態のそれとほぼ同様の構成を有するが、概ね各各
温度モニタ素子5と接続されるHBTの位置が異なる点
で相違する。
【0031】図5は、変形例2のパワーHBT増幅器の
回路構成図である。ここでは、HBT1〜4の各々の近
傍にダイオードからなる温度モニタ素子5が1個ずつ設
けられており、各温度モニタ素子5の入力端子がバイア
ス線6に、出力端子が当該温度モニタ素子5の近傍に存
するHBTと1個離間したHBTのべース電極と接続さ
れ、HBT1〜4と各々の近傍の各温度モニタ素子5と
が熱的に結合している。ここで温度モニタ素子5の結線
として、図示の例では、HBT1の近傍の温度モニタ素
子5はHBT3、HBT2の近傍の温度モニタ素子5は
HBT4、HBT3の近傍の温度モニタ素子5はHBT
1、HBT4の近傍の温度モニタ素子5はHBT2とそ
れぞれ接続される。
【0032】なお本例では、各温度モニタ素子5の出力
端子を1個離間したHBTと接続するように構成した
が、例えば2個以上離間するようにしたり、或いはある
温度モニタ素子については1個離間したHBT、他の温
度モニタ素子については2個以上離間したHBTと接続
するように構成することなども可能である。
【0033】多数のHBTを並列接続したパワーHBT
増幅器では、中心部が周辺部より温度上昇しやすいた
め、中心部の温度モニタ素子から周辺部のHBTヘバイ
アスし、周辺部の温度モニタ素子から中心部にあるHB
Tヘバイアスする接続も有効である。
【0034】変形例2のパワーHBT増幅器によれば、
比較的簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑止
し、出力電力特性及び歪み特性の向上を図ることができ
る。この場合、温度モニタ素子の出力端子の接続部位を
上記のように工夫することにより、熱暴走の抑止を更に
効率良く確実に行うことが可能となる。
【0035】(第2の実施形態)本実施形態のパワーH
BT増幅器は、第1の実施形態のそれとほぼ同様の構成
を有するが、概ね温度モニタ素子の構成が異なる点で相
違する。なお、第1の実施形態と同一の構成部材等につ
いては同符号を記して説明を省略する。
【0036】図6は、本実施形態のパワーHBT増幅器
の回路構成図である。ここでは、各温度モニタ素子21
がバイポーラトランジスタ、具体的にはHBTとして構
成され、HBT1〜4の各々の近傍に1個ずつ配されて
おり、更に2本のバイアス線22,23が設けられてい
る。
【0037】各温度モニタ素子21は、そのベース電極
がバイアス線22に、コレクタ電極がバイアス線23に
接続され、エミッタ電極が当該温度モニタ素子21の近
傍に存するHBTと隣接するHBT(例えば、HBT2
の近傍の温度モニタ素子21については隣接するHBT
3)のべース電極と接続され、HBT1〜4と各々の近
傍の各温度モニタ素子21とが熱的に結合している。
【0038】バイアス線22,23は、各々の一端がバ
イアス端子Tbとされ、バイアス線22については当該
バイアス端子TbとHBT1の近傍に存する温度モニタ
素子21のベース電極の接続部との間に、バイアス線2
3については当該バイアス端子TbとHBT1の近傍に
存する温度モニタ素子21のコレクタ電極の接続部との
間に、それぞれバラスト抵抗7及び安定化キャパシタ8
がこの順に接続されている。
【0039】本実施形態のパワーHBT増幅器によれ
ば、比較的簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑
止し、出力電力特性及び歪み特性の向上を図ることがで
きる。
【0040】−変形例− ここで、本実施形態のパワーHBT増幅器の変形例につ
いて説明する。なお、本実施形態と同一の構成部材等に
ついては同符号を記して説明を省略する。このパワーH
BT増幅器は、本実施形態のそれとほぼ同様の構成を有
するが、概ねバイアス線が1本である点で相違する。
【0041】図7は、変形例のパワーHBT増幅器の回
路構成図である。ここでは、1本のバイアス線31が配
されており、各温度モニタ素子21のベース電極が接続
されている。他方、各温度モニタ素子21のコレクタ電
極は、当該各温度モニタ素子21の近傍に存するHBT
のコレクタ電極と抵抗32を介して接続されている。
【0042】本実施形態のパワーHBT増幅器によれ
ば、比較的簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率的に抑
止し、出力電力特性及び歪み特性の向上を図ることがで
きる。更に、1本のバイアス線が1本のみで足りるた
め、構成を簡略化することが可能となる。
【0043】
【発明の効果】本発明によれば、多数のバイポーラトラ
ンジスタ、特にHBTを並列に接続してなる半導体回路
において、比較的簡易な回路構成で熱暴走の発生を効率
的に抑止し、出力電力特性及び歪み特性の向上を図るこ
とが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態のパワーHBT増幅器を示す回
路構成図である。
【図2】第1の実施形態のパワーHBT増幅器のレイア
ウト構成を模式的に示す平面図である。
【図3】温度モニタ素子の電流電圧特性の温度依存を示
す特性図である。
【図4】第1の実施形態におけるパワーHBT増幅器の
変形例1を示す回路構成図である。
【図5】第1の実施形態におけるパワーHBT増幅器の
変形例2を示す回路構成図である。
【図6】第2の実施形態のパワーHBT増幅器を示す回
路構成図である。
【図7】第2の実施形態におけるパワーHBT増幅器の
変形例を示す回路構成図である。
【図8】従来のパワーHBT増幅器の一例を示す回路構
成図である。
【符号の説明】
1〜4 ヘテロ接合型バイポーラトランジスタ(HB
T) 5,11,21 温度モニタ素子 6,22,23,31 バイアス線 7 バラスト抵抗 8 安定化キャパシタ C1〜5 キャパシタ L1〜3 インダクタンスコイル Tin 入力端子 Tout 出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03F 1/52 H01L 29/72 3/68 Fターム(参考) 5F003 AP08 AZ08 BA22 BF06 BH01 BJ12 BJ20 BJ90 BJ93 BM01 BM02 BM03 5F082 AA04 AA19 BA48 BC03 BC13 BC14 BC15 CA01 CA02 CA03 FA11 FA16 FA20 5J069 AA01 AA21 CA02 CA21 HA06 HA25 HA29 HA43 QA03 TA01 5J090 AA01 AA21 CA02 CA21 FA16 HA06 HA25 HA29 HA43 HN20 MA19 QA03 TA01 5J091 AA01 AA21 CA02 CA21 FA16 HA06 HA25 HA29 HA43 MA19 QA03 TA01

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のバイポーラトランジスタが並列接
    続された半導体回路であって、 前記各バイポーラトランジスタの近傍にこれと熱的に結
    合するように、温度上昇に応じて電流供給能力が増加す
    る性質を有する温度モニタ素子を設け、 前記各温度モニタ素子の出力端子は、その近傍に存する
    前記バイポーラトランジスタとは別の前記バイポーラト
    ランジスタのべース電極又はべース電極と接続されるバ
    イアス回路と接続されていることを特徴とする半導体回
    路。
  2. 【請求項2】 バイアス線が配されており、前記バイア
    ス線には前記各温度モニタ素子が入力端子で接続される
    とともに、前記バイアス線の一端にはバラスト抵抗が接
    続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体
    回路。
  3. 【請求項3】 前記バイアス線の前記バラスト抵抗と前
    記温度モニタ素子との間にキャパシタが接地接続されて
    いることを特徴とする請求項2に記載の半導体回路。
  4. 【請求項4】 前記各温度モニタ素子の出力端子は、そ
    の近傍に存する前記バイポーラトランジスタと隣接する
    前記バイポーラトランジスタのべース電極又はべース電
    極と接続されるバイアス回路と接続されていることを特
    徴とする請求項1に記載の半導体回路。
  5. 【請求項5】 前記各温度モニタ素子の出力端子は、そ
    の近傍に存する前記バイポーラトランジスタと少なくと
    も1つ以上離間した前記バイポーラトランジスタのべー
    ス電極と接続されていることを特徴とする請求項1に記
    載の半導体回路。
  6. 【請求項6】 前記各温度モニタ素子は、ダイオード又
    はバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求
    項1に記載の半導体回路。
  7. 【請求項7】 前記バイポーラトランジスタは、ヘテロ
    接合型のものであることを特徴とする請求項1に記載の
    半導体回路。
  8. 【請求項8】 前記ヘテロ接合型の前記バイポーラトラ
    ンジスタは、AlGaAs/GaAs,AlGaAs/
    InGaAs,AlGaAs/InGaAsSb,In
    GaP/GaAs,InGaP/InGaAs,InG
    aP/InGaAsSb,AlInAs/InGaA
    s,Si/SiGe、Si/SiGeC、及びAlGa
    N/GaNから選ばれた1種からなるものであることを
    特徴とする請求項7に記載の半導体回路。
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