JP2001318016A - ダイアフラムシール型差圧測定装置 - Google Patents
ダイアフラムシール型差圧測定装置Info
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- JP2001318016A JP2001318016A JP2000138430A JP2000138430A JP2001318016A JP 2001318016 A JP2001318016 A JP 2001318016A JP 2000138430 A JP2000138430 A JP 2000138430A JP 2000138430 A JP2000138430 A JP 2000138430A JP 2001318016 A JP2001318016 A JP 2001318016A
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- Japan
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- differential pressure
- seal unit
- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 タンクの漏洩する恐れの有る箇所を減らし、
設置コスト、計装コスト、伝送器のコストを減らし、保
守性が向上されたダイアフラムシール型差圧測定装置を
提供する。 【解決手段】 タンクに注入された測定流体の液位と密
度とを測定するダイアフラムシール型差圧測定装置にお
いて、高圧側の圧力１点を基準に、２つの低圧側圧力を
差圧測定装置本体に導き高圧側の圧力を基準に２つの差
圧信号から液位と密度とを測定するダイアフラムシール
型差圧測定装置である。
設置コスト、計装コスト、伝送器のコストを減らし、保
守性が向上されたダイアフラムシール型差圧測定装置を
提供する。 【解決手段】 タンクに注入された測定流体の液位と密
度とを測定するダイアフラムシール型差圧測定装置にお
いて、高圧側の圧力１点を基準に、２つの低圧側圧力を
差圧測定装置本体に導き高圧側の圧力を基準に２つの差
圧信号から液位と密度とを測定するダイアフラムシール
型差圧測定装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、タンクの漏洩する
恐れの有る箇所を減らし、設置コスト、計装コスト、伝
送器のコストを減らし、保守性が向上されたダイアフラ
ムシール型差圧測定装置に関するものである。
恐れの有る箇所を減らし、設置コスト、計装コスト、伝
送器のコストを減らし、保守性が向上されたダイアフラ
ムシール型差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図である。図４において、タンク１の
側面のＡ，Ｂ個所には、ダイアフラムシール型差圧測定
装置２のダイアフラムシールユニット部分３，４が取り
付けられている。
従来例の構成説明図である。図４において、タンク１の
側面のＡ，Ｂ個所には、ダイアフラムシール型差圧測定
装置２のダイアフラムシールユニット部分３，４が取り
付けられている。
【０００３】その取り付けピッチ：ｈとダイアフラムシ
ールユニット部分３，４のそれぞれの受圧圧力の差圧よ
り、測定流体ＦＩの密度を計測する。一方、タンク１の
側面Ｃ，Ｄには、ダイアフラムシール型差圧測定装置５
のダイアフラムシールユニット部分６，７が取り付けら
れ、タンク１内の測定流体ＦＩの液位を測定する。
ールユニット部分３，４のそれぞれの受圧圧力の差圧よ
り、測定流体ＦＩの密度を計測する。一方、タンク１の
側面Ｃ，Ｄには、ダイアフラムシール型差圧測定装置５
のダイアフラムシールユニット部分６，７が取り付けら
れ、タンク１内の測定流体ＦＩの液位を測定する。
【０００４】ダイアフラムシール型差圧測定装置２，５
は、各々ブラケット８を介しスタンション９を用いて固
定されている。
は、各々ブラケット８を介しスタンション９を用いて固
定されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置においては、タンク１は、年々小形化が求めら
れているが、ダイアフラムシール型差圧測定装置のダイ
アフラムは、温度特性、精度等の特性が悪くなるので、
小形化が難しい。そのために、取り付けフランジサイズ
の小形化が出来ない。
うな装置においては、タンク１は、年々小形化が求めら
れているが、ダイアフラムシール型差圧測定装置のダイ
アフラムは、温度特性、精度等の特性が悪くなるので、
小形化が難しい。そのために、取り付けフランジサイズ
の小形化が出来ない。
【０００６】以上のようなことから、小さなタンク１
に、大きな圧力測定用フランジが４箇所付くことにな
り、 （１）漏洩する恐れの有る箇所が減らない。 （２）タンク設置コスト、タンク計装コストが減らな
い。
に、大きな圧力測定用フランジが４箇所付くことにな
り、 （１）漏洩する恐れの有る箇所が減らない。 （２）タンク設置コスト、タンク計装コストが減らな
い。
【０００７】（３）ダイアフラムシール型差圧測定装置
２，５を取り付けるためのスタンション９を２箇所設け
なければならず、設置コストが掛る。 （４）２箇のダイアフラムシール型差圧測定装置２，５
の保守をしなければならず、保守コストが掛る。 等の問題点を有していた。
２，５を取り付けるためのスタンション９を２箇所設け
なければならず、設置コストが掛る。 （４）２箇のダイアフラムシール型差圧測定装置２，５
の保守をしなければならず、保守コストが掛る。 等の問題点を有していた。
【０００８】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、タンクの漏洩する恐れの有る箇所を減らし、設置
コスト、計装コスト、伝送器のコストを減らし、保守性
が向上され、小形化タンクに対応したダイアフラムシー
ル型差圧測定装置を提供することにある。
ので、タンクの漏洩する恐れの有る箇所を減らし、設置
コスト、計装コスト、伝送器のコストを減らし、保守性
が向上され、小形化タンクに対応したダイアフラムシー
ル型差圧測定装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１のダイアフラムシール
型差圧測定装置においては、タンクに注入された測定流
体の液位と密度とを測定するダイアフラムシール型差圧
測定装置において、前記測定流体が満たされた部分の前
記タンクの底面側に設けられた第1のダイアフラムシー
ルユニットと、前記測定流体が満たされた部分の前記タ
ンクの蓋面側に設けられた第２のダイアフラムシールユ
ニットと、前記測定流体が満たされていない部分の前記
タンクに設けられた第３のダイアフラムシールユニット
と、前記第1のダイアフラムシールユニットに一端が接
続され前記第1のダイアフラムシールユニットが受圧し
た圧力を導圧する第1の導圧管と、前記第２のダイアフ
ラムシールユニットに一端が接続され前記第２のダイア
フラムシールユニットが受圧した圧力を導圧する第２の
導圧管と、前記第３のダイアフラムシールユニットに一
端が接続され前記第３のダイアフラムシールユニットが
受圧した圧力を導圧する第３の導圧管と、前記第1の導
圧管の他端と前記第２の導圧管の他端とが接続され前記
第1のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と前
記第２のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と
の差圧を測定する第1の測定手段と、前記第1の導圧管の
他端と前記第３の導圧管の他端とが接続され前記第1の
ダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と前記第３
のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力との差圧
を測定する第２の測定手段とを具備した事を特徴とす
る。
るために、本発明では、請求項１のダイアフラムシール
型差圧測定装置においては、タンクに注入された測定流
体の液位と密度とを測定するダイアフラムシール型差圧
測定装置において、前記測定流体が満たされた部分の前
記タンクの底面側に設けられた第1のダイアフラムシー
ルユニットと、前記測定流体が満たされた部分の前記タ
ンクの蓋面側に設けられた第２のダイアフラムシールユ
ニットと、前記測定流体が満たされていない部分の前記
タンクに設けられた第３のダイアフラムシールユニット
と、前記第1のダイアフラムシールユニットに一端が接
続され前記第1のダイアフラムシールユニットが受圧し
た圧力を導圧する第1の導圧管と、前記第２のダイアフ
ラムシールユニットに一端が接続され前記第２のダイア
フラムシールユニットが受圧した圧力を導圧する第２の
導圧管と、前記第３のダイアフラムシールユニットに一
端が接続され前記第３のダイアフラムシールユニットが
受圧した圧力を導圧する第３の導圧管と、前記第1の導
圧管の他端と前記第２の導圧管の他端とが接続され前記
第1のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と前
記第２のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と
の差圧を測定する第1の測定手段と、前記第1の導圧管の
他端と前記第３の導圧管の他端とが接続され前記第1の
ダイアフラムシールユニットが受圧した圧力と前記第３
のダイアフラムシールユニットが受圧した圧力との差圧
を測定する第２の測定手段とを具備した事を特徴とす
る。
【００１０】本発明の請求項２のダイアフラムシール型
差圧測定装置においては、請求項１記載のダイアフラム
シール型差圧測定装置において、前記第1の測定手段と
第２の測定手段とが１個の差圧測定装置本体に組み込ま
れたことを特徴とする。
差圧測定装置においては、請求項１記載のダイアフラム
シール型差圧測定装置において、前記第1の測定手段と
第２の測定手段とが１個の差圧測定装置本体に組み込ま
れたことを特徴とする。
【００１１】本発明の請求項３のダイアフラムシール型
差圧測定装置においては、請求項１記載のダイアフラム
シール型差圧測定装置において、前記第1の測定手段と
第２の測定手段とが別個の差圧測定装置本体に組み込ま
れたことを特徴とする。
差圧測定装置においては、請求項１記載のダイアフラム
シール型差圧測定装置において、前記第1の測定手段と
第２の測定手段とが別個の差圧測定装置本体に組み込ま
れたことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の要部構成説明図である。図において、図４と
同一記号の構成は同一機能を表す。以下、図４と相違部
分のみ説明する。
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の要部構成説明図である。図において、図４と
同一記号の構成は同一機能を表す。以下、図４と相違部
分のみ説明する。
【００１３】図において、２１は、測定流体Ｆｌが満た
された部分の、タンク１の底面側１ａに設けられた第1
のダイアフラムシールユニットである。２２は、測定流
体Ｆｌが満たされた部分の、タンク１の蓋面側１ｂに設
けられた第２のダイアフラムシールユニットである。
された部分の、タンク１の底面側１ａに設けられた第1
のダイアフラムシールユニットである。２２は、測定流
体Ｆｌが満たされた部分の、タンク１の蓋面側１ｂに設
けられた第２のダイアフラムシールユニットである。
【００１４】２３は、測定流体Ｆｌが満たされていない
部分の、タンク１に設けられた第３のダイアフラムシー
ルユニットである。２４は、第1のダイアフラムシール
ユニット２１に一端が接続され、第1のダイアフラムシ
ールユニット２１が受圧した圧力を導圧する第1の導圧
管である。
部分の、タンク１に設けられた第３のダイアフラムシー
ルユニットである。２４は、第1のダイアフラムシール
ユニット２１に一端が接続され、第1のダイアフラムシ
ールユニット２１が受圧した圧力を導圧する第1の導圧
管である。
【００１５】２５は、第２のダイアフラムシールユニッ
ト２２に一端が接続され、第２のダイアフラムシールユ
ニット２２が受圧した圧力を導圧する第２の導圧管であ
る。２６は、第３のダイアフラムシールユニット２３に
一端が接続され、第３のダイアフラムシールユニット２
３が受圧した圧力を導圧する第３の導圧管である。
ト２２に一端が接続され、第２のダイアフラムシールユ
ニット２２が受圧した圧力を導圧する第２の導圧管であ
る。２６は、第３のダイアフラムシールユニット２３に
一端が接続され、第３のダイアフラムシールユニット２
３が受圧した圧力を導圧する第３の導圧管である。
【００１６】２７は、第1の導圧管２４の他端と第２の
導圧管２５の他端とが接続され、第1のダイアフラムシ
ールユニット２１が受圧した圧力と第２のダイアフラム
シールユニット２２が受圧した圧力との差圧を測定する
第1の測定手段である。
導圧管２５の他端とが接続され、第1のダイアフラムシ
ールユニット２１が受圧した圧力と第２のダイアフラム
シールユニット２２が受圧した圧力との差圧を測定する
第1の測定手段である。
【００１７】２８は、第1の導圧管２４の他端と第３の
導圧管の他端とが接続され前記第1のダイアフラムシー
ルユニットが受圧した圧力と前記第３のダイアフラムシ
ールユニットが受圧した圧力との差圧を測定する第２の
測定手段である。
導圧管の他端とが接続され前記第1のダイアフラムシー
ルユニットが受圧した圧力と前記第３のダイアフラムシ
ールユニットが受圧した圧力との差圧を測定する第２の
測定手段である。
【００１８】この場合は、第1，第２の測定手段は、静
電容量式が使用されている。また、第1の測定手段２７
と第２の測定手段２８とが１個の差圧測定装置本体３１
に組み込まれている。
電容量式が使用されている。また、第1の測定手段２７
と第２の測定手段２８とが１個の差圧測定装置本体３１
に組み込まれている。
【００１９】以上の構成において、第1の測定手段２７
により測定流体ＦＩの密度が計測され、第２の測定手段
２８により測定流体ＦＩの液位が計測される。
により測定流体ＦＩの密度が計測され、第２の測定手段
２８により測定流体ＦＩの液位が計測される。
【００２０】この結果、 （１）ダイアフラムシールユニット２１，２２，２３の
タンク１側の接続部は３箇所で良いので、タンク１の小
形化に対応し易いダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
タンク１側の接続部は３箇所で良いので、タンク１の小
形化に対応し易いダイアフラムシール型差圧測定装置が
得られる。
【００２１】（２）タンク１の漏洩する恐れの有る箇所
が減少し、信頼性が向上されたダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
が減少し、信頼性が向上されたダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
【００２２】（３）タンク１の設置コスト、タンク１の
計装コストが減少し、コストが低減されたダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。
計装コストが減少し、コストが低減されたダイアフラム
シール型差圧測定装置が得られる。
【００２３】（４）全体として、保守性が向上されたダ
イアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
イアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００２４】（５）差圧測定装置本体３１は１個で良い
ので、差圧測定装置本体３１を取り付けるためのスタン
ション９は、１箇所で良く、設置コストが低減され、設
置場所をコンパクトに出来るダイアフラムシール型差圧
測定装置が得られる。
ので、差圧測定装置本体３１を取り付けるためのスタン
ション９は、１箇所で良く、設置コストが低減され、設
置場所をコンパクトに出来るダイアフラムシール型差圧
測定装置が得られる。
【００２５】図３は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、第1の測定手段２７と
第２の測定手段２８とが別個の差圧測定装置本体４１，
４２に組み込まれたダイアフラムシール型差圧測定装置
である。
図である。本実施例においては、第1の測定手段２７と
第２の測定手段２８とが別個の差圧測定装置本体４１，
４２に組み込まれたダイアフラムシール型差圧測定装置
である。
【００２６】この結果、第1の測定手段２７と第２の測
定手段２８とが、別個の差圧測定装置本体４１，４２に
組み込まれたので、従来一般に使用されている差圧測定
装置本体を使用することが出来、安価なダイアフラムシ
ール型差圧測定装置が得られる。
定手段２８とが、別個の差圧測定装置本体４１，４２に
組み込まれたので、従来一般に使用されている差圧測定
装置本体を使用することが出来、安価なダイアフラムシ
ール型差圧測定装置が得られる。
【００２７】なを、前述の実施例においては、第1の測
定手段２７と第２の測定手段２８とについて静電容量式
センサが使用されたと説明したが、これに限る事は無
く、たとえば、半導体抵抗式、あるいは振動式でも良
く、要するに、差圧が測定出来れば良い。
定手段２７と第２の測定手段２８とについて静電容量式
センサが使用されたと説明したが、これに限る事は無
く、たとえば、半導体抵抗式、あるいは振動式でも良
く、要するに、差圧が測定出来れば良い。
【００２８】また、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。 （１）ダイアフラムシールユニットのタンク側の接続部
は３箇所で良いので、タンクの小形化に対応し易いダイ
アフラムシール型差圧測定装置が得られる。
によれば、次のような効果がある。 （１）ダイアフラムシールユニットのタンク側の接続部
は３箇所で良いので、タンクの小形化に対応し易いダイ
アフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３０】（２）タンクの漏洩する恐れの有る箇所が
減少し信頼性が向上されたダイアフラムシール型差圧測
定装置が得られる。
減少し信頼性が向上されたダイアフラムシール型差圧測
定装置が得られる。
【００３１】（３）タンク設置コスト、タンク計装コス
トが減少しコストが低減されたダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
トが減少しコストが低減されたダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。
【００３２】（４）全体として、保守性が向上されたダ
イアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
イアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３３】以上説明したように、本発明の請求項２に
よれば、次のような効果がある。第1の測定手段と第２
の測定手段とが１個の差圧測定装置本体に組み込まれ
た。従って、差圧測定装置本体３１は１個で良いので、
差圧測定装置本体３１を取り付けるためのスタンション
９は、１箇所で良く、設置コストが低減され、設置場所
をコンパクトに出来るダイアフラムシール型差圧測定装
置が得られる。
よれば、次のような効果がある。第1の測定手段と第２
の測定手段とが１個の差圧測定装置本体に組み込まれ
た。従って、差圧測定装置本体３１は１個で良いので、
差圧測定装置本体３１を取り付けるためのスタンション
９は、１箇所で良く、設置コストが低減され、設置場所
をコンパクトに出来るダイアフラムシール型差圧測定装
置が得られる。
【００３４】以上説明したように、本発明の請求項３に
よれば、次のような効果がある。第1の測定手段と第２
の測定手段とが別個の差圧測定装置本体に組み込まれた
ので、従来一般に使用されている差圧測定装置本体を使
用することが出来、安価なダイアフラムシール型差圧測
定装置が得られる。
よれば、次のような効果がある。第1の測定手段と第２
の測定手段とが別個の差圧測定装置本体に組み込まれた
ので、従来一般に使用されている差圧測定装置本体を使
用することが出来、安価なダイアフラムシール型差圧測
定装置が得られる。
【００３５】従って、本発明によれば、タンクの漏洩す
る恐れの有る箇所を減らし、設置コスト、計装コスト、
伝送器のコストを減らし、保守性が向上されたダイアフ
ラムシール型差圧測定装置を実現することが出来る。
る恐れの有る箇所を減らし、設置コスト、計装コスト、
伝送器のコストを減らし、保守性が向上されたダイアフ
ラムシール型差圧測定装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図1の要部構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。
成説明図である。
１ タンク ８ ブラケット ９ スタンション ２ 渦発生体 ２１ 第1のダイアフラムシールユニット ２２ 第２のダイアフラムシールユニット ２３ 第３のダイアフラムシールユニット ２４ 第1の導圧管 ２５ 第２の導圧管 ２６ 第３の導圧管 ２７ 第1の測定手段 ２８ 第２の測定手段 ３１ 差圧測定装置本体 ４１ 差圧測定装置本体 ４２ 差圧測定装置本体 Ｆｌ 測定流体
Claims (3)
- 【請求項１】タンクに注入された測定流体の液位と密度
とを測定するダイアフラムシール型差圧測定装置におい
て、 前記測定流体が満たされた部分の前記タンクの底面側に
設けられた第1のダイアフラムシールユニットと、 前記測定流体が満たされた部分の前記タンクの蓋面側に
設けられた第２のダイアフラムシールユニットと、 前記測定流体が満たされていない部分の前記タンクに設
けられた第３のダイアフラムシールユニットと、 前記第1のダイアフラムシールユニットに一端が接続さ
れ前記第1のダイアフラムシールユニットが受圧した圧
力を導圧する第1の導圧管と、 前記第２のダイアフラムシールユニットに一端が接続さ
れ前記第２のダイアフラムシールユニットが受圧した圧
力を導圧する第２の導圧管と、 前記第３のダイアフラムシールユニットに一端が接続さ
れ前記第３のダイアフラムシールユニットが受圧した圧
力を導圧する第３の導圧管と、 前記第1の導圧管の他端と前記第２の導圧管の他端とが
接続され前記第1のダイアフラムシールユニットが受圧
した圧力と前記第２のダイアフラムシールユニットが受
圧した圧力との差圧を測定する第1の測定手段と、 前記第1の導圧管の他端と前記第３の導圧管の他端とが
接続され前記第1のダイアフラムシールユニットが受圧
した圧力と前記第３のダイアフラムシールユニットが受
圧した圧力との差圧を測定する第２の測定手段とを具備
した事を特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装
置。 - 【請求項２】前記第1の測定手段と第２の測定手段とが
１個の差圧測定装置本体に組み込まれたことを特徴とす
る請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。 - 【請求項３】前記第1の測定手段と第２の測定手段とが
別個の差圧測定装置本体に組み込まれたことを特徴とす
る請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000138430A JP2001318016A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000138430A JP2001318016A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001318016A true JP2001318016A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18646034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000138430A Pending JP2001318016A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | ダイアフラムシール型差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001318016A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100409269B1 (ko) * | 2001-11-30 | 2003-12-12 | 현대건설주식회사 | 차압 정밀측정용 마노미터 장치 |
| JP2018031772A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 光センサを用いて燃料タンクの燃料レベル測定値を決定するシステムおよび方法 |
| JP2018159593A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | アズビル株式会社 | 差圧センサチップ、差圧発信器、および差圧センサチップの製造方法 |
-
2000
- 2000-05-11 JP JP2000138430A patent/JP2001318016A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100409269B1 (ko) * | 2001-11-30 | 2003-12-12 | 현대건설주식회사 | 차압 정밀측정용 마노미터 장치 |
| JP2018031772A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 光センサを用いて燃料タンクの燃料レベル測定値を決定するシステムおよび方法 |
| JP2018159593A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | アズビル株式会社 | 差圧センサチップ、差圧発信器、および差圧センサチップの製造方法 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060817 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061013 |
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| A02 | Decision of refusal |
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